JP4963561B2 - Catalyst and method for producing the same - Google Patents

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Description

本発明は、白金または白金系合金を用いた新規な触媒およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a novel catalyst using platinum or a platinum-based alloy and a method for producing the same.

燃料電池は、発電効率が高く、また環境への負荷となるNOx、SOx、PMなどの有害物質の排出量を低減できることから、近年注目されてきている。燃料電池は、固体酸化物形燃料電池(SOFC:Solid Oxide Fuel Cell)、溶融炭酸塩形燃料電池(MCFC:Molten Carbonate Fuel Cell)、リン酸形燃料電池(PAFC:Phosphoric Acid Fuel Cell)、固体高分子形燃料電池(PEFC:Polymer Electrolyte Fuel Cell)に大きく分けられる。中でも、固体高分子形燃料電池は、固体酸化物形燃料電池およびリン酸形燃料電池と比較して低温で効率よく発電ができることから、活発な研究が行なわれている。 Fuel cells have been attracting attention in recent years because of their high power generation efficiency and the ability to reduce emissions of harmful substances such as NO x , SO x , and PM, which are burdens on the environment. Fuel cells include solid oxide fuel cells (SOFCs), molten carbonate fuel cells (MCFCs), phosphoric acid fuel cells (PAFCs), solid high fuel cells. It can be broadly divided into molecular fuel cells (PEFC). In particular, solid polymer fuel cells are actively researched because they can efficiently generate power at a lower temperature than solid oxide fuel cells and phosphoric acid fuel cells.

PEFCは、パーフルオロスルフォン酸膜などのイオン交換膜を電解質とし、このイオン交換膜の両面にアノードとカソードの各電極を接合してなる基本構造を備える。燃料電池の発電は、アノードに水素、カソードに酸素を供給して、各電極で下記の電気化学反応をさせることで、化学エネルギーを燃焼過程を経ずに電気エネルギーとして取り出すことができる。   The PEFC has a basic structure in which an ion exchange membrane such as a perfluorosulfonic acid membrane is used as an electrolyte, and anode and cathode electrodes are joined to both surfaces of the ion exchange membrane. In power generation of the fuel cell, hydrogen is supplied to the anode and oxygen is supplied to the cathode, and the following electrochemical reaction is performed at each electrode, whereby chemical energy can be taken out as electric energy without going through a combustion process.

アノード: H2→2H++2e-
カソード: 1/2O2+2H++2e-→H2
全反応: H2+1/2O2→H2
しかし、燃料として水素を直接的に用いると、水素の貯蔵方法やエネルギーの体積密度が小さい点で問題があるため、実用的には、メタンやメタノールなどを燃料として用い、これを水素に転化させて用いている。しかし、この場合、燃料には不純物として一酸化炭素(CO)や二酸化炭素(CO2)が含まれる。燃料電池においては、通常、アノード電極触媒として白金、パラジウム、ルテニウムなどの貴金属系触媒が用いられているが、この触媒が一酸化炭素により被毒してしまい、経時的に特性が劣化してしまうという問題があった。
Anode: H 2 → 2H + + 2e
Cathode: 1 / 2O 2 + 2H + + 2e → H 2 O
Total reaction: H 2 + 1 / 2O 2 → H 2 O
However, if hydrogen is used directly as a fuel, there is a problem in terms of the storage method of hydrogen and the volume density of energy being small, so practically, methane, methanol, etc. are used as fuel and converted to hydrogen. Used. However, in this case, the fuel contains carbon monoxide (CO) and carbon dioxide (CO 2 ) as impurities. In fuel cells, noble metal catalysts such as platinum, palladium, and ruthenium are usually used as anode electrode catalysts. However, this catalyst is poisoned by carbon monoxide, and its characteristics deteriorate over time. There was a problem.

また、燃料としてメタノールを用い、メタノールを水素に転化させることなく、直接電極上で反応させる直接メタノール形燃料電池(DMFC:Direct Methanol Fuel Cell)も近年、特に注目を浴びている。直接メタノール形燃料電池では、メタノールを水素に改質するための改質器を用いる必要がなく、小型軽量化された燃料電池を実現することができるという利点がある。DMFCでの電極での反応は、以下のように行われる。   In recent years, direct methanol fuel cells (DMFC) that use methanol as a fuel and react directly on an electrode without converting the methanol into hydrogen have attracted particular attention in recent years. In the direct methanol fuel cell, there is no need to use a reformer for reforming methanol into hydrogen, and there is an advantage that a fuel cell reduced in size and weight can be realized. The reaction at the electrode in DMFC is performed as follows.

メタノール燃料極(アノード極):CH3OH+H2O→CO2+6H++6e-
空気極(カソード極): 3/2O2+6H++6e-→3H2
全反応: CH3OH+3/2O2→CO2+2H2
しかし、直接メタノール形燃料電池でも、中間生成物として一酸化炭素が発生するため、やはりアノード電極触媒の被毒の問題がある。
Methanol fuel electrode (anode electrode): CH 3 OH + H 2 O → CO 2 + 6H + + 6e
Air electrode (cathode electrode): 3 / 2O 2 + 6H + + 6e → 3H 2 O
Total reaction: CH 3 OH + 3 / 2O 2 → CO 2 + 2H 2 O
However, even in the direct methanol fuel cell, carbon monoxide is generated as an intermediate product, so that there is still a problem of poisoning of the anode electrode catalyst.

これらのアノード電極触媒の被毒の問題を解消すべく、従来、白金と他の金属、例えばルテニウム(Ru)、ロジウム(Rh)、モリブデン(Mo)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)、錫(Sn)などから選ばれる1種以上との合金(白金系合金)を用いた様々な触媒を用いることが提案されてきている(たとえば、特許文献1〜6を参照)。中でも、白金−ルテニウム系合金触媒は、親水性を有するルテニウムを用いることにより、このルテニウムと結合した水酸基(OH-)が白金上に吸着した一酸化炭素を酸化、除去することにより、比較的高い被毒耐性を得ることができる。
特開平9−035723号公報 特開2000−003712号公報 特開2000−012043号公報 特開2001−015121号公報 特開2003−187851号公報 特開2005−123169号公報 Andrew et al., "Increasing Proton Exchange Membrane Fuel Cell Catalyst Effectiveness Through Sputter Deposition". Journal of The Electrochemical Society 149(3). p.280−287, 2002. Katayama., "Electrooxidation of Methanol on a Platinum−Tin Oxide Catalyst". The Journal of Physical Chemistry 84, p.376−381, 1980. Rajesh et al., "Electronically conducting hybrid material as high performance catalyst support for electrocatalytic application". Journal of Power Sources 141, p.35−38, 2005. Iwasita., "Electrocatalysis of Methanol Oxidation". Electrochimica Acta 47, p.3663−3674, 2002.
Conventionally, platinum and other metals such as ruthenium (Ru), rhodium (Rh), molybdenum (Mo), osmium (Os), iridium (Ir), tin, and the like have been used to eliminate the problem of poisoning of these anode electrode catalysts. It has been proposed to use various catalysts using an alloy (platinum alloy) with one or more selected from (Sn) or the like (for example, see Patent Documents 1 to 6). Among them, the platinum-ruthenium alloy catalyst is relatively high by using ruthenium having hydrophilicity, and oxidizing and removing carbon monoxide adsorbed on platinum by the hydroxyl group (OH ) bonded to the ruthenium. Poisoning resistance can be obtained.
Japanese Patent Laid-Open No. 9-035723 JP 2000-003712 A JP 2000-012043 A JP 2001-015121 A Japanese Patent Laid-Open No. 2003-187851 JP-A-2005-123169 Andrew et al., "Increasing Proton Exchange Membrane Fuel Cell Catalyst Effectiveness Through Sputter Deposition". Journal of The Electrochemical Society 149 (3). P.280-287, 2002. Katayama., "Electrooxidation of Methanol on a Platinum-Tin Oxide Catalyst". The Journal of Physical Chemistry 84, p.376-381, 1980. Rajesh et al., "Electronically conducting hybrid material as high performance catalyst support for electrocatalytic application". Journal of Power Sources 141, p.35-38, 2005. Iwasita., "Electrocatalysis of Methanol Oxidation". Electrochimica Acta 47, p.3663-3674, 2002.

しかしながら、これらの従来提案されてきた合金系触媒は、いずれも高価なものであり、また、実用化に十分な程度に高い被毒耐性が得られているものとは言い難く、さらに有用な触媒の開発が求められている。   However, these conventionally proposed alloy-based catalysts are all expensive, and it is difficult to say that high poisoning resistance sufficient for practical use is obtained, and more useful catalysts. Development is required.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的とするところは、一酸化炭素被毒による活性の経時的劣化を抑制することができる触媒を従来よりも安価に製造することができる触媒の製造方法、および当該方法で得られた触媒を提供することである。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and the object of the present invention is to produce a catalyst that can suppress the deterioration of the activity over time due to carbon monoxide poisoning at a lower cost than conventional ones. It is providing the manufacturing method of the catalyst which can be performed, and the catalyst obtained by the said method.

本発明の触媒は、白金または白金系合金と炭素との複合化触媒であって、X線光電子分光分析装置を用いて測定された当該複合化触媒の白金または白金系合金の4f軌道のピークが0.01〜0.40eVの範囲内で高エネルギー側にシフトしていることを特徴とする。   The catalyst of the present invention is a composite catalyst of platinum or a platinum-based alloy and carbon, and the peak of the 4f orbit of platinum or the platinum-based alloy of the composite catalyst measured using an X-ray photoelectron spectrometer is used. It is characterized by shifting to the high energy side within a range of 0.01 to 0.40 eV.

本発明の触媒は、原子組成における炭素のモル比が0.1〜85%であることが、好ましい。   The catalyst of the present invention preferably has a carbon molar ratio in the atomic composition of 0.1 to 85%.

本発明の触媒は、燃料電池用電極の触媒として特に好適に用いることができる。
本発明はまた、白金または白金系合金に炭素源を導入しながらPVD法またはCVD法を行うことによって、白金または白金系合金に炭素を複合化させた状態で成膜することを特徴とする触媒の製造方法を提供する。
The catalyst of the present invention can be particularly suitably used as a catalyst for fuel cell electrodes.
The present invention also provides a catalyst characterized in that a film is formed in a state where carbon is combined with platinum or a platinum-based alloy by performing a PVD method or a CVD method while introducing a carbon source into platinum or the platinum-based alloy. A manufacturing method is provided.

本発明の触媒の製造方法において、炭素源として炭素数1〜7の脂肪族炭化水素または芳香族炭化水素を用いることが好ましい。   In the method for producing a catalyst of the present invention, it is preferable to use an aliphatic hydrocarbon or aromatic hydrocarbon having 1 to 7 carbon atoms as a carbon source.

また本発明の触媒の製造方法では、前記成膜後、水素系プラズマ処理を施すことが好ましい。   In the catalyst production method of the present invention, it is preferable to perform a hydrogen-based plasma treatment after the film formation.

本発明によれば、触媒に用いられる貴金属材料の使用量を従来より低減することができ、かつ、貴金属材料の利用効率を高めつつ、従来よりも一酸化炭素に対する被毒耐性が向上された触媒を提供することができる。また本発明の触媒の製造方法は、大面積の処理が可能であるため、産業化が期待できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the usage-amount of the noble metal material used for a catalyst can be reduced conventionally, and the poisoning tolerance with respect to carbon monoxide is improved rather than before, improving the utilization efficiency of a noble metal material. Can be provided. Moreover, since the manufacturing method of the catalyst of this invention can process a large area, it can anticipate industrialization.

本発明は、白金または白金系合金と炭素との複合化触媒を提供する。本発明において「複合化触媒」とは、白金または白金系合金と炭素とが原子レベルで一体化して複合化されている触媒を指し、後述するX線光電子分光分析装置で測定された白金の4f軌道のピークが高エネルギー側にシフトしているか否かで、白金または白金系合金を用いた複合触媒であるか否かを判断することができる。   The present invention provides a composite catalyst of platinum or a platinum-based alloy and carbon. In the present invention, the “composite catalyst” refers to a catalyst in which platinum or a platinum-based alloy and carbon are integrated and combined at an atomic level, and 4f of platinum measured by an X-ray photoelectron spectrometer described later. Whether or not the catalyst is a composite catalyst using platinum or a platinum-based alloy can be determined based on whether or not the peak of the orbit is shifted to the high energy side.

本発明の複合化触媒において、炭素と複合化させる貴金属材料としては、白金または白金系合金が用いられる。白金系合金としては、たとえば、白金と、ルテニウム(Ru)、ニッケル(Ni)、コバルト(Co)、鉄(Fe)、スズ(Sn)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ロジウム(Rh)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)、クロム(Cr)、チタン(Ti)などから選ばれる1種以上の金属との合金を用いることができ、特に制限されるものではないが、一酸化炭素を酸化する水酸基(−OH)を供給し、あるいは一酸化炭素との吸着力を弱め反応活性点を確保する効果が顕著であると考えられる、白金−ルテニウム系合金、白金−ニッケル系合金、白金−コバルト系合金または白金−鉄系合金を好ましく用いることができる。   In the composite catalyst of the present invention, platinum or a platinum-based alloy is used as the noble metal material composited with carbon. Examples of platinum alloys include platinum, ruthenium (Ru), nickel (Ni), cobalt (Co), iron (Fe), tin (Sn), tungsten (W), molybdenum (Mo), and tantalum (Ta). An alloy with one or more metals selected from niobium (Nb), rhodium (Rh), osmium (Os), iridium (Ir), chromium (Cr), titanium (Ti), and the like can be used, and is particularly limited. Although not, platinum-ruthenium is considered to have a remarkable effect of supplying a hydroxyl group (—OH) that oxidizes carbon monoxide, or weakening the adsorption power with carbon monoxide to secure a reactive site. An alloy based on platinum, a nickel-nickel alloy, a platinum-cobalt alloy or a platinum-iron alloy can be preferably used.

図1は、本発明の複合化触媒および従来の白金について、X線光電子分光分析装置(ESCA:Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)を用いて測定した結果を示すグラフである。図1のグラフにおいて、縦軸は強度(Arb. Units)、横軸は結合エネルギー(eV)である。本発明の複合化触媒は、X線光電子分光分析装置を用いて測定された当該複合化触媒における白金または白金系合金の4f軌道のピークが0.01〜0.40eV(好ましくは0.05〜0.15eV)の範囲内で高エネルギー側にシフト(ケミカルシフト)していることを特徴とする。X線光電子分光分析装置は、試料表面にX線を照射することにより、試料表面から元素ごとに固有のエネルギーを有する光電子を放出させ、この光電子のエネルギー位置と強度とから元素の種類、量および化学結合状態を分析する装置であり、たとえばPHI 5700 ESCA(フィジカルエレクトロニクス社製)を好適に用いることができる。図1には、本発明の複合化触媒の一例として、X線光電子分光分析装置を用いて測定された当該複合化触媒における白金の4f軌道のピークのシフトが高エネルギー側に0.16eV、炭素のモル比が80%(白金:炭素=20:80)である白金と炭素との複合化触媒を用いた場合(後述する参考例1;図1中、曲線B)、ならびに、X線光電子分光分析装置を用いて測定された当該複合化触媒における白金の4f軌道のピークのシフトが高エネルギー側に0.09eV、炭素のモル比が53%(白金:炭素=47:53)である白金と炭素との複合化触媒を用いた場合(後述する実施例;図1中、曲線C)を示している。また、図1には、従来の白金触媒の一例として、X線光電子分光分析装置を用いて測定された白金の4f軌道のピークのシフトが0eV(白金のモル比:100%)の場合も示している(図1中、曲線A)。 FIG. 1 is a graph showing the results obtained by measuring the composite catalyst of the present invention and conventional platinum using an X-ray photoelectron spectroscopy (ESCA). In the graph of FIG. 1, the vertical axis represents strength (Arb. Units), and the horizontal axis represents binding energy (eV). In the composite catalyst of the present invention, the peak of 4f orbit of platinum or platinum-based alloy in the composite catalyst measured using an X-ray photoelectron spectrometer is 0.01 to 0.40 eV (preferably 0.05 to It is characterized by a shift (chemical shift) to the high energy side within the range of 0.15 eV). The X-ray photoelectron spectroscopic analyzer emits photoelectrons having specific energy for each element from the sample surface by irradiating the sample surface with X-rays, and the type, amount, and amount of the element from the energy position and intensity of the photoelectron. An apparatus for analyzing a chemical bonding state, for example, PHI 5700 ESCA (manufactured by Physical Electronics) can be suitably used. In FIG. 1, as an example of the composite catalyst of the present invention, the peak shift of 4f orbit of platinum in the composite catalyst measured using an X-ray photoelectron spectrometer is 0.16 eV on the high energy side, carbon When a platinum-carbon composite catalyst having a molar ratio of 80% (platinum: carbon = 20: 80) is used ( Reference Example 1 described later; curve B in FIG. 1), and X-ray photoelectron spectroscopy The platinum 4f orbit peak shift in the composite catalyst measured using an analyzer is 0.09 eV on the high energy side and the molar ratio of carbon is 53% (platinum: carbon = 47: 53). The case where a composite catalyst with carbon is used (Example 1 described later; curve C in FIG. 1) is shown. FIG. 1 also shows an example of a conventional platinum catalyst in which the peak shift of the 4f orbit of platinum measured using an X-ray photoelectron spectrometer is 0 eV (platinum molar ratio: 100%). (Curve A in FIG. 1).

白金をX線光電子分光分析装置にて測定した場合、71.8eV、75.1eVに白金4f軌道のピークが現れ(図1中、曲線Aを参照)、またたとえば白金系合金の一例として白金−ルテニウム系合金を光電子分光分析装置にて測定した場合、71.1eV、74.4eVに白金−ルテニウム系合金中に含まれる白金の4f軌道のピークが現れる。本発明の複合化触媒では、複合化前の白金または白金系合金をX線光電子分光分析装置にて測定した場合に現れるピークが、上述した範囲内で高エネルギー側にシフトしたものである。なお、シフトの値は、各ピークの極大値の差から算出することができる。   When platinum is measured with an X-ray photoelectron spectrometer, a peak of platinum 4f orbit appears at 71.8 eV and 75.1 eV (see curve A in FIG. 1). For example, platinum- When a ruthenium-based alloy is measured with a photoelectron spectroscopic analyzer, a peak of 4f orbit of platinum contained in the platinum-ruthenium-based alloy appears at 71.1 eV and 74.4 eV. In the composite catalyst of the present invention, the peak appearing when platinum or a platinum-based alloy before composite is measured with an X-ray photoelectron spectrometer is shifted to the high energy side within the above-mentioned range. The shift value can be calculated from the difference between the maximum values of the peaks.

図2は、本発明の複合化触媒の一酸化炭素に対する被毒耐性を示すグラフであり、縦軸は標準化された電流密度、横軸は時間(分)を示す。本発明の複合化触媒は、従来用いられていた白金触媒や白金系合金触媒と比較して、一酸化炭素に対する被毒耐性が格段に向上される。図2には、本発明の複合化触媒の一例として、X線光電子分光分析装置を用いて測定された当該複合化触媒における白金の4f軌道のピークのシフトが高エネルギー側に0.16eV、炭素のモル比が80%(白金:炭素=20:80)である白金と炭素との複合化触媒を用いた場合(後述する参考例1;図2中、曲線B)、ならびに、X線光電子分光分析装置を用いて測定された当該複合化触媒における白金の4f軌道のピークのシフトが高エネルギー側に0.09eV、炭素のモル比が53%(白金:炭素=47:53)である白金と炭素との複合化触媒を用いた場合(後述する実施例;図2中、曲線C)を示している。また、図2には、従来の白金触媒の一例として、X線光電子分光分析装置を用いて測定された白金の4f軌道のピークのシフトが0eV(白金のモル比:100%)の場合も示している(図2中、曲線A)。 FIG. 2 is a graph showing the poisoning resistance to carbon monoxide of the composite catalyst of the present invention, in which the vertical axis indicates the standardized current density and the horizontal axis indicates time (minutes). The composite catalyst of the present invention has a significantly improved resistance to poisoning against carbon monoxide as compared with conventionally used platinum catalysts and platinum-based alloy catalysts. In FIG. 2, as an example of the composite catalyst of the present invention, the peak shift of platinum 4f orbit in the composite catalyst measured using an X-ray photoelectron spectrometer is 0.16 eV on the high energy side, carbon When a composite catalyst of platinum and carbon having a molar ratio of 80% (platinum: carbon = 20: 80) is used ( Reference Example 1 described later; curve B in FIG. 2), and X-ray photoelectron spectroscopy The platinum 4f orbit peak shift in the composite catalyst measured using an analyzer is 0.09 eV on the high energy side and the molar ratio of carbon is 53% (platinum: carbon = 47: 53). The case where a composite catalyst with carbon is used (Example 1 described later; curve C in FIG. 2) is shown. FIG. 2 also shows an example of a conventional platinum catalyst in which the peak shift of the 4f orbit of platinum measured using an X-ray photoelectron spectrometer is 0 eV (platinum molar ratio: 100%). (Curve A in FIG. 2).

なお、図2に示されるグラフは、図3に模式的に示すような設備を用いた三極式の電気化学測定により、メタノールの酸化により生じた一酸化炭素に対する電流密度の経時的な減衰率を測定した実験結果を示している。三極式の電気化学測定とは、化学物質の変化を電気化学反応として捉え、この化学反応を電位、電流などを測定尺度として調べる方法を指し、たとえば図3に示すような設備を用いて行うことができる。すなわち、水槽2に収容された電解質中に、作用極3、対極4および参照極5を浸漬する。ここで、作用極3としては、たとえば円柱状グラッシーカーボンの端面に触媒を成膜したものが用いられ、対極4としては白金線が用いられ、参照極5としてはAg/AgCl(sat.KCl)が用いられる。作用極3、対極4および参照極5はポテンショスタットを介して電気的に接続され、作用極3および参照極5間で電位を測定し、作用極3および対極4間で電流を測定する。一酸化炭素に対する被毒耐性を測定する場合、水槽2内には、たとえば、0.5M H2SO4と1M CH3OHとの混合液(20℃)が収容される。なお、水槽2中の混合液には、ガス導入管6を介して窒素(N2)が送気される。このような設備を用いて、作用極3および参照極5間での電位を570mVの定電位にして、作用極3および対極4間で電流を電気化学測定システムHZ−5700(北斗電工社製)を用いて測定する。図2に結果を示した実験では、このような図3に示した設備を用い、測定開始後30秒後の電流密度を1とし(規格化し)、120分後の電流密度の減衰率(%)を測定した。 Note that the graph shown in FIG. 2 shows the decay rate of current density over time for carbon monoxide generated by methanol oxidation by tripolar electrochemical measurement using the equipment schematically shown in FIG. The experimental result which measured was shown. Tripolar electrochemical measurement refers to a method in which changes in chemical substances are regarded as electrochemical reactions, and the chemical reactions are examined using potential, current, and the like as measurement scales. For example, the measurement is performed using equipment as shown in FIG. be able to. That is, the working electrode 3, the counter electrode 4 and the reference electrode 5 are immersed in the electrolyte accommodated in the water tank 2. Here, as the working electrode 3, for example, a cylindrical glassy carbon end face with a catalyst film is used, the counter electrode 4 is a platinum wire, and the reference electrode 5 is Ag / AgCl (sat. KCl). Is used. The working electrode 3, the counter electrode 4, and the reference electrode 5 are electrically connected via a potentiostat, measure the potential between the working electrode 3 and the reference electrode 5, and measure the current between the working electrode 3 and the counter electrode 4. When measuring the poisoning resistance against carbon monoxide, a mixed liquid (20 ° C.) of 0.5 MH 2 SO 4 and 1M CH 3 OH is accommodated in the water tank 2, for example. Note that nitrogen (N 2 ) is supplied to the mixed liquid in the water tank 2 through the gas introduction pipe 6. Using such equipment, the potential between the working electrode 3 and the reference electrode 5 is set to a constant potential of 570 mV, and the current is measured between the working electrode 3 and the counter electrode 4 by an electrochemical measurement system HZ-5700 (manufactured by Hokuto Denko). Use to measure. In the experiment whose result is shown in FIG. 2, the current density at 30 seconds after the start of measurement is set to 1 (normalized) using the equipment shown in FIG. 3, and the decay rate of current density after 120 minutes (%) ) Was measured.

図2に示すように、本発明の複合化触媒(図1および図2中、曲線BおよびC)は、従来の白金触媒(図1および図2中、曲線A)と比較して、測定開始120分後における電流密度の減衰率(%)が格段に低いことが分かる。図3に示したように、水槽2中に収容された混合液はメタノールを含んでおり、測定が進むにつれて混合液中のメタノールは酸化され、中間生成物の1つとして一酸化炭素が生成される。したがって、上記電流密度の減衰率は、触媒の一酸化炭素に対する被毒耐性を示すことになり、この電流密度の減衰率が格段に低い本発明の複合化触媒は、従来の白金触媒と比較して格段に優れた一酸化炭素に対する被毒耐性を有することが分かる。   As shown in FIG. 2, the composite catalyst of the present invention (curves B and C in FIG. 1 and FIG. 2) starts measurement compared to the conventional platinum catalyst (curve A in FIG. 1 and FIG. 2). It can be seen that the decay rate (%) of the current density after 120 minutes is remarkably low. As shown in FIG. 3, the mixed solution accommodated in the water tank 2 contains methanol, and as the measurement proceeds, the methanol in the mixed solution is oxidized, and carbon monoxide is generated as one of the intermediate products. The Therefore, the current density decay rate indicates the poisoning resistance of the catalyst against carbon monoxide, and the composite catalyst of the present invention, which has a much lower current density decay rate than the conventional platinum catalyst. It can be seen that it has extremely excellent poisoning resistance to carbon monoxide.

本発明の複合化触媒では、一酸化炭素に対する被毒耐性を付与するために従来用いられていた貴金属材料(たとえば、白金−ルテニウム系合金触媒の場合には、一酸化炭素に対する被毒耐性を付与するルテニウム成分)の使用量が従来より低くとも、従来よりも優れた一酸化炭素に対する被毒耐性を有する触媒を実現できる。このような本発明の複合化触媒によれば、触媒に用いられる貴金属材料の使用量を従来より低減することができ、かつ、貴金属材料の利用効率を高めつつ、従来よりも一酸化炭素に対する被毒耐性が向上された触媒を提供することができる。   In the composite catalyst of the present invention, a noble metal material conventionally used for imparting poisoning resistance to carbon monoxide (for example, in the case of a platinum-ruthenium alloy catalyst, poisoning resistance to carbon monoxide is imparted. Even if the amount of the ruthenium component used) is lower than that of the prior art, it is possible to realize a catalyst having better poisoning resistance to carbon monoxide than in the past. According to such a composite catalyst of the present invention, the amount of the noble metal material used for the catalyst can be reduced as compared with the conventional one, and the utilization efficiency of the noble metal material can be improved while the carbon monoxide is covered more than before. A catalyst with improved poison resistance can be provided.

本発明の複合化触媒において、X線光電子分光分析装置を用いて測定された当該複合化触媒における白金または白金系合金の4f軌道のピークが上述した範囲内で高エネルギー側にシフトしているものであれば、当該複合化触媒における炭素のモル比は、特に制限されるものではないが、0.1〜85%の範囲内であるのが好ましい。炭素のモル比が0.1%未満である場合には、白金と炭素との複合化がみられない虞があり、また、炭素のモル比が85%を超える場合には、白金の反応活性点を妨げる虞があると考えられるためである。なお、本発明の複合化触媒における炭素のモル比は、上述したX線光電子分光分析装置(たとえばPHI 5700 ESCA(フィジカルエレクトロニクス社製))を用いて、各元素に対するピーク面積から算出することができる。   In the composite catalyst of the present invention, the 4f orbital peak of platinum or platinum-based alloy in the composite catalyst measured using an X-ray photoelectron spectrometer is shifted to the high energy side within the above-mentioned range. If so, the molar ratio of carbon in the composite catalyst is not particularly limited, but is preferably in the range of 0.1 to 85%. When the molar ratio of carbon is less than 0.1%, there is a possibility that platinum and carbon are not complexed. When the molar ratio of carbon exceeds 85%, the reaction activity of platinum This is because it is considered that there is a possibility of obstructing the point. The molar ratio of carbon in the composite catalyst of the present invention can be calculated from the peak area for each element using the above-described X-ray photoelectron spectrometer (for example, PHI 5700 ESCA (manufactured by Physical Electronics)). .

なお、図2において、X線光電子分光分析装置を用いて測定された複合化触媒における白金4f軌道のピークのシフトが0.16eV、炭素のモル比が80%(白金:炭素=20:80)である白金と炭素との複合化触媒を用いた場合(図2中、曲線B)と比較して、X線光電子分光分析装置を用いて測定された複合化触媒における白金4f軌道のピークのシフトが0.09eV、炭素のモル比が47%(白金:炭素=47:53)である白金と炭素との複合化触媒を用いた場合(図2中、曲線C)には、測定開始120分後の減衰率(%)が格段に向上されている。このように、本発明の複合化触媒における炭素のモル比は、上記中でも特に10〜70%の範囲内であると、特に優れた一酸化炭素に対する被毒耐性を示すため、好ましい。このように、本発明の複合化触媒における炭素のモル比が10〜70%の範囲内である場合に特に優れた一酸化炭素に対する被毒耐性を示す理由は、その詳細は不明であるが、白金の微粒子化、または白金と炭素の相互作用による白金の電子構造の変化によるものであると考えられる。   In FIG. 2, the peak shift of the platinum 4f orbit in the composite catalyst measured using an X-ray photoelectron spectrometer was 0.16 eV, and the molar ratio of carbon was 80% (platinum: carbon = 20: 80). Shift of the peak of the platinum 4f orbit in the composite catalyst measured using an X-ray photoelectron spectrometer compared to the case of using a composite catalyst of platinum and carbon (curve B in FIG. 2) Is 0.09 eV, and when a platinum-carbon composite catalyst having a carbon molar ratio of 47% (platinum: carbon = 47: 53) is used (curve C in FIG. 2), the measurement starts 120 minutes. The later decay rate (%) has been greatly improved. Thus, the molar ratio of carbon in the composite catalyst of the present invention is preferably in the range of 10 to 70% among the above, because particularly excellent poisoning resistance to carbon monoxide is exhibited. Thus, the reason why the poisoning resistance to carbon monoxide particularly excellent when the molar ratio of carbon in the composite catalyst of the present invention is in the range of 10 to 70% is unknown, This is thought to be due to the change in the electronic structure of platinum due to the formation of fine particles of platinum or the interaction between platinum and carbon.

本発明の複合化触媒は、従来の白金触媒や白金系合金触媒と比較して、より大きな実面積を有する。具体的には、たとえば従来の白金触媒の実面積が0.20〜0.45cm2程度であったのに対し、本発明の複合化触媒では、0.45〜2.9cm2程度の実面積を有する。このように本発明の複合化触媒の実面積が従来の白金触媒や白金系合金触媒と比較して大きいことは、白金または白金系合金に炭素を複合化させたことで、触媒表面の凹凸が増え、また微粒子化されたことに起因すると考えられる。 The composite catalyst of the present invention has a larger actual area than conventional platinum catalysts and platinum alloy catalysts. Specifically, for example, the actual area of the conventional platinum catalyst was about 0.20 to 0.45 cm 2 , whereas the composite catalyst of the present invention has an actual area of about 0.45 to 2.9 cm 2. Have As described above, the actual area of the composite catalyst of the present invention is larger than that of the conventional platinum catalyst and platinum-based alloy catalyst. It is thought to be due to the increase and the fine particles.

ここで、実面積とは、複合化触媒における表面の凹凸を考慮した白金の面積を指し、上述した三極式の電気化学測定により測定されたサイクリックボルタンメトリーから算出することができる。ここで、図4は、本発明の複合化触媒および従来の白金触媒のサイクリックボルタンメトリー(電解質:0.5M H2SO4)の一例を示すグラフであり、縦軸は電流(mA)、横軸は電位(V vs Ag/AgCl)である。また図5は、本発明の複合化触媒および従来の白金触媒のサイクリックボルタンメトリー(電解質:0.5M H2SO4+1M CH3OH)の一例を示すグラフであり、縦軸は電流密度(mA/cm2)、横軸は電位(V vs Ag/AgCl)である。図4および図5に示したようなサイクリックボルタンメトリーは、たとえば、図3を参照して上述したような設備を用いた三極式の電気化学測定によって測定された値から作成することができる。なお、図4および図5に示したサイクリックボルタンメトリーは、ガス導入管6にて窒素(N2)を電解質中に送気し、スキャン速度を100mV/秒で測定を行った結果をグラフ化したものである。 Here, the actual area refers to the area of platinum in consideration of surface irregularities in the composite catalyst, and can be calculated from the cyclic voltammetry measured by the above-described tripolar electrochemical measurement. Here, FIG. 4 is a graph showing an example of cyclic voltammetry (electrolyte: 0.5 MH 2 SO 4 ) of the composite catalyst of the present invention and a conventional platinum catalyst, and the vertical axis represents current (mA), horizontal The axis is the potential (V vs Ag / AgCl). FIG. 5 is a graph showing an example of cyclic voltammetry (electrolyte: 0.5 MH 2 SO 4 + 1M CH 3 OH) of the composite catalyst of the present invention and a conventional platinum catalyst, and the vertical axis represents current density (mA). / Cm 2 ), the horizontal axis is the potential (V vs Ag / AgCl). Cyclic voltammetry as shown in FIG. 4 and FIG. 5 can be created from values measured by tripolar electrochemical measurements using equipment as described above with reference to FIG. 3, for example. The cyclic voltammetry shown in FIG. 4 and FIG. 5 is a graph showing the results of measuring nitrogen (N 2 ) into the electrolyte through the gas introduction tube 6 and measuring the scan speed at 100 mV / sec. Is.

図4および図5に示すサイクリックボルタンメトリーにおいて、本発明の複合化触媒についての結果を実線、従来の白金触媒についての結果を破線で示している。なお、図4および図5では、本発明の複合化触媒の一例として、上述したX線光電子分光分析装置を用いて測定された複合化触媒における白金の4f軌道のピークのシフトが高エネルギー側に0.09eV、炭素のモル比が53%(白金:炭素=47:53)である白金と炭素との複合化触媒を用いた場合(後述する実施例)についての結果を示している。図4に示される縦軸に電流(mA)をとった場合のサイクリックボルタンメトリーにおいて、(1)は水素イオンの吸着の挙動を示し、(2)は水素イオンの脱着の挙動を示し、(3)は酸化被膜生成の挙動を示し、(4)は酸化被膜の挙動を示している。 In the cyclic voltammetry shown in FIGS. 4 and 5, the results for the composite catalyst of the present invention are indicated by a solid line, and the results for a conventional platinum catalyst are indicated by a broken line. 4 and 5, as an example of the composite catalyst of the present invention, the shift of the peak of the 4f orbit of platinum in the composite catalyst measured using the X-ray photoelectron spectrometer described above is on the high energy side. The results are shown for a case where a composite catalyst of platinum and carbon having a molar ratio of 0.09 eV and a carbon molar ratio of 53% (platinum: carbon = 47: 53) was used (Example 1 described later). In cyclic voltammetry when the current (mA) is taken on the vertical axis shown in FIG. 4, (1) shows the adsorption behavior of hydrogen ions, (2) shows the desorption behavior of hydrogen ions, (3 ) Shows the behavior of the oxide film formation, and (4) shows the behavior of the oxide film.

上述した触媒における白金の実面積は、上記サイクリックボルタンメトリーから、水素原子の脱着の電気量(C)の値より、下記式により算出することができる。   The actual platinum area in the catalyst described above can be calculated from the cyclic voltammetry based on the value of the amount of electricity (C) for desorption of hydrogen atoms by the following equation.

白金の実面積(cm2
=水素原子の脱着の電気量(C)/210×10-6(C/cm2
ここで、分母の210×10-6(C/cm2)は、文献(電気化学測定マニュアル 実践編 電気化学会編 丸善株式会社 p.116−117)による値であり、触媒における白金の実面積の算出において通常用いられる値である。
Actual area of platinum (cm 2 )
= Electricity of desorption of hydrogen atoms (C) / 210 × 10 −6 (C / cm 2 )
Here, 210 × 10 −6 (C / cm 2 ) of the denominator is a value according to the literature (Electrochemical Measurement Manual Practice Edition, Electrochemical Society, Maruzen Co., Ltd. p.116-117), and the actual area of platinum in the catalyst It is a value normally used in the calculation of.

本発明の複合化触媒は、上述したように、一酸化炭素に対する被毒耐性に優れたものであり、直接メタノール形燃料電池を含めた固体高分子形燃料電池などの燃料電池電極用の触媒(アノード電極用の触媒)として好適に適用することができる。また、燃料電池電極用としての用途以外にも、水素ガス中の一酸化炭素除去用の触媒や、排ガス処理・浄化用の触媒などとしての用途も期待される。   As described above, the composite catalyst of the present invention is excellent in poisoning resistance against carbon monoxide, and is a catalyst for a fuel cell electrode such as a solid polymer fuel cell including a direct methanol fuel cell ( It can be suitably applied as a catalyst for an anode electrode). In addition to use as a fuel cell electrode, use as a catalyst for removing carbon monoxide in hydrogen gas, a catalyst for treating and purifying exhaust gas, and the like is also expected.

本発明の複合化触媒は、X線光電子分光分析装置を用いて測定された当該複合化触媒における白金または白金系合金の4f軌道のピークが0.01〜0.40eVの範囲内で高エネルギー側にシフトしている白金または白金系合金と炭素との複合化触媒であればよく、その製造方法は特に制限されるものではないが、白金または白金系合金に炭素源を導入しながらPVD(Physical Vapor Deposition)法またはCVD(Chemical Vapor Deposition)法を行うことによって、白金または白金系合金に炭素を複合化させた状態で成膜する方法により製造されたものであることが好ましい。本発明は、このように本発明の複合化触媒を製造するための方法も提供するものである。   The composite catalyst of the present invention has a 4f orbital peak of platinum or a platinum-based alloy in the composite catalyst measured using an X-ray photoelectron spectroscopic analyzer within the range of 0.01 to 0.40 eV. The catalyst may be a composite catalyst of platinum or a platinum-based alloy and carbon that has shifted to the above, and the production method is not particularly limited, but PVD (Physical) is introduced while introducing a carbon source into platinum or the platinum-based alloy. It is preferably manufactured by a method of forming a film in a state where carbon is combined with platinum or a platinum-based alloy by performing a vapor deposition (CVD) method or a chemical vapor deposition (CVD) method. The present invention thus also provides a method for producing the composite catalyst of the present invention.

本発明の触媒の製造方法において用いられるPVD法、CVD法としては、従来公知の各種のPVD法、CVD法を特に制限されることなく適用することができる。なお、PVD法は、スパッタリング法、真空蒸着法などを包含する。本発明の製造方法では、白金または白金系合金に炭素源を導入しながらPVD法またはCVD法を行うことで、白金または白金系合金に炭素を複合化させ、上述したようなX線光電子分光分析装置を用いて測定された白金または白金系合金の4f軌道のピークの特定範囲内のシフトを有する複合化触媒を製造する。このような本発明の製造方法によれば、上述した本発明の複合化触媒を好適に製造することができ、また、大面積の処理が可能であるため、産業化が期待できる。   As the PVD method and the CVD method used in the method for producing the catalyst of the present invention, various conventionally known PVD methods and CVD methods can be applied without particular limitation. Note that the PVD method includes a sputtering method, a vacuum deposition method, and the like. In the production method of the present invention, the PVD method or the CVD method is performed while introducing a carbon source into platinum or a platinum-based alloy, so that carbon is compounded into the platinum or platinum-based alloy, and the X-ray photoelectron spectroscopic analysis as described above is performed. A composite catalyst having a shift within a specific range of the peak of the 4f orbit of platinum or a platinum-based alloy measured using the apparatus is produced. According to such a production method of the present invention, the above-described composite catalyst of the present invention can be suitably produced, and a large area can be processed, so industrialization can be expected.

図6は、本発明の触媒の製造方法に好ましく用いられる装置の一例を模式的に示す図である。本発明の製造方法では、比較的高真空のスパッタが可能で、ターゲット電圧をプラズマ発生機構と独立にコントロールできることから、図6に示す例のような4極式プラズマスパッタ装置を用いて、白金または白金系合金に炭素源を導入しながら成膜を行うことが好ましい。このような4極式プラズマスパッタ装置としては、たとえば、VSD−61 4極スパッタ装置(NEC社製)を好適に用いることができる。   FIG. 6 is a view schematically showing an example of an apparatus preferably used in the method for producing a catalyst of the present invention. In the manufacturing method of the present invention, sputtering at a relatively high vacuum is possible, and the target voltage can be controlled independently of the plasma generation mechanism. Therefore, using a quadrupole plasma sputtering apparatus such as the example shown in FIG. It is preferable to perform film formation while introducing a carbon source into the platinum-based alloy. As such a quadrupole plasma sputtering apparatus, for example, a VSD-61 quadrupole sputtering apparatus (manufactured by NEC) can be suitably used.

図6に示す例の4極式プラズマスパッタ装置では、反応室12内に、陽極13および陰極14が対向して設けられ(図6中、紙面に関して、陽極13を上側、陰極14を下側に設置)、この陽極13と陰極14との間に、基板15とターゲット16とが対向して設けられる(図6中、紙面に関して、基板15を左側、ターゲット16を右側に設置)。また、陰極14の近傍には安定化電極17が設けられる。反応室12には、原料ガスを流入するための流入口18が設けられ、また、真空ポンプ19により反応室12内の空気を脱気し得るように構成される。さらに、反応室12の外側には、電磁気コイル20が設けられている。   In the quadrupole plasma sputtering apparatus of the example shown in FIG. 6, an anode 13 and a cathode 14 are provided facing each other in the reaction chamber 12 (in FIG. 6, the anode 13 is on the upper side and the cathode 14 is on the lower side with respect to the paper surface. Installation) A substrate 15 and a target 16 are provided to face each other between the anode 13 and the cathode 14 (in FIG. 6, the substrate 15 is installed on the left side and the target 16 is installed on the right side with respect to the paper surface). A stabilizing electrode 17 is provided in the vicinity of the cathode 14. The reaction chamber 12 is provided with an inlet 18 through which the raw material gas flows, and is configured so that the air in the reaction chamber 12 can be degassed by a vacuum pump 19. Further, an electromagnetic coil 20 is provided outside the reaction chamber 12.

本発明の製造方法では、ターゲット16として白金または白金系合金が用いられ、流入口18より反応室12内に流入させる原料ガスとして炭素源となるガスとキャリアガスとの混合ガスが用いられる。このような4極式プラズマスパッタ装置を用いて、陽極13、陰極14および安定化電極17に電圧を印加するとともに、ターゲット16に電圧を印加すると、陰極14から熱電子が放出され、この熱電子が安定化電極17により反応室12の中央に引き出され、陽極13との間で放電を起こす。なお、プラズマ発生のために電極に印加する電圧と、ターゲット16に印加する電圧とは、独立して制御される。この放電により生じたプラズマは、電磁コイル20により反応室12の中央に収束する。このプラズマにより、ターゲット16より原子状態の白金または白金系合金が飛び出し、基板15に堆積する。この際、原子状態の白金または白金系合金は、反応室12内に供給された炭素源により、炭素と複合化した状態で基板15上に堆積することになり、白金または白金系合金と炭素とが複合化された本発明の複合化触媒が、基板15上に堆積し成膜されることになる。   In the manufacturing method of the present invention, platinum or a platinum-based alloy is used as the target 16, and a mixed gas of a gas serving as a carbon source and a carrier gas is used as a raw material gas that flows into the reaction chamber 12 from the inlet 18. When a voltage is applied to the anode 13, the cathode 14, and the stabilization electrode 17 using such a four-pole plasma sputtering apparatus, and a voltage is applied to the target 16, thermoelectrons are emitted from the cathode 14, and these thermoelectrons Is drawn out to the center of the reaction chamber 12 by the stabilizing electrode 17 and discharge occurs between the anode 13 and the anode 13. Note that the voltage applied to the electrode for plasma generation and the voltage applied to the target 16 are controlled independently. The plasma generated by this discharge converges in the center of the reaction chamber 12 by the electromagnetic coil 20. Due to this plasma, atomic platinum or a platinum-based alloy is ejected from the target 16 and deposited on the substrate 15. At this time, platinum or a platinum-based alloy in an atomic state is deposited on the substrate 15 in a state where it is combined with carbon by a carbon source supplied into the reaction chamber 12. The composite catalyst of the present invention in which is combined is deposited on the substrate 15 to form a film.

本発明の触媒の製造方法において用いられる炭素源は、特に制限されるものではなく、たとえば脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素など、炭素を含む化合物を用いることができるが、白金または白金系合金と炭素との複合化を円滑かつ確実に行い得る観点から、炭素源として炭素数1〜7の脂肪族炭化水素または芳香族炭化水素、すなわち、メタン、エタン、プロパン、ブタン、n−ヘキサン、アセチレン、エチレン、ベンゼンなどを用いることが好ましい。前記脂肪族炭化水素または芳香族炭化水素における炭素数が7を超える場合には、沸点が高いため炭素源の加熱装置が必要となるためである。上記中でも、安価で、常温で気体であるメタンまたはアセチレンが特に好ましい炭素源として用いられる。   The carbon source used in the method for producing the catalyst of the present invention is not particularly limited, and for example, a compound containing carbon such as aliphatic hydrocarbon and aromatic hydrocarbon can be used. From the viewpoint that the complexing of carbon and carbon can be carried out smoothly and reliably, an aliphatic hydrocarbon or aromatic hydrocarbon having 1 to 7 carbon atoms as a carbon source, that is, methane, ethane, propane, butane, n-hexane, acetylene It is preferable to use ethylene, benzene or the like. This is because when the number of carbon atoms in the aliphatic hydrocarbon or aromatic hydrocarbon exceeds 7, the boiling point is high, and thus a carbon source heating device is required. Among these, methane or acetylene, which is inexpensive and gaseous at normal temperature, is used as a particularly preferable carbon source.

また、炭素源とともに反応室12内に導入するキャリアガスとしては、当分野において通常用いられる不活性ガス、たとえばアルゴン、ネオン、ヘリウム、キセノンなどを、特に制限されることなく用いることができる。中でも、安価で、スパッタ率の大きいアルゴンをキャリアガスとして用いることが好ましい。   As the carrier gas introduced into the reaction chamber 12 together with the carbon source, an inert gas usually used in this field such as argon, neon, helium, xenon and the like can be used without particular limitation. Among them, it is preferable to use argon, which is inexpensive and has a high sputtering rate, as the carrier gas.

本発明の触媒の製造方法において導入する炭素源の量は、特に制限されるものではないが、キャリアガスを含む原料ガス全体の圧力に対する炭素源となるガスの圧力(分圧)が2.5×10-2〜1.0×10-1Paの範囲内であることが好ましい。炭素源となるガスの分圧が2.5×10-2Pa未満である場合には、白金と炭素との複合化が見られない虞があり、また、炭素源となるガスの分圧が1.0×10-1Paを超える場合には、白金の反応活性点を妨げると考えられるためである。 The amount of the carbon source introduced in the method for producing a catalyst of the present invention is not particularly limited, but the pressure (partial pressure) of the gas serving as the carbon source with respect to the pressure of the entire raw material gas including the carrier gas is 2.5. It is preferable to be in the range of × 10 −2 to 1.0 × 10 −1 Pa. When the partial pressure of the gas serving as the carbon source is less than 2.5 × 10 −2 Pa, there is a possibility that the composite of platinum and carbon may not be observed, and the partial pressure of the gas serving as the carbon source is This is because when it exceeds 1.0 × 10 −1 Pa, it is considered that the reaction active point of platinum is hindered.

なお、本発明の触媒の製造方法における成膜の際の各条件については特に制限されるものではなく、所望の触媒組成に応じて、当分野において通常行われている成膜条件から適宜選択して適用することができる。具体的には、図6に示した例の4極式プラズマスパッタ装置を用いた場合、プラズマ発生のために印加される電圧は60Vで、ターゲット16に印加される電圧は100〜1000Vの範囲内、ターゲット16における電流は15〜35mA、成膜時間は20〜30分の範囲内が、それぞれ好適な条件として例示されるが、各条件はこれらに制限されるものではない。   In addition, each condition at the time of film formation in the method for producing a catalyst of the present invention is not particularly limited, and may be appropriately selected from film formation conditions usually performed in this field according to a desired catalyst composition. Can be applied. Specifically, when the quadrupole plasma sputtering apparatus of the example shown in FIG. 6 is used, the voltage applied for plasma generation is 60V, and the voltage applied to the target 16 is in the range of 100 to 1000V. The target 16 has a current of 15 to 35 mA and a film formation time of 20 to 30 minutes, which are exemplified as suitable conditions. However, the conditions are not limited to these.

なお、本発明の触媒の製造方法において、成膜の際に用いられる基板15は、本発明により製造される複合化触媒の用途に応じ、従来公知の適宜の基板を適用することができる。たとえば、本発明により製造される複合化触媒を上述したように燃料電池電極用の触媒の用途に適用する場合、燃料電池電極に用いられるガス透過電極(カーボンペーパー)や電解質シートなどを基板として用い、その上に本発明の複合化触媒を成膜することができる。   In the catalyst production method of the present invention, a conventionally known appropriate substrate can be applied as the substrate 15 used in the film formation according to the use of the composite catalyst produced by the present invention. For example, when the composite catalyst produced by the present invention is applied to the use of a catalyst for a fuel cell electrode as described above, a gas permeable electrode (carbon paper) or an electrolyte sheet used for the fuel cell electrode is used as a substrate. On top of that, the composite catalyst of the present invention can be deposited.

本発明の触媒の製造方法においては、上述した成膜の後、さらに水素系プラズマ処理を行うことが好ましい。成膜後に水素系プラズマ処理を行うことで、上述したように、複合化触媒における炭素のモル比が50〜60%の範囲内であり、特に優れた一酸化炭素への被毒耐性を示す複合化触媒を製造することが可能となる。水素化プラズマ処理を行うことで、上述した特に好ましい範囲内の白金のモル比を有する複合化触媒が製造できる理由は、詳細は明らかではないが、炭素との複合化により微粒子化した白金もしくは白金系合金の表面から炭素原子を除去し触媒活性点の増大をもたらすためであると考えられる。   In the method for producing a catalyst of the present invention, it is preferable to further perform a hydrogen plasma treatment after the above-described film formation. By performing the hydrogen-based plasma treatment after the film formation, as described above, the carbon molar ratio in the composite catalyst is in the range of 50 to 60%, and the composite exhibits particularly excellent poisoning resistance to carbon monoxide. It becomes possible to manufacture the catalyst. The reason why it is possible to produce a composite catalyst having a molar ratio of platinum within the above-mentioned particularly preferred range by performing hydrogenated plasma treatment is not clear in detail, but platinum or platinum finely divided by composite with carbon This is considered to be because carbon atoms are removed from the surface of the alloy and increase the catalytic active point.

上述した図6に示したような4極式プラズマスパッタ装置を用いて成膜を行う場合には、成膜後、同じ装置を用い、水素とキャリアガスとの混合ガスを導入しながらプラズマ処理を行うようにすればよい。水素系プラズマ処理の際に導入する水素の量は、特に制限されるものではないが、プラズマ状態の維持と処理効果とのトレードオフから、前記混合ガスにおける圧力(分圧)が5.0×10-2〜1.2×10-1Paの範囲内であることが好ましい。 In the case where film formation is performed using the four-pole plasma sputtering apparatus as shown in FIG. 6 described above, after the film formation, the same apparatus is used, and plasma treatment is performed while introducing a mixed gas of hydrogen and a carrier gas. You just have to do it. The amount of hydrogen introduced during the hydrogen-based plasma treatment is not particularly limited, but the pressure (partial pressure) in the mixed gas is 5.0 × from the trade-off between maintaining the plasma state and the treatment effect. It is preferably within the range of 10 −2 to 1.2 × 10 −1 Pa.

成膜後に水素系プラズマ処理を行う場合、その条件については特に制限されるものではないが、具体的には、放電電圧が60V、放電電流が8A、水素ガス分圧が1.0×10-1Paというような条件にて行う水素系プラズマ処理を好適に採用することができる。 When hydrogen-based plasma treatment is performed after film formation, the conditions are not particularly limited. Specifically, the discharge voltage is 60 V, the discharge current is 8 A, and the hydrogen gas partial pressure is 1.0 × 10 −. A hydrogen-based plasma treatment performed under conditions such as 1 Pa can be suitably employed.

以下、実施例、比較例および参考比較例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example, a comparative example, and a reference comparative example are given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited to these.

参考例1>
図6に示した4極式プラズマスパッタ装置(VDS−61 4極スパッタ装置(NEC社製)を用い、ターゲットとして白金(純度:99.9%)、基板として円柱状グラッシーカーボン(後述する三極式の電気化学測定において作用極として用いる)を用いて、注入口より炭素源としてメタンガス(分圧:7.5×10-2Pa)およびアルゴンガスを導入しながら、成膜を行った(トータルのガス圧:1.8×10-1Pa)。なお、成膜の条件は、プラズマ放電のための印加電圧が60V、ターゲットへの印加電圧が750V、時間が20分間とした。
< Reference Example 1>
A quadrupole plasma sputtering apparatus (VDS-61 quadrupole sputtering apparatus (manufactured by NEC)) shown in FIG. 6 was used, platinum (purity: 99.9%) as a target, and cylindrical glassy carbon (triode described later) Was used as a working electrode in the electrochemical measurement of the formula, and film formation was performed while introducing methane gas (partial pressure: 7.5 × 10 −2 Pa) and argon gas as a carbon source from the inlet (total) (Gas pressure: 1.8 × 10 −1 Pa) The film forming conditions were an applied voltage for plasma discharge of 60 V, an applied voltage to the target of 750 V, and a time of 20 minutes.

得られた複合化触媒について、X線光電子分光分析装置(PHI 5700 ESCA(フィジカルエレクトロニクス社製))を用いた測定により算出された白金の4f軌道のピークの高エネルギー側へのシフトの値は、0.16eVであった(図1中、曲線B)。また、X線光電子分光分析装置(PHI 5700 ESCA(フィジカルエレクトロニクス社製))を用いて、得られた複合化触媒における白金のモル比を算出したところ80%(白金:炭素=20:80)であった。   About the obtained composite catalyst, the value of the shift to the high energy side of the peak of the 4f orbit of platinum calculated by measurement using an X-ray photoelectron spectrometer (PHI 5700 ESCA (manufactured by Physical Electronics)) is It was 0.16 eV (curve B in FIG. 1). Moreover, when the molar ratio of platinum in the obtained composite catalyst was calculated using an X-ray photoelectron spectrometer (PHI 5700 ESCA (manufactured by Physical Electronics)), it was 80% (platinum: carbon = 20: 80). there were.

また得られた複合化触媒について、図3に示した設備を用いた三極式の電気化学測定により、サイクリックボルタンメトリーを作成した。作用極3として上述したように円柱状グラッシーカーボンの端面に成膜した複合化触媒、対極4として白金線、参照極5としてAg/AgCl(sat.KCl)を用いた。水槽2内に収容される電解質としては0.5M H2SO4を用い、ガス導入管6によりこの電解質に窒素(N2)を送気した。このような設備を用い、作用極3と対極4との間、参照極5と作用極3との間の電位を電気化学測定システム(北斗電工社製)を用いて測定し、サイクリックボルタンメトリーを作成した。また、サイクリックボルタンメトリーより得られた水素元素の脱着の原子量(C)を210×10-6(C/cm2)の文献値で割って算出された白金の実面積の値は1.2cm2であった。 Further, cyclic voltammetry was prepared for the obtained composite catalyst by tripolar electrochemical measurement using the equipment shown in FIG. As described above, a composite catalyst formed on the end face of the cylindrical glassy carbon as the working electrode 3, a platinum wire as the counter electrode 4, and Ag / AgCl (sat. KCl) as the reference electrode 5 were used. 0.5 MH 2 SO 4 was used as the electrolyte accommodated in the water tank 2, and nitrogen (N 2 ) was supplied to the electrolyte through the gas introduction pipe 6. Using such equipment, the potential between the working electrode 3 and the counter electrode 4 and between the reference electrode 5 and the working electrode 3 is measured using an electrochemical measurement system (made by Hokuto Denko), and cyclic voltammetry is performed. Created. Further, the value of the actual area of platinum calculated by dividing the atomic amount (C) of desorption of hydrogen obtained by cyclic voltammetry by the literature value of 210 × 10 −6 (C / cm 2 ) is 1.2 cm 2 Met.

このような参考例1で得られた複合化触媒について、図3に示した設備を用い、水槽2に収容する電解質として0.5M H2SO4と1M CH3OHとの混合液(20℃)を用い、ガス導入管6により電解質中に窒素(N2)を供給しながら、測定開始120分後の電流密度の減衰率(%)を測定した。なお、電流密度の値は、測定開始30秒後の電流密度を1として規定化(標準化)した。結果は、上述した図2中の曲線Bとして示されるとおりであり、電流密度の減衰率は88.7%と算出された。 About the composite catalyst obtained in Reference Example 1, a mixed solution of 0.5 MH 2 SO 4 and 1 M CH 3 OH (20 ° C.) as an electrolyte to be stored in the water tank 2 using the equipment shown in FIG. ), While supplying nitrogen (N 2 ) into the electrolyte through the gas introduction tube 6, the decay rate (%) of the current density 120 minutes after the start of measurement was measured. The value of current density was specified (standardized) with the current density 30 seconds after the start of measurement as 1. The result is as shown by the curve B in FIG. 2 described above, and the current density decay rate was calculated to be 88.7%.

<実施例
成膜後、水素系プラズマ処理を行ったこと以外は、参考例1と同様にして複合化触媒を作製した。水素系プラズマ処理は、水素ガス分圧が1.0×10-1Pa、トータルガス圧が1.8×10-1Pa、時間が10分間という条件で行った。得られた複合化触媒について、参考例1と同様にして算出された白金の4f軌道のピークの高エネルギー側へのシフトの値は、0.09eV(図1中、曲線C)であり、また複合化触媒における炭素のモル比を算出したところ53%(白金:炭素=47:53)であった。また白金の実面積の値は2.9cm2であった。このような実施例で得られた複合化触媒について、参考例1と同様に電流密度の減衰率(%)を測定した。結果は、上述した図2中の曲線Cとして示されるとおりであり、電流密度の減衰率は67.8%と算出された。
<Example 1 >
A composite catalyst was prepared in the same manner as in Reference Example 1 except that hydrogen plasma treatment was performed after film formation. The hydrogen-based plasma treatment was performed under the conditions that the hydrogen gas partial pressure was 1.0 × 10 −1 Pa, the total gas pressure was 1.8 × 10 −1 Pa, and the time was 10 minutes. With respect to the obtained composite catalyst, the value of the shift to the high energy side of the peak of the platinum 4f orbit calculated in the same manner as in Reference Example 1 is 0.09 eV (curve C in FIG. 1). The molar ratio of carbon in the composite catalyst was calculated to be 53% (platinum: carbon = 47: 53). The actual area value of platinum was 2.9 cm 2 . For composite catalyst obtained in this Example 1 were measured the attenuation factor of similarly current density as in Reference Example 1 (%). The result is as shown by the curve C in FIG. 2 described above, and the current density decay rate was calculated to be 67.8%.

<比較例1>
原料ガスとしてメタンガスを導入せずにアルゴンガスのみを導入した以外は参考例1と同様にして成膜を行った(トータルのガス圧は参考例1と同じ)。得られた触媒について、参考例1と同様にして算出された白金の4f軌道のピークのシフトの値は、0eV(図1中、曲線A)であり、また触媒における白金のモル比を算出したところ100%(白金:炭素=100:0)であった。また得られた触媒における白金の実面積の値は0.43cm2であった。このような比較例1で得られた触媒について、参考例1と同様に電流密度の減衰率(%)を測定した。結果は、上述した図2中の曲線Aとして示されるとおりであり、電流密度の減衰率は97.0%と算出された。
<Comparative Example 1>
Film formation was performed in the same manner as in Reference Example 1 except that only methane gas was introduced without introducing methane gas as the source gas (the total gas pressure was the same as in Reference Example 1). With respect to the obtained catalyst, the value of the peak shift of the 4f orbit of platinum calculated in the same manner as in Reference Example 1 was 0 eV (curve A in FIG. 1), and the molar ratio of platinum in the catalyst was calculated. However, it was 100% (platinum: carbon = 100: 0). The actual area value of platinum in the obtained catalyst was 0.43 cm 2 . For the catalyst obtained in Comparative Example 1, the current density decay rate (%) was measured in the same manner as in Reference Example 1. The result is as shown by the curve A in FIG. 2 described above, and the current density decay rate was calculated to be 97.0%.

参考例2
原料ガスにおけるメタンガスの分圧を5.0×10-2Paとしたこと以外は参考例1と同様にして成膜を行った(トータルのガス圧は参考例1と同じ)。得られた触媒について、参考例1と同様にして算出された白金の4f軌道のピークの高エネルギー側へのシフトの値は、0.19eVであり、また触媒における炭素のモル比を算出したところ90%(白金:炭素=90:10)であった。また得られた触媒における白金の実面積の値は0.84cm2であった。このような参考例2で得られた触媒について、参考例1と同様に電流密度の減衰率(%)を測定したところ、86.5%と算出された。
< Reference Example 2 >
A film was formed in the same manner as in Reference Example 1 except that the partial pressure of methane gas in the source gas was 5.0 × 10 −2 Pa (the total gas pressure was the same as in Reference Example 1). With respect to the obtained catalyst, the value of shift of the peak of 4f orbit of platinum to the high energy side calculated in the same manner as in Reference Example 1 was 0.19 eV, and the molar ratio of carbon in the catalyst was calculated. It was 90% (platinum: carbon = 90: 10). Further, the value of the actual area of platinum in the obtained catalyst was 0.84 cm 2 . When the decay rate (%) of the current density was measured in the same manner as in Reference Example 1 for the catalyst obtained in Reference Example 2 , it was calculated to be 86.5%.

<比較例2>
原料ガスにおけるメタンガスの分圧を1.2×10-2Paとしたこと以外は参考例1と同様にして成膜を行った(トータルのガス圧は参考例1と同じ)。得られた触媒について、参考例1と同様にして算出された白金の4f軌道のピークのシフトの値は、0eVであり、また触媒における白金のモル比を算出したところ100%(白金:炭素=100:0)であった。また得られた触媒における白金の実面積の値は0.39cm2であった。このような比較例2で得られた触媒について、参考例1と同様に電流密度の減衰率(%)を測定したところ、98.5%と算出された。
<Comparative example 2>
Film formation was performed in the same manner as in Reference Example 1 except that the partial pressure of methane gas in the source gas was 1.2 × 10 −2 Pa (total gas pressure was the same as in Reference Example 1). With respect to the obtained catalyst, the peak shift value of platinum 4f orbit calculated in the same manner as in Reference Example 1 was 0 eV, and the platinum molar ratio in the catalyst was calculated to be 100% (platinum: carbon = 100: 0). Further, the value of the actual area of platinum in the obtained catalyst was 0.39 cm 2 . When the decay rate (%) of the current density was measured for the catalyst obtained in Comparative Example 2 in the same manner as in Reference Example 1, it was calculated to be 98.5%.

<実施例
原料ガスにおけるメタンガスの分圧を5.0×10-2Paとしたこと以外は実施例と同様にして成膜を行った(トータルのガス圧は参考例1と同じ)。得られた触媒について、参考例1と同様にして算出された白金の4f軌道のピークの高エネルギー側へのシフトの値は、0.06eVであり、また触媒における炭素のモル比を算出したところ4%(白金:炭素=96:4)であった。また得られた触媒における白金の実面積の値は0.66cm2であった。このような実施例で得られた触媒について、参考例1と同様に電流密度の減衰率(%)を測定したところ、86.2%と算出された。
<Example 2 >
Film formation was performed in the same manner as in Example 1 except that the partial pressure of methane gas in the raw material gas was 5.0 × 10 −2 Pa (total gas pressure was the same as in Reference Example 1). About the obtained catalyst, the value of the shift to the high energy side of the peak of the platinum 4f orbit calculated in the same manner as in Reference Example 1 was 0.06 eV, and the molar ratio of carbon in the catalyst was calculated. It was 4% (platinum: carbon = 96: 4). Further, the value of the actual platinum area in the obtained catalyst was 0.66 cm 2 . When the decay rate (%) of the current density was measured for the catalyst obtained in Example 2 in the same manner as in Reference Example 1, it was calculated to be 86.2%.

参考例3
原料ガスにおけるメタンガスの分圧を1.0×10-1Paとしたこと以外は実施例と同様にして成膜を行った(トータルのガス圧は参考例1と同じ)。得られた触媒について、参考例1と同様にして算出された白金の4f軌道のピークの高エネルギー側へのシフトの値は、0.05eVであり、また触媒における炭素のモル比を算出したところ57%(白金:炭素=43:57)であった。また得られた触媒における白金の実面積の値は0.71cm2であった。このような参考例3で得られた触媒について、参考例1と同様に電流密度の減衰率(%)を測定したところ、69.5%と算出された。
< Reference Example 3 >
Film formation was performed in the same manner as in Example 1 except that the partial pressure of methane gas in the raw material gas was 1.0 × 10 −1 Pa (total gas pressure was the same as in Reference Example 1). About the obtained catalyst, the value of shift to the high energy side of the peak of the platinum 4f orbit calculated in the same manner as in Reference Example 1 was 0.05 eV, and the molar ratio of carbon in the catalyst was calculated. It was 57% (platinum: carbon = 43: 57). Further, the value of the actual area of platinum in the obtained catalyst was 0.71 cm 2 . When the decay rate (%) of the current density was measured in the same manner as in Reference Example 1 for the catalyst obtained in Reference Example 3 , it was calculated to be 69.5%.

<参考比較例>
非特許文献2、3には、従来技術である白金微粒子触媒担持カーボン電極におけるメタノール分解反応における一酸化炭素に対する被毒耐性について、120分後の電流密度の減衰率が75〜78%であると記載されている。また、非特許文献4には、従来技術である白金系触媒担持カーボン電極におけるメタノール分解反応における一酸化炭素に対する被毒耐性について、10分後の電流密度の減衰率が100%であると記載されている。
<Reference Comparative Example>
In Non-Patent Documents 2 and 3, regarding the poisoning resistance to carbon monoxide in the methanol decomposition reaction in the platinum fine particle catalyst-supporting carbon electrode which is the prior art, the current density decay rate after 120 minutes is 75 to 78%. Are listed. Non-Patent Document 4 describes that the decay rate of current density after 10 minutes is 100% regarding the poisoning resistance against carbon monoxide in the methanol decomposition reaction in the platinum-based catalyst-supporting carbon electrode which is the prior art. ing.

今回開示された実施の形態、実施例および比較例は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。   It should be understood that the embodiments, examples and comparative examples disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明の複合化触媒および従来の白金について、X線光電子分光分析装置(ESCA:Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)を用いて測定した結果を示すグラフであり、縦軸は強度(Arb. Units)、横軸は結合エネルギー(eV)である。FIG. 5 is a graph showing the results of measurement using an X-ray photoelectron spectroscopy analyzer (ESCA: Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) for the composite catalyst of the present invention and conventional platinum, where the vertical axis represents intensity (Arb. Units), and horizontal The axis is the binding energy (eV). 本発明の複合化触媒の一酸化炭素に対する被毒耐性を示すグラフであり、縦軸は標準化された電流密度、横軸は時間(分)である。It is a graph which shows the poisoning tolerance with respect to the carbon monoxide of the composite catalyst of this invention, a vertical axis | shaft is the standardized current density and a horizontal axis is time (minutes). 三極式の電気化学測定に用いる設備を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the installation used for a tripolar electrochemical measurement. 本発明の複合化触媒および従来の白金触媒のサイクリックボルタンメトリーの一例を示すグラフであり、縦軸は電流(mA)、横軸は電位(V vs Ag/AgCl)である(電解質:0.5M H2SO4)。It is a graph which shows an example of the cyclic voltammetry of the composite catalyst of this invention, and the conventional platinum catalyst, A vertical axis | shaft is an electric current (mA), and a horizontal axis is an electric potential (V vs Ag / AgCl) (electrolyte: 0.5M). H 2 SO 4). 本発明の複合化触媒および従来の白金触媒のサイクリックボルタンメトリーの一例を示すグラフであり、縦軸は電流密度(mA/cm2)、横軸は電位(V vs Ag/AgCl)である(電解質:0.5M H2SO4+1M CH3OH)。2 is a graph showing an example of cyclic voltammetry of the composite catalyst of the present invention and a conventional platinum catalyst, where the vertical axis represents current density (mA / cm 2 ) and the horizontal axis represents potential (V vs Ag / AgCl) (electrolyte). : 0.5 MH 2 SO 4 +1 M CH 3 OH). 本発明の触媒の製造方法に好ましく用いられる装置の一例を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically an example of the apparatus preferably used for the manufacturing method of the catalyst of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

2 水槽、3 作用極、4 対極、5 参照極、12 反応室、13 陽極、14 陰極、15 基板、16 ターゲット、17 安定化電極、18 流入口、19 真空ポンプ、20 電磁気コイル。   2 Water tank, 3 working electrode, 4 counter electrode, 5 reference electrode, 12 reaction chamber, 13 anode, 14 cathode, 15 substrate, 16 target, 17 stabilizing electrode, 18 inlet, 19 vacuum pump, 20 electromagnetic coil.

Claims (3)

白金または白金系合金に炭素源を導入しながらPVD法またはCVD法を行うことによって、白金または白金系合金に炭素を複合化させた状態で成膜し、その後水素系プラズマ処理を施すことを特徴とする燃料電池用電極の触媒の製造方法。   By performing a PVD method or a CVD method while introducing a carbon source into platinum or a platinum-based alloy, a film is formed in a state where carbon is combined with platinum or a platinum-based alloy, and then a hydrogen-based plasma treatment is performed. A method for producing a catalyst for a fuel cell electrode. 炭素源として炭素数1〜7の脂肪族炭化水素または芳香族炭化水素を用いることを特徴とする、請求項1に記載の方法。   The method according to claim 1, wherein an aliphatic hydrocarbon or an aromatic hydrocarbon having 1 to 7 carbon atoms is used as a carbon source. 請求項1または2に記載の方法で製造された燃料電池用電極の触媒であって、
白金または白金系合金と炭素との複合化触媒であって、X線光電子分光分析装置を用いて測定された前記複合化触媒の白金または白金系合金の4f軌道のピークが0.01〜0.40evの範囲内で高エネルギー側にシフトしていることを特徴とする燃料電池用電極の触媒。
A catalyst for a fuel cell electrode produced by the method according to claim 1 or 2,
A platinum or platinum-based alloy and carbon composite catalyst, wherein the 4f orbital peak of platinum or platinum-based alloy of the composite catalyst measured using an X-ray photoelectron spectrometer is 0.01-0. A catalyst for a fuel cell electrode, wherein the catalyst is shifted to a high energy side within a range of 40 ev.
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