JP5007224B2 - 加速度計の感度を較正する方法 - Google Patents
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Description
本発明の一実施形態において、ある温度以上でマイクロマシンの差動可変型の加速度計の感度を較正するための方法が提供される。提供される加速度計は、基板と、支持用バネによって基板上に懸垂される移動可能なマスとを含む。移動可能なマスは、移動可能な電極を含む。第1および第2の固定された電極は、基板上に懸垂され、基板に対して移動不可能である。移動可能な電極および第1および第2の固定された電極は、差動可変キャパシタを形成する。励起および信号調整回路は、移動可能なマスの移動に比例する増幅信号を生成するために提供される。アクチュエータは、作動されたときに、電気的な手段によって、マスを移動させるために提供される。寸法の関係は、アクチュエータの電極の間隔とバネの幅との間に確立され、その結果、アクチュエータとバネとの動作特性が結びつけられる。方法は、移動可能なバネ−マス系の共振周波数を測定することと、マスをアクチュエータを用いて移動させることと、増幅信号の変化を測定することと、加速度計の感度を計算することとを含む。本発明の特定の実施形態において、加速度計の感度を計算することは、移動可能なマスをアクチュエータを用いて移動させることに相当する加速度を計算することを含む。本発明の特定の実施形態において、電子的なゲインは、その後、EPROMプログラミング、レーザトリミング、回路要素の電気的な融合、または、類似した方法によって調整され、標的値の感度をもたらす。
本発明の特定の実施形態において、マイクロマシンの差動可変キャパシタ型加速度計の感度は、外部の機械的な励起(例えば、振盪させること)なしに、決定され得る。そのために、加速度計の移動可能なバネ−マス系の共振周波数が、測定される。移動可能なマスが静電気力によって移動させされる際の加速度計の出力電圧もまた、測定される。その後、デバイスの感度が計算される。これらの実施形態において、外部の機械的な励起なしに、デバイスのコンポーネントの間の寸法の関係を利用することにより、感度が決定される。これらの関係は、加速度計に形成される寸法制御構造により、または、コンポーネントを一様な間隔で間隔付けることにより、提供され得る。本明細書においてその全体を参照するために援用される米国特許第5,880,369号および6,282,960号は、加速度計におけるそのような寸法制御構造を含む方法を開示している。
複数のアクチュエータの間、複数の自己診断フィンガーの間、および、アクチュエータと自己診断フィンガーとの間に一様な間隔を維持することにより(例えば、折り畳まれたバネのレッグの間の一様な間隔を維持することにより)、両構造に適用される製造工程(例えば、エッチングまたはフォトリソグラフィ)、および、そのような工程の変動(例えば、エッチングの間の変動)は、これら構造の物理的な寸法(例えば、バネの幅およびフィンガーの幅)に、非常に高い相関で影響を与える。
(例えば、フィールドプログラマブルゲートアレイ(FPGA)またはその他のPLD)、離散型コンポーネント、集積回路(例えば、特定用途向け集積回路(ASIC))、または、これらの任意の組み合わせを含むその他任意の手段を含む異なる多くの形態で実施され得るが、それらには限定されない。
Claims (13)
- 加速度計を較正する方法であって、
a.加速度計を提供することであって、該加速度計は、
i.基板と、
ii.該基板上に懸垂され、該基板に対して移動可能なマスであって、該マスは、移動可能な電極を有している、マスと、
iii.該基板上に懸垂され、該基板に対して移動不可能な第1の固定された電極と、
iv.該基板上に懸垂され、該基板に対して移動不可能な第2の固定された電極であって、移動可能な電極および該第1および第2の固定された電極は、差動キャパシタを形成している、第2の固定された電極と、
v.該移動可能な電極および該固定された電極に接続され、増幅信号を提供する、励起および読み出し回路と、
vi.アクチュエータであって、該アクチュエータは、アクチュエータフィンガーと自己診断フィンガーとを有し、該アクチュエータフィンガーと該自己診断フィンガーとは、アクチュエータフィンガー間隔によって隔てられており、該アクチュエータは、該基板上に懸垂されており、該アクチュエータは、作動されたときに、電気的な手段によって、該マスを移動させる、アクチュエータと、
vii.該基板上に懸垂され、該マスに接続されたバネであって、該バネは、幅を有し、該バネおよび該アクチュエータは、該アクチュエータと該バネとの間で寸法の関係が確立されるように配置されている、バネと
を含む、ことと、
b.該マスの共振周波数を測定することと、
c.該マスを該アクチュエータを用いて移動させることと、
d.該増幅信号の変化を測定することと、
e.該加速度計の感度を計算することと
を含み、
該加速度計の感度を計算することは、等価な加速度を計算することを含み、
該等価な加速度を計算することは、該共振周波数の関数を計算することを含み、
該等価な加速度は、印加される作動電圧の2乗によって乗算された該共振周波数の関数に等しく、
該加速度計の感度は、該増幅信号および該等価な加速度の関数であり、
該アクチュエータと該バネとの間での寸法の関係は、該アクチュエータフィンガー間隔の製造の変動が該バネの幅の反対の製造の変動に相関されるように構成されており、
該等価な加速度は、該製造の変動を測定することなく、該製造の変動に起因する部品ごとの当初の±30%の変動にかかわらず、±5%以上の精度で決定されることが可能である、方法。 - 前記加速度計の感度を計算することは、
前記増幅信号の変化を前記等価な加速度によって割ることにより、該感度を計算すること
をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記加速度計は、機械的な励起を用いずに較正される、請求項1に記載の方法。
- 前記共振周波数の関数は、有限要素解析によって決定される、請求項1に記載の方法。
- 前記共振周波数の関数は、経験的に決定される、請求項1に記載の方法。
- 前記共振周波数の関数は、前記マスの共振周波数の2次関数である、請求項1に記載の方法。
- 自己較正式の加速度計であって、
a.基板と、
b.該基板上に懸垂され、該基板に対して移動可能なマスであって、該マスは、移動可能な電極を含んでいる、マスと、
c.該基板上に懸垂され、該基板に対して移動不可能な第1の固定された電極と、
d.該基板上に懸垂され、該基板に対して移動不可能な第2の固定された電極であって、移動可能な電極および該第1および第2の固定された電極は、差動キャパシタを形成している、第2の固定された電極と、
e.該移動可能な電極および該固定された電極に接続され、増幅信号を提供する、励起および読み出し回路と、
f.アクチュエータであって、該アクチュエータは、アクチュエータフィンガーと自己診断フィンガーとを有し、該アクチュエータフィンガーと該自己診断フィンガーとは、アクチュエータフィンガー間隔によって隔てられており、該アクチュエータは、該基板上に懸垂されており、該アクチュエータは、作動されたときに、電気的な手段によって、該マスを移動させる、アクチュエータと、
g.該基板上に懸垂され、該マスに接続されたバネであって、該バネは、幅を有し、該バネおよびアクチュエータは、該アクチュエータと該バネとの間で寸法の関係が確立されるように配置されている、バネと
h.ロジックであって、
i.該マスの共振周波数を測定し、
ii.該マスを該アクチュエータを用いて移動させ、
iii.該増幅信号の変化を測定し、
iv.該加速度計の感度を計算する
ロジックと
を含み、
該加速度計の感度を計算することは、等価な加速度を計算することを含み、
該等価な加速度を計算することは、該共振周波数の関数を計算することを含み、
該等価な加速度は、印加される作動電圧の2乗によって乗算された該共振周波数の関数に等しく、
該加速度計の感度は、該増幅信号および該等価な加速度の関数であり、
該アクチュエータと該バネとの間での寸法の関係は、該アクチュエータフィンガー間隔の製造の変動が該バネの幅の反対の製造の変動に相関されるように構成されており、
該等価な加速度は、該製造の変動を測定することなく、該製造の変動に起因する部品ごとの当初の±30%の変動にかかわらず、±5%以上の精度で決定されることが可能である、自己較正式の加速度計。 - 前記加速度計の感度を計算することは、
前記増幅信号の変化を前記等価な加速度によって割ることにより、該感度を計算すること
をさらに含む、請求項7に記載の加速度計。 - 前記加速度計は、モノリシックデバイスとして製造される、請求項7に記載の加速度計。
- 前記ロジックの少なくとも一部分は、前記差動キャパシタとは別個のデバイス内に実装されている、請求項8に記載の加速度計。
- 前記共振周波数の関数は、有限要素解析によって決定される、請求項7に記載の加速度計。
- 前記共振周波数の関数は、経験的に決定される、請求項7に記載の加速度計。
- 前記共振周波数の関数は、前記マスの共振周波数の2次関数である、請求項7に記載の加速度計。
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US5621157A (en) * | 1995-06-07 | 1997-04-15 | Analog Devices, Inc. | Method and circuitry for calibrating a micromachined sensor |
US5880369A (en) * | 1996-03-15 | 1999-03-09 | Analog Devices, Inc. | Micromachined device with enhanced dimensional control |
DE19819458A1 (de) * | 1998-04-30 | 1999-11-04 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements und mikromechanisches Bauelement |
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