JP5035123B2 - Hydrostatic slide device - Google Patents

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Description

本発明は、振動研削に適用して好適な油静圧スライド装置に関するものである。   The present invention relates to a hydrostatic slide device suitable for application to vibration grinding.

静圧軸受装置によって支持された砥石軸を備える立形研削盤が特許文献１に記載されている。この研削盤の静圧軸受装置は、油圧を利用した静圧軸受により円筒状の砥石軸を上下に摺動可能に支持している。   Patent Document 1 discloses a vertical grinding machine including a grindstone shaft supported by a hydrostatic bearing device. This hydrostatic bearing device of a grinding machine supports a cylindrical grindstone shaft slidably up and down by a hydrostatic bearing using hydraulic pressure.

特許文献２には静圧軸受を利用した超仕上げ装置が記載されている。この装置では、砥石が装着されたスライド軸（振動体）が、空気圧を利用した静圧軸受によって往復摺動可能に支持されている。また、スライド軸は正方形の横断面形状を有している。   Patent Document 2 describes a superfinishing apparatus using a hydrostatic bearing. In this apparatus, a slide shaft (vibrating body) on which a grindstone is mounted is supported by a hydrostatic bearing using air pressure so as to be reciprocally slidable. The slide shaft has a square cross-sectional shape.

特開昭６３−１６９５１号公報JP-A 63-16951 特開２００４−２０９６３１号公報JP 2004-209631 A

特許文献１に記載された研削盤は、その砥石軸の横断面形状が円形であるので、圧力油のシールが比較的容易であるという特徴を有する反面、砥石軸の回転が許容されない用途、例えば歯車の歯の総形研削に利用する場合には、砥石軸の回転を阻止する手段の追加が必要となり、従来のそのような手段は摺動摩擦の増大あるいは軸の回転剛性の低下を招くことがあった。   The grinding machine described in Patent Document 1 has a feature that the cross-sectional shape of the grindstone shaft is circular, so that it is relatively easy to seal with pressure oil, while the grindstone shaft is not allowed to rotate, for example, When used for grinding the teeth of a gear, it is necessary to add a means for preventing the rotation of the grinding wheel shaft, and such conventional means may increase sliding friction or decrease the rotational rigidity of the shaft. there were.

特許文献２に記載された超仕上げ装置では、砥石が連結されて往復移動するスライド軸の横断面形状が正方形であるのでスライド軸の回転は阻止される。但し、静圧軸受が空気圧を利用するタイプであるため、許容される研削抵抗は比較的小さく、またスライド軸の回転剛性も比較的小さかった。   In the superfinishing apparatus described in Patent Document 2, since the cross-sectional shape of the slide shaft that reciprocates with the grindstone connected is square, rotation of the slide shaft is prevented. However, since the hydrostatic bearing is a type using air pressure, the allowable grinding resistance is relatively small, and the rotational rigidity of the slide shaft is also relatively small.

本発明は、上述した事情に鑑みなされたもので、回転が阻止され且つ高い回転剛性を有するスライド軸を備える油静圧スライド装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to provide an hydrostatic slide device including a slide shaft that is prevented from rotating and has high rotational rigidity.

本発明の第１の態様では、油静圧スライド装置が、往復駆動源（３）と、往復駆動源（３）によって往復駆動される、多角形横断面を有するスライド軸（４）と、油圧によってスライド軸（４）を摺動可能に支持する油静圧軸受（５）と、を具備し、油静圧軸受（５）はスライド軸（４）が嵌挿される軸受穴（５４）を備え、油静圧軸受（５）の軸受穴（５４）の複数の内側面（５５）の各々が、スライド軸（４）の縦軸線（ＡZ）に対して垂直な方向に並べられて形成された少なくとも二つの静圧ポケット（９１）を備えており、静圧ポケット（９１）の各々に油圧を供給するためのオリフィス（９２）が設けられている。 In the first aspect of the present invention, the hydrostatic slide device includes a reciprocating drive source (3), a slide shaft (4) having a polygonal cross section that is reciprocally driven by the reciprocating drive source (3), and hydraulic pressure. And a hydrostatic bearing (5) that slidably supports the slide shaft (4). The hydrostatic bearing (5) includes a bearing hole (54) into which the slide shaft (4) is inserted. Each of the plurality of inner side surfaces (55) of the bearing hole (54) of the hydrostatic bearing (5) is arranged in a direction perpendicular to the longitudinal axis (A Z ) of the slide shaft (4). Further, at least two static pressure pockets (91) are provided, and an orifice (92) for supplying hydraulic pressure to each of the static pressure pockets (91) is provided.

このように、スライド軸（４）は多角形の横断面形状を有するので、回転が阻止されるのは勿論、軸受穴の各内側面（５５）に少なくとも二つの静圧ポケット（９１）が前述の方向に並べられて形成されていることにより、外力としてスライド軸（４）に作用する回転力に対抗する反対向きの回転力が油圧により常に発生するのでスライド軸（４）は回転に対しても中立位置を維持するような挙動をとり、その結果高い回転剛性を有する油静圧スライド装置が実現可能になる。   As described above, since the slide shaft (4) has a polygonal cross-sectional shape, the rotation is prevented, and at least two static pressure pockets (91) are provided on each inner surface (55) of the bearing hole. Since the rotational force in the opposite direction against the rotational force acting on the slide shaft (4) as an external force is always generated by the hydraulic pressure, the slide shaft (4) is resistant to rotation. In addition, the hydrostatic slide device having the behavior of maintaining the neutral position and having high rotational rigidity can be realized.

本発明の第２の態様では、油静圧スライド装置は、スライド軸（４）と油静圧軸受（５）との間からの作動油の流出を防ぐシール部材（７）をさらに具備し、シール部材（７）は、スライド軸（４）が嵌挿する中心穴を形成し且つスライド軸（４）に固定される内周端部（７２）と、油静圧軸受（５）に固定される外周端部（７１）と、内周端部（７２）と外周端部（７１）との間に延在するベローズ部（７３）とを具備し、ベローズ部（７３）が縦軸線（ＡZ）の方向に弾性変形自在に形成されている。これにより、スライド軸（４）が多角形であっても、長寿命で比較的安価なシール構造が実現される。 In the second aspect of the present invention, the hydrostatic slide device further comprises a seal member (7) for preventing hydraulic oil from flowing out between the slide shaft (4) and the hydrostatic bearing (5), The seal member (7) forms a central hole into which the slide shaft (4) is inserted and is fixed to the inner peripheral end (72) fixed to the slide shaft (4) and the hydrostatic bearing (5). An outer peripheral end (71) and a bellows (73) extending between the inner peripheral end (72) and the outer peripheral end (71), and the bellows (73) is a vertical axis (A Z ) is formed so as to be elastically deformable. Thereby, even if the slide shaft (4) is polygonal, a long-life and relatively inexpensive seal structure is realized.

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施の形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。   In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.

次に、本発明の実施形態による油静圧スライド装置について図面を参照して説明する。図１は、前記油静圧スライド装置１の外観斜視図であり、図２は縦断面図、図３は横断面図である。   Next, a hydrostatic slide device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is an external perspective view of the hydrostatic slide device 1, FIG. 2 is a longitudinal sectional view, and FIG. 3 is a transverse sectional view.

図１に示される実施形態の油静圧スライド装置１は、内歯車を有する円板状のワークＷの前記内歯車部分を総形研削するための研削盤（図示せず）に用いられるものであり、研削盤のフレーム（図示せず）に固定されている。砥石２はワークＷの内歯車を反転した形状の歯車状の総形砥石２であり先端側が先細になるようにテーパが付けられている。また、ワークＷは研削盤の図示されないクランプ装置によって上下及び回転方向とも強固に固定されている。   The hydrostatic slide device 1 of the embodiment shown in FIG. 1 is used in a grinding machine (not shown) for grinding the internal gear portion of a disk-shaped workpiece W having an internal gear. Yes, it is fixed to the frame (not shown) of the grinding machine. The grindstone 2 is a gear-shaped complete grindstone 2 having a shape obtained by reversing the internal gear of the workpiece W, and is tapered so that the tip side is tapered. The workpiece W is firmly fixed in the vertical and rotational directions by a clamping device (not shown) of the grinding machine.

本実施形態の油静圧スライド装置１は、往復駆動源としての油圧サーボシリンダ３と、前記油圧サーボシリンダ３によって上下に往復駆動されるスライド軸４と、前記スライド軸４を油圧によって摺動可能に支持する油静圧軸受５とを具備している。スライド軸４は正方形断面を有する四角柱状の軸であり、その上端部に砥石２を固定するための円柱状の砥石固定軸６が螺合等により結合されている。油静圧軸受５は、略円柱状の外形を有しており、その下端部にフランジ部を有している。また、油静圧軸受５は、図１には示されないが作動油入口及び作動油出口をフランジ部に有しており、それら作動油入口及び作動油出口には図示されないが油ポンプ、弁、タンク等の機器が管路により接続されて油静圧軸受５内部の後述する給油路等と共に油静圧軸受用の油圧回路９を構成している。また油静圧軸受５の上部を封止して作動油の流出を防ぐために、油静圧軸受５の上端部にゴム製のベローズ型のシール部材７が備えられている。   The hydrostatic slide device 1 according to this embodiment includes a hydraulic servo cylinder 3 as a reciprocating drive source, a slide shaft 4 reciprocated up and down by the hydraulic servo cylinder 3, and the slide shaft 4 can be slid by hydraulic pressure. The hydrostatic bearing 5 is supported. The slide shaft 4 is a quadrangular columnar shaft having a square cross section, and a cylindrical grindstone fixing shaft 6 for fixing the grindstone 2 is coupled to the upper end portion thereof by screwing or the like. The hydrostatic bearing 5 has a substantially cylindrical outer shape, and has a flange portion at the lower end thereof. Although not shown in FIG. 1, the hydrostatic bearing 5 has a hydraulic oil inlet and a hydraulic oil outlet in the flange portion. Although not shown in the hydraulic oil inlet and the hydraulic oil outlet, an oil pump, a valve, A device such as a tank is connected by a pipe line to form a hydraulic circuit 9 for the hydrostatic bearing together with a later-described oil supply passage in the hydrostatic bearing 5. In order to seal the upper part of the hydrostatic bearing 5 and prevent the hydraulic oil from flowing out, a rubber bellows-type seal member 7 is provided at the upper end of the hydrostatic bearing 5.

次に、図２及び図３も参照して油静圧スライド装置１についてより詳しく説明する。図２は、本装置の縦断面を示すものであるが、図３に示される切断線ＭＮＯＰに相当する切断線による縦断面図である。図３は、油静圧軸受５の高さ方向のほぼ中央における平面断面図である。   Next, the hydrostatic slide device 1 will be described in more detail with reference to FIGS. FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the present apparatus, but is a longitudinal sectional view taken along a cutting line corresponding to the cutting line MNOP shown in FIG. FIG. 3 is a plan cross-sectional view at the approximate center in the height direction of the hydrostatic bearing 5.

本実施形態における油圧サーボシリンダ３は、比較的高速短振幅の往復運動が可能なものであって、シリンダ本体３１から上方へ突出するシリンダロッド３２がスライド軸４の下端から下方へ延びるねじ部４１に螺合により結合するので、スライド軸４を比較的高速短振幅で往復駆動することができる。また油圧サーボシリンダ３はシリンダ本体３１のフランジ状の部分で油静圧軸受５の下端面に図示しないボルト等の締結手段によって結合されている。   The hydraulic servo cylinder 3 in the present embodiment is capable of reciprocating motion at relatively high speed and short amplitude, and a cylinder rod 32 protruding upward from the cylinder body 31 extends downward from the lower end of the slide shaft 4. The slide shaft 4 can be driven to reciprocate at a relatively high speed and short amplitude. The hydraulic servo cylinder 3 is connected to the lower end surface of the hydrostatic bearing 5 by a fastening means such as a bolt (not shown) at a flange-like portion of the cylinder body 31.

油静圧軸受５は、スライド軸４を支持すると共にフランジ部を有する支持体５１と、支持体５１の上部に連結されるシール外周端支持部材５２と、このシール外周端支持部材５２と協働してベローズ型のシール部材７の外周端部７１を挟持するシール外周端固定部材５３とを具備している。支持体５１は研削盤のフレーム８に設けられた取付穴に嵌装され、フランジ部が図示されないボルト等によって研削盤のフレーム８に固定される。   The hydrostatic bearing 5 supports the slide shaft 4 and has a support 51 having a flange portion, a seal outer peripheral end support member 52 connected to the upper portion of the support 51, and the seal outer peripheral end support member 52 in cooperation with each other. And a seal outer peripheral end fixing member 53 that sandwiches the outer peripheral end 71 of the bellows-type seal member 7. The support 51 is fitted in a mounting hole provided in the frame 8 of the grinding machine, and the flange portion is fixed to the frame 8 of the grinding machine with a bolt or the like (not shown).

油静圧軸受５の支持体５１は、その中心にスライド軸４を摺動可能に支持するための軸受穴５４を有している。軸受穴５４は、スライド軸４の正方形断面よりわずかに大きい正方形断面を有しており、スライド軸４との間には静圧軸受として機能するのに適した間隙Ｃが設けられている。また、軸受穴５４の４つの内側面５５にはそれぞれ２個ずつ、凹部である静圧ポケット９１が設けられている。前記各内側面５５に設けられた２個の静圧ポケット９１は、軸受穴５４の横断面の正方形の各辺に沿う方向に並んで配置されており、本実施形態では図３に示されるように正方形の二本の中心線Ａｘ、Ａｙに関してそれぞれ軸対称に配置されている。各静圧ポケット９１は細長い矩形状の横断面形状を有しており、その静圧ポケット９１の底面の中心に油圧を供給するためのオリフィス９２が設けられている。各オリフィス９２はそれより外周側の拡大した水平給油路９３に通じており、各水平給油路９３は支持体５１の外周面に形成された一つの共通の環状給油路９４に接続されている。作動油入口９５から水平に延びた後垂直に立ち上がる１本の入口給油路９６が図３の右下に位置する一つの水平給油路９３と環状給油路９４に接続されている。   The support body 51 of the hydrostatic bearing 5 has a bearing hole 54 for slidably supporting the slide shaft 4 at the center thereof. The bearing hole 54 has a square section slightly larger than the square section of the slide shaft 4, and a gap C suitable for functioning as a hydrostatic bearing is provided between the bearing hole 54 and the slide shaft 4. Further, two each of the four inner side surfaces 55 of the bearing hole 54 are provided with static pressure pockets 91 that are concave portions. The two static pressure pockets 91 provided on each inner side surface 55 are arranged side by side in a direction along each side of the square of the cross section of the bearing hole 54, and in this embodiment, as shown in FIG. Are arranged symmetrically with respect to the two center lines Ax and Ay. Each static pressure pocket 91 has an elongated rectangular cross-sectional shape, and an orifice 92 for supplying hydraulic pressure is provided at the center of the bottom surface of the static pressure pocket 91. Each orifice 92 communicates with an enlarged horizontal oil supply passage 93 on the outer peripheral side thereof, and each horizontal oil supply passage 93 is connected to one common annular oil supply passage 94 formed on the outer peripheral surface of the support 51. One inlet oil supply passage 96 that extends horizontally from the hydraulic oil inlet 95 and rises vertically is connected to one horizontal oil supply passage 93 and an annular oil supply passage 94 located in the lower right of FIG.

油静圧軸受５の支持体５１の軸受穴５４には、さらに、静圧ポケット９１の上方及び下方をそれぞれ環状に延びる上部作動油回収溝９７ｕ及び下部作動油回収溝９７ｄが形成されている。上部及び下部作動油回収溝９７ｕ、９７ｄには、作動油出口９８から水平に延びた後上方に立ち上がっている一本の主回収路９９が接続されている。その他に、上部作動油回収溝９７ｕから支持体上端部空間５６に通じる給油路及びスライド軸の下端側の軸受穴５４から主回収路９９に通じる給油路も設けられている。   The bearing hole 54 of the support 51 of the hydrostatic bearing 5 is further formed with an upper hydraulic oil recovery groove 97u and a lower hydraulic oil recovery groove 97d that extend annularly above and below the static pressure pocket 91, respectively. A single main recovery path 99 that extends horizontally from the hydraulic oil outlet 98 and rises upward is connected to the upper and lower hydraulic oil recovery grooves 97u and 97d. In addition, an oil supply path that leads from the upper hydraulic oil recovery groove 97u to the support upper end space 56 and an oil supply path that leads from the bearing hole 54 on the lower end side of the slide shaft to the main recovery path 99 are also provided.

ゴム製のベローズ型のシール部材７は、円形の外周端部７１と、スライド軸４の正方形断面に対応した正方形の中心穴を形成する内周端部７２と、外周端部７１と内周端部７２との間に延在し波形の断面を有するベローズ部７３とを有しており、このベローズ部７３はスライド軸４の縦軸線Ａｚの方向に弾性変形可能に形成されている。ベローズ型のシール部材７は、その外周端部７１が油静圧軸受５のシール外周端支持部材５２とシール外周端固定部材５３によって挟持されて油静圧軸受５側に固定され、内周端部７２は、スライド軸４を正方形の前記中心穴に通した状態で、スライド軸４に挿入されたシール内周端固定部材５７及び図示しない固定ねじによってスライド軸４に固定される。また、ベローズ型のシール部材７のベローズ部７３はスライド軸４の上下の変位に追随可能な弾性変形量を有するように形成されている。ベローズ型のシール部材７は、このように構成および配置されているので、スライド軸４の往復移動に追随する一方で、油静圧軸受５のシール外周端支持部材５２の内周面とスライド軸４の外周面との間の支持体上端部空間５６をシールしてそこからの作動油の流出を防ぐ。   The rubber bellows-type seal member 7 includes a circular outer peripheral end 71, an inner peripheral end 72 that forms a square center hole corresponding to a square cross section of the slide shaft 4, an outer peripheral end 71, and an inner peripheral end A bellows part 73 extending between the part 72 and having a corrugated cross section is formed. The bellows part 73 is formed to be elastically deformable in the direction of the longitudinal axis Az of the slide shaft 4. The bellows-type seal member 7 has an outer peripheral end portion 71 sandwiched between a seal outer peripheral end support member 52 and a seal outer peripheral end fixing member 53 of the hydrostatic pressure bearing 5 and fixed to the hydrostatic pressure bearing 5 side. The portion 72 is fixed to the slide shaft 4 by a seal inner peripheral end fixing member 57 inserted into the slide shaft 4 and a fixing screw (not shown) with the slide shaft 4 passed through the square center hole. The bellows portion 73 of the bellows-type seal member 7 is formed to have an elastic deformation amount that can follow the vertical displacement of the slide shaft 4. Since the bellows-type seal member 7 is configured and arranged in this way, it follows the reciprocating movement of the slide shaft 4, while the inner peripheral surface of the seal outer peripheral end support member 52 of the hydrostatic bearing 5 and the slide shaft. Thus, the support upper end space 56 between the outer peripheral surface 4 and the outer peripheral surface 4 is sealed to prevent the hydraulic oil from flowing out therefrom.

前述した、油静圧軸受５の支持体５１と、研削盤のフレーム８との間、及び油圧サーボシリンダ３のシリンダ本体３１との間、及びシール外周端支持部材５２との間にはそれぞれＯリング１１、１２、１３が介装されて作動油の漏出が防がれている。   Between the support body 51 of the hydrostatic bearing 5 and the frame 8 of the grinding machine, the cylinder body 31 of the hydraulic servo cylinder 3, and the seal outer peripheral end support member 52 described above, O respectively. Rings 11, 12, and 13 are interposed to prevent leakage of hydraulic oil.

次に、前記静圧ポケット９１の作用について、図３と同様の横断面図であって、スライド軸４に、縦軸線Ａｚまわりの回転力が作用した状態を示す図４も参照して説明する。まず、スライド軸４に回転力が作用しない場合は、図３で表されるように、スライド軸４の各外側面と軸受穴５４の各内側面５５との間の各間隙Ｃは、それらの間隙Ｃを満たす作動油の等しい圧力のために均等に維持され、その結果スライド軸４は回転することなくまた軸受穴５４と同芯の配置を維持する。   Next, the operation of the static pressure pocket 91 will be described with reference to FIG. 4, which is a cross-sectional view similar to FIG. 3 and shows a state in which a rotational force around the vertical axis Az is applied to the slide shaft 4. . First, when the rotational force does not act on the slide shaft 4, as shown in FIG. 3, the gaps C between the outer surfaces of the slide shaft 4 and the inner surfaces 55 of the bearing holes 54 are those It is maintained evenly because of the equal pressure of the hydraulic fluid filling the gap C, so that the slide shaft 4 does not rotate and maintains the concentric arrangement with the bearing hole 54.

これに対して、スライド軸４に対して、例えば図４に示されるように左回りの回転力ＭLが外力として作用した場合、スライド軸４の横断面の正方形の例えば上辺が左下がりに傾斜して左端側の間隙ＣLが拡大し右端側の間隙ＣRが縮小する。その結果、例えば前記正方形の上辺の右側及び左側に配置された静圧ポケットをそれぞれ９１ａ及び９１ｂと付番すると、上辺の右側の静圧ポケット９１ａにおける作動油の静圧Ｐａは増大する一方で、上辺の左側の静圧ポケット９１ｂにおける作動油の静圧Ｐｂは減少する。前記正方形の下辺、左辺、及び右辺の静圧ポケット９１ａ及び９１ｂについても上辺と同様であるので右回りの回転力ＭRがスライド軸に作用し、この右回りの油圧による回転力ＭRが外力の回転力ＭLによる左回りの回転変位をもとの中立位置に戻すように作用する。このように、軸受穴５４の４つの内側面５５にそれぞれ２個ずつ配置された静圧ポケット９１により、スライド軸４に外力として作用した回転力に対して逆向きの回転力が常に発生するので、スライド軸４は常に中立位置を維持するような挙動を示す。 In contrast, with respect to the slide shaft 4, for example, when the rotational force M L counterclockwise as shown in FIG. 4 is applied as an external force, the inclination example the upper side of the square cross section of the slide shaft 4 to the left edge expanding a gap C L of the left end side to reduce the gap C R of the right end side to. As a result, for example, when the static pressure pockets arranged on the right side and the left side of the upper side of the square are numbered 91a and 91b, respectively, the static pressure Pa of the hydraulic oil in the static pressure pocket 91a on the right side of the upper side increases, The static pressure Pb of the hydraulic oil in the left static pressure pocket 91b on the upper side decreases. Lower side of the square, the left side, and so on also hydrostatic pockets 91a and 91b of the right side is the same as the upper side of the clockwise rotational force M R acts on the slide shaft, the rotational force M R according to the clockwise hydraulic pressure force It exerts a counterclockwise rotational displacement by the rotational force M L of back to the original neutral position. As described above, since the two static pressure pockets 91 arranged on each of the four inner side surfaces 55 of the bearing hole 54, a rotational force that is opposite to the rotational force acting on the slide shaft 4 as an external force is always generated. The slide shaft 4 always behaves so as to maintain the neutral position.

（その他の実施形態）
前述の実施形態では、軸受穴５４の各内側面５５に２個の静圧ポケット９１が設けられていたが、静圧ポケット９１の数を増やすことも可能である。例えば、図３に示された静圧ポケット９１の幅の半分以下の幅を有する小さな静圧ポケットを軸受穴５４の各内側面５５に４個配置してもよい。 (Other embodiments)
In the above-described embodiment, the two static pressure pockets 91 are provided on each inner surface 55 of the bearing hole 54. However, the number of the static pressure pockets 91 can be increased. For example, four small static pressure pockets having a width less than half the width of the static pressure pocket 91 shown in FIG. 3 may be arranged on each inner side surface 55 of the bearing hole 54.

また、スライド軸４の横断面形状は、正方形に限定されるものではなく、例えば正三角形、長方形、正五角形、又は正六角形等の多角形でもよい。   Further, the cross-sectional shape of the slide shaft 4 is not limited to a square, and may be a polygon such as a regular triangle, a rectangle, a regular pentagon, or a regular hexagon.

本発明の実施形態による油静圧スライド装置の外観斜視図である。1 is an external perspective view of a hydrostatic slide device according to an embodiment of the present invention. 前記油静圧スライド装置の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the said hydrostatic slide apparatus. 前記油静圧スライド装置の横断面図である。It is a cross-sectional view of the hydrostatic slide device. 前記油静圧スライド装置のスライド軸に作用する回転力を説明する油静圧スライド装置の横断面図である。It is a cross-sectional view of the hydrostatic pressure slide device explaining the rotational force that acts on the slide shaft of the hydrostatic slide device.

符号の説明Explanation of symbols

２ 砥石
３ 油圧サーボシリンダ
４ スライド軸
５ 油静圧軸受
７ シール部材
５１ 支持体
５４ 軸受穴
５５ 内側面
７３ ベローズ部
９１ 静圧ポケット
９２ オリフィス 2 Grinding wheel 3 Hydraulic servo cylinder 4 Slide shaft 5 Hydrostatic bearing 7 Seal member 51 Support body 54 Bearing hole 55 Inner surface 73 Bellow part 91 Static pressure pocket 92 Orifice

Claims (3)

往復駆動源（３）と、
前記往復駆動源（３）によって往復駆動される、多角形横断面を有するスライド軸（４）と、
油圧によって前記スライド軸（４）を摺動可能に支持する油静圧軸受（５）と、を具備する油静圧スライド装置であって、
前記油静圧軸受（５）は前記スライド軸（４）が嵌挿される軸受穴（５４）を備え、
前記油静圧軸受（５）の前記軸受穴（５４）の複数の内側面（５５）の各々が、前記スライド軸（４）の縦軸線（ＡZ）に対して垂直な方向に並べられて形成された少なくとも二つの静圧ポケット（９１）を備えており、
さらに、前記油静圧軸受（５）は、前記少なくとも二つの静圧ポケット（９１）の各々に油を供給するための給油路（９３）と、
前記各々の静圧ポケット（９１）の近傍に設けられ、且つ、前記静圧ポケット及び前記給油路（９３）の間に設けられたオリフィス（９２）とを備えており、
前記内側面（５５）の各々は、該内側面の中心の法線であって前記縦軸線（Ａｚ）に交差する中心の法線（Ａｘ、Ａｙ）を有しており、
前記少なくとも二つの静圧ポケット（９１）は、前記内側面（５５）において、前記中心の法線（Ａｘ、Ａｙ）に対して対称に配置されると共に、前記スライド軸（４）と前記軸受穴（５４）との間の間隙（Ｃ）でのみ連通していることを特徴とする、油静圧スライド装置。 A reciprocating drive source (3);
A slide shaft (4) having a polygonal cross-section that is reciprocally driven by the reciprocating drive source (3);
An oil hydrostatic bearing (5) that slidably supports the slide shaft (4) by hydraulic pressure,
The hydrostatic bearing (5) includes a bearing hole (54) into which the slide shaft (4) is inserted.
Each of a plurality of inner surfaces (55) of the bearing hole (54) of the hydrostatic bearing (5) is arranged in a direction perpendicular to the longitudinal axis (A Z ) of the slide shaft (4). Comprising at least two formed static pressure pockets (91);
Further, the hydrostatic bearing (5) includes an oil supply passage (93) for supplying oil to each of the at least two hydrostatic pockets (91);
An orifice (92) provided in the vicinity of each of the static pressure pockets (91) and provided between the static pressure pocket and the oil supply passage (93);
Each of the inner side surfaces (55) has a center normal (Ax, Ay) that is the center normal of the inner surface and intersects the longitudinal axis (Az);
The at least two static pressure pockets (91) are arranged symmetrically with respect to the center normal (Ax, Ay) on the inner surface (55), and the slide shaft (4) and the bearing hole are arranged. The hydrostatic slide device is characterized in that it communicates only with a gap (C) between (54) . 前記スライド軸（４）と前記油静圧軸受（５）との間からの作動油の流出を防ぐシール部材（７）をさらに具備する請求項１に記載の油静圧スライド装置であって、
前記シール部材（７）は、前記スライド軸（４）が嵌挿する中心穴を形成し且つ前記スライド軸（４）に固定される内周端部（７２）と、前記油静圧軸受（５）に固定される外周端部（７１）と、前記内周端部（７２）と前記外周端部（７１）との間に延在するベローズ部（７３）とを具備し、前記ベローズ部（７３）が前記縦軸線（ＡZ）の方向に弾性変形自在に形成されている請求項１に記載の油静圧スライド装置。 The hydrostatic pressure slide device according to claim 1, further comprising a seal member (7) for preventing hydraulic oil from flowing out between the slide shaft (4) and the hydrostatic bearing (5).
The seal member (7) has a central hole into which the slide shaft (4) is inserted and is fixed to the slide shaft (4), and the hydrostatic bearing (5). ), And a bellows portion (73) extending between the inner peripheral end portion (72) and the outer peripheral end portion (71). 73. The hydrostatic slide device according to claim 1, wherein 73) is formed to be elastically deformable in the direction of the longitudinal axis (A Z ). 前記スライド軸（４）が正方形の横断面形状を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の油静圧スライド装置。   3. Hydrostatic slide device according to claim 1 or 2, characterized in that the slide shaft (4) has a square cross-sectional shape.
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