【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体や液晶等の製造工程で使用される箔シール構造をもつランプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、大電流用の高圧または超高圧水銀ランプにおいては、発光ガスの主成分である水銀の封入量が多くて点灯時のガス圧が高く、気密封止部の石英ガラスにおいては耐圧性大きいことが必要である。そのため、高圧水銀ランプや超高圧水銀ランプにおいては、封着用の金属箔を用いたいわゆる箔シール構造が一般に採用されている。
【０００３】
箔シール構造に関する技術として、例えば実開平６−６０９６０号公報に記載されたものがある。この考案にかかる高圧水銀ランプを、図面を用いて説明する。図１は箔シール構造をもつランプの気密封止部の断面図である。また図２は、図１の破線部ＡＡ´においてこの高圧水銀ランプを切断したときの断面図を示す。この例では金属箔２０はモリブデン箔で４枚使用されている。発光管８２に電極６が配置され、この電極６に続く内部リード棒３が、封止管８１の内部に配置された石英ガラス製の筒体７に挿通されて、柱状のガラス体１の前端面に沿って配置されたディスク状の第１の金属板３１に溶接されている。また、前記ガラス体１はその後方側に穴１２を有し、この穴１２内部に外部リード棒４が挿入されている。外部リード棒４はガラス体１の後端面に配置されたディスク状の第２の金属板４１に挿通された状態で溶接され、その後方において石英ガラス製の筒体１０に挿通されている。
【０００４】
前記ガラス体１の外周面には、金属箔２０が配置されており、その一端部２１において第１の金属板３１に、他端部２２において第２の金属板４１にそれぞれ溶接されている。前記金属箔２０は帯状で、図２に示すようにガラス体１の周方向に互いに離間して、図１に示すように長手方向に伸びるように平行に配置される。
【０００５】
封止管８１やガラス体１に使用されている石英ガラスは、石英ガラスの熔融炉からダイス（不図示）を通して引き出し、管形状に成型される。この方法で作られた石英ガラスの封止管８１の内表面、石英ガラスのガラス体１の外表面には引き出し軸方向に沿って直線状のくぼみ（いわゆるダイスマーク）を生じる場合がある。図５（ａ）にガラス体１の周面にくぼみ５１が存在する様子を模式図的に示した。図５（ｂ）はその部分拡大図である。ｔはくぼみ５１の幅、ｄはくぼみ５１の深さを示す。
【０００６】
本来、ガラス体１の外周と封止管８１の内周とを金属箔２０を介して溶着されて箔シール構造をもつランプの気密封止部が形成されるのであるが、ガラス体１と封止管８１の少なくとも一方がその表面の軸方向に沿って直線状のくぼみ５１を有している場合、ガラス体１と封止管８１が金属箔２０を介さずに溶着させるとすれば、封止管８１外部からの加熱による溶着ではくぼみ５１が空洞として残ってしまう恐れがある。仮に図１に示した、第一の金属円板３１と第二の金属円板４１の間の気密部Ｋにおいて管軸方向に連続する空洞が存在すれば、封止管８１の気密を保つことができない。
【０００７】
図３に従来の金属箔が周囲に配されたガラス体を説明する図を示したが、箔２０は各々が平行に配置されているので、直線状のくぼみ５１が存在する場合、封止管（不図示）との溶着時に管軸方向に連続した空洞が残るおそれが有る。
【０００８】
そこで、従来は、軸方向に沿って直線状のくぼみを有している石英ガラス素材は、図１の封止管８１やガラス体１といった、ランプの封止部の材料として使うことができず、軸方向に沿って直線状のくぼみのない石英ガラス素材又はくぼみの少ない石英ガラス素材を選別して使用していた。また、誤って軸方向に沿って直線状のくぼみを有する石英ガラス素材を使用した場合に、封止管の気密を保つことができず、ランプが短寿命になるおそれがあった。
【０００９】
【特許文献１】
実開平６−６０９６０号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、ランプの気密封止部における導電部材が酸化されるのを確実に防止し、大電流でも長い使用寿命を得ることができるランプを提供することにある。
【００１１】
また、従来は放電ランプ材料として無駄になっていた直線状のくぼみを有する石英ガラス素材を使えるようにし、放電ランプの製造コストを下げることにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、発光管およびこれに続く封止管よりなる石英ガラス製の放電容器と、前記封止管の内部に配置された柱状のガラス体と、前記ガラス体の前端面および後端面にそれぞれ配置された第１の金属板および第２の金属板と、基端が前記第１の金属板に電気的に接続されて発光空間に伸びるよう配置された内部リード棒と、前記内部リード棒の先端に設けられた電極と、前記第２の金属板に電気的に接続された外部リード棒と、前記ガラス体の外周に沿って伸び、その一端部が第１の金属板に、その他端部が第２の金属板にそれぞれ電気的に接続された複数枚の帯状の金属箔とを有してなり、前記金属箔が第１の金属板と第２の金属板の間で前記ガラス体の周方向に管軸に対して斜めに配置されており、前記ガラス体の外周面において軸方向に連続する任意の直線部が前記金属箔で部分的に覆われている箔シール構造をもつランプとする。
【００１３】
【作用】
金属箔を介して溶着される部分は、モリブデン金属箔の温度が石英ガラス部よりも上昇し、高温で封着されるので、ガラス表面に直線状のくぼみが存在していても、金属箔をガラス表面に管軸に対して斜めに配することで、溶着面において空洞として残すことなく密着させることができる。このことを利用して、気密部の軸方向において、石英ガラスどうしの熔融部分だけで構成された部分を無くす、すなわち、ガラス体の外周面において軸方向に連続する任意の直線部が前記金属箔で部分的に覆われている、ことにより気密部の端から端まで管軸方向に連続した空洞が存在することを無くすことが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
本発明の箔シール構造を持つランプは、図１において発光管８２およびこれに続く封止管８１よりなる石英ガラス製の放電容器と、封止管８１の内部に配置された柱状のガラス体１と、ガラス体１の前端面および後端面にそれぞれ配置された第１の金属板３１および第２の金属板４１と、基端が前記第１の金属板３１に電気的に接続されて発光空間に伸びるよう配置された内部リード棒３と、内部リード棒の先端に設けられた電極６と、第２の金属板４１に電気的に接続された外部リード棒４と、ガラス体１の外周に沿って伸び、その一端部が第１の金属板３１に、その他端部が第２の金属板４１にそれぞれ電気的に接続された複数枚の帯状の金属箔２０とを有してなり、金属箔２０が第１の金属板３１と第２の金属板４１の間でガラス体１の周方向に管軸に対して斜めに配置されており、ガラス体１の外周面において軸方向に連続する任意の直線部が金属箔２０で部分的に覆われている。
【００１５】
本発明の箔シール構造を持つランプの封止部構造は一例を上げれば次のようにして実現できる。図１において言えば、ガラス体１と第１の金属板３１、第２の金属板４１、金属箔２０、内部リード３、電極６、外部リード４、ガラス製の筒体７を合わせてマウントと呼称すれば、マウントの組立時に、金属箔の斜め配置ができる。図６には第１の金属板と金属箔２０の位置関係を示す。
【００１６】
図６で破線で示した２０´は従来のランプの金属箔を示し、マウント組立時において金属箔２０の軸を第１の金属板３１の直交させた２本の中心線と一致させている。
【００１７】
図のようにマウント組立時において金属箔２０を、従来の金属箔２０´の溶接固定の際の第１の金属板３１の直交させた２本の中心線からずらして配置し、第１の金属板３１と金属箔２０を溶接固定する。そうして、図４（ａ）に示す様に、金属円板３１の側面に沿って折り曲げ、ガラス体１に沿わせて、第２の金属板に溶接固定される。
【００１８】
あるいは、図４（ｂ）に示すように、第１の金属板３１の側面に金属箔２０を斜めに溶接することもできる。
【００１９】
図４に、本発明の、金属箔２０が周囲に斜め配置されたガラス体１を示したが、当ガラス体１表面に直線状のくぼみ５１が存在していても、或いは不図示であるが封止管内面に直線状のくぼみが存在していても、金属箔２０を介して溶着される部分は、モリブデン箔の温度が石英ガラス部分よりも上昇し、高温で封着されるので、溶着面において管軸方向に連続した空洞として残すことなく密着させることができる。
【００２０】
次に、従来の箔シール構造をもつランプと本発明の箔シール構造をもつランプについて、発光管内に封入したガスのリークレート（リーク速度）を比較検討する実験を行った。準備した試料ランプとしては、従来の箔シール構造をもつランプと本発明の箔シール構造をもつランプを各々１０本準備した。
【００２１】
具体的なリークレート比較の実験条件としては以下の通りである。
（１）石英ガラス製のガラス体には図５（ｂ）で示したくぼみの幅ａまたは深さｂの最大値が１０〜１００μｍの直線状のくぼみ５１がある材料を使用した。すなわち、従来、良品の高圧又は超高圧水銀ランプの製造において選別されて、使用されなかった材料である。
（２）ランプ形状はバルブ部の内径約６０ｍｍの球形状バルブ部（内容積１００ｃｃ）、この中に、外径２０ｍｍ、長さ２５ｍｍの陽極と外径１０ｍｍ、長さ１５ｍｍの陰極を対向して配置した。電極間距離は１０ｍｍとした。その陽極、陰極を通る軸（ランプ軸）に沿ってそれぞれリード棒、それに続く金属箔のシール部、外部リード棒を配置した。
（３）金属箔とガラス体のシール長さは陰極側、陽極側の両極共に４０ｍｍとした。金属箔の幅は１０ｍｍとした。金属箔は直径１８ｍｍのガラス体の周りに等間隔に並べた。
（４）従来のランプの金属箔はランプ軸に沿って配置された。
（５）本発明のランプの金属箔は管軸から１０°傾けて配置された。
（６）各ランプに３００Ｋで１０５ＰａのＫｒ（クリプトン）ガスを封入した。
（７）各ランプを５０Ａで点灯させると２０Ｖのランプ電圧が得られた。
（８）各ランプを１０００時間点灯の後、リークレート測定を行った。
（９）リークレートの測定方法は、試料ランプを内径８０ｍｍ、長さ５００ｍｍのガラス容器に入れ、ガラス容器を封止する。ガラス容器の内容積は約２５００ｃｃである。このとき、ガラス容器内は１×１０−４Ｐａ以下の圧力とする。このガラス容器を６００Ｋで２４時間保持する。その後試料からこのガラス容器内にリークしたｋｒガスの量を測定することによりリークレートを求めた。
【００２２】
図７にリークレート比較の実験結果を示す。従来の箔シール構造のランプの最大リークレートは１０−７ Ｐａ・ｍ３・ｓ−１を超えているが、本発明の箔シール構造のランプは１０−９Ｐａ・ｍ３・ｓ−１未満であった。リークレートが１０−９Ｐａ・ｍ３・ｓ−１未満であると、十分に所期の性能を発揮するランプとなる。この実験結果により、従来の箔シール構造のランプにおいては、図１の気密部Ｋに使用するガラス体１にはその最大値が１０〜１００μｍの幅または深さのくぼみがある材料を使用できないが、本発明の箔シール構造のランプではガラス体１に使用可能となることがわかった。
【００２３】
【発明の効果】
本発明においては、ゆえに、ランプの気密封止部における導電部材が酸化されるのを防止し、大電流でも長い使用寿命を得ることができるランプを提供することができる。
【００２４】
また、従来は放電ランプ材料として無駄になっていた直線状のくぼみを有する石英ガラス素材を使えるようにし、放電ランプの製造コストを下げることができるという経済的効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】箔シール構造をもつランプの気密封止部の断面図である。
【図２】図１における破線部ＡＡ´での断面図である。
【図３】従来の箔シール構造をもつランプの、金属箔が周囲に配されたガラス体を説明する図である。
【図４】本発明の箔シール構造をもつランプの、金属箔が周囲に管軸に対して斜めに配されたガラス体を説明する図である。
【図５】ガラス体の周面にあるくぼみを説明する断面図である。
【図６】本発明のランプにおいて、マウント組み立て時の第１の金属板と金属箔の位置関係を示す。
【図７】本発明の効果を示す図である。
【符号の説明】
１ ガラス体
３ 内部リード棒
４ 外部リード棒
６ 電極
７ ガラス製の筒体
１２ 穴
２０ 金属箔
２１ 金属箔の一端部
２２ 金属箔の他端部
３１ 第１の金属板
４１ 第２の金属板
５１ くぼみ
８１ 封止管
８２ 発光管
Ｋ 気密部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a lamp having a foil seal structure used in manufacturing processes of semiconductors, liquid crystals and the like.
[0002]
[Prior art]
For example, in high-pressure or ultra-high-pressure mercury lamps for large currents, the amount of mercury that is the main component of the luminescent gas is large, the gas pressure during lighting is high, and the pressure resistance of quartz glass in the hermetic seal is high. is required. Therefore, a so-called foil seal structure using a metal foil for sealing is generally employed in high-pressure mercury lamps and ultrahigh-pressure mercury lamps.
[0003]
As a technique related to the foil seal structure, for example, there is one described in Japanese Utility Model Publication No. 6-60960. A high-pressure mercury lamp according to this device will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a hermetic sealing portion of a lamp having a foil seal structure. FIG. 2 is a cross-sectional view of the high-pressure mercury lamp cut along the broken line AA ′ in FIG. In this example, four metal foils 20 of molybdenum foil are used. The electrode 6 is disposed on the arc tube 82, and the internal lead rod 3 following the electrode 6 is inserted into a cylindrical body 7 made of quartz glass disposed inside the sealing tube 81, and the front end of the columnar glass body 1 is inserted. It welds to the disk-shaped 1st metal plate 31 arrange | positioned along the surface. The glass body 1 has a hole 12 on the rear side, and an external lead bar 4 is inserted into the hole 12. The external lead bar 4 is welded in a state of being inserted into a disk-shaped second metal plate 41 disposed on the rear end surface of the glass body 1, and is inserted through the quartz glass cylinder 10 at the back thereof.
[0004]
A metal foil 20 is disposed on the outer peripheral surface of the glass body 1, and is welded to the first metal plate 31 at one end 21 and to the second metal plate 41 at the other end 22. The metal foils 20 are strip-shaped and are arranged in parallel so as to be separated from each other in the circumferential direction of the glass body 1 as shown in FIG. 2 and to extend in the longitudinal direction as shown in FIG.
[0005]
Quartz glass used in the sealing tube 81 and the glass body 1 is drawn from a quartz glass melting furnace through a die (not shown) and molded into a tube shape. In some cases, linear depressions (so-called dice marks) may be formed in the inner surface of the quartz glass sealing tube 81 and the outer surface of the quartz glass glass body 1 produced by this method along the direction of the drawing axis. FIG. 5A schematically shows a state in which the recess 51 is present on the peripheral surface of the glass body 1. FIG. 5B is a partially enlarged view thereof. t indicates the width of the recess 51, and d indicates the depth of the recess 51.
[0006]
Originally, the outer periphery of the glass body 1 and the inner periphery of the sealing tube 81 are welded through the metal foil 20 to form a hermetic sealing portion of the lamp having a foil seal structure. If at least one of the stop tube 81 has a linear recess 51 along the axial direction of its surface, if the glass body 1 and the sealing tube 81 are welded without the metal foil 20, the sealing tube 81 is sealed. In the welding by heating from the outside of the stop tube 81, the hollow 51 may remain as a cavity. If there is a continuous cavity in the tube axis direction in the airtight portion K between the first metal disc 31 and the second metal disc 41 shown in FIG. 1, the sealing tube 81 is kept airtight. I can't.
[0007]
FIG. 3 shows a view for explaining a glass body in which a conventional metal foil is arranged around. However, since the foils 20 are arranged in parallel with each other, when a linear recess 51 exists, a sealing tube There is a possibility that a continuous cavity in the tube axis direction remains at the time of welding with (not shown).
[0008]
Therefore, conventionally, a quartz glass material having a linear depression along the axial direction cannot be used as a material for a lamp sealing portion such as the sealing tube 81 or the glass body 1 of FIG. In the axial direction, a quartz glass material having no linear depression or a quartz glass material having few depressions was selected and used. In addition, when a quartz glass material having a linear depression along the axial direction is used by mistake, the sealing tube cannot be kept airtight and the lamp may have a short life.
[0009]
[Patent Document 1]
Japanese Utility Model Publication No. 6-60960
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made based on the above circumstances, and its purpose is to reliably prevent the conductive member in the hermetic sealing portion of the lamp from being oxidized, and to provide a long service life even at a large current. It is to provide a lamp that can be obtained.
[0011]
Another object is to reduce the manufacturing cost of the discharge lamp by making it possible to use a quartz glass material having a linear recess that has been wasted as a discharge lamp material.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention relates to a discharge vessel made of quartz glass composed of an arc tube and a sealing tube following the arc tube, a columnar glass body disposed inside the sealing tube, and the glass body. A first metal plate and a second metal plate respectively disposed on the front end surface and the rear end surface, and an internal lead bar disposed so that the base end is electrically connected to the first metal plate and extends into the light emitting space. And an electrode provided at the tip of the internal lead bar, an external lead bar electrically connected to the second metal plate, and extending along the outer periphery of the glass body, one end of which is the first The metal plate has a plurality of strip-shaped metal foils whose other end portions are electrically connected to the second metal plate, respectively, and the metal foil is between the first metal plate and the second metal plate. In the circumferential direction of the glass body is disposed obliquely with respect to the tube axis, the glass Body any straight portion continuous in the axial direction is a lamp with a foil seal structure is partially covered by the metal foil at the outer peripheral surface of the.
[0013]
[Action]
Since the temperature of the molybdenum metal foil rises higher than that of the quartz glass part and is sealed at a high temperature, the part that is welded via the metal foil is sealed at a high temperature. By arranging it on the glass surface obliquely with respect to the tube axis, it is possible to achieve close contact without leaving a cavity on the welding surface. By utilizing this fact, in the axial direction of the hermetic portion, the portion constituted only by the fused portion of the quartz glass is eliminated, that is, any linear portion continuous in the axial direction on the outer peripheral surface of the glass body is the metal foil. It is possible to eliminate the presence of a continuous cavity in the tube axis direction from end to end of the hermetic part.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
A lamp having a foil seal structure according to the present invention includes a discharge vessel made of quartz glass made up of a light emitting tube 82 and a sealing tube 81 subsequent thereto in FIG. 1, and a columnar glass body 1 disposed inside the sealing tube 81. A first metal plate 31 and a second metal plate 41 disposed on the front end surface and the rear end surface of the glass body 1, respectively, and a base end electrically connected to the first metal plate 31 to emit light. An inner lead rod 3 arranged so as to extend to the electrode, an electrode 6 provided at the tip of the inner lead rod, an outer lead rod 4 electrically connected to the second metal plate 41, and an outer periphery of the glass body 1. A plurality of strip-shaped metal foils 20 extending along one end and electrically connected to the first metal plate 31 and the other end to the second metal plate 41, respectively. The foil 20 is a glass body 1 between the first metal plate 31 and the second metal plate 41. Circumferentially are arranged obliquely to the tube axis, any straight portion continuous in the axial direction in the outer peripheral surface of the glass body 1 is partly covered with a metal foil 20.
[0015]
The sealing part structure of the lamp having the foil seal structure of the present invention can be realized as follows by taking an example. In FIG. 1, the glass body 1 and the first metal plate 31, the second metal plate 41, the metal foil 20, the internal lead 3, the electrode 6, the external lead 4, and the glass cylinder 7 are combined and mounted. In other words, the metal foil can be obliquely arranged when the mount is assembled. FIG. 6 shows the positional relationship between the first metal plate and the metal foil 20.
[0016]
Reference numeral 20 ′ indicated by a broken line in FIG. 6 indicates a metal foil of a conventional lamp, and the axis of the metal foil 20 coincides with two orthogonal center lines of the first metal plate 31 at the time of mounting assembly.
[0017]
As shown in the figure, the metal foil 20 is shifted from the two orthogonal center lines of the first metal plate 31 when the conventional metal foil 20 'is welded and fixed at the time of mounting assembly. The plate 31 and the metal foil 20 are fixed by welding. Then, as shown in FIG. 4 (a), the metal disk 31 is bent along the side surface and welded and fixed to the second metal plate along the glass body 1.
[0018]
Alternatively, as shown in FIG. 4B, the metal foil 20 can be obliquely welded to the side surface of the first metal plate 31.
[0019]
FIG. 4 shows the glass body 1 in which the metal foil 20 of the present invention is obliquely arranged around the periphery. However, even if a linear recess 51 exists on the surface of the glass body 1 or is not shown. Even if there is a linear recess on the inner surface of the sealing tube, the portion welded via the metal foil 20 is sealed at a high temperature because the temperature of the molybdenum foil is higher than that of the quartz glass portion. It is possible to make a close contact without leaving a continuous cavity in the tube axis direction on the surface.
[0020]
Next, an experiment was conducted to compare and examine the leak rate (leak rate) of the gas sealed in the arc tube for the lamp having the conventional foil seal structure and the lamp having the foil seal structure of the present invention. As the prepared sample lamps, 10 lamps each having a conventional foil seal structure and 10 lamps having the foil seal structure of the present invention were prepared.
[0021]
Specific experimental conditions for leak rate comparison are as follows.
(1) A material having a linear indentation 51 having a maximum value of the indentation width a or depth b of 10 to 100 μm shown in FIG. That is, it is a material that has been selected and not used in the production of a good high pressure or ultra high pressure mercury lamp.
(2) The lamp shape is a spherical bulb portion (internal volume 100 cc) having an inner diameter of about 60 mm, and an anode having an outer diameter of 20 mm and a length of 25 mm and a cathode having an outer diameter of 10 mm and a length of 15 mm are opposed to each other. Arranged. The distance between the electrodes was 10 mm. A lead bar, a metal foil seal part, and an external lead bar were arranged along the axis passing through the anode and cathode (lamp axis).
(3) The seal length between the metal foil and the glass body was 40 mm for both the cathode and anode sides. The width of the metal foil was 10 mm. The metal foils were arranged at regular intervals around a glass body having a diameter of 18 mm.
(4) The metal foil of the conventional lamp is arranged along the lamp axis.
(5) The metal foil of the lamp of the present invention was disposed at an angle of 10 ° from the tube axis.
(6) Each lamp was filled with 10 5 Pa of Kr (krypton) gas at 300K.
(7) When each lamp was turned on at 50 A, a lamp voltage of 20 V was obtained.
(8) Each lamp was turned on for 1000 hours, and then the leak rate was measured.
(9) The leak rate is measured by placing the sample lamp in a glass container having an inner diameter of 80 mm and a length of 500 mm and sealing the glass container. The internal volume of the glass container is about 2500 cc. At this time, the pressure inside the glass container is set to 1 × 10 −4 Pa or less. The glass container is held at 600K for 24 hours. Thereafter, the leak rate was determined by measuring the amount of kr gas leaked from the sample into the glass container.
[0022]
FIG. 7 shows the experimental results of the leak rate comparison. The maximum leak rate of the lamp with the conventional foil seal structure exceeds 10 −7 Pa · m 3 · s −1 , but the lamp with the foil seal structure of the present invention is less than 10 −9 Pa · m 3 · s −1. Met. When the leak rate is less than 10 −9 Pa · m 3 · s −1 , the lamp exhibits sufficient performance. As a result of this experiment, in the lamp having the conventional foil seal structure, the glass body 1 used for the hermetic portion K in FIG. 1 cannot use a material having a depression with a maximum width or depth of 10 to 100 μm. It was found that the lamp with the foil seal structure of the present invention can be used for the glass body 1.
[0023]
【The invention's effect】
In the present invention, therefore, it is possible to provide a lamp that can prevent the conductive member in the hermetic sealing portion of the lamp from being oxidized and obtain a long service life even with a large current.
[0024]
In addition, a quartz glass material having a linear depression that has been wasted as a discharge lamp material in the past can be used, and the manufacturing cost of the discharge lamp can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view of a hermetic sealing portion of a lamp having a foil seal structure.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along a broken line AA ′ in FIG.
FIG. 3 is a view for explaining a glass body in which a metal foil is arranged around a lamp having a conventional foil seal structure.
FIG. 4 is a view for explaining a glass body in which a metal foil of a lamp having a foil seal structure according to the present invention is arranged obliquely with respect to a tube axis.
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a recess in the peripheral surface of the glass body.
FIG. 6 shows the positional relationship between the first metal plate and the metal foil when the mount is assembled in the lamp of the present invention.
FIG. 7 is a diagram showing the effect of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass body 3 Internal lead rod 4 External lead rod 6 Electrode 7 Glass-made cylinder 12 Hole 20 Metal foil 21 One end part 22 of metal foil The other end part 31 of metal foil 1st metal plate 41 2nd metal plate 51 Recess 81 Sealing tube 82 Arc tube K Airtight part
