JP5023887B2 - Substrate for liquid crystal display device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate for a liquid crystal display device having a protrusion for liquid crystal alignment control having excellent electric characteristics and light-shielding properties without spoiling patterning characteristics and reliability. <P>SOLUTION: The protrusion 27 for alignment control is a cured product of a photosensitive resin composition containing an organic pigment and a lower part of the protrusion for alignment control has a relational form to follow a recessed part 28 on the lower side thereof. The organic pigment content is 5 to 70 wt.% to the cured product of the photosensitive resin composition. The cured product of the photosensitive resin composition has dielectric tangent of &le;0.015 in a driving frequency range. The cured product of the photosensitive resin composition has optical density per &mu;m film thickness of &ge;0.2. A colored pixel layer 23 is provided between the protrusion 27 for alignment control and one surface of the substrate 21. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、垂直配向(VA、Vertically Aligned)型液晶表示装置(LCD、Liquid Crystal Display)に関するものであリ、さらに詳しくは、配向分割垂直配向(MVA、Multi−Domain Vertical
Alignment)型LCDに用いられる配向制御用突起を有する液晶表示装置用基板に関する。
The present invention relates to a vertically aligned (VA) type liquid crystal display (LCD), and more particularly, to alignment-divided vertical alignment (MVA, multi-domain vertical alignment).
The present invention relates to a substrate for a liquid crystal display device having alignment control protrusions used in an alignment type LCD.

MVA−LCD(配向分割垂直配向型液晶表示装置)は、1画素内で液晶分子の傾斜方向が複数になるように制御し、全方位で均一な中間調表示が出来るよう、配向制御用突起を基板上に設けた垂直配向型液晶表示装置であり、優れたコントラスト、視野角特性、応答速度を兼ね備えた液晶表示装置と言われている。   The MVA-LCD (alignment division vertical alignment type liquid crystal display device) controls the liquid crystal molecules to have a plurality of tilt directions in one pixel, and has alignment control protrusions so that uniform halftone display can be performed in all directions. It is a vertical alignment type liquid crystal display device provided on a substrate and is said to be a liquid crystal display device having excellent contrast, viewing angle characteristics, and response speed.

図1(a)、(b)は、MVA−LCDの動作をその断面で模式的に示した説明図である。図1(a)、(b)に示す様に、一般的なMVA−LCD(10)は、液晶分子(15)を介して配向制御用突起(13)が設けられたTFT側基板(11)と、配向制御用突起(14)が設けられたカラーフィルタ側基板(12)とを配置した構造であるが、配向制御用突起(13)と配向制御用突起(14)は互い違いの位置になるようになっている。   FIGS. 1A and 1B are explanatory views schematically showing the operation of the MVA-LCD in its cross section. As shown in FIGS. 1A and 1B, a general MVA-LCD (10) includes a TFT side substrate (11) provided with alignment control protrusions (13) via liquid crystal molecules (15). And the color filter side substrate (12) provided with the alignment control protrusions (14). However, the alignment control protrusions (13) and the alignment control protrusions (14) are in alternate positions. It is like that.

図1(a)は、電圧無印加時の状態を示し、電圧無印加時に液晶分子(15)は、両基板間で垂直に配向するが、配向制御用突起(13)部及び配向制御用突起(14)部の液晶分子は突起の斜面の影響によってわずかに傾斜している。図1(b)は、電圧印加時の状態を示し、電圧を印加すると突起の斜面の液晶分子が傾斜し始め、傾斜部分以外の液晶分子も順次に同一の配向をするようになる。即ち、ラビング処理に代わり、突起を設けることによって液晶分子の配向を制御するものであり、ラビング処理時のゴミ発生による不具合を根本的に解決できるものである。   FIG. 1A shows a state when no voltage is applied, and when no voltage is applied, the liquid crystal molecules (15) are vertically aligned between the two substrates, but the alignment control protrusion (13) and the alignment control protrusions. The liquid crystal molecules in part (14) are slightly tilted due to the influence of the slopes of the protrusions. FIG. 1B shows a state when a voltage is applied. When a voltage is applied, the liquid crystal molecules on the slopes of the protrusions begin to tilt, and the liquid crystal molecules other than the tilted portions sequentially have the same orientation. That is, the alignment of the liquid crystal molecules is controlled by providing protrusions instead of the rubbing treatment, and the problem due to dust generation during the rubbing treatment can be fundamentally solved.

該配向制御用突起の形状としては、画素上の液晶分子を規則的に2分割以上に分割するものであれば特に限定されるものではないが、基板に垂直な方向から見た場合の形状がドット状、ストライプ状、ジグザグ状のように規則性があることが好ましい。また、高視野角化のため、該配向制御用突起を基板に水平な方向から見た場合の断面形状(縦断面形状)は円弧状あるいは三角形、すなわち半円形、半楕円形、多角錐形あるいは円錐形のように、上面に平らな部分がなく、且つ低部ほど幅広くなるような形状であることが好ましい。   The shape of the alignment control protrusion is not particularly limited as long as the liquid crystal molecules on the pixel are regularly divided into two or more, but the shape when viewed from the direction perpendicular to the substrate is as follows. It is preferable to have regularity such as a dot shape, a stripe shape, or a zigzag shape. In addition, in order to increase the viewing angle, the cross-sectional shape (vertical cross-sectional shape) when the alignment control protrusion is viewed from the direction horizontal to the substrate is an arc shape or a triangle, that is, a semicircular shape, a semielliptical shape, a polygonal pyramid shape, or It is preferable that the upper surface does not have a flat portion and has a shape that becomes wider at the lower portion, such as a conical shape.

しかし、先に述べたように、配向制御用突起部の液晶分子が突起の斜面の影響によってわずかに傾斜していることにより、黒表示(電圧無印加)の場合において、該配向制御用突起の間隙部は黒表示でも該配向制御用突起部分では厳密には光が漏れることがある。そのため、黒表示時に光漏れからコントラストが低下してしまうという問題があった。
この問題を解決するため、可視光を透過させない材料(以下、遮光性材料という)で配向制御用突起を形成する方法が採用されている(特許文献1参照)。
However, as described above, the liquid crystal molecules of the alignment control protrusion are slightly inclined due to the influence of the inclination of the protrusion, so that in the case of black display (no voltage applied), the alignment control protrusion Strictly speaking, light may leak from the alignment control protrusion even if the gap is black. For this reason, there is a problem that the contrast is lowered due to light leakage during black display.
In order to solve this problem, a method of forming alignment control protrusions using a material that does not transmit visible light (hereinafter referred to as a light-shielding material) is employed (see Patent Document 1).

遮光性を持たせる方法としては、一般に従来のレジストに対して着色材を添加する方法が考えられる。しかし、十分な遮光性を持たせるためには、着色材を十分加えないと効果が現れない。
ところが、着色材の濃度を上げすぎると、感度の低下および現像後に残渣が残るなどのパ
ターニング特性に対する悪影響や、液晶中への着色材の溶出などの信頼性に対する悪影響などの問題がある。
As a method for imparting light shielding properties, a method of adding a coloring material to a conventional resist is generally considered. However, in order to provide sufficient light-shielding properties, the effect does not appear unless a sufficient coloring material is added.
However, if the concentration of the colorant is increased too much, there are problems such as a negative effect on patterning characteristics such as a decrease in sensitivity and a residue remaining after development, and an adverse effect on reliability such as elution of the colorant into the liquid crystal.

また、配向制御用突起の縦断面形状は、上面に平らな部分がなく、且つ低部ほど幅広くなるような形状であることが好ましい。このため配向制御用突起の周縁部にいけばいくほど膜厚が薄くなる。従って、例えば、1μmあたりの膜厚での遮光性が十分であっても配向制御用突起の周縁部に近づくほど、膜厚が薄くなり、その部分の遮光性は低下する。従って、十分な遮光性が得られていないものとなる。
特開2000−193979号公報
In addition, the vertical cross-sectional shape of the orientation control protrusion is preferably such that there is no flat portion on the upper surface and the lower portion is wider. For this reason, the film thickness decreases as it goes to the peripheral edge of the alignment control protrusion. Therefore, for example, even if the light shielding property at the film thickness per 1 μm is sufficient, the film thickness becomes thinner and the light shielding property of the portion is lowered as it approaches the peripheral portion of the alignment control protrusion. Therefore, sufficient light shielding properties are not obtained.
Japanese Patent Laid-Open No. 2000-1931979

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、MVA−LCDの配向制御用に設けられた突起において、着色材の濃度を上げすぎずに、すなわち、パターニング特性や信頼性を損なうことなく、電気的特性、遮光性に優れた液晶配向制御用突起を有する液晶表示装置用基板を提供することを課題とする。
上記液晶表示装置用基板を用いることで、焼きつき等の表示不良がなく、コントラストの高いMVA−LCDを提供することが可能となる。
The present invention has been made to solve the above-described problems. In the protrusions provided for controlling the orientation of the MVA-LCD, the concentration of the coloring material is not increased excessively, that is, the patterning characteristics and reliability are improved. It is an object of the present invention to provide a substrate for a liquid crystal display device having a liquid crystal alignment control protrusion having excellent electrical characteristics and light shielding properties without loss.
By using the substrate for a liquid crystal display device, it is possible to provide an MVA-LCD having high contrast without display defects such as burn-in.

本発明は、配向制御用突起を基板片面に配設する液晶表示装置用基板において、前記配向制御用突起は有機顔料を含有する感光性樹脂組成物の硬化物として前記基板片面側に予め設けられた着色画素層中の凹部に形成され、該配向制御用突起の下部は該凹部の形状に追従した形状を有することを特徴とする液晶表示装置用基板である。 The present invention provides a substrate for a liquid crystal display device in which alignment control protrusions are disposed on one side of the substrate, wherein the alignment control protrusions are provided in advance on the one side of the substrate as a cured product of a photosensitive resin composition containing an organic pigment. The substrate for a liquid crystal display device is characterized in that it is formed in a concave portion in the colored pixel layer, and a lower portion of the alignment control protrusion has a shape following the shape of the concave portion.

また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用基板において、前記有機顔料の含有量が、前記感光性樹脂組成物の固形分に対して5〜70重量%であることを特徴とする液晶表示装置用基板である。   In the liquid crystal display substrate according to the present invention, the organic pigment content is 5 to 70% by weight based on the solid content of the photosensitive resin composition. It is a board | substrate for apparatuses.

また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用基板において、前記配向制御用突起の誘電正接が、液晶表示装置の駆動周波数範囲で0.015以下であることを特徴とする液晶表示装置用基板である。   According to the present invention, in the substrate for a liquid crystal display device according to the above invention, the dielectric loss tangent of the alignment control protrusion is 0.015 or less in the driving frequency range of the liquid crystal display device. It is.

また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用基板において、前記配向制御用突起の膜厚1μmあたりの光学濃度が、0.2以上であることを特徴とする液晶表示装置用基板である。   Further, the present invention is the substrate for a liquid crystal display device according to the above invention, wherein the alignment control projection has an optical density of 0.2 or more per 1 μm of film thickness.

また、本発明は、上記発明による液晶表示装置用基板において、前記配向制御用突起と基板片面との間に、着色画素層が設けられていることを特徴とする液晶表示装置用基板である。   In addition, the present invention provides the substrate for a liquid crystal display device according to the above invention, wherein a colored pixel layer is provided between the alignment control projection and one surface of the substrate.

本発明における感光性樹脂組成物を用いて配向制御用突起を形成したところ、優れた遮光性をもつ配向制御用突起を得ることが出来た。また、適度な熱収縮や熱フローにより、下部の形状にそって寸法精度の良い、液晶分子の配向性をより向上することが可能となった。さらに、周縁部においても下部の膜厚と合わせた遮光性を有するため、より高い遮光
性を付与することが可能となる。また、十分な遮光性を持たせるための顔料濃度を減らすことが出来るため、解像性、電気的特性、耐性をもつ配向制御用突起を形成することができた。そのため、表示ムラ、輝度低下や焼きつき等の表示不良がなく、コントラストの高いMVA−LCDを得ることができた。
When the alignment control protrusions were formed using the photosensitive resin composition of the present invention, the alignment control protrusions having excellent light shielding properties could be obtained. In addition, with appropriate heat shrinkage and heat flow, it becomes possible to further improve the alignment of liquid crystal molecules with good dimensional accuracy along the shape of the lower part. Furthermore, since the peripheral edge portion also has a light shielding property combined with the film thickness of the lower portion, it is possible to impart a higher light shielding property. In addition, since the pigment concentration for providing sufficient light-shielding properties can be reduced, alignment control protrusions having resolution, electrical characteristics, and resistance can be formed. Therefore, there was no display defect such as display unevenness, luminance reduction, and burn-in, and an MVA-LCD having a high contrast could be obtained.

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
図2は、本発明による液晶表示装置用基板の一例の断面を模式図でを示したものである。この一例は、透明性を有する基板上に着色画素層を設け、この上に配向制御用突起を形成した液晶表示装置用基板である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
FIG. 2 is a schematic view showing a cross section of an example of a substrate for a liquid crystal display device according to the present invention. An example of this is a substrate for a liquid crystal display device in which a colored pixel layer is provided on a transparent substrate and an alignment control protrusion is formed thereon.

液晶表示装置用基板は、透明基板21上にカラーフィルタを形成し、さらに透明導電性膜層24、配向制御用突起27、配向膜層26を順次積層せしめたものである。ここで、カラーフィルタとは透明基板上にコントラスト向上のためのブラックマトリックス22、次いで赤(R)、緑(G)、青(B)の着色画素層23を形成せしめたものである。この液晶表示装置用基板を、例えば、薄膜トランジスタのような電極を形成した対向基板と対置させ液晶層を介してLCDを構成するものである。   The substrate for a liquid crystal display device is obtained by forming a color filter on a transparent substrate 21, and further laminating a transparent conductive film layer 24, an alignment control protrusion 27, and an alignment film layer 26 in this order. Here, the color filter is formed by forming a black matrix 22 for improving contrast on a transparent substrate, and then a colored pixel layer 23 of red (R), green (G), and blue (B). This liquid crystal display device substrate is opposed to, for example, a counter substrate on which an electrode such as a thin film transistor is formed to constitute an LCD through a liquid crystal layer.

前記透明基板21は、板状のものが好ましく、ガラス、あるいはポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、ポリエーテルサルフォンやポリアクリレートなどのプラスチックのシートあるいはフィルムが挙げられる。また、配向制御用突起を形成した後、加熱工程を行うことから、耐熱性に優れたガラス基板が好ましく、さらには熱膨張率が小さく加熱工程での寸法安定性に優れたガラスを選択することが好ましい。   The transparent substrate 21 is preferably plate-shaped, and examples thereof include glass or a plastic sheet or film such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polycarbonate, polyethersulfone or polyacrylate. In addition, since the heating process is performed after forming the alignment control projections, a glass substrate excellent in heat resistance is preferable, and furthermore, a glass having a low coefficient of thermal expansion and excellent dimensional stability in the heating process is selected. Is preferred.

カラーフィルタを構成するブラックマトリックス22は既に公知の方法を用いて形成することができる。例えば、クロムやチタンなどの金属あるいは金属酸化物の薄膜をスパッタ等の方法により基板上に形成し、それをエッチングなどの手法によりパターニングを施し形成するもの、あるいは、感光性樹脂組成物中にカーボンブラックや金属酸化物などの遮光性微粒子や複数種からなる顔料あるいは染料などの着色剤を混在させ、これを基板上に感光性樹脂層として形成しフォトリソグラフィー法により形成するもの、あるいは、後に示す赤、緑、青などからなる着色画素層を2層以上積層させこれを形成するものなどが挙げられるが本発明においてはいずれの方法でも形成しても良い。   The black matrix 22 constituting the color filter can be formed using a known method. For example, a thin film of a metal or metal oxide such as chromium or titanium is formed on a substrate by sputtering or the like and patterned by a technique such as etching, or carbon in a photosensitive resin composition. A mixture of light-shielding fine particles such as black and metal oxides and a colorant such as a pigment or dye composed of a plurality of types, which is formed as a photosensitive resin layer on a substrate and formed by a photolithography method, or shown later Examples include one in which two or more colored pixel layers made of red, green, blue, and the like are laminated to form the layer, but any method may be used in the present invention.

前記着色画素層23は、前記ブラックマトリックス22の開口部に設けられ、通常、赤色着色画素層23R、緑色着色画素層23G、および青色着色画素層23Bの3原色の着色画素層で構成される。所望の形状の着色画素層は隣接して順次に繰り返し配置されたものである。
この時、後工程により配向制御用突起が入る位置の膜厚をその他の通常の膜厚と比較して、0〜80%程度になるような凹部28を有する着色画素層を形成する。この際、着色画素層の凹部の深さは、配向制御用突起に求められる遮光性により任意に設定することが出来る。また、この着色画素層の凹部の形成は、フォトマスクを介しての透過光の制御によって行う。例えば、マスクパターンによる制御や遮光膜による制御等が考えられるが、これに限るものではない
着色画素層23上の透明導電性膜層24は、電気信号を伝達することで基板の間に挟持された液晶の挙動を制御するために設けられ、透明導電性膜層24は対向する液晶表示装置基板の、少なくともいずれか一方には必須である。通常、透明導電性膜層24は、配向制御用突起の直下に形成されるが、蒸着等を用いて、配向制御用突起の上層に設けることもできる。
透明導電性膜層24は、透明で導電性があり薄膜状に形成できる物質が用いられ、通常I
TO(インジウムと錫の複合酸化物)膜が、他にはIZO(インジウムと亜鉛の複合酸化物)やSnO2 (二酸化錫)膜などが選択され、各々スパッタ法、真空蒸着法などの手法にて形成される。
The colored pixel layer 23 is provided at the opening of the black matrix 22 and is generally composed of colored pixel layers of three primary colors of a red colored pixel layer 23R, a green colored pixel layer 23G, and a blue colored pixel layer 23B. The colored pixel layers having a desired shape are adjacently and sequentially arranged.
At this time, a colored pixel layer having a concave portion 28 is formed so that the film thickness at the position where the alignment control protrusion enters is compared with other normal film thicknesses in the subsequent process. At this time, the depth of the concave portion of the colored pixel layer can be arbitrarily set depending on the light shielding property required for the alignment control protrusion. Further, the concave portions of the colored pixel layer are formed by controlling transmitted light through a photomask. For example, control by a mask pattern or control by a light shielding film is conceivable, but the present invention is not limited to this. The transparent conductive film layer 24 on the colored pixel layer 23 is sandwiched between substrates by transmitting an electrical signal. The transparent conductive film layer 24 is provided for controlling the behavior of the liquid crystal, and is essential for at least one of the opposing liquid crystal display device substrates. Normally, the transparent conductive film layer 24 is formed immediately below the alignment control protrusion, but it can also be provided on the upper layer of the alignment control protrusion by vapor deposition or the like.
The transparent conductive film layer 24 is made of a transparent and conductive material that can be formed into a thin film.
The TO (complex oxide of indium and tin) film, IZO (complex oxide of indium and zinc), SnO 2 (tin dioxide) film, etc. are selected, and each of them is used for sputtering, vacuum deposition, etc. Formed.

配向制御用突起は、先ず、突起形成用の感光性樹脂組成物を、バーコーター、アプリケーター、ワイヤーバー、スピンコーター、ロールコーター、スリットコーター、カーテンコーター、ダイコーター、コンマコーター、又はその他の公知の塗工方法を用い積層する。感光性樹脂組成物を溶媒に希釈し、感光液として調製し、基板上に前記方法で塗布してもよいが、その場合には基材上に塗布した後に、溶媒を除去する必要がある。
次に、所定のパターンを有したフォトマスクを介し、光照射してパターン露光を行い、アルカリ現像液にて現像を行うことによって形成することができる。
感光性樹脂組成物がポジ型の場合は露光部分が溶解除去され、ネガ型の場合は未露光部分が溶解除去されることでマスクパターンに忠実な配向制御用突起25を形成することができる。この時形成された配向制御用突起は、上記の着色画素層中の凹部28に設けられる。
The alignment control protrusions are first a photosensitive resin composition for forming protrusions, a bar coater, an applicator, a wire bar, a spin coater, a roll coater, a slit coater, a curtain coater, a die coater, a comma coater, or other known ones. Laminate using the coating method. The photosensitive resin composition may be diluted with a solvent, prepared as a photosensitive solution, and coated on the substrate by the above-described method. In that case, it is necessary to remove the solvent after coating on the substrate.
Next, it can be formed by irradiating light through a photomask having a predetermined pattern to perform pattern exposure and developing with an alkali developer.
When the photosensitive resin composition is a positive type, the exposed portion is dissolved and removed, and when the photosensitive resin composition is a negative type, the unexposed portion is dissolved and removed, whereby the alignment control protrusion 25 faithful to the mask pattern can be formed. The alignment control protrusions formed at this time are provided in the recesses 28 in the colored pixel layer.

前記パターン露光においては、例えば、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、中圧水銀灯、低圧水銀灯、キセノンランプ、ハロゲンランプ等が挙げられるが、これに限定されるものではなくその他公知の方法で行うことができる。   Examples of the pattern exposure include an ultra-high pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, a medium-pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a xenon lamp, and a halogen lamp, but are not limited thereto and can be performed by other known methods. .

本発明における配向制御用突起は、上記フォトリソグラフィー工程後に加熱工程を施すことにより、該配向制御用突起の硬化を促進し透明導電性膜層24との密着性を向上できる。また、現像後の断面台形状の突起25は、加熱による流動化により形状がなだらかになった配向制御用突起27となり、配向制御用突起27の下部は凹部28の形状に追従した形状となる。   The alignment control protrusions in the present invention can be heated after the photolithography process to accelerate the curing of the alignment control protrusions and improve the adhesion with the transparent conductive film layer 24. In addition, the protrusion 25 having a trapezoidal cross section after development becomes an alignment control protrusion 27 whose shape has become gentle due to fluidization by heating, and the lower portion of the alignment control protrusion 27 has a shape following the shape of the recess 28.

ここで、本発明の配向制御用突起の形成に用いる感光性樹脂組成物は、ネガ型あるいはポジ型のどちらであってもよいが、バインダー樹脂としては、アルカリ可溶性を有することが好ましい。この場合、上記感光性樹脂組成物はアルカリ水溶液で現像可能となり、従来のプロセスで使用できるためコスト的にも有利であり、環境の観点からも好ましい。また、電気特性の点から、芳香環を有する樹脂が好ましい。このような樹脂としては、特に限定されないが、例えば、フェノール性水酸基を有する樹脂、カルボキシル基変性エポキシ樹脂およびこれらの変性物等が挙げられる。   Here, the photosensitive resin composition used for forming the alignment control protrusion of the present invention may be either a negative type or a positive type, but the binder resin preferably has alkali solubility. In this case, the photosensitive resin composition can be developed with an aqueous alkaline solution and can be used in a conventional process, which is advantageous in terms of cost and is also preferable from the viewpoint of the environment. Moreover, the resin which has an aromatic ring from the point of an electrical property is preferable. Such a resin is not particularly limited, and examples thereof include resins having phenolic hydroxyl groups, carboxyl group-modified epoxy resins, and modified products thereof.

前記フェノール性水酸基を有する樹脂としては、クレゾールノボラック樹脂、ポリビニルフェノール、あるいはp−ビニルフェノールとスチレンとの共重合体などが挙げられる。ポリビニルフェノールは、公知の方法にて、例えば、p−ヒドロキシスチレン、2−(p−ヒドロキシフェニル)プロピレンなどの置換基を有していても良いヒドロキシスチレン類を単独で又は2種以上をラジカル重合開始剤またはカチオン重合開始剤の存在下で重合することにより得られる。さらにフェノール性水酸基の一部に不飽和二重結合基を導入することでネガ型の感光性をもたせることもできる。   Examples of the resin having a phenolic hydroxyl group include a cresol novolac resin, polyvinylphenol, and a copolymer of p-vinylphenol and styrene. Polyvinylphenol is a radical polymerization of hydroxystyrenes which may have a substituent such as p-hydroxystyrene and 2- (p-hydroxyphenyl) propylene, or a combination of two or more thereof, by a known method. It is obtained by polymerizing in the presence of an initiator or a cationic polymerization initiator. Furthermore, negative photosensitivity can be imparted by introducing an unsaturated double bond group into a part of the phenolic hydroxyl group.

前記エポキシ樹脂としては、アルカリ現像性を有するものであれば何ら限定されることなく使用することができるが、なかでも多官能エポキシ樹脂に不飽和一塩基酸およびフェノール化合物を付加させ、さらに多塩基酸無水物にて架橋したものが特に好ましい。また、これらの樹脂は現像性、感度、熱可塑性等を考慮し、2種類以上を混合して使用してもよい。   The epoxy resin can be used without any limitation as long as it has alkali developability, and among them, an unsaturated monobasic acid and a phenol compound are added to the polyfunctional epoxy resin, Those crosslinked with an acid anhydride are particularly preferred. These resins may be used in combination of two or more in consideration of developability, sensitivity, thermoplasticity and the like.

また、組成物中のバインダー樹脂の重量平均分子量(以下Mwという)は、耐熱性と現像性の観点から1000〜40000の範囲であることが好ましく、さらに2000〜1
5000の範囲であることが特に好ましい。なお、MwはGPC法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。
Moreover, it is preferable that the weight average molecular weight (henceforth Mw) of binder resin in a composition is the range of 1000-40000 from a heat resistant and developable viewpoint, Furthermore, 2000-1
A range of 5000 is particularly preferred. In addition, Mw is the weight average molecular weight of polystyrene conversion measured by GPC method.

本発明における有機顔料としては、電気特性を悪化させないものであれば、一般に市販されているものを用いることができる。有機顔料としては、発色性が高く、且つ耐熱性、特に耐熱分解性の高いものが好適に用いられる。有機顔料等は、単独でまたは2種類以上を混合して用いることができる。また、有機顔料は、ソルトミリング、アシッドペースティング等により微細化したものであってもよい。以下に、本発明に用いられる有機顔料の具体例を、カラーインデックス番号で示す。   As the organic pigment in the present invention, commercially available ones can be used as long as they do not deteriorate the electrical characteristics. As the organic pigment, those having high color developability and high heat resistance, particularly high heat decomposition resistance are preferably used. An organic pigment etc. can be used individually or in mixture of 2 or more types. Further, the organic pigment may be refined by salt milling, acid pasting or the like. Below, the specific example of the organic pigment used for this invention is shown by a color index number.

赤色顔料としては、例えば、C.I. Pigment Red 7、9、14、41、48:1、48:2、48:3、48:4、81:1、81:2、81:3、97、122、123、146、149、168、177、178、179、180、184、185、187、192、200、202、208、210、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、246、254、255、264、272、279等の赤色顔料を用いることができる。   Examples of red pigments include C.I. I. Pigment Red 7, 9, 14, 41, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 81: 1, 81: 2, 81: 3, 97, 122, 123, 146, 149, 168, 177, 178, 179, 180, 184, 185, 187, 192, 200, 202, 208, 210, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 246, 254, 255, Red pigments such as H.264, 272, and 279 can be used.

黄色顔料としては、例えば、C.I. Pigment Yellow 1、2、3、4、5、6、10、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214等が挙げられる。   Examples of yellow pigments include C.I. I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 20, 24, 31, 32, 34, 35, 35: 1, 36, 36: 1, 37, 37: 1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 86, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 1 75, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 193, 194, 199, 213, 214 and the like.

オレンジ色顔料としては、例えば、C.I. Pigment Orange 36、43、51、55、59、61、71、73等が挙げられる。
緑色顔料としては、例えば、C.I. Pigment Green 7、10、36、37等の緑色顔料を用いることができる。
紫色色素としては、例えば、C.I. Pigment Violet 1、19、23、27、29、30、32、37、40、42、50等の顔料が挙げられる。
青色色素としては、例えば、C.I. Pigment Blue 15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64等の顔料が挙げられる。
Examples of the orange pigment include C.I. I. Pigment Orange 36, 43, 51, 55, 59, 61, 71, 73 and the like.
Examples of the green pigment include C.I. I. Green pigments such as Pigment Green 7, 10, 36, and 37 can be used.
Examples of purple pigments include C.I. I. Pigment Violet 1, 19, 23, 27, 29, 30, 32, 37, 40, 42, 50, and the like.
Examples of blue pigments include C.I. I. Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, and the like.

また良好な塗布性、感度、現像性等を確保するために、染料、天然色素、あるいは酸化チタン、硫酸バリウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸化鉄(III)、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等の無機顔料を併用することもできる。   In order to ensure good coatability, sensitivity, developability, etc., dyes, natural pigments, or titanium oxide, barium sulfate, zinc white, lead sulfate, yellow lead, zinc yellow, red rose (red iron oxide (III), Inorganic pigments such as cadmium red, ultramarine blue, bitumen, chromium oxide green, cobalt green, amber, titanium black, synthetic iron black, and carbon black can also be used in combination.

本発明の配向制御用突起の感光性着色組成物に有機顔料を含有させる場合に、有機顔料を分散させるための分散剤を含有させる必要がある。分散剤としては、界面活性剤、顔料の誘導体、高分子分散剤(例えば、(株)アビシア製:ソルスパース)等が使用される。分散剤の添加量は特に限定されるものではないが、有機顔料の配合量100質量%に対して、1〜50質量%とすることが好ましい。また、本発明の有機顔料は、樹脂組成物との混合時のソルベントショック等に起因する異物や塗膜ムラの発生を抑えるために、必要に
応じて適当な樹脂により被覆されていてもよい。
When the photosensitive pigment composition of the alignment control projection of the present invention contains an organic pigment, it is necessary to contain a dispersant for dispersing the organic pigment. As the dispersant, a surfactant, a pigment derivative, a polymer dispersant (for example, Avisia Corporation: Solsperse), or the like is used. Although the addition amount of a dispersing agent is not specifically limited, It is preferable to set it as 1-50 mass% with respect to 100 mass% of compounding quantities of an organic pigment. In addition, the organic pigment of the present invention may be coated with an appropriate resin as necessary in order to suppress the occurrence of foreign matter and coating film unevenness due to a solvent shock or the like during mixing with the resin composition.

ここで、光重合性モノマー及び/又は樹脂を溶剤に溶解した溶液への顔料や分散剤の分散は、三本ロールミル、二本ロールミル、サンドミル、ニーダー、ディゾルバー、ハイスピードミキサー、ホモミキサー、アトライター等の各種分散装置を用いて行うことができる。   Here, dispersion of pigments and dispersants in a solution in which a photopolymerizable monomer and / or resin is dissolved in a solvent is a three roll mill, a two roll mill, a sand mill, a kneader, a dissolver, a high speed mixer, a homomixer, an attritor. It can carry out using various dispersion apparatuses, such as.

また、顔料と分散剤を予め混合して顔料組成物を調製する場合、顔料と分散剤を単純に混合するだけでも良いが、(a)ニーダー、ロール、アトライター、スーパーミル等の各種粉砕機により機械的に混合する、(b)顔料を溶剤に分散させた後、分散剤を含む溶液を添加し、顔料表面に分散剤を吸着させる、(c)硫酸等の強い溶解力を持つ溶媒に顔料と分散剤を共溶解した後、水等の貧溶媒を用いて共沈させるなどの混合方法を採用することが好ましい。また、2種以上の顔料を含む場合には、例えば(イ)2種以上の顔料等を混合した後、得られた顔料混合物を顔料担体中に既知の方法で微細に分散する、(ロ)各顔料等を別々に顔料担体中に微細に分散したものを混合するなどの方法で製造することができる。   In addition, when preparing a pigment composition by previously mixing a pigment and a dispersant, the pigment and the dispersant may be simply mixed. (A) Various pulverizers such as a kneader, a roll, an attritor, and a super mill (B) After the pigment is dispersed in the solvent, a solution containing the dispersant is added, and the dispersant is adsorbed on the pigment surface. (C) A solvent having a strong dissolving power such as sulfuric acid. It is preferable to employ a mixing method in which the pigment and the dispersant are co-dissolved and then co-precipitated using a poor solvent such as water. When two or more kinds of pigments are contained, for example, (b) after mixing two or more kinds of pigments, the obtained pigment mixture is finely dispersed in a pigment carrier by a known method. Each pigment can be produced by a method such as mixing finely dispersed pigments in a pigment carrier.

これらの有機顔料の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して5〜70重量%が好ましく、さらに好ましくは10〜40重量%である。5重量%よりも少ない場合は、十分な遮光性を付与することができないため、パネル化した際に十分なコントラスト向上効果が得られない。一方、70重量%よりも多い場合は、遮光性が高すぎるため感度が低下したり、解像性が低下したりする。また誘電正接が高くなるなど電気特性が悪化し、パネル化した際に焼きつきの原因となる場合もある。   The content of these organic pigments is preferably 5 to 70% by weight, more preferably 10 to 40% by weight, based on the solid content of the photosensitive resin composition. When the amount is less than 5% by weight, sufficient light-shielding property cannot be imparted, so that a sufficient contrast improvement effect cannot be obtained when a panel is formed. On the other hand, when it is more than 70% by weight, the light shielding property is too high, so that the sensitivity is lowered or the resolution is lowered. In addition, the electrical characteristics deteriorate due to an increase in dielectric loss tangent, which may cause burn-in when a panel is formed.

本発明における配向制御用突起用の感光性樹脂組成物には前記成分以外に、塗布性、密着性、耐熱性、耐薬品性の向上のためなど、必要に応じて相溶性のある添加物、例えば、溶剤、可塑剤、安定剤、界面活性剤、レベリング剤、カップリング剤、充填材などを、本発明の目的、または効果を損なわない範囲で添加することができる。   In addition to the above-mentioned components, the photosensitive resin composition for alignment control protrusions in the present invention is compatible with additives as necessary for improving coating properties, adhesion, heat resistance, chemical resistance, etc., For example, a solvent, a plasticizer, a stabilizer, a surfactant, a leveling agent, a coupling agent, a filler and the like can be added as long as the object or effect of the present invention is not impaired.

上記溶媒としては、ジクロルエタン、クロロホルム、アセトン、2−ブタノン、シクロヘキサノン、エチルアセテート、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、2−ブトキシエタノール、2−エチルエトキシアセテート、2−ブトキシエチルアセテート、2−メトキシエチルエーテル、2−エトキシエチルエーテル、2−(2−エトキシエトキシ)エタノール、2−(2−ブトキシエトキシ)エタノール、2−(2−エトキシエトキシ)エチルアセテート、2−(2−ブトキシエトキシ)エチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4−ジオキサン等が挙げられる。   Examples of the solvent include dichloroethane, chloroform, acetone, 2-butanone, cyclohexanone, ethyl acetate, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 2-butoxyethanol, 2-ethylethoxyacetate, 2-butoxyethyl acetate, 2-methoxy. Ethyl ether, 2-ethoxyethyl ether, 2- (2-ethoxyethoxy) ethanol, 2- (2-butoxyethoxy) ethanol, 2- (2-ethoxyethoxy) ethyl acetate, 2- (2-butoxyethoxy) ethyl acetate , Propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane and the like.

また、配向制御用突起の着色材として有機顔料を用いることで、優れた特性の液晶表示装置用基板が得られる。有機顔料は、無機微粒子系の顔料に比べて、ベースとなる感光性樹脂組成物との相性が良く、ギザつきのない直線性のすぐれたパターンを形成できるというメリットがある。また必要に応じて、ベースとなる感光性樹脂組成物の特性や配向制御用突起の要求スペックにあわせた粒径分布制御、表面処理等の改質を行うことが可能であり、材料選択の幅が広い。さらに、これらの顔料を2種以上混合して使用することで、分光スペクトルや電気特性等の制御が可能となり、目的の特性にあわせた配向制御用突起を形成することが可能となる。特に可視領域で波長依存性の少ない分光スペクトルとなるように顔料を混合すると、カラーフィルタの色相を変化させることがなく好ましい。   Further, by using an organic pigment as the coloring material for the alignment control protrusion, a substrate for a liquid crystal display device having excellent characteristics can be obtained. Compared with inorganic fine particle pigments, organic pigments have the advantage of being compatible with the photosensitive resin composition as a base and being able to form a pattern with excellent linearity with no jaggedness. If necessary, it is possible to modify the particle size distribution control, surface treatment, etc. according to the characteristics of the photosensitive resin composition as the base and the required specifications of the alignment control protrusions, and the range of material selection Is wide. Furthermore, by using a mixture of two or more of these pigments, it is possible to control the spectral spectrum, electrical characteristics, etc., and to form alignment control projections that match the target characteristics. In particular, it is preferable to mix pigments so that a spectral spectrum having little wavelength dependency in the visible region does not change the hue of the color filter.

さらに、本発明者らは、液晶表示装置用基板の性質とMVA−LCDにおける表示不良
の関係について種々検討した結果、配向制御用突起の電気的特性がMVA−LCDの液晶配向不良やスイッチングの閾値ずれに大きな影響を与えることを見出した。液晶の駆動は、一般的には交流波形で行われるが、液晶材料面での応答速度の改善にともない、1つの矩形波内での影響、すなわち直流波形による影響も無視できなくなってきている。
Furthermore, as a result of various studies on the relationship between the properties of the substrate for liquid crystal display devices and the display defects in the MVA-LCD, the present inventors have found that the electrical characteristics of the alignment control protrusions are the liquid crystal alignment defects and switching thresholds of the MVA-LCD. It has been found that it has a significant effect on the deviation. The driving of the liquid crystal is generally performed with an alternating current waveform, but with the improvement of the response speed on the liquid crystal material surface, the influence within one rectangular wave, that is, the influence due to the direct current waveform is not negligible.

ここで、一般的にMVA−LCDにおいて、液晶表示装置用基板を構成する配向制御用突起は、内側を向くように配置されている。液晶駆動電界中に内在するため、MVA−LCDにおいては、配向制御用突起と他のセル内の部材(液晶、配向膜)との電気特性的なバランスが重要となる。   Here, in general, in the MVA-LCD, the alignment control protrusions constituting the liquid crystal display device substrate are arranged so as to face inward. Since it is inherent in the liquid crystal driving electric field, in MVA-LCD, it is important to balance the electrical characteristics between the alignment control protrusions and the members (liquid crystal, alignment film) in other cells.

まず、交流特性の観点から、配向制御用突起の誘電特性が重要である。具体的には誘電正接の値により説明が可能であり、おおむね以下のようなメカニズムによる。誘電正接(tanδ)は誘電体内に蓄積される電荷量と消費される電荷量の比である。誘電正接が比較的小さい場合は誘電体内に蓄積された電荷は保持されるのに対し、比較的大きい場合、電荷は消費されて保持されない。   First, from the viewpoint of alternating current characteristics, the dielectric characteristics of the alignment control protrusion are important. Specifically, it can be explained by the value of the dielectric loss tangent, and is generally based on the following mechanism. The dielectric loss tangent (tan δ) is the ratio between the amount of charge accumulated in the dielectric and the amount of charge consumed. When the dielectric loss tangent is relatively small, the electric charge accumulated in the dielectric is retained, whereas when it is relatively large, the electric charge is consumed and not retained.

配向制御用突起と他のセル内の部材(液晶、配向膜など)はそれぞれ誘電体としての性質を持つため、これらの誘電正接の値が大きく異なると、液晶分子の電荷の保持状態が不均一になる現象が発生する。電荷の保持状態が不均一になることで液晶の配向不良が発生し、あるいは電荷が余分に残ってしまうことによる閾値ずれにより焼きつきが発生するといった表示不良となる。   Since the alignment control protrusions and other members in the cell (liquid crystal, alignment film, etc.) have properties as dielectrics, if the values of their dielectric loss tangents differ greatly, the charge retention state of the liquid crystal molecules is not uniform Occurs. A non-uniform charge holding state causes a liquid crystal alignment failure, or a display failure such that image sticking occurs due to a threshold shift caused by an extra charge remaining.

従って、配向制御用突起、配向膜層、液晶層の誘電正接tanδは、MVA−LCD方式のカラー液晶表示装置の表示特性を決める重要な特性となる。誘電正接は測定周波数に依存する値であり、液晶の駆動信号の波形は高周波成分もいくらか含むため、理想的には10〜1kHzの広い周波数範囲での特性を考慮する必要がある。ただし、実際には液晶駆動の1フレームが60〜120Hz程度であることから、周期(秒)すなわち周波数で30Hz近辺、おおむね10〜200Hzの周波数での誘電正接に着目するのが適当である。   Accordingly, the dielectric loss tangent tan δ of the alignment control protrusion, the alignment film layer, and the liquid crystal layer is an important characteristic that determines the display characteristics of the MVA-LCD color liquid crystal display device. The dielectric loss tangent is a value that depends on the measurement frequency, and the waveform of the driving signal of the liquid crystal contains some high-frequency components. Therefore, ideally, characteristics in a wide frequency range of 10 to 1 kHz must be considered. However, since one frame for driving the liquid crystal is actually about 60 to 120 Hz, it is appropriate to pay attention to the dielectric loss tangent at a period (second), that is, a frequency around 30 Hz, and a frequency of about 10 to 200 Hz.

一般に、液晶材料、配向膜材料などは電荷を保持する能力が大きい、すなわち誘電正接が比較的小さい材料であり、その値は一般的に0.005〜0.02程度の値である。したがって、MVA−LCDに用いる配向制御用突起の誘電正接の値は液晶材料、配向膜材料と同程度かそれ以下の値であることが好ましいと考えられる。   In general, a liquid crystal material, an alignment film material, or the like is a material having a large ability to hold electric charges, that is, a material having a relatively small dielectric loss tangent. Accordingly, it is considered that the value of the dielectric loss tangent of the alignment control protrusion used in the MVA-LCD is preferably the same as or lower than that of the liquid crystal material and alignment film material.

以上をふまえ、本発明者らは、誘電特性の改善について種々検討を行った結果、液晶表示装置用基板において、基板上に設けられた配向制御用突起を構成する材料の誘電正接が駆動周波数の範囲で0.015以下、さらに好ましくは0.008以下とすることで、配向不良、閾値ずれなどの表示品位の低下を効果的に防げることを見出した。配向制御用突起材料の誘電正接は低いほど好ましいが、配向制御用突起材料の特性上現時点では0.003程度が下限となる。   Based on the above, the present inventors have conducted various studies on the improvement of the dielectric characteristics. As a result, in the liquid crystal display substrate, the dielectric loss tangent of the material constituting the alignment control protrusion provided on the substrate is the drive frequency. It has been found that by setting the range to 0.015 or less, more preferably 0.008 or less, it is possible to effectively prevent deterioration in display quality such as orientation failure and threshold shift. The lower the dielectric loss tangent of the orientation controlling projection material, the better. However, about 0.003 is the lower limit at the present time due to the characteristics of the orientation controlling projection material.

また、配向制御用突起材料の比誘電率も重要な要素であり、駆動周波数の範囲で6.0以下とすることが好ましい。比誘電率は誘電体内に蓄積される電荷量の指標であり、配向制御用突起において著しく値が大きいとセル内の部材(液晶、配向膜など)との間に蓄積される電荷量のバランスが大きく崩れ、閾値ずれで焼き付きが発生するといった表示不良となる。液晶の比誘電率は一般に約10程度であり、液晶層と配向制御用突起の膜厚や面積を考慮すると、配向制御用突起の比誘電率は6.0以下が好ましく、さらに好ましくは5.0以下である。比誘電率は低いほうが好ましいが、材料の特性上現時点では3.0程度が下限となる。   Further, the relative dielectric constant of the orientation controlling protrusion material is also an important factor, and is preferably 6.0 or less in the range of the driving frequency. The relative dielectric constant is an index of the amount of charge accumulated in the dielectric body. If the value is extremely large in the alignment control projection, the balance of the amount of charge accumulated between the members in the cell (liquid crystal, alignment film, etc.) is balanced. Display failure such as large collapse and burn-in due to threshold shift. The relative dielectric constant of the liquid crystal is generally about 10, and considering the film thickness and area of the liquid crystal layer and the alignment control protrusion, the relative dielectric constant of the alignment control protrusion is preferably 6.0 or less, more preferably 5. 0 or less. A lower relative dielectric constant is preferable, but about 3.0 is the lower limit at the present time due to material characteristics.

上記基板上には必要に応じて配向膜層26を設ける。配向膜層は、ネガ型液晶化合物を垂直配向させるために設けられる。配向膜層には、透明で絶縁性の物質が用いられ、一般にポリイミド樹脂などが用いられる。配向膜層は、ポリイミド樹脂用液、ポリアミック酸溶液などを公知の塗布方法あるいは印刷方法にて形成し、その後焼成することにより形成される。   An alignment film layer 26 is provided on the substrate as necessary. The alignment film layer is provided for vertically aligning the negative liquid crystal compound. A transparent and insulating material is used for the alignment film layer, and generally a polyimide resin or the like is used. The alignment film layer is formed by forming a polyimide resin solution, a polyamic acid solution, or the like by a known coating method or printing method, and then baking.

また、状況に応じて透明保護膜層を形成しても良い。この時、透明保護膜層は、ブラックマトリックス及び着色画素層を形成したときに生ずる段差を平坦化する機能を有しており、透明保護膜層を形成する材料としては、光硬化型の感光性樹脂組成物などの前述の目的を達成できる材料であればよい。
着色画素層23の表面状態を考慮して0.5から3μmの範囲にて形成することができる。この時、後工程により配向制御用突起が入る位置の膜厚をその他の通常の膜厚と比較して、0〜80%程度になるように透明保護層を形成する。この透明保護層の薄膜工程は、マスクによる制御、パターンによる制御等が考えられるが、これに限るものではない
Moreover, you may form a transparent protective film layer according to a condition. At this time, the transparent protective film layer has a function of flattening a step generated when the black matrix and the colored pixel layer are formed. As a material for forming the transparent protective film layer, a photocurable photosensitive material is used. Any material that can achieve the above-described object, such as a resin composition, may be used.
In consideration of the surface state of the colored pixel layer 23, it can be formed in the range of 0.5 to 3 μm. At this time, the transparent protective layer is formed so that the film thickness at the position where the alignment control protrusion enters in the subsequent process is about 0 to 80% compared with other normal film thicknesses. The thin film process of the transparent protective layer may be controlled by a mask or a pattern, but is not limited thereto.

以下、本発明の実施の形態について具体的な実施例を挙げて説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, although an example is given and explained about an embodiment of the invention, the present invention is not limited to an example.

<実施例1>
〔着色画素層および透明導電性膜層の形成〕 透明基板21としてガラス基板を用い、ガラス基板上にブラックマトリックス22を形成した。次いで、ガラス基板上に公知の顔料分散法にてR(赤)、G(緑)、B(青)からなる着色画素層23を形成した(図3(a)〜(d))。レジストの処方および作成条件は下記の条件にて形成した。
<Example 1>
[Formation of Colored Pixel Layer and Transparent Conductive Film Layer] A glass substrate was used as the transparent substrate 21, and a black matrix 22 was formed on the glass substrate. Next, a colored pixel layer 23 made of R (red), G (green), and B (blue) was formed on a glass substrate by a known pigment dispersion method (FIGS. 3A to 3D). The resist formulation and preparation conditions were formed under the following conditions.

○レジスト処方
ここでアクリル系顔料分散感光剤の組成は、以下の処方による。
A:顔料 6重量%
(内訳)
・黒色:C.I.黒色顔料7
・赤色:C.I.赤色顔料177
・緑色:C.I.緑色顔料36、黄色:C.I.黄色顔料139
・青色:C.I.青色顔料15
材料はいずれもカラーインデックス(C.I.)ナンバーにて示す。
B:以下の組成からなるアニオン性アクリル系共重合体 6重量%
・メチルメタクリレート 1重量%
・メタクリル酸 1重量%
・ヒドロキシメタクリレート 1重量%
・ブチルメタクリレート 1重量%
・シクロヘキシルアクリレート2重量%
C:多官能アクリルモノマー 6重量%
(東亞合成(株)製、商品名「アロニックスM―300」)
D:光重合開始剤 0.05重量%
(チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名「イルガキュアー907」
E:有機溶媒 82.5重量%
以上A〜Eを充分混合連肉してなる光重合型顔料分散感光剤を準備した。
Resist formulation The composition of the acrylic pigment-dispersed photosensitizer is as follows.
A: Pigment 6% by weight
(Breakdown)
Black color: C.I. I. Black pigment 7
-Red: C.I. I. Red pigment 177
-Green: C.I. I. Green pigment 36, yellow: C.I. I. Yellow pigment 139
-Blue: C.I. I. Blue pigment 15
All materials are indicated by color index (CI) numbers.
B: 6% by weight of an anionic acrylic copolymer having the following composition
・ Methyl methacrylate 1% by weight
・ Methacrylic acid 1% by weight
・ Hydroxymethacrylate 1% by weight
・ Butyl methacrylate 1% by weight
・ Cyclohexyl acrylate 2% by weight
C: Polyfunctional acrylic monomer 6% by weight
(Product name “Aronix M-300” manufactured by Toagosei Co., Ltd.)
D: 0.05% by weight of photopolymerization initiator
(Product name “Irgacure 907” manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
E: 82.5% by weight of organic solvent
A photopolymerization type pigment-dispersed photosensitizer prepared by sufficiently mixing A to E with continuous thickness was prepared.

○作成条件
着色画素層の作成条件は、下記の条件で行った。
・コート条件1000rpm、露光量100mJ/cm2 、露光ギャップ150μm、現像時間60秒、ベーク条件230℃・60分。
現像液は、無機アルカリ現像液を用いて行った。
○ Creation conditions The colored pixel layer was created under the following conditions.
・ Coating conditions 1000 rpm, exposure amount 100 mJ / cm 2 , exposure gap 150 μm, development time 60 seconds, baking conditions 230 ° C./60 minutes.
The developer was an inorganic alkali developer.

この結果、着色画素層23の膜厚はR、G、B何れも2.0μm±0.2μmであった。この時、突起を形成する部位に対応したフォトマスク上にITO(インジウムシンオキサイド)による遮光膜を形成した。ITOの透過率は、波長365nmにおいて、ITO形成が無い場合の透過率の約35%に設定した。このフォトマスクを介して、露光、現像、硬化工程を行った。線幅10μm、深さ0.5μmの形状の凹部28を形成した(図3(c)、(d))。
次に、これらが形成された基板の全面にITO膜をスパッタにより成膜を行い、透明電極24を形成した(図3(e))。
As a result, the thickness of the colored pixel layer 23 was 2.0 μm ± 0.2 μm for all of R, G, and B. At this time, a light-shielding film made of ITO (Indium Synoxide) was formed on a photomask corresponding to the part where the protrusions were formed. The transmittance of ITO was set to about 35% of the transmittance when no ITO was formed at a wavelength of 365 nm. Through this photomask, exposure, development and curing steps were performed. A concave portion 28 having a line width of 10 μm and a depth of 0.5 μm was formed (FIGS. 3C and 3D).
Next, an ITO film was formed on the entire surface of the substrate on which these were formed by sputtering to form a transparent electrode 24 (FIG. 3E).

〔液晶配向制御用突起の形成〕
次に、液晶配向制御用突起25の作製を行った。この時使用したレジストおよび作成条件は下記の条件にて形成した。
[Formation of liquid crystal alignment control protrusions]
Next, the liquid crystal alignment control protrusion 25 was produced. The resist used at this time and the preparation conditions were formed under the following conditions.

○組成物
・ポジ型レジストLC−100 90重量%
(ロームアンドハース社製、NV15%)
・赤色顔料:C.I.Pigment Red 254 2.0重量%
・青色顔料:C.I.Pigment Blue 15 1.0重量%
・分散剤(ゼネカ社製「ソルスパース20000」) 0.3重量%
・シクロヘキサノン 6.7重量%
○作成条件
・コート条件 1000rpm
・プリベーク条件 ホットプレートにて115℃・100秒
・露光 100mJ/cm2
・現像 60秒
・ベーク条件 230℃・30分
○現像液
・炭酸ナトリウム 1.5重量%
・炭酸水素ナトリウム 0.5重量%
・陰イオン系界面活性剤(花王・べりレックスNBL) 8.0重量%
・水 90重量%
この時マスクは、線幅8μmのリブパターンマスクを介し、精度良くアライメントを行い、230℃で硬膜して着色画素層23上に分割配向制御用突起27を作製した。
この230℃ベークによって、現像後に断面台形状の突起25は、加熱により若干の流動があり、形状がなだらかなになった配向制御用突起27となる。また、配向制御用突起27の下部は凹部28の形状に追従した形状となる。なお、この突起の若干の流動は、着色画素層23にあらかじめ形成される凹部28との自己整合(セルフアライン)の効果があり、アライメントを改善できる(図3(f)、(g))。
○ Composition / Positive resist LC-100 90% by weight
(Rohm and Haas, NV15%)
-Red pigment: C.I. I. Pigment Red 254 2.0% by weight
Blue pigment: C.I. I. Pigment Blue 15 1.0% by weight
・ Dispersant (“Solsperse 20000” manufactured by Zeneca) 0.3% by weight
・ Cyclohexanone 6.7% by weight
○ Creation conditions / coat conditions 1000rpm
・ Pre-baking conditions 115 ℃ at hot plate for 100 seconds ・ Exposure 100mJ / cm 2
・ Development 60 seconds ・ Bake conditions 230 ℃ ・ 30 minutes ○ Developer ・ Sodium carbonate 1.5% by weight
・ Sodium bicarbonate 0.5% by weight
・ Anionic surfactant (Kao / Berilex NBL) 8.0% by weight
・ Water 90% by weight
At this time, the mask was aligned with high accuracy through a rib pattern mask having a line width of 8 μm, and hardened at 230 ° C. to produce divided alignment control protrusions 27 on the colored pixel layer 23.
By this baking at 230 ° C., the protrusion 25 having a trapezoidal cross section after development becomes a protrusion 27 for orientation control having a gentle flow shape due to heating. In addition, the lower portion of the alignment control protrusion 27 has a shape that follows the shape of the recess 28. The slight flow of the protrusions has the effect of self-alignment (self-alignment) with the recesses 28 formed in advance in the colored pixel layer 23, and can improve alignment (FIGS. 3 (f) and 3 (g)).

この時形成された液晶分割配向制御用突起27は、最下部の着色画素層表面からの膜厚が最上部の位置で1.7μmであった。また、熱フローによって線幅は10μmであった。   The liquid crystal split alignment control protrusion 27 formed at this time had a film thickness from the surface of the lowermost colored pixel layer of 1.7 μm at the uppermost position. The line width was 10 μm due to heat flow.

<実施例2>
ポジ型レジスト(ローム・アンド・ハース社製MP−LC100)の代わりに下記成分か
らなるネガ型レジストを用いた以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を調製した。
・バインダー樹脂(丸善石油化学社製「マルカリンカーM」) 8重量%
・光重合性モノマー(東亜合成社製「アロニックスM-402」) 6重量%
・光重合開始剤 1重量%
(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製「IrgOXE01」)
・シクロヘキサノン(関東化学社製) 85重量%
これを用いて配向制御用突起を有するカラーフィルタ基板を得た。さらにこのカラーフィルタ基板を用いてMVA―LCDを作製した。
<Example 2>
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that a negative resist composed of the following components was used instead of the positive resist (MP-LC100 manufactured by Rohm and Haas).
・ Binder resin ("Maruka Linker M" manufactured by Maruzen Petrochemical Co., Ltd.) 8% by weight
・ Photopolymerizable monomer ("Aronix M-402" manufactured by Toa Gosei Co., Ltd.) 6% by weight
・ Photopolymerization initiator 1% by weight
(“IrgOXE01” manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
・ Cyclohexanone (Kanto Chemical Co., Inc.) 85% by weight
Using this, a color filter substrate having alignment control protrusions was obtained. Further, an MVA-LCD was produced using this color filter substrate.

<比較例1>
着色画素層のフォトマスクによる薄膜化(凹部形成)工程が無い以外は、実施例1と同様の感光性樹脂組成物を調製し、これを実施例1と同様の条件にて配向制御用突起を有するカラーフィルタ基板を得た。さらにこのカラーフィルタ基板を用いてMVA―LCDを作製した。
<Comparative Example 1>
A photosensitive resin composition similar to that of Example 1 was prepared except that there was no thinning (recessed part forming) step using a photomask for the colored pixel layer, and the alignment control protrusions were formed under the same conditions as in Example 1. A color filter substrate was obtained. Further, an MVA-LCD was produced using this color filter substrate.

<比較例2>
有機顔料構成比を下記の組成(顔料比5%以下)に変更した以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を調製し、これを用いて露光量を100mJ/cm2にして配向制御用突起を有するカラーフィルタ基板を得た。
<Comparative example 2>
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the organic pigment composition ratio was changed to the following composition (pigment ratio of 5% or less), and the exposure amount was adjusted to 100 mJ / cm 2 using this. A color filter substrate having alignment control protrusions was obtained.

○組成物
・ポジ型レジストLC−100 96重量%
(ロームアンドハース社製、NV15%)
・赤色顔料:C.I.Pigment Red 254 0.3重量%
・青色顔料:C.I.Pigment Blue 15 0.15重量%
・分散剤(ゼネカ社製「ソルスパース20000」 0.05重量%
・シクロヘキサノン 3.5重量%
さらにこのカラーフィルタ基板を用いてMVA―LCDを作製した。
○ Composition / Positive resist LC-100 96% by weight
(Rohm and Haas, NV15%)
-Red pigment: C.I. I. Pigment Red 254 0.3% by weight
Blue pigment: C.I. I. Pigment Blue 15 0.15% by weight
-Dispersant ("Solsperse 20000" manufactured by Zeneca) 0.05% by weight
・ Cyclohexanone 3.5% by weight
Further, an MVA-LCD was produced using this color filter substrate.

<比較例3>
有機顔料構成比を下記の組成(顔料比70%以上)に変更した以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を調製し、これを用いて露光量を100mJ/cm2にして配向制御用突起を有するカラーフィルタ基板を得た。
<Comparative Example 3>
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the organic pigment composition ratio was changed to the following composition (pigment ratio of 70% or more), and the exposure amount was adjusted to 100 mJ / cm 2 using this. A color filter substrate having alignment control protrusions was obtained.

○組成物
・ポジ型レジストLC−100 30重量%
(ロームアンドハース社製、NV15%)
・赤色顔料:C.I.Pigment Red 254 10重量%
・青色顔料:C.I.Pigment Blue 15 5重量%
・分散剤(ゼネカ社製「ソルスパース20000」 0.5重量%
・シクロヘキサノン 3.5重量%
さらにこのカラーフィルタ基板を用いてMVA―LCDを作製した。
○ Composition / Positive resist LC-100 30% by weight
(Rohm and Haas, NV15%)
-Red pigment: C.I. I. Pigment Red 254 10% by weight
Blue pigment: C.I. I. Pigment Blue 15 5% by weight
・ Dispersant ("Solsperse 20000" manufactured by Zeneca) 0.5% by weight
・ Cyclohexanone 3.5% by weight
Further, an MVA-LCD was produced using this color filter substrate.

<比較例4>
下記の顔料用いた以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を調製し、これを用いて露光量を100mJ/cm2にして配向制御用突起を有するカラーフィルタ基板を得た。この比較例4は電気特性が悪い例である。
さらにこのカラーフィルタ基板を用いてMVA―LCDを作製した。
<Comparative example 4>
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the following pigment was used, and an exposure amount was set to 100 mJ / cm 2 using this to obtain a color filter substrate having alignment control protrusions. Comparative Example 4 is an example having poor electrical characteristics.
Further, an MVA-LCD was produced using this color filter substrate.

○組成物
・ポジ型レジストLC−100 95重量%
(ロームアンドハース社製、NV15%)
・紫色顔料:C.I.Pigment Violet 23 1.0重量%
(BASF社製「パリオゲンバイオレット5890」)
・分散剤(ゼネカ社製「ソルスパース20000」 0.2重量%
・シクロヘキサノン 3.8重量%
<比較例5>
有機顔料の無いベースのポジ材(通常ポジ材)を用いた以外は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を調製し、これを用いて露光量を300mJ/cm2にして配向制御用突起を有するカラーフィルタ基板を得た。さらにこのカラーフィルタ基板を用いてMVA―LCDを作製した。
○ Composition / Positive resist LC-100 95% by weight
(Rohm and Haas, NV15%)
Purple pigment: C.I. I. Pigment Violet 23 1.0% by weight
(BASF “Paliogen Violet 5890”)
・ Dispersant ("Solsperse 20000" manufactured by Zeneca) 0.2% by weight
・ Cyclohexanone 3.8% by weight
<Comparative Example 5>
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that a base positive material without organic pigment (usually a positive material) was used, and the exposure was adjusted to 300 mJ / cm 2 using this to control orientation. A color filter substrate having protrusions for use was obtained. Further, an MVA-LCD was produced using this color filter substrate.

上記実施例1〜2、および比較例1〜5て用いた感光性樹脂組成物およびMVA−LCDの評価結果を表1に示す。なお、評価ランクはそれぞれ下記したがって判定した。   Table 1 shows the evaluation results of the photosensitive resin compositions and MVA-LCDs used in Examples 1 to 2 and Comparative Examples 1 to 5. The evaluation rank was determined according to the following.

Figure 0005023887
<誘電正接>
厚さ0.7mmのガラス板上に、アルミを一般的な真空蒸着法により電極パターンを有する金属マスクを介して厚さ150nmとなるように製膜し、電極を形成した。続いて上記実施例1〜2、および比較例1〜5にて用いた感光性樹脂組成物を約2μmの厚さになるようにスピンコートにて塗布し、80℃で10分間乾燥した後、アルミ電極上以外の不要部分を除去し、熱風乾燥機を用いて230℃で30分間加熱乾燥処理し、さらにアルミ電極を上記と同様の方法により形成して試験片を作製した。
該試験片は、10mm×10mmの正方形のアルミ電極の間に本発明の感光性樹脂組成物の硬化物が約1.5μm厚で挟まれた構造のものである。上記の試験片について、インピーダンスアナライザ((株)東陽テクニカ製 Solartron1260)により、印加電圧1V一定にてインピーダンスの実部と虚部とを測定し、30Hzにおける誘電正接の値を算出した。
Figure 0005023887
<Dielectric loss tangent>
An electrode was formed on a glass plate having a thickness of 0.7 mm by depositing aluminum to a thickness of 150 nm through a metal mask having an electrode pattern by a general vacuum deposition method. Subsequently, the photosensitive resin compositions used in Examples 1-2 and Comparative Examples 1-5 were applied by spin coating so as to have a thickness of about 2 μm, and dried at 80 ° C. for 10 minutes. Unnecessary portions other than those on the aluminum electrode were removed, heat-dried at 230 ° C. for 30 minutes using a hot air dryer, and an aluminum electrode was formed by the same method as described above to prepare a test piece.
The test piece has a structure in which a cured product of the photosensitive resin composition of the present invention is sandwiched between 10 mm × 10 mm square aluminum electrodes with a thickness of about 1.5 μm. With respect to the above test piece, an impedance analyzer (Solartron 1260 manufactured by Toyo Technica Co., Ltd.) was used to measure the real part and the imaginary part of the impedance at a constant applied voltage of 1 V, and the value of the dielectric loss tangent at 30 Hz was calculated.

<コントラスト>
比較例1にて作製したMVA−LCDに比べて、8%以上向上したものを○印、8%未満であったものを×印とした。
<Contrast>
Compared to the MVA-LCD produced in Comparative Example 1, those that were improved by 8% or more were marked with ○, and those that were less than 8% were marked with ×.

<焼きつき>
白黒のチェッカーパターンをMVA−LCDの表示領域に長時間表示させ(この時間をT0 とする)、その後表示領域全面に所定の中間調を表示させたときに残像が現れるまでに要する時間T1 を調べた。時間T1 が100時間以上であるものを○印、24時間以上100時間未満であるものを△印、24時間未満のものを×印とした。
<Burning>
A time T 1 required for an afterimage to appear when a black-and-white checker pattern is displayed on the display area of the MVA-LCD for a long time (this time is T 0 ) and then a predetermined halftone is displayed on the entire display area. I investigated. The case where the time T 1 is 100 hours or more is indicated by a circle, the case where the time T 1 is 24 hours or more and less than 100 hours is indicated by a triangle, and the case where the time T 1 is less than 24 hours is indicated by a mark.

表1に示すように、遮光材として有機顔料を適正量添加して得られる感光性樹脂組成物を調製し、これを用いて配向制御用突起を形成した実施例1〜2では、電気的特性が良好な配向制御用突起を形成することができた。またこれを用いて作製したMVA−LCDは比較例1に比べて、同じOD値を得るのに必要とする顔料濃度が下がるために、電気特性が低く、形状も良好であった。コントラストの変化量がプラス8%以上であり、焼きつきといった表示不良もない良好な特性を示すものであった。   As shown in Table 1, in Examples 1 and 2 in which a photosensitive resin composition obtained by adding an appropriate amount of an organic pigment as a light shielding material was prepared, and alignment control protrusions were formed using the composition, electrical characteristics were obtained. As a result, it was possible to form good alignment control protrusions. In addition, the MVA-LCD produced using this had lower electrical characteristics and better shape than the comparative example 1 because the pigment concentration required to obtain the same OD value was lowered. The contrast change amount was 8% or more, and good characteristics without display defects such as burn-in were exhibited.

一方、有機顔料含有率が5%よりも少ない感光性樹脂組成物を用いた比較例2では、配向制御用突起の特性は良好なものの、十分なコントラスト向上効果が得られなかった。一方、有機顔料を70%よりも多く含む感光性樹脂組成物を用いた比較例3では、透過率が
低すぎるため十分に硬化せず、パターン周囲に残渣も残るなど、良好な形状の配向制御用突起を形成することができなかった。比較例4では、配向制御用突起は形成できるものの誘電正接が0.015よりも大きく、パネル化した際に焼きつきが発生してしまった。さらに比較例5では、パターニングおよび電気特性は良好なものの、コントラストアップをすることは出来なかった。
On the other hand, in Comparative Example 2 using the photosensitive resin composition having an organic pigment content of less than 5%, the characteristics of the alignment control protrusions were good, but a sufficient contrast improvement effect was not obtained. On the other hand, in Comparative Example 3 using a photosensitive resin composition containing more than 70% of an organic pigment, the transmittance is too low so that it is not sufficiently cured and a residue is left around the pattern. Protrusions could not be formed. In Comparative Example 4, although the orientation control protrusion could be formed, the dielectric loss tangent was larger than 0.015, and burn-in occurred when the panel was formed. Further, in Comparative Example 5, although the patterning and electrical characteristics were good, the contrast could not be increased.

(a)、(b)は、MVA−LCDの動作をその断面で模式的に示した説明図である。(A), (b) is explanatory drawing which showed typically the operation | movement of MVA-LCD in the cross section. 本発明による液晶表示装置用基板の一例の断面を模式図でを示したものである。The cross section of an example of the board | substrate for liquid crystal display devices by this invention is shown by the schematic diagram. 実施例の工程説明図である。It is process explanatory drawing of an Example.

符号の説明Explanation of symbols

10・・・MVA−LCD
11・・・TFT側基板
12・・・カラーフィルター側基板
13、14・・・配向制御用突起
15・・・液晶分子
16、17・・・配向膜
21・・・透明基板
22・・・ブラックマトリックス
23・・・着色画素層
24・・・透明導電性膜層
25、27・・・配向制御用突起
26・・・配向膜
28・・・凹部
10 ... MVA-LCD
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... TFT side substrate 12 ... Color filter side substrate 13, 14 ... Alignment control protrusion 15 ... Liquid crystal molecule 16, 17 ... Alignment film 21 ... Transparent substrate 22 ... Black Matrix 23... Colored pixel layer 24... Transparent conductive film layers 25 and 27... Orientation control protrusions 26.

Claims (5)

配向制御用突起を基板片面に配設する液晶表示装置用基板において、前記配向制御用突起は有機顔料を含有する感光性樹脂組成物の硬化物として前記基板片面側に予め設けられた着色画素層中の凹部に形成され、該配向制御用突起の下部は該凹部の形状に追従した形状を有することを特徴とする液晶表示装置用基板。 In the substrate for a liquid crystal display device in which the alignment control protrusion is arranged on one side of the substrate, the alignment control protrusion is a colored pixel layer provided in advance on the one side of the substrate as a cured product of a photosensitive resin composition containing an organic pigment. A substrate for a liquid crystal display device, wherein the substrate is formed in a concave portion, and a lower portion of the alignment control protrusion has a shape following the shape of the concave portion. 前記有機顔料の含有量が、前記感光性樹脂組成物の固形分に対して5〜70重量%であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用基板。   2. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the content of the organic pigment is 5 to 70 wt% with respect to the solid content of the photosensitive resin composition. 前記配向制御用突起の誘電正接が、液晶表示装置の駆動周波数範囲で0.015以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の液晶表示装置用基板。   3. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a dielectric loss tangent of the alignment control protrusion is 0.015 or less in a driving frequency range of the liquid crystal display device. 前記配向制御用突起の膜厚1μmあたりの光学濃度が、0.2以上であることを特徴とする請求項1、請求項2、又は請求項3記載の液晶表示装置用基板。   4. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein an optical density per 1 [mu] m of film thickness of the alignment control protrusion is 0.2 or more. 前記配向制御用突起と基板片面との間に、着色画素層が設けられていることを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、又は請求項4記載の液晶表示装置用基板。   5. The substrate for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein a colored pixel layer is provided between the alignment control projection and one side of the substrate.
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