JP4986164B2 - Discharge lamp - Google Patents
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Description
本発明は、液晶や半導体、プリント基板などの露光装置の光源に用いられる放電ランプに関する。特に、封止部がモリブデンからなる導電箔によって封止された箔シール構造の放電ランプに関する。 The present invention relates to a discharge lamp used for a light source of an exposure apparatus such as a liquid crystal, a semiconductor, or a printed board. In particular, the present invention relates to a discharge lamp having a foil seal structure in which a sealing portion is sealed with a conductive foil made of molybdenum.
露光装置の光源に用いられる放電ランプとして、例えば特許文献1に記載されるものがあった。このような従来から知られている放電ランプの構成を、図24及び図25を用いて説明する。
As a discharge lamp used for a light source of an exposure apparatus, for example, there is one described in
図24は、放電容器2の長手方向に沿った放電ランプ1の断面図である。図25は、図24の放電ランプ1において一方の封止管22(図24の紙面上方側の封止管22)側の拡大断面図である。
FIG. 24 is a cross-sectional view of the
図24に示す放電ランプ1は、放電容器2と、この放電容器2を封止する箔シール構造と、この封止された放電容器2の内部で対向配置される一対の電極31,32と、この一対の電極31,32に給電する給電構造と、からなる。
A
放電ランプ1の放電容器2は、略球状の発光管21と、その両端に連接された円筒状の封止管22とで構成される。また、放電容器2は例えば石英ガラスにより形成される。
この放電容器2の内部には、一対の電極31,32として例えばタングステンからなる陽極31と陰極32とが対向配置され、発光物質として水銀が封入される。
The
Inside the
ランプ点灯時、一対の電極31,32に給電するための給電構造は、電極31,32をその一端に設けると共に封止管22の中心軸に沿って伸びる棒状の内部リード33と、この棒状の内部リード33における他端側の外周に設けた円盤状の内部リード側導電体34と、この内部リード側導電体34の外面に接合されると共に封止管22の長手方向に沿って伸びる導電箔35と、この導電箔35と接合された円盤状の外部リード側導電体37と、この外部リード側導電体37の中心軸に配置されると共に電気的に接続された棒状の外部リード38とからなる。
給電構造は、内部リード33及び外部リード38が例えばタングステンにより形成され、内部リード側導電体34,外部リード側導電体37及び導電箔35は例えばモリブデンにより形成される。これにより、外部リード38に接続された図示しない電源から給電されると、給電構造は通電され、電極31,32に電力を供給することができる。
A power supply structure for supplying power to the pair of
In the power supply structure, the
この内部リード33の外面には、電極31,32と内部リード側導電体34との間に、例えば石英ガラスからなる円筒状の内部リード保持用筒体4が設けられる。この内部リード保持用筒体4は、その内周面に内部リード33の外周面が当接され、その外面に放電容器2の封止管22の内周面が当接される。
On the outer surface of the
外部リード38の外面には、例えば石英ガラスからなる円筒状の外部リード保持用筒体6が設けられる。この外部リード保持用筒体6は、その内面に外部リード38の外面が当接され、その外面に放電容器2の封止管22の内面が当接される。
A cylindrical external
放電容器2の封止管22の中心軸方向では、内部リード用導電体34と外部リード用導電体37との間に、例えば石英ガラスからなる円柱状の封止用絶縁体5が配置される。円柱状の封止用絶縁体5には、内部リード用導電体34に対向する面と外部リード用導電体37に対向する面のそれぞれに、リード用凹部51が設けられる。そのリード用凹部51には、内部リード用導電体34の中心軸を挿通した内部リード33の他端と、外部リード用導電体37の中心軸を挿通した外部リード38の一端とが配置される。また、封止用絶縁体5の外周面には導電箔35が配置される。
In the central axis direction of the
放電ランプ1の箔シール構造は、この封止用絶縁体5と封止管22とを一部導電箔35を介して加熱・溶着されることで構成される。
このように形成された放電ランプ1の箔シール構造は、図25に示す封止用絶縁体5の陽極(図24における符号31、図25には不図示)側(図25の紙面下方側)で、封止管22と封止用絶縁体5とが溶着されているが、封止用絶縁体5の外部リード38側(図25の紙面上方側)で、導電箔側空隙92が形成される。この導電箔側空隙92は、導電箔35を構成する金属部材と放電管22を構成するガラス部材との熱膨張係数の差により、箔シール構造形成後の冷却時において、形成されるものである。
The foil seal structure of the
The foil seal structure of the
このような箔シール構造を有する放電ランプ1は、ランプ点灯を継続的に行なうと、導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面が酸化されて破損する問題があった。
The
これは、放電ランプ1の封止管22の内部の構成に起因する。
図25に示すように、外部リード38を構成する金属部材と外部リード保持用筒体6を構成するガラス部材との熱膨張係数の差により、外部リード38の外周面と外部リード保持用筒体6の内周面との間には外部リード側空隙91が形成される。
また、図25の点線の丸で囲った部分の拡大図である図26に示すように、外部リード保持用筒体6と外部リード側導電体37との間には、各々の部材の熱膨張係数の差により、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する空隙が形成される。
これらにより、放電容器2の封止管22の端部から大気Aが流入し、導電箔側空隙92はランプ点灯時には、大気A雰囲気となる。
This is due to the internal configuration of the
As shown in FIG. 25, the outer peripheral surface of the
Further, as shown in FIG. 26, which is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted circle in FIG. 25, the thermal expansion of each member is between the external
As a result, the atmosphere A flows in from the end of the
また、ランプ点灯時、外部リード38から給電されることで、外部リード側導電体37と導電箔35とを溶接する接合部36周辺への電流の集中が起こり、導電箔35は接合部36周辺での抵抗熱が大きくなる。さらに、給電により加熱された外部リード側導電体37からの輻射熱により、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面が加熱される。
In addition, when the lamp is turned on, power is supplied from the
このように、大気A雰囲気でランプ点灯されると、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面が加熱されて、導電箔35を構成する金属部材が酸化されて破損に至る。
Thus, when the lamp is lit in the atmosphere A, the surface of the
そこで、本願の目的は、導電箔における外部リード側導電体に対向する面が酸化することを防止した放電ランプを提供することにある。 Accordingly, an object of the present application is to provide a discharge lamp in which the surface of the conductive foil facing the external lead side conductor is prevented from being oxidized.
第1の発明に係る放電ランプは、内部に発光空間を有する発光管とその両端に連接された封止管とからなる放電容器と、該封止管の内部に設けた封止用絶縁体と、該放電容器の内部の発光管側で対向して配置された電極と、該電極に電気的に接続されると共に該封止管と該封止用絶縁体との間に設けられた導電箔と、接合部を介して該導電箔と電気的に接続されると共に封止用絶縁体の外方に設けられた導電体と、該導電体に電気的に接続された外部リードと、からなる放電ランプにおいて、少なくとも該導電箔における該導電体に対向する面に酸化保護膜を設けたことを特徴とする。 A discharge lamp according to a first invention comprises a discharge vessel comprising an arc tube having a light emitting space therein and a sealing tube connected to both ends thereof, and a sealing insulator provided inside the sealing tube, An electrode disposed opposite to the arc tube inside the discharge vessel, and a conductive foil electrically connected to the electrode and provided between the sealing tube and the sealing insulator And a conductor that is electrically connected to the conductive foil via a joint and is provided outside the sealing insulator, and an external lead that is electrically connected to the conductor. The discharge lamp is characterized in that an oxidation protective film is provided on at least a surface of the conductive foil facing the conductor.
第2の発明に係る放電ランプは、第1の発明に係る放電ランプにおいて、該酸化保護膜がルビジウム・モリブデン複酸化物であることを特徴とする。 A discharge lamp according to a second invention is characterized in that in the discharge lamp according to the first invention, the oxidation protective film is a rubidium-molybdenum double oxide.
第3の発明に係る放電ランプは、第1の発明に係る放電ランプにおいて、該放電ランプが該導電体の外方であって該外部リードと該封止管との間に外部リード保持用筒体を設けた放電ランプであって、該外部リードと該外部リード保持用筒体との間に外部リードの長手方向に沿った外部リード側空隙を設け、該外部リード側空隙と該接合部とを連通させた経路を設けたことを特徴とする。 A discharge lamp according to a third aspect of the invention is the discharge lamp according to the first aspect of the invention, wherein the discharge lamp is outside the conductor, and is an external lead holding tube between the external lead and the sealing tube. A discharge lamp provided with a body, wherein an external lead side gap is provided between the external lead and the external lead holding cylinder along a longitudinal direction of the external lead, and the external lead side gap and the joint portion are provided. It is characterized in that a route that communicates with each other is provided.
第4の発明に係る放電ランプは、第3の発明に係る放電ランプにおいて、該導電体と該外部リード保持用筒体との間に凹部又は/及び凸部を構成する経路形成部材を設けたことにより、該経路を構成したことを特徴とする。 A discharge lamp according to a fourth invention is the discharge lamp according to the third invention, wherein a path forming member constituting a concave portion or / and a convex portion is provided between the conductor and the external lead holding cylinder. Thus, the route is configured.
第5の発明に係る放電ランプは、第4の発明に係る放電ランプにおいて、該経路形成部材に外部リード保持用筒体の内面から該導電体の外面にまで連続する開口部を設けたことを特徴とする。 A discharge lamp according to a fifth invention is the discharge lamp according to the fourth invention, wherein the path forming member is provided with an opening continuous from the inner surface of the external lead holding cylinder to the outer surface of the conductor. Features.
第6の発明に係る放電ランプは、第4の発明に係る放電ランプにおいて、該経路形成部材に外部リード保持用筒体の内面から該導電体の外面にまで連続する皺寄部を設けたことを特徴とする。 A discharge lamp according to a sixth invention is the discharge lamp according to the fourth invention, wherein the path forming member is provided with a striking portion that continues from the inner surface of the external lead holding cylinder to the outer surface of the conductor. It is characterized by.
第7の発明に係る放電ランプは、第4の発明に係る放電ランプにおいて、該経路形成部材を複数の線状部材からなる網状構造で構成したことを特徴とする。 A discharge lamp according to a seventh aspect is characterized in that, in the discharge lamp according to the fourth aspect, the path forming member is constituted by a network structure composed of a plurality of linear members.
第8の発明に係る放電ランプは、第3の発明に係る放電ランプにおいて、該経路を該導電体に凹部又は/及び凸部を設けることで構成したことを特徴とする。 A discharge lamp according to an eighth invention is characterized in that, in the discharge lamp according to the third invention, the path is formed by providing a concave portion or / and a convex portion in the conductor.
第9の発明に係る放電ランプは、第3の発明に係る放電ランプにおいて、該導電体と該外部リード保持用筒体との間に該導電体の外面から該外部リード保持用筒体の内面に連続するように該導電箔を設けたことを特徴とする。 A discharge lamp according to a ninth aspect of the invention is the discharge lamp according to the third aspect of the invention, wherein the outer surface of the conductor is held between the conductor and the outer lead holding cylinder. The conductive foil is provided in a continuous manner.
第10の発明に係る放電ランプは、第3の発明又は第4の発明に係る放電ランプにおいて、該導電体と該封止用絶縁体との間に封止用絶縁体側空隙を設け、該外部リード側空隙と該封止用絶縁体側空隙とを連通するように、該導電体に貫通孔又は/及び該外部リードに溝部を設け、該封止用絶縁体側空隙と該貫通孔又は/及び該溝部とが該経路を構成することを特徴とする。 A discharge lamp according to a tenth invention is the discharge lamp according to the third invention or the fourth invention, wherein a sealing insulator-side gap is provided between the conductor and the sealing insulator, and the external The conductor is provided with a through hole or / and a groove in the external lead so as to communicate the lead side gap and the sealing insulator side gap, and the sealing insulator side gap and the through hole or / and the The groove portion constitutes the path.
第11の発明に係る放電ランプは、第3の発明に係る放電ランプにおいて、該外部リードと該外部リード保持用筒体との間に低融点ガラスを設けたことを特徴とする。 A discharge lamp according to an eleventh invention is characterized in that, in the discharge lamp according to the third invention, a low melting point glass is provided between the external lead and the external lead holding cylinder.
第1の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、導電箔における導電体に対向する面が大気中の酸素にさらされないので、ランプ点灯時に接合部周辺側空隙が大気雰囲気になって導電箔が加熱されても、導電箔における導電体に対向する面の酸化を防止することができる。 In the discharge lamp according to the first aspect of the present invention, the surface of the conductive foil facing the conductor is not exposed to oxygen in the atmosphere due to the above characteristics. Even if heated, the surface of the conductive foil facing the conductor can be prevented from being oxidized.
酸化保護膜と封止管とが密接する場合において、封止管を構成する部材が石英ガラスのとき、酸化保護膜を構成する部材によっては、その部材の例えば金属原子又は金属イオンが石英ガラスへ拡散し、酸化保護膜が設けられた導電箔と封止管との密着性を阻害することがある。
第2の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、ルビジウムの原子半径及びイオン半径が大きいことに起因して、ルビジウムによる石英ガラスへの拡散が少ないことから、酸化保護膜が設けられた導電箔と封止管との密着性を阻害することを防止できる。
When the oxidation protective film and the sealing tube are in close contact with each other, when the member constituting the sealing tube is quartz glass, depending on the member constituting the oxidation protective film, for example, metal atoms or metal ions of the member are applied to the quartz glass. It may diffuse and inhibit the adhesion between the conductive foil provided with the oxidation protective film and the sealing tube.
The discharge lamp according to the second aspect of the present invention has a conductive foil provided with an oxidation protective film because of the above characteristics, since the atomic radius and ion radius of rubidium are large, and the diffusion of rubidium into quartz glass is small. It is possible to prevent the adhesion between the sealing tube and the sealing tube from being hindered.
酸化保護膜を設ける手段としては、例えばモリブデンからなる導電箔に、例えばルビジウム硝酸塩の水溶液からなる酸化保護膜生成溶液を塗布して加熱することで、酸化保護膜を生成する方法が挙げられる。この手段を用いるとき、少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液を塗布する工程が必要である。
第1の発明に係る放電ランプにおいて、導電体の外方に外部リード保持用筒体を設けたとき、酸化保護膜生成溶液は、外部リード保持用筒体の内面と外部リードの内面との間を滴下され、導電体と外部リード保持用筒体との間を介して、導電箔における導電体に対向する面に塗布されることが考えられる。
ところが、導電体の外方に外部リード保持用筒体を設けた放電ランプにおいては、次に示す理由により、導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液を塗布できないことがあった。
放電ランプは、箔シール構造を形成するときに、加熱された導電箔が放電ランプの外方に向かって膨張される。これに伴って、導電箔と接合された導電体も外部リード保持用筒体に向かって移動され、導電体と外部リード保持用筒体が密着されることがあった。箔シール構造は形成された後に冷却されるが、導電箔における封止された部分は、封止された封止管と封止用絶縁体との間に固定されるので、膨張した導電箔の大半は殆んど収縮することができないことがあり、導電体と外部リード保持用筒体が密着されたままになることがあった。この導電体と外部リード保持用筒体との密着した間には、酸化保護膜生成溶液が流入できないことがある。このとき、液体の粘度に対して気体の粘度は低いことから、密着した導電体と外部リード保持用筒体との間に大気が流入してしまい、導電箔における導電体に対向する面が酸化・破損される問題は解決できなかった。
そこで、第3の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、経路を介して少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液が塗布され、導電箔における導電体に対向する面の酸化を防止することができる。
As a means for providing the oxidation protection film, for example, a method of producing an oxidation protection film by applying an oxidation protection film forming solution made of, for example, an aqueous solution of rubidium nitrate to a conductive foil made of molybdenum and heating it. When this means is used, a step of applying the oxidation protective film forming solution to at least the surface of the conductive foil facing the conductor is necessary.
In the discharge lamp according to the first aspect of the present invention, when the external lead holding cylinder is provided outside the conductor, the oxidation protective film forming solution is between the inner surface of the external lead holding cylinder and the inner surface of the external lead. It is conceivable that it is applied to the surface of the conductive foil that faces the conductor through the gap between the conductor and the external lead holding cylinder.
However, in the discharge lamp in which the external lead holding cylinder is provided outside the conductor, the oxide protective film forming solution may not be applied to the surface of the conductive foil facing the conductor for the following reasons. .
When the discharge lamp forms a foil seal structure, the heated conductive foil is expanded toward the outside of the discharge lamp. Along with this, the conductor joined to the conductive foil is also moved toward the external lead holding cylinder, and the conductor and the external lead holding cylinder may be brought into close contact with each other. The foil seal structure is cooled after being formed, but the sealed portion of the conductive foil is fixed between the sealed sealing tube and the sealing insulator, so that the expanded conductive foil Most of them may hardly shrink, and the conductor and the external lead holding cylinder may remain in close contact with each other. While the conductor and the external lead holding cylinder are in close contact, the oxidation protective film forming solution may not flow. At this time, since the viscosity of the gas is lower than the viscosity of the liquid, the air flows between the closely attached conductor and the external lead holding cylinder, and the surface of the conductive foil facing the conductor is oxidized.・ The problem of damage could not be solved.
Therefore, in the discharge lamp according to the third invention, due to the above characteristics, the oxidation protection film forming solution is applied to at least the surface of the conductive foil facing the conductor via the path, and the surface of the conductive foil facing the conductor is formed. Oxidation can be prevented.
第4の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、凹部又は/及び凸部に沿って経路が形成され、この経路を介して少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液が塗布され、導電箔における導電体に対向する面の酸化を防止することができる。 In the discharge lamp according to the fourth aspect of the present invention, a path is formed along the concave part or / and the convex part due to the above characteristics, and the oxidation protective film forming solution is provided on at least the surface of the conductive foil facing the conductor through this path. The surface of the conductive foil facing the conductor can be prevented from being oxidized.
第5の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、経路形成部材の開口部に沿って経路が形成され、この経路を介して少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液が塗布され、導電箔における導電体に対向する面の酸化を防止することができる。 In the discharge lamp according to the fifth aspect of the present invention, a path is formed along the opening of the path forming member due to the above characteristics, and an oxidation protective film forming solution is formed on at least the surface of the conductive foil facing the conductor through this path. The surface of the conductive foil facing the conductor can be prevented from being oxidized.
第6の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、経路形成部材の皺寄部に沿って経路が形成され、この経路を介して少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液が塗布され、導電箔における導電体に対向する面の酸化を防止することができる。 According to the sixth aspect of the invention, the discharge lamp according to the sixth aspect has a path formed along the striking portion of the path forming member, and an oxidation protective film forming solution is formed on at least a surface of the conductive foil facing the conductor through the path. Can be applied to prevent the surface of the conductive foil facing the conductor from being oxidized.
第7の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、網状構造による経路が形成され、この経路を介して少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液が塗布され、導電箔における導電体に対向する面の酸化を防止することができる。
さらに、第7の発明に係る放電ランプは、次に示す問題も解決することができる。
ランプ点灯時、外部リード側導電体が加熱されることで膨張し、外部リード保持用筒体を押圧することがある。外部リード保持用筒体は、封止管に固定されていることから、外部リード側導電体からの押圧が外部リード保持用筒体への応力となって、破損することがあった。そこで、第5の発明に係る放電ランプは、外部リード側導電体と外部リード保持用筒体との間に網状構造からなる経路形成部材を設けたことにより、外部リード側導電体からの押圧を網状構造からなる経路形成部材が受け、その網状構造を構成する線状部材に応力がかかることで膨張し、その膨張量を網状構造が有する空隙に移動させる。
すなわち、第5の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、外部リード保持用筒体に応力を殆んどかけないで、外部リード側導電体からの押圧を網状構造からなる経路形成部材で許容することで、外部リード保持用筒体の破損を防止できる。
According to the discharge lamp of the seventh invention, a path having a network structure is formed according to the above characteristics, and an oxidation protection film forming solution is applied to at least a surface of the conductive foil facing the conductor through the path, Oxidation of the surface facing the conductor can be prevented.
Furthermore, the discharge lamp according to the seventh invention can also solve the following problems.
When the lamp is turned on, the external lead-side conductor is expanded by heating, and may press the external lead holding cylinder. Since the external lead holding cylinder is fixed to the sealing tube, the pressure from the external lead-side conductor may become a stress on the external lead holding cylinder and may be damaged. Therefore, in the discharge lamp according to the fifth aspect of the present invention, a path forming member having a network structure is provided between the external lead side conductor and the external lead holding cylinder, so that the pressure from the external lead side conductor can be reduced. A path forming member having a network structure receives and expands when a stress is applied to a linear member constituting the network structure, and the amount of expansion is moved to a gap of the network structure.
In other words, the discharge lamp according to the fifth aspect of the present invention allows the external lead-side conductor to be pressed by the path forming member having a network structure while applying almost no stress to the external lead holding cylinder due to the above-described characteristics. By doing so, it is possible to prevent the external lead holding cylinder from being damaged.
第8の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、凹部又は/及び凸部に沿って経路が形成され、この経路を介して少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液が塗布され、導電箔における導電体に対向する面の酸化を防止することができる。 In the discharge lamp according to the eighth aspect of the present invention, a path is formed along the concave portion or / and the convex portion due to the above characteristics, and the oxidation protective film forming solution is provided on at least the surface of the conductive foil facing the conductor through the path. The surface of the conductive foil facing the conductor can be prevented from being oxidized.
第9の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、外部リード側導電体と外部リード保持用筒体との間に位置する導電箔に沿って経路が形成され、この経路を介して少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液が塗布され、導電箔における導電体に対向する面の酸化を防止することができる。 According to the discharge lamp of the ninth invention, a path is formed along the conductive foil positioned between the external lead-side conductor and the external lead holding cylinder, and at least the conductive foil passes through this path due to the above characteristics. The surface of the conductive foil that faces the conductor is coated with the oxidation protective film forming solution, so that the face of the conductive foil that faces the conductor can be prevented from being oxidized.
既述の通り、放電ランプは、箔シール構造を形成するときに、加熱された導電箔が放電ランプの外方に向かって膨張されることで、外部リード側導電体と外部リード保持用筒体が密着される。これに対して外部リード側導電体と封止用絶縁体との間には封止用絶縁体側空隙が形成される。
そこで、第10の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、導電体に設けた貫通孔又は/及び外部リードに設けた溝部と封止用絶縁体側空隙とを介して、少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜生成溶液が塗布され、導電箔における導電体に対向する面の酸化を防止することができる。
As described above, when the discharge lamp forms the foil seal structure, the heated conductive foil is expanded toward the outside of the discharge lamp, so that the external lead-side conductor and the external lead holding cylinder. Is closely attached. On the other hand, a sealing insulator-side gap is formed between the external lead-side conductor and the sealing insulator.
In view of the above, the discharge lamp according to the tenth invention has at least a conductor in the conductive foil through the through hole provided in the conductor and / or the groove provided in the external lead and the sealing insulator-side gap. The surface of the conductive foil is coated with the oxidation protective film forming solution, and the surface of the conductive foil facing the conductor can be prevented from being oxidized.
第1〜第9の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、少なくとも導電箔における導電体に対向する面に酸化保護膜が設けられるが、これの裏面側である導電箔における封止管に対向する面側が、対向する封止管が密着して酸化保護膜が設けられない場合がある。導電箔は給電による抵抗熱や外部リード側導電体からの輻射熱による加熱以外に、発光管からの放電熱が導電箔に伝熱して加熱することもある。
そこで、第11の発明に係る放電ランプは、上記特徴により、導電箔の外方にある空隙への大気流入を抑制し、導電箔における酸化保護膜の生成されていない部分の酸化を抑制することができる。
In the discharge lamps according to the first to ninth inventions, at least the surface of the conductive foil that faces the conductor is provided with an oxidation protective film due to the above-described characteristics, but this is opposed to the sealing tube in the conductive foil that is the back side thereof. In some cases, the surface side to be sealed is in close contact with the opposing sealing tube and the oxidation protection film is not provided. The conductive foil may be heated by the discharge heat from the arc tube being transferred to the conductive foil, in addition to the resistance heat by power feeding and the heating by the radiant heat from the external lead side conductor.
Therefore, the discharge lamp according to the eleventh aspect of the present invention suppresses the inflow of air into the gap outside the conductive foil and the oxidation of the portion of the conductive foil where the oxidation protection film is not generated, due to the above characteristics. Can do.
本発明に係る放電ランプ1の第1の実施例について、図1〜3を用いて説明する。
A first embodiment of a
図1は、放電ランプ1の長手方向に沿った断面図である。図2は、図1の放電ランプ1において一方の封止管22(図1の紙面上方側の封止管22)側の拡大断面図である。図3は、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の説明図である。図3(a)は、図2の放電ランプ1における点線の丸で囲った部分の拡大図である。図3(b)は、図2の放電ランプ1の斜視図であり、図2の放電ランプ1において封止管22と外部リード保持用筒体6とを取り除いた図である。
なお、図1〜3には、図24〜26に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
FIG. 1 is a cross-sectional view along the longitudinal direction of the
1 to 3, the same components as those illustrated in FIGS. 24 to 26 are denoted by the same reference numerals.
図1に示す放電ランプ1は、放電容器2と、この放電容器2を封止する箔シール構造と、この封止された放電容器2の内部で対向配置される一対の電極31,32と、この一対の電極31,32に給電する給電構造と、からなり、この給電構造を構成する導電箔35に酸化保護膜(図1には不図示、図3における符号71)を設けたことを特徴とする。
A
放電ランプ1の放電容器2は、略球状の発光管21と、その両端に連接された円筒状の封止管22とで構成される。放電容器2を構成する部材としては、光透過性を有する部材が用いられ、特に放電ランプ1が露光装置の用途に使用される場合は、紫外線透過性を有する部材が用いられる。
また、後述する箔シール構造の説明に示すように、放電容器2を構成する封止管22は封止用絶縁体5と加熱・溶着が可能なガラス部材が好ましい。
これらのことから、放電容器2は紫外線透過性を有するガラス部材として例えば石英ガラスが用いられる。
The
Further, as shown in the description of the foil seal structure described later, the sealing
For these reasons, for example, quartz glass is used for the
この放電容器2の内部には、発光管21側で一対の電極31,32が対向配置され、発光物質が封入される。
一対の電極31,32を構成する部材としては、ランプ点灯時に電極31,32間の放電により高温に加熱されることから、耐熱性を有する高融点金属又は高融点金属からなる合金が用いられ、この高融点金属として例えばタングステンが挙げられる。
発光物質としては、ランプ点灯時に紫外線を放射する例えば水銀が用いられ、その封入量は1〜70mg/cm3の範囲内で例えば22mg/cm3が挙げられる。さらにランプ点灯開始時の始動性を改善する始動補助用ガスとして、例えばキセノンガスが用いられ、その封入量は例えば0.05〜0.5MPaの範囲内で例えば0.1MPaが挙げられる。
Inside the
As a member constituting the pair of
As the light emitting material, the radiation is for example mercury is used with ultraviolet rays lamp turning, the added amount include range, for example 22 mg / cm 3 of 1~70mg / cm 3. Further, for example, xenon gas is used as the start assisting gas for improving startability at the start of lamp lighting, and the amount of the sealed gas is within a range of 0.05 to 0.5 MPa, for example, 0.1 MPa.
ランプ点灯時に、一対の電極31,32に給電するための給電構造は、電極31,32をその一端に設けると共に封止管22の中心軸に沿って伸びる棒状の内部リード33と、この棒状の内部リード33における他端側の外周に設けた円盤状の内部リード側導電体34と、この内部リード側導電体34の外面にその一端が接合されると共に封止管22の長手方向に沿って伸びる導電箔35と、この導電箔35の他端と接合された円盤状の外部リード側導電体37と、この外部リード側導電体37の中心軸にその一端側が配置されると共にその他端が封止管22の外方(図1における封止管22の紙面上方側)に突出された棒状の外部リード38とからなる。
The power supply structure for supplying power to the pair of
給電構造(内部リード33,内部リード側導電体34,導電箔35,外部リード側導電体37及び外部リード38)の部材としては、電気伝導性を具備することは当然であるが、ランプ点灯時における電極31,32間の放電熱の伝熱を考慮して耐熱性を具備する必要があることから、高融点金属又は高融点金属からなる合金が用いられる。高融点金属としては、例えばモリブデン,タングステン,タンタル,ルテニウム及びレニウムが挙げられる。
As a member of the power feeding structure (
給電構造を構成する導電箔35は、後述する箔シール構造が導電箔35を介して構成されることから、上述の高融点金属の中で、特に厚みを薄くなるように加工しやすいモリブデンが好適に用いられる。
この導電箔35の数値例を挙げると、厚みが例えば0.02〜0.06mmで、幅が例えば6〜15mmである。
As the
If the numerical example of this electrically
外部リード側導電体37と導電箔35との接合は、図3(a)に示すように、外部リード側導電体37の外周面と導電箔35とを溶接により接合部36を設けることで実現できる。この溶接の具体的手段としては、例えばアーク溶接のような融接や、例えばスポット溶接のような圧接が用いられる。
外部リード側導電体37の外周面には、放電ランプ1の出力に対応して複数枚(図3(b)においては4枚)の導電箔35が互いに離隔されて設けられる。各導電箔35には、外部リード側導電体37との間に接合部36が設けられる。この複数枚の導電箔35は、封止管22の長手方向に沿って互いに並行して配設され、内部リード側導電体34の外周面に溶接により接合される。
As shown in FIG. 3A, the joining of the external
A plurality of (four in FIG. 3B) conductive foils 35 are provided on the outer peripheral surface of the external lead-
放電容器2の封止管22の中心軸方向では、内部リード側導電体34と外部リード側導電体37との間に、円柱状の封止用絶縁体5が配置される(図1参照)。封止用絶縁体5の外周面においては、内部リード側導電体34と外部リード側導電体37とを電気的に接続する複数枚の導電箔35が互いに離隔されて配置される。
In the direction of the central axis of the sealing
放電ランプ1の箔シール構造は、放電容器2を気密に封止するため、封止用絶縁体5と封止管22とを一部で導電箔35を介して加熱・溶着することで構成される。
封止用絶縁体5を構成する部材としては、封止管22と溶着しやすい部材が用いられ、特に封止管22の部材と同一の部材であることが好ましい。例えば、封止管22を石英ガラスで構成した場合、封止用絶縁体5を石英ガラスで構成すれば封止管22を加熱することで、封止管22と封止用絶縁体5とが好適に溶着される。
The foil seal structure of the
As a member constituting the sealing
箔シール構造を構成する封止用絶縁体5には、内部リード側導電体34に対向する面と外部リード側導電体37に対向する面のそれぞれに、封止用絶縁体5の中心軸の位置にリード用凹部51が設けられる。
封止用絶縁体5において、内部リード側導電体34と対向する面に設けられたリード用凹部51には内部リード33の他端が挿入され、外部リード側導電体37と対向する面に設けられたリード用凹部51には外部リード38の一端が挿入される。
The sealing
In the
封止用絶縁体5のリード用凹部51に他端が挿入された内部リード33は、その一端に電極31,32が設けられ、この電極31,32は放電時の耐熱性を考慮して内部リード33の外径より大型となる。このため、電極31,32を一端に設けた内部リード33には、電極31,32の重量が負荷され、この内部リード33の他端を挿通された封止用絶縁体5へも電極31,32の重量が負荷される。放電ランプ1の出力が例えば6.5KW以上の場合、内部リード33に比して電極31,32が大型化するため、内部リード33の周方向において円筒状の内部リード保持用筒体4を内部リードの外面と封止管22の内面との間に設け、電極31,32を一端に設けた内部リード33の支持を補助することが好ましい。また、内部リード保持用筒体4は、内部リード33の長手方向において、電極31,32と内部リード側導電体34との間であって内部リード側導電体34に当接するように設けられる。
The
また、外部リード38と電気的に接続された外部リード側導電体37の外周方向には、後述する導電箔側空隙(図1には不図示、図3(a)における符号91)が形成されることから、外部リード38の重量は、主に封止用絶縁体5に設けたリード用凹部51に負荷される。封止用絶縁体5は、外部リード38の重量によってはその負荷で破損することがあるため、外部リード38の周方向において円筒状の外部リード保持用筒体6を外部リード38の外面と封止管22の内面との間に設け、外部リード38の支持を補助することが好ましい。また、外部リード保持用筒体6は、外部リード38の長手方向において、外部リード側導電体37の外方(外部リード側導電体37に対して封止用絶縁体5と対向する側の面と反対側の面)側に位置するように設けられる。
In addition, a conductive foil side gap (not shown in FIG. 1,
内部リード保持用筒体4と外部リード保持用筒体6の部材としては、封止管22と溶着しやすい部材が用いられ、特に封止管22の部材と同一の部材であることが好ましい。例えば、封止管22を石英ガラスで構成した場合、内部リード保持用筒体4と外部リード保持用筒体6を石英ガラスで構成すれば、封止管22を加熱することで、封止管22と内部リード保持用筒体4とが、また封止管22と外部リード保持用筒体6とが溶着される。
As the members of the internal
封止管22と加熱・溶着された外部リード保持用筒体6は、熱膨張係数が異なる外部リード38とは溶着されない。このため、外部リード保持用筒体6の内面と外部リード38の外面との間には、外部リード38の長手方向に沿って伸びる外部リード側空隙(図1には不図示、図2における符号91)が設けられる。
The external
また、導電箔35における外部リード38側の他端(図2における導電箔35の紙面上方側の端部)の外面と封止管22との間には、これらを構成する部材の熱膨張係数の差による導電箔側空隙92が形成される(図2、詳細には図3(a)を参照)。
Further, between the outer surface of the other end of the
導電箔側空隙92に取り囲まれた導電箔35における他端(図2における導電箔35の紙面上方側の端部)は、外部リード側導電体37との間で接合部(図2には不図示、図3(a)における符号36)を介して接合されることから、図3(a)に示すように、導電箔35と外部リード側導電体37との間に接合部周辺側空隙94が形成されている。この接合部周辺側空隙94を介して外部リード側導電体37に対向された導電箔の面351のうち、接合部36が接合された部分を除いて酸化保護膜71が設けられる。
The other end of the
なお、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図3(a)における符号351、図3(b)には不図示)の範囲は、図3(b)に示すように、円盤状の外部リード側導電体37の中心軸方向において対向するL1と、円盤状の外部リード側導電体37の周方向において対向するL2とからなる範囲である(図3(b)の紙面手前側に位置する2枚の導電箔35は、外部リード側導電体37に対向する面に対して反対側の面が見えている)。
The range of the surface of the
図3(a)に示すように、この酸化保護膜71は、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体6に対向された面351に設けられるが、後述の酸化保護膜71の生成方法により、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分にも設けられる。特に、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分であって、封止管22と封止用絶縁体5との間に密着された封止部分側(図2の導電箔35における紙面下方側)は、ランプ点灯時における電極31,32間の放電熱による伝熱(ここでいう放電熱による伝熱とは、電極31,32間の放電からの「電子電流」「放電輻射」による伝熱と、放電により電極31,32と発光管21内のガスとが加熱されたことによる「電極31,32からの接触伝熱及びガス対流伝熱」のことをいう)を受けて加熱されるため、この部分にも加熱による酸化を防止する目的で酸化保護膜71が設けられることが好ましい。
As shown in FIG. 3A, the
酸化保護膜71の部材としては、導電箔35を構成する高融点金属又は高融点金属からなる合金と、アルカリ金属とからなる複酸化物で構成される。例えば、導電箔35を構成する部材がモリブデンであって、アルカリ金属が例えばセシウムであった場合、セシウム・モリブデン複酸化物が設けられる。
導電箔35を構成する部材がモリブデンの場合、高温でも安定した化合物であるルビジウム・モリブデン複酸化物が酸化保護膜71として好ましい。
The member of the
When the member constituting the
酸化保護膜71が設けられる導電箔35は、外部リード側導電体37の外面に、複数枚設けられるが、各導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図3(a)における符号351、図3(b)には不図示)にそれぞれ酸化保護膜71が設けられる。
導電箔35の枚数としては、例えば出力が6.5KW以上のランプの場合4枚以上の導電箔35が必要であり、このように出力が大きな放電ランプ1の場合、接合部36やその周辺の部材の抵抗熱が大きくなり、さらに外部リード側導電体37からの輻射熱も大きくなる。このため、4枚以上の導電箔35を具備する放電ランプ1においては、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図3(a)における符号351、図3(b)には不図示)に酸化保護膜71を設けることで、導電箔35の酸化防止効果が著しく得られる。
A plurality of conductive foils 35 on which the
As for the number of
酸化保護膜71の生成方法として、その一例を以下に示す。
外部リード保持用筒体6と外部リード側導電体37との間には、外部リード保持用筒体6と外部リード側導電体37とが互いの部材の熱膨張係数の差により溶着されないので、図3(a)に示すように空隙が形成される。この空隙は外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通している。
このため、放電ランプ1の端部に位置する外部リード側空隙91の外方(図2の紙面上方にある外部リード側空隙91の入り口)から酸化保護膜71生成溶液として例えば硝酸ルビジウム溶液を滴下させ、外部リード保持用筒体6と外部リード側導電体37との間の空隙を介して、導電箔側空隙92を酸化保護膜71生成溶液で充填させる。この充填する方法としては、気密に封止した放電ランプ1の封止管22の端部から導電箔側空隙92を減圧状態にし、窒素などの不活性ガスで酸化保護膜71生成溶液を押圧して充填させる。このとき、導電箔35と外部リード側導電体37との間にも接合部周辺側空隙94が存在し、この接合部周辺側空隙94と導電箔側空隙92とが連通していることから、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図2には不図示、図3(a)における符号351)にも酸化保護膜71生成溶液が塗布される。
次に、導電箔側空隙92に酸化保護膜71生成溶液を充填したままで放電ランプ1を、例えば600℃以上で焼成する。
これにより、導電箔35を構成する例えばモリブデンのような高融点金属と酸化保護膜71生成溶液を構成する例えばルビジウム硝酸溶液のようなアルカリ金属塩の溶液とが反応し、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれる部分に例えばルビジウム・モリブデン複酸化物のような高融点金属とアルカリ金属とからなる複酸化物が生成される。酸化保護膜71生成溶液が塗布された導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面にも、例えばルビジウム・モリブデン複酸化物が生成される。
An example of the method for generating the
Since the external
For this reason, for example, a rubidium nitrate solution is dropped from the outside of the external lead-
Next, the
Thereby, a high melting point metal such as molybdenum constituting the
なお、図3(a)には、導電箔35がモリブデンであって、外部リード側導電体37はモリブデン以外の例えばタングステンで構成された場合を図示しているため、導電箔35の外面のみに酸化保護膜71が形成される。外部リード側導電体37の部材が、導電箔35の部材と同一のモリブデンであった場合、導電箔側空隙92を充填する際に、外部リード側導電体37における酸化保護膜71生成溶液が通過した部分には、酸化保護膜71生成溶液が塗布されるので、酸化保護膜71が生成される。
3A shows a case where the
上述した第1の実施例に係る放電ランプ1は、一対の外部リード38に図示しない電源が接続されており、図示しない電源から給電されることでランプ点灯を開始する。ランプ点灯時、接合部周辺側空隙94は、外部リード側空隙91と連通していることから大気雰囲気である。この大気雰囲気で、導電箔35は、給電による接合部36周辺での抵抗熱と、外部リード側導電体37からの輻射熱とにより加熱される。
第1の実施例に係る放電ランプ1は、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71が設けられることにより、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351が大気中の酸素に直接さらされない。これにより、第1の実施例に係る放電ランプ1は、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351が加熱されても、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
In the
The
さらに、ランプ点灯時、導電箔側空隙92は、外部リード側空隙91と連通していることから大気雰囲気である。この大気雰囲気で、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分は、電極31,32間の放電熱が伝熱されて加熱される。特に、電極31,32に近いので、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分のうちで、封止管22と封止用絶縁体5との間に密着された封止部分側(図2の導電箔35における紙面下方側)が放電熱の伝熱を受けやすくなる。第1の実施例に係る放電ランプ1は、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分に酸化保護膜71を設けたことにより、導電箔側空隙92中の大気中の酸素に直接さらされないので、放電熱の伝熱を受けても、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分の酸化を防止することができる。
Further, when the lamp is lit, the conductive
また、第1の実施例に係る放電ランプ1は、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分に酸化保護膜71を設けたことにより、高温に加熱される環境においても導電箔35の酸化が防止されることから、従来の放電ランプ1よりも導電箔の接合部36を内部リード38側に近接することができる。これにより、第1の実施例に係る放電ランプ1は、導電箔35に接合された外部リード側導電体37も内部リード33側に移動することができ、従来の放電ランプ1と比して、封止管22の長手方向(図1に示す上下方向)の長さを短くすることができるので、放電ランプ1の長手方向における小型化を実現することもできる。
In addition, the
酸化保護膜71と封止管22とが密接する場合において、封止管22を構成する部材が石英ガラスのとき、酸化保護膜71を構成する部材によっては、その部材の例えば金属原子又は金属イオンが石英ガラスへ拡散し、酸化保護膜71が設けられた導電箔35と封止管22との密着性を阻害することがある。これは、ランプ点灯時、放電熱の伝熱を受けて運動エネルギーを持った金属原子又は金属イオンが、二酸化ケイ素からなるその網目構造を乗り越え拡散する際に、その金属原子半径又は金属イオン半径の小さいものの方がより容易に網目構造を乗り越えてしまうためと考えられる。
そこで、第1の実施例に係る放電ランプ1は、酸化保護膜71をルビジウム・モリブデン複酸化物で構成することにより、以下の理由から、酸化保護膜71が設けられた導電箔35と封止管22との密着性を阻害することを防止できる。
ルビジウム・モリブデン複酸化物は、これを構成するルビジウムの原子半径及びイオン半径が他のアルカリ金属原子(例えば、リチウム、ナトリウム)又は金属イオン(例えば、リチウムイオン、ナトリウムイオン)に比べて充分大きいことに起因して、石英ガラスへの拡散が少ないものと考えられる。
When the
Accordingly, the
The rubidium-molybdenum double oxide has a sufficiently large atomic radius and ionic radius of rubidium constituting it compared to other alkali metal atoms (for example, lithium and sodium) or metal ions (for example, lithium ion and sodium ion). Due to this, it is considered that there is little diffusion into quartz glass.
以上のことから、第1の実施例に係る放電ランプ1は、その構成と効果を以下のようにまとめられる。
第1の実施例に係る放電ランプ1は、内部に発光空間を有する発光管21とその両端に連接された封止管22とからなる放電容器2と、該封止管22の内部に設けた封止用絶縁体5と、該放電容器2の内部の発光管21側で対向して配置された電極31,32と、該電極31,32に電気的に接続されると共に該封止管22と該封止用絶縁体5との間に設けられた導電箔35と、接合部36を介して該導電箔35と電気的に接続されると共に封止用絶縁体5の外方に設けられた外部リード側導電体37と、該外部リード側導電体37に電気的に接続された外部リード38と、からなる放電ランプ1において、少なくとも該導電箔35における該外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71を設けたことを特徴とする。
From the above, the configuration and effects of the
The
第1の実施例に係る放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71を設けたことにより、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351が大気中の酸素にさらされないので、ランプ点灯時に接合部周辺側空隙94が大気雰囲気になって導電箔35が加熱されても、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
In the
また、第1の実施例に係る放電ランプ1は、上記特徴に加えて、該酸化保護膜71がルビジウム・モリブデン複酸化物であることを特徴とする。
この特徴により、ルビジウムの原子半径及びイオン半径が大きいことに起因して、ルビジウムによる石英ガラスへの拡散が少ないことか、酸化保護膜71が設けられた導電箔35と封止管22との密着性を阻害することを防止できる。
In addition to the above features, the
Due to this feature, due to the large atomic radius and ion radius of rubidium, there is little diffusion of rubidium into the quartz glass, or the adhesion between the
ここまで説明した第1の実施例に係る放電ランプ1は、図3(b)に示すように、外部リード側導電体37が円盤状であった。次に、外部リード側導電体37が円盤状ではない場合について、第1の実施例に係る放電ランプ1の別の例として、図4及び図5を用いて説明する。なお、第1の実施例の別の例においても、放電ランプ1の断面図は図1と概略相違しないため、図1を参照図として用いる。
In the
図4は、図1の放電ランプ1において一方の封止管22(図1の紙面上方側の封止管22)側の拡大断面図である。図5は、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の説明図であり、図4の放電ランプ1における点線の丸で囲った部分の拡大図である。
なお、図4及び図5には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of one
In FIGS. 4 and 5, the same components as those shown in FIGS.
図4及び図5の放電ランプ1は、外部リード側導電体37の形状が円盤状部材に接合用突部371を設けた点で、図1〜3の放電ランプ1と相違する。
図4及び図5の放電ランプ1の説明として、図1〜3との相違点について述べる。
The
Differences from FIGS. 1 to 3 will be described as an explanation of the
外部リード側導電体37と導電箔35とを接合する接合部22を設けるため、図4に示すように、外部リード側導電体37は、円盤状部材に対して、その外周面から封止管22の外方(図4における紙面上方)に向かって突出する接合用突部371が設けられる。接合用突部371は導電箔35の枚数分を用意すればよく、導電箔35が例えば4枚設けられる場合、接合用突部371は4つ設けられる。このように外部リード側導電体37の形状は、円盤状部材と、その外周面から封止管22の外方(図4における紙面上方)に向かって突出する複数の接合用突部371とからなる形状をしており、いわゆる外歯付ワッシャーの形状に類似する。
この接合用突部371が設けられることにより、外部リード側導電体37と導電箔35との対向する面積が増えることから溶接を簡便に行なうことができる。また、接合部22は、外部リード側導電体371に接合された面積と、導電箔35に接合された面積を大きくできることから、電極31,32への給電量も大きくすることができ、大出力の放電ランプ1へ対応することができる。
In order to provide the
By providing the
外部リード側導電体37が接合部用突部371を有する場合、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351とは、図5に示すように、封止管22の長手方向の断面において、外部リード側導電体37の接合部用突部371の長さL1を含んだ領域のことをいう。
このため、導電箔35に設けられる酸化保護膜71は、少なくとも導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37に対向する面351に設ければよい。
When the external lead-
Therefore, the
また、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分であって、封止管22と封止用絶縁体5との間に密着された封止部分側(図4の導電箔35における紙面下方側)は、ランプ点灯時における電極31,32間の放電熱による伝熱を受けやすくなるため、この部分にも酸化保護膜71を設けることが好ましい。
Further, a portion of the
外部リード側導電体37が接合部用突部371を有する場合であっても、酸化保護膜71の部材としては、導電箔35を構成する高融点金属又は高融点金属からなる合金と、アルカリ金属とからなる複酸化物で構成される。例えば、導電箔35を構成する部材がモリブデンであって、アルカリ金属が例えばセシウムであった場合、セシウム・モリブデン複酸化物が設けられる。
導電箔35を構成する部材がモリブデンの場合、高温でも安定した化合物であるルビジウム・モリブデン複酸化物が酸化保護膜71として好ましい。
Even when the external lead-
When the member constituting the
上述した第1の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、一対の外部リード38に図示しない電源が接続されており、図示しない電源から給電されることでランプ点灯を開始する。ランプ点灯時、接合部周辺側空隙94は、外部リード側空隙91と連通していることから大気雰囲気である。この大気雰囲気で、導電箔35は、給電による接合部36周辺での抵抗熱と、外部リード側導電体37からの輻射熱とにより加熱される。
第1の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71が設けられることにより、導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37に対向する面351が大気中の酸素に直接さらされない。これにより、第1の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37に対向する面351が加熱されても、導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
In the
In the
さらに、ランプ点灯時、導電箔側空隙92は、外部リード側空隙91と連通していることから大気雰囲気である。この大気雰囲気で、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分は、電極31,32間の放電熱が伝熱されて加熱される。特に、電極31,32に近いので、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分のうちで、封止管22と封止用絶縁体5との間に密着された封止部分側(図4の導電箔35における紙面下方側)が放電熱の伝熱を受けやすくなる。第1の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分に酸化保護膜71を設けたことにより、導電箔側空隙92中の大気中の酸素に直接さらされないので、放電熱の伝熱を受けても、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分の酸化を防止することができる。
Further, when the lamp is lit, the conductive
また、第1の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、導電箔35における導電箔側空隙92に取り囲まれた部分に酸化保護膜71を設けたことにより、高温に加熱される環境においても導電箔35の酸化が防止されることから、従来の放電ランプ1よりも導電箔の接合部36を内部リード38側に近接することができる。これにより、第1の実施例に係る放電ランプ1は、導電箔35に接合された外部リード側導電体37も内部リード33側に移動することができ、従来の放電ランプ1と比して、封止管22の長手方向(図1に示す上下方向)の長さを短くすることができるので、放電ランプ1の長手方向における小型化を実現することもできる。
Further, the
酸化保護膜71と封止管22とが密接する場合において、封止管22を構成する部材が石英ガラスのとき、酸化保護膜71を構成する部材によっては、その部材の例えば金属原子又は金属イオンが石英ガラスへ拡散し、酸化保護膜71が設けられた導電箔35と封止管22との密着性を阻害することがある。これは、ランプ点灯時、放電熱の伝熱を受けて運動エネルギーを持った金属原子又は金属イオンが、二酸化ケイ素からなるその網目構造を乗り越え拡散する際に、その金属原子半径又は金属イオン半径の小さいものの方がより容易に網目構造を乗り越えてしまうためと考えられる。
そこで、第1の実施例に係る放電ランプ1は、酸化保護膜71をルビジウム・モリブデン複酸化物で構成することにより、以下の理由から、酸化保護膜71が設けられた導電箔35と封止管22との密着性を阻害することを防止できる。
ルビジウム・モリブデン複酸化物は、これを構成するルビジウムの原子半径及びイオン半径が他のアルカリ金属原子(例えば、リチウム、ナトリウム)又は金属イオン(例えば、リチウムイオン、ナトリウムイオン)に比べて充分大きいことに起因して、石英ガラスへの拡散が少ないものと考えられる。
When the
Accordingly, the
The rubidium-molybdenum double oxide has a sufficiently large atomic radius and ionic radius of rubidium constituting it compared to other alkali metal atoms (for example, lithium and sodium) or metal ions (for example, lithium ion and sodium ion). Due to this, it is considered that there is little diffusion into quartz glass.
以上のことから、第1の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、その構成と効果を以下のようにまとめられる。
第1の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、内部に発光空間を有する発光管21とその両端に連接された封止管22とからなる放電容器2と、該封止管22の内部に設けた封止用絶縁体5と、該放電容器2の内部の発光管21側で対向して配置された電極31,32と、該電極31,32に電気的に接続されると共に該封止管22と該封止用絶縁体5との間に設けられた導電箔35と、接合部36を介して該導電箔35と電気的に接続されると共に封止用絶縁体5の外方に設けられると共に接合用突部371を有する外部リード側導電体37と、該外部リード側導電体37に電気的に接続された外部リード38と、からなる放電ランプ1において、少なくとも該導電箔35における該接合用突部371を含んだ該外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71を設けたことを特徴とする。
From the above, the configuration and effects of the
A
第1の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71を設けたことにより、導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37に対向する面351が大気中の酸素にさらされないので、ランプ点灯時に接合部周辺側空隙94が大気雰囲気になって導電箔35が加熱されても、導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
In the
また、第1の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、上記特徴に加えて、該酸化保護膜71がルビジウム・モリブデン複酸化物であることを特徴とする。
この特徴により、ルビジウムの原子半径及びイオン半径が大きいことに起因して、ルビジウムによる石英ガラスへの拡散が少ないことから、酸化保護膜71が設けられた導電箔35と封止管22との密着性を阻害することを防止できる。
Further, in addition to the above characteristics, the
Due to this feature, since the atomic radius and ion radius of rubidium are large, the diffusion of rubidium into the quartz glass is small, so that the
図1〜5を用いて説明した第1の実施例に係る放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71を設けたことについて述べた。
ところが、第1の実施例に係る放電ランプ1は、外部リード側導電体37の外方(図2の外部リード導電体37における紙面上方側)に外部リード保持用筒体6を設けたとき、導電箔35における外部リード側導電体37に対向した面351に酸化保護膜が設けることができないことがあった。
そこで、この問題を解決する手段として、第1の実施例に係る放電ランプ1に付加するように構成した第2〜9の実施例に係る放電ランプ1について、以下に順次説明する
In the
However, in the
Therefore, as means for solving this problem, the
本発明に係る放電ランプ1の第2の実施例について、図6及び図7を用いて説明する。なお、第2の実施例においても、放電ランプ1の断面図は図1,図2及び図3(a)と概略相違しないため、図1,図2及び図3(a)を参照図として用いる。
A second embodiment of the
図6は、図2の放電ランプ1の斜視図であり、図2の放電ランプ1において封止管22を取り除いた分解図である。
図7(a)は図6に示した経路形成部材8のみの拡大図である。図7(b)は、図7(a)の経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在させた図であり、図7(a)のX方向からみたときの断面図である。
なお、図6及び図7には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
6 is a perspective view of the
FIG. 7A is an enlarged view of only the
In FIGS. 6 and 7, the same components as those shown in FIGS.
図6及び図7の放電ランプ1は、経路形成部材8を設けた点で、図1〜3の放電ランプ1と相違する。
図6及び図7の放電ランプ1の説明として、図1〜3との相違点について述べる。
The
Differences from FIGS. 1 to 3 will be described as an explanation of the
第2の実施例に係る放電ランプ1は、図1に示すように、放電容器2と、この放電容器2を封止する箔シール構造と、この封止された放電容器2の内部で対向配置される一対の電極31,32と、この一対の電極31,32に給電する給電構造と、からなり、この給電構造を構成する外部リード38の外周に外部リード保持用筒体4を設けてあって、この外部リード保持用筒体6と給電構造を構成する外部リード側導電体37との間に経路形成部材8を設け、この給電構造を構成する導電箔35に酸化保護膜(図1には不図示、図3における符号71)を設けたことを特徴とする。
As shown in FIG. 1, a
図6は、中心軸の位置にリード用凹部(図6には不図示、図2における符号51)を設けた円柱状の封止用絶縁体5と、このリード用凹部に一端を挿入した棒状の外部リード38と、この外部リード38を中心の外部リード接合穴に挿通すると共に封止用絶縁体5の外方(図6の封止用絶縁体5における紙面上方側)に設けた円盤状の外部リード側導電体37と、外部リード38を中心の外部リード挿通口に挿通すると共に外部リード側導電体37の外方(図6の外部リード側導電体37における紙面上方側)に設けた円形箔状の経路形成部材8と、外部リード38を中心の外部リード保持用穴62に挿通すると共に外部リード側導電体37の外方(図6の経路形成部材8の紙面上方側)に設けた円筒状の外部リード保持用筒体6とを、示した図である。
6 shows a
図6を用いて各部材の大小関係を説明する。
外部リード保持用筒体6は、その中心の外部リード保持用穴62に外部リード38を挿入するため、その内径L4が外部リード38の外径L3よりも大径となるように設けられる。また、外部リード保持用筒体6の外径L5は、外部リード側導電体37の外径L8より小径となるように設けられる。
経路形成部材8は、その外径L7が外部リード保持用筒体6の外径L5と同一である。また、経路形成部材8の内径L6は、外部リードの外径L3と同一である。
The magnitude relationship of each member is demonstrated using FIG.
The external
The
経路形成部材8には、その内周から外周に亘って伸びる開口部811が形成される。経路形成部材8を箔状に形成した場合、刃物などで切り込むことで形成することができる。
経路形成部材8は、ランプ点灯時において、外部リード側導電体37による抵抗熱の伝熱と、放電熱の伝熱を考慮して、耐熱性を具備する必要がある。このため、経路形成部材8を構成する部材としては、高融点金属又は高融点金属からなる合金が用いられる。高融点金属の具体例として、モリブデン,タングステン,タンタル,ルテニウム及びレニウムが挙げられる。
The
The
この経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在して放電ランプ1を完成させると、箔シール構造形成による加熱や、外部リード保持用筒体6と封止管22との加熱により、図7(b)に示す構成となる。
図7(b)は、図7(a)に示す経路形成部材8のX方向から見たときの断面図である。このため、図7(b)では図示しないが紙面奥方向に開口部811が続いている。
図7(b)に示すように、経路形成部材8の開口部811には、封止管22の長手方向に沿った断面において、外部リード保持用筒体6側に第1のテーパー814が設けられる。この第1のテーパー814は、経路形成部材8の肉厚が小さくなるように、経路形成部材8における外部リード保持用筒体6に当接する平坦面から外部リード側導電体37側に向かって設けられる。この経路形成部材8の第1のテーパー814と外部リード保持用筒体6との間には隙間61が設けられる。
経路形成部材8の第1のテーパー814が経路形成部材8の内周から外周にまでに伸びるように設けられていることから、隙間61も第1のテーパー814に沿って経路形成部材の内周から外周にまでに伸びるように設けられる。
When the
FIG. 7B is a cross-sectional view of the
As shown in FIG. 7B, the
Since the
また、図7(b)に示すように、経路形成部材8の開口部811には、封止管22の長手方向に沿った断面において、外部リード側導電体37側に第2のテーパー815が設けられる。この第2のテーパー815は、経路形成部材8の肉厚が小さくなるように、経路形成部材8における外部リード側導電体37に当接する平坦面から外部リード保持用筒体6に向かって設けられる。この経路形成部材8の第2のテーパーと外部リード側導電体37との間には隙間375が設けられる。
経路形成部材8の第2のテーパー815が経路形成部材8の内周から外周にまでに伸びるように設けられていることから、隙間375も第2のテーパー815に沿って経路形成部材8の内周から外周にまでに伸びるように設けられる。
Further, as shown in FIG. 7B, the
Since the
経路形成部材8を設けなかった第1の実施例の放電ランプにおいては、少なくとも導電箔35における少なくとも外部リード側導電体37に対向した面351に酸化保護膜71を生成する方法として、既述のとおり、外部リード側空隙91の外方(図2の紙面上方にある外部リード側空隙91の入り口)から酸化保護膜71生成溶液として例えば硝酸ルビジウム溶液を滴下させ、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面に酸化保護膜71生成溶液を塗布する方法がある。このとき、酸化保護膜71生成溶液は、外部リード保持用筒体6と外部リード側導電体37との間(図3(a)参照)を通ることになる。
In the discharge lamp of the first embodiment in which the
ところが、第1の実施例に係る放電ランプ1は、外部リード側導電体37の外方(図2の外部リード導電体37における紙面上方側)に外部リード保持用筒体6を設けたとき、下記の理由により、導電箔35における外部リード側導電体37に対向した面351に酸化保護膜71を設けることができないことがあった。
第1の実施例に係る放電ランプ1は、箔シール構造を形成するときに、加熱された導電箔35が放電ランプ1の外方(図2の導電箔35における紙面上方側)に向かって膨張される。これに伴って、導電箔35と接合された外部リード側導電体37も外部リード保持用筒体6に向かって移動され、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6が密着されることあった。箔シール構造は形成された後に冷却されるが、導電箔35は、封止された封止管22と封止用絶縁体5との間に固定されるので、膨張した導電箔35の大半は殆んど収縮することができないことがあり、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6が密着されたままになることがあった。
このように、第1の実施例に係る放電ランプ1の場合は、外部リード側導電体37の外方に外部リード保持用筒体6を設けたとき、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との密着した間に酸化保護膜71生成溶液が流入できないことがあった。
このとき、酸化保護膜71生成溶液の粘度に対して大気の粘度は低いことから、密着した外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に大気が流入してしまい、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351が大気中の酸素にさらされ、酸化して破損する問題が解決できなかった。
However, in the
In the
Thus, in the case of the
At this time, since the viscosity of the atmosphere is lower than the viscosity of the solution for forming the oxidation
このため、第2の実施例に係る放電ランプ1は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に開口部811を有する経路形成部材8を介在させることにより、箔シール構造を形成するときに、経路形成部材8の平坦面と外部リード保持用筒体6とが密着するが、第1のテーパー814と外部リード保持用筒体6との間に隙間61が設けられる。また、経路形成部材8の平坦面と外部リード側導電板37とも密着するが、第2のテーパー815と外部リード保持用筒体6との間に隙間375が設けられる。
For this reason, the
外部リード保持用筒体6を設けた場合、外部リード保持用筒体6と封止管22とを溶着する加熱工程において、加熱された外部リード保持用筒体6は軟化するだけであり、経路形成部材8の第1のテーパーに向かって僅かに突出するだけである。このため、外部リード保持用筒体6は、経路形成部材8の第1のテーパーを充填することがほとんどなく、隙間61は保持される。
仮に、加熱工程において、経路形成部材8の第1のテーパーと外部リード保持用筒体6との間の隙間61を軟化した又は溶融した外部リード保持用筒体6が充填したとしても、加熱工程後に常温にまで冷却されるので、放電ランプ1は、外部リード保持用筒体6を構成する部材の熱膨張係数と経路形成部材8を構成する部材の熱膨張係数との差により、隙間61が設けられる。
上述の理由から、経路形成部材8の開口部811の第1のテーパー部分には、隙間61が設けられる。この経路形成部材の第1のテーパーを経路形成部材の外周から内周に至るまで設けることにより、外部リードの外周から経路形成部材8の外周に伸びる隙間61が設けられる。
When the external
Even if the
For the above-described reason, a
経路形成部材8の内径L6が外部リード38の外径L3と同一であることから、外部リード保持用筒体6と経路形成部材8との間の隙間61は、外部リード側空隙91に連通される。さらに、経路形成部材8の外径L7が外部リード保持用筒体6の外径L5と同一であることから、外部リード保持用筒体6と経路形成部材8との間の隙間61は、図3(a)に示す導電箔側空隙92を介して、接合部周辺側空隙94に連通される。
また、外部リード側導電体37と経路形成部材8との間の隙間375も、外部リード側空隙91と連通され、導電箔側空隙92とも連通される。
Since the
The
すなわち、経路形成部材8が外部リード側空隙91から外部リード側導電体37の外面に伸びる開口部811を設けると共に、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間にこの経路形成部材8を介在させることで、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とが連通される。この連通された経路9により、外部リード側空隙91から滴下された酸化保護膜71生成溶液が導電箔側空隙92に充填される。このとき、導電箔35と外部リード側導電体37との間にも接合部周辺側空隙94が存在し、この接合部周辺側空隙94と導電箔側空隙92とが連通していることから、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図2には不図示、図3(a)における符号351)に酸化保護膜71生成溶液が塗布されるので、第2の実施例に係る放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面(図2には不図示、図3(a)における符号351)に酸化保護膜71を設けることができる。
That is, the
上述のように、放電ランプ1において、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面351に酸化保護膜71を設けるためには、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する経路9を経路形成部材8に設け、この経路9が結果的に外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通すればよい。
このため、円形箔状の経路形成部材8に設ける経路9は、必ずしも第1のテーパー及び第2のテーパーの両方を具備する必要が無く、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する第1のテーパー814又は第2のテーパー815のいずれかでもかまわない。
また、経路形成部材8に設ける経路9としては、必ずしもテーパー814,815を有する開口部811である必要が無く、例えば、外部リード保持用筒体6から外部リード側導電体37側に向かった凹部や、外部リード側導電体37から外部リード保持用筒体6側へ向かった凹部を設ければ、経路形成部材8と外部リード保持用筒体6との間に隙間や、経路形成部材8と外部リード側導電体37との間に隙間が設けられ、これが経路9として機能する。
さらにまた、経路形成部材8の経路9が、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通すれば良いことから、放電ランプ1における各部材の大小関係は図6のものに限定されるものではない。例えば、外部リード保持用筒体6の外径L5が外部リード側導電体37の外径L8より大径となるとき、経路形成部材8の外径L7は、外部リード側導電体37の外径L8と同一以上であって、経路形成部材8の外周から内周に連通する開口部9を有すれば、この開口部811が外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する経路9として機能する。
As described above, in the
For this reason, the path 9 provided in the circular foil-shaped
Further, the path 9 provided in the
Furthermore, since the path 9 of the
以上のことから、第2の実施例に係る放電ランプ1は、その構成と効果を以下のようにまとめられる。
From the above, the configuration and effects of the
第2の実施例に係る放電ランプ1は、該放電ランプ1が該外部リード側導電体37の外方であって該外部リード38と該封止管22との間に外部リード保持用筒体6を設けた放電ランプ1であって、該外部リード38と外部リード保持用筒体6との間に外部リード38の長手方向に沿った外部リード側空隙91を設け、該外部リード側空隙91と該接合部36とを連通させた経路9を設けたことを特徴とする。
この特徴により、第2の実施例に係る放電ランプ1は、経路9を介して少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
In the
With this feature, in the
さらに、第2の実施例に係る放電ランプ1は、上記特徴に加えて、該外部リード側導電体37と該外部リード保持用筒体6との間に凹部又は/及び凸部を構成する経路形成部材8を設けたことにより、該経路9を構成したことを特徴とする。
この特徴により、第2の実施例に係る放電ランプ1は、凹部又は/及び凸部に沿って経路9が形成され、この経路9を介して少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
Furthermore, in addition to the above features, the
Due to this feature, in the
ここまで説明した第2の実施例に係る放電ランプ1は、図6に示すように、外部リード側導電体37が円盤状であった。次に、外部リード側導電体37が円盤状ではない場合について、第2の実施例に係る放電ランプ1の別の例として、図8及び図9を用いて説明する。なお、第2の実施例の別の例においても、放電ランプ1の断面図は図1,図4及び図5と概略相違しないため、図1,図4及び図5を参照図として用いる。また、図8に示す経路形成部材8が、図7(a)と同一であることから、図7(a)及び図7(b)も参照図として用いる。
In the
図8は、図2の放電ランプ1の斜視図であり、図2の放電ランプ1において封止管22を取り除いた分解図である。
図9は、外部リード側導電体37において、円盤状部分に接合用突部371を設けたときに、接合用突部371と外部リード保持用筒体6との間に隙間61が経路として機能することを示した図であり、外部リード側導電体37における円盤状部材と接合用突部371との部分を拡大した断面図である。
なお、図8及び図9には、図1,図4及び図5に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
FIG. 8 is a perspective view of the
FIG. 9 shows that the
In FIGS. 8 and 9, the same components as those shown in FIGS. 1, 4 and 5 are denoted by the same reference numerals.
図8及び図9の放電ランプ1は、外部リード側導電体37に接合用突部371を設け、この接合用突部371と外部リード保持用筒体6との間に隙間61を設けた点で、図6及び図7の放電ランプ1と相違する。
図8及び図9の放電ランプ1の説明として、図6及び図7との相違点について述べる。
The
As an explanation of the
図8は、中心軸の位置にリード用凹部(図8には不図示、図2における符号51)を設けた円柱状の封止用絶縁体5と、このリード用凹部に一端を挿入した棒状の外部リード38と、この外部リード38を中心の外部リード接合穴に挿通すると共に封止用絶縁体5の外方(図8の封止用絶縁体5における紙面上方側)に設けた円盤状の外部リード側導電体37と、この外部リード側導電体37の外周に外部リード保持用筒体6に向かって突出する接合用突部371と、外部リード38を中心の外部リード挿通口に挿通すると共に外部リード側導電体37の外方(図8の外部リード側導電体37における紙面上方側)に設けた円形箔状の経路形成部材8と、外部リード38を中心の外部リード保持用穴62に挿通すると共に外部リード側導電体37の外方(図8の経路形成部材8の紙面上方側)に設けた円筒状の外部リード保持用筒体6とを、示した図である。
FIG. 8 shows a
図8を用いて各部材の大小関係を説明する。
外部リード保持用筒体6は、その中心の外部リード保持用穴62に外部リード38を挿入するため、その内径L4が外部リード38の外径L3よりも大径になるように設けられる。また、外部リード保持用筒体6の外径L5は、外部リード側導電体37の外径L8より小径となると共に、外部リード側導電体37の接合用突部371の内径L9と同一となるように設けられる。
経路形成部材8は、その内径L6が外部リードの外径L3と同一である。また、経路形成部材8は、その外径L7が外部リード保持用筒体6の外径L5と同一であるので、外部リード側導電体37の接合用突部371の内径L9と同一である。
The magnitude relationship of each member is demonstrated using FIG.
The external
The
図8及び図9に示した経路形成部材8の構成は、前述の図7(a)に示した経路形成部材8の構成と同一であることから説明を省略する。
The configuration of the
この経路形成部材8の開口部811が、図8に示すように、外部リード側導電体37の接合用突部371に向かって設けられた場合、外部リード側空隙91から接合用突部371を連通する隙間(図8に不図示、図7(b)における符号61,815)が設けられる。
As shown in FIG. 8, when the
接合用突部371の内面における構成について、図9を用いて説明する。
図9に示すように、経路形成部材8の外面と、経路形成部材8の外面から垂直方向に伸びる接合用突部371の内面との間で、外部リード保持用筒体6の端面が屈曲される。この屈曲により、外部リード保持用筒体6と接合用突部371と経路形成部材8とで囲まれた隙間63が設けられる。この隙間63は、接合用突部371の内面に沿って(図9の紙面奥〜手前に伸びるように)設けられる。
すなわち、経路形成部材8の開口部(図8における符号811)に沿って伸びる隙間(図9における符号61,375)と、接合用突部371の内面に沿って伸びる隙間63とが連通される。
The configuration on the inner surface of the
As shown in FIG. 9, the end surface of the external
That is, a gap (
上述のように、経路形成部材8の開口部811と接合用突部371の内面63の隙間とを介して、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とが連通される。この連通された経路9により、外部リード側空隙91から滴下された酸化保護膜71生成溶液が導電箔側空隙92に充填される。このとき、導電箔35と接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37との間にも接合部周辺側空隙94が存在し、この接合部周辺側空隙94と導電箔側空隙92とが連通していることから、導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37に対向する面(図4には不図示、図5における符号351)に酸化保護膜71生成溶液が塗布されるので、第2の実施例の別の例に係る放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における接合用突部371を含んだ外部リード側導電体37と対向する面351に酸化保護膜71を設けることができる。
As described above, the external lead-
このように、図8及び図9に示した放電ランプ1は、外部リード側導電体37に接合用突部371を有する場合においても、図6及び図7の放電ランプ1と同様の作用・効果を得ることができる。
As described above, the
図6〜図9に示した第2の実施例に係る放電ランプ1は、経路形成部材8に設けた開口部811がテーパー814,815を有することで、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に経路形成部材8による凹部又は/及び凸部が介在され、この凹部又は凸部に沿った隙間61,375が設けられた。
次に、第3の実施例に係る放電ランプ1として、開口部811にテーパー814,815を設けない場合について、図10及び図11を用いて説明する。なお、第3の実施例においても、放電ランプ1の断面図は図1,図2及び図3(a)と概略相違しないため、図1,図2及び図3(a)を参照図として用いる。
In the
Next, as a
まず、第3の実施例に係る経路形成部材8の一つ目の例として、図10を用いて説明する。
図10(a)は、経路形成部材8のみの拡大図である。図10(b)は、図10(a)の経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在させた図であり、図10(a)のX方向からみたときの断面図である。
なお、図10には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
First, a first example of the
FIG. 10A is an enlarged view of only the
In FIG. 10, the same components as those shown in FIGS.
図10の経路形成部材8は、その周方向に大きく開口した開口部811を設け、この開口部811にテーパーを設けなかった点で、図7の経路形成部材8と相違する。
図10の経路形成部材8の説明として、図7の経路形成部材8との相違点について述べる。
The
As a description of the
図10(a)に示すように略円形箔状の経路形成部材8において、内周から外周に亘って開口すると共に周方向に開口した開口部811が設けられる。
この経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在して放電ランプ1を完成させると、箔シール構造形成による加熱や、外部リード保持用筒体6と封止管22との加熱により、図10(b)に示す構成となる。
図10(b)は、図10(a)に示す経路形成部材8のX方向からみたときの断面図である。このため、図10(b)では図示しないが紙面奥方向に開口部811が続いている。
As shown in FIG. 10A, the substantially circular foil-shaped
When the
FIG. 10B is a cross-sectional view of the
図10(b)に示すように、周方向に開口する開口部811を有する経路形成部材8の場合は、外部リード保持用筒体6と外部リード側導電体37との間に経路形成部材8が介在されない部分ができ、この部分では外部リード保持用筒体6と外部リード側導電体37とが当接する。
経路形成部材8の開口部811の端面には、屈曲した外部リード保持用筒体6と外部リード側導電体37とに囲まれた隙間61が設けられる。
経路形成部材8における周方向に開口した開口部811が経路形成部材8の内周から外周にまで伸びるように設けられていることから、隙間61も開口した開口部811に沿って経路形成部材の内周から外周にまで伸びるように設けられる。
この隙間61が外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する経路9として機能し、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図2には不図示、図3(a)における符号351)に酸化保護膜71を設けることができる。
As shown in FIG. 10B, in the case of the
A
Since the
The
図10(b)に示すように、経路形成部材8に設けた周方向に開口した開口部811は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間で凹部として構成される。この経路形成部材8による凹部によって隙間61が形成され、この隙間61が外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通する経路9として機能する。
As shown in FIG. 10 (b), an
以上のことから、第3の実施例の一つ目に係る放電ランプ1は、周方向に開口した開口部811を有する経路形成部材8を具備することにより、第2の実施例に係る放電ランプ1と同様の作用・効果を得ることができる。
From the above, the
また、図10(a)に示す経路形成部材8は、図8に示すような接合用突部371を有する外部リード側導電体37に設けることもできる。この場合、経路形成部材8の周方向に開口した開口部811に沿って設けられる隙間61が、外部リード側空隙91と接合用突部371の内面に設けられる隙間63とを連通するように配置されることにより、外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通することができる。
Further, the
続いて、第3の実施例に係る経路形成部材8の二つ目の例として、図11を用いて説明する。
図11(a)は経路形成部材8のみの拡大図である。図11(b)は、図11(a)の経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在させた図であり、図11(a)のX方向からみたときの断面図である。
なお、図11には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
Next, a second example of the
FIG. 11A is an enlarged view of only the
In FIG. 11, the same components as those shown in FIGS.
図11の経路形成部材8は、その開口部811が重なり合った一部螺旋状になった点と、この開口部811にテーパーを設けなかった点で、図7の経路形成部材8と相違する。
図11の経路形成部材8の説明として、図7の経路形成部材8との相違点について述べる。
The
As a description of the
図11(a)に示すように略円形箔状の経路形成部材8において、内周から外周に亘って開口すると共に、この開口部811が重なり合った螺旋状態となる。
この経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在して放電ランプ1を完成させると、箔シール構造形成による加熱や、外部リード保持用筒体6と封止管22との加熱により、図11(b)に示す構成となる。
図11(b)は、図11(a)に示す経路形成部材8のX方向からみたときの断面図である。このため、図11(b)では図示しないが紙面奥方向に重なり合った開口部811が続いている。
As shown in FIG. 11A, the substantially circular foil-shaped
When the
FIG.11 (b) is sectional drawing when it sees from the X direction of the path |
図11(b)に示すように、開口部811で一部重なり合った螺旋状の経路形成部材8の場合は、外部リード側導電体37側において、外部リード側導電体37と、これに当接する経路形成部材8の開口部811と、この開口部811で重なり合った経路形成部材8の部分とからなる隙間375が設けられる。
経路形成部材8における重なった部分がその内周から外周にまで伸びるように設けられることから、この隙間375も重なった部分に沿って経路形成部材8の内周から外周にまで伸びるように設けられる。
As shown in FIG. 11B, in the case of the spiral
Since the overlapping portion in the
また、外部リード保持用筒体6側において、屈曲した外部リード保持用筒体6と、これに対向する経路形成部材8の開口部811とに囲まれた隙間61が設けられる。
経路形成部材8の開口部811が内周から外周にまで伸びるように設けられることから、この隙間61も開口部811に沿って経路形成部材8の内周から外周に亘って形成される。
Further, on the side of the external
Since the
これら隙間61,375が外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する経路9として機能し、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図2には不図示、図3(a)における符号351)に酸化保護膜71を設けることができる。
These
図11(b)に示すように、経路形成部材8に設けた開口部811で重なり合った部分は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間で凸部及び凹部として構成される。この経路形成部材8による凸部によって隙間61が形成され、凹部によって隙間375が形成され、これら隙間61,375が外部リード側空隙(図11(b)には不図示、図2における符号91)と接合部周辺側空隙(図11(b)には不図示、図3(a)における符号94)とを連通する経路9として機能する。
As shown in FIG. 11B, the overlapping portion of the
以上のことから、第3の実施例の二つ目の例に係る放電ランプ1は、周方向に開口した開口部811を有する経路形成部材8を具備することにより、第2の実施例に係る放電ランプ1と同様の作用・効果を得ることができる。
From the above, the
また、図11(a)に示す経路形成部材8は、図8に示すような接合用突部371を有する外部リード側導電体37に設けることもできる。この場合、経路形成部材8の周方向に開口した開口部811に沿って設けられる隙間61が、外部リード側空隙91と接合用突部371の内面に設けられる隙間63とを連通するように配置されることにより、外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通することができる。
Moreover, the path |
このように、図10及び図11を用いて第3の実施例に係る放電ランプ1を説明したように、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に、その内周から外周に亘って伸びる凹部又は/凸部を有する経路形成部材8を介在させれば、外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通する経路9を設けることができる。
Thus, as described in the
このため、第2の実施例及び第3の実施例に放電ランプ1に示した経路形成部材8は、開口部811を経路形成部材の内周から外周にまで伸びるように設けたものであったが、このような開口部811とは異なる例として第4の実施例を説明する。
本発明に係る放電ランプ1の第4の実施例について、図12〜15を用いて説明する。なお、第4の実施例においても、放電ランプ1の断面図は図1と概略相違しないため、図1を参照図として用いる。
Therefore, the
A fourth embodiment of the
図12(a)は、図2の放電ランプ1の斜視図であり、図2の放電ランプ1において封止管22と外部リード保持用筒体6とを取り除いた分解図である。
図12(b)は、図12(a)の外方(図12(a)の路形成部材8における紙面上方)からみた図であり、経路形成部材8の外径と外部リード側導電体37の外径との大小関係をみた図である。
図13(a)は、図12(a)における放電ランプ1の封止用絶縁体5の中心軸に沿った断面図である。図13(b)は、図13(a)において、経路形成部材8の外方(紙面上方側)から外部リード保持用筒体6を外部リードに挿入したときの図である。
図14は、図13(b)において放電ランプ1を完成させたときの図であり、図1の放電ランプ1において一方の封止管22(図1の紙面上方側の封止管22)側の拡大断面図である。
図15は、図14における放電ランプ1の点線の丸で囲った部分の拡大図である。
なお、図12〜15には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
FIG. 12A is a perspective view of the
FIG. 12B is a view as seen from the outside of FIG. 12A (above the paper surface of the
FIG. 13A is a cross-sectional view taken along the central axis of the sealing
FIG. 14 is a view when the
FIG. 15 is an enlarged view of a portion surrounded by a dotted circle of the
12 to 15, the same components as those illustrated in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals.
図12〜15の放電ランプ1は、経路形成部材8が外部リード側導電体37の外径よりも大径であると共に開口部811が経路形成部材8の内周から外周に至るまで設けていない点で、図6及び図7の放電ランプ1と相違する。
図12〜15の放電ランプ1の説明として、図6及び図7との相違点について述べる。
In the
As a description of the
図12は、中心軸の位置にリード用凹部(図12には不図示、図13における符号51)を設けた円柱状の封止用絶縁体5と、このリード用凹部に一端を挿入した棒状の外部リード38と、この外部リード38を中心の外部リード接合穴に挿通すると共に封止用絶縁体5の外方(図12の封止用絶縁体5における紙面上方側)に設けた円盤状の外部リード側導電体37と、外部リード38を中心の外部リード挿通口に挿通すると共に外部リード側導電体37の外方(図12の外部リード側導電体37における紙面上方側)に設けた円形箔状の経路形成部材8と、を示した図である。
FIG. 12 shows a
図12(a)及び図12(b)に示すように、経路形成部材8の外径L10は、外部リード側導電体37の外径L8よりも大径である。
この経路形成部材8に設けた開口部811は、図12(b)に示すように、内周から外部リード側導電体37の外径を超えて伸びて設けられるが、その端部812は外部リード側導電体37の外径と経路形成部材8の外径との間に位置する。
As shown in FIGS. 12A and 12B, the outer diameter L <b> 10 of the
As shown in FIG. 12B, the
経路形成部材8は、図13(b)に示すように、外部リード側導電体37よりも大きな部分を折り曲げて外部リード側導電体37を被覆するように設けられる。この折曲被覆部813は、ガラス瓶に栓をする王冠のように、互いに重なり合って凹凸を形成して外部リード側導電体37の外周形状(円状)に沿って設けられる。
As shown in FIG. 13B, the
外部リード側導電体37の外周を被覆するように設けた経路形成部材8の外方(図13(b)の紙面上方側)には、円筒状の外部リード保持用筒体6が設けられる。
図13(b)の放電ランプ1の外周方向には、図14に示すように、封止管22が設けられて完成される。
A cylindrical external
As shown in FIG. 14, a sealing
このように、経路形成部材8に設けた開口部811は、少なくとも外部リード側導電体37の外周にまで伸びて設けられることから、図15に示す外部リード側導電体37と導電箔35との間(接合部36が設けられている部分)の接合部周辺空隙94と、外部リード側空隙(図15には不図示、図14の符号91)とを連通する。
これにより、放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71を設けられる。
As described above, the
Thus, the
さらに、放電ランプ1は、経路形成部材8の開口部811は、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とも連通する経路9となることから、導電箔35における導電箔側空隙92と対向する面にも酸化保護膜71を設けられる
Further, in the
このように、経路形成部材8の二つ目の例のように、その外径が外部リード導電体37の外径よりも大径の場合、少なくとも外部リード側導電体37の外周にまで伸びて設けることにより、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面に酸化保護膜71を設けることができる。
Thus, as in the second example of the
その上で、本発明に係る放電ランプ1のように、導電箔35の外部リード側の端部(図15の導電箔35における紙面上方側)が封止管22に対向される場合、ランプ点灯時に、導電箔35が膨張して封止管22と接触することがある。このとき、封止管22に導電箔35の端部形状が鋭角な角を有していることから傷をつけて破損させてしまうことがあった。そこで、第4の実施例に係る放電ランプ1は、図15に示すように、導電箔35の端部を箔状の経路形成部材8で被覆することにより、屈曲した経路形成部材8が導電箔35と封止管22との間に介在される。これにより、第4の実施例に係る放電ランプ1は、導電箔35の端部が封止管22に直接接触することを防止されるので、導電箔35による封止管22の破損を防止することができる。
Moreover, when the end of the
以上のことから、第4の実施例に係る放電ランプ1は、具備する経路形成部材に少なくとも外部リード側導電体37の外周372にまで伸びる開口部811が設けられることにより、第2の実施例に係る放電ランプ1と同様の作用・効果を得ることができる。
From the above, the
第2〜4の実施例に係る放電ランプ1が具備する経路形成部材8には、経路9を形成するために開口部811が設けられた。
第5の実施例に係る放電ランプ1について、開口部811を設けずに経路9を形成する例として、図16を用いて説明する。なお、第5の実施例においても、放電ランプ1の断面図は図1,図2及び図3(a)と概略相違しないため、図1,図2及び図3(a)を参照図として用いる。
The
A
図16(a)は、図2の放電ランプ1の斜視図であり、図2の放電ランプ1において封止管22を取り除いた分解図である。図16(b)は、図16(a)の経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在させた図であり、図16(a)のX方向からみたときの断面図である。
なお、図16には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
FIG. 16A is a perspective view of the
In FIG. 16, the same components as those shown in FIGS.
図16の放電ランプ1は、具備する経路形成部材8に開口部を設けずに、皺を寄せて一部重ね合わせた点で、図6及び図7の放電ランプ1と相違する。
図16の放電ランプ1の説明として、図6及び図7の放電ランプとの相違点について述べる。
The
As an explanation of the
図16(a)に示すように略円形箔状の経路形成部材8において、内周から外周に亘って連続するように皺を寄せた皺寄部816が設けられる。
この経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在して放電ランプ1を完成させると、図16(b)に示す構成となる。
図16(b)は、図16(a)に示す経路形成部材8のX方向から見たときの断面図である。このため、図16(b)では図示しないが紙面奥方向に皺寄部816が続いている。
As shown in FIG. 16A, the substantially circular foil-shaped
When the
FIG. 16B is a cross-sectional view of the
図16(b)に示すように、皺を寄せた略円形箔状の経路形成部材8には、三層に重なった皺寄部816が形成される。この経路形成部材8の皺寄部816と外部リード側導電体37との間に隙間375が設けられる。
この経路形成部材8における皺寄部816がその内周から外周にまで伸びるように連続して設けられることから、この隙間375も皺寄部816に沿って経路形成部材8の内周から外周にまで伸びるように設けられる。
As shown in FIG. 16 (b), the substantially circular foil-shaped
Since the
また、外部リード保持用筒体6側において、経路形成部材8の皺寄部816に向かって屈曲した外部リード保持用筒体6と、これに対向する経路形成部材8の皺寄部816とに囲まれた隙間61が設けられる。
この経路形成部材8における皺寄部816がその内周から外周にまで伸びるように連続して設けられることから、この隙間61も皺寄部816に沿って経路形成部材8の内周から外周にまで伸びるように設けられる。
Further, on the side of the external
Since the
これら隙間61,375が外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する経路9として機能し、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図2には不図示、図3(a)における符号351)に酸化保護膜71を設けることができる。
These
図16(b)に示すように、経路形成部材8に設けた皺寄部816で重なり合った部分は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間で凸部及び凹部として構成される。この経路形成部材8による凸部によって隙間61が形成され、凹部によって隙間375が形成され、これら隙間61,675が外部リード側空隙(図16(b)には不図示、図2における符号91)と接合部周辺側空隙(図16(b)には不図示、図3(a)における符号94)とを連通する経路9として機能する。
As shown in FIG. 16 (b), the overlapping portion at the offset
以上のことから、第5の実施例に係る放電ランプ1は、内周から外周に連続的に皺寄部816を設けた経路形成部材8を具備することにより、第2の実施例に係る放電ランプ1と同様の作用・効果を得ることができる。
From the above, the
また、図16(b)に示す経路形成部材8は、図8に示すような接合用突部371を有する外部リード側導電体37に設けることもできる。この場合、経路形成部材8の皺寄部816に沿って設けられる隙間61,675が、外部リード側空隙91と接合用突部371の内面に設けられる隙間63とを連通するように配置されることにより、外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通することができる。
Also, the
このように、第5の実施例に係る放電ランプ1は、皺寄部816に沿って形成される隙間61,375が、外部リード側空隙(図16(b)には不図示、図2における符号91)と接合部周辺側空隙(図16(b)には不図示、図3(a)における符号94)とを連通する経路9として機能すればよく、図16に示すように、経路形成部材8の内周から外周に亘って一様な重なりを構成した皺寄部816を設けなくてもかまわない。例えば、円形箔状の経路形成部材8を多数の皺を寄せて、その皺による皺寄部816が構成する凸部や凹部に沿った隙間61,375が互いに連通し、結果的に、外部リード側空隙(図2における符号9)と接合部周辺側空隙(図3(a)における符号94)とが連通された経路9を形成したものであってもかまわない。
As described above, in the
本発明に係る放電ランプ1の第6の実施例について、図17を用いて説明する。なお、第6の実施例においても、放電ランプ1の断面図は図1〜3と概略相違しないため、図1〜3を参照図として用いる。また、図17(a)の経路形成部材8を配置する位置が、図6に示した経路形成部材8と同一であることから、図6も参照図として用いる。
A sixth embodiment of the
図17(a)は図6に示した経路形成部材8のみの拡大図である。図17(b)は、図17(a)の一部を拡大した図である。図17(c)は、図17(b)の断面図である。図17(d)は、図17(c)を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在させた図である。
なお、図17には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
FIG. 17A is an enlarged view of only the
In FIG. 17, the same components as those shown in FIGS.
図17(a)の経路形成部材8は、複数の線状部材からなる網状構造で構成した点で、図7(a)に示した経路形成部材8と相違する。
図17(a)の経路形成部材8を具備した第6の実施例に係る放電ランプ1の説明として、図7の経路形成部材8を具備した放電ランプ1との相違点について述べる。
The
As an explanation of the
第6の実施例に係る放電ランプ1は、図1に示すように、放電容器2と、この放電容器2を封止する箔シール構造と、この封止された放電ランプ2の内部で対向配置される一対の電極31,32と、この一対の電極31,32に給電する給電構造と、からなり、この給電構造を構成する外部リード38の外周に外部リード保持用筒体6を設けてあって、この外部リード保持用筒体6と給電構造を構成する外部リード側導電体37との間に経路形成部材8を設け、この給電構造を構成する導電箔35に酸化保護膜(図1には不図示、図3における符号71)を設けたことを特徴とする。
特に、第6の実施例に係る放電ランプ1は、具備する経路形成部材8を、複数の線状部材からなる網状構造で構成したことを特徴とする。
As shown in FIG. 1, a
In particular, the
第6の実施例における放電ランプ1は、図6の構成及び各部材の大小関係が同一であることから説明を省略する。
図6に示した経路形成部材8の詳細は、図17(a)〜図17(c)に示す経路形成部材8になる。
Description of the
The details of the
図17(a)に示す経路形成部材8は、図17(b)及び図17(c)に示すように、複数の線状部材を交互に重ねることを繰り返すことで、編みこんだ網状構造を構成する。
この網状構造は、図17(c)に示すように、線状部材が紙面上下方向に屈曲を繰り返し、屈曲した位置で他の線状部材が重なり合うように構成される。
As shown in FIGS. 17B and 17C, the
As shown in FIG. 17C, this network structure is configured such that the linear member repeatedly bends in the vertical direction of the drawing, and the other linear members overlap at the bent position.
経路形成部材8は、ランプ点灯時において、外部リード側導電体37による抵抗熱の伝熱と、放電熱の伝熱を考慮して、耐熱性を具備する必要がある。このため、経路形成部材8を構成する線状部材としては、高融点金属又は高融点金属からなる合金が用いられる。高融点金属の具体例としては、モリブデン,タングステン,タンタル,ルテニウム及びレニウムが挙げられる。
The
この網状構造からなる経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在して放電ランプ1を完成させると、箔シール構造形成による加熱や、外部リード保持用筒体6と封止管22との加熱により、図17(d)に示す構成となる。
図17(b)及び図17(c)に示すように、網状構造からなる経路形成部材8は、網状構造を構成する線状部材が二重に重なっている山部分と、線状部材が重なっていない谷部分とにより構成される。この谷部分と外部リード保持用筒体6との間に隙間61が設けられる。また、網状構造からなる経路形成部材8の谷部分には、外部リード側導電体37との間に隙間375が設けられる。
When the
As shown in FIGS. 17 (b) and 17 (c), the
これら隙間61、375は、図17(b)に示すように、異なる線状部材に囲まれた網目821に連通している。また、網状構造を有する経路形成部材8は、その内周から外周に至るまで網状構造で構成される。
これらのため、隙間61,375が外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する経路9として機能し、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図2には不図示、図3(a)における符号351)に酸化保護膜71を設けることができる。
As shown in FIG. 17B, the
For these reasons, the
上述のように、放電ランプ1において、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面に酸化保護膜71を設けるためには、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する経路9を経路形成部材8に設け、この経路9が結果的に外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通すればよい。
このため、必ずしも経路形成部材8の網状構造は二重構造に限定されるものではなく、網状構造を構成した結果、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体822との間に凹凸822,823が設けられればよい。この場合、網状構造を有する経路形成部材8の凸部822には、外部リード保持用筒体6や外部リード側導電体37が当接する。また、網状構造を有する経路形成部材8の凹部823には、外部リード保持用筒体6との間に隙間61が設けられ、外部リード側導電体37との間にも隙間375が設けられ、これが経路9として機能する。
As described above, in order to provide the
For this reason, the network structure of the
第6の実施例における放電ランプ1の網状構造で構成した経路形成部材8は、外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通する経路9を設けることができる点で、第2の実施例に係る放電ランプ1の開口部811を有する経路形成部材8と同一である。
The
ところが、第2の実施例に係る放電ランプ1は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6とが経路形成部材8を介して密着した場合、下記の理由により、外部リード保持用筒体6や、これを保持する封止管22を破損することがあった。
第2の実施例に係る放電ランプ1は、ランプ点灯時、給電による抵抗熱や、放電による伝熱により、導電箔35が加熱され、導電箔側空隙92に位置する導電箔35の部分が膨張し、この導電箔35に接合された外部リード側導電体37が外部リード保持用筒体6に向かって移動され、外部リード保持用筒体6を押圧することがある。さらに、外部リード側導電体37自体も、給電による抵抗熱や、放電による伝熱により膨張し、外部リード保持用筒体6を押圧する。
外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在された円形箔状の経路形成部材8は、外部リード側導電体37からの伝熱により膨張される。通常、円形箔状の経路形成部材8は、加熱・膨張するとき、その周方向に向かって膨張する。しかしながら、第2の実施例における経路形成部材8は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との密着した間に位置することから、その膨張を周方向に向かって行なうことができず、外部リード保持用筒体6や外部リード側導電体37に向かって押圧する。
このように第2の実施例に係る放電ランプ1は、ランプ点灯時、外部リード保持用筒体6へ押圧がかかることにより、これが外部リード保持用筒体6にとっての応力となる。外部リード保持用筒体6はガラス部材により構成されることにより、この応力によって破損する問題があった。
However, in the
In the
The circular foil-shaped
As described above, in the
第6の実施例に係る放電ランプ1は、図17(a)〜(c)に示すように、複数の線状部材を交互に重ねることを繰り返すことで、編みこんだ網状構造を有する。例えば、線状部材が二重に重ねた網状構造の場合、二重に重なった山部分(凸部)822に対して、その周辺に一重の線状部材からなる谷部分(凹部)823が構成される。
第6の実施例に係る放電ランプ1は、網状構造を有する経路形成部材8を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に具備することにより、ランプ点灯時において、経路形成部材8の山部分822に外部リード側導電体37から外部リード保持用筒体6へ向かう押圧がかかる。このとき、谷部分823は山部分822に対して線状部材の重なりが少ないので、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6とに挟まれない空隙が存在する。また、網状構造からなる網目821には、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6とからの押圧がかからない。
このため、ランプ点灯時、経路形成部材8を構成する網状構造における山部分822にかかった押圧により、山部分822を構成する線状部材は膨張するが、その膨張量は谷部分823や網目821へ移動し、網状構造からなる経路形成部材8の内部で許容される。すなわち、経路形成部材8は、網状構造からなることにより、弾性を具備する。
このように、第6の実施例に係る放電ランプ1は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に、網状構造を有する経路形成部材8を介在させることにより、ランプ点灯時における外部リード保持用筒体6への押圧を防止することができる。
As shown in FIGS. 17A to 17C, the
In the
For this reason, when the lamp is lit, the linear member constituting the
As described above, the
なお、図17(a)に示す経路形成部材8は、図8に示すような接合用突部371を有する外部リード側導電体371に設けることもできる。この場合、経路形成部材8の網状構造に沿って設けられる隙間61,375が、外部リード側空隙91と接合用突部371の内面に設けられる隙間63とを連通するように配置されることにより、外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通することができる。
The
以上のことから、第6の実施例に係る放電ランプ1は、その構成と効果を以下のようにまとめられる。
From the above, the configuration and effects of the
第6の実施例に係る放電ランプ1は、第2の実施例に係る放電ランプ1の特徴と同様に、該放電ランプ1が該外部リード側導電体37の外方であって該外部リード38と該封止管22との間に外部リード保持用筒体6を設けた放電ランプ1であって、該外部リード38と外部リード保持用筒体6との間に外部リード38の長手方向に沿った外部リード側空隙91を設け、該外部リード側空隙91と該接合部36とを連通させた経路9を設けたことを特徴とする。
この特徴により、第6の実施例に係る放電ランプ1は、経路9を介して少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
As in the case of the
With this feature, in the
さらに、第6の実施例に係る放電ランプ1は、上記特徴に加えて、該外部リード側導電体37と該外部リード保持用筒体6との間に凹部又は/及び凸部を構成する該経路形成部材8を設けたことを特徴とする。
この特徴により、第6の実施例に係る放電ランプ1は、凹部又は/及び凸部に沿って経路9が形成され、この経路9を介して少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができ
Furthermore, in addition to the above features, the
Due to this feature, in the
その上、第6の実施例に係る放電ランプ1は、上記特徴に加えて、該経路形成部材8を複数の線状部材からなる網状構造で構成したことを特徴とする。
この特徴により、第6の実施例に係る放電ランプ1は、外部リード保持用筒体6に応力を殆んどかけないで、外部リード側導電体37からの押圧を網状構造からなる経路形成部材8で許容することで、外部リード保持用筒体6の破損を防止できる。
Moreover, the
Due to this feature, the
本発明に係る放電ランプ1の第7の実施例について、図18を用いて説明する。なお、第7の実施例においても、放電ランプ1の断面図は図1,図2及び図3(a)と概略相違しないため、図1,図2及び図3(a)を参照図として用いる。
A seventh embodiment of the
図18(a)は、図2の放電ランプ1の斜視図であり、図2の放電ランプ1において封止管22と導電箔35を取り除いた分解図である。
図18(b)は、図18(a)に封止管(図18には不図示、図2における符号22)を設けて完成した放電ランプ1において、外部リード側導電板37の溝部374と外部リード保持用筒体6とが当接する部分の拡大断面図である。
なお、図18には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
18A is a perspective view of the
FIG. 18B shows the
In FIG. 18, the same components as those shown in FIGS.
図18における放電ランプ1の経路9は、外部リード側導電体37に設けた溝部(凹部)374により構成される点で、図6における放電ランプ1の経路9とは相違する。
図17における放電ランプ1の説明として、図6との相違点について述べる。
The path 9 of the
As an explanation of the
第7の実施例に係る放電ランプ1は、図1に示すように、放電容器2と、この放電容器2を封止する箔シール構造と、この封止された放電ランプ2の内部で対向配置される一対の電極31,32と、この一対の電極31,32に給電する給電構造と、からなり、この給電構造を構成する外部リード38の外周に外部リード保持用筒体6を設けてあって、この給電構造を構成する外部リード側導電体37における外部リード保持用筒体6に対向する面に溝部(凹部)374を設け、この給電構造を構成する導電箔35に酸化保護膜(図1には不図示、図3における符号71)を設けたことを特徴とする。
As shown in FIG. 1, a
図18(a)における放電ランプ1は、図6の構成及び各部材の大小関係が同一であることから説明を省略する。
Description of the
外部リード側導電体37には、その外部リード保持用筒体6に対向する面に、その内周から外周にまで伸びる溝部(凹部)374が設けられる。この外部リード側導電体37の溝部(凹部)374は、外部リード保持用筒体6に当接される平坦面に対して凹んだ直方体状の凹形状で形成される。
この外部リード側導電体37の溝部(凹部)374に対して、外部リード保持用筒体6を当接させて放電ランプ1を完成させると、箔シール構造形成による加熱や、外部リード保持用筒体6と封止管22との加熱により、図18(b)に示す構成となる。
外部リード側導電体37における直方体状の溝部(凹部)374に対して、外部リード保持用筒体6は屈曲され、これにより、外部リード側導電体37の溝部(凹部)374と外部リード保持用筒体6の屈曲部との間に隙間61が設けられる。この隙間61は、溝部(凹部)374に沿って設けられることから、外部リード側導電体37の内周から外周にまで伸びるように設けられる。
The external
When the
The external
経路形成部材8を設けなかった第1の実施例に係る放電ランプ1においては、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向した面に酸化保護膜71を生成する方法として、既述のとおり、外部リード側空隙91の外方(図2の紙面上方にある外部リード側空隙91の入り口)から酸化保護膜71生成溶液として例えば硝酸ルビジウム溶液を滴下させ、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面に酸化保護膜71生成溶液を塗布する方法がある。このとき、酸化保護膜71生成溶液は、外部リード保持用筒体6と外部リード側導電体37との間を通ることになる。
In the
ところが、第2の実施例に係る放電ランプ1の説明で述べたように、外部リード側導電体37の外方(図2の外部リード側導電体37における紙面上方側)に外部リード保持用筒体6を設けたとき、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6とが密着してしまい、導電箔35における少なくとも外部リード側導電体37に対向した面351に酸化保護膜71を設けることができないことがあった。
However, as described in the description of the
このため、第7の実施例に係る放電ランプ1の外部リード側導電体37には、外部リード保持用筒体6に対向する面であって、その内周から外周に伸びる溝部(凹部)374が設けられる。この第7の実施例に係る放電ランプ1は、箔シール構造を形成するときに、外部リード側導電体37の平坦面と外部リード保持用筒体6の平坦面が密着するが、溝部(凹部)374に向かって外部リード保持用筒体6が屈曲するが、その屈曲した面と外部リード側導電体37の溝部(凹部)374との間には隙間61が設けられる。
For this reason, the external lead-
外部リード保持用筒体6を設けた場合、外部リード保持用筒体6と封止管22とを溶着する加熱工程において、加熱された外部リード保持用筒体6は軟化されるだけであり、外部リード側導電体37の溝部(凹部)374に向かって僅かに屈曲するだけである。このため、外部リード保持用筒体6は、外部リード側導電体37の溝部(凹部)374を充填することがほとんどなく、隙間61は保持される。
仮に、加熱工程において、外部リード側導電体37の溝部(凹部)374と外部リード保持用筒体6との間の隙間61を軟化した又は溶融した外部リード保持用筒体6が充填しても、加熱工程後に常温にまで冷却されるので、放電ランプ1は、外部リード保持用筒体6を構成する部材の熱膨張係数と経路形成部材8を構成する部材の熱膨張係数との差により、隙間61が設けられる。
上述の理由から、外部リード側導電体37の凹部には、隙間61が設けられる。この外部リード側導電体37の溝部(凹部)374は、その内周から外周に至るまで設けられることにより、外部リード38の外周から外部リード側導電体37の外周に伸びる隙間61が設けられる。このため、外部リード側導電体37の内周側では、外部リード側空隙91に連通される。また、外部リード側導電体37の外周側では、導電箔側空隙92に連通される。
When the external
Even if, in the heating step, the external
For the reason described above, a
すなわち、外部リード側導電体37において、外部リード保持用筒体6に対向する面であって、その内周から外周に伸びる溝部(凹部)374を設けることで、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とが連通される。この連通された経路9により、外部リード側空隙91から滴下された酸化保護膜71生成溶液が導電箔側空隙92に充填される。このとき、導電箔35と外部リード側導電体37との間にも空隙が存在し、この接合部周辺側空隙94と導電箔側空隙92とが連通していることから、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面(図2には不図示、図3(a)における符号351)に酸化保護膜71生成溶液が塗布されるので、第7の実施例に係る放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面(図2には不図示、図3(a)における符号351)に酸化保護膜71を設けることができる。
That is, in the external
上述のように、放電ランプ1において、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面351に酸化保護膜71を設けるためには、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する経路9を外部リード側導電体37に設け、この経路9が結果的に外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通すればよい。
このため、外部リード側導電体37に設ける溝部(凹部)374は、直方体状であることは一例であって、三角柱状のような角柱形状であれば、その溝部(凹部)374を構成する隣接した面が角を形成する。この角には軟化した又は溶融した外部リード保持用筒体6が充填することができないので、この角の位置に隙間61が形成され、これが経路9として機能する。
また、外部リード側導電体37に設ける経路9が、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通すれば良いことから、外部リード側導電体37の径方向全体に溝部(凹部)374を設ける必要が無く、例えば、外部リード側導電体37の内周側に位置する溝部(凹部)374は、少なくとも外部リード保持用筒体6の内周の位置から設けてあれば良い。また外部リード側導電体37の外周側に位置する溝部(凹部)374は、外部リード側導電体37の外径が外部リード保持体6の外径よりも大径である場合、外部リード保持体6の外周の位置まで設けてあれば良い。このように構成すれば、外部リード側導電体37に設けた溝部(凹部)374が、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とを連通する経路9として機能する。
As described above, in the
For this reason, the groove (recess) 374 provided in the external lead-
Further, since the path 9 provided in the external lead-
さらにまた、外部リード側導電体37には、外部リード保持体6に対向する平坦な面に対して溝部(凹部)374のような段差を設ければ、経路9が形成されることから、同じく段差となるように、外部リード保持用筒体6に対向する面に対して凸部を設けても、外部リード保持用筒体6との間に隙間を設けることができる。
Furthermore, if the external lead-
なお、図18(a)に示す外部リード側導電体37に設けた溝部(凹部)374は、図8に示すような接合用突部371を有する外部リード側導電体37に設けることもできる。この場合、溝部(凹部)374に沿って設けられる隙間61が、外部リード側空隙91と接合用突部371の内面に設けられる隙間63とを連通するように設けられることにより、外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通することができる。
Note that the groove (concave portion) 374 provided in the external
以上のことから、第7の実施例に係る放電ランプ1は、その構成と効果を以下のようにまとめられる。
From the above, the configuration and effects of the
第7の実施例に係る放電ランプ1は、第2の実施例に係る放電ランプ1の特徴と同様に、該放電ランプ1が該外部リード側導電体37の外方であって該外部リード38と該封止管22との間に外部リード保持用筒体6を設けた放電ランプ1であって、該外部リード38と該外部リード保持用筒体6との間に外部リード38の長手方向に沿った外部リード側空隙91を設け、該外部リード側空隙91と該接合部36とを連通させた経路9を設けたことを特徴とする。
この特徴により、第7の実施例に係る放電ランプ1は、経路9を介して少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
The
With this feature, in the
さらに、第7の実施例に係る放電ランプ1は、上記特徴に加えて、該外部リード側導電体37と該外部リード保持用筒体6との間に凹部又は/及び凸部を構成する経路形成部材8を設けたことにより、該経路9を構成したことを特徴とする。
この特徴により、第7の実施例に係る放電ランプ1は、凹部又は/及び凸部に沿って経路9が形成され、この経路9を介して少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
Furthermore, in addition to the above features, the
Due to this feature, in the
本発明に係る放電ランプ1の第8の実施例の放電ランプ1について、図19及び図20を用いて説明する。なお、第8の実施例においても、放電ランプ1の断面図は、図1及び図2と概略相違しないため、図1及び図2を参照図として用いる。
A
図19(a)は、図2の放電ランプ1の斜視図であり、図2の放電ランプ1において封止管22を取り除いた分解図である。図19(b)は、図19(a)において外部リード38の端部から見た上面図である。図19(c)は、図19(b)の点線の丸で囲った部分の拡大図である。
図20(a)は、図19に封止管(図20(a)には不図示、図2の符号22)を設けて完成した放電ランプ1において、導電箔35を介して当接された外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6とが当接する部分の拡大断面図である。図20(b)は、図2の放電ランプ1における点線の丸で囲った部分の拡大図である。
なお、図19及び図20には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
FIG. 19A is a perspective view of the
20A is abutted via a
In FIGS. 19 and 20, the same components as those shown in FIGS.
図19における放電ランプ1の経路9は、導電箔35を外部リード側導電体37の外周から外部リード38の外周にまで設けたことで、その導電箔35に沿って構成した点で、図6における放電ランプ1の経路9とは相違する。
図19における放電ランプ1の説明として、図6との相違点について述べる。
The path 9 of the
As an explanation of the
第8の実施例に係る放電ランプ1は、図1に示すように、放電容器2と、この放電容器2を封止する箔シール構造と、この封止された放電ランプ2の内部で対向配置される一対の電極31,32と、この一対の電極31,32に給電する給電構造と、からなり、この給電構造を構成する外部リード38の外周に外部リード保持用筒体6を設けてあって、この給電構造を構成する導電箔35を外部リード側導電体37の外周から内周に伸びるように設け、この導電箔35の伸ばした部分を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に配置し、この給電構造を構成する導電箔35の少なくとも外部リード側導電体37に対向する面に酸化保護膜(図1には不図示、図3における符号71)を設けたことを特徴とする。
As shown in FIG. 1, the
図19(a)における放電ランプ1は、図6の構成及び各部材の大小関係が同一であることから説明を省略する。
Since the
この導電箔35は、封止用絶縁体5の中心軸方向にその外周面に沿って複数枚(図18における導電箔35は4枚)が互いに離隔されて設けられる。この複数枚の導電箔35は、円盤状の外部リード側導電体37の外周面と溶接などにより接合部を設けて電気的に接続される。さらに、この導電箔35は、外部リード側導電体37の外周面から折り曲げて、図18(b)に示すように、外部リード38の外周にまで伸びるように設けられる。この導電箔35において、外部リード側導電体37の外周面から外部リード38の外周にまで伸びる部分は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在される。
A plurality of conductive foils 35 (four
経路形成部材8を設けなかった第1の実施例に係る放電ランプ1においては、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向した面351に酸化保護膜71を生成する方法として、既述のとおり、外部リード側空隙91の外方(図2の紙面上方にある外部リード側空隙91の入り口)から酸化保護膜71生成溶液として例えば硝酸ルビジウム溶液を滴下させ、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面に酸化保護膜71生成溶液を塗布する方法がある。このとき、酸化保護膜71生成溶液は、外部リード側保持用筒体6と外部リード側導電体37との間を通ることになる。
In the
ところが、第2の実施例に係る放電ランプ1の説明で述べたように、外部リード側導電体37の外方(図2の外部リード側導電体37における紙面上方側)に外部リード保持用筒体6を設けたとき、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6とが密着してしまい、導電箔35における少なくとも外部リード側導電体37に対向した面351に酸化保護膜71を設けることができないことがあった。
However, as described in the description of the
このため、第8の実施例に係る放電ランプ1は、導電箔35を外部リード側導電体37の外周から外部リード38の外周まで伸ばし、この導電箔35を外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に介在させた。このとき、外部リード側導電体37における外部リード保持用筒体6に対向する平坦面に、図20(a)に示すように導電箔35の肉厚分の段差が設けられる。このため、外部リード側導電体37の平坦面と導電箔35の肉厚分の側面とに対向した外部リード保持用筒体6の屈曲面に囲まれた隙間61が設けられる。
Therefore, in the
外部リード保持用筒体6を設けた場合、外部リード保持用筒体6と封止管22とを溶着する加熱工程において、加熱された外部リード保持用筒体6は軟化されるだけであり、外部リード側導電体37の平坦面と導電箔35の肉厚による側面とに向かって屈曲するだけである。このため、外部リード保持用筒体6は、外部リード側導電体37の平坦面と導電箔35の肉厚による側面との隙間61を充填することがほとんどなく、隙間61は保持される。
仮に、加熱工程において、外部リード側導電体37の平坦面と導電箔35の肉厚による側面と、これに対向する外部リード保持用筒体6との間の隙間61を、軟化した又は溶融した外部リード保持用筒体6が充填しても、加熱工程後に常温にまで冷却されるので、放電ランプ1は、外部リード保持用筒体6を構成する部材の熱膨張係数と経路形成部材8を構成する部材との差により、隙間61が設けられる。
上述の理由から、外部リード側導電体37の平坦面に導電箔35を設けることにより、導電箔35の肉厚分の側面に隙間が設けられる。このため、導電箔35が、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間であって、外部リード側導電体37の外周から外部リード38の外周にまで設けられることにより、隙間61は導電箔35における外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に位置する部分の側面に沿って設けられる。これにより、導電箔35における外部リード38側では、外部リード側空隙93と連通される。また、導電箔35における外部リード側導電体37の外周側では、導電箔側空隙92と連通される。
When the external
Temporarily, in the heating step, the
For the above-described reason, by providing the
すなわち、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間であって、外部リード側導電体37の外周から外部リード38の外周に伸びる導電箔35を設けることで、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とが連通される。この連通された経路9により、外部リード側空隙91から滴下された酸化保護膜71生成溶液が導電箔側空隙92に充填される。このとき、導電箔35と外部リード側導電体37との間にも接合部周辺側空隙94が存在し、この接合部周辺側空隙94と導電箔側空隙92とが連通していることから、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液が塗布されるので、第5の実施例に係る放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面351に酸化保護膜71を設けることができる。
That is, by providing a
さらに、酸化保護膜71生成溶液は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間で、経路9を構成する導電箔35の肉厚分の側面にも塗布されるので、この部分にも酸化保護膜(図20(a)における符号71)が設けられる。また、酸化保護膜71生成溶液は、導電箔側空隙92にも充填されることから、導電箔35における導電箔側空隙92に対向する面にも酸化保護膜(図20(b)における符号71)が設けられる。
Furthermore, since the oxidation
上述のように、放電ランプ1において、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面に酸化保護膜71を設けるためには、外部リード側空隙91と接合部周辺側空隙94とを連通する経路9を、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に設けた導電箔35によって構成すればよい。
このため、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に設けられる導電箔35は、その端部を、外部リード38の外周まで設ける必要は無く、外部リード側空隙91を構成する外部リード保持用筒体6の内周面まで設ければ、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92を連通することができる。
As described above, in the
For this reason, the
既述のように、第1の実施例に係る放電ランプ1のように、導電箔35の外部リード38側の端部(図15の導電箔35における紙面上方側)が封止管22に対向される放電ランプ1においては、ランプ点灯時に、導電箔35が膨張して封止管22と接触することがある。このとき、封止管22に導電箔35の端部形状が鋭角な角を有していることから傷をつけて破損させてしまうことがあった。
そこで、第8の実施例に係る放電ランプ1は、導電箔35を外部リード側導電体37の外周で屈曲させ、導電箔35の端部を外部リード38の外周に対向配置させたことにより、導電箔35における屈曲した部分が封止管22に対向される。導電箔35における屈曲した部分は、導電箔35の端部のように鋭角な角を有していないので、封止管22に傷をつけることを防止することができる。
As described above, as in the
Therefore, in the
以上のことから、第8の実施例に係る放電ランプ1は、その構成と効果を以下のようにまとめられる。
From the above, the configuration and effects of the
第8の実施例に係る放電ランプ1は、第2の実施例に係る放電ランプ1の特徴と同様に、該放電ランプ1が該外部リード側導電体37の外方であって該外部リード38と該封止管22との間に外部リード保持用筒体6を設けた放電ランプ1であって、該外部リード38と外部リード保持用筒体6との間に外部リード38の長手方向に沿った外部リード側空隙91を設け、該外部リード側空隙91と該接合部36とを連通させた経路9を設けたことを特徴とする。
この特徴により、第8の実施例に係る放電ランプ1は、経路9を介して少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
The
With this feature, in the
さらに、第8の実施例に係る放電ランプ1は、上記特徴に加えて、該外部リード側導電体37と該外部リード保持用筒体6との間に該外部リード側導電体37の外面から該外部リード保持用筒体6の内面に連続するように該導電箔35を設けたことを特徴とする。
この特徴により、第5の実施例に係る放電ランプ1は、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に位置する導電箔35に沿って経路9が形成され、この経路9を介して少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面の酸化351を防止することができる。
Furthermore, in addition to the above features, the
With this feature, in the
本発明に係る放電ランプ1の第9の実施例について、図21及び図22を用いて説明する。なお、第9の実施例においても、放電ランプ1の断面図は図1と概略相違しないため、図1を参照図として用いる。
A ninth embodiment of the
図21(a)は、図1の放電ランプ1において一方の封止管22(図1の紙面上方側の封止管22)側の拡大断面図である。図21(b)は、図21(a)の放電ランプ1における点線の丸で囲った部分の拡大図である。図22(a)は、図21(a)の放電ランプ1の斜視図であり、図21(a)の放電ランプ1において封止管22を設ける前の分解図である。図22(b)は、図22(a)における外部リード側導電体37のみを示した図であり、外部リード側導電体37の貫通孔373を説明するための上面図である。
なお、図21及び図22には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
FIG. 21A is an enlarged cross-sectional view of one
21 and 22, the same components as those illustrated in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals.
図21及び図22の放電ランプ1は、外部リード38の外周面においてその長手方向に沿って伸びる溝部381を設け、外部リード側導電体37の内周面においてその中心軸方向に沿った貫通孔373を設けた点で、図1〜3の放電ランプ1と相違する。
図21及び図22の説明として、図1〜3との相違点について述べる。
The
As an explanation of FIGS. 21 and 22, differences from FIGS.
第9の実施例に係る放電ランプ1は、図1に示すように、放電容器2と、この放電容器2を封止する箔シール構造と、この封止された放電ランプ1の内部で対向配置される一対の電極31,32と、この一対の電極31,32に給電する給電構造と、からなり、この給電構造を構成する外部リード38の外周に外部リード保持用筒体6を設けてあって、この給電構造を構成する導電箔35に酸化保護膜(図1には不図示、図21(b)における符号71)を設け、この給電構造を構成する外部リード38に溝部(図1には不図示、図21(a)における符号381)を設け、この給電構造を構成する外部リード側導電体37に貫通孔(図1には不図示、図21(a)における符号373)を設けたことを特徴とする。
As shown in FIG. 1, a
図22(a)における放電ランプ1は、図6の構成及び各部材の大小関係が同一であることから説明を省略する。
Description of the
給電構造を構成する外部リード側導電体37と、外部リード保持用筒体6との間には、これらの溶着を防止するため、例えばモリブデンからなる円形箔状の溶着防止体が設けられる。
溶着防止体を構成する部材としては、耐熱性を具備する必要があることから、高融点金属又は高融点金属からなる合金が用いられる。高融点金属としては、例えばモリブデン,タングステン,タンタル,ルテニウム及びレニウムが挙げられる。
また、溶着防止体が外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6との間に位置することから、ランプ点灯時に放電による加熱を受けて膨張しても、外部リード保持用筒体6を押圧しないことを求められることから、箔状であることが好ましい。このため、上述の高融点金属の中で厚みを薄くなるように加工しやすいモリブデンが好適に用いられる。
In order to prevent these weldings between the external lead-
As a member constituting the welding preventive body, since it is necessary to have heat resistance, a refractory metal or an alloy made of a refractory metal is used. Examples of the refractory metal include molybdenum, tungsten, tantalum, ruthenium and rhenium.
Further, since the welding prevention body is located between the external lead-
また、給電構造を構成する外部リード側導電体37と、箔シール構造を構成する封止用絶縁体5との間には、外部リード38の外周から径方向に伸びる封止用絶縁体側空隙93が設けられる。
Further, a sealing insulator-
図21(a)及び図22(a)に示すように、外部リード38には、その外周面において、半円柱状の溝部381がその長手方向に沿って伸びるように設けられる。
また、図21(b)に示すように、外部リード側導電体37には、その中心軸に外部リード38を挿通するための円柱状のリード用穴部376が設けられる。また、外部リード側導電体37の内周面には、そのリード用穴部376の外径(すなわち外部リード側導電体37の内径L6)よりも小さな外径の貫通孔373が設けられる(図21(b)参照)。
As shown in FIGS. 21A and 22A, the
As shown in FIG. 21B, the external lead-
この外部リード38における溝部381と外部リード側導電体37における貫通孔373は、図21(a)に示すように、外部リード側導電体37と封止用絶縁体5との間の封止用絶縁体側空隙93と外部リード側空隙91とを連通する経路9となる。
The
経路形成部材8を設けなかった第1の実施例に係る放電ランプ1においては、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体に対向した面351に酸化保護膜を生成する方法として、既述のとおり、外部リード側空隙91の外方(図2の紙面上方にある外部リード側空隙91の入り口)から酸化保護膜71生成溶液として例えば硝酸ルビジウム溶液を滴下させ、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液を塗布する方法がある。このとき、酸化保護膜71生成溶液は、外部リード側保持用筒体6と外部居リード側導電体37との間を通ることになる。
In the
ところが、第2の実施例に係る放電ランプ1の説明で述べたように、外部リード側導電体37の外方(図2の外部リード側導電体37における紙面上方側)に外部リード保持用筒体6を設けたとき、外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6とが密着してしまい、導電箔35における少なくとも外部リード側導電体37に対向した面351に酸化保護膜71を設けることができないことがあった。
However, as described in the description of the
外部リード側導電体37と外部リード保持用筒体6が密着するとき、膨張する導電箔35に接合された外部リード側導電体37が外部リード保持用筒体6に向かって移動する。これに伴って、外部リード側導電体37と封止用絶縁体5との間には封止用絶縁体側空隙93が形成される。
When the external
このため、第9の実施例に係る放電ランプ1は、この封止用絶縁体側空隙93を利用して、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71を設けたものである。
For this reason, the
具体的には、外部リード側空隙91と封止用絶縁体側空隙93とを連通するために、外部リード38の外周面において外部リード側導電体37と対向する面に溝部381を設け、外部リード側導電体37の内周面において外部リード38と対向する面に貫通孔373を設けた。
これにより、外部リード側空隙91の外方から滴下された酸化保護膜71生成溶液は、外部リード38の溝部381や外部リード側導電体37の貫通孔373を通って、封止用絶縁体側空隙93を介して導電箔側空隙92を充填する。このとき、導電箔35と外部リード側導電体37との間にも接合部周辺側空隙94が存在し、この接合部周辺側空隙94と導電箔側空隙92とが連通していることから、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液が塗布されるので、第9の実施例に係る放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面351に酸化保護膜71を設けることができる。
Specifically, in order to allow the external
As a result, the oxidation
さらに、酸化保護膜71生成溶液は、導電箔側空隙92にも充填されることから、導電箔35における導電箔側空隙92に対向する面にも酸化保護膜71が設けられる。
Furthermore, since the
上述のように、放電ランプ1において、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37と対向する面351に酸化保護膜71を設けるためには、外部リード側空隙91と封止用絶縁体側空隙93とを連通する経路9を設ければ良い。
このため、この経路9としては、外部リード38における外部リード側導電体37に対向した面に設けた溝部381と、外部リード側導電体37における外部リード38に対向した面に設けた貫通孔373とのいずれかを設ければよい。
また、外部リード38に設けた溝部381は、図22(a)に示すように、外部リード38の長手方向に沿って設けたが、外部リード側導電体側空隙91と封止用絶縁体側空隙93とを連通するためには、外部リード38の長手方向において、少なくとも外部リード側導電体37に対向する面に溝部381を設ければよい。
As described above, in the
For this reason, the path 9 includes a
Further, as shown in FIG. 22A, the
なお、図22(a)に示した溶着防止体を設けた場合において、この溶着防止体が外部リード側空隙91と封止用絶縁体側空隙93とを連通することを妨げるときは、外部リード38の長手方向において、少なくとも溶着防止体に対向する面に溝部381を設けると好ましい。
In the case where the welding prevention body shown in FIG. 22 (a) is provided, the
また、第9の実施例で示した外部リード38の溝部381や外部リード側導電体37の貫通孔373は、図8に示すような接合用突部371を有する外部リード側導電体37に設けることもできる。
Further, the
以上のことから、第9の実施例に係る放電ランプ1は、その構成と効果を以下のようにまとめられる。
From the above, the configuration and effects of the
第9の実施例に係る放電ランプ1は、該放電ランプ1が該外部リード側導電体37の外方であって該外部リード38と該封止管22との間に外部リード保持用筒体6を設けた放電ランプ1であって、該外部リード38と該外部リード保持用筒体6との間に外部リード38の長手方向に沿った外部リード側空隙91を設け、該外部リード側空隙91と該接合部36とを連通させた経路9を設けたことを特徴とする。
この特徴により、第9の実施例に係る放電ランプ1は、経路9を介して少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
In the
With this feature, in the
さらに、第9の実施例に係る放電ランプ1は、上記特徴に加えて該外部リード側導電体37と該封止用絶縁体5との間に封止用絶縁体側空隙93を設け、該外部リード側空隙91と該封止用絶縁体側空隙93とを連通するように、該外部リード側導電体37に貫通孔373又は/及び該外部リード38に溝部381を設け、該封止用絶縁体側空隙93と該貫通孔373又は/及び該溝部381とが該経路9を構成することを特徴とする。
この特徴により、第9の実施例に係る放電ランプ1は、外部リード側導電体37に設けた貫通孔373又は/及び外部リードに設けた溝部381と封止用絶縁体側空隙93とを介して、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面に酸化保護膜71生成溶液が塗布され、導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351の酸化を防止することができる。
Further, the
Due to this feature, the
図1〜5を用いて説明した第1の実施例に係る放電ランプ1は、少なくとも導電箔35における外部リード側導電体37に対向する面351に酸化保護膜71を設けたことについて述べた。また、第2〜9の実施例に係る放電ランプ1は、第1の実施例に係る放電ランプ1の構成に、外部リード側空隙91と接合部36とを連通させた経路9を設けた構成を付加して示した。
続いて、導電箔側空隙92への大気流入を制限する手段として、第1〜9の実施例に係る放電ランプ1に付加するように構成した第10の実施例に係る放電ランプ1について、以下のように示す。
In the
Subsequently, the
本発明に係る放電ランプ1の第10の実施例について、図23を用いて説明する。
A tenth embodiment of the
図23は、放電ランプ1において一方の封止管22側の拡大断面図である。
なお、図22には、図1〜3に示したものと同じものに同一の符号が付されている。
FIG. 23 is an enlarged cross-sectional view on the side of one sealing
In FIG. 22, the same components as those shown in FIGS.
図23の放電ランプ1は、その外方(図23の紙面上方側)における外部リード側空隙91の入り口に低融点ガラスを設けた点で、図1〜3の放電ランプと相違する。
図23の説明として、図1〜3との相違点について述べる。
The
As an explanation of FIG. 23, differences from FIGS.
図23に示すように、外部リード38と外部リード保持用筒体6との間には、外部リード側空隙91が設けられる。この外部リード側空隙91に蓋をするように、外部リード保持用筒体6の外方(図23の外部リード保持用筒体6の紙面上方側)で、外部リード保持用筒体6と外部リード38との間に低融点ガラス72が充填される。
As shown in FIG. 23, an external lead-
この低融点ガラス72は、酸化ホウ素と酸化ビスマスを主成分とし、この主成分の合計重量が全体の重量の70%以上である。また、示差熱分析法(Differential thermal analysis:DTA)におけるDTA転移温度は370〜550℃の範囲にある。なお、低融点ガラス72のDTA転移温度は酸化ホウ素と酸化ビスマスの組成比によって異なり、通常、DTA転移温度が高くなるに伴い融点も高くなる。
The low
第1〜9の実施例における放電ランプ1は、外部リード側空隙91と導電箔側空隙92とが連通していることから、ランプ点灯時においても、外部リード保持用筒体の外方から外部リード側空隙91に大気が流入するので、導電箔35における酸化保護膜71が設けられていない部分があれば、その部分が大気にさらされている。
このため、図23に示すように外部リード側空隙91に蓋をするように低融点ガラス72を設けたことにより、導電箔側空隙92への大気流入が制限され、導電箔35による酸化を抑制することができる。
In the
For this reason, as shown in FIG. 23, by providing the low
なお、図23に示す低融点ガラス72は、第1〜9の実施例に係る放電ランプ2のいずれにおいても適用することができる。
23 can be applied to any of the
第10の実施例の放電ランプ2は、上記第1〜9の実施例に係るいずれの放電ランプ2に付加することにより、各実施例の特徴に加えて、該外部リード38と該外部リード保持用筒体6との間に低融点ガラス72を設けたことを特徴とする。
この特徴により、第10の実施例の放電ランプ1は、導電箔35の外方にある空隙への大気流入を抑制し、導電箔35における酸化保護膜71の生成されていない部分の酸化を抑制することができる。
The
Due to this feature, the
1 放電ランプ
2 放電容器
21 発光管
22 封止管
31 陽極
32 陰極
33 内部リード
34 内部リード側導電体
35 導電箔
351 導電箔における導電体に対向する面
36 接合部
37 外部リード側導電体
371 接合用突部
372 外周面
373 貫通孔
374 溝部
375 隙間
376 リード用穴部
38 外部リード
381 導電体側溝部
382 外周面
4 内部リード保持用筒体
5 封止用絶縁体
51 リード用凹部
6 外部リード保持用筒体
61 隙間
62 内周面(外部リード保持用穴)
63 隙間
71 酸化保護膜
72 低融点ガラス
8 経路形成部材
81 箔
811 開口部
812 開口部の端部
813 折曲被覆部
814 第1のテーパー
815 第2のテーパー
816 皺寄部
82 網状構造
821 網目
822 山部分(凸部)
823 谷部分(凹部)
9 経路
91 外部リード側空隙
92 導電箔側空隙
93 封止用絶縁体側空隙
L1 円盤状の導電体の軸方向における導電体に対向する領域
L2 円盤状の導電体の周方向における導電体に対向する領域
L3 外部リードの外径
L4 外部リード保持用筒体の内径
L5 外部リード保持用筒体の外径
L6 導電箔の内径
L7 導電箔の外径
L8 外部リード側導電体の外径
L9 外部リード側導電体の接合用突部の内径
L10 導電箔の外径
A 大気
DESCRIPTION OF
63
823 Valley part (concave part)
9
L1 Region L2 facing the conductor in the axial direction of the disk-shaped conductor L2 Region facing the conductor in the circumferential direction of the disk-shaped conductor L3 Outer diameter L4 of the outer lead L5 Inner diameter L5 of the outer lead holding cylinder Holding tube outer diameter L6 Conductive foil inner diameter L7 Conductive foil outer diameter L8 External lead side conductor outer diameter L9 External lead side conductor inner diameter L10 Conductive foil outer diameter
A atmosphere
Claims (10)
該封止管の内部に設けた封止用絶縁体と、
該放電容器の内部の発光管側で対向して配置された電極と、
該電極に電気的に接続されると共に該封止管と該封止用絶縁体との間に設けられた導電箔と、
接合部を介して該導電箔と電気的に接続されると共に封止用絶縁体の外方に設けられた導電体と、
該導電体に電気的に接続された外部リードと、
からなる放電ランプにおいて、
少なくとも該導電箔における該導電体に対向する面にルビジウム・モリブデン複酸化物からなる酸化保護膜を設けた
ことを特徴とする放電ランプ。 A discharge vessel comprising a light emitting tube having a light emitting space inside and a sealing tube connected to both ends thereof;
A sealing insulator provided inside the sealing tube;
An electrode disposed oppositely on the arc tube side inside the discharge vessel;
A conductive foil electrically connected to the electrode and provided between the sealing tube and the sealing insulator;
A conductor that is electrically connected to the conductive foil via a joint and is provided outside the sealing insulator;
An external lead electrically connected to the conductor;
In a discharge lamp consisting of
A discharge lamp characterized in that an oxidation protective film made of rubidium / molybdenum double oxide is provided at least on the surface of the conductive foil facing the conductor.
該外部リードと該外部リード保持用筒体との間に外部リードの長手方向に沿った外部リード側空隙を設け、
該外部リード側空隙と該接合部とを連通させた経路を設けた
ことを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。 The discharge lamp is an outer side of the conductor and a discharge lamp provided with an external lead holding cylinder between the external lead and the sealing tube,
An external lead side gap is provided between the external lead and the external lead holding cylinder along the longitudinal direction of the external lead,
The discharge lamp according to claim 1 , wherein a path is provided in which the external lead-side gap communicates with the joint.
ことを特徴とする請求項2に記載の放電ランプ。 3. The discharge according to claim 2 , wherein the path is configured by providing a path forming member that forms a concave portion or / and a convex portion between the conductor and the external lead holding cylinder. 4. lamp.
ことを特徴とする請求項3に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to claim 3 , wherein the path forming member is provided with an opening continuous from the inner surface of the external lead holding cylinder to the outer surface of the conductor.
ことを特徴とする請求項3に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to claim 3 , wherein the path forming member is provided with a striking portion that continues from the inner surface of the external lead holding cylinder to the outer surface of the conductor.
ことを特徴とする請求項3に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to claim 3 , wherein the path forming member is configured by a network structure including a plurality of linear members.
ことを特徴とする請求項2に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to claim 2 , wherein the path is configured by providing a concave portion or / and a convex portion in the conductor.
ことを特徴とする請求項2に記載の放電ランプ。 To claim 2, characterized in that a conductor foil so as to be continuous to the inner surface of the external lead cylindrical retaining body from the outer surface of the conductive member between the conductor collector and the external lead cylindrical retaining member The described discharge lamp.
該外部リード側空隙と該封止用絶縁体側空隙とを連通するように、該導電体に貫通孔又は/及び該外部リードに溝部を設け、
該封止用絶縁体側空隙と該貫通孔又は/及び該溝部とが該経路を構成する
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の放電ランプ。 A sealing insulator-side gap is provided between the conductor and the sealing insulator,
A through hole or / and a groove in the external lead are provided in the conductor so as to communicate the external lead side gap and the sealing insulator side gap.
The discharge lamp according to claim 2 or 3 , wherein the sealing insulator side gap and the through hole or / and the groove portion constitute the path.
ことを特徴とする請求項2に記載の放電ランプ。 The discharge lamp according to claim 2 , wherein a low melting point glass is provided between the external lead and the external lead holding cylinder.
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