JP4977283B2 - 光信号増幅装置 - Google Patents

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Description

本発明は、高度光信号処理が必要な光通信、光画像処理、光コンピュータ、光計測などの光エレクトロニクスに好適な光信号増幅装置に関するものである。
光信号の増幅のためにはエルビウムドープ光ファイバ増幅器(EDFA)や半導体光増幅器(SOA)が従来用いられている。しかし、たとえば光増幅器で発生した雑音を除去するためには、高速で伝送する光信号を一旦電気信号に変換し、電子回路において雑音除去および信号処理が行われ、処理後の信号を再度光に変換して伝送するというのが実情である。すなわち、光信号を直接光信号のまま信号処理することができないので、信号処理の高速性に限界があった。
したがって、広帯域且つ高速伝送が可能な光ファイバ通信を用いた動画像通信や映像の分配といった広帯域な情報提供サービスや大容量の情報の高速処理などの分野において、光信号のままを信号処理する技術が期待されている。しかしながら、たとえばエレクトロニクスでいう負帰還増幅器やオペアンプに相当するような高性能な信号増幅器は光エレクトロニクスの分野では実現されていない。すなわち、低雑音でしかも種々の信号演算処理が可能な高性能な光信号増幅器が渇望されている。
これに対し、特許文献1或いは特許文献2に記載されているように、本発明者は入力光を制御光を用いて信号増幅された出力信号光を得る機能を備えた光信号増幅3端子装置を先に提案した。この特許文献1には、第1波長の第1入力光を第2波長の一定強度の第2入力光(バイアス光)と共に第1光増幅素子に入力させ、その第1光増幅素子の出力光を第1波長の制御光と共に第2光増幅素子に入力させることにより、スイッチング制御等の処理が施された出力光を第2光増幅素子から得るための光制御装置が開示されている。この光制御装置で用いられている第1光増幅素子および第2光増幅素子はいずれも相互利得変調効果を利用したものである。また、特許文献2には、第1波長の第1入力光を第2波長の一定強度の第2入力光(バイアス光)と共に第1光増幅素子に入力させ、その第1光増幅素子の出力光を第1波長の制御光と共に第2光増幅素子に入力させ、その第2光増幅素子からの出力光の一部を第1光増幅素子の入力側へ正帰還させることにより、大きく増幅された出力光を高い変調度で得るための光機能装置が開示されている。
WO02/061502A1 WO02/086616A1
ところで、一般に、従来の光増幅素子は単純な信号増幅作用を有するものに過ぎないので、雑音に対しても信号と同じように増幅する欠点ががあった。そのため、入力信号光の大きさや周波数に関連してその出力信号光のゲイン(利得)、波形、基線が安定せず、高度な信号処理が困難であった。また、場合によっては、過大な大きさの入力信号光が入力された場合にはそれがさらに増幅されて光サージとして出力されるという不都合もあった。また、上記従来の光制御装置或いは光機能装置においても、光信号を処理する上でさらにゲインの安定などの改良が必要であった。
本発明は以上の事情を背景として為されたものであり、その目的とするところは、ゲイン、波形、基線が安定し、或いは過大な大きさの入力信号光が入力されてもそれが抑制された出力信号光が得られる低雑音で高性能な負帰還光増幅装置を提供することにある。
発明の開示
ところで、半導体光増幅素子やエルビウム等の希土類元素添加ファイバアンプなどの相互利得変調作用を有する光増幅素子においては、所定の第1波長λ の入力光の周囲波長の自然放出光が、その入力光の強度変化に応答して強度変化し、その変化は入力光の信号強度変化に対して逆の強度変化をする性質があり、それが光増幅素子の出力信号光とともに出力される性質がある。このため、上記光増幅素子からの出力光から波長選択素子を用いて上記第1波長λ の出力信号光をそれ以外の波長の周囲光から分離して利用し、その周囲光は利用しないで廃棄するのが一般的である。すなわち、周囲光の自然放出光は雑音の原因となるので、フィルタでそれを除去するのが常識的であった。このような状況において、本発明者は、前記の課題を解決するために種々の検討を重ねるうち、上記分離された周囲光を上記光増幅素子に帰還させると、驚くべきことに、光増幅素子の出力光がそれまでとは急変して、そのゲインが略一定となって波形および基線が安定するという負帰還光増幅現象を見出した。本発明はこのような知見に基づいて為されたものである。
すなわち、第1発明の光信号増幅装置の要旨とするところは、入力信号光と同じ第1波長であって該入力光と同じ位相の強度を有する出力信号光を出力する光信号増幅装置であって、(a) 前記出力信号光と、該出力信号光とは異なる周辺波長であって該出力信号光とは反転した位相で強度変化する周辺光とを出力する相互利得変調作用を有する第1光増幅素子と、(b) 前記入力信号光のみを前記第1光増幅素子に入力させる信号光入力手段と、(c) その第1光増幅素子の出力光の中から前記第1波長の出力信号光と該第1波長とは異なる波長の周辺光の全部または1部とを分離する波長選択素子と、(d) 前記第1光増幅素子に負帰還増幅作用を発生させるために、該波長選択素子によって分離された周辺光の全部または1部を帰還させて該第1光増幅素子に入力させる光帰還手段とを、含むことにある。
また、第2発明の要旨とするところは、入力信号光と同じ第1波長であって該入力光と同じ位相の強度を有する出力信号光を出力する光信号増幅装置であって、(a) 前記出力信号光と、該出力信号光とは異なる周辺波長であって該出力信号光とは反転した位相の強度を有する周辺光とを出力する相互利得変調作用を有する第1光増幅素子と、(b) 前記入力信号光のみを前記第1光増幅素子に入力させる信号光入力手段と、(c) その第1光増幅素子の出力光の中から該第1波長の出力信号光と該第1波長とは異なる波長の周辺光の全部または1部とを分離する波長選択素子と、(d) その波長選択素子によって分離された周辺光を増幅する第2光増幅素子と、(e) 前記第1光増幅素子に負帰還増幅作用を発生させるために、該第2光増幅素子によって増幅された周辺光を帰還させて該第1光増幅素子に入力させる光帰還手段とを、含むことにある。
また、第3発明の光信号増幅装置の要旨とするところは、上記第1発明や第2発明において、前記第1光増幅素子に、前記反転した位相の強度を有する周辺光を帰還させる量を制御することにより前記出力信号光の増幅度を制御する増幅度制御手段を有することにある。
また、第4発明の要旨とするところは、上記第2発明において、前記第1波長と異なる波長を有する第2入力光を前記第2光増幅素子にさらに入力させる第2入力光入力手段を備え、前記第1光増幅素子の負帰還増幅作用を増強したことにある。
また、第5発明の要旨とするところは、上記第2発明または第4発明において、前記第2光増幅素子に入力する第2入力光の強度を制御することにより前記光信号増幅装置の増幅度を制御する増幅度制御手段を有することにある。
また、第6発明の要旨とするところは、前記第1発明乃至発明のいずれかにおいて、前記波長選択素子は、光伝播方向において屈折率が周期的に変化させられたグレーティングフィルタ、屈折率が異なる一対の層が多数組積層された多層膜フィルタ、フォトニッククリスタルフィルタのいずれかから構成されたものであることにある。
また、第7発明の要旨とするところは、前記第1発明乃至発明のいずれかにおいて、前記信号光入力手段および/または光帰還手段は、光カプラ、光サーキュレータ、方向性結合素子、光アド・ドロップフィルタ、または波長選択素子から構成されたものであることにある。
また、第8発明の要旨とするところは、前記第1発明乃至発明のいずれかにおいて、前記第1光増幅素子および/または第2光増幅素子は、pn接合から成る活性層を備えた半導体光増幅素子であって、該活性層がバルク、量子井戸、歪み超格子、または量子ドットから構成されたものであることにある。
また、第9発明の要旨とするところは、前記第8発明において、前記第1光増幅素子および/または第2光増幅素子は、一端部に反射手段を備えた反射型半導体光増幅素子であることにある。
また、第10発明の要旨とするところは、前記第8発明または第9発明において、前記第1光増幅素子および第2光増幅素子、前記波長選択素子、前記信号光入力手段および/または光帰還手段は、1チップの半導体基板上に形成された光導波路においてそれぞれ設けられたものであることである。
また、第11発明の要旨とするところは、前記第1発明乃至第10発明のいずれかにおいて、前記光信号増幅装置は、光オペアンプ、光差動増幅器、光加減算回路、光微積分回路、光フリップフロップ回路、光リミッタ、光サージ抑制器の一部または全部を構成するものであることにある。
上記第1発明の光信号増幅装置によれば、(a) 前記出力信号光と、該出力信号光とは異なる周辺波長であって該出力信号光とは反転した位相で強度変化する周辺光とを出力する相互利得変調作用を有する第1光増幅素子と、(b) 前記入力信号光のみを前記第1光増幅素子に入力させる信号光入力手段と、(c) その第1光増幅素子の出力光の中から前記第1波長の出力信号光と該第1波長とは異なる波長の周辺光の全部または1部とを分離する波長選択素子と、(d) 前記第1光増幅素子に負帰還増幅作用を発生させるために、該波長選択素子によって分離された周辺光の全部または1部を帰還させて該第1光増幅素子に入力させる光帰還手段とが備えられていることから、第1光増幅素子の出力光中に含まれる周辺光はその出力光中に含まれる第1波長の出力信号光と強度が反転していることから、その出力光から分離されて第1光増幅素子に入力される周辺光の一部または全部は、出力信号光の強度が大きいほど小さい強度となって信号の負帰還状態となるので、出力信号光のゲイン、波形、基線が好適に安定する。
また、上記第2発明の光信号増幅装置によれば、(a) 前記出力信号光と、該出力信号光とは異なる周辺波長であって該出力信号光とは反転した位相の強度を有する周辺光とを出力する相互利得変調作用を有する第1光増幅素子と、(b) 前記入力信号光のみを前記第1光増幅素子に入力させる信号光入力手段と、(c) その第1光増幅素子の出力光の中から該第1波長の出力信号光と該第1波長とは異なる波長の周辺光の全部または1部とを分離する波長選択素子と、(d) その波長選択素子によって分離された周辺光を増幅する第2光増幅素子と、(e) 前記第1光増幅素子に負帰還増幅作用を発生させるために、該第2光増幅素子によって増幅された周辺光の一部または全部を帰還させて該第1光増幅素子に入力させる光帰還手段とが備えられていることから、第1光増幅素子の出力光中に含まれる周辺光の一部または全部はその出力光中に含まれる第1波長の出力信号光と強度が反転させられており、さらに第2光増幅素子により増幅されて第1光増幅素子に入力されるので、出力信号光の強度が大きいほど小さい強度となって信号の負帰還状態となり、その出力信号光のゲイン、波形、基線が安定する。また、第1光信号増幅素子内では入力信号光の強度変化によって相互利得変調を生じさせているが、入力光全体の強度が弱くなると相互利得変調作用が弱くなり、強度が反転した周辺光の信号が弱くなって負帰還作用が弱くなるが、本第2発明によれば、その弱くなった周辺光の反転信号を第2光増幅素子で増幅することによって負帰還作用が増強される。すなわち、入力光の全体強度が弱い場合でも第2光増幅素子で周辺光の反転信号を増幅することによって負帰還作用を安定させることが可能となる。さらに、第1波長の入力信号光の強度が大きくなるほど増幅のゲインが小さくなる特性が顕著に得られるので、過大な大きさの入力信号光が入力されてもそれが抑制された出力信号光が得られる。
また、上記第3発明の光信号増幅装置によれば、上記第1発明や第2発明において、前記第1光増幅素子に、前記反転した位相の強度を有する周辺光を帰還させる量を制御することにより前記出力信号光の増幅度を制御する増幅度制御手段が設けられていることから、用途や光回路の特性に応じて所望の増幅度が設定され得る。
また、上記第4発明の光信号増幅装置によれば、上記第2発明において、前記第1波長と異なる波長を有する第2入力光を前記第2光増幅素子にさらに入力させる第2入力光入力手段が備えられて前記第1光増幅素子の負帰還増幅作用が増強されているので、出力信号光のゲイン、波形、基線が一層好適に安定する。
また、上記第5発明の光信号増幅装置によれば、上記第2発明または第4発明において、前記第2光増幅素子に入力する第2入力光の強度を制御することにより前記光信号増幅装置の増幅度を制御する増幅度制御手段が設けられていることから、用途や光回路の特性に応じて所望の増幅度が高速に制御され或いは設定され得る。
また、上記第6発明の光信号増幅装置によれば、前記第1発明乃至発明のいずれかにおいて、前記波長選択素子が、光伝播方向において屈折率が周期的に変化させられたグレーティングフィルタ、屈折率が異なる一対の層が多数組積層された多層膜フィルタ、フォトニッククリスタルフィルタのいずれかから構成されたものであることから、半導体によって光信号増幅装置が容易に小型化或いは1チップ化できる。
また、上記第7発明の要旨とするところは、前記第1発明乃至発明のいずれかにおいて、前記信号光入力手段および/または光帰還手段は、光カプラ、光サーキュレータ、方向性結合素子、光アド・ドロップフィルタ、または波長選択素子から構成されたものであることから、光信号増幅装置を容易に小型化できる利点がある。また、光アド・ドロップフィルタを用いる場合には、出力信号光と周辺光とが効率よく分離され、同時にそれぞれ光ファイバ出力される利点がある。
また、上記第8発明の要旨とするところは、前記第1発明乃至発明のいずれかにおいて、前記第1光増幅素子および/または第2光増幅素子は、pn接合から成る活性層を備えた半導体光増幅素子であって、その活性層がバルク、量子井戸、歪み超格子、または量子ドットから構成されたものであることから、半導体によって光信号増幅装置が容易に小型化或いは1チップ化できる。上記量子井戸または量子ドットが用いられる場合は、光信号増幅装置の高速スイッチング性能が高められ、歪み超格子が用いられる場合は、光偏波依存性の小さい光信号増幅装置が得られる。
また、上記第9発明の要旨とするところは、前記第8発明において、前記第1光増幅素子および/または第2光増幅素子は、一端部に反射手段を備えた反射型半導体光増幅素子であることから、信号処理について高効率が得られる。
また、上記第10発明の要旨とするところは、前記第8発明または第9発明において、前記第1光増幅素子および第2光増幅素子、前記波長選択素子、前記信号光入力手段および/または光帰還手段は、1チップの半導体基板上に形成された光導波路においてそれぞれ設けられたものであることから、半導体によって光信号増幅装置が容易に小型化或いは1チップ化できる。
また、上記第11発明の要旨とするところは、前記第1発明乃至第10発明のいずれかにおいて、前記光信号増幅装置は、光オペアンプ、光差動増幅器、光加減算回路、光微積分回路、光フリップフロップ回路、光リミッタ、光サージ抑制器の一部または全部を構成するものであることから、種々の光回路において高い汎用性が得られる。
ここで、前記光信号増幅装置を構成する光増幅素子としては、pn接合から成る活性層を備えた半導体光増幅素子が好適に用いられるが、必ずしも半導体光増幅素子でなくてもよく、たとえばエルビウム等の希土類元素が添加されたファイバアンプなどであってもよい。要するに、相互利得変調作用を有する光増幅素子であればよい。たとえば、第1波長のレーザ光の入射によってそのレーザ光を増幅して出力すると同時に、その波長を中心とする周囲波長を有してそのレーザ光の強度変調に反比例して強度が増減する自然光をも出力する。上記相互利得変調作用とは、この自然光中の波長である第2波長の一定強度のレーザ光が入力された場合には、上記入射光と反転して変調された第2波長の出力光が得られる現象を言う。
また、前記周囲光は、相互利得変調作用を有する光増幅素子内において、入力信号光の第1波長を中心としてその左右の波長帯或いは周囲の波長帯に発生する光であって、その第1波長の出力信号光の強度とは逆位相に変調されている。このため、前記波長選択素子は、第1光増幅素子からの出力光から前記第1波長の周辺光の全部を分離するものであってもよいし、1部を分離して、負帰還させるものであればよい。なお、第2光増幅素子は、単に光増幅素子として機能しているだけで、相互利得変調作用は行っていない。この点も本発明の主要な特徴の1つであり、従来のものと相違している点である。
図1は、本発明の一実施例の1段型の光信号増幅装置の回路構成を説明するブロック図である。 図2は、図1の実施例の光信号増幅装置を構成する光増幅素子が半導体光増幅素子により構成された場合の外形を示す斜視図である。 図3は、図1の光信号増幅装置における第1光増幅素子の出力スペクトルを示す図であって、上段は入力信号光がオン状態であるときの出力信号光を示し、下段は入力信号光がオフ状態であるときの出力信号光を示している。 図4は、図1の実施例の光信号増幅装置の入出力信号波形を示すタイムチャートである。 図5は、図1の実施例の光信号増幅装置が1チップ半導体にモノリシック化された他の例を説明する図である。 図6は、本発明の他の実施例の2段型の光信号増幅装置の回路構成を説明するブロック図であって、図1に相当する図である。 図7は、図6の実施例の増幅作動を説明する波形であって、入力信号光が0.1GHzである場合の、入力信号光の波形を上段に、負帰還がないときの1段型の光信号増幅装置の出力信号光の波形を中段に、負帰還がある図6の実施例の場合の出力信号光の波形を下段に示す図である。 図8は、図6の実施例の増幅作動を説明する波形であって、入力信号光が1GHzである場合の、負帰還がないときの1段型の光信号増幅装置の出力信号光の波形を中段に、負帰還がある図6の実施例の場合の出力信号光の波形を下段に示す図である。 図9は、図6の実施例の増幅作動を説明する波形であって、入力信号光が10GHzである場合の、入力信号光の波形を上段に、負帰還がないときの1段型の光信号増幅装置の出力信号光の波形を中段に、負帰還がある図6の実施例の場合の出力信号光の波形を下段に示す図である。 図10は、図1および図6の光信号増幅装置の、入力信号光強度PINに対する変調度Mの変化特性を負帰還のないものと対比して示す図である。 図11は、図1および図6の光信号増幅装置の、入力信号光強度PINに対する増幅度Aの変化特性を負帰還のないものと対比して示す図である。 図12は、図1および図6の光信号増幅装置の、入力信号光の周波数に対する変調度の比の変化特性を、負帰還のないものと対比して示す図である。 図13は、図6の実施例の光信号増幅装置が1チップ半導体にモノリシック化された例を説明する図である。 図14は、本発明の他の実施例の2段型の光信号増幅装置の回路構成を説明するブロック図であって、図6に相当する図である。 図15は、図14の実施例の光信号増幅装置において、反射手段の反射率を変更した場合の入力信号光の周波数に対する増幅度Aの変化特性を示す図である。 図16は、本発明の他の実施例の2段型の光信号増幅装置の回路構成を説明するブロック図であって、図6に相当する図である。 図17は、図16の実施例の光信号増幅装置において、第2入力光の強度に対する増幅度Aの変化特性を示す図である。 図18は、図16の実施例の光信号増幅装置の作動を波形を用いて説明するタイムチャートである。 図19は、図16の実施例の光信号増幅装置の作動を説明するために第2半導体光増幅素子から出力される周辺光のスペクトルを示す図である。 図20は、図14の実施例の光信号増幅装置が1チップ半導体にモノリシック化された例を説明する図である。 図21は、図6の光信号増幅装置に増幅度可変機能を設けた例を説明する図である。 図22は、図6の光信号増幅装置を用いた光フリプフロップ回路の構成例を説明する図である。
以下、本発明の一実施例の負帰還増幅機能を備えた光信号増幅装置10を図面に基づいて詳細に説明する。
図1において、波長選択素子12は、第1光増幅素子14からの出力光中のたとえば1550nmの第1波長λ の出力信号光LOUT とそれ以外の波長に周囲光L とを分離するためのものであり、所定の波長たとえば1545〜1555nm(中心波長1550nm)の光を透過させ且つそれ以外の波長λ (λ <1545nm或いはλ >1555nmの範囲における所定幅の波長帯)の全部または1部の光を反射させるものである。この波長選択素子12は、たとえば前記所定の波長たとえば1545〜1555nmの光を透過させるが、それ以外の波長λ の全部の光を反射させて光ファイバから成る帰還光路18へ出力する光アド・ドロップフィルタから構成されてもよいが、屈折率が異なる一対の層が多数組積層された多層膜フィルタ、或いは光伝播方向において屈折率が周期的に変化させられたグレーティングフィルタ、フォトニッククリスタルフィルタのいずれかから構成されてもよい。
光カプラ16は、入力信号光LINを第1光増幅素子14へ入力させるための信号光(第1)入力手段として機能するものであり、図示しないレーザ光源からのレーザ光が変調されて信号伝送路から搬送される第1波長λ の入力信号光LINを上記第1光増幅素子14に入力させる。上記光カプラ16は、たとえば、光ファイバにより構成された結合器或いは分波器、或いはハーフミラーによって構成される。光カプラ16は、第1波長λ の上記入力信号光LINを波長選択的に反射させ且つ上記それ以外の波長λ の光を透過させる光アド・ドロップフィルタに置き換えてもよい。また、上記波長選択素子12、第1光増幅素子14、光カプラ16の相互間の光の伝送路は、たとえば、光を厚み方向に閉じ込めつつ伝送する光導波路、或いは光を径方向に閉じ込めつつ伝送する光ファイバ等により構成される。
上記第1光増幅素子14は、たとえば図2に示すような半導体光増幅素子(SOA)から構成される。図2において、化合物半導体たとえばインジウム燐(InP)から構成される半導体基板20aの上に形成された光導波路20bは、その半導体基板20aの上にエピタキシャル成長させられたIII-V 族混晶半導体の多層膜であり、たとえばホトリソグラフィーを用いて所定幅のテープ状突起となるように形成されている。この光導波路20bは、半導体基板20aよりも屈折率が高い物質で構成されているので、光を厚み方向に閉じ込めつつ伝播させる機能を備えている。上記光導波路20b内の多層膜には、pn接合により構成された活性層26c、キャップ層などが含まれ、その上には上部電極20eが固着されている。この活性層20cは、半導体基板20aの下面に固着された下部電極20fと上記電極20eとの間に電圧が印加され且つ上記pn接合に電流が流されることによって電子・正孔対が形成され、その活性層20cを通過する光が誘導放射作用によって増幅されるようになっている。上記活性層20cは、バルク、多重量子井戸、歪み超格子、或いは量子ドットから構成されている。多重量子井戸である場合は、たとえば、InP半導体基板20aからエピタキシャル成長させられることにより格子整合されたInGaAs(100Åの厚み)とInGaAsP(100Åの厚み)との6対により構成され、その活性層20cの上には、組成(屈折率)が段階的に変化させられたグリン(GRIN)構造のガイド層(2000Å)が順次設けられている。この活性層20cのデバイス長(光路長さ)は600μmであり、たとえば250mAの電流値によるエネルギ注入によって注入された電子が通過する光子による誘導放射によって価電子帯へ移動させられるときに光エネルギを放出して通過光を増幅させると考えられている。この250mAの電流値によるエネルギ注入により、たとえば波長1550nmにおいて単体で20dB程度の利得が得られるものである。
上記の第1光増幅素子14は、たとえば所定波長のレーザ光の入射によってそのレーザ光を増幅して出力すると同時に、その波長を中心とする周囲波長を有してそのレーザ光の強度変調に反比例して強度が増減する自然光をも出力する所謂相互利得変調作用を備えており、第1波長λ の入力信号光LINが入射されると、図3に示すように、その第1波長λ の出力信号光LOUT とその第1波長λ とは異なる周囲波長すなわち第2波長λ を有する周囲光L とを含む光が出力される。図3の上段は、入力信号光LINがオン状態のときの出力光のスペクトルを示し、下段は入力信号光LINがオフ状態のときの出力光のスペクトルを示している。第1光増幅素子14の出力光に含まれる、第1波長λ の出力信号光LOUT と第2波長λ を有する周囲光L とは強度について位相が反転させられている。前記波長選択素子12により分離された周囲光L の全部または1部は、光ファイバ等により構成される帰還光路18により光カプラ16へ案内され、そこで入力信号光LINと合波されて第1光増幅素子14に入力される。本実施例では、帰還光路18が周囲光L の全部または1部をして第1光増幅素子14に入力させる光帰還手段或いは第2入力手段に対応している。
したがって、上記の光信号増幅装置10では、その出力光に含まれる周囲波長すなわち第2波長λ を有する周囲光L が光カプラ16を介して入力信号光LINと共に入力させられると、相互に光強度が反転させられていることから、エレクトロニクスで言うところの負帰還作用と同様の作用により、第1波長λ の入力信号光LINに対するゲインが安定化され、図4のタイムチャートに示すように、信号増幅率が略1程度(0dB)の第1波長λ の出力信号光LOUT が出力される。すなわち、光信号のみによる負帰還増幅的な作用が得られるので、後述の図7乃至図12に示すように、その出力信号光LOUT のゲイン(利得)、波形、基線が広範な周波数範囲において安定する。したがって、本実施例の光信号増幅装置10は、出力信号光LOUT を安定にする負帰還作用を利用して、光オペアンプ、光差動増幅回路、光加減算回路、光微積分回路を構成することができる。
エレクトロニクス分野のオペアンプは、非反転と反転の2つの入力端子を有し、増幅素子の出力電圧の一部を外部抵抗などを介して入力に帰還させる負帰還回路として使用される。前記オペアンプに正弦波を入力したとき、出力の正弦波の位相が同相の場合を非反転増幅器、入力の位相と丁度180°違う場合を反転増幅器と呼んでいる。本実施例の光信号増幅装置10は、出力の位相が入力と同相であることから、光版の非反転増幅器として物理的には位置付けられる。前記エレクトロニクス分野の非反転増幅器の電圧利得は1かそれ以上であり、帰還の抵抗が0、すなわち短絡の場合に利得が1となる。また、オペアンプは名前の由来からも理解できるように、加減算や微積分などのアナログ演算を非常に精度よく行うことができ、今日のアナログ電子回路の大部分を担っているといっても過言ではない。本実施例の光信号増幅装置10によれば、光回路において、上記エレクトロニクス分野におけるオペアンプと同様な重要な役割を担うことができる。
次に、本発明の他の実施例を説明する。なお、以下の説明において前述の実施例と共通する部分には同一の符号を付して説明を省略する。
図5は、上記光信号増幅装置10を1個の半導体チップに搭載してモノリシック化した他の例を示している。図5において、半導体基板28a上には、直線部とその中央に重ねた状態で連結された楕円部とから成る導波路28bが形成されており、その導波路28bの直線部の中央であって楕円部の一部となる部分に上部電極28cが設けられることにより前記第1光増幅素子14として機能させられている。上記導波路28bの直線部の出力側には、屈折率が周期的に変化させられることにより構成された波長選択素子30が設けられている。この波長選択素子30は、前述の波長選択素子12と同様に、第1光増幅素子14からの出力光中のたとえば1550nmの第1波長λ の出力信号光LOUT を透過させて出力し、それ以外の波長の周囲光L を反射させて第1光増幅素子14側すなわち入力側へ帰還させ、上記導波路28bの楕円部を循環させる。本実施例では、上記導波路28bの直線部が入力信号光LINを第1光増幅素子14に入力させる信号光入力手段(第1入力手段)として機能し、上記導波路28bの楕円部が波長選択素子30によって分離された周辺光L を帰還させて第1光増幅素子14に入力させる光帰還手段(第2入力手段)として機能している。
図6は、本発明の他の実施例の光信号増幅装置42の構成を説明する図である。図6において、波長選択素子12によって分離された周囲光L は、帰還光路18を介して第2光増幅素子44へ入力されてそこで増幅された後、光カプラ46によって入力信号光LINと合波され、その入力信号光LINとともに第1光増幅素子14に入力されるように構成されている。この光カプラ46は第2光増幅素子44の出力光と入力信号光LINと単に合波するものであればよく、前述の波長選択素子12のようなフィルタである必要はない。しかし、前述の光アド・ドロップフィルタなどを用いてもよい。前述のように、第1光増幅素子14の出力光中に含まれる周辺光L の一部または全部はその出力光中に含まれる第1波長λ の出力信号光LOUT と強度が反転させられており、さらに第2光増幅素子44により増幅されて第1光増幅素子14に入力されるので、負帰還機能が増強され、その出力信号光LOUT のゲイン、波形、基線が安定する。すなわち、低雑音化が実現されている。また、第1波長λ の入力信号光LINの強度が大きくなるほど増幅のゲインが小さくなる特性が得られるので、過大な大きさの入力信号光LINが入力されてもそれが抑制された出力信号光が得られる。本実施例では、光カプラ46が入力信号光LINを第1光増幅素子14へ入力させる信号光入力手段(第1入力手段)として機能し、帰還光路18が周辺光L の一部または全部を帰還させて第2光増幅素子44へ入力させる光帰還手段(第2入力手段)として機能している。
以下において、本発明者が行った実験の一部であって、周囲光L を帰還させないで単一の光増幅素子14を用いた場合と、周囲光L を帰還させる上記光信号増幅装置42を用いた場合の入力信号光LINと出力信号光LOUT の波形を説明する。図7は0.1GHzの入力信号光LINを入力させた場合の波形を、図8は1GHzの入力信号光LINを入力させた場合の波形を、図9は10GHzの入力信号光LINを入力させた場合の波形であって、上段は入力信号光LINを、中段は周囲光L を帰還させないで単一の光増幅素子14を用いた場合の出力波形を、下段は周囲光L を帰還させる上記光信号増幅装置42を用いた場合の出力波形LOUT をそれぞれ示している。各図7、図8、図9において明らかなように、周囲光L を帰還させる上記光信号増幅装置42を用いた場合は、周囲光L を帰還させないで単一の光増幅素子14を用いた場合に比較して、入力信号光LINに対して、安定したゲインと、変調度Mが高く且つ忠実な波形と、安定した基線とが得られる。なお、変調度M(%)は、信号波形の上ピークの値(極大値の信号電圧値)をV 、下ピークの値(極小値の信号電圧値)をV としたとき、M=100×(V −V )/(V +V )にて定義される。また、増幅度(率)A(デシベル:dB)は、入力信号光LINの信号パワー(電力)をPIN、出力信号光LOUT の信号パワー(電力)をPOUT としたとき、A=10log10 (POUT /PIN)で定義される。
また、本発明者が行った実験の一部であって、上述の1段型の光信号増幅装置10および2段型の光信号増幅装置42における0.5GHzで変調された入力信号光LINの強度に対する変調度特性を図10に、上述の1段型の光信号増幅装置10および2段型の光信号増幅装置42における入力信号光LINの強度に対する増幅度特性を図11に、上述の1段型の光信号増幅装置10および2段型の光信号増幅装置42における入力信号光LINの周波数に対する変調度の比(MOUT /MIN)を図12に、それぞれ示す。図10において、破線は周囲光L を帰還させない単一の光増幅素子14を用いた場合を示し、実線は1段型の光信号増幅装置10を用いた場合を示し、1点鎖線は2段型の光信号増幅装置42を用いた場合を示している。図10から明らかなように、1段型の光信号増幅装置10および2段型の光信号増幅装置42における変調度Mは、周囲光L を帰還させない単一の光増幅素子14を用いた場合に比較して格段に向上している。この場合、1段型の光信号増幅装置10を用いた場合を示す実線は、入力信号光LINの強度が100μW付近に至るまで周囲光L を帰還させないで単一の光増幅素子14を用いた場合と差異がない。つまり、負帰還作用の効果がほとんど見られない。一方、第1光増幅素子14に入力される周囲光L の強度が第2光増幅素子で増幅されている光信号増幅装置42が用いられる場合は、負帰還作用の効果が顕著である。この原因は、帰還させられる周囲光L の強度が低すぎるために第1光増幅素子14において負帰還作用が十分に得られないないからである。なぜなら、相互利得変調という現象は、本来入力光の強度の強い場合に生じるものであり、入力信号光LINの強度が100μW以下においては、十分に信号反転した周囲光L の強度が得られないためであると考えられる。その欠点を補うために、2段型の光信号増幅装置42では、反転した周囲光L の強度を第2の光増幅素子で増幅している。その結果、図10に示したように、100μW以下の弱い入力信号光LINの強度においても十分な負帰還作用が得られ、100%近い出力光の変調度が得られている。なお、一般の光通信においては100μW以下の光信号を用いることが多いことから、1段型の光信号増幅装置10では不十分である可能性がある場合には、本実施例のような2段型の光信号増幅装置42を用いることによって十分な性能が得られる。
また、図11において破線は周囲光L を帰還させない単一の光増幅素子14を用いた場合を示し、実線は1段型の光信号増幅装置10を用いた場合を示し、1点鎖線は2段型の光信号増幅装置42を用いた場合を示している。図11から明らかなように、1段型の光信号増幅装置10および2段型の光信号増幅装置42における増幅度Aは、周囲光L を帰還させない単一の光増幅素子14を用いた場合に比較して低く抑えられているが、これまでの波形の特性より格段に信号波形が改善されている。すなわち、低雑音化が実現されている。また、入力信号光LINの強度の増加とともに増幅度が抑制される特性を備えている。これにより、比較的過大な強度PIN(1000μW以上)を有する入力信号光LINが入力されたときには、出力信号光LOUT の強度POUT が急速に低下させられる。したがって、光信号増幅装置10および42は、光リミッタ、光サージ抑制器を構成することができる。
また、図12において、点線は周囲光L の帰還(負帰還)が行われない1段型の光信号増幅装置を用いた場合を示し、実線は負帰還を行った1段型の光信号増幅装置10を用いた場合を示し、1点鎖線は2段型の光信号増幅装置42を用いた場合を示している。この図12から明らかなように、入力信号光LINの変調度MINと出力信号光LOUT の変調度MOUT との間の比である変調度の比(MOUT /MIN)は、周囲光L の帰還(負帰還)が行われない1段型の光信号増幅装置では、比較して低く且つ入力信号光LINの周波数が3GHz以上となると急に低下するが、1段型の光信号増幅装置10、および2段型の光信号増幅装置42の場合の変調度の比(MOUT /MIN)は、全周波数帯域において略1付近の値を示す。0.1GHz乃至10GHzの高周波数且つ広帯域において、波形の歪みが極めて小さいこと、および2段型の光信号増幅装置42の特性が格段によいことが明らかである。
図13は、上記光信号増幅装置42を1個の半導体チップに搭載してモノリシック化した他の例を示している。図13において、半導体基板28a上には、直線部とその中央に重ねた状態で連結された楕円部とから成る導波路28bが形成されており、その導波路28bの直線部の中央であって楕円部の一部となる部分に上部電極28cおよび28dが設けられることにより前記第1光増幅素子14および第2光増幅素子44として機能させられている。上記導波路28bの直線部の出力側には、屈折率が周期的に変化させられることにより構成された波長選択素子30が設けられている。この波長選択素子30は、前述の波長選択素子12と同様に、第1光増幅素子14からの出力光中のたとえば1550nmの第1波長λ の出力信号光LOUT を透過させて出力し、それ以外の波長の周囲光L を反射させて第1光増幅素子14側すなわち入力側へ帰還させ、上記導波路28bの楕円部を循環させ、さらに第2光増幅素子44に入力させて周囲光L を増幅し、第1光増幅素子14に帰還させる。本実施例では、上記導波路28bの直線部が入力信号光LINを第1光増幅素子14に入力させる信号光入力手段(第1入力手段)として機能し、上記導波路28bの楕円部が波長選択素子30によって分離された周辺光L を帰還させて第1光増幅素子14に入力させる光帰還手段(第2入力手段)として機能している。
図14の2段型の光信号増幅装置54は、図6の2段型の光信号増幅装置42の変形例であって、第1光増幅素子14の出力光中の第1波長λ の出力信号光LOUT を透過させるがその出力光中から分離した周囲光L を第1光増幅素子14に向かって反射する特性を備えた波長選択素子56が波長選択素子12に替えて設けられ、帰還用の光路が除去され、第2光増幅素子44の入力側にミラー等の反射手段58が一体的に設けられている点において、上記図6の2段型の光信号増幅装置42と相違する。本実施例では、入力された入力信号光LINは第1光増幅素子14の相互利得変調によって発生させられた強度反転された周囲光L が波長選択素子56によって反射されて光路を逆進させられ、反射手段58により反射させられて再び第1光増幅素子14へ到達する過程で第2光増幅素子44により増幅され、第1光増幅素子14へ入射させられることにより負帰還作用が発生させられる。本実施例では、図6の2段型の光信号増幅装置42と同様の効果が得られるとともに、上記反射手段58の反射率を調整することによって周囲光L の負帰還量すなわち負帰還効果が変更され得る。たとえば図15に示すように入力信号光LINの周波数に対しては一定であるが所望の大きさの増幅度Aが得られるようになる。図15では、反射手段58の3段階の反射率値、RR1(=50%)、RR2(=80%)、RR3(=100%)がパラメータとして用いられており、RR1<RR2<RR3である。反射手段58の反射率RRが高い程負帰還量が多くなって増幅率が小さく設置される。本実施例では、光カプラ46が入力信号光LINを第1光増幅素子14へ入力させる信号光入力手段(第1入力手段)として機能し、反射手段58が波長選択素子56によって反射された周辺光L の一部または全部を反射することにより帰還させて第1光増幅素子14へ入力させる光帰還手段(第2入力手段)として機能している。なお、本実施例では、上記第2光増幅素子44と反射手段58とが一体化された反射型増幅器が用いられていたが別体に構成されたものでもよい。
図16の2段型の光信号増幅装置60は、図14の2段型の光信号増幅装置54の変形例であって、図17は光信号増幅装置60の増幅度特性を示している。本実施例の光信号増幅装置60は、第1波長λ とは異なる波長λ すなわち周囲光L の波長帯内で設定された例えば1535nmの単色レーザ光である第2入力光LIN2 が上記第2光増幅素子44に入力させられる点、第2光増幅素子44の入力側端面59がミラー等の前記反射手段58に替わる反射手段である点において、上記2段型の光信号増幅装置54と相違している。本実施例では、第2光増幅素子44において、波長選択素子56によって反射されて光路を逆進させられることにより帰還された周囲光L の反転信号が上記第2入力光LIN2 により増幅されることによって高強度の負帰還光が第1光増幅素子14へ入射されるので、高い負帰還効果が得られる。本実施例では、図6の2段型の光信号増幅装置42と同様の効果が得られる。すなわち、本実施例では、図18に示すように、一定強度の第2入力光LIN2 が第2半導体光増幅素子44に入力させられると、第1波長λ の出力信号光LOUT に対して強度が反転した比較的高強度の周囲光L が第2光増幅素子44から出力され、その比較的高強度の周囲光L と第1波長λ の入力信号光LINとが第1半導体光増幅素子14に入力され、第2出力信号光LOUT2および帰還用の周囲光LS1が得られる。本実施例では、光カプラ46が入力信号光LINおよび第2出力信号光LOUT2が第1半導体光増幅素子14に入力させられることによって十分に負帰還作用が行われ、出力信号光LOUT が出力される。本実施例の光信号増幅装置60では、上記のように、一定強度であって第1波長λ とは異なる波長λ すなわち周囲光L の波長帯内で設定されたたとえば1535nmの単色レーザ光である一定強度の第2入力光LIN2 が上記第2光増幅素子44に入力させられる結果、上記周囲光L 、すなわち第2出力信号光LOUT2および周囲光LS1は図19のスペクトルに示す強度および波長を備えるので、比較的高強度の周囲光L が帰還させられて、安定した負帰還作用が得られるとともに、比較的高強度の反転出力として利用できる第2出力信号光LOUT2が出力される利点がある。
また、図17に示すように、光信号増幅装置60は、第2入力光LIN2 のレーザ光源70の出力強度が大きくなるほど増幅率Aが小さくなる特性を備えており、上記第2入力光LIN2 の入射強度を調整、たとえばその第2入力光LIN2 のレーザ光源70の出力を出力設定器72を操作することで調整することによって周囲光L の負帰還量すなわち負帰還効果が変更され得、所望の増幅度Aが得られるようになる。第2入力光LIN2 の入射強度PIN2 が大きい程負帰還量が多くなって増幅度Aが小さく設定され得る。図17では、第1入力信号光LINの入射強度PINの2段階の値、相対的に低い入射強度PIN(=100μW)、相対的に高い入射強度PIN(=1030μW)がパラメータとして用いられており、第2入力信号光LIN2 の入射強度PIN2 が大きくなるほど負帰還量が多くなって増幅度Aが小さくなる。また、本実施例では、光カプラ46が入力信号光LINを第1光増幅素子14へ入力させる信号光入力手段(第1入力手段)として機能し、第2光増幅素子44の端面59が波長選択素子56によって反射された周辺光L の一部または全部を反射することにより帰還させて第1光増幅素子14へ入力させる光帰還手段(第2入力手段)として機能している。
上記図14の2段型の光信号増幅装置54および図16の2段型の光信号増幅装置60はいずれもモノリシック化可能であるが、図20は、前者の光信号増幅装置54が1つの半導体チップ62と光サーキュレータ64とによって構成された例を示している。図20において、半導体基板62a上には、直線状の光導波路62bが形成されており、その光導波路62の光サーキュレータ64側部分およびそれと反対側の部分に上部電極62cおよび62dが設けられることにより前記第1光増幅素子14および第2光増幅素子44として機能させられている。上記矩形の光導波路62bの上記第1光増幅素子14に対応する部分と第2光増幅素子44に対応する部分との間には、第1波長λ の光を反射するがそれ以外の波長の光を透過するグレーティングフィルタ66が設けられている。このグレーティングフィルタ66は、たとえば1545〜1555nm(中心波長1550nm)の光を反射させるがそれ以外の波長を透過するように構成されている。上記直線状の光導波路62bの光サーキュレータ64側の端面には何ら設けられておらず、反対側の端面にはミラー等の反射手段58が固設されている。光導波路62bの端面はある程度の反射率を有していて反射手段として機能できるので、反射手段58は必ずしも設けられていなくてもよい。本実施例では、光サーキュレータ64に入力された入力信号光LINは第1光増幅素子14に入力され、そこで相互利得変調によって発生させられた強度反転された周囲光L と第1波長λ (たとえば1550nm)の出力信号光LOUT が発生させられる。第1波長λ の出力信号光LOUT はグレーティングフィルタ66によって反射され、第1光増幅素子14および光サーキュレータ64を経由して出力される。しかし、上記周囲光L はグレーティングフィルタ66および第2光増幅素子44を透過して反射手段58により反射させられて再び第1光増幅素子14へ到達する過程で第2光増幅素子44により増幅された後、第1光増幅素子14へ入射されることにより負帰還作用が発生させられて光信号増幅装置42と同様の効果が得られる。本実施例では、光サーキュレータ64およびグレーティングフィルタ66が入力信号光LINを第1光増幅素子14へ入力させる信号光入力手段(第1入力手段)として機能し、反射手段58がグレーティングフィルタ66によって選択的に透過させられた周辺光L の一部または全部を反射することにより第1光増幅素子14へ帰還させる光帰還手段(第2入力手段)として機能している。なお、図20の実施例から反射手段58が除去されることにより、図16の2段型の光信号増幅装置60がモノリシック化された例となる。
図21は、図6の2段型の光信号増幅装置42が増幅率可変型に構成された例を示している。本実施例の光信号増幅装置42では、周辺光L の一部または全部を第2光増幅素子44へ入力させるための帰還光路18に、光量可変装置として機能するアッテネータ74が介挿されている。このアッテネータ74は、たとえば上記帰還光路18を伝播する周辺光L を所定の断面積で平行ビーム化する光学系と、その断面積の遮光面積を変更するために移動可能に設けられた遮光板とから構成される。本実施例では、第2半導体光増幅素子44へ入力させられる周辺光L の光量が調節されることから、その第2半導体光増幅素子44で増幅されて第1半導体光増幅素子14へ供給される周辺光L の強度変化に基づいて増幅度Aが所望の値に設定される。
また、上記の光信号増幅装置10、42、54、60のいずれかを用いて光フリップフロップ回路を構成することができる。たとえば図22に示す光フリップフロップ回路80は、たとえば図6に示す光信号増幅装置42から成り、第1波長λ の第1入力信号光TIN1 および第2波長λ の第2入力信号光TIN2 がそれぞれ連続的に入力される一対の第1光信号増幅装置42aおよび第2光信号増幅装置42bと、それら一対の第1光信号増幅装置42aおよび第2光信号増幅装置42bの出力光から第1波長λ の第1出力信号光TOUT1或いは第2波長λ の第2出力信号光TOUT2を分割するための一対の第1光分波器84aおよび第2光分波器84bと、第1光分波器84aにより分波された第1光信号増幅装置42aからの出力信号光TOUT1の一部を第2光信号増幅装置42bに入力させる第1交差光路86a、および第2光分波器84bにより分波された第2光信号増幅装置42bからの第2出力信号光TOUT2の一部を第1光信号増幅装置42aに入力させる第2交差光路86bとを備えている。このように構成された光フリップフロップ回路80では、第1入力信号光TIN1 および第2入力信号光TIN2 が一対の第1光信号増幅装置42aおよび第2光信号増幅装置42bそれぞれ連続的に入力されている状態で、たとえば一方の第1入力信号光TIN1 がオフ状態とされると、第1出力信号光TOUT1が中間状態からオフ状態とされるとともに、それが入力される第2光信号増幅装置42bからの第2出力信号光TOUT2が中間状態からオン状態とされ、第1入力信号光TIN1 が元の連続状態に戻されてもこのオン状態が維持される。次いで、この状態において、第2波長λ の第2入力信号光TIN2 がオフ状態とされると、第2出力信号光TOUT2がオフ状態とされるとともに、第1出力信号光TOUT1がオフ状態からオン状態とされ、第2入力信号光TIN2 が元の連続状態に戻されてもこのオン状態が維持される。以後、第1入力信号光TIN1 のオフ入力と第2入力信号光TIN2 のオフ入力とが交互に行われる毎に、上記第1出力信号光TOUT1および第2出力信号光TOUT2のオンオフ状態が反転させられる。
以上、本発明の一実施例を図面に基づいて説明したが、本発明はその他の態様においても適用される。
たとえば、前述の第1光増幅素子14は、エルビウム元素を含む光ファイバ増幅器(EDFA)から構成されてもよいし、プラセオジムが添加(ドープ)された光ファイバ増幅器であってもよい。要するに、相互利得変調特性を有する光増幅素子であればよい。また、第2光増幅素子44は、同様に光ファイバ増幅器であってもよい。要するに、光増幅特性を有する光増幅素子であればよい。
また、前述の実施例の波長選択素子12、24b、30、50b、56は、光アド・ドロップフィルタから構成されてもよい。また、前述のカプラ16、36は光サーキュレータ、方向性結合素子から構成されてもよい。
以上、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明したが、これ等はあくまでも一実施形態であり、本発明は当業者の知識に基づいて種々の変更,改良を加えた態様で実施することができる。

Claims (11)

  1. 入力信号光と同じ第1波長であって該入力光と同じ位相の強度を有する出力信号光を出力する光信号増幅装置であって、
    前記出力信号光と、該出力信号光とは異なる周辺波長であって該出力信号光とは反転した位相で強度変化する周辺光とを出力する相互利得変調作用を有する第1光増幅素子と、
    前記入力信号光のみを前記第1光増幅素子に入力させる信号光入力手段と、
    該第1光増幅素子の出力光の中から前記第1波長の出力信号光と該第1波長とは異なる波長の周辺光の全部または1部とを分離する波長選択素子と、
    前記第1光増幅素子に負帰還増幅作用を発生させるために、該波長選択素子によって分離された周辺光の全部または1部を帰還させて該第1光増幅素子に入力させる光帰還手段と
    を、含むことを特徴とする光信号増幅装置。
  2. 前記波長選択素子によって分離された周辺光を増幅する第2光増幅素子と、
    前記第1光増幅素子に負帰還増幅作用を発生させるために、該第2光増幅素子によって増幅された周辺光を帰還させて該第1光増幅素子に入力させる光帰還手段と
    を、含むことを特徴とする請求項1の光信号増幅装置。
  3. 前記第1光増幅素子に、前記反転した位相の強度を有する周辺光を帰還させる量を制御することにより前記出力信号光の増幅度を制御する増幅度制御手段を有することを特徴とする請求項1または2のいずれかの光信号増幅装置。
  4. 前記第1波長と異なる波長を有する第2入力光を前記第2光増幅素子にさらに入力させる第2入力光入力手段を備え、前記第1光増幅素子の負帰還増幅作用を増強したことを特徴とする請求項2の光信号増幅装置。
  5. 前記第2光増幅素子に入力する第2入力光の強度を制御することにより前記光信号増幅装置の増幅度を制御する増幅度制御手段を有することを特徴とする請求項2または4の光信号増幅装置。
  6. 前記波長選択素子は、光伝播方向において屈折率が周期的に変化させられたグレーティングフィルタ、屈折率が異なる一対の層が多数組積層された多層膜フィルタ、フォトニッククリスタルフィルタのいずれかから構成されたものである請求項1乃至5のいずれかの光信号増幅装置。
  7. 前記信号光入力手段および/または光帰還手段は、光カプラ、光サーキュレータ、方向性結合素子、光アド・ドロップフィルタ、または波長選択素子から構成されたものである請求項1乃至6のいずれかの光信号増幅装置。
  8. 前記第1光増幅素子および/または第2光増幅素子は、pn接合から成る活性層を備えた半導体光増幅素子であって、該活性層がバルク、量子井戸、歪み超格子、または量子ドットから構成されたものである請求項1乃至7のいずれかの光信号増幅装置。
  9. 前記第1光増幅素子および/または第2光増幅素子は、一端部に反射手段を備えた反射型半導体光増幅素子である請求項8の光信号増幅装置。
  10. 前記第1光増幅素子および第2光増幅素子、前記波長選択素子、前記信号光入力手段および/または光帰還手段は、1チップの半導体基板上に形成された光導波路においてそれぞれ設けられたものである請求項8または9の光信号増幅装置。
  11. 光オペアンプ、光差動増幅器、光加減算回路、光微積分回路、光フリップフロップ回路、光リミッタ、光サージ抑制器の一部または全部を構成するものである請求項1乃至10のいずれかの光信号増幅装置。
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