JP5048717B2

JP5048717B2 - On-off valve for vacuum

Info

Publication number: JP5048717B2
Application number: JP2009128635A
Authority: JP
Inventors: 正博内藤; 慎伊藤
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2009-05-28
Filing date: 2009-05-28
Publication date: 2012-10-17
Anticipated expiration: 2029-05-28
Also published as: JP2010276096A

Description

本発明は、半導体製造工程でプロセスガスが流れる流路の途中に設けられ、その流路を開閉する真空用開閉弁に関する。 The present invention relates to a vacuum on-off valve that is provided in the middle of a flow path through which a process gas flows in a semiconductor manufacturing process and opens and closes the flow path.

半導体工程で使用する加熱流体の中には、温度低下により気体から液体又は固体へ変質し生成物として析出するものがある。生成物が析出し内部に付着すると弁の機密性を阻害したり、流路が絞られてしまうため問題となる。
そこで、バルブボディをヒータにより加熱することによって、プロセスガスと接触する部分の温度を高め生成物が付着することを防止している。 Some heated fluids used in the semiconductor process change from gas to liquid or solid due to a decrease in temperature and precipitate as products. If the product deposits and adheres to the inside, the confidentiality of the valve is hindered and the flow path is restricted, which is a problem.
Therefore, by heating the valve body with a heater, the temperature of the portion in contact with the process gas is increased to prevent the product from adhering.

従来、この種の技術として、下記に記載する特許文献１に係る発明がある。図１９に、特許文献１に係る真空用開閉弁１００の一部断面図を示す。
真空用開閉弁１００は、バルブボディ１０１、加熱機構１０２を有する。加熱機構１０２は、金属で厚みのあるヒータである焼結体ＰＴＣヒータをアルミケースで覆ったものである。加熱機構１０２は、バルブボディ１０１の平面１０１Ａに取り付けられている。 Conventionally, as this type of technology, there is an invention according to Patent Document 1 described below. FIG. 19 is a partial cross-sectional view of the vacuum on-off valve 100 according to Patent Document 1.
The vacuum on-off valve 100 includes a valve body 101 and a heating mechanism 102. The heating mechanism 102 is obtained by covering a sintered PTC heater, which is a metal thick heater, with an aluminum case. The heating mechanism 102 is attached to the flat surface 101 A of the valve body 101.

加熱機構１０２により加熱することにより、バルブボディ１０１は加熱される。それにより、プロセスガスと接する真空用開閉弁１００内の弁室、弁座等が暖められ、プロセスガスが常温になることを防止し、生成物の付着を防止することができる。 The valve body 101 is heated by heating by the heating mechanism 102. Thereby, the valve chamber, the valve seat, etc. in the vacuum on-off valve 100 in contact with the process gas are warmed, the process gas can be prevented from reaching room temperature, and the product can be prevented from adhering.

特開２００１−３４９４６８号公報JP 2001-349468 A 特開２００８−１２１８５９号公報JP 2008-121859 A

しかしながら、真空用開閉弁１００には、以下の問題があった。
すなわち、加熱機構ＰＴＣヒータは金属で厚みがあるため柔軟性がない。そのため、図１９には示さないが、バルブボディ１０１の表面に、例えば図５に示すように凹部４Ａが必要で形成されている場合、加熱機構１０２と凹部４Ａは接触しない。接触しない(接触面積が小さい)と、加熱機構１０２が直接凹部４Ａを加熱することができないため温度が低くなるため問題となる。また、加熱機構１０２と接触しない(接触面積が小さい)と、伝熱効率が悪くなり、消費電力も増加するため問題となる。
さらに、特許文献２の図１８に示す真空用開閉弁２００においては、特許文献１の加熱機構１０２をバルブボディ２０４の外壁に用いたとしても、バルブボディ２０１の内で暖める場所である弁座２０９が暖まりにくいため問題となる。なぜなら、弁座２０９は、外気に触れる第２流路２０８が当接しており、弁座２０９は冷えやすいからである。また、弁座２０９は外壁部から離れた所に形成されているため、外壁部に用いられる加熱機構１０２の熱が直接伝わりにくいからである。さらに、弁座２０９は、プロセスガスが弁体２１０により堰き止められる場所であるため、特に生成物が付着しやすいため問題となる。 However, the vacuum on-off valve 100 has the following problems.
That is, since the heating mechanism PTC heater is metal and has a thickness, it is not flexible. Therefore, although not shown in FIG. 19, when the recessed part 4A is required and formed in the surface of the valve body 101 as shown, for example in FIG. 5, the heating mechanism 102 and the recessed part 4A do not contact. If the contact is not made (the contact area is small), the heating mechanism 102 cannot directly heat the recess 4A, which causes a problem because the temperature is lowered. Further, if it does not come into contact with the heating mechanism 102 (the contact area is small), the heat transfer efficiency deteriorates and the power consumption increases, which is a problem.
Further, in the vacuum on-off valve 200 shown in FIG. 18 of Patent Document 2, even if the heating mechanism 102 of Patent Document 1 is used for the outer wall of the valve body 204, the valve seat 209 that is a place to warm in the valve body 201. Is a problem because it is difficult to warm up. This is because the valve seat 209 is in contact with the second flow path 208 that comes into contact with the outside air, and the valve seat 209 is easily cooled. Further, since the valve seat 209 is formed at a location away from the outer wall portion, the heat of the heating mechanism 102 used for the outer wall portion is difficult to be directly transmitted. Furthermore, since the valve seat 209 is a place where the process gas is blocked by the valve body 210, it is particularly problematic because products are easily attached.

そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的はバルブボディの外壁面に半導体ヒータを密着させることで、接触面積を大きくする真空用開閉弁を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a vacuum on-off valve that increases a contact area by bringing a semiconductor heater into close contact with the outer wall surface of the valve body. With the goal.

上記目的を達成するために、本発明に係る真空用開閉弁は以下の構成を有する。
（１）第１流路と第２流路とを連通する弁孔を有するバルブボディと、弁孔の外周に形成された弁座と当接又は離間する弁体と、弁体を駆動する駆動手段と、バルブボディの外壁面に設けられたヒータと、ヒータをバルブボディの外壁面に押圧する取付板と、ヒータと取付板の間に断熱材を有する真空用開閉弁において、ヒータは、薄板状で柔軟性のある半導体ヒータであること、を特徴とすることにある。
（２）（１）に記載する真空用開閉弁において、前記半導体ヒータは、厚みが１．０ｍｍ以下であること、を特徴とすることにある。
（３）（１）に記載する真空用開閉弁において、断熱材は弾性力を有する弾性断熱材であること、弾性断熱材により半導体ヒータを前記バルブボディの外周面に密着させること、を特徴とすることにある。
（４）（３）に記載する真空用開閉弁において、取付板は端部に折り返されている折返し端部を有する折返し取付板であること、を特徴とすることにある。
（５）（４）に記載する真空用開閉弁において、折返し端部が同じ高さであること、折返し端部がバルブボディに接触することにより、弾性断熱材を均一に押圧することができ、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合いを均一にすること、を特徴とすることにある。
（６）(４)に記載する真空用開閉弁において、折返し端部が取付板の一端に形成されていること、又は、折返し端部が取付板の両端に形成され、両端の折返し端部の高さが異なること、を特徴とすることにある。
（７）（４）又は（６）に記載する真空用開閉弁において、取付板が、弾性断熱材の押圧力を場所により変化させることにより、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合いを変化させること、を特徴とすることにある。
（８）（３）に記載する真空用開閉弁において、取付板が、コの字形状をしているコの字取付板であること、取付前の状態においては、コの字取付板の開口部が内側に細くなっていること、コの字取付板の開口部を拡げた後に戻る反力により、弾性断熱材を押し付け、半導体ヒータとバルブボディを密着させること、を特徴とすることにある。
（９）（４）乃至（８）に記載するいずれか一つの真空用開閉弁において、遮蔽板を有すること、を特徴とすることにある。 In order to achieve the above object, a vacuum on-off valve according to the present invention has the following configuration.
(1) A valve body having a valve hole that communicates the first flow path and the second flow path, a valve body that contacts or separates from a valve seat formed on the outer periphery of the valve hole, and a drive that drives the valve body Means, a heater provided on the outer wall surface of the valve body, a mounting plate that presses the heater against the outer wall surface of the valve body, and a vacuum on-off valve having a heat insulating material between the heater and the mounting plate. It is characterized by being a flexible semiconductor heater.
(2) In the vacuum on-off valve described in (1), the semiconductor heater has a thickness of 1.0 mm or less.
(3) In the on-off valve for vacuum described in (1), the heat insulating material is an elastic heat insulating material having an elastic force, and the semiconductor heater is brought into close contact with the outer peripheral surface of the valve body by the elastic heat insulating material. There is to do.
(4) In the vacuum on-off valve described in (3), the mounting plate is a folded mounting plate having a folded end portion folded back to the end portion.
(5) In the vacuum on-off valve described in (4), the folded end is the same height, and the folded end is in contact with the valve body, whereby the elastic heat insulating material can be pressed uniformly. The present invention is characterized in that the degree of adhesion between the semiconductor heater and the valve body is made uniform.
(6) In the vacuum on-off valve described in (4), the folded end is formed at one end of the mounting plate, or the folded end is formed at both ends of the mounting plate. The feature is that the heights are different.
(7) In the vacuum on-off valve described in (4) or (6), the mounting plate changes the degree of adhesion between the semiconductor heater and the valve body by changing the pressing force of the elastic heat insulating material depending on the location. , Is characterized by.
(8) In the vacuum on-off valve described in (3), the mounting plate is a U-shaped mounting plate having a U-shape, and in the state before mounting, the opening of the U-shaped mounting plate It is characterized by the fact that the portion is narrowed inward, the elastic heat insulating material is pressed by the reaction force that returns after expanding the opening of the U-shaped mounting plate, and the semiconductor heater and the valve body are brought into close contact with each other .
(9) One of the vacuum on-off valves described in (4) to (8) is characterized by having a shielding plate.

上記真空用開閉弁の作用及び効果について説明する。
（１）第１流路と第２流路とを連通する弁孔を有するバルブボディと、弁孔の外周に形成された弁座と当接又は離間する弁体と、弁体を駆動する駆動手段と、バルブボディの外壁面に設けられたヒータと、ヒータをバルブボディの外壁面に押圧する取付板と、ヒータと取付板の間に断熱材を有する真空用開閉弁において、ヒータは、薄板状で柔軟性のある半導体ヒータであることにより、バルブボディの外壁面に凹凸があったとしても半導体ヒータを密着させることができる。それにより、ヒータとバルブボディの接触面積が大きくなり伝熱効率が良くなり、ヒータの消費電力も少なくて済む。
（２）前記半導体ヒータは、厚みが１．０ｍｍ以下であることにより、半導体ヒータを薄板状で、かつ、柔軟性のあるものとすることができる。それにより、バルブボディの外壁面に凹凸があったとしても半導体ヒータを変形させバルブボディに密着させる形状とすることができる。
（３）断熱材は弾性力を有する弾性断熱材であること、弾性断熱材により半導体ヒータを前記バルブボディの外周面に密着させることにより、バルブボディに凹凸があったとしても、断熱材がバルブボディの凹凸形状に変形し、半導体ヒータも同様にバルブボディの凹凸形状に変形させることができる。それにより、大きな接触面積で密着させることができる。
（４）取付板は端部に折り返されている折返し端部を有する折返し取付板であることにより、取付板で弾性断熱材を押圧するとき、弾性断熱材への押圧力は折返し端部の高さで調整することができ、それにより、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合を調節することができる。そして、密着度合いによりバルブボディの温度を調節することができる。
（５）折返し端部が同じ高さであること、折返し端部がバルブボディに接触することにより、弾性断熱材を均一に押圧することができ、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合いを均一にすることができる。
（６）折返し端部が取付板の一端に形成されていること、又は、折返し端部が取付板の両端に形成され、両端の折返し端部の高さが異なることにより、弾性断熱材への押圧力を場所により変化させることができる。押圧力を変化させることにより、例えば、生成物が析出しやすい弁座付近の押圧力を高め、弁座付近を高温にすることができる。
（７）取付板が、弾性断熱材の押圧力を場所により変化させることにより、半導体ヒータとバルブボディとの密着度合いを変化させることができる。例えば、生成物が析出しやすい弁座付近等の密着度合いを他の部分よりも密にすることにより、弁座付近の温度を上げることができる。
（８）取付板が、コの字形状をしているコの字取付板であること、取付前の状態においては、コの字取付板の開口部が内側に細くなっていること、コの字取付板の開口部を拡げた後に戻る反力により、弾性断熱材を押し付け、半導体ヒータとバルブボディを密着させることができる。
（９）遮蔽板を有することにより、高温の取付板に作業者が触れて火傷することを防ぐことができる。また、取付板への気流が直接当たることを防ぐため、大気への放熱による温度低下を防ぐことができる。 The operation and effect of the vacuum on-off valve will be described.
(1) A valve body having a valve hole that communicates the first flow path and the second flow path, a valve body that contacts or separates from a valve seat formed on the outer periphery of the valve hole, and a drive that drives the valve body Means, a heater provided on the outer wall surface of the valve body, a mounting plate that presses the heater against the outer wall surface of the valve body, and a vacuum on-off valve having a heat insulating material between the heater and the mounting plate. By being a flexible semiconductor heater, the semiconductor heater can be brought into close contact even if the outer wall surface of the valve body is uneven. Thereby, the contact area between the heater and the valve body is increased, the heat transfer efficiency is improved, and the power consumption of the heater can be reduced.
(2) Since the semiconductor heater has a thickness of 1.0 mm or less, the semiconductor heater can be made thin and flexible. Thereby, even if the outer wall surface of the valve body is uneven, the semiconductor heater can be deformed and brought into close contact with the valve body.
(3) The heat insulating material is an elastic heat insulating material having an elastic force, and even if the valve body has irregularities by attaching the semiconductor heater to the outer peripheral surface of the valve body with the elastic heat insulating material, the heat insulating material The semiconductor heater can be similarly deformed into the uneven shape of the valve body. Thereby, it can be made to contact | adhere with a big contact area.
(4) Since the mounting plate is a folded mounting plate having folded end portions that are folded back at the end portions, when pressing the elastic heat insulating material with the mounting plate, the pressing force to the elastic heat insulating material is high at the folded end portion. Thus, the degree of adhesion between the semiconductor heater and the valve body can be adjusted. And the temperature of a valve body can be adjusted with the close_contact | adherence degree.
(5) Since the folded end is the same height and the folded end is in contact with the valve body, the elastic heat insulating material can be pressed uniformly and the degree of adhesion between the semiconductor heater and the valve body can be made uniform. can do.
(6) The folded end is formed at one end of the mounting plate, or the folded end is formed at both ends of the mounting plate, and the height of the folded end at both ends is different. The pressing force can be changed depending on the location. By changing the pressing force, for example, the pressing force in the vicinity of the valve seat where the product is likely to precipitate can be increased, and the temperature in the vicinity of the valve seat can be increased.
(7) The attachment plate can change the degree of adhesion between the semiconductor heater and the valve body by changing the pressing force of the elastic heat insulating material depending on the location. For example, the temperature in the vicinity of the valve seat can be increased by making the degree of close contact in the vicinity of the valve seat or the like where the product is liable to precipitate more dense than the other portions.
(8) The mounting plate is a U-shaped mounting plate having a U-shape, and in the state before mounting, the opening of the U-shaped mounting plate is narrowed inward, The elastic heat insulating material can be pressed and the semiconductor heater and the valve body can be brought into close contact with each other by the reaction force that returns after expanding the opening of the character mounting plate.
(9) By having the shielding plate, it is possible to prevent the operator from touching the high temperature mounting plate and being burned. Moreover, since it prevents that the airflow to a mounting plate hits directly, the temperature fall by the thermal radiation to air | atmosphere can be prevented.

本発明の第１実施形態に係る真空用開閉弁１の正面図である。1 is a front view of a vacuum on-off valve 1 according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係る図１に示す真空用開閉弁１のＡＡ断面図である。It is AA sectional drawing of the on-off valve 1 for vacuum shown in FIG. 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係る図２に示す真空用開閉弁１（閉弁時）のＬＬ断面図である。FIG. 3 is an LL sectional view of the vacuum on-off valve 1 (when closed) shown in FIG. 2 according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係る図２に示す真空用開閉弁１（開弁時）のＬＬ断面図である。It is LL sectional drawing of the on-off valve 1 for vacuums (at the time of valve opening) shown in FIG. 2 which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係る真空用開閉弁１のバルブボディ４の側面に凹部４Ａが形成された一部上面図である。It is a partial top view in which the recessed part 4A was formed in the side surface of the valve body 4 of the vacuum on-off valve 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態に係る真空用開閉弁１Ｂ（取付板５２取付前）の一部上面図である。It is a partial top view of vacuum on-off valve 1B (before mounting plate 52 mounting) according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第２実施形態に係る真空用開閉弁１Ｂ（取付板５２取付後）の一部上面図である。It is a partial top view of vacuum on-off valve 1B (after mounting plate 52 is mounted) according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第３実施形態に係る真空用開閉弁１Ｃの正面断面図である。It is front sectional drawing of 1C of vacuum on-off valves which concern on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第３実施形態に係る真空用開閉弁１Ｃの変更例に係る正面断面図である。It is front sectional drawing which concerns on the example of a change of 1 C of vacuum on-off valves which concern on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係る真空用開閉弁１Ｄの正面図である。It is a front view of vacuum on-off valve 1D concerning a 4th embodiment of the present invention. 本発明の第４実施形態に係る真空用開閉弁１ＤのＢＢ断面図である。It is BB sectional drawing of 1D of vacuum on-off valves which concern on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第４実施形態に係る真空用開閉弁１Ｄの組立図である。It is an assembly drawing of vacuum on-off valve 1D concerning a 4th embodiment of the present invention. 本発明の第４実施形態に係る真空用開閉弁１Ｄに掛かる反力Ｙを示した図である。It is the figure which showed reaction force Y applied to the on-off valve 1D for vacuum concerning 4th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態に係る真空用開閉弁１Ｅの正面図である。It is a front view of the on-off valve 1E for vacuum which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第５実施形態に係る真空用開閉弁１ＥのＣＣ断面図である。It is CC sectional drawing of the on-off valve 1E for vacuum concerning 5th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態に係る真空用開閉弁１Ｆの正面図である。It is a front view of the on-off valve 1F for vacuum which concerns on 6th Embodiment of this invention. 本発明の第６実施形態に係る真空用開閉弁１ＦのＤＤ断面図である。It is DD sectional drawing of the on-off valve 1F for vacuum concerning 6th Embodiment of this invention. 従来技術である真空用開閉弁２００の正面断面図である。It is front sectional drawing of the on-off valve 200 for vacuum which is a prior art. 従来技術である真空用開閉弁１００の一部上面図である。It is a partial top view of the on-off valve 100 for vacuum which is a prior art.

次に、本発明に係る真空用開閉弁の一実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１実施形態）
図１に真空用開閉弁１の正面図を示す。図２に、図１の真空用開閉弁１のＡＡ断面図を示す。図３は、第１実施形態に係る図２に示す真空用開閉弁１（閉弁時）のＬＬ断面図を示す。図４は、第１実施形態に係る図２に示す真空用開閉弁１（開弁時）のＬＬ断面図を示す。図３及び図４に示す真空用開閉弁１は、従来技術と同様、半導体製造装置に設けられた反応室と真空ポンプとの間に配置される。
真空用開閉弁１は、ベローズ３１を伸縮させながら弁開閉を行うＯＮ−ＯＦＦ式遮断弁であって、反応室からガスを排出する配管の開放と遮断を制御する。真空用開閉弁１は、弁部２にアクチュエータ部３の駆動力を与えて弁開閉を行う。真空用開閉弁１の内部の構成は、本出願人が行った出願である上記特許文献２の発明と構成が同様であるため、ここでは説明を割愛する。 Next, an embodiment of a vacuum on-off valve according to the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
FIG. 1 shows a front view of the vacuum on-off valve 1. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA of the vacuum on-off valve 1 of FIG. 3 shows an LL cross-sectional view of the vacuum on-off valve 1 (when closed) shown in FIG. 2 according to the first embodiment. 4 shows an LL cross-sectional view of the vacuum on-off valve 1 (when opened) shown in FIG. 2 according to the first embodiment. The vacuum on-off valve 1 shown in FIGS. 3 and 4 is disposed between a reaction chamber provided in a semiconductor manufacturing apparatus and a vacuum pump, as in the prior art.
The vacuum on-off valve 1 is an ON-OFF type shut-off valve that opens and closes while expanding and contracting the bellows 31, and controls the opening and shut-off of a pipe that discharges gas from the reaction chamber. The vacuum on-off valve 1 opens and closes the valve portion 2 by applying a driving force of the actuator portion 3 to the valve portion 2. Since the internal configuration of the vacuum on-off valve 1 is the same as the configuration of the above-mentioned Patent Document 2 which is an application filed by the present applicant, description thereof is omitted here.

＜ヒータ取付の構成＞
図１に示すように、真空用開閉弁１は、弁部２及びアクチュエータ部３により構成されている。弁部２の外面には弁本体４が露出している。弁本体４には、第１流路７及び第２流路８が形成されている。
バルブボディ４の側面のうち、第２流路８が形成された面以外の３面には、薄型のヒータ４０、樹脂製の断熱材４１、及び、取付板４２が取付けられている。
ヒータ４０は、本実施例においては例えば、ゲルマヒーター（日本ゲルマヒーター株式会社製、登録商標）を使用する。ゲルマヒーターは、厚み０．３ｍｍの極薄の板状の形状で、半導体である発熱部を電気的絶縁性の有る樹脂フィルムで被覆したもので、かつ、柔軟性を有するため、バルブボディ４に凹凸がある場合には、凹凸の形状に沿うような形状に変形することができる。また、自己制御することができる。
また、ゲルマヒータの発熱は面発熱による。抵抗は高く一定であり、電流は小電流で一定であり、消費電力は少ない。伝熱効率は良く、９０％以上である。温度特性として、自己制御性がある。また、構造の変化がないため寿命が長い。 <Configuration of heater mounting>
As shown in FIG. 1, the vacuum on-off valve 1 includes a valve portion 2 and an actuator portion 3. The valve body 4 is exposed on the outer surface of the valve portion 2. A first flow path 7 and a second flow path 8 are formed in the valve body 4.
Of the side surfaces of the valve body 4, a thin heater 40, a resin heat insulating material 41, and a mounting plate 42 are attached to three surfaces other than the surface on which the second flow path 8 is formed.
In the present embodiment, for example, a germane heater (registered trademark, manufactured by Nippon German Heater Co., Ltd.) is used as the heater 40. The german heater is an extremely thin plate-like shape with a thickness of 0.3 mm, and a heat generating part, which is a semiconductor, is covered with a resin film having electrical insulation, and has flexibility, so that the valve body 4 When there is an unevenness, it can be deformed into a shape that follows the shape of the unevenness. It can also be self-controlling.
Further, the heat generated by the german heater is due to surface heat generation. Resistance is high and constant, current is constant at a small current, and power consumption is low. Heat transfer efficiency is good, 90% or more. There is self-controllability as a temperature characteristic. In addition, the lifetime is long because there is no structural change.

断熱材４１は、本実施例においては例えば、シリコンスポンジやシリコンラバー等の弾性力及び断熱性を有する樹脂を用いる。断熱材４１の大きさは、ヒータ４０と同様か又はそれ以上の大きさである。
取付板４２は、金属である。取付板４２の大きさは、断熱材４１と同様か又はそれ以上の大きさである。取付板４２の四隅には、４つのネジ孔４２Ａが形成されている。ネジ孔４２Ａには、ネジ４３が挿入され、取付板４２をバルブボディ４に固定している。 In the present embodiment, the heat insulating material 41 uses, for example, a resin having elastic force and heat insulating properties such as silicon sponge and silicon rubber. The size of the heat insulating material 41 is the same as or larger than that of the heater 40.
The mounting plate 42 is a metal. The size of the mounting plate 42 is the same as or larger than that of the heat insulating material 41. Four screw holes 42 A are formed at the four corners of the mounting plate 42. A screw 43 is inserted into the screw hole 42 A to fix the mounting plate 42 to the valve body 4.

バルブボディ４にヒータ４０を取り付けるため本実施例では、例えば以下の３つの手順によって取付ける。
第１に、バルブボディ４にヒータ４０を貼り付ける。ヒータ４０は、厚み０．３ｍｍの薄板状のものであるため、バルブボディ４の側面に密着させることができる。
第２に、断熱材４１をヒータ４０の上に貼り付け、ヒータ４０の上から断熱材４１をバルブボディ４の方向に対して押圧する。
第３に、取付板４２を断熱材４１の上から固定する。具体的には、取付板４２のネジ孔４２Ａにネジ４３をはめ込む。ネジ４３をはめ込むことにより、取付板４２はバルブボディ２の方向へ押圧される。取付板４２がバルブボディ４の方向へ押圧されると、断熱材４１及びヒータ４０をバルブボディ４へ押圧することができる。
断熱材４１には、弾性力があるため、バルブボディ４の方向へ押圧されると、弾性力によりヒータ４０をバルブボディ４の方向へ押圧することができる。ヒータ４０は、厚み０．３ｍｍと薄く、かつ、柔軟性を有するため、断熱材４１の弾性力によりバルブボディ４に押圧され、ヒータ４０とバルブボディ４の間の空気層がなくなるほど押圧することができる。そのため、図２に示すように、ヒータ４０をバルブボディ４に密着させることができる。 In this embodiment, the heater 40 is attached to the valve body 4, for example, by the following three procedures.
First, the heater 40 is attached to the valve body 4. Since the heater 40 is a thin plate having a thickness of 0.3 mm, it can be brought into close contact with the side surface of the valve body 4.
Secondly, the heat insulating material 41 is affixed on the heater 40, and the heat insulating material 41 is pressed against the valve body 4 from above the heater 40.
Third, the mounting plate 42 is fixed from above the heat insulating material 41. Specifically, the screw 43 is fitted into the screw hole 42 A of the mounting plate 42. By fitting the screw 43, the mounting plate 42 is pressed toward the valve body 2. When the mounting plate 42 is pressed in the direction of the valve body 4, the heat insulating material 41 and the heater 40 can be pressed against the valve body 4.
Since the heat insulating material 41 has an elastic force, when it is pressed in the direction of the valve body 4, the heater 40 can be pressed in the direction of the valve body 4 by the elastic force. Since the heater 40 is as thin as 0.3 mm and has flexibility, the heater 40 is pressed against the valve body 4 by the elastic force of the heat insulating material 41, and is pressed so that the air layer between the heater 40 and the valve body 4 disappears. Can do. Therefore, the heater 40 can be brought into close contact with the valve body 4 as shown in FIG.

＜ヒータ・断熱材・取付板の作用・効果＞
真空用開閉弁１を加熱するのは、真空用開閉弁１の第１流路７、第２流路８、弁室５を流通するプロセスガスの生成物が、常温で析出しないようにするためである。プロセスガスが常温で生成物が析出し付着されると、第１流路７、第２流路８、弁室５等に付着し、真空開閉弁１の機密性を阻害したり、流路が絞られてしまうためである。
そのため、半導体製造工程で使用される真空用開閉弁１は、バルブボディ４をヒータ４０により加熱することによって、プロセスガスと接触する部分の温度を高め生成物が付着することを防止している。 <Operation and effect of heater, heat insulating material and mounting plate>
The reason why the vacuum on-off valve 1 is heated is to prevent the product of the process gas flowing through the first flow path 7, the second flow path 8, and the valve chamber 5 of the vacuum on-off valve 1 from precipitating at room temperature. It is. When the process gas deposits and adheres to the product at room temperature, it adheres to the first flow path 7, the second flow path 8, the valve chamber 5, etc. This is because it will be narrowed down.
Therefore, in the vacuum on-off valve 1 used in the semiconductor manufacturing process, the valve body 4 is heated by the heater 40 to increase the temperature of the portion in contact with the process gas and prevent the product from adhering.

本実施例においては、弾性力のある断熱材４１を用いてヒータ４０がバルブボディ４に密着して取付けられているため、ヒータ４０が発生する熱を効率良くバルブボディ４に伝えることができる。そのため、省電力でバルブボディ４を加熱することができる。
したがって、プロセスガスの流体の温度を高め生成物の付着を防止することができる。 In the present embodiment, since the heater 40 is attached in close contact with the valve body 4 using the heat insulating material 41 having elasticity, the heat generated by the heater 40 can be efficiently transmitted to the valve body 4. Therefore, the valve body 4 can be heated with power saving.
Therefore, the temperature of the fluid of the process gas can be increased and the product can be prevented from adhering.

また、本実施例においては、図５に示すように、真空用開閉弁１のバルブボディ４の側面に凹部４Ａが形成されている場合であっても、ヒータ４０は、厚みが０．３ｍｍの薄板状の形状であり、かつ、柔軟性があるため、バルブボディ４の側面である凹部４Ａに適合した形状にすることができる。バルブボディ４の側面である凹部４Ａに適合した形状とすることにより、バルブボディ４とヒータ４０との間の非接触部を小さくすることができる。したがって、バルブボディ４とヒータ４０の接触面積が大きくなり伝熱効率が良くなり、ヒータ４０の消費電力が少なくて済む。
なお、本実施例では、厚さ０．３ｍｍの半導体ヒータを用いているが、厚さ１．０ｍｍの場合、厚さ０．３ｍｍのものよりも厚みはあるが、十分に柔軟性を確保することができるため、バルブボディ４の側面の凹凸に適合した形状にできる。なお、厚さ１．０ｍｍとすると厚さ０．３ｍｍと比べ厚みを有するため伝熱効率・発熱効率が悪くなるが、半導体ヒータの目標温度が低い場合には十分実用に耐えることを実験により確認している。
さらに、厚さ０．７ｍｍであれば、１．０ｍｍよりも柔軟性を有するため、厚さ１．０ｍｍよりも容易にバルブボディ４の側面の凹凸に適合した形状にできる。また、０．５ｍｍであれば、０．７ｍｍよりも伝熱効率・発熱効率が良いため省エネになり効果的であることを実験により確認している。 Further, in this embodiment, as shown in FIG. 5, even when the recess 4A is formed on the side surface of the valve body 4 of the vacuum on-off valve 1, the heater 40 has a thickness of 0.3 mm. Since it is a thin plate-like shape and has flexibility, it can be formed into a shape suitable for the concave portion 4 A that is the side surface of the valve body 4. By making the shape suitable for the recess 4 A that is the side surface of the valve body 4, the non-contact portion between the valve body 4 and the heater 40 can be reduced. Therefore, the contact area between the valve body 4 and the heater 40 is increased, the heat transfer efficiency is improved, and the power consumption of the heater 40 can be reduced.
In this embodiment, a semiconductor heater having a thickness of 0.3 mm is used. However, when the thickness is 1.0 mm, the thickness is larger than that of the thickness of 0.3 mm, but sufficient flexibility is ensured. Therefore, the shape can be adapted to the unevenness of the side surface of the valve body 4. Note that if the thickness is 1.0 mm, the heat transfer efficiency and heat generation efficiency deteriorate because it is thicker than the thickness of 0.3 mm. However, if the target temperature of the semiconductor heater is low, it has been confirmed by experiments that it is sufficiently practical. ing.
Further, if the thickness is 0.7 mm, the shape is more flexible than 1.0 mm, so that the shape can be more easily adapted to the unevenness on the side surface of the valve body 4 than the thickness of 1.0 mm. In addition, it has been confirmed through experiments that 0.5 mm is effective because it has better heat transfer efficiency and heat generation efficiency than 0.7 mm, which is energy saving.

また、ヒータ４０に対して、取付板４２との間に弾性力のある断熱材４１を挟み込むことで、断熱材４１は、バルブボディ４に押圧され、ヒータ４０ともども、バルブボディ４の側面の凹部４Ａの形状に変形させることができる。ヒータ４０はバルブボディ４に対して押圧されるため、凹部４Ａとの間の空気層が押し出される。ヒータ４０と凹部４Ａの間に空気層がなくなると断熱する空気層がなくなるため、より伝熱効率がよくなる。
したがって、弾性力のある断熱材４１を有することにより、ヒータ４０を、バルブボディ４に適合した形状にすることができ、さらに、バルブボディ４とヒータ４０の間に空気層がなくなるほどを密着させることができるため、バルブボディ４とヒータ４０の接触面積が大きくなり伝熱効率が良くなる。 Further, by sandwiching a heat insulating material 41 having elasticity between the heater 40 and the mounting plate 42, the heat insulating material 41 is pressed by the valve body 4, and the recesses on the side surfaces of the valve body 4 are also returned to the heater 40. It can be transformed into a 4A shape. Since the heater 40 is pressed against the valve body 4, the air layer between the recess 4A is pushed out. When there is no air layer between the heater 40 and the recess 4A, there is no air layer for heat insulation, so heat transfer efficiency is improved.
Therefore, by having the heat insulating material 41 having an elastic force, the heater 40 can be shaped to fit the valve body 4, and further, the valve body 4 and the heater 40 are in close contact so that there is no air layer. Therefore, the contact area between the valve body 4 and the heater 40 is increased, and the heat transfer efficiency is improved.

また、断熱材４１を有することにより、ヒータ４０で生じた熱が取付板側へ伝わることを抑制しているため、大気への無駄な放熱を抑えて省エネとなり、また、取付板４２の温度が下がることで安全側に働く。 Moreover, since it has suppressed that the heat which generate | occur | produced with the heater 40 is transmitted to the attachment board side by having the heat insulating material 41, it suppresses useless heat dissipation to air | atmosphere, it becomes energy saving, and the temperature of the attachment board 42 is also Work on the safe side by lowering.

＜真空用開閉弁の内部構成＞
図３に示すように、弁部２は、「弁本体」に内蔵される。「弁本体」は、第１流路７と第２流路８との間に弁座９を設けた弁室５を形成するものであり、本実施形態では、バルブボディ４と第２閉鎖プレート２０とパイプ部材２８によって構成されている。第２流路８と弁室５の当接部に弁孔１７が形成されている。弁孔１７の外周には弁座９が形成されている。バルブボディ４は、剛性及び耐圧性を確保するためにステンレスや炭素鋼などの金属を材質とする。バルブボディ４は、第２閉鎖プレート２０に塞がれて弁室５を形成するための中空部６を備える。中空部６には、バルブボディ４の側面に開口する第１流路７が連通すると共に、バルブボディ４の図中下面に開口する第２流路８が連通している。バルブボディ４は、第１流路７が中空部６に開口する開口部の周りに設けられた平坦面により弁座９が構成されている。弁座９には、弁体１０が当接又は離間する。 <Internal configuration of vacuum on-off valve>
As shown in FIG. 3, the valve unit 2 is built in a “valve body”. The “valve body” forms a valve chamber 5 in which a valve seat 9 is provided between the first flow path 7 and the second flow path 8. In the present embodiment, the valve body 4 and the second closing plate are formed. 20 and a pipe member 28. A valve hole 17 is formed in a contact portion between the second flow path 8 and the valve chamber 5. A valve seat 9 is formed on the outer periphery of the valve hole 17. The valve body 4 is made of a metal such as stainless steel or carbon steel in order to ensure rigidity and pressure resistance. The valve body 4 includes a hollow portion 6 that is closed by the second closing plate 20 to form the valve chamber 5. The hollow portion 6 communicates with a first flow path 7 that opens to the side surface of the valve body 4, and a second flow path 8 that opens to the lower surface of the valve body 4 in the drawing. In the valve body 4, a valve seat 9 is constituted by a flat surface provided around an opening where the first flow path 7 opens into the hollow portion 6. The valve body 10 contacts or separates from the valve seat 9.

一方、アクチュエータ部３は、バルブボディ４に連結されるシリンダボディ１８に内蔵される。シリンダボディ１８は、耐圧性を確保するためにステンレスや炭素鋼などの金属を材質とする。シリンダボディ１８は、上下に開口する筒状をなす。シリンダボディ１８は、上側開口部が金属製の第１閉鎖プレート１９に塞がれ、下側開口部が金属製の第２閉鎖プレート２０に塞がれることによって、ピストン室２１を形成している。 On the other hand, the actuator unit 3 is built in a cylinder body 18 connected to the valve body 4. The cylinder body 18 is made of a metal such as stainless steel or carbon steel in order to ensure pressure resistance. The cylinder body 18 has a cylindrical shape that opens up and down. The cylinder body 18 forms a piston chamber 21 by closing the upper opening portion with a metal first closing plate 19 and closing the lower opening portion with a metal second closing plate 20. .

ピストン室２１は、シリンダボディ１８に摺動可能に装填されたピストン２２によって一次室２１ａと二次室２１ｂに仕切られている。ピストン２２は、耐圧性と剛性を確保するために金属を材質とし、ゴムや樹脂などの弾性材料からなるシール部材２３が外周面に装着されている。そのため、ピストン室２１は、ピストン２２によって一次室２１ａと二次室２１ｂとに気密に区画されている。一次室２１ａは、図示しない開口部を介して大気開放されている。二次室２１ｂは、シリンダボディ１８に開設されたオリフィス２４を介して操作ポート２５に連通している。第１実施形態では、オリフィス２４は断面が円形状に形成されている。 The piston chamber 21 is partitioned into a primary chamber 21 a and a secondary chamber 21 b by a piston 22 slidably loaded in the cylinder body 18. The piston 22 is made of metal to ensure pressure resistance and rigidity, and a seal member 23 made of an elastic material such as rubber or resin is attached to the outer peripheral surface. Therefore, the piston chamber 21 is airtightly divided into a primary chamber 21 a and a secondary chamber 21 b by the piston 22. The primary chamber 21a is open to the atmosphere through an opening (not shown). The secondary chamber 21 b communicates with the operation port 25 via an orifice 24 established in the cylinder body 18. In the first embodiment, the orifice 24 has a circular cross section.

ピストン２２の中心部には、図中下側から図中上側に金属製の出力軸２６が貫き通されている。出力軸２６は、ピストン２２の図中上側に突き出した部分に金属製の固定ナット２７を締め付けられてピストン２２と一体化されている。尚、第１実施形態では、固定ナット２７は出力軸２６の一部を構成するものとする。出力軸２６は、第２閉鎖プレート２０とパイプ部材２８に摺動自在に挿通され、先端部が弁室５内に突き出している。 A metal output shaft 26 passes through the center of the piston 22 from the lower side in the figure to the upper side in the figure. The output shaft 26 is integrated with the piston 22 by tightening a metal fixing nut 27 at a portion protruding upward of the piston 22 in the figure. In the first embodiment, the fixing nut 27 constitutes a part of the output shaft 26. The output shaft 26 is slidably inserted into the second closing plate 20 and the pipe member 28, and a tip portion projects into the valve chamber 5.

パイプ部材２８は、弁体１０の全開位置を決めるように弁室５内に下端部が配置されている。出力軸２６は、パイプ部材２８の下端部から進退可能に突出し、先端部が弁体１０の中心部に貫き通されて取付ナット２９を締め付けられ、弁体１０と一体化されている。よって、ピストン２２と弁体１０とは、出力軸２６を介して一体化され、一体的に直線往復運動する。 The pipe member 28 has a lower end portion disposed in the valve chamber 5 so as to determine a fully opened position of the valve body 10. The output shaft 26 protrudes from the lower end portion of the pipe member 28 so as to be able to advance and retreat, and the tip end portion penetrates through the center portion of the valve body 10 and is tightened with a mounting nut 29, and is integrated with the valve body 10. Therefore, the piston 22 and the valve body 10 are integrated via the output shaft 26 and integrally reciprocate linearly.

弁体１０とパイプ部材２８との間には、復帰ばね３０が縮設され、弁体１０を弁座９側に向かって押し下げている。この押圧力によって、弁体１０がＯリング１３を押し潰すように弁座９に押し付けられ、シール力を発生する。復帰ばね３０の弾性力は、弁体１０から出力軸２６を介してピストン２２へ伝達され、ピストン２２に図中下向きの力を与える。 A return spring 30 is provided between the valve body 10 and the pipe member 28 so as to push down the valve body 10 toward the valve seat 9 side. By this pressing force, the valve body 10 is pressed against the valve seat 9 so as to crush the O-ring 13 and generates a sealing force. The elastic force of the return spring 30 is transmitted from the valve body 10 to the piston 22 via the output shaft 26, and gives a downward force to the piston 22 in the figure.

出力軸２６とパイプ部材２８と復帰ばね３０は、ベローズ３１によって覆われ、摺動部等から発生するパーティクルが弁室５内に漏れないようにしている。ベローズ３１は、ステンレス等の金属を材質とし、弁室５内に伸縮自在に配設されている。ベローズ３１は、上端部が環状の保持部材３２に溶接され、その保持部材３２をバルブボディ４とシリンダボディ１８とに嵌め合わせることによってバルブボディ４及びシリンダボディ１８に対して位置決めされている。ベローズ３１の下端部は、復帰ばね３０の外側において固定プレート１１に溶接されている。 The output shaft 26, the pipe member 28, and the return spring 30 are covered with a bellows 31 so that particles generated from a sliding portion or the like do not leak into the valve chamber 5. The bellows 31 is made of a metal such as stainless steel and is disposed in the valve chamber 5 so as to be extendable and contractable. The upper end of the bellows 31 is welded to an annular holding member 32 and is positioned relative to the valve body 4 and the cylinder body 18 by fitting the holding member 32 to the valve body 4 and the cylinder body 18. A lower end portion of the bellows 31 is welded to the fixed plate 11 outside the return spring 30.

＜真空用開閉弁の作用・効果＞
上記構成を有する真空用開閉弁１は、例えば、第２流路８が真空ポンプに接続され、第１流路７が真空容器に接続される。そして、操作ポート２５に図示しない操作流体制御装置が接続される。
操作ポート２５に操作流体を供給しないときには、図３に示すように、復帰ばね３０の弾性力によって弁体１０が弁座９に当接し、第１流路７と第２流路８との間を遮断する。そのため、第１流路７から第２流路８へと流体が流れない。よって、真空容器は真空引きされない。 <Action and effect of vacuum on-off valve>
In the vacuum on-off valve 1 having the above configuration, for example, the second flow path 8 is connected to a vacuum pump, and the first flow path 7 is connected to a vacuum vessel. An operation fluid control device (not shown) is connected to the operation port 25.
When the operation fluid is not supplied to the operation port 25, as shown in FIG. 3, the valve body 10 abuts on the valve seat 9 by the elastic force of the return spring 30, and between the first flow path 7 and the second flow path 8. Shut off. Therefore, no fluid flows from the first flow path 7 to the second flow path 8. Therefore, the vacuum container is not evacuated.

操作ポート２５に操作流体を供給し、二次室２１ｂの内圧が復帰ばね３０の弾性力に打ち勝つと、図４に示すように、ピストン２２が図中上向きに移動して弁体１０を弁座９から離間させ、全開位置まで移動させる。これにより、第１流路７と第２流路８とが連通し、第１流路７から第２流路８へ流体が流れる。よって、真空容器は真空ポンプのポンプ動作によって真空引きされる。
その後、二次室２１ｂの操作流体を排気し、復帰ばね３０の弾性力が二次室２１ｂの内圧に打ち勝つと、弁体１０が復帰バネ３０に付勢されて下降し、図３に示すように弁座９に当接する。そのため、第１流路７と第２流路８との間が再び遮断され、流体が流れなくなる。よって、真空容器は真空引きされなくなる。 When the operation fluid is supplied to the operation port 25 and the internal pressure of the secondary chamber 21b overcomes the elastic force of the return spring 30, the piston 22 moves upward in the drawing as shown in FIG. It is moved away from 9 and moved to the fully open position. As a result, the first flow path 7 and the second flow path 8 communicate with each other, and the fluid flows from the first flow path 7 to the second flow path 8. Therefore, the vacuum container is evacuated by the pumping operation of the vacuum pump.
Thereafter, when the operating fluid in the secondary chamber 21b is exhausted and the elastic force of the return spring 30 overcomes the internal pressure of the secondary chamber 21b, the valve body 10 is biased by the return spring 30 and descends, as shown in FIG. It contacts the valve seat 9. Therefore, the first flow path 7 and the second flow path 8 are blocked again, and the fluid does not flow. Therefore, the vacuum container is not evacuated.

（第２実施形態）
第２実施形態に係る真空用開閉弁１Ｂを図６及び図７に記載する。真空用開閉弁１Ｂは、第１実施形態と比較して取付板の形状を除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、取付板を除いて説明を割愛する。
図６及び図７に、取付板端部に折り返されている折返し端部を有する折返し取付板５２を示す。折り返された端部を、折返し端部５２１とする。
図６に示すように、折返し取付板５２は、折返し端部５２１の長さを調整することで、バルブボディ４と折返し取付板５２との隙間高さＸを調整することができ、折返し取付板５２の押さえつけ力を調整することができる。折返し端部５２１の高さを両端で変えることにより、ネジ４３で固定する際の押圧力が変わる。したがって、折返し取付板５２の押圧力を場所により変化させることにより、ヒータ４０とバルブボディ４との密着度合いを変化させることができ、生成物が析出し付着しやすい弁座９付近の密着度を他の部分よりも密にすることにより、弁座９付近の温度を上げることができる。
また、図７に示すように、折返し端部５２１が同じ長さであれば、折返し取付板５２をネジ４３で固定する際にかかる荷重が同じとなり、ヒータ４０をバルブボディ４に均等な力で接触させることができる。 (Second Embodiment)
A vacuum on-off valve 1B according to the second embodiment is shown in FIGS. Since the vacuum on-off valve 1B is not different from the vacuum on-off valve 1 of the first embodiment except for the shape of the mounting plate as compared with the first embodiment, the description is omitted except for the mounting plate.
6 and 7 show a folded attachment plate 52 having folded ends that are folded back to the attachment plate ends. The folded end is defined as a folded end 521.
As shown in FIG. 6, the folding attachment plate 52 can adjust the gap height X between the valve body 4 and the folding attachment plate 52 by adjusting the length of the folding end portion 521. The pressing force of 52 can be adjusted. By changing the height of the folded end portion 521 at both ends, the pressing force when fixing with the screw 43 is changed. Therefore, the degree of adhesion between the heater 40 and the valve body 4 can be changed by changing the pressing force of the folded mounting plate 52 depending on the location, and the degree of adhesion near the valve seat 9 where the product is likely to deposit and adhere. By making it denser than the other parts, the temperature in the vicinity of the valve seat 9 can be raised.
As shown in FIG. 7, if the folded end 521 has the same length, the load applied when the folded mounting plate 52 is fixed with the screw 43 is the same, and the heater 40 is applied to the valve body 4 with an equal force. Can be contacted.

また、折返し端部５２１の長さを端部ごとに変えることで、断熱材４１の押圧力を場所により変化させることができ、ヒータ４０とバルブボディ４との密着度合いを変化させ、生成物が析出し付着しやすい弁座９付近等の温度を上げることができる。 Further, by changing the length of the folded end 521 for each end, the pressing force of the heat insulating material 41 can be changed depending on the location, the degree of adhesion between the heater 40 and the valve body 4 is changed, and the product is changed. The temperature in the vicinity of the valve seat 9 that easily deposits and adheres can be increased.

（第３実施形態）
第３実施形態に係る真空用開閉弁１Ｃを図８に記載する。真空用開閉弁１Ｃは、第１実施形態と比較して取付板の形状を除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、取付板を除いて説明を割愛する。
図８に示すように、取付板をＬ字形状とするＬ字取付板６２を示す。Ｌ字取付板６２は、取付板の一端を折り返してＬ字形状としたものである。折り返された端部を、折返し端部６２１とする。折返しのない端部を他端部６２２とする。 (Third embodiment)
FIG. 8 shows a vacuum on-off valve 1C according to the third embodiment. Since the vacuum on-off valve 1C is not different from the vacuum on-off valve 1 of the first embodiment except for the shape of the mounting plate as compared with the first embodiment, the description is omitted except for the mounting plate.
As shown in FIG. 8, an L-shaped mounting plate 62 having an L-shaped mounting plate is shown. The L-shaped attachment plate 62 is formed in an L shape by folding back one end of the attachment plate. The folded end is defined as a folded end 621. The end portion that is not folded is referred to as the other end portion 622.

図８に示すように、Ｌ字取付板６２は、Ｌ字形状とすることで、ヒータ４０を強くバルブボディ４に押し付け熱を伝えたい部分と、ヒータ４０を弱くバルブボディ４に押し付け熱を伝えたくない部分とに対して、押圧力を換え、熱の伝導に強弱を付けることができる。
すなわち、真空用開閉弁１Ｃにおいては、プロセスガスの生成物が、析出し付着し易い弁座９付近を高温にしたい。弁座９付近は第２流路８がヒータ４０と当接しておらず、さらに、外気に触れている部分であるため温度が下がりやすいからである。
そこで、Ｌ字取付板６２のうちヒータ４０を寄り近くで押圧することができる他端部６２２を弁座９付近にもってくる。他端部６２２は、折返し端部がなくヒータ４０に近いため、ネジ４３で固定する際にその押圧力が伝わりやすい。したがって、ヒータ４０をバルブボディ４に対して強く押圧することができるため、弁座９付近の温度を上げることができる。 As shown in FIG. 8, the L-shaped mounting plate 62 has an L-shape so that the heater 40 is strongly pressed against the valve body 4 and the heat is weakly transmitted to the valve body 4. By changing the pressing force against the part you do not want, you can increase or decrease the heat conduction.
That is, in the vacuum on-off valve 1C, it is desired to increase the temperature in the vicinity of the valve seat 9 where the product of the process gas is likely to deposit and adhere. This is because the vicinity of the valve seat 9 is a portion where the second flow path 8 is not in contact with the heater 40 and is in contact with the outside air, so the temperature tends to decrease.
Therefore, the other end portion 622 that can press the heater 40 close to the L-shaped mounting plate 62 is brought near the valve seat 9. Since the other end 622 has no folded end and is close to the heater 40, the pressing force is easily transmitted when the other end 622 is fixed with the screw 43. Therefore, the heater 40 can be strongly pressed against the valve body 4, so that the temperature near the valve seat 9 can be raised.

それに対して、Ｌ字取付板６２の折返し端部６２１側は、折返し端部６２１が存在するためＬ字取付板６２とヒータ４０が他端部６２２と比べ遠い。したがって、Ｌ字取付板６２の押圧力が直接ヒータ４０に掛からないため、他端部６２２側よりも押圧力が弱くなる。よって、弁座９付近を他端部６２２側と比べると直接温度を上げることができない。
したがって、Ｌ字取付板６２の押圧力を場所により変化させることにより、ヒータ４０とバルブボディ４との密着度合いを変化させることができ、生成物が析出し付着しやすい弁座９付近の密着度を他の部分よりも密にすることにより、弁座９付近の温度を上げることができる。 On the other hand, the folded-back end 621 side of the L-shaped mounting plate 62 is far from the L-shaped mounting plate 62 and the heater 40 because the folded-back end 621 exists. Therefore, since the pressing force of the L-shaped mounting plate 62 is not directly applied to the heater 40, the pressing force is weaker than the other end 622 side. Therefore, when the vicinity of the valve seat 9 is compared with the other end 622 side, the temperature cannot be directly increased.
Therefore, by changing the pressing force of the L-shaped mounting plate 62 depending on the location, the degree of adhesion between the heater 40 and the valve body 4 can be changed, and the degree of adhesion near the valve seat 9 where the product is likely to deposit and adhere. The temperature in the vicinity of the valve seat 9 can be increased by making the airtighter than the other portions.

なお、図８においては、他端部６２２側には折返し端部を設けなかったが、図９に示すように、他端部６２２側に、折返し端部６２１よりも高さの低い折返し端部６２３を設けることによっても、上述した図８のＬ字取付板６２と同様の効果を得ることができる。 In FIG. 8, the folded end is not provided on the other end 622 side, but the folded end having a lower height than the folded end 621 is provided on the other end 622 side as shown in FIG. 9. By providing 623, the same effect as the L-shaped attachment plate 62 of FIG. 8 described above can be obtained.

（第４実施形態）
第４実施形態に係る真空用開閉弁１Ｄを図１０乃至図１３に記載する。真空用開閉弁１Ｄは、第１実施形態と比較して取付板の形状及び断熱材の形状を除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、取付板を除いて説明を割愛する。
図１１に示すように、取付板をコの字形状とするコの字取付板７２を示す。また、図１２に示すように、コの字取付板７２の開口部７２１は内側に細くなっている。コの字取付板７２には、ネジ孔計８個形成されている。
断熱材をコの字形状とするコの字断熱材７１とする。 (Fourth embodiment)
A vacuum on-off valve 1D according to a fourth embodiment is shown in FIGS. Since the vacuum on-off valve 1D is not different from the vacuum on-off valve 1 of the first embodiment except for the shape of the mounting plate and the shape of the heat insulating material as compared with the first embodiment, the vacuum on-off valve 1D is excluded from the mounting plate. I will omit the explanation.
As shown in FIG. 11, a U-shaped mounting plate 72 having a U-shaped mounting plate is shown. Further, as shown in FIG. 12, the opening 721 of the U-shaped mounting plate 72 is narrowed inward. A total of eight screw holes are formed on the U-shaped mounting plate 72.
A U-shaped heat insulating material 71 having a U-shaped heat insulating material is used.

図１２に示すように、第１にバルブボディ４にコの字断熱材７１を取付ける。第２にコの字取付板７２をコの字断熱材７１の上から取付ける。コの字取付板７２は、開口部７２１が内側に細くなっているため、取り付ける際には板材を拡げてコの字断熱材７１に取り付ける。コの字取付板７２は開口部７２１の板材を拡げるため、図１３に示すように反力Ｙが生じ、その反力Ｙでコの字断熱材７１をバルブボディ４に押し付け、さらに、反力Ｙによりコの字断熱材７１がヒータ４０をバルブボディ４に押し付けることができる。したがって、コの字取付板７２が開口部が内側に細くなっているコの字形状をしていることにより、取付の際に反力を生じさせ、ヒータ４０をバルブボディ４により密着させることができる。
また、第１実施例に係る取付板４２では、バルブボディ４に取付ける際には、計１２個のネジ４３を必要とするのに対して、コの字取付板７２をバルブボディ４に取付ける際には、ネジ４３を計８個使用するだけでよいため、取付に際するコストの削減を図ることができる。 As shown in FIG. 12, first, a U-shaped heat insulating material 71 is attached to the valve body 4. Second, the U-shaped mounting plate 72 is mounted from above the U-shaped heat insulating material 71. The U-shaped attachment plate 72 has an opening 721 that is narrowed inward, and therefore, when attached, the plate material is expanded and attached to the U-shaped heat insulating material 71. Since the U-shaped mounting plate 72 expands the plate material of the opening 721, a reaction force Y is generated as shown in FIG. 13, and the U-shaped heat insulating material 71 is pressed against the valve body 4 by the reaction force Y. The U-shaped heat insulating material 71 can press the heater 40 against the valve body 4 by Y. Therefore, since the U-shaped mounting plate 72 has a U-shaped shape with the opening narrowed inward, a reaction force is generated during the mounting, and the heater 40 can be brought into close contact with the valve body 4. it can.
In addition, the mounting plate 42 according to the first embodiment requires a total of twelve screws 43 when mounting to the valve body 4, while mounting the U-shaped mounting plate 72 to the valve body 4. Since it is only necessary to use a total of eight screws 43, the cost for mounting can be reduced.

（第５実施形態）
第５実施形態に係る真空用開閉弁１Ｅを図１４及び図１５に記載する。真空用開閉弁１Ｅは、第１実施形態と比較して取付板の上方に取り付けられた遮蔽板に関係するものを除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、遮蔽板に関係するものを除いて他の説明を割愛する。
図１４に示すように、真空用開閉弁１Ｅは、バルブボディ４、ヒータ４０、断熱材４１、取付板４２、取付ネジ８６、遮蔽板８５、ネジ８３を有する。
図１５に示すように、取付ネジ８６は、ボルト形状であるネジ頭８６Ａ及びネジ部８６Ｂを有する。ネジ頭８６Ａの中心部には、雌ネジ８６１Ａが形成されている。
遮蔽板８５は、取付板８２と同程度の大きさである。 (Fifth embodiment)
A vacuum on-off valve 1E according to the fifth embodiment is shown in FIGS. Since the vacuum on-off valve 1E is not different from the vacuum on-off valve 1 of the first embodiment except for the one related to the shielding plate attached above the attachment plate as compared with the first embodiment, Other explanations are omitted except for those related to the shielding plate.
As shown in FIG. 14, the vacuum on-off valve 1 E includes a valve body 4, a heater 40, a heat insulating material 41, a mounting plate 42, a mounting screw 86, a shielding plate 85, and a screw 83.
As shown in FIG. 15, the attachment screw 86 has a screw head 86 A and a screw portion 86 B that are bolt-shaped. A female screw 861A is formed at the center of the screw head 86A.
The shielding plate 85 is about the same size as the mounting plate 82.

バルブボディ４にヒータ４０、断熱材４１、取付板４２を取付けるまでは、第１実施形態と同様である。取付板４２を取付ける際には、取付ネジ８６を使用する。取付ネジ８６を取付けた後、取付ネジ８６のネジ頭８６Ａに遮蔽板８５を取付け、ネジ８３により固定する。ネジ頭８６Ａには、雌ネジ８６１Ａが形成されているため、ネジ８３をネジ頭８６Ａに固定することができる。ネジ頭８６Ａに遮蔽板８５を固定すると、遮蔽板８５と取付板４２との間には、ネジ頭８６Ａの高さ分だけ空間が形成される。ネジ頭８６Ａの高さ空間をもたせることで、取付板４２の熱が直接遮蔽板８５には伝わらず、伝熱は放射熱のみになるため、製品外面の遮蔽板８５の表面温度を下げることができ、作業者が取付板４２に触れて火傷することを防ぐことができる。
また、ネジ頭８６Ａの高さ空間には、空気層が存在する。空気層は断熱材の役割を果たすため、外側（遮蔽板８５側）へ伝わるよりも内側（バルブボディ４側）へ熱が伝わりやすくなる。空気層には、熱がこもるため保温効果を得ることができる。 The process until the heater 40, the heat insulating material 41, and the mounting plate 42 are attached to the valve body 4 is the same as in the first embodiment. When mounting the mounting plate 42, mounting screws 86 are used. After attaching the attachment screw 86, the shielding plate 85 is attached to the screw head 86 A of the attachment screw 86 and fixed with the screw 83. Since the female head 861A is formed on the screw head 86A, the screw 83 can be fixed to the screw head 86A. When the shielding plate 85 is fixed to the screw head 86A, a space corresponding to the height of the screw head 86A is formed between the shielding plate 85 and the mounting plate. By providing the height space of the screw head 86A, the heat of the mounting plate 42 is not directly transmitted to the shielding plate 85, but the heat transfer is only radiant heat, so that the surface temperature of the shielding plate 85 on the outer surface of the product can be lowered. It is possible to prevent the operator from touching the mounting plate 42 and being burned.
An air layer is present in the height space of the screw head 86A. Since the air layer plays the role of a heat insulating material, heat is more easily transmitted to the inner side (valve body 4 side) than to the outer side (shield plate 85 side). Since heat is trapped in the air layer, a heat retaining effect can be obtained.

また、遮蔽板８５は、バルブボディ４に取付けられた取付板４２の上方のみに形成される。加熱したい部分は、バルブボディ４のところのみであり、アクチュエータ３は、放熱した部分である。したがって、加熱したいところのみ遮蔽板８５で覆うことで、その空間に熱がこもり保温効果をあげることができる。また、放熱させたい部分には、遮蔽板８５がないため、クリーンルームのダウンフローなどによって熱が奪われる。 Further, the shielding plate 85 is formed only above the attachment plate 42 attached to the valve body 4. The portion to be heated is only at the valve body 4, and the actuator 3 is the portion that has radiated heat. Therefore, by covering only the portion to be heated with the shielding plate 85, heat is accumulated in the space, and a heat retaining effect can be obtained. In addition, since there is no shielding plate 85 in the part to be radiated, heat is taken away by the down flow of the clean room.

（第６実施形態）
第６実施形態に係る真空用開閉弁１Ｆを図１６及び図１７に記載する。真空用開閉弁１Ｆは、第１実施形態と比較して取付板の上に断熱材が取付けられていること形状及び断熱材の形状を除いて、第１実施形態の真空用開閉弁１と相違するところがないため、取付板の上に断熱材が取付けられていることを除いて説明を割愛する。
図１６及び図１７に示すように、真空用開閉弁１Ｆは、バルブボディ４、ヒータ４０、断熱材４１、断熱材付取付板９２、取付ネジ９３を有する。
断熱材付取付板９２は、断熱材部９２Ａ及び取付板部９２Ｂを有する。断熱材部９２Ａ及び取付板部９２Ｂには、取付孔９２Ｃが形成されている。 (Sixth embodiment)
The vacuum on-off valve 1F according to the sixth embodiment is shown in FIGS. The vacuum on-off valve 1F is different from the vacuum on-off valve 1 of the first embodiment except that the heat insulating material is mounted on the mounting plate and the shape of the heat insulating material as compared with the first embodiment. Since there is nothing to do, explanation is omitted except that the heat insulating material is attached on the attachment plate.
As shown in FIGS. 16 and 17, the vacuum on-off valve 1 F has a valve body 4, a heater 40, a heat insulating material 41, a heat insulating material mounting plate 92, and a mounting screw 93.
The mounting plate 92 with a heat insulating material has a heat insulating material portion 92A and a mounting plate portion 92B. A mounting hole 92C is formed in the heat insulating material portion 92A and the mounting plate portion 92B.

バルブボディ４にヒータ４０、断熱材４１を取付けるまでは、第１実施形態と同様である。断熱材４１の上には、断熱材付取付板９２を取付ける。ネジ９３を断熱材取付板９２の取付孔９２Ｃに挿入し、バルブボディ４に取付られることにより固定する。
真空用開閉弁１Ｆは、断熱材部９２Ａ、及び、断熱材４１との２重の断熱材を有する。また、断熱材部９２Ａと断熱材４１は、取付板部９２Ｂを挟んでいる。したがって、ヒータ４０から生じた熱は、断熱材４１を有するため取付板部９２Ｂには直接伝わらない。また、断熱材部９２Ａが外面に取付けられているため、取付板部９２Ｂに伝わった熱は、外面には直接伝わらない。したがって、製品外面の表面温度を下げることができ、作業者が使用する時の安全性を向上させることができる。 The process until the heater 40 and the heat insulating material 41 are attached to the valve body 4 is the same as in the first embodiment. On the heat insulating material 41, a mounting plate 92 with a heat insulating material is attached. The screw 93 is inserted into the mounting hole 92 C of the heat insulating material mounting plate 92 and fixed by being mounted on the valve body 4.
The vacuum on-off valve 1 F has a double heat insulating material including the heat insulating material portion 92 A and the heat insulating material 41. Moreover, the heat insulating material portion 92A and the heat insulating material 41 sandwich the mounting plate portion 92B. Therefore, since the heat generated from the heater 40 has the heat insulating material 41, it is not directly transmitted to the mounting plate portion 92B. Moreover, since the heat insulating material portion 92A is attached to the outer surface, the heat transmitted to the mounting plate portion 92B is not directly transmitted to the outer surface. Accordingly, the surface temperature of the outer surface of the product can be lowered, and safety when used by the operator can be improved.

尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で色々な応用が可能である。
例えば、本実施例においては、断熱材を使用することとしたが、断熱材を用いずヒータを取付板のみで取り付けることもできる。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various applications are possible without departing from the spirit of the invention.
For example, in this embodiment, the heat insulating material is used, but the heater can be attached only by the mounting plate without using the heat insulating material.

１、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ真空用開閉弁
２弁部
３アクチュエータ部
４バルブボディ
７第１流路
８第２流路
９弁座
１０弁体
４０、７０ヒータ
４１、７１断熱材
４２取付板
５２折返し取付板
６２Ｌ字取付板
７２コの字取付板
８５遮蔽板
９２断熱材付取付板 1, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F Vacuum on-off valve 2 Valve part 3 Actuator part 4 Valve body 7 First flow path 8 Second flow path 9 Valve seat 10 Valve body 40, 70 Heater 41, 71 Heat insulation material 42 Mounting plate 52 Folding mounting plate 62 L-shaped mounting plate 72 U-shaped mounting plate 85 Shielding plate 92 Mounting plate with heat insulating material

Claims

A valve body having a valve hole communicating with the first flow path and the second flow path; a valve body abutting on or away from a valve seat formed on an outer periphery of the valve hole; and a driving means for driving the valve body A heater provided on the outer wall surface of the valve body, a mounting plate that presses the heater against the outer wall surface of the valve body, and a vacuum on-off valve having a heat insulating material between the heater and the mounting plate,
The heater is a thin and flexible semiconductor heater;
The heat insulating material is an elastic heat insulating material having an elastic force;
Bringing the semiconductor heater into close contact with the outer surface of the valve body by the elastic heat insulating material;
The mounting plate is a folded mounting plate having a folded end that is folded back to the end;
An on-off valve for vacuum.

In the vacuum on-off valve according to claim 1 ,
The folded end is the same height;
When the folded end portion contacts the valve body, the elastic heat insulating material can be pressed uniformly, and the degree of adhesion between the semiconductor heater and the valve body can be made uniform.
An on-off valve for vacuum.

In the vacuum on-off valve according to claim 1 ,
The folded end is formed at one end of the mounting plate, or the folded end is formed at both ends of the mounting plate, and the height of the folded end at both ends is different.
An on-off valve for vacuum.

In the vacuum on-off valve according to claim 1 or claim 3 ,
The mounting plate changes the degree of contact between the semiconductor heater and the valve body by changing the pressing force of the elastic heat insulating material depending on the location,
An on-off valve for vacuum.

A valve body having a valve hole communicating with the first flow path and the second flow path; a valve body abutting on or away from a valve seat formed on an outer periphery of the valve hole; and a driving means for driving the valve body A heater provided on the outer wall surface of the valve body, a mounting plate that presses the heater against the outer wall surface of the valve body, and a vacuum on-off valve having a heat insulating material between the heater and the mounting plate,
The heater is a thin and flexible semiconductor heater;
The heat insulating material is an elastic heat insulating material having an elastic force;
Bringing the semiconductor heater into close contact with the outer surface of the valve body by the elastic heat insulating material;
The mounting plate is a U-shaped mounting plate having a U-shape;
In the state before installation, the opening of the U-shaped mounting plate is narrowed inward,
By pressing the elastic heat insulating material by a reaction force that returns after expanding the opening of the U-shaped mounting plate, the semiconductor heater and the valve body are brought into close contact with each other,
An on-off valve for vacuum.

In claim 1 or one of the vacuum-off valve either according to claim 5,
Having a shielding plate,
An on-off valve for vacuum.