JP4972381B2 - Translucent conductive material, manufacturing method thereof, and translucent electromagnetic wave shielding film - Google Patents

Translucent conductive material, manufacturing method thereof, and translucent electromagnetic wave shielding film Download PDF

Info

Publication number
JP4972381B2
JP4972381B2 JP2006300252A JP2006300252A JP4972381B2 JP 4972381 B2 JP4972381 B2 JP 4972381B2 JP 2006300252 A JP2006300252 A JP 2006300252A JP 2006300252 A JP2006300252 A JP 2006300252A JP 4972381 B2 JP4972381 B2 JP 4972381B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
metal
conductive material
film
plating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006300252A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2008117955A (en
Inventor
高康 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2006300252A priority Critical patent/JP4972381B2/en
Publication of JP2008117955A publication Critical patent/JP2008117955A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4972381B2 publication Critical patent/JP4972381B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)

Description

本発明は、本発明は透光導電性材料に関する。特に、透光性電磁波シールド膜に適した透光導電性材料に関する。
中でも、視認性が良好で、色ムラや粉落ちも少ない、とりわけプラズマディスプレー用透光導電性電磁波シールド膜に適した透光導電性材料に関する。
The present invention relates to a translucent conductive material. In particular, the present invention relates to a translucent conductive material suitable for a translucent electromagnetic wave shielding film.
In particular, the present invention relates to a translucent conductive material suitable for a translucent conductive electromagnetic wave shielding film for plasma display, which has good visibility and less color unevenness and powder loss.

近年、各種の電気設備や電子応用設備の利用の増加に伴い、電磁波障害(Electro-Magnetic Interference:EMI)が急増している。EMIは、電子、電気機器の誤動作、障害の原因になるほか、これらの装置のオペレーターにも健康障害を与えることが指摘されている。このため、電子、電気機器では、電磁波放出の強さを規格又は規制内に抑えることが要求されている。   In recent years, electromagnetic interference (Electro-Magnetic Interference: EMI) has been rapidly increasing with the increase in the use of various electric facilities and electronic application facilities. EMI has been pointed out to be a cause of malfunction and failure of electronic and electrical equipment, as well as a health hazard to operators of these devices. For this reason, in electronic and electrical equipment, it is required to suppress the intensity of electromagnetic wave emission within the standard or regulation.

上記EMIの対策には電磁波をシールド(遮蔽)する必要があるが、それには金属の電磁波を貫通させない性質を利用すればよいことは自明である。例えば、筐体を金属体又は高導電体にする方法や、回路基板と回路基板との間に金属板を挿入する方法、ケーブルを金属箔で覆う方法などが採用されている。しかし、CRT、PDPなどではオペレーターが画面に表示される文字等を認識する必要があるため、ディスプレイ前面の透明性が要求される。前記の方法では、いずれもディスプレイ前面が不透明になることが多く、ディスプレイ機器に適用する電磁波シールド方法としては不適切なものが多い。   It is necessary to shield (shield) the electromagnetic wave as a countermeasure against the EMI, but it is obvious that a property that does not allow the metal electromagnetic wave to penetrate may be used. For example, a method of making the casing a metal body or a high conductor, a method of inserting a metal plate between the circuit board and the circuit board, a method of covering the cable with a metal foil, and the like are employed. However, in CRT, PDP, etc., it is necessary for an operator to recognize characters and the like displayed on the screen, and thus transparency on the front surface of the display is required. In any of the above methods, the front surface of the display often becomes opaque, and there are many cases that are inappropriate as an electromagnetic wave shielding method applied to a display device.

加えて、PDPは、CRT等と比較すると多量の電磁波を発生するため、より強い電磁波シールド能が求められている。例えば、CRT用の透光性電磁波シールド材料では、凡そ300Ω/sq以下の表面抵抗値であれば支障がないのに対し、PDP用の透光性電磁波シールド材料では、2.5Ω/sq以下の表面抵抗値が求められる。このような高い導電性の要求を満たすには、十分の導電性を有する金属箔にフォトリソグラフィーの手法によって開口パターンを施す方法が用いられている。
しかしながら、上記のシールド層の形成材料となる例えば銅箔は、金属光沢を有するのでパネル外部からの光を反射し、画面のコントラストが悪くなる他、銅箔の反射色が見える問題がある。また画面内から発生する光をも反射し、表示パネルの画像表示品質が悪くなるという問題がある。
In addition, since PDP generates a larger amount of electromagnetic waves than CRT or the like, stronger electromagnetic shielding ability is required. For example, a translucent electromagnetic shielding material for CRT has no problem if the surface resistance value is about 300 Ω / sq or less, whereas a translucent electromagnetic shielding material for PDP has no problem with 2.5 Ω / sq or less. A surface resistance value is obtained. In order to satisfy such a requirement for high conductivity, a method of applying an opening pattern to a metal foil having sufficient conductivity by a photolithography technique is used.
However, for example, the copper foil used as the material for forming the shield layer has a metallic luster, so that it reflects light from the outside of the panel, resulting in poor contrast of the screen and a problem that the reflected color of the copper foil is visible. In addition, there is a problem that the light generated from the screen is reflected and the image display quality of the display panel is deteriorated.

画面内発生光と外部からの入射光の反射と、電磁波の漏洩とのいずれをも有効に防止するには、銅箔などのシールド層を黒化処理することが有効であることが知られている。
特に、プラズマディスプレーパネル用銅箔の黒化処理被膜としては、黒化処理被膜の面が均一でスジむらの発生がないか又は極めて少ないこと、エッチング性が良好であること、経時での変色が小さいこと、黒化処理層が剥れにくいこと(密着性に優れること)などが望まれる。
It is known that it is effective to blacken the shield layer such as copper foil to effectively prevent both the light generated in the screen, reflection of incident light from the outside, and leakage of electromagnetic waves. Yes.
In particular, as the blackening treatment film of the copper foil for plasma display panel, the surface of the blackening treatment film is uniform and there is no or very little unevenness of the stripe, the etching property is good, and the discoloration with time is Desirably, it is small and the blackened layer is difficult to peel off (excellent adhesion).

特許文献1には、銅箔表面に亜鉛500〜20000μg/dm2(0.05〜2g/m2)、ニッケル100〜500μg/dm2(0.01〜0.05g/m2)を含有する黒色ニッケルめっき層を備えたプラズマディスプレーパネル用の電磁波シールド性膜が開示されており、黒化処理皮膜の面が均一でスジムラが少ないことがうたわれており、特許文献2には、黒化層、導電性パターン層、及び黒化層の順で順次に重層した構成からなる電磁波遮蔽板が開示されていて、複雑な構成となるが黒化層の重層によってモアレの発生を抑止している。また、特許文献3には、金属層パターンの両面及び側面を黒化処理して出射光と入射光の両反射をともに抑えて視認性が向上されているシールド材が示されている。さらに、特許文献4には、導電性パターンの表面に形成された黒化層によって反射光を抑止して画像コントラストを向上させた電磁波遮蔽フィルターが開示されている。これら特許文献2〜4に開示されたいずれの黒化層もニッケルと亜鉛の混成相によって形成されている。 Patent Document 1, the zinc surface of the copper foil 500~20000μg / dm 2 (0.05~2g / m 2), black nickel plating layer containing nickel 100~500μg / dm 2 (0.01~0.05g / m 2) and An electromagnetic wave shielding film for a plasma display panel provided is disclosed, and it is said that the surface of the blackening treatment film is uniform and has little unevenness. Patent Document 2 discloses a blackening layer, a conductive pattern layer, In addition, an electromagnetic wave shielding plate having a configuration in which layers are sequentially stacked in the order of the blackening layer is disclosed, and although it has a complicated configuration, generation of moire is suppressed by the multilayered blackening layer. Further, Patent Document 3 discloses a shield material in which visibility is improved by blackening both surfaces and side surfaces of a metal layer pattern to suppress both reflection of outgoing light and incident light. Further, Patent Document 4 discloses an electromagnetic wave shielding filter in which reflected light is suppressed by a blackening layer formed on the surface of a conductive pattern and image contrast is improved. Any of the blackening layers disclosed in Patent Documents 2 to 4 is formed of a mixed phase of nickel and zinc.

また、特許文献5は、メッシュの線幅と線間隔を規定した幾何学パターン状の導電性ペーストを印刷して視認性に優れた電磁波シールド膜が記載され、その中で導電性ペーストに金属層又は黒色電着層出被覆させるとことを開示している。
これらの従来技術によって、電磁波シールド膜の電磁波遮蔽性に加えて、反射や迷光、外光が遮断され、視認性も向上しているが、黒化処理に伴う皮膜の面の均一性についてはなお十分ではなく、皮膜面にすじむらがないことや、粉落ちによる剥離やそれに起因する微小欠点がないことが望まれている。また、視認性向上のために更なる黒化層の性能の改良も求められている。
Further, Patent Document 5 describes an electromagnetic wave shielding film excellent in visibility by printing a conductive paste having a geometric pattern in which the line width and line interval of a mesh are defined, in which a metal layer is formed on the conductive paste. Alternatively, it is disclosed that the black electrodeposition layer is coated out.
In addition to the electromagnetic wave shielding properties of the electromagnetic wave shielding film, these conventional technologies block reflection, stray light, and external light and improve visibility. However, the uniformity of the film surface accompanying the blackening treatment is still It is not sufficient, and it is desired that there is no unevenness in the surface of the film, and there is no peeling due to powder falling or a micro defect resulting therefrom. In addition, further improvement of the performance of the blackened layer is also required in order to improve visibility.

一方、電磁波シールド膜等の製造については、電子機器などに使用されるフレキシブル配線板やプラズマディスプレイに使用される電磁波シールド膜等を高い生産性のもとで絶縁体フィルム上に金属導電性薄膜を形成する技術の開発が望まれている。
例えば、特許文献6では、銀塩を含有する感光材料を露光および現像処理し、さらに現像銀に物理現像またはめっき処理を加えることによって電磁波シールド膜を製造する方法が開示されている。特許文献6によれば、他の方式に比べて細線パターンを精密に形成でき、高い透明性、安価に大量生産が可能などのような優れた電磁波シールド膜が得られる
とされている。
On the other hand, for the production of electromagnetic shielding films, etc., metal conductive thin films are formed on insulator films with high productivity, such as flexible wiring boards used in electronic devices and electromagnetic shielding films used in plasma displays. Development of forming technology is desired.
For example, Patent Document 6 discloses a method for producing an electromagnetic wave shielding film by exposing and developing a photosensitive material containing a silver salt, and further applying physical development or plating to the developed silver. According to Patent Document 6, it is said that any excellent electromagnetic wave shielding film that can form a fine line pattern more precisely than other methods, and can be mass-produced with high transparency and low cost is obtained.

特開2004−145063号公報JP 2004-145063 A 特開平11−266095号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-266095 特開2002−9484号公報JP 2002-9484 A 特開2004−320025号公報JP 2004-320025 A 特開平2001−196784号公報JP 2001-196784 A 特開2004−221564号公報JP 2004-221564 A

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は電磁波シールド特性に優れ、かつ密着性も良好で黒化層が剥離しにくく、したがって粉落ちや欠点が無く、均一に黒化処理された透光導電性材料及び該材料を用いたプラズマディスプレー用の電磁波シールド膜を提供することである。
本発明の更なる目的は、上記性能に加えて、安価で高い生産性に優れた透光導電性材料の製造方法、及び積層材料を用いた視認性良好な透光性電磁波シールド膜の製造方法を提供することである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and its purpose is excellent in electromagnetic wave shielding characteristics and good adhesion, and the blackened layer is difficult to peel off. It is to provide a translucent conductive material that has been subjected to a chemical treatment and an electromagnetic wave shielding film for plasma display using the material.
A further object of the present invention is to provide a method for producing a light-transmitting conductive material that is inexpensive and excellent in productivity in addition to the above performance, and a method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding film with good visibility using a laminated material. Is to provide.

本発明は、下記〔1〕〜〔8〕に関するものであるが、その他の事項についても参考のため記載した。
〔1〕
透明基体上に金属部と可視光透過性部とをパターニングして形成してなる導電性金属層を有する透光導電性材料において、該金属部を構成する金属細線上に合金組成の異なる少なくとも2層の黒化層を積層し、該積層黒化層がニッケルと、亜鉛および錫から選択された少なくとも1種の金属とを含む2種以上の金属元素を有し、ニッケル/他種金属の質量比が0.1〜50である合金であって、金属部の金属細線に最も近い層から遠い層へ向かって、順次その質量比が減少していくことを特徴とする透光導電性材料。
〔2〕
該黒化層がニッケルと亜鉛からなる2層の合金であって、金属細線に近い側の黒化層のニッケル/亜鉛質量比が3〜15、表層側の黒化層のニッケル/亜鉛質量比が0.1〜3であることを特徴とする〔1〕に記載の透光導電性材料。
〔3〕
該黒化層がニッケルと錫からなる2層の合金であって、金属細線に近い側の黒化層のニッケル/錫質量比が1〜2、表層側の黒化層のニッケル/錫質量比が0.1〜1であることを特徴とする〔1〕に記載の透光導電性材料。
〔4〕
該金属部が線幅5μm〜50μmのメッシュ状細線を含むパターンから形成されることを特徴とする〔1〕〜〔3〕のいずれか一項に記載の透光導電性材料。
〔5〕
導電性金属層中にゼラチンを含有することを特徴とする〔1〕〜〔4〕のいずれか一項に記載の透光導電性材料。
〔6〕
透光導電性材料パターン状の現像銀上に電解めっきによって形成された導電性金属部を有することを特徴とする〔1〕〜〔5〕のいずれか一項に記載の透光導電性材料。
〔7〕
〔1〕〜〔6〕のいずれか一項に記載の透光導電性材料において、黒化層が多段電解メッキにより形成されることを特徴とする透光導電性材料透光導電性材料の製造方法。
〔8〕
〔1〕〜〔6〕のいずれか一項に記載の透光導電性材料を有してなる透光性電磁波シールド膜。
本発明の上記課題は、以下の構成の発明によって達せられる。
1.透明基体上に金属部と可視光透過性部とをパターニングして形成してなる導電性金属層を有する透光導電性材料において、該金属部を構成する金属細線上に合金組成の異なる少なくとも2層の黒化層を積層したことを特徴とする透光導電性材料。
2.該積層黒化層がニッケルと、亜鉛および錫から選択された少なくとも1種の金属とを含む2種以上の金属元素を有し、ニッケル/他種金属の質量比が0.1〜50である合金であって、金属部の金属細線に最も近い層から遠い層へ向かって、順次その質量比が減少していくことを特徴とする上記1記載の透光導電性材料。
3.該黒化層がニッケルと亜鉛からなる2層の合金であって、金属細線に近い側の黒化層のニッケル/亜鉛質量比が3〜15、表層側の黒化層のニッケル/亜鉛質量比が0.1〜3であることを特徴とする上記1又は2に記載の透光導電性材料。
4.該黒層がニッケルと錫からなる2層の合金であって、金属細線に近い側の黒化層のニッケル/錫質量比が1〜2、表層側の黒層のニッケル/錫質量比が0.1〜1であることを特徴とする上記1又は2に記載の透光導電性材料。
5.該金属部が線幅5μm〜50μmのメッシュ状細線を含むパターンから形成されることを特徴とする上記1〜4のいずれかに記載の透光導電性材料。
6.導電性金属層中にゼラチンを含有することを特徴とする上記1〜5のいずれかに記載の透光導電性材料。
7.透光導電性材料パターン状の現像銀上に電解めっきによって形成された導電性金属部を有することを特徴とする上記1〜6のいずれかに透光導電性材料。
8.上記1〜7のいずれかに記載の透光導電性材料において、黒化層が多段電解メッキにより形成されることを特徴とする透光導電性材料透光導電性材料の製造方法。
9.上記1〜7のいずれかに記載の透光導電性材料を有してなる透光性電磁波シールド膜。
The present invention relates to the following [1] to [8], but other matters are also described for reference.
[1]
In a translucent conductive material having a conductive metal layer formed by patterning a metal part and a visible light transmissive part on a transparent substrate, at least two different alloy compositions are formed on the metal thin wire constituting the metal part. The blackening layer of the layer is laminated, the laminated blackening layer has two or more metal elements including nickel and at least one metal selected from zinc and tin, and the mass of the nickel / other metal A light-transmitting conductive material having a ratio of 0.1 to 50, wherein the mass ratio is gradually decreased from a layer closest to the metal fine wire of the metal portion toward a layer farther away.
[2]
The blackening layer is a two-layer alloy composed of nickel and zinc, and the nickel / zinc mass ratio of the blackening layer on the side close to the fine metal wire is 3 to 15, and the nickel / zinc mass ratio of the blackening layer on the surface layer side Is 0.1-3, The translucent conductive material as described in [1].
[3]
The blackening layer is a two-layer alloy composed of nickel and tin, the nickel / tin mass ratio of the blackening layer on the side close to the fine metal wire is 1 to 2, and the nickel / tin mass ratio of the blackening layer on the surface layer side Is 0.1 to 1, the translucent conductive material according to [1].
[4]
The light-transmitting conductive material according to any one of [1] to [3], wherein the metal part is formed from a pattern including a mesh-like fine line having a line width of 5 μm to 50 μm.
[5]
The light-transmitting conductive material according to any one of [1] to [4], wherein the conductive metal layer contains gelatin.
[6]
The translucent conductive material according to any one of [1] to [5], wherein the translucent conductive material pattern has a conductive metal portion formed by electrolytic plating on the developed silver.
[7]
[1]-[6] The translucent conductive material according to any one of [6], wherein the blackening layer is formed by multi-stage electrolytic plating. Method.
[8]
A translucent electromagnetic wave shielding film comprising the translucent conductive material according to any one of [1] to [6].
The above-described problems of the present invention are achieved by the invention having the following configuration.
1. In a translucent conductive material having a conductive metal layer formed by patterning a metal part and a visible light transmissive part on a transparent substrate, at least two different alloy compositions are formed on the metal thin wire constituting the metal part. A light-transmitting conductive material, characterized by laminating a blackening layer.
2. The laminated blackened layer has two or more metal elements including nickel and at least one metal selected from zinc and tin, and the mass ratio of nickel / other metal is 0.1-50. 2. The translucent conductive material as described in 1 above, which is an alloy, and whose mass ratio decreases sequentially from a layer closest to the metal thin wire of the metal part to a layer far from the metal wire.
3. The blackening layer is a two-layer alloy composed of nickel and zinc, and the nickel / zinc mass ratio of the blackening layer on the side close to the fine metal wire is 3 to 15, and the nickel / zinc mass ratio of the blackening layer on the surface layer side The translucent conductive material as described in 1 or 2 above, wherein is from 0.1 to 3.
4). And said black layer is an alloy of two layers of nickel and tin, nickel / tin weight ratio of the blackened layer on the side closer to the thin metal wires 1-2, nickel / tin weight ratio of the surface layer side of the blackened layer The translucent conductive material as described in 1 or 2 above, wherein is 0.1 to 1.
5. 5. The translucent conductive material as described in any one of 1 to 4 above, wherein the metal part is formed from a pattern including a mesh-like fine line having a line width of 5 μm to 50 μm.
6). 6. The translucent conductive material as described in any one of 1 to 5 above, wherein the conductive metal layer contains gelatin.
7). The translucent conductive material according to any one of the above 1 to 6, which has a conductive metal portion formed by electrolytic plating on developed silver having a pattern of translucent conductive material.
8). 8. The light-transmitting conductive material according to any one of 1 to 7, wherein the blackening layer is formed by multistage electrolytic plating.
9. A translucent electromagnetic wave shielding film comprising the translucent conductive material according to any one of 1 to 7 above.

本発明によれば、金属細線表面の平滑性が高く、密着性も良好で黒化層が剥離しにくく、したがって粉落ちや欠点が無く、色むらが少ない、均一に黒化処理された透光導電性材料及び該材料を用いたプラズマディスプレー用の電磁波シールド膜を提供することができる。
また、本発明は、上記性能に加えて、安価で高い生産性に優れた透光導電性材料の製造方法、及び概材料を用いた視認性良好な透光性電磁波シールド膜の製造方法をも提供することができる。
さらに、これらをフレキシブル配線板やプラズマディスプレーに組み込んで導電性や電磁波遮蔽性能を向上させることが出来る。
この透光性電磁波シールド膜をプラズマテレビに装填した場合には、干渉縞が発生しにくい。
According to the present invention, the surface of the fine metal wire has high smoothness, good adhesion, and the blackened layer is not easily peeled off. An electroconductive material and an electromagnetic wave shielding film for plasma display using the material can be provided.
In addition to the above performance, the present invention also includes a method for producing a light-transmitting conductive material that is inexpensive and has high productivity, and a method for producing a light-transmitting electromagnetic wave shielding film with good visibility using a general material. Can be provided.
Further, these can be incorporated into a flexible wiring board or a plasma display to improve conductivity and electromagnetic wave shielding performance.
When this translucent electromagnetic wave shielding film is mounted on a plasma television, interference fringes are hardly generated.

本発明は、透明基体上に金属部と可視光透過性部とをパターニングして形成してなる導電性金属層を有する透光導電性材料の発明であって、その特徴は導電性金属部上に合金組成の異なる少なくとも2層の黒色層を有していることにある。この多層構成皮膜層が粉落ちや欠点が少ない均一強固な特性を導電性金属層にもたらしている。
本発明の透光導電性材料は、金属部を構成する金属細線が複数の黒色の皮膜層で積層された構成となっている。
上記複数(多層)の黒色の皮膜層は、それぞれニッケル、亜鉛、錫から選択されたニッケルを含む2種以上の金属元素によって構成され、ニッケルとニッケル以外の上記金属の質量比(Ni/Ni以外)が0.1〜50である合金であって、導電性金属に最も近い皮膜層から遠い皮膜層へ向かって、順次その質量比が減少するような構成にすることが粉落ち防止、欠点抑制などの発明の目的に適っている。
その中でも、黒色層がニッケルと亜鉛からなる2層の合金であって、下側皮膜層が黒色層のニッケル/亜鉛質量比が3〜15、表側皮膜層のニッケル/亜鉛質量比が0.1〜3であることがより効果的である。
更には、黒色層がニッケルと錫からなる2層の合金であって、下側皮膜層が黒色層のニッケル/錫質量比が0.3〜1、表層側黒色層のニッケル/錫質量比が0.1〜0.3であることも効果的である。
また、導電性金属部が線幅5μm〜50μmのメッシュ状細線を含むパターンから形成されていることが透光性と導電性を両立させる目的で好ましい。
The present invention is an invention of a translucent conductive material having a conductive metal layer formed by patterning a metal part and a visible light transmissive part on a transparent substrate, the feature of which is on the conductive metal part And having at least two black layers having different alloy compositions. This multi-layered film layer provides the conductive metal layer with uniform and strong characteristics with less powder loss and defects.
The translucent conductive material of the present invention has a configuration in which fine metal wires constituting a metal portion are laminated with a plurality of black coating layers.
The plurality of (multilayer) black coating layers are each composed of two or more metal elements containing nickel selected from nickel, zinc, and tin, and the mass ratio of the metal other than nickel and nickel (other than Ni / Ni) ) Is an alloy of 0.1 to 50, and the composition is such that the mass ratio decreases sequentially from the film layer closest to the conductive metal to the film layer far from the conductive metal, preventing powder falling and suppressing defects. It is suitable for the purpose of the invention.
Among them, the black layer is a two-layer alloy composed of nickel and zinc, the lower coating layer has a black / nickel / zinc mass ratio of 3 to 15, and the front coating layer has a nickel / zinc mass ratio of 0.1. It is more effective to be ~ 3.
Furthermore, the black layer is a two-layer alloy made of nickel and tin, and the lower coating layer has a black layer nickel / tin mass ratio of 0.3 to 1, and the surface layer side black layer has a nickel / tin mass ratio. It is also effective that it is 0.1-0.3.
In addition, it is preferable that the conductive metal portion is formed from a pattern including a mesh-like thin line having a line width of 5 μm to 50 μm for the purpose of achieving both translucency and conductivity.

本発明において、透光導電性材料は銀塩感光材料をパターン状に露光し、現像し、好ましくはさらに現像銀に物理現像やメッキ処理を施して導電性を強化した上で、複数の黒色皮膜層を施す製造方法が、コスト、生産性、簡易性の点から好ましく、したがって導電性金属層中に銀塩感光材料に由来するゼラチンを含有することが多いが、ゼラチンの存在は結着性や導電性層の可撓性の改善に寄与している。
本発明において、パターン状の細線状現像銀上に施される複数の黒色の皮膜層は、金属部を構成する金属細線を被覆しうる限り、物理現像、化学的金属沈積、そのほかいずれの手段で被覆されていてもよいが、透光導電性材料電解めっきによって形成させるのが好ましく、なかでも複数の黒色皮膜層をいずれも電解めっきによって形成させた導電性金属部であることが好都合である。
本発明の透光導電性材料は、透光性と電磁波シールド性を兼ね備えており、透光性電磁波シールド膜に用いられる。とくに電磁波シールド性が高いので、プラズマディスプレー用の電磁波シールド膜として適している。
In the present invention, the light-transmitting conductive material is obtained by exposing a silver salt photosensitive material in a pattern and developing it, preferably further developing the developed silver by subjecting it to physical development or plating treatment to enhance the conductivity, and then a plurality of black coatings. The manufacturing method for applying the layer is preferable from the viewpoints of cost, productivity, and simplicity. Therefore, the conductive metal layer often contains gelatin derived from a silver salt photosensitive material. This contributes to improving the flexibility of the conductive layer.
In the present invention, the plurality of black coating layers applied on the patterned fine-line developed silver may be subjected to physical development, chemical metal deposition, or any other means as long as the metal thin lines constituting the metal part can be covered. Although it may be coated, it is preferably formed by translucent electroconductive material electroplating, and among them, it is convenient that all of the plurality of black film layers are electroconductive metal parts formed by electroplating.
The translucent conductive material of the present invention has both translucency and electromagnetic shielding properties, and is used for a translucent electromagnetic shielding film. In particular, since the electromagnetic wave shielding property is high, it is suitable as an electromagnetic wave shielding film for plasma display.

本発明の透光導電性材料の金属部を構成するパターン状の金属細線は、前記規定の黒化層を表面に形成し得るものであれば特に限定されず適用可能である。例えば、支持体表面に多少の導電性スパッタを施したり(パターン状にスパッタ、又は一様にスパッタしたのちレジストなどでパターニング)、真空蒸着薄膜を設けたフィルム、銅箔をエッチングによりメッシュ状に形成した金属層にも適用される。また、パラジウムなどの無電解めっき触媒を透明支持体上にグラビア印刷やスクリーン印刷などの方法で印刷した後に無電解めっきと電解めっきを施してメッシュ状に形成された金属パターンにも適用可能である。また、金属銀粒子分散物を透明支持体上に印刷した後にその金属銀パターンの導電性を利用して電解めっきを施してメッシュ状に形成された金属パターンにも適用される。更には、銀塩拡散転写法によって形成される導電性銀パターンに電解めっきを施してメッシュ状に形成された金属パターンにも適用される。
しかしながら、前記のように銀塩感光材料にパターン露光と現像処理と、好ましくはさらに金属めっき処理と、を施した現像済みフィルムが、本発明の適用対象として特に好ましい。
本発明の透光導電性材料は、上記した銀細線や金属めっきされた銀細線のメッシュ状パターンを有するフィルムであるが、そのフィルム上の金属メッシュパターンは連続している(通電性に途切れがない)ことが好ましい。一部でも繋がっていればよく、導電性パターンが途切れるとめっきがつかない部分ができたり、導電性金属層の一部がムラになったりするおそれがある。この連続した金属メッシュパターン上に上記めっき処理を施すことで金属メッシュ上に導電性金属被膜が形成され、めっき処理後の透光導電性材料(導電性膜)や該材料を担持した機能性フィルムは、例えば絶縁体フィルム上に形成されるプリント配線基板、PDP用電磁波シールド膜等として有用である。
なお、一般的には「メッシュ」は、篩の目の密度を表すものとしても用いられるが、本明細書で「メッシュ」とは、当業界の慣用的用法で網目状の金属パターンを指している。
The patterned thin metal wire constituting the metal portion of the translucent conductive material of the present invention is not particularly limited as long as it can form the prescribed blackened layer on the surface. For example, some conductive sputtering is applied to the surface of the support (spattered into a pattern or uniformly sputtered and then patterned with a resist), a film provided with a vacuum-deposited thin film, and a copper foil formed into a mesh by etching It is also applied to the metal layer. It is also applicable to a metal pattern formed in a mesh shape by electroless plating and electrolytic plating after printing an electroless plating catalyst such as palladium on a transparent support by a method such as gravure printing or screen printing. . Further, the present invention is also applied to a metal pattern formed in a mesh shape by printing a metal silver particle dispersion on a transparent support and then performing electroplating using the conductivity of the metal silver pattern. Furthermore, the present invention is also applied to a metal pattern formed in a mesh shape by electroplating a conductive silver pattern formed by a silver salt diffusion transfer method.
However, as described above, a developed film obtained by subjecting a silver salt photosensitive material to pattern exposure and development processing, preferably further metal plating treatment is particularly preferable as an application target of the present invention.
The translucent conductive material of the present invention is a film having the above-described silver fine wire or metal-plated silver fine wire mesh pattern, but the metal mesh pattern on the film is continuous (discontinuity in electrical conductivity). Preferably). Any part of the conductive metal layer may be connected, and if the conductive pattern is interrupted, there may be a portion where plating cannot be applied, or a part of the conductive metal layer may become uneven. A conductive metal film is formed on the metal mesh by performing the above plating process on the continuous metal mesh pattern, and the light-transmitting conductive material (conductive film) after the plating process or a functional film carrying the material Is useful, for example, as a printed wiring board formed on an insulator film, an electromagnetic wave shielding film for PDP, or the like.
In general, “mesh” is also used to indicate the density of the sieve mesh. In this specification, “mesh” refers to a mesh-like metal pattern according to a common usage in the industry. Yes.

本発明は、前述のように、銀塩乳剤層を支持体上に有する写真乳剤にメッシュ状パターン露光と現像処理して得られる銀メッシュパターンに適用することが最も好ましい態様であり、銀メッシュパターンは本発明のめっき処理によって凹凸がなくかつ堅牢な透光導電性材料となり、それは透光性電磁波シールド膜として好適である。したがって、本発明の透光導電性材料のもっとも好ましい態様である銀塩乳剤から透光性電磁波シールド膜を得る一連の工程については上述の特許文献6に記載されている。   As described above, the present invention is most preferably applied to a silver mesh pattern obtained by subjecting a photographic emulsion having a silver salt emulsion layer on a support to a mesh pattern exposure and development treatment. Becomes a solid light-transmitting conductive material without irregularities by the plating treatment of the present invention, which is suitable as a light-transmitting electromagnetic wave shielding film. Therefore, a series of steps for obtaining a light-transmitting electromagnetic wave shielding film from a silver salt emulsion which is the most preferable embodiment of the light-transmitting conductive material of the present invention is described in Patent Document 6 described above.

次に、後述する電解めっき槽(図2の10)を備えためっき装置を使用して、フィルムのメッシュ状の銀細線パターンに銅めっき層を形成させて導電性を強化する方法を説明する。
まずめっき浴(図2の11)にめっき液(図2の15)を貯留する。めっき液としては、銅めっきの場合は、銅供給源化合物として、硫酸銅、シアン化銅、ホウフッ化銅、塩化銅、ピロリン酸銅炭酸銅等の1つ以上を含む銅めっき液が挙げられる。建浴費が安く、管理が容易などの点から硫酸銅を含むめっき液を用いることが好ましく、硫酸銅5水和塩あるいは予め水に溶かした硫酸銅水溶液を用いることがより好ましい。
銅めっき液において、前記以外の銅イオン源としては、通常酸性溶液において溶解するとともにpH3以下の酸性銅めっき液を形成できる銅化合物である限り特に制限はないなく用いることができる。この前記以外の銅イオン源の具体例としては、酸化銅、メタンスルホン酸銅、プロパンスルホン酸銅などのアルカンスルホン酸銅、プロパノールスルホン酸銅などのアルカノールスルホン酸銅、酢酸銅、クエン酸銅、酒石酸銅などの有機酸銅及びその塩などがあげられる。銅化合物は、1種を単独で使用することもでき、2種以上を組み合わせて使用することもできる。
Next, a method for strengthening conductivity by forming a copper plating layer on a mesh-like silver fine wire pattern of a film using a plating apparatus equipped with an electrolytic plating tank (10 in FIG. 2) described later will be described.
First, a plating solution (15 in FIG. 2) is stored in a plating bath (11 in FIG. 2). In the case of copper plating, examples of the plating solution include a copper plating solution containing one or more of copper sulfate, copper cyanide, copper borofluoride, copper chloride, copper pyrophosphate copper carbonate and the like as a copper supply source compound. It is preferable to use a plating solution containing copper sulfate from the viewpoint that the bathing cost is low and management is easy, and it is more preferable to use a copper sulfate pentahydrate or a copper sulfate aqueous solution previously dissolved in water.
In the copper plating solution, the copper ion source other than the above can be used without particular limitation as long as it is a copper compound that can be dissolved in an ordinary acidic solution and can form an acidic copper plating solution having a pH of 3 or lower. Specific examples of the copper ion source other than the above include copper oxide, copper methanesulfonate, copper alkanesulfonate such as copper propanesulfonate, copper alkanol sulfonate such as copper propanolsulfonate, copper acetate, copper citrate, Examples include organic acid copper such as copper tartrate and salts thereof. A copper compound can also be used individually by 1 type, and can also be used in combination of 2 or more type.

銅めっき液中での銅イオン濃度としては、硫酸銅5水塩の質量換算で、150〜300g/Lの範囲とすることが好ましく、より好ましい範囲は150〜250g/Lであり、さらにより好ましい範囲は180〜220g/Lである。
通常、電解めっきを行う場合、めっき液における銅イオン濃度は80g〜100g/Lとすることが多い。しかしながら、本発明のように表面抵抗が高いフィルムに電解めっきを行う場合、電子が広い面積に行き渡りにくいため、単位面積当りの電流密度が高くなり、通常用いられる範囲の銅イオン濃度では電子の供給に対して銅イオンの供給が追いつかず、フィルム表面で水素が発生して質の悪い銅めっき(いわゆる「焦げ」)が付着し、均一にムラなくめっき被膜を形成することが困難となる。そこで、本発明では、めっき液の銅イオン濃度を150g/L以上とすることが好ましく、この「焦げ」の発生を防止し、均一でムラのないめっき被膜形成することができる。
なお、銅イオン濃度を300g/L以下を好ましい範囲としたのは、300g/Lを超えて使用しても効果がほとんど増大せず不経済であり、また、溶解に時間が掛かる、析出し易い等の問題があるためである。
The copper ion concentration in the copper plating solution is preferably in the range of 150 to 300 g / L, more preferably in the range of 150 to 250 g / L, and even more preferably in terms of the mass of copper sulfate pentahydrate. The range is 180-220 g / L.
Usually, when electrolytic plating is performed, the copper ion concentration in the plating solution is often 80 to 100 g / L. However, when electrolytic plating is performed on a film having a high surface resistance as in the present invention, electrons are difficult to spread over a large area, so that the current density per unit area is high, and the supply of electrons is performed at a copper ion concentration within a normal range. On the other hand, the supply of copper ions cannot catch up, hydrogen is generated on the film surface, and poor-quality copper plating (so-called “burn”) adheres, making it difficult to uniformly form a plating film without unevenness. Therefore, in the present invention, the copper ion concentration of the plating solution is preferably 150 g / L or more, and the occurrence of this “burn” can be prevented, and a uniform and non-uniform plating film can be formed.
It should be noted that the copper ion concentration within a preferable range of 300 g / L or less is uneconomical even if it is used in excess of 300 g / L, is uneconomical, takes time for dissolution, and tends to precipitate. This is because of such problems.

めっき液に加える酸は、めっき液のpHが十分低く保たれる限り特に限定されず、例えば硫酸、硝酸、塩酸等が挙げられる。pHは酸の濃度によって変わるが、3以下が好ましく、さらに好ましくは1以下である。なお、酸性銅めっき液がpH3を超えると、銅が析出し易くなるため好ましくない。   The acid added to the plating solution is not particularly limited as long as the pH of the plating solution is kept sufficiently low, and examples thereof include sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid and the like. The pH varies depending on the acid concentration, but is preferably 3 or less, more preferably 1 or less. In addition, since it becomes easy to precipitate copper when an acidic copper plating solution exceeds pH 3, it is not preferable.

例えば硫酸銅を含むめっき液を用いた場合、めっき液中の硫酸の濃度としては、30〜300g/Lが好ましく、50〜150g/Lがより好ましい。pHは硫酸濃度によって変わるが、3以下が好ましく、さらに好ましくは1以下である。   For example, when a plating solution containing copper sulfate is used, the concentration of sulfuric acid in the plating solution is preferably 30 to 300 g / L, and more preferably 50 to 150 g / L. The pH varies depending on the sulfuric acid concentration, but is preferably 3 or less, more preferably 1 or less.

銅めっき液中に塩素イオンが存在することが好ましく、その濃度は20〜150mg/Lであることが好ましく、30〜100mg/Lがより好ましい。
次に、銅めっき液に添加する有機系添加剤について説明する。有機系添加剤は、めっき反応を抑制する有機化合物(めっき抑制剤)、めっき反応を促進する有機化合物(めっき促進剤)及びめっき過程で電着形成する姻族膜を平坦化する有機化合物(めっき平坦化剤)であり、これらから選ばれる少なくとも一つの化合物を含有することが好ましく、2種以上を組み合わせて含有することがより好ましく、特にめっき反応を抑制する有機化合物、めっき反応を促進する有機化合物及びめっき成長を平坦化する有機化合物の全てを併用して添加することが最も好ましい。
It is preferable that chlorine ions exist in the copper plating solution, and the concentration thereof is preferably 20 to 150 mg / L, more preferably 30 to 100 mg / L.
Next, an organic additive added to the copper plating solution will be described. Organic additives include organic compounds that suppress plating reactions (plating inhibitors), organic compounds that promote plating reactions (plating accelerators), and organic compounds that flatten the tribe film that is electrodeposited during plating. It is preferable to contain at least one compound selected from these, more preferably a combination of two or more, and particularly an organic compound that suppresses the plating reaction, and an organic compound that promotes the plating reaction It is most preferable to add all of the organic compounds that flatten the plating growth in combination.

めっき反応を抑制する有機化合物としては、水溶性基を有する鎖状ポリマー成分が好ましい。鎖状ポリマーは分岐していてもよい。また、ポリマーは、単一モノマーから構成されていてもよく、2種以上のモノマーの共重合体でもよい。水溶性基は、水酸基、硫酸基、亜硫酸基、カルボキシル基、ホスホン酸基が好ましく、とりわけ水酸基が好ましい。ポリマー成分としては、特に酸素原子を有するポリマー成分が銅めっき表面に吸着し易く、めっき反応を抑制する。めっき反応が進みすぎた孔外部に吸着し易く選択的に抑制するため、めっきが均一に緻密になるので好ましい。
ポリマー成分としては、ポリアルキレングリコール類が好ましく、その場合のアルキレン基の炭素数は2〜8が好ましく、2〜3がより好ましい。具体的には、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコールブロック共重合型(プルロニック型)界面活性剤、ポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコールグラフト共重合型(テトロニック型)界面活性剤、グリセリンエーテル、ジアルキルエーテルからなる群から選ばれる化合物を用いることができ、好ましくは分子量10000〜10000、より好ましくは2000〜6000のポリエチレングリコール、分子量100〜5000、より好ましくは200〜2000のポリプロピレングリコール、分子量1000〜10000、より好ましくは1500〜4000のポリエチレングリコール・ポリプロピレングリコールブロック共重合体が挙げられ、2000〜6000のポリエチレングリコールが最も好ましい。なお、水溶性基を有する鎖状ポリマーポリマー成分は、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。ポリマー成分の濃度としては、10〜5000mg/Lが好ましく、50〜2000mg/Lがより好ましい。
As the organic compound that suppresses the plating reaction, a chain polymer component having a water-soluble group is preferable. The chain polymer may be branched. In addition, the polymer may be composed of a single monomer or a copolymer of two or more monomers. The water-soluble group is preferably a hydroxyl group, a sulfate group, a sulfite group, a carboxyl group, or a phosphonic acid group, and particularly preferably a hydroxyl group. Especially as a polymer component, the polymer component which has an oxygen atom tends to adsorb | suck to a copper plating surface, and suppresses plating reaction. It is preferable because the plating is uniformly dense because it is easily adsorbed to the outside of the hole where the plating reaction has proceeded excessively and is selectively suppressed.
As the polymer component, polyalkylene glycols are preferable. In this case, the alkylene group preferably has 2 to 8 carbon atoms, more preferably 2 to 3 carbon atoms. Specifically, polyethylene glycol, polypropylene glycol, polyethylene glycol / polypropylene glycol block copolymer (pluronic) surfactant, polyethylene glycol / polypropylene glycol graft copolymer (tetronic) surfactant, glycerin ether, dialkyl A compound selected from the group consisting of ethers can be used, preferably polyethylene glycol having a molecular weight of 10,000 to 10000, more preferably 2000 to 6000, polypropylene glycol having a molecular weight of 100 to 5000, more preferably 200 to 2000, molecular weight of 1,000 to 10,000. More preferably, a polyethylene glycol / polypropylene glycol block copolymer of 1500 to 4000 is mentioned, and 2000 to 6 00 polyethylene glycol is most preferred. In addition, the chain polymer polymer component which has a water-soluble group can be used 1 type or in combination of 2 or more types. As a density | concentration of a polymer component, 10-5000 mg / L is preferable and 50-2000 mg / L is more preferable.

めっき反応を促進する化合物として、含硫黄基を有する系有機化合物が好ましい。含硫黄基としては、スルフィド基、チオール基(メルカプト基)、スルホン酸基、スルフィン酸基、チオ硫酸基を挙げることができる。含硫基を有する硫黄系有機化合物を含有させることにより、めっきされ難い凹部を効率的にめき反応を促進してめっきが均一かつ緻密になり、また耐擦傷性、耐熱性なども良化する。含硫基を有する硫黄系有機化合物の具体例としては、スルホアルキルスルホン酸(アルキル基の炭素数は1〜10、好ましくは2〜4)およびその塩、ビススルホ有機化合物およびジチオカルバミン酸誘導体からなる群、チオ硫酸またはその塩から選ばれる化合物を用いることができ、好ましい具体例としてビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド(SPS)、メルカプトプロパンスルホン酸ナトリウム(MPS)など挙げられる。またその他、特開平7−316875号の段落[0012]に挙げられている化合物を用いることも好ましい。なお、硫黄系有機化合物は1種または2種以上を組み合わせて用いてもよい。硫黄系有機化合物の濃度としては、0.02〜2000mg/Lが好ましく、0.1〜300mg/Lがより好ましい。   As the compound that accelerates the plating reaction, a system organic compound having a sulfur-containing group is preferable. Examples of the sulfur-containing group include sulfide groups, thiol groups (mercapto groups), sulfonic acid groups, sulfinic acid groups, and thiosulfuric acid groups. By including a sulfur-based organic compound having a sulfur-containing group, the concave portions that are difficult to be plated are efficiently turned to promote the reaction, so that the plating becomes uniform and dense, and the scratch resistance, heat resistance, and the like are improved. Specific examples of the sulfur-based organic compound having a sulfur-containing group include a sulfoalkylsulfonic acid (the alkyl group has 1 to 10 carbon atoms, preferably 2 to 4) and a salt thereof, a bissulfo organic compound, and a dithiocarbamic acid derivative. A compound selected from thiosulfuric acid or a salt thereof can be used, and preferred specific examples include bis (3-sulfopropyl) disulfide (SPS), sodium mercaptopropanesulfonate (MPS) and the like. In addition, it is also preferable to use the compounds listed in paragraph [0012] of JP-A-7-316875. In addition, you may use a sulfur type organic compound 1 type or in combination of 2 or more types. As a density | concentration of a sulfur type organic compound, 0.02-2000 mg / L is preferable and 0.1-300 mg / L is more preferable.

また、めっき過程で電着した金属成長膜を平坦化させる有機化合物として、窒素化合物が好ましい。めっき液中に窒素化合物を含有させることにより、先に説明した好ましくは前記めっき反応を抑制する有機化合物剤と連動して併用することによって、抑制剤性有機化合物をより拡散律速的にしてメッシュ状パターン孔外部に選択的に吸着させめっきを抑制し、めっき厚みの均一性がより良化する。
窒素化合物としては、ポリアルキレンイミン、1−ヒドロキシエチル−2−アルキルイミダゾリン塩、ポリジアルキルアミノエチルアクリレート4級塩、ポリビニルピリジン4級塩、ポリビニルアミジン、ポリアリルアミン、ポリアミンスルホン酸、オーラミンおよびその誘導体、メチルバイオレットおよびその誘導体、クリスタルバイオレットおよびその誘導体、ヤヌスブラックおよびその誘導体、ヤヌスグリーンからなる群から選ばれる化合物を用いることができる。なお、窒素化合物は、1種または2種以上を組み合わせて用いることができる。窒素化合物の濃度としては、0.1〜1000mg/Lが好ましく、0.5〜150mg/Lがより好ましい。
Further, a nitrogen compound is preferable as the organic compound for flattening the metal growth film electrodeposited in the plating process. By containing a nitrogen compound in the plating solution, the inhibitory organic compound is more diffusion-controlled by using it in conjunction with the organic compound agent that preferably suppresses the plating reaction described above, thereby making it mesh-like. By selectively adsorbing outside the pattern hole, plating is suppressed, and the uniformity of the plating thickness is improved.
As the nitrogen compound, polyalkyleneimine, 1-hydroxyethyl-2-alkylimidazoline salt, polydialkylaminoethyl acrylate quaternary salt, polyvinylpyridine quaternary salt, polyvinylamidine, polyallylamine, polyaminesulfonic acid, auramine and derivatives thereof, A compound selected from the group consisting of methyl violet and derivatives thereof, crystal violet and derivatives thereof, Janus black and derivatives thereof, and Janus green can be used. In addition, a nitrogen compound can be used 1 type or in combination of 2 or more types. As a density | concentration of a nitrogen compound, 0.1-1000 mg / L is preferable and 0.5-150 mg / L is more preferable.

銅めっき工程が2段以上の多段で構成されている場合、後半の銅めっき液中の有機系添加剤濃度が、前半銅めっき液に添加した有機系添加剤濃度に対して70%以下が好ましく、より好ましくは50%以下、最も好ましくは実質含有しない。実質含有しないとは、処理することによって前浴から液が持ち込まれるために微小混入するといったこと以外には、積極的故意に添加を行わないということである。
銅めっき槽の総数の和は、好ましくは2〜40槽であり、さらに好ましくは4〜30槽であり、とくに好ましくは10〜20槽である。前記銅めっき液の前半に対する後半の槽数の比は、0.5〜2.0が好ましい。
銅めっき液の浴温は、15〜40℃が好ましく、20〜35℃が特に好ましい。
When the copper plating process is composed of two or more stages, the organic additive concentration in the latter half copper plating solution is preferably 70% or less with respect to the organic additive concentration added to the first half copper plating solution. More preferably, it is 50% or less, and most preferably it does not contain substantially. “Substantially not containing” means that the solution is not positively and intentionally added except that the liquid is brought in from the pre-bath by processing and is mixed minutely.
The sum of the total number of copper plating tanks is preferably 2 to 40 tanks, more preferably 4 to 30 tanks, and particularly preferably 10 to 20 tanks. The ratio of the number of tanks in the latter half to the first half of the copper plating solution is preferably 0.5 to 2.0.
The bath temperature of the copper plating solution is preferably 15 to 40 ° C, particularly preferably 20 to 35 ° C.

銅めっき液の撹拌方法としては、一般的に用いられているエアレーションや超音波撹拌などを用いればよく、特に限定されない。また、銅めっき後の水洗用の水の温度としては15〜40℃が好ましく、20〜30℃が特に好ましい。   The stirring method for the copper plating solution is not particularly limited as long as commonly used aeration, ultrasonic stirring, or the like is used. Moreover, as temperature of the water for washing after copper plating, 15-40 degreeC is preferable and 20-30 degreeC is especially preferable.

電解めっき直前のフィルムの表面抵抗は、1〜1000Ω/□であることが好ましく、5〜500Ω/□であることがより好ましく、さらに好ましい範囲は10〜100Ω/□である。   The surface resistance of the film immediately before the electrolytic plating is preferably 1 to 1000Ω / □, more preferably 5 to 500Ω / □, and still more preferably 10 to 100Ω / □.

印加電圧は、1〜100Vの範囲であることが好ましく、2〜60Vの範囲であることがより好ましい。電解めっき槽が複数設置されている場合は、電解めっき槽の印加電圧を段階的に下げることが好ましい。また、第1槽目の入り口側の電流量としては、1〜30Aが好ましく、2〜10Aがより好ましい。
給電ローラ12a,12bはフィルム全面(接触している面積のうちの実質的に電気的に接触している部分が80%以上)と接触していることが好ましい。
The applied voltage is preferably in the range of 1 to 100V, more preferably in the range of 2 to 60V. When a plurality of electrolytic plating tanks are installed, it is preferable to lower the applied voltage of the electrolytic plating tank stepwise. Moreover, as an electric current amount by the side of the entrance of the 1st tank, 1-30A is preferable and 2-10A is more preferable.
The power supply rollers 12a and 12b are preferably in contact with the entire surface of the film (the portion of the contact area that is substantially in electrical contact is 80% or more).

上記電解めっき処理によりめっきされる導電性金属部の厚さは、ディスプレイの電磁波シールド材の用途としては、薄いほどディスプレイの視野角が広がるため好ましい。さらに、導電性配線材料の用途としては、高密度化の要請から薄膜化が要求される。このような観点から、めっきされた導電性金属からなるシールド膜の厚さは、9μm未満であることが好ましく、0.1μm以上5μm未満であることがより好ましく、0.1μm以上3μm未満であることがさらに好ましい。   The thickness of the conductive metal portion plated by the electrolytic plating treatment is preferable because the viewing angle of the display is increased as the thickness of the electromagnetic shielding material for the display is reduced. Furthermore, as a use of the conductive wiring material, a thin film is required because of a demand for high density. From such a viewpoint, the thickness of the shield film made of the plated conductive metal is preferably less than 9 μm, more preferably from 0.1 μm to less than 5 μm, and from 0.1 μm to less than 3 μm. More preferably.

また、本発明のめっき処理においては、上記の電解めっき処理を行う直前のフィルムの表面抵抗が1〜1000Ω/□のフィルムであれば、その前に無電解めっき処理を行ってもよい。   Moreover, in the plating process of this invention, if the surface resistance of the film just before performing said electroplating process is a film of 1-1000 ohms / square, you may perform an electroless-plating process before that.

また、フィルム上の導電性パターンは連続している(電気的に途切れていない)ことが好ましい。一部でも繋がっていればよく、導電性パターンが途切れると第1槽目の電解めっき槽でめっきがつかない部分ができたり、ムラになったりするおそれがある。   Moreover, it is preferable that the electroconductive pattern on a film is continuous (it is not interrupted electrically). It is only necessary to be partially connected, and if the conductive pattern is interrupted, there is a possibility that a portion where plating cannot be applied in the first electrolytic plating tank may be formed or uneven.

めっき処理時のめっき速度は、緩やかな条件で行うことができるが、5μm/hr以上の高速めっきも可能である。めっき処理において、めっき液の安定性を高める観点からは、例えば、EDTAなどの配位子など種々の添加剤をめっき液中に添加して用いることができる。   The plating rate during the plating process can be performed under moderate conditions, but high-speed plating of 5 μm / hr or more is also possible. In the plating process, from the viewpoint of improving the stability of the plating solution, for example, various additives such as a ligand such as EDTA can be added to the plating solution and used.

次に電磁波シールド膜に好ましく施される防錆処理及びその処理によって膜中に含まれる防錆剤について説明する。
本発明において、電磁波シールド膜に含ませるのが好ましい防錆剤は、シールド膜作製用の材料である感光材料中(例えば乳剤層中や表面保護粗中)に含まれていてもよく、該感光材料をパターン露光後現像処理する際の現像液中、定着液中または安定液中に含まれていて処理中にシールド膜中に取り込まれてもよく、あるいは現像処理後の電解めっき液や無電解めっき液、酸化液、さらには独立の防錆剤浴中に含まれていて処理中にシールド膜中に取り込まれてもよい。特に、後述する黒化処理後に防錆剤浴に浸漬して防錆剤を膜中に取り込ませることが最も好ましい。
Next, the antirust treatment preferably applied to the electromagnetic wave shielding film and the antirust agent contained in the film by the treatment will be described.
In the present invention, the rust preventive agent preferably contained in the electromagnetic wave shielding film may be contained in a photosensitive material (for example, in an emulsion layer or in a surface protective coarse) which is a material for producing a shielding film. The material may be contained in a developer, a fixing solution, or a stabilizer when developing after pattern exposure, and may be incorporated into a shield film during processing, or an electroplating solution or electroless after development It may be contained in a plating solution, an oxidizing solution, or an independent rust preventive bath and taken into the shield film during processing. In particular, it is most preferable to immerse the rust preventive agent in the film by dipping in a rust preventive bath after the blackening treatment described later.

本発明に用いられる防錆剤としては、含窒素ヘテロ環化合物や有機メルカプト化合物が好ましく、中でも含窒素ヘテロ環化合物が好ましく用いられる。
含窒素有機ヘテロ環化合物の好ましい例は、5−又は6-員環アゾール類が好ましく、中でも5-員環アゾール類が好ましい。本発明に用いられる防錆剤としては、含窒素有機ヘテロ環化合物や、有機メルカプト化合物が好ましく用いられ用いられる。これら防錆剤は単独あるいは複数種併用して用いることができ、防錆剤の好ましい吸着量は0.01〜0.5g/m、特に好ましくは0.03〜0.3g/mである。
As a rust preventive agent used for this invention, a nitrogen-containing heterocyclic compound and an organic mercapto compound are preferable, and a nitrogen-containing heterocyclic compound is used preferably especially.
Preferable examples of the nitrogen-containing organic heterocyclic compound are 5- or 6-membered azoles, and 5-membered azoles are particularly preferable. As the rust preventive agent used in the present invention, a nitrogen-containing organic heterocyclic compound or an organic mercapto compound is preferably used and used. These rust inhibitors can be used alone or in combination of two or more, and the preferred adsorption amount of the rust inhibitor is 0.01 to 0.5 g / m 2 , particularly preferably 0.03 to 0.3 g / m 2 . is there.

本発明にかかわる黒化処理は、導電性金属表面に少なくとも二ッケルを含み、亜鉛と錫から選択される金属を含んだ混合皮膜を2層以上電着させる処理で、導電性金属表面側に最も近い黒化層から遠い層へ向かって、順次その質量比が減少していく構成である。メッシュ表面側から見た場合、導電性金属表面に最も近い黒色層を下層側、遠い黒色層を表層側と表す。
Ni/他種金属質量比は0.1〜50、好ましくは0.1〜15の範囲で含有し、かつ下層側の質量比に対して表層側の質量比が小さい黒化層を設けるように行われる。他種金属種としては亜鉛または錫が好ましく、亜鉛の場合には下層側Ni/Zn質量比が3〜15、表層側Ni/Zn質量比が0.1〜3の範囲、錫の場合は下層側Ni/Sn質量比が0.3〜1、表層側Ni/Sn質量比が0.1〜0.3の範囲に黒化層を設けるように行われるのが好ましい。
The blackening treatment according to the present invention is a treatment for electrodepositing two or more layers of a mixed film containing at least nickel on the surface of the conductive metal and containing a metal selected from zinc and tin. In this configuration, the mass ratio gradually decreases from the near blackened layer to the far layer. When viewed from the mesh surface side, the black layer closest to the conductive metal surface is represented as the lower layer side, and the far black layer is represented as the surface layer side.
Ni / other metal mass ratio is 0.1 to 50, preferably 0.1 to 15 and a blackening layer having a smaller mass ratio on the surface layer side than the mass ratio on the lower layer side is provided. Done. The other metal species is preferably zinc or tin. In the case of zinc, the lower layer side Ni / Zn mass ratio is in the range of 3 to 15, and the surface layer side Ni / Zn mass ratio is in the range of 0.1 to 3. In the case of tin, the lower layer is in the lower layer. It is preferable that the blackening layer is provided in a range where the side Ni / Sn mass ratio is 0.3 to 1 and the surface side Ni / Sn mass ratio is 0.1 to 0.3.

本発明において少なくとも2層以上の複数黒化層を金属細線上に被覆させる場合、電解槽を複数槽用いて、被処理試料(現像済み感光材料)を搬送させて電解液組成、電解液温度、印加電圧条件等を変更した複数槽を順次移動させながら電解処理する方法が、処理条件制御の容易さや生産性の点で優れている。 後述する図1は、黒化処理及び電解めっき処理の電解槽の典型的な例の模式図である。
処理に用いられる金属化合物は、硫酸塩、硝酸塩、塩化物等の種々の塩を適宜組み合わせて用いることができる。これらの金属化合物に加えてめっき液安定性を高めるアンモニア、EDTA、チオシアン酸塩またはピロリン酸塩等の種々の安定化剤、ナフタレンスルホン酸塩、サッカリン等の光沢剤、ピット防止剤としてラウリル硫酸ナトリウムのような界面活性剤、前述のめっき抑制、促進または平滑化剤等を添加することも可能である。
In the present invention, when at least two or more blackening layers are coated on a thin metal wire, a plurality of electrolytic baths are used to convey a sample to be processed (developed photosensitive material), an electrolytic solution composition, an electrolytic solution temperature, A method of performing electrolytic treatment while sequentially moving a plurality of tanks whose applied voltage conditions are changed is excellent in terms of ease of processing condition control and productivity. FIG. 1 described later is a schematic diagram of a typical example of an electrolytic cell for blackening treatment and electrolytic plating treatment.
The metal compound used for the treatment can be used by appropriately combining various salts such as sulfate, nitrate and chloride. In addition to these metal compounds, various stabilizers such as ammonia, EDTA, thiocyanate or pyrophosphate that enhance the stability of the plating solution, brighteners such as naphthalene sulfonate and saccharin, sodium lauryl sulfate as a pit inhibitor It is also possible to add surfactants such as those described above, plating suppression, acceleration or smoothing agents as described above.

黒化処理液の好ましいpHは金属種の組み合わせにより様々であるが、通常液安定性や反応性をコントロールする目的で酸、またはアルカリによりpH補正しながら一定pHで処理をすることが好ましい。また、コハク酸、クエン酸等の緩衝剤を併用してpH変動を抑えることで、pH補正と同様の効果を得る方法も好適に用いることができる。
黒化処理液の好ましい温度は30〜60℃で、より好ましくは38〜50℃である。液の攪拌は通常良く知られたエアー攪拌、液を小さいノズルから噴出すジェット攪拌、タンク液を循環させて攪拌する方法が好ましい。
The preferred pH of the blackening treatment liquid varies depending on the combination of metal species, but it is usually preferred to treat at a constant pH while correcting the pH with an acid or alkali for the purpose of controlling the stability and reactivity of the liquid. Moreover, the method of obtaining the effect similar to pH correction | amendment can also be used suitably by using together buffering agents, such as a succinic acid and a citric acid, and suppressing pH fluctuation | variation.
The preferable temperature of the blackening treatment liquid is 30 to 60 ° C, more preferably 38 to 50 ° C. The stirring of the liquid is preferably carried out by well-known air stirring, jet stirring for jetting the liquid from a small nozzle, or a method of stirring by circulating the tank liquid.

黒化処理用のアノード電極としてニッケル、カーボンなどを用いることができるが、安定した質量比の黒化層を形成するために、カーボン電極を用いることが好ましい。この場合、黒化処理することによってニッケルと亜鉛の濃度がそれぞれ低下するが、常に一定になるように電析して減った分を上乗せした補充液を作成して補充しながら黒化処理することが好ましい。
黒化処理のカソード面における1分間当りの電流密度は0.1〜5A/dm2、好ましくは0.3〜3A/dmである。連続的に黒化処理する場合、線速は0.1〜30m/分が好ましく、0.5〜10m/分が特に好ましい。
複数槽の電解槽を用いる場合の好ましい黒化処理槽数は、処理の容易性、コスト等の観点から2〜5槽、より好ましくは2〜3槽である。
Nickel, carbon, or the like can be used as an anode electrode for blackening treatment, but it is preferable to use a carbon electrode in order to form a blackened layer having a stable mass ratio. In this case, the concentration of nickel and zinc decreases as a result of the blackening treatment, but a blackening treatment is carried out while replenishing by making up a replenisher that adds the amount reduced by electrodeposition so that it is always constant. Is preferred.
The current density per minute on the cathode surface of the blackening treatment is 0.1 to 5 A / dm 2 , preferably 0.3 to 3 A / dm 2 . In the case of continuous blackening treatment, the linear velocity is preferably from 0.1 to 30 m / min, particularly preferably from 0.5 to 10 m / min.
In the case of using a plurality of electrolytic cells, the number of blackening treatment tanks is preferably 2 to 5 tanks, more preferably 2 to 3 tanks from the viewpoint of ease of processing, cost, and the like.

<電解処理装置>
本発明に係る黒化処理は、その前段として現像銀への電解メッキ処理と組み合わせて行うことが好ましい。現像済みの感光材料に対して、電解メッキ処理、黒化処理を含む一連の金属細線の補強、視認性改善のための電解処理装置を概念図を用いて説明する。
<Electrolytic treatment equipment>
The blackening treatment according to the present invention is preferably performed in combination with an electrolytic plating treatment on developed silver as a preceding stage. An electrolytic processing apparatus for reinforcing a series of fine metal wires including electrolytic plating and blackening processing and improving visibility on a developed photosensitive material will be described with reference to conceptual diagrams.

上記処理により銀メッシュパターンが形成されたフィルムに対して、本発明においては、多槽式電解装置を用いるのが適切である。図1に示す多槽構成の電解めっき・黒化処理装置の多段槽の構成を示し、各槽は後述する電解メッキ・黒化処理・防錆処理工程に対応している。図2は、説明のために多槽装置の1つの電解槽を採り上げてその構成を示したものであるが、黒化処理槽は、電解めっき槽10と実質的に同じ機能槽の電解槽、黒化処理槽が後述する処理工程に沿うように構成されている。
図1に示す電解メッキ工程、黒化処理工程、防錆処理工程などの一連の浸浴工程を行う装置の構成の概念図についてさらに述べる。槽a,bなど上流側の工程は、電解メッキ工程に用いられる槽であり、複数層を用いて多段電解メッキを行うのが、電解条件の細部制御が可能で質のよい電着膜が得られて好都合である。
電着工程に続いて黒化処理が行われる。黒化処理も複数槽を用いて黒化皮膜の金属質量比を変更させた黒化層を複数層電着させるのが本発明の特徴を発揮させる黒化処理方法である。槽内の処理液組成と電圧印加条件などの操作制御条件は、変更されるが、槽の機能や構成は電気メッキ用の槽と同じであることが好都合である。
図2は、上記図1に示す連続処理方式の電解槽の例として第1槽を示したものである。図2において電解めっき槽11に銅めっき液を貯留した後、フィルム16を繰り出しリール(図示せず)に巻かれた状態でセットして、フィルム16のめっきを形成すべき側の面が給電ローラ12a,12bと接触するように、フィルム16を搬送ローラ(図示せず)に巻き掛ける。めっき浴11内には、一対のアノード板13が平行に配設され、アノード板13の内側には、一対のガイドローラ14がアノード板13と平行に回動可能に配設されている。ガイドローラ14は垂直方向に移動可能で、これによりフィルム16のめっき処理時間を調整できる。
In the present invention, it is appropriate to use a multi-tank electrolysis apparatus for the film on which the silver mesh pattern is formed by the above treatment. The structure of the multi-stage tank of the electroplating / blackening treatment apparatus having a multi-tank structure shown in FIG. 1 is shown, and each tank corresponds to an electrolytic plating / blackening treatment / rust prevention treatment process to be described later. FIG. 2 shows a configuration of one electrolytic cell of a multi-tank apparatus for the purpose of explanation. The blackening treatment tank is an electrolytic cell having substantially the same functional tank as the electrolytic plating tank 10, The blackening treatment tank is configured so as to follow a treatment process described later.
The conceptual diagram of the structure of the apparatus which performs a series of bathing processes, such as the electrolytic plating process shown in FIG. 1, a blackening process, and a rust prevention process, is further described. The upstream processes such as tanks a and b are tanks used in the electroplating process, and multi-stage electroplating is performed using a plurality of layers, so that fine control of the electrolysis conditions is possible and a high quality electrodeposition film is obtained. Be convenient.
A blackening process is performed following the electrodeposition process. In the blackening treatment, a plurality of blackened layers having different metal mass ratios of the blackened film are electrodeposited by using a plurality of tanks. Although the operation control conditions such as the treatment liquid composition and voltage application conditions in the tank are changed, it is convenient that the function and configuration of the tank are the same as those of the electroplating tank.
FIG. 2 shows a first tank as an example of the electrolytic cell of the continuous processing system shown in FIG. In FIG. 2, after the copper plating solution is stored in the electrolytic plating tank 11, the film 16 is set in a state where it is wound around a supply reel (not shown), and the surface of the film 16 on which the plating is to be formed is the feeding roller. The film 16 is wound around a conveyance roller (not shown) so as to come into contact with 12a and 12b. A pair of anode plates 13 are disposed in parallel in the plating bath 11, and a pair of guide rollers 14 are disposed inside the anode plate 13 so as to be rotatable in parallel with the anode plate 13. The guide roller 14 can move in the vertical direction, thereby adjusting the plating processing time of the film 16.

めっき浴11の上方には、フィルム16をめっき浴11に案内するとともにフィルム16に電流を供給する給電ローラ(カソード)12a,12bがそれぞれ一対回転自在に配設されている。また、めっき浴11の上方には、出口側の給電ローラ12bの下方に液切りローラ17が回動可能に配設されており、この液切りローラ17と出口側の給電ローラ12bとの間には、フィルムからめっき液を除去するための水洗用スプレー(図示せず)が設置されている。   Above the plating bath 11, a pair of feed rollers (cathodes) 12 a and 12 b for guiding the film 16 to the plating bath 11 and supplying current to the film 16 are rotatably arranged. A liquid draining roller 17 is rotatably disposed above the plating bath 11 and below the outlet-side power supply roller 12b. Between the liquid draining roller 17 and the outlet-side power supply roller 12b. Is provided with a spray for water washing (not shown) for removing the plating solution from the film.

上記の電解めっき槽10において、例えば、電解めっき槽のサイズが10×10×10cm〜100×200×300cmである場合は、入り口側の給電ローラ12aとフィルム16とが接している面の最下部とめっき液面との距離(図1に示す距離La)は、0.5〜15cmとすることが好ましく、1〜10cmとすることがより好ましく、1〜7cmとすることがさらに好ましい。また、出口側の給電ローラ12bとフィルム16とが接している面の最下部とめっき液面との距離(図1に示す距離Lb)は、0.5〜15cmとすることが好ましい。
アノード板13および給電ローラ12a,12bに電圧を印加し、フィルム16を給電ローラ12a,12bに接触させながら搬送する。フィルム16を電解めっき槽11に導入し、銅めっき液15に浸せきして、銅めっきを行う。液切りローラ17間を通過する際に、フィルム16に付着した銅めっき液15を拭い取り、電解めっき槽11に回収する。
めっき処理工程がすべて終了した後、あるいは各々のめっき処理工程が終了したときごとに、フィルム16は水洗され、巻取りリール(図示せず)に巻き取られる。
In the electrolytic plating tank 10 described above, for example, when the size of the electrolytic plating tank is 10 × 10 × 10 cm to 100 × 200 × 300 cm, the lowermost portion of the surface where the feeding roller 12a on the entrance side and the film 16 are in contact with each other The distance (distance La shown in FIG. 1) between the surface and the plating solution is preferably 0.5 to 15 cm, more preferably 1 to 10 cm, and even more preferably 1 to 7 cm. Moreover, it is preferable that the distance (distance Lb shown in FIG. 1) between the lowermost part of the surface where the power supply roller 12b on the outlet side and the film 16 are in contact with the plating solution surface is 0.5 to 15 cm.
A voltage is applied to the anode plate 13 and the power supply rollers 12a and 12b, and the film 16 is conveyed while being in contact with the power supply rollers 12a and 12b. The film 16 is introduced into the electrolytic plating tank 11 and immersed in the copper plating solution 15 to perform copper plating. When passing between the liquid removal rollers 17, the copper plating solution 15 adhered to the film 16 is wiped off and collected in the electrolytic plating tank 11.
The film 16 is washed with water and wound on a take-up reel (not shown) after all the plating processes are completed or each time each plating process is completed.

フィルム16の搬送速度は、0.5m/分〜30m/分の範囲で設定されることが好ましい。フィルム16の搬送速度は、より好ましくは、1m/分〜10m/分の範囲である。   The conveyance speed of the film 16 is preferably set in the range of 0.5 m / min to 30 m / min. The conveyance speed of the film 16 is more preferably in the range of 1 m / min to 10 m / min.

印加電圧は、銅メッキの場合は、第1槽の印加電圧は1V〜100Vの範囲であることが好ましく、2V〜60Vの範囲であることがより好ましい。電解めっき槽における印加電圧は、フィルムの進行方向に向かって徐々に下げることが好ましい。また、第1槽目の電流量としては、1A〜30Aが好ましく、2A〜10Aがより好ましい。
給電ローラ12a,12bはフィルム全面(接触している面積のうちの実質的に電気的に接触している部分が80%以上)と接触していることが好ましい。
In the case of copper plating, the applied voltage is preferably in the range of 1V to 100V, more preferably in the range of 2V to 60V. It is preferable that the applied voltage in the electrolytic plating tank is gradually lowered toward the traveling direction of the film. The amount of current in the first tank is preferably 1A to 30A, and more preferably 2A to 10A.
The power supply rollers 12a and 12b are preferably in contact with the entire surface of the film (the portion of the contact area that is substantially in electrical contact is 80% or more).

なお、給電ローラ12a,12bおよび給電ローラ12a,12bとめっき液の液面との間のフィルムの近傍にシャワー等を設けて、給電ローラ12a,12bおよびフィルム16を冷却することが好ましい。   It is preferable to cool the power supply rollers 12a and 12b and the film 16 by providing a shower or the like in the vicinity of the power supply rollers 12a and 12b and the film between the power supply rollers 12a and 12b and the surface of the plating solution.

なお、上記電解めっき槽においてめっき処理を行う前に、水洗および酸洗浄を行うことが好ましい。酸洗浄の際に用いる処理液には、硫酸等が含まれるものを用いることができる。   In addition, it is preferable to perform water washing and acid washing before performing a plating process in the said electrolytic plating tank. As the treatment liquid used for the acid cleaning, one containing sulfuric acid or the like can be used.

透光性電磁波シールド膜・光学フィルター
上記のように銀塩乳剤を含む感光材料に露光・現像・めっき・黒化処理することにより得られる黒化銀メッシュパターンを有する透光導電性材料が得られる。
この透光導電性材料は、高い電磁波シールド性および透光性を有しているため、CRT、EL、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイパネル、その他の画像表示グラットパネル、あるいはCCDに代表される撮像用半導体集積回路などに組み込んで、透光性電磁波シールド膜として用いることができる。また、本発明に係る透光導電性材料の用途としては、上記表示装置等に限定されず、電磁波を発生する測定装置、測定機器や製造装置の内部をのぞくための窓や筐体や、電波塔や高圧線等により電磁波障害を受ける恐れのある建造物の窓や自動車の窓等に設けることができる。
Translucent electromagnetic shielding film / optical filter
As described above, a light-transmitting conductive material having a blackened silver mesh pattern obtained by exposing, developing, plating, and blackening a photosensitive material containing a silver salt emulsion can be obtained.
Since this translucent conductive material has high electromagnetic shielding properties and translucency, CRT, EL, liquid crystal display, plasma display panel, other image display grat panels, or imaging semiconductors represented by CCD It can be used as a light-transmitting electromagnetic wave shielding film by being incorporated in an integrated circuit or the like. In addition, the use of the translucent conductive material according to the present invention is not limited to the display device and the like, but a measurement device that generates an electromagnetic wave, a window or a case for looking inside the measurement device or the manufacturing device, a radio wave, and the like. It can be provided in a window of a building or a window of an automobile that may be damaged by electromagnetic waves due to a tower, a high voltage line, or the like.

本発明に係る透光導電性材料は、銀メッシュが現像銀により形成され、めっきによって導電性が強化され、黒化によって視認性が向上している。したがって細線パターンが精密であり、輝度を著しく損なわずに、その画質を維持または向上させることができるため、特にプラズマディスプレイパネル等の画像表示装置の前面に用いる透光性電磁波シールド膜として有用である。   In the translucent conductive material according to the present invention, the silver mesh is formed of developed silver, the conductivity is enhanced by plating, and the visibility is improved by blackening. Therefore, since the fine line pattern is precise and the image quality can be maintained or improved without significantly impairing the brightness, it is particularly useful as a translucent electromagnetic shielding film used on the front surface of an image display device such as a plasma display panel. .

なお、透光導電性材料からなる透光性電磁波シールド膜の電磁波シールド能を低下させないために、導電性金属部にアースをとることが望ましい。このため、透光性電磁波シールド膜上にアースをとるための導通部を形成し、この導通部がディスプレイ本体のアース部に電気的に接触するようにすることが望ましい。導通部は、透光性電磁波シールド膜の周縁部に沿って金属銀部或いは導電性金属部の周りに設けられていることが好適である。
導通部はメッシュパターンにより形成されていてもよいし、パターニングされていない、例えば金属箔ベタにより形成されていてもよいが、ディスプレイ本体のアース部との電気的接触を良好とするためには、金属箔ベタのようにパターニングされていないことが好ましい。
In order to prevent the electromagnetic wave shielding ability of the translucent electromagnetic shielding film made of the translucent conductive material from being lowered, it is desirable to ground the conductive metal part. For this reason, it is desirable to form a conductive part for grounding on the translucent electromagnetic wave shielding film, and to make the conductive part electrically contact the ground part of the display body. The conducting portion is preferably provided around the metallic silver portion or the conductive metallic portion along the peripheral edge portion of the translucent electromagnetic shielding film.
The conductive part may be formed by a mesh pattern, or may not be patterned, for example, may be formed by a solid metal foil, but in order to improve electrical contact with the ground part of the display body, It is preferable that it is not patterned like a metal foil solid.

また、本発明の透光導電性材料を透光性電磁波シールド膜として用いる場合、透光性導電性膜(透光性電磁波シールド膜)に、接着剤層、ガラス板、後述する保護フィルムや機能性フィルム等を貼付して光学フィルムの形態とすることが好ましい。以下、透光性導電性膜(透光性電磁波シールド膜)に設けることができる各層について説明する。   Moreover, when using the translucent conductive material of this invention as a translucent electromagnetic wave shielding film, an adhesive layer, a glass plate, a protective film and a function described later are used for the translucent conductive film (translucent electromagnetic wave shielding film). It is preferable to attach an adhesive film or the like to form an optical film. Hereinafter, each layer that can be provided on the translucent conductive film (translucent electromagnetic wave shielding film) will be described.

<接着剤層>
透光性電磁波シールド膜に接着剤層を設ける位置は、導電性金属部が形成されている側の面でも良いし、導電性金属部が形成されている側とは反対の面でもよい。透光性電磁波シールド膜と他の層(ガラス板、保護フィルム、機能性フィルム等)との貼合部分に形成してもよい。接着剤層の厚さは、金属銀部(または導電性金属部)厚さ以上とすることが好ましく、例えば、10〜80μmの範囲とすることができ、20〜50μmとすることがより好ましい。
<Adhesive layer>
The position where the adhesive layer is provided on the translucent electromagnetic wave shielding film may be the surface on the side where the conductive metal portion is formed, or the surface opposite to the side where the conductive metal portion is formed. You may form in the bonding part of a translucent electromagnetic wave shielding film and other layers (a glass plate, a protective film, a functional film, etc.). The thickness of the adhesive layer is preferably equal to or greater than the thickness of the metal silver part (or conductive metal part), and can be, for example, in the range of 10 to 80 μm, and more preferably 20 to 50 μm.

接着剤層における接着剤の屈折率は1.40〜1.70であることが好ましい。屈折率を1.40〜1.70とすることにより、透光性電磁波シールド膜の支持体の屈折率と接着剤の屈折率との差を小さくし、可視光透過率が低下するのを防ぐことができる。   The refractive index of the adhesive in the adhesive layer is preferably 1.40 to 1.70. By setting the refractive index to 1.40 to 1.70, the difference between the refractive index of the support of the translucent electromagnetic wave shielding film and the refractive index of the adhesive is reduced, and the visible light transmittance is prevented from being lowered. be able to.

また、接着剤は、加熱または加圧により流動する接着剤であることが好ましく、特に、200℃以下の加熱または1kgf/cm2(0.1MN/m)以上の加圧により流動性を示す接着剤であることが好ましい。
このような接着剤を用いることにより、透光性電磁波シールド膜を被着体であるディスプレイやプラスチック板に接着剤層を流動させて接着することができるので、ラミネートや加圧成形、特に加圧成形により、また曲面、複雑形状を有する被着体にも容易に接着することができる。
このためには、接着剤の軟化温度が200℃以下であると好ましい。透光性電磁波シールド膜の用途から、使用される環境が通常80℃未満であるので接着剤層の軟化温度は、80℃以上が好ましく、加工性から80〜120℃が最も好ましい。軟化温度は、粘度が1012ポイズ(10MPa・s)以下になる温度のことで、通常その温度では1〜10秒程度の時間のうちに流動が認められる。
The adhesive is preferably an adhesive that flows by heating or pressurization, and particularly exhibits fluidity by heating at 200 ° C. or less or pressurization by 1 kgf / cm 2 (0.1 MN / m 2 ) or more. An adhesive is preferred.
By using such an adhesive, the translucent electromagnetic wave shielding film can be adhered to a display or a plastic plate, which is an adherend, by flowing the adhesive layer. It can be easily bonded to an adherend having a curved surface or a complicated shape by molding.
For this purpose, the softening temperature of the adhesive is preferably 200 ° C. or lower. Since the environment in which the light-transmitting electromagnetic wave shielding film is used is usually less than 80 ° C., the softening temperature of the adhesive layer is preferably 80 ° C. or more, and most preferably 80 to 120 ° C. in view of workability. The softening temperature is a temperature at which the viscosity becomes 10 12 poise (10 3 MPa · s) or less, and normally, the flow is recognized within about 1 to 10 seconds at that temperature.

上記のような加熱または加圧により流動する接着剤としては、主に以下に示す熱可塑性樹脂が代表的なものとしてあげられる。たとえば天然ゴム(屈折率n=1.52)、ポリイソプレン(n=1.521)、ポリ−1,2−ブタジエン(n=1.50)、ポリイソブテン(n=1.505〜1.51)、ポリブテン(n=1.513)、ポリ−2−ヘプチル−1,3−ブタジエン(n=1.50)、ポリ−2−t−ブチル−1,3−ブタジエン(n=1.506)、ポリ−1,3−ブタジエン(n=1.515)などの(ジ)エン類、ポリオキシエチレン(n=1.456)、ポリオキシプロピレン(n=1.450)、ポリビニルエチルエーテル(n=1.454)、ポリビニルヘキシルエーテル(n=1.459)、ポリビニルブチルエーテル(n=1.456)などのポリエーテル類、ポリビニルアセテート(n=1.467)、ポリビニルプロピオネート(n=1.467)などのポリエステル類、ポリウレタン(n=1.5〜1.6)、エチルセルロース(n=1.479)、ポリ塩化ビニル(n=1.54〜1.55)、ポリアクリロニトリル(n=1.52)、ポリメタクリロニトリル(n=1.52)、ポリスルホン(n=1.633)、ポリスルフィド(n=1.6)、フェノキシ樹脂(n=1.5〜1.6)、ポリエチルアクリレート(n=1.469)、ポリブチルアクリレート(n=1.466)、ポリ−2−エチルヘキシルアクリレート(n=1.463)、ポリ−t−ブチルアクリレート(n=1.464)、ポリ−3−エトキシプロピルアクリレート(n=1.465)、ポリオキシカルボニルテトラメチレン(n=1.465)、ポリメチルアクリレート(n=1.472〜1.480)、ポリイソプロピルメタクリレート(n=1.473)、ポリドデシルメタクリレート(n=1.474)、ポリテトラデシルメタクリレート(n=1.475)、ポリ−n−プロピルメタクリレート(n=1.484)、ポリ−3,3,5−トリメチルシクロヘキシルメタクリレート(n=1.484)、ポリエチルメタクリレート(n=1.485)、ポリ−2−ニトロ−2−メチルプロピルメタクリレート(n=1.487)、ポリ−1,1−ジエチルプロピルメタクリレート(n=1.489)、ポリメチルメタクリレート(n=1.489)などのポリ(メタ)アクリル酸エステルが使用可能である。これらのアクリルポリマーは必要に応じて、2種以上共重合してもよいし、2種類以上をブレンドして使用することも可能である。   Typical examples of the adhesive that flows by heating or pressurization as described above include the following thermoplastic resins. For example, natural rubber (refractive index n = 1.52), polyisoprene (n = 1.521), poly-1,2-butadiene (n = 1.50), polyisobutene (n = 1.505 to 1.51), polybutene (n = 1.513), poly- Such as 2-heptyl-1,3-butadiene (n = 1.50), poly-2-tert-butyl-1,3-butadiene (n = 1.506), poly-1,3-butadiene (n = 1.515) ) Polyenes such as ene, polyoxyethylene (n = 1.456), polyoxypropylene (n = 1.450), polyvinyl ethyl ether (n = 1.454), polyvinyl hexyl ether (n = 1.459), polyvinyl butyl ether (n = 1.456) Ethers, polyesters such as polyvinyl acetate (n = 1.467), polyvinyl propionate (n = 1.467), polyurethane (n = 1.5 to 1.6), ethyl cellulose (n = 1.479), polyvinyl chloride (n = 1.54 to 1.55) ), Polyacrylonitrile (n = 1.52), polymethacrylonitrile (n = 1.52), polysulfone (n = 1.633), polysulfide (n = 1.6), phenoxy resin (n = 1.5 to 1.6), polyethyl acrylate (n = 1.469), polybutyl acrylate (n = 1.466), poly-2-ethylhexyl acrylate (n = 1.463) , Poly-t-butyl acrylate (n = 1.464), poly-3-ethoxypropyl acrylate (n = 1.465), polyoxycarbonyltetramethylene (n = 1.465), polymethyl acrylate (n = 1.472-1.480), polyisopropyl Methacrylate (n = 1.473), polydodecyl methacrylate (n = 1.474), polytetradecyl methacrylate (n = 1.475), poly-n-propyl methacrylate (n = 1.484), poly-3,3,5-trimethylcyclohexyl methacrylate ( n = 1.484), polyethyl methacrylate (n = 1.485), poly-2-nitro-2-methylpropyl methacrylate (n = 1.487), poly-1,1-diethylpropyl methacrylate (n = 1.485). 489) and poly (meth) acrylic acid esters such as polymethyl methacrylate (n = 1.489) can be used. Two or more kinds of these acrylic polymers may be copolymerized as needed, or two or more kinds may be blended and used.

さらにアクリル樹脂とアクリル以外との共重合樹脂としてはエポキシアクリレート(n=1.48〜1.60)、ウレタンアクリレート(n=1.5〜1.6)、ポリエーテルアクリレート(n=1.48〜1.49)、ポリエステルアクリレート(n=1.48〜1.54)なども使うこともできる。特に接着性の点から、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエーテルアクリレートが優れており、エポキシアクリレートとしては、1、6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、アリルアルコールジグリシジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル、フタル酸ジグリシジルエステル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル等の(メタ)アクリル酸付加物が挙げられる。エポキシアクリレートなどのように分子内に水酸基を有するポリマーは接着性向上に有効である。これらの共重合樹脂は必要に応じて、2種以上併用することができる。
一方、接着剤ポリマーの質量平均分子量(ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによる標準ポリスチレンの検量線を用いて測定したもの、以下同様)は、500以上のものを使用することが好ましい。分子量が500以下では接着剤組成物の凝集力が低すぎるために被着体への密着性が低下するおそれがある。
Further, copolymer resins other than acrylic resin and other than acrylic include epoxy acrylate (n = 1.48 to 1.60), urethane acrylate (n = 1.5 to 1.6), polyether acrylate (n = 1.48 to 1.49), polyester acrylate (n = 1.48 ~ 1.54) can also be used. In particular, urethane acrylate, epoxy acrylate, and polyether acrylate are excellent from the viewpoint of adhesiveness. Examples of epoxy acrylate include 1,6-hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, allyl alcohol diglycidyl ether, and resorcinol. (Meth) acrylic such as diglycidyl ether, adipic acid diglycidyl ester, phthalic acid diglycidyl ester, polyethylene glycol diglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, pentaerythritol tetraglycidyl ether, sorbitol tetraglycidyl ether An acid adduct is mentioned. A polymer having a hydroxyl group in the molecule such as epoxy acrylate is effective for improving the adhesion. These copolymer resins can be used in combination of two or more as required.
On the other hand, the mass average molecular weight of the adhesive polymer (measured using a standard polystyrene calibration curve by gel permeation chromatography, hereinafter the same) is preferably 500 or more. When the molecular weight is 500 or less, the cohesive force of the adhesive composition is too low, and the adhesion to the adherend may be reduced.

接着剤には、硬化剤(架橋剤)を含有させることができる。接着剤の硬化剤としてはトリエチレンテトラミン、キシレンジアミン、ジアミノジフェニルメタンなどのアミン類、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水ドデシルコハク酸、無水ピロメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの酸無水物、ジアミノジフェニルスルホン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、ポリアミド樹脂、ジシアンジアミド、エチルメチルイミダゾールなどを使うことができる。これらは単独で用いてもよいし、2種以上混合して用いてもよい。   The adhesive can contain a curing agent (crosslinking agent). As the curing agent for the adhesive, amines such as triethylenetetramine, xylenediamine, diaminodiphenylmethane, acid anhydrides such as phthalic anhydride, maleic anhydride, dodecyl succinic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic anhydride, Diaminodiphenyl sulfone, tris (dimethylaminomethyl) phenol, polyamide resin, dicyandiamide, ethylmethylimidazole and the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more.

硬化剤の添加量は、接着剤ポリマー100質量部に対して0.1〜50質量部、好ましくは1〜30質量部の範囲で選択するのがよい。この添加量が、0.1質量部未満であると硬化が不十分となり、50質量部を越えると過剰架橋となり、接着性に悪影響を与える
場合がある。
The addition amount of the curing agent is selected in the range of 0.1 to 50 parts by mass, preferably 1 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the adhesive polymer. If the added amount is less than 0.1 parts by mass, curing may be insufficient, and if it exceeds 50 parts by mass, excessive crosslinking may occur, which may adversely affect adhesiveness.

また、硬膜剤の他にも、接着剤には必要に応じて、希釈剤、可塑剤、酸化防止剤、充填剤、着色剤、紫外線吸収剤や粘着付与剤などの添加剤を配合してもよい。
透光性電磁波シールド膜上に接着剤層を形成するには、上記の接着剤ポリマー、硬化剤、その他添加剤等を含む接着剤層組成物を、導電性金属部の一部または全面を被覆するように塗布し、溶媒乾燥、加熱硬化することにより形成することができる。
In addition to the hardener, additives such as diluents, plasticizers, antioxidants, fillers, colorants, UV absorbers and tackifiers may be added to the adhesive as necessary. Also good.
In order to form an adhesive layer on the translucent electromagnetic wave shielding film, a part or the whole surface of the conductive metal part is coated with the adhesive layer composition containing the above-mentioned adhesive polymer, curing agent, and other additives. It can form by apply | coating so that it may carry out, solvent drying, and heat-hardening.

<保護フィルム>
本発明に係る透光性電磁波シールド膜には、保護フィルムを貼付することができる。保護フィルムは、透過性電磁波シールド膜の両面に有していてもよいし、片面のみ(例えば、導電性金属部上)に有していてもよい。
透光性電磁波シールド膜は後述するように、最表面の強化、反射防止性の付与、防汚性の付与等の効果を有する機能性フィルムをさらに貼合することが多いので、このような機能性フィルムを透光性電磁波シールド膜上に設ける場合には、保護フィルムを剥離することが望ましい。そこで、保護フィルムは剥離可能なものであることが望ましい。
保護フィルムの剥離強度は、5mN/25mm幅〜5N/25mm幅であることが好ましく、より好ましくは10mN/25mm幅〜100mN/25mm幅である。下限未満では、剥離が容易過ぎ、取扱い中や不用意な接触により保護フィルムが剥離する恐れがあり、好ましくなく、また上限を超えると、剥離のために大きな力を要する上、剥離の際に、メッシュ状の金属箔が透明基材フィルム(もしくは接着剤層から)剥離する恐れがあり、やはり好ましくない。
<Protective film>
A protective film can be attached to the translucent electromagnetic wave shielding film according to the present invention. The protective film may be provided on both sides of the transmissive electromagnetic wave shielding film, or may be provided only on one side (for example, on the conductive metal portion).
As described later, the translucent electromagnetic wave shielding film is often further bonded with a functional film having effects such as reinforcing the outermost surface, imparting antireflection properties, imparting antifouling properties, etc. When providing a conductive film on a translucent electromagnetic wave shielding film, it is desirable to peel off the protective film. Therefore, it is desirable that the protective film be peelable.
The peel strength of the protective film is preferably 5 mN / 25 mm width to 5 N / 25 mm width, more preferably 10 mN / 25 mm width to 100 mN / 25 mm width. If it is less than the lower limit, peeling is too easy and the protective film may peel off during handling or inadvertent contact, which is not preferable, and if it exceeds the upper limit, a large force is required for peeling, and at the time of peeling, The mesh-shaped metal foil may peel off from the transparent base film (or from the adhesive layer), which is also not preferable.

保護フィルムを構成するフィルムとしては、ポリエチレン樹脂やポリプロピレン樹脂等のポリオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂等のポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、もしくはアクリル樹脂等の樹脂フィルムを用いることが好ましい。また、保護フィルムの貼合面にコロナ放電処理を施しておくか、易接着層を積層しておくことが好ましい。   As the film constituting the protective film, it is preferable to use a resin film such as a polyolefin resin such as polyethylene resin or polypropylene resin, a polyester resin such as polyethylene terephthalate resin, a polycarbonate resin, or an acrylic resin. Moreover, it is preferable to perform the corona discharge process on the bonding surface of a protective film, or to laminate | stack an easily bonding layer.

<機能性フィルム>
透光性電磁波シールド膜をディスプレイ(特にプラズマディスプレイ)に用いる場合には、以下に説明する機能性を有する機能性フィルムを貼付することにより、各機能性を付与することが好ましい。機能性フィルムは粘着剤等を介して透光性電磁波シールド膜に貼付することができる。
<Functional film>
When using a translucent electromagnetic wave shielding film for a display (especially a plasma display), it is preferable to give each functionality by sticking the functional film which has the functionality demonstrated below. The functional film can be attached to the translucent electromagnetic wave shielding film through an adhesive or the like.

(反射防止性・防眩性)
透光性電磁波シールド膜には、外光反射を抑制するための反射防止(AR:アンチリフレクション)性、または、鏡像の映り込みを防止する防眩(AG:アンチグレア)性、またはその両特性を備えた反射防止防眩(ARAG)性のいずれかの機能性を付与することが好ましい。
これらの性能により、照明器具等の映り込みによって表示画面が見づらくなってしまうのを防止できる。また、膜表面の可視光線反射率が低くすることにより、映り込み防止だけではなく、コントラスト等を向上させることができる。反射防止性・防眩性を有する機能性フィルムを透光性電磁波シールド膜に貼付した場合の可視光線反射率は、2%以下であることが好ましく、より好ましくは1.3%以下、さらに好ましくは0.8%以下である。
(Anti-reflection and anti-glare properties)
The translucent electromagnetic wave shielding film has anti-reflection (AR: anti-reflection) properties to suppress external light reflection, or anti-glare (AG: anti-glare) properties to prevent the reflection of mirror images, or both characteristics. It is preferable to provide any of the antireflection antiglare (ARAG) properties provided.
With these performances, it is possible to prevent the display screen from becoming difficult to see due to the reflection of a lighting fixture or the like. Further, by reducing the visible light reflectance of the film surface, not only the reflection can be prevented but also the contrast and the like can be improved. When the functional film having antireflection properties and antiglare properties is attached to the translucent electromagnetic wave shielding film, the visible light reflectance is preferably 2% or less, more preferably 1.3% or less, and still more preferably Is 0.8% or less.

上記のような機能性フィルムは、適当な透明基材上に反射防止性・防眩性を有する機能層を設けることにより形成することができる。
反射防止層としては、例えば、フッ素系透明高分子樹脂やフッ化マグネシウム、シリコン系樹脂や酸化珪素の薄膜等を例えば1/4波長の光学膜厚で単層形成したもの、屈折率の異なる、金属酸化物、フッ化物、ケイ化物、窒化物、硫化物等の無機化合物またはシリコン系樹脂やアクリル樹脂、フッ素系樹脂等の有機化合物の薄膜を2層以上多層積層したもの等で形成することができる。
The functional film as described above can be formed by providing a functional layer having antireflection properties and antiglare properties on a suitable transparent substrate.
As the antireflection layer, for example, a fluorine-based transparent polymer resin, magnesium fluoride, a silicon-based resin, a thin film of silicon oxide, or the like formed as a single layer with an optical film thickness of, for example, a quarter wavelength, a different refractive index, It may be formed of a multi-layered laminate of thin films of inorganic compounds such as metal oxides, fluorides, silicides, nitrides, sulfides, or organic compounds such as silicon resins, acrylic resins, and fluorine resins. it can.

防眩性層としては、0.1μm〜10μm程度の微少な凹凸の表面状態を有する層から形成することができる。具体的には、アクリル系樹脂、シリコン系樹脂、メラミン系樹脂、ウレタン系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂等の熱硬化型または光硬化型樹脂に、シリカ、有機珪素化合物、メラミン、アクリル等の無機化合物または有機化合物の粒子を分散させインキ化したものを塗布、硬化することにより形成することが可能である。粒子の平均粒径は、1〜40μm程度が好ましい。
また、防眩性層としては、上記の熱硬化型または光硬化型樹脂を塗布した後、所望のグロス値または表面状態を有する型を押しつけ硬化することによっても形成することができる。
防眩性層を設けた場合の透光性電磁波シールド膜のヘイズは0.5%以上20%以下であることが好ましく、より好ましくは1%以上10%以下である。ヘイズが小さすぎると防眩性が不十分であり、ヘイズが大きすぎると透過像の鮮明度が低くなる傾向がある。
The antiglare layer can be formed from a layer having a minute uneven surface state of about 0.1 μm to 10 μm. Specifically, acrylic, silicon-based resin, melamine-based resin, urethane-based resin, alkyd-based resin, fluorine-based resin and other thermosetting or photo-curable resins, silica, organosilicon compounds, melamine, acrylic, etc. It is possible to form by coating and curing an ink in which particles of the inorganic compound or organic compound are dispersed. The average particle size of the particles is preferably about 1 to 40 μm.
The antiglare layer can also be formed by applying the thermosetting or photocurable resin and pressing and curing a mold having a desired gloss value or surface state.
When the antiglare layer is provided, the haze of the translucent electromagnetic wave shielding film is preferably 0.5% or more and 20% or less, more preferably 1% or more and 10% or less. If the haze is too small, the antiglare property is insufficient, and if the haze is too large, the clarity of the transmitted image tends to be low.

(ハードコート性)
透光性電磁波シールド膜に耐擦傷性を付加するために、機能性フィルムがハードコート性を有していることも好適である。ハードコート層としてはアクリル系樹脂、シリコン系樹脂、メラミン系樹脂、ウレタン系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂等の熱硬化型または光硬化型樹脂等が挙げられるが、その種類も形成方法も特に限定されない。ハードコート層の厚さは、1〜50μm程度であることが好ましい。ハードコート層上に上記の反射防止層および/または防眩層を形成すると、耐擦傷性・反射防止性および/または防眩性を有する機能性フィルムが得られ、好適である。
ハードコート性が付与された透光性電磁波シールド膜の表面硬度は、JISK―5400に従った鉛筆硬度が少なくともHであることが好ましく、より好ましくは2H、さらに好ましくは3H以上である。
(Hard coat property)
In order to add scratch resistance to the translucent electromagnetic wave shielding film, it is also preferable that the functional film has a hard coat property. Examples of the hard coat layer include acrylic resins, silicon resins, melamine resins, urethane resins, alkyd resins, thermosetting resins such as fluorinated resins, and photocurable resins. There is no particular limitation. The thickness of the hard coat layer is preferably about 1 to 50 μm. When the above-mentioned antireflection layer and / or antiglare layer is formed on the hard coat layer, a functional film having scratch resistance, antireflection property and / or antiglare property is obtained, which is preferable.
As for the surface hardness of the translucent electromagnetic wave shielding film to which the hard coat property is imparted, the pencil hardness according to JISK-5400 is preferably at least H, more preferably 2H, and further preferably 3H or more.

(帯電防止性)
静電気帯電によるホコリの付着や、人体との接触による静電気放電を防止するため、透過性電磁波シールド膜には、帯電防止性が付与されることが好ましい。
帯電防止性を有する機能性フィルムとしては、導電性の高いフィルムを用いることができ、例えば導電性が面抵抗で1011Ω/□程度以下であれば良い。
導電性の高いフィルムは、透明基材上に帯電防止層を設けることにより形成することができる。帯電防止層に用いる帯電防止剤としては、具体的には、商品名ペレスタット(三洋化成社製)、商品名エレクトロスリッパー(花王社製)等が挙げられる。他に、ITOをはじめとする公知の透明導電膜やITO超微粒子や酸化スズ超微粒子をはじめとする導電性超微粒子を分散させた導電膜で帯電防止層を形成しても良い。上述のハードコート層、反射防止層、防眩層等に、導電性微粒子を含有させる等して帯電防止性を付与してもよい。
(Antistatic property)
In order to prevent dust adhesion due to electrostatic charging and electrostatic discharge due to contact with the human body, it is preferable that the transmissive electromagnetic wave shielding film has antistatic properties.
As the functional film having antistatic properties, a film having high electrical conductivity can be used. For example, the electrical conductivity may be about 10 11 Ω / □ or less in terms of surface resistance.
A highly conductive film can be formed by providing an antistatic layer on a transparent substrate. Specific examples of the antistatic agent used in the antistatic layer include a trade name Pelestat (manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd.), a trade name of electro slipper (manufactured by Kao Corporation), and the like. In addition, the antistatic layer may be formed of a known transparent conductive film such as ITO, or a conductive film in which conductive ultrafine particles such as ITO ultrafine particles and tin oxide ultrafine particles are dispersed. Antistatic properties may be imparted to the hard coat layer, antireflection layer, antiglare layer and the like by adding conductive fine particles.

(防汚性)
透光性電磁波シールド膜が防汚性を有していると、指紋等の汚れ防止や汚れが付いたときに簡単に取り除くことができるので好適である。
防汚性を有する機能性フィルムは、例えば透明基材上に防汚性を有する化合物を付与することにより得られる。防汚性を有する化合物としては、水および/または油脂に対して非濡性を有する化合物であればよく、例えばフッ素化合物やケイ素化合物が挙げられる。フッ素化合物として具体的には商品名オプツール(ダイキン社製)等が挙げられ、ケイ素化合物としては、商品名タカタクォンタム(日本油脂社製)等が挙げられる。
(Anti-fouling property)
It is preferable that the light-transmitting electromagnetic wave shielding film has antifouling property because it can be easily removed when the fingerprint is prevented from being smudged or smudged.
The functional film having antifouling properties can be obtained, for example, by applying a compound having antifouling properties on a transparent substrate. The compound having antifouling property may be a compound having non-wetting properties with respect to water and / or fats and oils, and examples thereof include fluorine compounds and silicon compounds. Specific examples of the fluorine compound include trade name OPTOOL (manufactured by Daikin), and examples of the silicon compound include trade name Takata Quantum (manufactured by Nippon Oil & Fats Co., Ltd.).

(紫外線カット性)
透光性電磁波シールド膜には、後述する色素や透明基材の劣化等を防ぐ目的で紫外線カット性を付与することが好ましい。紫外線カット性を有する機能性フィルムは、透明基材自体に紫外線吸収剤を含有させる方法や透明基材上に紫外線吸収層を設けることにより形成することができる。
色素を保護するのに必要な紫外線カット能としては、波長380nmより短い紫外線領域の透過率が、20%以下、好ましくは10%以下、更に好ましくは5%以下である。紫外線カット性を有する機能性フィルムは、紫外線吸収剤や紫外線を反射または吸収する無機化合物を含有する層透明基材上に形成することにより得られる。紫外線吸収剤は、ベンゾトリアゾール系やベンゾフェノン系等、従来公知のものを使用でき、その種類・濃度は、分散または溶解させる媒体への分散性・溶解性、吸収波長・吸収係数、媒体の厚さ等から決まり、特に限定されるものではない。
(UV-cutting property)
The translucent electromagnetic wave shielding film is preferably imparted with UV-cutting properties for the purpose of preventing deterioration of a dye and a transparent substrate described later. The functional film having ultraviolet cut-off property can be formed by a method in which the transparent substrate itself contains an ultraviolet absorber or by providing an ultraviolet absorbing layer on the transparent substrate.
As the ultraviolet ray cutting ability necessary for protecting the dye, the transmittance in the ultraviolet region shorter than the wavelength of 380 nm is 20% or less, preferably 10% or less, more preferably 5% or less. A functional film having an ultraviolet cutting property can be obtained by forming on a layer transparent substrate containing an ultraviolet absorber or an inorganic compound that reflects or absorbs ultraviolet rays. Conventionally known UV absorbers such as benzotriazoles and benzophenones can be used, and their types and concentrations are dispersibility / solubility in the medium to be dispersed or dissolved, absorption wavelength / absorption coefficient, thickness of the medium. It is determined from the above and is not particularly limited.

なお、紫外線カット性を有する機能性フィルムは、可視光線領域の吸収が少なく、著しく可視光線透過率が低下したり黄色等の色を呈することがないことが好ましい。
また、機能性フィルムに後述する色素を含有する層が形成されている場合は、その層よりも外側に紫外線カット性を有する層が存在することが望ましい。
In addition, it is preferable that the functional film which has ultraviolet-cutting property has little absorption of visible light region, and does not show visible light transmittance | permeability remarkably or exhibit colors, such as yellow.
Moreover, when the layer containing the pigment | dye mentioned later is formed in the functional film, it is desirable for the layer which has ultraviolet-ray cutting property to exist outside the layer.

(ガスバリア性)
透光性電磁波シールド膜を常温常湿よりも高い温度・湿度環境化で使用すると、水分により後述する色素が劣化したり、貼り合せに用いる接着剤中や貼合界面に水分が凝集して曇ったり、水分による影響で接着剤が相分離して析出して曇ったりすることがあるので、透光性電磁波シールド膜はガスバリア性を有していることが好ましい。
このような色素劣化や曇りを防ぐためには、色素を含有する層や接着剤層への水分の侵入を防ぐことが肝要であり、機能性フィルムの水蒸気透過度が10g/m2・day以下、好ましくは5g/m2・day以下であることが好適である。
(Gas barrier properties)
If a translucent electromagnetic shielding film is used in a temperature / humidity environment higher than room temperature and humidity, the pigments described later deteriorate due to moisture, or moisture aggregates in the adhesive used for bonding and the bonding interface and becomes cloudy. In other cases, the translucent electromagnetic wave shielding film preferably has a gas barrier property because the adhesive may be phase-separated due to the influence of moisture and may precipitate and become cloudy.
In order to prevent such deterioration and fogging of the pigment, it is important to prevent moisture from entering the pigment-containing layer and the adhesive layer, and the water vapor permeability of the functional film is 10 g / m 2 · day or less, Preferably it is 5 g / m 2 · day or less.

(その他の光学特性)
プラズマディスプレイは強度の近赤外線を発生するため、透光性電磁波シールド膜を特にプラズマディスプレイに用いる場合は、赤外線遮蔽性(特に近赤外遮断性)を付与することが好ましい。
近赤外線カット性を有する機能性フィルムとしては、波長領域800〜1000nmにおける透過率を25%以下であるものが好ましく、より好ましくは15%以下、さらに好ましくは10%以下である。
(Other optical properties)
Since a plasma display generates intense near-infrared rays, it is preferable to impart infrared shielding properties (particularly near-infrared shielding properties) when a light-transmitting electromagnetic wave shielding film is used particularly for plasma displays.
As a functional film which has near-infrared cut property, what has the transmittance | permeability in a wavelength range 800-1000 nm is 25% or less, More preferably, it is 15% or less, More preferably, it is 10% or less.

また、透光性電磁波シールド膜をプラズマディスプレイに用いる場合、その透過色がニュートラルグレーまたはブルーグレーであることが好ましい。これは、プラズマディスプレイの発光特性およびコントラストを維持または向上させるためであり、また、標準白色より若干高めの色温度の白色が好まれる場合があるからである。   Moreover, when using a translucent electromagnetic wave shielding film for a plasma display, it is preferable that the transmitted color is neutral gray or blue gray. This is because the light emission characteristics and contrast of the plasma display are maintained or improved, and white having a slightly higher color temperature than standard white may be preferred.

さらに、カラープラズマディスプレイはその色再現性が十分に満たされた状況にはなく、特に、赤色表示の発光スペクトルは、波長580nmから700nm程度までにわた数本の発光ピークを示しており、比較的強い短波長側の発光ピークにより赤色発光がオレンジに近い色純度の良くないものとなってしまう問題がある。そこで、機能性フィルムはその原因である蛍光体または放電ガスからの不要発光を選択的に低減させる機能を有することが好ましい。   Furthermore, the color plasma display is not in a state where the color reproducibility is sufficiently satisfied. In particular, the emission spectrum of red display shows several emission peaks ranging from a wavelength of about 580 nm to about 700 nm. There is a problem that red emission becomes poor in color purity close to orange due to a strong short wavelength emission peak. Therefore, the functional film preferably has a function of selectively reducing unnecessary light emission from the phosphor or the discharge gas which is the cause of the functional film.

これら光学特性は、色素を用いることによって制御できる。つまり、近赤外線カットには近赤外線吸収剤を用い、また、不要発光の低減には不要発光を選択的に吸収する色素を用いて、所望の光学特性とすることができ、また、光学フィルターの色調も可視領域に適当な吸収のある色素を用いて好適なものとすることができる。   These optical properties can be controlled by using a dye. In other words, a near-infrared absorber is used for near-infrared cut, and a dye that selectively absorbs unnecessary luminescence can be used to reduce unnecessary luminescence. The color tone can also be made suitable by using a dye having appropriate absorption in the visible region.

色素としては、可視領域に所望の吸収波長を有する一般の染料または顔料や、近赤外線吸収剤として知られている化合物を用いることができ、その種類は特に限定されるものではないが、例えばアントラキノン系、フタロシアニン系、メチン系、アゾメチン系、オキサジン系、イモニウム系、アゾ系、スチリル系、クマリン系、ポルフィリン系、ジベンゾフラノン系、ジケトピロロピロール系、ローダミン系、キサンテン系、ピロメテン系、ジチオール系化合物、ジイミニウム系化合物等の一般に市販もされている有機色素が挙げられる。   As the coloring matter, a general dye or pigment having a desired absorption wavelength in the visible region and a compound known as a near infrared absorbing agent can be used, and the type thereof is not particularly limited. , Phthalocyanine, methine, azomethine, oxazine, imonium, azo, styryl, coumarin, porphyrin, dibenzofuranone, diketopyrrolopyrrole, rhodamine, xanthene, pyromethene, dithiol Examples thereof include organic dyes that are generally commercially available, such as compounds and diiminium compounds.

プラズマディスプレイはパネル表面の温度が高く、環境の温度が高いときは透光性電磁波シールド膜の温度も上がるため、色素は、例えば80℃程度で劣化しない耐熱性を有していることが好適である。
また、色素によっては耐光性に乏しいものもあるが、このような色素を用いることでプラズマディスプレイの発光や外光の紫外線・可視光線による劣化が問題になる場合は、前述のように機能性フィルムに紫外線吸収剤を含有させたり、紫外線を透過しない層を設けることによって、紫外線や可視光線による色素の劣化を防止することが好ましい。
熱、光に加えて、湿度や、これらの複合した環境においても同様である。劣化すると光学フィルターの透過特性が変わってしまい、色調が変化したり近赤外線カット能が低下する場合がある。
また、透明基材を形成するための樹脂組成物や、塗布層を形成するための塗布組成物中に溶解または分散させるために、色素は溶媒への溶解性や分散性も高いことが好ましい。
Since the temperature of the panel surface of the plasma display is high and the temperature of the translucent electromagnetic wave shielding film rises when the temperature of the environment is high, it is preferable that the dye has heat resistance that does not deteriorate at, for example, about 80 ° C. is there.
In addition, some dyes have poor light resistance, but if such dyes are used to cause problems with light emission of plasma displays and deterioration of external light by ultraviolet rays or visible rays, a functional film as described above. It is preferable to prevent the dye from being deteriorated by ultraviolet rays or visible rays by adding an ultraviolet absorber or providing a layer that does not transmit ultraviolet rays.
The same applies to humidity and a combined environment in addition to heat and light. When it deteriorates, the transmission characteristics of the optical filter change, and the color tone may change or the near-infrared cutting ability may decrease.
Further, in order to dissolve or disperse in a resin composition for forming a transparent substrate or a coating composition for forming a coating layer, the dye preferably has high solubility and dispersibility in a solvent.

また、色素の濃度は、色素の吸収波長・吸収係数、透光性電磁波シールド膜に要求される透過特性・透過率、そして分散させる媒体または塗膜の種類・厚さから適宜設定することができる。
機能性フィルムに色素を含有させる場合、透明基材の内部に含有していてもよいし、基材表面に色素を含有する層をコーティングしてもよい。また、粘着剤層中に色素を含有させてもよい。また、異なる吸収波長を有する色素2種類以上を混合して一つの層中に含有させてもよいし、色素を含有する層を2層以上有していても良い。
The concentration of the dye can be appropriately set from the absorption wavelength / absorption coefficient of the dye, the transmission characteristics / transmittance required for the translucent electromagnetic wave shielding film, and the type / thickness of the medium or coating film to be dispersed. .
When making a functional film contain a pigment | dye, you may contain in the inside of a transparent base material, and you may coat the layer containing a pigment | dye on the base-material surface. Moreover, you may contain a pigment | dye in an adhesive layer. Further, two or more kinds of dyes having different absorption wavelengths may be mixed and contained in one layer, or two or more layers containing dyes may be included.

また、色素は金属との接触によっても劣化する場合があるため、このような色素を用いる場合、色素を含有する機能性フィルムは、色素を含有する層が透光性電磁波シールド膜上の導電性金属部と接触しないように配置することが更に好ましい。   In addition, since the dye may be deteriorated by contact with metal, when such a dye is used, the functional film containing the dye has a conductive layer on the translucent electromagnetic shielding film. More preferably, it is arranged so as not to contact the metal part.

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。したがって、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。   The present invention will be described more specifically with reference to the following examples. In addition, the material, usage-amount, ratio, processing content, processing procedure, etc. which are shown in the following Examples can be changed suitably unless it deviates from the meaning of this invention. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the specific examples shown below.

[実施例1]
(ハロゲン化銀感光材料の作製)
水媒体中のAg60gに対してゼラチン10.0gを含む、球相当径平均0.1μmの沃臭塩化銀粒子(I=0.2モル%、Br=40モル%)を含有する乳剤を調製した。
また、この乳剤中にはK3Rh2Br9およびK2IrCl6を濃度が10-7(モル/モル銀)になるように添加し、臭化銀粒子にRhイオンとIrイオンをドープした。この乳剤にNa2PdCl4を添加し、更に塩化金酸とチオ硫酸ナトリウムを用いて金硫黄増感を行った後、ゼラチン硬膜剤と共に、銀の塗布量が1g/m2となるようにポリエチレンテレフタレート(PET)からなる支持体上に塗布した。この際、Ag/ゼラチン体積比は1/2とした。
PET支持体の厚さは90μm、幅30cmのものを用いた。幅30cmのPET支持体に25cmの幅で20m分塗布を行い、塗布の中央部24cmを残すように両端を3cmずつ切り落としてロール状のハロゲン化銀感光材料を得た。
[Example 1]
(Preparation of silver halide photosensitive material)
An emulsion containing 10.0 g of gelatin per 60 g of Ag in an aqueous medium and containing silver iodobromochloride grains having an average equivalent sphere diameter of 0.1 μm (I = 0.2 mol%, Br = 40 mol%) was prepared. .
In this emulsion, K 3 Rh 2 Br 9 and K 2 IrCl 6 were added so as to have a concentration of 10 −7 (mol / mol silver), and silver bromide grains were doped with Rh ions and Ir ions. . After adding Na 2 PdCl 4 to this emulsion and further performing gold-sulfur sensitization with chloroauric acid and sodium thiosulfate, together with the gelatin hardener, the coating amount of silver is 1 g / m 2. It apply | coated on the support body which consists of a polyethylene terephthalate (PET). At this time, the volume ratio of Ag / gelatin was ½.
A PET support having a thickness of 90 μm and a width of 30 cm was used. Coating was performed for 20 m with a width of 25 cm on a PET support having a width of 30 cm, and both ends were cut off by 3 cm so as to leave a central portion of the coating, thereby obtaining a roll-shaped silver halide photosensitive material.

(露光)
ハロゲン化銀感光材料の露光は特開2004-1244号公報の発明に記載のDMD(デジタル・ミラー・デバイス)を用いた露光ヘッドを25cm幅になるように並べ、感光材料の感光層上にレーザー光が結像するように露光ヘッドおよび露光ステージを湾曲させて配置し、感材送り出し機構および巻取り機構を取り付けた上、露光面のテンション制御および巻取り、送り出し機構の速度変動が露光部分の速度に影響しないようにバッファー作用を有する撓みを設けた連続露光装置にて行った。露光の波長は400nmで、ビーム形は10μmのほぼ正方形、およびレーザー光源の出力は100μJであった。
露光のパターンは、線幅10μmの格子状のパターンが45度の角度になるようにし、ピッチが300μm間隔で幅24cm長さ10m連続するように行った。
(exposure)
For the exposure of the silver halide photosensitive material, exposure heads using the DMD (digital mirror device) described in the invention of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-1244 are arranged so as to have a width of 25 cm, and a laser is formed on the photosensitive layer of the photosensitive material. The exposure head and exposure stage are curved so that light is imaged, and the photosensitive material feed mechanism and take-up mechanism are attached. The exposure was performed with a continuous exposure apparatus provided with a bend having a buffer action so as not to affect the speed. The wavelength of exposure was 400 nm, the beam shape was approximately 10 μm, and the output of the laser light source was 100 μJ.
The exposure pattern was such that a grid-like pattern with a line width of 10 μm was at an angle of 45 °, and the pitch was 24 cm wide and 10 m long at intervals of 300 μm.

(現像定着処理)
下記処方の現像液及び定着液を作製し、露光済みハロゲン化銀感光材料を、富士写真フイルム社製自動現像機FG−710PTSを用いて現像定着処理を行った。得られたサンプルは表面抵抗が45Ω/□のメッシュ状サンプルであった。
(Development fixing process)
A developing solution and a fixing solution having the following formulation were prepared, and the exposed silver halide photosensitive material was subjected to development fixing processing using an automatic developing machine FG-710PTS manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd. The obtained sample was a mesh sample having a surface resistance of 45Ω / □.

・現像液1L処方(補充液も同組成)
ハイドロキノン 22 g
亜硫酸ナトリウム 50 g
炭酸カリウム 40 g
エチレンジアミン・四酢酸 2 g
臭化カリウム 4 g
ポリエチレングリコール4000 1 g
水酸化カリウム 4 g
pH 0.2に調整
・ Developer 1L formulation (same composition for replenisher)
Hydroquinone 22 g
Sodium sulfite 50 g
Potassium carbonate 40 g
Ethylenediamine tetraacetic acid 2 g
Potassium bromide 4 g
Polyethylene glycol 4000 1 g
Potassium hydroxide 4 g
Adjust to pH 0.2

・定着液1L処方(補充液も同組成)
チオ硫酸アンモニウム液(75%) 300 ml
亜硫酸アンモニウム・1水塩 25 g
1,3-ジアミノプロパン・四酢酸 8 g
酢酸 5 g
アンモニア水(27%) 1 g
pH 6.2に調整
・ 1L fixer formulation (same composition for replenisher)
Ammonium thiosulfate solution (75%) 300 ml
Ammonium sulfite monohydrate 25 g
1,3-diaminopropane tetraacetic acid 8 g
Acetic acid 5 g
Ammonia water (27%) 1 g
Adjust to pH 6.2

・現像定着条件
現像 33℃ 40秒
定着 30℃ 25秒
流水水洗 25℃ 25秒
・ Development and fixing conditions Development 33 ° C 40 seconds Fixing 30 ° C 25 seconds Washing with running water 25 ° C 25 seconds

(メッキ処理)
図1に概念的に示す槽配列の連続式電解槽を用いて、後述する電解工程の電解めっきを行った。電解槽は、図2に示した電解めっき槽10と実質的に同じ機能と構成の槽であるが、銅めっき液Aを満たしためっき槽11に代表される第1段階の複数の槽と、これに続く銅めっき液Bを満たしためっき槽11に代表される第2段階の複数の槽とを後述する工程になるように連続構成とし、後述の処理の実施が可能となるようにめっき槽を接続した電解めっき装置を用い、めっき処理を行った。電解めっき処理に先立って予備調整処理としてめっき処理同様図2の電解めっき槽10と同じ構成の化学処理槽を用いて後述する化学処理液を用いて化学処理を行った。ただし、化学処理においては電圧印加は行わなかった。なお、フィルムの銀メッシュ面が下向きとなるように(銀メッシュ面が給電ローラと接するように)、電解めっき装置にとり付けた。めっき槽11のサイズは、各浴ともに80cm×80cm×80cmであった。
なお、給電ローラ12a,12bとして、鏡面仕上げしたステンレス製ローラ(10cmφ、長さ70cm)を使用し、ガイドローラ14およびその他の搬送ローラとしては、5cmφ、長さ70cmのローラを使用した。また、ガイドローラ14の高さを調製することで、ライン速度が違っても一定の液中処理時間が確保されるようにした。
(Plating treatment)
Electrolytic plating in an electrolysis process to be described later was performed using a continuous electrolytic cell having a tank arrangement conceptually shown in FIG. The electrolytic bath is a bath having substantially the same function and configuration as the electrolytic plating bath 10 shown in FIG. 2, but a plurality of first-stage baths represented by a plating bath 11 filled with the copper plating solution A, Subsequently, a plurality of second-stage baths represented by the plating bath 11 filled with the copper plating solution B are configured to be a continuous configuration so as to be described later, and a plating bath is formed so that the processing described later can be performed. The plating process was performed using the electroplating apparatus which connected. Prior to the electroplating process, as a preconditioning process, a chemical process was performed using a chemical process liquid described later using a chemical process tank having the same configuration as the electroplating tank 10 in FIG. However, no voltage was applied in the chemical treatment. In addition, it attached to the electroplating apparatus so that the silver mesh surface of a film might face downward (so that a silver mesh surface might contact | connect an electric power feeding roller). The size of the plating tank 11 was 80 cm × 80 cm × 80 cm for each bath.
The power supply rollers 12a and 12b were mirror-finished stainless steel rollers (10 cmφ, length 70 cm), and the guide rollers 14 and other transport rollers were 5 cmφ and length 70 cm. In addition, by adjusting the height of the guide roller 14, a certain in-liquid processing time is ensured even if the line speed is different.

また入り口側の給電ローラ12aとフィルムの銀メッシュ面とが接している面の最下部とめっき液面との距離(図2に示す距離La)を9cmとした。出口側の給電ローラと感光材料の銀メッシュ部分が接している面の最下部とめっき液面との距離(図2に示す距離Lb)を19cmとした。また、ライン搬送速度を2.5m/分とした。   Further, the distance (distance La shown in FIG. 2) between the lowermost part of the surface where the feeding roller 12a on the entrance side and the silver mesh surface of the film are in contact with each other was set to 9 cm. The distance (distance Lb shown in FIG. 2) between the lowermost part of the surface where the power supply roller on the outlet side is in contact with the silver mesh portion of the photosensitive material and the plating solution surface was 19 cm. Moreover, the line conveyance speed was 2.5 m / min.

めっき処理におけるめっき処理液及び防錆液の組成めっき槽は以下のとおりである。   The composition plating tank of the plating treatment liquid and the rust preventive liquid in the plating treatment is as follows.

化学処理液の組成
グルタルアルデヒド 20g
水を加えて 1L
Composition of chemical treatment liquid
Glutaraldehyde 20g
1L with water

銅めっき液Aの組成
硫酸銅5水塩 220g
硫酸(47%) 220mL
塩酸(2N) 0.5mL
ポリエチレングリコール4000
(平均分子量4000) 0.4g
ヤヌスグリーンB 0.05g
ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド 0.05g
純水を加えて 1L
pH −0.1
Composition of copper plating solution A
Copper sulfate pentahydrate 220g
Sulfuric acid (47%) 220mL
Hydrochloric acid (2N) 0.5mL
Polyethylene glycol 4000
(Average molecular weight 4000) 0.4 g
Janus Green B 0.05g
Bis (3-sulfopropyl) disulfide 0.05 g
Add pure water 1L
pH -0.1

銅めっき液Bの組成
硫酸銅5水塩 200g
硫酸(47%) 200mL
純水を加えて 1L
pH −0.1
Composition of copper plating solution B
200 g of copper sulfate pentahydrate
200 mL of sulfuric acid (47%)
Add pure water 1L
pH -0.1

これらの処理液を用いて、以下示す処理条件にて基盤サンプル(1)を作製した。以下に、めっき槽の処理時間、及び印加電圧を示す。また、めっき1〜8のめっき液は銅めっき液Aを、めっき9〜16のめっき液は銅めっき液Bを用いた。
また、全ての銅めっき液、水洗水及び化学処理液、防錆液の温度は25〜30℃、乾燥温度は50℃〜70℃で処理を行った。
Using these treatment liquids, a substrate sample (1) was produced under the treatment conditions shown below. Below, the processing time of a plating tank and an applied voltage are shown. Moreover, the copper plating solution A was used for the plating solution of plating 1-8, and the copper plating solution B was used for the plating solution of plating 9-16.
Moreover, the temperature of all the copper plating solutions, the washing water, the chemical treatment solution, and the rust preventive solution was 25 to 30 ° C., and the drying temperature was 50 to 70 ° C.

化学処理 30秒
水洗 30秒
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき1 30秒 電圧 20V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき2 30秒 電圧 18V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき3 30秒 電圧 17V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき4 30秒 電圧 12V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき5 30秒 電圧 10V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき6 30秒 電圧 9V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき7 30秒 電圧 8V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき8 30秒 電圧 7V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき9 30秒 電圧 5V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき10 30秒 電圧 4V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき11 30秒 電圧 4V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき12 30秒 電圧 3V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき13 30秒 電圧 3V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき14 30秒 電圧 2V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき15 30秒 電圧 2V
水洗 30秒
乾燥 30秒
めっき16 30秒 電圧 1V
水洗 30秒
水洗 30秒
乾燥 30秒
Chemical treatment 30 seconds
30 seconds of water washing
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 1 30 seconds Voltage 20V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 2 30 seconds Voltage 18V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 3 30 seconds Voltage 17V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 4 30 seconds Voltage 12V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 5 30 seconds Voltage 10V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 6 30 seconds Voltage 9V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 7 30 seconds Voltage 8V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 8 30 seconds Voltage 7V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 9 30 seconds Voltage 5V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 10 30 seconds Voltage 4V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 11 30 seconds Voltage 4V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 12 30 seconds Voltage 3V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 13 30 seconds Voltage 3V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 14 30 seconds Voltage 2V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 15 30 seconds Voltage 2V
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Plating 16 30 seconds Voltage 1V
30 seconds of water washing
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds

下記表1に記載の黒化処理液を作製した。   The blackening treatment liquid described in Table 1 below was prepared.

Figure 0004972381
Figure 0004972381

下記表2の黒化処理液を作製した。   The blackening treatment liquid shown in Table 2 below was prepared.

Figure 0004972381
Figure 0004972381

上記表1,2の黒化処理液を用い下記条件で、基盤サンプル上へ黒化層を積層し実施例1〜5及び比較例1〜4を作製した。黒化層を積層する前のサンプルは全て基盤サンプル(1)を使用し、使用装置は基盤サンプル(1)の作製時に使用した装置と同じ構成のものを使用した。金属細線に最も近い側を黒化処理1とし、処理条件との対応を表3に記した。なお、表3内空欄はその黒化処理をしていないことを示し、比較例4は基盤サンプルに防錆処理のみ行ったことを示す。   Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4 were prepared by laminating a blackening layer on the base sample using the blackening treatment liquids in Tables 1 and 2 under the following conditions. The base sample (1) was used for all samples before the blackening layer was laminated, and the equipment used was the same as the equipment used when the base sample (1) was produced. The side closest to the fine metal wire was designated as blackening treatment 1, and the correspondence with the treatment conditions is shown in Table 3. The blank in Table 3 indicates that the blackening treatment is not performed, and Comparative Example 4 indicates that only the rust prevention treatment is performed on the base sample.

黒化処理1(金属細線に近い側)45秒
水洗 30秒
乾燥 30秒
黒化処理2 45秒
水洗 30秒
水洗 30秒
黒化処理3 45秒
水洗 30秒
水洗 30秒
防錆 45秒
水洗 30秒
乾燥 1分 50℃〜70℃
Blackening treatment 1 (side closer to fine metal wire) 45 seconds
30 seconds of water washing
Dry 30 seconds
Blackening process 2 45 seconds
30 seconds of water washing
30 seconds of water washing
Blackening 3 45 seconds
30 seconds of water washing
30 seconds of water washing
Rust prevention 45 seconds
30 seconds of water washing
Dry 1 minute 50 ° C ~ 70 ° C

上記処理で使用した防錆液の処方を示す。
防錆液の組成
ベンゾトリアゾール 2.0g
メタノール 20ml
純水を加えて 1L
The prescription of the rust preventive liquid used in the above treatment is shown.
Composition of rust prevention liquid
Benzotriazole 2.0g
20 ml of methanol
Add pure water 1L

Figure 0004972381
Figure 0004972381

得られたフィルム試料について以下のようにして、各金属量を定量した。
(試料中の金属量定量)
10%硝酸を作製し、10%硝酸100mlに試料を一定面積(7cm×3.5cm)浸漬したものを超音波装置に約2時間セットし、完全に試料中の金属を抽出する。その後、液中の金属濃度をICP発光分析装置(島津製作所製)を用いて定量し、フィルム試料1m当りの金属量として求めた後に質量比を計算した。得られた結果を表4に示した。表4において、各金属比は分母がNi金属で、分子は当該黒化処理液中に共存させた他金属種(処理液a、b、c、dの場合はZn、処理液f、gの場合はSn)である。
About the obtained film sample, each metal amount was quantified as follows.
(Quantitative determination of metal in sample)
10% nitric acid is prepared, a sample immersed in 100 ml of 10% nitric acid in a certain area (7 cm × 3.5 cm) is set in an ultrasonic device for about 2 hours, and the metal in the sample is completely extracted. Thereafter, the metal concentration in the liquid was quantified using an ICP emission analyzer (manufactured by Shimadzu Corporation), and the mass ratio was calculated after obtaining the amount of metal per 1 m 2 of the film sample. The results obtained are shown in Table 4. In Table 4, the denominator of each metal ratio is Ni metal, and the numerator is the other metal species coexisting in the blackening treatment liquid (in the case of the treatment liquids a, b, c, and d, Zn, the treatment liquids f and g). Sn is the case.

Figure 0004972381
Figure 0004972381

得られた試料について、以下のようにして、視認性、色ムラ、及び粉落ちについて評価した。   The obtained samples were evaluated for visibility, color unevenness, and powder fall as follows.

(視認性評価)
黒化処理後の各サンプルのPET面側を貼り合わせ面にして厚さ2.5mm、外形寸法200mm×200mmのガラス板に透明なアクリル系粘着材を介して貼り合わせ、PDP前面に置いて視認性を確認した。なお、視認性確認部分以外の画面は黒紙で2重に被覆し、画像を見た時の色味の違和感、1時間画像を見続けた時のた時の目の疲れ及びチカチカしないかどうか等の違和感を試験した。
経時前サンプルの画像故障が無い部分を選んで試験試料としたが、どうしても故障部が入ってしまう場合にはその部分をできるだけ小面積の黒テープで覆って評価した。得られた結果を表5に記した。
(Visibility evaluation)
Each sample after the blackening treatment is bonded to a glass plate having a thickness of 2.5 mm and an external dimension of 200 mm × 200 mm with a transparent acrylic adhesive material, and placed on the front surface of the PDP. The sex was confirmed. In addition, the screens other than the visibility confirmation part are covered with black paper twice, whether the color is uncomfortable when viewing the image, whether the eyes are tired and flickering when the image is viewed for one hour And so on.
A part having no image failure in the sample before aging was selected as a test sample. However, when a failed part was inevitably included, the part was covered with black tape having a small area as much as possible. The results obtained are shown in Table 5.

(金属メッシュフィルムのムラ)
得られた各サンプル中央の幅10cmを長さ1mに渡って目視にて観察し、ムラの観られるものを×、観測されないものを○とした。得られた結果は表5に記した。
(Unevenness of metal mesh film)
The center of each sample thus obtained was visually observed over a length of 1 m over a length of 1 m. The obtained results are shown in Table 5.

(粉落ち)
得られた各サンプルの黒化層積層面をキムワイプ S−200(株式会社クレシア製)を用い、加重20gで5往復擦り試験を実施した。試験後のサンプルを光学顕微鏡にて観察して、黒化層に剥れが観察されて細線周囲に粉状に落ちているものを×、剥れが見られないものを○として評価をした。結果を合わせて表5に記した。
(Powder falling)
Using the Kimwipe S-200 (manufactured by Crecia Co., Ltd.), the blackened layer laminate surface of each sample thus obtained was subjected to a 5-reciprocal rubbing test with a load of 20 g. The sample after the test was observed with an optical microscope, and the evaluation was evaluated as x when peeling was observed on the blackened layer and falling around the fine line in a powdery state, and ○ when peeling was not seen. The results are shown in Table 5.

Figure 0004972381
Figure 0004972381

表5から分かるように、本発明のサンプルでは、視認性、色味ムラ、粉落ち共要求性能を満たしていることが分かる。
また上記の本発明の試料は、湿熱経時後の色味変化が小さく、密着性に優れていた。また、表面抵抗は、0.4Ω/□以下、全光線透過率は80%以上、ヘイズは5%以下であり、PDP用の電磁波シールドフィルムとして好適に使用できる。
As can be seen from Table 5, it can be seen that the sample of the present invention satisfies the required performance of visibility, uneven coloring, and powder falling off.
In addition, the sample of the present invention described above had a small change in color after wet heat aging and was excellent in adhesion. Further, the surface resistance is 0.4Ω / □ or less, the total light transmittance is 80% or more, and the haze is 5% or less, and it can be suitably used as an electromagnetic wave shielding film for PDP.

本発明における電解めっき工程を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the electroplating process in this invention. 本発明のめっき処理方法に好適に用いられる電解めっき槽の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the electroplating tank suitably used for the plating method of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

a〜f 電解槽
1 フィルム
10 電解めっき槽
11 めっき槽
12a,12b 給電ローラ
13 アノード板
14 ガイドローラー
15 銅めっき液
16 フィルム
17 液切りローラー
a to f Electrolysis tank 1 Film 10 Electroplating tank 11 Plating tank 12a, 12b Feed roller 13 Anode plate 14 Guide roller 15 Copper plating solution 16 Film 17 Liquid cutting roller

Claims (8)

透明基体上に金属部と可視光透過性部とをパターニングして形成してなる導電性金属層を有する透光導電性材料において、該金属部を構成する金属細線上に合金組成の異なる少なくとも2層の黒化層を積層し、該積層黒化層がニッケルと、亜鉛および錫から選択された少なくとも1種の金属とを含む2種以上の金属元素を有し、ニッケル/他種金属の質量比が0.1〜50である合金であって、金属部の金属細線に最も近い層から遠い層へ向かって、順次その質量比が減少していくことを特徴とする透光導電性材料。 In a translucent conductive material having a conductive metal layer formed by patterning a metal part and a visible light transmissive part on a transparent substrate, at least two different alloy compositions are formed on the metal thin wire constituting the metal part. The blackening layer of the layer is laminated , the laminated blackening layer has two or more metal elements including nickel and at least one metal selected from zinc and tin, and the mass of the nickel / other metal A light-transmitting conductive material having a ratio of 0.1 to 50, wherein the mass ratio is gradually decreased from a layer closest to the metal fine wire of the metal portion toward a layer farther away. 該黒化層がニッケルと亜鉛からなる2層の合金であって、金属細線に近い側の黒化層のニッケル/亜鉛質量比が3〜15、表層側の黒化層のニッケル/亜鉛質量比が0.1〜3であることを特徴とする請求項に記載の透光導電性材料。 The blackening layer is a two-layer alloy composed of nickel and zinc, and the nickel / zinc mass ratio of the blackening layer on the side close to the fine metal wire is 3 to 15, and the nickel / zinc mass ratio of the blackening layer on the surface layer side The translucent conductive material according to claim 1 , wherein is 0.1-3. 該黒層がニッケルと錫からなる2層の合金であって、金属細線に近い側の黒化層のニッケル/錫質量比が1〜2、表層側の黒層のニッケル/錫質量比が0.1〜1であることを特徴とする請求項に記載の透光導電性材料。 And said black layer is an alloy of two layers of nickel and tin, nickel / tin weight ratio of the blackened layer on the side closer to the thin metal wires 1-2, nickel / tin weight ratio of the surface layer side of the blackened layer The translucent conductive material according to claim 1, wherein is 0.1 to 1 . 該金属部が線幅5μm〜50μmのメッシュ状細線を含むパターンから形成されることを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の透光導電性材料。 The translucent conductive material according to any one of claims 1 to 3 , wherein the metal portion is formed from a pattern including a mesh-like thin line having a line width of 5 µm to 50 µm. 導電性金属層中にゼラチンを含有することを特徴とする請求項1〜のいずれか一項に記載の透光導電性材料。 The translucent conductive material according to any one of claims 1 to 4 , wherein the conductive metal layer contains gelatin. 透光導電性材料パターン状の現像銀上に電解めっきによって形成された導電性金属部を有することを特徴とする請求項1〜のいずれか一項記載の透光導電性材料。 ToruHikarishirube conductive material according to any one of claims 1 to 5, characterized in that a conductive metal portion formed by electrolytic plating in ToruHikarishirube conductive material patterned on developed silver. 請求項1〜のいずれか一項に記載の透光導電性材料において、黒化層が多段電解メッキにより形成されることを特徴とする透光導電性材料透光導電性材料の製造方法。 The translucent conductive material according to any one of claims 1 to 6 , wherein the blackening layer is formed by multi-stage electrolytic plating. 請求項1〜のいずれか一項に記載の透光導電性材料を有してなる透光性電磁波シールド膜。 Light-transmitting electromagnetic wave-shielding film comprising a ToruHikarishirube conductive material according to any one of claims 1-6.
JP2006300252A 2006-11-06 2006-11-06 Translucent conductive material, manufacturing method thereof, and translucent electromagnetic wave shielding film Expired - Fee Related JP4972381B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006300252A JP4972381B2 (en) 2006-11-06 2006-11-06 Translucent conductive material, manufacturing method thereof, and translucent electromagnetic wave shielding film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006300252A JP4972381B2 (en) 2006-11-06 2006-11-06 Translucent conductive material, manufacturing method thereof, and translucent electromagnetic wave shielding film

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008117955A JP2008117955A (en) 2008-05-22
JP4972381B2 true JP4972381B2 (en) 2012-07-11

Family

ID=39503658

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006300252A Expired - Fee Related JP4972381B2 (en) 2006-11-06 2006-11-06 Translucent conductive material, manufacturing method thereof, and translucent electromagnetic wave shielding film

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4972381B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160065004A (en) 2014-11-28 2016-06-08 닛토덴코 가부시키가이샤 Transparent conductive substrate

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9320136B2 (en) 2011-02-02 2016-04-19 3M Innovative Properties Company Patterned substrates with darkened multilayered conductor traces
US8933906B2 (en) 2011-02-02 2015-01-13 3M Innovative Properties Company Patterned substrates with non-linear conductor traces
KR101460349B1 (en) * 2013-09-30 2014-11-13 최철수 Electro-conductive gasket and manufacturing method thereof
JP2015103223A (en) * 2013-11-28 2015-06-04 グンゼ株式会社 Conductive substrate, touch panel and electromagnetic shield
JP6936966B2 (en) * 2017-07-07 2021-09-22 大日本印刷株式会社 Manufacturing method of filter for image display device and filter for image display device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8114512B2 (en) * 2002-08-08 2012-02-14 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Electromagnetic shielding sheet and method of fabricating the same
JP4641719B2 (en) * 2002-12-27 2011-03-02 富士フイルム株式会社 Method for manufacturing translucent electromagnetic wave shielding film and translucent electromagnetic wave shielding film
US7732038B2 (en) * 2004-07-12 2010-06-08 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Electromagnetic wave shielding filter
JP2006228473A (en) * 2005-02-15 2006-08-31 Fuji Photo Film Co Ltd Translucent conductive film and its manufacturing method as well as developer used for manufacture of translucent conductive film
JP2006269795A (en) * 2005-03-24 2006-10-05 Fuji Photo Film Co Ltd Translucent and conductive film, developing solution for formation thereof, translucent electromagnetic shield film, and manufacturing methods thereof
JP4398894B2 (en) * 2005-03-30 2010-01-13 古河電気工業株式会社 Copper foil for electromagnetic wave shielding, and electromagnetic wave shield made with the copper foil

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160065004A (en) 2014-11-28 2016-06-08 닛토덴코 가부시키가이샤 Transparent conductive substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008117955A (en) 2008-05-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101234872B1 (en) Plating method, light-transmitting conductive film and electromagnetic shielding film
WO2006098334A1 (en) Light-transmitting electromagnetic shielding film, optical filter and plasma television
WO2006088026A1 (en) Photosensitive material for electrically conductive film formation, electrically conductive film, light-transparent electromagnetic wave shielding film, and process for producing the same
JP2007308761A (en) Plating treatment method, electrically conductive metal film, its production method and translucent electromagnetic wave shielding film
JP2009094467A (en) Image display device, moire preventing film, optical filter, plasma display filter, and image display panel
JP4961220B2 (en) Manufacturing method of conductive film, translucent electromagnetic wave shielding film, optical filter, and plasma display panel
KR20080011644A (en) Plating method, electrically conductive film and light-transmitting electromagnetic wave shielding film
JP4972381B2 (en) Translucent conductive material, manufacturing method thereof, and translucent electromagnetic wave shielding film
JP4832322B2 (en) Conductive metal film, translucent electromagnetic wave shielding film, optical filter and plasma display panel, and method for producing conductive metal film
JP2007009326A (en) Plating method, electrically conductive film, and light-transmitting electromagnetic wave shield film
JP2007207987A (en) Translucent electromagnetic wave shielding film, optical filter and plasma display panel
JP2006339287A (en) Method and device for manufacturing conductive film, electromagnetic-wave shielding film and plasma display panel
JP2007335729A (en) Conductive metal film and translucent electromagnetic shield film
JP2007200922A (en) Optical filter translucent electromagnetic wave shielding film of plasma display and optical filter
US8034542B2 (en) Conductive film and manufacturing method thereof, and transparent electromagnetic shielding film
JP2007201378A (en) Translucent electromagnetic wave shielding film, optical filter, and plasma display panel
JP2007162118A (en) Plating apparatus, plating method, translucent conductive film, and translucent electromagnetic wave shield film
JP2007208133A (en) Translucent electromagnetic wave shielding film, translucent electromagnetic wave shielding laminate, optical filter and plasma display panel
JP2007310091A (en) Plasma display panel
JP4911459B2 (en) Conductive film, method for producing the same, electromagnetic shielding film, method for producing the same, and plasma display panel
JP2007197809A (en) Plating treatment method, electrically conductive film, and translucent electromagnetic wave shielding film
JP2006336057A (en) Method for producing electroconductive film, production apparatus therefor, translucent electromagnetic-wave shield and plasma display panel
JP2007270353A (en) Plating method, electroconductive film, process for producing the electroconductive film, and optically transparent electromagnetic wave shielding film
JP5124154B2 (en) Manufacturing method of conductive film
JP2009087768A (en) Conductive film precursor, conductive film, method of manufacturing conductive film precursor, optical filter for plasma display panel and plasma display panel

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090904

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110610

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110614

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110628

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20110705

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20111216

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120313

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120409

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4972381

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees