JP4957199B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
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Description
請求項2の発明は、請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、ターゲットには、第1の対向面と第2の対向面とを連結し、回転角度に対するギャップ寸法変化率が第3の対向面より大きな第4の対向面がさらに設けられ、回転体の回転により、第1、第2および第3の対向面と対向する第1のセンサと、回転体の回転により、第1、第2および第4の対向面と対向する第2のセンサとを備え、演算部は、予め設定した所定回転速度以下の回転速度域においては前記第2のセンサの検出結果に基づいて回転信号を算出し、所定回転速度よりも大きな回転速度域においては第1のセンサの検出結果に基づいて回転信号を算出することを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、ターゲットは円筒形状ターゲットであって、円筒側面に第1、第2および第3の対向面が形成されていることを特徴とする。
図8,9は、上述したセンサターゲット46の第1の変形例を示す図である。第1の変形例のセンサターゲット76には、図8に示すように回転センサ47と対向する斜面761と、アキシャル変位センサ57(不図示)が対向する面760とが形成されている。面760は、図4(a)に示す領域460aの面460と同様に回転軸に垂直な面を形成している。
図10は、第2の変形例を示す図である。第2の変形例では、センサターゲット86の側面をターゲット面とし、その面とのギャップを回転センサ47で検出することにより回転パルス信号を得るようにした。ターゲット面は、円弧状の面860,861と斜面862とから成る。hは面860と面861との段差寸法を示し、この段差に相当するギャップ変化を回転センサ47により検出する。
図11は、第3の変形例を示す図である。ここでは、2つの回転センサ47A,47Bが設けられており、回転センサ47Aのターゲット面は面960,961,962Aで構成され、回転センサ47Bのターゲット面は面960,961,962Bで構成される。斜面962Aと斜面962Bとを比較すると、斜面962Bのほうが傾斜が緩やかになっている。斜面の傾きが緩やかなほど段差部分における信号波形の乱れの抑制効果が高いが、それとは別に、低速回転になると図4(c)における振幅の変化がなだらかになり、High-Low判定部103の判定が難しくなるという欠点がある。
Claims (3)
- 回転翼が形成された回転体と、
前記回転体を高速回転するモータと、
前記回転体に設けられたターゲットと、
前記ターゲットと対向する位置に設けられ、前記回転体の回転に伴う前記ターゲットとのギャップ変化をインピーダンス変化として検出するインダクタンス式のセンサと、
前記センサの検出結果に基づいて前記ギャップ変化に対応した回転信号を算出する演算部と、
前記演算部で算出された前記回転信号に基づいて前記モータを駆動するモータ制御部と、を備え、
前記ターゲットは、第1のギャップ寸法で前記センサに対向する第1の対向面と、前記第1のギャップ寸法よりも大きな第2のギャップ寸法で前記センサに対向する第2の対向面と、前記第1の対向面と前記第2の対向面とを連結し、前記センサとのギャップ寸法が前記第1のギャップ寸法から前記第2のギャップ寸法へと徐々に変化する第3の対向面とを有し、
前記演算部は、前記センサが前記第1,第2および第3の対向面に対向したときに検出される第1,第2および第3検出値をそれぞれ所定閾値と比較し、その比較結果に基づいて前記回転信号を算出することを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ターゲットには、前記第1の対向面と前記第2の対向面とを連結し、回転角度に対するギャップ寸法変化率が前記第3の対向面より大きな第4の対向面がさらに設けられ、
前記回転体の回転により、前記第1、第2および第3の対向面と対向する第1のセンサと、
前記回転体の回転により、前記第1、第2および第4の対向面と対向する第2のセンサとを備え、
前記演算部は、予め設定した所定回転速度以下の回転速度域においては前記第2のセンサの検出結果に基づいて前記回転信号を算出し、前記所定回転速度よりも大きな回転速度域においては前記第1のセンサの検出結果に基づいて前記回転信号を算出することを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記ターゲットは円筒形状ターゲットであって、該円筒形状ターゲットの円筒側面に前記第1、第2および第3の対向面が形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006307877A JP4957199B2 (ja) | 2006-11-14 | 2006-11-14 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006307877A JP4957199B2 (ja) | 2006-11-14 | 2006-11-14 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008122279A JP2008122279A (ja) | 2008-05-29 |
JP4957199B2 true JP4957199B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=39507179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006307877A Active JP4957199B2 (ja) | 2006-11-14 | 2006-11-14 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4957199B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102019218399A1 (de) | 2019-11-27 | 2021-05-27 | Infineon Technologies Ag | Induktiver winkelsensor mit abstandswertermittlung |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63274816A (ja) * | 1987-05-07 | 1988-11-11 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 磁気式リニアエンコ−ダ |
JPH0626808A (ja) * | 1992-07-09 | 1994-02-04 | Ebara Corp | センサターゲット |
JPH07239242A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Nippon Soken Inc | 回転角検出装置 |
-
2006
- 2006-11-14 JP JP2006307877A patent/JP4957199B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008122279A (ja) | 2008-05-29 |
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