JP5021722B2 - 多層カプセルを備える圧電アクチュエータおよび多層カプセルの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、圧電アクチュエータの多層カプセルの製造方法、ならびに多層カプセルを備える圧電アクチュエータに関する。
近年、圧電セラミックアクチュエータ、または短縮して圧電アクチュエータへの需要が、例えば自動車工業における最新のディーゼル噴射システムでますます使用されることにより急激に増加している。この需要は同様に圧電アクチュエータの開発も促進している。多くの新しい噴射構造ないしインジェクタ構造では、圧電アクチュエータが完全にディーゼル燃料により包囲される。噴射装置のこの形式の構造は「ウェットデザイン」とも称される。
上記課題は、独立請求項1による圧電アクチュエータの多層カプセルの製造方法によって、ならびに独立請求項12による多層カプセルを備える圧電アクチュエータによって解決される。本発明のさらなる改善形態および利点は、以下の説明、図面、および従属請求項から明らかである。
b)金属層を前記エラスティック層に取り付け、前記金属層が前記エラスティック層を平坦に覆うようにするステップ。
本発明の有利な実施形態を以下、添付図面に基づいて詳細に説明する。図面は、圧電アクチュエータを概略的に断面で示すものであり、この圧電アクチュエータは多層カプセルの有利な実施形態をその側面に有する。
圧電アクチュエータ5の保護カバーへの高い要求を、燃料高圧下でもまたは他の周囲媒体による負荷の下でも満たすために、圧電アクチュエータ5には多層カプセル1が設けられている。
Claims (8)
- 圧電アクチュエータ(5)の多層カプセル(1)の製造方法であって、付加的なハウジング状の固体カバー構造体を備えずに外部に対して保護された圧電アクチュエータ(5)の製造方法において、
以下のステップを有する:
a)エラスティック層(10)を圧電アクチュエータ(5)の表面(20)に取り付けるステップ、
ただし前記エラスティック層(10)はその長手方向または積層方向(30)に対して平行に延在しており、
b)金属層(40)を前記エラスティック層(10)に取り付け、前記金属層が前記電気絶縁性のエラスティック層(10)を平坦に覆うようにするステップ、
c)別の電気絶縁性エラスティック層(50)を前記金属層(40)に取り付けるステップ、
d)別の金属層(60)を前記別の電気絶縁性エラスティック層(50)に取り付けるステップ、
このとき、前記別の電気絶縁性エラスティック層(50)および前記別の金属層(60)は、前記エラスティック層(10)と前記金属層(40)の上に取り付けられ、または複数の別のエラスティック層と別の金属層(50,60)が、前記多層カプセル(1)の上に交互に取り付けられて配置され、
前記多層カプセル(1)は、複数のエラスティック層(10,50)と複数の金属層(40,60)からなり、
これにより前記圧電アクチュエータ(5)から前記多層カプセル(1)の最外側の金属層まで、材料密度および延性能力についての機械的特性が徐々に変化することが保証される、ことを特徴とする製造方法。 - 請求項1記載の製造方法であって、
前記電気絶縁性エラスティック層(10)はプラスチック層またはポリマー層である製造方法。 - 請求項1または2記載の製造方法であって、
前記電気絶縁性エラスティック層(10)は、シリコンエラストマ、ポリウレタン、ポリイミドまたはエポキシドからなる製造方法。 - 請求項1から3までのいずれか一項記載の製造方法であって、
金属を非導電性の表面に析出することにより前記金属層(40)を作製するステップをさらに有する製造方法。 - 請求項1から4までのいずれか一項記載の製造方法であって、
前記金属層は、活性酸素によるコロナ放電アクティベート法によって作製される製造方法。 - 請求項1から5までのいずれか一項記載の製造方法であって、
前記金属層(40)は、物理的気相析出法(PVD法)によって作製される製造方法。 - 請求項6記載の製造方法であって、
前記金属層(40)の厚さを、電解被覆方法により増大するステップをさらに有する製造方法。 - 多層カプセル(1)を備える圧電アクチュエータ(5)であって、付加的なハウジング状の固体カバー構造体を備えずに外部に対して保護された多層圧電アクチュエータ(5)において、
a.圧電アクチュエータ(5)と、
b. 前記圧電アクチュエータ(5)の表面(20)上にある電気絶縁性エラスティック層(10)と、
ただし前記エラスティック層(10)はその長手方向または積層方向(30)に対して平行に延在しており、
c. 前記絶縁性エラスティック層(10)の上にある金属層(40)と、
ただし前記金属層は、前記電気絶縁性エラスティック層(10)を平坦に覆い、
d. 前記金属層(40)の上にある別の電気絶縁性エラスティック層(50)と、
e. 前記別の電気絶縁性エラスティック層(50)の上にある別の金属層(60)とを有し、
前記別の電気絶縁性エラスティック層(50)および前記別の金属層(60)は、前記エラスティック層(10)と前記金属層(40)の上に取り付けられており、
複数の別のエラスティック層と別の金属層(50,60)が、前記多層カプセル(1)の上に交互に取り付けられて配置されており、
前記多層カプセル(1)は、複数のエラスティック層(10,50)と複数の金属層(40,60)からなり、
これにより前記圧電アクチュエータ(5)から前記多層カプセル(1)の最外側の金属層まで、材料密度および延性能力についての機械的特性が徐々に変化することが保証される、ことを特徴とする多層カプセルを備える圧電アクチュエータ。
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