JP2010121703A - Diaphragm valve - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、流体を遮断若しくは流量調整するバルブであり、特に、弁外部リークを極限まで低減させると共に、接ガス(液)部に樹脂を一切使用しない超高洗浄・耐高温用のダイヤフラムバルブに関する。 The present invention relates to a valve that shuts off fluid or adjusts the flow rate, and particularly relates to a diaphragm valve for ultra-high cleaning and high temperature resistance that reduces outside leakage to the limit and does not use any resin in the gas contact (liquid) part. .
近年、半導体メモリ装置等の各種半導体装置やFPD(フラットパネル ディスプレイ)装置を製造するための装置として、例えば、MOCVD用切替バルブといったように、流体を遮断若しくは流量調整するバルブ、特に、弁外部リークを極限まで低減させると共に、接ガス部に樹脂を一切使用しない超高洗浄・耐高温用のダイヤフラムバルブの要望がある(例えば、特許文献1参照)。 In recent years, as a device for manufacturing various semiconductor devices such as semiconductor memory devices and FPD (flat panel display) devices, for example, a valve for shutting off or adjusting a flow rate, such as a switching valve for MOCVD, in particular, an external leakage of the valve There is a demand for a diaphragm valve for ultra-high cleaning and high temperature resistance that does not use any resin in the gas contact part (see, for example, Patent Document 1).
また、このようなダイヤフラムバルブは、特に、La(ランタン)やPr(プラセオジム)といったレアメタルを使用したHigh−K膜や、Pb(鉛)を使用した強誘電体膜(例えば、PZT)等の反応性が高く、高温且つ温度管理が難しい成膜材料の遮断若しくは流量制御に利用されている。 In addition, such a diaphragm valve is particularly suitable for reactions such as a High-K film using rare metals such as La (lanthanum) and Pr (praseodymium), and a ferroelectric film using Pb (lead) (for example, PZT). It is used for blocking or controlling the flow rate of a film forming material that is high in temperature and difficult to control temperature.
この際、バルブ全体が250℃以上(特に、300℃以上)の高温環境下や真空環境下での利用を考慮した構造を採用した超高洗浄・耐高温用のダイヤフラムバルブが近年の成膜技術等で用いられている。 At this time, the diaphragm valve for ultra-high cleaning and high temperature resistance adopting a structure in consideration of the use in a high temperature environment of 250 ° C. or higher (particularly 300 ° C. or higher) or in a vacuum environment is a recent film formation technology Etc. are used.
図4は、このような高洗浄・高温用のダイヤフラムバルブの一例を示し、圧力ガスの流入通路1aと流出通路1bとが形成されたバルブボディ1と、流入通路1aの出口に形成された弁座1cに対向配置されたダイヤフラム2と、ダイヤフラム2を挟んで弁座1cに対向配置されたダイヤフラム変形部材3と、ダイヤフラム変形部材3を摺動可能に保持すると共にダイヤフラム2の裏面側周囲をダイヤフラム変形部材3とは独立して押し付けるダイヤフラム押し付け固定部材4と、ダイヤフラム押し付け固定部材4を保持したボンネット5と、弁駆動部6と、を備え、バルブボディ1とダイヤフラム2とは、ダイヤフラム押し付け固定部材4を介してボンネット5に具備したネジ(図示せず)の出力で押し付けられることによって外部リークを低減するように接続固定されている。 FIG. 4 shows an example of such a high-cleaning / high-temperature diaphragm valve, in which a valve body 1 having a pressure gas inflow passage 1a and an outflow passage 1b is formed, and a valve formed at the outlet of the inflow passage 1a. A diaphragm 2 disposed opposite to the seat 1c, a diaphragm deforming member 3 disposed opposite to the valve seat 1c across the diaphragm 2, a diaphragm deforming member 3 slidably held, and a diaphragm around the back side of the diaphragm 2 A diaphragm pressing and fixing member 4 that is pressed independently of the deformable member 3, a bonnet 5 that holds the diaphragm pressing and fixing member 4, and a valve driving unit 6. The valve body 1 and the diaphragm 2 are a diaphragm pressing and fixing member. External leakage by being pressed by the output of a screw (not shown) provided on the bonnet 5 through 4 It is connected and fixed to reduce.
弁駆動部6は、ボンネット5を介してバルブボディ1と接続固定されている。ダイヤフラム2による弁座1cの開閉動作は、ダイヤフラム2にダイヤフラム変形部材3を介して弁駆動部6の動作を伝達することで行う。 The valve drive unit 6 is connected and fixed to the valve body 1 via the bonnet 5. The opening / closing operation of the valve seat 1 c by the diaphragm 2 is performed by transmitting the operation of the valve driving unit 6 to the diaphragm 2 via the diaphragm deforming member 3.
ところが、上記の如く構成されたダイヤフラムバルブにあっては、例えば、弁駆動部6で樹脂性部材(例えば、Oリング、ゴム製ダイヤフラム、フッ素樹脂を含んだ軸受等)を使用していると、ダイヤフラムバルブとしての耐用温度、即ち、最高使用温度が使用している樹脂性部材の耐熱温度以下となるように低く設定する必要がある。 However, in the diaphragm valve configured as described above, for example, when a resinous member (for example, an O-ring, a rubber diaphragm, a bearing containing a fluorine resin, or the like) is used in the valve drive unit 6, It is necessary to set it low so that the service temperature as a diaphragm valve, that is, the maximum use temperature is equal to or lower than the heat resistance temperature of the resinous member used.
また、バルブボディ1とダイヤフラム2との間の外部シール部は、外部リークを低減するように接続固定されているが、例えば、300℃を超える超高温環境化においては部品材料の機械的性質(例えば、線膨張係数、硬度、強度等)の差や変化が大きくなるために、外部リーク性能を維持することが困難であるであるという問題も生じていた。 Further, the external seal portion between the valve body 1 and the diaphragm 2 is connected and fixed so as to reduce external leakage. For example, in an ultra-high temperature environment exceeding 300 ° C., the mechanical properties ( For example, since a difference or change in linear expansion coefficient, hardness, strength, etc.) becomes large, there is a problem that it is difficult to maintain the external leakage performance.
さらに、ボンネット5の内部及び弁駆動部6の一部は、外部と連通する構造となっており、真空中等のエミッションフリーが必要な環境下での使用が困難であるという問題も生じていた。 Furthermore, the inside of the bonnet 5 and a part of the valve drive unit 6 have a structure that communicates with the outside, which causes a problem that it is difficult to use in an environment that requires emission free such as in a vacuum.
また、ダイヤフラム変形部材3とダイヤフラム押し付け固定部材4との摺動部分のパーティクル(発塵)が外部に放出され易いという問題も生じていた。 In addition, there is a problem that particles (dust generation) at sliding portions between the diaphragm deforming member 3 and the diaphragm pressing and fixing member 4 are easily released to the outside.
そこで、本発明は、上記事情を考慮し、超高温環境化対応を可能とし、外部リーク性能並びに信頼性を向上することができ、しかも、エミッションフリーの実現に貢献することができるダイヤフラムバルブを提供することを目的とする。 In view of the above circumstances, the present invention provides a diaphragm valve that can cope with an ultra-high temperature environment, can improve external leakage performance and reliability, and can contribute to emission-free implementation. The purpose is to do.
本発明のダイヤフラムバルブは、圧力ガスの流入通路と流出通路とが形成されたバルブボディと、前記流入通路の出口又は前記流出通路の入口に形成された弁座に対向配置された第1ダイヤフラムと、該第1ダイヤフラムを挟んで一端が前記弁座に対向配置されたステムと、該ステムを摺動可能に保持したボンネットと、前記ステムの他端と対向配置された第2ダイヤフラムと、該第2ダイヤフラムの裏面側に形成されて内圧を可変することによって前記ステムを摺動させて前記第1ダイヤフラムによる前記弁座の開閉を操作する作動気体室と、前記第1ダイヤフラムと前記第2ダイヤフラムとによって前記各流路及び前記作動気体室と隔絶されたベント室と、を備えることを特徴とする。 A diaphragm valve according to the present invention includes a valve body in which an inflow passage and an outflow passage for pressure gas are formed, and a first diaphragm disposed opposite to a valve seat formed at an outlet of the inflow passage or an inlet of the outflow passage. A stem having one end opposed to the valve seat across the first diaphragm, a bonnet holding the stem slidably, a second diaphragm disposed opposite the other end of the stem, A working gas chamber that is formed on the back side of the two diaphragms and that opens and closes the valve seat by the first diaphragm by sliding the stem by varying the internal pressure; the first diaphragm and the second diaphragm; And a vent chamber isolated from each of the flow paths and the working gas chamber.
請求項1に記載の構成によれば、第1ダイヤフラムと第2ダイヤフラムとによって流入通路と流出通路及び作動気体室と隔絶されたベント室が形成されることにより、経年劣化等によって第1ダイヤフラム又は第2ダイヤフラムが破損した場合であっても、流入出通路に流れる圧力ガスや作動気体室に流れる作動気体はベント室を経由して放出するエミッションフリー構造を採用することができるばかりでなく、第1ダイヤフラム及び第2ダイヤフラムをメタル使用とすることにより超高温環境化対応を可能とすることができる。 According to the configuration of the first aspect, the first diaphragm and the second diaphragm form a vent chamber isolated from the inflow passage, the outflow passage, and the working gas chamber, so that the first diaphragm or the Even when the second diaphragm is damaged, not only can the pressure gas flowing in the inflow / outflow passage and the working gas flowing in the working gas chamber be released via the vent chamber, but an emission-free structure can be adopted. By using the first diaphragm and the second diaphragm as a metal, it is possible to cope with an ultra-high temperature environment.
また、請求項2に記載のダイヤフラムバルブは、前記第2ダイヤフラムを密着状態で保持し且つ該第2ダイヤフラムとで前記作動気体室と連通する第2作動気体室を形成するダイヤフラムホルダと、前記ボンネットに形成された作動気体流路と連通する前記作動気体室を前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとで形成するカバーと、を備え、前記ボンネットと前記ダイヤフラムホルダとの間を密閉することで前記作動気体室と前記ベント室とが隔絶されていることを特徴とする。 The diaphragm valve according to claim 2 is a diaphragm holder for holding the second diaphragm in a close contact state and forming a second working gas chamber communicating with the working gas chamber with the second diaphragm, and the bonnet. A cover that forms the working gas chamber that communicates with the working gas flow path formed by the bonnet and the diaphragm holder, and the working gas chamber is sealed by sealing between the bonnet and the diaphragm holder. And the vent chamber are isolated from each other.
請求項2に記載の構成によれば、作動気体室を2室に分割して作動気体室周辺の密閉構造(隔絶化)を容易に確保することができ、しかも、組み付け作業を容易に行うことができる。 According to the configuration of the second aspect, the working gas chamber can be divided into two chambers so that a sealed structure (separation) around the working gas chamber can be easily secured, and the assembly work can be easily performed. Can do.
さらに、請求項3に記載のダイヤフラムバルブは、前記第1ダイヤフラムと前記第2ダイヤフラムとがメタル製の略ドーム形状とされると共にその凹凸向きが同じとされていることを特徴とする。 Furthermore, the diaphragm valve according to claim 3 is characterized in that the first diaphragm and the second diaphragm have a substantially dome shape made of metal and have the same concave and convex directions.
請求項3に記載の構成によれば、メタル製の各ダイヤフラムの変形を一つのステムによって容易に行うことができる。 According to the structure of Claim 3, each metal diaphragm can be easily deformed by one stem.
また、請求項4に記載のダイヤフラムバルブは、前記第1ダイヤフラムの直径は前記第2ダイヤフラムの直径よりも小径であることを特徴とする。 The diaphragm valve according to claim 4 is characterized in that the diameter of the first diaphragm is smaller than the diameter of the second diaphragm.
請求項4に記載の構成によれば、ステムに対する作動側の圧力を大きく確保することができると共に、第1ダイヤフラムによる弁座の開閉圧力を大きく与えることができる。 According to the configuration of the fourth aspect, it is possible to ensure a large pressure on the operating side with respect to the stem and to apply a large opening / closing pressure of the valve seat by the first diaphragm.
請求項5に記載のダイヤフラムバルブは、前記第1ダイヤフラムと前記第2ダイヤフラムとは、前記弁座に対して前記第1ダイヤフラムが開弁する方向に凸向きに配置されていることを特徴とする。 The diaphragm valve according to claim 5 is characterized in that the first diaphragm and the second diaphragm are arranged in a convex direction with respect to the valve seat in a direction in which the first diaphragm opens. .
請求項5に記載の構成によれば、ダイヤフラムの凸方向によって不測に閉弁されることを抑制すると共に、開弁状態から閉弁状態へとダイヤフラムを容易に復帰させることができる。 According to the configuration of the fifth aspect, it is possible to prevent the valve from being unexpectedly closed due to the convex direction of the diaphragm and to easily return the diaphragm from the valve open state to the valve closed state.
しかも、請求項6に記載のダイヤフラムバルブは、前記ボンネットと前記ステムとの間を前記ベント室の一部として利用していることを特徴とする。 Moreover, the diaphragm valve according to claim 6 is characterized in that a space between the bonnet and the stem is used as a part of the vent chamber.
請求項6に記載の構成によれば、第1ダイヤフラム側と第2ダイヤフラム側とに位置するベント室をボンネットに別途連通孔を形成すること無くボンネットとステムとの間を利用して連通することができるばかりでなく、ステムの摺動変位等に伴って発生した発塵パーティクルをベント室から排出することができる。 According to the structure of Claim 6, the vent chamber located in the 1st diaphragm side and the 2nd diaphragm side communicates between a bonnet and a stem, without forming a separate communication hole in a bonnet. Not only can the particles be generated, but also dust particles generated due to the sliding displacement of the stem can be discharged from the vent chamber.
請求項7に記載のダイヤフラムバルブは、前記第2ダイヤフラムの表面側周囲には、環状の第2ダイヤフラムホルダが設けられていることを特徴とする。 The diaphragm valve according to claim 7 is characterized in that an annular second diaphragm holder is provided around the surface side of the second diaphragm.
請求項7に記載のダイヤフラムバルブによれば、第2ダイヤフラムの表裏周囲に各ダイヤフラムホルダが存在することから、各ダイヤフラムホルダの放熱・吸熱効果によって第2ダイヤフラムへの蓄熱を抑制することができる。 According to the diaphragm valve of the seventh aspect, since each diaphragm holder exists around the front and back of the second diaphragm, heat storage to the second diaphragm can be suppressed by the heat dissipation / heat absorption effect of each diaphragm holder.
本発明のダイヤフラムバルブは、超高温環境化対応を可能とし、外部リーク性能並びに信頼性を向上することができ、しかも、エミッションフリーの実現に貢献することができる。 The diaphragm valve of the present invention can cope with an ultra-high temperature environment, can improve external leakage performance and reliability, and can contribute to realization of emission-free.
次に、本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブについて、図面を参照して説明する。 Next, a diaphragm valve according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの要部の断面図、図2は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの正面図、図3は本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブの一部を省略した底面図である。 1 is a cross-sectional view of a main part of a diaphragm valve according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the diaphragm valve according to one embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diaphragm valve according to one embodiment of the present invention. It is the bottom view which abbreviate | omitted one part.
図1に示すように、本発明の一実施形態に係るダイヤフラムバルブ10は、その構成部材の全てがメタル製(オールメタル)であり、圧力ガスの流入通路11aと流出通路11bとが形成されたバルブボディ11と、流入通路11aの出口に形成された弁座11cに対向配置された第1ダイヤフラム12と、第1ダイヤフラム12を挟んで一端が弁座11cに対向配置されたステム13と、ステム13を摺動可能に保持したボンネット14と、ステム13の他端と対向配置された第2ダイヤフラム15と、第2ダイヤフラム15の裏面側に形成されて内圧を可変することによってステム13を摺動させて第1ダイヤフラム12による弁座11cの開閉を操作する作動気体室16と、第1ダイヤフラム12と第2ダイヤフラム15とによって各流路11a,11b及び作動気体室16と隔絶されたベント室17と、を備えている。
As shown in FIG. 1, a
このように、第1,第2ダイヤフラム12,15によって、流入通路11aと流出通路11b及び作動気体室16と隔絶されたベント室17が形成されることにより、経年劣化等によって第1ダイヤフラム12又は第2ダイヤフラム15が破損した場合であっても、流入出通路11a,11bに流れる圧力ガス(例えば、プロセスガスや反応ガス)や作動気体室16に流れる作動気体(例えば、空気)はベント室17を経由して放出するエミッションフリー構造を採用することができるばかりでなく、第1ダイヤフラム12及び第2ダイヤフラム15をメタル使用とすることにより超高温環境化対応を可能とすることができる。
Thus, the first and
また、第2ダイヤフラム15を密着状態で保持し且つ第2ダイヤフラム15とで作動気体室16と連通する第2作動気体室18を形成するダイヤフラムホルダ19と、ボンネット14に形成された作動気体流路20と連通する作動気体室16をボンネット14とダイヤフラムホルダ19とで形成するカバー21と、を備え、ボンネット14とダイヤフラムホルダ19との間を密閉することで作動気体室16とベント室17とが隔絶されている。
Further, a diaphragm holder 19 that forms a second working
従って、作動気体室16を第2作動気体室18とで分割して作動気体室16の周辺の密閉構造(隔絶化)を容易に確保することができ、しかも、組み付け作業を容易に行うことができる。
Therefore, the working
この際、第1ダイヤフラム12と第2ダイヤフラム15とがメタル製の略ドーム形状とされると共にその凹凸向きが同じとすることにより、メタル製の各ダイヤフラム12,15の変形を一つのステム13によって容易に行うことができる。
At this time, the
また、第1ダイヤフラム12の直径は第2ダイヤフラム15の直径よりも小径とすることにより、ステム13に対する作動側の圧力を大きく確保することができると共に、第1ダイヤフラム12による弁座11cの開閉圧力を大きく与えることができる。
Further, by setting the diameter of the
この際、第1ダイヤフラム12と第2ダイヤフラム15とは、弁座11cに対して第1ダイヤフラム12が開弁する方向に凸向きに配置することにより、第1ダイヤフラム12の凸方向によって不測に閉弁されることを抑制すると共に、開弁状態から閉弁状態へと第1,第2ダイヤフラム12,15を容易に復帰させることができる。
At this time, the
さらに、ボンネット14とステム13との間をベント室17の一部として利用することにより、第1ダイヤフラム12側と第2ダイヤフラム15側とに位置するベント室17をボンネット14に別途連通孔を形成すること無くボンネット14とステム13との間を利用して連通することができるばかりでなく、ステム13の摺動変位等に伴って発生した発塵パーティクルをベント室17から排出することができる。
Further, by using the space between the
しかも、第2ダイヤフラム15の表面側周囲には、環状の第2ダイヤフラムホルダ22を設けることにより、第2ダイヤフラム15の表裏周囲に各ダイヤフラムホルダ19,22が存在することから、各ダイヤフラムホルダ19,22の放熱・吸熱効果によって第2ダイヤフラム15への蓄熱を抑制することができる。
Moreover, by providing the annular second diaphragm holder 22 around the surface side of the
尚、バルブボディ11とボンネット14との間は、メタルOリング23を配置することによって気密性が確保されると共に、複数のボルト24によって連結されている。また、流入出通路11a,11b、ベント室17、作動気体流路20は、ポート25,26,27,28を経由して気体供給・排出される。
The
以下、本発明のダイヤフラムバルブ10を詳細に説明する。
Hereinafter, the
バルブボディ11は、メタル製の一体成形品であり、その底面(図1において)からポート24が突出され、そのポート24を含む中心線上に流入通路11aが形成されている。また、その側面にはポート25が突出接続されている。尚、弁座11cは、バルブボディ11と完全一体でも良いし、他の材質(例えば、PCTFE,PFA,PI等の耐熱性非金属部材で構成しても良い。この際、弁座11cは第1ダイヤフラム12よりも硬度の低い材質(例えば、SUS316L等)が好ましい。
The
第1ダイヤフラム12は、例えば、コバルトニッケルやニッケルクロムを主成分として成形されている。尚、第1ダイヤフラム12の直径や肉厚等は、使用される材質や弁機能等に応じて適宜のものが用いられる。また、第1ダイヤフラム12の裏面側周囲は、ボンネット14に溶接により密閉状態で接続されている。これにより、第1ダイヤフラム12は、その裏面側のベント室17と流入出通路11a,11bとを隔絶することができる。
The
ボンネット14は、ステム13を中心に配置すると共に、その左右対称位置からポート26,27を突出接続している。また、作動空気室16(第2作動気体室18)とベント室17とは、第2ダイヤフラム15の表裏側にそれそれ連通するため、少なくとも、第2ダイヤフラム15の裏面側周囲とダイヤフラムホルダ19及びダイヤフラムホルダ19とボンネット14とは、密着状態で接続されるのが好ましい。
The
第2ダイヤフラム15は、第1ダイヤフラム12と同様に、例えば、コバルトニッケルやニッケルクロムを主成分として成形されている。尚、第2ダイヤフラム15の直径や肉厚等は、使用される材質や弁機能等に応じて適宜のものが用いられる。また、第2ダイヤフラム15の表面側周囲及び裏面側周囲は、ダイヤフラムホルダ19及び第2ダイヤフラムホルダ22に溶接により密閉状態で接続されている。これにより、第2ダイヤフラム15は、その表面側のベント室17と裏面側の第2作動気体室18とを隔絶することができる。尚、第2ダイヤフラム15の裏面側周囲に第2ダイヤフラムホルダ22を配置したことにより、第2ダイヤフラム15の表面側周囲及び裏面側周囲を各ダイヤフラムホルダ19,22に溶接する際、その熱を第2ダイヤフラム15に蓄熱させ難くすることができる。
Similar to the
作動気体室16は、カバー21の開放周縁部をボンネット14に溶接することによって外部との気密性が確保されている。また、作動気体室16は、ダイヤフラムホルダ19によって第2作動気体室18と連通状態で分割されているが、上述した第2ダイヤフラム15と各ダイヤフラムホルダ19,22との密着(溶接)によってベント室17との間の気密性が確保されている。
The working
ベント室17は、第1ダイヤフラム12と第2ダイヤフラム15との間の密閉空間を利用しており、その第1ダイヤフラム12と第2ダイヤフラム15との間の密閉空間をボンネット14に専用の連通孔を形成すること無く、ステム13とボンネット14との間を利用して連通している。この際、ステム13の外周又はボンネット14の内周の何れかをスプライン状に凹凸形成しても良い。
The
第2作動気体室18は、ダイヤフラムホルダ19の略中心に形成された連通孔19aを介して作動気体室16と連通されており、ボンネット14に溶接固定されていることにより、作動気体流路20を介して供給された作動空気によって第2ダイヤフラム15を変形させ、ステム13を図示下方へと変位させる。
The second working
この際、第1ダイヤフラム12と第2ダイヤフラム15とは、弁座11cに対して開弁方向に凸となるように同じ向きで配置されている。従って、ステム13を図示下方へと変位させて閉弁状態とする際には、作動気体流路20を介して供給された作動空気、即ち、各作動気体室16,18の内圧を高くすることによって第1ダイヤフラム12が図示下向きに凸となるように変形してステム13を図示下方へと変位させると同時に、第2ダイヤフラム15が図示下向きに凸となるように変形して弁座11cを閉弁する。また、これとは逆に、作動気体室16,18への作動気体の供給を停止するだけで、各ダイヤフラム12,15の復帰力によってステム13を図示上方へと変位させると同時に開弁状態とすることができる。
At this time, the
第2ダイヤフラムホルダ22は、主として第2ダイヤフラム15をダイヤフラムホルダ19に溶接固定する際に、その熱を吸熱して第2ダイヤフラム15への蓄熱を抑制するために用いられている。そのため、その大きさ(径方向幅)や厚さ並びに断面形状等は、使用する材料に応じて任意である。
The
メタルOリング23は、バルブボディ11とボンネット14との間に介装され、流入出通路11a,11bと外部との間を密閉する機能を果たしている。尚、メタルOリング22の材質は、ダイヤフラムバルブ10の耐用温度に応じて決定することができる。
The metal O-
ポート25は圧力ガスの供給源に接続され、ポート26は圧力ガスの放出先(例えば、MOCVD装置の成膜室)に接続され、ポート27は作動気体供給源(例えば、エアポンプ等の作動弁やソレノイド等)に接続され、ポート28は任意の放出器等に接続されている。
The
これにより、第1ダイヤフラム12又は第2ダイヤフラム15が破損した場合であっても、その圧力ガスや作動気体は、ベント室17からポート28を経由して任意の放出器等に回収することができ、エミッションフリーに貢献することができる。また、ステム13の摺動や発熱(例えば、350℃以上)に伴って発生する発塵パーティクルを回収することができる。
As a result, even if the
尚、ダイヤフラムバルブ10を組み立てる場合、例えば、ボンネット14に第1ダイヤフラム12を溶接固定した後、ステム13をボンネット14に挿入し、予め第2ダイヤフラム15を各ダイヤフラムホルダ19,22に溶接したユニット状態で、ダイヤフラムホルダ19とボンネット14とを溶接固定したうえで、カバー21とボンネット14とを溶接固定する。
When assembling the
この際、バルブボディ11とボンネット14とは、複数のボルト24の締結によって結合されているが、これらを溶接によって密閉状態で固定しても良い。
At this time, the
従って、各構成部材をオールメタル構成とすると共にこれらを溶接固定したことと相俟って、本発明のダイヤフラム10は、例えば、450℃の超高温環境下での使用を可能とし得て、エミッションフリーに貢献することができるばかりでなく、その際の外部リークを抑制(例えば、5.0×10−12Pa−m3/sec)することができ、次々世代の半導体材料(La,Y等)のプロセス開発用や、有機EL材料(Alq3等)の高温昇華型材料の供給系プロセス開発用、航空・宇宙・原子力等の真空環境での高純度流体供給系等の各種分野での使用を可能とすることができる。
Accordingly, the
このように、本発明のダイヤフラムバルブ10によれば、第1ダイヤフラム12と第2ダイヤフラム15とによってステム13を挟むように流路11a,11bと作動気体室16とを隔絶状態で形成すると共に、そのステム13を含む第1ダイヤフラム12と第2ダイヤフラム15との間にベント室17を形成したことにより、オールメタル構成のダイヤフラムを実現すると共に、密閉性が高く且つエミッションフリーに貢献することができる。
Thus, according to the
11…バルブボディ
11a…流入通路
11b…流出通路
11c…弁座
12…第1ダイヤフラム
13…ステム
14…ボンネット
15…第2ダイヤフラム
16…作動気体室
17…ベント室
18…第2作動気体室
19…ダイヤフラムホルダ
20…作動気体流路
21…カバー
22…第2ダイヤフラムホルダ
23…メタルOリング
24…ボルト
25…ポート
26…ポート
27…ポート
28…ポート
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