JP4973239B2 - Multi-channel optical receiver module - Google Patents
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Description
本発明は、クロストークを低減する多チャンネル光受信モジュールに関する。 The present invention relates to a multi-channel optical receiver module that reduces crosstalk.
1本の光ファイバに多チャンネルの通信信号を伝搬させる方式として、光波長が異なる複数のチャンネルの通信信号を重畳することが行われる。 As a method for propagating a multi-channel communication signal over one optical fiber, a plurality of channel communication signals having different optical wavelengths are superimposed.
このような波長多重化された光信号を、1個の受信モジュールで受信するのが多チャンネル光受信モジュールである。 A multi-channel optical receiver module receives such a wavelength-multiplexed optical signal with one receiver module.
図3に示されるように、多チャンネル光受信モジュールは、伝送路である光ファイバ(図示せず)からの光を導くレセプタクル31と、そのレセプタクル31からの光路に対して所定の角度で臨ませた反射部材32と、その反射部材32に対して所定の角度で対向する反射型分波器33と、その反射型分波器33で分波されて少しずつずれた光路で入射する光信号を受信するために複数の受光素子からなるライン型の受光素子アレイ34を搭載したCAN型受信モジュール35とを一体化させたものである。また、受光素子が出力する受光信号は電力が微弱であるため、受信信号を増幅するためのアンプICをCAN型受信モジュール内に組み込み、CAN型受信モジュールの出力ピン36にはアンプICから増幅された信号を出力する。アンプICチップとしては、例えばトランスインピーダンス型の増幅器であり、受信電流を電圧に変換する。そしてアンプICチップにおける差動信号のトランスインピーダンスは、5〜10KΩが用いられている。
As shown in FIG. 3, the multi-channel optical receiver module faces a receptacle 31 that guides light from an optical fiber (not shown) as a transmission path and a predetermined angle with respect to the optical path from the receptacle 31. The
なお、多チャンネル光受信モジュールは、波長多重化された光信号を1本の光伝送路とやり取りするものに限らない。複数の光伝送路とそれぞれ光信号をやり取りすることでも、多チャンネルの通信は可能である。その場合でも、1つのCAN型受信モジュールに複数の受光素子からなるライン型の受光素子アレイ34を搭載することで、半導体部材を一体化、集積化することができる。
The multi-channel optical receiver module is not limited to one that exchanges wavelength-multiplexed optical signals with one optical transmission line. Multi-channel communication is also possible by exchanging optical signals with a plurality of optical transmission lines. Even in such a case, the semiconductor members can be integrated and integrated by mounting the line type light receiving
アンプが出力する信号は差動出力である。差動出力は、本来、その2本の出力信号線が平行で延びているときにノイズが入るもしくは出るのを防止するものである。 The signal output from the amplifier is a differential output. The differential output inherently prevents noise from entering or exiting when the two output signal lines extend in parallel.
ところが、CAN型受信モジュールの内部では、差動出力の信号線を平行に配線することができない。なぜなら、アンプICチップの差動出力端子から出力ピンまでを直線的に結んでワイヤボンディングすると、出力ピンはCANパッケージの円周に沿って配置されているため、そのワイヤは平行にならないからである。よって、CAN型受信モジュールの内部では、アンプICチップの出力のワイヤからノイズが出るのを防止するのが難しい。 However, the differential output signal lines cannot be wired in parallel inside the CAN receiving module. This is because when the wire bonding is performed by linearly connecting the differential output terminal to the output pin of the amplifier IC chip, the output pin is arranged along the circumference of the CAN package, so that the wires are not parallel. . Therefore, it is difficult to prevent noise from coming out from the output wire of the amplifier IC chip inside the CAN receiving module.
CAN型受信モジュールの内部では、受光素子からアンプICチップまでの信号ラインは受光出力が流れている。受光素子やそのラインは、電力が大変弱く、アンプICチップの出力と比べると上記増幅率分の違いがあるため、ノイズの影響を大変強く受けることになる。つまり、当該チャンネルの受光素子に他チャンネルの差動出力からのノイズが入り、クロストークが起きる。クロストークが起きると、実質的に受信感度が低減してしまう。 In the CAN receiving module, a light receiving output flows through a signal line from the light receiving element to the amplifier IC chip. The light receiving element and its line are very weak in electric power and have a difference corresponding to the amplification factor as compared with the output of the amplifier IC chip. That is, noise from the differential output of the other channel enters the light receiving element of the channel and crosstalk occurs. When crosstalk occurs, reception sensitivity is substantially reduced.
なお、ピン配置を工夫してノイズが出入りしにくいピン配置とすることは、技術的に可能だが、製作上、ピン配置に制限があるため、この方法は採用できない。 Although it is technically possible to devise a pin arrangement that makes it difficult for noise to come in and out, this method cannot be adopted because of the limited pin arrangement in production.
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、クロストークを低減する多チャンネル光受信モジュールを提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a multi-channel optical receiver module that solves the above problems and reduces crosstalk.
上記目的を達成するために本発明は、パッケージのほぼ中心に複数の受光素子からなる受光素子アレイを搭載し、その受光素子アレイの外周に各受光素子の出力を増幅するアンプICチップを搭載し、上記アンプICチップには差動信号用のワイヤをボンディングするための2箇所のパッドが設けられており、差動信号用の2本の出力ピンが、仮に上記2箇所のパッドから上記2本の出力ピンまでを直線的に結んでワイヤボンディングした場合、そのワイヤは平行にならないように配置されており、各アンプICチップの外周にそれぞれの配線中継用サブマウントを搭載し、上記アンプICチップの上記2箇所のパッドから上記2本の出力ピンまでを直線的に結ぶワイヤボンディングを行わずに、各アンプICチップから各配線中継用サブマウントまで差動信号用の2本のワイヤを平行に配線し、各配線中継用サブマウントから上記パッケージの上記2本の出力ピンまで2本のワイヤを配線したものである。
In order to achieve the above object, the present invention includes a light receiving element array including a plurality of light receiving elements mounted substantially at the center of the package, and an amplifier IC chip for amplifying the output of each light receiving element on the outer periphery of the light receiving element array. The amplifier IC chip is provided with two pads for bonding differential signal wires, and the two output pins for differential signals are temporarily connected to the two pads from the two pads. When wire bonding is performed by linearly connecting up to the output pins , the wires are arranged so as not to be parallel to each other, and each amplifier IC chip is mounted with a submount for wiring relay on each of the amplifier IC chips. Sabuma above from two places of the pad to the output pins of the two above without wire bonding connecting linearly, for each of the wiring relayed from the amplifier IC chip Parallel to wire the two wires of the differential signal to a cement is obtained by wiring the two wires from the wiring relay submount to said two output pins of the package.
上記配線中継用サブマウントは、パッケージの対応する2本の出力ピンを結ぶ直線の近傍に配設したものである。 The wiring relay submount is disposed in the vicinity of a straight line connecting two corresponding output pins of the package.
上記配線中継用サブマウントとアンプICチップとを電気的に接続するワイヤでのノイズ振幅は、上記配線中継用サブマウントと出力ピンとを電気的に接続するワイヤでのノイズ振幅より小さいものである。 The noise amplitude in the wire electrically connecting the wiring relay submount and the amplifier IC chip is smaller than the noise amplitude in the wire electrically connecting the wiring relay submount and the output pin.
上記配線中継用サブマウントとなる電子部品は、一方の差動信号用のワイヤと他方の差動信号用のワイヤが平行となるようにアンプICチップに対して配置・構成されるものである。 The electronic component serving as the wiring relay submount is arranged and configured with respect to the amplifier IC chip so that one differential signal wire and the other differential signal wire are parallel to each other.
上記配線中継用サブマウントとなる電子部品は、抵抗素子である。 The electronic component serving as the wiring relay submount is a resistance element.
上記配線中継用サブマウントとなる電子部品は、一端がアンプICチップと電気的に接続され、他端が固定電位と電気的に接続されるものである。 The electronic component serving as the wiring relay submount has one end electrically connected to the amplifier IC chip and the other end electrically connected to a fixed potential.
上記配線中継用サブマウントとなる電子部品は、容量素子である。 The electronic component serving as the wiring relay submount is a capacitive element.
アンプICチップから上記配線中継用サブマウントまでのワイヤ長L1と、該配線中継用サブマウントから上記出力ピンまでのワイヤ長L2とが、少なくとも1つのチャンネルにおいてL1>L2となっているものである。 The wire length L1 from the amplifier IC chip to the wiring relay submount and the wire length L2 from the wiring relay submount to the output pin satisfy L1> L2 in at least one channel. .
本発明は次の如き優れた効果を発揮する。 The present invention exhibits the following excellent effects.
(1)クロストークを低減することができる。 (1) Crosstalk can be reduced.
以下、本発明の一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1に示されるように、本発明に係る多チャンネル光受信モジュールは、CAN型パッケージ1の底部にその底面と一体になった基板2を設け、その基板2には、CAN型パッケージ1の軸中心に複数の受光素子3からなるライン型の受光素子アレイ4を搭載し、その受光素子アレイ4の外周に各受光素子3の出力を増幅するアンプICチップ(以下、ICチップ)5を搭載し、各ICチップ5の外周にそれぞれの差動信号を中継して配線するための配線中継用サブマウント6を搭載し、各ICチップ5から各配線中継用サブマウント6まで差動信号用の2本のワイヤ8を平行に配線し、各配線中継用サブマウント6からCAN型パッケージ1の出力ピン7までワイヤ9を配線したものである。
As shown in FIG. 1, the multi-channel optical receiver module according to the present invention is provided with a
ここに示した多チャンネル光受信モジュールは、4チャンネル用であり、受光素子アレイ4の受光素子3は4個、ICチップ5も4個、配線中継用サブマウント6も4個である。符号は示さないが、同じ部材には同じハッチングを付けた。なお、本発明はチャンネル数に限定されないことは明らかである。
The multi-channel light receiving module shown here is for four channels, and the light
ICチップ5は、受光素子アレイ4を取り巻くように受光素子アレイ4の両脇にそれぞれ近接して配置されているが、各ICチップ5は各々一番近くに配置されている受光素子3の出力部とワイヤ配線してあり、これらの受光出力を増幅するようになっている。
The
CAN型パッケージ1の出力ピン7は最も外周に配置されている。出力ピン7は合計12本あり、図示左辺、右辺、上辺、下辺に3本ずつ整列している。上辺及び下辺の中央に位置する出力ピン7は、電源端子である。左辺及び右辺の中央に位置する出力ピン7は、空きである。各辺の両端に位置するピン7が差動信号のための出力ピン7である。ひとつの受光素子3から得られた同一チャンネルの差動信号を出力する出力ピン7は、互いに隣接して配置されている。
The
ここで、1組(1チャンネル)のICチップ5と配線中継用サブマウント6について着目すると、図4に示されるように、ICチップ5には差動信号用のワイヤ8をボンディングするための2箇所のパッド41が設けられ、配線中継用サブマウント6には絶縁部42を介して分けられた2つの導通部43が設けられる。配線中継用サブマウント6の2つの導通部43、43とICチップ5の2つのパッド41、41は、一方の導通部43とICチップ5のパッド41とを結ぶ仮想直線に対し、他方の導通部43とICチップ5のパッド41とを結ぶ仮想直線が平行となるように構成・配置されている。これにより一方の差動信号用のワイヤ8と他方の差動信号用のワイヤ8は平行配線される。ワイヤ8は、一例として直径φ=25μm、材質がAuのものを用いる。
Here, paying attention to one set (one channel) of the
一方、配線中継用サブマウント6は2つの出力ピン7を結ぶ仮想的な直線を跨いで配置されているので、配線中継用サブマウント6から出力ピン7までは上記仮想的な直線にほぼ沿ってワイヤ9が配線される。
On the other hand, since the
さて、本発明の多チャンネル光受信モジュールでは、ICチップ5から配線中継用サブマウント6まで差動信号用の2本のワイヤ8が平行に配線されている。また、これら2本のワイヤ8間の間隔は他のワイヤとの間隔に比べて十分に狭い。この実施形態では、差動信号用の2本のワイヤの間隔は100〜200μm程度である。配線中継用サブマウント6は、ICチップ5のさらに外周を取り巻くように四方に分散して配置されているが、各々のICチップ5から概略径方向外方に位置する配線中継用サブマウント6に対して配線がなされている。従って、全てのワイヤ8は受光素子アレイ4から遠ざかる方向に向いている。
In the multi-channel optical receiver module of the present invention, two
配線中継用サブマウント6から2つの出力ピン7までは、それぞれワイヤ9が配線されている。配線中継用サブマウント6は、同一チャンネルの出力ピン7のほぼ中間位置でCAN型パッケージの中心方向にあるため、2つのワイヤ9はほぼ逆方向に向けて延びている。
本発明によれば、互いに対をなす2つの差動信号のワイヤ8が平行であって、しかも、ワイヤ8間の距離が近い。このため、一方のワイヤ8から出るノイズ(信号電流によって発生する磁界)と、他方のワイヤ8から出るノイズ(信号電流によって発生する磁界)は、大きさと発生する場所がほぼ同じで、極性(信号電流によって発生する磁界の向き)が逆である。従って、これらのノイズは、重ね合わせにより相殺され、ワイヤ8からノイズが出ないのと等価となる。
According to the present invention, the two
また、これらのワイヤ8は受光素子3とICチップ5を結ぶ受光出力のワイヤと平行でないので、ワイヤ8からノイズが出ても受光出力に影響を与えにくい。
Since these
一方、ワイヤ9では、各差動信号がばらばらの方向に導かれることになるが、受光素子3からの距離が遠い。よって、ワイヤ9からノイズが出てもワイヤ9からのノイズは受光出力に影響を与えにくい。この観点から、ワイヤ8が平行に延びる区間をできるだけ長くして、平行とならないワイヤ区間が受光素子3から遠のくように配線中継用サブマウント6を配置するのが好ましい。
On the other hand, with the
少なくとも1つのチャンネルにおいて、ICチップ5から配線中継用サブマウント6までのワイヤ長L1と、配線中継用サブマウント6から出力ピン7までのワイヤ長L2とが、L1>L2であるのが好ましい。
In at least one channel, the wire length L1 from the
比較のため、図2に従来の多チャンネル光受信モジュールを示す。図1と比較すると、受光素子3、受光素子アレイ4、ICチップ5、出力ピン7の配置は同じである。しかし、従来は配線中継用サブマウント6で差動信号を中継して配線する思想がないので、ICチップ5から差動信号のワイヤ10,11がばらばらに延びて出力ピン7に配線されている。ワイヤ10,11からはそれぞれノイズが出る。このためにクロストークを避けることが困難であったが、本発明ではICチップ5から配線中継用サブマウント6まで2つの差動信号のワイヤ8を平行に配線したので、クロストークを低減することができる。
For comparison, FIG. 2 shows a conventional multi-channel optical receiver module. Compared with FIG. 1, the arrangement of the
図5に示した多チャンネル光受信モジュールは、図1のものとほぼ同じであるが、ある出力ピン7から抵抗素子61の片側端までワイヤが配線され、抵抗素子61の反対側端からコンデンサ62までワイヤが配線され、コンデンサ62から受光素子アレイ4までワイヤが配線されている。受光素子アレイ4は受光素子アレイ用サブマウント63に搭載されている。
The multi-channel optical receiver module shown in FIG. 5 is substantially the same as that shown in FIG. 1, but a wire is wired from a
次に述べる図6の実施形態においては、配線中継用サブマウント6としての電子部品71である抵抗素子72は、一方の差動信号用のワイヤ8と他方の差動信号用のワイヤ8が平行となるように配置される。
In the embodiment of FIG. 6 to be described next, the resistance element 72 as the electronic component 71 as the
図6(a)及び図6(b)に示されるように、抵抗素子72は、1個のチップ抵抗器からなり、2つの導通部73間に薄膜抵抗が設けられ、それぞれの導通部73にワイヤ8とワイヤ9がボンディングされる。抵抗素子72の2つの導通部73、73とICチップ5の2つのパッド41、41は、一方の導通部73とICチップ5のパッド41とを結ぶ仮想直線に対し、他方の導通部73とICチップ5のパッド41とを結ぶ仮想直線が平行となるように構成・配置されている。これにより一方の差動信号用のワイヤ8と他方の差動信号用のワイヤ8は平行となる。
As shown in FIG. 6A and FIG. 6B, the resistance element 72 is composed of one chip resistor, and a thin film resistor is provided between the two
これにより、2つの差動信号電位間に抵抗が挿入されたことになり、それぞれの差動信号の振幅が小さくなるので、ノイズも小さくなる。 As a result, a resistor is inserted between the two differential signal potentials, and the amplitude of each differential signal is reduced, so that the noise is also reduced.
図7の実施形態においては、図7(a)〜図7(c)に示されるように、配線中継用サブマウント6としての電子部品81である2つの容量素子82a、82bは、1つのチップに形成される。配線中継用サブマウント6の2つの容量素子82a、82bとICチップ5の2つのパッド41、41は、一方の容量素子82aとICチップ5のパッド41とを結ぶ仮想直線に対し、他方の容量素子82bとICチップ5のパッド41とを結ぶ仮想直線が平行となるように構成・配置されている。電子部品81の上面に絶縁部84を挟んで形成された2つの導通部83は各容量素子82の電極であり、一方の導通部83にワイヤ8aとワイヤ9aがボンディングされ、他方の導通部83にワイヤ8bとワイヤ9bがボンディングされる。2つの導通部83のそれぞれの面積は同じ、ワイヤ8aとワイヤ8bは同じ長さ、ワイヤ9aとワイヤ9bは同じ長さであることが好ましい。更に配線中継用サブマウントとなる電子部品81の上面は、アンプICチップ5とワイヤ8a、8bにより電気的に接続され、電子部品81の下面は、パッケージ1の基板2に形成したグランド(図示せず)などの固定電位と、はんだなどにより電気的に接続されている。なお、固定電位としてはグランドの他に電源などでも良い。
In the embodiment of FIG. 7, as shown in FIGS. 7A to 7C, the two capacitive elements 82 a and 82 b that are the electronic components 81 as the
図7(b)は図7(a)の等価回路である。L1aはワイヤ8aの寄生インダクタンス、L2aはワイヤ9aの寄生インダクタンス、L1bはワイヤ8bの寄生インダクタンス、L2bはワイヤ9bの寄生インダクタンスであり、Caは容量素子82aのキャパシタンス容量、Cbは容量素子82bのキャパシタンス容量である。
図7(b)の等価回路に示されるように、それぞれの差動信号についてノイズフィルタ(L1aとCa、L1とCb、及びL2aとCa、L2bとCb)が形成されるため、ワイヤ8a,8b,9a,9bから発生するノイズ自体が小さくなる。これにより、段落[0031]欄に記載したワイヤ8a、ワイヤ9bの平行部でのノイズ相殺効果と相乗してノイズは更に小さくなる。
FIG. 7B is an equivalent circuit of FIG. L1a is a parasitic inductance of the wire 8a, L2a is a parasitic inductance of the wire 9a, L1b is a parasitic inductance of the wire 8b, L2b is a parasitic inductance of the wire 9b, Ca is a capacitance capacitance of the capacitive element 82a, and Cb is a capacitance of the capacitive element 82b. Capacity.
As shown in the equivalent circuit of FIG. 7B, noise filters (L1a and Ca, L1 and Cb, and L2a and Ca, and L2b and Cb) are formed for each differential signal, so that the wires 8a and 8b are formed. , 9a, 9b, the noise itself is reduced. As a result, the noise is further reduced in synergy with the noise canceling effect at the parallel portions of the wires 8a and 9b described in the paragraph [0031].
図7の実施形態に用いる電子部品81は、1チップに2つの容量素子82を搭載したものである。このような電子部品81の一形態として、次の図8のコンデンサを説明する。 The electronic component 81 used in the embodiment of FIG. 7 is one in which two capacitive elements 82 are mounted on one chip. As one form of such an electronic component 81, the capacitor of FIG.
図8に示したコンデンサ91は、チップ部品として形成した2連平行平板コンデンサである。すなわち、絶縁層92の下面に、その下面全体をほぼ覆うコモン電極93が設けられ、絶縁層92の上面に、その上面の半分をほぼ覆う互いに接しない2つの個別電極94が設けられている。
The
このコンデンサ91では、コモン電極93と個別電極94が平行平板であるため、静電容量を有する。また、コンデンサ91は、コモン電極93を基板92のグランドパターンに接合することで、図7の電子部品81として利用できる。
The
図9に示されるように、多チャンネル光受信モジュールの同一チャンネルごとの2つの出力ピン7の組に、0ch〜3chという名称を与える。ある組のチャンネルの受光素子3に、論理“0”と論理“1”を疑似乱数に基づくパターンで配置した2値の光信号を入射させたときに、出力ピン7に現れる電気信号が正しく論理“0”あるいは論理“1”を示すかどうかを調べてその誤りの比率をビットエラーレートとする。入射する光信号の強度を複数段階に変えることにより、複数段階の受信光強度を得る。この複数段階の受信光強度におけるビットエラーレートを計測することにより、受信光強度対ビットエラーレートの特性が得られる。
As shown in FIG. 9, the names 0ch to 3ch are given to a set of two
このとき、他のチャンネルの受光素子3に、前述の2値信号とは異なるパターンで論理“0”と論理“1”を配置した2値の光信号を入射させると、両チャンネル間の電気的なクロストークにより、S/N(信号/ノイズ)比が低下して論理“0”あるいは“1”を担持する電気信号が乱され、出力ピン7に現れる電気信号が正しく論理“0”あるいは論理“1”を示さない比率、つまり受信光強度対ビットエラーレートの特性が変化する。
At this time, when a binary optical signal in which logic “0” and logic “1” are arranged in a pattern different from the above-described binary signal is incident on the
図10〜図12は、横軸に受信光強度をとり、縦軸にビットエラーレートをとって受信光強度対ビットエラーレート特性をグラフ化したものである。評価用信号は速度3.125GbpsのNRZ(Non Return to Zero)信号をPRBS(疑似乱数ビット列)27−1形式で入力した。各グラフには、従来例、実施例#1,#2について、当該チャンネルのみ光信号を入力したとき(他chなし)と、当該チャンネルに光信号を入力すると共に、他のチャンネルにも異なる光信号を入力したとき(他chあり)の測定結果を示してある。
10 to 12 are graphs of received light intensity versus bit error rate characteristics with the received light intensity on the horizontal axis and the bit error rate on the vertical axis. As an evaluation signal, an NRZ (Non Return to Zero) signal having a speed of 3.125 Gbps was input in a PRBS (pseudo-random bit string) 2 7 −1 format. In each graph, for the conventional example and the
ここで、実施例#1は図1のように配線中継用サブマウント6を設置したもの、実施例#2は図6(b)のように抵抗素子72を設置したものである。
Here,
図10に示されるように、従来例では、他のチャンネルの信号がないとき、1×10-12のビットエラーレートを得るために−21dBmの受信光強度があれば十分であったが、他のチャンネルの信号があるとき、1×10-12のビットエラーレートを得るために−20dBmの受信光強度が必要となる。 As shown in FIG. 10, in the conventional example, when there is no signal of another channel, a reception light intensity of −21 dBm is sufficient to obtain a bit error rate of 1 × 10 −12. In order to obtain a bit error rate of 1 × 10 −12 , a received light intensity of −20 dBm is required.
図11に示されるように、実施例#1では、他のチャンネルの信号があるときでも、1×10-12のビットエラーレートを得るために−21dBmの受信光強度で十分である。
As shown in FIG. 11, in
図12に示されるように、実施例#2では、他のチャンネルの信号があるときでも、1×10-12のビットエラーレートを得るために−21dBmの受信光強度で十分である。
As shown in FIG. 12, in
一般に、ビットエラーレートが1×10-12であるときの受信光強度を当該多チャンネル光受信モジュールの最小受信感度と規定するが、クロストークによって最小受信感度が低下する。各図10〜図12に記入された矢印100,110,120の長さは、クロストークによる最小受信感度低下幅を示している。これらの矢印100,110,120の長さの違いから本発明の有効さが分かる。 In general, the received light intensity when the bit error rate is 1 × 10 −12 is defined as the minimum reception sensitivity of the multi-channel optical reception module, but the minimum reception sensitivity is reduced by crosstalk. The lengths of the arrows 100, 110, and 120 entered in FIGS. 10 to 12 indicate the minimum reception sensitivity reduction width due to crosstalk. The effectiveness of the present invention can be seen from the difference in length of these arrows 100, 110, and 120.
1 CAN型パッケージ
2 基板
3 受光素子
4 受光素子アレイ
5 ICチップ
6 配線中継用サブマウント
7 出力ピン
8 ワイヤ
9 ワイヤ
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