JP4934942B2

JP4934942B2 - Peeling method

Info

Publication number: JP4934942B2
Application number: JP2003278632A
Authority: JP
Inventors: 正人土居; 豊治大畑
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2003-07-23
Filing date: 2003-07-23
Publication date: 2012-05-23
Anticipated expiration: 2023-07-23
Also published as: JP2005045074A

Description

本発明は、基板から素子を剥離する際の剥離方法に関する。さらに詳しくは、素子が樹脂層を介して基板に配置されている場合に、当該樹脂層の種類によって受ける各種制約が低減され、さらに比較的安価な設備で基板から素子を剥離することができる剥離方法に関する。 The present invention relates to a peeling method when peeling an element from a substrate. More specifically, when the element is arranged on the substrate via the resin layer, the various restrictions imposed by the type of the resin layer are reduced, and the element can be separated from the substrate with relatively inexpensive equipment. Regarding the method.

例えば、発光素子をマトリクス状に配列して画像表示装置を組み上げる場合には、従来、液晶表示装置（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Plasma Display Panel）のように基板上に直接素子を形成するか、或いは発光ダイオードディスプレイ（ＬＥＤディスプレイ）のように単体のＬＥＤパッケージを配列する場合もある。このようなＬＥＤパッケージの如き樹脂チップを基板やフィルムに接着、又は粘着させるための接着剤や粘着材としては熱可塑性接着剤やUV硬化型粘着材を用いる場合がある。 For example, when an image display device is assembled by arranging light emitting elements in a matrix, conventionally, a liquid crystal display device (LCD: Liquid Crystal Display) or a plasma display panel (PDP: Plasma Display Panel) is used directly on a substrate. An element may be formed, or a single LED package may be arranged like a light emitting diode display (LED display). In some cases, a thermoplastic adhesive or a UV curable adhesive is used as an adhesive or an adhesive for adhering or sticking a resin chip such as an LED package to a substrate or a film.

また、素子が埋め込まれた樹脂チップや素子ととも樹脂チップに形成された配線を基板上で加工する際には、レジストの形成する場合、又はエッチング液の如き溶剤を使用する場合がある。この際、エッチング溶液に対して劣化の少ない接着剤や粘着材を用いることが重要となり、使用可能な接着剤や粘着剤の種類が制限されることもある。さらに、素子や樹脂チップを基板に接着する接着剤や粘着剤の種類によっては、基板上に配置された素子や樹脂チップの加工工程が大幅に限定されてしまうこともある。 In addition, when a resin chip in which an element is embedded or a wiring formed on the resin chip is processed on a substrate, a resist may be formed or a solvent such as an etching solution may be used. At this time, it is important to use an adhesive or pressure-sensitive adhesive with little deterioration with respect to the etching solution, and the types of usable adhesive or pressure-sensitive adhesive may be limited. Furthermore, depending on the type of adhesive or pressure-sensitive adhesive that bonds the element or resin chip to the substrate, the processing steps of the element or resin chip disposed on the substrate may be greatly limited.

特に、今後、素子や、素子ととも樹脂チップに形成された配線のサイズが微細化されていくにしたがい、素子や樹脂チップを基板から選択的に剥離するために上述した熱可塑性接着剤やUV硬化型粘着材（ＵＶ：Ultra Violet）を用いる方法では難しい場合がある。 In particular, as the size of the element and the wiring formed on the resin chip along with the element becomes finer in the future, the thermoplastic adhesive and UV described above are used to selectively peel off the element and the resin chip from the substrate. The method using a curable adhesive (UV: Ultra Violet) may be difficult.

そこで、耐熱性が高く、且つ薬品に対する劣化が小さい熱硬化型樹脂やUV硬化型樹脂によって、基板、又はフィルム上に素子を固定した状態で当該素子を加工し、UVレーザ光を基板の裏面側から上述したＵＶ硬化型樹脂に照射する技術が開示されている（例えば、特許文献１。）。特許文献１に開示された技術によれば、ＵＶレーザ光を樹脂に直接吸収させてアブレーションすることで樹脂を透明基板から選択的に剥離している。 Therefore, the element is processed with the element fixed on the substrate or film with a thermosetting resin or UV curable resin that has high heat resistance and little chemical degradation, and the UV laser beam is sent to the back side of the substrate. To the above-mentioned UV curable resin is disclosed (for example, Patent Document 1). According to the technique disclosed in Patent Document 1, the resin is selectively peeled from the transparent substrate by absorbing the UV laser light directly into the resin and performing ablation.

また、特許文献２に開示された技術によれば、光吸収層をアブレーションすることによって被剥離層を基板から分離しており、光を吸収する部分とアブレーションされる部分とが同一とされている。 Further, according to the technique disclosed in Patent Document 2, the layer to be peeled is separated from the substrate by ablating the light absorption layer, and the portion that absorbs light and the portion to be ablated are the same. .

特開２００３−９８９７７号公報JP 2003-98777 A 特開平１０−１２５９３０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-125930

しかしながら、ＵＶ硬化型樹脂に対して基板の裏面側からＵＶレーザ光を照射する方法によれば、基板、又はフィルムをUVレーザ光が十分に透過する必要がある。紫外光の如き短波長の光に対して十分な光透過性を有する基板は一般に高価であり、素子の製造コストを低減することを困難とする原因の一つとされる。 However, according to the method of irradiating the UV curable resin with UV laser light from the back side of the substrate, the UV laser light needs to be sufficiently transmitted through the substrate or the film. A substrate having a sufficient light transmittance with respect to light having a short wavelength such as ultraviolet light is generally expensive, which is one of the causes of difficulty in reducing the manufacturing cost of the device.

さらに、UVレーザ光の如き紫外光領域の光を発生し、且つ照射するための光学系は、紫外光より長波長の光を発生して照射するための光学系に比べて通常高価である。さらに、ＵＶレーザ光の光出力エネルギーは比較的低く、ＵＶレーザ光をパルス光として選択的に照射した場合であっても、透明基板から樹脂を剥離するために十分なエネルギーを供給することが難しい場合もあり、素子を透明基板から剥離することを困難なものとしている。 Furthermore, an optical system for generating and irradiating ultraviolet light such as UV laser light is usually more expensive than an optical system for generating and irradiating light having a longer wavelength than ultraviolet light. Furthermore, the light output energy of the UV laser light is relatively low, and even when the UV laser light is selectively irradiated as pulsed light, it is difficult to supply sufficient energy to peel the resin from the transparent substrate. In some cases, it is difficult to peel the element from the transparent substrate.

また、光吸収層をアブレーションする場合には、照射する光を効率良く吸収するとともに、透明基板で素子を加工する際の各種加工条件に制約が生じない材料を選択することも重要となる。 In addition, when ablating the light absorption layer, it is important to select a material that efficiently absorbs the light to be irradiated and that does not restrict the various processing conditions when processing the element with the transparent substrate.

そこで、本発明は、上述した実情を鑑みてなされたものであり、設備費用を低減するとともに、基板上で素子を加工する際の制約を低減することができる剥離方法を提供することを目的とする。 Then, this invention is made | formed in view of the situation mentioned above, and it aims at providing the peeling method which can reduce the restrictions at the time of processing an element on a board | substrate while reducing installation cost. To do.

本発明にかかる剥離方法は、基板上に光吸収層を形成し、この上部に樹脂層を介して素子を形成し、前記光吸収層に光を照射し、前記光吸収層で発生する熱を前記樹脂層に伝熱することによって当該樹脂層をアブレーションさせて前記基板から前記素子を剥離することを特徴とする。本発明によれば、熱によって樹脂層がアブレーションされることにより樹脂層を光吸収層から剥離することができる。例えば、ＵＶレーザ光の如き紫外線領域の波長を有する光を用いることなく、紫外線領域より長波長の光を利用して樹脂層を剥離することができる。したがって、ＵＶレーザ光を照射するための光学系より安価な設備を用いて樹脂層を剥離することができ、設備費用を低減することができる。 In the peeling method according to the present invention, a light absorption layer is formed on a substrate, an element is formed thereon via a resin layer, the light absorption layer is irradiated with light, and heat generated in the light absorption layer is generated. The resin layer is ablated by transferring heat to the resin layer, and the element is peeled from the substrate . According to the present invention, the resin layer can be peeled from the light absorption layer by ablation of the resin layer by heat. For example, the resin layer can be peeled using light having a longer wavelength than the ultraviolet region without using light having a wavelength in the ultraviolet region such as UV laser light. Therefore, the resin layer can be peeled off using equipment that is less expensive than the optical system for irradiating UV laser light, and equipment costs can be reduced.

本発明にかかる剥離方法においては、前記樹脂層及び前記光吸収層が積層される基板の裏面側から前記光を照射して良く、樹脂層上に光を遮蔽する素子が形成されている場合や樹脂層中に素子が埋め込まれている場合でも光吸収層に光を照射して樹脂層を剥離することができる。また、このような樹脂層が形成される基板を光透過性を有する無機材料、又は光透過性を有する合成樹脂を主たる材料で形成しても良く、基板を透過する光を光吸収層に吸収させることにより熱を発生させ、この熱で樹脂層を剥離することができる。 In the peeling method according to the present invention, the light may be irradiated from the back side of the substrate on which the resin layer and the light absorption layer are laminated, and a light shielding element is formed on the resin layer. Even when an element is embedded in the resin layer, the light absorption layer can be irradiated with light to peel off the resin layer. In addition, the substrate on which such a resin layer is formed may be formed of a light-transmitting inorganic material or a light-transmitting synthetic resin as a main material, and light transmitted through the substrate is absorbed by the light absorption layer. By generating the heat, the resin layer can be peeled off by this heat.

本発明にかかる剥離方法においては、前記樹脂層は前記光吸収層の上側に形成され、前記樹脂層上に形成される素子のサイズに合わせて前記樹脂層が分離されていても良く、樹脂層を光吸収層から剥離することにより各素子を光吸収層から分離することができる。また、本発明にかかる剥離方法においては、前記樹脂層は前記光吸収層の下側に形成され、前記光吸収層上に形成される素子のサイズに合わせて前記光吸収層が分離されていても良く、光吸収層を基板から分離された素子の一部とすることができる。また、このような光吸収層を金属を主たる材料として形成しておき、この光吸収層によって前記素子の配線、又は電極を構成することもできる。 In the peeling method according to the present invention, the resin layer may be formed above the light absorption layer, and the resin layer may be separated according to the size of an element formed on the resin layer. Each element can be separated from the light absorbing layer by peeling the layer from the light absorbing layer. Moreover, in the peeling method according to the present invention, the resin layer is formed below the light absorption layer, and the light absorption layer is separated according to the size of the element formed on the light absorption layer. In addition, the light absorption layer can be a part of an element separated from the substrate. Further, such a light absorption layer can be formed using a metal as a main material, and the wiring of the element or the electrode can be constituted by the light absorption layer.

また、本発明にかかる剥離方法においては、前記光吸収層がアブレーションされる温度が前記樹脂層がアブレーションされる温度より高いことにより、光吸収層で発生した熱によって当該光吸収層がアブレーションされる前に樹脂層をアブレーションし、光吸収層から樹脂層を剥離することができる。また、光吸収層を金属を主たる材料として形成する場合には、光を効率良く吸収して光のエネルギーを熱に変換することができる。このような金属としては、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｉから選択された一種、又は２種以上の材料であることが望ましく、光の反射を低減して効率良く光を吸収することができる。また、本発明にかかる剥離方法においては、前記光の波長が可視光、又は赤外光の波長領域にあっても良く、これら波長領域より短波長とされる紫外線を発生する設備に比べて安価な設備で光を発生させることができる。また、光吸収層に照射する光としてレーザ光を用いることができ、狭い領域に光のエネルギーを集中させ、効率良く剥離を行うことができる。特に、このような剥離方法は、特定の狭い領域の樹脂層を剥離する選択的な剥離には好適である。 Moreover, in the peeling method according to the present invention, the light absorption layer is ablated by heat generated in the light absorption layer because the temperature at which the light absorption layer is ablated is higher than the temperature at which the resin layer is ablated. The resin layer can be ablated before and the resin layer can be peeled off from the light absorption layer. Further, when the light absorption layer is formed using a metal as a main material, it is possible to efficiently absorb light and convert light energy into heat. As such a metal, for example, one or two or more materials selected from Ti, Cr, and Ni are desirable, and light reflection can be reduced and light can be efficiently absorbed. Further, in the peeling method according to the present invention, the wavelength of the light may be in the wavelength region of visible light or infrared light, and is cheaper than equipment that generates ultraviolet light having a wavelength shorter than these wavelength regions. Light can be generated with simple equipment. In addition, laser light can be used as light applied to the light absorption layer, and light energy can be concentrated in a narrow region, so that separation can be performed efficiently. In particular, such a peeling method is suitable for selective peeling for peeling a resin layer in a specific narrow region.

本発明にかかる剥離方法は、基板上に光吸収層を形成し、この上部に樹脂層を介して素子を形成し、前記光吸収層に選択的に光を照射し、前記光吸収層のうち前記光が照射された領域に接する前記樹脂層に当該光吸収層で発生する熱を伝熱することによって当該樹脂層をアブレーションさせて前記基板から前記素子を剥離することを特徴とする。本発明にかかる剥離方法によれば、微小な素子が樹脂層に複数配置されている場合であっても選択的に樹脂層を剥離することができ、素子を選択的に基板から分離することができる。このような剥離方法においては、前記光吸収層は、半透明であっても良く、光吸収層の上側を素子が配置されている場合でも、素子の位置を確認しながら選択的に光を光吸収層に照射して所要の領域の樹脂層を剥離することができる。 In the peeling method according to the present invention, a light absorption layer is formed on a substrate, an element is formed thereon via a resin layer, and the light absorption layer is selectively irradiated with light. The resin layer is ablated by transferring heat generated in the light absorption layer to the resin layer in contact with the region irradiated with the light, and the element is peeled from the substrate . According to the peeling method of the present invention, the resin layer can be selectively peeled even when a plurality of minute elements are arranged on the resin layer, and the elements can be selectively separated from the substrate. it can. In such a peeling method, the light absorption layer may be translucent, and light is selectively emitted while checking the position of the element even when the element is arranged above the light absorption layer. The resin layer in a required region can be peeled by irradiating the absorption layer.

本発明にかかる剥離方法によれば、素子と透明基板との間の樹脂層に直接光を照射するのではなく、光吸収層とされる金属層で発生した熱によって当該樹脂層をアブレーションすることで金属層を樹脂層から剥離することができる。これにより、素子を透明基板から分離することができる。したがって、紫外光の如き短波長の光を用いることなく、可視光、又は赤外光の如き比較的長波長の光を用いて素子を透明基板から分離することが可能となる。このように紫外光より比較的波長の大きい光を発生して照射するための光学系は安価であり、さらに素子が接着される透明基板も紫外光を透過する高価な透明基板を用いる必要がなく、素子を透明基板から分離するための設備のコストを低減することができる。 According to the peeling method of the present invention, the resin layer between the element and the transparent substrate is not directly irradiated with light, but the resin layer is ablated by the heat generated in the metal layer serving as the light absorption layer. The metal layer can be peeled from the resin layer. Thereby, an element can be isolate | separated from a transparent substrate. Therefore, it is possible to separate the element from the transparent substrate using light having a relatively long wavelength such as visible light or infrared light without using light having a short wavelength such as ultraviolet light. Thus, an optical system for generating and irradiating light having a wavelength relatively larger than ultraviolet light is inexpensive, and there is no need to use an expensive transparent substrate that transmits ultraviolet light as a transparent substrate to which the element is bonded. The cost of equipment for separating the element from the transparent substrate can be reduced.

また、素子を透明基板に接着するための接着剤や粘着剤の如き樹脂の選択枝が広がり、素子を透明基板上で加工する際のエッチング溶液に対して劣化の少ない樹脂を選択することができる。したがって、素子を透明基板上で加工する際の制約を低減することができる。 In addition, the selection of resins such as adhesives and pressure-sensitive adhesives for adhering the element to the transparent substrate is widened, and it is possible to select a resin with little deterioration with respect to the etching solution when the element is processed on the transparent substrate. . Therefore, it is possible to reduce restrictions when processing the element on the transparent substrate.

さらにまた、光吸収層として素子の配線や電極の如き金属層を兼用することにより、別途光吸収層を形成する手間を省くこともできる。よって、素子を透明基板から分離するための工程を簡略化することも可能となり、素子の製造コストを低減することも可能となる。 Furthermore, by using a metal layer such as an element wiring or an electrode as the light absorbing layer, it is possible to save the trouble of forming a separate light absorbing layer. Therefore, it is possible to simplify the process for separating the element from the transparent substrate, and to reduce the manufacturing cost of the element.

以下、本発明にかかる剥離方法について図面を参照しながら説明する。
[第１の実施の形態] Hereinafter, the peeling method according to the present invention will be described with reference to the drawings.
[First embodiment]

先ず、図１を参照しながら本実施形態のかかる剥離方法について詳細に説明する。図１は、本実施形態にかかる剥離方法の工程を示す工程断面図であり、図１（ａ）は透明基板１上に樹脂層２及び金属層３を介して素子４が配置された状態を示す断面図、同図（ｂ）は透明基板１の裏面側からパルスレーザ光Ｌ_１を照射する照射工程を示す工程断面図、同図（ｃ）は樹脂層２から金属層３を剥離する剥離工程を示す断面工程図である。 First, the peeling method according to this embodiment will be described in detail with reference to FIG. FIG. 1 is a process cross-sectional view showing a process of a peeling method according to the present embodiment. FIG. 1A shows a state in which an element 4 is arranged on a transparent substrate 1 with a resin layer 2 and a metal layer 3 interposed therebetween. FIG. 4B is a process sectional view showing an irradiation process of irradiating the pulse laser beam L ₁ from the back surface side of the transparent substrate 1, and FIG. 4C is a peeling process for peeling the metal layer 3 from the resin layer 2. It is sectional process drawing which shows a process.

図１（ａ）に示すように、透明基板１上には樹脂層２及び金属層３が積層され、金属層３上には素子４が形成されている。また、樹脂層２及び金属層３は素子４のサイズに合わせて素子分離溝５によって離間されている。素子４は、透明基板１上に樹脂層２、金属層３を形成した後に金属層３上に形成されていても良い。また、金属層３が形成された素子４を樹脂層２を介して透明基板１に接着しておくこともできる。 As shown in FIG. 1A, a resin layer 2 and a metal layer 3 are laminated on a transparent substrate 1, and an element 4 is formed on the metal layer 3. The resin layer 2 and the metal layer 3 are separated by an element isolation groove 5 in accordance with the size of the element 4. The element 4 may be formed on the metal layer 3 after forming the resin layer 2 and the metal layer 3 on the transparent substrate 1. Further, the element 4 on which the metal layer 3 is formed can be bonded to the transparent substrate 1 through the resin layer 2.

透明基板１は、後述するパルスレーザ光Ｌ_１の如き光を透過する材料で形成されていれば良い。後述するように、パルスレーザ光Ｌ_１としてはＵＶレーザ光の如き紫外線領域の波長より長波長の光を用いることから、紫外線領域の光に対して高い光透過性を有する石英基板やサファイア基板に比べて低い光透過性を有するガラス基板を透明基板１として使用することができる。このようなガラス基板は石英基板やサファイア基板にくらべて一般的に安価であることから、素子４の製造コストを低減することができる。なお、透明基板１はこれに限定されるものではなく、紫外光から赤外光までの広い波長領域の光に対して高い光透過率を有する基板であっても良い。また、素子４は透明基板１上に形成された場合に限定されず、別の基板で形成された後に、樹脂層２を介して透明基板１に接着されたものでも良い。さらに、透明基板１としては、光透過性を有する合成樹脂を主たる材料として形成されたフィルムを用いることもでき、このような合成樹脂の一例としてＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）やＰＣ（ポリカーボネイト）を挙げることができる。このような合成樹脂を主たる材料とするフィルムも上述した石英基板やサファイア基板に比べて比較的安価であり、透明基板１として好適である。 The transparent substrate 1 only needs to be formed of a material that transmits light, such as pulsed laser light L ₁ described later. As described below, the pulsed laser light L ₁ from using light of a longer wavelength than the wavelength of such ultraviolet region of the UV laser beam, a quartz substrate or a sapphire substrate having high light transmittance in the ultraviolet range A glass substrate having a light transmittance lower than that of the transparent substrate 1 can be used. Since such a glass substrate is generally cheaper than a quartz substrate or a sapphire substrate, the manufacturing cost of the element 4 can be reduced. The transparent substrate 1 is not limited to this, and may be a substrate having a high light transmittance with respect to light in a wide wavelength region from ultraviolet light to infrared light. The element 4 is not limited to the case where it is formed on the transparent substrate 1, and may be formed on another substrate and then bonded to the transparent substrate 1 through the resin layer 2. Furthermore, as the transparent substrate 1, a film formed using a light-transmitting synthetic resin as a main material can be used. Examples of such a synthetic resin include PET (polyethylene terephthalate) and PC (polycarbonate). Can do. A film mainly composed of such a synthetic resin is also relatively inexpensive as compared with the above-described quartz substrate and sapphire substrate, and is suitable as the transparent substrate 1.

樹脂層２は、素子４の下側に形成される金属層３と透明基板１とを接着する接着層であり、金属層３がアブレーションされる温度に比べて低い温度でアブレーションされる樹脂で形成される。したがって、金属層３で発生した熱によって金属層３自体の温度が上昇した際に、樹脂層２は金属層３がアブレーションされて素子４から消失する前にアブレーションされることになり、金属層３及び素子４を透明基板１から剥離することができる。このような樹脂層２は、例えば熱硬化性接着剤を硬化させることで形成されており、樹脂層２によって透明基板１に固定された素子４を透明基板１上で加工することもできる。また、樹脂層２は、金属層３がアブレーションされる温度より低い温度でアブレーションされる樹脂であれば良いことから、透明基板１上で素子４を加工する場合であっても素子４を加工するために使用する薬品に対して変質し難い材料を選択することも可能であり、樹脂層２に用いる材料の選択枝がＵＶ硬化樹脂を用いる場合に比べて広がる。 The resin layer 2 is an adhesive layer that bonds the metal layer 3 formed on the lower side of the element 4 and the transparent substrate 1 and is formed of a resin that is ablated at a lower temperature than the temperature at which the metal layer 3 is ablated. Is done. Therefore, when the temperature of the metal layer 3 itself increases due to the heat generated in the metal layer 3, the resin layer 2 is ablated before the metal layer 3 is ablated and disappears from the element 4. And the element 4 can be peeled from the transparent substrate 1. Such a resin layer 2 is formed, for example, by curing a thermosetting adhesive, and the element 4 fixed to the transparent substrate 1 by the resin layer 2 can be processed on the transparent substrate 1. Further, since the resin layer 2 may be a resin that is ablated at a temperature lower than the temperature at which the metal layer 3 is ablated, the element 4 is processed even when the element 4 is processed on the transparent substrate 1. Therefore, it is possible to select a material that hardly changes in quality with respect to the chemicals used, and the selection of the material used for the resin layer 2 is wider than when a UV curable resin is used.

金属層３は、樹脂層２上に形成されており、後述するパルスレーザ光Ｌ_１を吸収する光吸収層である。金属層３は、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｉから選択された一種、又は２種以上の金属で構成される。なお、光吸収層は、パルスレーザ光Ｌ_１を殆ど反射することなく吸収し、パルスレーザ光Ｌ_１のエネルギーによって熱を発生させる材料を主たる材料として形成されていれば金属層に限定されるものでなく、例えばセラミクスを主たる材料として形成することも可能である。 Metal layer 3 is formed on the resin layer 2, a light-absorbing layer which absorbs a pulsed laser light L ₁ which will be described later. The metal layer 3 is made of, for example, one kind selected from Ti, Cr, or Ni, or two or more kinds of metals. The light absorbing layer absorbs almost without reflecting the pulsed laser beam L _1, limited to the metal layer be formed of material which generates heat as the main material by the energy of the pulsed laser light L ₁ Alternatively, for example, ceramics can be formed as a main material.

また、Ｔｉ、Ｃｒ及びＮｉは幅広い波長領域の光を吸収することができることから、光吸収層である金属層として特に好ましい材料である。したがって、Ｔｉなどを主たる材料として金属層３を形成した場合には照射される光の波長に殆ど制限を受けることがないうえ、金属層３は効率良く光のエネルギーを吸収して熱に変換することができる。また、これら金属のうち２種以上の金属によって金属層を形成しても良い。金属層３は、素子４の配線、又は電極であっても良く、別途素子４と樹脂層２との間に金属層３を設けることなくこれら配線、又は電極を光吸収層として兼用することも可能である。 Ti, Cr, and Ni are particularly preferable materials for the metal layer that is a light absorption layer because they can absorb light in a wide wavelength region. Therefore, when the metal layer 3 is formed using Ti or the like as a main material, the wavelength of the irradiated light is hardly limited, and the metal layer 3 efficiently absorbs the energy of light and converts it into heat. be able to. Moreover, you may form a metal layer with 2 or more types of metals among these metals. The metal layer 3 may be a wiring or electrode of the element 4, and the wiring or electrode may be used as a light absorption layer without providing the metal layer 3 between the element 4 and the resin layer 2 separately. Is possible.

素子４は、例えば、発光素子、液晶制御素子、光電変換素子、圧電素子、薄膜トランジスタ素子、薄膜ダイオード素子、抵抗素子、スイッチング素子、微小磁気素子、微小光学素子から選ばれた素子、若しくはその部分、又はこれらの組み合わせであるが、これらに限定されず如何なる素子であって良い。 The element 4 is, for example, a light emitting element, a liquid crystal control element, a photoelectric conversion element, a piezoelectric element, a thin film transistor element, a thin film diode element, a resistance element, a switching element, a micro magnetic element, a micro optical element, or a portion thereof, Or it is a combination of these, but it is not limited to these, and any element may be used.

続いて、図１（ｂ）に示すように、透明基板１の裏面側から金属層３にパルスレーザ光Ｌ_１を照射する。パルスレーザ光Ｌ_１は樹脂層２に殆ど吸収されず、金属層３に直接照射される。金属層３は、パルスレーザ光Ｌ_１から吸収したエネルギーによって熱を発生し、その熱が金属層３から樹脂層２に伝熱することによって、金属層３に接する樹脂層２の一部が加熱される。樹脂層２がアブレーションされる温度は金属層３がアブレーションされる温度より低いことから、樹脂層２のうち金属層３に接する樹脂部２ａがその熱によって瞬時にアブレーションされるとともに、樹脂層２のうちアブレーションされなかった樹脂部２ｂが透明基板１に接着した状態で残る。すなわち、樹脂層２のうち樹脂層２と金属層３とを接着する部分がアブレーションされることにより金属層３から樹脂層２が剥離され、金属層３は素子４側にそのまま残ることになる。したがって、金属層３を素子４に設けられた配線や電極を光吸収層として機能させることにより、素子４を透明基板１から分離した後でもそのまま本来の配線や電極として機能させることも可能である。 Subsequently, as shown in FIG. 1 (b), irradiating the pulse laser light L ₁ from the back side of the transparent substrate 1 to the metal layer 3. The pulse laser beam L ₁ is hardly absorbed by the resin layer 2 and is directly irradiated to the metal layer 3. The metal layer 3, heat generated by the energy absorbed from the pulsed laser light L _1, by which the heat is transferred to the resin layer 2 of a metal layer 3, a part of the resin layer 2 in contact with the metal layer 3 heated Is done. Since the temperature at which the resin layer 2 is ablated is lower than the temperature at which the metal layer 3 is ablated, the resin portion 2a in contact with the metal layer 3 in the resin layer 2 is instantaneously ablated by the heat, and the resin layer 2 Among them, the resin part 2 b that has not been ablated remains in a state where it is adhered to the transparent substrate 1. That is, the resin layer 2 is peeled from the metal layer 3 by ablating the portion of the resin layer 2 where the resin layer 2 and the metal layer 3 are bonded, and the metal layer 3 remains on the element 4 side. Therefore, by making the metal layer 3 function as a light absorption layer of the wiring or electrode provided on the element 4, it is possible to function as the original wiring or electrode as it is even after the element 4 is separated from the transparent substrate 1. .

パルスレーザ光Ｌ_１の波長は、可視光、又は赤外光の波長領域にあり、ＵＶレーザ光（ＵＶ：ＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）の如き紫外光領域の波長に比べて長波長である。パルスレーザ光Ｌ_１としては、例えば、ＹＡＧレーザ光の高調波を用いることが可能である。ＹＡＧレーザ光は基本波として波長１０６４ｎｍの波長を有するレーザ光であるが、このレーザ光を非線形光学結晶であるＫＤＰ（KH₂PO₄）を備える高調波ユニットに通過させることでより短波長である高調波が得られる。すなわち、エキシマレーザ光の如きＵＶレーザ光を用いることなく、ＹＡＧレーザ光の基本波から高調波を発生させてより短波長のレーザ光を光吸収層とされる金属層３に照射することも可能である。 The wavelength of the pulsed laser light _{L 1} is in the visible light, or a wavelength region of infrared light, UV laser light: a longer wavelength than the wavelength of such ultraviolet region of the (UV Ultra Violet). The pulsed laser light L _1, for example, it is possible to use the harmonic of a YAG laser beam. The YAG laser beam is a laser beam having a wavelength of 1064 nm as a fundamental wave, but it has a shorter wavelength by passing this laser beam through a harmonic unit including KDP (KH ₂ PO ₄ ) that is a nonlinear optical crystal. Harmonics are obtained. That is, without using UV laser light such as excimer laser light, it is also possible to generate harmonics from the fundamental wave of YAG laser light and irradiate the metal layer 3 serving as a light absorption layer with laser light having a shorter wavelength. It is.

さらに、パルスレーザ光Ｌ_１の如き指向性の高い光を金属層３に照射することにより、指向性の低い拡散した光を用いる場合に比べてエネルギー密度を高めることができ、金属層３の微小な領域で熱を発生させる場合でも瞬時に金属層３に熱を発生させ、この微小な領域に接する樹脂層２を金属層３から剥離することが可能となる。また、パルスレーザ光Ｌ_１を金属層３に瞬間的に照射することにより、金属層３の被照射領域に供給されるエネルギー密度を高めることも可能となる。したがって、ＵＶレーザ光の如き紫外線領域の波長を有する光によって樹脂層２を直接アブレーションすることなく、金属層３で熱を発生させてこの熱によって樹脂層２の一部をアブレーションすることができ、ＵＶレーザ光より長波長の光を用いて樹脂層２をアブレーションすることが可能となる。 Further, by the pulse laser light L ₁ of such highly directional light irradiated to the metal layer 3, the energy density in comparison with the case of using a low directivity diffused light can be enhanced, fine metal layer 3 Even when heat is generated in such a region, it is possible to instantaneously generate heat in the metal layer 3 and to peel the resin layer 2 in contact with the minute region from the metal layer 3. Further, by the pulse laser light L ₁ momentarily irradiating the metal layer 3, it is possible to increase the energy density to be supplied to the irradiated region of the metal layer 3. Therefore, without directly ablating the resin layer 2 with light having a wavelength in the ultraviolet region such as UV laser light, heat can be generated in the metal layer 3 and a part of the resin layer 2 can be ablated by this heat. The resin layer 2 can be ablated using light having a longer wavelength than the UV laser light.

さらにまた、パルスレーザ光Ｌ_１を発生して金属層３に照射するための光学系は、ＵＶレーザ光の如き紫外光領域の波長を有する光を発生させて照射するための光学系に比べて一般に安価であり、透明基板１から分離して形成される素子４の製造コストを低減することもできる。 Furthermore, the optical system for irradiating the metal layer 3 by generating a pulsed laser beam L _1, as compared to an optical system for irradiating by generating light having a wavelength of such ultraviolet region of the UV laser beam In general, it is inexpensive and the manufacturing cost of the element 4 formed separately from the transparent substrate 1 can be reduced.

図１（ｃ）は、樹脂部２ａがアブレーションされた後、樹脂部２ｂから金属層３が剥離されることによって、素子４が透明基板１から分離される工程を示す図である。樹脂部２ａがアブレーションされた状態で素子４を透明基板１から分離する際には、素子４を保持部材で保持しながら樹脂部２ｂから素子４を分離すれば良い。また、素子４は、樹脂で被覆された樹脂形成チップであっても良く、素子４の下側に金属層３の如き光吸収層が形成されていれば如何なる構造であっても良い。例えば、素子４の上側から光を照射する際に当該素子４がこの光を遮蔽する場合であっても、透明基板１の裏面側からパルスレーザ光Ｌ_１を照射することにより素子４を透明基板１から分離することができる。 FIG. 1C is a diagram illustrating a process in which the element 4 is separated from the transparent substrate 1 by peeling the metal layer 3 from the resin portion 2 b after the resin portion 2 a is ablated. When the element 4 is separated from the transparent substrate 1 in a state where the resin portion 2a is ablated, the element 4 may be separated from the resin portion 2b while holding the element 4 with a holding member. The element 4 may be a resin-formed chip coated with a resin, and may have any structure as long as a light absorption layer such as the metal layer 3 is formed below the element 4. For example, even when the element 4 shields this light when irradiating light from the upper side of the element 4, the element 4 is made transparent by irradiating the pulse laser beam L ₁ from the back side of the transparent substrate 1. 1 can be separated.

なお、本実施形態においては、パルスレーザ光Ｌ_１を透明基板１に配置された複数の素子４のうち特定の素子４に選択的に照射して素子４を透明基板１から分離するが、透明基板１上に形成された複数の素子４を一括して分離することも可能である。 In the present embodiment, by selectively irradiating the particular element 4 out of the plurality of elements 4 which are arranged a pulsed laser light L ₁ on the transparent substrate 1 to separate the element 4 from the transparent substrate 1, transparent It is also possible to separate a plurality of elements 4 formed on the substrate 1 at once.

このように、本実施形態にかかる剥離方法によれば、素子４と透明基板１との間の樹脂層２に直接光を照射するのではなく、光吸収層とされる金属層３で発生した熱によって当該樹脂層２をアブレーションすることで金属層３を樹脂層２から剥離し、素子４を透明基板１から分離することができる。したがって、紫外光の如き短波長の光を用いることなく、可視光、又は赤外光の如き比較的長波長の光を用いて素子４を透明基板１から分離することができる。このように紫外光より比較的波長の長い光を発生して照射するための光学系は安価であり、さらに素子４が剥離される透明基板１も紫外光を透過する高価な基板を用いる必要がない。したがって、素子４を透明基板１から分離するための設備のコストを低減することができ、素子の製造コストを低減することが可能となる。さらにまた、光吸収層として素子４の配線や電極の如き金属層を光吸収層として兼用することにより、別途光吸収層を形成する手間を省くこともでき、素子４を透明基板１から分離するための工程を簡略化することもできる。 Thus, according to the peeling method concerning this embodiment, it did not irradiate light directly to the resin layer 2 between the element 4 and the transparent substrate 1, but it generate | occur | produced in the metal layer 3 used as a light absorption layer. By ablating the resin layer 2 with heat, the metal layer 3 can be separated from the resin layer 2, and the element 4 can be separated from the transparent substrate 1. Therefore, the element 4 can be separated from the transparent substrate 1 using light having a relatively long wavelength such as visible light or infrared light without using light having a short wavelength such as ultraviolet light. Thus, the optical system for generating and irradiating light having a relatively longer wavelength than ultraviolet light is inexpensive, and the transparent substrate 1 from which the element 4 is peeled must also be an expensive substrate that transmits ultraviolet light. Absent. Therefore, the cost of equipment for separating the element 4 from the transparent substrate 1 can be reduced, and the manufacturing cost of the element can be reduced. Furthermore, by using a metal layer such as a wiring or an electrode of the element 4 as the light absorption layer as the light absorption layer, it is possible to eliminate the trouble of separately forming the light absorption layer, and the element 4 is separated from the transparent substrate 1. The process for this can also be simplified.

特に、本実施形態で説明した剥離方法は微小な素子を基板から剥離して別の基板に移す工程に好適な剥離方法であり、例えば約１００μｍ以下のサイズを有する素子を別基板に転写する際に安価な設備を用いて簡便に素子を基板から分離して転写することができる。
[第２の実施の形態] In particular, the peeling method described in this embodiment is a peeling method suitable for a process of peeling a minute element from a substrate and transferring it to another substrate. For example, when transferring an element having a size of about 100 μm or less to another substrate. In addition, the device can be easily separated from the substrate and transferred using inexpensive equipment.
[Second Embodiment]

次に、本発明にかかる剥離方法の別の実施形態について説明する。図２は、本実施形態にかかる剥離方法を示す工程断面図であり、図２（ａ）は透明基板１１上に金属層１２及び樹脂層１３を介して素子１４が配置された状態を示す断面図、同図（ｂ）は透明基板１１の裏面側からパルスレーザ光Ｌ_２を照射する工程を示す断面図、同図（ｃ）は金属層１２から樹脂層１３を剥離する工程を示す断面工程図である。 Next, another embodiment of the peeling method according to the present invention will be described. FIG. 2 is a process cross-sectional view illustrating the peeling method according to the present embodiment. FIG. 2A is a cross-sectional view illustrating a state in which the element 14 is disposed on the transparent substrate 11 with the metal layer 12 and the resin layer 13 interposed therebetween. Figure, FIG. (b) is a sectional view of a process of irradiating a pulse laser beam L ₂ from the back surface side of the transparent substrate 11, and FIG. (c) is a cross-sectional step of a process of peeling off the resin layer 13 from the metal layer 12 FIG.

図２（ａ）に示すように、透明基板１１上に金属層１２が形成され、その上に樹脂層１３を介して素子１４が形成されている。また、樹脂層１３は素子１４のサイズに合わせて素子分離溝１５によって離間されている。素子１４は、透明基板１１上に金属層１２を形成した後、樹脂層１３と共に金属層１２上に配置されたものでも良い。また、素子１４は、金属層１２上に形成された樹脂層１３に素子１４を別の基板から転写して接着したものでも良い。 As shown in FIG. 2A, a metal layer 12 is formed on a transparent substrate 11, and an element 14 is formed thereon via a resin layer 13. Further, the resin layer 13 is separated by an element isolation groove 15 in accordance with the size of the element 14. The element 14 may be disposed on the metal layer 12 together with the resin layer 13 after forming the metal layer 12 on the transparent substrate 11. Further, the element 14 may be formed by transferring and bonding the element 14 from another substrate to the resin layer 13 formed on the metal layer 12.

透明基板１１は、第１の実施の形態と同様に後述するパルスレーザ光Ｌ_２の如き光を透過する材料で形成されていれば良く、石英やサファイアの如き光透過性が高い材料を用いることなく、通常用いられるガラス基板を使用することができる。ここで、通常用いられるガラス基板とは、紫外光の如き短波長の光に対する光透過率が低い基板であっても、可視光、又赤外光の如き紫外光に比べて比較的長波長の光に対する光透過率が高い基板である。また、透明基板１１はこれに限定されるものではなく、紫外光から赤外光までの広い波長領域の光に対して高い光透過率を有する基板であっても良い。さらに、透明基板１１としては、光透過性を有する合成樹脂を主たる材料として形成されたフィルムを用いることもでき、このような合成樹脂の一例としてＰＥＴを挙げることができる。 Transparent substrate 11 may be formed of a material which transmits the pulsed laser light L ₂ of such light will be described later in the same manner as in the first embodiment, the use of optical transparency such as quartz or sapphire material having a high In addition, a commonly used glass substrate can be used. Here, a normally used glass substrate is a substrate having a relatively long wavelength compared to ultraviolet light such as visible light or infrared light, even if it is a substrate having low light transmittance for light of short wavelength such as ultraviolet light. It is a substrate having a high light transmittance to light. The transparent substrate 11 is not limited to this, and may be a substrate having a high light transmittance with respect to light in a wide wavelength region from ultraviolet light to infrared light. Furthermore, as the transparent substrate 11, a film formed using a synthetic resin having light transmittance as a main material can be used, and an example of such a synthetic resin is PET.

樹脂層１３は、素子１４と金属層１２とを接着する接着層であり、金属層１２がアブレーションされる温度に比べて低い温度でアブレーションされる樹脂で形成される。このような樹脂層１３は、例えば熱硬化性接着剤を硬化させることで形成されており、樹脂層１３によって金属層１２に固定された素子１４を透明基板１１上で加工することもできる。樹脂層１３は、金属層１２がアブレーションされる温度に比べて低い温度でアブレーションされる樹脂で形成されていれば良く、素子１４を透明基板１１上で加工する際のエッチング溶液に対して殆ど劣化しない樹脂を選択することもでき、透明基板１１に素子を配置した状態で素子１４を加工する場合であっても、加工工程に殆ど制約を受けることがない。 The resin layer 13 is an adhesive layer that bonds the element 14 and the metal layer 12, and is formed of a resin that is ablated at a lower temperature than the temperature at which the metal layer 12 is ablated. Such a resin layer 13 is formed by, for example, curing a thermosetting adhesive, and the element 14 fixed to the metal layer 12 by the resin layer 13 can be processed on the transparent substrate 11. The resin layer 13 only needs to be formed of a resin that is ablated at a temperature lower than the temperature at which the metal layer 12 is ablated, and is almost deteriorated with respect to an etching solution when the element 14 is processed on the transparent substrate 11. It is also possible to select a non-resin, and even when the element 14 is processed in a state where the element is arranged on the transparent substrate 11, the processing step is hardly restricted.

金属層１２は、透明基板１１上に形成されており、後述するパルスレーザ光Ｌ_２を吸収する光吸収層である。また、本実施形態にかかる剥離方法においては、透明基板１１上の略全面に金属層１２が形成されているが、透明基板１１の所要の領域に形成されていても良い。金属層１２は、例えば、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｎｉから選択された一種、又は２種以上の金属で構成される。光吸収層は、パルスレーザ光Ｌ_１を殆ど反射することなく吸収し、パルスレーザ光Ｌ_１のエネルギーによって熱を発生させる材料を主たる材料として形成されていれば金属層に限定されるものでなく、例えばセラミクスを主たる材料として形成することも可能である。 Metal layer 12 is formed on the transparent substrate 11, a light-absorbing layer which absorbs a pulsed laser beam L ₂ to be described later. In the peeling method according to the present embodiment, the metal layer 12 is formed on substantially the entire surface of the transparent substrate 11, but may be formed in a required region of the transparent substrate 11. The metal layer 12 is made of, for example, one type selected from Ti, Cr, or Ni, or two or more types of metals. Light absorbing layer absorbs almost without reflecting the pulsed laser beam L _1, not limited to the metal layer be formed of material which generates heat as the main material by the energy of the pulsed laser light L ₁ For example, ceramics can be formed as a main material.

また、Ｔｉ、Ｃｒ及びＮｉは幅広い波長領域の光を吸収することができることから、光吸収層である金属層１２として特に好ましい材料である。したがって、Ｔｉなどを主たる材料として金属層１２を形成した場合には照射される光の波長に殆ど制限を受けることがないうえ、金属層１２は効率良く光のエネルギーを吸収して熱に変換することができる。また、金属層１２を半透明にしておくことにより、透明基板１１の裏面側から素子１４の位置を確認しながら選択的にパルスレーザ光Ｌ_２を照射することもできる。例えば、金属層１２がＴｉ薄膜である場合には、当該Ｔｉ薄膜の膜厚を２０ｎｍ程度にしておけば透明基板１１の裏面側から素子１４の位置を確認することができる。 Ti, Cr, and Ni are particularly preferable materials for the metal layer 12 that is a light absorption layer because they can absorb light in a wide wavelength region. Therefore, when the metal layer 12 is formed using Ti or the like as a main material, the wavelength of the irradiated light is hardly limited, and the metal layer 12 efficiently absorbs light energy and converts it into heat. be able to. Further, the metal layer 12 by previously translucent, could also be selectively irradiated with pulsed laser light L ₂ while checking the position of the element 14 from the back side of the transparent substrate 11. For example, when the metal layer 12 is a Ti thin film, the position of the element 14 can be confirmed from the back side of the transparent substrate 11 if the thickness of the Ti thin film is about 20 nm.

素子１４は、第１の実施の形態と同様に、発光素子、液晶制御素子、光電変換素子、圧電素子、薄膜トランジスタ素子、薄膜ダイオード素子、抵抗素子、スイッチング素子、微小磁気素子、微小光学素子から選ばれた素子、若しくはその部分、又はこれらの組み合わせであっても良い。また、素子１４はこれら素子の限定されるものではなく、如何なる素子であって良い。 As in the first embodiment, the element 14 is selected from a light emitting element, a liquid crystal control element, a photoelectric conversion element, a piezoelectric element, a thin film transistor element, a thin film diode element, a resistance element, a switching element, a minute magnetic element, and a minute optical element. Or a combination thereof. The element 14 is not limited to these elements, and may be any element.

続いて、図２（ｂ）に示すように、透明基板１１の裏面側からパルスレーザ光Ｌ_２を金属層１２に選択的に照射する。本実施形態においては、パルスレーザ光Ｌ_２を透明基板１１に配置された複数の素子１４のうち特定の素子１４を選択的に透明基板１１から分離するが、透明基板１１上に形成された複数の素子１４を一括して分離することもできる。 Subsequently, as shown in FIG. 2 (b), the pulsed laser light L ₂ is selectively irradiated to the metal layer 12 from the back side of the transparent substrate 11. More in this embodiment, separated from optically transparent substrate 11 a specific element 14 of the plurality of elements 14 that the pulsed laser light L ₂ disposed on the transparent substrate 11, which is formed on the transparent substrate 11 These elements 14 can also be separated together.

パルスレーザ光Ｌ_２は、第１の実施の形態で用いたパルスレーザ光Ｌ_１と同様の光を用いることができることから詳細な説明は省略するが、素子１４のサイズに合わせて分離された樹脂層１３の下側の金属層１２ａに選択的にパルスレーザ光Ｌ_２を照射し、樹脂層１３を金属層１２から剥離する。金属層１２ａは吸収したパルスレーザ光Ｌ_２のエネルギーに応じて熱を発生し、この熱によって樹脂層１３のうち金属層１２ａに接する樹脂部１３ｂがアブレーションされる。 Since the pulse laser beam L ₂ can be the same as the pulse laser beam L ₁ used in the first embodiment, detailed description is omitted, but the resin separated in accordance with the size of the element 14 The metal layer 12 a on the lower side of the layer 13 is selectively irradiated with pulsed laser light L ₂ , and the resin layer 13 is peeled off from the metal layer 12. Metal layer 12a of heat generated in response to the energy of the pulsed laser light L ₂ having absorbed, the resin portion 13b in contact with the metal layer 12a of the resin layer 13 is ablated by the heat.

すなわち、樹脂部１３ｂが直接パルスレーザ光Ｌ_２を吸収するのではなく、樹脂部１３ｂに接する金属層１２で発生した熱によって樹脂部１３ｂがアブレーションされることになる。したがって、パルスレーザ光Ｌ_２を吸収する材料を選択して樹脂層１３を形成することなく、金属層１２から樹脂層１３を剥離することが可能となる。特に、パルスレーザ光Ｌ_２の如き光は指向性が高いとともに光径を狭めることが可能であることから、素子１４のサイズが約１００μｍであっても素子１４のサイズに応じた狭い領域にエネルギーを供給することができる。 That is, the resin portion 13b rather than to absorb the pulsed laser light L ₂ directly, so that the resin portion 13b is ablated by the heat generated in the metal layer 12 in contact with the resin portion 13b. Therefore, without forming a resin layer 13 by selecting a material that absorbs a pulsed laser beam L _2, it is possible to peel off the resin layer 13 from the metal layer 12. In particular, light such as the pulsed laser light L ₂ has high directivity and can narrow the light diameter. Therefore, even if the size of the element 14 is about 100 μm, the energy in a narrow region corresponding to the size of the element 14 is obtained. Can be supplied.

よって、金属層１２ａの如き素子１４の下側のみに選択的にパルスレーザ光Ｌ_２を照射して、樹脂層１３ｂをアブレーションすることが可能となる。さらに、パルスレーザ光Ｌ_２の如き指向性の高い光を金属層１２ａに照射することにより被照射領域に対する照射エネルギー密度を高めることができ、金属層１２ａの如き微小な領域で熱を発生させる場合でも瞬時に金属層１２ａに熱を発生させ、この微小な領域に接する樹脂層１３ｂを金属層１２ａから剥離することが可能となる。また、パルスレーザ光Ｌ_２を金属層１２に瞬間的に照射することにより、被照射領域である金属層１２ａに供給されるエネルギー密度を高めることも可能となる。なお、金属層１２ａの加熱は瞬時に行われるため、選択的にパルスレーザ光Ｌ２が照射された金属層１２ａの上側に配置される素子１４及び樹脂部１３ａを透明基板１１から分離することができ、金属層１２ａの周囲の金属層１２に殆ど熱伝導することがない。 Therefore, the lower-mentioned elements 14 of the metal layer 12a only selectively irradiated with pulsed laser light L _2, it becomes possible to ablate the resin layer 13b. Furthermore, if the irradiation energy density with respect to the irradiation region can be increased, thereby generating heat in such minute area of the metal layer 12a by a pulsed laser beam L ₂ of such highly directional light irradiating the metal layer 12a However, it is possible to instantaneously generate heat in the metal layer 12a and peel the resin layer 13b in contact with the minute region from the metal layer 12a. Further, by the pulsed laser beam L ₂ momentarily irradiating the metal layer 12, it is also possible to increase the energy density to be supplied to the metal layer 12a is a region to be irradiated. In addition, since the heating of the metal layer 12a is instantaneously performed, the element 14 and the resin portion 13a disposed on the upper side of the metal layer 12a selectively irradiated with the pulse laser beam L2 can be separated from the transparent substrate 11. There is almost no heat conduction to the metal layer 12 around the metal layer 12a.

また、第１の実施の形態と同様に、パルスレーザ光Ｌ_２を発生して金属層１２に照射するための光学系は、ＵＶレーザ光の如き紫外光領域の波長を有する光を発生させて照射するための光学系に比べて一般に安価であり、透明基板１から分離して形成される素子１４の製造コストを低減することもできる。さらに、金属層１２は、パルスレーザ光Ｌ_２が照射されることによって殆ど劣化することないため、金属層１２が形成された透明基板１１を繰り返し使用することができる。 As in the first embodiment, an optical system for irradiating the metal layer 12 to generate a pulse laser beam L ₂ is to generate light having a wavelength of such ultraviolet region of the UV laser beam It is generally cheaper than the optical system for irradiating, and the manufacturing cost of the element 14 formed separately from the transparent substrate 1 can also be reduced. Furthermore, the metal layer 12, since no deterioration almost by pulsed laser beam L ₂ is emitted, it can be repeatedly used a transparent substrate 11 where the metal layer 12 is formed.

このように、本実施形態にかかる剥離方法によれば、素子１４と透明基板１１との間の樹脂層１３に直接光を照射するのではなく、光吸収層とされる金属層１２で発生した熱によって当該樹脂層１３をアブレーションすることで樹脂層１２を金属層１３から剥離し、素子１４を透明基板１１から分離することができる。したがって、紫外光の如き短波長の光を用いることなく、可視光、又は赤外光の如き比較的長波長の光を用いて素子１４を透明基板１１から分離することができる。 Thus, according to the peeling method concerning this embodiment, it generate | occur | produced in the metal layer 12 used as a light absorption layer instead of irradiating light directly to the resin layer 13 between the element 14 and the transparent substrate 11. By ablating the resin layer 13 with heat, the resin layer 12 can be peeled off from the metal layer 13 and the element 14 can be separated from the transparent substrate 11. Therefore, the element 14 can be separated from the transparent substrate 11 using light having a relatively long wavelength such as visible light or infrared light without using light having a short wavelength such as ultraviolet light.

また、透明基板１１上で素子１４を加工する場合であっても、加工する際に使用するエッチング溶液の如き薬品に対して劣化し難い樹脂を樹脂層１３を形成する樹脂として選択することもできる。 Further, even when the element 14 is processed on the transparent substrate 11, a resin that hardly deteriorates against chemicals such as an etching solution used for processing can be selected as the resin for forming the resin layer 13. .

さらに、紫外光より比較的長波長の光を発生して照射するための光学系は安価であり、さらに素子が剥離される透明基板１１も紫外光を透過する高価な基板を用いる必要がないことから、素子１４を透明基板１１から分離するための設備のコストを低減することができ、素子１４の製造コストを低減することが可能となる。特に、本実施形態で説明した剥離方法は微小な素子１４を透明基板１１から剥離して別の基板に移す工程に好適な剥離方法であり、例えば約１００μｍ以下のサイズを有する素子１４を別基板に転写する際に安価な設備を用いて簡便に素子１４を透明基板１１から分離して転写することが可能となる。
実施例 Furthermore, the optical system for generating and irradiating light having a relatively longer wavelength than ultraviolet light is inexpensive, and the transparent substrate 11 from which the element is peeled does not need to use an expensive substrate that transmits ultraviolet light. Therefore, the cost of equipment for separating the element 14 from the transparent substrate 11 can be reduced, and the manufacturing cost of the element 14 can be reduced. In particular, the peeling method described in the present embodiment is a peeling method suitable for the process of peeling the minute element 14 from the transparent substrate 11 and transferring it to another substrate. For example, the element 14 having a size of about 100 μm or less is placed on another substrate. It is possible to easily separate and transfer the element 14 from the transparent substrate 11 using an inexpensive facility.
Example

次に、図３及び図４を参照しながら、本願発明者等が行った実験について説明する。本実験は、パルスレーザ光の最適なエネルギー密度を求めるために行われた実験の一例であり、ＹＡＧレーザ光Ｌ_３を照射エネルギーを変えながら金属層３２に照射し、樹脂チップ３３のみを剥離するために最適な照射エネルギーを求めた。 Next, an experiment conducted by the present inventors will be described with reference to FIGS. This experiment is an example of experiments conducted to determine the optimum energy density of the pulsed laser beam, is irradiated with YAG laser beam L ₃ on the metal layer 32 while changing the irradiation energy is peeled off only the resin chips 33 Therefore, the optimum irradiation energy was obtained.

図３及び図４は、本実験を説明するための図である。図３はＹＡＧレーザ光Ｌ_３をサファイア基板３１の裏面側から照射する状態を示す断面図であり、図４は、金属層３２から樹脂チップ３３が剥離された状態を示す平面図である。 3 and 4 are diagrams for explaining this experiment. Figure 3 is a sectional view showing a state of irradiating a YAG laser beam L ₃ from the back surface side of the sapphire substrate 31, FIG. 4 is a plan view showing a state in which the resin chips 33 are peeled from the metal layer 32.

図３に示すように、サファイア基板３１の上に離間された状態で接着された樹脂チップ３３にサファイア基板３１の裏面側からＹＡＧレーザ光Ｌ_３を照射する。ＹＡＧレーザ光Ｌ３の波長は約５３２ｎｍであり、ＹＡＧレーザＬ_３の照射エネルギーを１６０〜１３９０ｍＪ／ｃｍ^２まで変えて樹脂チップ３３の剥離状態を調べた。また、ＹＡＧレーザ光Ｌ_３を一回照射する際の照射エリアは、約４０μｍ角の領域とした。また、金属層３２は、Ｔｉ薄膜を膜厚が２０ｎｍとなるようにサファイア基板３１上に形成した。樹脂チップ３３はポリイミドによって形成し、厚さは２．５μｍとした。 As shown in FIG. 3, YAG laser light L ₃ is irradiated from the back side of the sapphire substrate 31 to the resin chip 33 that is adhered on the sapphire substrate 31 while being separated. Wavelength of YAG laser light L3 is about 532 nm, by changing the irradiation energy of the YAG laser _{L 3} to 160~1390mJ / cm ² was examined peeling state of the resin chips 33. The irradiation area when irradiating a YAG laser beam L ₃ once was a region of approximately 40μm square. Moreover, the metal layer 32 formed Ti thin film on the sapphire substrate 31 so that a film thickness might be set to 20 nm. The resin chip 33 is made of polyimide and has a thickness of 2.5 μm.

図４を参照しながら、実験結果について説明する。図４に示すように、ＹＡＧレーザ光Ｌ_３を一回照射させた際の被照射領域は、ａ＝４０μｍ、ｂ＝４０μｍで示す領域であり、領域Ｓ_１，Ｓ_２，Ｓ_３，Ｓ_４で示す領域に配置された樹脂チップ３３に対して、照射エネルギーを変えながらＹＡＧレーザ光Ｌ_３を照射した。 The experimental results will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4, the irradiated region when the YAG laser beam L ₃ is irradiated once is a region indicated by a = 40 μm, b = 40 μm, and regions S ₁ , S ₂ , S ₃ , S _4. the resin chips 33 disposed in the region indicated by was irradiated with YAG laser beam L ₃ while changing the irradiation energy.

本実験によれば、領域Ｓ_１に接着された樹脂チップ３３に照射されたＹＡＧレーザ光Ｌ_３の照射エネルギーは、約１６０ｍＪ／ｃｍ^２であり、樹脂チップ３３を剥離することができなかった。領域Ｓ_２に接着された樹脂チップ３３に照射されたＹＡＧレーザ光Ｌ_３の照射エネルギーは２００〜４００ｍＪ／ｃｍ^２であり、樹脂チップ３３のみを金属層３２から剥離することができた。さらに、照射エネルギーを上げて領域Ｓ_３，Ｓ_４に接着された樹脂チップ３３にＹＡＧレーザ光Ｌ_３を照射した場合には、樹脂チップ３３を剥離することができなかった。なお、領域Ｓ４に照射した際の照射エネルギーは約１３９０ｍＪ／ｃｍ^２であった。 According to this experiment, the irradiation energy of the YAG laser beam L ₃ applied to the resin chip 33 bonded to the region S ₁ is about 160 mJ / cm ² , and the resin chip 33 cannot be peeled off. The irradiation energy of the YAG laser beam L ₃ applied to the resin chip 33 bonded to the region S ₂ was 200 to 400 mJ / cm ² , and only the resin chip 33 could be peeled from the metal layer 32. Furthermore, when the irradiation energy was increased and the resin chip 33 bonded to the regions S ₃ and S ₄ was irradiated with the YAG laser light L ₃ , the resin chip 33 could not be peeled off. The irradiation energy when irradiating the region S4 was about 1390 mJ / cm ² .

図４に示した実験結果から、ポリイミドで形成された樹脂チップ３３のみをＴｉ薄膜で形成された金属層３２から剥離するためにはＹＡＧレーザ光Ｌ_３の最適な照射エネルギーは２００〜４００ｍＪ／ｃｍ^２であることがわかった。なお、本実験に限定されず、サファイア基板３１、金属層３２、及び樹脂チップの材料やサイズの如き試料条件に応じて照射エネルギーを最適化すれば、光吸収層とされる金属層から樹脂層を容易に剥離することができることは勿論である。 Experimental results shown in FIG. 4, the optimum irradiation energy of the YAG laser beam _{L 3} in order to peel only the resin chips 33 formed of a polyimide from the metal layer 32 formed of Ti films 200 to 400 mJ / cm ² was found. Note that the present invention is not limited to this experiment, and if the irradiation energy is optimized according to the sample conditions such as the material and size of the sapphire substrate 31, the metal layer 32, and the resin chip, the resin layer is changed from the metal layer to be the light absorption layer Of course, can be easily peeled off.

本発明の第１の実施の形態にかかる剥離方法を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the peeling method concerning the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態にかかる剥離方法を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the peeling method concerning the 2nd Embodiment of this invention. 本願発明者等が行った実験を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the experiment which this inventor etc. conducted. 本願発明者等が行った実験結果を示す図であり、樹脂チップが剥離された状態を示す平面図である。It is a figure which shows the experimental result which this inventor etc. performed, and is a top view which shows the state from which the resin chip was peeled.

Explanation of symbols

１，１１透明基板
２，１３樹脂層
２ａ，２ｂ，１３ａ，１３ｂ樹脂部
３，１２，１２ａ，３２金属層
４，１４素子
５，１５素子分離溝
３１サファイア基板
３３樹脂チップ
Ｌ_１，Ｌ_２パルスレーザ光
Ｌ_３ＹＡＧレーザ光 1,11 transparent substrate 2, 13 resin layer 2a, 2b, 13a, 13b resin portion 3,12,12a, 32 metal layer 4, 14 elements 5,15 isolation trench 31 sapphire substrate 33 resin chips L _1, _{L 2} pulses Laser light L ₃ YAG laser light

Claims

A light absorption layer is formed on the substrate, and an element is formed on the top via a resin layer.
Irradiating the light absorbing layer with light;
A peeling method in which the resin layer is ablated by transferring heat generated in the light absorption layer to the resin layer to peel the element from the substrate.

The peeling method according to claim 1, wherein the light is irradiated from a back surface side of a substrate on which the resin layer and the light absorption layer are laminated.

The peeling method according to claim 2, wherein the substrate is mainly made of a light-transmitting inorganic material or a light-transmitting synthetic resin.

The resin layer is formed on the light absorption layer,
The peeling method according to claim 1, wherein the resin layer is separated according to a size of the element.

The peeling method according to claim 1, wherein a temperature at which the light absorption layer is ablated is higher than a temperature at which the resin layer is ablated.

The peeling method according to claim 1, wherein the light absorption layer is mainly made of metal.

The metal is one or more materials selected from Ti, Cr, and Ni.
The peeling method according to claim 6 .

The peeling method according to claim 1, wherein a wavelength of light applied to the light absorption layer is in a wavelength region of visible light or infrared light.

The peeling method according to claim 1, wherein the light is laser light.

A light absorption layer is formed on the substrate, and an element is formed on the top via a resin layer.
Selectively irradiating the light absorbing layer with light;
A method of peeling the element from the substrate by ablating the resin layer by transferring heat generated in the light absorbing layer to the resin layer in contact with the light irradiated region of the light absorbing layer .

The light absorbing layer is translucent
The peeling method according to claim 10 .