JP5005180B2 - 遠心分離膜装置 - Google Patents
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Description
(Chemical Mechanical Polishing)排水等の研磨排水中に含まれるコロイダルシリカや砥粒等の無機系粒子の分離に好適な遠心分離膜装置に関するものである。
本実施形態の遠心分離膜装置10は、例えば図1に示すように、被処理液(以下、「原料液」と称す。)に遠心力を付与し、分離膜を介して原料液と透過液との間に差圧を生じさせて原料液中の不純物を分離するように構成されている。原料液としては、例えば半導体製造工程で発生したCMP(化学的機械的研磨処理)の研磨屑や研磨砥粒等の無機系の微粒子等の懸濁物質を含む排水、油水混合排水や有機性排水の処理工程から排出される各種の汚泥等の有機系の懸濁物質を含む排水等がある。本実施形態の遠心分離膜装置10は、例えば、半導体製造工程で発生したCMP排水等のミクロンレベルからナノレベルの微粒子を含有するファウリングを生じ易い排水から微粒子を分離する場合に好ましく用いることができる。
本実施形態の遠心分離膜装置20は、図3に示すように、原料液を処理し、濃縮液と透過液の二種類に分けて回転容器外へ排出するようにしている。第1の実施形態では原料液を処理し、濃縮液、透過液及びスラッジの三種類に分けて回転容器の外部へ排出しているが、本実施形態では微粒子を固形分として集積することなく濃縮液として排出する点で上記実施形態と相違している。
本実施形態の遠心分離膜装置30は、図4に示すように、回転容器31、回転軸32および分離膜モジュール33を備えて構成されている。回転容器31は、同図に示すように、断面が略六角形状に形成されている。回転容器31の最大径部には分離膜モジュール33が取り付けられ、分離膜モジュール33によって回転容器31内を上下二室に区画している。回転容器31の上下中央部にはそれぞれ第1、第2回転軸32A、32Bが接続され、これらの回転軸32A、32Bはいずれも中空回転軸として形成されている。第1回転軸32Aは原料液供給管を兼ね、第2回転軸32Bは透過液排出管を兼ねている。
第1の実施形態では複数の円板状分離膜体を有する分離膜モジュールについて説明し、第2の実施形態では複数の傘状分離膜体を有する分離膜モジュールについて説明したが、第1、第2の実施形態では分離膜体がいずれも多孔質担体と有機高分子膜からなる複合平面膜または複合曲面膜であったが、分離膜体としては、板状分離膜体または管状分離膜体を回転軸に放射状に取り付け、放射状の板状分離膜体または放射状の棒状分離膜体を回転軸に複数段に渡って取り付けたものであっても良い。これらの板状分離膜体または管状分離膜体としては、例えば中空糸膜を束ねてその端部を集合させた分離膜モジュールを用いることもできる。その他の構成は上記各実施形態に準じて構成されている。
11、21、31 回転容器
12、22、32A、32B 回転軸
13、23、33 分離膜モジュール
13A 円板状分離膜体
18 濃縮液排出管
19 透過液排出管
23A 傘状分離膜体
26 原料液供給管
28 透過液排出管
121 第1中空回転軸部
122 第2中空回転軸部
124 原料液供給通路(被処理液の供給手段)
Claims (8)
- 懸濁物質を含有する被処理液が供給される回転容器と、この回転容器に回転力を付与する回転軸と、この回転軸に上記回転容器内に位置させて装着された分離膜モジュールと、を備え、上記回転軸を介して上記回転容器及び上記分離膜モジュールを回転させて上記被処理液に遠心力を付与し、この遠心力及び上記分離膜モジュールの透過分離作用で上記被処理液中の懸濁物質を分離する装置であって、
上記回転容器を回転させる上記回転軸に上記被処理液の供給通路及び上記分離膜モジュールの透過液の排出通路をそれぞれ設けると共に、上記回転軸を、上記回転容器内に位置する大径管と小径管とからなる二重管構造の第1中空回転軸部と上記回転容器外に位置する第2中空回転軸部とに隔壁により区画し、且つ、
上記第1中空回転軸部を二重管構造の中空回転軸として形成し、上記二重管構造の中空回転軸の外側中空部を上記被処理液の供給通路として形成すると共にその内側中空部を上記透過液の排出通路として形成し、
また、上記回転容器は、その半径方向の最大径部に、上記分離膜モジュールによって分離された懸濁物質を排出するバルブを有する
ことを特徴とする遠心分離膜装置。 - 懸濁物質を含有する被処理液が供給される容器と、この容器内に配置され且つ上記容器内の被処理液が循環する孔が形成された回転容器と、この回転容器に上記被処理液中で回転力を付与する回転軸と、この回転軸に上記回転容器内に位置させて装着された分離膜モジュールと、を備え、上記被処理液中で上記回転軸を介して上記回転容器及び上記分離膜モジュールを回転させて上記回転容器の上記被処理液に遠心力を付与し、この遠心力及び上記分離膜モジュールの透過分離作用で上記回転容器内において上記被処理液中の懸濁物質を分離する装置であって、上記回転軸を二重管構造の中空回転軸として形成すると共に上記中空回転軸の外側または内側の中空部を上記分離膜モジュールの透過液側と連通する透過液の排出手段として形成したことを特徴とする遠心分離膜装置。
- 上記中空回転軸の上記排出手段とは別の中空部を、上記分離膜モジュールによって分離された懸濁物質の排出手段として形成したことを特徴とする請求項2に記載の遠心分離膜装置。
- 上記回転容器は、その半径方向の最大径部に、上記分離膜モジュールによって分離された懸濁物質の排出手段を有することを特徴とする請求項3に記載の遠心分離膜装置。
- 上記分離膜モジュールは、複数の円板状分離膜体または複数の傘状分離膜体が上記回転軸の軸芯に沿って複数段に渡って取り付けられていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の遠心分離膜装置。
- 上記被処理液の供給通路に加圧手段及び/または上記透過液の排出通路に吸引排出手段を設けたことを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の遠心分離膜装置。
- 懸濁物質を含有する被処理液が供給される回転容器と、この回転容器に回転力を付与する回転軸と、上記回転容器内を被処理液室と透過液室の二室に区画して装着される分離膜モジュールと、を備え、上記回転軸を介して上記回転容器及び上記分離膜モジュールを回転させて上記被処理液に遠心力を付与し、この遠心力及び上記分離膜モジュールの透過分離作用で上記被処理液中の懸濁物質を分離する装置であって、上記回転軸を上記被処理液室側と連通して上記被処理液の供給通路となる中空回転軸及び上記透過液室側と連通して透過液の排出通路となる中空回転軸として形成したことを特徴とする遠心分離膜装置。
- 上記被処理液室内の半径方向の最大径部に連通する非透過液の排出手段を設けたことを特徴とする請求項7に記載の遠心分離膜装置。
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