JP4985261B2 - Color filter for transflective liquid crystal display device and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半透過型液晶表示装置等に用いられる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタに関するものである。 The present invention relates to a color filter for a transflective liquid crystal display device used in a transflective liquid crystal display device or the like.
近年、液晶表示装置として、外光の反射と、バックライト光の透過光とを利用した半透過型液晶表示装置が開発され、この半透過型液晶表示装置は、外光を利用して表示を行なう従来の反射型カラー液晶表示装置に、バックライトを兼ね備え、周囲が暗い場合でもバックライトによる表示(透過表示)が行なえる、という利点を有する。 In recent years, a transflective liquid crystal display device utilizing external light reflection and backlight transmitted light has been developed as a liquid crystal display device. The transflective liquid crystal display device uses external light to display. The conventional reflective color liquid crystal display device is advantageous in that it also has a backlight and can perform display (transmission display) using the backlight even when the surroundings are dark.
しかしながら、このような半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタにおいて、外光が入射光および反射光として着色層を2回通過することから、外光により表示が行われる反射光用領域の色特性と、バックライト光によって表示が行われる透過光用領域との色特性が異なるという問題を有する場合があった。 However, in the color filter used in such a transflective liquid crystal display device, since the external light passes through the colored layer twice as incident light and reflected light, the color of the reflected light region that is displayed by the external light In some cases, there is a problem that the characteristics and the color characteristics of the transmitted light region where the display is performed by the backlight light are different.
このような問題を解決するため、例えば上記透過光用領域に膜厚の厚い着色層を形成し、上記反射光用領域に膜厚の薄い着色層を形成する方法等、それぞれの領域に異なる着色層を形成する方法等が採用されていた。しかしながら、この方法では、3色(赤(R)、緑(G)、青(B))の着色層を有するカラーフィルタを形成する際、例えばフォトリソグラフィー法等を6回繰り返し行わなければならず、工程が煩雑であった。 In order to solve such a problem, for example, a method of forming a thick colored layer in the transmitted light region and forming a thin colored layer in the reflected light region, etc. A method of forming a layer has been adopted. However, in this method, when forming a color filter having colored layers of three colors (red (R), green (G), and blue (B)), for example, a photolithography method or the like must be repeated six times. The process was complicated.
そこで、反射光用領域における透明基板上に、透明樹脂層を形成し、その透明樹脂層を覆うように着色層を形成する方法が提案されている(特許文献1)。この方法によれば、透明樹脂層上に形成された着色層の膜厚を薄くすることができ、反射光用領域の着色層の膜厚と、透過光用領域での着色層の膜厚とを異なるものとすることができるため、それぞれの領域の色特性を調整することができる。またこの際、上記反射光用領域と透過光用領域との着色層表面に生じる段差によって、カラーフィルタを対向基板と対向させて配置した際のセルギャップを調整し、反射光用領域および透過光用領域における光の光路差も調整することができる、という利点も有する。 Therefore, a method has been proposed in which a transparent resin layer is formed on a transparent substrate in the reflected light region, and a colored layer is formed so as to cover the transparent resin layer (Patent Document 1). According to this method, the thickness of the colored layer formed on the transparent resin layer can be reduced, the thickness of the colored layer in the reflected light region, and the thickness of the colored layer in the transmitted light region. Therefore, the color characteristics of each region can be adjusted. Further, at this time, the cell gap when the color filter is disposed facing the counter substrate is adjusted by the step generated on the colored layer surface between the reflected light region and the transmitted light region, and the reflected light region and the transmitted light are adjusted. There is also an advantage that the optical path difference of light in the service area can be adjusted.
しかしながら、上記の方法では、透明樹脂層と透明基板との界面での反射等に起因する反射光用領域における輝度の低下や、透明樹脂層と透明基板との密着性が悪い場合、透明基板から透明樹脂が剥離する等の問題が生じた。 However, in the above method, when the brightness decreases in the reflected light region due to reflection at the interface between the transparent resin layer and the transparent substrate, or the adhesion between the transparent resin layer and the transparent substrate is poor, Problems such as peeling of the transparent resin occurred.
本発明は上記の問題を解決するためになされたものであり、反射光用領域の輝度が高い半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ、およびその製造方法を提供することを主目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and has as its main object to provide a color filter for a transflective liquid crystal display device having a high brightness in the reflected light region and a method for manufacturing the same.
上記目的を達成するために、本発明は、凹凸が形成された透明基板と、上記透明基板上に上記透明基板を覆うように形成された着色層とを有し、上記透明基板の凹部および上記透明基板の凹部上に形成された着色層を透過光用領域として用い、上記透明基板の凸部および上記透明基板の凸部上に形成された着色層を反射光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタであって、上記透明基板の凸部が光路差調整機能を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを提供する。 In order to achieve the above object, the present invention has a transparent substrate on which irregularities are formed, and a colored layer formed on the transparent substrate so as to cover the transparent substrate, the concave portion of the transparent substrate, and the above Transflective liquid crystal using a colored layer formed on a concave portion of a transparent substrate as a region for transmitted light, and using a convex portion of the transparent substrate and a colored layer formed on a convex portion of the transparent substrate as a region for reflected light Provided is a color filter for a display device, wherein the convex portion of the transparent substrate has an optical path difference adjusting function.
本発明によれば、上記透明基板の凸部が光路差調整機能を有することにより、透明樹脂等を用いて形成された光路差調整層に比べて光透過性が良好なものになり、反射光用領域の輝度の高い半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを得ることができる。
また、透明基板の再生が容易である。
According to the present invention, since the convex portion of the transparent substrate has an optical path difference adjusting function, the light transmittance is better than that of an optical path difference adjusting layer formed using a transparent resin or the like, and the reflected light is reflected. A color filter for a transflective liquid crystal display device having a high luminance in the use area can be obtained.
In addition, the transparent substrate can be easily regenerated.
上記発明においては、上記透明基板の凸部の高さが0.5μm〜5.0μmの範囲内であることが好ましい。上記透明基板の凸部の高さが上記範囲内であることにより、反射光用領域と透過光用領域との光の光路差を所望のものとすることができる。 In the said invention, it is preferable that the height of the convex part of the said transparent substrate exists in the range of 0.5 micrometer-5.0 micrometers. When the height of the convex portion of the transparent substrate is within the above range, the optical path difference between the reflected light region and the transmitted light region can be made desired.
また、上記発明においては、上記透明基板の凸部の上部表面上に機能部を有していてもよい。これにより、反射光用領域に種々の機能を容易に付与できる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを得ることができるためである。 Moreover, in the said invention, you may have a functional part on the upper surface of the convex part of the said transparent substrate. This is because a color filter for a transflective liquid crystal display device that can easily give various functions to the reflected light region can be obtained.
上記発明においては、上記機能部が撥液部であってもよい。上記機能部が撥液部であることで、反射光用領域の着色層の膜厚をより薄くすることができるためである。 In the above invention, the functional part may be a liquid repellent part. This is because the thickness of the colored layer in the reflected light region can be further reduced because the functional part is a liquid repellent part.
また、上記発明においては、上記機能部が光散乱部であってもよい。上記機能部が光散乱部であることで、このカラーフィルタを用いた液晶表示装置において、外光を利用した反射モードを使用する際、外景の映り込みや、虹色の干渉色の発生率を抑えることができるためである。 Moreover, in the said invention, the said function part may be a light-scattering part. Since the functional unit is a light scattering unit, in the liquid crystal display device using this color filter, when using a reflection mode using outside light, the reflection rate of outside scenes and the incidence of rainbow interference colors can be reduced. This is because it can be suppressed.
本発明は、凹凸が形成された透明基板と、上記透明基板上に上記透明基板を覆うように形成された着色層とを有し、上記透明基板の凹部および上記透明基板の凹部上に形成された着色層を透過光用領域として用い、上記透明基板の凸部および上記透明基板の凸部上に形成された着色層を反射光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの、上記透明基板の凸部が光路差調整機能を有し、上記透明基板の凸部の上部表面上に撥液部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記透明基板上に透明性および撥液性を有するフォトレジストからなるフォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程と、上記フォトレジスト層を露光する露光工程と、上記フォトレジスト層を現像してパターン状にする現像工程と、上記透明基板をエッチングして上記透明基板の凹凸を形成する凹凸形成工程とを少なくとも有し、上記凹凸形成工程で残存した上記フォトレジスト層を用いて上記透明層の凸部の上部表面上に撥液機能を付与することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供する。 The present invention has a transparent substrate on which irregularities are formed and a colored layer formed on the transparent substrate so as to cover the transparent substrate, and is formed on the concave portion of the transparent substrate and the concave portion of the transparent substrate. The color filter for a transflective liquid crystal display device using the colored layer as a region for transmitted light and the convex portion of the transparent substrate and the colored layer formed on the convex portion of the transparent substrate as a region for reflected light, A method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device, wherein the convex portion of the transparent substrate has an optical path difference adjusting function and a liquid repellent portion is provided on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate. , A photoresist layer forming step of forming a photoresist layer made of a photoresist having transparency and liquid repellency on the transparent substrate, an exposure step of exposing the photoresist layer, and developing the photoresist layer And developing the pattern into a pattern, and forming a concavo-convex portion of the transparent substrate by etching the transparent substrate, and using the photoresist layer remaining in the concavo-convex formation step, the transparent layer Provided is a method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device, wherein a liquid repellent function is imparted on the upper surface of the convex portion of the liquid crystal display device.
本発明によれば、上記透明基板形成工程により、光路差調整機能を有する凸部を形成することができるので、反射光用領域の光透過性の高いカラーフィルタを形成することが可能である。また、上記凹凸形成工程で用いられた上記フォトレジストを用いて撥液機能を付与するため、撥液部を別途形成せずに済むので工程が容易である。 According to the present invention, since the convex portion having the optical path difference adjusting function can be formed by the transparent substrate forming step, it is possible to form a color filter having high light transmittance in the reflected light region. Further, since the liquid repellent function is imparted using the photoresist used in the unevenness forming step, it is not necessary to separately form a liquid repellent portion, and the process is easy.
また、本発明は、凹凸が形成された透明基板と、上記透明基板上に上記透明基板を覆うように形成された着色層とを有し、上記透明基板の凹部および上記透明基板の凹部上に形成された着色層を透過光用領域として用い、上記透明基板の凸部および上記透明基板の凸部上に形成された着色層を反射光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの、上記透明基板の凸部が光路差調整機能を有し、上記透明基板の凸部の上部表面上に光散乱部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記透明基板上にフォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程と、上記フォトレジスト層を露光する露光工程と、上記フォトレジスト層を現像してパターン状にする現像工程と、上記透明基板をエッチングして上記透明基板の凹凸を形成する凹凸形成工程と、上記フォトレジスト層を剥離する剥離工程と、上記透明基板の凸部の上部表面に研磨によって光散乱機能を付与する研磨工程とを有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供する。 Moreover, this invention has a transparent substrate in which the unevenness | corrugation was formed, and the colored layer formed so that the said transparent substrate might be covered on the said transparent substrate, On the recessed part of the said transparent substrate, and the recessed part of the said transparent substrate A color filter for a transflective liquid crystal display device using a formed colored layer as a region for transmitted light, and using a convex portion of the transparent substrate and a colored layer formed on the convex portion of the transparent substrate as a region for reflected light The method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device, wherein the convex portion of the transparent substrate has an optical path difference adjusting function and has a light scattering portion on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate. A photoresist layer forming step of forming a photoresist layer on the transparent substrate; an exposure step of exposing the photoresist layer; a developing step of developing the photoresist layer into a pattern; and the transparent An unevenness forming step for etching the plate to form the unevenness of the transparent substrate, a peeling step for peeling the photoresist layer, and a polishing step for imparting a light scattering function to the upper surface of the convex portion of the transparent substrate by polishing A method of manufacturing a color filter for a transflective liquid crystal display device is provided.
本発明によれば、上記透明基板形成工程により、光路差調整機能を有する凸部を形成することができるので、反射光用領域の光透過性の高いカラーフィルタを形成することが可能である。また、研磨工程において、透明基板の凸部の上部表面を研磨する度合いにより光散乱効果を調整することできる。 According to the present invention, since the convex portion having the optical path difference adjusting function can be formed by the transparent substrate forming step, it is possible to form a color filter having high light transmittance in the reflected light region. In the polishing step, the light scattering effect can be adjusted according to the degree of polishing the upper surface of the convex portion of the transparent substrate.
本発明においては、透明基板に形成された凸部が光路差調整機能を有することで、反射光用領域の輝度を向上させることを可能とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを提供できるという効果を奏する。
また、上記透明基板の凸部の上部表面上に機能部を有することで、反射光用領域に様々な機能を容易に付与できる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを提供できるという効果も奏する。
In the present invention, it is possible to provide a color filter for a transflective liquid crystal display device that can improve the luminance of the reflected light region because the convex portion formed on the transparent substrate has an optical path difference adjusting function. There is an effect.
In addition, since the functional portion is provided on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate, it is possible to provide a color filter for a transflective liquid crystal display device that can easily provide various functions to the reflected light region.
本発明は、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタおよびその製造方法に関するものである。 The present invention relates to a color filter for a transflective liquid crystal display device and a manufacturing method thereof.
A.半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ
まず、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタについて説明する。
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、凹凸が形成された透明基板と、上記透明基板上に上記透明基板を覆うように形成された着色層とを有し、上記透明基板の凹部および上記透明基板の凹部上に形成された着色層を透過光用領域として用い、上記透明基板の凸部および上記透明基板の凸部上に形成された着色層を反射光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタであって、上記透明基板の凸部が光路差調整機能を有することを特徴とするものである。
A. First, a color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention will be described.
The color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention includes a transparent substrate on which irregularities are formed, and a colored layer formed on the transparent substrate so as to cover the transparent substrate, and a concave portion of the transparent substrate. And the colored layer formed on the concave portion of the transparent substrate is used as a region for transmitted light, and the translucent surface using the convex portion of the transparent substrate and the colored layer formed on the convex portion of the transparent substrate as a region for reflected light. Type liquid crystal display device, wherein the convex portion of the transparent substrate has an optical path difference adjusting function.
本発明によれば、上記透明基板の凸部が光路差調整機能を有することにより、透明樹脂等を用いて形成された光路差調整層に比べて光透過性が良好なものになる。
また、上記透明基板の凸部が光路差調整機能を有しているので、透明樹脂から光路差調整層を形成したときに起こる透明基板からの光路差調整層の剥離といった問題も解決される。
また、透明基板の再生が容易であるという利点も有する。
According to this invention, since the convex part of the said transparent substrate has an optical path difference adjustment function, compared with the optical path difference adjustment layer formed using transparent resin etc., a light transmittance becomes a favorable thing.
Moreover, since the convex part of the said transparent substrate has an optical path difference adjustment function, the problem of peeling of the optical path difference adjustment layer from the transparent substrate which arises when an optical path difference adjustment layer is formed from transparent resin is also solved.
In addition, the transparent substrate can be easily regenerated.
図1は本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一例を示す概略断面図である。図1に示すように、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは凹凸が形成された透明基板1と、上記透明基板1上に上記透明基板1を覆うように形成された着色層2とを有し、上記透明基板1の凹部および上記透明基板1の凹部上に形成された着色層2を透過光用領域tとして用い、上記透明基板1の凸部および上記透明基板1の凸部上に形成された着色層2を反射光用領域rとして用いる。
以下に、本発明の半透過型液晶表示用カラーフィルタのそれぞれの構成について説明する。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an example of a color filter for a transflective liquid crystal display device of the present invention. As shown in FIG. 1, the color filter for a transflective liquid crystal display device of the present invention includes a transparent substrate 1 on which irregularities are formed, and a
Below, each structure of the color filter for transflective liquid crystal displays of this invention is demonstrated.
1.透明基板
本発明に用いられる透明基板は、凹凸が形成され、上記透明基板の凸部が反射光用領域の光路差調整機能を有するものである。
1. Transparent substrate The transparent substrate used in the present invention is provided with irregularities, and the convex portions of the transparent substrate have a function of adjusting the optical path difference of the reflected light region.
上記透明基板の材料としては、凹凸を形成することができるもので、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタに入射した外光およびその外光が反射された反射光に対して透明なものであれば、特に限定されるものではなく、例えば具体的には、無アルカリガラス、石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、合成石英板等の可撓性のない透明なリジッド材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材等が挙げられるが、液晶表示装置に用いられる一般的な無アルカリガラスが、信頼性と透明性あるいはコスト面において特に好ましい。 The material of the transparent substrate can form irregularities and should be transparent to the external light incident on the color filter for the transflective liquid crystal display device and the reflected light from which the external light is reflected. For example, specifically, a non-flexible transparent rigid material such as alkali-free glass, quartz glass, Pyrex (registered trademark) glass, synthetic quartz plate, or transparent resin film. Examples thereof include a transparent flexible material having flexibility such as an optical resin plate, and general alkali-free glass used for a liquid crystal display device is particularly preferable in terms of reliability, transparency, and cost.
上記透明基板の凸部の高さとしては、光路差調整機能を有することができるのであれば、特に限定されないが、0.5μm〜5.0μmの範囲内が好ましく、中でも1.0μm〜4.0μmの範囲内、特に1.5μm〜3.0μmの範囲内であることが好ましい。上記透明基板の凸部の高さが上記範囲内であることにより、反射光用領域と透過光用領域との光の光路差を所望のものとすることができる。 The height of the convex portion of the transparent substrate is not particularly limited as long as it can have an optical path difference adjusting function, but is preferably in the range of 0.5 μm to 5.0 μm, and more preferably 1.0 μm to 4.0 μm. It is preferably in the range of 0 μm, particularly in the range of 1.5 μm to 3.0 μm. When the height of the convex portion of the transparent substrate is within the above range, the optical path difference between the reflected light region and the transmitted light region can be made desired.
上記透明基板の凸部の形状としては、上記反射光用領域および透過光用領域における着色層表面に生じる段差によって、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを対向基板と対向させて配置した際のセルギャップを調整し、反射光用領域および透過光用領域における光の光路差を調整することが可能なものであれば、その形状等は特に限定されるものではない。例えば、断面形状が矩形状や台形状等とすることができる。 As the shape of the convex portion of the transparent substrate, the color filter for the transflective liquid crystal display device is arranged to face the counter substrate due to the step generated on the colored layer surface in the reflected light region and the transmitted light region. The shape or the like is not particularly limited as long as the cell gap can be adjusted and the optical path difference of light in the reflected light region and the transmitted light region can be adjusted. For example, the cross-sectional shape can be rectangular or trapezoidal.
また、上記透明基板の凸部の線幅としては、半透過型液晶表示装置の用途等に応じて適宜決定されるものであるが、本発明においては、10μm〜150μmの範囲内、中でも15μm〜80μmの範囲内、特に20μm〜60μmの範囲内であることが好ましい。 Further, the line width of the convex portion of the transparent substrate is appropriately determined according to the use of the transflective liquid crystal display device or the like. In the present invention, the line width is within the range of 10 μm to 150 μm, particularly 15 μm to It is preferably in the range of 80 μm, particularly in the range of 20 μm to 60 μm.
上記透明基板の凹凸の形成方法としては、光路差調整機能を付与する高さの凹凸を形成できるのであれば、特に限定されないが、通常、上記透明基板をエッチングすることによって形成する。詳しくは、後述する「B.半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法」にて説明する。 The method for forming the unevenness of the transparent substrate is not particularly limited as long as the unevenness having a height that provides an optical path difference adjusting function can be formed. Usually, the transparent substrate is formed by etching. The details will be described in “B. Manufacturing method of color filter for transflective liquid crystal display device” described later.
2.着色層
本発明における着色層は、反射光用領域および透過光用領域の各領域に形成されるものである。
2. Colored layer The colored layer in the present invention is formed in each region of the reflected light region and the transmitted light region.
本発明における着色層の色数は特に限定されないが、複数色から構成され、一般的には、赤色着色パターン、緑色着色パターン、および青色着色パターンから構成される。
上記着色層における着色パターン形状は、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、4画素配置型等の公知の配列とすることができ、着色面積は任意に設定することができる。
Although the number of colors of the colored layer in the present invention is not particularly limited, it is composed of a plurality of colors, and is generally composed of a red color pattern, a green color pattern, and a blue color pattern.
The colored pattern shape in the colored layer can be a known arrangement such as a stripe type, a mosaic type, a triangle type, or a four-pixel arrangement type, and the colored area can be arbitrarily set.
各色の着色パターンは、各色の顔料や染料等の着色剤を感光性樹脂中に分散または溶解させたものである。 The color pattern of each color is obtained by dispersing or dissolving a colorant such as a pigment or dye of each color in a photosensitive resin.
赤色パターンに用いられる着色剤としては、例えば、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、イソインドリン系顔料等が挙げられる。これらの顔料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いてもよい。
緑色パターンに用いられる着色剤としては、例えば、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料もしくはハロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料等のフタロシアニン系顔料、トリフェニルメタン系塩基性染料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料等が挙げられる。これらの顔料もしくは染料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いてもよい。
青色パターンに用いられる着色剤としては、例えば、銅フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、インダンスレン系顔料、インドフェノール系顔料、シアニン系顔料、ジオキサジン系顔料等が挙げられる。これらの顔料は単独で用いてもよく2種以上を混合して用いてもよい。
Examples of the colorant used in the red pattern include perylene pigments, lake pigments, azo pigments, quinacridone pigments, anthraquinone pigments, anthracene pigments, and isoindoline pigments. These pigments may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the colorant used in the green pattern include phthalocyanine pigments such as halogen polysubstituted phthalocyanine pigments or halogen polysubstituted copper phthalocyanine pigments, triphenylmethane basic dyes, isoindoline pigments, and isoindolinone pigments. Etc. These pigments or dyes may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the colorant used in the blue pattern include copper phthalocyanine pigments, anthraquinone pigments, indanthrene pigments, indophenol pigments, cyanine pigments, dioxazine pigments, and the like. These pigments may be used alone or in combination of two or more.
また、感光性樹脂としては、ネガ型感光性樹脂およびポジ型感光性樹脂のいずれも用いることができるが、通常はネガ型感光性樹脂が用いられる。このネガ型感光性樹脂としては、例えば、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有するものが挙げられる。 In addition, as the photosensitive resin, either a negative photosensitive resin or a positive photosensitive resin can be used, but a negative photosensitive resin is usually used. Examples of the negative photosensitive resin include those having reactive vinyl groups such as acrylate, methacrylate, polyvinyl cinnamate, or cyclized rubber.
着色剤および感光性樹脂を含有する着色層用感光性樹脂組成物には、光重合開始剤を添加してもよく、さらには必要に応じて、増感剤、塗布性改良剤、現像改良剤、架橋剤、重合禁止剤、可塑剤、難燃剤等を添加してもよい。 A photopolymerization initiator may be added to the photosensitive resin composition for the colored layer containing the colorant and the photosensitive resin, and further, if necessary, a sensitizer, a coating property improver, and a development improver. Further, a crosslinking agent, a polymerization inhibitor, a plasticizer, a flame retardant and the like may be added.
3.機能部
本発明においては、上記透明基板の凸部の上部表面上に機能部を有してもよい。これにより、反射光用領域に様々な機能を付与できるからである。
3. Functional part In this invention, you may have a functional part on the upper surface of the convex part of the said transparent substrate. This is because various functions can be imparted to the reflected light region.
上記機能部としては、撥液部および光散乱部等の様々の機能部を挙げることができる。
以下、それぞれについて説明する。
Examples of the functional part include various functional parts such as a liquid repellent part and a light scattering part.
Each will be described below.
(1)撥液部
本発明における撥液部は、上記透明基板の凸部の上部表面上に形成されるものである。
(1) Liquid repellent part The liquid repellent part in this invention is formed on the upper surface of the convex part of the said transparent substrate.
ここで、本発明における上記撥液部とは、上記透明基板の凸部の上部表面上に撥液性を有する透明材料から形成された層状の部分を指すものとする。 Here, the liquid repellent portion in the present invention refers to a layered portion formed of a liquid repellent transparent material on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate.
図2は本発明において撥液部が形成された半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一例を示す概略断面図である。図2に示すように、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは凹凸が形成された透明基板1と、上記透明基板1上に上記透明基板1を覆うように形成された着色層2とを有し、上記透明基板1の凹部および上記透明基板の凹部上に形成された着色層2を透過光用領域tとして用い、上記透明基板1の凸部および上記透明基板の凸部上に形成された着色層2を反射光用領域rとして用いる。上記透明層の凸部の上部表面には撥液部3が形成される。
FIG. 2 is a schematic sectional view showing an example of a color filter for a transflective liquid crystal display device in which a liquid repellent portion is formed in the present invention. As shown in FIG. 2, the color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention includes a transparent substrate 1 on which irregularities are formed, and a
本発明においては、上記撥液部が上記透明基板の凸部の上部表面上に形成されているものであることにより、上記透明基板の凸部の上部表面上の撥液性は、上記凹部の表面よりも高くなるため、着色層の形成の際、上記透明基板上に着色層形成用塗工液を塗布した場合、上記透明基板の凸部上の着色層形成用塗工液が上記凹部側へと移動していき、上記透明基板の凸部上の着色層形成用塗工液の塗膜が大きく膜減りするため、反射光用領域の着色層の膜厚を薄膜化することができる。 In the present invention, the liquid repellency portion is formed on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate, so that the liquid repellency on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate is When the colored layer is formed, when the colored layer forming coating solution is applied onto the transparent substrate, the colored layer forming coating solution on the convex portion of the transparent substrate is Since the coating film of the colored layer forming coating solution on the convex portion of the transparent substrate is greatly reduced in thickness, the thickness of the colored layer in the reflected light region can be reduced.
上記撥液部の撥液性としては、水との接触角が10°〜60°の範囲内が好ましく、中でも水の液体との接触角が15°〜50°の範囲内、特に、水との接触角が20°〜40°の範囲内が好ましい。撥液部において水との接触角が上記範囲に満たない場合、着色層形成用塗工液の流動が促されないため、反射光用領域の着色層を所望する膜厚にすることができず、撥液部において水との接触角が上記範囲を超える場合、着色層形成用塗工液が十分に濡れ広がらず、着色層を形成することが困難であるためである。 The liquid repellency of the liquid repellent part is preferably such that the contact angle with water is in the range of 10 ° to 60 °, and in particular, the contact angle with water is in the range of 15 ° to 50 °, particularly with water. Is preferably in the range of 20 ° to 40 °. When the contact angle with water in the liquid repellent portion is less than the above range, the flow of the colored layer forming coating liquid is not promoted, so the colored layer in the reflected light region cannot be made to a desired film thickness, This is because when the contact angle with water exceeds the above range in the liquid repellent portion, the colored layer forming coating solution does not sufficiently wet and spread, and it is difficult to form a colored layer.
なお、ここでいう水との接触角は、水との接触角を接触角測定器(協和界面科学(株)製CA−Z型)を用いて測定(マイクロシリンジから液滴を滴下して30秒後)し、その結果から、もしくはその結果をグラフにして得たものである。 In addition, the contact angle with water here is 30 by measuring the contact angle with water using a contact angle measuring device (CA-Z type manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.). Seconds later), and from the result or the result is obtained as a graph.
上記撥液部の厚みは、用いられる撥液部の材料によって適宜選択されるものであるが、0.1μm〜2.0μmの範囲内が好ましく、中でも、0.2μm〜1.5μmの範囲内、特に、0.4μm〜1.0μmの範囲内が好ましい。上記範囲に満たない場合、上記撥液部を均一な層状に形成することが困難であるからであり、上記範囲を超える場合、上記透明基板の凸部の側面にも撥液性を与えてしまい、着色層を形成するときに白抜けが生じやすくなるからである。 The thickness of the liquid repellent part is appropriately selected depending on the material of the liquid repellent part used, but is preferably in the range of 0.1 μm to 2.0 μm, and more preferably in the range of 0.2 μm to 1.5 μm. In particular, the range of 0.4 μm to 1.0 μm is preferable. If it is less than the above range, it is difficult to form the liquid repellent part in a uniform layer, and if it exceeds the above range, the side surface of the convex part of the transparent substrate is also given liquid repellency. This is because white spots are likely to occur when the colored layer is formed.
上記撥液部の材料としては、透明性かつ撥液性を有し、焼成等で黄変せず、上記撥液部を形成することが可能であれば、特に限定されず、例えば、感光性を有していてもよいし、感光性を有していなくてもよいが、通常感光性、すなわちフォトレジスト性を有しているものが好ましい。透明基板に凹凸を形成する際、パターニングを行うことができるからである。
また、エッチング工程において、エッチング剤等の薬品耐性を有するものが好ましい。エッチング剤等の薬品耐性を有することで、残存するフォトレジストを撥液部として用いることで、上記透明基板の凹凸を形成するとともに上記撥液部の形成を一度に行うことができるからである。
The material of the liquid repellent part is not particularly limited as long as it is transparent and liquid repellent, does not turn yellow upon firing, and can form the liquid repellent part. May or may not have photosensitivity, but those having normal photosensitivity, ie, photoresist properties, are preferred. This is because patterning can be performed when the irregularities are formed on the transparent substrate.
Moreover, what has chemical resistance, such as an etching agent, in an etching process is preferable. This is because by having chemical resistance such as an etchant, the remaining photoresist can be used as the liquid repellent part, thereby forming irregularities of the transparent substrate and forming the liquid repellent part at a time.
上記撥液部の材料に用いられるフォトレジストとしては具体的に、シリコン系樹脂、フッ素系樹脂を含むレジスト等が挙げられる。 Specific examples of the photoresist used for the material of the liquid repellent portion include a resist containing a silicon resin and a fluorine resin.
また、フッ素化合物を用いてプラズマ照射し撥液化処理を行ったり、界面活性剤等を含有させて撥液性を持たせることができるのであれば、撥液性を有さない場合であっても、透明性およびエッチング剤に対する耐性を有するフォトレジストを用いることができる。 Moreover, even if it does not have liquid repellency as long as it can perform liquid repellency treatment by irradiating with plasma using a fluorine compound, or if it can have liquid repellency by adding a surfactant or the like, A photoresist having transparency and resistance to an etching agent can be used.
また、上述したような界面活性剤としては、一般のカラーフィルタにおける光路差調整層に用いられる界面活性剤であれば特に限定されるものではなく、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、両性界面活性剤のいずれも使用することができ、これらの中から一種または二種以上を混合して用いることができる。本工程においては、中でも、フッ素系界面活性剤を用いることが好ましい。 In addition, the surfactant as described above is not particularly limited as long as it is a surfactant used for an optical path difference adjusting layer in a general color filter, and is a nonionic surfactant, an anionic surfactant, Any of a fluorine-based surfactant, a silicon-based surfactant, a cationic surfactant, and an amphoteric surfactant can be used, and one or a mixture of two or more of these can be used. In this step, it is particularly preferable to use a fluorine-based surfactant.
上記フォトレジストとしては、上記撥液部を形成することができるのであれば、特に限定されないが、撥液性を有する撥液性ドライフィルムレジストであることが好ましい。これにより、上記透明基板上に撥液部を形成する際、液状のフォトレジストを塗布する場合に比べて、容易に、かつ厚みを均一にして形成することができるからである。 The photoresist is not particularly limited as long as the liquid repellent portion can be formed, but is preferably a liquid repellent dry film resist having liquid repellent properties. This is because, when the liquid repellent portion is formed on the transparent substrate, the liquid repellent portion can be easily and uniformly formed as compared with the case where a liquid photoresist is applied.
上記撥液部の材料に用いられる撥液性ドライフィルムレジストとしては具体的に、フッ素化合物やケイ素化合物のいずれかと、アクリル樹脂、イミド樹脂、ポリイミド樹脂、カルド樹脂、エポキシ樹脂、ノボラック樹脂などのいずれかを含むレジストが挙げられる。とくにアクリル樹脂やエポキシ樹脂、カルド樹脂などが透明性の観点から特に好ましい。また、ドライフィルムレジストとはPETフィルム等の担体上に予め塗布したうえで、透明基板に転写することで透明基板上への塗布を行うものである。 Specific examples of the liquid-repellent dry film resist used for the material of the liquid-repellent part include any one of a fluorine compound and a silicon compound, an acrylic resin, an imide resin, a polyimide resin, a cardo resin, an epoxy resin, and a novolac resin. And a resist containing these. In particular, acrylic resin, epoxy resin, cardo resin and the like are particularly preferable from the viewpoint of transparency. The dry film resist is applied on a transparent substrate by applying it on a carrier such as a PET film in advance and transferring it to a transparent substrate.
なお、「透明基板の凸部の上部表面」とは、透明基板の凸部の上部側表面を指し、側面は含まないものとする。 The “upper surface of the convex portion of the transparent substrate” refers to the upper surface of the convex portion of the transparent substrate and does not include the side surface.
(2)光散乱部
本発明における光散乱部は、上記透明基板の凸部の上部表面上に形成されるものである。
(2) Light-scattering part The light-scattering part in this invention is formed on the upper surface of the convex part of the said transparent substrate.
上記光散乱部としては、上記記透明基板の凸部の上部表面上に所望する光散乱機能を付与することができるものであれば、特に限定されず、光散乱機能を有する透明材料から形成された層状のものであってもよいし、上記透明基板の凸部の上部表面を研磨して微細な凹凸を形成したものであってもよいが、本発明においては、上記透明基板の凸部の上部表面を研磨して微細な凹凸を形成したものであることが好ましい。研磨の度合いによって、光散乱機能の調整を行うことが容易であるからである。 The light scattering portion is not particularly limited as long as it can provide a desired light scattering function on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate, and is formed from a transparent material having a light scattering function. However, in the present invention, the convex portions of the transparent substrate may be formed by polishing the upper surface of the convex portions of the transparent substrate. It is preferable that the upper surface is polished to form fine irregularities. This is because it is easy to adjust the light scattering function depending on the degree of polishing.
図3は本発明において、透明基板の凸部の上部表面上に光散乱部を有する半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一例を示す概略断面図である。図3に示すように、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは凹凸が形成された透明基板1と、上記透明基板1上に上記透明基板1を覆うように形成された着色層2とを有し、上記透明基板1の凹部および上記透明基板の凹部上に形成された着色層2を透過光用領域tとして用い、上記透明基板1の凸部および上記透明基板の凸部上に形成された着色層2を反射光用領域rとして用いる。上記透明層の凸部の上部表面には研磨により光散乱部4が形成される。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of a color filter for a transflective liquid crystal display device having a light scattering portion on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate in the present invention. As shown in FIG. 3, the color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention includes a transparent substrate 1 on which irregularities are formed, and a
本態様においては、上記透明基板の凸部の上部表面上に光散乱機能を有するものであることにより、このカラーフィルタを用いた液晶表示装置の反射光用領域での、外景の映り込みや、虹色の干渉色の発生率を抑えることが可能である。 In this aspect, by having a light scattering function on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate, the reflection of an outside scene in the reflected light region of the liquid crystal display device using this color filter, It is possible to suppress the incidence of rainbow interference colors.
本発明に用いられる光散乱部の全光線透過率としては90%〜100%の範囲内が好ましい。全光線透過率が小さすぎると本態様のカラーフィルタを使用した液晶表示装置に用いた場合、反射光用領域の輝度が低下するおそれがあるからである。 The total light transmittance of the light scattering portion used in the present invention is preferably in the range of 90% to 100%. This is because if the total light transmittance is too small, the luminance of the reflected light region may be lowered when used in a liquid crystal display device using the color filter of this embodiment.
また、上記光散乱部のヘイズ値は、40以上であることが好ましく、中でも50以上、
特に60以上であることが好ましい。ヘイズ値が上記範囲に満たない場合は十分な光散乱効果が得られない場合があるからである。
Moreover, it is preferable that the haze value of the said light-scattering part is 40 or more, especially 50 or more,
In particular, it is preferably 60 or more. This is because if the haze value is less than the above range, a sufficient light scattering effect may not be obtained.
なお、上記の全光線透過率およびヘイズ値は積分球を用いて、東洋製機製作所(株)製の直読ヘイズメーターにより測定した値である。 In addition, said total light transmittance and haze value are the values measured with the direct reading haze meter by Toyo Seisakusho Co., Ltd. using the integrating sphere.
上記光散乱部の表面粗度としては、光散乱機能を有することが出来れば、特に限定されるものではないが、上記ヘイズ値を満たすためには面平均表面粗度200nm以上の値を有することが好ましい。 The surface roughness of the light scattering portion is not particularly limited as long as it has a light scattering function, but has a surface average surface roughness of 200 nm or more in order to satisfy the haze value. Is preferred.
(3)その他の機能部
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの機能部としては、撥液部および光散乱部以外に、例えば図4から図6に示すような様々の機能部が挙げられる。
(3) Other functional units As the functional units of the color filter for the transflective liquid crystal display device of the present invention, various functional units as shown in FIGS. 4 to 6 are included in addition to the liquid repellent unit and the light scattering unit. Can be mentioned.
図4は本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの機能部が反射光用領域の輝度を向上させる輝度向上機能部であるものの一例を示す概略断面図である。図4に示すように、凹凸が形成された透明基板1と、上記透明基板1上に上記透明基板1を覆うように形成された着色層2とを有し、上記透明基板1の凹部および上記透明基板の凹部上に形成された着色層2を透過光用領域tとして用い、上記透明基板1の凸部および上記透明基板の凸部上に形成された着色層2を反射光用領域rとして用いる。また、上記透明基板の凸部の上部表面に突起状の輝度向上機能部11を有しており、これにより、反射光用領域全体の着色層の平均膜厚が薄くなるため、輝度を向上させることが可能となる。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing an example in which the functional part of the color filter for a transflective liquid crystal display device of the present invention is a luminance enhancement functional part for improving the luminance of the reflected light region. As shown in FIG. 4, it has the transparent substrate 1 in which the unevenness | corrugation was formed, and the
図5は本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの機能部が反射光用領域の着色層の膜厚の薄膜化を促進する薄膜化機能部であるものの一例を示す概略断面図である。図5に示すように、上記透明基板の凸部に傾斜を設けることによって形成された薄膜化機能部12を有しており、これにより、着色層を形成する際、反射光用領域の着色層形成用塗工液が透過光用領域に流れやすくなるため、着色層の膜厚の薄膜化を促進することが可能となる。
なお、図5中の符号のうち、図4と共通なものについては同様であるので説明を省略する。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing an example in which the functional part of the color filter for a transflective liquid crystal display device of the present invention is a thinning function part that promotes thinning of the thickness of the colored layer in the reflected light region. . As shown in FIG. 5, it has a thinning
5 that are the same as those in FIG. 4 are the same as those in FIG.
図6は本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの機能部が外光の反射光による色の混色化を防ぐ混色防止機能部であるものの一例を示す概略断面図である。図6に示すように、上記透明基板の凸部表面を凸レンズ状にして形成された混色防止機能部13を有しており、これにより、上記透明基板の凸部の両端を通る反射光が凸レンズの効果によって中央へと屈折する結果、外光の反射光による色の混色化を防ぐことが可能となる。
なお、図6中の符号のうち、図4と共通なものについては同様であるので説明を省略する。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing an example in which the functional part of the color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention is a color mixing prevention function part for preventing color mixing due to reflected light of external light. As shown in FIG. 6, the transparent substrate has a color mixing
6 that are the same as those in FIG. 4 are the same as those in FIG.
4.その他
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、上記透明基板、着色層および機能部以外にも、例えば、遮光部、オーバーコート層や透明電極層、更には配向膜や柱状スペーサ等が形成されたものであってもよい。
4). Others The color filter for a transflective liquid crystal display device of the present invention includes, for example, a light shielding part, an overcoat layer, a transparent electrode layer, an alignment film, a columnar spacer, etc. in addition to the transparent substrate, the colored layer, and the functional part. It may be formed.
B.半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
次に、本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法について説明する。
本発明の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法としては、透明基板の凸部の上部表面上に撥液部を有するものの製造方法(以下、第一の態様とする。)と、透明基板の凸部の上部表面上に光散乱部を有するものの製造方法(以下、第二の態様とする。)とがある。以下にそれぞれの態様について説明する。
B. Next, a method for manufacturing a color filter for a transflective liquid crystal display device according to the present invention will be described.
As a method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device of the present invention, a method for producing a liquid repellent part on the upper surface of a convex part of a transparent substrate (hereinafter referred to as the first aspect), and transparent. There is a manufacturing method (hereinafter referred to as a second embodiment) having a light scattering portion on the upper surface of the convex portion of the substrate. Each aspect will be described below.
1.第一の態様
本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、凹凸が形成された透明基板と、上記透明基板上に上記透明基板を覆うように形成された着色層とを有し、上記透明基板の凹部および上記透明基板の凹部上に形成された着色層を透過光用領域として用い、上記透明基板の凸部および上記透明基板の凸部に形成された着色層を反射光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの、上記透明基板の凸部が光路差調整機能を有し、上記透明基板の凸部の上部表面上に撥液部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記透明基板上に透明性および撥液性を有するフォトレジストからなるフォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程と、上記フォトレジスト層を露光する露光工程と、上記フォトレジスト層を現像してパターン状にする現像工程と、上記透明基板をエッチングして上記透明基板の凹凸を形成する凹凸形成工程とを少なくとも有し、上記凹凸形成工程で残存した上記フォトレジスト層を用いて上記透明層の凸部の上部表面上に撥液機能を付与することを特徴とする。
1. 1st aspect The manufacturing method of the color filter for transflective liquid crystal display devices of this aspect has the transparent substrate in which the unevenness | corrugation was formed, and the colored layer formed so that the said transparent substrate might be covered on the said transparent substrate. Then, using the concave portion of the transparent substrate and the colored layer formed on the concave portion of the transparent substrate as a region for transmitted light, the colored layer formed on the convex portion of the transparent substrate and the convex portion of the transparent substrate is reflected light. In the color filter for a transflective liquid crystal display device used as an area, the convex portion of the transparent substrate has an optical path difference adjusting function, and a liquid repellent portion is provided on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate. A method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device, comprising: forming a photoresist layer comprising a photoresist having transparency and liquid repellency on the transparent substrate; At least an exposure step for exposing the dyst layer, a development step for developing the photoresist layer into a pattern, and an irregularity forming step for etching the transparent substrate to form irregularities on the transparent substrate, A liquid repellent function is imparted on the upper surface of the convex portion of the transparent layer using the photoresist layer remaining in the irregularity forming step.
図7は、本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。図7に示すように、本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、透明基板1上に透明性および撥液性を有するフォトレジストからなるフォトレジスト層3’を形成するフォトレジスト層形成工程(図7(a))と、上記フォトレジスト層3’を例えばフォトマスク5等を用いて露光光6で露光する露光工程(図7(b))と、上記フォトレジスト層を現像してパターン状にする現像工程(図7(c))と、上記透明基板1をエッチングして上記透明基板1の凹凸を形成する凹凸形成工程(図7(d))とを少なくとも有し、上記透明基板の凸部形成工程で残存した上記フォトレジスト層3’を用いて上記透明層1の凸部の上部表面上に上記撥液部3を形成するものである。以下、それぞれの工程について説明する。
FIG. 7 is a process diagram showing an example of a method for manufacturing a color filter for a transflective liquid crystal display device according to this embodiment. As shown in FIG. 7, the method for manufacturing a color filter for a transflective liquid crystal display device according to this aspect is a method of forming a
(1)フォトレジスト層形成工程
本工程は上記透明基板上に透明性および撥液性を有するフォトレジストからなるフォトレジスト層を形成する工程である。
(1) Photoresist layer forming step This step is a step of forming a photoresist layer made of a photoresist having transparency and liquid repellency on the transparent substrate.
本工程におけるフォトレジストに撥液性を付与する方法としては、上記フォトレジストに所望する撥液性を付与することができる方法であれば、特に限定されるものではなく、例えば撥液性を有するフォトレジスト材料を用いる方法であってもよく、また、撥液性を有さないフォトレジスト材料を、撥液化処理して撥液性を有するようにする方法であってもよい。 The method for imparting liquid repellency to the photoresist in this step is not particularly limited as long as it can impart the desired liquid repellency to the photoresist. For example, the photoresist has liquid repellency. It may be a method using a photoresist material, or a method in which a photoresist material that does not have liquid repellency is made to have liquid repellency by lyophobic treatment.
本工程においては、特に、透明基板上にパターン形成されたフォトレジスト層にフッ素化合物を用いてプラズマを照射することにより、撥液化処理を行って撥液部を形成する方法(以下、第1実施態様とする。)、または撥液性材料を有するフォトレジストを用いて撥液部を形成する方法(以下、第2実施態様とする。)であることが好ましい。これらの方法によれば、容易に上記撥液部を形成することが可能となるからである。以下、上記各態様について、それぞれ説明する。 In this step, in particular, a method of forming a liquid repellent portion by performing a liquid repellent treatment by irradiating a photoresist layer patterned on a transparent substrate with plasma using a fluorine compound (hereinafter referred to as the first implementation). And a method of forming a liquid repellent portion using a photoresist having a liquid repellent material (hereinafter referred to as a second embodiment). This is because these methods make it possible to easily form the liquid repellent portion. Hereinafter, each of the above embodiments will be described.
(第1実施態様)
まず、上記撥液部形成方法の第1実施態様について説明する。本実施態様における撥液部の形成方法としては、透明基板上にパターン形成されたフォトレジスト層にフッ素化合物を用いてプラズマを照射することにより、撥液化処理を行って撥液部を形成する方法である。
(First embodiment)
First, the first embodiment of the liquid repellent portion forming method will be described. As a method for forming a liquid repellent portion in this embodiment, a method of forming a liquid repellent portion by performing a liquid repellent treatment by irradiating a photoresist layer patterned on a transparent substrate with plasma using a fluorine compound. It is.
フッ素化合物を導入ガスとしてプラズマ照射をした場合、有機物にフッ素を導入することができる。したがって、上記フォトレジスト層に対して上記プラズマ照射をすることにより、フォトレジスト層にフッ素を導入することができ、撥液性を有する撥液部とすることができるのである。またこの際、上記透明基板として無機材料からなるものを用いることにより、透明基板にはフッ素が導入されないものとすることができる。これにより、上記撥液部上を撥液性領域、上記透明基板が露出している領域を親液性領域とすることができ、着色層を形成する工程において、反射光用領域の膜厚を透過光用領域の膜厚よりも薄く形成することが可能となる。 When plasma irradiation is performed using a fluorine compound as an introduction gas, fluorine can be introduced into an organic substance. Therefore, by irradiating the photoresist layer with the plasma, fluorine can be introduced into the photoresist layer, and a liquid repellent portion having liquid repellency can be obtained. At this time, by using a material made of an inorganic material as the transparent substrate, fluorine can be prevented from being introduced into the transparent substrate. Thereby, the liquid repellent part can be a liquid repellent area, and the area where the transparent substrate is exposed can be a lyophilic area. It can be formed thinner than the thickness of the transmitted light region.
ここで、上記フォトレジスト層としては、撥液性を有する必要はなく、一般的なカラーフィルタにおけるフォトレジスト層と同様とすることができ、また、上記フォトレジスト層の形成方法についても、一般的なカラーフィルタにおけるフォトレジスト層の形成方法と同様の形成方法とすることができる。例えば、スピンコート法等による塗布法によって形成する方法や、ドライフィルムレジストを用いて形成する方法等が挙げられ、本実施態様においては、特にドライフィルムレジストを用いることが好ましい。
ドライフィルムレジストによるフォトレジスト層の形成方法は、減圧乾燥工程等がないので、工程を簡略化することができ、製造コストを削減することが可能である。
Here, the photoresist layer does not need to have liquid repellency, and can be the same as the photoresist layer in a general color filter. Also, the method for forming the photoresist layer is also common. The formation method can be the same as the formation method of the photoresist layer in a simple color filter. For example, a method of forming by a coating method such as a spin coating method, a method of forming using a dry film resist, and the like can be mentioned. In this embodiment, it is particularly preferable to use a dry film resist.
Since the method for forming a photoresist layer using a dry film resist does not include a reduced pressure drying process, the process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.
上記ドライフィルムレジストによるフォトレジスト層の形成方法としては、一般的なカラーフィルタの製造方法で用いられる方法と同様であるので、ここでの記載は省略する。 The method for forming the photoresist layer using the dry film resist is the same as the method used in a general method for producing a color filter, and therefore description thereof is omitted here.
また、上記フォトレジスト層の形成に用いられる材料は、透明性を有し、撥液処理等によって変色等のないものであれば、特に限定されない。詳しくは、「A.半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ」の項で説明したものと同様であるため、ここでの記載は省略する。 The material used for forming the photoresist layer is not particularly limited as long as it has transparency and does not change color due to liquid repellent treatment or the like. Specifically, since it is the same as that described in the section “A. Color filter for transflective liquid crystal display device”, description thereof is omitted here.
上記透明基板に用いられる材料としては、一般的なカラーフィルタに用いられるものと同様とすることができ、詳しくは、「A.半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ」の項で記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略するが、本実施態様では、特に無機材料からなるものが好ましい。上述したように、上記透明基板として無機材料からなるものを用いることにより、フッ素化合物を導入ガスとして用いたプラズマ照射によっても、フッ素が導入されないものとすることができ、透明基板が露出した領域を新液性領域として用いることが可能となるからである。 The material used for the transparent substrate can be the same as that used for a general color filter. For details, see the material described in the section “A. Color filter for transflective liquid crystal display device”. Since it is the same, description here is abbreviate | omitted, However, In this embodiment, what consists of inorganic materials is especially preferable. As described above, by using an inorganic material as the transparent substrate, it is possible to prevent fluorine from being introduced even by plasma irradiation using a fluorine compound as an introduction gas. This is because it can be used as a new liquid region.
また、上記フォトレジスト層に、フッ素化合物を導入ガスとしてプラズマを照射する方法としては、フォトレジスト層にフッ素を導入することが可能な方法であれば、特に限定されるものではなく、例えば真空中でプラズマ照射する方法であってもよく、また大気圧下でプラズマ照射する方法であってもよい。また、例えば上記フォトレジスト層のみにプラズマ照射してもよく、上記フォトレジスト層および露出した透明基板にプラズマを照射してもよい。 The method of irradiating the photoresist layer with plasma using a fluorine compound as an introduction gas is not particularly limited as long as it is a method capable of introducing fluorine into the photoresist layer. The plasma irradiation method may be used, or the plasma irradiation method may be performed under atmospheric pressure. Further, for example, only the photoresist layer may be irradiated with plasma, or the photoresist layer and the exposed transparent substrate may be irradiated with plasma.
上記プラズマを照射する際に用いられる導入ガスのフッ素化合物としては、例えばフッ化炭素(CF4)、窒化フッ素(NF3)、フッ化硫黄(SF6)、C2Cl3F3、C2F6、C3F6等が挙げられる。また、照射されるプラズマの照射条件としては、照射装置等により適宜選択されるものである。 Examples of the fluorine compound of the introduced gas used when the plasma is irradiated include carbon fluoride (CF 4 ), fluorine nitride (NF 3 ), sulfur fluoride (SF 6 ), C 2 Cl 3 F 3 , and C 2. F 6, C 3 F 6, and the like. Further, the irradiation conditions of the irradiated plasma are appropriately selected depending on the irradiation apparatus or the like.
ここで、本実施態様においては、上記プラズマ照射が大気圧下でのプラズマ照射であることが好ましい。これにより、減圧用の装置等が必要なく、コストや製造効率等の面から好ましいものとすることができるからである。このような大気圧プラズマの照射条件としては、以下のようなものとすることができる。例えば、電源出力としては、一般的な大気圧プラズマの照射装置に用いられるものと同様とすることができる。また、この際、照射されるプラズマの電極と、上記フォトレジスト層との距離は、0.2mm〜20mm程度、中でも1mm〜5mm程度とされることが好ましい。またさらに、上記導入ガスとして用いられるフッ素化合物の流量は、1L/min〜100L/min程度、中でも5L/min〜50L/min程度であることが好ましく、この際の基板搬送速度が、0.1m/min〜10m/min程度、中でも0.5m/min〜5m/min程度が好ましい。 Here, in this embodiment, the plasma irradiation is preferably plasma irradiation under atmospheric pressure. This is because an apparatus for decompression or the like is not necessary, which can be preferable in terms of cost, manufacturing efficiency and the like. The irradiation conditions of such atmospheric pressure plasma can be as follows. For example, the power output can be the same as that used in a general atmospheric pressure plasma irradiation apparatus. At this time, the distance between the irradiated plasma electrode and the photoresist layer is preferably about 0.2 mm to 20 mm, and more preferably about 1 mm to 5 mm. Furthermore, the flow rate of the fluorine compound used as the introduction gas is preferably about 1 L / min to 100 L / min, and more preferably about 5 L / min to 50 L / min, and the substrate transport speed at this time is 0.1 m. / Min to about 10 m / min, especially about 0.5 m / min to 5 m / min is preferable.
本工程において、フォトレジスト層に導入されたフッ素の存在は、X線光電子分光分析装置(XPS:ESCALAB 220i−XL)による分析において、フォトレジスト層の上部表面より検出される全元素中のフッ素元素の割合を測定することにより確認することができる。また、この際上記フッ素の割合としては、10%以上とされることが好ましい。 In this step, the presence of fluorine introduced into the photoresist layer is determined by the elemental fluorine in all elements detected from the upper surface of the photoresist layer in the analysis by an X-ray photoelectron spectrometer (XPS: ESCALAB 220i-XL). This can be confirmed by measuring the ratio. At this time, the proportion of the fluorine is preferably 10% or more.
本実施態様における撥液化処理後の撥液部の撥液性や撥液部の厚みについては、「A.半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ」に記載したものと同様とすることができるので、ここでの記載は省略する。 The liquid repellency of the liquid repellent part and the thickness of the liquid repellent part after the liquid repellent treatment in this embodiment can be the same as those described in “A. Color filter for transflective liquid crystal display device”. The description here is omitted.
(第2実施態様)
次に、撥液性着色層形成工程の第2実施態様について説明する。本実施態様における撥液部の形成方法としては、撥液性を有するフォトレジストを用いて撥液部を形成する方法である。
(Second embodiment)
Next, a second embodiment of the liquid repellent colored layer forming step will be described. The method for forming the liquid repellent portion in this embodiment is a method for forming the liquid repellent portion using a liquid repellent photoresist.
上記フォトレジストとしては、「A.半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ」の項に記載したものと同様であるので、ここでの説明は省略する。また、上記フォトレジスト層の形成方法については、一般的なカラーフィルタにおけるフォトレジスト層の形成方法と同様の形成方法とすることができる。例えば、スピンコート法等による塗布法によって形成する方法や、ドライフィルムレジストを用いて形成する方法等が挙げられ、本実施態様においては、特にドライフィルムレジストを用いることが好ましい。これは、塗布法の場合に比べ、形成工程が容易であるからである。 The photoresist is the same as that described in the section “A. Color filter for transflective liquid crystal display device”, and the description is omitted here. Moreover, about the formation method of the said photoresist layer, it can be set as the formation method similar to the formation method of the photoresist layer in a general color filter. For example, a method of forming by a coating method such as a spin coating method, a method of forming using a dry film resist, and the like can be mentioned. In this embodiment, it is particularly preferable to use a dry film resist. This is because the forming process is easier than in the coating method.
本実施態様における撥液部の撥液性や撥液部の厚みについては、「A.半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ」に記載したものと同様とすることができるので、ここでの記載は省略する。 The liquid repellency of the liquid repellent part and the thickness of the liquid repellent part in the present embodiment can be the same as those described in “A. Color filter for transflective liquid crystal display device”. Is omitted.
また、本実施態様に用いられる透明基板については、「(第1実施態様)」の項に記載のものと同様とすることができるのでここでの記載は省略する。 Further, the transparent substrate used in this embodiment can be the same as that described in the section “(First embodiment)”, and therefore description thereof is omitted here.
(2)露光工程
本工程は、上記フォトレジスト層を露光する工程である。
(2) Exposure process This process is a process of exposing the photoresist layer.
露光方法としては、上記フォトレジスト層を所望するパターン状に形成することが可能であれば、特に限定されるものではない。本工程に用いられる露光方法等については、一般的なカラーフィルタの製造の際に用いられる方法と同様の方法とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。 The exposure method is not particularly limited as long as the photoresist layer can be formed in a desired pattern. About the exposure method etc. which are used for this process, since it can be set as the method similar to the method used at the time of manufacture of a general color filter, detailed description here is abbreviate | omitted.
(3)現像工程
次に、本発明における現像工程について説明する。本発明における現像工程は、上記フォトレジスト層を現像する工程である。
(3) Development Step Next, the development step in the present invention will be described. The developing step in the present invention is a step of developing the photoresist layer.
現像方法としては、不要なフォトレジストを除去することが可能であれば、特に限定されるものではない。本工程に用いられる現像液や現像方法等については、一般的なカラーフィルタの製造の際に用いられる方法と同様の方法とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。 The developing method is not particularly limited as long as unnecessary photoresist can be removed. The developing solution and developing method used in this step can be the same as the method used in the production of a general color filter, and detailed description thereof is omitted here.
(4)凹凸形成工程
本工程は、上記透明基板をエッチングして凹凸を形成する工程である。
(4) Concavity and convexity forming step This step is a step of forming concavities and convexities by etching the transparent substrate.
透明基板のエッチングの方法については、透明基板に透明層を形成することが可能な方法であれば、特に限定されず、ウェットエッチングでもよいし、ドライエッチングでもよいが、通常ウェットエッチングが好適に用いられる。これは、ウェットエッチングはコストや生産効率の点で有利であるからであり、かつ、化学反応で溶解が進行するため、エッチング剤を選択することにより、エッチング速度を制御することが容易であるからである。 The method for etching the transparent substrate is not particularly limited as long as it can form a transparent layer on the transparent substrate, and may be wet etching or dry etching, but usually wet etching is preferably used. It is done. This is because wet etching is advantageous in terms of cost and production efficiency, and since dissolution proceeds by a chemical reaction, it is easy to control the etching rate by selecting an etching agent. It is.
上記エッチングに用いられるエッチング剤としては、上記透明基板を所望する形状にエッチングすることができるものであれば、特に限定されず、たとえば、ウェットエッチングの場合は、フッ酸、フッ化ホウ素酸等が挙げられ、また、ドライエッチングの場合、フッ化ホウ素、四フッ化炭素等が挙げられる。 The etching agent used for the etching is not particularly limited as long as the transparent substrate can be etched into a desired shape. For example, in the case of wet etching, hydrofluoric acid, fluorinated boronic acid, and the like are used. In the case of dry etching, boron fluoride, carbon tetrafluoride and the like are mentioned.
本工程における上記ウェットエッチングおよびドライエッチングの方法としては、一般的な透明基板の加工の際に用いられる方法と同様なので、ここでの説明は省略する。 The wet etching and dry etching methods in this step are the same as those used when processing a general transparent substrate, and thus description thereof is omitted here.
2.第二の態様
本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、凹凸が形成された透明基板と、上記透明基板上に上記透明基板を覆うように形成された着色層とを有し、上記透明基板の凹部および上記透明基板の凹部上に形成された着色層を透過光用領域として用い、上記透明基板の凸部および上記透明基板の凸部に形成された着色層を反射光用領域として用いる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの、上記透明基板の凸部が光路差調整機能を有し、上記透明基板の凸部の上部表面上に光散乱部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法であって、上記透明基板上にフォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程と、上記フォトレジスト層を露光する露光工程と、上記フォトレジスト層を現像してパターン状にする現像工程と、上記透明基板をエッチングして上記透明基板の凹凸を形成する凹凸形成工程と、上記フォトレジスト層を剥離する剥離工程と、上記透明基板の凸部の上部表面に研磨によって光散乱機能を付与する研磨工程とを有することを特徴とする。
2. Second Aspect A method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device according to this aspect includes a transparent substrate on which irregularities are formed, and a colored layer formed on the transparent substrate so as to cover the transparent substrate. Then, using the concave portion of the transparent substrate and the colored layer formed on the concave portion of the transparent substrate as a region for transmitted light, the colored layer formed on the convex portion of the transparent substrate and the convex portion of the transparent substrate is reflected light. In the color filter for a transflective liquid crystal display device used as an area, the convex portion of the transparent substrate has an optical path difference adjusting function, and a light scattering portion is provided on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate. A method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device, comprising: a photoresist layer forming step of forming a photoresist layer on the transparent substrate; an exposure step of exposing the photoresist layer; and the photoresist A development step for developing the pattern layer into a pattern, an irregularity forming step for etching the transparent substrate to form irregularities on the transparent substrate, a peeling step for peeling the photoresist layer, and a convexity for the transparent substrate. And a polishing step of imparting a light scattering function to the upper surface of the part by polishing.
図8は本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一例を示す工程図である。本態様の半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、透明基板1上にフォトレジスト層3’を形成するフォトレジスト層形成工程(図8(a))と、上記フォトレジスト層3’をフォトマスク5等を用いて露光光6で露光する露光工程(図8(b))と、上記フォトレジスト層3’を現像してパターン状にする現像工程(図8(c))と、上記透明基板1をエッチングして上記透明基板の凸部を形成する凹凸形成工程(図8(d))と、上記透明基板上の上記フォトレジスト層3’を剥離する剥離工程(図8(e))と、上記透明基板1の凸部の上部表面上に研磨によって光散乱機能(光散乱部4)を付与する研磨工程(図8(f))を有するものである。
以下に、それぞれの工程について説明する。
FIG. 8 is a process diagram showing an example of a method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device according to this embodiment. The method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device according to this aspect includes a photoresist layer forming step (FIG. 8A) for forming a
Below, each process is demonstrated.
(1)フォトレジスト層形成工程
本工程は、透明基板上にフォトレジスト層を形成する工程である。
(1) Photoresist layer formation process This process is a process of forming a photoresist layer on a transparent substrate.
本工程に用いられるフォトレジストとしては、一般的なカラーフィルタの製造方法で用いられているものと同様のものとすることができるのでここでの説明は省略する。 Since the photoresist used in this step can be the same as that used in a general color filter manufacturing method, description thereof is omitted here.
また、上記フォトレジスト層の形成方法としては、透明基板上に均一に形成することが可能であるならば特に限定されず、「1.第一の態様」で説明したものと同様とすることができる。 The method for forming the photoresist layer is not particularly limited as long as it can be uniformly formed on the transparent substrate, and may be the same as that described in “1. First embodiment”. it can.
(2)露光工程、現像工程、および凹凸形成工程
本態様の露光工程は、上記フォトレジスト層を露光する工程であり、現像工程は、上記フォトレジスト層を現像する工程であり、凹凸形成工程は、上記透明基板をエッチングして上記透明基板に凹凸を形成する工程である。
(2) Exposure process, development process, and unevenness formation process The exposure process of this aspect is a process of exposing the photoresist layer, the development process is a process of developing the photoresist layer, and the unevenness formation process is And etching the transparent substrate to form irregularities on the transparent substrate.
露光工程、現像工程および凹凸形成工程については、「1.第一の態様」の項で説明した工程と同様とすることができるので、ここでの説明は省略する。 About an exposure process, a development process, and a concavo-convex formation process, since it can be made to be the same as that of a process explained in the paragraph of "1. First aspect", explanation here is omitted.
(3)剥離工程
本工程は、上記透明基板上の上記フォトレジスト層を剥離する工程である。
(3) Stripping step This step is a step of stripping the photoresist layer on the transparent substrate.
剥離方法としては、上記フォトレジスト層を剥離することが可能であれば、特に限定されるものではない。本工程に用いられる剥離液や剥離方法等については、一般的なカラーフィルタの製造の際に用いられる方法と同様の方法とすることができるので、ここでの詳しい説明は省略する。 The peeling method is not particularly limited as long as the photoresist layer can be peeled off. The stripping solution, stripping method, etc. used in this step can be the same as the method used in the production of a general color filter, so detailed description thereof is omitted here.
(4)研磨工程
本工程は、上記透明基板の凸部の上部表面に研磨によって光散乱機能を付与する工程である。本工程を行うことで、研磨の度合いによって光散乱効果を調整することが可能である。
(4) Polishing step This step is a step of imparting a light scattering function to the upper surface of the convex portion of the transparent substrate by polishing. By performing this step, it is possible to adjust the light scattering effect depending on the degree of polishing.
研磨による上記透明基板の凸部の上部表面の研磨量としては、光散乱機能を付与することができるのであれば、特に限定されないが、0.1μm〜4.5μm程度の範囲内で薄くすることが好ましく、中でも0.3μm〜3.5μm程度の範囲内、特に0.5μm〜1.5μm程度の範囲内で薄くすることが好ましい。研磨量が上記範囲を超える場合、上記透明基板の凸部の光路差調整機能が保てなくなるおそれがあるからである。また、研磨工程において非常に長い時間を要するため、生産効率が低下するという問題がある。また、研磨量が上記範囲に満たない場合、所望する光散乱機能を達成することができないためである。 The amount of polishing of the upper surface of the convex portion of the transparent substrate by polishing is not particularly limited as long as it can provide a light scattering function, but it should be thin within a range of about 0.1 μm to 4.5 μm. In particular, it is preferable to reduce the thickness within the range of about 0.3 μm to 3.5 μm, particularly within the range of about 0.5 μm to 1.5 μm. This is because when the polishing amount exceeds the above range, the optical path difference adjusting function of the convex portion of the transparent substrate may not be maintained. Further, since a very long time is required in the polishing process, there is a problem that the production efficiency is lowered. Further, when the polishing amount is less than the above range, a desired light scattering function cannot be achieved.
本工程における研磨を行う方法としては、上記透明基板の凸部の上部表面上に所望する光散乱機能を付与することができる方法であれば、特に限定されないが、研磨剤を用いて機械で研磨する方法が好ましい。この方法は、研磨剤の種類やサイズの調整による散乱部のヘイズ値の調整が容易であるからである。 The method of polishing in this step is not particularly limited as long as it can provide a desired light scattering function on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate, but is polished by a machine using an abrasive. Is preferred. This is because it is easy to adjust the haze value of the scattering portion by adjusting the type and size of the abrasive.
本工程において、用いられる研磨剤としては、研磨によって上記透明基板の凸部の上部表面上に所望する光散乱機能を付与することができる研磨剤であれば特に限定されるものではないが、例えば研磨粉としては酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化アルミニウム等、研磨液としてはフッ酸等が挙げられる。 In this step, the abrasive used is not particularly limited as long as it is an abrasive capable of imparting a desired light scattering function on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate by polishing. Examples of the polishing powder include zirconium oxide, cerium oxide, and aluminum oxide, and examples of the polishing liquid include hydrofluoric acid.
また、研磨剤の粒子径としては、研磨によって上記透明基板の凸部の上部表面上に所望する光散乱機能を付与することができる粒子径であれば、特に限定されるものではないが、一次粒子の平均粒子径が、0.1μm〜10μmの範囲内のものが好ましく、中でも0.2μm〜7.0μmの範囲内、特に0.5μm〜5.0μmの範囲内のものを用いることが好ましい。 Further, the particle size of the abrasive is not particularly limited as long as it can provide a desired light scattering function on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate by polishing. The average particle diameter of the particles is preferably in the range of 0.1 μm to 10 μm, and in particular, it is preferable to use the one in the range of 0.2 μm to 7.0 μm, particularly in the range of 0.5 μm to 5.0 μm. .
また、研磨剤の濃度としては、研磨によって上記透明基板の凸部の上部表面上に所望する光散乱機能を付与することができる濃度であれば、特に限定されるものではないが、1.0重量%〜30重量%の範囲内が好ましく、中でも、2.0重量%〜20重量%の範囲内、特に5.0重量%〜15重量%の範囲内が好ましい。 The concentration of the abrasive is not particularly limited as long as it can provide a desired light scattering function on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate by polishing. It is preferably within the range of 30% by weight to 30% by weight, and more preferably within the range of 2.0% by weight to 20% by weight, and particularly within the range of 5.0% by weight to 15% by weight.
本工程において、用いられる研磨装置はカラーフィルタの研磨に用いられる一般的な研磨機であれば、特に限定されない。 In this step, the polishing apparatus used is not particularly limited as long as it is a general polishing machine used for polishing color filters.
本工程における研磨条件については、上記透明基板の凸部の上部表面上に所望する光散乱機能を付与することができる研磨条件ならば、特に限定されず、カラーフィルタの用途により適宜選択される。 The polishing condition in this step is not particularly limited as long as it can provide a desired light scattering function on the upper surface of the convex portion of the transparent substrate, and is appropriately selected depending on the use of the color filter.
3.その他の工程
本発明は、上述した工程以外に必要な工程を適宜有していてもよい。例えば上記凹凸が形成された透明基板上に着色層を形成する着色層形成工程、着色層上に配向膜を形成する配向膜形成工程、透明電極層を形成する透明電極層形成工程等が挙げられる。このような各工程については、一般的なカラーフィルタの製造方法の際に行なわれる方法と同様とすることができる。
3. Other Steps The present invention may appropriately include necessary steps other than the steps described above. For example, a colored layer forming step of forming a colored layer on the transparent substrate on which the irregularities are formed, an alignment film forming step of forming an alignment film on the colored layer, a transparent electrode layer forming step of forming a transparent electrode layer, etc. . Each of these steps can be the same as the method performed in a general color filter manufacturing method.
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。 The present invention is not limited to the above embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and any device that exhibits the same function and effect is the present invention. It is included in the technical scope of the invention.
以下、本発明について実施例を用いて具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples.
[実施例1]
実施例1として、撥液性を有するフォトレジスト層をフォトリソグラフィーにて形成後、エッチングにて光路差調整層を形成する例を示す。
[Example 1]
Example 1 shows an example in which an optical path difference adjusting layer is formed by etching after forming a liquid-repellent photoresist layer by photolithography.
(フォトレジスト層形成工程)
液晶表示装置用カラーフィルタ向けとして一般的な無アルカリガラス(コーニング社製 EAGLE2000)を用い、以下組成のネガ型感光性樹脂溶液をスピンコーティング法にて塗布した。
(Photoresist layer forming process)
A general alkali-free glass (EAGLE 2000 manufactured by Corning) was used for a color filter for a liquid crystal display device, and a negative photosensitive resin solution having the following composition was applied by a spin coating method.
<ネガ型感光性樹脂溶液>
・メタクリル酸−スチレン−メタクリル酸共重合体 ・・・42.0重量部
・ペンタエリスリトールペンタアクリレート ・・・32.0重量部
・エポキシ樹脂(ジャパン エポキシ レジン(株)製) ・・・18.0重量部
・イルガキュア907(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製) ・・・7.0重量部
・フッ素系界面活性剤(大日本インキ(株)製 F475) ・・・1.0重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・300重量部
<Negative photosensitive resin solution>
• Methacrylic acid-styrene-methacrylic acid copolymer: 42.0 parts by weight • Pentaerythritol pentaacrylate: 32.0 parts by weight • Epoxy resin (manufactured by Japan Epoxy Resins Co., Ltd.): 18.0 Parts by weight / Irgacure 907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals) ... 7.0 parts by weight / fluorine-based surfactant (F475 manufactured by Dainippon Ink Co., Ltd.) ... 1.0 parts by weight / propylene glycol monomethyl Ether acetate: 300 parts by weight
(露光工程および現像工程)
80℃のホットプレート上にて180秒間加熱を行った後、プロキシミティ露光機(株式会社トプコン社製 TME−400R)にて所定のフォトマスクを用いて露光を行った。フォトマスクは石英ガラス製であり、表面の酸化クロム膜上に所定のパターンが描画してあるものを使用した。高圧水銀ランプを光源とし、条件は、露光量100mJ/cm2(波長365nm)および露光ギャップ(透明基板とフォトマスク間距離)150μmとした。KOH系のアルカリ現像液を用いて現像を行い、200℃のオーブンにて30分焼成を行った。透明基板上に線幅30μm、膜厚0.5μmでストライプ状のフォトレジスト層を形成できた。
(Exposure process and development process)
After heating on an 80 ° C. hot plate for 180 seconds, exposure was performed using a predetermined photomask with a proximity exposure machine (TME-400R manufactured by Topcon Corporation). The photomask was made of quartz glass, and a photomask having a predetermined pattern drawn on the chromium oxide film on the surface was used. A high pressure mercury lamp was used as a light source, and the conditions were an exposure amount of 100 mJ / cm 2 (wavelength 365 nm) and an exposure gap (distance between the transparent substrate and the photomask) of 150 μm. Development was performed using a KOH-based alkaline developer, and baking was performed in an oven at 200 ° C. for 30 minutes. A striped photoresist layer having a line width of 30 μm and a film thickness of 0.5 μm could be formed on the transparent substrate.
(凹凸形成工程)
上記撥液部が形成された上記透明基板を、エッチング溶液としてフッ酸を20wt%含む水溶液を用い120秒処理し透明層を形成した。フォトレジスト層と透明層を合わせた光路差調整層の膜厚は2.7μmであった。また、最表面のフォトレジスト層の水との接触角を接触角測定器(協和界面科学(株)製CA−Z型)を用いて測定(マイクロシリンジから液滴を滴下して30秒後)したところ23.5°であった。
(Unevenness forming process)
The transparent substrate on which the liquid repellent portion was formed was treated for 120 seconds using an aqueous solution containing 20 wt% hydrofluoric acid as an etching solution to form a transparent layer. The film thickness of the optical path difference adjusting layer including the photoresist layer and the transparent layer was 2.7 μm. Also, the contact angle of the outermost photoresist layer with water was measured using a contact angle measuring device (CA-Z type manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) (30 seconds after dropping a droplet from a microsyringe) As a result, it was 23.5 °.
(着色層形成工程)
着色層に用いるネガ型着色レジストとして以下組成の感光性樹脂溶液をスピンコーティング法にて塗布した。
(Colored layer formation process)
As a negative coloring resist used for the colored layer, a photosensitive resin solution having the following composition was applied by a spin coating method.
<感光性樹脂溶液>
・赤色顔料(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製 クロモフタルレッドA2B)
・・・4.8重量部
・黄色顔料(BASF社製 パリオトールイエローD1819) ・・・1.2重量部
・分散剤(ビックケミー社製 ディスパービック161) ・・・3.0重量部
・モノマー(サートマー社製SR399) ・・・4.0重量部
・ポリマーI ・・・5.0重量部
・イルガキュア907(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)・・・1.4重量部
・(2,2‘ビス(o-クロロフェニル)-4,5,4',5'-テトラフェニル-1,2’-ビイミダゾール) ・・・0.6重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・80.0重量部
※ポリマーIはベンジルメタクリレート:スチレン:アクリル酸:2-ヒドロキシエチルメタクリレート=15.6:37.0:30.5:16.9(モル比)の共重合体100モル%に対して、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネートを16.9%付加したものであり、重量平均分子量は42500である。
80℃のホットプレート上にて180秒間加熱を行った後、プロキシミティ露光機(株式会社トプコン社製 TME−400R)にて所定のフォトマスクを用いて露光を行った。フォトマスクは石英ガラス製であり、表面の酸化クロム膜上に所定のパターンが描画してあるものを使用した。高圧水銀ランプを光源とし、条件は、露光量100mJ/cm2(波長365nm)および露光ギャップ(透明基板とフォトマスク間距離)150μmとした。
KOH系のアルカリ現像液を用いて現像を行い、200℃のオーブンにて30分焼成を行った。透過光用領域すなわちガラスエッチング部分の着色層膜厚は2.0μm、反射光用領域すなわち光路差調整層上の着色層膜厚は0.8μmであった。
<Photosensitive resin solution>
・ Red pigment (Chromophthal Red A2B, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
4.8 parts by weight, yellow pigment (Pariotor Yellow D1819, manufactured by BASF) 1.2 parts by weight, dispersant (Disperbic 161, manufactured by Big Chemie) 3.0 parts by weight, monomer ( SR 399 manufactured by Sartomer Co., Ltd.) 4.0 parts by weight, Polymer I, 5.0 parts by weight, Irgacure 907 (manufactured by Ciba Specialty Chemicals), 1.4 parts by weight, (2,2 ' Bis (o-chlorophenyl) -4,5,4 ′, 5′-tetraphenyl-1,2′-biimidazole) ・ ・ ・ 0.6 parts by weight ・ Propylene glycol monomethyl ether acetate ・ ・ ・ 80.0 parts by weight * Polymer I is benzyl methacrylate: styrene: acrylic acid: 2-hydroxyethyl methacrylate = 15.6: 37.0: 30.5: 16.9 (molar ratio) 100 mol% copolymer On the other hand, 16.9% of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate is added, and the weight average molecular weight is 42500.
After heating on an 80 ° C. hot plate for 180 seconds, exposure was performed using a predetermined photomask with a proximity exposure machine (TME-400R manufactured by Topcon Corporation). The photomask was made of quartz glass, and a photomask having a predetermined pattern drawn on the chromium oxide film on the surface was used. A high pressure mercury lamp was used as a light source, and the conditions were an exposure amount of 100 mJ / cm 2 (wavelength 365 nm) and an exposure gap (distance between the transparent substrate and the photomask) of 150 μm.
Development was performed using a KOH-based alkaline developer, and baking was performed in an oven at 200 ° C. for 30 minutes. The thickness of the colored layer in the transmitted light region, ie, the glass etched portion, was 2.0 μm, and the thickness of the colored layer on the reflected light region, ie, the optical path difference adjusting layer, was 0.8 μm.
[実施例2]
実施例1にて用いたフォトレジスト層用のネガ型レジストの代わりに、撥液性を有しないフォトレジスト層用材料として下記の組成のネガ型感光性樹脂溶液を用いた。
[Example 2]
Instead of the negative resist for the photoresist layer used in Example 1, a negative photosensitive resin solution having the following composition was used as a photoresist layer material having no liquid repellency.
<ネガ型感光性樹脂溶液>
・メタクリル酸−スチレン−メタクリル酸共重合体 ・・・42.0重量部
・ペンタエリスリトールペンタアクリレート ・・・32.0重量部
・エポキシ樹脂(ジャパン エポキシ レジン(株)製) ・・・18.0重量部
・イルガキュア907(チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製) ・・・7.0重量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・300重量部
<Negative photosensitive resin solution>
• Methacrylic acid-styrene-methacrylic acid copolymer: 42.0 parts by weight • Pentaerythritol pentaacrylate: 32.0 parts by weight • Epoxy resin (manufactured by Japan Epoxy Resins Co., Ltd.): 18.0 Part by weight · Irgacure 907 (Ciba Specialty Chemicals) · · · 7.0 parts by weight · Propylene glycol monomethyl ether acetate · · · 300 parts by weight
フォトレジスト層形成工程において、上記組成のネガ型感光性樹脂溶液をフォトレジスト層用材料として用いたこと以外は実施例1と同様にして、光路差調整層を形成したところ、フォトレジスト層と透明層を合わせた光路差調整層の膜厚は2.7μmであった。また、最表面のフォトレジスト層の水との接触角を接触角測定器(協和界面科学(株)製CA−Z型)を用いて測定(マイクロシリンジから液滴を滴下して30秒後)したところ8°であった。この基板上に実施例1と同様にして着色層を形成したところ、透過光用領域の着色層膜厚は2.0μm、反射光用領域すなわち光路差調整層上の着色層膜厚は1.3μmであった。 In the photoresist layer forming step, the optical path difference adjusting layer was formed in the same manner as in Example 1 except that the negative photosensitive resin solution having the above composition was used as the material for the photoresist layer. The film thickness of the optical path difference adjusting layer including the layers was 2.7 μm. Also, the contact angle of the outermost photoresist layer with water was measured using a contact angle measuring device (CA-Z type manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) (30 seconds after dropping a droplet from a microsyringe) As a result, it was 8 °. When a colored layer was formed on this substrate in the same manner as in Example 1, the colored layer thickness in the transmitted light region was 2.0 μm, and the colored layer thickness on the reflected light region, that is, the optical path difference adjusting layer was 1. It was 3 μm.
(実施例1および実施例2の評価)
透明基板上に形成した凸部を光路差調整層に用いることで、実施例1および実施例2で形成されたカラーフィルタの反射光用領域の着色層は輝度の高いものとすることができた。また、撥液性を有するフォトレジストにより、光路差調整層に撥液性を付与した実施例1では、光路差調整層に撥液性を有しない実施例2に比べて、反射光用領域の着色層をより薄膜化することができた。
(Evaluation of Example 1 and Example 2)
By using the convex portion formed on the transparent substrate for the optical path difference adjusting layer, the colored layer in the reflected light region of the color filter formed in Example 1 and Example 2 could have high luminance. . Further, in Example 1 in which the optical path difference adjusting layer is provided with liquid repellency by using a liquid repellent photoresist, the reflected light region is not compared to Example 2 in which the optical path difference adjusting layer does not have liquid repellency. The colored layer could be made thinner.
[実施例3]
実施例3として、レジストをフォトリソグラフィーにて形成後、エッチングにて光路差調整層を形成したのち、凸部の液晶表示反射部領域に対し研磨を行い、散乱機能を付与する例を示す。
[Example 3]
Example 3 shows an example in which a resist is formed by photolithography, an optical path difference adjusting layer is formed by etching, and then the liquid crystal display reflection part region of the convex part is polished to give a scattering function.
(フォトレジスト層形成工程)
液晶表示装置用カラーフィルタ向けとして一般的な無アルカリガラス(コーニング社製 EAGLE2000)を用い、下記組成のポジ型感光性樹脂溶液を塗布し乾燥した。
(Photoresist layer forming process)
A general alkali-free glass (EAGLE 2000 manufactured by Corning) was used for a color filter for a liquid crystal display device, and a positive photosensitive resin solution having the following composition was applied and dried.
<ポジ型感光性樹脂溶液>
・アルカリ可溶性ノボラック樹脂(ジャパン エポキシ レジン(株)製 MP402FPY) ・・・90重量部
・キノンジアジド基含有ベンゾフェノン化合物(東洋合成工業(株)製 NTester
) ・・・9重量部
・添加剤(信越化学工業(株)製KBM-403)・・・1重量部
・溶剤(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) ・・・250重量部
・溶剤(シクロヘキサノン) ・・・50重量部
<Positive photosensitive resin solution>
・ Alkali-soluble novolak resin (MP402FPY, manufactured by Japan Epoxy Resin Co., Ltd.) 90 parts by weight-Quinonediazide group-containing benzophenone compound (NTester manufactured by Toyo Gosei Co., Ltd.)
9 parts by weight Additive (KBM-403 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 1 part by weight Solvent (propylene glycol monomethyl ether acetate) 250 parts by weight Solvent (cyclohexanone)・ 50 parts by weight
(露光工程および現像工程)
80℃のホットプレート上にて180秒間加熱を行った後、プロキシミティ露光機(株式会社トプコン社製 TME−400R)にて所定のフォトマスクを用いて露光を行った。フォトマスクは石英ガラス製であり、表面の酸化クロム膜上に所定のパターンが描画してあるものを使用した。高圧水銀ランプを光源とし、条件は、露光量100mJ/cm2(波長365nm)および露光ギャップ(透明基板とフォトマスク間距離)150μmとした。KOH系のアルカリ現像液を用いて現像を行い不要なレジスト部を除去した。
(Exposure process and development process)
After heating on an 80 ° C. hot plate for 180 seconds, exposure was performed using a predetermined photomask with a proximity exposure machine (TME-400R manufactured by Topcon Corporation). The photomask was made of quartz glass, and a photomask having a predetermined pattern drawn on the chromium oxide film on the surface was used. A high pressure mercury lamp was used as a light source, and the conditions were an exposure amount of 100 mJ / cm 2 (wavelength 365 nm) and an exposure gap (distance between the transparent substrate and the photomask) of 150 μm. Development was performed using a KOH-based alkaline developer to remove unnecessary resist portions.
(凹凸形成工程および剥離工程)
次に、上記透明基板を、エッチング溶液としてフッ酸を20wt%含む水溶液を用い160秒処理し透明層を形成したのち、残存したレジスト部をKOH系の剥離液を用いて除去した。以上の工程により透明基板上に線幅30μm、および膜厚2.7μmの光路差調整層が形成できた。
(Unevenness forming process and peeling process)
Next, the transparent substrate was treated with an aqueous solution containing 20 wt% hydrofluoric acid as an etching solution for 160 seconds to form a transparent layer, and then the remaining resist portion was removed using a KOH-based stripping solution. Through the above steps, an optical path difference adjusting layer having a line width of 30 μm and a film thickness of 2.7 μm could be formed on the transparent substrate.
(研磨工程)
光路差調整層が形成された上記透明基板の凸部上に下記の方法により散乱機能を付与した。研磨剤として、2.5μmの粒径を有する酸化アルミニウムを10wt%およびフッ酸を10wt%含む水溶液を用い、回転式の研磨装置を用い20rpmの回転数にて45秒間研磨を行ったところ、光路差調整層の表面に散乱部が形成された。表面粗度を測定したところ、700nmであった。
(Polishing process)
A scattering function was imparted by the following method on the convex portion of the transparent substrate on which the optical path difference adjusting layer was formed. When an aqueous solution containing 10 wt% of aluminum oxide having a particle diameter of 2.5 μm and 10 wt% of hydrofluoric acid was used as an abrasive, polishing was performed for 45 seconds at a rotation speed of 20 rpm using a rotary polishing apparatus. Scattering portions were formed on the surface of the difference adjustment layer. The surface roughness was measured and found to be 700 nm.
(着色層形成工程)
実施例1と同様の感光性樹脂溶液をスピンコーティング法にて塗布し、80℃のホットプレート上にて180秒間加熱を行った後、プロキシミティ露光機(株式会社トプコン社製 TME−400R)にて所定のフォトマスクを用いて露光を行った。フォトマスクは石英ガラス製であり、表面の酸化クロム膜上に所定のパターンが描画してあるものを使用した。高圧水銀ランプを光源とし、条件は、露光量100mJ/cm2(波長365nm)および露光ギャップ(透明基板とフォトマスク間距離)150μmとした。KOH系のアルカリ現像液を用いて現像を行い、200℃のオーブンにて30分焼成を行った。透過光用領域すなわちガラスエッチング部分の着色層膜厚は2.0μm、反射光用領域すなわち光路差調整層上の着色層膜厚は1.0μmであった。
(Colored layer formation process)
The same photosensitive resin solution as in Example 1 was applied by spin coating, heated on a hot plate at 80 ° C. for 180 seconds, and then placed on a proximity exposure machine (TME-400R manufactured by Topcon Corporation). Then, exposure was performed using a predetermined photomask. The photomask was made of quartz glass, and a photomask having a predetermined pattern drawn on the chromium oxide film on the surface was used. A high pressure mercury lamp was used as a light source, and the conditions were an exposure amount of 100 mJ / cm 2 (wavelength 365 nm) and an exposure gap (distance between the transparent substrate and the photomask) of 150 μm. Development was performed using a KOH-based alkaline developer, and baking was performed in an oven at 200 ° C. for 30 minutes. The thickness of the colored layer in the transmitted light region, that is, the glass etched portion, was 2.0 μm, and the thickness of the colored layer on the reflected light region, that is, the optical path difference adjusting layer, was 1.0 μm.
(実施例3の評価)
実施例3のカラーフィルタを用いて液晶表示装置を作製したところ、反射表示での虹色の干渉光が低減できることが確認できた。
(Evaluation of Example 3)
When a liquid crystal display device was produced using the color filter of Example 3, it was confirmed that the rainbow interference light in the reflective display could be reduced.
1 … 透明基板
2 … 着色層
3 … 撥液部
3’ … フォトレジスト層
4 … 光散乱部
5 … フォトマスク
6 … 露光光
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ...
Claims (3)
前記透明基板の凸部が光路差調整機能を有し、
前記透明基板の凸部の上部表面上に撥液部を有することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ。 A transparent substrate having irregularities formed thereon, and a colored layer formed on the transparent substrate so as to cover the transparent substrate, and a colored layer formed on the concave portion of the transparent substrate and the concave portion of the transparent substrate. A color filter for a transflective liquid crystal display device, which is used as a region for transmitted light, and uses a convex portion of the transparent substrate and a colored layer formed on the convex portion of the transparent substrate as a region for reflected light,
The convex part of the transparent substrate has an optical path difference adjusting function ,
A color filter for a transflective liquid crystal display device, comprising a liquid repellent portion on an upper surface of a convex portion of the transparent substrate .
前記透明基板上に透明性および撥液性を有するフォトレジストからなるフォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程と、前記フォトレジスト層を露光する露光工程と、前記フォトレジスト層を現像してパターン状にする現像工程と、前記透明基板をエッチングして前記透明基板の凹凸を形成する凹凸形成工程とを少なくとも有し、
前記凹凸形成工程で残存した前記フォトレジスト層を用いて前記透明層の凸部の上部表面上に撥液機能を付与することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。 A method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device according to claim 1 or 2 ,
A photoresist layer forming step of forming a photoresist layer made of a photoresist having transparency and liquid repellency on the transparent substrate, an exposure step of exposing the photoresist layer, and developing and patterning the photoresist layer At least a developing step for forming a concave and convex portion for etching the transparent substrate to form the concave and convex portions of the transparent substrate,
A method for producing a color filter for a transflective liquid crystal display device, wherein a liquid repellent function is imparted on the upper surface of the convex portion of the transparent layer using the photoresist layer remaining in the irregularity forming step.
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