JP5022775B2 - Static eliminator - Google Patents
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Description
この発明は、帯電物体に正負のイオンを照射して電気的に中性にする除電装置に関するものである。 The present invention relates to a static eliminator that irradiates a charged object with positive and negative ions to make it electrically neutral.
従来から、半導体製造ラインや携帯電話などのセル生産工程などでは、部品帯電による静電気障害や静電吸着を防ぐため、作業台やコンベア等の近傍に除電装置が配置されている。 Conventionally, in cell production processes such as semiconductor manufacturing lines and mobile phones, static eliminators have been arranged in the vicinity of work tables, conveyors, and the like in order to prevent electrostatic damage and electrostatic adsorption due to component charging.
こうした製造現場で使用される除電装置には、正又は負の電荷が全体的或いは部分的に過剰となり、電荷が不均一な状態にある除電対象物(部品)に対し、正又は負のイオンを放出(照射)して電気的に中和するものがある。 In the static eliminator used at such a manufacturing site, positive or negative charges are entirely or partially excessive, and positive or negative ions are applied to static elimination objects (parts) in which the charges are not uniform. Some are neutralized by discharge (irradiation).
このような除電装置は、除電方式により幾つかのタイプに分類される。以下、各方式の特徴について簡単に説明する。 Such a static eliminator is classified into several types according to the static elimination method. Hereinafter, features of each method will be briefly described.
(1)AC式
1つの放電針に正弦波高電圧(周波数50/60Hz)を印加し、正負のイオンを交互に発生させるようにしたものである。1つの放電針から正負のイオンを発生させているため、イオンバランスの経時的な偏りや、空間的な偏りも少ないことが特徴である。
(1) AC type A sinusoidal high voltage (
ここで、イオンバランスとは、イオン照射後の除電対象物(被除電物)の残留電位が0ボルトからどの程度離れているか、いないかを示すもので、残留電位が定常的に0ボルトとなることが理想特性となる。 Here, the ion balance indicates how far the residual potential of the object to be neutralized (object to be neutralized) after ion irradiation is away from 0 volts, and the residual potential is constantly 0 volts. Is the ideal characteristic.
そして、イオンバランスの経時的な偏りとは、除電装置を連続運転した場合に、正負それぞれの放電針の汚れ付着や腐食、磨耗の度合いに差が生じて、残留電位に偏りが生じることをいう。 And the time-dependent bias of the ion balance means that when the static eliminator is continuously operated, a difference occurs in the degree of dirt adhesion, corrosion, and wear of the positive and negative discharge needles, and the residual potential is biased. .
また、イオンバランスの空間的な偏りとは、除電対象物にイオンを照射したときに、除電対象物の位置により残留電位に差が生じることをいう。このイオンバランスの空間的な偏りは、後述するように、除電装置から所定距離を離して規則的に配置した除電対象物にイオンを照射して、どの位置の除電対象物に残留電位があるかを測定することにより判定される。 Moreover, the spatial deviation of ion balance means that a difference occurs in the residual potential depending on the position of the charge removal object when the charge removal object is irradiated with ions. As will be described later, this ion balance is spatially biased by irradiating ions to a static elimination target regularly arranged at a predetermined distance from the static elimination device, and at which position the static elimination target has a residual potential. Is determined by measuring.
さらに、後述するイオンバランスの振幅とは、正負のイオンが照射された除電対象物の表面電位が正側、負側に周期的に変動することをいう。 Furthermore, the amplitude of ion balance described later means that the surface potential of the static elimination object irradiated with positive and negative ions periodically varies from the positive side to the negative side.
(2)DC式
正放電針と負放電針に、それぞれ正負の高電圧を印加することにより、各放電針から定常的に正負のイオンを発生させるようにしたものである。放出された正負のイオンが除電対象物に達するまでに再結合しにくく、AC式に比べてイオンを遠くまで飛ばすことができることが特徴である。
(2) DC type Positive and negative ions are steadily generated from each discharge needle by applying positive and negative high voltages to the positive discharge needle and the negative discharge needle, respectively. It is characterized in that the released positive and negative ions are less likely to recombine before reaching the object to be neutralized, and ions can be blown far as compared with the AC type.
(3)AC高周波式
1つの放電針に周波数20kHz〜70kHzの高周波電圧を印加するようにしたものである。一般的なAC式に比べて、トランスを軽く、小さくすることができるという特徴がある。
(3) AC high frequency type A high frequency voltage having a frequency of 20 kHz to 70 kHz is applied to one discharge needle. Compared to the general AC type, the transformer is lighter and smaller.
(4)パルスDC式
正放電針と負放電針に、それぞれ正負の高電圧を交互に印加することにより、各放電針から正負のイオンを交互に発生させるようにしたものである。一般的なDC式よりも、イオンバランスの経時的な偏りが改善されていることが特徴である(例えば、特許文献1参照)。
(4) Pulse DC type Positive and negative ions are alternately generated from each discharge needle by alternately applying a positive and negative high voltage to the positive discharge needle and the negative discharge needle, respectively. It is characterized in that the deviation of ion balance over time is improved compared to a general DC type (see, for example, Patent Document 1).
(5)パルスAC式
1つの放電針に矩形波の高電圧を印加するようにしたものである。一般的なAC式よりもイオン発生量を増加させることができるとともに、発振周波数を可変とすることができる点が特徴である(例えば、特許文献2参照)。
しかしながら、上述した従来の各除電方式には、それぞれ以下のような課題がある。 However, each conventional static elimination method described above has the following problems.
(1)AC式
高電圧を発生させるトランスが重く、大きくなる。この種の除電装置は、卓上、或いは吊り下げて使用されることが多く、小型軽量な除電装置とすることが望ましいが、AC式では装置を小型軽量にすることが難しい。
(1) AC type The transformer that generates high voltage is heavy and large. This type of static eliminator is often used on a desk or suspended, and is desirably a small and lightweight static eliminator, but it is difficult to reduce the size and weight of the AC type.
また、正負のイオンを交互に発生させているため、除電対象物を正負交互に帯電させていることになり、時間的に見ると、イオンバランスに振幅が生じることになる。このため、イオン照射後の残留電位を0ボルト付近に保つことが難しい。 In addition, since positive and negative ions are generated alternately, the object to be neutralized is alternately charged positively and negatively, and when viewed temporally, an amplitude is generated in the ion balance. For this reason, it is difficult to keep the residual potential after ion irradiation around 0 volts.
さらに、DC式に比べて正負イオンの発生量が少ないため、減衰時間特性の点でDC式に劣る。ここで、減衰時間特性とは、イオン照射後に除電対象物の電位が許容レベルとなるまでの時間をいう。したがって、帯電した除電対象物の電位を許容レベルに短時間で下げることができれば、減衰時間特性が優れていることになる。 Furthermore, since the generation amount of positive and negative ions is smaller than that of the DC type, it is inferior to the DC type in terms of decay time characteristics. Here, the decay time characteristic refers to the time until the potential of the charge removal object reaches an allowable level after ion irradiation. Therefore, if the potential of the charged static elimination object can be lowered to an acceptable level in a short time, the decay time characteristic is excellent.
同様に、DC式に比べて正負イオンの発生量が少ないため、除電範囲の点でもDC式に劣る。ここで、除電範囲とは、イオン照射により除電対象物の電位を許容レベルまで下げることができる空間的な範囲をいう。 Similarly, since the amount of positive and negative ions generated is smaller than that of the DC type, it is inferior to the DC type in terms of the static elimination range. Here, the static elimination range refers to a spatial range in which the potential of the static elimination object can be lowered to an allowable level by ion irradiation.
(2)DC式
連続運転した場合に、正負それぞれの放電針の汚れ付着や腐食、磨耗の度合いに差が生じるため、イオンバランスの経時的な偏りが生じる。
(2) DC type In the case of continuous operation, there is a difference in the degree of dirt adhesion, corrosion, and wear of the positive and negative discharge needles.
また、放電針の位置によって、正イオンの影響を受けやすい場所、或いは負イオンの影響を受けやすい場所が生じる。このため、このような場所に配置された除電対象物を正又は負に帯電させてしまうことになり、イオンバランスの空間的な偏りが生じることになる。 Further, depending on the position of the discharge needle, there are places that are easily affected by positive ions or places that are easily affected by negative ions. For this reason, the static elimination object arrange | positioned in such a place will be charged positively or negatively, and the spatial deviation of ion balance will arise.
(3)AC高周波式
正負のイオンの発生間隔が短いため、放出された正負のイオンが除電対象物に達するまでに再結合しやすく、イオンを遠くまで飛ばすことが難しい。また、イオンの到達量が少なくなるため、減衰時間特性も悪くなる。
(3) AC high frequency type Since the generation interval of positive and negative ions is short, it is easy to recombine before the released positive and negative ions reach the static elimination object, and it is difficult to fly the ions far. In addition, since the amount of ions that reach is reduced, the decay time characteristics also deteriorate.
(4)パルスDC式
DC式の場合と同様に、連続運転した場合には、正負それぞれの放電針の汚れ付着や腐食、磨耗の度合いに差が生じるため、イオンバランスの経時的な偏りが生じる。
(4) Pulse DC type As in the case of DC type, when continuous operation is performed, there is a difference in the degree of dirt adhesion, corrosion, and wear on the positive and negative discharge needles. .
また、汚れが付着しやすい正放電針の影響を受けやすい場所や、汚れが付着しにくい負放電針の影響を受けやすい場所ではイオンバランスの空間的な偏りが生じるため、除電対象物を正又は負に帯電させてしまうことになる。 In addition, there is a spatial bias in the ion balance in locations that are easily affected by positive discharge needles where dirt is likely to adhere, and locations that are susceptible to negative discharge needles where dirt is difficult to adhere. It will be negatively charged.
さらに、正負のイオンを交互に発生させることになるため、AC式と同様に除電対象物を正負交互に帯電させることになり、時間的に見ると、イオンバランスに振幅が生じることになる。 Furthermore, since positive and negative ions are generated alternately, the object to be neutralized is alternately charged positively and negatively in the same manner as in the AC type, and when viewed in time, an amplitude is generated in the ion balance.
(5)パルスAC式
正負のイオンを交互に発生させているため、除電対象物を正負交互に帯電させていることになり、且つAC式よりもイオン発生量が多いため、時間的に見ると、イオンバランスに振幅が生じる。
(5) Pulse AC type Since positive and negative ions are alternately generated, the static elimination target is alternately charged positively and negatively, and the amount of ions generated is larger than that of the AC type. An amplitude is generated in the ion balance.
以上説明したように、従来の除電装置では、大きさや重量、減衰時間特性、イオンバランス特性のいずれかの課題があり、これらの課題をすべて解決した除電装置は実現されていないのが現状である。 As described above, the conventional static eliminator has problems of size, weight, decay time characteristics, and ion balance characteristics, and the current situation is that no static eliminator that solves all these problems has been realized. .
この発明は、上記課題を解決するために為されたものであり、小型、軽量で、減衰時間特性やイオンバランス特性に優れた除電装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a static eliminator that is small and lightweight and has excellent decay time characteristics and ion balance characteristics.
また、この発明は、小型、軽量で、減衰時間特性やイオンバランス特性に優れていることに加えて、負荷短絡や絶縁異常などの回路の高圧出力異常を検出することのできる除電装置を提供することを目的とする。 The present invention also provides a static eliminator capable of detecting a high voltage output abnormality of a circuit, such as a load short circuit and an insulation abnormality, in addition to being small and light, excellent in decay time characteristics and ion balance characteristics. For the purpose.
この発明の請求項1に係る除電装置は、印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する2n個(nは自然数)の放電針が、所定の空間に、n個ずつ第1,第2のグループに分けて配置された放電電極と、接地された対向電極と、2系統のラインに一定期間毎に交互に生成する高周波高電圧に基づいて、前記放電電極の前記各放電針に、前記両グループどうし互いに逆極性の直流高電圧を同時に、かつ、一定期間毎に極性を反転させて印加する高電圧発生回路と、を備え、前記高電圧発生回路は、一定期間毎に交互に切り換えて入力される高周波電圧をそれぞれ昇圧する第1,第2の変圧回路と、前記第1,第2の変圧回路から一定期間毎に交互に出力される一方の高周波高電圧を、互いに極性の異なる2つの直流高電圧に変換して出力し、また、他方の高周波高電圧を、前記極性と互いに逆の2つの直流高電圧に変換して出力する極性反転回路と、を備えたことを特徴とする。
In the static eliminator according to
この発明の請求項2に係る除電装置は、請求項1に記載の除電装置において、前記放電電極は、実質的に平面上に描く矩形の頂点に1個ずつ配置された少なくとも4個の放電針で構成され、前記各放電針は、1本の対角線上に向き合って配置された2個の放電針が一方の前記グループである第1の放電電極を構成し、別の1本の対角線上に向き合って配置された別の2個の放電針が他方の前記グループである第2の放電電極を構成することを特徴とする。
Neutralization apparatus according to
この発明の請求項3に係る除電装置は、請求項1または請求項2に記載の除電装置において、前記第1,第2の変圧回路から交互に前記極性反転回路に入力される前記高周波高電圧の交互切換周波数は、10〜100Hzの範囲であることを特徴とする。
The static eliminator according to
この発明の請求項4に係る除電装置は、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の除電装置において、前記極性反転回路は、2つの互いに逆極性の前記直流高電圧を前記第1,第2の放電電極にそれぞれ出力することで、前記各放電針に前記両グループどうし互いに逆極性の直流高電圧を同時に印加し、また、前記高周波高電圧の入力が一定期間毎に交互に切り換えられることで、前記各放電針に前記両グループどうし一定期間毎に直流高電圧の極性を反転させて印加することを特徴とする。
Neutralization apparatus according to claim 4 of the present invention, in neutralization apparatus according to any one of
この発明の請求項5に係る除電装置は、請求項4に記載の除電装置において、前記極性反転回路は、前記第1の変圧回路の2次巻線の非接地側端子から前記第1の放電電極に向けて接続された、第1のコンデンサおよび順方向接続の第1のダイオードからなる第1のプラス放電用回路と、前記第1の変圧回路の2次巻線の非接地側端子から前記第2の放電電極に向けて接続された、第2のコンデンサおよび逆方向接続の第2のダイオードからなる第1のマイナス放電用回路と、前記第2の変圧回路の2次巻線の非接地側端子から前記第2の放電電極に向けて接続された、第3のコンデンサおよび順方向接続の第3のダイオードからなる第2のプラス放電用回路と、前記第2の変圧回路の2次巻線の非接地側端子から前記第1の放電電極に向けて接続された、第4のコンデンサおよび逆方向接続の第4のダイオードからなる第2のマイナス放電用回路と、を少なくとも備えたことを特徴とする。
The static eliminator according to
この発明の請求項6に係る除電装置は、請求項5に記載の除電装置において、前記極性反転回路は、前記第4のダイオードのカソードから前記第2の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて接続された、順方向接続の第5のダイオードおよび第5のコンデンサからなる第1のプラス充電回路と、前記第3のダイオードのアノードから前記第2の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて接続された、逆方向接続の第6のダイオードおよび第6のコンデンサからなる第1のマイナス充電回路と、をさらに備え、前記第1の変圧回路の通電中に、前記第1のプラス充電回路は、前記第1のプラス放電用回路の出力電圧にプラスバイアスを付与し、前記第1のマイナス充電回路は、前記第1のマイナス放電用回路の出力電圧にマイナスバイアスを付与することを特徴とする。
The static eliminator according to claim 6 of the present invention is the static eliminator according to
この発明の請求項7に係る除電装置は、請求項6に記載の除電装置において、前記極性反転回路は、前記第5,第6のコンデンサと並列に、第1,第2の抵抗がそれぞれ接続されていることを特徴とする。 The static eliminator according to claim 7 of the present invention is the static eliminator according to claim 6 , wherein the polarity inversion circuit is connected in parallel with the fifth and sixth capacitors, and the first and second resistors, respectively. It is characterized by being.
この発明の請求項8に係る除電装置は、請求項5〜請求項7のいずれか1項に記載の除電装置において、前記極性反転回路は、前記第2のダイオードのカソードから前記第1の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて接続された、順方向接続の第7のダイオードおよび第7のコンデンサからなる第2のプラス充電回路と、前記第1のダイオードのアノードから前記第1の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて接続された、逆方向接続の第8のダイオードおよび第8のコンデンサからなる第2のマイナス充電回路と、をさらに備え、前記第2の変圧回路の通電中に、前記第2のプラス充電回路は、前記第2のプラス放電用回路の出力電圧にプラスバイアスを付与し、前記第2のマイナス充電回路は、前記第2のマイナス放電用回路の出力電圧にマイナスバイアスを付与することを特徴とする。
Neutralization apparatus according to claim 8 of the present invention, the neutralization apparatus according to any one of
この発明の請求項9に係る除電装置は、請求項8に記載の除電装置において、前記極性反転回路は、前記第7,第8のコンデンサと並列に、第3,第4の抵抗がそれぞれ接続されていることを特徴とする。 The static eliminator according to claim 9 of the present invention is the static eliminator according to claim 8 , wherein the polarity inversion circuit is connected to the seventh and eighth capacitors in parallel with the third and fourth resistors, respectively. It is characterized by being.
この発明の請求項10に係る除電装置は、請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の除電装置において、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に挿入され、前記放電電極の出力異常を検出する高圧異常検出回路、をさらに備えたことを特徴とする。
この発明の請求項11に係る除電装置は、請求項6または請求項7に記載の除電装置において、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に挿入され、前記放電電極の出力異常を検出する高圧異常検出回路、をさらに備えたことを特徴とする。
この発明の請求項12に係る除電装置は、請求項8または請求項9に記載の除電装置において、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に挿入され、前記放電電極の出力異常を検出する高圧異常検出回路、をさらに備えたことを特徴とする。
The static eliminator according to claim 10 of the present invention is the static eliminator according to any one of
The static eliminator according to claim 11 of the present invention is the static eliminator according to claim 6 or 7 , wherein the static eliminator is inserted between the high-voltage ground terminal of the high-voltage generation circuit and the ground of the counter electrode. A high voltage abnormality detection circuit for detecting an output abnormality of the electrode is further provided.
A static eliminator according to claim 12 of the present invention is the static eliminator according to claim 8 or 9, wherein the static eliminator is inserted between the high-voltage ground terminal of the high-voltage generation circuit and the ground of the counter electrode, and the discharge A high voltage abnormality detection circuit for detecting an output abnormality of the electrode is further provided.
この発明の請求項13に係る除電装置は、請求項10に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に接続された異常検出用コンデンサを少なくとも備え、前記異常検出用コンデンサの前記高圧接地端子側の接続点で前記高圧異常を検出することを特徴とする。
この発明の請求項14に係る除電装置は、請求項11に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に接続された異常検出用コンデンサを少なくとも備え、前記異常検出用コンデンサの前記高圧接地端子側の接続点で前記高圧異常を検出することを特徴とする。
この発明の請求項15に係る除電装置は、請求項12に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に接続された異常検出用コンデンサを少なくとも備え、前記異常検出用コンデンサの前記高圧接地端子側の接続点で前記高圧異常を検出することを特徴とする。
The static eliminator according to claim 13 of the present invention is the static eliminator according to
According to a fourteenth aspect of the present invention, in the static eliminator according to the eleventh aspect, the high voltage abnormality detection circuit is connected between a high voltage ground terminal of the high voltage generation circuit and a ground of the counter electrode. The abnormality detection capacitor is provided at least, and the high voltage abnormality is detected at a connection point on the high voltage grounding terminal side of the abnormality detection capacitor.
According to a fifteenth aspect of the present invention, in the static eliminator according to the twelfth aspect, the high-voltage abnormality detection circuit is connected between a high-voltage ground terminal of the high-voltage generation circuit and a ground of the counter electrode. The abnormality detection capacitor is provided at least, and the high voltage abnormality is detected at a connection point on the high voltage grounding terminal side of the abnormality detection capacitor.
この発明の請求項16に係る除電装置は、請求項13に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記異常検出用コンデンサと並列に、抵抗が接続されていることを特徴とする。
この発明の請求項17に係る除電装置は、請求項14に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記異常検出用コンデンサと並列に、抵抗が接続されていることを特徴とする。
この発明の請求項18に係る除電装置は、請求項15に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記異常検出用コンデンサと並列に、抵抗が接続されていることを特徴とする。
According to a sixteenth aspect of the present invention, in the static eliminator according to the thirteenth aspect, the high-voltage abnormality detection circuit has a resistor connected in parallel with the abnormality detection capacitor.
The static eliminator according to claim 17 of the present invention is the static eliminator according to
According to an eighteenth aspect of the present invention, in the static eliminator according to the fifteenth aspect, the high-voltage abnormality detection circuit has a resistor connected in parallel with the abnormality detection capacitor.
この発明の請求項19に係る除電装置は、請求項11、請求項14または請求項17に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記第1の変圧回路の通電中に、前記第1の放電電極の出力異常が発生したとき、前記第1のコンデンサと、互いに並列な前記第4,第5のコンデンサとの直列回路の電圧を、前記第1のコンデンサと、三者が互いに並列な前記第4,第5のコンデンサおよび前記異常検出用コンデンサとの直列回路に分圧することで、前記出力異常を検出することを特徴とする。
The static eliminator according to claim 19 of the present invention is the static eliminator according to
この発明の請求項20に係る除電装置は、請求項11、請求項14または請求項17に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記第1の変圧回路の通電中に、前記第2の放電電極の出力異常が発生したとき、前記第2のコンデンサと、互いに並列な前記第3,第6のコンデンサとの直列回路の電圧を、前記第2のコンデンサと、三者が互いに並列な前記第3,第6のコンデンサおよび前記異常検出用コンデンサとの直列回路に分圧することで、前記出力異常を検出することを特徴とする。
The static eliminator according to claim 20 of the present invention is the static eliminator according to
この発明の請求項21に係る除電装置は、請求項12、請求項15または請求項18に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記第2の変圧回路の通電中に、前記第2の放電電極の出力異常が発生したとき、前記第3のコンデンサと、互いに並列な前記第2,第7のコンデンサとの直列回路の電圧を、前記第3のコンデンサと、三者が互いに並列な前記第2,第7のコンデンサおよび前記異常検出用コンデンサとの直列回路に分圧することで、前記出力異常を検出することを特徴とする。
The static eliminator according to claim 21 of the present invention is the static eliminator according to
この発明の請求項22に係る除電装置は、請求項12、請求項15または請求項18に記載の除電装置において、前記高圧異常検出回路は、前記第2の変圧回路の通電中に、前記第1の放電電極の出力異常が発生したとき、前記第4のコンデンサと、互いに並列な前記第1,第8のコンデンサとの直列回路の電圧を、前記第4のコンデンサと、三者が互いに並列な前記第1,第8のコンデンサおよび前記異常検出用コンデンサとの直列回路に分圧することで、前記出力異常を検出することを特徴とする。
The static eliminator according to claim 22 of the present invention is the static eliminator according to
この発明の請求項23に係る除電装置は、請求項1〜請求項22のいずれか1項に記載の除電装置において、前記高電圧発生回路は、直流電源回路と、前記直流電源回路の直流電圧を高周波電圧に変換して、当該高周波電圧を2系統のラインに一定期間毎に交互に切り換えて出力する出力制御回路と、をさらに備えたことを特徴とする。
Neutralization apparatus according to claim 23 of the present invention, the neutralization apparatus according to any one of
この発明の請求項24に係る除電装置は、請求項1〜請求項23のいずれか1項に記載の除電装置において、前記放電電極の前記各放電針が生成した正又は負のイオンを、装置前方へ送出する送風機をさらに備えたことを特徴とする。
Neutralization apparatus according to claim 24 of the present invention, in neutralization apparatus according to any one of
この発明の請求項25に係る除電装置は、印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する2n個(nは自然数)の放電針が、所定の空間に、n個ずつ第1,第2のグループに分けて配置された放電電極と、接地された対向電極と、2系統のラインに一定期間毎に交互に生成する高周波高電圧に基づいて、前記放電電極の前記各放電針に、前記両グループどうし互いに逆極性の直流高電圧を同時に、かつ、一定期間毎に極性を反転させて印加する高電圧発生回路と、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に挿入され、前記放電電極の出力異常を検出する高圧異常検出回路と、を備え、前記高電圧発生回路は、一定期間毎に交互に切り換えて入力される高周波電圧をそれぞれ昇圧する第1,第2の変圧回路と、前記第1,第2の変圧回路から一定期間毎に交互に出力される一方の高周波高電圧を、互いに極性の異なる2つの直流高電圧に変換して出力し、また、他方の高周波高電圧を、前記極性と互いに逆の2つの直流高電圧に変換して出力する極性反転回路と、を備えたことを特徴とする。 According to a twenty-fifth aspect of the present invention, there are provided a static eliminator having n discharge needles (n is a natural number) that generate positive or negative ions according to the polarity of an applied DC high voltage in a predetermined space. Discharge electrodes arranged in first and second groups, grounded counter electrodes, and high-frequency high voltage generated alternately every two periods in two lines, the discharge electrodes A high voltage generation circuit for applying a DC high voltage of opposite polarity to each discharge needle to each discharge needle at the same time and with the polarity reversed every predetermined period, and the high voltage ground terminal of the high voltage generation circuit opposite to the high voltage generation terminal A high voltage abnormality detection circuit that is inserted between the electrode ground and detects an output abnormality of the discharge electrode, and the high voltage generation circuit switches high frequency voltages that are alternately switched at predetermined intervals, respectively. 1st and 2nd variable to boost One high frequency high voltage alternately output from the circuit and the first and second transformer circuits at predetermined intervals is converted into two DC high voltages having different polarities and output, and the other high frequency A polarity inversion circuit that converts the high voltage into two DC high voltages opposite to the polarity and outputs the high voltage .
この発明は以上のように、一定期間毎に交互に切り換えて入力される高周波電圧をそれぞれ昇圧する第1,第2の変圧回路と、前記第1,第2の変圧回路から一定期間毎に交互に出力される一方の高周波高電圧を、互いに極性の異なる2つの直流高電圧に変換して出力し、また、他方の高周波高電圧を、前記極性と互いに逆の2つの直流高電圧に変換して出力する極性反転回路と、を備えた高電圧発生回路を備えた構成としたので、放出される正負イオンの極性が一定期間毎に反転するとともに、イオンを放出する位置も一定期間毎に切り替わるため、除電対象物の位置によって正又は負いずれか一方のイオンの影響を受けることがなく、すべての帯電プレートに正負のイオンをほぼ均等に照射することができる。したがって、イオンバランスの空間的な偏りを小さくすることができる。 As described above, according to the present invention, the first and second transformer circuits for alternately switching the input high-frequency voltage every predetermined period and the first and second transformer circuits are alternately arranged every predetermined period. One of the high frequency high voltages output to is converted into two DC high voltages having different polarities and output, and the other high frequency high voltage is converted into two DC high voltages opposite to the polarities. a polarity reversing circuit for outputting Te, since a structure having a high voltage generating circuitry having a along with the polarity of the emitted positive and negative ions is inverted every predetermined period, also at regular intervals the position of releasing ions Since the switching is performed, positive or negative ions can be irradiated almost uniformly on all the charged plates without being affected by either positive or negative ions depending on the position of the static elimination object. Therefore, Ru can be reduced spatial deviation of ion balance.
また、この発明は、高電圧発生回路の高圧接地端子と対向電極の接地との間に挿入され、放電電極と前記対向電極との間の絶縁異常発生時にこれを検出する高圧異常検出回路を備えた構成としたので、負荷短絡や絶縁異常などの回路の高圧出力異常を検出することができる。 Further, the present invention is inserted between the ground of the high-voltage ground terminal and the pair counter electrode of the high voltage generating circuit, the high-pressure abnormality detection times to detect this when the insulation abnormality between the discharge DENDEN electrode and the counter electrode since a structure that includes the road, it is possible to detect the high voltage output abnormality of the circuit, such as a load short-circuit or insulation abnormalities.
この発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、この発明による除電装置の一実施形態を示す全体構成図、図2は放電電極の構成を示す説明図である。 FIG. 1 is an overall configuration diagram showing an embodiment of a static eliminator according to the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing a configuration of a discharge electrode.
図1に示すように、この除電装置1は、高電圧発生回路10、放電電極20、送風機30、ストリーマコロナパルス検知電極40、ストリーマコロナパルス信号検知装置50およびガード電極60を備えている。また、符号80は除電対象物である。
As shown in FIG. 1, the
高電圧発生回路10は、放電電極20に対して、一定期間毎に交互に極性の異なる直流高電圧を同時に印加する回路である。高電圧発生回路10の構成については後述する。
The high
放電電極20は、第1の放電電極21と、第2の放電電極22とで構成される。また、放電電極20は、印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する2n個(nは自然数)の放電針が、所定の空間に、n個ずつ第1,第2のグループに分けて配置されたものである。
The
すなわち、放電電極20は、図2に示すように、実質的に平面上に描く矩形(例えば正方形)の頂点に1個ずつ配置された少なくとも4個の放電針21a,21b,22a,22bで構成される。各放電針21a,21b,22a,22bは、1本の対角線上に向き合って配置された2個の放電針21a,21bが、一方のグループである第1の放電電極21を構成し、別の1本の対角線上に向き合って配置された別の2個の放電針22a,22bが、他方のグループである第2の放電電極22を構成する。
That is, as shown in FIG. 2, the
各放電針21a〜22bは、正極性の直流高電圧が印加されたときには正イオンを出力し、負極性の直流高電圧が印加されたときには負イオンを出力するものである。高電圧発生回路10から供給された直流高電圧が放電針21a〜22bに印加されると、放電針21a〜22bとガード電極60との間でコロナ放電が発生して、正イオン及び負イオンが出力される。この放電電極21,22には、高電圧発生回路10から一定期間毎に交互に極性の異なる直流高電圧が供給される。
Each of the discharge needles 21a to 22b outputs positive ions when a positive DC high voltage is applied, and outputs negative ions when a negative DC high voltage is applied. When a DC high voltage supplied from the high
各放電針21a〜22bは、図2に示すように、先端が中心方向に向くように4箇所に配置されている。このうち、先端が対向する放電針同士が同極性のイオンを出力する電極対(グループ)となる。すなわち、放電針21a,21bが第1グループとなり、放電針22a,22bが第2グループとなる。そして、一方のグループが正イオンを出力する間、他方のグループでは負イオンを同時に出力し、また一方のグループが負イオンを出力する間、他方のグループでは正イオンを同時に出力する。
As shown in FIG. 2, each
例えば、図2(a)に示すように、期間Aでは、第1グループの放電針21a,21bが正イオンを出力し、第2グループの放電針22a,22bが負イオンを出力する。また、図2(b)に示すように、次の期間Bでは、第1グループの放電針21a,21bが負イオンを出力し、第2グループの放電針22a,22bが正イオンを出力する。以下同様にして、各グループは一定期間毎に上記期間Aの出力と期間Bの出力とを交互に繰り返す。 For example, as shown in FIG. 2A, in period A, the first group of discharge needles 21a and 21b outputs positive ions, and the second group of discharge needles 22a and 22b outputs negative ions. As shown in FIG. 2B, in the next period B, the first group of discharge needles 21a and 21b outputs negative ions, and the second group of discharge needles 22a and 22b outputs positive ions. Similarly, each group repeats the output of period A and the output of period B alternately at regular intervals.
図2(a),(b)に示すように、対向する放電針に常に同極性の電圧を印加することで、イオンバランス特性を向上させることができる。しかし、対向する放電針に常に異極性の電圧を印加するようにしてもよい。また、放電針の数は、4個に限らず、2n個(nは自然数)であればよい。 As shown in FIGS. 2A and 2B, the ion balance characteristics can be improved by always applying a voltage having the same polarity to the opposing discharge needles. However, a voltage of a different polarity may always be applied to the opposing discharge needle. Further, the number of discharge needles is not limited to four, and may be 2n (n is a natural number).
また、放電電極20の各放電針21a,21b,22a,22bは、図1に示すように、送風機30の送風方向(図で左から右方向)に対してほぼ直角に配置されている。第1グループの放電針21a(21b)と第2グループの放電針22b(22a)との異極性放電針の極間距離Kは、空間的なイオンバランスの性能と使用時の装置本体と除電対象物80との距離Lにより決定される。一例として、L=150mm〜600mmの範囲では、K=40mm〜120mm程度が好適な範囲となる。
Moreover, as shown in FIG. 1, each discharge needle |
送風機30は、放電電極20の風上側に配置され、図示しないファンをモータで回転させることにより送風を行うものである。この送風によって、放電電極20から出力された正イオン及び負イオンは除電対象物80に向けて搬送されることになる。
The
ストリーマコロナパルス検知電極40は、送風機30と放電電極20との間に配置され、放電電極20のコロナ放電による放電電流を検知して、検知した放電電流に応じたパルス信号(検知信号)を出力する。
The streamer corona
ストリーマコロナパルス信号検知装置50は、ストリーマコロナパルス検知電極40から出力されたパルス信号に基づいて、コロナ放電の放電状態が正常であるか否かを判断する。すなわち、ストリーマコロナパルス放電が発生している場合には、コロナ放電による放電電流が短時間で大きく変化する(極めて急峻に変化する)ので、検知した放電電流に応じたパルス信号が所定のレベルを超えているときは、コロナ放電の異常と判定することができる。
The streamer corona pulse
一般に、コロナ放電の異常は放電針の汚れ付着により発生頻度が増加することが知られている。このため、コロナ放電の異常を検知する装置を備えることにより、放電針の清掃時期を正確に知ることができるので、メンテナンスを確実に行うことができる。 In general, it is known that the frequency of occurrence of abnormal corona discharge increases due to contamination of the discharge needle. For this reason, by providing a device for detecting an abnormality of corona discharge, it is possible to accurately know the cleaning time of the discharge needle, so that maintenance can be reliably performed.
ガード電極60は、作業者の指などが高電圧が印加されている放電針に触れないようにするためのものであり、放電電極20と除電対象物80との間に配置される。ガード電極60は接地電位(大地)に接続されており、各放電針21a,21b,22a,22bの対向電極としても機能する。ガード電極60は、誘導による除電対象物80の電圧変動を少なくするため、金属等の導体で形成されることが望ましい。
The
また、ガード電極60の構造は、リング状の金属電極を同心円に配置したものなどが用いられるが、この例に限らず、作業者の指などが入らないだけの間隔で、且つイオンの通過が容易となるような間隔が確保されていればよい。
The
さらに、ガード電極60は、放電針との間が距離M(M<極間距離K)となるように配置することが望ましい。放電電極20でコロナ放電が始まると、各放電針21a,21b,22a,22b間の電位差よりもガード電極−放電針間の電位差の方が大きいので、発生した正負イオンはガード電極60に向かって飛ぶ。このとき、ガード電極60があると正負イオンが捕らえられるため、減衰時間特性は若干低下する。しかし、ガード電極60を設けることにより、イオンバランスの振幅を大幅に軽減することができる。
Furthermore, it is desirable that the
次に、高電圧発生回路10の構成について説明する。図3は、高電圧発生回路の構成を示すブロック図である。
Next, the configuration of the high
高電圧発生回路10は、放電電極20の各放電針(第1グループの放電針21a,21bおよび第2グループの放電針22a,22b)に、両グループどうし互いに逆極性の直流高電圧を同時に、かつ、一定期間毎に極性を反転させて印加するものである。
The high
図3に示すように、高電圧発生回路10は、DC電源回路11、出力制御回路12、変圧回路13および極性反転回路14を備えている。
As shown in FIG. 3, the high
DC電源回路11は、図示しない交流電源(AC100V)に接続され、交流電圧を直流電圧(DC12V)に変換して出力するものである。
The DC
出力制御回路12は、DC電源回路11から出力された直流電圧を可聴周波数を上回る高周波電圧(20kHz〜)に変換するとともに、この高周波電圧を2系統の出力ラインに一定期間毎に交互に切り換えて出力するものである。
The
この2系統の出力の交互切換周波数は、10〜100Hzの範囲である。例えば、出力の交互切換周波数を50Hzとした場合、一周期は0.02sとなるため、その半周期である0.01sが上記の一定期間となる。 The alternate switching frequency of the two systems of outputs is in the range of 10 to 100 Hz. For example, when the alternate switching frequency of the output is 50 Hz, one cycle is 0.02 s, so 0.01 s that is a half cycle is the above-described fixed period.
このように、出力制御回路12により高周波電圧を2系統の出力ラインに交互に出力する際の交互切換周波数を10〜100Hzの範囲とすることで、各グループの放電針(第1グループの放電針21a,21bおよび第2グループの放電針22a,22b)から出力される正負イオンの極性も、この交互切換周波数で規定される一定期間毎に反転することになる。
Thus, by setting the alternate switching frequency when the high-frequency voltage is alternately output to the two output lines by the
これにより、正負イオンの発生間隔を長くとることができるため、AC高周波式除電装置に比べて、放出された正負イオンが除電対象物に達するまでに再結合しにくくなり、イオンを遠くまで飛ばすことができる。 As a result, the generation interval of positive and negative ions can be increased, so that compared to the AC high frequency static eliminator, the released positive and negative ions are less likely to recombine before reaching the static elimination target, and the ions are blown far away. Can do.
変圧回路13は、可聴周波数を上回る(20kHz〜)発振周波数に対応した高周波巻線トランス又は圧電トランスで構成され、出力制御回路12から出力された高周波電圧を昇圧し、高周波高電圧として出力するものである。
The
変圧回路13は、トランスL1(第1の変圧回路),L2(第2の変圧回路)で構成され、このトランスL1,L2から高周波高電圧が一定期間毎に交互に出力される。変圧回路13の出力側は極性反転回路14と2系統の出力ラインで接続され、トランスL1,L2から出力された高周波高電圧は、各出力ラインから極性反転回路14に交互に入力される。
The
可聴周波数を上回る(20kHz〜)発振周波数に対応した高周波巻線トランス又は圧電トランスにより変圧回路13を構成しているため、AC式除電装置に比べて装置を小型軽量に構成することができる。
Since the
極性反転回路14は、変圧回路13から一定期間毎に交互に入力された高周波高電圧を、同一期間に互いに極性の異なる矩形波の2つの直流高電圧に変換し、この2つの直流高電圧の極性を一定期間毎に反転させて、放電電極20の両グループ(第1,第2の放電電極21,22)に出力するものである。
The
すなわち、正極性の直流高電圧を第1の放電電極21(第1グループの放電針21a,21b)に出力するときは、同時に、負極性の直流高電圧を第2の放電電極22(第2グループの放電針22a,22b)に出力し、また、負極性の直流高電圧を第1の放電電極21(第1グループの放電針21a,21b)に出力するときは、同時に、正極性の直流高電圧を第2の放電電極22(第2グループの放電針22a,22b)に出力する。
That is, when a positive DC high voltage is output to the first discharge electrode 21 (first group discharge needles 21a and 21b), a negative DC high voltage is simultaneously applied to the second discharge electrode 22 (
第1の放電電極21(第1グループの放電針21a,21b)および第2の放電電極22(第2グループの放電針22a,22b)に対して、互いに極性の異なる矩形波の2つの直流高電圧を印加することで、AC式除電装置に比べて正負イオンの発生量を多くすることができる。このため、帯電した除電対象物の電位を許容レベルに短時間で下げることができ、減衰時間特性を向上させることができる。また、正負イオンの発生量が少ないAC式除電装置に比べて除電範囲を広げることが可能となる。 For the first discharge electrode 21 (the first group of discharge needles 21a and 21b) and the second discharge electrode 22 (the second group of discharge needles 22a and 22b), two DC high currents of rectangular waves having different polarities are used. By applying the voltage, the amount of positive and negative ions generated can be increased as compared with the AC type static eliminator. For this reason, the electric potential of the charged static elimination object can be lowered to an allowable level in a short time, and the decay time characteristic can be improved. In addition, the static elimination range can be expanded as compared with an AC static elimination device that generates less positive and negative ions.
次に、極性反転回路14の構成と動作について説明する。図4は、極性反転回路の構成を変圧回路とともに示す回路図である。
Next, the configuration and operation of the
図4に示すように、極性反転回路14は、ダイオードD1〜D8、コンデンサC1〜C8、抵抗R1〜R4からなる整流回路により構成される。この整流回路には、トランスL1,L2から、入力A,入力Bで示すような高周波高電圧が所定時間毎に交互に供給される。整流回路では、入力された高周波高電圧を整流して直流高電圧とし、出力A,出力Bで示す出力を出力端から出力する。
As shown in FIG. 4, the
トランスL1から入力Aが供給されると(この期間、入力Bはゼロ)、この入力Aは整流回路で整流された後、出力Aには正極性の電圧が、また出力Bには負極性の電圧がそれぞれ出力される。また次の期間において、トランスL2から入力Bが供給されると(この期間、入力Aはゼロ)、この入力Bは整流回路で整流された後、出力Aには負極性の電圧が、また出力Bには正極性の電圧がそれぞれ出力される。 When the input A is supplied from the transformer L1 (the input B is zero during this period), the input A is rectified by the rectifier circuit, and then the output A has a positive voltage and the output B has a negative polarity. Each voltage is output. In the next period, when the input B is supplied from the transformer L2 (in this period, the input A is zero), the input B is rectified by a rectifier circuit, and then a negative voltage is output to the output A. A positive voltage is output to B.
このように、トランスL1,L2から一定期間毎に交互に入力A,Bの高周波高電圧が供給されると、極性反転回路14では、入力された高周波高電圧が整流・平滑化されるとともに、各周期毎に極性が反転されて出力A,Bに出力される。そして、出力Aには第1の放電電極21の放電針21a,21bが接続され、出力Bには第2の放電電極22の放電針22a,22bが接続されているため、各放電電極21,22から出力されるイオンの極性は一定期間毎に反転することになる。
As described above, when the high frequency high voltages of the inputs A and B are alternately supplied from the transformers L1 and L2 at regular intervals, the
すなわち、図2(a)に示すように、期間Aでは、第1の放電電極21の放電針21a,21bからは正イオンが出力され、同時に、第2の放電電極22の放電針22a,22bからは負イオンが出力される。また、図2(b)に示すように、次の期間Bでは、第1の放電電極21の放電針21a,21bからは負イオンが出力され、同時に、第2の放電電極22の放電針22a,22bからは正イオンが出力される。そして、各放電電極21,22から出力されるイオンの極性は一定期間毎に反転されるので、各放電電極21,22の放電針からは一定期間毎に異なる極性のイオンが出力されることになる。
That is, as shown in FIG. 2A, in the period A, positive ions are output from the discharge needles 21a and 21b of the
極性反転回路14の構成と動作について、さらに詳細に説明する。
The configuration and operation of the
図4に示すように、極性反転回路14は、トランスL1(第1の変圧回路)の2次巻線の非接地側端子と第1の放電電極21との間に、第1のコンデンサC1と順方向接続の第1のダイオードD1との直列回路からなる第1のプラス放電用回路が接続されている。
As shown in FIG. 4, the
また、トランスL1(第1の変圧回路)の2次巻線の非接地側端子と第2の放電電極22との間に、第2のコンデンサC2と逆方向接続の第2のダイオードD2との直列回路からなる第1のマイナス放電用回路が接続されている。
Further, between the non-ground side terminal of the secondary winding of the transformer L1 (first transformer circuit) and the
また、トランスL2(第2の変圧回路)の2次巻線の非接地側端子と第2の放電電極22との間に、第3のコンデンサC3と順方向接続の第3のダイオードD3との直列回路からなる第2のプラス放電用回路が接続されている。
Further, between the non-ground side terminal of the secondary winding of the transformer L2 (second transformer circuit) and the
また、トランスL2(第2の変圧回路)の2次巻線の非接地側端子と第1の放電電極21との間に、第4のコンデンサC4と逆方向接続の第4のダイオードD4との直列回路からなる第2のマイナス放電用回路が接続されている。
Further, between the non-ground side terminal of the secondary winding of the transformer L2 (second transformer circuit) and the
極性反転回路14はまた、第4のダイオードD4のカソードとトランスL2(第2の変圧回路)の2次巻線の接地側端子との間に、順方向接続の第5のダイオードD5と第5のコンデンサC5との直列回路からなる第1のプラス充電回路が接続されている。第5のコンデンサC5には、第1の抵抗R1が並列接続されている。
The
また、第3のダイオードD3のアノードとトランスL2(第2の変圧回路)の2次巻線の接地側端子との間に、逆方向接続の第6のダイオードD6と第6のコンデンサC6との直列回路からなる第1のマイナス充電回路が接続されている。第6のコンデンサC6には、第2の抵抗R2が並列接続されている。 Between the anode of the third diode D3 and the ground side terminal of the secondary winding of the transformer L2 (second transformer circuit), a sixth diode D6 and a sixth capacitor C6 connected in the reverse direction are connected. A first negative charging circuit composed of a series circuit is connected. A second resistor R2 is connected in parallel to the sixth capacitor C6.
そして、トランスL1(第1の変圧回路)の通電中に、第1のプラス充電回路は、第1のプラス放電用回路の出力電圧にプラスバイアスを付与する一方、第1のマイナス充電回路は、第1のマイナス放電用回路の出力電圧にマイナスバイアスを付与する。 While the transformer L1 (first transformer circuit) is energized, the first positive charging circuit applies a positive bias to the output voltage of the first positive discharging circuit, while the first negative charging circuit is A minus bias is applied to the output voltage of the first minus discharge circuit.
トランスL1(第1の変圧回路)の通電中に、第1のプラス充電回路がこのプラスバイアスを付与することで、第1のプラス放電用回路の出力A、すなわち第1の放電電極21の放電針21a,21bには、正極性の電圧が出力される。
While the transformer L1 (first transformer circuit) is energized, the first positive charging circuit applies this positive bias, so that the output A of the first positive discharging circuit, that is, the discharge of the
また、トランスL1(第1の変圧回路)の通電中に、第1のマイナス充電回路がこのマイナスバイアスを付与することで、第1のマイナス放電用回路の出力B、すなわち第2の放電電極22の放電針22a,22bには、負極性の電圧が出力される。
Further, the first negative charging circuit applies this negative bias while the transformer L1 (first transformer circuit) is energized, so that the output B of the first negative discharging circuit, that is, the
極性反転回路14はまた、第2のダイオードD2のカソードとトランスL1(第1の変圧回路)の2次巻線の接地側端子との間に、順方向接続の第7のダイオードD7と第7のコンデンサC7との直列回路からなる第2のプラス充電回路が接続されている。第7のコンデンサC7には、第3の抵抗R3が並列接続されている。
The
また、第1のダイオードD1のアノードとトランスL1(第1の変圧回路)の2次巻線の接地側端子との間に、逆方向接続の第8のダイオードD8と第8のコンデンサC8との直列回路からなる第2のマイナス充電回路が接続されている。第8のコンデンサC8には、第4の抵抗R4が並列接続されている。 Between the anode of the first diode D1 and the ground side terminal of the secondary winding of the transformer L1 (first transformer circuit), an eighth diode D8 and an eighth capacitor C8 connected in the reverse direction are connected. A second negative charging circuit composed of a series circuit is connected. A fourth resistor R4 is connected in parallel to the eighth capacitor C8.
そして、トランスL2(第2の変圧回路)の通電中に、第2のプラス充電回路は、第2のプラス放電用回路の出力電圧にプラスバイアスを付与する一方、第2のマイナス充電回路は、第2のマイナス放電用回路の出力電圧にマイナスバイアスを付与する。 While the transformer L2 (second transformer circuit) is energized, the second positive charging circuit applies a positive bias to the output voltage of the second positive discharging circuit, while the second negative charging circuit is A minus bias is applied to the output voltage of the second minus discharge circuit.
トランスL2(第2の変圧回路)の通電中に、第2のプラス充電回路がこのプラスバイアスを付与することで、第2のプラス放電用回路の出力B、すなわち第2の放電電極22の放電針22a,22bには、正極性の電圧が出力される。
While the transformer L2 (second transformer circuit) is energized, the second positive charging circuit applies this positive bias, whereby the output B of the second positive discharging circuit, that is, the discharge of the
また、トランスL2(第2の変圧回路)の通電中に、第2のマイナス充電回路がこのマイナスバイアスを付与することで、第2のマイナス放電用回路の出力A、すなわち第1の放電電極21の放電針21a,21bには、負極性の電圧が出力される。
The second negative charging circuit applies this negative bias while the transformer L2 (second transformer circuit) is energized, so that the output A of the second negative discharge circuit, that is, the
また、この除電装置1は、図4に示すように、高電圧発生回路10の高圧接地端子と対向電極(ガード電極)60の接地との間に挿入された高圧異常検出回路70を備えている。
Further, as shown in FIG. 4, the
高圧異常検出回路70は、放電電極21,22の出力異常を検出することで、例えば、負荷短絡や、放電電極21,22と対向電極60との間の絶縁異常などに起因して発生する回路の高圧出力異常を検出するものである。
The high voltage
高圧異常検出回路70は、高電圧発生回路10の高圧接地端子と対向電極(ガード電極)60の接地との間に接続された異常検出用コンデンサC0を備え、異常検出用コンデンサC0の高圧接地端子側の接続点で高圧異常を検出するものであり、異常検出用コンデンサC0には抵抗R0が並列接続されている。
The high voltage
高圧異常検出回路70は、トランスL1(第1の変圧回路)の通電中に、第1の放電電極21と対向電極60との間の絶縁異常など、第1の放電電極21の出力異常が発生したとき、第1のコンデンサC1と、互いに並列な第4,第5のコンデンサC4,C5との直列回路の電圧を、第1のコンデンサC1と、三者が互いに並列な第4,第5のコンデンサC4,C5および異常検出用コンデンサC0との直列回路に分圧することで、出力異常を検出する(図5(b)プラス出力期間参照)。
The high voltage
また、高圧異常検出回路70は、トランスL2(第2の変圧回路)の通電中に、第1の放電電極21と対向電極60との間の絶縁異常など、第1の放電電極21の出力異常が発生したとき、第4のコンデンサC4と、互いに並列な第1,第8のコンデンサC1,C8との直列回路の電圧を、第4のコンデンサC4と、三者が互いに並列な第1,第8のコンデンサC1,C8および異常検出用コンデンサC0との直列回路に分圧することで、出力異常を検出する(図5(b)マイナス出力期間参照)。
Further, the high voltage
また、高圧異常検出回路70は、トランスL1(第1の変圧回路)の通電中に、第2の放電電極22と対向電極60との間の絶縁異常など、第2の放電電極22の出力異常が発生したとき、第2のコンデンサC2と、互いに並列な第3,第6のコンデンサC3,C6との直列回路の電圧を、第2のコンデンサC2と、三者が互いに並列な第3,第6のコンデンサC3,C6および異常検出用コンデンサC0との直列回路に分圧することで、出力異常を検出する(図5(b)マイナス出力期間参照)。
Further, the high voltage
また、高圧異常検出回路70は、トランスL2(第2の変圧回路)の通電中に、第2の放電電極22と対向電極60との間の絶縁異常など、第2の放電電極22の出力異常が発生したとき、第3のコンデンサC3と、互いに並列な第2,第7のコンデンサC2,C7との直列回路の電圧を、第3のコンデンサC3と、三者が互いに並列な第2,第7のコンデンサC2,C7および異常検出用コンデンサC0との直列回路に分圧することで、出力異常を検出する(図5(b)プラス出力期間参照)。
The high voltage
そのため、異常検出用コンデンサC0の容量は、他のコンデンサC1〜C8の容量に比べて、例えば100倍以上大きく設定されることが好ましい。 Therefore, the capacity of the abnormality detection capacitor C0 is preferably set to be 100 times or more larger than the capacity of the other capacitors C1 to C8, for example.
図5は、高圧異常検出回路70による(a)出力正常時および(b)出力異常時の検出出力を示すグラフである。図5(a)に示すように、放電電極21,22の出力が正常なときは、高圧異常検出回路70による検出出力は、プラスマイナス約1V(ボルト)の範囲に収まっている。
FIG. 5 is a graph showing the detection output when the output is normal and (b) when the output is abnormal by the high voltage
これに対し、放電電極21,22と対向電極60との間の絶縁異常など、放電電極21,22の出力異常が発生したときは、図5(b)に示すように、高圧異常検出回路70による検出出力は、プラス約10V(ボルト)〜マイナス約15V(ボルト)の範囲で大きく振れる。
On the other hand, when an output abnormality of the
すなわち、放電電極21,22の出力異常発生時には、プラス電極側でプラス約10V(ボルト)まで上昇する一方、マイナス電極側でマイナス約15V(ボルト)まで下降する。そのため、例えば、プラス3V(ボルト)や、マイナス5V(ボルト)など、適宜のレベルに閾値を設定することで、回路の高圧異常を確実に検出することができる。
That is, when an output abnormality of the
以上説明したように、この除電装置1は、可聴周波数を上回る(20kHz〜)発振周波数に対応した高周波巻線トランス又は圧電トランスにより変圧回路を構成したため、AC式除電装置に比べて装置を小型軽量にすることができる。
As described above, the
また、放電電極20の第1及び第2グループに対して互いに極性の異なる矩形波の2つの直流高電圧を印加するため、AC式除電装置に比べて正負イオンの発生量を多くすることができ、減衰時間特性を向上させることができる。同様の理由から、AC式除電装置に比べて除電範囲を広げることができる。
Further, since two DC high voltages of rectangular waves having different polarities are applied to the first and second groups of the
また、除電装置1は、2つのグループに分かれた放電針から同一期間に正負のイオンを同時に発生させるとともに、各グループから出力されるイオンの極性を一定期間毎に反転させるようにしたため、放出される正負イオンの極性が一定期間毎に反転するとともに、イオンを放出する位置も一定期間毎に切り替わることになる。
In addition, the
これにより、同一期間において正負イオンが同時に発生することになるため、帯電プレート表面における正負のイオン量がほぼ同じとなる。したがって、電位の中和が促進されて、帯電プレート表面の残留電位を小さくすることができる。この結果、イオンバランスの振幅をゼロに近づけることができるとともに、振幅の偏りも少なくすることができる。 As a result, positive and negative ions are generated at the same time in the same period, so that the amount of positive and negative ions on the charged plate surface is substantially the same. Accordingly, neutralization of the potential is promoted, and the residual potential on the charged plate surface can be reduced. As a result, the amplitude of the ion balance can be brought close to zero and the amplitude deviation can be reduced.
また、除電装置1は、放出される正負イオンの極性が一定期間毎に反転するとともに、イオンを放出する位置も一定期間毎に切り替わるため、除電対象物の位置によって正又は負いずれか一方のイオンの影響を受けることがなく、すべての帯電プレートに正負のイオンをほぼ均等に照射することができる。したがって、イオンバランスの空間的な偏りを小さくすることができる。
Moreover, since the polarity of the positive / negative ion discharge | released reverses every fixed period and the position which discharge | releases ion switches for every fixed period, the
また、除電装置1は、各グループの放電針から放出される正負イオンの極性を一定期間毎に反転させるため、連続運転した場合でも、それぞれの放電針の汚れ付着及び腐食、磨耗の度合いはほぼ均等となる。このため、放電針ごとの残留電位の偏りが生じることがなく、イオンバランスの経時的な偏りを少なくすることができる。
In addition, since the
また、除電装置1は、高周波電圧を2系統の出力ラインに交互に出力する際の交互切換周波数を10〜100Hzの範囲としているため、正負イオンの発生間隔を長くすることができる。このため、AC高周波式除電装置に比べて、放出された正負イオンが除電対象物に達するまでに再結合しにくくなり、イオンを遠くまで飛ばすことができる。
Moreover, since the
また、除電装置1は、送風機30と放電電極20との間に、コロナ放電によるパルス信号を検知するストリーマパルス検知手段として、ストリーマコロナパルス検知電極40とストリーマコロナパルス信号検知装置50とを設けているため、放電針の清掃時期を正確に知ることができるようになり、メンテナンスを確実に行うことができる。
Further, the
また、除電装置1は、放電電極20と除電対象物80との間にガード電極60を設けているため、イオンバランスの振幅を大幅に軽減することができる。
Moreover, since the
1 除電装置
10 高電圧発生回路
11 DC電源回路
12 出力制御回路
13 変圧回路
L1 トランス(第1の変圧回路)
L2 トランス(第2の変圧回路)
14 極性反転回路
20 放電電極
21 第1の放電電極
22 第2の放電電極
21a,21b 第1グループの放電針
22a,22b 第2グループの放電針
30 送風機
40 ストリーマコロナパルス検知電極
50 ストリーマコロナパルス信号検知装置
60 ガード電極(対向電極)
70 高圧異常検出回路
80 除電対象物
DESCRIPTION OF
L2 transformer (second transformer circuit)
DESCRIPTION OF
70 High voltage
Claims (25)
接地された対向電極と、
2系統のラインに一定期間毎に交互に生成する高周波高電圧に基づいて、前記放電電極の前記各放電針に、前記両グループどうし互いに逆極性の直流高電圧を同時に、かつ、一定期間毎に極性を反転させて印加する高電圧発生回路と、
を備え、
前記高電圧発生回路は、
一定期間毎に交互に切り換えて入力される高周波電圧をそれぞれ昇圧する第1,第2の変圧回路と、
前記第1,第2の変圧回路から一定期間毎に交互に出力される一方の高周波高電圧を、互いに極性の異なる2つの直流高電圧に変換して出力し、また、他方の高周波高電圧を、前記極性と互いに逆の2つの直流高電圧に変換して出力する極性反転回路と、
を備えた、
ことを特徴とする除電装置。 2n (n is a natural number) discharge needles that generate positive or negative ions according to the polarity of the applied DC high voltage are arranged in a predetermined space in n and 1 groups respectively. Discharged electrode,
A grounded counter electrode;
Based on the high-frequency high voltage generated alternately every two periods on the two lines, each group of the discharge needles of the discharge electrode is simultaneously supplied with a DC high voltage of opposite polarity to each other and at regular intervals. A high voltage generation circuit that applies the polarity reversed, and
Equipped with a,
The high voltage generation circuit includes:
A first and a second transformer circuit for respectively boosting a high-frequency voltage that is alternately switched every fixed period;
One high frequency high voltage alternately output from the first and second transformer circuits every predetermined period is converted into two DC high voltages having different polarities, and the other high frequency high voltage is output. , A polarity inversion circuit that converts and outputs two DC high voltages that are opposite to the polarity;
With,
A static eliminator characterized by that.
前記放電電極は、実質的に平面上に描く矩形の頂点に1個ずつ配置された少なくとも4個の放電針で構成され、
前記各放電針は、1本の対角線上に向き合って配置された2個の放電針が一方の前記グループである第1の放電電極を構成し、別の1本の対角線上に向き合って配置された別の2個の放電針が他方の前記グループである第2の放電電極を構成する、
ことを特徴とする除電装置。 The static eliminator according to claim 1,
The discharge electrode is composed of at least four discharge needles arranged one by one at a vertex of a rectangle drawn substantially on a plane,
In each of the discharge needles, two discharge needles arranged to face one diagonal line constitute a first discharge electrode that is one of the groups, and are arranged to face another diagonal line. Another two discharge needles constitute the second discharge electrode of the other group ,
Dividing collector you wherein a.
前記第1,第2の変圧回路から交互に前記極性反転回路に入力される前記高周波高電圧の交互切換周波数は、10〜100Hzの範囲である、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of Claim 1 or Claim 2,
The first, alternating switching frequency of the high frequency high voltage input to the second transformer circuit or al Alternating the polarity reversal circuit is in the range of 10-100 Hz,
Dividing collector you wherein a.
前記極性反転回路は、2つの互いに逆極性の前記直流高電圧を前記第1,第2の放電電極にそれぞれ出力することで、前記各放電針に前記両グループどうし互いに逆極性の直流高電圧を同時に印加し、また、前記高周波高電圧の入力が一定期間毎に交互に切り換えられることで、前記各放電針に前記両グループどうし一定期間毎に直流高電圧の極性を反転させて印加する、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of any one of Claims 1-3,
The polarity inversion circuit outputs two DC high voltages having opposite polarities to the first and second discharge electrodes, respectively, so that each group has a DC high voltage having opposite polarities between the two groups. Applied simultaneously, and the high frequency high voltage input is alternately switched every predetermined period, so that the polarity of the DC high voltage is reversed and applied to each discharge needle every predetermined period,
Dividing collector you wherein a.
前記極性反転回路は、
前記第1の変圧回路の2次巻線の非接地側端子から前記第1の放電電極に向けて接続された、第1のコンデンサおよび順方向接続の第1のダイオードからなる第1のプラス放電用回路と、
前記第1の変圧回路の2次巻線の非接地側端子から前記第2の放電電極に向けて接続された、第2のコンデンサおよび逆方向接続の第2のダイオードからなる第1のマイナス放電用回路と、
前記第2の変圧回路の2次巻線の非接地側端子から前記第2の放電電極に向けて接続された、第3のコンデンサおよび順方向接続の第3のダイオードからなる第2のプラス放電用回路と、
前記第2の変圧回路の2次巻線の非接地側端子から前記第1の放電電極に向けて接続された、第4のコンデンサおよび逆方向接続の第4のダイオードからなる第2のマイナス放電用回路と、
を少なくとも備えた、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of Claim 4,
The polarity inversion circuit is
A first positive discharge comprising a first capacitor and a forward-connected first diode connected from the non-ground side terminal of the secondary winding of the first transformer circuit to the first discharge electrode Circuit for
A first negative discharge comprising a second capacitor and a reverse-connected second diode connected from the non-ground side terminal of the secondary winding of the first transformer circuit to the second discharge electrode Circuit for
A second positive discharge comprising a third capacitor and a forward-connected third diode connected from the non-ground side terminal of the secondary winding of the second transformer circuit to the second discharge electrode Circuit for
A second negative discharge comprising a fourth capacitor and a reverse-connected fourth diode connected from the non-ground side terminal of the secondary winding of the second transformer circuit to the first discharge electrode. Circuit for
With at least
Dividing collector you wherein a.
前記極性反転回路は、
前記第4のダイオードのカソードから前記第2の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて接続された、順方向接続の第5のダイオードおよび第5のコンデンサからなる第1のプラス充電回路と、
前記第3のダイオードのアノードから前記第2の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて接続された、逆方向接続の第6のダイオードおよび第6のコンデンサからなる第1のマイナス充電回路と、
をさらに備え、
前記第1の変圧回路の通電中に、前記第1のプラス充電回路は、前記第1のプラス放電用回路の出力電圧にプラスバイアスを付与し、前記第1のマイナス充電回路は、前記第1のマイナス放電用回路の出力電圧にマイナスバイアスを付与する、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of Claim 5,
The polarity inversion circuit is
The connected thereto towards Ke to the secondary winding of the grounding-side terminal of the fourth of said second transformer circuit from the cathode of the diode, the first consisting of the fifth diode and the fifth capacitor connected forward Plus charging circuit,
Said third diode connected from the anode toward Ke in the secondary winding of the grounding-side terminal of the second transformer circuit, reverse connection sixth diode and the sixth first consisting of capacitors Minus charging circuit,
Further comprising a,
During energization of the first transformer circuit, the first positive charging circuit applies a positive bias to the output voltage of the first positive discharging circuit, and the first negative charging circuit includes the first negative charging circuit. Apply a negative bias to the output voltage of the negative discharge circuit.
Dividing collector you wherein a.
前記極性反転回路は、前記第5,第6のコンデンサと並列に、第1,第2の抵抗がそれぞれ接続されている、
ことを特徴とする除電装置。 The static eliminator according to claim 6,
The polarity reversal circuit, the fifth, in parallel with the sixth capacitor, first and second resistors are connected,
Dividing collector you wherein a.
前記極性反転回路は、
前記第2のダイオードのカソードから前記第1の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて接続された、順方向接続の第7のダイオードおよび第7のコンデンサからなる第2のプラス充電回路と、
前記第1のダイオードのアノードから前記第1の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて接続された、逆方向接続の第8のダイオードおよび第8のコンデンサからなる第2のマイナス充電回路と、
をさらに備え、
前記第2の変圧回路の通電中に、前記第2のプラス充電回路は、前記第2のプラス放電用回路の出力電圧にプラスバイアスを付与し、前記第2のマイナス充電回路は、前記第2のマイナス放電用回路の出力電圧にマイナスバイアスを付与する、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of any one of Claims 5-7,
The polarity inversion circuit is
Second positive charge comprising a forward-connected seventh diode and a seventh capacitor connected from the cathode of the second diode toward the ground side terminal of the secondary winding of the first transformer circuit Circuit,
Second negative charge composed of an eighth diode and an eighth capacitor connected in reverse direction, connected from the anode of the first diode to the ground terminal of the secondary winding of the first transformer circuit. Circuit,
Further comprising
During energization of the second transformer circuit, the second positive charging circuit applies a positive bias to the output voltage of the second positive discharging circuit, and the second negative charging circuit Apply a negative bias to the output voltage of the negative discharge circuit.
Dividing collector you wherein a.
前記極性反転回路は、前記第7,第8のコンデンサと並列に、第3,第4の抵抗がそれぞれ接続されている、
ことを特徴とする除電装置。 The static eliminator according to claim 8,
The polarity reversal circuit, in parallel with the seventh capacitor of the eighth, third, fourth resistor are connected,
Dividing collector you wherein a.
前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に挿入され、前記放電電極の出力異常を検出する高圧異常検出回路、をさらに備えた、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of any one of Claims 1-5,
A high voltage abnormality detection circuit that is inserted between the high voltage grounding terminal of the high voltage generation circuit and the ground of the counter electrode, and detects an output abnormality of the discharge electrode;
Dividing collector you wherein a.
前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に挿入され、前記放電電極の出力異常を検出する高圧異常検出回路、をさらに備えた、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of Claim 6 or Claim 7,
A high voltage abnormality detection circuit that is inserted between the high voltage grounding terminal of the high voltage generation circuit and the ground of the counter electrode, and detects an output abnormality of the discharge electrode ;
Dividing collector you wherein a.
前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に挿入され、前記放電電極の出力異常を検出する高圧異常検出回路、をさらに備えた、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of Claim 8 or Claim 9,
A high voltage abnormality detection circuit that is inserted between the high voltage grounding terminal of the high voltage generation circuit and the ground of the counter electrode, and detects an output abnormality of the discharge electrode ;
Dividing collector you wherein a.
前記高圧異常検出回路は、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に接続された異常検出用コンデンサを少なくとも備え、
前記異常検出用コンデンサの前記高圧接地端子側の接続点で前記高圧異常を検出する、
ことを特徴とする除電装置。 The static eliminator according to claim 10,
The high voltage abnormality detection circuit includes at least an abnormality detection capacitor connected between a high voltage ground terminal of the high voltage generation circuit and the ground of the counter electrode ,
Detecting the high voltage abnormality at a connection point on the high voltage grounding terminal side of the abnormality detecting capacitor;
Dividing collector you wherein a.
前記高圧異常検出回路は、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に接続された異常検出用コンデンサを少なくとも備え、
前記異常検出用コンデンサの前記高圧接地端子側の接続点で前記高圧異常を検出する、
ことを特徴とする除電装置。 The static eliminator according to claim 11,
The high voltage abnormality detection circuit includes at least an abnormality detection capacitor connected between a high voltage ground terminal of the high voltage generation circuit and the ground of the counter electrode ,
Detecting the high voltage abnormality at a connection point on the high voltage grounding terminal side of the abnormality detecting capacitor ;
Dividing collector you wherein a.
前記高圧異常検出回路は、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に接続された異常検出用コンデンサを少なくとも備え、
前記異常検出用コンデンサの前記高圧接地端子側の接続点で前記高圧異常を検出する、
ことを特徴とする除電装置。 The static eliminator according to claim 12,
The high voltage abnormality detection circuit includes at least an abnormality detection capacitor connected between a high voltage ground terminal of the high voltage generation circuit and the ground of the counter electrode ,
Detecting the high voltage abnormality at a connection point on the high voltage grounding terminal side of the abnormality detecting capacitor ;
Dividing collector you wherein a.
前記高圧異常検出回路は、前記異常検出用コンデンサと並列に、抵抗が接続されている、
ことを特徴とする除電装置。 The static eliminator according to claim 13,
The high-pressure abnormality detection circuit, in parallel with the front Symbol abnormality detection capacitor, resistor are connected,
Dividing collector you wherein a.
前記高圧異常検出回路は、前記異常検出用コンデンサと並列に、抵抗が接続されている、
ことを特徴とする除電装置。 The static eliminator according to claim 14,
The high-pressure abnormality detection circuit, in parallel with the front Symbol abnormality detection capacitor, resistor are connected,
Dividing collector you wherein a.
前記高圧異常検出回路は、前記異常検出用コンデンサと並列に、抵抗が接続されている、
ことを特徴とする除電装置。 The static eliminator according to claim 15,
In the high voltage abnormality detection circuit , a resistor is connected in parallel with the abnormality detection capacitor.
Dividing collector you wherein a.
前記高圧異常検出回路は、前記第1の変圧回路の通電中に、前記第1の放電電極の出力異常が発生したとき、前記第1のコンデンサと、互いに並列な前記第4,第5のコンデンサとの直列回路の電圧を、前記第1のコンデンサと、三者が互いに並列な前記第4,第5のコンデンサおよび前記異常検出用コンデンサとの直列回路に分圧することで、前記出力異常を検出する、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of Claim 11, Claim 14, or Claim 17,
The high voltage abnormality detection circuit includes the first capacitor and the fourth and fifth capacitors parallel to each other when an output abnormality of the first discharge electrode occurs while the first transformer circuit is energized. The output abnormality is detected by dividing the voltage of the series circuit with the first capacitor and the series circuit of the fourth capacitor, the fifth capacitor, and the abnormality detecting capacitor in parallel with each other. To
Dividing collector you wherein a.
前記高圧異常検出回路は、前記第1の変圧回路の通電中に、前記第2の放電電極の出力異常が発生したとき、前記第2のコンデンサと、互いに並列な前記第3,第6のコンデンサとの直列回路の電圧を、前記第2のコンデンサと、三者が互いに並列な前記第3,第6のコンデンサおよび前記異常検出用コンデンサとの直列回路に分圧することで、前記出力異常を検出する、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of Claim 11, Claim 14, or Claim 17,
When the output abnormality of the second discharge electrode occurs while the first transformer circuit is energized, the high-voltage abnormality detection circuit and the third and sixth capacitors in parallel with the second capacitor The output abnormality is detected by dividing the voltage of the series circuit to the series circuit of the second capacitor and the third and sixth capacitors in parallel with each other and the abnormality detecting capacitor. To
A static eliminator characterized by that.
前記高圧異常検出回路は、前記第2の変圧回路の通電中に、前記第2の放電電極の出力異常が発生したとき、前記第3のコンデンサと、互いに並列な前記第2,第7のコンデンサとの直列回路の電圧を、前記第3のコンデンサと、三者が互いに並列な前記第2,第7のコンデンサおよび前記異常検出用コンデンサとの直列回路に分圧することで、前記出力異常を検出する、When the output abnormality of the second discharge electrode occurs during energization of the second transformer circuit, the high-voltage abnormality detection circuit and the second capacitor and the seventh capacitor parallel to each other when the output abnormality of the second discharge electrode occurs. The output abnormality is detected by dividing the voltage of the series circuit with the third capacitor into a series circuit of the third capacitor and the second and seventh capacitors in parallel with each other and the abnormality detecting capacitor. To
ことを特徴とする除電装置。A static eliminator characterized by that.
前記高圧異常検出回路は、前記第2の変圧回路の通電中に、前記第1の放電電極の出力異常が発生したとき、前記第4のコンデンサと、互いに並列な前記第1,第8のコンデンサとの直列回路の電圧を、前記第4のコンデンサと、三者が互いに並列な前記第1,第8のコンデンサおよび前記異常検出用コンデンサとの直列回路に分圧することで、前記出力異常を検出する、The high voltage abnormality detection circuit includes the fourth capacitor and the first and eighth capacitors parallel to each other when an output abnormality of the first discharge electrode occurs while the second transformer circuit is energized. The output abnormality is detected by dividing the voltage of the series circuit with the fourth capacitor into a series circuit of the first capacitor, the eighth capacitor and the abnormality detecting capacitor in parallel with each other. To
ことを特徴とする除電装置。A static eliminator characterized by that.
前記高電圧発生回路は、The high voltage generation circuit includes:
直流電源回路と、A DC power supply circuit;
前記直流電源回路の直流電圧を高周波電圧に変換して、当該高周波電圧を2系統のラインに一定期間毎に交互に切り換えて出力する出力制御回路と、An output control circuit that converts a DC voltage of the DC power supply circuit into a high-frequency voltage, and alternately switches the high-frequency voltage to two lines for every predetermined period;
をさらに備えた、Further equipped with,
ことを特徴とする除電装置。A static eliminator characterized by that.
前記放電電極の前記各放電針が生成した正又は負のイオンを、装置前方へ送出する送風機をさらに備えた、
ことを特徴とする除電装置。 In the static elimination apparatus of any one of Claims 1-23,
The apparatus further comprises a blower that sends positive or negative ions generated by the discharge needles of the discharge electrode to the front of the apparatus.
Dividing collector you wherein a.
接地された対向電極と、A grounded counter electrode;
2系統のラインに一定期間毎に交互に生成する高周波高電圧に基づいて、前記放電電極の前記各放電針に、前記両グループどうし互いに逆極性の直流高電圧を同時に、かつ、一定期間毎に極性を反転させて印加する高電圧発生回路と、Based on the high-frequency high voltage generated alternately every two periods on the two lines, each group of the discharge needles of the discharge electrode is simultaneously supplied with a DC high voltage of opposite polarity to each other and at regular intervals. A high voltage generation circuit that applies the polarity reversed, and
前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に挿入され、前記放電電極の出力異常を検出する高圧異常検出回路と、A high voltage abnormality detection circuit that is inserted between the high voltage ground terminal of the high voltage generation circuit and the ground of the counter electrode, and detects an output abnormality of the discharge electrode;
を備え、With
前記高電圧発生回路は、The high voltage generation circuit includes:
一定期間毎に交互に切り換えて入力される高周波電圧をそれぞれ昇圧する第1,第2の変圧回路と、A first and a second transformer circuit for respectively boosting a high-frequency voltage that is alternately switched every fixed period;
前記第1,第2の変圧回路から一定期間毎に交互に出力される一方の高周波高電圧を、互いに極性の異なる2つの直流高電圧に変換して出力し、また、他方の高周波高電圧を、前記極性と互いに逆の2つの直流高電圧に変換して出力する極性反転回路と、One high frequency high voltage alternately output from the first and second transformer circuits every predetermined period is converted into two DC high voltages having different polarities, and the other high frequency high voltage is output. , A polarity inversion circuit that converts and outputs two DC high voltages that are opposite to the polarity;
を備えた、With
ことを特徴とする除電装置。A static eliminator characterized by that.
Priority Applications (4)
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