JP5000718B2 - 向上した前進抵抗低減プロパティを持つ閉セル表面 - Google Patents

向上した前進抵抗低減プロパティを持つ閉セル表面 Download PDF

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Description

本発明は、概略として、表面上の流動体の流動抵抗を制御する装置及び方法に向けられる。
この章では、本発明のより良い理解を促進するために有用な側面を紹介する。従って、この章の記載はその観点で読まれるべきである。この章の記載は何が従来技術で何が従来技術でないかについての認定として理解されるべきではない。
表面上の流動体の流動抵抗を低減するために技術開発された表面の使用には大きな関心が寄せられている。ナノメートル又はミクロンサイズで隆起した構成を持つ構造化表面は、チャネルを介した液体の移送から、液体中を通過して移動する容器の前進抵抗の低減にまでに及ぶアプリケーションにおいて有望視されている。しかし、これらの表面によって十分な利益が実現される前に克服されなければならない問題がある。
1つの問題は、構造化表面上の液体の流動抵抗は液体の圧力によって大きく変動し得ることである。液体の圧力が増加すると、液体は構造化表面を深く通流することになり、その表面上の液体の流動抵抗が増加する。一方、液体の圧力が減少すると、液体は構造化表面を浅く通流することになり、その流動抵抗は減少する。液体からの空気の拡散が構造化表面上に空気の泡を形成するほどに多い場合も流動抵抗が増加する。例えば、パイプ又はチャネルの内部表面を覆う構造表面上の空気の泡の形成によって、パイプ又はチャネル断面を部分的に遮断することになり、液体の流動抵抗が大幅に増加する。
本発明の実施例は、圧力安定性を向上するとともに流動抵抗を低減する気泡液の形成を促進する構造化表面を持つ装置、並びにそのような装置を使用及び製造する方法を提供することによって、これらの欠点を克服する。
上述の欠点に対処するための本発明の一実施例は装置である。その装置は、基体表面上に配置された複数の閉じたセル(閉セル)からなる。閉セルの各々は1ミリメートル以内の少なくとも1つの寸法を有し、その中に媒質を保持するように構成される。気泡液は界面活性剤を含む流動体壁を有し、その気泡液の層にあるバブルはその媒質で満たされる。
他の実施例は、基体の表面上に配置された流動体の流動抵抗を制御することからなる使用方法からなる。本方法は、基体表面上に配置された上記複数の閉セルに流動体を接触させるステップを含む。本方法はさらに、流動体内の界面活性剤及び媒質の量を調整し、それにより流動体と閉セルの間に気泡液を形成するステップを含む。
さらに他の実施例は製造方法からなる。本方法は基体の表面上に配置された上記の複数の閉セルを形成するステップ、及び閉セルを流動体に接触させるステップからなる。本方法はまた、気泡液が流動体と閉セルの間に形成されるように、界面活性剤及び媒質を流動体に導入するステップを含む。
発明は、添付の図面とともに以降の詳細な説明から最も良く理解される。種々の特徴は必ずしも寸法通りに描かれているわけではなく、記載の明確性のために適宜拡大又は縮小されている。添付の図面とともに以下の記載の参照がなされる。
図1は本発明の装置例の断面図である。 図2は図1に示された装置例の平面図である。 図3は本発明の原理による使用方法の種々の段階における装置例の断面図である。 図4は本発明の原理による使用方法の種々の段階における装置例の断面図である。 図5は本発明の原理による使用方法の種々の段階における装置例の鳥瞰図である。 図6は本発明の原理による使用方法の種々の段階における装置例の断面図である。 図7は本発明の原理による装置の製造方法例における選択された段階の断面図である。 図8は本発明の原理による装置の製造方法例における選択された段階の断面図である。 図9は本発明の原理による装置の製造方法例における選択された段階の断面図である。 図10は本発明の原理による装置の製造方法例における選択された段階の断面図である。
本発明の一部として、閉セル構造体からなる構造化表面は、液体の動的な圧力の範囲にわたって優れた安定性を持つものの、高い流動抵抗を持つことがあることが認識された。さらに、閉セル構造体の流動抵抗は、閉セル構造体と閉セル構造体上の流動体全体の間に気泡液を形成することによって改善され得ることも分かった。閉セル構造体からそれを覆う流動体の流れを分離することによって、流動抵抗は大きく減少する。
本発明の目的のために、閉セルとは、流動体が配置される面を除く全ての面の開放領域を囲む壁を有するナノ構造体又はマイクロ構造体と定義される。ここで使用されるナノ構造体という用語は、約1ミクロン以下の少なくとも1つの寸法を持つ、表面上に予め画定された隆起構成を意味する。ここで使用されるマイクロ構造体という用語は、約1ミリメートル以下の少なくとも1つの寸法を持つ、表面上に予め画定された隆起構成を意味する。
ここで使用する媒質という用語は構造化表面内に配置可能なあらゆる気体又は液体を意味する。流動体という用語は構造化表面内又は構造化表面上に配置可能なあらゆる気体又は液体を意味する。ある場合では、例えば、媒質は閉セル化されたナノ構造体又はマイクロ構造体内に位置する空気又は窒素のような気体からなり、流動体は閉セル化ナノ構造体又はマイクロ構造体上に位置する水等の液体からなる。
本発明の一実施例は装置である。図1は本発明の特定の構成を示す例示の装置100の断面図である。図2は図1の線2−2に沿う装置100の縮小平面図である。明確化のため、図2に媒質及び流動体は図示されていない。
図1−2に示すように、装置100は基体112の表面110上に配置された直径107の複数の閉セル105からなる。ある場合では、基体112は平面基体であり、より好ましくは、互いに接触する平面基体の積層体である。例えば、基体112はシリコン又は絶縁体上のシリコン(SOI)のような無機半導体とすることができる。一方、他の例では、基体112は非平面基体であり、プラスチック又は金属のような他の材料とすることもできる。
閉セル105各々はナノ構造体又はマイクロ構造体であり、例えば、各々が約1ミリメートル以内、あるいは、約1ミクロン以内の少なくとも1つの寸法を有する。図1及び2に示すような装置100のある実施例では、各閉セル105の約1ミリメートル以下の1つの寸法は、閉セル105の壁117の平行な厚さ115である。他の実施例では、平行な厚さ115は約1ミクロン以内である。
図1−2に示す実施例について、各閉セル105は六角形であり、壁117を共有している。閉セル105の他の実施例は円形、四角形、八角形又は他の幾何学的形状とすることができ、壁を共有しない独立した構造としてもよい。閉セル105各々が互いに同じ形状及び寸法を有する必要はない。もっとも、装置100の実施例によっては、製造の容易化のため、及び均一な水性プロパティの表面を与えるために、そうすることが(同じであることが)好ましい。
閉セル105は媒質120をそこに保持するように構成されている。例えば、図1に示す装置100について、閉セル105各々は媒質120(例えば気体)をそこに保持する。図1に示すように、装置100はさらに閉セル105と接触する気泡液125からなる。気泡液125は界面活性剤132を含む流動体壁130を含み、気泡液125における個々のバブル135は媒質120で満たされる。図1に示す実施例について、気泡液層125は閉セル105と閉セル105上にある流動体140(例えば、水)の間に位置する。流動体140はまた、溶解した媒質120及び界面活性剤132を含むことができる。
装置100の好ましい実施例では、気泡液125は静止気泡液層145を有する。即ち、静止気泡液層145の個々のバブル135は閉セル105上で所定の期間実質的に静止したままである。例えば、好ましい実施例では、気泡液層145の各バブル135は、平均して少なくとも約1分、場合によっては約15分の期間、特定の閉セル105に連係される。さらに好ましくは、流動体140及び基体112が互いに相対的に移動している(例えば、流動体140が基体表面110上を移動している、又は基体112が流動体140内を移動している)ときに、静止気泡液層145が存在する。一方、他の実施例では、気泡液125は過渡性である。この場合、気泡液125におけるバブル135は短い期間、例えば、1分以内、場合によっては1秒以内だけ閉セル105に連係される。この実施例では、好ましくは、古いバブル135が離脱して流動体140全体に入っていくのにつれて気泡液125が連続的に補給される。
図1の実施例に示すように、流動体壁130の少なくとも一部分147は閉セル105の壁117にほぼ平行である。即ち、流動体壁130は表面110に直角に立ち上がり、それにより閉セル105の壁117が連続するので閉セル105は流動体140から分離されている。他の実施例では、バブル135をほぼ球状とすることができる。
ある場合では、気泡液125の形成は、流動体140内に存在する媒質120及び界面活性剤132を有することに依存する。特に、静止気泡液層145を形成するために、流動体140内に所定濃度の界面活性剤132及び媒質120の有することが重要であり、場合によっては決定的である。
これまでは、界面活性剤及び媒質を流動体に付加することによって、流動体に対して移動するマイクロ又はナノ構造体表面によって受ける流動抵抗が低減し得ることが認識されていなかった。結果として、流動体内にある媒質及び界面活性剤の濃度が流動抵抗を低減することに関して結果として生ずる変数であるとは認識されていない。
気泡液125内で流動体140と媒質120の間の境界面155に分子150の連続層を形成するのに十分な数の界面活性剤分子150が存在するように、流動体140内に十分な界面活性剤132を有することが重要である。ここで、分子150各々は極性端152及び非極性端154からなる。一方、界面活性剤132が多過ぎるとミセルが形成されてしまい、これは隣り合うバブル135を分離する流動体壁130の安定性を損ね得るので、過多な界面活性剤132を避けることが重要である。例えば、ある好適な実施例では、流動体140内の界面活性剤分子150の濃度は約0.1から1重量パーセントの範囲である。
ある場合では、十分な量の媒質120を流動体140内に有して気泡液の形成を促進することも重要である。特に、ある実施例では、流動体140内に溶解した媒質120の量は、閉セル105内の媒質120の臨界圧力を超えるのに十分であることが望ましい。流動体140内の媒質120の量が臨界圧力を超えたとき、バブル135が境界面155で形成し、溶け込んで気泡液125を形成する。
閉セル105内の媒質120の臨界圧力は、閉セル105の直径107だけでなく流動体140の表面張力にも依存する。ある好適な実施例では、流動体140内の媒質120の圧力はその臨界圧力以上である。これは、例えば、流動体140内に溶解した媒質120が閉セル105内の媒質120と平衡しているときなどである。一方、他の場合では、媒質120が開口部160を介してセル105内に導入されるときなどに、流動体140内に溶解した媒質120の圧力は臨界圧力よりも小さくなり得る。閉セル105内の媒質120の臨界圧力は4・γ/dで与えられる。なお、γは流動体140内の媒質120の表面張力に等しく、dは閉セル105の直径107に等しい。例示として、流動体140が水であり、媒質120が窒素であり、閉セルの直径107が約10、15又は25ミクロンの実施例を想定する。流動体140内の媒質120の圧力は好ましくはこの実施例における臨界圧力を超え、それぞれ、約216、144又は86Torrである。
一方、流動体140内に過度に多量の媒質120があると、それは静止気泡液層145の形成を妨害することになるので好ましくない。例えば、ある実施例では、流動体140内の媒質120の量は臨界圧力以上約10パーセント以内である。流動体140内の媒質120の量が臨界圧力を大きく超える場合(例えば、臨界圧力以上10パーセント超の場合)には、媒質120は流動体140からバブル135へ拡散し続ける。これによって、界面活性剤132がもはや流動体壁130を安定化させることができなくなるまでバブル135が成長し、バブル135はともに合体して表面から離脱し、これによって気泡液125は損なわれる。気泡液125は流動体140と媒質120の間の境界面155で再構成し、このプロセス全体が繰り返される。
ある実施例では、基体112の表面110は閉セル105の各々を媒質120の導入源170に結合する開口部160を有する。例えば、図1に示すように、導入源170は媒質120で満たされ、開口部160に結合されたチャンバ172を備えることができる。導入源からセル105に供給される媒質120の量はレギュレータ174(例えば、弁)で制御される。このような実施例では、導入源170からセル105に供給される媒質の圧力が臨界圧力を超えるように調整するのが望ましい。さらに他の場合、装置100は、米国特許出願第11/227735号(その全体が参照としてここに取り込まれる)に記載されるように、流動体140の部分を追加の媒質120に電気分解的に変換するように構成されていてもよい。
図1に関連して上述したように、各界面活性剤分子150は好ましくは極性端152及び非極性端154を有する。例えば、ある好適な実施例では、界面活性剤分子150は陰イオン系界面活性剤(例えば、ドデシル硫酸ナトリウム)、陽イオン系界面活性剤(例えば、ポリオキシエチレン牛脂アミン)、非イオン系界面活性剤(例えば、セチルアルコール)、又は両性(双性)界面活性剤からなる。
ある好適な実施例では、界面活性剤132がイオン性界面活性剤分子150(例えば、ドデシル硫酸ナトリウム)からなるときには、極性端152が流動体140に接触し、非極性端154が気泡液125内にある媒質120(例えば、空気のような非極性媒質)に接触する。例えば、図1に示すように、流動体壁130各々は好ましくは界面活性剤分子150の2つの層180及び182からなり、各層180及び182は流動体140に接触する界面活性剤分子150の極性端152、及び気泡液125内にある媒質120に接触する非極性端154を有する。一方、他の実施例では、異なるタイプの界面活性剤132(例えば、両性又は非イオン性界面活性剤)が使用され得る。この場合、流動体140及び媒質120に対する界面活性剤分子150の構成がより複雑になるが、界面活性剤132は気泡液安定性に対して同じ所望の影響を持つ。
界面活性剤132は、気泡液125における個々のバブル135が合体したり結合したりするのを防止することによって流動体壁130を安定化する重要な役割を担っている。流動体壁130に与えられた安定性は少なくともある程度は界面活性剤分子150同士の斥力と界面活性剤分子150と媒質120及び流動体140との間の引力によるものと考えられている。図1の実施例に示したように、界面活性剤分子150は自己形成して流動体140と媒質120の間の境界面155で連続層180及び182を形成する。2つの層180及び182の各々における界面活性剤分子150の極性端152は互いに対向し、流動体140のわずかな厚さ185(例えば、約1ミクロン以下)によって分離されている。界面活性剤分子150の極性端152は互いに反発し、流動体壁130がさらに薄くなるのが防止され、これにより安定化される。さらに説明すると、個々のバブル135は閉セル105の直径107にほぼ等しい直径187を有する。好ましくは、バブル135はほぼ均一な大きさを有する。
本発明の他の側面は使用方法である。例えば、本発明の装置の実施例は流動抵抗を制御することが望まれるような方法において使用される。図3−4及び5−6は、基体の表面に流れる流動体の流動抵抗を制御することからなる種々の使用段階における装置例300、500の断面図である。見方は図1の見方と同様であるが、倍率はより低い。上述し、図1−2に示した種々の実施例のいずれも本方法に利用できる。図3−4及び5−6では、図1−2に示したのと同様の構造を図示するのに同じ符号を用いている。
ある場合において、図3−4に関連して説明されるように、本方法はチャネルを介して流動体を移送する一方で装置300における流動抵抗を制御するために使用される。図3は、流動体140を基体112の表面110にある複数の閉セル105に接触させた後の装置例300の断面図である。閉セル105はナノ又はマイクロ構造体の閉セルである。即ち、閉セル105の各々は、それぞれ1ミクロン又はミリメートル以内の少なくとも1つの寸法を有する。
図3に示した実施例について、装置300は微細流動体学的装置として構成され、基体112は装置のチャネル310を備えるように構成される。流動体140の閉セル105への接触は、流動体140を装置300上又は装置300内、例えばチャネル310上又はチャネル310内に置くことによってなされる。図3に示すように、閉セル105は流動体140を移送するように構成されたチャネル310の内部表面110に対応する。基体112はチャネル310を画定する構造の少なくとも一部分を構成する。微細流動体光学的装置は約1ミリメートル以下の少なくとも1つの寸法を有する。例えば、チャネル310の幅315及び高さ320の一方又は両方が約1ミリメートル以下となる。図3に示すように流動体140は閉セル105に接触し、その結果として、例えば、流動体140がチャネル310を通過するときに流動抵抗が高くなっている。
図4は流動体140における界面活性剤132及び媒質120の量を調整し、それにより流動体140と閉セル105の間の気泡液125を形成した後の装置300の断面図である。その結果として、チャネル310を通過する流動体140の流動抵抗が小さくなる。例えば、ある好ましい実施例では、気泡液125を形成することによって、流動体140が(例えば、図3に示すような)気泡液125の介在しない閉セルに接触しているときと比べて、チャネル310に適用される所定の圧力ヘッドに対して流動体140がチャネル310を速いレートで流れることが可能となる。ある場合では、気泡液125を形成すると流動体140と媒質120の間の滑り境界面155が構成され、結果的に流動抵抗が低減する。この場合、流動体140は、セル105の壁117に隣り合う流動体壁130の最下部では(図1)、流動体壁130と固体壁117の間の滑らない境界面のために速度がゼロとなる。
図4に示すように、1以上の通路410、415(例えば、パイプ)がチャネル310に結合されていてもよい。通路410、415は界面活性剤132及び媒質120を流動体140に移送するように構成される。媒質120が気体(例えば、空気)からなる場合には、所定量の媒質120が流動体140に溶解される。後の段階で、溶解した気体はセル105に拡散し、気泡液125におけるバブル135を成長させる。ある場合では、所定量の界面活性剤132及び媒質120が流動体140に導入されて、所望の流動抵抗の低減、及び対応する流速の増加を達成する。流動抵抗の所定の低減を得るのに必要な界面活性剤132及び媒質120の量は分からない場合もある。この場合、チャネル310内の流動体140の流速をモニタしながら、流動体140に導入される界面活性剤132及び媒質120の一方又は両方を段階的に増加させて調整することができる。
他の場合では、図5−6に示すように、本方法は、流動体を通って移動する乗物のような装置における流動抵抗を制御するのに使用される。即ち、閉セルで覆われた外部表面を有する本体が流動体を通って移動する間に流動抵抗の制御がなされる。図5は、基体112の表面110に配置された複数の閉セル105に流動体140を接触させた後の例示の装置500の鳥瞰図である。ここでも、閉セル105はナノ又はマイクロ構造の閉セルである。図5に示す実施例において、装置500は水上又は水面下の乗物のような乗物として構成され、基体112は装置500の本体510の少なくとも一部を構成する。図5に示すように、基体表面110は本体510の外部表面である。本体510は流動体中又は流動体上を移動するように構成されている。ある場合では、例えば、本体510は乗物の船体である。流動体140を閉セル105に接触させることは、装置500を流動体140上又は流動体140中に置くことによってなされる。図3との関連で述べたように、流動体140が閉セル105に気泡液125の存在なしに接触する場合、流動抵抗は、例えば、本体510が流動体140を通過するときに高くなってしまう。
図6は流動体140内の界面活性剤132及び媒質120の量を調整して流動体140と閉セル105の間に気泡液125を形成した後の装置500の(図5の線6−6に沿った)断面図である。ある好適な実施例では、気泡液125を形成することによって、流動体140が閉セル105に気泡液125を介在させずに接触している場合に比べて、本体510に加えられた推進力に対して少ない前進抵抗で本体510が流動体140内を通過できる(例えば、図3に示すものと同様である)。図6にさらに示すように、ある場合では、流動体140と界面活性剤132及び媒質120の量を調整することは、界面活性剤132及び媒質120の一方又は両方を基体112の表面110にある開口部160を介して閉セル105に導入することからなる。これは気泡液125が過渡的な気泡液からなる場合に有利であり、基体112の表面110に気泡液125におけるバブル135(図1)を連続的に補給することが望ましい。図1に関して述べたように、媒質120は開口部160に結合された媒質源170からチャンバ172及びレギュレータ174を介して制御しながら導入することができる。開口部160を介して閉セル105に導入される媒質120の量は閉セル105内の媒質120の臨界圧力を超えるのに十分なものとするのが好ましい。同様に、界面活性剤132は開口部160に結合された界面活性剤源610及びレギュレータ615を介して制御しながら導入することができる。界面活性剤132は、媒質120を導入するために使用するのと同じチャンバ172を介して、又は個別のチャンバを介して導入される。
本発明の他の実施例は製造方法である。図7−10は本発明の原理に従って装置700を製造する方法例の選択された段階の断面図である。図1−6に示した装置の上述した実施例のいずれもがこの方法によって作製できる。同じ符号を用いて図1−6に示したのと同様の構成を図示する。
図7は、米国特許出願第11/227663(その全体が参照としてここに取り込まれる)に記載されるように、基体112を用意し、閉セル105を基体112に形成する。例えば、閉セル105は、従来のフォトリソグラフ及びウェット若しくはドライエッチングプロセスを用いて、又は基体112をドリルで穴あけすることによって基体112の表面110の上に形成される。例えば、閉セル105を形成することは、基体112に深い反応性イオンエッチングをすること、又は当業者に周知の他の手順を行うことを含む。
さらに、図7に示すように、ある場合では、開口部160は基体112の表面110に形成される。閉セル105を形成するのと同じ手順が開口部160を形成するために用いられる。好ましくは、各閉セル105はそこに形成された少なくとも1つの開口部160を有する。
ある場合では、図8に示すように、基体112はチャンバ172が形成された第2の基体810に結合される。第1及び第2の基体は、開口部160がチャンバ172に通じるように結合される。さらに、チャンバ172は媒質120(例えば、窒素ガスのタンク)の導入源170に結合され、それがさらに、媒質120の閉セル105への導入を制御するように構成されたレギュレータ174を含む。ある場合では、界面活性剤の導入を促進するための同様の構成要素が存在する。
図9は、例えば、流動体140を基体の表面110に配置することによって、又は基体112を流動体140内に置くことによって閉セル105を流動体140に接触させた後の部分的に完成した装置700である。図9に示すように、界面活性剤及び媒質がないので、流動体140全体は直接閉セル105に接触する。
図10は、気泡液125が流動体140と閉セル105の間に形成するように界面活性剤132及び媒質120を流動体140に導入した後の部分的に完成した装置700である。媒質120及び界面活性剤132が直接流動体140内に、又は基体112に形成された選択的開口部160を介して導入される。好ましい実施例では、媒質120の導入は、流動体140内のある量の媒質120を、閉セル105内の媒質120の臨界圧力を超えるように溶解させることを含む。例えば、ある場合では、流動体140(例えば、液体のHO)内の媒質120(例えば、Nガス)の臨界圧力は86から216Torrの範囲であり、流動体140内の界面活性剤132(例えば、ドデシル硫酸ナトリウム)の濃度は約0.1から1重量パーセントの範囲である。
本発明が詳細に記載されてきたが、当業者であれば本発明の範囲から離れることなく種々の変形、置換及び修正を行うことができることが分かるはずである。

Claims (11)

  1. 装置であって、
    基体上の複のセルであって、前記セルの各々が1ミリメートル以内の少なくとも1つの寸法を有し、媒質を保持するように構成され、前記セルの各々が、前記基体の表面の領域を側部で囲む壁と頂部開口部とを有する、複数のセル、及び
    記セの前記壁と接触する気泡液であって、前記気泡液層のバブルが界面活性剤を含む流動体壁を有し、前記バブルが前記媒質で満たされており、前記バブルが平均して少なくとも1分の期間にわたって前記セルの前記頂部開口部上に実質的に静止したままでいる、気泡液
    からなる装置。
  2. 請求項1の装置において、前記気泡液個々のバブルが前記セルの直径にほぼ等しい直径を有する装置。
  3. 請求項1の装置において、前記界面活性剤がイオン性界面活性剤分子からなる装置。
  4. 請求項1の装置において、前記界面活性剤が極性端及び非極性端を有する界面活性剤分子からなり、前記極性端が前記流動体と接触し、前記非極性端が前記気泡液内にある前記媒質と接触している装置。
  5. 請求項1の装置において、前記流動体壁が2層の界面活性剤分子からなり、各層が前記流動体と接触する前記界面活性剤分子の極性端、及び前記気泡液内にある前記媒質に接触する非極性端を有する装置。
  6. 請求項1の装置において、γが前記流動体の表面張力に等しく、dが前記セルの直径に等しいものとして、前記流動体内の前記媒質の圧力が4・γ/d以上である装置。
  7. 基体の表面上に配置された流動体の流動抵抗を制御することからなる装置の使用方法であって、
    基体上の複数のセルに流動体を接触させるステップであって、前記セルの各々が1ミリメートル以内の少なくとも1つの寸法を有し、媒質を保持するように構成され、記セルの各々が、前記基体の表面の領域を側部で囲む壁と頂部開口部とを有している、ステップ、及び
    前記流動体内の界面活性剤及び媒質の量を調整して、それにより前記セルの前記壁と接触する気泡液を形成する調整ステップであって、前記気泡液層のバブルが界面活性剤を含む流動体壁を有し、前記バブルが前記媒質で満たされており、前記バブルが平均して少なくとも1分の期間にわたって前記セルの前記頂部開口部上に実質的に静止したままでいる、ステップ
    からなる方法。
  8. 請求項7の方法において、前記基体がチャネルを備え、前記複数のセルが前記チャネルの内部表面を構成する前記表面上にあり、前記気泡液層の形成が、前記流動体が前記気泡液層の介在しない前記セルに接触しているときと比べて、前記チャネルに適用される所定の圧力ヘッドに対して前記流動体が前記チャネルを速いレートで流れることを可能とする方法。
  9. 装置の製造方法であって、
    基体上の複数のセルを形成するステップであって、前記セルの各々が1ミリメートル以内の少なくとも1つの寸法を有し、媒質を保持するように構成され、記セルの各々が、前記基体の表面の領域を側部で囲む壁と頂部開口部とを有している、ステップ、
    前記セルを流動体に接触させるステップ、及び
    界面活性剤及び媒質を前記流動体に導入し、前記セルの前記壁と接触する気泡液層を形成するステップであって、前記気泡液層のバブルが前記界面活性剤を含む流動体壁を有し、前記バブルが前記媒質で満たされており、前記バブルが平均して少なくとも1分の期間にわたって前記セルの前記頂部開口部上に実質的に静止したままでいる、ステップ
    からなる製造方法。
  10. 請求項9の製造方法において、前記媒質を導入するステップが、前記流動体に前記セル内の前記媒質の臨界圧力を超える所定量の前記媒質を溶解させるステップからなり、γが前記流動体の表面張力に等しく、dが前記セルの直径に等しいものとして、前記流動体内の前記媒質の圧力が4・γ/d以上である製造方法。
  11. 請求項7の方法において、前記装置が前記流動体中を移動するように構成された本体を含み、前記複数のセルが前記本体の外部表面を構成する前記表面上にあり、前記気泡液層の形成が、前記流動体が前記気泡液層の介在しない前記セルに接触しているときと比べて、前記本体に加えられた推進力に対して少ない前進抵抗で前記本体が前記流動体内を通過することを可能とする方法。
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