JP4966385B2 - Optical data transmission equipment - Google Patents

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JP4966385B2 JP2010018267A JP2010018267A JP4966385B2 JP 4966385 B2 JP4966385 B2 JP 4966385B2 JP 2010018267 A JP2010018267 A JP 2010018267A JP 2010018267 A JP2010018267 A JP 2010018267A JP 4966385 B2 JP4966385 B2 JP 4966385B2
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Description

本発明は、固定設備に設置され、移動設備との間で光信号を送受信する光データ伝送装置に関する。   The present invention relates to an optical data transmission apparatus that is installed in a fixed facility and transmits / receives an optical signal to / from a mobile facility.

近年の工場等の設備内では、自動搬送台車にて物品を自動搬送することが良く行われている。
例えば半導体デバイスの製造設備では、各種の処理装置間で半導体ウェハを自動搬送するために、ウェハキャリア装置を搬送する搬送台車が用いられている。
このような搬送システムでは、所定の搬送経路上を移動する複数台の搬送台車同士の衝突を回避する等のために、搬送台車側と固定設備側との間で制御に必要な情報の通信を行っている。
この通信の手法としては、電波による通信も可能であるが、ノイズによる通信障害を避けるために光通信が用いられる場合も多い。
光通信によって搬送台車側と固定設備側との間で通信を行う場合、走行している搬送台車と確実な通信を確保するために、例えば下記特許文献1に記載のように、搬送台車の走行経路に沿って一定の距離に亘って連続して送受信を行えるようにする構成が考えられている。
In facilities such as factories in recent years, it is often performed to automatically convey articles by an automatic conveyance carriage.
For example, in a semiconductor device manufacturing facility, a transport carriage for transporting a wafer carrier device is used to automatically transport a semiconductor wafer between various processing apparatuses.
In such a transport system, communication of information necessary for control is performed between the transport cart side and the fixed equipment side in order to avoid a collision between a plurality of transport carts moving on a predetermined transport path. Is going.
As a communication method, communication using radio waves is possible, but optical communication is often used to avoid communication failure due to noise.
When communication is performed between the transport cart side and the fixed equipment side by optical communication, in order to ensure reliable communication with the transport cart that is traveling, for example, as described in Patent Document 1 below, the travel of the transport cart is performed. A configuration has been considered in which transmission and reception can be performed continuously over a certain distance along a route.

このような通信の形態について更に説明すると、図14に概略的に示すように、底面にV字状の溝100aを搬送台車の移動経路に沿って並べて形成した板状のライトガイド100と、ライトガイド100の一端側に配置した投光ヘッド101と、他端側に配置した受光ヘッド102とを備えて、搬送台車側と固定設備側とで通信を行うように構成している。
投光ヘッド101から投光された光はライトガイドのV字状の溝100aに当たって、その光の一部が上方側へ進行方向を変える。この光が搬送台車の光通信ユニット103に受光される。
一方、搬送台車の光通信ユニット103から出射された光は、ライトガイドのV字状の溝100aに当たって、その光の一部が受光ヘッド102側へ進行方向を変え、受光ヘッド102に受光される。
これによって、ライトガイド100底面におけるV字状の溝100aの形成範囲全体に亘る距離で、搬送台車と固定設備側とで連続して通信を行うことができる。
This communication mode will be further described. As schematically shown in FIG. 14, a plate-shaped light guide 100 in which V-shaped grooves 100a are arranged on the bottom surface along the movement path of the transport carriage, A light projecting head 101 disposed on one end side of the guide 100 and a light receiving head 102 disposed on the other end side are provided so as to perform communication between the transport carriage side and the fixed equipment side.
The light projected from the light projecting head 101 hits the V-shaped groove 100a of the light guide, and a part of the light changes its traveling direction upward. This light is received by the optical communication unit 103 of the transport carriage.
On the other hand, the light emitted from the optical communication unit 103 of the transport carriage hits the V-shaped groove 100a of the light guide, and a part of the light changes its traveling direction toward the light receiving head 102 and is received by the light receiving head 102. .
Thereby, it is possible to continuously communicate between the transport carriage and the fixed equipment at a distance over the entire formation range of the V-shaped groove 100a on the bottom surface of the light guide 100.

特許第3648629号Japanese Patent No. 3648629

しかしながら、上記従来構成では、搬送台車の走行経路の直線部分にライトガイドを設置する場合には全く問題はないが、走行経路の曲線部分に設置する場合では、搬送台車側と固定設備側とで効率よく通信が行えなくなってしまう。
すなわち、走行経路に沿うように湾曲させた形状のライトガイドでは、曲率半径が十分大きい緩やかな湾曲であれば投光ヘッドから出射した光がライトガイド内を伝わるが、曲率半径が小さくなると、投光ヘッドからの光がライトガイド外へ放射されてしまい、通信に寄与し得る光量が減少してしまうのである。
更に、通信のための光がライトガイド内を伝わる際の減衰も少なくないため、光伝播方向でのライトガイドの長さ、すわち、搬送台車との通信を行える区間の距離(走行経路に沿った距離)もそれほど長くはできないという不都合もある。
However, in the above-described conventional configuration, there is no problem when the light guide is installed on the straight part of the travel route of the transport carriage. However, when the light guide is installed on the curved part of the travel route, there is no difference between the transport cart side and the fixed equipment side. It becomes impossible to communicate efficiently.
That is, in a light guide that is curved along the travel route, light emitted from the light projecting head is transmitted through the light guide if the curvature radius is a sufficiently large curvature, but if the curvature radius is small, the projection is performed. The light from the optical head is emitted outside the light guide, and the amount of light that can contribute to communication is reduced.
Furthermore, since the attenuation when the light for communication travels in the light guide is not small, the length of the light guide in the light propagation direction, that is, the distance of the section that can communicate with the transport carriage (along the travel route) There is also the inconvenience that the distance is not so long.

本発明の目的は、上述した従来の問題に鑑み、搬送台車等の移動設備の走行経路が曲線となっている部分でも、移動設備側と固定設備側とで的確に光通信により通信を行えるようにする点にある。   In view of the above-described conventional problems, the object of the present invention is to enable accurate optical communication between the moving equipment side and the fixed equipment side even when the traveling route of the moving equipment such as a carriage is curved. It is in the point to make.

この目的達成をするため、本発明による光データ伝送装置の第一の特徴構成は、特許請求の範囲の書類の請求項1に記載した通り、移動設備の移動経路に沿って固定設備に設置され、前記移動設備との間で空間を介して光信号を送受信する光データ伝送装置であって、所定の波長領域の光を発光する発光部と前記波長領域の光を受光する受光部とを備えた複数の第1光通信ユニットと、第1光通信ユニットが所定の姿勢及び間隔で配置された長尺の可撓性支持部材と、少なくとも前記第1光通信ユニットを被覆する被覆部材とを備えている点にある。 In order to achieve this object, the first characteristic configuration of the optical data transmission device according to the present invention is installed in a fixed facility along the movement path of the moving facility as described in claim 1 of the claims. , an optical data transmission apparatus for transmitting and receiving an optical signal via the space between said moving equipment, and a light receiving portion for receiving light and emitting unit said wavelength region that emits light in the predetermined wavelength region A plurality of first optical communication units, a long flexible support member in which each first optical communication unit is arranged at a predetermined posture and interval, and a covering member that covers at least the first optical communication unit. It is in the point to have .

上述の構成によれば、長尺の可撓性支持部材に複数の第1光通信ユニットを所定の間隔で配置していることで、光データ伝送装置を一体のものとして取り扱えるのはもちろんのこと、可撓性支持部材を移動設備の移動経路に沿って湾曲させて設置することができる。
そのように設置しても、移動設備の移動経路に沿って第1光通信ユニットが所定間隔で配置されているので、いずれかの第1光通信ユニットと移動設備との間で的確に通信を行うことができる。
又、第1光通信ユニットの設置個数次第で、移動設備との通信を行える区間の距離を長くすることも可能である。
更には、少なくとも第1光通信ユニットを被覆部材にて被覆するので、周囲環境から装置を保護すると共に、逆に、装置に付着している塵埃によって周囲環境を汚染してしまうのを防止できる。
According to the above-described configuration, the plurality of first optical communication units are arranged at predetermined intervals on the long flexible support member, so that the optical data transmission device can be handled as an integral unit. The flexible support member can be installed while being curved along the movement path of the moving equipment.
Even if it is installed in this way, the first optical communication units are arranged at predetermined intervals along the movement path of the mobile equipment, so that any one of the first optical communication units and the mobile equipment can communicate accurately. It can be carried out.
Also, depending on the number of installed first optical communication units, it is possible to increase the distance of the section in which communication with the mobile equipment can be performed.
Furthermore, since at least the first optical communication unit is covered with the covering member, the apparatus can be protected from the surrounding environment, and conversely, the surrounding environment can be prevented from being contaminated by dust adhering to the apparatus.

同第二の特徴構成は、同請求項2に記載した通り、上述の第一特徴構成に加えて、前記被覆部材は、前記波長領域の光を透過する部位を含む可撓性チューブにて構成され、前記可撓性支持部材は、前記可撓性チューブに形成された保持部により所定の姿勢で保持された状態で前記可撓性チューブ内に収容されている点にある
すなわち、第1光通信ユニット等を被覆する被覆部材としては、種々の材料や形状のものが考えられるが、可撓性支持部材を可撓性チューブ内に収容する構成とすることで、全体としての可撓性を確保しながら、簡便に第1光通信ユニット等を被覆することができる。
又、可撓性チューブ内に収容される可撓性支持部材は保持部によって所定の姿勢に保持されており、姿勢が安定しているので、取扱いも容易である。
In the second characteristic configuration, as described in claim 2, in addition to the first characteristic configuration described above, the covering member is configured by a flexible tube including a portion that transmits light in the wavelength region. is, the flexible support member is that contained in the inner flexible tube in a predetermined state in which the posture held by the holding portion formed in the flexible tube.
That is, as the covering member for covering the first optical communication unit and the like, various materials and shapes are conceivable. However, as a whole, the flexible supporting member is accommodated in the flexible tube. The first optical communication unit or the like can be easily covered while ensuring the flexibility.
Further, the flexible support member accommodated in the flexible tube is held in a predetermined posture by the holding portion, and since the posture is stable, handling is easy.

同第三の特徴構成は、同請求項3に記載した通り、上述の第一または第二特徴構成に加えて、各第1光通信ユニットの発光部が共通の送信信号線に接続されるとともに、各第1光通信ユニットの受光部が共通の受信信号線に接続され、前記送信信号線及び受信信号線が前記可撓性支持部材の一端部側に配置された集信装置に接続されている点にある
すなわち、可撓性支持部材に複数の第1光通信ユニットを設置する場合において、各第1光通信ユニット毎に独立した配線を設けたのでは、通信のための配線が過度に複雑化してしまう。
そこで、受信信号線と送信信号線とを各第1光通信ユニットで共通して使用する通信形態をとることで、通信のための配線の簡素化を図ることができる。
In the third feature configuration, in addition to the first or second feature configuration described above, the light emitting unit of each first optical communication unit is connected to a common transmission signal line. The light receiving unit of each first optical communication unit is connected to a common reception signal line, and the transmission signal line and the reception signal line are connected to a concentrator disposed on one end side of the flexible support member. There is in point .
That is, when a plurality of first optical communication units are installed on the flexible support member, if an independent wiring is provided for each first optical communication unit, the wiring for communication becomes excessively complicated. .
Therefore, by adopting a communication mode in which the reception signal line and the transmission signal line are commonly used in each first optical communication unit, it is possible to simplify the wiring for communication.

同第四の特徴構成は、同請求項4に記載した通り、上述の第三特徴構成に加えて、前記可撓性支持部材の一端部側に、前記送信信号線及び受信信号線を介して上記第三特徴構成を有する他の光データ伝送装置が接続可能に構成されている点にある
すなわち、受信信号線と送信信号線とを各第1光通信ユニットで共通して使用する通信形態をとることで、同一の構成をとる他の光データ伝送装置に対して、受信信号線同士、送信信号線同士を接続するだけで配線接続が可能であり、一連に接続した複数の光データ伝送装置を1つの光データ伝送装置として取り扱うことができる。
これによって、移動設備の移動経路の形状等に応じて複数個の光データ通信装置を適宜に接続して、光データ伝送装置による通信範囲(移動設備の移動経路に沿った設置長さ)を任意に設定することが可能となり、より汎用性の高いものとすることができる。
In the fourth feature configuration, as described in claim 4, in addition to the third feature configuration described above, the one end side of the flexible support member is provided with the transmission signal line and the reception signal line. It lies in another optical data transmission device having the above third feature structure is configured to be connectable.
That is, by adopting a communication mode in which the reception signal line and the transmission signal line are commonly used in each first optical communication unit, the reception signal lines can be compared with each other with respect to other optical data transmission apparatuses having the same configuration, Wiring connection is possible by simply connecting the transmission signal lines, and a plurality of optical data transmission devices connected in series can be handled as one optical data transmission device.
As a result, a plurality of optical data communication devices are appropriately connected according to the shape of the movement path of the mobile equipment, etc., and the communication range (installation length along the movement path of the mobile equipment) can be arbitrarily set. Can be set to be more versatile.

同第五の特徴構成は、同請求項5に記載した通り、上述の第四特徴構成に加えて、前記他の光データ伝送装置との接続箇所に前記第1光通信ユニットへの電源電圧を供給する電源供給部が備えられている点にある
上述のように、複数の光データ伝送装置を接続して移動設備との通信を行える区間の距離を長くする場合、光データ伝送装置内の第1光通信ユニットへ電源電圧を供給するための配線長も長くなる。この場合、電源電圧を供給するための配線での電圧降下も大となってしまい、装置の安定動作に支障を来す場合をあり得る。
そこで、光データ伝送装置間の接続箇所に第1光通信ユニットへの電源電圧を供給する電源供給部を備えて、第1光通信ユニットへ的確に電源電圧を供給し、第1光通信ユニットの安定動作を確保できるようにしている。
In the fifth feature configuration, as described in claim 5, in addition to the fourth feature configuration described above, the power supply voltage to the first optical communication unit is applied to the connection portion with the other optical data transmission device. It lies in that the power supply unit supplies are provided.
As described above, when a plurality of optical data transmission devices are connected to increase the distance of a section where communication with mobile equipment can be performed, wiring for supplying a power supply voltage to the first optical communication unit in the optical data transmission device The length also becomes longer. In this case, the voltage drop in the wiring for supplying the power supply voltage also becomes large, which may hinder the stable operation of the apparatus.
Therefore, a power supply unit that supplies a power supply voltage to the first optical communication unit is provided at a connection location between the optical data transmission devices, and the power supply voltage is accurately supplied to the first optical communication unit. Stable operation can be secured.

同第六の特徴構成は、同請求項6に記載した通り、上述の第一から第五特徴構成の何れかに加えて、前記移動設備が任意の曲率で設置された湾曲部を有する軌道に沿って走行するように構成され、前記可撓性支持部材が前記湾曲部に沿って配置されている点にある
すなわち、可撓性支持部材に第1光通信ユニットを配置した光データ伝送装置は、もちろん、移動設備の移動経路が直線となっている箇所にも設置して使用することができるが、移動設備の移動経路が曲線となっている箇所において特に有効に機能する。
移動設備の移動経路の曲率が種々に異なる場合にも、可撓性支持部材を湾曲させて移動経路の曲率に適合させることができ、移動経路の状況に応じて柔軟に対応することができる。
In addition to any of the first to fifth feature configurations described above, the sixth feature configuration is a track having a curved portion in which the moving equipment is installed with an arbitrary curvature. It is comprised so that it may drive | work along, and the said flexible support member exists in the point arrange | positioned along the said curved part.
That is, the optical data transmission apparatus in which the first optical communication unit is arranged on the flexible support member can of course be installed and used at a location where the movement path of the moving equipment is a straight line. This function is particularly effective at a location where the movement path of the curve is a curve.
Even when the curvature of the movement path of the moving equipment is variously different, the flexible support member can be bent to be adapted to the curvature of the movement path, and can be flexibly dealt with according to the situation of the movement path.

同第七の特徴構成は、同請求項7に記載した通り、上述の第一から第六特徴構成の何れかに加えて、一方が送受信の光軸を前記第1光通信ユニットの並び方向と直交する方向から走行前方側に傾けた傾斜姿勢で配置されるとともに、他方が送受信の光軸を前記第1光通信ユニットの並び方向と直交する方向から走行後方側に傾けた傾斜姿勢で配置され、前記波長領域に対応した発光部及び受光部を夫々に備えた一対の第2光通信ユニットが搭載された前記移動設備に対して、前記第1光通信ユニットは、その何れかが少なくとも一方の第2光通信ユニットと交信可能な状態となる間隔で前記可撓性支持部材に配置されている点にあるIn the seventh feature configuration, as described in claim 7, in addition to any of the first to sixth feature configurations described above, one of the optical characteristics of transmission and reception is the alignment direction of the first optical communication units. It is arranged in an inclined posture inclined from the direction orthogonal to the traveling front side, and the other is arranged in an inclined posture inclined the transmission / reception optical axis from the direction orthogonal to the arrangement direction of the first optical communication units to the traveling rear side. , With respect to the mobile equipment equipped with a pair of second optical communication units each having a light emitting unit and a light receiving unit corresponding to the wavelength region, any one of the first optical communication units is at least one It exists in the point arrange | positioned at the said flexible support member by the space | interval which becomes a state which can communicate with a 2nd optical communication unit.

すなわち、移動設備が、固定設備側の光データ伝送装置の設置区間の全長に亘って確実に光データ伝送装置との通信が確保できるためには、可撓性支持部材に所定間隔を開けて配置されている複数の第1光通信ユニットのうちの少なくとも1つとの通信が常に確立可能である必要がある。
このためには、第1光通信ユニットの設置間隔を十分に狭くすれば良いが、それでは、第1光通信ユニットの必要数が過度に増加してしまいコストアップを招いてしまう。
That is, in order for the mobile equipment to ensure communication with the optical data transmission device over the entire length of the installation section of the optical data transmission device on the fixed equipment side, the flexible support member is arranged with a predetermined interval. It is necessary that communication with at least one of the plurality of first optical communication units being made can always be established.
For this purpose, the installation interval of the first optical communication units may be sufficiently narrowed, but in that case, the required number of the first optical communication units increases excessively, resulting in an increase in cost.

そこで、移動設備側の第2光通信ユニットの設置姿勢として、受光部と発光部との組を、主に移動設備の走行前方側を担当するものと、主に移動設備の走行後方側を担当するものとの2組を備えている。この2組を1対として、一方の走行前方側を担当するものは、送受信の光軸が、第1光通信ユニットの並び方向と直交する方向から走行前方側に傾けた傾斜姿勢で配置され、他方の走行後方側を担当するものは、送受信の光軸が、第1光通信ユニットの並び方向と直交する方向から走行後方側に傾けた傾斜姿勢で配置されている。
このような配置姿勢とすることで、移動設備側での送受信可能範囲(送受信可能角度)が拡がり、第1光通信ユニットの設置間隔を拡げても、複数の第1光通信ユニットのうちの少なくとも1つとの通信が常に確立可能な状態を確保できる。
これによって、移動設備側と固定設備側とで確実な通信を確保しながら、装置コストの低減を図ることができる。
Therefore, as the installation posture of the second optical communication unit on the mobile equipment side, the combination of the light receiving part and the light emitting part is mainly responsible for the traveling front side of the mobile equipment, and mainly responsible for the traveling rear side of the mobile equipment. It has two sets of things to do. Those in charge of one traveling front side as a pair of these two sets are arranged in an inclined posture in which the optical axis of transmission / reception is inclined from the direction orthogonal to the arrangement direction of the first optical communication units to the traveling front side, The one in charge of the other traveling rear side is arranged in an inclined posture in which the optical axis of transmission and reception is inclined from the direction orthogonal to the arrangement direction of the first optical communication units to the traveling rear side.
By setting it as such an arrangement | positioning attitude | position, even if the transmission / reception possible range (transmission / reception possible angle) in the mobile equipment side expands and the installation space | interval of a 1st optical communication unit is expanded, at least of several 1st optical communication units A state in which communication with one can always be established can be ensured.
Thereby, it is possible to reduce the apparatus cost while ensuring reliable communication between the mobile equipment side and the fixed equipment side.

以上説明したように、本発明によれば、搬送台車等の移動設備の走行経路が曲線となっている部分でも、移動設備側と固定設備側とで的確に光通信により通信を行えるものとなる。   As described above, according to the present invention, communication can be accurately performed by optical communication between the moving equipment side and the fixed equipment side even when the traveling route of the moving equipment such as the carriage is curved. .

固定設備側の概略配置を示す図Diagram showing schematic arrangement on the fixed equipment side 光データ伝送装置の要部を示す斜視図The perspective view which shows the principal part of an optical data transmission apparatus 光データ伝送装置の要部を示す断面図Sectional drawing which shows the principal part of an optical data transmission apparatus 可撓性チューブ等の端部付近を示す斜視図A perspective view showing the vicinity of an end of a flexible tube or the like 第1光通信ユニットと第2光通信ユニットとの位置関係を示す図The figure which shows the positional relationship of a 1st optical communication unit and a 2nd optical communication unit. 第1光通信ユニットの回路構成を示す図The figure which shows the circuit structure of a 1st optical communication unit. 光データ伝送装置の接続形態を示す図The figure which shows the connection form of an optical data transmission apparatus 光データ伝送装置を使用する通信システムの概略構成図Schematic configuration diagram of a communication system using an optical data transmission apparatus (a)は光データ伝送装置を使用する搬送設備の側面視の断面図、(b)は同搬送設備の正面視の一部断面図(A) is sectional drawing of the side view of the conveyance equipment which uses an optical data transmission apparatus, (b) is a partial sectional view of the front view of the conveyance equipment 別実施形態を示し、光データ伝送装置を使用する搬送設備の断面図Sectional drawing of the conveyance equipment which shows another embodiment and uses an optical data transmission apparatus 搬送設備の概略斜視図Schematic perspective view of transfer equipment 移動設備の移動経路を示す図Diagram showing the movement route of moving equipment 移動設備と固定設備との位置関係を示す図Diagram showing the positional relationship between moving equipment and fixed equipment 従来の通信構成を説明する図A diagram for explaining a conventional communication configuration

本発明の光データ伝送装置を半導体デバイスの製造設備に適用した場合の実施形態を説明する。
図13に示すように、半導体デバイスの製造設備1では、半導体ウェハに順次所定の処理を施すための固定設備としての各種の製造装置2が通路8に沿って配設され、製造装置2間で半導体ウェハを自動搬送するために、製造装置2に設けられたロードポート3との間でウェハキャリア装置4を受け渡し搬送する移動設備としての搬送台車20が天井に吊設された走行レール10に沿って走行可能に設けられている。尚、ウェハキャリア装置4の形状は、図13に示す円柱形状のものの他、図11等で示す直方体形状のものにも適宜に対応できる。
An embodiment when the optical data transmission apparatus of the present invention is applied to a semiconductor device manufacturing facility will be described.
As shown in FIG. 13, in the semiconductor device manufacturing facility 1, various manufacturing apparatuses 2 as fixing facilities for sequentially performing predetermined processing on the semiconductor wafer are arranged along the passage 8. In order to automatically transfer a semiconductor wafer, a transfer carriage 20 as a moving facility for transferring and transferring the wafer carrier device 4 to and from a load port 3 provided in the manufacturing apparatus 2 is along a traveling rail 10 suspended from the ceiling. It is provided so that it can run. The shape of the wafer carrier device 4 can appropriately correspond to a rectangular parallelepiped shape shown in FIG. 11 and the like in addition to the cylindrical shape shown in FIG.

半導体デバイスの製造設備における各種装置類の概略配置を平面視で図示する図12に示すように、製造装置2は製造工程毎にベイ6,7に分けられて設置されている。
走行レール10は、単純な直線部のみならず、カーブ、分岐部、合流部等を備えた複雑な形状をしている。例えば、各ベイ6,7間を結ぶ工程間レール10a、各ベイ6,7に設置された製造装置2間を結ぶ工程内レール10b、工程間レール10aと工程内レール10bを結ぶ分岐レール10c、工程内レール10b内を走行する搬送台車20を一時退避させる退避レール10d、搬送台車20がストッカ5へウェハキャリア装置4を積降するためのバイパスレール10e等で構成されている。
As shown in FIG. 12, which shows a schematic arrangement of various devices in a semiconductor device manufacturing facility in plan view, the manufacturing apparatus 2 is divided into bays 6 and 7 for each manufacturing process.
The traveling rail 10 has a complicated shape including not only a simple straight portion but also a curve, a branching portion, a merging portion, and the like. For example, an inter-process rail 10a that connects the bays 6 and 7, an in-process rail 10b that connects the manufacturing apparatuses 2 installed in the bays 6 and 7, a branch rail 10c that connects the inter-process rail 10a and the in-process rail 10b, A retraction rail 10d for temporarily retreating the transport carriage 20 traveling in the in-process rail 10b, a bypass rail 10e for loading and unloading the wafer carrier device 4 to and from the stocker 5, and the like.

分岐レール10cは、工程間レール10aと工程内レール10bとを接続するレールであり、走行する搬送台車20は、分岐レール10cに沿って走行することで、工程間レール10aと工程内レール10bを互いに往来する。   The branch rail 10c is a rail that connects the inter-process rail 10a and the in-process rail 10b, and the traveling carriage 20 that travels travels along the branch rail 10c, so that the inter-process rail 10a and the in-process rail 10b are connected. Come and go with each other.

退避レール10dは、工程内レール10bから分岐して設けられ、例えば、搬送台車20のメンテナンス等ために、工程内レール10bから搬送台車20を一時退避させる場合に用いられる。   The retreat rail 10d is provided to be branched from the in-process rail 10b, and is used, for example, when the transport carriage 20 is temporarily retracted from the in-process rail 10b for maintenance of the transport carriage 20 or the like.

バイパスレール10eは、工程間レール10aから分岐し、工程間レール10aを走行する搬送台車20に掴持されたウェハキャリア装置4をストッカ5に一時保管する場合等に用いられる。   The bypass rail 10e is used when the wafer carrier device 4 branched from the inter-process rail 10a and temporarily held in the stocker 5 by the transport carriage 20 traveling on the inter-process rail 10a is used.

図9(a),(b)、及び図11に示すように、走行レール10は、その断面が下方に開口する凹形状に形成されている。具体的には、後述する走行部21に備えた走行車輪27を支持する支持部11と、支持部11と連接され、走行部21を囲むカバー部材12で構成されている。尚、走行レール10は、軽さと強度とアルミニウムの引抜材で形成され、支持部材13によって適当な間隔で天井から吊設されているが、材質及び天井への設置方向はこれに限らない。
直線状に配置された走行レールでは、カバー部材12のうち側壁部が部分的に開口され、軽量化が図られている。
As shown in FIGS. 9A, 9B, and 11, the traveling rail 10 is formed in a concave shape whose cross section opens downward. Specifically, the support unit 11 is configured to support a travel wheel 27 provided in the travel unit 21 described later, and the cover member 12 is connected to the support unit 11 and surrounds the travel unit 21. The traveling rail 10 is formed of a light, strong, and aluminum drawn material, and is suspended from the ceiling by a support member 13 at an appropriate interval. However, the material and the installation direction on the ceiling are not limited thereto.
In the traveling rail arranged in a straight line, the side wall portion of the cover member 12 is partially opened to reduce the weight.

搬送台車20は、走行レール10の支持部11に沿って走行する走行部21と、走行部21に支持される物品収容部22で構成されている。
走行部21は、基台となるメインフレーム26と、メインフレーム26の前後に備えられた車軸に軸支された左右一対の走行車輪27と、走行車輪27を駆動する走行用モータ(図示せず)を備えている。
さらに、メインフレーム26には、走行レール10のカバー部材12内面と略接触状態となる位置に左右一対のガイド車輪(図示せず)が設けられ、前記ガイド車輪によって走行部21は進行方向の左右にずれることなく走行できるように構成されている。
The transport carriage 20 includes a traveling unit 21 that travels along the support unit 11 of the traveling rail 10 and an article storage unit 22 that is supported by the traveling unit 21.
The traveling unit 21 includes a main frame 26 that serves as a base, a pair of left and right traveling wheels 27 that are pivotally supported on axles provided at the front and rear of the main frame 26, and a traveling motor (not shown) that drives the traveling wheels 27. ).
Further, the main frame 26 is provided with a pair of left and right guide wheels (not shown) at positions where the main frame 26 is substantially in contact with the inner surface of the cover member 12 of the traveling rail 10, and the traveling portion 21 is moved to the left and right in the traveling direction by the guide wheels. It is configured to be able to travel without slipping.

図示を省略するが、メインフレーム26には、走行レール10のカバー部材12内に設けられた分岐用ガイド(図示せず)を選択する分岐ローラが設けられ、例えば、工程間レール10aから分岐レール10cへと走行経路を切り替える際には、搬送台車20の、前記分岐ローラが前記分岐用ガイドの何れか一方を選択することで、走行経路が切り替わるように構成されている。
尚、走行部21は、走行用モータで走行車輪27を駆動して走行する構成に限らず、走行レール10内に敷設された永久磁石と、走行部21側に備えられたコアによりリニアモータを構成して走行する構成であってもよい。
Although not shown, the main frame 26 is provided with a branching roller for selecting a branching guide (not shown) provided in the cover member 12 of the traveling rail 10, for example, from the inter-process rail 10a to the branching rail. When the travel route is switched to 10c, the travel route is switched by selecting one of the branch guides by the branch roller of the transport carriage 20.
The traveling unit 21 is not limited to a configuration in which the traveling wheel 27 is driven by a traveling motor, and a linear motor is provided by a permanent magnet laid in the traveling rail 10 and a core provided on the traveling unit 21 side. It may be configured to travel.

メインフレーム26の上部には、左右に給電ユニット30が備えられ、中央部に固定設備側と通信するための台車側送受信ユニット25が取付けられている。給電ユニット30は、E字形状のコア31とコア31の一部に巻回されたコイル32で構成されている。   On the upper part of the main frame 26, power supply units 30 are provided on the left and right, and a cart side transmission / reception unit 25 for communicating with the fixed equipment side is attached to the center. The power supply unit 30 includes an E-shaped core 31 and a coil 32 wound around a part of the core 31.

カバー部材12の内壁側面に給電線ホルダ14で支持された給電線15には高周波電力が印加され、コイル32に前記高周波電力が誘導され非接触で電力伝達が行われる。尚、搬送台車20に必要な電力はすべてこの非接触の給電方式により供給される。
尚、搬送台車20への給電手段としては、上述した給電ユニット30と給電線15とによる非接触の給電方式に限定されるものではない。
High frequency power is applied to the power supply line 15 supported by the power supply line holder 14 on the inner wall side surface of the cover member 12, and the high frequency power is induced in the coil 32 to transmit power without contact. In addition, all the electric power required for the conveyance carriage 20 is supplied by this non-contact power feeding method.
Note that the power supply means to the transport carriage 20 is not limited to the non-contact power supply method using the power supply unit 30 and the power supply line 15 described above.

また、カバー部材12の内壁天井面には、台車側送受信ユニット25の通信相手である固定設備側通信ユニット40が設置されている。台車側送受信ユニット25と固定設備側通信ユニット40とは、後述するように、光信号を送受信する。尚、図9(a),(b)では、図面を見易くするために、固定設備側通信ユニット40の寸法を拡大して図示している。
固定設備側通信ユニット40は、図12に設置箇所を概略的に示すように、搬送台車20の走行経路が曲線となっている工程内レール10bの一部、分岐レール10c、及び、バイパスレール10eに設置されている。
A fixed facility side communication unit 40 which is a communication partner of the cart side transmission / reception unit 25 is installed on the ceiling surface of the inner wall of the cover member 12. The carriage side transmission / reception unit 25 and the fixed equipment side communication unit 40 transmit and receive optical signals as will be described later. In FIGS. 9A and 9B, the dimensions of the fixed equipment side communication unit 40 are enlarged for easy understanding of the drawings.
As shown schematically in FIG. 12, the fixed equipment side communication unit 40 includes a part of the in-process rail 10b, the branch rail 10c, and the bypass rail 10e in which the travel route of the transport carriage 20 is curved. Is installed.

物品収容部22には、ウェハキャリア装置4を掴むチャック機構23を備えた昇降体24を所定の昇降経路に沿って昇降させる昇降機構としての昇降用モータ(図示せず)が組み込まれている。
昇降体24は、昇降機構と複数のベルト29で連結されている。昇降用モータは、ベルト29を巻き取り、繰り出しをすることで、昇降体24を昇降させるように構成されている。尚、ベルト29には走行部21からチャック機構23へ給電する給電線や信号線が組み込まれている。
The article storage unit 22 incorporates an elevating motor (not shown) as an elevating mechanism that elevates and lowers an elevating body 24 having a chuck mechanism 23 that holds the wafer carrier device 4 along a predetermined elevating path.
The lifting body 24 is connected to the lifting mechanism by a plurality of belts 29. The elevating motor is configured to raise and lower the elevating body 24 by winding the belt 29 and feeding it out. The belt 29 incorporates a power supply line and a signal line for supplying power from the traveling unit 21 to the chuck mechanism 23.

チャック機構23は、ウェハキャリア装置4の上面の被掴持部4aを掴持するための一対の爪部と掴持用モータ(図示せず)で構成され、掴持用モータを駆動することで前記爪部が掴持姿勢または開放姿勢となることでウェハキャリア装置4の被掴持部4aを掴持または開放するように構成されている。   The chuck mechanism 23 includes a pair of claw portions for gripping the gripped portion 4a on the upper surface of the wafer carrier device 4 and a gripping motor (not shown), and by driving the gripping motor. The gripper 4a of the wafer carrier device 4 is configured to be gripped or released when the claw portion is in a gripping posture or an opening posture.

図9(a),(b)では、メインフレーム26の上部に台車側送受信ユニット25が配置され、カバー部材12の内壁天井面に固定設備側通信ユニット40が設置された例を説明したが、台車側送受信ユニット25及び固定設備側通信ユニット40の取付位置は特に制限されるものではなく、適宜通信可能な位置に取り付けることができる。例えば、図10(a),(b)に示すように、搬送台車20を構成する物品収容部22の走行方向前面に台車側送受信ユニット25が配置され、走行レール10の支持部11の下面に固定設備側通信ユニット40が配置されていてもよい。   9 (a) and 9 (b), an example has been described in which the cart-side transmission / reception unit 25 is disposed above the main frame 26, and the fixed equipment-side communication unit 40 is installed on the inner wall ceiling surface of the cover member 12. The attachment position of the cart side transmission / reception unit 25 and the fixed equipment side communication unit 40 is not particularly limited, and can be attached to a position where communication is possible. For example, as shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b), a cart-side transmission / reception unit 25 is disposed on the front side in the traveling direction of the article accommodating portion 22 constituting the transport cart 20, and is disposed on the lower surface of the support portion 11 of the traveling rail 10. Fixed equipment side communication unit 40 may be arranged.

以下に、図9(a),(b)で説明した移動設備側の台車側送受信ユニット25と固定設備側通信ユニット40との間の通信について説明するが、図10(a),(b)で説明した両者の取付位置であっても、基本的には同様である。
本発明の光データ伝送装置の主要部である固定設備側通信ユニット40は、カバー部材12に取り付けた状態での底面視すなわち台車側送受信ユニット25側から見た概略形状を図示する図1、要部を斜視図で図示する図2、及び、長手方向の断面を図示する図3に示すように、長尺の薄板短冊形状を有する可撓性支持部材41に所定の姿勢及び間隔で第1光通信ユニット42を配置し、その第1光通信ユニット42を含む可撓性支持部材41の略全体を被覆部材である透明の可撓性チューブ43にて被覆した構成としている。
In the following, communication between the mobile equipment side transmission / reception unit 25 and the fixed equipment side communication unit 40 described with reference to FIGS. 9A and 9B will be described. FIG. 10A and FIG. This is basically the same even in the attachment positions of both described in (1).
The fixed equipment side communication unit 40, which is the main part of the optical data transmission apparatus of the present invention, is a bottom view in a state of being attached to the cover member 12, that is, a schematic shape seen from the cart side transmission / reception unit 25 side. As shown in FIG. 2 in which the portion is illustrated in a perspective view and in FIG. 3 in which a cross section in the longitudinal direction is illustrated, the first light is applied to the flexible support member 41 having a long thin strip shape with a predetermined posture and interval. A communication unit 42 is arranged, and the flexible support member 41 including the first optical communication unit 42 is covered with a transparent flexible tube 43 that is a covering member.

可撓性チューブ43の内壁には、長手方向に延びる上下一対の凹溝43aが形成されており、この一対の凹溝43aに可撓性支持部材41の上下両端が係合して、可撓性チューブ43内に収容された状態の可撓性支持部材41を所定の姿勢で保持している。
可撓性支持部材41を可撓性チューブ43で被覆する構成としていること、更には、可撓性チューブ43の外径が10mm程度と小径であることから、固定設備側通信ユニット40は容易に湾曲させることができ、上述のような搬送台車20の走行経路が曲線となっている箇所に容易に設置することができる。
例えば、分岐レール10cとバイパスレール10eとのように、搬送台車20の走行経路が湾曲する形状が異なっても、容易にその湾曲形状に適合させて設置することができ、移動設備が任意の曲率で設置された湾曲部を有する軌道に沿って走行する場合でも、その任意の曲率に適合させることができる。
A pair of upper and lower concave grooves 43a extending in the longitudinal direction are formed on the inner wall of the flexible tube 43, and the upper and lower ends of the flexible support member 41 are engaged with the pair of concave grooves 43a to be flexible. The flexible support member 41 accommodated in the flexible tube 43 is held in a predetermined posture.
Since the flexible support member 41 is configured to be covered with the flexible tube 43 and the outer diameter of the flexible tube 43 is as small as about 10 mm, the fixed equipment side communication unit 40 can be easily used. It can be curved and can be easily installed at a location where the traveling route of the transport carriage 20 is curved.
For example, even if the travel route of the transport carriage 20 is different, such as the branch rail 10c and the bypass rail 10e, it can be easily adapted to the curved shape, and the mobile equipment can have any curvature. Even when the vehicle travels along a track having a curved portion set in (1), it can be adapted to the arbitrary curvature.

第1光通信ユニット42は、図2及び図3に示すように、可撓性支持部材41上に取り付けた基板42a上に、赤外発光LEDを有する発光部とフォトダイオードを有する受光部とを一体化した赤外通信モジュール42bと、周辺回路部品42c(図2では図示を省略)とを実装している。
図1では、2個の第1光通信ユニット42のみを抜き出して図示しているが、十数cm程度のピッチでさらに多くの第1光通信ユニット42が配置されている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the first optical communication unit 42 includes a light emitting unit having an infrared light emitting LED and a light receiving unit having a photodiode on a substrate 42 a attached on a flexible support member 41. An integrated infrared communication module 42b and a peripheral circuit component 42c (not shown in FIG. 2) are mounted.
In FIG. 1, only two first optical communication units 42 are extracted and illustrated, but more first optical communication units 42 are arranged at a pitch of about several tens of centimeters.

図2等では図示を省略しているが、複数の第1光通信ユニット42間は信号配線によって接続されており、その接続状態を図6の回路図に示す。
図6で図示する各赤外通信モジュール42bが、各第1光通信ユニット42に備えられているものである。
赤外通信モジュール42bには、発光部の主要部である赤外発光ダイオード51,受光部の主要部であるフォトダイオード52及びトランジスタ53等が備えられており、各赤外通信モジュール42bの発光部は図6において「Tx」で示す共通の送信信号線54に接続され、各赤外通信モジュール42bの受光部は図6において「Rx」で示す共通の受信信号線55に接続されている。
さらに、各赤外通信モジュール42bは、「+5V」として示す電源ラインと「0V」として示すGNDラインとに接続され、これらを含めて、各第1光通信ユニット42間は4本の配線にて相互に接続されている。
Although not shown in FIG. 2 and the like, the plurality of first optical communication units 42 are connected by signal wiring, and the connection state is shown in the circuit diagram of FIG.
Each infrared communication module 42 b illustrated in FIG. 6 is provided in each first optical communication unit 42.
The infrared communication module 42b includes an infrared light emitting diode 51 that is a main part of the light emitting part, a photodiode 52 that is a main part of the light receiving part, a transistor 53, and the like, and the light emitting part of each infrared communication module 42b. Is connected to a common transmission signal line 54 indicated by “Tx” in FIG. 6, and the light receiving portion of each infrared communication module 42 b is connected to a common reception signal line 55 indicated by “Rx” in FIG. 6.
Furthermore, each infrared communication module 42b is connected to a power supply line indicated as “+ 5V” and a GND line indicated as “0V”. Including these, each first optical communication unit 42 is connected with four wires. Are connected to each other.

固定設備側通信ユニット40の長手方向端部には、図4の斜視図に示す、コネクタ部44が取り付けられており、コネクタ部44には、上記の4本の配線に対応する4個の電極44aが備えられている。
このコネクタ部44は、図7に概略的に示すように、固定設備側通信ユニット40の一端部側(換言すると、可撓性支持部材41の一端部側)に配置される集信装置45のコネクタ45aと連結され、上記送信信号線54及び上記受信信号線55が集信装置45に接続されている。
A connector portion 44 shown in the perspective view of FIG. 4 is attached to the longitudinal end portion of the fixed equipment side communication unit 40. The connector portion 44 has four electrodes corresponding to the above four wires. 44a is provided.
As schematically shown in FIG. 7, the connector portion 44 includes a concentrator 45 disposed on one end side of the fixed equipment side communication unit 40 (in other words, one end portion side of the flexible support member 41). The transmission signal line 54 and the reception signal line 55 are connected to the concentrator 45 and connected to the connector 45a.

さらに、固定設備側通信ユニット40は、図7に示すように、連結用コネクタユニット46を使用することで、同一構成の他の固定設備側通信ユニット40と接続することができる。図7に示すように、固定設備側通信ユニット40同士を連結用コネクタユニット46にて接続した状態では、各固定設備側通信ユニット40の送信信号線54及び受信信号線55等の配線が一連につながる状態となっており、固定設備側通信ユニット40同士を連結しても、単に固定設備側通信ユニット40の長さが長くなったのと同等の状態となるようにしている。
但し、配線長が長くなることによる電源ラインの電圧降下に対処するために、連結用コネクタユニット46には電源供給部である電源ユニット47が接続され、固定設備側通信ユニット40同士の接続箇所において、「+5V」として示す電源ラインと「0V」として示すGNDライン間(図6参照)に5Vの電源電圧を供給している。
Furthermore, as shown in FIG. 7, the fixed equipment side communication unit 40 can be connected to another fixed equipment side communication unit 40 having the same configuration by using a connector unit 46 for connection. As shown in FIG. 7, in a state where the fixed equipment side communication units 40 are connected to each other by the connecting connector unit 46, the transmission signal lines 54 and the reception signal lines 55 of the fixed equipment side communication units 40 are connected in series. Even if the fixed equipment side communication units 40 are connected to each other, the fixed equipment side communication units 40 are simply connected to each other so that the length of the fixed equipment side communication units 40 is increased.
However, in order to cope with a voltage drop in the power supply line due to an increase in the wiring length, a power supply unit 47 that is a power supply unit is connected to the connector unit for connection 46, and the connection unit between the fixed equipment side communication units 40 is connected. A power supply voltage of 5 V is supplied between the power supply line indicated as “+5 V” and the GND line indicated as “0 V” (see FIG. 6).

上記構成の固定設備側通信ユニット40の通信相手となる台車側送受信ユニット25は、台車側送受信ユニット25のみを抜き出して、固定設備側通信ユニット40との相対的な位置関係を図示する図5に示すように、本体部25aの上端に備えられた透明窓25b内に、2個の第2光通信ユニット28が備えられている。図5では、各第2光通信ユニット28を構成する主要部である赤外通信モジュール28aのみを図示している。赤外通信モジュール28aは、固定設備側通信ユニット40の赤外通信モジュール42bと同一構成のものである。   The cart-side transmission / reception unit 25 serving as a communication partner of the fixed facility-side communication unit 40 having the above configuration is shown in FIG. As shown, two second optical communication units 28 are provided in a transparent window 25b provided at the upper end of the main body 25a. In FIG. 5, only the infrared communication module 28 a which is a main part constituting each second optical communication unit 28 is illustrated. The infrared communication module 28 a has the same configuration as the infrared communication module 42 b of the fixed equipment side communication unit 40.

図5において各赤外通信モジュール28a,42bの送受信の光軸を破線Cで示すように、搬送台車20の進行方向が図5において矢印Aで示す方向であるとして、一対の台車側送受信ユニット25のうちの一方の進行方向前方側に位置する赤外通信モジュール28aは、それの光軸Cを、第1光通信ユニット42の並び方向と直交する方向(図5において矢印Bで示す方向)から走行前方側に傾けた傾斜姿勢で配置されている。さらに、他方の進行方向後方側に位置する赤外通信モジュール28aは、それの光軸Cを、第1光通信ユニット42の並び方向と直交する方向(図5において矢印Bで示す方向)から走行後方側に傾けた傾斜姿勢で配置されている。   As shown in FIG. 5, the transmission / reception optical axes of the infrared communication modules 28 a and 42 b are indicated by a broken line C, and the traveling direction of the transport carriage 20 is the direction indicated by the arrow A in FIG. In the infrared communication module 28a located on the front side in one of the traveling directions, the optical axis C of the infrared communication module 28a is perpendicular to the direction in which the first optical communication units 42 are arranged (the direction indicated by the arrow B in FIG. 5). It is arranged in an inclined posture inclined toward the traveling front side. Further, the infrared communication module 28a located on the rear side in the other traveling direction travels its optical axis C from a direction orthogonal to the arrangement direction of the first optical communication units 42 (direction indicated by arrow B in FIG. 5). It is arranged in a tilted posture tilted to the rear side.

上記の赤外通信モジュール28aの光軸Cの傾斜角度は何れも略45度に設定しており、このような配置姿勢とすることで、固定設備側通信ユニット40側の第1光通信ユニット42の並び間隔を十数cmにまで拡げることができ、そのように拡げても、搬送台車20が走行している状態において、第1光通信ユニット42の何れかが少なくとも一方の赤外通信モジュール28aと交信可能な状態を維持し続けることが可能となっており、台車側送受信ユニット25と固定設備側通信ユニット40との間隔が15mmから200mmの範囲で上記の通信状態を確保できる。   The inclination angle of the optical axis C of the infrared communication module 28a is set to about 45 degrees, and the first optical communication unit 42 on the fixed equipment side communication unit 40 side is set by such an arrangement posture. Can be expanded to a few tens of centimeters, and even if it is expanded in such a manner, any one of the first optical communication units 42 is at least one infrared communication module 28a in a state where the transport carriage 20 is traveling. The communication state can be maintained in the range of 15 mm to 200 mm between the carriage side transmission / reception unit 25 and the fixed equipment side communication unit 40.

台車側送受信ユニット25と固定設備側通信ユニット40との間の通信は、いわゆるIrDA規格にて通信を行うように構成されており、赤外通信モジュール25c及び周辺回路部品42cの発光部は870nm帯の波長領域の光を出射し、これに対応して、可撓性チューブ43や透明窓25bも、少なくともその波長領域で透明となる材料を使用している。もちろん、赤外通信モジュール25c及び周辺回路部品42cの受光部は、その波長領域で十分な感度を有しており、発光部が出射した赤外光を的確に受光する。
可撓性チューブ43は、それの全体が上記波長領域において透明であるが、透明であるのは通信のための赤外光が通過する部分だけで足りる。
The communication between the cart side transmission / reception unit 25 and the fixed equipment side communication unit 40 is configured to perform communication according to the so-called IrDA standard, and the light emitting portions of the infrared communication module 25c and the peripheral circuit component 42c are in the 870 nm band. Corresponding to this, the flexible tube 43 and the transparent window 25b are also made of a material that is transparent at least in the wavelength region. Of course, the infrared communication module 25c and the light receiving portions of the peripheral circuit component 42c have sufficient sensitivity in the wavelength region, and accurately receive the infrared light emitted from the light emitting portion.
The flexible tube 43 as a whole is transparent in the above-mentioned wavelength region, but only a portion through which infrared light for communication passes is sufficient.

図12に示すように、走行レール10の複数箇所に設置される固定設備側通信ユニット40は、図8に示すように、夫々の集信装置45を経て地上側コントローラ16に接続されている。
集信装置45は、上記のIrDA規格の信号をいわゆるCAN規格の信号に変換して、地上側コントローラ16と、固定設備側通信ユニット40を経由した台車側送受信ユニット25との通信を中継する。
地上側コントローラ16は、さらに、製造設備1全体を管理する上位のコントローラに接続されている。
As shown in FIG. 12, the fixed equipment side communication units 40 installed at a plurality of locations on the traveling rail 10 are connected to the ground side controller 16 via respective concentrators 45 as shown in FIG. 8.
The concentrator 45 converts the IrDA standard signal into a so-called CAN standard signal, and relays communication between the ground-side controller 16 and the cart-side transmitting / receiving unit 25 via the fixed facility-side communication unit 40.
The ground-side controller 16 is further connected to a host controller that manages the entire manufacturing facility 1.

図8に示す通信体系によって、地上側(固定設備側通信ユニット40側)からは、固定設備側通信ユニット40を識別するための信号、すなわち、複数箇所に設置されている固定設備側通信ユニット40のうちの何れの固定設備側通信ユニット40の通信エリアに進入したかを示す信号を送信し、搬送台車20側からは、その搬送台車20の識別信号を返信する。   With the communication system shown in FIG. 8, a signal for identifying the fixed equipment side communication unit 40 from the ground side (the fixed equipment side communication unit 40 side), that is, the fixed equipment side communication unit 40 installed in a plurality of places. A signal indicating which of the fixed equipment side communication units 40 has entered the communication area is transmitted, and an identification signal of the conveyance carriage 20 is returned from the conveyance carriage 20 side.

このような通信によって、例えば、いずれかの固定設備側通信ユニット40の通信エリアに搬送台車20が進入したときに、その先の合流地点等に接近してくる他の搬送台車20が存在するような場合、搬送台車20に対して停止信号を送信して衝突を回避するような制御が行える。
尚、詳細な説明は省略するが、上述のように、各搬送台車20に固有の識別信号を設定していることとの関係で、1つの固定設備側通信ユニット40のエリア内に複数台の搬送台車20が進入した場合でも、その識別信号を利用して、各搬送台車20と個別に通信を行うこともできる。
By such communication, for example, when the transport carriage 20 enters the communication area of any one of the fixed equipment side communication units 40, there seems to be another transport carriage 20 that approaches the junction or the like ahead. In such a case, it is possible to perform control so as to avoid a collision by transmitting a stop signal to the transport carriage 20.
In addition, although detailed description is omitted, as described above, a plurality of units are provided in the area of one fixed equipment side communication unit 40 in relation to the setting of a unique identification signal for each transport carriage 20. Even when the transport cart 20 enters, it is possible to communicate with each transport cart 20 individually using the identification signal.

〔別実施形態〕
以下、本発明の別実施形態を列記する。
(1)上記実施の形態では、固定設備側の第1光通信ユニット42と移動設備側の第2光通信ユニット28との間の通信を、IrDAにて行う場合を例示しているが、可視光域の波長を利用する等、通信に使用する波長域は適宜に変更可能である。
(2)上記実施の形態では、第1光通信ユニット42や可撓性支持部材41を被覆する被覆部材として可撓性チューブ43を使用する場合を例示しているが、透明の樹脂モールド等によって少なくとも第1光通信ユニット42を被覆する構成としても良い。
(3)上記実施の形態では、本発明の光データ伝送装置を、半導体デバイスの製造設備1に適用する場合を例示しているが、各種の工場や倉庫設備等における移動体が自動走行する設備に本発明を適用できる。
(4)上記実施の形態では、可撓性支持部材41を保持する保持部として、可撓性チューブ43の内面に凹溝43aを形成しているが、可撓性チューブ43の内面に、可撓性支持部材41を両側から挟み込む凸部を形成する等、保持部の具体構成は適宜に変更可能である。
[Another embodiment]
Hereinafter, other embodiments of the present invention will be listed.
(1) In the above embodiment, the case where the communication between the first optical communication unit 42 on the fixed equipment side and the second optical communication unit 28 on the mobile equipment side is performed with IrDA is exemplified. The wavelength range used for communication, such as using the wavelength in the optical range, can be changed as appropriate.
(2) In the above embodiment, the case where the flexible tube 43 is used as the covering member that covers the first optical communication unit 42 and the flexible support member 41 is exemplified. It is good also as a structure which covers the 1st optical communication unit 42 at least.
(3) In the above embodiment, the case where the optical data transmission apparatus of the present invention is applied to the semiconductor device manufacturing facility 1 is exemplified, but the facility in which the mobile body automatically travels in various factories, warehouse facilities, etc. The present invention can be applied to.
(4) In the above embodiment, the concave groove 43 a is formed on the inner surface of the flexible tube 43 as the holding portion for holding the flexible support member 41. The specific configuration of the holding portion can be appropriately changed, such as forming a convex portion that sandwiches the flexible support member 41 from both sides.

本発明は、製造設備等に使用され、空間を伝播する固定設備と移動設備間の通信を行なう光データ伝送装置に広く適用できる。   The present invention is widely applied to an optical data transmission apparatus that is used in a manufacturing facility or the like and performs communication between a fixed facility and a mobile facility that propagates in space.

20 移動設備
28 第2光通信ユニット
41 可撓性支持部材
42 第1光通信ユニット
43 可撓性チューブ
45 集信装置
47 電源供給部
54 送信信号線
55 受信信号線

DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 Mobile equipment 28 2nd optical communication unit 41 Flexible support member 42 1st optical communication unit 43 Flexible tube 45 Concentrator 47 Power supply part 54 Transmission signal line 55 Reception signal line

Claims (7)

移動設備の移動経路に沿って固定設備に設置され、前記移動設備との間で空間を介して光信号を送受信する光データ伝送装置であって、
所定の波長領域の光を発光する発光部と前記波長領域の光を受光する受光部とを備えた複数の第1光通信ユニットと、第1光通信ユニットが所定の姿勢及び間隔で配置された長尺の可撓性支持部材と、少なくとも前記第1光通信ユニットを被覆する被覆部材とを備えている光データ伝送装置。
Is installed in the fixed installation along a moving path of the moving equipment, an optical data transmission apparatus for transmitting and receiving an optical signal via the space between said mobile equipment,
A plurality of first optical communication units each having a light emitting unit that emits light in a predetermined wavelength region and a light receiving unit that receives light in the wavelength region, and the first optical communication units are arranged at predetermined postures and intervals. An optical data transmission device comprising a long and flexible support member and a covering member that covers at least the first optical communication unit.
前記被覆部材は、前記波長領域の光を透過する部位を含む可撓性チューブにて構成され、
前記可撓性支持部材は、前記可撓性チューブに形成された保持部により所定の姿勢で保持された状態で前記可撓性チューブ内に収容されている請求項1記載の光データ伝送装置。
The covering member is composed of a flexible tube including a portion that transmits light in the wavelength region,
The optical data transmission apparatus according to claim 1, wherein the flexible support member is accommodated in the flexible tube in a state of being held in a predetermined posture by a holding portion formed on the flexible tube.
各第1光通信ユニットの発光部が共通の送信信号線に接続されるとともに、各第1光通信ユニットの受光部が共通の受信信号線に接続され、前記送信信号線及び受信信号線が前記可撓性支持部材の一端部側に配置された集信装置に接続されている請求項1又は2記載の光データ伝送装置。   The light emitting unit of each first optical communication unit is connected to a common transmission signal line, the light receiving unit of each first optical communication unit is connected to a common reception signal line, and the transmission signal line and the reception signal line are The optical data transmission apparatus according to claim 1, wherein the optical data transmission apparatus is connected to a concentrator disposed on one end side of the flexible support member. 前記可撓性支持部材の一端部側に、前記送信信号線及び受信信号線を介して請求項3記載の他の光データ伝送装置が接続可能に構成されている請求項3記載の光データ伝送装置。   The optical data transmission according to claim 3, wherein another optical data transmission device according to claim 3 is connectable to one end of the flexible support member via the transmission signal line and the reception signal line. apparatus. 前記他の光データ伝送装置との接続箇所に前記第1光通信ユニットへの電源電圧を供給する電源供給部が備えられている請求項4記載の光データ伝送装置。   The optical data transmission apparatus according to claim 4, further comprising a power supply unit that supplies a power supply voltage to the first optical communication unit at a connection location with the other optical data transmission apparatus. 前記移動設備が任意の曲率で設置された湾曲部を有する軌道に沿って走行するように構成され、前記可撓性支持部材が前記湾曲部に沿って配置されている請求項1から5の何れかに記載の光データ伝送装置。   6. The device according to claim 1, wherein the moving equipment is configured to travel along a track having a curved portion installed with an arbitrary curvature, and the flexible support member is disposed along the curved portion. An optical data transmission apparatus according to claim 1. 一方が送受信の光軸を前記第1光通信ユニットの並び方向と直交する方向から走行前方側に傾けた傾斜姿勢で配置されるとともに、他方が送受信の光軸を前記第1光通信ユニットの並び方向と直交する方向から走行後方側に傾けた傾斜姿勢で配置され、前記波長領域に対応した発光部及び受光部を夫々に備えた一対の第2光通信ユニットが搭載された前記移動設備に対して、前記第1光通信ユニットは、その何れかが少なくとも一方の第2光通信ユニットと交信可能な状態となる間隔で前記可撓性支持部材に配置されている請求項1から6の何れかに記載の光データ伝送装置。   One is arranged in an inclined posture in which the optical axis for transmission / reception is tilted forward from the direction orthogonal to the direction in which the first optical communication units are arranged, and the other is arranged for the optical axis for transmission / reception in the arrangement of the first optical communication units. With respect to the mobile equipment equipped with a pair of second optical communication units that are arranged in an inclined posture inclined from the direction orthogonal to the direction to the traveling rear side, each having a light emitting unit and a light receiving unit corresponding to the wavelength region Any one of the first optical communication units is disposed on the flexible support member at an interval at which any one of the first optical communication units can communicate with at least one second optical communication unit. 2. An optical data transmission apparatus according to 1.
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