JP5065123B2 - Alkali-developable photosensitive resin composition - Google Patents

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本発明は、エチレン性不飽和結合を付与した特定の化合物を含有するアルカリ現像性感光性樹脂組成物及び該アルカリ現像性感光性樹脂組成物に、さらに光重合開始剤を含有させてなるアルカリ現像性感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to an alkali-developable photosensitive resin composition containing a specific compound imparted with an ethylenically unsaturated bond, and an alkali development obtained by further adding a photopolymerization initiator to the alkali-developable photosensitive resin composition. The present invention relates to a photosensitive photosensitive resin composition.

通常、アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、エチレン性不飽和結合を有する化合物を含有するアルカリ現像性感光性樹脂組成物及び光重合開始剤を含有するものである。このアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、紫外線若しくは電子線を照射することによって重合硬化させることができるので、光硬化性インキ、感光性印刷版、プリント配線版、液晶ディスプレイ用カラーフィルタ等の各種フォトレジスト等に用いられている。最近、電子機器の軽薄短小化や高機能化の進展に伴い、微細パターンを精度良く形成することができるアルカリ現像性感光性樹脂組成物が望まれている。   Usually, the alkali-developable photosensitive resin composition contains an alkali-developable photosensitive resin composition containing a compound having an ethylenically unsaturated bond and a photopolymerization initiator. Since this alkali-developable photosensitive resin composition can be polymerized and cured by irradiation with ultraviolet rays or electron beams, various photo-curable inks, photosensitive printing plates, printed wiring plates, liquid crystal display color filters, etc. Used in photoresists and the like. In recent years, with the progress of miniaturization and high functionality of electronic devices, an alkali-developable photosensitive resin composition capable of forming a fine pattern with high accuracy is desired.

また、アルカリ現像性感光性樹脂組成物に用いられる光重合開始剤はコスト高であり、光重合開始剤の未反応成分や分解物が塗膜に残存して汚染の原因となるので、光重合開始剤を使用しないか、使用量を減らしたもので、感度及び密着性に優れ、微細パターンを精度良く形成できるアルカリ現像性感光性樹脂組成物が望まれていた。   In addition, the photopolymerization initiator used in the alkali-developable photosensitive resin composition is expensive, and unreacted components and decomposition products of the photopolymerization initiator remain in the coating film and cause contamination. There has been a demand for an alkali-developable photosensitive resin composition that does not use an initiator or reduces the amount used, is excellent in sensitivity and adhesion, and can form a fine pattern with high accuracy.

一方、下記特許文献1〜4には、アクリロイル基を含有する化合物に対してβ−ジケトン化合物を付加させて得られる反応生成物が、光重合開始剤を用いることなく硬化する光硬化性組成物として用いる事ができる事が記載されているが、これをアルカリ現像性感光性樹脂組成物として使用している例は記載されていない。   On the other hand, in the following Patent Documents 1 to 4, a photocurable composition in which a reaction product obtained by adding a β-diketone compound to a compound containing an acryloyl group is cured without using a photopolymerization initiator. Although it is described that it can be used as an alkali-developable photosensitive resin composition, no example is described.

特許3649331号Japanese Patent No. 3649331 特開2005−163041号公報JP 2005-163041 A 特開2006−241461号公報JP 2006-241461 A 米国特許5459178号US Pat. No. 5,459,178

解決しようとする問題点は、上述したように、光重合開始剤を使用しない又は少量の使用であるにも関わらず、感度及び密着性に優れ、適切なパターン形状や微細パターンを得ることのできるアルカリ現像性感光性樹脂組成物がこれまでなかったということである。   As described above, the problems to be solved are excellent in sensitivity and adhesion, and can obtain an appropriate pattern shape and fine pattern, even though a photopolymerization initiator is not used or a small amount is used. This means that there has never been an alkali-developable photosensitive resin composition.

従って、本発明の目的は、光重合開始剤を使用しない又は少量の使用であるにも関わらず、感度及び密着性等に優れ、微細パターンを精度良く形成できるアルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an alkali-developable photosensitive resin composition that is excellent in sensitivity and adhesion, and can form a fine pattern with high precision, even though a photopolymerization initiator is not used or is used in a small amount. It is to provide.

本発明は、2個以上の(メタ)アクリロイル基及び水酸基を有する化合物(A)の、(メタ)アクリロイル基に、下記一般式(I)で表されるβ−ジケトン化合物(B)を付加させて得られる反応生成物の水酸基と、多塩基酸無水物(C)とのエステル化反応により得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(J)を含有することを特徴とするアルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供するものである。   In the present invention, a β-diketone compound (B) represented by the following general formula (I) is added to the (meth) acryloyl group of the compound (A) having two or more (meth) acryloyl groups and a hydroxyl group. An alkali-developable photosensitive film comprising a photopolymerizable unsaturated compound (J) having a structure obtained by an esterification reaction between a hydroxyl group of a reaction product obtained and a polybasic acid anhydride (C) The resin composition is provided.

Figure 0005065123
(式中、R1は、炭素原子数1〜20のアルキル基であり、R2は、R11、OR11、COR11、SR11、CONR1213又はCNを表し、R11、R12及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、アルキル基、アリール基、アリールアルキル基及び複素環基の水素原子は、更にOR21、COR21、SR21、NR2223、CONR2223、−NR22−OR23、−NCOR22−OCOR23、−C(=N−OR21)−R22、−C(=N−OCOR21)−R22、CN、ハロゲン原子、−CR21=CR2223、−CO−CR21=CR2223、カルボキシル基、エポキシ基で置換されていてもよく、R21、R22及びR23は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、上記R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基のアルキレン部分のメチレン基は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、チオエステル結合、アミド結合又はウレタン結合により1〜5回中断されていてもよく、上記置換基のアルキル部分は分岐側鎖があってもよく、環状アルキルであってもよく、上記置換基のアルキル末端は不飽和結合であってもよく、また、R12とR13及びR22とR23は、それぞれ一緒になって環を形成していてもよく、R2は、隣接するベンゼン環と一緒になって環を形成していてもよい。R3及びR4は、それぞれ独立に、R11、OR11、SR11、COR11、CONR1213、NR12COR11、OCOR11、COOR11、SCOR11、OCSR11、COSR11、CSOR11、CN、ハロゲン原子、ニトロ基又は水酸基を表し、aは0〜3の整数を表し、bは0〜4の整数を表し、a、bが2以上の時はそれぞれの複数の置換基は異なる置換基でもよく、β−ジケトン部分はケト−エノール互変異性体のどちらの構造であってもよい。)
Figure 0005065123
(In the formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, R 2 represents R 11 , OR 11 , COR 11 , SR 11 , CONR 12 R 13 or CN, and R 11 , R 12 And R 13 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or an alkyl group having 2 to 20 carbon atoms. Represents a heterocyclic group, and the hydrogen atom of the alkyl group, aryl group, arylalkyl group and heterocyclic group is further OR 21 , COR 21 , SR 21 , NR 22 R 23 , CONR 22 R 23 , —NR 22 —OR 23. , —NCOR 22 —OCOR 23 , —C (═N—OR 21 ) —R 22 , —C (═N—OCOR 21 ) —R 22 , CN, halogen atom, —CR 21 ═CR 22 R 23 , —CO -CR 21 = CR 22 R 23, carboxyl group, substituted by an epoxy group R 21 , R 22 and R 23 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an aryl having 7 to 30 carbon atoms. The methylene group of the alkylene part of the substituent which represents an alkyl group or a C2-C20 heterocyclic group, and is represented by said R < 11 >, R < 12 >, R <13> , R <21> , R <22> and R < 23 > is unsaturated It may be interrupted 1 to 5 times by a bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, a thioester bond, an amide bond or a urethane bond, and the alkyl part of the above substituent may have a branched side chain, The alkyl terminal of the substituent may be an unsaturated bond, and R 12 and R 13 and R 22 and R 23 may be combined to form a ring, R 2 is an adjacent benzene ring And R 3 and R 4 each independently represent R 11 , OR 11 , SR 11 , COR 11 , CONR 12 R 13 , NR 12 COR 11 , OCOR 11 , COOR 11 , SCOR 11 , OCSR 11 , COSR 11 , CSOR 11 , CN, a halogen atom, a nitro group or a hydroxyl group, a represents an integer of 0 to 3, b represents an integer of 0 to 4, a, b When is 2 or more, each of the plurality of substituents may be a different substituent, and the β-diketone moiety may be any structure of a keto-enol tautomer. )

また、本発明は、上記2個以上の(メタ)アクリロイル基及び水酸基を有する化合物(A)が、エポキシ化合物(D)に不飽和一塩基酸(E)を付加させた反応生成物である構造を有する前記アルカリ現像性感光性樹脂組成物、特に、該エポキシ化合物(D)が、下記一般式(II)で表される構造であるアルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供するものである。   Further, the present invention provides a structure in which the compound (A) having two or more (meth) acryloyl groups and a hydroxyl group is a reaction product obtained by adding an unsaturated monobasic acid (E) to an epoxy compound (D). In particular, the alkali-developable photosensitive resin composition having the above structure, in particular, the epoxy compound (D) having a structure represented by the following general formula (II) is provided.

Figure 0005065123
(式中、Cyは炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を表し、Xは水素原子、フェニル基又は炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を表し、該フェニル基及びシクロアルキル基は炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基又はハロゲン原子により置換されても良く、Y及びZは、それぞれ独立して、炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、炭素原子数2〜10のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、該アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基は、ハロゲン原子で置換されていてもよく、nは0〜10の数を表し、m及びrは、それぞれ独立して、0〜4の数を表す。)
Figure 0005065123
(In the formula, Cy represents a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, X represents a hydrogen atom, a phenyl group or a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, and the phenyl group and the cycloalkyl group are carbon atoms. The alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, the alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms or the halogen atom may be substituted, and Y and Z are each independently an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and the number of carbon atoms. Represents an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms or a halogen atom, wherein the alkyl group, alkoxy group and alkenyl group may be substituted with a halogen atom, and n is a number from 0 to 10 M and r each independently represents a number of 0 to 4.)

また、本発明は、さらに光重合開始剤(F)を含有させてなる前記アルカリ現像性感光性樹脂組成物、及び上記アルカリ現像性感光性樹脂組成物に、さらに色材(G)を含有させてなる着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を提供するものである。   In the present invention, the alkali-developable photosensitive resin composition further containing a photopolymerization initiator (F) and the alkali-developable photosensitive resin composition further contain a color material (G). A colored alkali-developable photosensitive resin composition is provided.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を使用しない又は少量の使用で、十分な感度、解像度及び密着性を与える。   The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention provides sufficient sensitivity, resolution and adhesion without using a photopolymerization initiator or using a small amount.

以下、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物について、好ましい実施形態に基づき詳細に説明する。   Hereinafter, the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、2個以上の(メタ)アクリロイル基及び水酸基を有する化合物(A)の、(メタ)アクリロイル基に、上記一般式(I)で表されるβ−ジケトン化合物(B)を付加させて得られる反応生成物の水酸基と、多塩基酸無水物(C)とのエステル化反応により得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(J)を含有する。   The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is represented by the above general formula (I) in the (meth) acryloyl group of the compound (A) having two or more (meth) acryloyl groups and a hydroxyl group. -The photopolymerizable unsaturated compound (J) which has a structure obtained by esterification reaction of the hydroxyl group of the reaction product obtained by adding the diketone compound (B) and the polybasic acid anhydride (C) is contained. .

上記一般式(I)中、R1、R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される炭素原子数1〜20のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s−ブチル、t−ブチル、アミル、イソアミル、t−アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、2−エチルヘキシル、t−オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ウンデシル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、イコシル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘキシルメチル、ビニル、アリル、ブテニル、エチニル、プロピニル、メトキシエチル、エトキシエチル、プロピロキシエチル、ペンチロキシエチル、オクチロキシエチル、メトキシエトキシエチル、エトキシエトキシエチル、プロポキシエトキシエチル、メトキシプロピル、2−メトキシ−1−メチルエトキシ等が挙げられる。R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される炭素原子数6〜30のアリール基としては、例えば、フェニル、トリル、キシリル、エチルフェニル、クロロフェニル、ナフチル、アンスリル、フェナンスレニル、上記アルキル基で1つ以上置換されたフェニル、ビフェニリル、ナフチル、アンスリル等が挙げられる。R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される炭素原子数7〜30のアリールアルキル基としては、例えば、ベンジル、クロロベンジル、α−メチルベンジル、α、α−ジメチルベンジル、フェニルエチル、フェニルエテニル等が挙げられる。R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される炭素原子数2〜20の複素環基としては、例えば、ピリジル、ピリミジル、フリル、チエニル、テトラヒドロフリル、ジオキソラニル、ジメチルジオキソラニル、ベンゾオキサゾール−2−イル、テトラヒドロピラニル、ピロリジル、イミダゾリジル、ピラゾリジル、チアゾリジル、イソチアゾリジル、オキサゾリジル、イソオキサゾリジル、ピペリジル、ピペラジル、モルホリニル等の5〜7員複素環が好ましく挙げられ、炭素原子数3〜20の複素環アルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、ブチル等のアルキル基が上記炭素原子数2〜20の複素環基として例示した置換基で置換された基が挙げられる。また、R12とR13が一緒になって形成しうる環、R22とR23が一緒になって形成しうる環、及びR2と隣接するベンゼン環とが一緒になって形成しうる環としては、例えば、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロペンテン環、ベンゼン環、ピペリジン環、モルホリン環、ラクトン環、ラクタム環等の5〜7員環が挙げられる。また、R11、R12、R13、R21、R22及びR23を置換してもよいハロゲン原子並びにR3及びR4で表されるハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。 In the general formula (I), examples of the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms represented by R 1 , R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 include, for example, methyl, ethyl, Propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, s-butyl, t-butyl, amyl, isoamyl, t-amyl, hexyl, heptyl, octyl, isooctyl, 2-ethylhexyl, t-octyl, nonyl, isononyl, decyl, isodecyl, undecyl, Dodecyl, tetradecyl, hexadecyl, octadecyl, icosyl, cyclopentyl, cyclohexyl, cyclohexylmethyl, vinyl, allyl, butenyl, ethynyl, propynyl, methoxyethyl, ethoxyethyl, propyloxyethyl, pentyloxyethyl, octyloxyethyl, methoxyethoxyethyl, ethoxy Ethoxye Examples include til, propoxyethoxyethyl, methoxypropyl, 2-methoxy-1-methylethoxy and the like. Examples of the aryl group having 6 to 30 carbon atoms represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 include phenyl, tolyl, xylyl, ethylphenyl, chlorophenyl, naphthyl, anthryl, And phenanthrenyl, phenyl, biphenylyl, naphthyl, anthryl, etc. substituted with one or more of the above alkyl groups. Examples of the arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 include benzyl, chlorobenzyl, α-methylbenzyl, α, α- Examples include dimethylbenzyl, phenylethyl, phenylethenyl and the like. Examples of the heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms represented by R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 include pyridyl, pyrimidyl, furyl, thienyl, tetrahydrofuryl, dioxolanyl, dimethyl Preferred examples include 5- to 7-membered heterocycles such as dioxolanyl, benzoxazol-2-yl, tetrahydropyranyl, pyrrolidyl, imidazolidyl, pyrazolidyl, thiazolidyl, isothiazolidyl, oxazolidyl, isoxazolidyl, piperidyl, piperazyl, morpholinyl, etc. Examples of the heterocyclic alkyl group having 3 to 20 carbon atoms include groups in which an alkyl group such as methyl, ethyl, propyl, butyl or the like is substituted with the substituents exemplified as the heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms. . In addition, a ring that can be formed by combining R 12 and R 13, a ring that can be formed by combining R 22 and R 23 , and a ring that can be formed by combining R 2 and an adjacent benzene ring Examples of the ring include 5- to 7-membered rings such as cyclopentane ring, cyclohexane ring, cyclopentene ring, benzene ring, piperidine ring, morpholine ring, lactone ring, and lactam ring. In addition, halogen atoms that may be substituted for R 11 , R 12 , R 13 , R 21 , R 22 and R 23 and halogen atoms represented by R 3 and R 4 include fluorine, chlorine, bromine and iodine. Can be mentioned.

上記一般式(I)で表されるβ−ジケトン化合物の中でも、R1がメチル基であり、aが0であるものが製造面で有利であるため好ましく、更にbが0であるものや、bが1であり、R4がハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアシル基であるものが、感度の面で優れているため、より好ましく、特にアシル基がメチル基やハロゲン原子で置換されていてもよいベンゾイル基であるものが、感度及び製造面で優れているため、より好ましい。 Among the β-diketone compounds represented by the above general formula (I), those in which R 1 is a methyl group and a is 0 are preferred because they are advantageous in terms of production, and those in which b is 0, It is more preferable that b is 1 and R 4 is an acyl group having 6 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, because of excellent sensitivity. And a benzoyl group which may be substituted with a halogen atom is more preferable because of excellent sensitivity and production.

上記一般式(I)で表される、カルバゾリル基を有するβ−ジケトン化合物の具体的な例としては、以下の化合物No.1〜No.10が挙げられる。   Specific examples of the β-diketone compound having a carbazolyl group represented by the above general formula (I) include the following compound Nos. 1-No. 10 is mentioned.

Figure 0005065123
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Figure 0005065123
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上記一般式(I)で表されるβ−ジケトン化合物は、特に限定されないが、例えば、下記〔化13〕に示されるように、アセチルカルバゾール化合物とカルボン酸エステルとの塩基触媒存在下の縮合反応により製造することができる。   The β-diketone compound represented by the general formula (I) is not particularly limited. For example, as shown in the following [Chemical Formula 13], a condensation reaction in the presence of a base catalyst between an acetylcarbazole compound and a carboxylic acid ester. Can be manufactured.

Figure 0005065123
Figure 0005065123

上記カルボン酸エステルは、対応する置換基(=R1)を有するエステルが用いられ、そのエステル部分は特に限定されないが、メチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、ブチルエステル、イソアミルエステル、フェニルエステル等が好ましく用いられる。 As the carboxylic acid ester, an ester having a corresponding substituent (= R 1 ) is used, and the ester portion is not particularly limited, but methyl ester, ethyl ester, propyl ester, butyl ester, isoamyl ester, phenyl ester, etc. Preferably used.

上記塩基触媒としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム、水素化ナトリウム等の無機塩基;ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、リチウムジイソプロポキシド、カリウムt−ブトキシド等の金属アルコキシド;ジエチルアミン、トリエチルアミン、1,4−ジアザビシクロ[2,2,2]オクタン、1,5−ジアザビシクロ[4,3,0]−5−ノネン、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン等のアミン類;ナトリウムアミド、リチウムジイソプロピルアミド等の金属アミド;水酸化テトラブチルアンモニウム、水酸化ベンジルトリメチルアンモニウム等の水酸化アンモニウム塩が挙げられる。   Examples of the base catalyst include inorganic bases such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide and sodium hydride; metal alkoxides such as sodium methoxide, sodium ethoxide, lithium diisopropoxide and potassium t-butoxide. Diethylamine, triethylamine, 1,4-diazabicyclo [2,2,2] octane, 1,5-diazabicyclo [4,3,0] -5-nonene, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7 -Amines such as undecene; metal amides such as sodium amide and lithium diisopropylamide; ammonium hydroxide salts such as tetrabutylammonium hydroxide and benzyltrimethylammonium hydroxide.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物を得るために使用されるβ−ジケトン化合物は、上記一般式(I)で表されるβ−ジケトン化合物であるが、必要に応じ、その他のβ−ジケトン部位を有する化合物又はβ−ケトエステル基を有する化合物を併用してもよい。該β−ジケトン部位を有する化合物又はβ−ケトエステル基を有する化合物としては、2,4−ペンタンジオン、2,4−ヘキサンジオン、2,4−ヘプタンジオン、1−メトキシ−2,4−ペンタンジオン、1−フェニル−1,3−ブタンジオン、1,3−ジフェニル−1,3−プロパンジオン、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、アセト酢酸イソプロピル、アセト酢酸ブチル、アセト酢酸−t−ブチル、アセト酢酸−2−メトキシエチル、アセト酢酸−2−エチルヘキシル、アセト酢酸ラウリル、アセト酢酸アリル、プロピオニル酢酸エチル、プロピオニル酢酸ブチル、ブチリル酢酸メチル、ベンゾイル酢酸メチル、ベンゾイル酢酸エチル、ベンゾイル酢酸ブチル、4,6−ジオキソヘプタン酸メチル、5,7−ジオキソオクタン酸メチル、アクリル酸−2−アセトアセトキシエチル、メタクリル酸−2−アセトアセトキシエチル、アセト酢酸ベンジル、1,4−ブタンジオールジアセトアセテート、1,6−ヘキサンジオールジアセトアセテート、ネオペンチルグリコールジアセトアセテート、2−エチル−2−ブチル−1,3−プロパンジオールジアセトアセテート、シクロヘキサンジメタノールジアセトアセテート、エトキシレート化ビスフェノールAジアセトアセテート、トリメチロールプロパントリアセトアセテート、グリセロールトリアセトアセテート、ペンタエリスリトールトリアセトアセテート、ペンタエリスリトールテトラアセトアセテート、ジトリメチロールプロパンテトラアセトアセテート、アセト酢酸エステル基含有オリゴマー、アセト酢酸エチルと水酸基含有オリゴマー又はポリマーとのエステル交換反応物及びメタクリル酸−2−アセトアセトキシエチルの重合によって得られるアセト酢酸エステル基含有オリゴマー又はポリマーが挙げられる。尚、上記β−ジケトン部位を有する化合物又はβ−ケトエステル基を有する化合物を併用する場合、その使用量の合計は、好ましくは上記一般式(I)で表されるβ−ジケトン化合物の使用量の1質量倍以下とする。   The β-diketone compound used for obtaining the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is a β-diketone compound represented by the above general formula (I). A compound having a diketone moiety or a compound having a β-ketoester group may be used in combination. Examples of the compound having a β-diketone moiety or the β-ketoester group include 2,4-pentanedione, 2,4-hexanedione, 2,4-heptanedione, 1-methoxy-2,4-pentanedione. 1-phenyl-1,3-butanedione, 1,3-diphenyl-1,3-propanedione, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, isopropyl acetoacetate, butyl acetoacetate, tert-butyl acetoacetate, acetoacetate- 2-methoxyethyl, acetoacetate-2-ethylhexyl, lauryl acetoacetate, allyl acetoacetate, ethyl propionyl acetate, butyl propionyl acetate, methyl butyryl acetate, methyl benzoyl acetate, ethyl benzoyl acetate, butyl benzoyl acetate, 4,6-dioxo Methyl heptanoate, 5,7-dioxooctanoic acid Chill, 2-acetoacetoxyethyl acrylate, 2-acetoacetoxyethyl methacrylate, benzyl acetoacetate, 1,4-butanediol diacetoacetate, 1,6-hexanediol diacetoacetate, neopentylglycol diacetoacetate 2-ethyl-2-butyl-1,3-propanediol diacetoacetate, cyclohexanedimethanol diacetoacetate, ethoxylated bisphenol A diacetoacetate, trimethylolpropane triacetoacetate, glycerol triacetoacetate, pentaerythritol tris Acetoacetate, pentaerythritol tetraacetoacetate, ditrimethylolpropane tetraacetoacetate, acetoacetate group-containing oligomer, ethyl acetoacetate Include transesterification reaction and acetoacetic ester group-containing oligomers or polymers obtained by polymerization of methacrylic acid-2-acetoacetoxyethyl the hydroxyl group-containing oligomer or polymer. When the compound having the β-diketone moiety or the compound having a β-ketoester group is used in combination, the total amount used is preferably the amount of the β-diketone compound represented by the general formula (I). 1 mass times or less.

本発明において、上記化合物(A)の、(メタ)アクリロイル基1個に対する、上記化合物(B)のβ−ジケトン部位中のジケトンで挟まれているメチレン基の水素原子の比率は、好ましくは0.1〜1.0個、より好ましくは0.3〜1.0個であり、上記反応生成物の水酸基1個に対し、上記多塩基酸無水物(C)の酸無水物構造の比率が、好ましくは0.1〜1.0個、より好ましくは0.3〜0.9個である。   In the present invention, the ratio of the hydrogen atom of the methylene group sandwiched by the diketone in the β-diketone portion of the compound (B) to one (meth) acryloyl group of the compound (A) is preferably 0. 0.1 to 1.0, more preferably 0.3 to 1.0, and the ratio of the acid anhydride structure of the polybasic acid anhydride (C) to one hydroxyl group of the reaction product is The number is preferably 0.1 to 1.0, and more preferably 0.3 to 0.9.

本発明において、上記化合物(A)と化合物(B)の反応によって得られる反応生成物、及び該反応生成物の水酸基と、多塩基酸無水物(C)とのエステル化反応により得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(J)には、置換アクリロイル基の付加型によっては違う異性体が存在することがあるが、異性体の混合物であっても問題なく使用することができる。   In the present invention, the reaction product obtained by the reaction of the compound (A) and the compound (B), and the structure obtained by the esterification reaction of the hydroxyl group of the reaction product and the polybasic acid anhydride (C) The photopolymerizable unsaturated compound (J) may have different isomers depending on the addition type of the substituted acryloyl group, but even a mixture of isomers can be used without any problem.

本発明における、2個以上の(メタ)アクリロイル基及び水酸基を有する化合物(A)
としては、水酸基を3個以上t個以下有するポリオール化合物のt−1個以内の水酸基と、不飽和一塩基酸(E)とのエステル化反応生成物である構造であるもの、下記一般式(III)で表されるポリオールにヒドロキシ酸又はアルキレンオキシドを付加させた、水酸基を3個以上t個以下有する誘導体のt−1個以内の水酸基と、不飽和一塩基酸(E)とのエステル化反応生成物である構造であるもの、及びエポキシ化合物(D)に不飽和一塩基酸(E)を付加させた反応生成物である構造であるもの等が挙げられる。
Compound (A) having two or more (meth) acryloyl groups and hydroxyl groups in the present invention
As a structure which is an esterification reaction product of t-1 hydroxyl groups of a polyol compound having 3 to t hydroxyl groups and an unsaturated monobasic acid (E), III) Esterification of a hydroxy group or an alkylene oxide added to a polyol represented by (III) with a hydroxyl group within t-1 of a derivative having 3 to t hydroxyl groups and an unsaturated monobasic acid (E) Examples thereof include those having a structure which is a reaction product and those having a structure which is a reaction product obtained by adding an unsaturated monobasic acid (E) to an epoxy compound (D).

1(OH)s(−O−CO−L−OH)t[−(OL)w−OH]u(III)
(式中、Z1はポリオール残基であり、s、t、uは合計して3以上の数であり、Lはメチレン、エチレン、プロピレン、トリメチレン、ブチレン、テトラメチレン等のアルカンジイル基を表し、wは1〜15を表す。)
Z 1 (OH) s (—O—CO—L—OH) t [— (OL) w —OH] u (III)
(In the formula, Z 1 is a polyol residue, s, t, u are a total number of 3 or more, and L represents an alkanediyl group such as methylene, ethylene, propylene, trimethylene, butylene, tetramethylene) , W represents 1-15.)

また、上記エポキシ化合物(D)のエポキシ基1個に対し、上記不飽和一塩基酸(E)のカルボキシル基の比率は、好ましくは0.1〜1.0個、より好ましくは0.5〜1.0個である。   Moreover, the ratio of the carboxyl group of the unsaturated monobasic acid (E) to one epoxy group of the epoxy compound (D) is preferably 0.1 to 1.0, more preferably 0.5 to 1.0.

上記化合物(A)の具体的な例としては、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリメチロールエタンジアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、テトラメチロールプロパントリアクリレート、2−ヒドロキシ−3−アクリロイロキシプロピルアクリレート、及び下記の化合物No.11等が挙げられる。   Specific examples of the compound (A) include pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, trimethylolethane diacrylate, trimethylolpropane diacrylate, tetramethylolpropane triacrylate, and 2-hydroxy-3-acryloyl. Roxypropyl acrylate and the following compound No. 11 etc. are mentioned.

Figure 0005065123
Figure 0005065123

上記化合物(A)における(メタ)アクリロイル基の数は、2〜10が好ましく、2〜6がより好ましく、また水酸基の数は、1〜8が好ましく、1〜4がより好ましい。(メタ)アクリロイル基及び水酸基の数がこれらの範囲内にあると、現像性及び密着性に優れるアルカリ現像性感光性樹脂組成物が得られる。   The number of (meth) acryloyl groups in the compound (A) is preferably 2 to 10, more preferably 2 to 6, and the number of hydroxyl groups is preferably 1 to 8, and more preferably 1 to 4. When the number of (meth) acryloyl groups and hydroxyl groups is within these ranges, an alkali-developable photosensitive resin composition having excellent developability and adhesion can be obtained.

上記エポキシ化合物(D)の例としては、下記に挙げられる多官能エポキシ化合物及び上記一般式(II)で表される構造であるもの等が挙げられる。   Examples of the epoxy compound (D) include polyfunctional epoxy compounds listed below and those having a structure represented by the general formula (II).

上記多官能エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ化合物及びグリシジルエーテル類等が挙げられ、ビスフェノール型エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビス(ヒドロキシフェニル)フルオレン型エポキシ化合物等のアルキリデンビスフェノールポリグリシジルエーテル型エポキシ樹脂の他、水添ビスフェノール型エポキシ化合物等のビスフェノール型エポキシ化合物が挙げられる。
上記グリシジルエーテル類としては、例えば、エチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、1,8−オクタンジオールジグリシジルエーテル、1,10−デカンジオールジグリシジルエーテル、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジオールジグリシジルエーテル、ジエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリエチレングリコールジグリシジルエーテル、テトラエチレングリコールジグリシジルエーテル、ヘキサエチレングリコールジグリシジルエーテル、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)プロパン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)エタン、1,1,1−トリ(グリシジルオキシメチル)メタン、1,1,1,1−テトラ(グリシジルオキシメチル)メタン等が挙げられる。
Examples of the polyfunctional epoxy compound include bisphenol type epoxy compounds and glycidyl ethers, and examples of the bisphenol type epoxy compound include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, and bis (hydroxyphenyl) fluorene type epoxies. In addition to alkylidene bisphenol polyglycidyl ether type epoxy resins such as compounds, bisphenol type epoxy compounds such as hydrogenated bisphenol type epoxy compounds may be mentioned.
Examples of the glycidyl ethers include ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, 1,4-butanediol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, and 1,8-octanediol diglycidyl ether. 1,10-decanediol diglycidyl ether, 2,2-dimethyl-1,3-propanediol diglycidyl ether, diethylene glycol diglycidyl ether, triethylene glycol diglycidyl ether, tetraethylene glycol diglycidyl ether, hexaethylene glycol di Glycidyl ether, 1,4-cyclohexanedimethanol diglycidyl ether, 1,1,1-tri (glycidyloxymethyl) propane, 1,1,1 Tri (glycidyloxymethyl) ethane, 1,1,1-tri (glycidyloxymethyl) methane, 1,1,1,1- tetra (glycidyloxymethyl) methane, and the like.

上記多官能エポキシ化合物としては、その他、フェノールノボラック型エポキシ化合物、(o−、m−、p−)フェニルフェノールノボラック型エポキシ化合物、(o−、m−、p−)クレゾールノボラック型エポキシ化合物、(o−、m−、p−)ハロゲン化フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールFノボラック型エポキシ化合物、ナフトールノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物;前記エポキシ化合物の共縮合若しくは前記エポキシ化合物と芳香族炭化水素との縮合重合により形成されるノボラック型エポキシ化合物;前記エポキシ化合物とジシクロペンタジエンとの付加反応型エポキシ化合物;3,4−エポキシ−6−メチルシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシ−6’−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル−3’,4’−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、2,2−ビス(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロパン、1−エポキシエチル−3,4−エポキシシクロヘキサン等の脂環式エポキシ化合物;フタル酸ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシジルエステル等のグリシジルエステル類;テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジル−p−アミノフェノール、N,N−ジグリシジルアニリン等のグリシジルアミン類;1,3−ジグリシジル−5,5−ジメチルヒダントイン、トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ化合物;ジシクロペンタジエンジオキシド等のジオキシド化合物;ナフタレン型エポキシ化合物、トリフェニルメタン型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物;(o−、m−、p−)ヒドロキシスチレンの付加重合体又は(o−、m−、p−)ヒドロキシスチレンとエチレン及び/又はプロピレンとの共重合体の水酸基をグリシジルエーテル化させて得られるエポキシ化合物等が挙げられる。   Other examples of the polyfunctional epoxy compound include phenol novolac epoxy compounds, (o-, m-, p-) phenylphenol novolac epoxy compounds, (o-, m-, p-) cresol novolac epoxy compounds, o-, m-, p-) novolak type epoxy compounds such as halogenated phenol novolak type epoxy compounds, bisphenol A novolak type epoxy compounds, bisphenol F novolak type epoxy compounds, naphthol novolak type epoxy compounds; A novolak-type epoxy compound formed by condensation polymerization of the epoxy compound and an aromatic hydrocarbon; an addition-reaction type epoxy compound of the epoxy compound and dicyclopentadiene; 3,4-epoxy-6-methylcyclohexylme 3 ′, 4′-epoxy-6′-methylcyclohexanecarboxylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3 ′, 4′-epoxycyclohexanecarboxylate, 2,2-bis (3,4-epoxycyclohexyl) Alicyclic epoxy compounds such as propane and 1-epoxyethyl-3,4-epoxycyclohexane; glycidyl esters such as diglycidyl phthalate, diglycidyl tetrahydrophthalate and glycidyl dimer; tetraglycidyl diaminodiphenylmethane, tri Glycidylamines such as glycidyl-p-aminophenol and N, N-diglycidylaniline; heterocyclic epoxy compounds such as 1,3-diglycidyl-5,5-dimethylhydantoin and triglycidyl isocyanurate; Dioxide compounds such as lopentadiene dioxide; naphthalene type epoxy compounds, triphenylmethane type epoxy compounds, dicyclopentadiene type epoxy compounds; addition polymers of (o-, m-, p-) hydroxystyrene or (o-, m -, P-) The epoxy compound etc. which are obtained by making the hydroxyl group of the copolymer of hydroxystyrene and ethylene and / or propylene glycidyl ether are mentioned.

これらのエポキシ化合物(D)の中でも、上記一般式(II)で表される構造であるものが、エポキシ樹脂としての特性が良いので好ましい。   Among these epoxy compounds (D), those having a structure represented by the above general formula (II) are preferable because the properties as an epoxy resin are good.

上記一般式(II)中、Cyで示される炭素原子数3〜10のシクロアルキル基としては、例えば、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、メチルシクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル、シクロノニル、シクロデシル等が挙げられる。   In the general formula (II), examples of the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms represented by Cy include cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, methylcyclohexyl, cycloheptyl, cyclooctyl, cyclononyl, cyclodecyl and the like. Can be mentioned.

上記一般式(II)中、Xで示される炭素原子数3〜10のシクロアルキル基としては、例えば、Cyで示される炭素原子数3〜10のシクロアルキル基として例示したものが挙げられる。Xで示されるフェニル基又は炭素原子数3〜10のシクロアルキル基は、炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基又はハロゲン原子で置換されていても良く、該置換基としては、それぞれ、Y及びZで示されるものとして後に例示するものが挙げられる。
Y及びZで示される炭素原子数1〜10のアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、s−ブチル、t−ブチル、アミル、イソアミル、t−アミル、ヘキシル、へプチル、オクチル、イソオクチル、t−オクチル、2−エチルヘキシル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル等が挙げられる。Y及びZで示される炭素原子数1〜10のアルコキシ基としては、例えば、メトキシ、エトキシ、プロピルオキシ、ブチルオキシ、メトキシエチル、エトキシエチル、プロピロキシエチル、メトキシエトキシエチル、エトキシエトキシエチル、プロピロキシエトキシエチル、メトキシプロピル等が挙げられる。Y及びZで示される炭素原子数2〜10のアルケニル基としては、例えば、ビニル、アリル、ブテニル、プロペニル等が挙げられる、Y及びZで示されるハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。
また、Xで示されるフェニル基及び炭素原子数3〜10のシクロアルキル基が置換されていてもよい上記のアルキル基及びアルコキシ基、並びにY及びZで示される上記のアルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基は、ハロゲン原子で置換されていてもよく、該ハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。例えば、フッ素原子で置換された炭素原子数1〜10のアルキル基としては、例えば、モノフルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロエチル、パーフルオロエチル等が挙げられる。
In the general formula (II), examples of the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms represented by X include those exemplified as the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms represented by Cy. The phenyl group represented by X or the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms may be substituted with an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, or a halogen atom, Examples of the substituent include those exemplified later as those represented by Y and Z, respectively.
Examples of the alkyl group having 1 to 10 carbon atoms represented by Y and Z include, for example, methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, s-butyl, t-butyl, amyl, isoamyl, t-amyl, hexyl, Examples include heptyl, octyl, isooctyl, t-octyl, 2-ethylhexyl, nonyl, isononyl, decyl, isodecyl and the like. Examples of the alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms represented by Y and Z include, for example, methoxy, ethoxy, propyloxy, butyloxy, methoxyethyl, ethoxyethyl, propyloxyethyl, methoxyethoxyethyl, ethoxyethoxyethyl, propyloxyethoxy Examples include ethyl and methoxypropyl. Examples of the alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms represented by Y and Z include vinyl, allyl, butenyl, propenyl, etc. Examples of the halogen atom represented by Y and Z include fluorine, chlorine, bromine and iodine. Is mentioned.
In addition, the phenyl group represented by X and the cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms may be substituted, and the alkyl group, alkoxy group and alkenyl represented by Y and Z. The group may be substituted with a halogen atom, and examples of the halogen atom include fluorine, chlorine, bromine and iodine. For example, as a C1-C10 alkyl group substituted by the fluorine atom, monofluoromethyl, difluoromethyl, trifluoromethyl, trifluoroethyl, perfluoroethyl etc. are mentioned, for example.

本発明における、上記一般式(II)で表される好ましいエポキシ化合物(D)としては、例えば、下記の化合物No.12〜No.20等が挙げられる。   As a preferable epoxy compound (D) represented by the general formula (II) in the present invention, for example, the following compound No. 12-No. 20 etc. are mentioned.

Figure 0005065123
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Figure 0005065123
(上記化合物No.13において、H3C−は位置を特定していない事を表す。)
Figure 0005065123
(In the above compound No. 13, H 3 C- represents that the position is not specified.)

Figure 0005065123
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Figure 0005065123
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Figure 0005065123
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Figure 0005065123
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Figure 0005065123
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Figure 0005065123
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上記エポキシ化合物(D)において、上記一般式(II)で表される構造である化合物の中でも、Cyがシクロヘキシル基であり、Xがフェニル基であり、m及びrが0である事が好ましい理由は、原料が入手容易であり生産性が良いからである。   Among the compounds having the structure represented by the general formula (II) in the epoxy compound (D), it is preferable that Cy is a cyclohexyl group, X is a phenyl group, and m and r are 0. This is because the raw materials are easily available and the productivity is good.

本発明において、上記一般式(II)で表されるエポキシ化合物(D)の製造方法は特に限定されるものではないが、例えば、下記〔化24〕に示すように、置換フェニルシクロアルキルケトン(1)とフェノール誘導体とを酸触媒存在下に反応させることによってビスフェノール化合物(2)を得て、これとエピクロルヒドリンとをアルカリ又はルイス酸または相間移動触媒の存在下に反応させることによって容易に製造することができる。   In the present invention, the production method of the epoxy compound (D) represented by the general formula (II) is not particularly limited. For example, as shown in the following [Chemical Formula 24], a substituted phenylcycloalkyl ketone ( A bisphenol compound (2) is obtained by reacting 1) with a phenol derivative in the presence of an acid catalyst, and is easily produced by reacting this with epichlorohydrin in the presence of an alkali or Lewis acid or a phase transfer catalyst. be able to.

Figure 0005065123
Figure 0005065123

上記ビスフェノール化合物(2)は、従来公知の条件によって製造することができ、例えば、酸性触媒の存在下、20〜200℃の温度で1〜40時間反応させることにより得られる。   The said bisphenol compound (2) can be manufactured by conventionally well-known conditions, for example, is obtained by making it react at the temperature of 20-200 degreeC for 1 to 40 hours in presence of an acidic catalyst.

上記酸性触媒としては、例えば、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、m−キシレンスルホン酸、p−トルエンスルホン酸、ヒドロキシメチルスルホン酸、2−ヒドロキシエチルスルホン酸、ヒドロキシプロピルスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、スルホサリチル酸、スルホフタル酸等のスルホン酸類;硫酸、無水硫酸、発煙硫酸、クロロ硫酸、フルオロ硫酸、塩酸、塩化水素ガス、シュウ酸、ギ酸、リン酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、ケイタングステン酸、リンタングステン酸等のヘテロポリ酸、強酸性のイオン交換樹脂、活性白土、三フッ化ホウ素、無水塩化アルミニウム、塩化亜鉛等が挙げられる。該酸性触媒は、上記置換フェニルシクロアルキルケトン(1)100質量部に対して、好ましくは0.1〜70質量部、より好ましくは40〜80質量部用いられる。   Examples of the acidic catalyst include methanesulfonic acid, benzenesulfonic acid, m-xylenesulfonic acid, p-toluenesulfonic acid, hydroxymethylsulfonic acid, 2-hydroxyethylsulfonic acid, hydroxypropylsulfonic acid, trifluoromethanesulfonic acid, Sulfonic acids such as sulfosalicylic acid and sulfophthalic acid; sulfuric acid, sulfuric anhydride, fuming sulfuric acid, chlorosulfuric acid, fluorosulfuric acid, hydrochloric acid, hydrogen chloride gas, oxalic acid, formic acid, phosphoric acid, trichloroacetic acid, trifluoroacetic acid, silicotungstic acid, phosphorus Examples include heteropolyacids such as tungstic acid, strongly acidic ion exchange resins, activated clay, boron trifluoride, anhydrous aluminum chloride, and zinc chloride. The acidic catalyst is preferably used in an amount of 0.1 to 70 parts by mass, more preferably 40 to 80 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the substituted phenylcycloalkylketone (1).

さらに、反応を促進するためにメルカプタン触媒を使用することができ、該メルカプタン触媒としては、例えば、メチルメルカプタン、エチルメルカプタン、プロピルメルカプタン、ブチルメルカプタン、オクチルメルカプタン、ドデシルメルカプタン、1,6−ヘキサンジチオール等のアルキルメルカプタン類;チオフェノール、チオクレゾール等の芳香族メルカプタン類;メルカプト酢酸(チオグリコール酸)、3−メルカプトプロピオン酸、メルカプトウンデカン酸、チオ安息香酸等のメルカプト有機酸類;2−メルカプトベンゾチアゾール等の複素環族メルカプタン類等が挙げられる。   Further, a mercaptan catalyst can be used to promote the reaction. Examples of the mercaptan catalyst include methyl mercaptan, ethyl mercaptan, propyl mercaptan, butyl mercaptan, octyl mercaptan, dodecyl mercaptan, 1,6-hexanedithiol, and the like. Alkyl mercaptans; aromatic mercaptans such as thiophenol and thiocresol; mercapto organic acids such as mercaptoacetic acid (thioglycolic acid), 3-mercaptopropionic acid, mercaptoundecanoic acid and thiobenzoic acid; 2-mercaptobenzothiazole, etc. And heterocyclic mercaptans.

また、上記反応には、従来公知の溶媒を使用することができ、反応溶媒としては、例えば、トルエン、キシレン、クメン等の芳香族炭化水素系溶媒;テレピン油、D−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油(株))、ソルベッソ#100(エクソン化学(株))等のパラフィン系溶剤;メタノール、エタノール等のアルコール系溶媒;酢酸エチル等のエステル溶媒;ジクロロエタン、四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン、クロロベンゼン等のハロゲン系溶媒;テトラヒドロフラン、ジオキサン等の環状エーテル系溶媒;エーテル類、セロソルブ系溶媒、ケトン系溶媒、アニリン、トリエチルアミン、ピリジン、ジオキサン、酢酸、アセトニトリル、二硫化炭素等が挙げられる。   Moreover, a conventionally well-known solvent can be used for the said reaction, For example, terpene, such as aromatic hydrocarbon type solvents, such as toluene, xylene, cumene; terpine oil, D-limonene, pinene, etc. Hydrocarbon oils; mineral spirits, paraffinic solvents such as Swazol # 310 (Cosmo Matsuyama Oil Co., Ltd.), Solvesso # 100 (Exxon Chemical Co., Ltd.); alcoholic solvents such as methanol and ethanol; esters such as ethyl acetate Solvents: Halogen solvents such as dichloroethane, carbon tetrachloride, chloroform, trichloroethylene, methylene chloride, chlorobenzene; cyclic ether solvents such as tetrahydrofuran and dioxane; ethers, cellosolve solvents, ketone solvents, aniline, triethylamine, pyridine, dioxane , Acetic acid, acetonitrile , Carbon disulfide, and the like.

上記一般式(II)で表されるエポキシ化合物(D)は、上記ビスフェノール化合物(2
)とエピクロルヒドリンとから従来公知の条件によって製造することができる。
例えば、アルカリ又はルイス酸又は相間移動触媒の存在下、20〜100℃、特に30〜80℃の範囲で反応を行なう。20℃未満であると反応が遅くなり長時間の反応が必要となり、100℃を越えると副反応が多く起こり好ましくない。
The epoxy compound (D) represented by the general formula (II) is a bisphenol compound (2
) And epichlorohydrin can be produced under known conditions.
For example, the reaction is carried out in the range of 20 to 100 ° C., particularly 30 to 80 ° C. in the presence of an alkali or Lewis acid or a phase transfer catalyst. If it is less than 20 ° C., the reaction is delayed and a long reaction time is required.

上記反応で使用されるアルカリとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム等が挙げられ、ルイス酸としては、例えば、上記で例示した如き酸性触媒、四塩化スズ、三フッ化ホウ素、四塩化チタン、活性白土、塩化アルミニウム、塩化マグネシウム、過マンガン酸カリウム、クロム酸カリウム等が挙げられ、相間移動触媒としては、例えば、テトラメチルアンモニウムクロリド、テトラブチルアンモニウムブロミド、メチルトリオクチルアンモニウムクロリド、メチルトリデシルアンモニウムクロリド、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド、N,N−ジメチルピロリジニウムクロリド、N−エチル−N−メチルピロリジニウムヨージド、N−ブチル−N−メチルピロリジニウムブロミド、N−ベンジル−N−メチルピロリジニウムクロリド、N−エチル−N−メチルピロリジニウムブロミド、N−ブチル−N−メチルモルホリニウムブロミド、N−ブチル−N−メチルモルホリニウムヨージド、N−アリル−N−メチルモルホリニウムブロミド、N−メチル−N−ベンジルピペリジニウムクロリド、N−メチル−N−ベンジルピペリジニウムブロミド、N,N−ジメチルピペリジニウムヨージド、N−メチル−N−エチルピペリジニウムアセテート、N−メチル−N−エチルピペリジニウムヨージド等が挙げられる。   Examples of the alkali used in the above reaction include sodium hydroxide, potassium hydroxide, calcium hydroxide and the like, and examples of the Lewis acid include acidic catalysts such as those exemplified above, tin tetrachloride, trifluoride. Boron, titanium tetrachloride, activated clay, aluminum chloride, magnesium chloride, potassium permanganate, potassium chromate and the like can be mentioned. Examples of the phase transfer catalyst include tetramethylammonium chloride, tetrabutylammonium bromide, methyltrioctylammonium. Chloride, methyltridecylammonium chloride, benzyltriethylammonium chloride, N, N-dimethylpyrrolidinium chloride, N-ethyl-N-methylpyrrolidinium iodide, N-butyl-N-methylpyrrolidinium bromide, N- Benzyl -Methylpyrrolidinium chloride, N-ethyl-N-methylpyrrolidinium bromide, N-butyl-N-methylmorpholinium bromide, N-butyl-N-methylmorpholinium iodide, N-allyl-N- Methylmorpholinium bromide, N-methyl-N-benzylpiperidinium chloride, N-methyl-N-benzylpiperidinium bromide, N, N-dimethylpiperidinium iodide, N-methyl-N-ethylpiperidi Examples thereof include nium acetate and N-methyl-N-ethylpiperidinium iodide.

本反応におけるエピクロルヒドリンの使用量は、ビスフェノール化合物(2)の水酸基1個に対し、1モル以上、特に2〜10モルの範囲で使用され、アルカリは水酸基1個に対し、0.1〜2.0モル、特に0.3〜1.5モル使用され、ルイス酸又は相間移動触媒は、ビスフェノール化合物(2)の水酸基1個に対し、0.01〜10モル%、特に0.2〜5モル%使用される。   The amount of epichlorohydrin used in this reaction is 1 mole or more, particularly 2 to 10 moles per 1 hydroxyl group of the bisphenol compound (2), and the alkali is 0.1 to 2 mol per hydroxyl group. 0 mol, especially 0.3 to 1.5 mol is used, and the Lewis acid or phase transfer catalyst is 0.01 to 10 mol%, particularly 0.2 to 5 mol, based on one hydroxyl group of the bisphenol compound (2). %used.

本反応はビスフェノール化合物(2)の製造の欄で例示した如き溶媒を使用することができる。また、過剰のエピクロルヒドリンを溶媒として使用することもできる。   In this reaction, a solvent as exemplified in the column of production of bisphenol compound (2) can be used. Excess epichlorohydrin can also be used as a solvent.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物の調製に使用される不飽和一塩基酸(E)は、該アルカリ現像性感光性樹脂組成物の感度を向上させるために用いられ、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒドロキシエチルメタクリレート・マレート、ヒドロキシエチルアクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート・マレート、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレート、ジシクロペンタジエン・マレート或いは1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレート等が挙げられる。   The unsaturated monobasic acid (E) used in the preparation of the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is used to improve the sensitivity of the alkali-developable photosensitive resin composition, for example, acrylic acid , Methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid, sorbic acid, hydroxyethyl methacrylate / malate, hydroxyethyl acrylate / malate, hydroxypropyl methacrylate / malate, hydroxypropyl acrylate / malate, dicyclopentadiene / malate or one carboxyl group and 2 And polyfunctional (meth) acrylates having at least one (meth) acryloyl group.

上記1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレートは、例えば1分子中に1個のヒドロキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレートと二塩基酸無水物又はカルボン酸とを反応させることによって得ることができる。   The polyfunctional (meth) acrylate having one carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups has, for example, one hydroxyl group and two or more (meth) acryloyl groups in one molecule. It can be obtained by reacting a polyfunctional (meth) acrylate with a dibasic acid anhydride or carboxylic acid.

上記1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能(メタ)アクリレートとしては、下記化合物No.21〜No.23を挙げることができる。   Examples of the polyfunctional (meth) acrylate having one carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups include the following compound Nos. 21-No. 23.

Figure 0005065123
Figure 0005065123

Figure 0005065123
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Figure 0005065123
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本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物を得るために使用される多塩基酸無水物(C)としては、無水コハク酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無水フタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸、無水トリアルキルテトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルヘキサヒドロフタル酸、無水ドデセニルコハク酸、無水メチルハイミック酸等の一無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、無水ピロメリット酸、無水3,3’−4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、無水2,2’−3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸、3,3’,4,4’−ジフェニルテトラスルホン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、2,3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフリル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、無水トリアルキルテトラヒドロフタル酸−無水マレイン酸付加物、meso−ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸無水物等の二無水物、グリセロールトリス(アンヒドロトリメリテート)等の三無水物が挙げられ、二無水物と一無水物組み合わせても良いが、これらの中でも特に一無水物が好ましい。   Examples of the polybasic acid anhydride (C) used for obtaining the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention include succinic anhydride, maleic anhydride, trimellitic anhydride, phthalic anhydride, and methyltetrahydrophthalic anhydride. Monoanhydrides such as acid, tetrahydrophthalic anhydride, nadic anhydride, methyl nadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyl hexahydrophthalic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, methyl hymic anhydride 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromellitic anhydride, 3,3′-4,4′-benzophenone tetracarboxylic acid anhydride, ethylene glycol bis (anhydrotrimellitate) 2,2′-3,3′-benzophenonetetracarboxylic anhydride, 3,3 ′, 4,4′- Phenyltetrasulfonic dianhydride, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride, 5- (2,5-dioxotetrahydrofuryl) -3-methyl- 3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride-maleic anhydride adduct, meso-butane-1,2 , 3,4-tetracarboxylic acid anhydrides and other dianhydrides, glycerol tris (anhydro trimellitate) and other dianhydrides, and dianhydrides and monoanhydrides may be combined. Monoanhydride is particularly preferable.

本発明における、2個以上の(メタ)アクリロイル基及び水酸基を有する化合物(A)に対し、上記一般式(I)で表されるβ−ジケトン化合物(B)を付加させて得られた反応生成物の製造に際し、2個以上の(メタ)アクリロイル基及び水酸基を有する化合物(A)を必須とするが、(メタ)アクリロイル基を有し水酸基を有しない化合物(A’)を、本発明の効果を損なわない範囲(化合物(A)100質量部に対して、500質量部以下)で、混合して製造することもできる。このようにして得られた反応生成物に対し、多塩基酸無水物(C)をエステル化させて得られる構造を有する光重合性不飽和化合物(J)の含有量は、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において好ましくは1〜70質量%、より好ましくは20〜60質量%であり、固形分の酸価が好ましくは20〜100mg・KOH/g、より好ましくは50〜100mg・KOH/gの範囲である。
尚、上記(メタ)アクリロイル基を有し水酸基を有しない化合物(A’)としては、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、イソシアヌル酸EO変性トリアクリレート、ビスフェノールAEO変性ジアクリレート、ビスフェノールFEO変性ジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパンPO変性トリアクリレート等が挙げられる。
Reaction product obtained by adding the β-diketone compound (B) represented by the above general formula (I) to the compound (A) having two or more (meth) acryloyl groups and hydroxyl groups in the present invention. In the production of the product, the compound (A) having two or more (meth) acryloyl groups and a hydroxyl group is essential, but the compound (A ′) having a (meth) acryloyl group and not having a hydroxyl group is converted into the present invention. It can also be produced by mixing within the range not impairing the effect (500 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the compound (A)). The content of the photopolymerizable unsaturated compound (J) having a structure obtained by esterifying the polybasic acid anhydride (C) to the reaction product thus obtained is determined by the alkali development of the present invention. In the photosensitive photosensitive resin composition, it is preferably 1 to 70% by mass, more preferably 20 to 60% by mass, and the acid value of the solid content is preferably 20 to 100 mg · KOH / g, more preferably 50 to 100 mg · KOH. / G.
Examples of the compound (A ′) having a (meth) acryloyl group and not having a hydroxyl group include pentaerythritol tetraacrylate, trimethylolpropane triacrylate, tricyclodecane dimethanol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and ditrimethylol. Examples include propane tetraacrylate, isocyanuric acid EO-modified triacrylate, bisphenol AEO-modified diacrylate, bisphenol FEO-modified diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, and trimethylolpropane PO-modified triacrylate.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物には、上記光重合性不飽和化合物(J)の他に、溶媒を含有させてもよく、例えば、上記光重合性不飽和化合物(J)の含有量を上記の好ましい範囲とする場合、光重合性不飽和化合物(J)以外の残部には溶媒を用いることができる。該溶媒の具体例としては、後述の溶媒として例示するものが挙げられる。また、(A)〜(E)成分から上記光重合性不飽和化合物(J)を合成する際に用いた溶媒を除去せず、そのまま本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物に含有させてもよい。また、(A)〜(E)各成分は1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。   The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention may contain a solvent in addition to the photopolymerizable unsaturated compound (J), for example, the photopolymerizable unsaturated compound (J). When the amount is within the above preferred range, a solvent can be used for the remainder other than the photopolymerizable unsaturated compound (J). Specific examples of the solvent include those exemplified as the solvent described later. Moreover, without removing the solvent used when synthesizing the photopolymerizable unsaturated compound (J) from the components (A) to (E), it is contained in the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention as it is. Also good. Moreover, (A)-(E) each component can be used by 1 type or in mixture of 2 or more types.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、光重合開始剤(F)を加えることなく、アルカリ現像性感光性樹脂組成物として用いることができるが、より高感度の樹脂組成物を得るために、光重合開始剤(F)及び溶媒と混合して、アルカリ現像性感光性樹脂組成物としてもよい。   The alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention can be used as an alkali-developable photosensitive resin composition without adding a photopolymerization initiator (F), but in order to obtain a more sensitive resin composition. Further, it may be mixed with a photopolymerization initiator (F) and a solvent to form an alkali-developable photosensitive resin composition.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において、光重合開始剤(F)を用いた場合の前記光重合性不飽和化合物(J)の含有量は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物から溶媒を除く全固形分の合計質量に占める割合で好ましくは30〜90質量%、より好ましくは40〜80質量%である。   In the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, when the photopolymerization initiator (F) is used, the content of the photopolymerizable unsaturated compound (J) is from the alkali-developable photosensitive resin composition to the solvent. It is preferably 30 to 90% by mass, more preferably 40 to 80% by mass, based on the total mass of all solids excluding.

上記光重合開始剤(F)としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、1−ヒドロキシ−1−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンゾイン、ベンジルジメチルケタール、1−ベンジル−1−ジメチルアミノ−1−(4'−モルホリノベンゾイル)プロパン、2−モルホリル−2−(4'−メチルメルカプト)ベンゾイルプロパン、チオキサントン、1−クロル−4−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、4−ベンゾイル−4'−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、2−ヒドロキシ−2−ベンゾイルプロパン、2−ヒドロキシ−2−(4'−イソプロピル)ベンゾイルプロパン、4−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、4−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、1,7−ビス(9'−アクリジニル)ヘプタン、9−n−ブチル−3,6−ビス(2'−モルホリノイソブチロイル)カルバゾール、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ナフチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,2−ビス(2−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1−2’−ビイミダゾール、4、4−アゾビスイソブチロニトリル、トリフェニルホスフィン、カンファーキノン、N−1414、N−1717、N−1919、PZ−408((株)ADEKA社製)、IRGACURE369、IRGACURE907、IRGACURE OXE 01、IRGACURE OXE 02(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)社製)、過酸化ベンゾイル、下記一般式(IV)〜(VI)で表される化合物等が挙げられ、これらの光重合開始剤は、1種又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの他の光重合開始剤を使用する場合、その使用量は、好ましくは本発明のβ−ジケトン化合物の使用量の1質量倍以下とする。   As the photopolymerization initiator (F), conventionally known compounds can be used. For example, benzophenone, phenylbiphenyl ketone, 1-hydroxy-1-benzoylcyclohexane, benzoin, benzyldimethyl ketal, 1-benzyl- 1-dimethylamino-1- (4′-morpholinobenzoyl) propane, 2-morpholyl-2- (4′-methylmercapto) benzoylpropane, thioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, ethyl Anthraquinone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, benzoin butyl ether, 2-hydroxy-2-benzoylpropane, 2-hydroxy-2- (4′-isopropyl) benzoylpropane, 4-butyl Benzoyltrichloromethane, 4-phenoxybenzoyldichloromethane, methyl benzoylformate, 1,7-bis (9′-acridinyl) heptane, 9-n-butyl-3,6-bis (2′-morpholinoisobutyroyl) carbazole, 2 -Methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-naphthyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s -Triazine, 2,2-bis (2-chlorophenyl) -4,5,4 ', 5'-tetraphenyl-1-2'-biimidazole, 4,4-azobisisobutyronitrile, triphenylphosphine, Camphorquinone, N-1414, N-1717, N-1919, PZ-408 (manufactured by ADEKA), IRGACU E369, IRGACURE907, IRGACURE OXE 01, IRGACURE OXE 02 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), benzoyl peroxide, compounds represented by the following general formulas (IV) to (VI), and the like. A photoinitiator can be used 1 type or in combination of 2 or more types. When using these other photopolymerization initiators, the amount used is preferably 1 mass times or less the amount of the β-diketone compound of the present invention.

Figure 0005065123
(式中、R51、R52及びR53は、それぞれ独立に、上記一般式(I)におけるR2と同じであり、Y2は、ハロゲン原子又はアルキル基を表し、gは0〜5の整数である。)
Figure 0005065123
Wherein R 51 , R 52 and R 53 are each independently the same as R 2 in the general formula (I), Y 2 represents a halogen atom or an alkyl group, and g is 0-5. (It is an integer.)

Figure 0005065123
(式中、R51、R52、R53及びY2は上記一般式(IV)と同じであり、R’51、R’52及びR’53は、R51と同じであり、Y’2はY2と同じであり、R54はジオール残基又はジチオール残基を表し、Z2は酸素原子又は硫黄原子を表し、e及びfは、それぞれ独立に、0〜4の整数である。)
Figure 0005065123
(In the formula, R 51 , R 52 , R 53 and Y 2 are the same as those in the general formula (IV), R ′ 51 , R ′ 52 and R ′ 53 are the same as R 51 , and Y ′ 2 Is the same as Y 2 , R 54 represents a diol residue or a dithiol residue, Z 2 represents an oxygen atom or a sulfur atom, and e and f are each independently an integer of 0 to 4.)

Figure 0005065123
(式中、R51、R52、R53及びY2は上記一般式(IV)と同じであり、Z3は酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を表し、Aは複素環基を表し、gは0〜4の整数であり、pは0〜5の整数であり、qは0又は1である。)
Figure 0005065123
(In the formula, R 51 , R 52 , R 53 and Y 2 are the same as those in the general formula (IV), Z 3 represents an oxygen atom, a sulfur atom or a selenium atom, A represents a heterocyclic group, g Is an integer from 0 to 4, p is an integer from 0 to 5, and q is 0 or 1.)

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において、上記光重合開始剤(F)の含有量は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物から溶媒を除く全固形分の合計質量に占める割合で好ましくは0.01〜20質量%、より好ましくは0.05〜20質量%である。また、上記光重合開始剤(F)は1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。   In the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, the content of the photopolymerization initiator (F) is preferably a proportion of the total mass of the total solid content excluding the solvent from the alkali-developable photosensitive resin composition. It is 0.01-20 mass%, More preferably, it is 0.05-20 mass%. Moreover, the said photoinitiator (F) can be used by 1 type or in mixture of 2 or more types.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物に含まれる溶媒としては、通常、前記の各成分を溶解または分散しえる溶媒であれば特に制限はないが、例えば、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、ジエチルケトン、アセトン、メチルイソプロピルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、1,2−ジメトキシエタン、1,2−ジエトキシエタン、ジプロピレングリコールジメチルエーテル等のエーテル系溶媒;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸−n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸−n−ブチル等のエステル系溶媒;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等のセルソルブ系溶媒;メタノール、エタノール、イソ−又はn−プロパノール、イソ−又はn−ブタノール、アミルアルコール等のアルコール系溶媒;ベンゼン、トルエン、キシレン等のBTX系溶媒;ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶媒;テレピン油、D−リモネン、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラルスピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油(株))、ソルベッソ#100(エクソン化学(株))等のパラフィン系溶媒;四塩化炭素、クロロホルム、トリクロロエチレン、塩化メチレン等のハロゲン化脂肪族炭化水素系溶媒;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族炭化水素系溶媒;カルビトール系溶媒、アニリン、トリエチルアミン、ピリジン、酢酸、アセトニトリル、二硫化炭素、N,N−ジメチルホルムアミド、N−メチルピロリドン等が挙げられ、中でも、ケトン類或いはセロソルブ系溶媒が好ましい。これらの溶媒は1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において、上記溶媒の含有量は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物に占める全固形分濃度が好ましくは5〜40質量%、より好ましくは10〜30質量%となるように調整するとよい。
The solvent contained in the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited as long as it is a solvent that can dissolve or disperse the above-mentioned components. For example, methyl ethyl ketone, methyl amyl ketone, diethyl ketone Ketones such as acetone, methyl isopropyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone; ether solvents such as ethyl ether, dioxane, tetrahydrofuran, 1,2-dimethoxyethane, 1,2-diethoxyethane, dipropylene glycol dimethyl ether; acetic acid Ester solvents such as methyl, ethyl acetate, acetic acid-n-propyl, isopropyl acetate, acetic acid-n-butyl; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate Cellsolve solvents of: alcohol solvents such as methanol, ethanol, iso- or n-propanol, iso- or n-butanol, amyl alcohol; BTX solvents such as benzene, toluene, xylene; hexane, heptane, octane, cyclohexane, etc. Terpene hydrocarbon oils such as turpentine oil, D-limonene and pinene; mineral spirits, swazol # 310 (Cosmo Matsuyama Oil Co., Ltd.), Solvesso # 100 (Exxon Chemical Co., Ltd.), etc. Paraffinic solvents; halogenated aliphatic hydrocarbon solvents such as carbon tetrachloride, chloroform, trichloroethylene, and methylene chloride; halogenated aromatic hydrocarbon solvents such as chlorobenzene; carbitol solvents, aniline, triethylamine, pyridine, acetic acid , Acetonitrile, disulfur Carbon, N, N- dimethylformamide, N- methylpyrrolidone, and among these, ketones or cellosolve solvent. These solvents can be used alone or in combination of two or more.
In the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, the content of the solvent is preferably 5 to 40% by mass, more preferably 10 to 30% by mass, based on the total solid content in the alkali-developable photosensitive resin composition. It is good to adjust it to be%.

本発明の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、上記アルカリ現像性感光性樹脂組成物に、色材(G)を含有させたものである。   The colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is obtained by adding the coloring material (G) to the alkali-developable photosensitive resin composition.

本発明の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物に色材として使用される顔料としては、従来のカラーフィルタの製造に使用されている公知の顔料をいずれも用いることができる。以下に、有機顔料の具体例をカラーインデックス(C.I.)ナンバーで示す。尚、下記一覧中、「x」で表されるのはC.I.ナンバーから任意で選択できる整数である。
・PigmentBlue:
<C.I>1,1:2,1:x,9:x,15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:5,15:6,16,24,24:x,56,60,61,62
・PigmentGreen:
<C.I>1,1:x,2,2:x,4,7,10,36
・PigmentOrange
<C.I>2,5,13,16,17:1,31,34,36,38,43,46,48,49,51,52,59,60,61,62,64
・PigmentRed
<C.I>1,2,3,4,5,6,7,9,10,14,17,22,23,31,38,41,48:1,48:2,48:3,48:4,49,49:1,49:2,52:1,52:2,53:1,57:1,60:1,63:1,66,67,81:1,81:3,81:x,83,88,90,112,119,122,123,144,146,149,166,168,169,170,171,172,175,176,177,178,179,184,185,187,188,190,200,202,206,207,208,209,210,216,224、226
・PigmentViolet:
<C.I>1,1:x,3,3:3,3:x,5:1,19,23,27,32,42
・PigmentYellow
<C.I>1,3,12,13,14,16,17,24,55,60,65,73,74,81,83,93,95,97,98,100,101,104,106,108,109,110,113,114,116,117,119,120,126,127,128,129,138,139,150,151,152,153,154,156,175
As the pigment used as the coloring material in the colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, any of the known pigments used in the production of conventional color filters can be used. Specific examples of organic pigments are shown by color index (CI) numbers below. In the list below, “x” represents C.I. I. It is an integer that can be arbitrarily selected from the numbers.
・ PigmentBlue:
<C. I> 1, 1: 2, 1: x, 9: x, 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 5, 15: 6, 16, 24, 24: x, 56, 60, 61, 62
・ PigmentGreen:
<C. I> 1,1: x, 2,2: x, 4,7,10,36
・ Pigment Orange
<C. I> 2, 5, 13, 16, 17: 1, 31, 34, 36, 38, 43, 46, 48, 49, 51, 52, 59, 60, 61, 62, 64
・ PigmentRed
<C. I> 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 14, 17, 22, 23, 31, 38, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4 49, 49: 1, 49: 2, 52: 1, 52: 2, 53: 1, 57: 1, 60: 1, 63: 1, 66, 67, 81: 1, 81: 3, 81: x, 83, 88, 90, 112, 119, 122, 123, 144, 146, 149, 166, 168, 169, 170, 171, 172, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 190, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 216, 224, 226
・ PigmentViolet:
<C. I> 1, 1: x, 3, 3: 3, 3: x, 5: 1, 19, 23, 27, 32, 42
・ Pigment Yellow
<C. I> 1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 24, 55, 60, 65, 73, 74, 81, 83, 93, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109,110,113,114,116,117,119,120,126,127,128,129,138,139,150,151,152,153,154,156,175

また、黒色顔料としては、三菱化学社製のカーボンブラック#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#970、#960、#950、#900、#850、MCF88、#650、MA600、MA7、MA8、MA11、MA100、MA220、IL30B、IL31B、IL7B、IL11B、IL52B、#4000、#4010、#55、#52、#50、#47、#45、#44、#40、#33、#32、#30、#20、#10、#5、CF9、#3050、#3150、#3250、#3750、#3950、ダイヤブラックA、ダイヤブラックN220M、ダイヤブラックN234、ダイヤブラックI、ダイヤブラックLI、ダイヤブラックLH、ダイヤブラックN339、ダイヤブラックSH、ダイヤブラックSHA、ダイヤブラックLH、ダイヤブラックH、ダイヤブラックHA、ダイヤブラックSF,ダイヤブラックN550M、ダイヤブラックE、ダイヤブラックG、ダイヤブラックR、ダイヤブラックN760M、ダイヤブラックLR、キャンカーブ社製のカーボンブラックサーマックスN990、N991、N907、N908、N990、N991、N908、旭カーボン社製のカーボンブラック旭#80、旭#70、旭#70L、旭F−200、旭#66、旭#66U、旭#50、旭#35、旭#15、アサヒサーマル、デグザ社製のカーボンブラックColorBlackFw200、ColorBlackFw2、ColorBlackFw2V、ColorBlackFw1、ColorBlackFw18、ColorBlackS170、ColorBlackS160、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、SpecialBlack4A、SpecialBlack250、SpecialBlack350、PrintexU、PrintexV、Printex140U、Printex140V(いずれも商品名)等が挙げられる。   Further, as black pigments, carbon blacks # 2400, # 2350, # 2300, # 2200, # 1000, # 980, # 970, # 960, # 950, # 900, # 850, MCF88, # manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation 650, MA600, MA7, MA8, MA11, MA100, MA220, IL30B, IL31B, IL7B, IL11B, IL52B, # 4000, # 4010, # 55, # 52, # 50, # 47, # 45, # 44, # 40 , # 33, # 32, # 30, # 20, # 10, # 5, CF9, # 3050, # 3150, # 3250, # 3750, # 3950, Diamond Black A, Diamond Black N220M, Diamond Black N234, Diamond Black I, diamond black LI, diamond black LH, diamond black N339, diamond Rack SH, Diamond Black SHA, Diamond Black LH, Diamond Black H, Diamond Black HA, Diamond Black SF, Diamond Black N550M, Diamond Black E, Diamond Black G, Diamond Black R, Diamond Black N760M, Diamond Black LR, Can Curve Inc. Carbon Black Thermax N990, N991, N907, N908, N990, N991, N908 manufactured by Asahi Carbon Co., Ltd. Carbon Black Asahi # 80, Asahi # 70, Asahi # 70L, Asahi F-200, Asahi # 66, Asahi # 66U, Asahi # 50, Asahi # 35, Asahi # 15, Asahi Thermal, Degussa carbon black ColorBlackFw200, ColorBlackFw2, ColorBlackFw2V, ColorBlackFw1, ColorBlack Fw18, ColorBlackS170, ColorBlackS160, SpecialBlack6, SpecialBlack5, SpecialBlack4, SpecialBlack4A, SpecialBlack250, SpecialBlack350, PrintexU, PrintexV, Printex140U, Printex140V (both trade names), and the like.

その他顔料としては、ミロリブルー、酸化鉄、酸化チタン、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、シリカ、アルミナ、コバルト系、マンガン系、タルク、クロム酸塩、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫化物、セレン化物、リン酸塩群青、紺青、コバルトブルー、セルリアンブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン、コバルトグリーン等の無機顔料も使用することができる。これらの顔料は1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。   Other pigments include miloli blue, iron oxide, titanium oxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, silica, alumina, cobalt, manganese, talc, chromate, ferrocyanide, various metal sulfates, sulfides, selenides, Inorganic pigments such as phosphate ultramarine blue, bitumen, cobalt blue, cerulean blue, pyridiane, emerald green, and cobalt green can also be used. These pigments can be used alone or in combination of two or more.

上記色材(G)として用いることのできる染料としては、アゾ染料、アントラキノン染料、インジゴイド染料、トリアリールメタン染料、キサンテン染料、アリザリン染料、アクリジン染料スチルベン染料、チアゾール染料、ナフトール染料、キノリン染料、ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン染料、フタロシアニン染料、シアニン染料等の染料等が挙げられ、これらは1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。   The dyes that can be used as the colorant (G) include azo dyes, anthraquinone dyes, indigoid dyes, triarylmethane dyes, xanthene dyes, alizarin dyes, acridine dyes stilbene dyes, thiazole dyes, naphthol dyes, quinoline dyes, nitro dyes. Examples thereof include dyes, indamine dyes, oxazine dyes, phthalocyanine dyes, cyanine dyes, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物において、上記色材(G)の含有量は、着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物から溶媒を除く全固形分の合計質量に占める割合で好ましくは0.5〜70%、より好ましくは5〜60質量%である。   In the colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, the content of the colorant (G) is preferably a ratio of the total solid content excluding the solvent from the colored alkali-developable photosensitive resin composition. It is 0.5 to 70%, more preferably 5 to 60% by mass.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物には、さらに不飽和結合を有するモノマー、連鎖移動剤、界面活性剤等を併用することができる。   In the alkali-developable photosensitive resin composition and colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, a monomer having an unsaturated bond, a chain transfer agent, a surfactant and the like can be used in combination.

上記不飽和結合を有するモノマーとしては、アクリル酸−2−ヒドロキシエチル、アクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸−n−オクチル、アクリル酸イソオクチル、アクリル酸イソノニル、アクリル酸ステアリル、アクリル酸メトキシエチル、アクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリル酸亜鉛、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル、メタクリル酸−2−ヒドロキシプロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸−t−ブチル、メタクリル酸シクロヘキシル、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリシクロデカンジメチロールジアクリレート等が挙げられる。
本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物において、上記不飽和結合を有するモノマーの含有量は、アルカリ現像性感光性樹脂組成物から溶媒を除く全固形分の合計質量に占める割合で好ましくは0.01〜50質量%、より好ましくは10〜40質量%である。これらは1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。
Examples of the monomer having an unsaturated bond include: 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isobutyl acrylate, n-octyl acrylate, isooctyl acrylate, isononyl acrylate, stearyl acrylate, acrylic Methoxyethyl acid, dimethylaminoethyl acrylate, zinc acrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, butyl methacrylate, methacrylic acid Acid-t-butyl, cyclohexyl methacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythris Tall tetraacrylate, pentaerythritol triacrylate, tricyclodecane dimethylol diacrylate and the like.
In the alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, the content of the monomer having an unsaturated bond is preferably 0 in terms of the total mass of the total solid content excluding the solvent from the alkali-developable photosensitive resin composition. 0.01 to 50% by mass, more preferably 10 to 40% by mass. These may be used alone or in combination of two or more.

上記連鎖移動剤としては、チオグリコール酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、2−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプトプロピオン酸、3−メルカプト酪酸、N−(2−メルカプトプロピオニル)グリシン、2−メルカプトニコチン酸、3−〔N−(2−メルカプトエチル)カルバモイル〕プロピオン酸、3−〔N−(2−メルカプトエチル)アミノ〕プロピオン酸、N−(3−メルカプトプロピオニル)アラニン、2−メルカプトエタンスルホン酸、3−メルカプトプロパンスルホン酸、4−メルカプトブタンスルホン酸、ドデシル(4−メチルチオ)フェニルエーテル、2−メルカプトエタノール、3−メルカプト−1,2−プロパンジオール、1−メルカプト−2−プロパノール、3−メルカプト−2−ブタノール、メルカプトフェノール、2−メルカプトエチルアミン、2−メルカプトイミダゾール、2−メルカプト−3−ピリジノール、2−メルカプトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)等のメルカプト化合物、該メルカプト化合物を酸化して得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸、ヨードプロピオン酸、2−ヨードエタノール、2−ヨードエタンスルホン酸、3−ヨードプロパンスルホン酸等のヨード化アルキル化合物が挙げられる。これらは1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。   Examples of the chain transfer agent include thioglycolic acid, thiomalic acid, thiosalicylic acid, 2-mercaptopropionic acid, 3-mercaptopropionic acid, 3-mercaptobutyric acid, N- (2-mercaptopropionyl) glycine, 2-mercaptonicotinic acid, 3- [N- (2-mercaptoethyl) carbamoyl] propionic acid, 3- [N- (2-mercaptoethyl) amino] propionic acid, N- (3-mercaptopropionyl) alanine, 2-mercaptoethanesulfonic acid, 3 -Mercaptopropanesulfonic acid, 4-mercaptobutanesulfonic acid, dodecyl (4-methylthio) phenyl ether, 2-mercaptoethanol, 3-mercapto-1,2-propanediol, 1-mercapto-2-propanol, 3-mercapto- 2-butanol, mercapto Enol, 2-mercaptoethylamine, 2-mercaptoimidazole, 2-mercapto-3-pyridinol, 2-mercaptobenzothiazole, mercaptoacetic acid, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopro Mercapto compounds such as pionate), disulfide compounds obtained by oxidizing the mercapto compound, iodinated alkyls such as iodoacetic acid, iodopropionic acid, 2-iodoethanol, 2-iodoethanesulfonic acid, 3-iodopropanesulfonic acid, etc. Compounds. These may be used alone or in combination of two or more.

上記界面活性剤としては、パーフルオロアルキルリン酸エステル、パーフルオロアルキルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤、高級脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤、高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤、ポリエチレングリコールアルキルエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の非イオン界面活性剤、両性界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができ、これらは1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。   Examples of the surfactant include fluorine surfactants such as perfluoroalkyl phosphates and perfluoroalkyl carboxylates, anionic surfactants such as higher fatty acid alkali salts, alkyl sulfonates, and alkyl sulfates, and higher amines. Cationic surfactants such as halogenates and quaternary ammonium salts, nonionic surfactants such as polyethylene glycol alkyl ethers, polyethylene glycol fatty acid esters, sorbitan fatty acid esters and fatty acid monoglycerides, amphoteric surfactants, silicone surfactants Surfactants such as agents can be used, and these can be used alone or in combination of two or more.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物には、さらに熱可塑性有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該熱可塑性有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレート共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸、スチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、ポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル等が挙げられる。これらは1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。   The properties of the cured product can be improved by further using a thermoplastic organic polymer in the alkali-developable photosensitive resin composition and the colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention. Examples of the thermoplastic organic polymer include polystyrene, polymethyl methacrylate, methyl methacrylate-ethyl acrylate copolymer, poly (meth) acrylic acid, styrene- (meth) acrylic acid copolymer, (meth) acrylic acid- Examples include methyl methacrylate copolymer, polyvinyl butyral, cellulose ester, polyacrylamide, and saturated polyester. These may be used alone or in combination of two or more.

また、アルカリ現像性感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物には、必要に応じて、アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、t−ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤;可塑剤;接着促進剤;充填剤;消泡剤;分散剤;レベリング剤;シラン且つプリング剤;難燃剤等の慣用の添加物を加えることができる。これらは1種類で、又は2種類以上混合して使用することができる。   In addition, for the alkali-developable photosensitive resin composition and the colored alkali-developable photosensitive resin composition, if necessary, a thermal polymerization inhibitor such as anisole, hydroquinone, pyrocatechol, t-butylcatechol, phenothiazine; Conventional additives such as adhesion promoters, fillers, defoamers, dispersants, leveling agents, silanes and pulling agents, flame retardants, and the like can be added. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、スピンコーター、バーコーター、ロールコーター、カーテンコーター、各種のスクリーン印刷、インクジェット印刷、浸漬等の公知の手段で、金属、紙、プラスチック、ガラス等の支持基体上に適用される。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。   The alkali-developable photosensitive resin composition and the colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention are prepared by known means such as spin coater, bar coater, roll coater, curtain coater, various screen printing, ink jet printing, and immersion. It is applied on a supporting substrate such as metal, paper, plastic, and glass. Moreover, after once applying on support bases, such as a film, it can also transfer on another support base | substrate, There is no restriction | limiting in the application method.

本発明の(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、主として、前記溶媒、前記光重合開始剤及び色材と混合され、(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物として用いられるもので、該(着色)アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、その用途に特に制限はなく、光硬化性塗料、光硬化性接着剤、印刷版、印刷配線板用フォトレジスト、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスパネル、ビデオカメラ、液晶ディスプレイに使用されるカラーフィルタの画素部或いは液晶分割配向制御用突起の形成等の各種の用途に使用することができる。   The (colored) alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention is mainly used as a (colored) alkali-developable photosensitive resin composition, mixed with the solvent, the photopolymerization initiator, and a coloring material. The (colored) alkali-developable photosensitive resin composition is not particularly limited in its use, and is a photocurable paint, a photocurable adhesive, a printing plate, a printed wiring board photoresist, a plasma display, an electroluminescence panel, It can be used for various applications such as formation of a pixel portion of a color filter used for a video camera or a liquid crystal display, or a liquid crystal split orientation control protrusion.

また、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物及び着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を硬化させる際に用いられる活性光の光源としては、波長300〜450nmの光を発光するものを用いることができ、例えば、超高圧水銀、水銀蒸気アーク、カーボンアーク、キセノンアーク等を用いることができる。   In addition, as an active light source used for curing the alkali-developable photosensitive resin composition and the colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention, a light source that emits light having a wavelength of 300 to 450 nm is used. For example, ultrahigh pressure mercury, mercury vapor arc, carbon arc, xenon arc, or the like can be used.

以下、実施例及び比較例を示して本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例等に限定されるものではない。尚、下記実施例等において、「%」は、質量%を意味する。
実施例1−1〜1−4では、光重合性不飽和化合物(J)を含有するアルカリ現像性感光性樹脂組成物を製造した。また、実施例2−1〜2−4では、実施例1−1〜1−4で製造したアルカリ現像性感光性樹脂組成物に、不飽和結合を有するモノマー及び溶媒を混合して、本発明のアルカリ現像性感光性樹脂組成物を調製した。また、実施例3−1〜3−4では、実施例1−1〜1−4で製造したアルカリ現像性感光性樹脂組成物に、色材(G)、不飽和結合を有するモノマー及び溶媒を混合して、本発明の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を調製した。また、実施例4−1〜4−4では、実施例1−1〜1−4で製造したアルカリ現像性感光性樹脂組成物に、光重合開始剤(F)、色材(G)、不飽和結合を有するモノマー及び溶媒を混合して、本発明の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物を調製した。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example are shown and this invention is demonstrated further in detail, this invention is not limited to these Examples etc. In the following examples and the like, “%” means mass%.
In Examples 1-1 to 1-4, an alkali-developable photosensitive resin composition containing a photopolymerizable unsaturated compound (J) was produced. In Examples 2-1 to 2-4, the alkali-developable photosensitive resin composition produced in Examples 1-1 to 1-4 was mixed with a monomer having an unsaturated bond and a solvent to obtain the present invention. An alkali-developable photosensitive resin composition was prepared. Moreover, in Examples 3-1 to 3-4, a coloring material (G), a monomer having an unsaturated bond, and a solvent are added to the alkali-developable photosensitive resin composition produced in Examples 1-1 to 1-4. By mixing, a colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention was prepared. In Examples 4-1 to 4-4, the photopolymerization initiator (F), the colorant (G), the non-photosensitive initiator (F) were added to the alkali-developable photosensitive resin compositions produced in Examples 1-1 to 1-4. A monomer having a saturated bond and a solvent were mixed to prepare a colored alkali-developable photosensitive resin composition of the present invention.

[実施例1−1]アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1の製造
<ステップ1>ビス(4−ヒドロキシフェニル)−4−ビフェニリル(シクロヘキシル)メタンの製造
ビフェニリルシクロヘキシルケトン70.5g、フェノール200.7g及びチオ酢酸10.15gを仕込み、トリフルオロメタンスルホン酸40.0gを18℃で20分かけて滴下した。17〜19℃で18時間反応後、水500gを加えて反応を停止させ、トルエン500gを加え、有機相をpH3〜4になるまで水洗して有機相を分離した。トルエン、水及び過剰のフェノールを留去した。残渣にトルエンを加えて析出した固体をろ別し、トルエンで分散洗浄して淡黄色結晶59.2g(収率51%)を得た。該淡黄色結晶の融点は239.5℃であり、該淡黄色結晶は目的物であることを確認した。
[Example 1-1] Alkali-developable photosensitive resin composition No. <Step 1> Production of bis (4-hydroxyphenyl) -4-biphenylyl (cyclohexyl) methane 70.5 g of biphenylyl cyclohexyl ketone, 200.7 g of phenol and 10.15 g of thioacetic acid were charged, and trifluoromethanesulfonic acid 40 0.0 g was added dropwise at 18 ° C. over 20 minutes. After reacting at 17 to 19 ° C. for 18 hours, 500 g of water was added to stop the reaction, 500 g of toluene was added, and the organic phase was washed with water until the pH became 3 to 4, and the organic phase was separated. Toluene, water and excess phenol were distilled off. Toluene was added to the residue and the precipitated solid was filtered off and dispersed and washed with toluene to obtain 59.2 g of light yellow crystals (yield 51%). The melting point of the pale yellow crystals was 239.5 ° C., and it was confirmed that the pale yellow crystals were the target product.

<ステップ2>ビス〔4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル〕−4−ビフェニリル(シクロヘキシル)メタンの製造
ステップ1で得られたビス(4−ヒドロキシフェニル)−4−ビフェニリル(シクロヘキシル)メタン57.5g及びエピクロルヒドリン195.8gを仕込み、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド0.602gを加えて64℃で18時間攪拌した。続いて54℃まで降温し、24重量%水酸化ナトリウム水溶液43.0gを滴下し、30分攪拌した。エピクロルヒドリン及び水を留去し、メチルイソブチルケトン216gを加えて水洗後、24重量%水酸化ナトリウム2.2gを滴下した。80℃で2時間攪拌後、室温まで冷却し、3重量%モノリン酸ナトリウム水溶液で中和し、水洗を行った。溶媒を留去して、淡黄色固体57g(収率79%)を得た。(融点64.2℃、エポキシ当量282、n=0.04)。該淡黄色固体は目的物であることを確認した。
<Step 2> Production of bis [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -4-biphenylyl (cyclohexyl) methane Bis (4-hydroxyphenyl) -4-biphenylyl (cyclohexyl) methane 57 obtained in Step 1 0.5 g and epichlorohydrin 195.8 g were added, 0.602 g of benzyltriethylammonium chloride was added, and the mixture was stirred at 64 ° C. for 18 hours. Subsequently, the temperature was lowered to 54 ° C., and 43.0 g of a 24% by weight aqueous sodium hydroxide solution was added dropwise and stirred for 30 minutes. Epichlorohydrin and water were distilled off, 216 g of methyl isobutyl ketone was added and washed with water, and 2.2 g of 24 wt% sodium hydroxide was added dropwise. After stirring at 80 ° C. for 2 hours, the mixture was cooled to room temperature, neutralized with a 3 wt% aqueous sodium monophosphate solution, and washed with water. The solvent was distilled off to obtain 57 g of light yellow solid (yield 79%). (Melting point 64.2 ° C., epoxy equivalent 282, n = 0.04). The pale yellow solid was confirmed to be the target product.

<ステップ3>エポキシアクリレート溶液A−BCの製造
ステップ2で得られたビス〔4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル〕−4−ビフェニリル(シクロヘキシル)メタン(以下、化合物d−1ともいう)842.7g、アクリル酸(以下、化合物e−1ともいう)220.5g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール4.29g、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド5.42g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート708.8gを仕込み、120℃で14時間攪拌した。これを室温まで冷却したものを、エポキシアクリレート溶液A−BCとした。
<Step 3> Production of Epoxy Acrylate Solution A-BC Bis [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] -4-biphenylyl (cyclohexyl) methane obtained in Step 2 (hereinafter also referred to as compound d-1) 842.7 g, acrylic acid (hereinafter also referred to as compound e-1) 220.5 g, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol 4.29 g, benzyltriethylammonium chloride 5.42 g and propylene glycol-1- 708.8 g of monomethyl ether-2-acetate was added and stirred at 120 ° C. for 14 hours. What cooled this to room temperature was used as the epoxy acrylate solution A-BC.

<ステップ4>アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1の製造
ステップ3で得られたエポキシアクリレート溶液A−BC19.00g、1−〔9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−ブタン−1,3−ジオン(以下、化合物b−1ともいう)3.32g、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン0.24g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート0.64gを仕込み、120℃で12時間撹拌した。これにプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート6.73gを加え室温まで冷却した。冷却後、無水コハク酸(以下、化合物c−1ともいう)2.9g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート6.9gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1を得た(Mw=4430、Mn=2110、酸価96.5mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1が含有する光重合性不飽和化合物(J)は、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基1個に対し、(E)成分である化合物e−1のカルボキシル基を1.0個の比率で付加させた構造を有する、(A)成分であるエポキシ付加物のアクリレート基1個に対し、(B)成分である化合物b−1のβ−ジケトン部位中のジケトンで挟まれているメチレン基の水素原子が0.5個の比率でマイケル付加重合し、さらに水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−1の酸無水物構造が0.9個の比率で付加させて得られたものである。
<Step 4> Alkali-developable photosensitive resin composition No. Preparation of 1 Epoxy acrylate solution A-BC obtained in Step 3 19.00 g, 1- [9-ethyl-6- (4-fluoro-2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -butane-1 , 3-dione (hereinafter also referred to as compound b-1) 3.32 g, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene 0.24 g, propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate 0 .64 g was charged and stirred at 120 ° C. for 12 hours. To this was added 6.73 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and cooled to room temperature. After cooling, 2.9 g of succinic anhydride (hereinafter also referred to as compound c-1) and 6.9 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, the alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 as the target product as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution was used. 1 was obtained (Mw = 4430, Mn = 2110, acid value 96.5 mgKOH / g).
The alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 is a photopolymerizable unsaturated compound (J) containing 1.0 carboxyl group of the compound e-1 as the component (E) with respect to one epoxy group of the compound d-1 as the component (D). One acrylate group of the epoxy adduct that is the component (A) having a structure added at a ratio of 1 to 2 is sandwiched between diketones in the β-diketone portion of the compound b-1 that is the component (B) Michael addition polymerization of 0.5 methylene group hydrogen atoms, and the addition of 0.9 moles of acid anhydride structure of compound (C) as component (C) to one hydroxyl group It was obtained.

[実施例1−2]アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.2の製造
<ステップ1>エポキシアクリレート溶液の製造
2,2−ビス〔4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル〕プロパン(以下、化合物d−2ともいう)185g、アクリル酸(化合物e−1)73.5g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.7g、ベンジルトリエチルアンモニウムクロリド1.7g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート174.0gを仕込み、120℃で16時間攪拌、これを室温まで冷却しエポキシアクリレート溶液を得た。
[Example 1-2] Alkali-developable photosensitive resin composition No. <Step 1> Preparation of epoxy acrylate solution 2,2-bis [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] propane (hereinafter also referred to as compound d-2) 185 g, acrylic acid (compound e-1 ) 73.5 g, 2,6-di-tert-butyl-p-cresol 0.7 g, benzyltriethylammonium chloride 1.7 g and propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate 174.0 g were charged at 120 ° C. The mixture was stirred for 16 hours and cooled to room temperature to obtain an epoxy acrylate solution.

<ステップ2>アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.2の製造
ステップ1で得られたエポキシアクリレート溶液13.93g、1−〔9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−ブタン−1,3−ジオン(化合物b−1)3.32g、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン0.24g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート0.64gを仕込み、120℃で8時間撹拌した。これにプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート5.73gを加え室温まで冷却したものを冷却後、無水コハク酸(化合物c−1)2.9g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート5.8gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.2を得た(Mw=4300、Mn=2140、酸価114.5mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.2が含有する光重合性不飽和化合物(J)は、(D)成分である化合物d−2のエポキシ基1個に対し、(E)成分である化合物e−1のカルボキシル基を1.0個の比率で付加させた構造を有する、(A)成分であるエポキシ付加物のアクリレート基1個に対し、(B)成分である化合物b−1のβ−ジケトン部位中のジケトンで挟まれているメチレン基の水素原子が0.5個の比率でマイケル付加重合し、さらに水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−1の酸無水物構造が0.9個の比率で付加させて得られたものである。
<Step 2> Alkali-developable photosensitive resin composition No. 2. Preparation of 13.93 g of the epoxy acrylate solution obtained in Step 1, 1- [9-ethyl-6- (4-fluoro-2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -butane-1,3 -Charging a dione (compound b-1) 3.32g, 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene 0.24g, propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate 0.64g, Stir at 8 ° C. for 8 hours. To this was added 5.73 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and cooled to room temperature. After cooling, 2.9 g of succinic anhydride (compound c-1), propylene glycol-1-monomethyl ether-2- Acetate 5.8g was added and it stirred at 100 degreeC for 5 hours. After cooling to room temperature, the alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 as the target product as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution was used. 2 was obtained (Mw = 4300, Mn = 2140, acid value 114.5 mgKOH / g).
The alkali-developable photosensitive resin composition No. The photopolymerizable unsaturated compound (J) 2 contains 1.0 of the carboxyl group of the compound e-1 as the component (E) with respect to one epoxy group of the compound d-2 as the component (D). One acrylate group of the epoxy adduct that is the component (A) having a structure added at a ratio of 1 to 2 is sandwiched between diketones in the β-diketone portion of the compound b-1 that is the component (B) Michael addition polymerization of 0.5 methylene group hydrogen atoms, and the addition of 0.9 moles of acid anhydride structure of compound (C) as component (C) to one hydroxyl group It was obtained.

[実施例1−3]アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.3の製造
エポキシアクリレート溶液A−BC53.5g、1−(9−プロピル−9H−カルバゾール−3−イル)−ブタン−1,3−ジオン(以下、化合物b−2ともいう)8.8g、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン0.8g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート20.3gを仕込み、120℃で13時間撹拌した。これを室温まで冷却し、テトラヒドロ無水フタル酸(以下、化合物c−2ともいう)6.8g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート17.62gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.3を得た(Mw=4440、Mn=2290、酸価55.8mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.3が含有する光重合性不飽和化合物(J)は、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基1個に対し、(E)成分である化合物e−1のカルボキシル基を1.0個の比率で付加させた構造を有する、(A)成分であるエポキシ付加物のアクリレート基1個に対し、(B)成分である化合物b−2のβ−ジケトン部位中のジケトンで挟まれているメチレン基の水素原子が0.67個の比率でマイケル付加重合し、さらに水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−2の酸無水物構造が0.5個の比率で付加させて得られたものである。
[Example 1-3] Alkali-developable photosensitive resin composition No. Production of 3 Epoxy acrylate solution A-BC 53.5 g, 1- (9-propyl-9H-carbazol-3-yl) -butane-1,3-dione (hereinafter also referred to as compound b-2) 8.8 g, , 8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene (0.8 g) and propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate (20.3 g) were charged and stirred at 120 ° C. for 13 hours. This was cooled to room temperature, 6.8 g of tetrahydrophthalic anhydride (hereinafter also referred to as compound c-2) and 17.62 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were added, and the mixture was stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, the alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 as the target product as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution was used. 3 was obtained (Mw = 4440, Mn = 2290, acid value 55.8 mgKOH / g).
The alkali-developable photosensitive resin composition No. 3 includes a photopolymerizable unsaturated compound (J) containing 1.0 carboxyl group of the compound e-1 as the component (E) for one epoxy group of the compound d-1 as the component (D). One acrylate group of the epoxy adduct as the component (A) having a structure added at a ratio of the number is sandwiched between diketones in the β-diketone portion of the compound b-2 as the component (B) The hydrogen atom of the methylene group is Michael addition polymerized at a ratio of 0.67, and further, the acid anhydride structure of compound (C) component c-2 is added at a ratio of 0.5 to one hydroxyl group. It was obtained.

[実施例1−4]アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.4の製造
エポキシアクリレート溶液A−BC35.6g、1−〔9−エチル−6−(4−フルオロ−2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル〕−ブタン−1,3−ジオン(化合物b−1)8.31g、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン0.5g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート16.0gを仕込み、120℃で10時間撹拌した。これを室温まで冷却したものに、テトラヒドロ無水フタル酸(化合物c−2)6.4g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート14.5gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物であるアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.4を得た(Mw=4810、Mn=2190、酸価65.9mgKOH/g)。
尚、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.4が含有する光重合性不飽和化合物(J)は、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基1個に対し、(E)成分である化合物e−1のカルボキシル基を1.0個の比率で付加させた構造を有する、(A)成分であるエポキシ付加物のアクリレート基1個に対し、(B)成分である化合物b−1のβ−ジケトン部位中のジケトンで挟まれているメチレン基の水素原子が0.67個の比率でマイケル付加重合し、さらに水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−2の酸無水物構造が0.7個の比率で付加させて得られたものである。
[Example 1-4] Alkali-developable photosensitive resin composition No. 4 Preparation of epoxy acrylate solution A-BC 35.6 g, 1- [9-ethyl-6- (4-fluoro-2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl] -butane-1,3-dione (compound b-1) Charged 8.31 g, 0.5 g of 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene, and 16.0 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate at 120 ° C. for 10 hours. Stir. To this cooled to room temperature, 6.4 g of tetrahydrophthalic anhydride (compound c-2) and 14.5 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, the alkali-developable photosensitive resin composition No. 1 as the target product as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution was used. 4 was obtained (Mw = 4810, Mn = 2190, acid value 65.9 mgKOH / g).
The alkali-developable photosensitive resin composition No. 4 includes a photopolymerizable unsaturated compound (J) having 1.0 carboxyl group of the compound e-1 as the component (E) with respect to one epoxy group of the compound d-1 as the component (D). One acrylate group of the epoxy adduct as the component (A) having a structure added at a ratio of the number is sandwiched between diketones in the β-diketone portion of the compound b-1 as the component (B). Michael addition polymerization is performed at a ratio of 0.67 hydrogen atoms in the methylene group, and the acid anhydride structure of compound (c), component (C), is added at a ratio of 0.7 to one hydroxyl group. It was obtained.

[比較例1−1]比較用樹脂組成物No.1の製造
エポキシアクリレート溶液A−BC53.5g、(B)成分とは異なる構造のβ−ジケトン化合物として1−(2−ナフチル)ブタン−1,3−ジオン(以下、化合物b’−1ともいう)6.4g、1,8−ジアザビシクロ[5,4,0]−7−ウンデセン0.8g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート17.9gを仕込み、120℃で4時間撹拌した。これを室温まで冷却したものに、テトラヒドロ無水フタル酸(化合物c−2)6.8g、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート6.8gを加えて100℃で5時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として目的物である比較用樹脂組成物No.1を得た(Mw=5200、Mn=2320、酸価57.0mgKOH/g)。
尚、比較用樹脂組成物No.1が含有する光重合性不飽和化合物(J)は、(D)成分である化合物d−1のエポキシ基1個に対し、(E)成分である化合物e−1のカルボキシル基を1.0個の比率で付加させた構造を有する、(A)成分であるエポキシ付加物のアクリレート基1個に対し、化合物b’−1のβ−ジケトン部位中のジケトンで挟まれているメチレン基の水素原子が0.67個の比率でマイケル付加重合し、さらに水酸基1個に対し、(C)成分である化合物c−2の酸無水物構造が0.5個の比率で付加させて得られたものである。
[Comparative Example 1-1] Comparative resin composition No. Preparation of 1 Epoxy acrylate solution A-BC 53.5 g, 1- (2-naphthyl) butane-1,3-dione (hereinafter also referred to as compound b′-1) as a β-diketone compound having a structure different from that of component (B) 6.4 g, 0.88 g of 1,8-diazabicyclo [5,4,0] -7-undecene, and 17.9 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were added and stirred at 120 ° C. for 4 hours. To this was cooled to room temperature, 6.8 g of tetrahydrophthalic anhydride (compound c-2) and 6.8 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were added and stirred at 100 ° C. for 5 hours. After cooling to room temperature, a comparative resin composition No. 1 as the target product as a propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution. 1 was obtained (Mw = 5200, Mn = 2320, acid value 57.0 mgKOH / g).
The comparative resin composition No. 1 is a photopolymerizable unsaturated compound (J) containing 1.0 carboxyl group of the compound e-1 as the component (E) with respect to one epoxy group of the compound d-1 as the component (D). Hydrogen of methylene group sandwiched by diketone in β-diketone part of compound b′-1 for one acrylate group of epoxy adduct as component (A) having a structure added at a ratio of It was obtained by Michael addition polymerization at a ratio of 0.67 atoms, and further by adding an acid anhydride structure of compound c-2 as component (C) at a ratio of 0.5 to one hydroxyl group. Is.

[比較例1−2]比較用樹脂組成物No.2の製造
2,2−ビス〔4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル〕プロパン154g、アクリル酸59.0g、2,6−ジ−tert−ブチル−p−クレゾール0.26g、テトラ−n−ブチルアンモニウムブロマイド0.11g及びプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート23.0gを仕込み、120℃で16時間攪拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート36.0g、ビフタル酸無水物67.0及び、テトラ−n−ブチルアンモニウムブロマイド0.24gを仕込み、120℃で4時間、100℃で3時間、80℃で4時間、60℃で6時間、40℃で11時間撹拌した。室温まで冷却し、プロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート90.0gを加えて目的物のプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート溶液として比較用樹脂組成物No.2を得た(Mw=7500、Mn=2100、酸価(固形分)91mgKOH/g)。
[Comparative Example 1-2] Comparative resin composition No. Production of 2 154 g of 2,2-bis [4- (2,3-epoxypropoxy) phenyl] propane, 59.0 g of acrylic acid, 0.26 g of 2,6-di-tert-butyl-p-cresol, tetra-n -0.11 g of butylammonium bromide and 23.0 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate were charged and stirred at 120 ° C. for 16 hours. Cooled to room temperature, charged with 36.0 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate, 67.0 biphthalic anhydride and 0.24 g of tetra-n-butylammonium bromide, 120 ° C. for 4 hours, 100 ° C. For 3 hours, at 80 ° C. for 4 hours, at 60 ° C. for 6 hours, and at 40 ° C. for 11 hours. After cooling to room temperature, 90.0 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate was added to obtain a target propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate solution as a comparative resin composition No. 2 was obtained (Mw = 7500, Mn = 2100, acid value (solid content) 91 mgKOH / g).

[実施例2−1〜2−4及び比較例2−1、2−2]アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.5〜No.8及び比較用樹脂組成物No.3、No.4の調製
実施例1−1〜1−4で得られたアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.4及び比較例1−1、1−2で得られた比較用樹脂組成物No.1〜No.2の17gに対し、不飽和結合を有するモノマーとしてトリメチロールプロパントリアクリレート(化合物a’−1)7.0g、及び溶媒としてプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート78gを加えてよく撹拌し、アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.5〜No.8及び比較用樹脂組成物No.3、No.4を得た。
[Examples 2-1 to 2-4 and Comparative Examples 2-1 and 2-2] Alkali-developable photosensitive resin composition No. 5-No. 8 and comparative resin composition No. 3, no. 4 Preparation of the alkali-developable photosensitive resin composition No. obtained in Examples 1-1 to 1-4. 1-No. 4 and Comparative Examples 1-1 and 1-2, Comparative Resin Composition Nos. 1-No. Then, 7.0 g of trimethylolpropane triacrylate (compound a′-1) as a monomer having an unsaturated bond and 78 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate as a solvent were added to 17 g of 2 and stirred well. , Alkali-developable photosensitive resin composition No. 5-No. 8 and comparative resin composition No. 3, no. 4 was obtained.

上記実施例2−1〜2−4及び比較例2−1、2−2で調整したアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.5〜No.8及び比較用樹脂組成物No.3、No.4の評価を以下のようにして行った。
即ち、ガラス基板上にアルカリ現像性感光性樹脂組成物をスピンコート(700r.p.m、5秒間)し、15分間風乾後、90℃のホットプレート上で90秒間プリベークを行った。マスク開口30μmのマスクを用い、高圧水銀ランプで100mJ/cm2露光した。その後、2.5質量%炭酸ナトリウム溶液に25℃で60秒間浸漬して現像し、良く水洗した。この時、パターンが形成されたものを○、パターンが形成されな且つたものを×とした。結果を表1に示す。
The alkali-developable photosensitive resin composition No. prepared in Examples 2-1 to 2-4 and Comparative Examples 2-1 and 2-2. 5-No. 8 and comparative resin composition No. 3, no. Evaluation of 4 was performed as follows.
That is, the alkali-developable photosensitive resin composition was spin-coated (700 rpm) for 5 seconds on a glass substrate, air-dried for 15 minutes, and then pre-baked on a 90 ° C. hot plate for 90 seconds. Using a mask having a mask opening of 30 μm, exposure was performed at 100 mJ / cm 2 with a high-pressure mercury lamp. Then, it was developed by being immersed in a 2.5% by mass sodium carbonate solution at 25 ° C. for 60 seconds, and washed thoroughly with water. At this time, the case where the pattern was formed was indicated by ◯, and the case where the pattern was not formed was indicated by ×. The results are shown in Table 1.

Figure 0005065123
Figure 0005065123

実施例2−1〜2−4のアルカリ現像性感光性樹脂組成物は、開始剤なしでも露光により硬化し、アルカリ現像によりパターンを形成した。一方、比較例2−1及び2−2の比較用樹脂組成物は、開始剤なしでは露光しても硬化せず、アルカリ現像によりパターン形成できなかった。   The alkali-developable photosensitive resin compositions of Examples 2-1 to 2-4 were cured by exposure without an initiator and formed a pattern by alkali development. On the other hand, the comparative resin compositions of Comparative Examples 2-1 and 2-2 were not cured even when exposed without an initiator, and a pattern could not be formed by alkali development.

[実施例3−1〜3−4及び比較例3−1、3−2]着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.4及び比較用着色樹脂組成物No.1、No.2の調製
実施例1−1〜1−4で得られたアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.4及び比較例1−1、1−2で得られた比較用樹脂組成物No.1〜No.2の70gに対し、不飽和結合を有するモノマーとしてトリメチロールプロパントリアクリレート(化合物a’−1)9.0g、色材(G)としてカーボンブラック(三菱化学社製「MA100」)30g及び溶媒としてプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート75gを加えてよく撹拌し、着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.4及び比較用着色樹脂組成物No.1、No.2を得た。
[Examples 3-1 to 3-4 and Comparative examples 3-1 and 3-2] Colored alkali-developable photosensitive resin composition No. 1-No. 4 and comparative colored resin composition no. 1, no. 2 Preparation of alkali-developable photosensitive resin composition No. obtained in Examples 1-1 to 1-4. 1-No. 4 and Comparative Examples 1-1 and 1-2, Comparative Resin Composition Nos. 1-No. 2 to 70 g of trimethylolpropane triacrylate (compound a′-1) as a monomer having an unsaturated bond, carbon black (“MA100” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) 30 g as a coloring material (G), and a solvent Add 75 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate and stir well. Then, the colored alkali-developable photosensitive resin composition No. 1-No. 4 and comparative colored resin composition no. 1, no. 2 was obtained.

実施例3−1〜3−4及び比較例3−1、3−2で調整した着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.4及び比較用着色樹脂組成物No.1、No.2の評価を以下のようにして行った。
即ち、ガラス基板上にアルカリ現像性感光性樹脂組成物をスピンコート(700r.p.m、5秒間)し、15分間風乾後、90℃のホットプレート上で90秒間プリベークを行った。マスク開口30μmのマスクを用い、高圧水銀ランプで200mJ/cm2露光した。その後、2.5質量%炭酸ナトリウム溶液に25℃で40秒間浸漬して現像し、良く水洗した。
この時、パターンが形成されたものを○、パターンが形成されな且つたものを×とした。結果を表2に示す。
The colored alkali-developable photosensitive resin composition No. prepared in Examples 3-1 to 3-4 and Comparative Examples 3-1 and 3-2. 1-No. 4 and comparative colored resin composition no. 1, no. Evaluation of 2 was performed as follows.
That is, the alkali-developable photosensitive resin composition was spin-coated (700 rpm) for 5 seconds on a glass substrate, air-dried for 15 minutes, and then pre-baked on a 90 ° C. hot plate for 90 seconds. Using a mask with a mask opening of 30 μm, exposure was performed with a high-pressure mercury lamp at 200 mJ / cm 2 . Then, it was developed by being immersed in a 2.5% by mass sodium carbonate solution at 25 ° C. for 40 seconds, and thoroughly washed with water.
At this time, the case where the pattern was formed was indicated by ◯, and the case where the pattern was not formed was indicated by ×. The results are shown in Table 2.

Figure 0005065123
Figure 0005065123

実施例3−1〜3−4の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、開始剤なしでも露光により硬化し、アルカリ現像によりパターンを形成した。一方、比較例3−1及び3−2の比較用着色樹脂組成物は、開始剤なしでは露光しても硬化せず、アルカリ現像によりパターン形成できなかった。   The colored alkali-developable photosensitive resin compositions of Examples 3-1 to 3-4 were cured by exposure without an initiator, and a pattern was formed by alkali development. On the other hand, the comparative colored resin compositions of Comparative Examples 3-1 and 3-2 were not cured even when exposed without an initiator, and a pattern could not be formed by alkali development.

[実施例4−1〜4−4及び比較例4−1、4−2]着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.5〜No.8及び比較用着色樹脂組成物No.3、No.4の調製
実施例1−1〜1−4で得られたアルカリ現像性感光性樹脂組成物No.1〜No.4及び比較例1−1、1−2で得られた比較用樹脂組成物No.1〜No.2の70gに対し、不飽和結合を有するモノマーとしてトリメチロールプロパントリアクリレート(化合物a’−1)9.0g、光重合開始剤(F)としてIRGACURE OXE 02(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ(株)社製)3g及び色材(G)としてカーボンブラック(三菱化学社製「MA100」)30g及び溶媒としてプロピレングリコール−1−モノメチルエーテル−2−アセテート75gを加えてよく撹拌し、着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.5〜No.8及び比較用着色樹脂組成物No.3、No.4を得た。
[Examples 4-1 to 4-4 and Comparative Examples 4-1 and 4-2] Colored alkali-developable photosensitive resin composition No. 5-No. 8 and comparative colored resin composition No. 3, no. 4 Preparation of the alkali-developable photosensitive resin composition No. obtained in Examples 1-1 to 1-4. 1-No. 4 and Comparative Examples 1-1 and 1-2, Comparative Resin Composition Nos. 1-No. 2 to 70 g of trimethylolpropane triacrylate (compound a′-1) as a monomer having an unsaturated bond, IRGACURE OXE 02 (Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) as a photopolymerization initiator (F) 3 g) and 30 g of carbon black (“MA100” manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.) as a coloring material (G) and 75 g of propylene glycol-1-monomethyl ether-2-acetate as a solvent were added and stirred well. Resin composition No. 5-No. 8 and comparative colored resin composition No. 3, no. 4 was obtained.

実施例4−1〜4−4及び比較例4−1、4−2で調整した着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物No.5〜No.8及び比較用着色樹脂組成物No.3、No.4の評価を以下のようにして行った。
即ち、ガラス基板上にアルカリ現像性感光性樹脂組成物をスピンコート(700r.p.m、5秒間)し、15分間風乾後、90℃のホットプレート上で90秒間プリベークを行った。所定のマスクを用いて、光源として高圧水銀ランプで露光後、2.5質量%炭酸ナトリウム溶液に25℃で40秒間浸漬して現像し、良く水洗した。水洗乾燥後、230℃で1時間ベークしてパターンを定着させた。
得られたパターンについて、以下の評価を行った。結果を表3に示す。
The colored alkali-developable photosensitive resin composition No. prepared in Examples 4-1 to 4-4 and Comparative Examples 4-1 and 4-2. 5-No. 8 and comparative colored resin composition No. 3, no. Evaluation of 4 was performed as follows.
That is, the alkali-developable photosensitive resin composition was spin-coated (700 rpm) for 5 seconds on a glass substrate, air-dried for 15 minutes, and then pre-baked on a 90 ° C. hot plate for 90 seconds. After exposure with a high-pressure mercury lamp as a light source using a predetermined mask, the film was immersed in a 2.5% by mass sodium carbonate solution for 40 seconds at 25 ° C., and then thoroughly washed with water. After washing with water and drying, the pattern was fixed by baking at 230 ° C. for 1 hour.
The following evaluation was performed about the obtained pattern. The results are shown in Table 3.

<感度>
露光時に、露光量が50mJ/cm2で十分だったものをa、50mJ/cm2では不十分で、100mJ/cm2で露光した物をb、100mJ/cm2では不十分で、200mJ/cm2で露光したものをcとした。
<解像度>
露光現像時に、線幅10μm以下でも良好にパターン形成できたものをA、線幅20μmであれば良好にパターン形成できたものをB、線幅30μm以上のものでないと良好なパターン形成ができな且つたものをCと評価した。
<密着性>
現像して得られたパターンのはがれにつき観察し、パターンはがれが観察されないものを○、一部にはがれが観察されるものを×とした。
<Sensitivity>
At the time of exposure, the exposure amount of 50 mJ / cm 2 is sufficient for a, 50 mJ / cm 2 is insufficient, b is 100 mJ / cm 2 for exposure, 100 mJ / cm 2 is insufficient, 200 mJ / cm The one exposed in 2 was designated as c.
<Resolution>
At the time of exposure and development, A is good pattern formation even if the line width is 10 μm or less, B is good pattern formation if the line width is 20 μm, and good pattern formation is not possible unless the line width is 30 μm or more. What was also evaluated as C.
<Adhesion>
The pattern obtained by development was observed for peeling. The pattern in which no peeling was observed was marked with ◯, and the pattern in which peeling was observed was marked with x.

Figure 0005065123
Figure 0005065123

実施例4−1〜4−4の着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物は、高感度で解像度に優れるものであった。また、基板との密着性に優れ、パターンはがれが少ないものであった。それに対して、比較例4−1及び4−2の比較用着色樹脂組成物は、低感度であり、解像度及び基板との密着性も低いものであった。   The colored alkali-developable photosensitive resin compositions of Examples 4-1 to 4-4 were high in sensitivity and excellent in resolution. Moreover, it was excellent in adhesiveness with the substrate and had little pattern peeling. On the other hand, the comparative colored resin compositions of Comparative Examples 4-1 and 4-2 were low in sensitivity, and had low resolution and adhesion to the substrate.

Claims (8)

2個以上の(メタ)アクリロイル基及び水酸基を有する化合物の、(メタ)アクリロイル基に、下記一般式(I)で表されるβ−ジケトン化合物を付加させて得られる反応生成物の水酸基と、多塩基酸無水物とのエステル化反応により得られる構造を有する光重合性不飽和化合物を含有することを特徴とするアルカリ現像性感光性樹脂組成物。
Figure 0005065123
(式中、R1は、炭素原子数1〜20のアルキル基であり、R2は、R11、OR11、COR11、SR11、CONR1213又はCNを表し、R11、R12及びR13は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、アルキル基、アリール基、アリールアルキル基及び複素環基の水素原子は、更にOR21、COR21、SR21、NR2223、CONR2223、−NR22−OR23、−NCOR22−OCOR23、−C(=N−OR21)−R22、−C(=N−OCOR21)−R22、CN、ハロゲン原子、−CR21=CR2223、−CO−CR21=CR2223、カルボキシル基、エポキシ基で置換されていてもよく、R21、R22及びR23は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1〜20のアルキル基、炭素原子数6〜30のアリール基、炭素原子数7〜30のアリールアルキル基又は炭素原子数2〜20の複素環基を表し、上記R11、R12、R13、R21、R22及びR23で表される置換基のアルキレン部分のメチレン基は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、チオエステル結合、アミド結合又はウレタン結合により1〜5回中断されていてもよく、上記置換基のアルキル部分は分岐側鎖があってもよく、環状アルキルであってもよく、上記置換基のアルキル末端は不飽和結合であってもよく、また、R12とR13及びR22とR23は、それぞれ一緒になって環を形成していてもよく、R2は、隣接するベンゼン環と一緒になって環を形成していてもよい。R3及びR4は、それぞれ独立に、R11、OR11、SR11、COR11、CONR1213、NR12COR11、OCOR11、COOR11、SCOR11、OCSR11、COSR11、CSOR11、CN、ハロゲン原子、ニトロ基又は水酸基を表し、aは0〜3の整数を表し、bは0〜4の整数を表し、a、bが2以上の時はそれぞれの複数の置換基は異なる置換基でもよく、β−ジケトン部分はケト−エノール互変異性体のどちらの構造であってもよい。)
A hydroxyl group of a reaction product obtained by adding a β-diketone compound represented by the following general formula (I) to a (meth) acryloyl group of a compound having two or more (meth) acryloyl groups and a hydroxyl group; An alkali-developable photosensitive resin composition comprising a photopolymerizable unsaturated compound having a structure obtained by an esterification reaction with a polybasic acid anhydride.
Figure 0005065123
(In the formula, R 1 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, R 2 represents R 11 , OR 11 , COR 11 , SR 11 , CONR 12 R 13 or CN, and R 11 , R 12 And R 13 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 30 carbon atoms, or an alkyl group having 2 to 20 carbon atoms. Represents a heterocyclic group, and the hydrogen atom of the alkyl group, aryl group, arylalkyl group and heterocyclic group is further OR 21 , COR 21 , SR 21 , NR 22 R 23 , CONR 22 R 23 , —NR 22 —OR 23. , —NCOR 22 —OCOR 23 , —C (═N—OR 21 ) —R 22 , —C (═N—OCOR 21 ) —R 22 , CN, halogen atom, —CR 21 ═CR 22 R 23 , —CO -CR 21 = CR 22 R 23, carboxyl group, substituted by an epoxy group R 21 , R 22 and R 23 are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 to 30 carbon atoms, or an aryl having 7 to 30 carbon atoms. The methylene group of the alkylene part of the substituent which represents an alkyl group or a C2-C20 heterocyclic group, and is represented by said R < 11 >, R < 12 >, R <13> , R <21> , R <22> and R < 23 > is unsaturated It may be interrupted 1 to 5 times by a bond, an ether bond, a thioether bond, an ester bond, a thioester bond, an amide bond or a urethane bond, and the alkyl part of the above substituent may have a branched side chain, The alkyl terminal of the substituent may be an unsaturated bond, and R 12 and R 13 and R 22 and R 23 may be combined to form a ring, R 2 is an adjacent benzene ring And R 3 and R 4 each independently represent R 11 , OR 11 , SR 11 , COR 11 , CONR 12 R 13 , NR 12 COR 11 , OCOR 11 , COOR 11 , SCOR 11 , OCSR 11 , COSR 11 , CSOR 11 , CN, a halogen atom, a nitro group or a hydroxyl group, a represents an integer of 0 to 3, b represents an integer of 0 to 4, a, b When is 2 or more, each of the plurality of substituents may be a different substituent, and the β-diketone moiety may be any structure of a keto-enol tautomer. )
上記β−ジケトン化合物が、上記一般式(I)中、R1がメチル基であり、aが0である化合物である請求項1に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物。 The alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the β-diketone compound is a compound in which R 1 is a methyl group and a is 0 in the general formula (I). 上記β−ジケトン化合物が、上記一般式(I)中、R1がメチル基であり、R4がハロゲン原子で置換されていてもよい炭素原子数6〜20のアシル基であり、aが0であり、bが0又は1である化合物である請求項1に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物。 In the general formula (I), the β-diketone compound is R 1 is a methyl group, R 4 is an acyl group having 6 to 20 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, and a is 0. The alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 1, wherein b is 0 or 1. 上記2個以上の(メタ)アクリロイル基及び水酸基を有する化合物が、エポキシ化合物に不飽和一塩基酸を付加させた反応生成物である構造を有する請求項1〜3の何れかに記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物。   The alkali development according to any one of claims 1 to 3, wherein the compound having two or more (meth) acryloyl groups and a hydroxyl group has a structure which is a reaction product obtained by adding an unsaturated monobasic acid to an epoxy compound. Photosensitive resin composition. 上記エポキシ化合物が、下記一般式(II)で表される構造である請求項4に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物。
Figure 0005065123
(式中、Cyは炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を表し、Xは水素原子、フェニル基又は炭素原子数3〜10のシクロアルキル基を表し、該フェニル基及びシクロアルキル基は炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基又はハロゲン原子により置換されても良く、Y及びZは、それぞれ独立して、炭素原子数1〜10のアルキル基、炭素原子数1〜10のアルコキシ基、炭素原子数2〜10のアルケニル基又はハロゲン原子を表し、該アルキル基、アルコキシ基及びアルケニル基は、ハロゲン原子で置換されていてもよく、nは0〜10の数を表し、m及びrは、それぞれ独立して、0〜4の数を表す。)
The alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 4, wherein the epoxy compound has a structure represented by the following general formula (II).
Figure 0005065123
(In the formula, Cy represents a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, X represents a hydrogen atom, a phenyl group or a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, and the phenyl group and the cycloalkyl group are carbon atoms. The alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, the alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms or the halogen atom may be substituted, and Y and Z are each independently an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms and the number of carbon atoms. Represents an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms or a halogen atom, wherein the alkyl group, alkoxy group and alkenyl group may be substituted with a halogen atom, and n is a number from 0 to 10 M and r each independently represents a number of 0 to 4.)
上記一般式(II)中、Cyがシクロヘキシル基であり、Xがフェニル基であり、m及びrが0である請求項5に記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物。   6. The alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 5, wherein, in the general formula (II), Cy is a cyclohexyl group, X is a phenyl group, and m and r are 0. さらに光重合開始剤を含有させてなる請求項1〜6の何れかに記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物。   Furthermore, the photopolymerization initiator is contained, The alkali developable photosensitive resin composition in any one of Claims 1-6. 請求項1〜7の何れかに記載のアルカリ現像性感光性樹脂組成物に、さらに色材を含有させてなる着色アルカリ現像性感光性樹脂組成物。   A colored alkali-developable photosensitive resin composition obtained by further adding a colorant to the alkali-developable photosensitive resin composition according to claim 1.
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