JP5020730B2 - Liquid discharge head - Google Patents

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JP5020730B2 JP2007185540A JP2007185540A JP5020730B2 JP 5020730 B2 JP5020730 B2 JP 5020730B2 JP 2007185540 A JP2007185540 A JP 2007185540A JP 2007185540 A JP2007185540 A JP 2007185540A JP 5020730 B2 JP5020730 B2 JP 5020730B2
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Description

本発明は、インクジェット方式で液滴を吐出して記録媒体に記録を行う液体吐出ヘッドに関する。   The present invention relates to a liquid ejection head that performs recording on a recording medium by ejecting droplets by an inkjet method.

近年、数多くの記録装置が使用されるようになり、これらの記録装置に対して、高速記録、高解像度、高画像品質、低騒音などが要求されている。このような要求に応える記録装置として、インクジェット装置が挙げられる。   In recent years, many recording apparatuses have been used, and these recording apparatuses are required to have high-speed recording, high resolution, high image quality, low noise, and the like. An ink jet apparatus is an example of a recording apparatus that meets such a requirement.

インクジェット方式において電気熱変換素子を用いるインク吐出方法は、吐出エネルギー発生素子を配設するためのスペースを大きく確保する必要がなく、記録ヘッドの構造が簡素で、ノズルの集積化が容易であること等の利点がある。一方、このインク吐出方法の固有の問題としては、電気熱変換素子が発生する熱等が記録ヘッド内に蓄熱されることによって、飛翔するインク滴の体積が変動することや、消泡によって生じるキャビテーションが電気熱変換素子に及ぼす悪影響があった。また、このインク吐出方法には、インク内に溶け込んだ空気が記録ヘッド内の残留気泡になることで、インク滴の吐出特性や画像品質に及ぼす悪影響があった。   The ink discharge method using an electrothermal conversion element in the inkjet method does not require a large space for disposing the discharge energy generating element, has a simple printhead structure, and facilitates nozzle integration. There are advantages such as. On the other hand, problems inherent to this ink ejection method include cavitation caused by fluctuations in the volume of flying ink droplets due to the heat generated by the electrothermal conversion element being stored in the recording head, and defoaming. Had an adverse effect on the electrothermal conversion element. In addition, this ink ejection method has an adverse effect on ink ejection characteristics and image quality because air dissolved in the ink becomes residual bubbles in the recording head.

これらの問題を解決する方法としては、特許文献1、2、3、4に、インクジェット記録方法及び記録ヘッドが開示されている。   As methods for solving these problems, Patent Documents 1, 2, 3, and 4 disclose an ink jet recording method and a recording head.

このインクジェット記録方法を採用することで、飛翔するインク滴の体積の安定化を図り、微少量のインク滴を高速に吐出することが可能になる。また、このインクジェット記録方法を採用することで、気泡の消泡時に発生するキャビテーションを解消して、ヒータの耐久性の向上を図ることが可能となり、更なる高精細画像が容易に得られるようになる。上述した公報において、気泡を外気に連通させるための構成としては、インクに気泡を発生させる電気熱変換素子と、インクが吐出される開口である吐出口との間の最短距離を、従来に比して大幅に短くする構成が挙げられている。   By adopting this ink jet recording method, it is possible to stabilize the volume of the flying ink droplets and discharge a small amount of ink droplets at high speed. In addition, by adopting this ink jet recording method, it becomes possible to eliminate cavitation that occurs when bubbles are defoamed and to improve the durability of the heater, so that further high-definition images can be easily obtained. Become. In the above-mentioned publication, as a configuration for communicating bubbles with the outside air, the shortest distance between the electrothermal conversion element that generates bubbles in the ink and the discharge port that is an opening through which the ink is discharged is compared with the conventional one. Therefore, a configuration that greatly shortens is mentioned.

一方、この種の記録方法では、粒状性を目立たなくするために、従来のインクジェット記録装置では、色の薄いインクと濃いインクをそれぞれ吐出する2列のノズル列が設けられる構成が提案されている。   On the other hand, in this type of recording method, in order to make the granularity inconspicuous, a conventional inkjet recording apparatus has been proposed in which two nozzle rows for ejecting light ink and dark ink are provided. .

しかしながら、上述のように色の薄いインクと濃いインクをそれぞれ吐出するためには、それぞれのインク用のインクタンクが必要なるため、製造コストの増加につながる。この問題を回避するために、インク滴のサイズが異なる複数種のノズルが設けられ、画像の明部から中間部分を比較的小さいインク滴で記録ドットを形成し、中間調部分から暗部までを比較的大きいインク滴で記録ドットを形成するような記録方法が提案されている。   However, in order to discharge light ink and dark ink respectively as described above, an ink tank for each ink is required, leading to an increase in manufacturing cost. In order to avoid this problem, multiple types of nozzles with different ink droplet sizes are provided, recording dots are formed with relatively small ink droplets from the bright part of the image to the intermediate part, and the halftone part to the dark part are compared. A recording method has been proposed in which a recording dot is formed with a relatively large ink droplet.

しかしながら、記録ドット径が異なる複数の吐出口を配置した場合、また更なる小液滴化を目指したとき、ノズル列方向の解像度を変えない場合、液滴が小さいため、所望の吐出量を打ち込むことができなくなる。記録ヘッドの走査方向の解像度を上げて打ち込み量を増やす方法もあるが、この場合には、吐出周波数を上げる、または記録速度を遅くする必要がある。また、記録ヘッドの走査数を増やし、マルチパスによって打ち込み吐出量を増やす方法も提案されているが、これも走査数の増加に伴い記録速度を遅くしなければならない。そのために、小液滴化に伴いノズル列の解像度を上げる必要があるが、これにも限界がある。一般に小液滴化すると効率が悪くなるのは周知の事実であり、あるところで、ノズル解像度に対するヒータサイズの比率が非常に大きくなり、ヒータに配線を通すことが困難になり、最後にはヒータを一列に並べることができなくなる。これはヒータに限らず、インクを供給する流路についても同様である。   However, when a plurality of ejection openings with different recording dot diameters are arranged, or when aiming for further droplet reduction, if the resolution in the nozzle row direction is not changed, the droplets are small, so a desired ejection amount is injected. I can't do that. There is a method of increasing the ejection amount by increasing the resolution in the scanning direction of the recording head, but in this case, it is necessary to increase the ejection frequency or to decrease the recording speed. Also, a method has been proposed in which the number of scans of the recording head is increased and the ejection amount is increased by multipass. However, this also requires a decrease in recording speed as the number of scans increases. For this reason, it is necessary to increase the resolution of the nozzle array as the droplet size is reduced, but this also has a limit. In general, it is a well-known fact that the efficiency decreases when the droplet size is reduced. At some point, the ratio of the heater size to the nozzle resolution becomes very large, making it difficult to pass the wiring through the heater. It becomes impossible to arrange in a line. This applies not only to the heater but also to the flow path for supplying ink.

そのため、図12に示すように、ヒータ4000を千鳥状に交互にずらして並べる構成が知られている。この構成の場合、ヒータ4000の位置によって、ドット径が異なるノズルを配置しても良いし、ヒータ4000の位置にかかわらずに同じドット径のものを配置しても良い。
特開昭54−161935号公報 特開昭61−185455号公報 特開昭61−249768号公報 特開平04−10941号公報
Therefore, as shown in FIG. 12, a configuration is known in which the heaters 4000 are alternately staggered and arranged. In the case of this configuration, nozzles having different dot diameters may be arranged depending on the position of the heater 4000, or nozzles having the same dot diameter may be arranged regardless of the position of the heater 4000.
JP 54-161935 A JP-A 61-185455 JP 61-249768 A Japanese Patent Laid-Open No. 04-10941

図12に示した高解像度のノズル列における例を示す。図12を参照して、ノズルの寸法を詳細に説明する。隣接する各ノズルにおける、インク供給口5000の長手方向に平行な方向のピッチが42.5μmピッチ(600dpi)で、このピッチのノズル列が千鳥状に交互にずらして配置されており、ヒータ4000の外形寸法が13μm×26μmである。この構成の場合は、インク供給口5000からの距離が相対的に小さい第1の吐出口1000に対応するノズル(短いノズル)の圧力室2000がある。このため、製造上の理由からノズル壁の厚さは8μm程度に形成され、長いノズルは、インク供給路3000の狭い部分におけるインク供給口5000の長辺方向に平行な幅寸法が10μm程度に形成されている。   The example in the high resolution nozzle row shown in FIG. 12 is shown. The nozzle dimensions will be described in detail with reference to FIG. In each adjacent nozzle, the pitch in the direction parallel to the longitudinal direction of the ink supply port 5000 is 42.5 μm pitch (600 dpi), and nozzle rows of this pitch are alternately arranged in a staggered manner. The external dimensions are 13 μm × 26 μm. In the case of this configuration, there is a pressure chamber 2000 of a nozzle (short nozzle) corresponding to the first ejection port 1000 whose distance from the ink supply port 5000 is relatively small. For this reason, the thickness of the nozzle wall is formed to about 8 μm for manufacturing reasons, and the long nozzle is formed to have a width dimension parallel to the long side direction of the ink supply port 5000 in the narrow part of the ink supply path 3000 of about 10 μm. Has been.

しかしながら、この構成においても問題がある。第1の問題として、長いノズルのヒータ4000が短いノズルよりもインク供給口5000から遠くに配置されているので、短ノズルのヒータ4000を長方形化してインク供給路3000を長く確保しても、充分なリフィル周波数が得られないという問題がある。   However, there are also problems with this configuration. As a first problem, since the long nozzle heater 4000 is arranged farther from the ink supply port 5000 than the short nozzle, it is sufficient even if the short nozzle heater 4000 is rectangular and the ink supply path 3000 is kept long. There is a problem that a refill frequency cannot be obtained.

第2の問題は、このような長方形のヒータ4000を用いることによって、圧力室2000奥側にインクが流動しにくいデッドゾーンが生じるため、このデッドゾーンに気泡が溜まりやすく、吐出動作が不安定になりやすいことが知られている。この吐出動作の不安定性の問題は、液滴が数pl程度の小液滴化になればなるほど、顕著化することが知られている。   The second problem is that by using such a rectangular heater 4000, a dead zone in which ink does not flow easily is generated on the back side of the pressure chamber 2000. Therefore, bubbles are easily accumulated in the dead zone, and the discharge operation becomes unstable. It is known to be easy to become. It is known that the problem of the instability of the discharge operation becomes more prominent as the droplet becomes a small droplet of about several pl.

第3の問題は、複数のノズルを有するノズル部の面積の増加に伴う製造コストの上昇である。現在、ヒータが配置された基板は半導体基板であって、チップ面積が大きくなるほど、1つのウェハーから得られる個数が減り、製造コストがかさんでしまう。この場合、ヒータが長方形になるため、長いノズルのヒータがインク供給口から更に遠くに配置され、その分のノズル部の面積が増大し、ノズル基板が大きくなることによって製造コストが増加してしまう。   The third problem is an increase in manufacturing cost accompanying an increase in the area of the nozzle portion having a plurality of nozzles. At present, the substrate on which the heater is disposed is a semiconductor substrate, and as the chip area increases, the number obtained from one wafer decreases and the manufacturing cost increases. In this case, since the heater has a rectangular shape, a heater with a long nozzle is arranged farther from the ink supply port, and the area of the nozzle portion increases correspondingly, and the manufacturing cost increases due to the enlarged nozzle substrate. .

これらの問題を解決するために、長いノズルのヒータを正方形に形成するといった提案もされている。   In order to solve these problems, proposals have been made to form a long nozzle heater in a square shape.

しかし、このように短いノズルと長いノズルとでヒータの形状を異ならせた構成では、ヒータ抵抗がそれぞれ異なるので、駆動通電時間(駆動パルス幅)を一定にした場合、複数の駆動電源を備えるか、変圧用の回路を設ける必要がある。このため、第4の問題として、電源の製造コストがかさむ不都合が生じていた。   However, in such a configuration in which the shape of the heater is different between the short nozzle and the long nozzle, the heater resistance is different, so if the drive energization time (drive pulse width) is constant, is there a plurality of drive power supplies? It is necessary to provide a transformer circuit. For this reason, as a fourth problem, there is a disadvantage that the manufacturing cost of the power source is increased.

さらには、駆動パルス幅をそれぞれ変える手法もあるが、駆動パルスが、記録速度から許容される時間内に入らなかったり、長パルスによる発泡効率が悪くなったりするだけでなく、熱流束が変化することによる吐出の不安定などの問題も発生していた。これは、液滴が数pl程度の小液滴化になればなるほど吐出不安定性の問題は顕著化することが知られている。   In addition, there is a method to change the drive pulse width, but the drive pulse does not fall within the time allowed from the recording speed, the foaming efficiency due to the long pulse is deteriorated, and the heat flux changes. There was also a problem such as instability of discharge. It is known that the problem of ejection instability becomes more prominent as the droplet size becomes smaller than several pl.

そこで、本発明は、チップコストを増加させることなく、また駆動電源による製造コストの増加や長パルスによる発泡効率の悪化や吐出動作を不安定化することなく、高画質を実現する高解像度ノズルを有する液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。また、本発明は、ノズル列の更なる小液滴化を実現することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention provides a high-resolution nozzle that realizes high image quality without increasing the chip cost, without increasing the manufacturing cost due to the drive power supply, deteriorating the foaming efficiency due to long pulses, or destabilizing the discharge operation. An object of the present invention is to provide a liquid discharge head having the above. It is another object of the present invention to provide a liquid discharge head that can realize further smaller droplets in a nozzle row.

上述した目的を達成するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数の吐出口と、該吐出口に連通した複数の液体流路と、前記液体流路に液体を供給する液体供給口と、発熱抵抗体からなり前記吐出口に対向する位置に配置された複数の記録素子と、を有し、前記吐出口は、前記液体供給口に対する少なくとも一方側に、前記液体供給口からの距離が相対的に短い第1の吐出口と、前記液体供給口からの距離が相対的に長い第2の吐出口とを含むとともに、前記第1の吐出口及び前記第2の吐出口が千鳥状に配置され、かつ前記複数の記録素子が、前記第1の吐出口及び前記第2の吐出口にそれぞれ対応する第1の記録素子及び第2の記録素子を含んで構成された液体吐出ヘッドにおいて、前記第1の記録素子は、前記複数の吐出口の配列方向と交差する方向を長手方向とする長方形に形成された1つの前記発熱抵抗体からなり、前記第2の記録素子は、長方形に形成された複数の前記発熱抵抗体を有し、当該複数の発熱抵抗体は直列に接続されるとともに長辺側で隣り合って配置されている。前記第1の記録素子及び前記第2の記録素子に通電するための配線は、前記発熱抵抗体の短辺側に接続されている。前記第2の記録素子は、2つの前記発熱抵抗体からなり、前記第1の記録素子の前記発熱抵抗体の長辺の長さは、前記第2の記録素子の前記発熱抵抗体の長辺の長さの略2倍にされている。 In order to achieve the above-described object, a liquid discharge head according to the present invention supplies a plurality of discharge ports for discharging droplets, a plurality of liquid channels communicating with the discharge ports, and a liquid to the liquid channel. A liquid supply port and a plurality of recording elements made of a heating resistor and disposed at positions facing the discharge port, wherein the discharge port is located at least on one side of the liquid supply port. A first discharge port having a relatively short distance from the second discharge port and a second discharge port having a relatively long distance from the liquid supply port, and the first discharge port and the second discharge port Are arranged in a staggered pattern, and the plurality of recording elements include a first recording element and a second recording element corresponding to the first ejection port and the second ejection port, respectively. In the ejection head, the first recording element includes the plurality of the recording elements. It consists of one heating resistor formed in a rectangle whose longitudinal direction is the direction intersecting the outlet arrangement direction, the second recording element has a plurality of heating resistors formed in a rectangle, The plurality of heating resistors are connected in series and arranged adjacent to each other on the long side. Wiring for energizing the first recording element and the second recording element is connected to the short side of the heating resistor. The second recording element includes two heating resistors, and the length of the long side of the heating resistor of the first recording element is the long side of the heating resistor of the second recording element. Is approximately twice as long.

なお、本発明は、発熱抵抗体が正方形に形成される構成を含んでおり、この構成の場合、正方形の各発熱抵抗体のいずれかの辺が隣り合って配置されることを指している。   Note that the present invention includes a configuration in which the heating resistors are formed in a square shape. In this configuration, one of the sides of each square heating resistor is adjacent to each other.

本発明によれば、チップコストを増加させることなく、また駆動電源による製造コストの増加や長パルスによる発泡効率の悪化や吐出動作を不安定にすることなく、高画質を実現することができる。   According to the present invention, high image quality can be realized without increasing the chip cost, without increasing the manufacturing cost by the driving power supply, deteriorating the foaming efficiency due to the long pulse, and making the discharge operation unstable.

以下、本発明の具体的な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

まず、本実施形態のインクジェット記録ヘッドの全体構成について説明する。図1は、実施形態のインクジェット記録ヘッドを一部切り欠いて示す斜視図である。図1に示すように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子である複数の記録素子(ヒータ)400が設けられた素子基板110と、液体流路としての複数のインク供給路を構成する流路形成部材111とを備えている。   First, the overall configuration of the ink jet recording head of this embodiment will be described. FIG. 1 is a perspective view showing the ink jet recording head of the embodiment with a part cut away. As shown in FIG. 1, the ink jet recording head of this embodiment includes an element substrate 110 provided with a plurality of recording elements (heaters) 400 that are electrothermal conversion elements, and a plurality of ink supply paths as liquid channels. And a flow path forming member 111 to be configured.

素子基板110は、例えばガラス、セラミックス、樹脂材、金属材等によって形成されており、一般にSiによって形成されている。素子基板110の主面上には、各インクの流路毎に、ヒータ400と、このヒータ400に電圧を印加する電極(図示せず)と、この電極に接続された配線(図示せず)とが、所定の配線パターンでそれぞれ設けられている。また、素子基板110の主面には、蓄熱の発散性を向上させる絶縁膜(図示せず)が、ヒータ400を被覆するように設けられている。また、素子基板110の主面には、気泡が消泡した際に生じるキャビテーションから保護するための保護膜(図示せず)が、絶縁膜を被覆するように設けられている。   The element substrate 110 is made of, for example, glass, ceramics, a resin material, a metal material, or the like, and is generally made of Si. On the main surface of the element substrate 110, for each ink flow path, a heater 400, an electrode (not shown) for applying a voltage to the heater 400, and a wiring (not shown) connected to the electrode. Are provided in a predetermined wiring pattern. In addition, an insulating film (not shown) that improves heat dissipation is provided on the main surface of the element substrate 110 so as to cover the heater 400. In addition, a protective film (not shown) is provided on the main surface of the element substrate 110 so as to cover the insulating film to protect against cavitation generated when bubbles are eliminated.

流路形成部材111は、素子基板110に積層されて接合されている。流路形成部材111は、図1に示すように、インクが流動する複数のインク供給路(ノズル)300と、これら各ノズル300にインクを供給する長尺状のインク供給口(液体供給口)500とを有している。また、流路形成部材111は、インク滴を吐出するノズル300の先端開口である複数の吐出口100を有している。吐出口100は、素子基板110上に略平板状に形成されたヒータ400に対向する位置に形成されている。   The flow path forming member 111 is laminated and bonded to the element substrate 110. As shown in FIG. 1, the flow path forming member 111 includes a plurality of ink supply paths (nozzles) 300 through which ink flows, and long ink supply ports (liquid supply ports) that supply ink to the nozzles 300. 500. In addition, the flow path forming member 111 has a plurality of discharge ports 100 that are opening ends of the nozzles 300 that discharge ink droplets. The discharge port 100 is formed at a position facing the heater 400 formed in a substantially flat shape on the element substrate 110.

素子基板110上には、複数のヒータ400及び複数のノズル300が配置されている。インクジェット記録ヘッドは、各ノズル300の長手方向が平行に配列された第1のノズル列と、インク供給口500の短辺方向に対して第1のノズル列に対向する位置に各ノズル300の長手方向が平行に配列された第2のノズル列とを備えている。第1及び第2のノズル列は、隣接する各ノズルの間隔が600dpiピッチまたは1200dpiに形成されている。また、第2のノズル列の各ノズル300は、第1のノズル列の各ノズル300に対して、ドット配置の理由から必要に応じて、隣接する各ノズル間のピッチが互いにずれて配列されている。   A plurality of heaters 400 and a plurality of nozzles 300 are disposed on the element substrate 110. The inkjet recording head includes a first nozzle row in which the longitudinal directions of the nozzles 300 are arranged in parallel, and the longitudinal direction of each nozzle 300 at a position facing the first nozzle row with respect to the short side direction of the ink supply port 500. And a second nozzle row arranged in parallel in the direction. In the first and second nozzle rows, the interval between adjacent nozzles is formed at a pitch of 600 dpi or 1200 dpi. Further, the nozzles 300 in the second nozzle row are arranged with the pitches between adjacent nozzles shifted from each other as necessary for the reasons of dot arrangement with respect to the nozzles 300 in the first nozzle row. Yes.

このようなインクジェット記録ヘッドは、特開平4−10940号公報及び特開平4−10941号公報に開示されたインクジェット記録方法が適用されたインク吐出手段を有している。このインクジェット記録ヘッドには、インクの吐出時に発生する気泡が吐出口を介して外気に連通されているものもある。   Such an ink jet recording head has an ink discharge means to which the ink jet recording method disclosed in Japanese Patent Laid-Open Nos. 4-10940 and 4-10941 is applied. In some ink jet recording heads, bubbles generated when ink is ejected are communicated with the outside air through ejection ports.

以下に、インクジェット記録ヘッドのノズル構造について種々の変形例を挙げて説明する。   The nozzle structure of the ink jet recording head will be described below with various modifications.

(第1の実施形態)
図2は、第1の実施形態のインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示している。特にインク供給口500の一方側について説明するがこれに限られるものではなく、インク供給口の他方側にも以下に説明するノズル群が構成されていてもよい。第1の液体流路300a、第2の液体流路300bは、一端が圧力室200a、200bに連通されるとともに他端がインク供給口500に連通されている。図2に示すように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク供給口500からの距離が相対的に小さい複数の第1の吐出口100aと、インク供給口500からの距離が相対的に大きい複数の第2の吐出口100bとを有している。これら第1の吐出口100aと第2の吐出口100bは、インク供給口500の短辺方向に対して、千鳥状に交互にずらして配置されている。また、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、第1及び第2の吐出口100a,100bに対応して、第1及び第2のヒータ400a、400bがそれぞれ配置されている。
(First embodiment)
FIG. 2 shows the nozzle structure of the ink jet recording head of the first embodiment. In particular, one side of the ink supply port 500 will be described, but the present invention is not limited to this, and a nozzle group described below may be configured on the other side of the ink supply port. One end of each of the first liquid channel 300 a and the second liquid channel 300 b communicates with the pressure chambers 200 a and 200 b and the other end communicates with the ink supply port 500. As shown in FIG. 2, the inkjet recording head of this embodiment has a relatively large distance from the plurality of first ejection ports 100 a that are relatively small from the ink supply port 500 and the ink supply port 500. A plurality of second discharge ports 100b. The first discharge ports 100 a and the second discharge ports 100 b are alternately arranged in a staggered manner with respect to the short side direction of the ink supply port 500. Further, in the ink jet recording head of the present embodiment, the first and second heaters 400a and 400b are arranged corresponding to the first and second ejection ports 100a and 100b, respectively.

図2において、本実施形態における寸法は、ノズル列方向のノズルピッチが長いノズルと短いノズルがそれぞれ42.3μm(600dpi)で、これら長いノズルと短いノズルを組み合わせることで1200dpiのノズル解像度を実現している。また、インク供給口500の短辺方向の対向する位置にも同じ構成のノズル列が配置され、各ノズル列がピッチをずらすことで解像度2400dpiを達成している。インク供給口500からの距離が相対的に小さい記録素子としての第1のヒータ(第1の記録素子)400aは、各辺が13μm×26μmの長方形に形成されている。   In FIG. 2, the dimensions in this embodiment are 42.3 μm (600 dpi) for nozzles with a long nozzle pitch in the nozzle array direction and short nozzles, respectively. By combining these long and short nozzles, a nozzle resolution of 1200 dpi is realized. ing. In addition, nozzle rows having the same configuration are also arranged at positions facing the short side direction of the ink supply port 500, and each nozzle row shifts the pitch to achieve a resolution of 2400 dpi. A first heater (first recording element) 400a, which is a recording element having a relatively small distance from the ink supply port 500, is formed in a rectangle of 13 μm × 26 μm on each side.

また、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1の吐出口100aは内径φ10μm〜φ15μmに形成されている。図2に示すように、第1のヒータ400aは、吐出口100aの配列方向と交差する方向に、長方形の長手方向が平行に配置されるように構成されている。また、相対的に長いノズルであるインク供給路300bは、隣接する第1のヒータ400a同士の間に位置している部位におけるインク供給口500の長辺方向に平行な幅寸法が、第1のヒータ400aの発熱抵抗体の短辺の寸法以下に形成されている。   The first ejection port 100a having a relatively small distance from the ink supply port 500 is formed with an inner diameter of φ10 μm to φ15 μm. As shown in FIG. 2, the first heater 400a is configured so that the longitudinal direction of the rectangle is arranged in parallel to the direction intersecting the arrangement direction of the discharge ports 100a. Further, the ink supply path 300b, which is a relatively long nozzle, has a width dimension parallel to the long side direction of the ink supply port 500 at a portion located between the adjacent first heaters 400a. It is formed below the dimension of the short side of the heating resistor of the heater 400a.

インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2のヒータ(第2の記録素子)400bは、9.5μm×13.5μmの長方形をなす2つの発熱抵抗体で構成され、電気的に直列に接続されている。これら2つの発熱抵抗体は、長辺側が隣り合って平行に配置されており、離間距離が、2μm〜4μm程度にされている。また、インク供給口500からの距離が相対的に大きい吐出口100bは内径φ5μm〜φ10μmに形成されている。多階調ドットを記録するために、第1及び第2の吐出口100a、100bから吐出される液滴を変えられるように、第1及び第2の吐出口100a、100bの直径だけでなく、第1及び第2のヒータ400a、400bも面積が異なっている。   A second heater (second recording element) 400b having a relatively large distance from the ink supply port 500 is composed of two heating resistors having a rectangular shape of 9.5 μm × 13.5 μm, and is electrically connected in series. It is connected to the. These two heating resistors are arranged in parallel so that the long sides are adjacent to each other, and the separation distance is set to about 2 μm to 4 μm. Further, the ejection port 100b having a relatively large distance from the ink supply port 500 is formed to have an inner diameter of φ5 μm to φ10 μm. In order to record multi-tone dots, not only the diameters of the first and second ejection ports 100a and 100b but also the droplets ejected from the first and second ejection ports 100a and 100b can be changed. The areas of the first and second heaters 400a and 400b are also different.

圧力室200a、200bとヒータ400a、400bとのクリアランスは2μm程度で、ヒータ400a、400bの外形サイズよりも2μm幅広の位置に圧力室200a、200bの壁が形成されている。また、インク供給口500からの距離は、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1のヒータ400aが44μm程度にされ、第1のヒータ400aと第2のヒータ400bとの中心間距離は、35μm〜45μm程度となっている。   The clearance between the pressure chambers 200a, 200b and the heaters 400a, 400b is about 2 μm, and the walls of the pressure chambers 200a, 200b are formed at positions 2 μm wider than the outer size of the heaters 400a, 400b. The distance from the ink supply port 500 is such that the distance from the ink supply port 500 is about 44 μm for the first heater 400a, and the distance between the centers of the first heater 400a and the second heater 400b. Is about 35 μm to 45 μm.

このように、インク供給口500からの距離が長いノズルについても、従来よりもインク供給路300bの長さを短くすることができるので、第1の問題であるリフィル時間について、従来に比べて短縮することができ、高速に記録することが可能となる。また、第2の問題である、圧力室奥側に生じるインクが流動しにくいデッドゾーンが小さくなり、気泡による不安定な吐出を回避することができる。   As described above, since the length of the ink supply path 300b can be shortened as compared with the conventional nozzle even when the distance from the ink supply port 500 is long, the refill time, which is the first problem, is shortened compared with the conventional one. It is possible to record at high speed. In addition, the second problem, that is, a dead zone in which the ink generated on the back side of the pressure chamber is difficult to flow is reduced, and unstable ejection due to bubbles can be avoided.

また、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1のヒータ400aの長手方向の寸法は、インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2のヒータ400bの長手方向の長さの略2倍にされている。これによって、ヒータ抵抗が同じになり、第1及び第2のヒータ400a、400bは、共通の電源でそれぞれ駆動することができる。このため、第4の問題である電源の製造コストの増加に関して、電源を追加する必要がなくなり、製造コストを低減する効果も得られる。   The longitudinal dimension of the first heater 400a having a relatively small distance from the ink supply port 500 is the length in the longitudinal direction of the second heater 400b having a relatively large distance from the ink supply port 500. It is approximately doubled. Accordingly, the heater resistance becomes the same, and the first and second heaters 400a and 400b can be driven by a common power source. For this reason, regarding the increase in the manufacturing cost of the power source, which is the fourth problem, it is not necessary to add a power source, and the effect of reducing the manufacturing cost can be obtained.

次に、この構成における第1及び第2のヒータ400a、400bの素子基板における配線状態の模式図を図5に示す。また、図5におけるA−A線、B−B線、C−C線にそれぞれ沿った断面図を図8(a)〜図8(c)に示す。   Next, FIG. 5 shows a schematic diagram of the wiring state on the element substrate of the first and second heaters 400a and 400b in this configuration. 8A to 8C are cross-sectional views taken along lines AA, BB, and CC in FIG.

図5及び図8(a)〜図8(c)に示すように、下層側から説明すると、第1の配線層703の上にスルーホール800が形成され、このスルーホール800の上にヒータ層(抵抗体層)700、第2の配線層702が順に積層されている。スルーホール800を介して、第1の配線層703と第2の配線層702とが電気的に接続されている。第1及び第2の配線層703,702、ヒータ層700、スルーホール800を除く部分のすべては、絶縁層701a,701bで覆われている。   As shown in FIG. 5 and FIG. 8A to FIG. 8C, from the lower layer side, a through hole 800 is formed on the first wiring layer 703, and a heater layer is formed on the through hole 800. A (resistor layer) 700 and a second wiring layer 702 are sequentially stacked. The first wiring layer 703 and the second wiring layer 702 are electrically connected through the through hole 800. All of the portions excluding the first and second wiring layers 703 and 702, the heater layer 700, and the through hole 800 are covered with insulating layers 701a and 701b.

インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1のヒータ400aは、ヒータ400aの近傍に設けられたスルーホール800を介して連結された上下2層をなす第1及び第2の配線層703、702に電気的に接続されている。   The first heater 400a having a relatively small distance from the ink supply port 500 includes a first wiring layer 703 and a second wiring layer 703 that are connected to each other through a through hole 800 provided in the vicinity of the heater 400a. , 702 are electrically connected.

また、第1及び第2の配線層703、702が存在せずにヒータ層700のみが設けられている領域が、第1及び第2のヒータ400a、400bである。図5に示すように、第1のヒータ400a及び第2のヒータ400bは共に、その短辺側に配線が電気的に接続されている。   Further, the first and second heaters 400a and 400b are regions where only the heater layer 700 is provided without the first and second wiring layers 703 and 702. As shown in FIG. 5, both the first heater 400a and the second heater 400b are electrically connected to the short side thereof.

図8(a)及び図8(b)に示すように、第1及び第2のヒータ400a,400bの直下には第2の配線層702が存在せず、放熱の影響や基板の段差によるノズル部材の段差の影響を受けにくい構成となっている。さらに、スルーホール800は、ヒータ400a,400b近傍に配置されており、面積効率が良い構成となっている。また、スルーホール800は、隣り合う第1のヒータ400a同士の中間に設置され、スルーホール800によるノズル部材の段差の影響を受けにくい構成となっている。また、スルーホール800の中心と、第1のヒータ400aの中心とは、ノズル列方向に平行な同一直線上に位置している。   As shown in FIG. 8A and FIG. 8B, the second wiring layer 702 does not exist immediately below the first and second heaters 400a and 400b, and the nozzle due to the influence of heat dissipation and the level difference of the substrate. The structure is less susceptible to the steps of the members. Furthermore, the through hole 800 is disposed in the vicinity of the heaters 400a and 400b, and has a configuration with good area efficiency. Further, the through hole 800 is installed in the middle between the adjacent first heaters 400a, and is configured not to be affected by the step difference of the nozzle member due to the through hole 800. Further, the center of the through hole 800 and the center of the first heater 400a are located on the same straight line parallel to the nozzle row direction.

以上のように、このような構成を採ることで、素子基板上のレイアウト効率も良く配置できる、第3の問題である基板サイズによる製造コストの増加についても解決することができる。   As described above, by adopting such a configuration, it is possible to solve an increase in manufacturing cost due to the substrate size, which is the third problem, which can be arranged with good layout efficiency on the element substrate.

図9は、本実施形態における回路図である。各種データ処理や時分割駆動の制御を行う処理ブロック630は、入力された記録データに基づいて選択的に駆動するヒータ400a、400bを決定する。ヒータ400a、400bに駆動電圧を供給するための電源供給素子610及びGND端子611は、上述したように、同電圧で駆動できるので、ヒータ400a、400bで共通にされている。   FIG. 9 is a circuit diagram in the present embodiment. A processing block 630 that controls various data processing and time-division driving determines heaters 400a and 400b that are selectively driven based on the input recording data. Since the power supply element 610 and the GND terminal 611 for supplying a driving voltage to the heaters 400a and 400b can be driven at the same voltage as described above, they are shared by the heaters 400a and 400b.

駆動時間決定信号端子600、601は、それぞれヒータ400a、400bの駆動通電時間を決定する。本実施形態では、別系統としたが、共通化しても良い。パワートランジスタ650は、AND回路640a、640bによって、駆動するべきヒータ400a、400bが選択的に適正な駆動時間で動作させることができ、適正な吐出動作ができるように構成されている。   The drive time determination signal terminals 600 and 601 determine the drive energization time of the heaters 400a and 400b, respectively. In this embodiment, a separate system is used, but it may be shared. The power transistor 650 is configured such that the heaters 400a and 400b to be driven can be selectively operated in an appropriate driving time by the AND circuits 640a and 640b, and an appropriate discharge operation can be performed.

上述したように、本実施形態によれば、チップの製造コストを増加することなく、また駆動電源による製造コストの増加や長パルスによる発泡効率の悪化や吐出動作を不安定にすることなく、高画質を実現することができる。また、本発明の更なる目的は、更なる小液滴ノズル列を実現することである。   As described above, according to the present embodiment, without increasing the manufacturing cost of the chip, without increasing the manufacturing cost due to the driving power supply, deteriorating the foaming efficiency due to the long pulse, and destabilizing the discharge operation, Image quality can be realized. A further object of the present invention is to realize a further small droplet nozzle array.

更には、第1のヒータに通電する配線を2層の配線層とすることで、ヒータや配線のレイアウト効率を向上するだけでなく、スルーホールをヒータ近傍に設けることによって、レイアウト効率を更に向上することができる。また更には、スルーホール部の基板段差によるノズル部の段差の影響を最小限に抑えることができる。また、上述した第2の記録素子は、2つの前記発熱抵抗体の各短辺の長さと、2つの前記発熱抵抗体の間の距離とを加算した長さが、前記第2の吐出口の配置ピッチの半分以上となっている。   Furthermore, the layout efficiency of the heater and the wiring is improved not only by improving the layout efficiency of the heater and the wiring by making the wiring to energize the first heater into two layers, but the layout efficiency is further improved by providing the through hole in the vicinity of the heater. can do. Furthermore, it is possible to minimize the influence of the nozzle step due to the substrate step in the through hole. Further, the second recording element described above has a length obtained by adding the length of each short side of the two heating resistors and the distance between the two heating resistors. More than half of the arrangement pitch.

(第2の実施形態)
図3は、第2の実施形態のインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示す平面図である。本実施形態は、第1の実施形態と同様に、インク供給路300a、300bの一端が圧力室200a、200bに連通されるとともに他端がインク供給口500に連通されている。図3に示したように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク供給口500からの距離が相対的に小さい複数の第1の吐出口100aと、インク供給口500からの距離が相対的に大きい複数の第2の吐出口100bとを有している。これら第1の吐出口100aと第2の吐出口100bは、インク供給口500の短辺方向に対して千鳥状に交互にずらして配置されている。また、本実施形態では、第1及び第2の吐出口100a,100bに対応して、第1及び第2のヒータ400a、400bがそれぞれ配置されている。
(Second Embodiment)
FIG. 3 is a plan view showing the nozzle structure of the ink jet recording head of the second embodiment. In the present embodiment, as in the first embodiment, one end of the ink supply passages 300 a and 300 b communicates with the pressure chambers 200 a and 200 b and the other end communicates with the ink supply port 500. As shown in FIG. 3, the inkjet recording head of this embodiment has a relatively small distance from the plurality of first ejection ports 100 a that are relatively small from the ink supply port 500 and the ink supply port 500. It has a plurality of large second discharge ports 100b. The first discharge ports 100 a and the second discharge ports 100 b are alternately arranged in a staggered manner with respect to the short side direction of the ink supply port 500. In the present embodiment, the first and second heaters 400a and 400b are arranged corresponding to the first and second discharge ports 100a and 100b, respectively.

また、相対的に長いノズルであるインク供給路300bは、隣接する第1のヒータ400a同士の間に位置している部分におけるインク供給口500の長辺方向に平行な幅寸法が、第1のヒータ400aの発熱抵抗体の短辺の寸法以下に形成されている。   Further, the ink supply path 300b, which is a relatively long nozzle, has a width dimension parallel to the long side direction of the ink supply port 500 at a portion located between the adjacent first heaters 400a. It is formed below the dimension of the short side of the heating resistor of the heater 400a.

図3に示すように、ノズル列方向のノズルピッチは、第1の実施形態と同様に、長いノズルと短いノズルがそれぞれ42.3μm(600dpi)で形成され、これら長いノズルと短いノズルを組み合わせることで1200dpiのノズル解像度を実現している。また、これらのノズルとインク供給口500を短辺方向の対向する位置にも、同一構成の長短ノズルを有するノズル列が設けられ、各ノズル列がピッチをずらすことで解像度2400dpiを達成している。   As shown in FIG. 3, the nozzle pitch in the nozzle array direction is such that long nozzles and short nozzles are formed at 42.3 μm (600 dpi), respectively, as in the first embodiment, and these long nozzles and short nozzles are combined. The nozzle resolution of 1200 dpi is realized. In addition, nozzle rows having long and short nozzles of the same configuration are provided at positions where these nozzles and the ink supply port 500 are opposed to each other in the short side direction, and each nozzle row has a resolution of 2400 dpi by shifting the pitch. .

インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1のヒータ400aは、各辺が13μm×26μmの長方形に形成されている。また、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1の吐出口100aは内径φ10μm〜φ15μmに形成されている。   The first heater 400a having a relatively small distance from the ink supply port 500 is formed in a rectangle of 13 μm × 26 μm on each side. The first ejection port 100a having a relatively small distance from the ink supply port 500 is formed with an inner diameter of φ10 μm to φ15 μm.

インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2のヒータ400bは、13μm×13μmの正方形をなす2つの発熱抵抗体で構成されている。これら2つの発熱抵抗体は、長辺側が隣り合って平行に配置されており、離間距離が、2μm〜4μm程度にされている。   The second heater 400b having a relatively large distance from the ink supply port 500 is composed of two heat generating resistors that form a 13 μm × 13 μm square. These two heating resistors are arranged in parallel so that the long sides are adjacent to each other, and the separation distance is set to about 2 μm to 4 μm.

本実施形態が第1の実施形態と異なる点は、インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2の吐出口100bが、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1の吐出口100aと同じく内径φ10μm〜φ15μmに形成されている点である。本実施形態は、第1の実施形態と異なり、実質的に同一の、すなわちほぼ等しい吐出量でノズル解像度のみを向上した構成である。したがって、本実施形態は、第1及び第2の吐出口100a,100bだけでなく、第1及び第2のヒータ400a、400bも面積が等しくなっている。   This embodiment is different from the first embodiment in that the second ejection port 100b having a relatively large distance from the ink supply port 500 is used for the first ejection in which the distance from the ink supply port 500 is relatively small. The same as the outlet 100a is that the inner diameter is φ10 μm to φ15 μm. Unlike the first embodiment, this embodiment has a configuration in which only the nozzle resolution is improved with substantially the same, that is, substantially the same discharge amount. Therefore, in this embodiment, not only the first and second discharge ports 100a and 100b but also the first and second heaters 400a and 400b have the same area.

圧力室200a、200bとヒータ400a、400bとのクリアランスは第1の実施形態と同様に、2μm程度で、ヒータ400a、400bの外形サイズよりも2μm幅広の位置に圧力室200a、200bの壁が形成されている。また、インク供給口500からの距離は、インク供給口500からの距離が相対的に小さいヒータが44μm程度、第1のヒータ400aと第2のヒータ400bとの中心間の距離は、35μm〜45μm程度となっている。   The clearance between the pressure chambers 200a and 200b and the heaters 400a and 400b is about 2 μm as in the first embodiment, and the walls of the pressure chambers 200a and 200b are formed at a position 2 μm wider than the outer size of the heaters 400a and 400b. Has been. The distance from the ink supply port 500 is about 44 μm for the heater having a relatively small distance from the ink supply port 500, and the distance between the centers of the first heater 400a and the second heater 400b is 35 μm to 45 μm. It is about.

このように、インク供給口500からの距離が大きいノズルについても、従来よりもインク供給路の長さを短くすることができるため、第1の問題であるリフィル時間について、従来に比べて短縮でき高速に記録することが可能となる。また、第2の問題である圧力室奥側に生じるインクが流動しにくいデッドゾーンが小さくなり、気泡による不安定な吐出を回避することができる。   As described above, since the length of the ink supply path can be made shorter than that of the conventional nozzle even when the distance from the ink supply port 500 is large, the refill time, which is the first problem, can be reduced compared to the conventional case. It becomes possible to record at high speed. Further, the dead zone in which the ink generated on the back side of the pressure chamber, which is the second problem, is less likely to flow, is reduced, and unstable ejection due to bubbles can be avoided.

また、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1のヒータ400aの長手方向の寸法は、インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2のヒータ400bの長手方向の寸法のほぼ2倍にされている。これによって、第1及び第2のヒータ400a、400bを共通の電源でそれぞれ駆動することができるので、第4の問題である電源の製造コストの増加に関して、電源を追加する必要がなくなり、製造コストを低減する効果も得られる。   The longitudinal dimension of the first heater 400a having a relatively small distance from the ink supply port 500 is approximately the longitudinal dimension of the second heater 400b having a relatively large distance from the ink supply port 500. It has been doubled. As a result, the first and second heaters 400a and 400b can be driven by a common power source, so that it is not necessary to add a power source for the increase in the manufacturing cost of the power source, which is the fourth problem, and the manufacturing cost is increased. The effect of reducing can also be obtained.

この構成におけるヒータ400a、400bの素子基板における配線模式図は、図5及び図8に示した第1の実施形態と全く同様であるため、説明を省略する。また、回路構成も、図9に示した第1の実施形態と同様であるため、説明を省略する。   A schematic diagram of wiring on the element substrate of the heaters 400a and 400b in this configuration is exactly the same as that of the first embodiment shown in FIGS. 5 and 8, and a description thereof will be omitted. The circuit configuration is also the same as that of the first embodiment shown in FIG.

しかしながら、本発明は上述の構成に限定されるものではない。例えば図6に示すような配線状態においても本発明は適用可能である。配線の幅を、必要とされる条件に応じて可能な限り細く形成することで、図6に示すような配線の構成が可能となる。これにより、図5に示した構成と同様に、上述した課題を解決することが可能となる。   However, the present invention is not limited to the above-described configuration. For example, the present invention can be applied even in a wiring state as shown in FIG. By forming the width of the wiring as narrow as possible according to the required conditions, it is possible to configure the wiring as shown in FIG. This makes it possible to solve the above-described problem as in the configuration shown in FIG.

(第3の実施形態)
図4は、第3の実施形態のインクジェット記録ヘッドのノズル構造を示す平面図である。インク供給路300a、300bは、一端が圧力室200a、200bに連通されるとともに他端がインク供給口500に連通されている。図4に示すように、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インク供給口500からの距離が相対的に小さい複数の第1の吐出口100aと、インク供給口500からの距離が相対的に大きい複数の第2の吐出口100bとを有している。これら第1の吐出口100aと第2の吐出口100bは、インク供給口500の短辺方向に対して千鳥状に交互にずらして配置されている。また、インクジェット記録ヘッドは、第1及び第2の吐出口100a,100bに対応して、第1及び第2のヒータ400a、400bがそれぞれ配置されている。
(Third embodiment)
FIG. 4 is a plan view showing the nozzle structure of the ink jet recording head of the third embodiment. The ink supply paths 300 a and 300 b have one end communicating with the pressure chambers 200 a and 200 b and the other end communicating with the ink supply port 500. As shown in FIG. 4, the inkjet recording head of this embodiment has a relatively large distance from the plurality of first ejection ports 100 a that are relatively small from the ink supply port 500 and the ink supply port 500. A plurality of second discharge ports 100b. The first discharge ports 100 a and the second discharge ports 100 b are alternately arranged in a staggered manner with respect to the short side direction of the ink supply port 500. In the ink jet recording head, first and second heaters 400a and 400b are disposed corresponding to the first and second ejection ports 100a and 100b, respectively.

図4において、ノズル列方向のノズルピッチは、第1の実施形態と同様に、長いノズルと短いノズルがそれぞれ42.3μm(600dpi)にされ、これら長いノズルと短いノズルを組み合わせることで1200dpiのノズル解像度を実現している。また、インク供給口500の短辺方向の対向する位置にも同じ構成のノズル列が設けられ、各ノズル列のピッチをずらすことで解像度2400dpiを達成している。   In FIG. 4, the nozzle pitch in the nozzle row direction is set to 42.3 μm (600 dpi) for the long nozzle and the short nozzle, respectively, as in the first embodiment. By combining these long and short nozzles, a nozzle of 1200 dpi The resolution is realized. Also, nozzle rows having the same configuration are provided at positions facing the short side direction of the ink supply port 500, and a resolution of 2400 dpi is achieved by shifting the pitch of the nozzle rows.

インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1のヒータ400aは、各辺が13μm×26μmの長方形に形成されている。また、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第2の吐出口100aは内径φ10μm〜φ15μmに形成されている。   The first heater 400a having a relatively small distance from the ink supply port 500 is formed in a rectangle of 13 μm × 26 μm on each side. Further, the second ejection port 100a having a relatively small distance from the ink supply port 500 is formed with an inner diameter of φ10 μm to φ15 μm.

インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2のヒータ400bは、各辺が7μm×13.5μmの長方形をなす2つの発熱抵抗体で構成されている。これら2つの発熱抵抗体は、長辺側が隣り合って平行に配置されており、離間距離が、2μm〜4μm程度にされている。   The second heater 400b having a relatively large distance from the ink supply port 500 is composed of two heating resistors each having a rectangular shape with sides of 7 μm × 13.5 μm. These two heating resistors are arranged in parallel so that the long sides are adjacent to each other, and the separation distance is set to about 2 μm to 4 μm.

また、相対的に長いノズルであるインク供給路300bは、隣接する第1のヒータ400a同士の間に位置している部分におけるインク供給口500の長辺方向に平行な幅寸法が、第1のヒータ400aの発熱抵抗体の短辺の寸法以下に形成されている。   Further, the ink supply path 300b, which is a relatively long nozzle, has a width dimension parallel to the long side direction of the ink supply port 500 at a portion located between the adjacent first heaters 400a. It is formed below the dimension of the short side of the heating resistor of the heater 400a.

本実施形態が第1の実施形態と異なる点は、インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2の吐出口100bが、第1の実施形態よりもさらに小さい内径φ3μm〜φ7μmに形成されている点である。本実施形態によれば、第1の実施形態に比べてさらに多階調に構成したい場合に好適であり、さらに小さい液滴を吐出することができる。第1の実施形態と同様に、第1及び第2の吐出口100a、100bから吐出される液滴を変えられるように、第1及び第2の吐出口100a、100bの内径だけでなく、第1及び第2のヒータ400a、400bも面積が異なっている。   This embodiment is different from the first embodiment in that the second ejection port 100b having a relatively large distance from the ink supply port 500 is formed to have an inner diameter φ3 μm to φ7 μm that is smaller than that of the first embodiment. It is a point. According to the present embodiment, it is suitable for the case where it is desired to configure more gradations than the first embodiment, and smaller droplets can be ejected. As in the first embodiment, not only the inner diameters of the first and second discharge ports 100a and 100b but also the first and second discharge ports 100a and 100b can be changed. The areas of the first and second heaters 400a and 400b are also different.

また、本実施形態は、第1の実施形態と異なる点で、インク供給口500からの距離が相対的に大きいヒータ400bの長手方向は、インク供給路300bの長手方向に対して90度回転させた向きになっている。本実施形態は、吐出された液滴の尾切れを良くするために、吐出時のインク供給路300bからのインクを遮断する効果を併せ持つ構成となっている。   Further, this embodiment is different from the first embodiment in that the longitudinal direction of the heater 400b having a relatively large distance from the ink supply port 500 is rotated by 90 degrees with respect to the longitudinal direction of the ink supply path 300b. It has become the direction. The present embodiment is configured to have the effect of blocking the ink from the ink supply path 300b during ejection in order to improve the tail cut of the ejected droplets.

圧力室200a、200bとヒータ400a、400bとのクリアランスは、第1の実施形態と同様に、2μm程度で第1及び第2のヒータ400a、400bの外形サイズよりも2μm幅広の位置に圧力室200a、200bの壁が形成されている。また、インク供給口500からの距離は、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1のヒータ400aが44μm程度にされ、第1のヒータ400aと第2のヒータ400bとの中心間の距離は、35μm〜45μm程度となっている。   The clearance between the pressure chambers 200a, 200b and the heaters 400a, 400b is about 2 μm, as in the first embodiment, and the pressure chamber 200a is at a position 2 μm wider than the outer size of the first and second heaters 400a, 400b. , 200b walls are formed. Further, the distance from the ink supply port 500 is such that the first heater 400a having a relatively small distance from the ink supply port 500 is about 44 μm, and the distance between the centers of the first heater 400a and the second heater 400b. The distance is about 35 μm to 45 μm.

このように、インク供給口500からの距離が相対的に大きいノズル(長いノズル)についても、従来よりもインク供給路300bの長さを短くすることができる。このため、第1の問題であるリフィル時間について、従来に比べて短縮することができ、比較的高速に記録することが可能となる。また、第2の問題である、圧力室奥側に生じるインクが流動しにくいデッドゾーンが小さくなり、気泡による不安定な吐出を回避することができる。   In this way, the length of the ink supply path 300b can be made shorter than that of the conventional nozzles (long nozzles) having a relatively large distance from the ink supply port 500. For this reason, the refill time, which is the first problem, can be shortened compared to the conventional case, and recording can be performed at a relatively high speed. In addition, the second problem, that is, a dead zone in which the ink generated on the back side of the pressure chamber is difficult to flow is reduced, and unstable ejection due to bubbles can be avoided.

また、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1のヒータ400aの長手方向の寸法は、インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2のヒータ400bの長手方向の長さのほぼ2倍にされている。これによって、第1及び第2のヒータ400a、400bを共通の電源でそれぞれ駆動することができるので、第4の問題である電源の製造コストの増加に関して、電源を追加する必要がなくなるので、製造コストを低減する効果も得られる。   The longitudinal dimension of the first heater 400a having a relatively small distance from the ink supply port 500 is the length in the longitudinal direction of the second heater 400b having a relatively large distance from the ink supply port 500. Almost doubled. As a result, the first and second heaters 400a and 400b can be driven by a common power source, so that it is not necessary to add a power source for the increase in the manufacturing cost of the power source, which is the fourth problem. The effect of reducing cost can also be obtained.

次に、この構成におけるヒータ400a、400bの素子基板における配線模式図を図7に示す。また、図7中のB−B線、C−C線、D−D線にそれぞれ沿った断面図を図8(b)から図8(d)に示す。   Next, FIG. 7 shows a schematic wiring diagram on the element substrate of the heaters 400a and 400b in this configuration. 8B to 8D are cross-sectional views taken along lines BB, CC, and DD in FIG. 7, respectively.

図8(b)〜図8(d)に示すように、本実施形態の層構成は、第1の実施形態の構成と同様である。   As shown in FIGS. 8B to 8D, the layer configuration of the present embodiment is the same as the configuration of the first embodiment.

図7に示すように、第1の実施形態と同様に、インク供給口500からの距離が相対的に小さい第1のヒータ400aは、このヒータ400aの近傍のスルーホール800を介して、上下2層の第1及び第2の配線層703、702と電気的に接続されている。また、配線層703、702が存在せずにヒータ層のみが存在している領域が、第1及び第2のヒータ400a、400bである。   As shown in FIG. 7, similarly to the first embodiment, the first heater 400a having a relatively small distance from the ink supply port 500 has two upper and lower sides through a through hole 800 in the vicinity of the heater 400a. The first and second wiring layers 703 and 702 of the layer are electrically connected. The regions where only the heater layer is present without the wiring layers 703 and 702 are the first and second heaters 400a and 400b.

第1の実施形態と同様に、第1及び第2のヒータ400a,400bの直下に第2の配線層702が存在せずに、放熱の影響や基板の段差によるノズル部材の段差の影響を受けにくい構成となっている。さらに、スルーホール800は、第1及び第2のヒータ400a,400bの近傍に配置されており、面積効率が良い構成となっている。また、スルーホール800は、隣り合う第1のヒータ400a同士の中間に設置され、スルーホール800によるノズル部材の段差の影響を受けにくい構成にされている。また、スルーホール800の中心と、第1のヒータ400aの中心とは、ノズル列方向に平行な同一直線上に位置している。   As in the first embodiment, the second wiring layer 702 does not exist immediately below the first and second heaters 400a and 400b, and is affected by heat dissipation and the step of the nozzle member due to the step of the substrate. It has a difficult structure. Furthermore, the through-hole 800 is disposed in the vicinity of the first and second heaters 400a and 400b, and has a configuration with good area efficiency. In addition, the through hole 800 is installed in the middle between the adjacent first heaters 400a, and is configured to be hardly affected by the step difference of the nozzle member due to the through hole 800. Further, the center of the through hole 800 and the center of the first heater 400a are located on the same straight line parallel to the nozzle row direction.

本実施形態が他の実施形態と異なる点は、インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2のヒータ400bにおける配線パターンが異なっている点である。インク供給口500からの距離が相対的に大きい第2のヒータ400bにおける2つの発熱抵抗体の長手方向は、インク供給路の長手方向に対して直交されており、90度回転させた向きになっているため、配線を工夫する必要がある。本実施形態では、図7に示すように、第2の配線層702をS字状に湾曲させることによって、上述の構成の配線を実現している。   This embodiment is different from the other embodiments in that the wiring pattern in the second heater 400b having a relatively large distance from the ink supply port 500 is different. The longitudinal direction of the two heating resistors in the second heater 400b having a relatively large distance from the ink supply port 500 is orthogonal to the longitudinal direction of the ink supply path, and is rotated 90 degrees. Therefore, it is necessary to devise wiring. In the present embodiment, as shown in FIG. 7, the wiring having the above-described configuration is realized by bending the second wiring layer 702 into an S shape.

以上のように、本実施形態においても、このような構成を採ることで、基板上のレイアウトも効率良く配置することができる、第3の問題である基板サイズによる製造コストの増加についても解決することができる。   As described above, also in this embodiment, by adopting such a configuration, the layout on the substrate can be arranged efficiently, and the third problem, which is an increase in manufacturing cost due to the substrate size, is solved. be able to.

また、回路構成においても、図9に示した第1の実施形態と全く同様であるため、説明を省略する。   Also, the circuit configuration is completely the same as that of the first embodiment shown in FIG.

最後に、上述したインクジェット記録ヘッドを用いたインクジェットプリンタについて簡単に説明する。   Finally, an ink jet printer using the above-described ink jet recording head will be briefly described.

<インクジェットプリンタの概略>
図10は、本発明の代表的な実施形態であるインクジェットプリンタIJRAの構成の概要を示す外観斜視図である。
<Outline of inkjet printer>
FIG. 10 is an external perspective view showing an outline of the configuration of an inkjet printer IJRA that is a representative embodiment of the present invention.

図10に示すように、キャリッジHCは、駆動モータ5013の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア5009〜5011を介して回転するリードスクリュー5005と、ガイドレール5003とに支持されて矢印a,b方向を往復移動される。キャリッジHCは、リードスクリュー5005の螺旋溝5004に対して係合するピン(不図示)を有している。このキャリッジHCには、記録ヘッドIJHとインクタンクITとを内蔵した一体型インクジェットカートリッジIJCが搭載されている。   As shown in FIG. 10, the carriage HC is supported by a lead screw 5005 that rotates via drive force transmission gears 5009 to 5011 in conjunction with forward and reverse rotation of the drive motor 5013, and a guide rail 5003. It is reciprocated in the b direction. The carriage HC has a pin (not shown) that engages with the spiral groove 5004 of the lead screw 5005. On the carriage HC, an integrated ink-jet cartridge IJC incorporating a recording head IJH and an ink tank IT is mounted.

紙押え板5002は、キャリッジHCの移動方向に亘って記録紙Pをプラテン5010に対して押圧する。フォトカプラ5007,5008は、キャリッジHCのレバー5006のこの域での存在を確認して、モータ5013の回転方向切り換え等を行うためのホームポジション検知器である。記録ヘッドIJHの前面をキャップするキャップ部材5022は支持部材5016に支持されている。このキャップ部材5022内を吸引する吸引器5015は、キャップ内開口5023を介して記録ヘッドIJHの吸引回復を行う。本体支持板5018には、クリーニングブレード5017と、このブレード5017を前後方向に移動可能にする部材5019が支持されている。クリーニングブレード5017は、この構成に限定されるものではなく、周知のクリーニングブレードが本実施形態に適用できることは勿論である。また、吸引回復の吸引を開始するためのレバー5021は、キャリッジHCと係合するカム5020の移動に伴って移動され、駆動モータからの駆動力がクラッチ切り換え等の公知の伝達機構を介して移動制御される。   The paper pressing plate 5002 presses the recording paper P against the platen 5010 over the moving direction of the carriage HC. The photocouplers 5007 and 5008 are home position detectors for confirming the presence of the lever 5006 of the carriage HC in this region and switching the rotation direction of the motor 5013 and the like. A cap member 5022 that caps the front surface of the recording head IJH is supported by a support member 5016. A suction device 5015 that sucks the inside of the cap member 5022 performs suction recovery of the recording head IJH through the cap opening 5023. The main body support plate 5018 supports a cleaning blade 5017 and a member 5019 that enables the blade 5017 to move in the front-rear direction. The cleaning blade 5017 is not limited to this configuration, and it goes without saying that a known cleaning blade can be applied to this embodiment. A lever 5021 for starting suction for suction recovery is moved in accordance with the movement of the cam 5020 engaged with the carriage HC, and the driving force from the driving motor is moved through a known transmission mechanism such as clutch switching. Be controlled.

これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復動作は、キャリッジHCがホームポジション側の領域に移動したときに、リードスクリュー5005が回転駆動することで、それらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されている。なお、周知のタイミングで所望の動作を行うように構成されれば、本実施形態にはいずれの構成が適用されてもよい。   These capping, cleaning, and suction recovery operations are configured such that when the carriage HC moves to the region on the home position side, the lead screw 5005 is driven to rotate so that desired processing can be performed at those corresponding positions. Yes. Note that any configuration may be applied to the present embodiment as long as a desired operation is performed at a known timing.

<制御系の構成>
次に、上述したインクジェットプリンタの記録動作を制御する制御系の構成について説明する。
<Control system configuration>
Next, the configuration of a control system that controls the recording operation of the above-described ink jet printer will be described.

図11は、インクジェットプリンタIJRAの制御回路の構成を示すブロック図である。図11に示すように、制御回路は、記録信号が入力されるインタフェース1700と、論理回路としてのMPU1701とを有している。また、制御回路は、MPU1701が実行する制御プログラムが格納されるROM1702と、各種データ(記録信号や記録ヘッドIJHに供給される記録データ等)を保存しておくDRAM1703とを有している。また、制御回路は、記録ヘッドIJHに対する記録データの供給制御を行うゲートアレイ(G.A.)1704を有しており、このゲートアレイ1704がインタフェース1700、MPU1701、RAM1703間のデータ転送制御も行う。   FIG. 11 is a block diagram showing the configuration of the control circuit of the inkjet printer IJRA. As shown in FIG. 11, the control circuit has an interface 1700 to which a recording signal is input and an MPU 1701 as a logic circuit. The control circuit also includes a ROM 1702 in which a control program executed by the MPU 1701 is stored, and a DRAM 1703 in which various data (such as recording signals and recording data supplied to the recording head IJH) are stored. The control circuit also includes a gate array (GA) 1704 that controls the supply of recording data to the recording head IJH. The gate array 1704 also controls data transfer between the interface 1700, MPU 1701, and RAM 1703. .

制御回路は、記録ヘッドIJHを駆動する、つまり記録素子の通電状態を切り換えるヘッドドライバ1705を介して、記録ヘッドIJHを駆動制御する。また、制御回路は、搬送モータ1709、キャリアモータ1710を駆動するモータドライバ1706,1707を介して、記録ヘッドIJHを搬送するためのキャリアモータ1710及び記録紙の搬送のための搬送モータ1709を駆動制御する。   The control circuit drives and controls the recording head IJH via a head driver 1705 that drives the recording head IJH, that is, switches the energization state of the recording element. The control circuit drives and controls a carrier motor 1710 for transporting the recording head IJH and a transport motor 1709 for transporting recording paper via motor drivers 1706 and 1707 that drive the transport motor 1709 and carrier motor 1710. To do.

以上の制御回路の処理を説明する。インタフェース1700に記録信号が入力されたとき、ゲートアレイ1704とMPU1701との間で記録信号がプリント用の記録データに変換される。そして、モータドライバ1706、1707が駆動されると共に、ヘッドドライバ1705に出力された記録データに従って記録ヘッドIJHが駆動され、記録紙上に記録が行われる。   The processing of the above control circuit will be described. When a recording signal is input to the interface 1700, the recording signal is converted into recording data for printing between the gate array 1704 and the MPU 1701. Then, the motor drivers 1706 and 1707 are driven, and the recording head IJH is driven according to the recording data output to the head driver 1705, and recording is performed on the recording paper.

次に、インクジェット記録ヘッドIJHについて説明する。本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、インクジェット記録方式の中でも特に、液体のインクを吐出するために利用されるエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段を備え、その熱エネルギーによってインクの状態変化を生起させる方式が採用されている。この方式が用いられることによって、記録される文字や画像等の高密度化及び高精細化を達成している。特に本実施形態では、熱エネルギーを発生する手段として電気熱変換素子を用い、この電気熱変換素子によってインクを加熱して膜沸騰させたときに発生する気泡による圧力を利用してインクを吐出している。   Next, the ink jet recording head IJH will be described. The ink jet recording head according to the present invention includes, among other ink jet recording methods, a means for generating thermal energy as energy used for discharging liquid ink, and a method for causing a change in the state of the ink by the thermal energy. Is adopted. By using this method, higher density and higher definition of recorded characters and images are achieved. In particular, in the present embodiment, an electrothermal conversion element is used as a means for generating thermal energy, and the ink is ejected by using the pressure caused by bubbles generated when the ink is heated and boiled by the electrothermal conversion element. ing.

本実施形態のインクジェット記録ヘッドの一部を切り欠いて示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a part of the inkjet recording head of the present embodiment by cutting away. 第1の実施形態におけるノズル列の一部を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a part of nozzle row in 1st Embodiment. 第2の実施形態におけるノズル列の一部を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a part of nozzle row in 2nd Embodiment. 第3の実施形態におけるノズル列の一部を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a part of nozzle row in 3rd Embodiment. 第1及び第2の実施形態における素子基板の配線の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the wiring of the element substrate in 1st and 2nd embodiment. 第1及び第2の実施形態における素子基板の配線の他の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the other example of the wiring of the element substrate in 1st and 2nd embodiment. 第3の実施形態における素子基板の配線を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the wiring of the element substrate in 3rd Embodiment. 第1〜第3の実施形態における素子基板を示す模式的断面図である。It is typical sectional drawing which shows the element substrate in the 1st-3rd embodiment. 第1〜第3の実施形態における素子基板の記録素子駆動に関する回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram relating to recording element driving of an element substrate in the first to third embodiments. 本実施形態のインクジェットプリンタを示す図である。It is a figure which shows the inkjet printer of this embodiment. 上記インクジェットプリンタを説明するためのブロック図である。It is a block diagram for demonstrating the said inkjet printer. 従来例のインクジェット記録ヘッドにおけるノズル列の一部を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows a part of nozzle row in the inkjet recording head of a prior art example.

符号の説明Explanation of symbols

110 素子基板
111 流路形成部材
100a 第1の吐出口
100b 第2の吐出口
200 圧力室
300 ノズル
400a 第1のヒータ
400b 第2のヒータ
500 インク供給口
700 ヒータ層
701a,701b 絶縁層
702,703 配線層
800 スルーホール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 110 Element substrate 111 Flow path formation member 100a 1st discharge port 100b 2nd discharge port 200 Pressure chamber 300 Nozzle 400a 1st heater 400b 2nd heater 500 Ink supply port 700 Heater layer 701a, 701b Insulating layer 702,703 Wiring layer 800 Through hole

Claims (11)

液滴を吐出する複数の吐出口と、該吐出口に連通した複数の液体流路と、前記液体流路に液体を供給する液体供給口と、発熱抵抗体からなり前記吐出口に対向する位置に配置された複数の記録素子と、を有し、前記吐出口は、前記液体供給口に対する少なくとも一方側に、前記液体供給口からの距離が相対的に短い第1の吐出口と、前記液体供給口からの距離が相対的に長い第2の吐出口とを含むとともに、前記第1の吐出口及び前記第2の吐出口が千鳥状に配置され、かつ前記複数の記録素子が、前記第1の吐出口及び前記第2の吐出口にそれぞれ対応する第1の記録素子及び第2の記録素子を含んで構成された液体吐出ヘッドにおいて、
前記第1の記録素子は、前記複数の吐出口の配列方向と交差する方向を長手方向とする長方形に形成された1つの前記発熱抵抗体からなり、
前記第2の記録素子は、長方形に形成された複数の前記発熱抵抗体を有し、当該複数の発熱抵抗体は直列に接続されるとともに長辺側で隣り合って配置され
前記第1の記録素子及び前記第2の記録素子に通電するための配線は、前記発熱抵抗体の短辺側に接続され、
前記第2の記録素子は、2つの前記発熱抵抗体からなり、前記第1の記録素子の前記発熱抵抗体の長辺の長さは、前記第2の記録素子の前記発熱抵抗体の長辺の長さの略2倍にされていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
A plurality of discharge ports for discharging liquid droplets, a plurality of liquid flow channels communicating with the discharge ports, a liquid supply port for supplying liquid to the liquid flow channel, and a position facing the discharge port, including a heating resistor A plurality of recording elements disposed on the first discharge port, the first discharge port having a relatively short distance from the liquid supply port on at least one side of the liquid supply port, and the liquid A second discharge port having a relatively long distance from the supply port, the first discharge port and the second discharge port are arranged in a zigzag pattern, and the plurality of recording elements include the second discharge port. In a liquid ejection head configured to include a first recording element and a second recording element respectively corresponding to one ejection port and the second ejection port,
The first recording element is composed of one heating resistor formed in a rectangle whose longitudinal direction is a direction intersecting the arrangement direction of the plurality of ejection openings,
The second recording element has a plurality of heating resistors formed in a rectangular shape, and the plurality of heating resistors are connected in series and arranged adjacent to each other on the long side ,
The wiring for energizing the first recording element and the second recording element is connected to the short side of the heating resistor,
The second recording element includes two heating resistors, and the length of the long side of the heating resistor of the first recording element is the long side of the heating resistor of the second recording element. A liquid discharge head characterized by being approximately twice the length of the liquid discharge head.
前記複数の液体流路が、前記第1の記録素子が配置された第1の液体流路と、前記第2の記録素子が配置された第2の液体流路とを含み、
前記第2の液体流路は、隣接する前記第1の記録素子の間に位置している部位における前記複数の吐出口の配列方向に平行な幅が、前記第1の記録素子の前記発熱抵抗体の短辺の寸法以下に形成されている請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
The plurality of liquid channels include a first liquid channel in which the first recording element is disposed, and a second liquid channel in which the second recording element is disposed,
The second liquid channel has a width parallel to the arrangement direction of the plurality of ejection ports at a portion located between the adjacent first recording elements, and the heating resistance of the first recording element. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the liquid discharge head is formed to be equal to or smaller than a short side dimension of the body.
前記第2の吐出口から吐出される液滴の量が前記第1の吐出口から吐出される液滴の量よりも少ない請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。 It said second of said amount of liquid droplets discharged from the discharge port first liquid discharge head according to claim 1 or 2 less than the amount of liquid droplets discharged from the discharge port. 前記第1の吐出口及び前記第2の吐出口から吐出される液滴の量がほぼ等しい請求項1ないしのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 The first discharge port and the second amount of liquid droplets discharged from the discharge port is substantially equal claims 1 to liquid discharge head according to any one of 3. 前記第2の記録素子は、2つの前記発熱抵抗体の各短辺の長さと、2つの前記発熱抵抗体の間の距離とを加算した長さが、前記第2の吐出口の配置ピッチの半分以上である請求項に記載の液体吐出ヘッド。 In the second recording element, a length obtained by adding the lengths of the short sides of the two heating resistors and the distance between the two heating resistors is the arrangement pitch of the second ejection ports. The liquid ejection head according to claim 1 , wherein the liquid ejection head is half or more. 複数の前記記録素子に駆動電圧を供給する電源供給手段と、前記記録素子ごとに配置され前記記録素子の通電状態を切り換えるためのドライバと、前記ドライバを選択的に駆動するための論理回路とをさらに有し、
前記電源供給手段は、前記第1及び第2の記録素子にそれぞれ駆動電圧を供給する請求項1ないしのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
Power supply means for supplying a driving voltage to the plurality of recording elements, a driver arranged for each recording element for switching the energization state of the recording elements, and a logic circuit for selectively driving the drivers In addition,
Said power supply means, said first and second liquid discharge head according to any one of recording claims 1 supplies a driving voltage, respectively to the element 5.
複数の前記記録素子に駆動電圧を供給する電源供給手段と、前記記録素子ごとに配置され前記記録素子の通電状態を切り換えるためのドライバと、前記ドライバを選択的に駆動するための論理回路とをさらに有し、
前記論理回路は、前記記録素子の駆動時間に関する信号を前記ドライバに出力するための駆動時間決定信号手段を有し、該駆動時間決定信号手段が、前記第1及び第2の記録素子で共通である請求項1ないしのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
Power supply means for supplying a driving voltage to the plurality of recording elements, a driver arranged for each recording element for switching the energization state of the recording elements, and a logic circuit for selectively driving the drivers In addition,
The logic circuit includes drive time determination signal means for outputting a signal related to the drive time of the recording element to the driver, and the drive time determination signal means is common to the first and second recording elements. The liquid discharge head according to any one of claims 1 to 6 .
前記第1の記録素子に通電するための配線は、前記発熱抵抗体の近傍に設けられたスルーホールを介して電気的に接続された上下2層の配線層を有している請求項1ないしのいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 The wiring for energizing the first recording element has two upper and lower wiring layers electrically connected through a through hole provided in the vicinity of the heating resistor. 8. The liquid discharge head according to any one of items 7 . 前記上下2層の配線層は、前記発熱抵抗体をなす抵抗体層と接さない下層の配線層が、前記第1の記録素子の直下を除く位置に配置されている請求項に記載の液体吐出ヘッド。 Interconnection layers of the upper and lower layers, the wiring layer of the lower layer is not bordered the resistor layer constituting the heat generating resistor, according to claim 8 which is arranged at a position except for immediately below the first recording element Liquid discharge head. 前記上下2層の前記配線層を電気的に接続する前記スルーホールは、隣接する前記第1の記録素子同士の間に配置されている請求項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 8 , wherein the through hole that electrically connects the upper and lower two wiring layers is disposed between the adjacent first recording elements. 前記上下2層の前記配線層を電気的に接続する複数の前記スルーホールの中心と、複数の前記第1の記録素子の中心とは、前記複数の吐出口の配列方向において同一直線上に位置している請求項10に記載の液体吐出ヘッド。 The centers of the plurality of through holes that electrically connect the wiring layers of the upper and lower layers and the centers of the plurality of first recording elements are positioned on the same straight line in the arrangement direction of the plurality of ejection ports. The liquid discharge head according to claim 10 .
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