JP5082162B2 - Screen plate making visual inspection device - Google Patents
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Description
本発明は、スクリーン製版の外観検査装置に係り、特にスクリーン製版のパターンの目詰まりを検出できる、スクリーン製版の外観検査装置に関するものである。 The present invention relates to a screen plate appearance inspection device, and more particularly to a screen plate appearance inspection device capable of detecting clogging of a screen plate pattern.
図8にスクリーン製版1の製造工程を示す。スクリーン製版1は、一般に以下の工程を経て製造される。
(1)紗張り工程:スクリーンメッシュ(紗)2を適正なテンションで引っ張り、アルミ製の枠3に接着剤等で固定する(図8(A))。スクリーンメッシュ2は、電子部品にはステンレス製メッシュ、ポスター等には化繊製メッシュが用いられる。
(2)前処理工程:枠3にスクリーンメッシュ2が張られた版を清浄な水で洗浄する。
(3)コーティング工程:枠3内のスクリーンメッシュ2の表面裏面に感光乳剤4(感光性樹脂)をむら無く均一に塗布する(図8(B))。
(4)焼付け工程:感光乳剤4が塗布されたスクリーンメッシュ2上に、パターン原版5(ポジフィルムやガラス乾板のフォトマスク等)を密着させて、露光機で露光し、スクリーンメッシュにパターンを焼き付ける(図8(C))。
(5)現像・仕上げ工程:パターンが焼き付けられた版を、水に浸けて現像し、未露光部分の感光乳剤を洗浄して除去し(この未露光部分の感光乳剤が除去された後の各孔がパターン孔6となる)、乾燥させる。パターンの状態を再度チェックし、ピンホール埋め、テープ貼り、補強をして仕上げる。これによりスクリーン製版1ができあがる(図8(D))。
FIG. 8 shows a manufacturing process of the screen plate making 1. The screen plate making 1 is generally manufactured through the following steps.
(1) Creeping step: The screen mesh (crease) 2 is pulled with an appropriate tension and fixed to the
(2) Pretreatment step: The plate with the
(3) Coating step: The photosensitive emulsion 4 (photosensitive resin) is uniformly applied to the front and back surfaces of the
(4) Baking process: A pattern original plate 5 (positive film, glass dry plate photomask, etc.) is brought into intimate contact with the
(5) Development / finishing step: The plate on which the pattern has been baked is developed by immersing in water, and the unexposed portion of the photosensitive emulsion is washed and removed (each after the unexposed portion of the photosensitive emulsion is removed). The holes become the pattern holes 6) and are dried. Check the state of the pattern again, fill the pinhole, apply tape, and reinforce. Thereby, the screen plate making 1 is completed (FIG. 8D).
できあがったスクリーン製版1は、検査後、出荷される。図9にスクリーン製版を用いたスクリーン印刷の原理を示す。製版1の上からスキージ7を摺動させて、インク8をスクリーンメッシュ2のパターンの各孔(パターン孔)6に充填し、次に、各孔6からインク8を吐出させて下の基板9に転写することにより、スクリーン印刷が行われる。
The completed screen plate making 1 is shipped after inspection. FIG. 9 shows the principle of screen printing using screen plate making. The squeegee 7 is slid from the plate making 1 to fill each hole (pattern hole) 6 of the pattern of the
スクリーン製版を検査する方法としては、例えば、ピンホールやパターンの欠損を検査する方法が知られている(特許文献1参照)。 As a method for inspecting screen plate making, for example, a method for inspecting pinholes and pattern defects is known (see Patent Document 1).
上記方法では、スクリーン製版のピンホールやパターン内の欠損を発見できるが、パターン内に感光性樹脂等からなる目詰まりがある場合、その目詰まりを発見することは難しい。図10は、スクリーン製版1の各パターン孔6の一部に目詰まりAがある状態を示している。なお、各パターン孔6によってパターン6Aが構成される。従来一般の外観検査装置では、テーブル上にスクリーン製版をセットし、下方の光源(ハロゲンランプ等)から光を当て、スクリーン製版を透過した光によるパターンのシルエットを上方のCCDカメラ等で読み取り、読み取った画像を拡大して目視でパターンの外観を検査している。
In the above method, pinholes in the screen plate making and defects in the pattern can be found, but if there is clogging made of a photosensitive resin or the like in the pattern, it is difficult to find the clogging. FIG. 10 shows a state in which clogging A is present in a part of each
ところが、従来一般の外観検査装置は、スクリーン製版のパターン内に目詰まりがある場合(その多くは感光性樹脂である)、特に目詰まりが透明樹脂である場合には、下方からの光を透過してしまうため、目詰まりの有無の判別が難しく、その発見が大変難しかった。 However, the conventional general appearance inspection apparatus transmits light from below when there is clogging in the screen plate making pattern (most of which is photosensitive resin), especially when clogging is a transparent resin. Therefore, it was difficult to determine whether there was clogging, and it was very difficult to find it.
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、スクリーン製版のパターン内の目詰まりが不透明、透明のいずれであるかに関わらず、スクリーン製版のパターン内の目詰まりを容易に検出することのできる、スクリーン製版の外観検査装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and can easily detect clogging in a screen plate making pattern regardless of whether the clogging in the screen plate making pattern is opaque or transparent. An object of the present invention is to provide a screen plate appearance inspection device that can be used.
上記課題を解決するために、本発明に係る請求項1記載の外観検査装置は、スクリーン製版をテーブルにセットし、テーブル上のスクリーン製版に対しその一方側に配置した光源からテーブル上のスクリーン製版の他方側へ光を透過させ、透過光によるスクリーン製版の光像を受像部で受像し、受像した画像からテーブル上のスクリーン製版の外観を検査する、スクリーン製版の外観検査装置において、
前記光源とテーブル上のスクリーン製版との間に第1の偏光フィルタを配置し、前記受像部とテーブル上のスクリーン製版との間に第2の偏光フィルタを配置したことを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, an appearance inspection apparatus according to claim 1 of the present invention is set in a screen plate making on a table from a light source arranged on one side of the screen plate making on the table. In the screen plate appearance inspection apparatus, the light is transmitted to the other side of the screen, the light image of the screen plate making by the transmitted light is received by the image receiving unit, and the appearance of the screen plate making on the table is inspected from the received image.
A first polarizing filter is disposed between the light source and the screen plate on the table, and a second polarizing filter is disposed between the image receiving unit and the screen plate on the table.
光源とテーブル上のスクリーン製版との間に配置した第1の偏光フィルタにより、テーブル上のスクリーン製版に入射する光のうち、特定の偏光成分の光、例えば、テーブルやスクリーン製版からの反射光の入射を排除できる。これにより、スクリーン製版の外観を検査する際の、それらの反射光や外乱光等の影響を排除できる。 Of the light incident on the screen plate on the table, light of a specific polarization component, for example, reflected light from the table or screen plate making, is arranged by the first polarizing filter disposed between the light source and the screen plate on the table. Incident can be eliminated. Thereby, the influence of those reflected light, disturbance light, etc. at the time of inspecting the external appearance of screen platemaking can be excluded.
また、受像部とテーブル上のスクリーン製版との間に配置した第2の偏光フィルタにより、受像部に入射する光のうち、特定の偏光成分の光、例えば、スクリーン製版の目詰まりを透過した拡散光のうちの反射光の入射を排除できる。これにより、スクリーン製版の外観を検査する際の、それらの反射光や外乱光等の影響を排除できる。 Further, the second polarizing filter disposed between the image receiving unit and the screen plate making on the table allows diffusion of light having a specific polarization component out of light incident on the image receiving unit, for example, clogging of the screen plate making. The incidence of reflected light in the light can be eliminated. Thereby, the influence of those reflected light, disturbance light, etc. at the time of inspecting the external appearance of screen platemaking can be excluded.
スクリーン製版の検査部位のパターン孔に目詰まりとして、例えば透明(半透明を含む)樹脂(以下、透明樹脂という)がある場合、まず、光源から照射された光は、第1の偏光フィルタにより反射光等の特定の偏光成分の光が排除されて、パターン孔内の透明樹脂に入射する。透明樹脂内に入射した光は、透明樹脂内で拡散し、透明樹脂から拡散光が出射する。透明樹脂から出射した拡散光は、第2の偏光フィルタにより、反射光等の特定の偏光成分の光が除去され、受像部に入射する。受像部で得られた透明樹脂の画像は、透明樹脂のないパターン孔の明るい画像に比べ、暗い画像となり、容易に目詰まりを検出できる。なお、透明樹脂のないパターン孔は、パターン孔内に入射した光が拡散されることなく、第2の偏光フィルタを透過し、受像部に入射するので、明るい画像となる。 For example, when there is a transparent (including translucent) resin (hereinafter referred to as a transparent resin) as a clogging in the pattern hole at the inspection site of the screen plate making, the light irradiated from the light source is first reflected by the first polarizing filter. Light of a specific polarization component such as light is excluded and enters the transparent resin in the pattern hole. The light incident on the transparent resin is diffused in the transparent resin, and diffused light is emitted from the transparent resin. The diffused light emitted from the transparent resin is incident on the image receiving unit after the light of a specific polarization component such as reflected light is removed by the second polarizing filter. The image of the transparent resin obtained in the image receiving portion is darker than the bright image of the pattern hole without the transparent resin, and clogging can be easily detected. Note that the pattern hole without the transparent resin has a bright image because the light incident on the pattern hole is not diffused and is transmitted through the second polarizing filter and incident on the image receiving unit.
目詰まりが不透明樹脂の場合、光源からの入射光を不透明樹脂がほとんど透過しないので、目詰まりのない周囲のパターン孔の明るい画像に比べ、暗い画像となり、この場合も、容易に目詰まりを検出できる。 When the clogging is opaque resin, the opaque resin hardly transmits the incident light from the light source, resulting in a darker image than the bright image of the surrounding pattern holes without clogging. In this case, clogging is easily detected. it can.
このように、スクリーン製版のパターン内の目詰まりが透明、不透明いずれであっても、スクリーン製版のパターン内の目詰まりを容易に検出できる。 As described above, even if the clogging in the screen plate making pattern is transparent or opaque, the clogging in the screen plate making pattern can be easily detected.
本発明に係る請求項2記載のスクリーン製版の外観検査装置は、前記第1及び第2の偏光フィルタが、光軸回りに互いに相対回転可能とされていることを特徴とする。
The screen plate appearance inspection apparatus according to
第1の偏光フィルタに対し、第2の偏光フィルタを光軸回りに相対回転させることで、スクリーン製版のパターン内の目詰まりによって拡散する光のうち、反射光の偏光面に第2の偏光フィルタの角度を容易に合せることができる。これにより、受像部に入射する光量を、目詰まりの検出に最適な光量に容易に絞り調整することができる。 By rotating the second polarizing filter relative to the first polarizing filter around the optical axis, the second polarizing filter is applied to the polarization plane of the reflected light out of the light diffused by clogging in the screen plate making pattern. The angle can be easily adjusted. Accordingly, the amount of light incident on the image receiving unit can be easily adjusted to the optimum amount for detecting clogging.
本発明に係る請求項3記載のスクリーン製版の外観検査装置は、前記光源が、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上からオフセット配置されていることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, the light source is offset from the center line connecting the image receiving portion and the inspection portion of the screen plate on the table.
光源が、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上からオフセット配置されているから、同光源から、テーブル上のスクリーン製版の検査部位に向かう光は斜光となり、このとき、検査部位のパターン孔に目詰まりがない場合には、同光源からの斜光がパターン孔をそのまま通過し、検査部位と受像部間の光路を外れて斜めに直進する。このため、受像部で得られる目詰まりのないパターン孔の画像は、光が入射しないから、暗い画像となる。 Since the light source is offset from the center line connecting the image receiving part and the screen plate inspection area on the table, the light from the light source toward the inspection area of the screen plate making on the table becomes oblique light. When the pattern hole of the part is not clogged, the oblique light from the light source passes through the pattern hole as it is, and goes straight obliquely off the optical path between the inspection part and the image receiving part. For this reason, the image of the pattern hole without clogging obtained in the image receiving unit is a dark image because light does not enter.
これに対し、当該パターン孔に透明樹脂が目詰まりしている場合、当該パターン孔への入射光が当該パターン孔内の透明樹脂内で拡散し、拡散光の一部が、第2偏光フィルタを透過して受像部に入射するから、受像部で得られる目詰まりのあるパターン孔の画像は、その周囲の目詰まりのないパターン孔の画像と比較すると、相対的に明るい画像となり、その明暗差によって、スクリーン製版のパターンの目詰まりを容易に検出できる。 On the other hand, when the transparent resin is clogged in the pattern hole, the incident light to the pattern hole diffuses in the transparent resin in the pattern hole, and a part of the diffused light passes through the second polarizing filter. Since the light is transmitted and incident on the image receiving portion, the image of the clogged pattern hole obtained in the image receiving portion is a relatively bright image compared to the surrounding image of the clogged pattern hole, and the difference in brightness and darkness thereof. Thus, clogging of the screen plate-making pattern can be easily detected.
本発明に係る請求項4記載のスクリーン製版の外観検査装置は、前記光源が、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上に配置される第1光源と、第1光源の周囲にリング状に配置される第2光源とから組み合わされていることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a screen plate appearance inspection apparatus according to the present invention, wherein the light source is disposed on a center line connecting the image receiving portion and the screen plate inspection portion on the table. It is characterized by being combined with a second light source arranged in a ring shape around.
前記光源が、受像部とテーブル上のスクリーン製版の検査部位とを結ぶ中心線上に配置される第1光源と、第1光源の周囲にリング状に配置される第2光源とから組み合わされることにより、スクリーン製版の外観検査の精度をより向上させることができる。 By combining the light source from a first light source disposed on the center line connecting the image receiving portion and the inspection site of screen plate making on the table, and a second light source disposed in a ring shape around the first light source. Further, the accuracy of the appearance inspection of the screen plate making can be further improved.
すなわち、検査部位のパターン孔の目詰まりが透明樹脂であれば、第2光源からの斜光を検査部位のパターン孔に当てて、周囲のパターン孔の画像との明暗差により目詰まりを容易に検出できる。また、検査部位のパターン孔の目詰まりが不透明樹脂であれば、中心に位置する第1光源からの光を検査部位のパターン孔に当てて、周囲のパターン孔の画像との明暗差によりパターン孔の目詰まりを容易に検出できる。そして、同一パターン孔に対し、第1光源による検査と、第2光源による検査を組み合わせることにより、パターン孔の目詰まりが透明、不透明いずれの場合も、目詰まりの検出を確実なものにできる。 That is, if the clogging of the pattern hole at the inspection site is a transparent resin, the oblique light from the second light source is applied to the pattern hole at the inspection site, and clogging is easily detected by the difference in brightness from the image of the surrounding pattern hole. it can. Further, if the clogging of the pattern hole at the inspection site is an opaque resin, the light from the first light source located at the center is applied to the pattern hole at the inspection site, and the pattern hole is caused by a difference in brightness from the image of the surrounding pattern hole. Can be easily detected. By combining the inspection with the first light source and the inspection with the second light source for the same pattern hole, the detection of the clogging can be ensured regardless of whether the clogging of the pattern hole is transparent or opaque.
さらに、本発明に係る請求項4記載のスクリーン製版の外観検査装置によると、検査部位のパターン孔に対し、中心の第1光源からの光と、リング状の第2光源からの斜光を、同時に当てることにより、検出されるパターン孔の目詰まりが透明樹脂であるか、不透明樹脂であるかの判別が可能である。
Furthermore, according to the screen plate appearance inspection apparatus according to
すなわち、リング状の第2光源からの斜光のみを検査部位のパターン孔に当てた場合は、スクリーン製版が暗く写り、パターン孔の目詰まりが透明樹脂の場合は、拡散光により、当該部分が明るく写り、容易に検出できる。しかし、不透明樹脂の場合は、周囲と同じ暗さのため、検出できない。そこで、第1光源と第2光源を検査部位のパターン孔に同時に当て、スクリーン製版の全体の明るさを、第2光源のみを当てた場合に検出できる透明樹脂の明るさより暗く、その他の部位よりも明るくなるように光量を調節する。 That is, when only oblique light from the ring-shaped second light source is applied to the pattern hole of the inspection site, the screen platemaking appears dark, and when the pattern hole is clogged with a transparent resin, the portion is brightened by the diffused light. It is reflected and can be easily detected. However, an opaque resin cannot be detected because it is as dark as the surroundings. Therefore, the first light source and the second light source are simultaneously applied to the pattern hole of the inspection site, and the overall brightness of the screen plate making is darker than the brightness of the transparent resin that can be detected when only the second light source is applied. Adjust the amount of light so that it becomes brighter.
この時、第1光源では、前述したように、透明樹脂と不透明樹脂のどちらも、スクリーン製版の全体の明るさよりも暗くなり、検出が可能となる。また、透明樹脂は、第2光源の斜光により、スクリーン製版の全体の明るさより明るくなる。このような事から、透明樹脂ではスクリーン製版全体の明るさより輝度が高く、不透明樹脂は輝度が低くなり、検出される不良物質が透明樹脂であるか、不透明樹脂であるかの判別を行うことが可能となる。 At this time, in the first light source, as described above, both the transparent resin and the opaque resin are darker than the overall brightness of the screen plate making and can be detected. Further, the transparent resin becomes brighter than the overall brightness of the screen platemaking by the oblique light of the second light source. For this reason, the brightness of the transparent resin is higher than the brightness of the entire screen plate making, the brightness of the opaque resin is low, and it is possible to determine whether the detected defective substance is a transparent resin or an opaque resin. It becomes possible.
以上説明したように、本発明に係るスクリーン製版の外観検査装置によると、簡単な構造・仕組みによって、スクリーン製版のパターン内の目詰まりを、従来では検出が難しかった透明樹脂を含め、容易に検出することができるという優れた効果を奏する。 As described above, according to the screen plate appearance inspection device according to the present invention, clogging in the screen plate pattern can be easily detected with a simple structure and mechanism, including a transparent resin that has been difficult to detect in the past. There is an excellent effect of being able to.
これにより、従来行なわれていた出荷先での試し印刷によるスクリーン製版の外観検査の負担や、外観不良によるスクリーン製版の再製作といった問題が解消され、スクリーン製版の製作コストの低減を図れるという優れた効果を奏する。 This eliminates the burden of screen plate appearance inspection by trial printing at the shipping destination that has been performed in the past and the problem of screen plate remanufacturing due to poor appearance, leading to a reduction in screen plate making costs. There is an effect.
本発明を実施するための第1の実施形態を図1ないし図6を参照して説明する。図1において、符号1はスクリーン製版、符号10はスクリーン製版の外観検査装置を示している。なお、図8に示す部材と同一部材には同一符号を付し、その説明は省略する。
A first embodiment for carrying out the present invention will be described with reference to FIGS. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a screen plate making, and
スクリーン製版の外観検査装置(以下、「外観検査装置」という)10は、図1および図2に示すように、床面G上に支持されるベース11の上面に、検査対象のスクリーン製版1を載せるテーブル12が補助フレーム13を介して載置され、テーブル12を跨るようにしてベース11の上面後部に、モニター・操作部ユニット14が載置されている。テーブル12は、前後方向に延びるLMガイド15Aおよび左右方向に延びるLMガイド15Bからなるガイド機構15によって、ベース11の上面を、前後方向(X方向)および左右方向(Y方向)に水平移動可能とされている。
As shown in FIGS. 1 and 2, a screen plate appearance inspection apparatus (hereinafter referred to as an “appearance inspection apparatus”) 10 places an inspection target screen plate making 1 on the upper surface of a base 11 supported on a floor G. A table 12 to be placed is placed via an
モニター・操作部ユニット14には、前面上部に液晶等のモニター16および操作パネル17が設けられるともに、前面下部に支持部18を介して、左右方向に水平移動可能なCCDカメラ19(受像部)および顕微鏡20が装備されている。
The monitor /
ベース11の上面とテーブル12との間には、所定の間隔Hが形成されている。テーブル12の下方でベース11上面の略中央位置には、CCDカメラ19とテーブル12上のスクリーン製版1の検査部位とを結ぶ中心線L上に位置する第1光源(第1の光源)21が設置され、同第1光源21を囲むようにしてその周囲にリング状の第2光源(第2の光源)22が設置されている。第1光源としては、ハロゲンランプ、キセノンランプ等の可視光源が用いられ、リング状の第2光源としては、環形蛍光灯等の可視光源が用いられる。なお、第1光源21、第2光源22の背面には、各光源からの光を反射させない無反射シート(図示せず)が配置されている。
A predetermined distance H is formed between the upper surface of the
テーブル12の下面には、第1光源21とテーブル12上のスクリーン製版1との間に位置する第1偏光フィルタ23が取り付けられている。この第1偏光フィルタ23は、図3に示すように、テーブル12上のスクリーン製版1に入射する光のうち、特定の偏光成分(反射光、外乱光等)を除去し、それ以外の光を透過させるものである。また、CCDカメラ19のレンズ部19Aには、第1偏光フィルタ23と同じ原理により、CCDカメラ19に入射する光のうち、特定の偏光成分の光(透明樹脂の拡散光に基づく反射光、外乱光等)を除去し、それ以外の光を透過させる第2偏光フィルタ24が回転可能に取り付けられている。
A first
なお、図1中、符号25は、ベース11を床面G上に固定および移動可能とするキャスター付きのマウント、符号26は第2操作部をそれぞれ示している。
In FIG. 1,
次に、以上のように構成された外観検査装置10を用いて、スクリーン製版1の外観を検査する方法について、以下に説明する。
Next, a method for inspecting the appearance of the screen platemaking 1 using the
図4は、第1光源21を用いて、図10に示すようなスクリーン製版1のパターン孔6の目詰まりAを検出する方法を示している。
FIG. 4 shows a method for detecting clogging A in the
図1に示すテーブル12上にスクリーン製版1をセットし、直下の第1光源21を点灯し、光量を最大にする。第1光源21から照射された光は、第1偏光フィルタ23により、反射光(スクリーン製版1の背面、テーブル12の内側面その他からの反射光)等の特定の偏光成分の光が排除されて、スクリーン製版1のパターン孔6内に入射する。
The screen plate making 1 is set on the table 12 shown in FIG. 1, the
このとき、各パターン孔6のいずれかに、目詰まり(透明樹脂)Aがある場合には、図4(A)に示すように、透明樹脂内に入射した光は透明樹脂内で拡散し、拡散光となって透明樹脂から出る。透明樹脂から出た拡散光は、第2偏光フィルタ24により、反射光(拡散光に基づく反射光)等の特定の偏光成分の光が除去され、CCDカメラ19のレンズ19Aに入射する。
At this time, if there is clogging (transparent resin) A in any of the pattern holes 6, as shown in FIG. 4A, the light incident on the transparent resin is diffused in the transparent resin, Diffuse light emerges from the transparent resin. The diffused light emitted from the transparent resin is removed by the second
CCDカメラ19で受像された目詰まりAのあるパターン孔6の画像は、モニター16により、拡大された画像の形で目視で確認することができ、目詰まりAのあるパターン孔6の画像は、周囲の目詰まりのないパターン孔6の画像に比べ、暗く見える。目詰まりのないパターン孔6の画像は、図4(B)に示すように、第1偏光フィルタ23を透過した光が、透明樹脂で拡散されることなく第2偏光フィルタ24を透過し、CCDカメラ19に入射するので、目詰まりのあるパターン孔6の画像に比べ、明るく見える。これにより、画像の明暗の差によって、容易に目詰まりを検出できる。
The image of the
第1偏光フィルタ23に対し、第2偏光フィルタ24を光軸L’回りに相対回転させることにより、CCDカメラ19へ入射する光量を微調整することができる。具体的には、図5(A)に示すように、第1偏光フィルタ23の回転方向の基準位置P0に対し、第2偏光フィルタ24の回転方向設定位置P1を合せ、両フィルタの角度を一致させると、第2偏光フィルタ24の透過光量が最大となり、CCDカメラ19で受像した画像が最も明るく見える。これに対し、図5(B)に示すように、第2偏光フィルタ24を光軸L’回りに90度回転させると、第2偏光フィルタ24の透過光量が最小となり、CCDカメラ19で受像した画像が最も暗く見える。そこで、図5(C)に示すように、第2偏光フィルタ24を、90度の間の、明るさが最適でパターン孔6のシルエットが最も明瞭になる位置P2に調整し、当該位置に第2偏光フィルタ24の角度を固定する。角度は基準位置P0から15度ないし75度の間で選択できる。なお、各第1、第2偏光フィルタ23、24の各光軸L’は、CCDカメラ19とテーブル12上のスクリーン製版1の検査部位とを結ぶ中心線Lと一致する。
The amount of light incident on the
次に、図6を参照して、リング状の第2光源22を用いて、スクリーン製版1のパターン孔6の目詰まりを検出する方法を、以下に説明する。
Next, a method for detecting clogging of the
図1に示すテーブル12上にスクリーン製版1をセットし、直下のリング状の第2光源22を点灯し、光量を最大にする。図6(A)に示すように、第2光源22からの光はテーブル12上のスクリーン製版1の検査部位に対し斜めに照射され、パターン孔6に入射する。
The screen plate making 1 is set on the table 12 shown in FIG. 1, and the ring-shaped second
このとき、各パターン孔6のいずれかに、目詰まり(透明樹脂)Aがある場合には、図6(A)に示すように、透明樹脂内に入射した光は透明樹脂内で拡散し、拡散光となって透明樹脂から出る。透明樹脂から出た拡散光は、第2偏光フィルタ24により、反射光(拡散光に基づく反射光)等の特定の偏光成分の光が除去され、CCDカメラ19のレンズ19Aに入射する。
At this time, if any of the pattern holes 6 has clogging (transparent resin) A, as shown in FIG. 6 (A), the light incident on the transparent resin diffuses in the transparent resin, Diffuse light emerges from the transparent resin. The diffused light emitted from the transparent resin is removed by the second
このとき第2偏光フィルタ24は、前記第1光源21の場合の設定位置P1を、図5(D)に示すように、光量が増加して明るく見える位置(例えば、基準位置P0から15度回転した位置P3)に戻して固定する。これにより、CCDカメラ19で受像された目詰まり(透明樹脂)のあるパターン孔6の画像は、周囲の目詰まりのないパターン孔6の暗い画像に比べ、相対的に明るく見える。周囲の目詰まりのないパターン孔6は、図6(B)に示すように、リング状の第2光源22からの斜光により、CCDカメラ19の中心線Lを外れて受像されず、暗い画像となる。このように、画像の明暗の差によって、容易に目詰まりを検出できる。
At this time, the second
かくして、本発明のスクリーン製版の外観検査装置によれば、第1光源21、リング状の第2光源22のいずれかを選択し、第1偏光フィルタ23、第2偏光フィルタ24によって、テーブル12上のスクリーン製版1の検査部位の各パターン孔6に入射する光、スクリーン製版1の検査部位の各パターン孔6を透過し、CCDカメラ19に入射する光の各光量をそれぞれ調整することにより、スクリーン製版1の目詰まりを容易に検出することができる。
Thus, according to the screen plate appearance inspection apparatus of the present invention, either the
なお、図7に示すように、リング状の第2光源22の場合、第1偏光フィルタ23、第2偏光フィルタ24がなくても、スクリーン製版1の目詰まり(透明樹脂)を検出可能である。すなわち、図7(A)に示すように、目詰まり(透明樹脂)のあるパターン孔6は、目詰まりへの入射光が明るく光って、明るい画像が得られ、図7(B)に示すように、目詰まりのないパターン孔6は、斜光がパターン孔6をそのまま通過し、CCDカメラ19とテーブル12上のスクリーン製版1の検査部位とを結ぶ中心線Lを外れ、入射しないので、暗い画像が得られる。第1、第2偏光フィルタ23、24が要らないので、より構造を簡素化できる。
As shown in FIG. 7, in the case of the ring-shaped second
本発明に係る外観検査装置は、スクリーン製版のパターンの目詰まりを検出できる外観検査装置として、利用することができる。 The appearance inspection apparatus according to the present invention can be used as an appearance inspection apparatus capable of detecting clogging of a screen plate-making pattern.
1 スクリーン製版
2 スクリーンメッシュ(紗)
3 枠
4 感光乳剤(感光性樹脂)
5 パターン原版
6 パターン孔
7 スキージ
8 インク
9 基板
10 外観検査装置
11 ベース
12 テーブル
13 補助フレーム
14 モニター・操作部ユニット
15 ガイド機構
15A,15B LMガイド
16 モニタ−
17 操作パネル
18 支持部材
19 CCDカメラ(受像部)
19A レンズ部
20 顕微鏡
21 第1光源(第1の光源)
22 リング状の第2光源(第2の光源)
23 第1偏光フィルタ(第1の偏光フィルタ)
24 第2偏光フィルタ(第2の偏光フィルタ)
25 キャスター付きのマウント
26 第2操作部
A 目詰まり
G 床面
H ベース上面とテーブルとの間の間隔
L CCDカメラと検査部位を結ぶ中心線
L’ 第1、第2偏光フィルタの光軸
P0 第1偏光フィルタの回転方向基準位置
P1 第2偏光フィルタの回転方向設定位置
P2 明るさが最適でパターン孔のシルエットが最も明瞭になる位置
P3 基準位置から15度回転した位置
1 Screen making 2 Screen mesh (メ ッ シ ュ)
3
5
17
22 Ring-shaped second light source (second light source)
23 First polarizing filter (first polarizing filter)
24 Second polarizing filter (second polarizing filter)
25
Claims (4)
前記光源とテーブル上のスクリーン製版との間に第1の偏光フィルタを配置し、前記受像部とテーブル上のスクリーン製版との間に第2の偏光フィルタを配置したことを特徴とする、スクリーン製版の外観検査装置。 The screen plate making is set on the table, light is transmitted from the light source arranged on one side of the screen plate making on the table to the other side of the screen plate making on the table, and the light image of the screen making by the transmitted light is received by the image receiving unit. In the screen plate appearance inspection apparatus for inspecting the appearance of the screen plate making on the table from the received image,
A screen plate making, wherein a first polarizing filter is disposed between the light source and the screen plate making on the table, and a second polarizing filter is disposed between the image receiving unit and the screen plate making on the table. Visual inspection equipment.
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