JP5038619B2 - Microreactor and manufacturing method thereof - Google Patents

Microreactor and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
JP5038619B2
JP5038619B2 JP2005334143A JP2005334143A JP5038619B2 JP 5038619 B2 JP5038619 B2 JP 5038619B2 JP 2005334143 A JP2005334143 A JP 2005334143A JP 2005334143 A JP2005334143 A JP 2005334143A JP 5038619 B2 JP5038619 B2 JP 5038619B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
catalyst
pair
metal oxide
oxide film
housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2005334143A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007136345A (en
Inventor
健 木原
裕 八木
綱一 鈴木
雅治 塩谷
直嗣 小椋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Casio Computer Co Ltd
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Casio Computer Co Ltd
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Casio Computer Co Ltd, Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Casio Computer Co Ltd
Priority to JP2005334143A priority Critical patent/JP5038619B2/en
Publication of JP2007136345A publication Critical patent/JP2007136345A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5038619B2 publication Critical patent/JP5038619B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、マイクロリアクターとその製造方法に係り、特に担持した触媒により所望の反応を進行させるためのマイクロリアクターと、このマイクロリアクターの製造方法に関する。   The present invention relates to a microreactor and a method for producing the same, and more particularly to a microreactor for causing a desired reaction to proceed with a supported catalyst and a method for producing the microreactor.

内部に触媒を担持したリアクターは、その目的に応じた最適な設計がなされて、種々の分野で使用されている。このようなリアクターの一例として、下記のように、燃料電池の分野においてマイクロリアクターが着目されている。
燃料電池は、水素を直接電力に変換できることや、発生する熱を利用するコジェネレーションシステムにおいて高いエネルギー変換効率が可能であり、従来から宇宙開発や海洋開発等の特殊な条件において採用されてきた。そして、最近では自動車や家庭用分散電源用途への開発が進んでおり、また、携帯機器用の燃料電池も開発されている。このような燃料電池のなかで、携帯機器用の燃料電池は小型化が必須とされている。このため、例えば、炭化水素系燃料を水蒸気改質して水素ガスを生成する改質器用のマイクロリアクターが種々開発されている。このようなマイクロリアクターとして、例えば、発熱性基板に流体経路を形成し、この流体経路内に触媒を担持した構造のものが開発されている（特許文献１）。
特開２００３−３３１８９６号公報 Reactors having a catalyst supported therein are designed in accordance with the purpose and are used in various fields. As an example of such a reactor, a microreactor has attracted attention in the field of fuel cells as described below.
Fuel cells can convert hydrogen directly into electric power, and can achieve high energy conversion efficiency in a cogeneration system that uses generated heat. Conventionally, fuel cells have been adopted under special conditions such as space development and marine development. Recently, developments for automobiles and household distributed power sources are progressing, and fuel cells for portable devices have also been developed. Among such fuel cells, miniaturization of fuel cells for portable devices is essential. For this reason, for example, various microreactors for reformers that generate hydrogen gas by steam reforming a hydrocarbon-based fuel have been developed. As such a microreactor, for example, a structure in which a fluid path is formed in an exothermic substrate and a catalyst is supported in the fluid path has been developed (Patent Document 1).
JP 2003-331896 A

しかしながら、流体経路内に触媒を担持している従来のマイクロリアクターでは、流体経路内での原料移送における圧力損失が大きく、このため、原料移送用ポンプの小型化には限界があった。
また、従来のマイクロリアクターでは、触媒の担持性が良好な基板材料を用いて流体経路を作製する必要があり、このため、使用する材料によっては、マイクロリアクターに供給される熱の利用効率が悪いという問題があった。
さらに、流体経路が形成された基板の接合においては、接合される基板面が清浄であることが必要である。しかし、流体経路内に触媒を担持する工程において基板面の清浄性が低下し、基板の接合によるマイクロリアクター作製に支障が生じるという問題があった。また、流体経路が形成された厚みのある基板の接合は、金属薄板の接合に比べて困難であり、接合不良がマイクロリアクターの信頼性低下に直結するという問題もあった。 However, in the conventional microreactor in which the catalyst is supported in the fluid path, the pressure loss in the material transfer in the fluid path is large, and therefore there is a limit to the downsizing of the material transfer pump.
Further, in a conventional microreactor, it is necessary to create a fluid path using a substrate material having good catalyst support. For this reason, depending on the material used, the efficiency of use of heat supplied to the microreactor is poor. There was a problem.
Further, in the bonding of the substrates on which the fluid paths are formed, it is necessary that the substrate surfaces to be bonded be clean. However, there has been a problem that the cleanliness of the substrate surface is lowered in the process of supporting the catalyst in the fluid path, and the production of the microreactor by joining the substrates is hindered. In addition, joining of thick substrates on which fluid paths are formed is more difficult than joining thin metal plates, and there is a problem that poor joining directly leads to a decrease in reliability of the microreactor.

また、流体経路内に担持した触媒が、基板接合工程等において著しく汚染されて劣化したり失活する場合があり、このため使用できる触媒が制限されたり、製造工程管理が難しいという問題もあった。
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、高効率の触媒反応が可能であり、装置全体の小型化が可能なマイクロリアクターと、このようなマイクロリアクターの材料制限を最小限にして簡便に製造するための製造方法を提供することを目的とする。 In addition, the catalyst supported in the fluid path may be deteriorated or deactivated due to significant contamination in the substrate bonding process or the like, and there is a problem that the usable catalyst is limited or manufacturing process management is difficult. .
The present invention has been made in view of the above-described circumstances. A microreactor capable of performing highly efficient catalytic reaction and miniaturizing the entire apparatus, and minimizing material limitations of such a microreactor. It aims at providing the manufacturing method for manufacturing simply and limitedly.

このような目的を達成するために、本発明のマイクロリアクターは、１対の多段接続部材により所定の間隔を設けて平行に配設された複数枚のメッシュ形状の触媒担持体を筐体内に備え、該筐体は対向する１対の面の一方に原料導入口を有し他方に生成物排出口を有し、かつ、筐体の内部から外部へ電極を突出させるための１対の電極用開口部を、前記原料導入口および生成物排出口を有していない１対の対向する面に有し、前記触媒担持体は両端に多段接続部位を有し、該多段接続部位に挟まれる部位にメッシュ形状となっていて電熱体を有する電熱体配設領域と触媒を担持する微細孔形成領域とを有し、各触媒担持体は両端に位置する前記多段接続部位において一対の前記多段接続部材に保持されるとともに、各触媒担持体の前記多段接続部位は前記多段接続部材を介して相互に接続され、複数枚の前記触媒担持体の中の１枚は両端の各多段接続部位の外側にそれぞれ１個の電極を有し、１対の該電極は各触媒担持体の前記電熱体に接続しているとともに、前記多段接続部材を貫通して、前記電極用開口部から筐体の外部へ突出しており、前記多段接続部材は前記筐体の内壁面の近傍に位置し、かつ、該内壁面に非接触状態であるような構成とした。 In order to achieve such an object, the microreactor of the present invention includes a plurality of mesh-shaped catalyst carriers arranged in parallel at predetermined intervals by a pair of multistage connecting members in a casing. The casing has a raw material inlet on one of a pair of opposed surfaces , a product outlet on the other , and a pair of electrodes for projecting the electrode from the inside of the casing to the outside A portion having an opening on a pair of opposed surfaces that do not have the raw material inlet and the product outlet, and the catalyst carrier has multi-stage connection portions at both ends, and is sandwiched between the multi-stage connection portions Each having a mesh-shaped electric heating element and a fine hole forming area for supporting the catalyst, and each catalyst supporting member is a pair of the multi-stage connecting members at the multi-stage connecting portions located at both ends. And the multistage contact of each catalyst carrier The parts are connected to each other via the multistage connection member, and one of the plurality of catalyst carriers has one electrode outside each multistage connection part at both ends, and a pair of the electrodes Is connected to the electric heating element of each catalyst carrier, passes through the multistage connecting member, and protrudes from the electrode opening to the outside of the casing, and the multistage connecting member is connected to the inside of the casing. located in the vicinity of the wall, and was a non-contact state der so that structure to the internal wall surface.

本発明の他の態様として、前記筐体が１組の筐体半体を接合したものであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記電極と前記電極用開口部の間隙部はシール部材により封止されているような構成とした。 As another aspect of the present invention, the casing is configured by joining a pair of casing halves.
As another aspect of the present invention, the gap between the electrode and the electrode opening is sealed with a seal member.

本発明の他の態様として、前記触媒担持体は、メッシュ形状の金属基体と、該金属基体を被覆する金属酸化膜と、該金属酸化膜の一部に配設された電熱体と、前記金属酸化膜に担持された触媒とを備えるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記金属酸化膜が前記金属基体の陽極酸化により形成されたものであるような構成、あるいは、前記金属酸化膜がウォッシュコート処理により形成されたものであるような構成、あるいは、前記金属酸化膜が前記金属基体に金属酸化物を溶射することにより形成されたものであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記触媒担持体は、メッシュ形状の電熱体と、該電熱体を被覆する金属酸化膜と、該金属酸化膜に担持された触媒とを備えるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記金属酸化膜がウォッシュコート処理により形成されたものであるような構成とした。 As another aspect of the present invention, the catalyst carrier includes a mesh-shaped metal substrate, a metal oxide film covering the metal substrate, an electric heater disposed on a part of the metal oxide film, and the metal And a catalyst supported on an oxide film.
As another aspect of the present invention, a configuration in which the metal oxide film is formed by anodic oxidation of the metal substrate, or a configuration in which the metal oxide film is formed by a wash coat process. Alternatively, the metal oxide film is formed by spraying a metal oxide on the metal substrate.
As another aspect of the present invention, the catalyst carrier includes a mesh-shaped electric heater, a metal oxide film covering the electric heater, and a catalyst supported on the metal oxide film.
As another aspect of the present invention, the metal oxide film is formed by a wash coat process.

本発明の他の態様として、前記触媒担持体は、メッシュ形状の電熱体と、該電熱体を被覆する金属膜と、該金属膜を被覆する金属酸化膜と、該金属酸化膜に担持された触媒とを備えるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記金属酸化膜が前記金属膜の陽極酸化により形成されたものであるような構成、あるいは、前記金属酸化膜がウォッシュコート処理により形成されたものであるような構成とした。 As another aspect of the present invention, the catalyst carrier is supported on a mesh-shaped electric heating element, a metal film covering the electric heating element, a metal oxide film covering the metal film, and the metal oxide film. It was set as the structure provided with a catalyst.
As another aspect of the present invention, a configuration in which the metal oxide film is formed by anodization of the metal film, or a configuration in which the metal oxide film is formed by a wash coat process. It was.

本発明のマイクロリアクターの製造方法は、両端に多段接続部位を有し、該多段接続部位に挟まれる部位にメッシュ形状となっていて電熱体を有する電熱体配設領域と触媒を担持する微細孔形成領域とを有する少なくとも１枚の触媒担持体と、両端に多段接続部位を有し、該多段接続部位に挟まれる部位にメッシュ形状となっていて電熱体を有する電熱体配設領域と触媒を担持する微細孔形成領域とを有し、両端の各多段接続部位の外側にそれぞれ１個の電極を突設して１対の電極とした１枚の触媒担持体と、からなる複数枚のメッシュ形状の触媒担持体を、両端に位置する前記多段接続部位において一対の多段接続部材で保持することにより、所定の間隔を設けて平行に配設された状態とするとともに、各触媒担持体の前記多段接続部位は前記多段接続部材を介して相互に接続され、１対の前記電極は各触媒担持体の前記電熱体に接続されるとともに、前記多段接続部材を貫通して突出した状態に形成する工程と、接合後の筐体において、対向する１対の面の一方に原料導入口が位置し他方に生成物排出口が位置し、かつ、内部から外部へ電極を突出させるための１対の電極用開口部が前記原料導入口および生成物排出口を有していない１対の対向する面に位置するように、１組の筐体半体を作製する工程と、１組の前記筐体半体内に、前記多段接続部材が前記筐体の内壁面の近傍に位置するとともに該内壁面と非接触状態となるように前記触媒担持体を収納し、かつ、前記電熱体に接続された１対の前記電極を１対の前記電極用開口部から外部に突出させるように、前記筐体半体を接合して筐体とする工程と、を有するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記筐体半体を、凹部と、該凹部の周縁に配設されたフランジ部と、を有する形状に形成するような構成とした。
本発明の他の態様として、少なくとも一方の前記筐体半体の前記フランジ部に、原料導入口、生成物排出口、および、１対の前記電極を筐体の内部から外部へ突出させるための１対の電極用開口部となる溝部を設けるような構成とした。
本発明の他の態様として、一方の前記筐体半体の前記凹部に原料導入口を形成し、他方の前記筐体半体の前記凹部に生成物排出口を形成し、また、少なくとも一方の前記筐体半体の前記フランジ部に１対の前記電極を筐体の内部から外部へ突出させるための１対の電極用開口部となる溝部を設けるような構成とした。 The manufacturing method of the microreactor of the present invention has a multi-stage connection part at both ends, a mesh-shaped part at the part sandwiched by the multi-stage connection part, and a micropore carrying a catalyst and an electrothermal element mounting region. At least one catalyst carrier having a formation region, a multi-stage connection portion at both ends, and an electric heater arrangement region and a catalyst having an electric heater in a mesh shape at a portion sandwiched between the multi-stage connection portions A plurality of meshes , each of which has a micropore forming region to be supported, and one catalyst carrier that is formed as a pair of electrodes by projecting one electrode outside each multistage connection portion at both ends. By holding the catalyst support in a shape with a pair of multistage connection members at the multistage connection sites located at both ends, the catalyst support is arranged in parallel with a predetermined interval, and the catalyst support of each catalyst support The multistage connection site is Serial connected to each other through a multistage connection member, together with the electrode of the pair is connected to the electric heater of the catalyst carrier, a step of forming a state of protruding through said multi-stage connection member, joining In the rear case, a pair of electrode openings for projecting the electrode from the inside to the outside with the raw material introduction port located on one of the pair of opposed surfaces and the product discharge port on the other so they are located on opposite sides of the pair that does not have the raw material inlet and product outlet, a step of preparing a pair of housing halves, to a set of said housing halves, the multistage connection member accommodating the catalyst carrier so as to be non-contact state and the inner wall surface while positioned in the vicinity of the inner wall surface of the housing, and the electrode pair connected to said electric heater the so as to protrude to the outside from the electrode opening of the pair, the housing half A step of a housing by joining was configured as having.
As another aspect of the present invention, the housing half is formed into a shape having a concave portion and a flange portion disposed on the periphery of the concave portion.
As another aspect of the present invention, a material introduction port, a product discharge port, and a pair of the electrodes are projected from the inside of the housing to the outside at the flange portion of at least one of the housing halves . was that provided constituting Do that groove portions and the electrode opening of the pair.
As another aspect of the present invention, a raw material introduction port is formed in the recess of one of the housing halves, a product discharge port is formed in the recess of the other housing half, and at least one of the housing halves wherein said electrode pair has a configuration such as providing an electrode opening pair and Do that groove portion for protruding from the inside to the outside of the housing to the flange portion of the housing halves.

本発明の他の態様として、触媒担持体を形成する工程において、電熱体を有するメッシュ形状の触媒担持体に触媒を担持させた後、複数の触媒担持体を所定の間隔を設けて一体化するような構成、あるいは、触媒担持体を形成する工程において、電熱体を有するメッシュ形状の複数の触媒担持体を所定の間隔を設けて一体化した後、各触媒担持体に触媒を担持させるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記筐体半体を接合して筐体とする工程において、レーザー溶接を用いて筐体半体の接合を行なうような構成とした。
本発明の他の態様として、前記筐体半体を接合して筐体とする工程において、１対の前記電極が筐体から外部へ突出した部位の間隙をシール部材で封止するような構成とした。 As another aspect of the present invention, in the step of forming the catalyst carrier, the catalyst is supported on a mesh-shaped catalyst carrier having an electric heating body, and then a plurality of catalyst carriers are integrated with a predetermined interval. In such a configuration, or in the step of forming the catalyst carrier, a plurality of mesh-shaped catalyst carriers having electric heating bodies are integrated with a predetermined interval, and then the catalyst is supported on each catalyst carrier. The configuration.
As another aspect of the present invention, in the step of joining the housing halves to form a housing, the housing halves are joined using laser welding.
As another aspect of the present invention, in the step of joining the housing halves to form a housing, a configuration in which a gap between portions where the pair of electrodes protrudes from the housing to the outside is sealed with a seal member It was.

本発明のマイクロリアクターは、筐体内にメッシュ形状の触媒担持体を備えたものであり、原料移送における圧力損失を生じる流体経路内に触媒を担持した構造ではないので、原料移送に必要なポンプの小型化、したがって、マイクロリアクターを含む装置全体の小型化が可能であり、また、触媒担持体が電熱体を有するので、触媒を瞬時に適温に加熱することができ、停止状態から始動したときの立ち上がり速度が速く、かつ、投入電力の利用効率の高いマイクロリアクターが可能となり、また、触媒担持性を考慮することなく筐体の材料を選定することができ、例えば、熱伝導率の低い筐体を使用して、筐体内部からの熱放出を防止して熱の利用効率を向上させることができる。   The microreactor of the present invention is provided with a mesh-shaped catalyst carrier in a casing and is not a structure in which a catalyst is supported in a fluid path that causes a pressure loss in the raw material transfer. The size of the entire apparatus including the microreactor can be reduced, and the catalyst carrier has an electric heating element, so that the catalyst can be instantaneously heated to an appropriate temperature, and when starting from a stopped state. A microreactor with a high rise speed and high utilization efficiency of input power is possible, and the material of the case can be selected without considering the catalyst supportability. For example, a case with low thermal conductivity The heat use efficiency can be improved by preventing the heat release from the inside of the housing.

また、本発明の製造方法では、筐体半体の作製とは別に、触媒担持体が作製されるので、触媒の汚染や失活が防止され、かつ、均一な触媒担持が可能で、難しい製造工程管理が不要となり、また、筐体半体の接合面の清浄性が失われることがなく、かつ、筐体半体の接合は、流体経路を備えた基板面の接合に比べ容易であり、接合が確実に行なわれるので、信頼性の高いマイクロリアクターの製造が可能である。   In addition, in the production method of the present invention, a catalyst carrier is produced separately from the production of the housing half, so that contamination and deactivation of the catalyst is prevented, and uniform catalyst loading is possible, which is a difficult production. Process management is not required, and the cleanliness of the bonding surface of the housing half is not lost, and the bonding of the housing half is easier than the bonding of the substrate surface provided with the fluid path, Since the joining is reliably performed, a highly reliable microreactor can be manufactured.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
［マイクロリアクター］
図１は本発明のマイクロリアクターの一実施形態を示す斜視図であり、図２は図１に示されるマイクロリアクターの筐体分解斜視図であり、図３は図１に示されるマイクロリアクターのＡ−Ａ線における縦断面図である。図１〜図３において、本発明のマイクロリアクター１は、筐体１１と、この筐体１１内部に配設された触媒担持体２１とを備えている。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[Microreactor]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the microreactor of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a housing of the microreactor shown in FIG. 1, and FIG. 3 is an A of the microreactor shown in FIG. It is a longitudinal cross-sectional view in the -A line. 1 to 3, the microreactor 1 of the present invention includes a housing 11 and a catalyst carrier 21 disposed inside the housing 11.

筐体１１は、周囲にフランジ１４を有し、このフランジ１４が配設された４面のうち、１つの面１１ａに原料導入口１５、これに対向する面１１ｂに生成物排出口１６を備え、また、別の対向する１組の面１１ｃ、１１ｄには、電極用開口部１７，１７を備えている。このような筐体１１は、筐体半体１２Ａ，１２Ｂを接合したものであり、各筐体半体１２Ａ，１２Ｂは、触媒担持体２１を収納するための凹部１３Ａ，１３Ｂと、この凹部１３Ａ，１３Ｂの周縁にフランジ部１４Ａ，１４Ｂを備えた形状である。各筐体半体１２Ａ，１２Ｂにおいて、フランジ部１４Ａ，１４Ｂには、原料導入口用の溝部１５Ａ，１５Ｂ、生成物排出口用の溝部１６Ａ，１６Ｂ、および、電極用開口部となるための１対の溝部１７Ａ，１７Ｂが形成されている。尚、筐体１１は、フランジ１４を備えないものであってもよく、この場合、筐体１１の壁面に上述の原料導入口１５、生成物排出口１６、および、電極用開口部１７，１７が開口したものであってもよく、また、上述の原料導入口１５、生成物排出口１６、および、電極用開口部１７，１７が筐体１１の壁面から突出した形状としてもよい。   The casing 11 has a flange 14 around it, and is provided with a raw material inlet 15 on one surface 11a and a product discharge port 16 on a surface 11b opposite to the four surfaces on which the flange 14 is disposed. Also, another set of opposed surfaces 11c and 11d are provided with electrode openings 17 and 17, respectively. The casing 11 is formed by joining the casing halves 12A and 12B. The casing halves 12A and 12B include recesses 13A and 13B for housing the catalyst carrier 21, and the recesses 13A. , 13B are provided with flange portions 14A, 14B on the periphery. In each of the housing halves 12A and 12B, the flange portions 14A and 14B include groove portions 15A and 15B for raw material introduction ports, groove portions 16A and 16B for product discharge ports, and an electrode opening 1 A pair of groove portions 17A and 17B are formed. The housing 11 may not include the flange 14. In this case, the above-described raw material introduction port 15, product discharge port 16, and electrode openings 17 and 17 are provided on the wall surface of the housing 11. The raw material inlet 15, the product outlet 16, and the electrode openings 17, 17 may protrude from the wall surface of the housing 11.

筐体１１に収納されている触媒担持体２１は、図示例では３枚のメッシュ形状の触媒担持体２２，２３，２４が多段接続部材２７，２７により所定の間隔を設けて平行に配設されている。尚、本発明では、触媒担持体を構成するメッシュ形状の触媒担持体の枚数（段数）に制限はない。   In the illustrated example, the catalyst carrier 21 accommodated in the housing 11 has three mesh-shaped catalyst carriers 22, 23, and 24 arranged in parallel at predetermined intervals by multistage connecting members 27 and 27. ing. In the present invention, the number (number of stages) of the mesh-shaped catalyst carrier constituting the catalyst carrier is not limited.

ここで、本発明におけるメッシュ形状とは、複数の微細孔を備えた形状のことであり、例えば、複数の微細孔を備えた板体であってよく、また、金属線等により編まれた網体等であってもよい。また、触媒担持体の全面がメッシュ形状でもよく、触媒担持体の所定の部位のみがメッシュ形状となったものでもよい。   Here, the mesh shape in the present invention is a shape having a plurality of fine holes, and may be, for example, a plate body having a plurality of fine holes, or a mesh knitted by a metal wire or the like. It may be a body or the like. Further, the entire surface of the catalyst carrier may be a mesh shape, or only a predetermined part of the catalyst carrier may be a mesh shape.

図４は図２、図３に示される３枚のメッシュ形状の触媒担持体２２，２３，２４の平面図であり、図５は図３に示される触媒担持体２１の断面の部分拡大図である。３枚のメッシュ形状の触媒担持体２２，２３，２４は、多段接続部材２７，２７を介して相互に接続されるための多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａを両端に有している。また、この多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａに挟まれる部位には、複数の微細孔２５が形成されメッシュ形状となっている微細孔形成領域２２ｂ、２３ｂ、２４ｂ（図４にて点線で囲まれる部位）と、電熱体配設領域２２ｃ、２３ｃ、２４ｃ（図４にて斜線を付して示した領域）が設定されている。したがって、３枚のメッシュ形状の触媒担持体２２，２３，２４は、所定の領域（２２ｂ、２３ｂ、２４ｂ）のみがメッシュ形状となっている。   4 is a plan view of the three mesh-shaped catalyst carriers 22, 23, and 24 shown in FIGS. 2 and 3, and FIG. 5 is a partially enlarged view of the cross section of the catalyst carrier 21 shown in FIG. is there. The three mesh-shaped catalyst carriers 22, 23, 24 have multistage connection portions 22 a, 23 a, 24 a to be connected to each other via multistage connection members 27, 27 at both ends. In addition, a plurality of micro holes 25 are formed in a portion sandwiched between the multistage connection portions 22a, 23a, and 24a, and the micro hole forming regions 22b, 23b, and 24b in a mesh shape are surrounded by dotted lines in FIG. Region) and electric heater arrangement regions 22c, 23c, and 24c (regions indicated by hatching in FIG. 4) are set. Therefore, the three mesh-shaped catalyst carriers 22, 23, 24 have a mesh shape only in predetermined regions (22b, 23b, 24b).

また、３枚のメッシュ形状の触媒担持体２２，２３，２４のうち、中央に位置する触媒担持体２２では、多段接続部位２２ａの外側に１対の電極２６，２６が設けられている。尚、微細孔形成領域２２ｂ、２３ｂ、２４ｂと電熱体配設領域２２ｃ、２３ｃ、２４ｃの大きさ、位置等の関係には特に制限はなく、触媒担持体２２，２３，２４を構成する材料の熱伝導性等を考慮して適宜設定することができる。   Of the three mesh-shaped catalyst carriers 22, 23, 24, the catalyst carrier 22 located in the center is provided with a pair of electrodes 26, 26 outside the multistage connection portion 22a. There are no particular restrictions on the relationship between the size, position, etc. of the fine hole forming regions 22b, 23b, 24b and the electric heater arrangement regions 22c, 23c, 24c. It can be appropriately set in consideration of thermal conductivity and the like.

上述の３枚のメッシュ形状の触媒担持体２２，２３，２４は、上記の微細孔形成領域２２ｂ、２３ｂ、２４ｂに微細孔２５が形成されたメッシュ形状の金属基体４１と、上記の多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａを残すように金属基体４１を被覆している金属酸化膜４２と、上記の電熱体配設領域２２ｃ、２３ｃ、２４ｃ内において金属基体４１の一方の面に（金属酸化膜４２上に）形成された電熱体４３と、金属酸化膜４２に担持された触媒４４とを備えている。電熱体４３は、各触媒担持体２２，２３，２４の多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａに接続され、多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａは、多段接続部材２７，２７によって相互に接続され、最終的に１対の電極２６，２６に接続されている。
上記の１対の電極２６，２６は、筐体１１の電極用開口部１７，１７から突出しているとともに、この電極２６，２６と電極用開口部１７，１７との間隙部はシール部材３１により封止されている。ここで、シール部材３１は、通常、絶縁性を有する材料を使用する。 The three mesh-shaped catalyst carriers 22, 23, and 24 described above include the mesh-shaped metal base 41 in which the micropores 25 are formed in the micropore formation regions 22b, 23b, and 24b, and the multistage connection portion. The metal oxide film 42 covering the metal base 41 so as to leave 22a, 23a, 24a, and the metal oxide film 42 on one surface of the metal base 41 in the above-described electric heating element arrangement regions 22c, 23c, 24c. An electric heating body 43 formed above and a catalyst 44 supported on the metal oxide film 42 are provided. The electric heating body 43 is connected to the multistage connection portions 22a, 23a, 24a of the catalyst carriers 22, 23, 24, and the multistage connection portions 22a, 23a, 24a are connected to each other by the multistage connection members 27, 27. In other words, they are connected to a pair of electrodes 26, 26.
The pair of electrodes 26, 26 protrude from the electrode openings 17, 17 of the housing 11, and a gap between the electrodes 26, 26 and the electrode openings 17, 17 is formed by a seal member 31. It is sealed. Here, the sealing member 31 usually uses an insulating material.

次に、本発明のマイクロリアクターを構成する部材について説明する。
マイクロリアクター１を構成する筐体１１（筐体半体１２Ａ，１２Ｂ）は、触媒担持体２１を内部に配設保持できる所望の強度を有し、内部での反応に支障を来たさない材質であれば特に制限はなく、ステンレス等の金属、アルミナ、シリコン、石英等の材質から、触媒担持性を考慮することなく適宜選定することができる。特に、ステンレスは、レーザー溶接、拡散接合、ろう付けを用いた筐体半体１２Ａ，１２Ｂの接合が可能であり、好適である。
筐体１１の寸法、形状は、内部に配設した触媒担持体２１の寸法、形状、および、原料導入口１５と生成物排出口１６の位置等を考慮して適宜設定することができる。また、筐体１１の厚み（肉厚）は、使用する材料に応じて適宜設定することができる。 Next, members constituting the microreactor of the present invention will be described.
The casing 11 (the casing halves 12A and 12B) constituting the microreactor 1 has a desired strength capable of disposing and holding the catalyst carrier 21 therein, and does not interfere with the internal reaction. If it is, there will be no restriction | limiting in particular, It can select suitably from materials, such as stainless steel, materials, such as an alumina, a silicon | silicone, quartz, without considering catalyst supporting property. In particular, stainless steel is suitable because it can join the case halves 12A and 12B using laser welding, diffusion bonding, and brazing.
The dimensions and shape of the housing 11 can be appropriately set in consideration of the dimensions and shape of the catalyst carrier 21 disposed therein, the positions of the raw material introduction port 15 and the product discharge port 16, and the like. Moreover, the thickness (wall thickness) of the housing | casing 11 can be suitably set according to the material to be used.

触媒担持体２１を構成する金属基体４１は、例えば、陽極酸化により金属酸化膜４２を形成できる金属を使用することができる。このような金属としては、例えば、Ａｌ、Ｓｉ、Ｙ、Ｃｅ等を挙げることできる。また、金属基体４１として、ウォッシュコート処理により金属酸化膜４２の形成が可能な材料、例えば、Ｃｕ、ステンレス、Ｆｅ、Ａｌ等を使用することもできる。金属基体４１の厚みは、使用する材料の熱容量、熱伝導率等の特性、形成するメッシュ形状等を考慮して適宜設定することができるが、例えば、１００μｍ〜１ｍｍ程度の範囲で設定することができる。また、微細孔２５の開口形状は、円形状、楕円形状、多角形状等、いずれであってもよく、開口の大きさは、最大開口幅が１００μｍ〜１ｍｍ程度の範囲となるように設定することができる。   For the metal substrate 41 constituting the catalyst carrier 21, for example, a metal capable of forming the metal oxide film 42 by anodic oxidation can be used. Examples of such a metal include Al, Si, Y, and Ce. Further, as the metal substrate 41, a material capable of forming the metal oxide film 42 by a wash coat process, for example, Cu, stainless steel, Fe, Al, or the like can be used. The thickness of the metal substrate 41 can be appropriately set in consideration of the heat capacity and thermal conductivity characteristics of the material used, the mesh shape to be formed, etc., but can be set in the range of about 100 μm to 1 mm, for example. it can. The opening shape of the microhole 25 may be any of a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape, and the like, and the size of the opening is set so that the maximum opening width is in a range of about 100 μm to 1 mm. Can do.

また、金属酸化膜４２は、触媒４４を担持するために設けられたものであり、上述のような金属基体４１の陽極酸化により形成されたもの、あるいは、ウォッシュコート処理により形成されたものであってよい。このような金属酸化膜４２は、微細孔を有し、触媒４４の担持量が大きく、かつ、安定した触媒担持を可能とする。
金属基体４１の陽極酸化による金属酸化膜４２の形成は、金属基体４１を外部電極の陽極に接続した状態で、陽極酸化溶液に浸漬して陰極と対向させ通電することにより行うことができる。金属酸化膜４２の厚みは、例えば、１０〜１００μｍ程度の範囲で設定することができる。 The metal oxide film 42 is provided to support the catalyst 44, and is formed by anodic oxidation of the metal base 41 as described above, or formed by a wash coat process. It's okay. Such a metal oxide film 42 has fine pores, a large amount of catalyst 44 is supported, and enables stable catalyst support.
Formation of the metal oxide film 42 by anodic oxidation of the metal base 41 can be performed by immersing the metal base 41 in an anodic oxidation solution in a state where the metal base 41 is connected to the anode of the external electrode and energizing it facing the cathode. The thickness of the metal oxide film 42 can be set in a range of about 10 to 100 μm, for example.

また、ウォッシュコート処理による金属酸化膜４２の形成は、例えば、アルミナゾルのようなベーマイトアルミナが分散されている状態の懸濁液を用い、この懸濁液の粘度を十分に低下させたものを金属基体４１に塗布（あるいは、金属基体４１を浸漬）し、その後、乾燥させ、ベーマイト被膜を金属基体４１の表面に固定化させることにより行うことができる。このようなウォッシュコート処理により形成される金属酸化膜４２は、酸化アルミニウム薄膜であり、厚みは、例えば、０．１〜１０μｍ程度の範囲で設定することができる。
金属酸化膜４２上に配設されている電熱体４３としては、ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ合金）、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）等の電熱材料を使用することができる。図示例では、電熱体４３は金属基体４１の一方の面に配設されているが、金属基体４１の熱容量、熱伝導率等の特性、形成するメッシュ形状等を考慮して適宜設定することができる。例えば、金属基体４１の両面に配設されてもよく、また、金属基体４１の一方の面であって、かつ、複数個の微細孔２５を囲むような疎の状態で配設されてもよい。 The formation of the metal oxide film 42 by the wash coat treatment uses, for example, a suspension in which boehmite alumina such as alumina sol is dispersed, and the viscosity of the suspension is sufficiently reduced to a metal. It can be carried out by applying to the substrate 41 (or immersing the metal substrate 41) and then drying to fix the boehmite film to the surface of the metal substrate 41. The metal oxide film 42 formed by such a wash coat process is an aluminum oxide thin film, and the thickness can be set in a range of about 0.1 to 10 μm, for example.
As the electric heating element 43 disposed on the metal oxide film 42, an electric heating material such as nichrome (Ni—Cr alloy), W (tungsten), or Mo (molybdenum) can be used. In the illustrated example, the electric heating element 43 is disposed on one surface of the metal base 41. However, the electric heating element 43 may be appropriately set in consideration of characteristics such as the heat capacity and thermal conductivity of the metal base 41 and the mesh shape to be formed. it can. For example, it may be disposed on both surfaces of the metal substrate 41, or may be disposed on one surface of the metal substrate 41 and in a sparse state surrounding the plurality of micro holes 25. .

金属酸化膜４２に担持される触媒４４は、マイクロリアクター１の用途に応じて適宜選択することができ、特に制限はない。
また、多段接続部材２７は、各触媒担持体２２，２３，２４の多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａを相互に接続するとともに、各触媒担持体２２，２３，２４を所望の間隔を設けて保持するための部材である。このような多段接続部材２７は、金属板を積層しスポット溶接で固定して形成したり、導電微粒子を含有したガラスペースト、セラミックペースト等により形成することができる。また、各触媒担持体２２，２３，２４の間隔は、例えば、２００μｍ〜１ｍｍの範囲で適宜設定することができる。
電極２６，２６と電極用開口部１７，１７との間隙部を封止するシール部材３１は、ガラスペースト、セラミックペースト等により形成することができる。 The catalyst 44 supported on the metal oxide film 42 can be appropriately selected according to the use of the microreactor 1 and is not particularly limited.
The multistage connection member 27 connects the multistage connection portions 22a, 23a, and 24a of the catalyst carriers 22, 23, and 24 to each other, and holds the catalyst carriers 22, 23, and 24 at a desired interval. It is a member for doing. Such a multistage connecting member 27 can be formed by laminating metal plates and fixing them by spot welding, or can be formed by glass paste, ceramic paste, or the like containing conductive fine particles. Moreover, the space | interval of each catalyst carrier 22,23,24 can be suitably set, for example in the range of 200 micrometers-1 mm.
The sealing member 31 that seals the gap between the electrodes 26 and 26 and the electrode openings 17 and 17 can be formed of glass paste, ceramic paste, or the like.

本発明では、３枚のメッシュ形状の触媒担持体２２，２３，２４を他の構造としてもよく、図６は、このような触媒担持体の他の構造例を示すものである。尚、図６では、便宜的に、触媒担持体２２，２３，２４のうち、触媒担持体２２のみを示した。
図６に示されるメッシュ形状の触媒担持体２２（２３，２４）は、上記（図４）の微細孔形成領域２２ｂ（２３ｂ、２４ｂ）に微細孔２５が形成されたメッシュ形状の電熱体５３と、金属酸化膜５２と、金属酸化膜５２に担持された触媒５４を備えている。金属酸化膜５２は、電熱体５３のうち、上記（図４）の多段接続部位２２ａ（２３ａ，２４ａ）が露出するように電熱体５３を被覆している。そして、各触媒担持体２２（２３，２４）の多段接続部位２２ａ（２３ａ，２４ａ）は、図示しない多段接続部材２７，２７によって相互に接続され、最終的に１対の電極２６，２６に接続されている。尚、この例では、１対の電極２６，２６も電熱体で構成されているが、１対の電極２６，２６を電熱体ではない金属導電材料、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ−Ａｇ等の導電材料を用いて形成してもよい。 In the present invention, the three mesh-shaped catalyst carriers 22, 23, and 24 may have other structures, and FIG. 6 shows another example of such a catalyst carrier structure. In FIG. 6, only the catalyst carrier 22 among the catalyst carriers 22, 23, and 24 is shown for convenience.
The mesh-shaped catalyst carrier 22 (23, 24) shown in FIG. 6 includes a mesh-shaped electric heating body 53 in which the micropores 25 are formed in the micropore formation region 22b (23b, 24b) of the above (FIG. 4). A metal oxide film 52 and a catalyst 54 supported on the metal oxide film 52 are provided. The metal oxide film 52 covers the electric heating body 53 so that the multistage connecting portion 22a (23a, 24a) of the above (FIG. 4) of the electric heating body 53 is exposed. The multistage connection portions 22a (23a, 24a) of each catalyst carrier 22 (23, 24) are connected to each other by multistage connection members 27, 27 (not shown), and finally connected to a pair of electrodes 26, 26. Has been. In this example, the pair of electrodes 26 and 26 are also made of an electric heater, but the pair of electrodes 26 and 26 are made of a metal conductive material that is not an electric heater, for example, Au, Ag, Pd, Pd-Ag. You may form using conductive materials, such as.

また、図７は、図６と同様に、触媒担持体の他の構造例を示すものであり、この図７においても、便宜的に、触媒担持体２２，２３，２４のうち、触媒担持体２２のみを示した。
図７に示されるように、メッシュ形状の触媒担持体２２（２３，２４）は、上記（図４）の微細孔形成領域２２ｂ（２３ｂ、２４ｂ）に微細孔２５が形成されたメッシュ形状の電熱体６３と、金属膜６１と、金属酸化膜６２と、この金属酸化膜６２に担持された触媒６４を備えている。金属膜６１は、電熱体６３を被覆するものであり、また、金属酸化膜６２は、金属膜６１のうち、上記（図４）の多段接続部位２２ａ（２３ａ，２４ａ）が露出するように金属膜６１を被覆している。そして、各触媒担持体２２（２３，２４）の多段接続部位２２ａ（２３ａ，２４ａ）は、多段接続部材２７，２７によって相互に接続され、最終的に１対の電極２６，２６に接続されている。尚、この例では、１対の電極２６，２６は、電熱体６３が金属膜６１で被覆されたものであるが、１対の電極２６，２６を電熱体を含まない金属導電材料、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｄ−Ａｇ等の導電材料を用いて形成してもよい。 FIG. 7 shows another example of the structure of the catalyst carrier as in FIG. 6. In FIG. 7, for convenience, the catalyst carrier among the catalyst carriers 22, 23, and 24 is also shown. Only 22 were shown.
As shown in FIG. 7, the mesh-shaped catalyst carrier 22 (23, 24) has a mesh-shaped electrothermal structure in which the micropores 25 are formed in the micropore formation region 22b (23b, 24b) of the above (FIG. 4). A body 63, a metal film 61, a metal oxide film 62, and a catalyst 64 supported on the metal oxide film 62 are provided. The metal film 61 covers the electric heating body 63, and the metal oxide film 62 is formed of a metal so that the multistage connection portion 22a (23a, 24a) of the above (FIG. 4) of the metal film 61 is exposed. The film 61 is covered. And the multistage connection part 22a (23a, 24a) of each catalyst carrier 22 (23, 24) is mutually connected by the multistage connection members 27, 27, and finally connected to the pair of electrodes 26, 26. Yes. In this example, the pair of electrodes 26, 26 are those in which the electric heating body 63 is covered with the metal film 61, but the pair of electrodes 26, 26 are made of a metal conductive material that does not include the electric heating body, for example, You may form using electrically conductive materials, such as Au, Ag, Pd, and Pd-Ag.

上記のメッシュ形状の電熱体５３，６３は、としては、ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ合金）、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）等の電熱材料を使用することができる。この電熱体５３，６３の厚みは、使用する材料の強度、形成するメッシュ形状等を考慮して適宜設定することができるが、例えば、１〜１００μｍ程度の範囲で設定することができる。また、微細孔２５の開口形状は、円形状、楕円形状、多角形状等、いずれであってもよく、開口の大きさは、最大開口幅が１００μｍ〜１ｍｍ程度の範囲となるように設定することができる。   As said mesh-shaped electric heating bodies 53 and 63, electric heating materials, such as nichrome (Ni-Cr alloy), W (tungsten), and Mo (molybdenum), can be used. The thicknesses of the electric heaters 53 and 63 can be set as appropriate in consideration of the strength of the material to be used, the mesh shape to be formed, and the like. For example, the thickness can be set in the range of about 1 to 100 μm. The opening shape of the microhole 25 may be any of a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape, and the like, and the size of the opening is set so that the maximum opening width is in a range of about 100 μm to 1 mm. Can do.

金属酸化膜５２は、触媒５４を担持するために設けられたものであり、ウォッシュコート処理により形成されたものであってよい。ウォッシュコート処理による金属酸化膜５２の形成は、上述のウォッシュコート処理による金属酸化膜４２の形成と同様に行なうことができる。   The metal oxide film 52 is provided to support the catalyst 54 and may be formed by a wash coat process. The formation of the metal oxide film 52 by the wash coat process can be performed in the same manner as the formation of the metal oxide film 42 by the above-described wash coat process.

また、金属膜６１としては、例えば、陽極酸化により金属酸化膜６２を形成できる金属を使用することができる。このような金属としては、例えば、Ａｌ、Ｓｉ、Ｙ、Ｃｅ等を挙げることできる。また、金属膜６１として、ウォッシュコート処理により金属酸化膜６２の形成が可能な材料、例えば、Ｃｕ、ステンレス、Ｆｅ、Ａｌ等を使用することもできる。金属酸化膜６２は、触媒６４を担持するために設けられたものであり、上述のような金属膜６１の陽極酸化により形成されたもの、あるいは、ウォッシュコート処理により形成されたものであってよい。この金属膜６１の厚みは、電熱体６３による通電発熱に支障を来たさない厚みであればよく、例えば、１〜１０μｍの範囲で設定することができる。
金属酸化膜５２，６２に担持される触媒５４，６４は、マイクロリアクターの用途に応じて適宜選択することができ、特に制限はない。 As the metal film 61, for example, a metal that can form the metal oxide film 62 by anodic oxidation can be used. Examples of such a metal include Al, Si, Y, and Ce. Further, as the metal film 61, a material capable of forming the metal oxide film 62 by a wash coat process, for example, Cu, stainless steel, Fe, Al, or the like can be used. The metal oxide film 62 is provided to support the catalyst 64, and may be formed by anodic oxidation of the metal film 61 as described above or formed by a wash coat process. . The thickness of the metal film 61 may be any thickness as long as it does not hinder energization heat generation by the electric heating element 63, and can be set in the range of 1 to 10 μm, for example.
The catalysts 54 and 64 supported on the metal oxide films 52 and 62 can be appropriately selected according to the use of the microreactor, and are not particularly limited.

上述のような本発明のマイクロリアクター１は、筐体１１内にメッシュ形状の触媒担持体２１を備えたものであり、流体経路内に触媒を担持した従来のマイクロリアクターにおいて問題となっていた原料移送時の圧力損失が低減され、原料移送に必要なポンプの小型化が可能である。また、触媒担持体２１が電熱体４３，５３，６３を有するので、触媒を瞬時に適温に加熱することができ、停止状態から始動したときの立ち上がり速度が速く、かつ、投入電力の利用効率の高いものとなる。また、触媒担持性を考慮することなく筐体１１の材料を選定することができ、例えば、熱伝導率の低い筐体１１を使用して、筐体１１内部からの熱放出を防止して熱の利用効率を更に向上させることができる。   The microreactor 1 of the present invention as described above has a mesh-shaped catalyst carrier 21 in a casing 11 and is a raw material that has been a problem in a conventional microreactor in which a catalyst is carried in a fluid path. The pressure loss during the transfer is reduced, and the pump required for the material transfer can be downsized. In addition, since the catalyst carrier 21 has the electric heating elements 43, 53, and 63, the catalyst can be instantaneously heated to an appropriate temperature, the rising speed when starting from the stop state is high, and the utilization efficiency of the input power is improved. It will be expensive. In addition, the material of the housing 11 can be selected without considering the catalyst supporting property. For example, the housing 11 having a low thermal conductivity is used to prevent heat from being released from the inside of the housing 11 and heat the housing 11. The utilization efficiency can be further improved.

尚、本発明のマイクロリアクターは、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、原料導入口と生成物回収口の位置は限定されず、図８に示されるように、筐体１１を構成する一方の筐体半体１２Ａの凹部側に原料導入口１５′を配設し、他方の筐体半体１２Ｂの凹部側に生成物排出口１６′を配設したマイクロリアクター１′としてもよい。
また、上述の実施形態では、筐体１１が周囲にフランジ１４を備えているが、対向する２方向のみにフランジを備えたもの、あるいは、上述のようにフランジを備えないもの等であってもよい。 The microreactor of the present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, the positions of the raw material introduction port and the product recovery port are not limited, and as shown in FIG. 8, a raw material introduction port 15 ′ is disposed on the concave side of one housing half 12 A constituting the housing 11. Alternatively, the microreactor 1 'may be provided with a product discharge port 16' disposed on the concave side of the other housing half 12B.
Moreover, in the above-mentioned embodiment, although the housing | casing 11 is provided with the flange 14 in the circumference | surroundings, even if what provided the flange only in two opposing directions, or the thing which is not provided with a flange as mentioned above, etc. Good.

［マイクロリアクターの製造方法］
図９および図１０は、上述のマイクロリアクター１を例とした、本発明のマイクロリアクター製造方法の一実施形態を説明するための工程図である。
本発明の製造方法は、触媒担持体２１を作製する工程と、筐体半体１２Ａ，１２Ｂを作製する工程が独立している。
まず、触媒担持体２１を作製する工程について説明する。尚、図９（Ａ）〜図９（Ｄ）では、便宜的に、触媒担持体２２，２３，２４のうち、触媒担持体２２を図示する。 [Microreactor manufacturing method]
FIG. 9 and FIG. 10 are process diagrams for explaining an embodiment of the microreactor manufacturing method of the present invention using the above-described microreactor 1 as an example.
In the production method of the present invention, the step of producing the catalyst carrier 21 and the step of producing the housing halves 12A and 12B are independent.
First, the process for producing the catalyst carrier 21 will be described. 9A to 9D, for convenience, the catalyst carrier 22 among the catalyst carriers 22, 23, and 24 is illustrated.

触媒担持体２１の作製では、最初に、金属基体４１に複数の微細孔２５と１対の電極２６，２６を形成する（図９（Ａ））。この微細孔２５は、例えば、金属基体４１の両面に所定の開口パターンを有するレジストを形成し、このレジストをマスクとしたウエットエッチングで形成することができる。また、レーザー穴あけ加工、放電加工、金型によるプレス加工等を用いて微細孔２５を形成することも可能である。このような微細孔２５は、図４に示される微細孔形成領域２２ｂ、２３ｂ、２４ｂに形成される。尚、１対の電極２６，２６は、微細孔２５形成前、あるいは、微細孔２５形成後の金属基体４１に打ち抜き加工等を施すことにより形成することができる。また、電極２６，２６を形成しない他は、触媒担持体２３，２４用の金属基体４１にも、同様に、微細孔２５を形成する。   In producing the catalyst carrier 21, first, a plurality of fine holes 25 and a pair of electrodes 26, 26 are formed in the metal substrate 41 (FIG. 9A). The fine holes 25 can be formed by, for example, forming a resist having a predetermined opening pattern on both surfaces of the metal substrate 41 and performing wet etching using the resist as a mask. It is also possible to form the fine holes 25 using laser drilling, electrical discharge machining, press working with a mold, or the like. Such fine holes 25 are formed in the fine hole forming regions 22b, 23b, and 24b shown in FIG. The pair of electrodes 26 and 26 can be formed by punching or the like on the metal substrate 41 before or after the formation of the fine holes 25. Further, except that the electrodes 26 and 26 are not formed, the fine holes 25 are similarly formed in the metal substrate 41 for the catalyst carriers 23 and 24.

次に、金属基体４１を被覆するように金属酸化膜４２を形成する（図９（Ｂ））。この金属酸化膜４２は、図４に示される多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａの金属基体４１が露出するように形成される。
金属基体４１への金属酸化膜４２の形成は、例えば、金属基体４１の陽極酸化あるいは金属基体４１へのウォッシュコート処理（あるいは金属酸化物の溶射）により行なうことができる。陽極酸化による金属酸化膜４２の形成は、金属基体４１を外部電極の陽極に接続した状態で、陽極酸化溶液に浸漬して陰極と対向させ通電することにより行うことができる。また、ウォッシュコート処理による金属酸化膜４２を形成することも可能である。このウォッシュコート処理の場合、例えば、アルミナゾルのようなベーマイトアルミナが分散されている状態の懸濁液を用い、この懸濁液の粘度を十分に低下させたものを金属基体４１に塗布（あるいは、金属基体４１を浸漬）し、その後、乾燥させ、ベーマイト被膜を金属基体４１の表面に固定化させる。 Next, a metal oxide film 42 is formed so as to cover the metal substrate 41 (FIG. 9B). The metal oxide film 42 is formed so that the metal base 41 of the multistage connection portions 22a, 23a, and 24a shown in FIG. 4 is exposed.
Formation of the metal oxide film 42 on the metal substrate 41 can be performed, for example, by anodic oxidation of the metal substrate 41 or wash coat treatment (or metal oxide spraying) on the metal substrate 41. Formation of the metal oxide film 42 by anodic oxidation can be performed by immersing the metal substrate 41 in an anodic oxidation solution in a state where the metal base 41 is connected to the anode of the external electrode, and energizing it facing the cathode. It is also possible to form a metal oxide film 42 by a wash coat process. In the case of this wash coat treatment, for example, a suspension in which boehmite alumina such as alumina sol is dispersed is applied to the metal substrate 41 with a sufficiently reduced viscosity of the suspension (or alternatively, The metal substrate 41 is immersed), and then dried to fix the boehmite film to the surface of the metal substrate 41.

尚、多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａの金属基体４１が露出するように金属酸化膜４２を形成するには、多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａに予め金属基体４１を被覆するレジストパターンを形成し、その後、金属酸化膜を形成する方法、あるいは、金属基体４１の全面に金属酸化膜４２を形成した後、多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａに位置する金属酸化膜４２をエッチング、サンドブラスト等により除去する方法等を用いることができる。   In order to form the metal oxide film 42 so that the metal base 41 of the multistage connection portions 22a, 23a, and 24a is exposed, a resist pattern that covers the metal base 41 in advance is formed on the multistage connection portions 22a, 23a, and 24a. Thereafter, a method of forming a metal oxide film, or after forming a metal oxide film 42 on the entire surface of the metal substrate 41, the metal oxide film 42 located at the multistage connection portions 22a, 23a, 24a is removed by etching, sandblasting, or the like. Or the like can be used.

次いで、金属酸化膜４２上に電熱体４３を形成する（図９Ｃ）。この電熱体４３は、図４に示される電熱体配設領域２２ｃ、２３ｃ、２４ｃ内に形成するとともに、多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａにおいて金属基体４１に接続するように形成する。電熱体４３の形成方法としては、カーボンペースト、ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ合金）、Ｗ、Ｍｏ等の材料を含有するペーストを用いてスクリーン印刷により形成する方法、上記の材料を含有するペーストを用いて塗布膜を形成し、その後、エッチング等によりパターニングする方法、配線パターンを有するメタルマスクを介して真空成膜法により絶縁膜上にパターニングする方法等を挙げることができる。   Next, an electric heating body 43 is formed on the metal oxide film 42 (FIG. 9C). The electric heating element 43 is formed in the electric heating element arrangement regions 22c, 23c, and 24c shown in FIG. 4, and is formed so as to be connected to the metal substrate 41 at the multistage connection portions 22a, 23a, and 24a. As a method of forming the electric heating element 43, a method of forming by screen printing using a paste containing a material such as carbon paste, nichrome (Ni—Cr alloy), W, Mo or the like, or a paste containing the above-described material is used. Examples thereof include a method of forming a coating film and then patterning by etching or the like, and a method of patterning on the insulating film by a vacuum film forming method through a metal mask having a wiring pattern.

次に、金属酸化膜４２上に触媒４４を担持する（図９（Ｄ））。金属酸化膜４２への触媒４４の担持は、例えば、金属酸化膜４２で被覆された金属基体４１を触媒前駆体溶液に浸漬したり、触媒前駆体溶液を塗布して、適量を金属酸化膜４２に付着させ、その後、触媒前駆体溶液を乾燥することにより行うことができる。
これにより、両端に金属基体４１からなる電極２６を備えた触媒担持体２２が得られる。また、電極２６を形成しない他は、触媒担持体２２と同様に、触媒担持体２３，２４を形成することができる。このような触媒担持体２２，２３，２４の作製では、金属基体４１上に均一な金属酸化膜４２を形成することができ、この金属酸化膜４２上に触媒前駆体溶液を均一に付着させることができるので、所望の担持量で触媒を均一に担持させることができる。 Next, the catalyst 44 is supported on the metal oxide film 42 (FIG. 9D). The catalyst 44 is supported on the metal oxide film 42 by, for example, immersing the metal substrate 41 coated with the metal oxide film 42 in the catalyst precursor solution or coating the catalyst precursor solution, and an appropriate amount of the metal oxide film 42 is applied. And then drying the catalyst precursor solution.
Thereby, the catalyst carrier 22 provided with the electrodes 26 made of the metal substrate 41 at both ends is obtained. Further, the catalyst carriers 23 and 24 can be formed in the same manner as the catalyst carrier 22 except that the electrode 26 is not formed. In the production of such catalyst carriers 22, 23, 24, a uniform metal oxide film 42 can be formed on the metal substrate 41, and the catalyst precursor solution is uniformly deposited on the metal oxide film 42. Therefore, the catalyst can be uniformly supported with a desired loading amount.

その後、多段接続部材２７により触媒担持体２２，２３，２４を相互に接続し、所定の間隔で平行に保持して、触媒担持体２１を作製する（図９（Ｅ））。この多段接続部材２７による触媒担持体２２，２３，２４の接続、保持は、例えば、金属板を積層しスポット溶接で固定したり、触媒担持体２２，２３，２４を所定間隔で平行に配列し、その後、触媒担持体２２の電極２６を露出させるように各触媒担持体２２，２３，２４の両端部を多段接続部材２７用の材料で被覆し、硬化させることにより行なうことができる。多段接続部材２７用の材料としては、導電微粒子を含有したガラスペースト、セラミックペースト等を挙げることができる。
尚、触媒４４を担持する前に、多段接続部材２７により触媒担持体２２，２３，２４を相互に接続、保持し、その後、上記のようにして各触媒担持体２２，２３，２４に触媒４４を担持してもよい。 Thereafter, the catalyst carriers 22, 23, and 24 are connected to each other by the multistage connecting member 27, and held in parallel at a predetermined interval, thereby producing the catalyst carrier 21 (FIG. 9E). The connection and holding of the catalyst carriers 22, 23, 24 by the multistage connecting member 27 is performed by, for example, stacking metal plates and fixing them by spot welding, or arranging the catalyst carriers 22, 23, 24 in parallel at predetermined intervals. Thereafter, both ends of each of the catalyst carriers 22, 23, 24 are covered with a material for the multistage connecting member 27 so as to expose the electrode 26 of the catalyst carrier 22, and can be cured. Examples of the material for the multistage connecting member 27 include glass paste and ceramic paste containing conductive fine particles.
Before the catalyst 44 is supported, the catalyst carriers 22, 23, 24 are mutually connected and held by the multistage connecting member 27, and then the catalyst 44 is attached to each catalyst carrier 22, 23, 24 as described above. May be supported.

一方、上記の触媒担持体２１を形成する工程と独立して、筐体半体１２Ａ，１２Ｂを作製する（図１０（Ａ））。この筐体半体１２Ａ，１２Ｂは、フランジ部１４Ａ，１４Ｂに原料導入口用の溝部１５Ａ，１５Ｂ、生成物排出口用の溝部１６Ａ，１６Ｂ、および、電極用開口部となるための１対の溝部１７Ａ，１７Ｂを備えた形状に作製する。このような筐体半体１２Ａ，１２Ｂは、例えば、金属板にプレス加工を施すことにより作製することができる。
次に、上述のように作製した触媒担持体２１を、１対の電極２６，２６が１対の溝部１７Ａ，１７Ｂから外側に突出するように筐体半体１２Ａ，１２Ｂ内に収納し（図１０Ｂ）、その後、筐体半体１２Ａ，１２Ｂを接合してマイクロリアクター１とする（図１０（Ｃ））。筐体半体１２Ａ，１２Ｂの接合は、例えば、筐体半体１２Ａ，１２Ｂの材質がステンレス等である場合には、フランジ部１４Ａ，１４Ｂをレーザースポット溶接することにより行なうことができる。また、筐体半体１２Ａ，１２Ｂの材質に応じて、拡散接合、ロウ付け、抵抗溶接、陽極接合等により接合することも可能である。 On the other hand, the housing halves 12A and 12B are produced independently of the step of forming the catalyst carrier 21 (FIG. 10A). The housing halves 12A and 12B are a pair of flanges 14A and 14B, a raw material inlet slot 15A and 15B, a product outlet slot 16A and 16B, and a pair of electrode openings. It is manufactured in a shape provided with groove portions 17A and 17B. Such housing halves 12A and 12B can be produced, for example, by pressing a metal plate.
Next, the catalyst carrier 21 produced as described above is accommodated in the housing halves 12A and 12B so that the pair of electrodes 26 and 26 protrude outward from the pair of grooves 17A and 17B (see FIG. 10B), then, the half cases 12A and 12B are joined to form the microreactor 1 (FIG. 10C). The case halves 12A and 12B can be joined by, for example, laser spot welding of the flange portions 14A and 14B when the material of the case halves 12A and 12B is stainless steel or the like. Moreover, it is also possible to join by diffusion bonding, brazing, resistance welding, anodic bonding or the like according to the material of the housing halves 12A and 12B.

上述のような本発明の製造方法では、筐体半体１２Ａ，１２Ｂの作製とは別に、触媒担持体２１を作製するので、触媒の汚染による劣化や失活が防止され、また、均一な触媒担持が可能となり、難しい製造工程管理を不要とすることができる。また、筐体半体１２Ａ，１２Ｂの接合面の清浄性が失われることがなく、かつ、筐体半体１２Ａ，１２Ｂの接合は、従来の流体経路が形成された基板相互の接合に比べ容易であり、接合が確実に行なわれるので、信頼性の高いマイクロリアクターの製造が可能となる。   In the production method of the present invention as described above, the catalyst carrier 21 is produced separately from the production of the housing halves 12A and 12B. Therefore, deterioration and deactivation due to contamination of the catalyst can be prevented, and a uniform catalyst can be obtained. Support is possible, and difficult manufacturing process management can be eliminated. Further, the cleanliness of the joint surfaces of the housing halves 12A and 12B is not lost, and the joining of the housing halves 12A and 12B is easier than joining the substrates on which a conventional fluid path is formed. In addition, since the joining is reliably performed, a highly reliable microreactor can be manufactured.

また、図６に示される構造の触媒担持体を作製する場合には、ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ合金）、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）等の電熱材料からなる電熱体５３に、上述と同様にして、複数の微細孔２５と１対の電極２６，２６を形成する。次いで、図４に示される多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａの電熱体５３が露出するように金属酸化膜５２を形成する。この金属酸化膜５２は、例えば、ウォッシュコート処理により形成でき、アルミナゾルのようなベーマイトアルミナが分散されている状態の懸濁液を用い、この懸濁液の粘度を十分に低下させたものを電熱体５３に塗布（あるいは、電熱体５３を浸漬）し、その後、乾燥させ、ベーマイト被膜を電熱体５３の表面に固定化させる。その後、上述と同様にして、金属酸化膜５２上に触媒５４を担持する。   When the catalyst carrier having the structure shown in FIG. 6 is produced, the electrothermal body 53 made of an electrothermal material such as nichrome (Ni—Cr alloy), W (tungsten), or Mo (molybdenum) is used in the same manner as described above. Thus, a plurality of fine holes 25 and a pair of electrodes 26 and 26 are formed. Next, a metal oxide film 52 is formed so that the electric heating bodies 53 of the multistage connection portions 22a, 23a, and 24a shown in FIG. 4 are exposed. The metal oxide film 52 can be formed by, for example, a wash coat process, and a suspension in which boehmite alumina such as alumina sol is dispersed is used. It is applied to the body 53 (or the electric heating body 53 is immersed), and then dried to fix the boehmite film to the surface of the electric heating body 53. Thereafter, the catalyst 54 is supported on the metal oxide film 52 in the same manner as described above.

また、図７に示される構造の触媒担持体を作製する場合には、ニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ合金）、Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）等の電熱材料からなる電熱体６３に、上述と同様にして、複数の微細孔２５と１対の電極２６，２６を形成する。次いで、電熱体６３を被覆するように金属膜６１を形成する。この金属膜６１は、電気めっき、ホットディップ、クラッド被覆等の方法により形成することができ、使用する材料は、Ａｌ、Ｓｉ等、陽極酸化により金属酸化膜６２を形成できる材料、あるいは、Ｃｕ、ステンレス、Ｆｅ、Ａｌ等、ウォッシュコート処理により金属酸化膜６２の形成が可能な材料を挙げることができる。   When the catalyst carrier having the structure shown in FIG. 7 is produced, the electric heating element 63 made of an electric heating material such as nichrome (Ni—Cr alloy), W (tungsten), or Mo (molybdenum) is used in the same manner as described above. Thus, a plurality of fine holes 25 and a pair of electrodes 26 and 26 are formed. Next, a metal film 61 is formed so as to cover the electric heater 63. The metal film 61 can be formed by a method such as electroplating, hot dip, clad coating, and the material used is Al, Si, or the like, a material that can form the metal oxide film 62 by anodic oxidation, or Cu, Examples of the material that can form the metal oxide film 62 by a wash coat process, such as stainless steel, Fe, and Al.

次に、金属膜６２上に、図４に示される多段接続部位２２ａ，２３ａ，２４ａの金属膜６２が露出するように金属酸化膜６２を形成する。この金属酸化膜６２は、金属膜６２の陽極酸化あるいは金属膜６２へのウォッシュコート処理により行なうことができ、陽極酸化、ウォッシュコート処理は、上述と同様である。その後、上述と同様にして、金属酸化膜６２上に触媒６４を担持する。
尚、上述のマイクロリアクター製造方法の実施形態は一例であり、本発明はこれらに限定されるものではない。 Next, a metal oxide film 62 is formed on the metal film 62 so that the metal film 62 of the multistage connection portions 22a, 23a, and 24a shown in FIG. 4 is exposed. The metal oxide film 62 can be formed by anodic oxidation of the metal film 62 or a wash coat process on the metal film 62, and the anodic oxidation and wash coat processes are the same as described above. Thereafter, the catalyst 64 is supported on the metal oxide film 62 in the same manner as described above.
In addition, embodiment of the above-mentioned microreactor manufacturing method is an example, and this invention is not limited to these.

次に、より具体的な実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
［実施例１］
（微細孔の形成）
金属基体として、厚み２００μｍのアルミニウム基板を複数枚準備し、１枚の金属基体を、図４に示されるような触媒担持体２２の形状（２３ｍｍ×２５ｍｍの長方形と、この長手方向の両端部の中央から幅５ｍｍで１０ｍｍ突出した電極を備えた形状）に打ち抜き、また、２枚の金属基体を、図４に示されるような触媒担持体２３，２４の形状（２３ｍｍ×２５ｍｍの長方形状）に打ち抜いて、２種、３枚の金属基体を作製した。 Next, the present invention will be described in more detail by showing more specific examples.
[Example 1]
(Micropore formation)
A plurality of aluminum substrates having a thickness of 200 μm are prepared as metal substrates, and one metal substrate is formed into a shape of a catalyst carrier 22 as shown in FIG. 4 (a rectangle of 23 mm × 25 mm and both end portions in the longitudinal direction). The shape is provided with an electrode having a width of 5 mm and protruding 10 mm from the center), and the two metal substrates are formed into the shapes of the catalyst carriers 23 and 24 as shown in FIG. 4 (rectangular shape of 23 mm × 25 mm). 2 types and 3 metal substrates were produced by punching.

次いで、３枚の金属基体の両面に感光性レジスト材料（東京応化工業（株）製ＯＦＰＲ）をディップ法により塗布（膜厚７μｍ（乾燥時））した。次に、微細孔形成用のフォトマスクを介してレジスト塗布膜を露光し、炭酸水素ナトリウム溶液を使用して現像した。これにより、各金属基体の長手方向の中央の微細孔形成領域（１７ｍｍ×１９ｍｍの長方形、図４参照）に、開口径が２００μｍの微細開口がピッチ１００μｍで配列されたレジストパターンが形成された。   Next, a photosensitive resist material (OFPR manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was applied to both surfaces of the three metal substrates by a dipping method (film thickness: 7 μm (when dried)). Next, the resist coating film was exposed through a photomask for forming micropores and developed using a sodium hydrogen carbonate solution. As a result, a resist pattern was formed in which fine openings having an opening diameter of 200 μm were arranged at a pitch of 100 μm in a fine hole forming region (17 mm × 19 mm rectangle, see FIG. 4) in the center in the longitudinal direction of each metal substrate.

次に、上記のレジストパターンをマスクとして、下記の条件で各金属基体をエッチング（５分間）した。
（エッチング条件）
・温度 ： ２０℃
・エッチング液（ＨＣｌ）濃度： ２００ｇ／Ｌ
（３５％ＨＣｌを純水中に２００ｇ溶解して１Ｌとする）
上記のエッチング処理が終了した後、水酸化ナトリウム溶液を用いてレジストパターンを除去し、水洗した。これにより、１７ｍｍ×１９ｍｍの長方形領域に、最大開口径が約２００μｍの微細孔がピッチ１００μｍで配列形成され、メッシュ形状の金属基体を得た。 Next, each metal substrate was etched (5 minutes) under the following conditions using the resist pattern as a mask.
(Etching conditions)
・ Temperature: 20 ℃
Etching solution (HCl) concentration: 200 g / L
(Dissolve 200 g of 35% HCl in pure water to make 1 L)
After the etching treatment was completed, the resist pattern was removed using a sodium hydroxide solution and washed with water. As a result, fine holes having a maximum opening diameter of about 200 μm were arranged in a rectangular area of 17 mm × 19 mm at a pitch of 100 μm, and a mesh-shaped metal substrate was obtained.

（金属酸化膜の形成）
次に、メッシュ形状の３枚の金属基体を、それぞれ外部電極の陽極に接続し、陽極酸化溶液（４％シュウ酸溶液）に浸漬して陰極と対向させ、下記の条件で通電することにより、表面に酸化アルミニウム薄膜を形成した。この酸化アルミニウム薄膜の厚みをエリプソメーターで測定した結果、約３０μｍであった。
（陽極酸化の条件）
・浴温 ： ２５℃
・電圧 ： ２５Ｖ（ＤＣ）
次に、各金属基体について、上記の微細孔が形成された１７ｍｍ×１９ｍｍの長方形領域を除く部位のアルミニウム基板が露出するように、酸化アルミニウム薄膜を研磨した。 (Formation of metal oxide film)
Next, the mesh-shaped three metal bases are respectively connected to the anodes of the external electrodes, immersed in an anodic oxidation solution (4% oxalic acid solution) to face the cathode, and energized under the following conditions: An aluminum oxide thin film was formed on the surface. As a result of measuring the thickness of the aluminum oxide thin film with an ellipsometer, it was about 30 μm.
(Conditions for anodization)
・ Bath temperature: 25 ℃
・ Voltage: 25V (DC)
Next, for each metal substrate, the aluminum oxide thin film was polished so that the aluminum substrate in a portion excluding the 17 mm × 19 mm rectangular region in which the fine holes were formed was exposed.

（電熱体の形成）
次に、メッシュ形状の各触媒担持体（金属基体）の一方の面について、上記の酸化アルミニウム薄膜上、および、アルミニウム基板が露出している部位に、下記組成の電熱体用ペーストをスクリーン印刷により印刷し、２００℃で硬化させて電熱体を形成した。このように形成した電熱体は、幅５０μｍの細線がピッチ３００μｍで格子状に形成されたものであり、各格子の中央には微細孔が位置し、また、格子状の電熱体の端部は、アルミニウム基板が露出している部位に接続したものであった。
（電熱体用ペーストの組成）
・カーボン粉末 … ２０重量部
・微粉末シリカ … ２５重量部
・キシレンフェノール樹脂 … ３６重量部
・ブチルカルビトール … １９重量部 (Formation of electric heater)
Next, on one surface of each mesh-shaped catalyst support (metal substrate), a paste for an electric heating element having the following composition is screen-printed on the above-described aluminum oxide thin film and on a portion where the aluminum substrate is exposed. It was printed and cured at 200 ° C. to form an electric heater. The electric heating element thus formed is a thin line having a width of 50 μm formed in a lattice shape with a pitch of 300 μm, a fine hole is located in the center of each lattice, and the end of the lattice-shaped electric heating element is The aluminum substrate was connected to the exposed part.
(Composition of paste for electric heating element)
Carbon powder: 20 parts by weight Fine powder silica: 25 parts by weight Xylene phenol resin: 36 parts by weight Butyl carbitol: 19 parts by weight

（触媒担持体の接続・保持）
上述のように電熱体を形成した２種、３枚のメッシュ形状の触媒担持体を、１対の電極を有する触媒担持体が中央となるように治具を用いて５００μｍ間隔で平行に配列した。この状態で、両端部のアルミニウム基板露出部を被覆し、かつ、中央の触媒担持体の電極を露出させるように、下記組成の導電性ペーストを付着させ、その後、２００℃、１時間の焼成処理を施して、多段接続部材を形成した。
（導電性ペーストの組成）
・銀めっき・銅粉末 … ９０重量部
・フェノール樹脂 … ６．５重量部
・ブチルカルビトール … ３．５重量部 (Connection / holding of catalyst carrier)
As described above, two or three types of mesh-shaped catalyst carriers formed with electric heaters were arranged in parallel at intervals of 500 μm using a jig so that the catalyst carrier having a pair of electrodes was in the center. . In this state, a conductive paste having the following composition is adhered so as to cover the exposed portions of the aluminum substrate at both ends and to expose the electrode of the central catalyst carrier, and then a baking treatment at 200 ° C. for 1 hour. As a result, a multistage connecting member was formed.
(Composition of conductive paste)
・ Silver plating / copper powder: 90 parts by weight ・ Phenolic resin: 6.5 parts by weight ・ Butyl carbitol: 3.5 parts by weight

（触媒の担持）
次いで、上述のように多段状態で接続・保持された３枚のメッシュ形状の触媒担持体を、下記組成の触媒前駆体溶液内に浸漬（２時間）し、引き上げ、３５０℃、６時間の乾燥処理を施して、酸化アルミニウム薄膜に触媒（Ｃｕ／ＺｎＯ）を担持させた。これにより、触媒担持体とした。
（触媒前駆体溶液の組成）
・Ｃｕ … ０．５モル／Ｌ
・Ｚｎ … ０．５モル／Ｌ (Catalyst loading)
Next, the three mesh-shaped catalyst support bodies connected and held in a multistage state as described above are immersed in a catalyst precursor solution having the following composition (2 hours), pulled up, and dried at 350 ° C. for 6 hours. The treatment was applied to support the catalyst (Cu / ZnO) on the aluminum oxide thin film. Thus, a catalyst carrier was obtained.
(Composition of catalyst precursor solution)
・ Cu: 0.5 mol / L
Zn: 0.5 mol / L

（筐体半体の作製）
厚み５００μｍのステンレス基板を２枚準備し、プレス加工により図２に示されるような構造の筐体半体を１組作製した。この筐体半体は、深さ３ｍｍ、開口形状が３３ｍｍ×３５ｍｍの長方形である凹部と、この凹部の周縁に幅５ｍｍのフランジ部を備えたものとした。上記のプレス加工により、凹部を介して対向するフランジ部には、深さ１ｍｍ、幅５ｍｍの原料導入口用の溝部と生成物排出口用の溝部をそれぞれ形成した。また、別の対向するフランジ部には、深さ１ｍｍ、幅５ｍｍの電極用開口部となる溝部を形成した。これらの溝部は、それぞれ、筐体半体をフランジ部で接合したときに同じ位置となり、原料導入口、生成物排出口、および、１対の電極用開口部が形成されるように設定した。 (Manufacture of half housing)
Two stainless steel substrates having a thickness of 500 μm were prepared, and a pair of housing halves having a structure as shown in FIG. This housing half was provided with a recess having a rectangular shape with a depth of 3 mm and an opening shape of 33 mm × 35 mm, and a flange with a width of 5 mm on the periphery of the recess. By the above pressing, a groove portion for a raw material introduction port and a groove portion for a product discharge port, each having a depth of 1 mm and a width of 5 mm, were formed on the flange portion facing each other through the recess. Moreover, the groove part used as the opening part for electrodes of 1 mm in depth and 5 mm in width was formed in another opposing flange part. These groove portions were respectively set to be in the same position when the housing halves were joined by the flange portion, so that a raw material introduction port, a product discharge port, and a pair of electrode openings were formed.

（筐体半体の接合）
上述のように作製した触媒担持体を、上記の１組の筐体半体内に、１対の電極が１対の電極用開口部から外側に突出するように収納し、その後、筐体半体のフランジ部をレーザースポット溶接により接合し、筐体を完成させた。次いで、電極と電極用開口部の間隙部をガラスペーストで封止して、本発明のマイクロリアクターを得た。 (Join the case half)
The catalyst carrier produced as described above is housed in the pair of housing halves so that a pair of electrodes protrudes outward from the pair of electrode openings, and then the housing halves. The flanges were joined by laser spot welding to complete the housing. Next, the gap between the electrode and the electrode opening was sealed with glass paste to obtain the microreactor of the present invention.

［実施例２］
（微細孔の形成）
電熱体として、厚み１μｍのニクロム（Ｎｉ−Ｃｒ合金）基板を複数枚準備し、実施例１と同様に打ち抜いて、２種、３枚の電熱体を作製した。
次いで、３枚の電熱体に、実施例１と同様にして、レジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクとして、下記の条件で各電熱体をエッチング（５分間）した。
（エッチング条件）
・温度 ： ８０℃
・エッチング液： 塩化第二鉄溶液 比重濃度４５ボーメ（°Ｂｅ）
上記のエッチング処理が終了した後、水酸化ナトリウム溶液を用いてレジストパターンを除去し、水洗した。これにより、１７ｍｍ×１９ｍｍの長方形領域に、最大開口径が約５０μｍの微細孔がピッチ３００μｍで配列形成され、メッシュ形状の電熱体を得た。 [Example 2]
(Micropore formation)
A plurality of nichrome (Ni—Cr alloy) substrates having a thickness of 1 μm were prepared as electric heaters, and punched in the same manner as in Example 1 to produce two types and three electric heaters.
Next, a resist pattern was formed on the three electric heaters in the same manner as in Example 1, and each electric heater was etched (for 5 minutes) under the following conditions using the resist pattern as a mask.
(Etching conditions)
・ Temperature: 80 ℃
Etching solution: Ferric chloride solution, specific gravity 45 Baume (° Be)
After the etching treatment was completed, the resist pattern was removed using a sodium hydroxide solution and washed with water. As a result, fine holes having a maximum opening diameter of about 50 μm were arranged in a rectangular area of 17 mm × 19 mm at a pitch of 300 μm, and a mesh-shaped electric heating element was obtained.

（金属膜の形成）
次に、メッシュ形状の３枚の電熱体を溶融アルミニウム中に浸漬し引き上げることにより、メッシュ形状の電熱体を被覆するようにアルミニウム膜を形成した。このアルミニウム薄膜の厚みをマイクロメーターで測定した結果、電熱体表面の厚みが約５０μｍ、微細孔内の厚みが約５０μｍであった。 (Formation of metal film)
Next, an aluminum film was formed so as to cover the mesh-shaped electric heating body by immersing and pulling up three mesh-shaped electric heating bodies in molten aluminum. The thickness of the aluminum thin film was measured with a micrometer.

（金属酸化膜の形成）
次に、アルミニウム膜を備えたメッシュ形状の３枚の電熱体を、それぞれ外部電極の陽極に接続し、陽極酸化溶液（４％シュウ酸溶液）に浸漬して陰極と対向させ、下記の条件で通電することにより、表面に酸化アルミニウム薄膜を形成した。この酸化アルミニウム薄膜の厚みをエリプソメーターで測定した結果、約３０μｍであった。
（陽極酸化の条件）
・浴温 ： ２５℃
・電圧 ： ２５Ｖ（ＤＣ）
次に、各電熱体について、上記の微細孔が形成された１７ｍｍ×１９ｍｍの長方形領域を除く部位のアルミニウム膜が露出するように、酸化アルミニウム薄膜を研磨した。 (Formation of metal oxide film)
Next, three mesh-shaped electric heaters provided with an aluminum film were connected to the anode of the external electrode, respectively, immersed in an anodic oxidation solution (4% oxalic acid solution) and opposed to the cathode, under the following conditions: By energizing, an aluminum oxide thin film was formed on the surface. As a result of measuring the thickness of the aluminum oxide thin film with an ellipsometer, it was about 30 μm.
(Conditions for anodization)
・ Bath temperature: 25 ℃
・ Voltage: 25V (DC)
Next, about each electric heating body, the aluminum oxide thin film was grind | polished so that the aluminum film of the site | part except the 17 mm x 19 mm rectangular area | region in which said micropore was formed was exposed.

（触媒担持体の接続・保持）
上述のように作製した２種、３枚のメッシュ形状の触媒担持体（電熱体）を、実施例１と同様にして、多段接続部材で接続、保持した。 (Connection / holding of catalyst carrier)
In the same manner as in Example 1, the two or three types of mesh-shaped catalyst carriers (electric heating bodies) produced as described above were connected and held by the multistage connecting member.

（触媒の担持）
次いで、上述のように多段状態で接続・保持された３枚のメッシュ形状の触媒担持体に、実施例１と同様にして、触媒（Ｃｕ／ＺｎＯ）を担持させた。これにより、触媒担持体とした。 (Catalyst loading)
Next, the catalyst (Cu / ZnO) was supported on the three mesh-shaped catalyst supports connected and held in a multistage state as described above in the same manner as in Example 1. Thus, a catalyst carrier was obtained.

（筐体半体の接合）
上述のように作製した触媒担持体を、実施例１と同様に作製した１組の筐体半体内に、１対の電極が１対の電極用開口部から外側に突出するように収納し、その後、筐体半体のフランジ部をレーザースポット溶接により接合し、筐体を完成させた。次いで、電極と電極用開口部の間隙部をガラスペーストで封止して、本発明のマイクロリアクターを得た。 (Join the case half)
The catalyst carrier produced as described above is housed in a pair of housing halves produced in the same manner as in Example 1 so that a pair of electrodes protrudes outward from a pair of electrode openings, Then, the flange part of the housing half was joined by laser spot welding to complete the housing. Next, the gap between the electrode and the electrode opening was sealed with glass paste to obtain the microreactor of the present invention.

本発明は、担持した触媒により所望の反応を得るための用途、例えば、炭化水素系燃料を水蒸気改質して水素を製造する用途等に利用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for an application for obtaining a desired reaction with a supported catalyst, for example, an application for producing hydrogen by steam reforming a hydrocarbon fuel.

本発明のマイクロリアクターの一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Embodiment of the microreactor of this invention. 図１に示されるマイクロリアクターの筐体半体を離間させた状態の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the state which separated the housing | casing half body of the microreactor shown by FIG. 図１に示されるマイクロリアクターのＡ−Ａ線における縦断面図である。図１に示されるマイクロリアクターのＡ−Ａ線における拡大縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view in the AA line of the microreactor shown by FIG. It is an expanded longitudinal cross-sectional view in the AA line of the microreactor shown by FIG. 図２、図３に示される３枚のメッシュ形状の触媒担持体の平面図である。FIG. 4 is a plan view of three mesh-shaped catalyst carriers shown in FIGS. 2 and 3. 図３に示される触媒担持体の断面の部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of a cross section of the catalyst carrier shown in FIG. 3. 本発明のマイクロリアクターを構成する触媒担持体の他の構造例を示す図である。It is a figure which shows the other structural example of the catalyst support body which comprises the microreactor of this invention. 本発明のマイクロリアクターを構成する触媒担持体の他の構造例を示す図である。It is a figure which shows the other structural example of the catalyst support body which comprises the microreactor of this invention. 本発明のマイクロリアクターの他の実施形態を示す側面図である。It is a side view which shows other embodiment of the microreactor of this invention. 本発明のマイクロリアクターの製造方法の一実施形態を説明するための工程図である。It is process drawing for demonstrating one Embodiment of the manufacturing method of the microreactor of this invention. 本発明のマイクロリアクターの製造方法の一実施形態を説明するための工程図である。It is process drawing for demonstrating one Embodiment of the manufacturing method of the microreactor of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１…マイクロリアクター
１１…筐体
１２Ａ，１２Ｂ…筐体半体
１３Ａ，１３Ｂ…凹部
１４（１４Ａ，１４Ｂ）…フランジ（部）
１５…原料導入口
１６…生成物排出口
１７…電極用開口部
２１（２２，２３，２４）…触媒担持体
２５…微細孔
２６…電極
２７…多段接続部材
３１…シール部材
４１…金属基体
４２，５２，６２…金属酸化膜
４３，５３，６３…電熱体
６１…金属膜
４４，５４，６４…触媒 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Microreactor 11 ... Housing | casing 12A, 12B ... Housing | casing half body 13A, 13B ... Recessed part 14 (14A, 14B) ... Flange (part)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 15 ... Raw material introduction port 16 ... Product discharge port 17 ... Electrode opening part 21 (22, 23, 24) ... Catalyst support body 25 ... Fine hole 26 ... Electrode 27 ... Multistage connection member 31 ... Seal member 41 ... Metal substrate 42 , 52, 62 ... Metal oxide film 43, 53, 63 ... Electric heating element 61 ... Metal film 44, 54, 64 ... Catalyst

Claims (20)

１対の多段接続部材により所定の間隔を設けて平行に配設された複数枚のメッシュ形状の触媒担持体を筐体内に備え、該筐体は対向する１対の面の一方に原料導入口を有し他方に生成物排出口を有し、かつ、筐体の内部から外部へ電極を突出させるための１対の電極用開口部を、前記原料導入口および生成物排出口を有していない１対の対向する面に有し、前記触媒担持体は両端に多段接続部位を有し、該多段接続部位に挟まれる部位にメッシュ形状となっていて電熱体を有する電熱体配設領域と触媒を担持する微細孔形成領域とを有し、各触媒担持体は両端に位置する前記多段接続部位において一対の前記多段接続部材に保持されるとともに、各触媒担持体の前記多段接続部位は前記多段接続部材を介して相互に接続され、複数枚の前記触媒担持体の中の１枚は両端の各多段接続部位の外側にそれぞれ１個の電極を有し、１対の該電極は各触媒担持体の前記電熱体に接続しているとともに、前記多段接続部材を貫通して、前記電極用開口部から筐体の外部へ突出しており、前記多段接続部材は前記筐体の内壁面の近傍に位置し、かつ、該内壁面に非接触状態であることを特徴とするマイクロリアクター。 A plurality of mesh-shaped catalyst carriers arranged in parallel at a predetermined interval by a pair of multistage connecting members are provided in a casing , and the casing is provided with a raw material inlet on one of a pair of opposing faces. And a product discharge port on the other side , and a pair of electrode openings for projecting the electrode from the inside of the housing to the outside, the raw material introduction port and the product discharge port The catalyst carrier has a multistage connection portion at both ends, and has a mesh shape at a portion sandwiched between the multistage connection portions, and an electric heater arrangement region having an electric heater. Each catalyst carrier is supported by a pair of the multistage connection members at the multistage connection sites located at both ends, and the multistage connection sites of each catalyst carrier are Connected to each other via a multistage connecting member, a plurality of the contacts One of the supports has one electrode outside each multistage connection portion at both ends, and a pair of the electrodes are connected to the electric heating body of each catalyst support, and the multistage connection through the member, the projects from the electrode opening to the outside of the housing, said multi-stage connection member is located in the vicinity of the inner wall surface of the housing, and Ru noncontact der the inner wall surface A microreactor characterized by that. 前記筐体は、１組の筐体半体を接合したものであることを特徴とする請求項１に記載のマイクロリアクター。   The microreactor according to claim 1, wherein the casing is formed by joining a pair of casing halves. 前記電極と前記電極用開口部の間隙部はシール部材により封止されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のマイクロリアクター。 The microreactor according to claim 1 or 2 , wherein a gap between the electrode and the electrode opening is sealed with a seal member. 前記触媒担持体は、メッシュ形状の金属基体と、該金属基体を被覆する金属酸化膜と、該金属酸化膜の一部に配設された電熱体と、前記金属酸化膜に担持された触媒とを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のマイクロリアクター。 The catalyst carrier includes a mesh-shaped metal substrate, a metal oxide film covering the metal substrate, an electric heating body disposed on a part of the metal oxide film, and a catalyst supported on the metal oxide film, The microreactor according to any one of claims 1 to 3 , further comprising: 前記金属酸化膜は、前記金属基体の陽極酸化により形成されたものであることを特徴とする請求項４に記載のマイクロリアクター。 5. The microreactor according to claim 4 , wherein the metal oxide film is formed by anodic oxidation of the metal substrate. 前記金属酸化膜は、ウォッシュコート処理により形成されたものであることを特徴とする請求項４に記載のマイクロリアクター。 The microreactor according to claim 4 , wherein the metal oxide film is formed by a wash coat process. 前記金属酸化膜は、前記金属基体に金属酸化物を溶射することにより形成されたものであることを特徴とする請求項４に記載のマイクロリアクター。 The microreactor according to claim 4 , wherein the metal oxide film is formed by spraying a metal oxide on the metal substrate. 前記触媒担持体は、メッシュ形状の電熱体と、該電熱体を被覆する金属酸化膜と、該金属酸化膜に担持された触媒とを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のマイクロリアクター。 The catalyst support, the electric heater mesh shape, and a metal oxide film covering the electric heat bodies, any of claims 1 to 3, characterized in that it comprises a catalyst supported on the metal oxide film A microreactor according to claim 1. 前記金属酸化膜は、ウォッシュコート処理により形成されたものであることを特徴とする請求項８に記載のマイクロリアクター。 9. The microreactor according to claim 8 , wherein the metal oxide film is formed by a wash coat process. 前記触媒担持体は、メッシュ形状の電熱体と、該電熱体を被覆する金属膜と、該金属膜を被覆する金属酸化膜と、該金属酸化膜に担持された触媒とを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のマイクロリアクター。 The catalyst carrier includes a mesh-shaped electric heating element, a metal film covering the electric heating element, a metal oxide film covering the metal film, and a catalyst supported on the metal oxide film. The microreactor according to any one of claims 1 to 3 . 前記金属酸化膜は、前記金属膜の陽極酸化により形成されたものであることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロリアクター。 The microreactor according to claim 10 , wherein the metal oxide film is formed by anodic oxidation of the metal film. 前記金属酸化膜は、ウォッシュコート処理により形成されたものであることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロリアクター。 The microreactor according to claim 10 , wherein the metal oxide film is formed by a wash coat process. 両端に多段接続部位を有し、該多段接続部位に挟まれる部位にメッシュ形状となっていて電熱体を有する電熱体配設領域と触媒を担持する微細孔形成領域とを有する少なくとも１枚の触媒担持体と、両端に多段接続部位を有し、該多段接続部位に挟まれる部位にメッシュ形状となっていて電熱体を有する電熱体配設領域と触媒を担持する微細孔形成領域とを有し、両端の各多段接続部位の外側にそれぞれ１個の電極を突設して１対の電極とした１枚の触媒担持体と、からなる複数枚のメッシュ形状の触媒担持体を、両端に位置する前記多段接続部位において一対の多段接続部材で保持することにより、所定の間隔を設けて平行に配設された状態とするとともに、各触媒担持体の前記多段接続部位は前記多段接続部材を介して相互に接続され、１対の前記電極は各触媒担持体の前記電熱体に接続されるとともに、前記多段接続部材を貫通して突出した状態に形成する工程と、
接合後の筐体において、対向する１対の面の一方に原料導入口が位置し他方に生成物排出口が位置し、かつ、内部から外部へ電極を突出させるための１対の電極用開口部が前記原料導入口および生成物排出口を有していない１対の対向する面に位置するように、１組の筐体半体を作製する工程と、
１組の前記筐体半体内に、前記多段接続部材が前記筐体の内壁面の近傍に位置するとともに該内壁面と非接触状態となるように前記触媒担持体を収納し、かつ、前記電熱体に接続された１対の前記電極を１対の前記電極用開口部から外部に突出させるように、前記筐体半体を接合して筐体とする工程と、を有することを特徴とするマイクロリアクターの製造方法。 At least one catalyst having multi-stage connection parts at both ends, and having an electric heating element disposition area having an electric heating element and a fine hole forming area for supporting the catalyst at a part sandwiched between the multi-stage connection parts The support body has a multistage connection portion at both ends, and has a mesh-shaped electric heating body arrangement region having an electric heating body at a portion sandwiched between the multistage connection portions, and a fine hole formation region for supporting the catalyst. A plurality of mesh-shaped catalyst carriers comprising one electrode projecting from each of the multi-stage connection portions at both ends to form a pair of electrodes, and positioned at both ends By holding the multi-stage connection portion with a pair of multi-stage connection members, the multi-stage connection portion of each catalyst carrier is interposed via the multi-stage connection member. Connected to each other, The electrode pair and steps is connected to the electric heater of the catalyst support is formed in a state protruding through said multi-stage connection member,
In the case after joining, a pair of electrode openings for projecting the electrode from the inside to the outside, with the raw material introduction port located on one of the opposing pair of surfaces and the product discharge port on the other Producing a pair of housing halves such that the part is located on a pair of opposing faces that do not have the raw material inlet and product outlet;
A set of said housing halves, and accommodating the catalyst carrier so as to be non-contact state and the inner wall surface with said multi-stage connection member is positioned in the vicinity of the inner wall surface of the housing, and the electrical heating the electrode pair connected to the body from the electrode opening of the pair so as to protrude to the outside, characterized in that it and a step of a housing by joining the housing halves Manufacturing method of microreactor. 前記筐体半体を、凹部と、該凹部の周縁に配設されたフランジ部と、を有する形状に形成することを特徴とする請求項１３に記載のマイクロリアクターの製造方法。 14. The method of manufacturing a microreactor according to claim 13 , wherein the half of the casing is formed into a shape having a recess and a flange portion disposed on the periphery of the recess. 少なくとも一方の前記筐体半体の前記フランジ部に、原料導入口、生成物排出口、および、１対の前記電極を筐体の内部から外部へ突出させるための１対の電極用開口部となる溝部を設けることを特徴とする請求項１４に記載のマイクロリアクターの製造方法。 A raw material introduction port, a product discharge port, and a pair of electrode openings for projecting the pair of electrodes from the inside to the outside of the flange portion of at least one of the housing halves; method for manufacturing a microreactor according to claim 14, wherein providing a Do that groove portion. 一方の前記筐体半体の前記凹部に原料導入口を形成し、他方の前記筐体半体の前記凹部に生成物排出口を形成し、また、少なくとも一方の前記筐体半体の前記フランジ部に１対の前記電極を筐体の内部から外部へ突出させるための１対の電極用開口部となる溝部を設けることを特徴とする請求項１４に記載のマイクロリアクターの製造方法。 A raw material introduction port is formed in the recess of one of the housing halves, a product discharge port is formed in the recess of the other housing half, and the flange of at least one of the housing halves method for manufacturing a microreactor according to claim 14, wherein providing a Do that groove portions and the electrode opening of the pair for projecting the electrode pair in part from the inside to the outside of the housing. 触媒担持体を形成する工程において、電熱体を有するメッシュ形状の触媒担持体に触媒を担持させた後、複数の該触媒担持体を所定の間隔を設けて一体化することを特徴とする請求項１３乃至請求項１６のいずれかに記載のマイクロリアクターの製造方法。 Claim in the step of forming the catalyst support, after supporting the catalyst on the catalyst carrier of the mesh shape having a heating body, characterized by integrating the plurality of said catalyst carrier with a predetermined gap The method for producing a microreactor according to any one of claims 13 to 16 . 触媒担持体を形成する工程において、電熱体を有するメッシュ形状の複数の触媒担持体を所定の間隔を設けて一体化した後、各触媒担持体に触媒を担持させることを特徴とする請求項１３乃至請求項１６のいずれかに記載のマイクロリアクターの製造方法。 In the step of forming the catalyst support, after a plurality of catalyst carrier of a mesh shape having a electric heater integrated with a predetermined interval, claims, characterized in that a catalyst is supported on the catalyst carrier 13 The method for producing a microreactor according to any one of claims 1 to 16 . 前記筐体半体を接合して筐体とする工程において、レーザー溶接を用いて筐体半体の接合を行なうことを特徴とする請求項１３乃至請求項１８のいずれかに記載のマイクロリアクターの製造方法。 The microreactor according to any one of claims 13 to 18 , wherein in the step of joining the housing halves to form the housing, the housing halves are joined using laser welding. Production method. 前記筐体半体を接合して筐体とする工程において、１対の前記電極が筐体から外部へ突出した部位の間隙をシール部材で封止することを特徴とする請求項１３乃至請求項１９のいずれかに記載のマイクロリアクターの製造方法。 In the step of said housing halves a bonded casing, a pair claim 13 through claim wherein the electrode is characterized in that sealing the gap portions projecting to the outside from the housing with a sealing member The method for producing a microreactor according to any one of 19 .
JP2005334143A 2005-11-18 2005-11-18 Microreactor and manufacturing method thereof Expired - Fee Related JP5038619B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005334143A JP5038619B2 (en) 2005-11-18 2005-11-18 Microreactor and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005334143A JP5038619B2 (en) 2005-11-18 2005-11-18 Microreactor and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007136345A JP2007136345A (en) 2007-06-07
JP5038619B2 true JP5038619B2 (en) 2012-10-03

Family

ID=38199836

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005334143A Expired - Fee Related JP5038619B2 (en) 2005-11-18 2005-11-18 Microreactor and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5038619B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2206550B1 (en) 2007-10-12 2016-11-30 Nippon Soda Co., Ltd. Microreactor and liquid phase chemical reaction method using the microreactor
JP4928491B2 (en) * 2008-03-27 2012-05-09 大日本印刷株式会社 Manufacturing method of microreactor

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000325451A (en) * 1999-05-17 2000-11-28 Tokyo Metallikon Kk Deodorizer and its manufacture
JP2005028267A (en) * 2003-07-10 2005-02-03 Bussan Nanotech Research Institute Inc Device, reactor, separation apparatus, member for substrate and method for manufacturing the device
JP4559790B2 (en) * 2003-09-05 2010-10-13 大日本印刷株式会社 Microreactor for hydrogen production and method for producing the same
JP4366483B2 (en) * 2004-02-26 2009-11-18 カシオ計算機株式会社 Reactor

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007136345A (en) 2007-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7857874B2 (en) Micro-reactor and method of manufacturing the same
US8123825B2 (en) Microreactor and production method thereof
KR20080096641A (en) Process for manufacturing a microreactor and its use as a reformer
KR100649374B1 (en) Method for producing microcomponents
JP4504751B2 (en) Microreactor for hydrogen production
JP5038619B2 (en) Microreactor and manufacturing method thereof
JP4848677B2 (en) Hydrogen production apparatus and production method thereof
TWI357675B (en)
JP4414780B2 (en) Microreactor for hydrogen production and method for producing the same
JP4867357B2 (en) Microreactor for hydrogen production
JP2007296495A (en) Microreactor and manufacturing method thereof
JP4559790B2 (en) Microreactor for hydrogen production and method for producing the same
JP4486429B2 (en) Microreactor for hydrogen production and method for producing the same
JP2004331434A (en) Microreacter for hydrogen production and its manufacturing method
JP4877211B2 (en) Microreactor and manufacturing method thereof
JP4537685B2 (en) Membrane reactor for hydrogen production
KR100828489B1 (en) Micro?reactor and method of manufacturing the same
JP2007270213A (en) Method for forming microflow passage
JP2008114162A (en) Micro-reactor and its manufacturing method
JP2007008731A (en) Hydrogen producing apparatus and method for producing the same
JP2009082803A (en) Microreactor and its manufacturing method
JP2010069373A (en) Microreactor
JP2008100163A (en) Micro-reactor and its manufacturing method
JP2009160480A (en) Manufacturing method of microreactor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080725

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100427

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110920

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111115

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120612

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120706

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees