JP4968269B2 - Liquid discharge head and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid discharge head that discharges liquid and a method of manufacturing the same.
印刷用紙等の記録媒体にインク滴を吐出するインクジェットヘッドとしては、インク滴を吐出するノズルに連通した圧力室を含む多数の個別インク流路が形成された流路ユニットと、流路ユニットの表面に固定されており、各圧力室の容積を変化させることにより圧力室にインク滴の吐出エネルギーを付加するアクチュエータユニットとを有するものがある。このアクチュエータユニットは、多数の圧力室に跨る圧電シートと、圧電シートの表面において各圧力室と対向するように配置された多数の個別電極と、圧電シートを介して多数の個別電極と対向するように配置された共通電極とを有するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。 As an inkjet head that ejects ink droplets onto a recording medium such as printing paper, a flow path unit in which a number of individual ink flow paths including pressure chambers communicating with nozzles that eject ink droplets are formed, and the surface of the flow path unit And an actuator unit that adds ink droplet ejection energy to the pressure chamber by changing the volume of each pressure chamber. The actuator unit has a piezoelectric sheet straddling a large number of pressure chambers, a large number of individual electrodes arranged to face each pressure chamber on the surface of the piezoelectric sheet, and a large number of individual electrodes via the piezoelectric sheet. And a common electrode disposed on the substrate (see, for example, Patent Document 1).
流路ユニットの表面にアクチュエータユニットを固定する工程においては、流路ユニットの表面にアクチュエータユニットを配置した状態で、加圧部材がアクチュエータユニットを流路ユニットの表面に向かって加圧する。このとき、加圧部材におけるアクチュエータユニットと接していない領域が、アクチュエータユニットの角部を起点として加圧方向に湾曲する。このため、アクチュエータユニットの当該角部に応力が集中的に作用し、アクチュエータユニットが破損することがある。 In the step of fixing the actuator unit on the surface of the flow path unit, the pressurizing member pressurizes the actuator unit toward the surface of the flow path unit in a state where the actuator unit is disposed on the surface of the flow path unit. At this time, a region of the pressurizing member that is not in contact with the actuator unit is curved in the pressurizing direction starting from a corner of the actuator unit. For this reason, stress concentrates on the corner of the actuator unit, and the actuator unit may be damaged.
本発明の目的は、アクチュエータユニットが破損するのを抑制することができる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することにある。 The objective of this invention is providing the liquid discharge head which can suppress that an actuator unit breaks, and its manufacturing method.
本発明の液体吐出ヘッドは、液体が供給される共通液体室、及び、前記共通液体室の出口から圧力室を経てノズルに至る複数の個別液体流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットの表面に固定され、前記ノズルから液体を吐出させるアクチュエータユニットであって、圧電層、前記圧電層に配置された個別電極、及び、前記個別電極との間で前記圧電層を挟持する共通電極を有するアクチュエータユニットとを備えている。前記流路ユニットの表面に、平面形状が前記アクチュエータユニットを収容可能なサイズと形状とを有していると共に、深さが前記アクチュエータユニットの厚みの半分以上となっている窪みが形成されており、前記窪みの底面に、前記圧力室が形成されていると共に、前記アクチュエータユニットが前記圧力室と対向するように固定されており、一対の加圧部材が、接着剤を介して前記窪みの底面に配置された前記アクチュエータユニットの表面と前記流路ユニットの前記窪みが形成された面と反対側の面とを挟持しつつ加圧することによって、前記窪みの底面に前記アクチュエータユニットが固定されており、前記アクチュエータユニットを加圧する前記加圧部材の前記アクチュエータユニットと接していない領域の少なくとも一部が、前記流路ユニットの表面の前記窪み側の縁部に支持されるように、且つ、前記アクチュエータユニットが前記流路ユニットの表面から約10μm突出するように前記窪みが形成されている。
The liquid discharge head of the present invention includes a common liquid chamber to which liquid is supplied, a flow path unit in which a plurality of individual liquid flow paths are formed from the outlet of the common liquid chamber to the nozzle through the pressure chamber, and the flow An actuator unit that is fixed to the surface of the path unit and discharges liquid from the nozzle, and the piezoelectric layer, the individual electrodes arranged on the piezoelectric layer, and the piezoelectric layer sandwiched between the individual electrodes And an actuator unit having electrodes. On the surface of the flow path unit, the planar shape has a size and shape that can accommodate the actuator unit, and a recess whose depth is more than half of the thickness of the actuator unit is formed. The pressure chamber is formed on the bottom surface of the recess, the actuator unit is fixed so as to face the pressure chamber, and a pair of pressurizing members are attached to the bottom surface of the recess via an adhesive. The actuator unit is fixed to the bottom surface of the depression by pressing while sandwiching the surface of the actuator unit disposed on the surface and the surface of the flow path unit opposite to the surface where the depression is formed. , At least a part of the area of the pressure member that pressurizes the actuator unit that is not in contact with the actuator unit, So as to be supported on the edge of the recess-side surface of the Kiryuro unit and the actuator unit is the recess is formed so as to approximately 10μm protrude from the surface of the channel unit.
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体が供給される共通液体室、及び、前記共通液体室の出口から圧力室を経てノズルに至る複数の個別液体流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットの表面に固定され、前記ノズルから液体を吐出させるアクチュエータユニットであって、圧電層、前記圧電層に配置された個別電極、及び、前記個別電極との間で前記圧電層を挟持する共通電極を有するアクチュエータユニットとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記流路ユニットの表面に、平面形状が前記アクチュエータユニットを収容可能なサイズと形状とを有していると共に、深さが前記アクチュエータユニットの厚みよりも小さい窪みと、前記窪みの底面に配置された前記圧力室とが形成されるように、前記流路ユニットを製造する流路ユニット製造工程と、前記アクチュエータユニットを製造するアクチュエータユニット製造工程と、前記窪みの底面に、前記圧力室と対向するように前記アクチュエータユニットを固定する固定工程とを備えている。前記固定工程において、一対の加圧部材が、接着剤を介して前記窪みの底面に配置された前記アクチュエータユニットの表面と前記流路ユニットの前記窪みが形成された面と反対側の面とを挟持しつつ加圧することによって、前記窪みの底面に前記アクチュエータユニットを固定し、前記アクチュエータユニットを加圧する前記加圧部材の前記アクチュエータユニットと接していない領域の少なくとも一部が、前記流路ユニットの表面の前記窪み側の縁部に支持される。
A method for manufacturing a liquid discharge head according to the present invention includes: a common liquid chamber to which liquid is supplied; and a flow path unit in which a plurality of individual liquid flow paths are formed from an outlet of the common liquid chamber to a nozzle through a pressure chamber. An actuator unit fixed to the surface of the flow path unit and for discharging liquid from the nozzle, wherein the piezoelectric layer is disposed between the piezoelectric layer, the individual electrode disposed on the piezoelectric layer, and the individual electrode. A method of manufacturing a liquid discharge head having an actuator unit having a common electrode to be sandwiched, the surface of the flow path unit having a size and shape that can accommodate the actuator unit on the surface, The flow path unit is formed such that a recess having a depth smaller than the thickness of the actuator unit and the pressure chamber disposed on the bottom surface of the recess are formed. A channel unit manufacturing step of manufacturing a and the actuator unit manufacturing step of manufacturing the actuator unit, the bottom surface of the recess, and a fixing step of fixing the actuator unit to face the pressure chamber. In the fixing step, the pair of pressure members includes a surface of the actuator unit disposed on a bottom surface of the recess via an adhesive and a surface opposite to the surface of the flow path unit on which the recess is formed. By pressing while pinching, the actuator unit is fixed to the bottom surface of the recess, and at least a part of the region of the pressurizing member that pressurizes the actuator unit is not in contact with the actuator unit. It is supported by the edge part of the said depression side of the surface.
本発明によると、流路ユニットの表面に形成された窪み内にアクチュエータユニットが固定されているため、アクチュエータユニットを流路ユニットに固定するとき、アクチュエータユニットを押圧する加圧部材のアクチュエータユニットと接していない領域の少なくとも一部が窪みの縁部に支えられる。このため、当該領域がアクチュエータユニットの角部を起点として押圧方向に湾曲するのが抑制され、当該角部に作用する応力が緩和される。これにより、アクチュエータユニットが破損するのを抑制することができる。 According to the present invention, since the actuator unit is fixed in the recess formed on the surface of the flow path unit, when the actuator unit is fixed to the flow path unit, it is in contact with the actuator unit of the pressure member that presses the actuator unit. At least a portion of the unexposed area is supported by the edge of the depression. For this reason, it is suppressed that the said area | region curves in the press direction from the corner | angular part of an actuator unit, and the stress which acts on the said corner | angular part is relieved. Thereby, it can suppress that an actuator unit is damaged.
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法では、前記固定工程は、前記接着剤を介して積層された前記アクチュエータユニット及び前記流路ユニットを前記一対の加圧部材で挟持する挟持工程と、前記アクチュエータユニット及び前記流路ユニットを、所定温度に加熱して加圧することで前記接着剤を硬化させる接着剤の硬化工程とを含み、前記アクチュエータユニット側の前記加圧部材は、前記アクチュエータユニットと接していない前記一部の領域が、前記挟持工程において、前記流路ユニットの表面の前記窪み側の縁部から離隔して対向し、前記硬化工程において、前記挟持工程よりも大きな加圧力が前記加圧部材に印加されて前記窪み側の縁部に支持されることが好ましい。In the method for manufacturing a liquid discharge head according to the present invention, the fixing step includes a sandwiching step of sandwiching the actuator unit and the flow path unit stacked with the adhesive between the pair of pressure members, and the actuator unit. And an adhesive curing step of curing the adhesive by heating and pressurizing the flow path unit to a predetermined temperature, and the pressure member on the actuator unit side is not in contact with the actuator unit The partial region is opposed to the edge of the surface of the flow path unit on the depression side in the clamping step, and a larger pressing force than the clamping step is applied to the pressurizing member in the curing step. It is preferable to be applied to and supported by the edge portion on the depression side.
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法では、前記流路ユニット製造工程において、前記窪みの底面に開口する前記圧力室、前記圧力室を画定する壁部、及び、前記壁部の前記開口側の縁部を除く領域に配置された、前記アクチュエータユニットと前記壁部との間に介在する介在物を逃がす複数の逃がし凹部が形成されることが好ましい。 In the liquid discharge head manufacturing method of the present invention, in the flow path unit manufacturing step, the pressure chamber that opens to the bottom surface of the recess, a wall that defines the pressure chamber, and an edge on the opening side of the wall It is preferable that a plurality of escape recesses are formed to escape inclusions interposed between the actuator unit and the wall portion, which are disposed in a region excluding the portion.
これらによると、アクチュエータユニットの流路ユニットに固定される面に付着した不純物である介在物を逃がし凹部に逃がすことができるため、アクチュエータユニットを流路ユニットに向かって加圧するときに、アクチュエータユニットに部分的に応力が集中するのを防止することができる。これにより、アクチュエータユニットが破損するのを抑制することができる。 According to these, inclusions that are impurities adhering to the surface fixed to the flow path unit of the actuator unit can escape to the recess, so that when the actuator unit is pressurized toward the flow path unit, It is possible to prevent the stress from being partially concentrated. Thereby, it can suppress that an actuator unit is damaged.
本発明において、前記硬化工程では、前記アクチュエータユニット及び前記流路ユニットを前記所定温度に加熱するとき、前記接着剤が完全に硬化する前に前記所定温度にまで昇温させると共に、前記所定温度で前記挟持工程よりも大きな加圧力が前記加圧部材に印加されることが好ましい。また、前記挟持工程よりも大きな加圧力は、前記接着剤が完全に硬化するまで印加されてもよい。さらに、前記アクチュエータユニット側の前記加圧部材が、金属製の加圧冶具と前記加圧冶具及び前記アクチュエータユニットに挟まれる弾性部材とを含んでおり、前記硬化工程において前記アクチュエータユニット及び前記流路ユニットを前記所定温度で加圧したとき、前記弾性部材が前記窪み側の縁部に支持されてもよい。前記固定工程において、前記加圧部材が、前記アクチュエータユニットを加熱してもよい。また、前記流路ユニット製造工程では、前記窪みが、前記アクチュエータユニットの厚みの半分以上の深さで形成されてもよい。このとき、前記硬化工程において、前記アクチュエータユニットは前記流路ユニットの表面から約10μm突出するように固定されてもよい。In the present invention, in the curing step, when the actuator unit and the flow path unit are heated to the predetermined temperature, the temperature is raised to the predetermined temperature before the adhesive is completely cured, and at the predetermined temperature. It is preferable that a pressing force larger than that in the clamping step is applied to the pressing member. Further, a pressing force larger than that in the sandwiching step may be applied until the adhesive is completely cured. Further, the pressure member on the actuator unit side includes a metal pressure jig and an elastic member sandwiched between the pressure jig and the actuator unit, and the actuator unit and the flow path in the curing step When the unit is pressurized at the predetermined temperature, the elastic member may be supported by an edge on the depression side. In the fixing step, the pressure member may heat the actuator unit. Further, in the flow path unit manufacturing process, the recess may be formed with a depth of half or more of the thickness of the actuator unit. At this time, in the curing step, the actuator unit may be fixed so as to protrude about 10 μm from the surface of the flow path unit.
本発明においては、前記流路ユニット製造工程において、前記逃がし凹部がサンドブラスト加工によって形成されていてもよい。加えて、前記流路ユニット製造工程において、前記逃がし凹部がエッチング加工によって形成されていてもよい。これらによると、逃がし凹部を効率よく形成することができる。
In the present invention, before Kiryuro unit manufacturing step, the escape recess may be formed by sandblasting. In addition, in the flow path unit manufacturing process, the relief recess may be formed by etching. According to these, the escape recess can be efficiently formed.
本発明によると、流路ユニットの表面に形成された窪み内にアクチュエータユニットが固定されているため、アクチュエータユニットを流路ユニットに固定するとき、アクチュエータユニットを押圧する加圧部材のアクチュエータユニットと接していない領域の少なくとも一部が窪みの縁部に支えられる。このため、当該領域がアクチュエータユニットの角部を起点として押圧方向に湾曲するのが抑制され、当該角部に作用する応力が緩和される。これにより、アクチュエータユニットが破損するのを抑制することができる。 According to the present invention, since the actuator unit is fixed in the recess formed on the surface of the flow path unit, when the actuator unit is fixed to the flow path unit, it is in contact with the actuator unit of the pressure member that presses the actuator unit. At least a portion of the unexposed area is supported by the edge of the depression. For this reason, it is suppressed that the said area | region curves in the press direction from the corner | angular part of an actuator unit, and the stress which acts on the said corner | angular part is relieved. Thereby, it can suppress that an actuator unit is damaged.
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明の好適な実施形態のインクジェットプリンタの内部構成を示す断面図である。インクジェットプリンタ101は、図1に示すように、直方体形状の筐体1aを有している。また、筐体1aの上部には、排紙部31が設けられている。さらに、筐体1a内は、上から順に3つの空間A、B、Cに区分されている。空間Aには、マゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクをそれぞれ吐出する4つのインクジェットヘッド1、及び、搬送ユニット20が配置されている。空間B、Cはそれぞれ、筐体1aに対して着脱可能な給紙ユニット1b及びインクタンクユニット1cが配置される空間である。なお、本実施形態において、副走査方向とは搬送ユニット20で用紙Pを搬送するときの搬送方向と平行な方向であり、主走査方向とは副走査方向に直交する方向であって水平面に沿った方向である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the internal configuration of an ink jet printer according to a preferred embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the
インクジェットプリンタ101の内部には、給紙ユニット1bから排紙部31に向けて、用紙Pが搬送される用紙搬送経路が形成されている(図1中太矢印)。給紙ユニット1bは、複数枚の用紙Pを収納することが可能な給紙トレイ23と、給紙トレイ23に取り付けられた給紙ローラ25とを有している。給紙ローラ25は、給紙トレイ23に積層して収納された複数の用紙Pのうち、最も上方にある用紙Pを送り出す。給紙ローラ25によって送り出された用紙Pは、ガイド27a,27bによりガイドされ且つ送りローラ対26によって挟持されつつ搬送ユニット20へと送られる。
Inside the
搬送ユニット20は、2つのベルトローラ6,7と、両ローラ6,7間に架け渡されるように巻回されたエンドレスの搬送ベルト8と、テンションローラ10とを有している。テンションローラ10は、搬送ベルト8の下側ループにおいて、その内周面に接触しつつ下方に付勢されることで搬送ベルト8にテンションを付加している。ベルトローラ7は、駆動ローラであって、搬送モータMから2つのギアを介して駆動力が与えられることで、図1中時計回りに回転する。ベルトローラ6は、従動ローラであって、ベルトローラ7の回転により搬送ベルト8が走行するのに伴って、図1中時計回りに回転する。
The
搬送ベルト8の外周面8aにはシリコーン処理が施されており、粘着性を有している。用紙搬送経路上において搬送ベルト8を挟んでベルトローラ6と対向する位置には、ニップローラ4が配置されている。ニップローラ4は、給紙ユニット1bから送り出された用紙Pを搬送ベルト8の外周面8aに押さえ付ける。外周面8aに押さえ付けられた用紙Pは、その粘着力によって外周面8a上に保持されつつ、図1右方へと搬送される。
The outer peripheral surface 8a of the
また、用紙搬送経路上において搬送ベルト8を挟んでベルトローラ7と対向する位置には、剥離プレート5が設けられている。剥離プレート5は、搬送ベルト8の外周面8aに保持されている用紙Pを外周面8aから剥離する。剥離プレート5によって外周面8aから剥離された用紙Pは、ガイド29a,29bによりガイドされ且つ二組の送りローラ対28によって挟持されつつ搬送され、筐体1a上部に形成された開口30から排紙部31へと排出される。
Further, a peeling plate 5 is provided at a position facing the belt roller 7 with the
4つのインクジェットヘッド1は、それぞれ主走査方向に沿って延在し、副走査方向に並設されており、フレーム3を介して筐体1aに支持されている。すなわち、インクジェットプリンタ101は、主走査方向に延びた吐出領域が形成されたライン式のカラーインクジェットプリンタである。各インクジェットヘッド1の下面は、インク滴が吐出される吐出面2aとなっている。
The four inkjet heads 1 each extend along the main scanning direction, are arranged in parallel in the sub-scanning direction, and are supported by the
搬送ベルト8のループ内には、4つのインクジェットヘッド1と対向するように、プラテン19が配置されている。プラテン19の上面は、搬送ベルト8の上側ループの内周面と接触しており、搬送ベルト8の内周側からこれを支持している。これにより、搬送ベルト8の上側ループの外周面8aとインクジェットヘッド1の下面、即ち吐出面2aとが対向しつつ平行になり、且つ、吐出面2aと搬送ベルト8の外周面8aとの間に僅かな隙間が形成されている。当該隙間は、用紙搬送経路の一部を構成している。搬送ベルト8の外周面8a上に保持されつつ搬送されてきた用紙Pが4つのヘッド1のすぐ下方を通過する際に、各ヘッド1から用紙Pの上面に向けて各色のインクが順に吐出され、用紙P上に所望のカラー画像が形成される。
A
インクジェットヘッド1はそれぞれ、空間Cに装着されたインクタンクユニット1c内のインクタンク49と接続されている。すなわち、4つのインクタンク49にはそれぞれ対応するインクジェットヘッド1が吐出するインクが貯留されている。そして、各インクタンク49からチューブ(図示せず)等を介してインクジェットヘッド1にインクが供給される。
Each inkjet head 1 is connected to an
次に、図2、図3を参照しつつインクジェットヘッド1について詳細に説明する。図2は、インクジェットヘッド1の幅方向である副走査方向に沿った断面図である。図3は、図2に示すIII−III線に関するインクジェットヘッド1の断面図である。なお、図3においては、下筐体82が省略されている。
Next, the inkjet head 1 will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 2 is a cross-sectional view along the sub-scanning direction that is the width direction of the inkjet head 1. FIG. 3 is a cross-sectional view of the ink-jet head 1 taken along the line III-III shown in FIG. In FIG. 3, the
図2に示すように、インクジェットヘッド1は、リザーバユニット71と、流路ユニット9とアクチュエータユニット21とを含むヘッド本体2と、一端がアクチュエータユニット21に接続されていると共にドライバIC52が実装されたCOF(Chip On Film:平型柔軟基板)50と、COF50の他端に接続された制御基板54とを有している。インクジェットヘッド1は、リザーバユニット71がアクチュエータユニット21を挟んで流路ユニット9上に積層し、制御基板54がリザーバユニット71上に配設された積層構造体である。さらに、インクジェットヘッド1は、リザーバユニット71及び流路ユニット9を包囲する箱体を形成する上筐体81及び下筐体82と、上筐体81の上方において制御基板54を包囲するヘッドカバー55とを有している。
As shown in FIG. 2, the inkjet head 1 includes a
リザーバユニット71は、ヘッド本体2の上面に固定されていると共にヘッド本体2にインクを供給するものである。また、リザーバユニット71は、プレート91〜94の4枚のプレートが互いに位置合わせされて積層されたものであり、その内部に、図示しないインク流入流路、インクリザーバ72、及び、10個のインク流出流路73が互いに連通するように形成されている。なお、図2においては、1つのインク流出流路73のみが表れている。インク流入流路はインクタンク49からのインクが流入する。インクリザーバ72はインク流入流路から流入したインクを一時的に貯溜する。インク流出流路73は、流路ユニット9の上面に形成されたインク供給口105bに連通している。インクタンク49からのインクは、インク流入流路を介してインクリザーバ72に流入し、インク流出流路73を通過して、インク供給口105bから流路ユニット9内に供給される。
The
また、プレート94の下面には、凹部94aが形成されている。凹部94aは、流路ユニット9の上面との間で空隙90を形成している。空隙90には、流路ユニット9の上面に固定された4つのアクチュエータユニット21が、積層体(インクジェットヘッド1)に関する長手方向に延びた中心線に沿って千鳥状に且つ等間隔で配列されている。また、空隙90は、リザーバユニット71の長手方向に沿って且つ中心線を挟んで交互に配置されるように、積層体の側面に形成された4つの開口90aを有している。
Further, a
また、プレート94の下面は、凸部(凹部94a以外の部分)が流路ユニット9と接着されている。凸部内に形成されたインク流出流路73を介して、リザーバ72とインク供給口105bとが連通している。
Further, the lower surface of the
COF50は、その一方端部近傍がアクチュエータユニット21の上面に接続されている。さらに、COF50は、アクチュエータユニット21の上面から水平方向に延在して開口90aを通過した後、上方に向かって略直角に湾曲するように折り曲げられ、上筐体81及び下筐体82の内壁面に形成された切欠き53を通過してリザーバユニット71の上方に引き出されている。また、COF50は、リザーバユニット71の上方において、図2中左方に延在した後に、上筐体81に形成されたスリット81aから上筐体81の上方に引き出されている。そして、上筐体81の上方において、COF50の他方端部がコネクタ54aを介して制御基板54に接続されている。COF50の途中部に実装されたドライバIC52が、リザーバユニット71の上面に貼り付けられており、ドライバIC52とリザーバユニット71とが、熱的に結合されている。これにより、ドライバIC52から発生した熱が、リザーバユニット71に伝達されて内部のインクが温まり、インクの粘度が高くなるのを抑制している。
The vicinity of one end of the
制御基板54は、上筐体81の上方に配置されており、COF50のドライバIC52を介してアクチュエータユニット21の駆動を制御する。ドライバIC52は、アクチュエータユニット21を駆動する駆動信号を生成するものである。制御基板54には、複数の電子部品が配設されており、インクに汚染されると短絡等の電気的不具合が生じる。しかし、制御基板54は、図2に示すように、上筐体81とヘッドカバー55との空間内に配置され、外部からのインクやインクミストの浸入から保護されている。
The
さらに、図3〜図6を参照しつつ、ヘッド本体2について説明する。図4は、図3の一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。なお、図4では説明の都合上、アクチュエータユニット21の下方にあって破線で描くべき圧力室110、アパーチャ112及びノズル108を実線で描いている。図5は、図4に示すV−V線に沿った部分断面図である。図6(a)はアクチュエータユニット21の拡大断面図であり、図6(b)は、図6(a)においてアクチュエータユニット21の表面に配置された個別電極を示す平面図である。
Further, the
ヘッド本体2は、図3に示すように、流路ユニット9、及び、流路ユニット9の上面9aに固定された4つのアクチュエータユニット21を含んでいる。図3及び図4に示すように、流路ユニット9は、圧力室110等を含むインク流路が内部に形成されている。アクチュエータユニット21は、各圧力室110に対応した複数のアクチュエータを含んでおり、圧力室110内のインクに選択的に吐出エネルギーを付与する機能を有する。
As shown in FIG. 3, the
流路ユニット9は、リザーバユニット71のプレート94とほぼ同じ平面形状を有する直方体形状となっている。流路ユニット9の上面9aには、長手方向に延びた中心線に沿って千鳥状に且つ等間隔で配列された4つの窪み122aが形成されており、各窪み122a内にアクチュエータユニット21が固定されている(図7参照)。窪み122aの詳細については後述する。さらに、流路ユニット9の上面9aには、リザーバユニット71のインク流出流路73(図2参照)に対応して、計10個のインク供給口105bが開口している。流路ユニット9の内部には、図3及び図5に示すように、インク供給口105bに連通するマニホールド流路105及びマニホールド流路105から分岐した副マニホールド流路105aが形成されている。流路ユニット9の下面には、図4及び図5に示すように、多数のノズル108がマトリクス状に配置された吐出面2aが形成されている。圧力室110も流路ユニット9におけるアクチュエータユニット21の固定面においてノズル108と同様マトリクス状に多数配列されている。
The
本実施形態では、等間隔に流路ユニット9の長手方向に並ぶ圧力室110の列が、幅方向に互いに平行に16列配列されている。各圧力室列に含まれる圧力室110の数は、後述のアクチュエータユニット21の外形形状(台形形状)に対応して、その長辺側(下底側)から短辺側(上底側)に向かって次第に少なくなるように配置されている。ノズル108も、これと同様の配置がされている。
In the present embodiment, 16 rows of
流路ユニット9は、図5に示すように、9枚のステンレス鋼からなる金属製のプレート122〜130から構成されている。これらプレート122〜130を互いに位置合わせしつつ積層することによって、流路ユニット9内に、マニホールド流路105から副マニホールド流路105a、そして副マニホールド流路105aの出口から圧力室110を経てノズル108に至る多数の個別インク流路132が形成される。
As shown in FIG. 5, the
流路ユニット9におけるインクの流れについて説明する。図3〜図5に示すように、リザーバユニット71からインク供給口105bを介して流路ユニット9内に供給されたインクは、マニホールド流路105から副マニホールド流路105aに分配される。副マニホールド流路105a内のインクは、各個別インク流路132に流れ込み、絞りとして機能するアパーチャ112及び圧力室110を介してノズル108に至る。
The ink flow in the
次に、アクチュエータユニット21について説明する。図6(a)に示すように、アクチュエータユニット21は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料からなる3枚の圧電シート141〜143から構成されている。また、最上層の圧電シート141の上面における圧力室110に対向する位置には、個別電極135が形成されている。最上層の圧電シート141とその下側の圧電シート142との間にはシート全面に形成された共通電極134が介在している。個別電極135は、図6(b)に示すように、圧力室110と相似な略菱形の平面形状を有する。平面視で、個別電極135の大部分は、圧力室110の領域内にある。略菱形の個別電極135における鋭角部の一方は圧力室110の外に延出され、その先端には個別電極135と電気的に接続された個別バンプ136が設けられている。
Next, the
共通電極134は、すべての圧力室110に対応する領域において等しくグランド電位が付与されている。一方、個別電極135は、COF50を介してドライバIC52の各出力端子と電気的に接続されており、ドライバIC52からの駆動信号が選択的に供給されるようになっている。なお、共通電極134は、スルーホールを介して圧電シート141の上面に形成された共通電極用バンプと接続されている。さらに、共通電極用バンプは、COF50を介して制御基板54と接続されている。
The
ここで、アクチュエータユニット21の駆動方法について述べる。圧電シート141はその厚み方向に分極されている。個別電極135を共通電極134と異なる電位にして圧電シート141に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電シート141における電界印加部分が圧電効果により歪む活性部として働く。つまり、アクチュエータユニット21には、個別電極135と圧力室110とで挟まれた部分が、個別のアクチュエータとして働き、圧力室110の数に対応した複数のアクチュエータが作り込まれている。例えば、分極方向と電界の印加方向とが同じであれば、活性部は分極方向に直交する方向(平面方向)に縮む。つまり、アクチュエータユニット21は、圧力室110から離れた上側1枚の圧電シート141を活性部が含まれる層とし、且つ圧力室110に近い下側2枚の圧電シート142、143を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプのアクチュエータである。図6(a)に示すように、圧電シート141〜143は圧力室110を区画するプレート122の上面に固定されているため、圧電シート141における電界印加部分とその下方の圧電シート142、143との間で平面方向への歪みに差が生じると、圧電シート141〜143全体が圧力室110側へ凸になるように変形(ユニモルフ変形)する。これにより圧力室110内のインクに圧力(吐出エネルギー)が付与され、ノズル108からインク滴が吐出される。
Here, a driving method of the
なお、本実施形態においては、予め個別電極135に所定の電位を付与しておき、吐出要求があるごとに一旦個別電極135をグランド電位にした後、所定のタイミングで再び個別電極135に所定の電位を付与するような駆動信号をドライバIC52から出力させる。この場合、個別電極135がグランド電位となるタイミングで圧電シート141〜143が元の状態に戻り、圧力室110の容積は初期状態(予め電圧が印加された状態)と比較して増加し、副マニホールド流路105aから個別インク流路132へとインクが吸い込まれる。その後、再び個別電極135に所定の電位が付与されたタイミングで圧電シート141〜143において活性領域と対向する部分が圧力室110側に凸となるように変形し、圧力室110の容積低下によりインクの圧力が上昇し、ノズル108からインクが吐出される。
In the present embodiment, a predetermined potential is applied to the
次に、図7〜図9を参照しつつ、流路ユニット9とアクチュエータユニット21との位置関係について詳細に説明する。図7は、流路ユニット9の上面9aとなるプレート122の平面図である。図8は、図7に示すVIII-VIII線の断面図である。なお、図8においては、窪み122a内にアクチュエータユニット21が固定された状態を示している。また、断面において圧力室110が連続して現れるように模式的に描かれている。図9は、図7に示す窪み122aの底面122bの部分拡大平面図である。
Next, the positional relationship between the
図3及び図7に示すように、流路ユニット9の上面9aに形成された窪み122aは、平面形状がアクチュエータユニット21を収容可能なサイズの台形形状を有しており、その底面122bに熱硬化性接着剤を介してアクチュエータユニット21が固定されている。また、図8に示すように、窪み122aの深さが、アクチュエータユニット21の厚みよりも小さくなっている。このため、アクチュエータユニット21が、流路ユニット9(プレート122)の上面9aから突出している。本実施形態では、アクチュエータユニット21の上面9aからの突出高さは、アクチュエータユニット21の厚みの半分以下となっており、厚みの約4分の1程度である。アクチュエータユニット21は、約40μmの厚みを有し、上面9aから約10μmが突出している。
As shown in FIGS. 3 and 7, the
図7〜図9に示すように、窪み122aの底面122bには、壁部110aによって画定された複数の圧力室110が開口しており、アクチュエータユニット21(個別電極135)が圧力室110の開口と対向するように固定されている。底面122bにおけるアクチュエータユニット21の縁部を支持する領域のさらに内側には、アクチュエータユニット21の外形に沿って延在する環状溝122cが形成されている。
As shown in FIGS. 7 to 9, a plurality of
壁部110aにおける圧力室110の開口側の縁部110b、及び、底面122bにおけるアクチュエータユニット21の縁部を支持する領域を除く領域に、複数の逃がし凹部122dが形成されている。逃がし凹部122dは、図9中上下方向に延在した櫛歯状に形成されている細溝である。これにより、アクチュエータユニット21と壁部110aとの間に介在しようとする介在物を、逃がし凹部122d及び環状溝122c内に逃がすことができる。なお、介在物とは、アクチュエータユニット21を製造するアクチュエータ製造工程において、アクチュエータユニット21の表面に付着した不純物(異物)である。また、壁部110aにおける、圧力室110の開口側の縁部110bに逃がし凹部122dが形成されていないため、アクチュエータユニット21を底面122bに固定するための固定工程(後述)において、熱硬化性接着剤が圧力室110内に流れ込むのを防止することができる。また、アクチュエータユニット21と壁部110aとの間に異物を挟み込んでも、アクチュエータユニット21に局所的な応力集中やクラックのような不具合を起こさない。
A plurality of
図10を参照しつつ、インクジェットヘッド1の製造方法について説明する。図10は、インクジェットヘッド1の製造方法に係る工程図である。図10に示すように、インクジェットヘッド1の製造方法は、流路ユニット製造工程と、アクチュエータユニット製造工程と、固定工程とを有している。流路ユニット製造工程においては、まず、上述のプレート122〜130をエッチング加工により形成する。このとき、プレート122の上面には、窪み122aを形成し、窪み122aの底面122bには、環状溝122c、圧力室110、逃がし凹部122dを形成する。そして、これらプレート122〜130を、互いに位置合わせしつつ接着剤によって接合し、流路ユニット9を形成する。
A method for manufacturing the inkjet head 1 will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a process diagram according to the method for manufacturing the inkjet head 1. As shown in FIG. 10, the method for manufacturing the inkjet head 1 includes a flow path unit manufacturing process, an actuator unit manufacturing process, and a fixing process. In the flow path unit manufacturing process, first, the above-described
なお、プレート122の加工には、複数回のエッチング処理が施される。初めのエッチング処理では、プレート122の全面にレジストが塗布される。プレート122の一方の面において、アクチュエータユニット21が配置される部分を残して、レジストを露光する。露光後は、レジストの未露光部分が現像液によって剥離され、露光部分がエッチング用のマスクとなる。この状態でプレート122をエッチングする。エッチングの深さは約30μmである。この後、剥離液によってマスクを除去して初めのエッチング処理が完了する。これによって、窪み122aの原形が形成される。
Note that a plurality of etching processes are performed for processing the
続いて、2回目のエッチング処理では、再びプレート122の全面にレジストが塗布される。窪み122aが形成された面において、環状溝122c及び逃がし凹部122dが形成される部分を残して、レジストを露光する。露光後は、レジストの未露光部分が現像液によって剥離され、露光部分がエッチング用のマスクとなる。この状態でプレート122をエッチングする。エッチング深さは、約1μmである。この後、剥離液によってマスクを除去して2回目のエッチング処理が完了する。これによって、窪み122aの底面に環状溝122c及び逃がし凹部122dが形成される。
Subsequently, in the second etching process, a resist is again applied to the entire surface of the
さらに、最後のエッチング処理では、再びプレート122の全面にレジストが塗布される。窪み122aが形成された面と反対側の面において、圧力室110が形成される部分を残して、レジストを露光する。露光後は、レジストの未露光部分が現像液によって剥離され、露光部分がエッチング用のマスクとなる。この状態でプレート122をエッチングする。エッチング深さは、窪み122aの底部を貫通する深さである。この後、剥離液によってマスクを除去して最後のエッチング処理が完了する。これによって、窪み122aの底面に圧力室110が形成される。
Further, in the final etching process, a resist is applied again on the entire surface of the
アクチュエータユニット製造工程においては、圧電シート141の上面に個別電極135が配置され、圧電シート141と圧電シート142との間に共通電極134が配置されるように、圧電シート141〜143となるグリーンシートを、順に積層しつつ焼結し、アクチュエータユニット21を形成する。ここで、各電極はスクリーン印刷法によって形成される。
In the actuator unit manufacturing process, the
次に、図11を参照しつつ、固定工程について説明する。図11は、固定工程におけるアクチュエータユニット21及び流路ユニット9の部分断面図である。図11に示すように、固定工程においては、まず、下面に熱硬化性接着剤が塗布されたアクチュエータユニット21を、窪み122aの底面122bに配置する。このとき、個別電極135が圧力室110と対向して配置される。そして、アクチュエータユニット21の表面と流路ユニット9の吐出面2a(窪み122aが形成された面と反対側の面)とを、一対の加圧部材で挟持しつつ加圧する。一方の加圧部材60は、図示しないアクチュエータに取り付けられた金属製の加圧治具61と、加圧治具61のアクチュエータユニット21に近い面に固定された弾性部材62とを有している。挟持するとき、弾性部材62が、流路ユニット9の上面9aの窪み122a側の縁部に対向している。加圧部材60は、図示しないヒーターが取り付けられており、アクチュエータユニット21を加熱しつつ加圧することができるようになっている。他方の加圧部材(図示せず)は、吐出面2aと接している。他方の加圧部材にも、ヒーターが取り付けられている。
Next, the fixing process will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a partial cross-sectional view of the
この状態で、加圧部材60のアクチュエータユニット21と接していない領域が、窪み122aの縁部に支えられるまで、アクチュエータユニット21を底面122bに向かって加圧しつつ加熱する。これにより、熱硬化性接着剤が硬化し、アクチュエータユニット21が底面122bに固定される。
In this state, the
本実施形態では、まず、一対の加圧部材がアクチュエータユニット21及び流路ユニット9にそれぞれ接触する程度に挟持したところで、両者を所定の温度まで加熱する。この状態では、大きな加圧力は加えられておらず、弾性部材62は、上面9aの窪み122a側の縁部で上面9aから離隔している。一対の加圧部材は、予め所定の温度に昇温されていてもよい。この加熱処理によって、接着剤は硬化を始めるが、完全に硬化する前にアクチュエータユニット21及び流路ユニット9が所定の温度に達するように加熱条件が調整されている。これによって、アクチュエータユニット21及び流路ユニット9は、それぞれの熱膨張係数に従って延びきった状態となる。ここで、大きな加圧力を加える。
In the present embodiment, first, when the pair of pressure members are sandwiched to the extent that they are in contact with the
このとき、アクチュエータユニット21を加圧する加圧部材60におけるアクチュエータユニット21と接していない領域が、アクチュエータユニット21の角部を起点として押圧方向に湾曲しようとするが、当該領域が窪み122aの縁部に支えられため、加圧部材60の湾曲が抑制される。なお、図11においては、加圧部材60のアクチュエータユニット21と接していない両端領域が、それぞれ下方に向かって湾曲している状態を示しているが、実際の湾曲の程度は図11に示すより遙かに小さいものである。さらに、湾曲の程度は、アクチュエータユニット21が上面9a上に配置される場合に比べて格段に小さく、角部に加わる応力も小さい。そのため、角部に欠けや割れ等の損傷が生じることがない。また、窪み122aの底部には、圧力室110の開口を避けるようにして、環状溝122c及び逃がし凹部122dが形成されているので、仮にアクチュエータユニット21を窪み122a内に配置するときに異物を挟んでも、異物は環状溝122cや逃がし凹部122dに入り込むことになる。これによって、異物の介在を起因とするアクチュエータユニット21の破損が無い。
At this time, the area of the pressure member 60 that pressurizes the
加圧を続けると、接着剤が完全に硬化する。このときを見計らって、加圧力を解除すると共に、所定の速度で積層体を冷却する。これによって、固定工程が完了する。なお、積層体が冷却されると、アクチュエータユニット21及び流路ユニット9の熱膨張率の違いに対応して、アクチュエータユニット21に圧縮応力が生じ、吐出特性が向上することになる。
If the pressurization is continued, the adhesive is completely cured. At this time, the applied pressure is released and the laminate is cooled at a predetermined speed. This completes the fixing process. In addition, when a laminated body is cooled, a compressive stress will arise in the
その後、アクチュエータユニット21にCOF50を接続し、リザーバユニット71、制御基板54を含む各種電装部品、上筐体81、下筐体82及びヘッドカバー55を組み付けてインクジェットヘッド1を完成させる。
Thereafter, the
以上のように、本実施形態によるインクジェットヘッド1によると、流路ユニット9の上面9aに形成された窪み122a内にアクチュエータユニット21が固定されているため、固定工程において、アクチュエータユニット21を流路ユニット9に固定するとき、アクチュエータユニット21を加圧する加圧部材60におけるアクチュエータユニット21と接していない領域が、窪み122aの縁部に支えられる。このため、アクチュエータユニット21の角部を起点として押圧方向に湾曲するのが抑制され、当該角部に作用する応力が緩和される。これにより、アクチュエータユニット21が破損するのを抑制することができる。
As described above, according to the ink jet head 1 according to the present embodiment, since the
また、窪み122aの底面122bに、複数の逃がし凹部122dが形成されているため、アクチュエータユニット21と壁部110aとの間に介在しようとする介在物を、逃がし凹部122d内に逃がすことができる。このため、固定工程において、アクチュエータユニット21を底面122bに向かって加圧するとき、アクチュエータユニット21に部分的に応力が集中するのを防止することができ、アクチュエータユニット21が破損するのを抑制することができる。
In addition, since a plurality of
さらに、窪み122aの底面122bにおけるアクチュエータユニット21の縁部を支持する領域には、逃がし凹部122dが形成されていないため、アクチュエータユニット21の縁部が確実に支えられ、アクチュエータユニット21が破損するのをさらに抑制することができる。
Furthermore, since the
加えて、窪み122aの底面122bに複数の逃がし凹部122dが櫛歯状に形成されているため、アクチュエータユニット21と壁部110aとの間に介在しようとする介在物を、逃がし凹部122d内に効率よく逃がすことができる。
In addition, since a plurality of
さらに、流路ユニット形成工程において、逃がし凹部122dがエッチング加工によって形成されるため、逃がし凹部122dを効率よく形成することができる。
Furthermore, in the flow path unit forming step, the
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。上述の実施形態では、窪み122aの底面122bに複数の逃がし凹部122dが形成されている構成であるが、逃がし凹部122dが形成されていなくてもよい。
The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made as long as they are described in the claims. In the above-described embodiment, the plurality of
また、上述の実施形態においては、窪み122aの底面122bにおいて、複数の逃がし凹部122dが櫛歯状に形成されている構成であるが、図12に示すように、細溝である複数の逃がし凹部222dが、網目状(格子状)に形成されていてもよい。また、図13に示すように、円形の開口を有する複数の逃がし凹部322dが、底面122bに一様に分布するように形成されていてもよいし、図14に示すように、略矩形の開口を有する複数の逃がし凹部322dが、底面122bに一様に分布するように千鳥状にマトリックス配列されるように形成されていてもよい。このように、底面122bに凹凸が形成されるのであれば、その形状は任意のものであってよい。
In the above-described embodiment, the plurality of
さらに、上述の実施形態においては、逃がし凹部122dがエッチング加工によって形成される構成であるが、サンドブラスト加工など他の加工方法によって形成されてもよい。
Furthermore, in the above-described embodiment, the
また、上述した実施形態においては、アクチュエータユニット21がユニモルフタイプのアクチュエータであるが、アクチュエータの構成は任意のものであってよい。例えば、アクチュエータユニットが縦振動を利用する積層型のアクチュエータであってもよい。
In the embodiment described above, the
本発明による記録ヘッドは、ライン式に限定されず、ヘッドが往復移動するシリアル式の記録ヘッドや、インク以外の液体を吐出する記録ヘッドにも適用可能である。さらに、プリンタに限定されず、ファクシミリやコピー機などにも適用可能である。 The recording head according to the present invention is not limited to the line type, and can also be applied to a serial type recording head in which the head reciprocates and a recording head that discharges liquid other than ink. Further, the present invention is not limited to a printer, and can be applied to a facsimile, a copier, and the like.
1 インクジェットヘッド
2 ヘッド本体
2a 吐出面
9 流路ユニット
9a 上面
21 アクチュエータユニット
60 加圧部材
61 加圧治具
62 弾性部材
101 インクジェットプリンタ
110 圧力室
110a 壁部
110b 縁部
122 プレート
122a 窪み
122b 底面
122c 環状溝
122d 逃がし凹部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (12)
前記流路ユニットの表面に、平面形状が前記アクチュエータユニットを収容可能なサイズと形状とを有していると共に、深さが前記アクチュエータユニットの厚みよりも小さい窪みと、前記窪みの底面に配置された前記圧力室とが形成されるように、前記流路ユニットを製造する流路ユニット製造工程と、
前記アクチュエータユニットを製造するアクチュエータユニット製造工程と、
前記窪みの底面に、前記圧力室と対向するように前記アクチュエータユニットを固定する固定工程とを備えていると共に、
前記固定工程において、
一対の加圧部材が、接着剤を介して前記窪みの底面に配置された前記アクチュエータユニットの表面と前記流路ユニットの前記窪みが形成された面と反対側の面とを挟持しつつ加圧することによって、前記窪みの底面に前記アクチュエータユニットを固定し、
前記アクチュエータユニットを加圧する前記加圧部材の前記アクチュエータユニットと接していない領域の少なくとも一部が、前記流路ユニットの表面の前記窪み側の縁部に支持されることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 A common liquid chamber to which liquid is supplied, a flow path unit in which a plurality of individual liquid flow paths are formed from the outlet of the common liquid chamber to the nozzle through the pressure chamber, and is fixed to the surface of the flow path unit, An actuator unit that discharges liquid from the nozzle, the actuator unit including a piezoelectric layer, individual electrodes arranged on the piezoelectric layer, and a common electrode that sandwiches the piezoelectric layer between the individual electrodes. A method for manufacturing a liquid ejection head, comprising:
On the surface of the flow path unit, the planar shape has a size and a shape that can accommodate the actuator unit, and a depth is smaller than a thickness of the actuator unit, and a bottom surface of the recess is disposed. A flow path unit manufacturing process for manufacturing the flow path unit so that the pressure chamber is formed;
An actuator unit manufacturing process for manufacturing the actuator unit;
A fixing step of fixing the actuator unit on the bottom surface of the depression so as to face the pressure chamber ;
In the fixing step,
A pair of pressurizing members pressurize the surface of the actuator unit disposed on the bottom surface of the recess and an opposite surface to the surface of the flow path unit on which the recess is formed via an adhesive. By fixing the actuator unit to the bottom of the recess,
At least a part of a region of the pressure member that pressurizes the actuator unit that is not in contact with the actuator unit is supported by an edge of the surface of the flow path unit on the depression side. Manufacturing method.
前記接着剤を介して積層された前記アクチュエータユニット及び前記流路ユニットを前記一対の加圧部材で挟持する挟持工程と、 A sandwiching step of sandwiching the actuator unit and the flow path unit stacked via the adhesive with the pair of pressure members;
前記アクチュエータユニット及び前記流路ユニットを、所定温度に加熱して加圧することで前記接着剤を硬化させる接着剤の硬化工程とを含み、 A curing step of an adhesive that cures the adhesive by heating and pressurizing the actuator unit and the flow path unit to a predetermined temperature,
前記アクチュエータユニット側の前記加圧部材は、前記アクチュエータユニットと接していない前記一部の領域が、前記挟持工程において、前記流路ユニットの表面の前記窪み側の縁部から離隔して対向し、前記硬化工程において、前記挟持工程よりも大きな加圧力が前記加圧部材に印加されて前記窪み側の縁部に支持されることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 The pressurizing member on the actuator unit side is opposed to the part of the area that is not in contact with the actuator unit, spaced apart from the dent on the surface of the flow path unit in the clamping step, 2. The method of manufacturing a liquid ejection head according to claim 1, wherein in the curing step, a pressing force larger than that in the sandwiching step is applied to the pressure member and supported by the edge portion on the depression side.
前記流路ユニットの表面に固定され、前記ノズルから液体を吐出させるアクチュエータユニットであって、圧電層、前記圧電層に配置された個別電極、及び、前記個別電極との間で前記圧電層を挟持する共通電極を有するアクチュエータユニットとを備えており、
前記流路ユニットの表面に、平面形状が前記アクチュエータユニットを収容可能なサイズと形状とを有していると共に、深さが前記アクチュエータユニットの厚みの半分以上となっている窪みが形成されており、
前記窪みの底面に、前記圧力室が形成されていると共に、前記アクチュエータユニットが前記圧力室と対向するように固定されており、
一対の加圧部材が、接着剤を介して前記窪みの底面に配置された前記アクチュエータユニットの表面と前記流路ユニットの前記窪みが形成された面と反対側の面とを挟持しつつ加圧することによって、前記窪みの底面に前記アクチュエータユニットが固定されており、
前記アクチュエータユニットを加圧する前記加圧部材の前記アクチュエータユニットと接していない領域の少なくとも一部が、前記流路ユニットの表面の前記窪み側の縁部に支持されるように、且つ、前記アクチュエータユニットが前記流路ユニットの表面から約10μm突出するように前記窪みが形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
A common liquid chamber to which liquid is supplied, and a flow path unit in which a plurality of individual liquid flow paths from the outlet of the common liquid chamber to the nozzle through the pressure chamber are formed,
An actuator unit that is fixed to the surface of the flow path unit and discharges liquid from the nozzle, and sandwiches the piezoelectric layer between the piezoelectric layer, the individual electrode disposed on the piezoelectric layer, and the individual electrode And an actuator unit having a common electrode
On the surface of the flow path unit, the planar shape has a size and shape that can accommodate the actuator unit, and a recess whose depth is more than half of the thickness of the actuator unit is formed. ,
The pressure chamber is formed on the bottom surface of the recess, and the actuator unit is fixed to face the pressure chamber ,
A pair of pressurizing members pressurize the surface of the actuator unit disposed on the bottom surface of the recess and an opposite surface to the surface of the flow path unit on which the recess is formed via an adhesive. The actuator unit is fixed to the bottom surface of the recess,
The actuator unit is configured such that at least a part of a region of the pressure member that pressurizes the actuator unit that is not in contact with the actuator unit is supported by an edge of the surface of the flow path unit on the depression side. The liquid discharge head is characterized in that the recess is formed so as to protrude about 10 μm from the surface of the flow path unit .
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