JP5008673B2 - Test apparatus and control method - Google Patents

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Description

本発明は、試験装置および制御方法に関する。特に本発明は、被試験デバイスを試験する試験ユニットを制御するために、制御プロセッサから試験ユニットに対し制御用の命令を送信する試験装置および制御方法に関する。本出願は、下記の米国特許出願に関連する。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
1. 出願番号 11/546,926 出願日 2006年10月12日
2. 出願番号 11/546,929 出願日 2006年10月12日
The present invention relates to a test apparatus and a control method. In particular, the present invention relates to a test apparatus and a control method for transmitting a control command from a control processor to a test unit in order to control a test unit for testing a device under test. This application is related to the following US patent applications: For designated countries where incorporation by reference of documents is permitted, the contents described in the following application are incorporated into this application by reference and made a part of this application.
1. Application No. 11 / 546,926 Application Date October 12, 20062. Application number 11 / 546,929 Application date October 12, 2006

試験装置に設けられた制御プロセッサは、インストールされた制御プログラムに基づいて動作し、試験ユニットに対し命令を送信する。これにより、試験ユニットの制御、例えば試験ユニットを適切に起動し、または、動作中の試験ユニットの設定を変更することができる。   A control processor provided in the test apparatus operates based on the installed control program, and transmits a command to the test unit. Thereby, the control of the test unit, for example, the test unit can be appropriately activated, or the setting of the test unit in operation can be changed.

但し、試験ユニットには、その仕様に応じて、処理するべき命令の順序が定められており、命令の実行順序がその仕様に反すると、試験ユニットや被試験デバイスを破損させてしまうおそれがある。このため、プログラマは、この仕様に準拠する順序で命令を実行させるように制御プログラムを作成している。   However, in the test unit, the order of instructions to be processed is determined according to its specifications. If the execution order of instructions violates the specifications, the test unit and the device under test may be damaged. . For this reason, the programmer creates a control program so that instructions are executed in an order conforming to this specification.

また、試験ユニットには、その仕様に応じて、命令を実行するべきタイミングが定められている。例えば、電圧変更などの後には、予め定められた期間待機してから次の命令を実行させないと、不安定な電圧が原因で試験ユニットが異常動作する場合がある。このため、プログラマは、命令を実行せずに一定期間待機する命令を、制御プログラム中に適宜挿入している。   Further, the timing for executing the instruction is determined in the test unit according to the specification. For example, after a voltage change or the like, if the next command is not executed after waiting for a predetermined period, the test unit may malfunction due to an unstable voltage. For this reason, the programmer appropriately inserts an instruction that waits for a certain period without executing the instruction into the control program.

また、ある命令は、試験ユニットが予め定められた状態となったタイミングで実行するように定められている。このような状態変化を検出する方法としては、制御プロセッサによるポーリング、または、試験ユニットから制御プロセッサに対する割込み処理が考えられる。   Further, a certain instruction is determined to be executed at a timing when the test unit is in a predetermined state. As a method for detecting such a state change, polling by the control processor or interrupt processing from the test unit to the control processor can be considered.

なお、半導体試験装置に関する参考技術としては、特許文献1を参照されたい。   As a reference technique related to the semiconductor test apparatus, refer to Patent Document 1.

特開平11−64450号公報JP-A-11-64450

一定期間待機する命令とは、例えば、制御プロセッサ外部のタイマに待機時間を設定し、そのタイマから制御プロセッサに対し割込みを発生させることによって実現できる。その他にも、制御プログラム中でアイドル・ループなどの本来不要な処理をさせたり、制御プロセッサを制御するオペレーティングシステムの機能によって待機処理をさせることによって実現できる。   The instruction to wait for a certain period can be realized, for example, by setting a standby time in a timer outside the control processor and generating an interrupt from the timer to the control processor. In addition, it can be realized by performing an originally unnecessary process such as an idle loop in the control program or by performing a standby process by the function of the operating system that controls the control processor.

ところが、制御プロセッサが待機する時間は、プログラマが想定した時間とは異なってしまう場合がある。これは、命令の実行タイミングにばらつきがあるからである。例えば、制御プロセッサが様々な割込み処理を受けて他の処理を行ったり、または、複数のタスクを時分割して実行すると、命令の実行タイミングは遅延する場合がある。この結果、実行タイミングのばらつきにより命令実行のタイミングが早まると、充分な待機時間を確保できずに次の処理を行い、試験ユニット等を破損するおそれがある。   However, the time that the control processor waits may be different from the time assumed by the programmer. This is because the instruction execution timing varies. For example, when the control processor receives various interrupt processes to perform other processes, or when a plurality of tasks are executed in a time-sharing manner, the instruction execution timing may be delayed. As a result, if the instruction execution timing is advanced due to a variation in execution timing, a sufficient waiting time cannot be ensured, and the next processing may be performed to damage the test unit or the like.

このような事態を避けるため、プログラマは、実際に必要な待機時間よりも充分に長い待機時間を確保できるように制御プログラムを作成している。この結果、設定変更等に要する時間が本来必要な時間よりも大幅に長くなり、試験処理全体の効率を低下させてしまうおそれがあった。   In order to avoid such a situation, the programmer creates a control program so that a standby time sufficiently longer than the actually required standby time can be secured. As a result, the time required for the setting change or the like is significantly longer than the originally required time, which may reduce the efficiency of the entire test process.

また、制御プロセッサによるポーリングとは、制御プロセッサから試験ユニット中のレジスタを定期的に読み出し、その値の変化によって状態変化を検出する処理をいう。しかしながら、レジスタからの値の読み出し処理は制御プロセッサの命令実行と比較して所要時間が長く、制御プロセッサに入出力待ち時間が生じ、制御プロセッサの計算能力を有効活用できない場合があった。   The polling by the control processor refers to a process of periodically reading out a register in the test unit from the control processor and detecting a state change based on a change in the value. However, the process of reading the value from the register takes a longer time than the instruction execution of the control processor, and the control processor has an input / output waiting time, and the calculation power of the control processor may not be effectively utilized.

一方で、割込み処理を実現しようとすると、各試験ユニットに割込みを実現するための機構が必要となり、試験装置全体の設計を複雑化するおそれがある。さらには、割込みを迅速に検出しようとすると、割込みの有無を高頻度で確認しなければならず、割込みを制御するオペレーティングシステムが制御プロセッサの処理負荷を増加させてしまうおそれがある。   On the other hand, if an interrupt process is to be realized, a mechanism for realizing an interrupt is required for each test unit, which may complicate the design of the entire test apparatus. Furthermore, if an interrupt is to be detected quickly, the presence / absence of the interrupt must be checked frequently, and the operating system that controls the interrupt may increase the processing load on the control processor.

このように、試験ユニットの状態変化を迅速かつ適切に検出しようとすると、制御プロセッサには高い計算能力が要求される。このため、複数の試験ユニットを備えた試験装置においても、試験ユニット毎に制御プロセッサが必要となり、試験装置内に多数の制御プロセッサが搭載されることとなる。制御プロセッサの数の増加は、試験装置やその冷却装置の大型化や費用の増大、ひいては、試験装置の故障発生率を増加させる要因ともなり得る。   As described above, in order to quickly and appropriately detect the change in the state of the test unit, the control processor is required to have a high computing capacity. For this reason, even in a test apparatus having a plurality of test units, a control processor is required for each test unit, and a large number of control processors are mounted in the test apparatus. An increase in the number of control processors can increase the size and cost of the test apparatus and its cooling apparatus, and thus increase the failure occurrence rate of the test apparatus.

そこで本発明の1つの側面においては、上記の課題を解決することのできる試験装置および制御方法を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。   Accordingly, an object of one aspect of the present invention is to provide a test apparatus and a control method that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.

即ち、本発明の第1の形態によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験する試験プログラムを実行する制御プロセッサと、被試験デバイスに接続され、制御プロセッサの指示に応じて被試験デバイスを試験する試験ユニットと、制御プロセッサおよび試験ユニットに接続され、制御プロセッサから試験ユニットへと送信される制御命令を中継する中継部とを備え、中継部は、制御プロセッサから試験ユニットに割り当てられたアドレスに対して書き込まれるべき制御命令をバッファするバッファ部と、制御プロセッサから受信した、制御命令を試験ユニットに対して送信すべきタイミングを記憶するタイミング記憶部と、タイミング記憶部に記憶されたタイミングが到達したことに応じて、バッファ部にバッファされた制御命令を、試験ユニットへ送信するバッファ制御部とを有する試験装置を提供する。   That is, according to the first aspect of the present invention, there is provided a test apparatus for testing a device under test, a control processor for executing a test program for testing the device under test, and an instruction of the control processor connected to the device under test. A test unit that tests the device under test according to the control processor, and a relay unit that is connected to the control processor and the test unit and relays a control command transmitted from the control processor to the test unit. A buffer unit that buffers a control instruction to be written to an address assigned to the test unit, a timing storage unit that stores a timing received from the control processor and that should be transmitted to the test unit, and a timing storage In response to the arrival of the timing stored in the buffer. File has been the control command to provide a test apparatus and a buffer control unit to be transmitted to the test unit.

本発明の第2の形態によると、被試験デバイスを試験する試験プログラムを実行する制御プロセッサと、被試験デバイスに接続され、制御プロセッサの指示に応じて被試験デバイスを試験する試験ユニットとを備える試験装置を制御する制御方法であって、制御プロセッサから試験ユニットに割り当てられたアドレスに対して書き込まれるべき制御命令をバッファし、制御プロセッサから受信した、制御命令を試験ユニットに対して送信すべきタイミングを記憶し、タイミングが到達したことに応じて、バッファされた制御命令を、試験ユニットへ送信する制御方法を提供する。   According to a second aspect of the present invention, a control processor that executes a test program for testing a device under test, and a test unit that is connected to the device under test and tests the device under test according to an instruction of the control processor are provided. A control method for controlling a test apparatus, wherein a control instruction to be written to an address assigned to a test unit from a control processor is buffered, and a control instruction received from the control processor should be transmitted to the test unit A control method is provided for storing timing and transmitting a buffered control instruction to a test unit in response to timing arrival.

本発明の第3の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを試験する試験プログラムを実行する制御プロセッサと、被試験デバイスに接続され、制御プロセッサの指示に応じて被試験デバイスを試験する試験ユニットと、制御プロセッサおよび試験ユニットに接続され、制御プロセッサから試験ユニットへと送信される制御命令を中継する中継部とを備え、中継部は、制御プロセッサから指定された、試験ユニットの状態を示す状態レジスタを繰返し読み出すポーリング部と、状態レジスタの値が制御プロセッサから指定された期待値となったことに応じて、状態レジスタの値が期待値となった後に試験ユニットが処理すべき制御命令を試験ユニットへ送信する処理制御部とを有する試験装置を提供する。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a test apparatus for testing a device under test, the control processor executing a test program for testing the device under test, and connected to the device under test according to an instruction from the control processor. A test unit for testing the device under test and a relay unit connected to the control processor and the test unit and relaying a control command transmitted from the control processor to the test unit. The relay unit is designated by the control processor. In addition, a polling unit that repeatedly reads out the status register indicating the status of the test unit, and a test after the status register value reaches the expected value in response to the status register value becoming the expected value specified by the control processor Provided is a test apparatus having a processing control unit for transmitting a control command to be processed by a unit to a test unit

本発明の第4の形態においては、被試験デバイスを試験する試験プログラムを実行する制御プロセッサと、被試験デバイスに接続され、制御プロセッサの指示に応じて被試験デバイスを試験する試験ユニットとを備える試験装置を制御する制御方法であって、制御プロセッサから指定された、試験ユニットの状態を示す状態レジスタを繰返し読み出し、状態レジスタの値が制御プロセッサから指定された期待値となったことに応じて、状態レジスタの値が期待値となった後に試験ユニットが処理すべき制御命令を試験ユニットへ送信する制御方法を提供する。   According to a fourth aspect of the present invention, a control processor that executes a test program for testing a device under test and a test unit that is connected to the device under test and tests the device under test according to instructions from the control processor are provided. A control method for controlling a test apparatus, in which a status register designated by a control processor indicating a status of a test unit is repeatedly read out, and the value of the status register becomes an expected value designated by the control processor. Provided is a control method for transmitting a control command to be processed by the test unit to the test unit after the value of the status register reaches the expected value.

なお上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションも又発明となりうる。   The above summary of the invention does not enumerate all necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.

試験装置10の全体構成を示す。The whole structure of the test apparatus 10 is shown. 中継部20の機能構成を示す。The function structure of the relay part 20 is shown. バッファ制御部35の機能構成を示す。A functional configuration of the buffer control unit 35 is shown. 制御プロセッサ15から試験ユニット40に対する命令を中継部20によって中継する処理の流れを示す。A flow of processing for relaying an instruction from the control processor 15 to the test unit 40 by the relay unit 20 is shown. 図4のS420における処理の詳細を示す。Details of the processing in S420 of FIG. 4 are shown. 図4のS430における処理の詳細を示す。Details of the processing in S430 of FIG. 4 are shown. バッファ部200にバッファリングされる命令群の第1例を示す。A first example of an instruction group buffered in the buffer unit 200 is shown. バッファ部200にバッファリングされる命令群の第2例を示す。The 2nd example of the instruction group buffered by the buffer part 200 is shown. 本実施形態の変形例における試験装置10の全体構成を示す。The whole structure of the test apparatus 10 in the modification of this embodiment is shown. 本実施形態の変形例におけるバッファ部200にバッファリングされる命令群の一例を示す。An example of an instruction group buffered in the buffer unit 200 in a modification of the present embodiment will be described.

符号の説明Explanation of symbols

10・・・試験装置、15・・・制御プロセッサ、20・・・中継部、40・・・試験ユニット、50・・・被試験デバイス、100・・・試験プログラム、400・・・状態レジスタ、410・・・状態レジスタ、30・・・処理制御部、200・・・バッファ部、210・・・タイミング記憶部、220・・・条件記憶部、230・・・ポーリング部、35・・・バッファ制御部、300・・・取出部、310・・・書込部、320・・・検出部、330・・・送信部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Test apparatus, 15 ... Control processor, 20 ... Relay part, 40 ... Test unit, 50 ... Device under test, 100 ... Test program, 400 ... Status register, 410 ... Status register, 30 ... Processing control unit, 200 ... Buffer unit, 210 ... Timing storage unit, 220 ... Condition storage unit, 230 ... Polling unit, 35 ... Buffer Control unit, 300 ... extraction unit, 310 ... writing unit, 320 ... detection unit, 330 ... transmission unit

以下、発明の実施の形態を通じて本発明の(一)側面を説明するが、以下の実施形態は請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the (1) aspect of the present invention will be described through embodiments of the invention. However, the following embodiments do not limit the invention according to the claims, and the features described in the embodiments are described below. Not all combinations are essential for the solution of the invention.

図1は、試験装置10の全体構成を示す。試験装置10は、制御プロセッサ15と、複数の中継部20と、複数の試験ユニット40とを有する。制御プロセッサ15は、被試験デバイスを試験する試験プログラム100を実行する。制御プロセッサ15は、それぞれが異なる試験ユニット40を制御する複数の試験プログラム100を実行してもよい。複数の試験プログラム100のそれぞれは、マルチタスク、マルチプロセス、または、マルチスレッドと呼ばれる実行機構を備えるオペレーティングシステムにおいて、制御プロセッサ15の計算機資源を時分割して並行に実行されてもよい。   FIG. 1 shows the overall configuration of the test apparatus 10. The test apparatus 10 includes a control processor 15, a plurality of relay units 20, and a plurality of test units 40. The control processor 15 executes a test program 100 for testing the device under test. The control processor 15 may execute a plurality of test programs 100 that control different test units 40. Each of the plurality of test programs 100 may be executed in parallel by dividing the computer resources of the control processor 15 in an operating system having an execution mechanism called multitask, multiprocess, or multithread.

複数の試験ユニット40のそれぞれは、複数の被試験デバイス50のそれぞれに対応して設けられている。そして、複数の試験ユニット40のそれぞれは、対応する被試験デバイス50に接続され、制御プロセッサ15の指示に応じてその被試験デバイス50を試験する。また、複数の試験ユニット40のそれぞれは、当該試験ユニット40の状態を示す状態レジスタを有する。例えば、複数の試験ユニット40のそれぞれは、第1の状態レジスタの一例である状態レジスタ400と、第2の状態レジスタの一例である状態レジスタ410とを有する。図中では1つの試験ユニット40にのみ状態レジスタ400、410を例示したが、他のそれぞれの試験ユニット40もまた状態レジスタを有していてよい。そして、複数の試験ユニット40のそれぞれは、試験の進行による状態変化に応じて、当該試験ユニット40の状態をこれらの状態レジスタに記憶する。   Each of the plurality of test units 40 is provided corresponding to each of the plurality of devices under test 50. Each of the plurality of test units 40 is connected to the corresponding device under test 50 and tests the device under test 50 according to an instruction from the control processor 15. Each of the plurality of test units 40 includes a status register that indicates the status of the test unit 40. For example, each of the plurality of test units 40 includes a status register 400 that is an example of a first status register and a status register 410 that is an example of a second status register. In the figure, the status registers 400 and 410 are illustrated for only one test unit 40, but each of the other test units 40 may also have a status register. Each of the plurality of test units 40 stores the state of the test unit 40 in these state registers in accordance with the state change due to the progress of the test.

複数の中継部20のそれぞれは、複数の試験ユニット40のそれぞれに対応して設けられている。複数の中継部20のそれぞれは、制御プロセッサ15および対応する試験ユニット40に接続される。そして、複数の中継部20のそれぞれは、制御プロセッサ15から対応する試験ユニット40へと送信される制御命令を中継する。具体的には、中継部20内の記憶領域および試験ユニット40内の記憶領域は、制御プロセッサ15上で試験プログラム100が動作する仮想的なアドレス空間にマッピングされている。そして、制御プロセッサ15は、試験プログラム100中の書込コマンドを実行することにより、その仮想的なアドレス空間、即ち中継部20または試験ユニット40に対し書き込みを行う。なお、試験ユニット40に対する制御命令とは、例えば、その試験ユニット40から被試験デバイス50に印加する電圧の大きさを設定・変更する命令などのほか、試験用の信号の周波数を設定・変更する命令や、試験シーケンスの動作の開始を指示する命令などであってよい。   Each of the plurality of relay units 20 is provided corresponding to each of the plurality of test units 40. Each of the plurality of relay units 20 is connected to the control processor 15 and the corresponding test unit 40. Each of the relay units 20 relays a control command transmitted from the control processor 15 to the corresponding test unit 40. Specifically, the storage area in the relay unit 20 and the storage area in the test unit 40 are mapped to a virtual address space in which the test program 100 operates on the control processor 15. Then, the control processor 15 executes a write command in the test program 100 to write to the virtual address space, that is, the relay unit 20 or the test unit 40. The control command for the test unit 40 is, for example, a command for setting / changing the magnitude of the voltage applied from the test unit 40 to the device under test 50, or setting / changing the frequency of a test signal. It may be a command or a command for instructing the start of the test sequence operation.

中継部20は、試験ユニット40に割り当てられたアドレス空間に対する書込データについては、制御プロセッサ15から受け取ってそのまま試験ユニット40に転送する。一方で、中継部20は、中継部20に割り当てられたアドレス空間に対する書込データについては、その内容に応じて当該中継部20中のレジスタまたはメモリなどに対し書込み処理を行う。中継部20は、書込まれた内容に応じて、命令転送のタイミングを制御する。例えば、中継部20は、当該書込データに続いて受信した制御命令などのデータを、当該書込データによって示される時間を待機した後に試験ユニット40に対し送信してもよい。   The relay unit 20 receives the write data for the address space assigned to the test unit 40 from the control processor 15 and transfers it to the test unit 40 as it is. On the other hand, the relay unit 20 performs write processing on the register or memory in the relay unit 20 according to the content of the write data for the address space allocated to the relay unit 20. The relay unit 20 controls the instruction transfer timing according to the written contents. For example, the relay unit 20 may transmit data such as a control command received following the write data to the test unit 40 after waiting for a time indicated by the write data.

このように、本実施形態に係る試験装置10は、試験ユニット40に対しコマンドを送信するタイミングを、制御プロセッサ15とは別体に設けられた中継部20によって制御する。これにより、制御プロセッサ15の処理負荷を軽減すると共に、制御命令送信のタイミングを正確に制御することを目的とする。   As described above, the test apparatus 10 according to the present embodiment controls the timing of transmitting a command to the test unit 40 by the relay unit 20 provided separately from the control processor 15. This aims to reduce the processing load on the control processor 15 and accurately control the timing of control command transmission.

続いて、複数の中継部20のうちある1つの中継部20についての機能構成を説明する。   Subsequently, a functional configuration of one relay unit 20 among the plurality of relay units 20 will be described.

図2は、中継部20の機能構成を示す。中継部20は、処理制御部30と、バッファ部200と、タイミング記憶部210と、条件記憶部220と、ポーリング部230とを有する。実装の一例としては、バッファ部200、タイミング記憶部210および条件記憶部220は、レジスタやメモリといった記憶媒体によって実装されており、ポーリング部230および処理制御部30は、シーケンサによって実装されている。まず、制御プロセッサ15が、制御命令の書き込みに先立って、その制御命令を試験ユニット40に対して送信すべきタイミングを、試験ユニット40に割り当てられたアドレスに対し書き込む場合の処理機能を説明する。バッファ部200は、当該中継部20に割り当てられたアドレスに対して制御プロセッサ15から書き込まれるべきタイミング値、および、対応する試験ユニット40に割り当てられたアドレスに対して制御プロセッサ15から書き込まれるべき制御命令を順次バッファする。   FIG. 2 shows a functional configuration of the relay unit 20. The relay unit 20 includes a processing control unit 30, a buffer unit 200, a timing storage unit 210, a condition storage unit 220, and a polling unit 230. As an example of the implementation, the buffer unit 200, the timing storage unit 210, and the condition storage unit 220 are implemented by a storage medium such as a register and a memory, and the polling unit 230 and the process control unit 30 are implemented by a sequencer. First, the processing function when the control processor 15 writes the timing at which the control command should be transmitted to the test unit 40 prior to the writing of the control command to the address assigned to the test unit 40 will be described. The buffer unit 200 controls the timing value to be written from the control processor 15 to the address assigned to the relay unit 20 and the control value to be written from the control processor 15 to the address assigned to the corresponding test unit 40. Buffer instructions sequentially.

詳細には、バッファ部200は、制御プロセッサ15から受信した、タイミング値を書き込むタイミング書込コマンドと、制御命令を書き込む制御命令書込コマンドとを順次バッファする。タイミング書込コマンドとは、例えば、中継部20に割り当てられたアドレス空間中のアドレス、および、当該アドレスに書き込まれるべきタイミング値の組である。一方、制御命令書込コマンドとは、例えば、試験ユニット40に割り当てられたアドレス空間中のアドレス、および、当該アドレスに書き込まれるべき制御命令の組である。   Specifically, the buffer unit 200 sequentially buffers a timing write command for writing a timing value and a control command write command for writing a control command received from the control processor 15. The timing write command is, for example, a set of an address in the address space allocated to the relay unit 20 and a timing value to be written to the address. On the other hand, the control command write command is, for example, a set of an address in an address space allocated to the test unit 40 and a control command to be written to the address.

タイミング記憶部210は、制御プロセッサ15から受信した、制御命令を試験ユニット40に対して送信すべきタイミングを記憶する。このタイミングは、タイミング書込コマンドに応じてバッファ制御部35によりタイミング値として記憶されるものである。処理制御部30は、バッファ制御部35を有する。バッファ制御部35は、上記のタイミング値の記憶の他、タイミング書込コマンドに続いて受信する制御命令の送信タイミングを制御する。詳細には、バッファ制御部35は、タイミング記憶部210に記憶されたタイミングが到達したことに応じて、バッファ部200にバッファされた制御命令を、対応する試験ユニット40に対し送信する。このタイミング値は、例えば、続いて受信した制御命令の送信を遅延させる遅延量などである。つまり、バッファ制御部35は、バッファ部200からタイミング書込コマンドを取出したことに応じてそのタイミングが到達するまで、タイミング書込コマンドより後に受信した制御命令書込コマンドの処理を遅延させる。   The timing storage unit 210 stores the timing at which the control command received from the control processor 15 should be transmitted to the test unit 40. This timing is stored as a timing value by the buffer control unit 35 in accordance with the timing write command. The processing control unit 30 includes a buffer control unit 35. In addition to storing the timing value, the buffer control unit 35 controls the transmission timing of the control command received following the timing write command. Specifically, the buffer control unit 35 transmits the control command buffered in the buffer unit 200 to the corresponding test unit 40 in response to the arrival of the timing stored in the timing storage unit 210. This timing value is, for example, a delay amount for delaying transmission of a control command received subsequently. That is, the buffer control unit 35 delays the processing of the control command write command received after the timing write command until the timing is reached in response to taking out the timing write command from the buffer unit 200.

次に、制御プロセッサ15が、試験ユニット40に割り当てられたアドレス空間内の状態レジスタのアドレスおよび期待値を、中継部20に割り当てられたアドレスに対して書き込んだ後、当該試験ユニット40に割り当てられたアドレスに制御命令を書き込む場合の処理機能を説明する。条件記憶部220は、制御プロセッサ15から受信した、試験ユニット40の状態を示す状態レジスタのアドレスと、その状態レジスタの値と比較される期待値とを記憶する。これらのアドレスおよび期待値は、バッファ制御部35によって記憶されるものである。即ち、バッファ制御部35は、バッファ部200から、状態レジスタのアドレスおよび期待値を書き込む条件書込コマンドを取得すると、そのアドレスおよび期待値を条件記憶部220に記憶する。   Next, the control processor 15 writes the address and expected value of the status register in the address space assigned to the test unit 40 to the address assigned to the relay unit 20 and then assigned to the test unit 40. A processing function when a control command is written to a specific address will be described. The condition storage unit 220 stores the address of the state register indicating the state of the test unit 40 received from the control processor 15 and the expected value to be compared with the value of the state register. These addresses and expected values are stored by the buffer control unit 35. That is, when the buffer control unit 35 obtains a condition write command for writing the address and expected value of the status register from the buffer unit 200, the buffer control unit 35 stores the address and expected value in the condition storage unit 220.

なお、状態レジスタのアドレスとは、その状態レジスタに割り当てられた制御プロセッサ15における仮想的なアドレスの他、その状態レジスタの番号その他の識別情報などであってもよい。   The address of the status register may be a virtual address in the control processor 15 assigned to the status register, as well as the status register number and other identification information.

ポーリング部230は、制御プロセッサ15から指定された、試験ユニット40の状態を示す状態レジスタ(制御プロセッサ15の指定に応じて状態レジスタ400および状態レジスタ410の一方または双方)を繰返し読み出す。詳細には、ポーリング部230は、バッファ部200から条件書込みコマンドを取得したことに応じて、状態レジスタのアドレス(即ち条件記憶部220に記憶したアドレス)を読出アドレスとする読出コマンドを試験ユニット40へと繰返し発行する。処理制御部30は、読み出した状態レジスタの値が制御プロセッサ15から指定された期待値となったことに応じて、その状態レジスタの値がその期待値となった後に試験ユニット40が処理すべき制御命令を試験ユニット40へ送信する。状態レジスタの値が期待値となった後に処理すべき制御命令とは、例えば、条件書込コマンドより後に受信した制御命令書込コマンドにより書き込まれる命令である。即ち、バッファ制御部35は、状態レジスタの値が期待値となったことに応じて、条件書込コマンドより後に受信した制御命令書込コマンドを試験ユニット40へ送信する。   The polling unit 230 repeatedly reads out a status register (one or both of the status register 400 and the status register 410 according to the designation of the control processor 15) designated by the control processor 15 and indicating the status of the test unit 40. Specifically, in response to the acquisition of the condition write command from the buffer unit 200, the polling unit 230 sends a read command having the address of the status register (that is, the address stored in the condition storage unit 220) as a read address to the test unit 40. Issue repeatedly. In response to the read state register value having reached the expected value designated by the control processor 15, the processing control unit 30 should be processed by the test unit 40 after the state register value has reached the expected value. A control command is transmitted to the test unit 40. The control instruction to be processed after the value of the status register reaches the expected value is, for example, an instruction written by a control instruction write command received after the conditional write command. That is, the buffer control unit 35 transmits the control command write command received after the conditional write command to the test unit 40 in response to the value of the status register reaching the expected value.

これに代えて、または、これに加えて、バッファ制御部35は、状態レジスタの値が期待値となったことに応じて、制御プロセッサ15から後続の制御命令を送信させるべく制御プロセッサに割込みを発行してもよい。この処理は、一連の試験処理が終了したような場合に有効である。即ち例えば、バッファ制御部35は、制御プロセッサ15に対し割込みを発行して制御プロセッサ15を再起動させることで、次の試験を初めから開始することができる。   Instead of this, or in addition to this, the buffer control unit 35 interrupts the control processor to cause the control processor 15 to transmit a subsequent control command in response to the value of the status register reaching the expected value. May be issued. This process is effective when a series of test processes are completed. That is, for example, the buffer control unit 35 can start the next test from the beginning by issuing an interrupt to the control processor 15 and restarting the control processor 15.

図3は、バッファ制御部35の機能構成を示す。バッファ制御部35は、取出部300と、書込部310と、検出部320と、送信部330とを有する。取出部300は、バッファ部200にバッファされた書込コマンドを順次取り出す。取出部300は、書込部310による書込み完了の通知、または、送信部330による送信完了の通知に応じ、FIFO方式のバッファ部200の先頭から書込コマンドを1つ取出してもよい。また、取出部300は、中継部20用の書込コマンドを取出した後にその書込みコマンドをバッファ部200から直ちに削除してもよいし、その書込コマンドに応じた処理の完了後にその書込コマンドをバッファ部200から削除してもよい。   FIG. 3 shows a functional configuration of the buffer control unit 35. The buffer control unit 35 includes an extraction unit 300, a writing unit 310, a detection unit 320, and a transmission unit 330. The extracting unit 300 sequentially extracts the write commands buffered in the buffer unit 200. The take-out unit 300 may take out one write command from the head of the FIFO buffer unit 200 in response to a write completion notification from the write unit 310 or a transmission completion notification from the transmission unit 330. In addition, the take-out unit 300 may immediately delete the write command from the buffer unit 200 after taking out the write command for the relay unit 20, or the write command after completion of the processing corresponding to the write command May be deleted from the buffer unit 200.

書込部310は、本発明に係るタイミング書込部の一例であり、タイミング書込コマンドを取出したことに応じて当該タイミングをタイミング記憶部210に記憶させる。また、書込部310は、条件書込コマンドを取出したことに応じて、状態レジスタのアドレスおよび期待値を条件記憶部220に記憶させる。検出部320は、タイミング記憶部210に記憶されたタイミングの到達を検出する。また、検出部320は、ポーリング部230により読み出された状態レジスタの値が期待値となったかを検出する。   The writing unit 310 is an example of a timing writing unit according to the present invention, and stores the timing in the timing storage unit 210 in response to taking out the timing writing command. Further, the writing unit 310 stores the address of the state register and the expected value in the condition storage unit 220 in response to taking out the conditional writing command. The detection unit 320 detects the arrival of the timing stored in the timing storage unit 210. The detection unit 320 detects whether the value of the status register read by the polling unit 230 has reached an expected value.

送信部330は、タイミングの到達が検出されたことを条件として、タイミング書込コマンドの後に受信した制御命令書込コマンドを、試験ユニット40へと送信する。また、送信部330は、状態レジスタの値が期待値となったことを条件として、条件書込コマンドの後に受信した制御命令書込コマンドを試験ユニット40へと送信する。   The transmission unit 330 transmits the control command write command received after the timing write command to the test unit 40 on condition that the arrival of timing is detected. Further, the transmission unit 330 transmits the control command write command received after the conditional write command to the test unit 40 on the condition that the value of the status register becomes the expected value.

図4は、制御プロセッサ15から試験ユニット40に対する命令を中継部20によって中継する処理の流れを示す。バッファ部200は、制御プロセッサ15から試験ユニット40または当該中継部20に割り当てられたアドレスに対して書き込まれるべき制御命令をバッファする(S400)。取出部300は、バッファ部200にバッファされた書込コマンドを順次取り出す(S410)。取出した書込コマンドが、当該中継部20に割り当てられたアドレス空間に対する書込コマンドであれば、中継部20は、タイミング記憶部210または条件記憶部220に対し書込みを行う(S420)。取出した書込コマンドが、試験ユニット40の状態レジスタ400、410のアドレスに対する書込コマンドであれば、中継部20は、制御命令の送信処理を行う(S430)。   FIG. 4 shows a flow of processing for relaying a command from the control processor 15 to the test unit 40 by the relay unit 20. The buffer unit 200 buffers a control command to be written from the control processor 15 to the address assigned to the test unit 40 or the relay unit 20 (S400). The extraction unit 300 sequentially extracts the write commands buffered in the buffer unit 200 (S410). If the extracted write command is a write command for the address space allocated to the relay unit 20, the relay unit 20 writes to the timing storage unit 210 or the condition storage unit 220 (S420). If the extracted write command is a write command for the address of the status registers 400 and 410 of the test unit 40, the relay unit 20 performs control command transmission processing (S430).

図5は、図4のS420における処理の詳細を示す。書込部310は、取出したコマンドがタイミング書込コマンドか否かを判断する(S500)。タイミング書込コマンドであれば(S500:YES)、書込部310は、そのタイミング書込コマンドによって指定されたタイミングをタイミング記憶部210に記憶させる(S510)。条件書込コマンドであれば(S520:YES)、書込部310は、後続の制御命令を送信する条件、即ち、状態レジスタのアドレスおよび期待値を条件記憶部220に記憶させる(S530)。   FIG. 5 shows details of the processing in S420 of FIG. The writing unit 310 determines whether or not the extracted command is a timing write command (S500). If it is a timing write command (S500: YES), the writing unit 310 stores the timing designated by the timing write command in the timing storage unit 210 (S510). If it is a conditional write command (S520: YES), the writing unit 310 causes the condition storage unit 220 to store the condition for transmitting the subsequent control command, that is, the address of the state register and the expected value (S530).

図6は、図4のS430における処理の詳細を示す。検出部320は、タイミング記憶部210に記憶されたタイミングの到達を検出する(S600)。タイミングの到達が検出された場合に、または、そもそもタイミングが設定されていない場合に(S600:YES)、検出部320は、状態レジスタの値が制御プロセッサ15から指定された期待値となったかを判断する(S610)。この判断において、状態レジスタの値は所定のマスク値によってビットマスクされた上で判断に用いられてもよい。具体的には、以下の通りである。   FIG. 6 shows details of the processing in S430 of FIG. The detection unit 320 detects the arrival of the timing stored in the timing storage unit 210 (S600). When the arrival of timing is detected, or when the timing is not set in the first place (S600: YES), the detection unit 320 determines whether the value of the status register has reached the expected value specified by the control processor 15. Judgment is made (S610). In this determination, the value of the status register may be used for the determination after being masked by a predetermined mask value. Specifically, it is as follows.

まず、制御プロセッサ15は、状態レジスタのアドレスおよび期待値の書き込みにおいて、その期待値として、ポーリング部230が読み出した状態レジスタの値の各ビットをマスクするか否かを指定するマスク値と、マスクされた状態レジスタの値が満たすべき値を示すマスク後期待値とを条件記憶部220に書き込む。そして、ポーリング部230は、状態レジスタの値を読み出すとともに、その状態レジスタの値をそのマスク値によりマスクした値がマスク後期待値となったか否かを判断する。   First, the control processor 15 writes a mask value specifying whether or not to mask each bit of the value of the status register read by the polling unit 230 as the expected value when writing the address and expected value of the status register, The post-mask expected value indicating the value to be satisfied by the value of the state register thus written is written in the condition storage unit 220. Then, the polling unit 230 reads the value of the status register and determines whether or not the value obtained by masking the value of the status register with the mask value becomes the expected value after masking.

そして、タイミングの到達が検出され、かつ、状態レジスタの値が期待値となったことに応じ(S600:YES、S610:YES)、バッファ制御部35の検出部320は、条件書込コマンドまたはタイミング書込コマンドよりも後に受信した制御命令書込コマンドを試験ユニット40へ送信する(S620)。なお、状態レジスタにマスク値が指定されている場合には、マスクした値がマスク後期待値となったことが条件となる。   Then, when the arrival of timing is detected and the value of the status register reaches the expected value (S600: YES, S610: YES), the detection unit 320 of the buffer control unit 35 performs the conditional write command or timing. The control command write command received after the write command is transmitted to the test unit 40 (S620). If a mask value is specified in the status register, the condition is that the masked value becomes the expected value after masking.

タイミングの到達が検出されず、または、状態レジスタの値が期待値となっていない場合には、処理制御部30は、バッファ部200から条件書込コマンドが取得されてから予め設定されたタイムアウト時間が経過したかどうかを判断する(S630)。経過していれば(S630:YES)、処理制御部30は、制御プロセッサ15に対してタイムアウト割込みを発行する(S640)。これにより、条件を設定したものの障害の発生などでそれが成立しない場合や、設定した条件に誤りがありその条件が成立することが無い場合であっても、エラーの検出処理や次の試験を適切に開始させることができる。   When the arrival of timing is not detected or the value of the status register is not the expected value, the process control unit 30 sets a timeout time set in advance after the conditional write command is acquired from the buffer unit 200. It is determined whether or not elapses (S630). If it has elapsed (S630: YES), the process control unit 30 issues a timeout interrupt to the control processor 15 (S640). As a result, even if the condition is set but it does not hold due to a failure, etc., or even if the set condition has an error and the condition does not hold, error detection processing and the next test are performed. It can be started properly.

この割込みを受けた制御プロセッサ15は、バッファ部200の内容を消去して次の処理を正しく開始できるようにするため、バッファ部200の内容を消去する命令を中継部20に対し発行してもよい。この場合、中継部20は、この命令を受信すると、バッファ部200内にバッファリングせずにバッファ部200内の書込コマンドを消去する。さらに他の例として、制御プロセッサ15は、バッファ部200の内容を読み出す命令を中継部20に対し発行してもよい。この場合、中継部20は、この命令を受信すると、その命令をバッファ部200内にバッファリングせずに、バッファ部200から書込コマンドを読み出して制御プロセッサ15に送信する。これらの仕組みを実装することで、エラー発生後の復旧や原因追究を効率化できる。   The control processor 15 that has received this interrupt may issue an instruction to erase the contents of the buffer unit 200 to the relay unit 20 in order to erase the contents of the buffer unit 200 and start the next processing correctly. Good. In this case, when receiving this command, the relay unit 20 erases the write command in the buffer unit 200 without buffering in the buffer unit 200. As yet another example, the control processor 15 may issue a command for reading the contents of the buffer unit 200 to the relay unit 20. In this case, when receiving this command, the relay unit 20 reads the write command from the buffer unit 200 and transmits it to the control processor 15 without buffering the command in the buffer unit 200. By implementing these mechanisms, it is possible to improve the efficiency of recovery and cause investigation after an error occurs.

また、処理制御部30は、特定の条件成立、例えば、予め定められた特定の状態レジスタの値が期待値となったかどうかを判断する(S650)。この状態レジスタがその期待値となった状態とは、例えば、試験装置10による一連の試験が終了したことを示す状態である。この場合には(S650:YES)、処理制御部30は、制御プロセッサ15から後続の制御命令、即ち次の試験の制御命令を送信させるべく、制御プロセッサ15に対し割込みを発行する(S640)。   In addition, the process control unit 30 determines whether a specific condition is satisfied, for example, whether a predetermined value in a specific state register is an expected value (S650). The state in which the state register has reached its expected value is a state indicating that a series of tests by the test apparatus 10 has been completed, for example. In this case (S650: YES), the process control unit 30 issues an interrupt to the control processor 15 in order to cause the control processor 15 to transmit a subsequent control command, that is, a control command for the next test (S640).

図7は、バッファ部200にバッファリングされる命令群の第1例を示す。第1例を用いて、制御命令を実行させるために充足するべき条件を複数設定する例を説明する。この第1例において、FIFO方式のバッファ部200には、先頭から順に、状態レジスタ400に条件を書込むための第1の条件書込みコマンドである条件書込コマンド1と、状態レジスタ410に条件を書込むための第2の条件書込コマンドである条件書込コマンド2と、試験ユニット40を制御する制御命令とが記憶される。条件書込コマンド1は、制御プロセッサ15のアドレス空間において状態レジスタ400を特定するための第1のアドレスと、状態レジスタ400と比較されるべき第1の期待値とによって構成される。また、条件書込コマンド2は、制御プロセッサ15のアドレス空間において状態レジスタ410を特定するための第2のアドレスと、状態レジスタ410と比較されるべき第2の期待値とによって構成される。   FIG. 7 shows a first example of an instruction group buffered in the buffer unit 200. An example of setting a plurality of conditions to be satisfied in order to execute a control command will be described using the first example. In the first example, in the FIFO buffer unit 200, the condition write command 1 which is a first condition write command for writing a condition to the state register 400 and the condition in the state register 410 are sequentially set from the top. A conditional write command 2 that is a second conditional write command for writing and a control command for controlling the test unit 40 are stored. The conditional write command 1 is composed of a first address for specifying the status register 400 in the address space of the control processor 15 and a first expected value to be compared with the status register 400. The conditional write command 2 includes a second address for specifying the state register 410 in the address space of the control processor 15 and a second expected value to be compared with the state register 410.

即ち、制御プロセッサ15は、状態レジスタ400が第1の期待値となり、かつ、状態レジスタ410が第2の期待値となったことを条件として、制御命令を試験ユニット40へ送信したい場合には、状態レジスタ400のアドレスおよび第1の期待値と、状態レジスタ410のアドレスおよび第2の期待値とをバッファ部200に割り当てられたアドレスに対して順次書き込む。そしてその後に、制御プロセッサ15は、試験ユニット40に割り当てられたアドレスに制御命令を書き込む。その結果、図7に示すように、条件書込コマンド1、条件書込コマンド2、および、制御命令が順次バッファ部200に格納されることとなる。   That is, if the control processor 15 wishes to send a control command to the test unit 40 on condition that the status register 400 becomes the first expected value and the status register 410 becomes the second expected value, The address and first expected value of the status register 400, and the address and second expected value of the status register 410 are sequentially written to the addresses assigned to the buffer unit 200. Thereafter, the control processor 15 writes a control command at the address assigned to the test unit 40. As a result, as shown in FIG. 7, the conditional write command 1, the conditional write command 2, and the control instruction are sequentially stored in the buffer unit 200.

バッファ部200がこのような状態にある場合において、ポーリング部230は、状態レジスタ400のアドレスおよび第1の期待値を書き込む条件書込コマンド1をバッファ部200から取得したことに応じて、状態レジスタ400のアドレスを読出アドレスとする第1の読出コマンドを試験ユニット40へと繰返し発行する。そして、バッファ制御部35は、状態レジスタ400の値が第1の期待値となったことに応じて、条件書込みコマンド1より後に受信した、状態レジスタ410のアドレスおよび第2の期待値を書き込む条件書込コマンド2をバッファ部200から取り出す。   When the buffer unit 200 is in such a state, the polling unit 230 receives the conditional write command 1 for writing the address of the state register 400 and the first expected value from the buffer unit 200, and the state register A first read command having the address 400 as a read address is repeatedly issued to the test unit 40. Then, the buffer control unit 35 writes the address of the status register 410 and the second expected value received after the condition write command 1 in response to the value of the status register 400 becoming the first expected value. The write command 2 is taken out from the buffer unit 200.

そして、ポーリング部230は、条件書込コマンド2をバッファ部200から取得したことに応じて、状態レジスタ410のアドレスを読み出しアドレスとする第2の読出コマンドを試験ユニット40へと繰返し発行する。そして、バッファ制御部35は、状態レジスタ410の値が第2の期待値となったことに応じて、条件書込コマンド2より後に受信した制御命令書込コマンドを試験ユニット40へ送信する。このように、複数の条件書込コマンドを用いれば、制御命令を実行させるために充足するべき条件を複数指定することができる。   Then, in response to the acquisition of the conditional write command 2 from the buffer unit 200, the polling unit 230 repeatedly issues a second read command having the address of the status register 410 as a read address to the test unit 40. Then, the buffer control unit 35 transmits a control command write command received after the conditional write command 2 to the test unit 40 in response to the value of the status register 410 becoming the second expected value. As described above, when a plurality of condition write commands are used, a plurality of conditions to be satisfied in order to execute the control command can be designated.

図8は、バッファ部200にバッファリングされる命令群の第2例を示す。第2例を用いて、制御命令を実行させるために充足するべき複数の異なる条件を設定する処理を説明する。この第2例において、FIFO方式のバッファ部200には、先頭から順に、制御命令を試験ユニット40に対して送信するべきタイミングを定めるタイミング書込コマンドと、状態レジスタ400に条件を書込むための条件書込コマンドと、試験ユニット40を制御する制御命令とが記憶される。   FIG. 8 shows a second example of the instruction group buffered in the buffer unit 200. A process for setting a plurality of different conditions to be satisfied in order to execute a control command will be described using a second example. In this second example, in the FIFO buffer unit 200, in order from the top, a timing write command for determining the timing at which a control command should be transmitted to the test unit 40, and a condition for writing a condition in the status register 400 A condition write command and a control command for controlling the test unit 40 are stored.

即ち、制御プロセッサ15は、タイミング書込コマンドと、条件書込コマンドと、制御命令書込コマンドとをこの順に順次発行している。このような状態において、検出部320は、タイミング書込コマンドによって書込まれたタイミングの到達を検出する。タイミングの到達が検出されると、取出部300は、その次のコマンド、即ち条件書込コマンドをバッファ部200から取り出す。そして、ポーリング部230は、状態レジスタ400のアドレスおよび期待値を書き込む条件書込コマンドをバッファ部200から取得したことに応じて、状態レジスタ400のアドレスを読出アドレスとする読出コマンドを試験ユニット40へと繰返し発行する。そして、バッファ制御部35は、状態レジスタ400の値が期待値となったことに応じて、条件書込みコマンドより後に受信した、制御命令書込コマンドを試験ユニット40へ送信する。このように、制御命令を実行させるために充足するべき条件は、複数の異なる種類の条件の組合せであってもよい。   That is, the control processor 15 sequentially issues a timing write command, a condition write command, and a control command write command in this order. In such a state, the detection unit 320 detects the arrival of the timing written by the timing write command. When the arrival of timing is detected, the extraction unit 300 extracts the next command, that is, the conditional write command, from the buffer unit 200. Then, in response to the acquisition of the condition write command for writing the address and expected value of the state register 400 from the buffer unit 200, the polling unit 230 sends a read command having the address of the state register 400 as a read address to the test unit 40. And repeatedly issue. Then, the buffer control unit 35 transmits the control command write command received after the condition write command to the test unit 40 in response to the value of the status register 400 becoming the expected value. As described above, the condition to be satisfied in order to execute the control command may be a combination of a plurality of different types of conditions.

図9は、本実施形態の変形例における試験装置10の全体構成を示す。本変形例は、複数の試験ユニット40が協業して単一の被試験デバイス50を試験することを目的とする。被試験デバイス50の高性能化に伴い、被試験デバイス50の入出力端子の数も増加しており、1つの試験ユニット40によっては1つの被試験デバイス50を試験できない場合がある。このような場合には、複数の試験ユニット40が被試験デバイス50の入出力端子の一部ずつに接続されて試験を行う。   FIG. 9 shows the overall configuration of the test apparatus 10 in a modification of the present embodiment. This modification is intended to test a single device under test 50 in cooperation with a plurality of test units 40. As the performance of the device under test 50 increases, the number of input / output terminals of the device under test 50 also increases, and one device under test 50 may not be tested by one test unit 40. In such a case, a plurality of test units 40 are connected to some of the input / output terminals of the device under test 50 for testing.

具体的には、本変形例に係る試験装置10は、試験ユニット40−1および試験ユニット40−2によって被試験デバイス50−1を試験する。また、試験装置10は、試験ユニット40−3および試験ユニット40−4によって被試験デバイス50−2を試験する。また、試験ユニット40−1〜4のそれぞれに対応付けて、中継部20−1〜4のそれぞれが設けられている。このような形態において、中継部20−1〜2は、制御プロセッサ15における同一のアドレス空間を共有してもよい。また、中継部20−3〜4は、制御プロセッサ15における同一のアドレス空間を共有してもよい。この場合における命令中継処理の一例を、図10を参照して説明する。   Specifically, the test apparatus 10 according to this modification tests the device under test 50-1 using the test unit 40-1 and the test unit 40-2. The test apparatus 10 tests the device under test 50-2 using the test unit 40-3 and the test unit 40-4. In addition, each of the relay units 20-1 to 20-4 is provided in association with each of the test units 40-1 to 40-4. In such a form, the relay units 20-1 and 20-2 may share the same address space in the control processor 15. Further, the relay units 20-3 to 4 may share the same address space in the control processor 15. An example of the instruction relay process in this case will be described with reference to FIG.

なお、図9を参照して述べた構成以外の構成については、図1〜図8を参照して説明した実施形態に係る試験装置10と略同一であるから説明を省略する。   The configuration other than the configuration described with reference to FIG. 9 is substantially the same as the test apparatus 10 according to the embodiment described with reference to FIGS.

図10は、本実施形態の変形例におけるバッファ部200にバッファリングされる命令群の一例を示す。中継部20−1および中継部20−2は同一のアドレス空間を共有しているので、中継部20−1のバッファ部200および中継部20−2のバッファ部200には、同一の命令群がバッファリングされている。具体的には、それぞれのバッファ部200には、先頭から順に、試験ユニット40−1に対する制御命令1と、試験ユニット40−2に対する制御命令2と、試験ユニット40−1に対する制御命令1とがこの順に記憶されている。   FIG. 10 shows an example of an instruction group buffered in the buffer unit 200 in the modification of the present embodiment. Since the relay unit 20-1 and the relay unit 20-2 share the same address space, the buffer group 200 of the relay unit 20-1 and the buffer unit 200 of the relay unit 20-2 have the same instruction group. Buffered. Specifically, in each buffer unit 200, in order from the top, a control command 1 for the test unit 40-1, a control command 2 for the test unit 40-2, and a control command 1 for the test unit 40-1 are provided. They are stored in this order.

中継部20−1の取出部300は、バッファ部200の先頭から制御命令1を取り出すと、この制御命令1の書込み先が試験ユニット40−1であるかを判断する。書込み先は試験ユニット40−1であるから、中継部20−1はこの制御命令1を試験ユニット40−1に対し送信させる。一方で、中継部20−2の取出部300は、バッファ部200の先頭の制御命令1の書込み先は試験ユニット40−2ではないので、その制御命令1を実行しないで破棄する。   When the take-out unit 300 of the relay unit 20-1 takes out the control command 1 from the head of the buffer unit 200, it determines whether the write destination of the control command 1 is the test unit 40-1. Since the write destination is the test unit 40-1, the relay unit 20-1 transmits this control command 1 to the test unit 40-1. On the other hand, the take-out unit 300 of the relay unit 20-2 discards the control command 1 without executing the control command 1 because the write destination of the first control command 1 in the buffer unit 200 is not the test unit 40-2.

先頭の制御命令1の実行または破棄が完了すると、中継部20−1〜2はともに次の命令の処理に移る。即ち、中継部20−1のバッファ部200は、制御命令2を取り出すと、その制御命令2の書込み先が試験ユニット40−2なので、その制御命令2を破棄する。一方で、中継部20−2のバッファ部200は、制御命令2の書込み先が試験ユニット40−2なので、その制御命令を試験ユニット40−2に対し送信させる。以降の制御命令についても同様である。   When the execution or discard of the first control instruction 1 is completed, the relay units 20-1 and 20-2 both move to processing of the next instruction. That is, when the buffer unit 200 of the relay unit 20-1 takes out the control instruction 2, the control instruction 2 is discarded because the write destination of the control instruction 2 is the test unit 40-2. On the other hand, since the write destination of the control command 2 is the test unit 40-2, the buffer unit 200 of the relay unit 20-2 transmits the control command to the test unit 40-2. The same applies to the subsequent control commands.

このように、本変形例によれば、1つの被試験デバイス50を複数の試験ユニット40を用いて試験する場合においても、制御プロセッサ15から見たアドレス空間を被試験デバイス50ごとに設定することができる。このようにしても、中継部20により、それぞれの試験ユニット40に対する命令は適切に振り分けられて処理される。このように、本変形例によれば、図1から図8に示した実施形態において説明した処理に加えて、命令の振分処理をも中継部20に集中させて、制御プロセッサ15の負荷を軽減することができる。さらには、既存の試験プログラム100および試験ユニット40の流用を容易とすることができる。   As described above, according to this modification, even when one device under test 50 is tested using a plurality of test units 40, the address space viewed from the control processor 15 is set for each device under test 50. Can do. Even in this case, the instructions to the respective test units 40 are appropriately distributed and processed by the relay unit 20. As described above, according to this modification, in addition to the processing described in the embodiment shown in FIGS. 1 to 8, instruction distribution processing is also concentrated on the relay unit 20, and the load on the control processor 15 is increased. Can be reduced. Furthermore, the existing test program 100 and the test unit 40 can be easily used.

以上、本発明の(一)側面を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることができる。例えば、本実施例またはその変形例に示す中継部20は、それに対応する試験ユニット40の中に含めて実装されてもよい。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。   The (1) aspect of the present invention has been described above using the embodiment, but the technical scope of the present invention is not limited to the scope described in the above embodiment. Various changes or improvements can be added to the above embodiment. For example, the relay unit 20 shown in the present embodiment or a modification example thereof may be included in the test unit 40 corresponding thereto and mounted. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

上記説明から明らかなように、本発明の(一)実施形態によれば、試験ユニットの動作タイミングを精度良くかつ効率的に制御する試験装置および制御方法を実現することができる。   As is clear from the above description, according to the (1) embodiment of the present invention, it is possible to realize a test apparatus and a control method for accurately and efficiently controlling the operation timing of the test unit.

Claims (12)

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験する試験プログラムを実行する制御プロセッサと、
前記被試験デバイスに接続され、前記制御プロセッサの指示に応じて前記被試験デバイスを試験する試験ユニットと、
前記制御プロセッサおよび前記試験ユニットに接続され、前記制御プロセッサから前記試験ユニットへと送信される制御命令を中継する中継部と
を備え、
前記中継部は、
前記制御プロセッサから前記試験ユニットに割り当てられたアドレスに対して書き込まれるべき前記制御命令をバッファするバッファ部と、
前記制御プロセッサから受信した、前記制御命令を前記試験ユニットに対して送信すべきタイミングを記憶するタイミング記憶部と、
前記タイミング記憶部に記憶されたタイミングが到達したことに応じて、前記バッファ部にバッファされた前記制御命令を、前記試験ユニットへ送信するバッファ制御部と
を有する試験装置。
A test apparatus for testing a device under test,
A control processor for executing a test program for testing the device under test;
A test unit connected to the device under test and testing the device under test in accordance with instructions from the control processor;
A relay unit that is connected to the control processor and the test unit and relays a control command transmitted from the control processor to the test unit;
The relay unit is
A buffer unit for buffering the control instruction to be written to the address assigned to the test unit from the control processor;
A timing storage unit that stores a timing at which the control command received from the control processor is to be transmitted to the test unit;
A test apparatus comprising: a buffer control unit that transmits the control command buffered in the buffer unit to the test unit in response to the arrival of the timing stored in the timing storage unit.
前記制御プロセッサは、前記制御命令の書き込みに先立って、前記制御命令を前記試験ユニットに対して送信すべきタイミングを、前記中継部に割り当てられたアドレスに対して書き込み、
前記バッファ部は、前記制御プロセッサから受信した、前記タイミングを書き込むタイミング書込コマンドと、前記制御命令を書き込む制御命令書込コマンドとを順次バッファし、
前記バッファ制御部は、前記バッファ部から前記タイミング書込コマンドを取り出したことに応じて前記タイミングが到達するまで、前記タイミング書込コマンドより後に受信した前記制御命令書込コマンドの処理を遅延させる
請求項1に記載の試験装置。
Prior to the writing of the control command, the control processor writes the timing at which the control command should be sent to the test unit to the address assigned to the relay unit,
The buffer unit sequentially buffers the timing write command for writing the timing and the control command write command for writing the control command received from the control processor,
The buffer control unit delays processing of the control command write command received after the timing write command until the timing is reached in response to taking out the timing write command from the buffer unit. Item 2. The test apparatus according to Item 1.
前記バッファ制御部は、
前記バッファ部にバッファされた書込コマンドを順次取り出す取出部と、
前記タイミング書込コマンドを取り出したことに応じて当該タイミングを前記タイミング記憶部に記憶させるタイミング書込部と、
前記タイミング記憶部に記憶された前記タイミングの到達を検出する検出部と、
前記タイミングの到達が検出されたことを条件として、前記タイミング書込コマンドの後に受信した前記制御命令書込コマンドを、前記試験ユニットへと送信する送信部と
を含む請求項2に記載の試験装置。
The buffer control unit
An extraction unit for sequentially retrieving the write commands buffered in the buffer unit;
A timing writing unit for storing the timing in the timing storage unit in response to taking out the timing writing command;
A detection unit for detecting arrival of the timing stored in the timing storage unit;
The test apparatus according to claim 2, further comprising: a transmission unit that transmits the control command write command received after the timing write command to the test unit on condition that the arrival of the timing is detected. .
当該試験装置は、複数の被試験デバイスを試験するものであり、
前記複数の被試験デバイスのそれぞれに対応して、複数の前記試験ユニットのそれぞれが設けられ、
前記複数の試験ユニットのそれぞれに対応して、複数の前記中継部のそれぞれが設けられる
請求項3に記載の試験装置。
The test apparatus is for testing a plurality of devices under test.
Corresponding to each of the plurality of devices under test, each of the plurality of test units is provided,
The test apparatus according to claim 3, wherein each of the plurality of relay units is provided corresponding to each of the plurality of test units.
被試験デバイスを試験する試験プログラムを実行する制御プロセッサと、前記被試験デバイスに接続され、前記制御プロセッサの指示に応じて前記被試験デバイスを試験する試験ユニットとを備える試験装置を制御する制御方法であって、
前記制御プロセッサから前記試験ユニットに割り当てられたアドレスに対して書き込まれるべき制御命令をバッファし、
前記制御プロセッサから受信した、前記制御命令を前記試験ユニットに対して送信すべきタイミングを記憶し、
前記タイミングが到達したことに応じて、バッファされた前記制御命令を、前記試験ユニットへ送信する
制御方法。
A control method for controlling a test apparatus comprising: a control processor that executes a test program for testing a device under test; and a test unit that is connected to the device under test and tests the device under test according to an instruction from the control processor Because
Buffer control instructions to be written to addresses assigned to the test unit from the control processor;
Storing the timing at which the control command received from the control processor is to be transmitted to the test unit;
A control method for transmitting the buffered control command to the test unit in response to the arrival of the timing.
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスを試験する試験プログラムを実行する制御プロセッサと、
前記被試験デバイスに接続され、前記制御プロセッサの指示に応じて前記被試験デバイスを試験する試験ユニットと、
前記制御プロセッサおよび前記試験ユニットに接続され、前記制御プロセッサから前記試験ユニットへと送信される制御命令を中継する中継部と
を備え、
前記中継部は、
前記制御プロセッサから指定された、前記試験ユニットの状態を示す状態レジスタを繰返し読み出すポーリング部と、
前記状態レジスタの値が前記制御プロセッサから指定された期待値となったことに応じて、前記状態レジスタの値が前記期待値となった後に前記試験ユニットが処理すべき前記制御命令を前記試験ユニットへ送信する処理制御部と
を有する試験装置。
A test apparatus for testing a device under test,
A control processor for executing a test program for testing the device under test;
A test unit connected to the device under test and testing the device under test in accordance with instructions from the control processor;
A relay unit that is connected to the control processor and the test unit and relays a control command transmitted from the control processor to the test unit;
The relay unit is
A polling unit that repeatedly reads a status register designated by the control processor and indicating the status of the test unit;
In response to the value of the state register becoming an expected value designated by the control processor, the control unit is to process the control instruction to be processed by the test unit after the value of the state register becomes the expected value. And a processing control unit for transmitting to the test apparatus.
前記制御プロセッサは、前記試験ユニットに割り当てられたアドレス空間内の前記状態レジスタのアドレスおよび前記期待値を、前記中継部に割り当てられたアドレスに対して書き込んだ後、前記試験ユニットに割り当てられたアドレスに前記制御命令を書き込み、
前記中継部は、前記制御プロセッサから受信した、前記状態レジスタのアドレスおよび前記期待値を書き込む条件書込コマンドと、前記制御命令を書き込む制御命令書込コマンドとを順次バッファするバッファ部を更に有し、
前記ポーリング部は、前記バッファ部から前記条件書込コマンドを取得したことに応じて、前記状態レジスタのアドレスを読出アドレスとする読出コマンドを前記試験ユニットへと繰返し発行し、
前記処理制御部は、前記状態レジスタの値が前記期待値となったことに応じて、前記条件書込コマンドより後に受信した前記制御命令書込コマンドを前記試験ユニットへ送信するバッファ制御部を含む
請求項6に記載の試験装置。
The control processor writes the address of the status register in the address space assigned to the test unit and the expected value to the address assigned to the relay unit, and then assigns the address assigned to the test unit. Write the control command to
The relay unit further includes a buffer unit that sequentially buffers the condition write command for writing the status register address and the expected value received from the control processor and the control command write command for writing the control command. ,
In response to obtaining the conditional write command from the buffer unit, the polling unit repeatedly issues a read command with the address of the status register as a read address to the test unit,
The processing control unit includes a buffer control unit that transmits the control command write command received after the conditional write command to the test unit in response to the value of the status register becoming the expected value. The test apparatus according to claim 6.
前記制御プロセッサは、前記状態レジスタのアドレスおよび前記期待値の書き込みにおいて、前記期待値として、前記ポーリング部が読み出した前記状態レジスタの値の各ビットをマスクするか否かを指定するマスク値と、マスクされた前記状態レジスタの値が満たすべき値を示すマスク後期待値とを書き込み、
前記バッファ制御部は、前記状態レジスタの値を前記マスク値によりマスクした値が前記マスク後期待値となったことに応じて、前記条件書込コマンドより後に受信した前記制御命令書込コマンドを前記試験ユニットへ送信する
請求項7に記載の試験装置。
The control processor specifies whether or not to mask each bit of the value of the status register read by the polling unit as the expected value in writing the address of the status register and the expected value; Write a masked expected value indicating the value to be satisfied by the value of the masked status register,
The buffer control unit receives the control command write command received after the conditional write command in response to a value obtained by masking the value of the state register with the mask value being the expected value after masking. The test apparatus according to claim 7, which is transmitted to the test unit.
前記制御プロセッサは、第1の前記状態レジスタが第1の前記期待値となり、かつ、第2の前記状態レジスタが第2の前記期待値となったことを条件として前記制御命令を前記試験ユニットへ送信する場合において、前記第1の状態レジスタのアドレスおよび前記第1の期待値と、前記第2の状態レジスタのアドレスおよび前記第2の期待値とを前記中継部に割り当てられたアドレスに対して順次書き込んだ後、前記試験ユニットに割り当てられたアドレスに前記制御命令を書き込み、
前記ポーリング部は、前記第1の状態レジスタのアドレスおよび前記第1の期待値を書き込む第1の前記条件書込コマンドを前記バッファ部から取得したことに応じて、前記第1の状態レジスタのアドレスを読出アドレスとする第1の読出コマンドを前記試験ユニットへと繰返し発行し、
前記バッファ制御部は、前記第1の状態レジスタの値が前記第1の期待値となったことに応じて、前記第1の条件書込コマンドより後に受信した、前記第2の状態レジスタのアドレスおよび前記第2の期待値を書き込む第2の前記条件書込コマンドを前記バッファ部から取り出し、
前記ポーリング部は、前記第2の条件書込コマンドを前記バッファ部から取得したことに応じて、前記第2の状態レジスタのアドレスを読み出しアドレスとする第2の読出コマンドを前記試験ユニットへと繰返し発行し、
前記バッファ制御部は、前記第2の状態レジスタの値が前記第2の期待値となったことに応じて、前記第2の条件書込コマンドより後に受信した前記制御命令書込コマンドを前記試験ユニットへ送信する
請求項7に記載の試験装置。
The control processor sends the control instruction to the test unit on condition that the first status register becomes the first expected value and the second status register becomes the second expected value. When transmitting, the address of the first status register and the first expected value, and the address of the second status register and the second expected value are assigned to the address assigned to the relay unit. After sequentially writing, the control command is written to the address assigned to the test unit,
The polling unit receives the first condition write command for writing the address of the first state register and the first expected value from the buffer unit, and then the address of the first state register. Is repeatedly issued to the test unit with a read address as
The buffer control unit receives an address of the second state register received after the first conditional write command in response to the value of the first state register becoming the first expected value. And taking out the second conditional write command for writing the second expected value from the buffer unit,
In response to the acquisition of the second conditional write command from the buffer unit, the polling unit repeats a second read command having the address of the second status register as a read address to the test unit. Issue,
The buffer control unit receives the control command write command received after the second conditional write command in response to the value of the second status register becoming the second expected value. The test apparatus according to claim 7, which is transmitted to the unit.
前記処理制御部は、前記バッファ部から前記条件書込コマンドが取得されてから予め設定されたタイムアウト時間が経過したことに応じて、前記制御プロセッサに対してタイムアウト割り込みを発行する請求項6に記載の試験装置。  The process control unit issues a time-out interrupt to the control processor in response to elapse of a preset time-out period after the conditional write command is acquired from the buffer unit. Testing equipment. 前記処理制御部は、前記状態レジスタの値が前記制御プロセッサから指定された期待値となったことに応じて、前記制御プロセッサから後続の前記制御命令を送信させるべく前記制御プロセッサに割り込みを発行する請求項6に記載の試験装置。  The processing control unit issues an interrupt to the control processor to cause the control processor to transmit a subsequent control command in response to the value of the status register having reached an expected value designated by the control processor. The test apparatus according to claim 6. 被試験デバイスを試験する試験プログラムを実行する制御プロセッサと、
前記被試験デバイスに接続され、前記制御プロセッサの指示に応じて前記被試験デバイスを試験する試験ユニットとを備える試験装置を制御する制御方法であって、
前記制御プロセッサから指定された、前記試験ユニットの状態を示す状態レジスタを繰返し読み出し、
前記状態レジスタの値が前記制御プロセッサから指定された期待値となったことに応じて、前記状態レジスタの値が前記期待値となった後に前記試験ユニットが処理すべき前記制御命令を前記試験ユニットへ送信する
制御方法。
A control processor for executing a test program for testing the device under test;
A control method for controlling a test apparatus connected to the device under test and comprising a test unit for testing the device under test in accordance with an instruction from the control processor,
Repeatedly reading a status register designated by the control processor and indicating the status of the test unit;
In response to the value of the state register becoming an expected value designated by the control processor, the control unit is to process the control instruction to be processed by the test unit after the value of the state register becomes the expected value. Control method to send to.
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