JP5016633B2 - Positioning device - Google Patents
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Description
本発明はステッピングモータを用いて可動部を位置決め可能に移動させる位置決め装置に関する。 The present invention relates to a positioning device that uses a stepping motor to move a movable part in a positionable manner.
位置決めステージ等においては電源投入や停電回復等の際の初期設定として可動部を原点位置に復帰させることが必要不可欠になる。この場合、可動部が原点位置に復帰したか否かを検出するのに原点位置センサを使用するのが一般的であり、原点位置センサとして、例えば、ステージ等に配置された近接センサやスイッチの他、モータに取り付けられたエンコーダやポテションメータ等がある(例えば、特許文献1等)。この原点位置センサを用いた原点復帰方法を第1の従来例と称する。 In the positioning stage or the like, it is indispensable to return the movable part to the origin position as an initial setting at the time of power-on or power failure recovery. In this case, it is common to use an origin position sensor to detect whether or not the movable part has returned to the origin position. As the origin position sensor, for example, a proximity sensor or a switch arranged on a stage or the like is used. In addition, there are an encoder and a potentiometer attached to a motor (for example, Patent Document 1). The origin return method using this origin position sensor is referred to as a first conventional example.
また、可動部をステッピングモータを用いて移動する場合、原点位置センサを使用することなく原点位置に復帰したことを検出することができる方法が提案されている。即ち、原点復帰の際に同モータを脱調させるようにし、モータ電圧の変化を監視して脱調が検出されると、同モータを所定の励磁状態で停止させるようになっている(例えば、特許文献2等)。この脱調検出を利用した原点復帰方法を第2の従来例と称する。 Moreover, when moving a movable part using a stepping motor, the method which can detect having returned to the origin position, without using an origin position sensor is proposed. That is, the motor is stepped out when returning to the origin, and when the step-out is detected by monitoring a change in the motor voltage, the motor is stopped in a predetermined excitation state (for example, Patent Document 2). The origin return method using this step-out detection is referred to as a second conventional example.
しかしながら、第1の従来例による場合、機器の小型化及び配線省力化を図ることが困難であり、コスト高を招来するという問題がある。また、第2の従来例による場合、ステッピングモータを脱調させることから、機械的なダメージが大きく、低騒音化や低振動化を図ることも困難である。 However, in the case of the first conventional example, it is difficult to reduce the size of the device and save wiring, resulting in high costs. Further, in the case of the second conventional example, since the stepping motor is stepped out, mechanical damage is great, and it is difficult to reduce noise and vibration.
本発明は上記した背景の下で創作されたものであって、その目的とするところは、原点位置センサを使用せず原点位置を検出することが可能であり、また、ステッピングモータを使用した構成でありながら、脱調を起こすことなく可動部を原点位置に速やかに復帰させることが可能な位置決め装置を提供することにある。 The present invention was created under the background described above, and the object of the present invention is to detect the origin position without using the origin position sensor, and to use a stepping motor. However, an object of the present invention is to provide a positioning device capable of quickly returning the movable portion to the origin position without causing step-out.
上記課題を解決するために、本発明の位置決め装置は、ステッピングモータを用いて可動部を位置決め可能に移動させる装置であって、可動部に接触可能に設けられた原点ブロックと、原点ブロックに対する可動部の接触時の衝撃を吸収して同モータの脱調を回避する弾性部材と、同モータの脱調の兆候を検出して脱調兆候信号として出力する脱調兆候検出部と、入力位置指令に従って同モータの駆動を制御する制御部とを備えている。制御部は、同モータに関する脱調兆候信号及び励磁原点信号が入力され、原点復帰時には同モータを原点復帰方向に駆動させ、その後、脱調兆候信号が同モータの脱調兆候を示したときは同モータを逆転又は正転方向に微細駆動させ、この状態で励磁原点信号がアクティブとなった時点で同モータの駆動を停止させる構成となっており、脱調兆候検出部は、同モータの各相コイルの結線上の中点の電圧のレベル、周波数又は波形に現れる変化を監視し、当該監視結果に基づいて同モータの脱調の兆候の有無を検出する構成となっている。 In order to solve the above-described problems, a positioning device of the present invention is a device that moves a movable part so that the movable part can be positioned using a stepping motor, and an origin block provided so as to be able to contact the movable part, and a movable with respect to the origin block An elastic member that absorbs the impact of contact of the motor to avoid stepping out of the motor, a stepout sign detection unit that detects the stepping out of the motor and outputs it as a stepping out sign signal, and an input position command And a control unit for controlling the driving of the motor. When the control unit receives the step-out indication signal and the excitation origin signal related to the motor and drives the motor in the direction of home return when returning to the origin, and then the step-out indication signal indicates the step-out indication of the motor. is finely driven in the reverse or forward direction to the motor, the excitation origin signal in this state has a structure for stopping the driving of the motor when it becomes active, the synchronism loss symptom detecting unit, each of the motor Changes in the voltage level, frequency, or waveform at the midpoint on the phase coil connection are monitored, and the presence or absence of signs of step-out of the motor is detected based on the monitoring results.
この発明によると、原点復帰時において、ステッピングモータを原点復帰方向に駆動させると、可動部が移動し、その後、原点ブロックに接触する。可動部が原点ブロックに接触したときの衝撃が弾性部材により吸収されることから、同モータの脱調が回避され、脱調に近い状態になる。一方、脱調兆候信号が同モータの脱調の兆候を示すと、同モータを微細駆動させ、励磁原点信号がアクティブとなった時点で同モータの駆動を停止させることから、モータが脱調することなく可動部が原点位置に速やかに復帰する。 According to this invention, when the stepping motor is driven in the direction of returning to the origin when returning to the origin, the movable portion moves and then contacts the origin block. Since the impact when the movable part comes into contact with the origin block is absorbed by the elastic member, step-out of the motor is avoided, and the state close to step-out is obtained. On the other hand, if the out-of-step indication signal indicates an out-of-step indication of the motor, the motor will be finely driven, and when the excitation origin signal becomes active, the motor will stop driving, causing the motor to step out. The moving part quickly returns to the origin position without any problems.
よって、原点位置センサを使用せず原点位置を検出することが可能であり、機器の小型化及び配線省力化を容易に図ることが可能である。また、ステッピングモータを使用した構成でありながら、脱調を起こすことなく可動部を原点位置に復帰させることが可能であり、低騒音化及び低振動化を容易に図ることが可能である。さらに、可動部が原点ブロックに接触したときの衝撃が弾性部材により吸収されることから、機械的なダメージが非常に小さい。即ち、従来装置に内在する欠点を全て解消されることから、装置の小型化、高性能化及び低コスト化を図る上で大きなメリットがある。 Therefore, it is possible to detect the origin position without using the origin position sensor, and it is possible to easily reduce the size of the device and save wiring. In addition, although the configuration uses a stepping motor, it is possible to return the movable portion to the origin position without causing a step-out, and noise and vibration can be easily reduced. Further, since the impact when the movable part comes into contact with the origin block is absorbed by the elastic member, mechanical damage is very small. That is, since all the disadvantages inherent in the conventional apparatus are eliminated, there is a great merit in reducing the size, performance and cost of the apparatus.
脱調兆候検出部の脱調兆候検出方法は次のような新しい知見に基づいている。即ち、ステッピングモータが脱調に近い状態になると、同モータの各相コイルの結線上の中点の電圧のレベル、周波数又は波形等に特有の変化が現れる。よって、同モータの各相コイルの結線上の中点の電圧を検出して、中点の電圧のレベル、周波数又は波形に現れる変化を監視するようにすると同モータの脱調の兆候を検出することが可能になる。それ故、ステッピングモータの各相コイルの結線上の中点に脱調兆候検出部を接続しても同部に大きな電流が流れないことから、損失が非常に小さく、この点でモータ又はドライバ等の高効率化を図ることが可能になる。 The step-out sign detection method of the step-out sign detection unit is based on the following new knowledge. In other words, when the stepping motor is almost out of step, a characteristic change appears in the voltage level, frequency, waveform, or the like at the midpoint on the connection of each phase coil of the motor. Therefore, if the voltage at the midpoint on the connection of each phase coil of the same motor is detected and the change appearing in the level, frequency or waveform of the voltage at the midpoint is monitored, the sign of step-out of the motor is detected. It becomes possible. Therefore, even if a step-out sign detection unit is connected to the middle point on the connection of each phase coil of the stepping motor, a large current does not flow through the same part, so the loss is very small. It becomes possible to achieve higher efficiency.
以下、本発明の実施の形態に係る位置決め装置を図1乃至図11を参照して説明する。なお、特許請求の範囲に記載された発明特定事項と同装置の構成要素との間で対応関係が不明なものについては後記する符合の説明の欄において併せて示すものとする。 Hereinafter, a positioning device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about the thing whose correspondence is unknown between the invention specific matter described in the claim, and the component of the apparatus, it shall show together in the column of the description of the postscript.
ここに例として挙げる位置決め装置Aは、図1に示すようにステッピングモータ2及び位置決めステージ3を用いて可動部8を図示矢印方向に位置決め可能に移動させる装置である。図中1は脱調兆候検出器、4はドライバ、5はコントローラ、6は原点ブロック、7はショックアブゾーバである。これらの各部により位置決め装置Aが構成される。
As shown in FIG. 1, the positioning device A exemplified here is a device that moves the
位置決めステージ3については、可動部8を水平方向且つ直線移動可能に支持するテーブルであって、フレーム31外には可動部8を移動させるステッピングモータ2が取り付けられている一方、フレーム31内には同モータ2の回転運動を可動部8の直線運動に変換する変換機構32等が取り付けられている。なお、変換機構32はボールネジ機構、ラック・ピニオン機構又はタイミングベルトを用いた機構等である。
The positioning stage 3 is a table that supports the
原点ブロック6については、可動部8の一面に接触可能に位置決めステージ3のストローク端に配設された板状の位置決めブロックであって、ショックアブゾーバ7を介して位置決めステージ3のフレーム31に固定されている。
The
ショックアブゾーバ7については、原点ブロック6に対する可動部8の接触時の衝撃を吸収するためのスプリング又はゴム等の弾性体であって、可動部8が原点ブロック6に接触した際にステッピングモータ2に作用する高負荷によっても同モータ2の脱調が回避される程度の弾性力に設定されている。
The shock absorber 7 is an elastic body such as a spring or rubber for absorbing an impact when the
コントローラ5については、入力位置指令aを受けてステッピングモータ2を同指令aが示すパターンで駆動させるための指令パルスdを生成する装置であり、入力位置指令a以外に脱調兆候検出器1から導かれた脱調兆候信号b及びドライバ4から導かれた励磁原点信号c等が入力されている。本実施形態においてはマイクロプロセッサ(CPU)が使用されており、原点復帰時に処理されるソフトウェアとして図3に示すものが使用されている。詳しいことは後述する。
The
ドライバ4については、コントローラ5の後段に接続されており、フルステップ、ハーフステップ又はマイクロステップ等の駆動方式で指令パルスdに従ってステッピングモータ2を実際に駆動させるための各相励磁信号eの他、励磁タイミング上の原点を示す励磁原点信号cを生成する装置である。
The
ステッピングモータ2については、図2に示すようにロータ21、A相コイル22及びB相コイル23を有し、A相コイル22とB相コイル23との各中間部が中点αとして共通に接続された巻線構造となっている。即ち、ステッピングモータ2は、本実施形態においては、新2相型ステッピングモータを使用している。
As shown in FIG. 2, the
脱調兆候検出器1については、原点復帰時のステッピングモータ2の脱調の兆候を検出して脱調兆候信号bとして出力する回路であって、同モータ2の中点αに電気的に接続されたリード線11と、リード線11を通じて導かれた中点αの電圧を前置処理して中点電圧信号fとして出力する出力部12と、中点電圧信号aに基づいてステッピングモータ2の脱調の兆候の有無を検出する検出部13とを有した構成となっている。
The out-of-
リード線11については、一端がステッピングモータ2内の中点αに電気接続されている一方、他端が同モータ2外に取り出されている。ただ、同モータ2のリード端子の構造によっては、外部に取り出す必要がない場合もある。これは後述する中点回路部14、14’(図10及び図11参照)についても同様である。
One end of the
出力部12については、中点αの電圧を分圧するとともに直流成分の阻止等を行う分圧回路121と、同回路121の後段に接続された振幅制限回路122と、同回路122の後段に接続されたオペアンプ増幅回路123とを有した構成となっている。オペアンプ増幅回路123から出力される中点電圧信号fは、中点αの電圧を検出部13の処理に適した形に前置処理された信号であるが、中点αの電圧のレベル、周波数、波形等の情報が含まれた内容になっている。
As for the
検出部13については、アナログ形式の中点電圧信号fに基づいてステッピングモータ2の中点αの電圧のレベル、周波数又は波形に現れる変化を監視し、この監視結果に基づいて同モータ2の脱調の兆候の有無を検出し、その検出結果を脱調兆候信号bとして出力する構成となっており、本実施形態ではマイクロプロセッサ(CPU)を用いている。
The
図4乃至図6に示すグラフの縦軸は中点電圧信号fのA/D変換値、横軸はサンプリング時間を表している。ステッピングモータ2を原点復帰時の速度で駆動させた場合(入力周波数が1.5KHz)において、図4はモータ正常回転時、図5はモータ脱調直前時、図6はモータ脱調時を各々示している。
4 to 6, the vertical axis represents the A / D conversion value of the midpoint voltage signal f, and the horizontal axis represents the sampling time. When the stepping
即ち、ステッピングモータ2が図4に示す正常回転から図5に示す脱調直前に至ると、同モータ2の中点αの電圧のレベル、周波数又は波形等に特有の変化が現れる。また、同モータ2が脱調直前から図6に示す脱調に至った場合も同様であるが、同モータ2の中点αの電圧のレベル等の変化は脱調直前のものとは全く異なる。この現象は同モータ2の種類や駆動電流等のレベルに大きく左右されないことが実験により確かめられている。よって、同モータ2の原点復帰の過程で中点αの電圧のレベル、周波数又は波形等を常時監視することで同モータ2の脱調の兆候の有無を効果的に検出することが可能になる。
That is, when the stepping
このような原理でもって検出部13により同モータ2の脱調の兆候を検出している。本実施形態では、検出部13での処理を簡単化にするために、中点αの電圧のレベルが基準値を超えたか否かを判定し、超えたときは、同モータ2の脱調の兆候が検出されたとして、脱調兆候信号bをアクティブにするようにしている。
Based on this principle, the
なお、ステッピングモータ2の種類、駆動電流値及び入力周波数等により、脱調や高負荷状態を示す電圧が異なることから、脱調の兆候の有無を検出するのに必要な上記基準値については実験等を通じて適宜調整すれば良い。
Since the voltage indicating the step-out or high load state varies depending on the type of the stepping
脱調徴候検出器1の適用対象となるステッピングモータの相数及び巻線構造等については図2に示す新2相型ステッピングモータだけに止まらない。例えば、各相コイルの一端が中点として共通に接続されている第1タイプのステッピングモータ(例えば、図7、図8、図9に各々示された3相スター型、新4相型、5相スター型のステッピングモータ)の他、各相コイルが環状に接続された第2のタイプのステッピングモータ(例えば、図10、図11に各々示された3相デルタ型、5相ペンタゴン型のステッピングモータ)にも適用可能である。
The number of phases and the winding structure of the stepping motor to which the step-out
ただ、第2のタイプのステッピングモータの場合、各相コイルの結線上の中点が存在しないことから、例えば、図10に示す3相デルタ型のステッピングモータについては、高抵抗で同一抵抗値の3つの抵抗器Rを各相コイルに対応して互いに星状に接続された中央回路部14を設け、中央回路部14の一端を各相コイルの各接続点に接続し、共通接続側の他端を中点αとし、リード部11を電気的に接続するようにする。図11に示す5相ペンタゴン型のステッピングモータについても全く同様であり、高抵抗で同一抵抗値の5つの抵抗器Rを各相コイルに対応して互いに星状に接続された中央回路部14’を設け、中央回路部14’の一端を各相コイルの各接続点に接続し、共通接続側の他端を中点αとし、リード部11を電気的に接続するようにする。
However, in the case of the second type stepping motor, there is no midpoint on the connection of each phase coil. For example, the three-phase delta stepping motor shown in FIG. A
次にコントローラ5にて処理される原点復帰用のソフトウェアについて図3を参照して説明する。
Next, the origin return software processed by the
電源投入や停電回復時の初期設定として図3に示す原点復帰用のソフトウエアが処理される。まず、ステッピングモータ2を駆動させ、可動部8を原点復帰方向に所定速度で移動させる(s1)。この動作を脱調兆候信号aがアクティブになるまで継続して行う(s2,s3)。
The software for returning to the origin shown in FIG. 3 is processed as an initial setting upon power-on or power recovery. First, the stepping
その後、可動部8が原点ブロック6に接触して同モータ2が脱調直前になると、その時点で脱調兆候信号bがアクティブとなる。すると、コントローラ5内の原点用一時メモリをONにして(s4)、ステッピングモータ2を微細駆動させ、可動部8を逆転又は正転方向に自起動速度で移動させる(s5)。この動作を励磁原点信号bがアクティブになるまで継続して行う(s6,s7)。
Thereafter, when the
ステッピングモータ2の回転角が励磁原点に達すると、励磁原点信号bがアクティブとなる。すると、原点用一時メモリをOFFにして(s8)、ステッピングモータ2を停止させる(s9)。これで可動部8が原点位置に復帰し、図3に示す原点復帰用のソフトウエアの処理が終了となる。なお、上記原点用一時メモリについては、論理積を取るシーケンスの場合に必要となるもので、シーケンスによっては原点用一時メモリを省略してもかまわない。
When the rotation angle of the stepping
上記のように構成された脱調徴候検出器1によると、原点位置センサを使用せず原点位置を検出することが可能であり、機器の小型化及び配線省力化を容易に図ることが可能である。しかも、ステッピングモータ2を使用した構成でありながら、脱調を起こすことなく可動部8を原点位置に復帰させることが可能である。これは、原点復帰時においてショックアブゾーバ7の弾性力により同モータ2の脱調が回避されるとともに可動部8の原点ブロック6に対する力を打ち消すことから、同モータ2の脱調直前の安定した位置で脱調の徴候が検出され、これに伴って可動部8を停止させることが可能だからである。さらに、可動部8が原点ブロック6に接触したときの衝撃がショックアブゾーバ7により吸収されることから、機械的なダメージが非常に小さく、同モータ2が脱調しないことも含めて低騒音化及び低振動化を容易に図ることが可能である。要するに、従来装置に比べて装置の小型化、高性能化及び低コスト化を図ることが可能になる。
According to the step-out
なお、本発明に係る位置決め装置は、ステッピングモータを用いて可動部を位置決め可能に移動させる基本構成となっている限り、同モータの種類や数、同モータと可動部との間に介在された移動機構の種類等が問われず、ロボットハンド等にも適用可能である。 In addition, as long as the positioning device according to the present invention has a basic configuration that moves the movable part so that the movable part can be positioned using a stepping motor, the type and number of the motor, and the motor and the movable part are interposed. It is applicable to a robot hand or the like regardless of the type of movement mechanism.
原点ブロックについては、可動部の機械的な原点位置決めに使用可能である限り、その形状や配置位置が問われず、可動部に間接的に接触する形態であっても良い。 As long as the origin block can be used for mechanical origin positioning of the movable part, the shape and the arrangement position are not limited, and the origin block may be in an indirect contact with the movable part.
弾性部材については、原点ブロックに対する可動部の接触時の衝撃を吸収してステッピングモータの脱調を回避する限り、種類や数が問われず、ステッピングモータと可動部との間に介在される機構に設ける形態であっても良い。 As for the elastic member, as long as it absorbs the impact when the movable part contacts the origin block and avoids the stepping motor step-out, the type of the elastic member is not limited, and the mechanism is interposed between the stepping motor and the movable part. The form which provides may be sufficient.
脱調徴候検出部については、ステッピングモータの各部の電圧又は電流に基づいて同モータの脱調の兆候を検出して脱調兆候信号として出力する機能を有している限り、その構成等が問われない。例えば、同モータの各相コイルの結線上の中点の電圧のレベル、周波数又は波形に現れる変化を監視し、当該監視結果に基づいて同モータの脱調の兆候の有無を検出する構成としたり、各相コイルの電圧や電流の変化を直接的又は間接的に監視し、この監視結果に基づいて同モータの脱調の徴候の有無を検出しても良い。また、ドライバやコントローラと一体化された形態であっても良い。 As long as it has a function of detecting a step-out sign of the stepping motor based on the voltage or current of each part of the stepping motor and outputting it as a step-out sign signal, the configuration etc. I will not. For example, the voltage level, frequency or waveform at the midpoint on the connection of each phase coil of the same motor is monitored, and the presence or absence of signs of step-out of the motor is detected based on the monitoring result. The change in the voltage and current of each phase coil may be monitored directly or indirectly, and the presence / absence of a sign of step-out of the motor may be detected based on the monitoring result. Moreover, the form integrated with the driver and the controller may be sufficient.
制御部については、入力位置指令に従ってステッピングモータの駆動を制御し、原点復帰時に同モータを原点復帰方向に駆動させ、その後、脱調兆候信号が同モータの脱調兆候を示したときは同モータを逆転又は正転方向に微細駆動させ、この状態で励磁原点信号がアクティブとなった時点で同モータの駆動を停止させる機能を有する限り、ステッピングモータの制御方式やハードウエアや使用するソフトウェアの内容が問われない。 The control unit controls the driving of the stepping motor in accordance with the input position command, drives the motor in the direction of return to origin when returning to the origin, and then when the out-of-step indication signal indicates the out of step indication As long as it has a function to finely drive the motor in the reverse or forward direction and stop the motor drive when the excitation origin signal becomes active in this state, the control method of the stepping motor, the contents of the hardware and software used Is not questioned.
A 位置決め装置
1 脱調兆候検出器(脱調兆候検出部)
2 ステッピングモータ
3 位置決めステージ
4 ドライバ
5 コントローラ(制御部)
6 原点ブロック
7 ショックアブゾーバ(弾性部材)
8 可動部
α 中点(各相コイルの結線上の中点)
a 入力位置指令
b 脱調兆候信号
c 励磁原点信号
A
2 Stepping motor 3
6
8 Movable part α Midpoint (midpoint on the connection of each phase coil)
a Input position command b Step-out indication signal c Excitation origin signal
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