JP4923677B2 - フィルムスピーカおよびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、電気信号を音波に変換するスピーカに係り、特に、オーディオ信号に応じた駆動電圧が付与される固定電極と、当該固定電極に対向して移動可能でバイアス電圧が付与されるバイアス電極を有するフィルム部材とを備え、このフィルム部材により形成される空間内に存在する空気相が押し出されたり、引き戻されることにより音波が発生されるフィルムスピーカおよびその製造方法に関する。

電気音響変換器となるスピーカとしては、従来より、コンデンサ型のものが知られている。このコンデンサ型スピーカは、板状をなす固定電極に近接させて薄膜状の振動膜を配置したもので、振動膜にバイアス電圧を印加した状態で固定電極に音声電圧を印加することにより、振動膜を振動させて音波として放射するようになされている。
ところで、コンデンサ型のスピーカは、一般的に音の周波数帯域が狭く、普通以下のサイズのものは高音用として用いられるのが通常であった。また、低音域まで周波数帯域を拡げたものもあるが、そのようなスピーカはかなり大型になってしまうばかりでなく、大きな面積を有する振動膜を固定電極に対して一定の距離だけ離間して保持することはかなりの困難を伴った。さらに、振動膜の振動を外部に音波信号として放射するために、固定電極にパンチングメタルと呼ばれる多数の孔が形成された部品を用いなければならないため、製造コストが割高になっていた。

そこで、大型化することなく周波数帯域の全域の周波数特性を向上させることができるスピーカとして、ハイル型と呼ばれるものが提案されるようになった。このハイル型スピーカは、例えば、特許文献１（特公昭５５ー４２５５５号公報）に開示されているように、１枚の振動板を蛇行するように折り曲げるとともにその両端部をケーシングに支持し、振動板の両側部に磁石を配置して構成されている。このようなハイル型スピーカにおいては、振動板を蛇行するように曲げているので、大型化することなく振動板の総面積を大きくすることができ、低音域までカバーすることができるという利点がある。

しかしながら、上記のようなハイル型スピーカでは、振動板の両端部のみを支持してその間をフリーにしていることから、振動板の形状を所定の形状に保持するためにはその大きさに限界があった。このため、低音域を充分にカバーすることができなかった。また、振動板の両側部に磁石を配置しているため、磁石同士の距離が長くなり、振動板全体を振動させるような強い磁場を形成する必要があることから、かなり大型の磁石を使用しなければならないという問題もあった。

そこで、特許文献２（特開平８−２４２４９８号公報）で開示されるようなスピーカも提案されるようになった。この特許文献２にて開示されたスピーカにあっては、板状の固定電極を互いに平行に離間するように複数配置して電極集合体を構成し、各固定電極同士の中間に、振動膜をその縁部に配置したスペーサを介して挟持する。また、この振動膜にバイアス電圧を印加するとともに、両端部に音声電圧を発生させる音声電圧発生手段の一方の端部と他方の端部とを固定電極に交互に接続する。そして、スペーサに、振動膜が固定電極側へ振れる際に、電極集合体の一側から空気が吐出されると同時に電極集合体の他側から空気が吸引される開口部を設けるようにして、スピーカを構成するようにしている。

さらに、ピエゾフィルムを積層して作ったバイモルフによって、アコ−ディオンのヒダのくぼみを拡張させたり収縮させて、音波を放射するフィルムスピーカが特許文献３（特開２００２−２７５９２号公報）で提案されるようになった。
特公昭５５ー４２５５５号公報 特開平８−２４２４９８号公報 特開２００２−２７５９２号公報

しかしながら、上述した特許文献２にて提案されたスピーカにおいては、振動膜（フィルム）とスペーサを順に積み上げていくため、工数がかかり、生産性が悪いという問題を生じた。また、出力アンプの信号端子の一方の端部と他方の端部とを多数の固定電極に交互に接続する必要があるため、生産性も悪いという問題も生じた。また、裏面に設置した固定電極からの駆動しか使わないので効率も十分ではないという問題も生じた。

一方、上述した特許文献３にて提案されたフィルムスピーカにおいては、フィルムの駆動にピエゾフィルムを使うため、電圧と変形量のリニア性(線形性)が充分に良好なものでなく、音質は歪っぽいという問題を生じた。
そこで、本発明は上記の如き問題点を解消するためになされたものであって、構造が簡単・容易で、薄型で、変換効率に優れるとともに、入力に対する応答のリニア性(線形性)も良好で、音の歪が少なく、かつ安価なフィルムスピーカを提供するとともに、この種のスピーカを簡単・容易に製造できる製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明のフィルムスピーカにおいては、オーディオ信号に応じた駆動電圧が付与される固定電極と、当該固定電極に対向して移動可能でバイアス電圧が付与されるバイアス電極を有するフィルム部材とを備えている。そして、フィルム部材は折り畳まれて複数の山部と谷部とが形成されているとともに山部および谷部の先端部の上下部は一対の固定枠に接着剤により固定されており、山部を形成する空間内および谷部を形成する空間内の少なくとも一方の空間内の中央部に固定電極が配置されているとともに、バイアス電極は導電性薄膜であって、当該導電性薄膜が固定電極に対向するようにフィルム部材の表面および裏面の両方に形成されており、これらの導電性薄膜の極性が異なるようにバイアス電圧が付与されて、固定電極に付与されたオーディオ信号に応じた駆動電圧に基づく当該固定電極とバイアス電極との間のクーロン力によりバイアス電極を有するフィルム部材により形成される空間内に存在する空気が押し出されたり引き戻されることにより空気振動が生じて音波を発生するようになされていることを特徴とする。

このように、駆動電極に付与されたオーディオ信号に応じた駆動電圧に基づく駆動電極とバイアス電極との間のクーロン力により、バイアス電極を有するフィルム部材により形成される空間内に存在する空気が押し出されたり引き戻されることにより空気振動が生じて音波を発生するようになされていると、構造が単純で、変換効率（オーディオ信号を音波に変換する効率）に優れるとともに、入力に対する応答のリニア性(線形性) もよくて、音の歪が少ないフィルムスピーカを得ることが可能となる。また、一枚の薄膜フィルムを折り曲げて作製することが可能となるため、製造が容易で、生産性効率が向上し、薄型で軽量で、かつ安価なフィルムスピーカを作製することが可能となる。

この場合、フィルム部材は可動することが容易な熱可塑性樹脂フィルムあるいは熱硬化性樹脂フィルムなどの樹脂フィルムからなるのが望ましい。また、バイアス電極は導電性薄膜であって、この導電性薄膜はフィルム部材の表面および裏面の両方に形成されているとともに、これらの導電性薄膜の極性が異なるようにバイアス電圧が付与されるようにするのが望ましい。

また、固定電極は導電性板状体、絶縁板の表裏両面に形成された導電性板状体あるいは絶縁体の表裏両面に導電性薄膜が被覆された板状体であるのが望ましい。この場合、導電性板状体あるいは絶縁体の表裏両面に被覆された導電性薄膜は銅、アルミニウム、クロム、チタン、金、ニッケル、鉄から選択される金属またはそれらの合金から形成された板状体あるいは薄膜、カーボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)から選択される導電性無機材料から形成された板状体あるいは薄膜、微細な金属粉末を分散させた導電性樹脂材料から形成された板状体あるいは薄膜のいずれか１つであるのが望ましい。また、絶縁体の表裏面に形成された導電性薄膜は互いに逆極性となるように接続されていると、変換効率がさらに向上するので望ましい。そして、固定電極およびバイアス電極の少なくとも一方の表面は絶縁膜で被覆されていると、バイアス電極と固定電極との短絡が防止できるので望ましい。

上述のようなフィルムスピーカを作製するに際しては、バイアス電極が形成された薄膜フィルムの表面側および裏面側に円柱状あるいは角柱状の曲げ治具を配置する治具配置工程と、薄膜フィルムの裏面側に配置された曲げ治具と、薄膜フィルムの表面側に配置された曲げ治具とを互に引張するようにして当該薄膜フィルムを折り畳む折り畳み工程と、薄膜フィルムが折り畳たたまれて形成された山部および谷部の少なくとも一方の空間部の中央部に固定電極を配置する固定電極配置工程と、薄膜フィルムの山部および谷部の先端部の上下部を一対の固定枠に接着剤により固定する先端部固定工程とを備えるようにすればよい。この場合、先端部固定工程の後に、曲げ治具除去工程を設けて曲げ治具を取り除くようにしても、あるいは取り除くことなくそのまま曲げ治具を配置するようにしてもよい。

本発明においては、駆動電極に付与されたオーディオ信号に応じた駆動電圧に基づく当該駆動電極とバイアス電極との間のクーロン力により、バイアス電極を有するフィルム部材により形成される空間内に存在する空気が押し出されたり引き戻されることにより空気振動が生じて音波を発生するようになされている。これにより、構造が簡単・容易で、薄型で、変換効率に優れるとともに、入力に対する応答のリニア性(線形性)も良好で、音の歪が少なく、かつ製造が容易で、安価なフィルムスピーカを提供することが可能となる。

以下に、本発明の実施の形態を図１〜図２７に基づいて説明するが、本発明はこの実施の形態に何ら限定されるものでなく、本発明の目的を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。なお、図１は本発明の実施例１のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図２は実施例１の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す断面図である。また、図３は、図１および図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す断面図であり、図４は、図１および図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図である。また、図５は、図１のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図６は、図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図７は他の製造法を模式的に示す断面図である。

図８は実施例２のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図９は実施例２の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す断面図である。図１０は実施例３のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１１は実施例３の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図１２は実施例４のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１３は実施例４の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図１４は実施例５のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１５は実施例５の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図１６は実施例６のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１７は実施例６の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図１８は実施例７のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１９は実施例７の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。

図２０は実施例８のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図２１は実施例８の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図２２は１ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図であり、図２３は１ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図である。図２４は１ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図である。図２５は遅延アレイ方式を用いたスピーカアレイシステムを説明するブロック図である。図２６は１枚のフィルムに１ユニットのフィルムスピーカの複数個を１列形成して構成されたマルチスピーカおよびその放音例を模式的に示す図である。図２７は１枚のフィルムに１ユニットのフィルムスピーカの複数個を複数列形成して構成されたマルチスピーカおよびその放音例を模式的に示す図である。

１．実施例１
本実施例１のフィルムスピーカ１０は、図１に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された単極エレクトレット膜からなる樹脂フィルム１１と、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）を形成する側壁に相対向して平行になるように配置された複数の固定電極１３とを備えている。この場合、複数の固定電極１３は直列接続されていて、これにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされているが、複数の固定電極１３はそれぞれ並列接続であってもよい。

また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部１１ａを固定する表側固定枠１５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部１１ｂを固定する裏側固定枠１６とを備えている。この場合、単極エレクトレット膜からなる樹脂フィルム１１は折り畳み方向に移動可能なバイアス電極（移動電極）となり、固定電極１３はオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧が印加されて駆動電極となる。また、表側固定枠１５と裏側固定枠１６とは、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。なお、上述した「表側」とはフィルムスピーカ１０が形成された場合の聴取側を意味し、「裏側」はこれの反対側を意味し、以下の記載においても同様である。

この場合、つづら折りされた単極エレクトレット膜からなる樹脂フィルム１１の表側折曲端部１１ａは表側固定枠１５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部１１ｂは裏側固定枠１６に接着剤などにより固定されている。そして、表側固定枠１５および裏側固定枠１６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置された固定電極１３は裏側固定枠１６に接着剤などにより固定されている。さらに、表側固定枠１５および裏側固定枠１６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極１３より延出して形成された配線が接続されている。

ここで、樹脂フィルム（単極エレクトレット膜）１１としては、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−６フッ化ポリプロピレン（ＦＥＰ）などの高分子フィルムを用いており、例えばコロナ放電されたイオンを打ち込むことにより、当該フィルムの裏面に電荷が形成されるような単極エレクトレット処理が施されている。この場合は、図１に示すように、当該樹脂フィルム１１の裏面にプラス（＋）の電荷が形成されているものとする。また、固定電極１３は、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄などの金属あるいはそれらの合金、または、カ−ボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)などの導電性無機材料からなり、これらが板状に形成されている。

上述のように構成された実施例１のフィルムスピーカ１０において、バイアス電極となる単極エレクトリック膜（樹脂フィルム１１）は、例えば、図１（ａ）に示すように、裏面側にプラス（＋）の電荷が形成されている。そして、固定電極（駆動電極）１３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１（ｂ）に示すように、固定電極（駆動電極）１３にマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された固定電極（駆動電極）１３と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。

また、固定電極（駆動電極）１３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１（ｃ）に示すように、固定電極（駆動電極）１３にプラス（＋）の電圧が付与されれたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された固定電極（駆動電極）１３と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。

そして、固定電極（駆動電極）１３に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
このような固定電極（駆動電極）１３に対する樹脂フィルム（バイアス電極）１１の変位が、樹脂フィルム（バイアス電極）１１により形成された谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の出入りを生むこととなって、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた空気振動が生み出されることとなる。

〈変形例〉
上述した実施例１においては、固定電極（駆動電極）１３を樹脂フィルム（バイアス電極）１１で形成された山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに配置する例について説明した。ところが、固定電極（駆動電極）１３は山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能である。そこで、本変形例においては、固定電極（駆動電極）１３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内および谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内の両方に配置した例について、図２に基づいて以下に説明する。

本変形例のフィルムスピーカ１０ａにおいては、図２（なお、図２において、図１と同一符号は同一名称を表している）に示すように、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（駆動電極）１３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも第２固定電極（駆動電極）１４が配置されている点で、上述した実施例１のフィルムスピーカ１０と異なるが、その他の点については上述した実施例１のフィルムスピーカ１０と同様であるので、その詳細な説明は省略する。この場合、複数の第１固定電極１３同士および複数の第２固定電極１４同士は直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１固定電極１３同士および複数の第２固定電極１４同士はそれぞれ並列接続であって、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようにしてもよい。

そして、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（駆動電極）１４は、表側固定枠１５に接着剤などにより固定されているとともに、この表側固定枠１５にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極１４より延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。なお、複数の固定電極１３および複数の固定電極１４はそれぞれ直列接続されるように形成されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。

上述のように構成された変形例のフィルムスピーカ１０ａにおいて、バイアス電極となる単極エレクトリック膜（樹脂フィルム１１）は、例えば、図２（ａ）に示すように、裏面側にプラス（＋）の電荷が形成されている。そして、第１固定電極（駆動電極）１３および第２固定電極（駆動電極）１４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２（ｂ）に示すように、第１固定電極（駆動電極）１３にマイナス（−）の電圧が付与されるとともに、第２固定電極（駆動電極）１４にプラス（＋）の電圧が付与されたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された第１固定電極（駆動電極）１３と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ１が作用することとなる。

また、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（駆動電極）１４と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図２（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極（駆動電極）１３と山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・を形成する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との間の吸引力ｆ１に、第２固定電極（駆動電極）１４と谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・を形成する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例１よりも多くなる。

また、第１固定電極（駆動電極）１３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２（ｃ）に示すように、第１固定電極（駆動電極）１３にプラス（＋）の電圧が付与されるとともに、第２固定電極（駆動電極）１４にマイナス（−）の電圧が付与されれたとする。すると、第１固定電極（駆動電極）１３と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。また、第２固定電極（駆動電極）１４と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。
これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図２（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極（駆動電極）１３と山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・を形成する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との間の吸引力ｆ２に、第２固定電極（駆動電極）１４と谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・を形成する樹脂フィルム（バイアス電極）１１との反撥力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例１よりも多くなる。

そして、第１固定電極（駆動電極）１３および第２固定電極（駆動電極）１４に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、実施例１と同様に、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻し（吸引）が繰り返されて、音波の波面が形成されることとなる。

〈製造方法〉
ついで、上述のような構成となる実施例１のフィルムスピーカ１０およびその変形例のフィルムスピーカ１０ａの製造方法を図３〜図６に基づいて、以下に詳細に説明する。まず、図３に示すように、厚みが５〜５００μｍでポリプロピレン（ＰＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−６フッ化ポリプロピレン（ＦＥＰ）などの高分子フィルムからなり、例えばコロナ放電されたイオンを打ち込むことにより、当該フィルムの裏面に電荷が形成されるような単極エレクトレット処理が施され、当該フィルムの裏面にプラス（＋）の電荷が形成された単極エレクトレット膜からなる樹脂フィルム（バイアス電極）１１を用意する。

ついで、図４に示すように、樹脂フィルム（バイアス電極）１１の表裏面に交互に複数の円柱状の曲げ治具１７，１８を配置する。この場合、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・を形成するために曲げ治具１７を樹脂フィルム（バイアス電極）１１の裏面に配置し、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・を形成するために曲げ治具１８を樹脂フィルム（バイアス電極）１１の表面に配置する。ついで、樹脂フィルム（バイアス電極）１１の裏面に配置された曲げ治具１７を上方に引張するとともに、樹脂フィルム（バイアス電極）１１の表面に配置された曲げ治具１８を下方に引張して、樹脂フィルム（バイアス電極）１１をつづら折り状に折り曲げる。

ついで、つづら折りされた樹脂フィルム（バイアス電極）１１の上端部に、空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられた表側固定枠１５を配置するとともに、下端部に、同様に空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられた裏側固定枠１６を配置した。この後、樹脂フィルム（バイアス電極）１１の表側折曲端部１１ａを表側固定枠１５に接着剤などで固着するとともに、樹脂フィルム（バイアス電極）１１の裏側折曲端部１１ｂを裏側固定枠１６に接着済などで固着した。ここで、実施例１のフィルムスピーカ１０を作製する場合は、図５に示すように、固定電極１３が配設された裏側固定枠１６，１６を用いて、樹脂フィルム（バイアス電極）１１がつづら折り状に折り曲げられて形成された山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の中央部に各固定電極１３が配置されるようにしている。なお、この裏側固定枠１６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極１３より延出して形成された配線が接続されている。この場合、曲げ治具１７，１８を取り外すようにしてもよいし、図５に示すように、曲げ治具１７，１８を取り外すことなく、そのまま残すようにしてもよい。

また、変形例のフィルムスピーカ１０ａを作製する場合は、図６に示すように、第１固定電極１３が配設された裏側固定枠１６，１６を用いるとともに、第２固定電極１４が配設された表側固定枠１５，１５を用いる。そして、樹脂フィルム（バイアス電極）１１がつづら折り状に折り曲げられて形成された山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の中央部に各第１固定電極１３が配置されるようにするとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の中央部に各第２固定電極１４が配置されるようにしている。なお、この裏側固定枠１６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第１固定電極１３より延出して形成された配線が接続されており、表側固定枠１５にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第２固定電極１４より延出して形成された配線が接続されている。この場合、曲げ治具１７，１８を取り外すようにしてもよいし、図６に示すように、曲げ治具１７，１８を取り外すことなく、そのまま残すようにしてもよい。

上述した製造方法においては、樹脂フィルム（バイアス電極）１１をつづら折りにするに際して、樹脂フィルム（バイアス電極）１１の表裏面に交互に円柱状の曲げ治具１７，１８を配置して断面が略半円形の曲げ部が形成されるようにした。ところが、曲げ部の形状は半円形に限られることなく、種々の変形例が考えられる。例えば、図７に示すように、樹脂フィルム（バイアス電極）１１の表裏面に交互に角柱状の曲げ治具１９ａ，１９ｂを配置し、曲げ治具１９ａを上方に引張するとともに、曲げ治具１９ｂを下方に引張して、樹脂フィルム（バイアス電極）１１の上端部および下端部を矩形状につづら折りするようにすればよい。この場合も、曲げ治具１９ａ，１９ｂを取り外すようにしてもよいし、取り外すことなく、そのまま残すようにしてもよい。

２．実施例２
上述した実施例１においては、樹脂フィルム１１をバイアス電極とするために樹脂フィルム１１を単極エレクトレット膜で構成する例について説明したが、単極エレクトレット膜に代えて分極エレクトレット膜（双極エレクトレット膜）を用いて、図８に示すような実施例２のフィルムスピーカ２０を構成することができる。

この場合、図８に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された分極エレクトレット膜からなる樹脂フィルム２１と、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつ山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）の側壁に相対向して平行になるように配置された複数の固定電極２３とを備えている。なお、複数の固定電極２３は直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされているが、複数の固定電極２３は並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようにしてもよい。

また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部２１ａを固定する表側固定枠２５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部２１ｂを固定する裏側固定枠２６とを備えている。そして、分極エレクトレット膜からなる樹脂フィルム２１の表側折曲端部２１ａは表側固定枠２５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部２１ｂは裏側固定枠２６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠２５および裏側固定枠２６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。また、固定電極２３は裏側固定枠２６に接着剤などにより固定されている。さらに、表側固定枠２５および裏側固定枠２６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極２３より延出して形成された配線が接続されている。

ここで、樹脂フィルム（分極エレクトレット膜）２１としては、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−６フッ化ポリプロピレン（ＦＥＰ）などの高分子フィルムを用いており、例えばコロナ放電処理することにより、当該フィルムの表裏面に互に極性が異なる電荷が形成されるような分極処理が施されている。この場合、図８に示すように、表面にマイナス（−）の電荷が形成され、裏面にプラス（＋）の電荷が形成されているものとする。なお、固定電極２３は、実施例１の固定電極１３と同様な材質により形成されている。

上述のように構成された実施例２のフィルムスピーカ２０において、固定電極（駆動電極）２３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図８（ｂ）に示すように、固定電極（駆動電極）２３にマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された固定電極（駆動電極）２３と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図８（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。

また、固定電極（駆動電極）２３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図８（ｃ）に示すように、固定電極（駆動電極）２３にプラス（＋）の電圧が付与されれたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された固定電極（駆動電極）２３と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図８（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。

そして、固定電極（駆動電極）２３に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、上述した実施例１と同様に、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。

〈変形例〉
上述した実施例２においても、上述した実施例１の変形例と同様に、固定電極（駆動電極）２３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その本変形例を図９（なお、図９において、図８と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ２０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（駆動電極）２３が配置されているとともに谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも第２固定電極（駆動電極）２４が配置されている。この場合、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（駆動電極）２４は、表側固定枠２５に接着剤などにより固定されているとともに、この表側固定枠２５にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極２４より延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。なお、複数の固定電極２３および複数の固定電極２４は直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされているが、複数の固定電極２３および複数の固定電極２４は並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようにしてもよい。

上述のように構成された変形例のフィルムスピーカ２０ａにおいて、バイアス電極となるエレクトリック膜（樹脂フィルム２１）は、例えば、図９（ａ）に示すように、表面側にマイナス（−）の電荷が形成され、裏面側にプラス（＋）の電荷が形成されている。そして、第１固定電極（駆動電極）２３および第２固定電極（駆動電極）２４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図９（ｂ）に示すように、第１固定電極（駆動電極）２３および第２固定電極（駆動電極）２４にマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された第１固定電極（駆動電極）２３と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ１が作用することとなる。

一方、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（駆動電極）２４と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図９（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極（駆動電極）２３と山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・を形成する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との間の吸引力ｆ１に、第２固定電極（駆動電極）２４と谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・を形成する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例２よりも多くなる。

また、第１固定電極（駆動電極）２３および第２固定電極（駆動電極）２４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図９（ｃ）に示すように、第１固定電極（駆動電極）２３および第２固定電極（駆動電極）２４にプラス（＋）の電圧が付与されたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された第１固定電極（駆動電極）２３と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。また、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（駆動電極）２４と、これに対向する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。

これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図９（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極（駆動電極）２３と山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・を形成する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との間の反撥力ｆ２に、第２固定電極（駆動電極）２４と谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・を形成する樹脂フィルム（バイアス電極）２１との吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例２よりも多くなる。

そして、第１固定電極（駆動電極）２３および第２固定電極（駆動電極）２４に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻し（吸引）が繰り返されて、音波の波面が形成されることとなる。
なお、上述した実施例２のフィルムスピーカ２０および変形例のフィルムスピーカ２０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム２１として分極エレクトレット膜を用いたこと以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。

３．実施例３
実施例３のフィルムスピーカ３０は、図１０に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム３１と、この樹脂フィルム３１の裏面に形成された導電性薄膜３２と、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの導電性薄膜３２に相対向して平行になるように配置された複数の固定電極３３とを備えている。

この場合、樹脂フィルム３１の裏面に形成された導電性薄膜３２は折り畳み方向に移動可能なバイアス電極となり、固定電極３３はオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧が印加されて駆動電極となる。なお、導電性薄膜３２には直流バイアス電源Ｖが接続されている。また、複数の固定電極３３は直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされているが、これらの複数の固定電極３３を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようにしてもよい。

また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部３１ａを固定する表側固定枠３５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部３１ｂを固定する裏側固定枠３６とを備えている。そして、表側固定枠３５と裏側固定枠３６とは、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。この場合、表側折曲端部３１ａは表側固定枠３５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部３１ｂは裏側固定枠３６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠３５および裏側固定枠３６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置された固定電極３３は裏側固定枠３６に接着剤などにより固定されているとともに、この裏側固定枠３６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極３３より延出して形成された配線が接続されている。

ここで、樹脂フィルム３１の材質としては、ポリイミド（カプトン〈登録商標〉）、ナイロン、ポリエステル（マイラー〈登録商標〉）などの熱可塑性樹脂あるいは熱硬化性樹脂からなる樹脂フィルムが使用できる。なお、これらの樹脂フィルムの厚みは５〜５００μｍであるのが望ましい。これは、厚みが５μｍ未満であると剛性が低すぎて柔軟なために所定の形状を維持することができなく、かつ強度も低くて破れやすいためである。一方、厚みが５００μｍを越えるようになると、剛性が高すぎて剛直なために振動板としての変位を生じにくいためである。

導電性薄膜３２は、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄などの金属あるいはそれらの合金、または、カーボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)などの導電性無機材料、微細な金属粒子を分散させた導電性樹脂などの材料が使用可能である。この場合、これらの導電性薄膜３２は、スパッタリング、蒸着、メッキなどの薄膜プロセスで作製した金属薄膜を、エッチングでパターニングする方法や、リソグラフでレジストをパターニングした後、金属をパターンメッキしたり、リフトオフで金属をパターン蒸着する方法や、金属膜と振動板フィルムを積層接着した後、エッチングでパターニングする方法や、印刷技術やインクジェットなどの方法で、導電材料をパターニングしつつコーティングする方法等の様々な方法により形成することが可能である。

また、固定電極３３は、実施例１の固定電極１３と同様な材質により形成されており、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）などの金属あるいはそれらの合金、または、カ−ボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)などの導電性無機材料からなり、これらが板状に形成されている。なお、固定電極３３の表面は、図示しない絶縁膜でコーティングするのが望ましい。これは、導電性薄膜３２と固定電極３３とが直接接触するショートの発生を防止するためである。

上述のように構成された実施例３のフィルムスピーカ３０において、例えば、図１０（ａ）に示すように、直流バイアス電源Ｖからバイアス電極となる導電性薄膜３２にプラス（＋）の電圧が印加されているものとする。そして、固定電極（駆動電極）３３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１０（ｂ）に示すように、固定電極（駆動電極）３３にマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された固定電極（駆動電極）３３と、これに対向する樹脂フィルム３１に形成された導電性薄膜３２との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１０（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。

また、固定電極（駆動電極）３３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１０（ｃ）に示すように、固定電極（駆動電極）３３にプラス（＋）の電圧が付与されれたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された固定電極（駆動電極）３３と、これに対向する樹脂フィルム３１に形成された導電性薄膜３２との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１０（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。
そして、固定電極（駆動電極）３３に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。

〈変形例〉
上述した実施例３においても、上述した実施例１の変形例と同様に、固定電極（駆動電極）３３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その本変形例を図１１（なお、図１１において、図１０と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。
本変形例のフィルムスピーカ３０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（駆動電極）３３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも第２固定電極（駆動電極）３４が配置されている。そして、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（駆動電極）３４は、表側固定枠３５に接着剤などにより固定されているとともに、この表側固定枠３５にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第２固定電極３４より延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。
この場合、複数の固定電極３３同士および複数の固定電極３４同士はそれぞれ直列接続されるようになされていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の固定電極３３同士および複数の固定電極３４同士をそれぞれ並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。

上述のように構成された変形例のフィルムスピーカ３０ａにおいて、例えば、図１１（ａ）に示すように、直流バイアス電源Ｖからバイアス電極となる導電性薄膜３２にプラス（＋）の電荷が印加されているものとする。そして、第１固定電極（駆動電極）３３および第２固定電極（駆動電極）３４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１１（ｂ）に示すように、第１固定電極（駆動電極）３３にマイナス（−）の電圧が付与され、第２固定電極（駆動電極）３４にプラス（＋）の電圧が付与されたとする。

すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された第１固定電極（駆動電極）３３と、これに対向する導電性薄膜（バイアス電極）３２との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ１が作用することとなる。また、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（駆動電極）３４と、これに対向する導電性薄膜（バイアス電極）３２との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１１（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極（駆動電極）３３と導電性薄膜（バイアス電極）３２との間の吸引力ｆ１に、第２固定電極（駆動電極）３４と導電性薄膜（バイアス電極）３２との反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例３よりも多くなる。

一方、第１固定電極（駆動電極）３３および第２固定電極（駆動電極）３４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１１（ｃ）に示すように、第１固定電極（駆動電極）３３にプラス（＋）の電圧が付与され、第２固定電極（駆動電極）３４にマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、第１固定電極（駆動電極）３３と、これに対向する導電性薄膜（バイアス電極）３２との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。また、第２固定電極（駆動電極）３４と、これに対向する導電性薄膜（バイアス電極）３２との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。

これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１１（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極（駆動電極）３３と導電性薄膜（バイアス電極）３２との間の反撥力ｆ２に、第２固定電極（駆動電極）３４と導電性薄膜（バイアス電極）３２との吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例３よりも多くなる。

そして、第１固定電極（駆動電極）３３および第２固定電極（駆動電極）３４に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻し（吸引）が繰り返されて、音波の波面が形成されることとなる。
上述した実施例３のフィルムスピーカ３０およびその変形例のフィルムスピーカ３０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム３１に導電性薄膜３２を形成する工程が異なること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。なお、図１０に示す実施例３および図１１に示す実施例３の変形例の場合には、バイアス電極として金属フィルム、導電性高分子フィルム、金属フィラー入り高分子フィルムなどの導電性フィルムを使用することができる。

４．実施例４
実施例４のフィルムスピーカ４０は、図１２に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム４１と、この樹脂フィルム４１の表面側に形成された第１導電性薄膜４２ａと、同様に樹脂フィルム４１の裏面側に形成された第２導電性薄膜４２ｂと、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの導電性薄膜４２ａ，４２ｂに相対向して平行になるように配置された固定電極４３とを備えている。

つづら折りされた樹脂フィルム４１および導電性薄膜４２ａ，４２ｂの表側折曲端部４１ａは表側固定枠４５に接着剤などにより固定されているとともに、つづら折りされた樹脂フィルム４１および導電性薄膜４２ａ，４２ｂの裏側折曲端部４１ｂは裏側固定枠４６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠４５および裏側固定枠４６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置された固定電極４３は裏側固定枠４６に接着剤などにより固定されている。そして、表側固定枠４５および裏側固定枠４６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極４３より延出して形成された配線が接続されている。

この場合、樹脂フィルム４１の表面側に形成された第１導電性薄膜４２ａと裏面側に形成された第２導電性薄膜４２ｂは折り畳み方向に移動可能なバイアス電極となり、固定電極４３はオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧が印加されて駆動電極となる。そして、第１導電性薄膜４２ａには第１直流バイアス電源Ｖ１が接続されており、第２導電性薄膜４２ｂには第２直流バイアス電源Ｖ２が接続されている。また、複数の固定電極４３は直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされているが、これらの複数の固定電極４３を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようにしてもよい。
なお、樹脂フィルム４１、導電性薄膜４２ａ，４２ｂおよび固定電極４３の材質はそれぞれ上述した実施例３の樹脂フィルム３１の材質、導電性薄膜３２の材質および固定電極３３の材質と同様であり、これらの形成方法も上述した実施例３と同様である。

上述のように構成された実施例４のフィルムスピーカ４０において、例えば、図１２（ａ）に示すように、第１バイアス電極となる第１導電性薄膜４２ａに第１直流バイアス電源Ｖ１からマイナス（−）の電圧が印加され、第２バイアス電極となる第２導電性薄膜４２ｂに第２直流バイアス電源Ｖ２からプラス（＋）の電圧が印加されているものとする。そして、固定電極（駆動電極）４３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１２（ｂ）に示すように、固定電極（駆動電極）４３にマイナス（−）の電圧が付与されたとする。

すると、固定電極（駆動電極）４３と、これに対向する第２導電性薄膜４２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１２（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。また、固定電極（駆動電極）４３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１２（ｃ）に示すように、固定電極（駆動電極）４３にプラス（＋）の電圧が付与されれたとする。すると、固定電極（駆動電極）４３と、これに対向する第２導電性薄膜４２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１２（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。

そして、固定電極（駆動電極）４３に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。

〈変形例〉
上述した実施例４においても、上述した実施例１の変形例と同様に、固定電極（駆動電極）４３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図１３（なお、図１３において、図１２と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ４０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（駆動電極）４３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも第２固定電極（駆動電極）４４が配置されている。

そして、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（駆動電極）４４は、表側固定枠４５に接着剤などにより固定されているとともに、この表側固定枠４５にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第２固定電極４４より延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。この場合、複数の第１固定電極４３および複数の第２固定電極４４は直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１固定電極４３および複数の第２固定電極４４を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようにしてもよい。

上述のように構成された本実施例４の変形例のフィルムスピーカ４０ａにおいて、例えば、図１３（ａ）に示すように、第１バイアス電極となる第１導電性薄膜４２ａに第１直流バイアス電源Ｖ１からマイナス（−）の電圧が印加され、第２バイアス電極となる第２導電性薄膜４２ｂに第２直流バイアス電源Ｖ２からプラス（＋）の電圧が印加されているものとする。そして、第１固定電極（駆動電極）４３および第２固定電極（駆動電極）４４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１３（ｂ）に示すように、第１固定電極（駆動電極）４３および第２固定電極（駆動電極）４４にマイナス（−）の電圧が付与されたとする。

すると、第１固定電極（駆動電極）４３と、これに対向する第２導電性薄膜４２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。一方、第２固定電極（駆動電極）４４と、これに対向する第１導電性薄膜４２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１３（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極（駆動電極）４３と第２導電性薄膜４２ｂとの間の吸引力ｆ１に、第２固定電極（駆動電極）４４と第１導電性薄膜４２ａとの反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例４よりも多くなる。

また、第１固定電極（駆動電極）４３および第２固定電極（駆動電極）４４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１３（ｃ）に示すように、第１固定電極（駆動電極）４３および第２固定電極（駆動電極）４４がプラス（＋）の電圧が付与されれたとする。すると、第１固定電極（駆動電極）４３と、第２導電性薄膜４２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。また、第２固定電極（駆動電極）４４と、これに対向する第１導電性薄膜４２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。

これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１３（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極（駆動電極）４３と第２導電性薄膜４２ｂとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極（駆動電極）４４と第１導電性薄膜４２ａとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例４よりも多くなる。
そして、第１固定電極（駆動電極）４３および第２固定電極（駆動電極）４４に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
なお、上述した実施例４のフィルムスピーカ４０および変形例のフィルムスピーカ４０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム４１の表裏面に導電性薄膜４２ａ，４２ｂを形成する工程が異なること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。

５．実施例５
本実施例５のフィルムスピーカ５０は、図１４に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム５１と、この山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）を形成する側壁の裏面に交互に極性が異なるように貼着された第１単極エレクトリック膜５２ａと第２単極エレクトリック膜５２ｂとからなるバイアス電極５２と、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつ第１単極エレクトリック膜５２ａと第２単極エレクトリック膜５２ｂに相対向して平行になるように配置された、絶縁体５３ｃの両側に第１導電性薄膜５３ａと第２導電性薄膜５３ｂが形成された固定電極５３とを備えている。

また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部５１ａを固定する表側固定枠５５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部５１ｂを固定する裏側固定枠５６とを備えている。そして、表側折曲端部５１ａは表側固定枠５５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部５１ｂは裏側固定枠５６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠５５および裏側固定枠５６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。

また、第１導電性薄膜５３ａと第２導電性薄膜５３ｂとからなる固定電極５３は裏側固定枠５６に接着剤などにより固定されているとともに、この裏側固定枠５６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第１導電性薄膜５３ａと第２導電性薄膜５３ｂより延出して形成された配線が接続されている。また、表側固定枠５５と裏側固定枠５６とは、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。この場合、複数の第１導電性薄膜５３ａ同士および複数の第２導電性薄膜５３ｂ同士は直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて駆動電極となる。なお、複数の第１導電性薄膜５３ａ同士および複数の第２導電性薄膜５３ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。

ここで、第１単極エレクトリック膜５２ａおよび第２単極エレクトリック膜５２ｂは、上述した実施例１の単極エレクトリック膜１１と同様の材質により構成されており、これに単極エレクトレット処理が施されている。なお、第１単極エレクトリック膜５２ａと第２単極エレクトリック膜５２ｂは互に極性が異なるように形成されており、例えば、図１４に示すように、第１単極エレクトリック膜５２ａはマイナス（−）の電荷が形成されており、第２単極エレクトリック膜５２ｂはプラス（＋）の電荷が形成されているものとする。また、第１導電性薄膜５３ａと第２導電性薄膜５３ｂは、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄（Ｆｅ）などの金属あるいはそれらの合金、または、カ−ボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)などの導電性無機材料から形成されている。この場合、固定電極５３は第１金属板と第２金属板との間が絶縁体により隔離された板状体により形成するようにしてもよい。

上述のように構成された実施例５のフィルムスピーカ５０において、固定電極（駆動電極）５３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１４（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜５３ａにプラス（＋）の電圧が付与されるとともに、第２導電性薄膜５３ｂにマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、第１導電性薄膜５３ａとこれに対向する第１単極エレクトリック膜５２ａとの間、および第２導電性薄膜５３ｂとこれに対向する第２単極エレクトリック膜５２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１４（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。

また、固定電極（駆動電極）５３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１４（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜５３ａにマイナス（−）の電圧が付与されるとともに、第２導電性薄膜５３ｂにプラス（＋）の電圧が付与されたとする。すると、第１導電性薄膜５３ａとこれに対向する第１単極エレクトリック膜５２ａとの間、および第２導電性薄膜５３ｂとこれに対向する第２単極エレクトリック膜５２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１４（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。

そして、固定電極（駆動電極）５３の第１導電性薄膜５３ａおよび第２導電性薄膜５３ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。

〈変形例〉
上述した実施例５においても、上述した実施例１の変形例と同様に、固定電極（駆動電極）５３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図１５（なお、図１５において、図１４と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ５０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１導電性薄膜５３ａと第２導電性薄膜５３ｂとからなる第１固定電極（駆動電極）５３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも第１導電性薄膜５４ａと第２導電性薄膜５４ｂとからなる第２固定電極（駆動電極）５４が配置されている。なお、第２固定電極（駆動電極）５４においても、絶縁体５４ｃの両側に第１導電性薄膜５４ａと第２導電性薄膜５３ｂとが形成されている。

そして、第１金属板５４ａと第２金属板５４ｂとからなる第２固定電極（駆動電極）５４は、表側固定枠５５に接着剤などにより固定されているとともに、この表側固定枠５５にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極５４の第１導電性薄膜５４ａおよび第２導電性薄膜５４ｂより延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。この場合、複数の第１導電性薄膜５３ａ，５４ａ同士、ならび複数の第２導電性薄膜５３ｂ，５４ｂ同士は、それぞれ直列接続されるように形成されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１導電性薄膜５３ａ，５４ａ同士、ならび複数の第２導電性薄膜５３ｂ，５４ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようにしてもよい。

上述のように構成された変形例のフィルムスピーカ５０ａにおいて、第１固定電極５３および第２固定電極５４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１５（ｂ）に示すように、第１固定電極５３の第１導電性薄膜５３ａおよび第２固定電極５４の第１導電性薄膜５４ａにプラス（＋）の電圧が付与されるとともに、第１固定電極５３の第２導電性薄膜５３ｂおよび第２固定電極５４の第２導電性薄膜５４ｂにマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、第１固定電極５３の第１導電性薄膜５３ａとこれに対向する第１単極エレクトリック膜５２ａとの間、第１固定電極５３の第２導電性薄膜５３ｂとこれに対向する第２単極エレクトリック膜５２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ１が作用することとなる。

また、第２固定電極５４の第１導電性薄膜５４ａとこれに対向する第１単極エレクトリック膜５２ａとの間、第２固定電極５４の第２導電性薄膜５４ｂとこれに対向する第２単極エレクトリック膜５２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１５（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極５３（５３ａ，５３ｂ）と単極エレクトリック膜５２ａ，５２ｂとの間の吸引力ｆ１に、第２固定電極（駆動電極）５４（５４ａ，５４ｂ）と単極エレクトリック膜５２ｂ，５２ａとの間の反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例５よりも多くなる。

また、第１固定電極５３および第２固定電極５４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１５（ｃ）に示すように、第１固定電極５３の第１導電性薄膜５３ａおよび第２固定電極５４の第１導電性薄膜５４ａにマイナス（−）の電圧が付与されるとともに、第１固定電極５３の第１導電性薄膜５３ｂおよび第２固定電極５４の第１導電性薄膜５４ｂにプラス（＋）の電圧が付与されたとする。すると、すると、第１固定電極５３の第１導電性薄膜５３ａとこれに対向する第１単極エレクトリック膜５２ａとの間、第１固定電極５３の第１導電性薄膜５３ｂとこれに対向する第２単極エレクトリック膜５２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用することとなる。

また、第２固定電極５４の第１導電性薄膜５４ａとこれに対向する第１単極エレクトリック膜５２ａとの間、第２固定電極５４の第１導電性薄膜５４ｂとこれに対向する第２単極エレクトリック膜５２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１５（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極５３（５３ａ，５３ｂ）と単極エレクトリック膜５２ａ，５２ｂとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極（駆動電極）５４（５４ａ，５４ｂ）と単極エレクトリック膜５２ｂ，５２ａとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例５よりも多くなる。

そして、第１導電性薄膜５３ａと第２導電性薄膜５３ｂとからなる第１固定電極５３、および第１導電性薄膜５４ａと第２導電性薄膜５４ｂとからなる第２固定電極５４に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻し（吸引）が繰り返されて、音波の波面が形成されることとなる。

なお、本実施例５およびその変形例においては、樹脂フィルム５１の裏面に交互に極性が異なる単極エレクトリック膜５２ａ，５２ｂを貼着してバイアス電極を形成する例について説明した。ところが、樹脂フィルム５１の裏面に一部に直接イオン打込などによるエレクトレット処理を施して、樹脂フィルム５１の裏面に交互に極性が異なる単極エレクトリックを形成して、バイアス電極とするようにしてもよい。
また、上述した実施例５のフィルムスピーカ５０および変形例のフィルムスピーカ５０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム５１の裏面に交互に極性が異なる単極エレクトリック膜５２ａ，５２ｂを形成する工程と、絶縁体の両側に導電性薄膜５３ａ，５３ｂ（５４ａ，５４ｂ）を形成した固定電極５３（５４）を用いること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。

６．実施例６
本実施例６のフィルムスピーカ６０は、図１６に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム６１と、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）の側壁に相対向して平行になるように配置された絶縁体６３ｃの両側に固着された第１金属板６３ａと第２金属板６３ｂとからなる固定電極６３とを備えている。なお、第１金属板６３ａおよび第２金属板６３ｂと対向するつづら折りされた樹脂フィルム６１の表裏面には分極処理により分極エレクトレット６２（６２ａ，６２ｂ）が形成されている。

また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部６１ａを固定する表側固定枠６５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部６１ｂを固定する裏側固定枠６６とを備えている。そして、表側折曲端部６１ａは表側固定枠６５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部６１ｂは裏側固定枠６６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠６５および裏側固定枠６６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。

山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置された第１金属板６３ａと第２金属板６３ｂとからなる固定電極６３は裏側固定枠６６に接着剤などにより固定されているとともに、この裏側固定枠６６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第１金属板６３ａおよび第２金属板６３ｂより延出して形成された配線が接続されている。また、表側固定枠６５と裏側固定枠６６とは、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。この場合、複数の第１金属板６３ａ同士および複数の第２金属板６３ｂ同士は直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて駆動電極となる。なお、第１金属板６３ａ同士および複数の第２金属板６３ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。

ここで、樹脂フィルム６１としては、上述した実施例１の樹脂フィルム１１と同様な材質により形成されており、この樹脂フィルム６１の第１金属板６３ａおよび第２金属板６３ｂと対向する表裏面には、コロナ放電処理により分極処理が施されて分極エレクトレット６２（６２ａ，６２ｂ）が形成されている。この場合、分極エレクトレット６２は互に極性が異なる電荷が交互に形成され、即ち、図１６（ａ）に示すように、第１金属板６３ａと対向する部分の表面６２ａにプラス（＋）の電荷が、裏面６２ｂにマイナス（−）の電荷が形成され、第２金属板６３ｂと対向する部分の表面６２ａにマイナス（−）の電荷が、裏面６２ｂにプラス（＋）の電荷が形成されている。また、第１金属板６３ａおよび第２金属板６３ｂは、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）などの金属あるいはそれらの合金からなり、第１金属板６３ａと第２金属板６３ｂとの間が絶縁体６３ｃにより隔離されるようにして板状に形成されている。

上述のように構成された実施例６のフィルムスピーカ６０において、固定電極（駆動電極）６３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１６（ｂ）に示すように、第１金属板６３ａにプラス（＋）の電圧が付与されるとともに、第２金属板６３ｂにマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、第１金属板６３ａとこれに対向する分極エレクトレット６２ｂとの間、および第２金属板６３ｂとこれに対向する分極エレクトレット６２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１６（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。

また、固定電極（駆動電極）６３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１６（ｃ）に示すように、第１金属板６３ａにマイナス（−）の電圧が付与されるとともに、第２金属板６３ｂにプラス（＋）の電圧が付与されたとする。すると、第１金属板６３ａとこれに対向する分極エレクトレット６２ｂとの間、および第２金属板６３ｂとこれに対向する分極エレクトレット６２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１６（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。

そして、固定電極（駆動電極）６３の第１金属板６３ａおよび第２金属板６３ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。

〈変形例〉
上述した実施例６においても、固定電極（駆動電極）６３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図１７（なお、図１７において、図１６と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ６０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に絶縁体６３ｃの両側に貼着された第１金属板６３ａと第２金属板６３ｂとからなる第１固定電極（駆動電極）６３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも絶縁体６４ｃの両側に貼着された第１金属板６４ａと第２金属板６４ｂとからなる第２固定電極（駆動電極）６４が配置されている。なお、第２固定電極（駆動電極）６４においても、第１金属板６４ａと第２金属板６４ｂとの間が絶縁体６４ｃにより隔離されるようにして板状に形成されている。

そして、第１金属板６４ａと第２金属板６４ｂとからなる第２固定電極（駆動電極）６４は、表側固定枠６５に接着剤などにより固定されているとともに、この表側固定枠６５にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極６４の第１金属板６４ａおよび第２金属板６４ｂより延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。この場合、複数の第１金属板６３ａ，６４ｂ同士および複数の第２金属板６３ｂ，６４ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１金属板６３ａ，６４ｂ同士および複数の第２金属板６３ｂ，６４ｂ同士をそれぞれ並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。

上述のように構成された変形例のフィルムスピーカ６０ａにおいて、第１固定電極６３および第２固定電極６４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１７（ｂ）に示すように、第１固定電極６３の第２金属板６３ｂおよび第２固定電極６４の第１金属板６４ａにマイナス（−）の電圧が付与されるとともに、第１固定電極６３の第１金属板６３ａおよび第２固定電極６４の第２金属板６４ｂにプラス（＋）の電圧が付与されたとする。すると、第１固定電極６３の第１金属板６３ａとこれに対向する分極エレクトレット６２ｂとの間、第１固定電極６３の第２金属板６３ｂとこれに対向する分極エレクトレット６２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ１が作用することとなる。

一方、第２固定電極６４の第１金属板６４ａとこれに対向する分極エレクトレット６２ａとの間、第２固定電極６４の第２金属板６４ｂとこれに対向する分極エレクトレット６２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１７（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
この場合、第１固定電極６３の第１金属板６３ａおよび第２金属板６３ｂと分極エレクトレット６２ｂとの間の吸引力に、第２固定電極６４の第１金属板６４ａおよび第２金属板６４ｂと分極エレクトレット６２ａとの間の反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例６よりも多くなる。

また、第１固定電極６３および第２固定電極６４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１７（ｃ）に示すように、第１固定電極６３の第２金属板６３ｂおよび第２固定電極６４の第１金属板６４ａにプラス（＋）の電圧が付与されるとともに、第１固定電極６３の第１金属板６３ａおよび第２固定電極６４の第２金属板６４ｂにマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、第１固定電極６３の第１金属板６３ａとこれに対向する分極エレクトレット６２ｂとの間、第１固定電極６３の第２金属板６３ｂとこれに対向する分極エレクトレット６２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。

一方、第２固定電極６４の第１金属板６４ａとこれに対向する分極エレクトレット６２ａとの間、第２固定電極６４の第２金属板６４ｂとこれに対向する分極エレクトレット６２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用することとなる。
この場合、第１固定電極６３の第１金属板６３ａおよび第２金属板６３ｂと分極エレクトレット６２ｂとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極６４の第１金属板６４ａおよび第２金属板６４ｂと分極エレクトレット６２ａとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例６よりも多くなる。

そして、第１金属板６３ａおよび第２金属板６３ｂからなる第１固定電極６３と、第１金属板６４ａおよび第２金属板６４ｂからなる第２固定電極６４に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻し（吸引）が繰り返されて、音波の波面が形成されることとなる。

なお、本実施例６およびその変形例においては、第１金属板６３ａおよび第２金属板６３ｂと対向する樹脂フィルム６１の表裏面には分極処理により分極エレクトレット６２（６２ａ，６２ｂ）を形成する例について説明した。ところが、第１金属板６３ａと対向する樹脂フィルム６１の表裏面および第２金属板６３ｂと対向する樹脂フィルム６１の表裏面に、それぞれ予め形成された単極エレクトレットを貼着して、バイアス電極とするようにしてもよい。
また、上述した実施例６のフィルムスピーカ６０および変形例のフィルムスピーカ６０ａを製造するに際しては、第１金属板６３ａと対向する部分および第２金属板６３ｂと対向する部分に分極処理を施して分極エレクトレット６２ａ，６２ｂを形成する工程と、絶縁体６３ｃ（６４ｃ）の両側に金属板６３ａ，６３ｂ（６４ａ，６４ｂ）を固着した固定電極６３（６４）を用いること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。

７．実施例７
実施例７のフィルムスピーカ７０は、図１８に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム７１と、この樹脂フィルム７１の裏面に形成された第１金属薄膜７２ａと第２金属薄膜７２ｂとからなる導電性薄膜（バイアス電極）７２と、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの導電性薄膜７２に相対向して平行になるように配置された絶縁体７３ｃの両側に固着された第１金属板７３ａと第２金属板７３ｂとからなる固定電極７３とを備えている。

また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部７１ａを固定する表側固定枠７５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部７１ｂを固定する裏側固定枠７６とを備えている。そして、表側折曲端部７１ａは表側固定枠７５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部７１ｂは裏側固定枠７６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠７５および裏側固定枠７６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。

山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置された第１金属板７３ａと第２金属板７３ｂとからなる固定電極７３は裏側固定枠７６に接着剤などにより固定されているとともに、この裏側固定枠７６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第１金属板７３ａおよび第２金属板７３ｂより延出して形成された配線が接続されている。また、表側固定枠７５と裏側固定枠７６とは、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。この場合、複数の第１金属板７３ａ同士および複数の第２金属板７３ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１金属板７３ａ同士および複数の第２金属板７３ｂ同士をそれぞれ並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。

ここで、樹脂フィルム７１としては、上述した実施例３の樹脂フィルム３１と同様な材質により形成されており、第１金属板７３ａと対向する部分に第１バイアス電極となる第１金属薄膜７２ａが形成されており、第２金属板７３ｂと対向する部分に第２バイアス電極となる第２金属薄膜７２ｂが形成されている。また、第１金属薄膜７２ａおよび第２金属薄膜７２ｂは、上述した実施例３の導電性薄膜３２と同様な材質により形成されている。そして、これらの導電性薄膜７２ａ，７２ｂは、実施例３の導電性薄膜３２と同様な製法により、樹脂フィルム７１上に形成することが可能である。なお、複数の第１導電性薄膜７２ａはそれぞれ直列接続されていて第１直流バイアス電源Ｖ１が接続されており、複数の第２導電性薄膜７２ｂはそれぞれ直列接続されていて第２直流バイアス電源Ｖ２が接続されている。

また、固定電極７３となる第１金属板７３ａおよび第２金属板７３ｂは、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）などの金属あるいはそれらの合金からなり、第１金属板７３ａと第２金属板７３ｂとの間が絶縁体７３ｃにより隔離されるようにして板状に形成されている。そして、第１金属薄膜７２ａと第１金属板７３ａ（あるいは第２金属薄膜７２ｂと第２金属板７３ｂ）とが直接接触するショートの発生を防止するため、第１金属板７３ａおよび第２金属板７３ｂの表面は絶縁膜でコーティングするのが望ましい。

上述のように構成された実施例７のフィルムスピーカ７０において、例えば、図１８（ａ）に示すように、第１バイアス電極となる第１金属薄膜７２ａに第１直流バイアス電源Ｖ１からマイナス（−）の電圧が付与され、第２バイアス電極となる第２金属薄膜７２ｂに第２直流バイアス電源Ｖ２からプラス（＋）の電圧が印加されているものとする。そして、固定電極（駆動電極）７３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１８（ｂ）に示すように、第１金属板７３ａにプラス（＋）の電圧が付与され、第２金属板７３ｂにマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、第１金属薄膜７２ａとこれに対向する第１金属板７３ａとの間、および第２金属薄膜７２ｂとこれに対向する第２金属板７３ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。
これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１８（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。

一方、固定電極（駆動電極）７３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１８（ｃ）に示すように、第１金属板７３ａにマイナス（−）の電圧が付与され、第２金属板７３ｂにプラス（＋）の電圧が付与されたとする。すると、第１金属薄膜７２ａとこれに対向する第１金属板７３ａとの間、および第２金属薄膜７２ｂとこれに対向する第２金属板７３ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。
これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１８（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。

このように、固定電極（駆動電極）７３の第１金属板７３ａおよび第２金属板７３ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。

〈変形例〉
上述した実施例７においても、固定電極（駆動電極）７３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図１９（なお、図１９において、図１８と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ７０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に絶縁体７３ｃの両側に固着された第１金属板７３ａと第２金属板７３ｂとからなる第１固定電極（駆動電極）７３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも絶縁体７４ｃの両側に固着された第１金属板７４ａと第２金属板７４ｂとからなる第２固定電極（駆動電極）７４が配置されている。なお、第２固定電極（駆動電極）７４においても、第１金属板７４ａと第２金属板７４ｂとの間が絶縁体７４ｃにより隔離されるようにして板状に形成されている。

そして、第１金属板７４ａと第２金属板７４ｂとからなる第２固定電極（駆動電極）７４は、表側固定枠７５に接着剤などにより固定されているとともに、この表側固定枠７５にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第１金属板７４ａおよび第２金属板７４ｂより延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。この場合、複数の第１金属板７３ａ，７４ａ同士および複数の第２金属板７３ｂ，７４ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１金属板７３ａ，７４ｂ同士および複数の第２金属板７３ｂ，７４ｂ同士をそれぞれ並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。

上述のように構成された変形例のフィルムスピーカ７０ａにおいて、第１固定電極７３および第２固定電極７４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１９（ｂ）に示すように、第１固定電極７３の第１金属板７３ａおよび第２固定電極７４の第１金属板７４ａにプラス（＋）の電圧が付与されるとともに、第１固定電極７３の第２金属板７３ｂおよび第２固定電極７４の第２金属板７４ｂにマイナス（−）の電圧が付与されたとする。すると、第１固定電極７３の第１金属板７３ａとこれに対向する第１金属薄膜７２ａとの間、第２金属板７３ｂとこれに対向する第２金属薄膜７２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ１が作用することとなる。

一方、第２固定電極７４の第１金属板７４ａとこれに対向する第２金属薄膜７２ｂとの間、第２金属板７４ｂとこれに対向する第１金属薄膜７２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１９（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
この場合、第１固定電極７３の第１金属板７３ａおよび第２金属板７３ｂと第１金属薄膜７２ａおよび第２金属薄膜７２ｂとの間の吸引力ｆ１に、第２固定電極７４の第１金属板７４ａおよび第２金属板７４ｂと第１金属薄膜７２ａおよび第２金属薄膜７２ｂとの間の反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例７よりも多くなる。

また、第１固定電極７３および第２固定電極７４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１９（ｃ）に示すように、第１固定電極７３の第１金属板７３ａおよび第２固定電極７４の第１金属板７４ａにマイナス（−）の電圧が付与されるとともに、第１固定電極７３の第２金属板７３ｂおよび第２固定電極７４の第２金属板７４ｂにプラス（＋）の電圧が付与されたとする。すると、第１固定電極７３の第１金属板７３ａとこれに対向する第１金属薄膜７２ａとの間、第２金属板７３ｂとこれに対向する第２金属薄膜７２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。

一方、第２固定電極７４の第１金属板７４ａとこれに対向する第１金属薄膜７２ａとの間、第２金属板７４ｂとこれに対向する第２金属薄膜７２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用することとなる。
この場合、第１固定電極７３の第１金属板７３ａおよび第２金属板７３ｂと第１金属薄膜７２ａおよび第２金属薄膜７２ｂとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極７４の第１金属板７４ａおよび第２金属板７４ｂと第１金属薄膜７２ａおよび第２金属薄膜７２ｂとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例７よりも多くなる。

そして、第１金属板７３ａおよび第２金属板７３ｂからなる第１固定電極７３と、第１金属板７４ａおよび第２金属板７４ｂからなる第２固定電極７４に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻し（吸引）が繰り返されて、音波の波面が形成されることとなる。

なお、上述した実施例７のフィルムスピーカ７０および変形例のフィルムスピーカ７０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム７１の第１金属板７３ａに対向する部分に第１金属薄膜７２ａを、第２金属板７３ｂに対向する部分に第２金属薄膜７２ｂをそれぞれ形成する工程と、絶縁体の両側に第１金属板７３ａ（７４ａ）と第２金属板７３ｂ（７４ｂ）を形成した固定電極７３（７４）を用いること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。

８．実施例８
実施例８のフィルムスピーカ８０は、図２０に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム８１と、この樹脂フィルム８１を間にして背中合わせとなるように表裏面において交互に極性が異なるように形成された第１バイアス電極となる第１金属薄膜８２ａと第２バイアス電極となる第２金属薄膜８２ｂとからなるバイアス電極８２と、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつ第１金属薄膜８２ａおよび第２金属薄膜８２ｂに相対向して平行になるように配置され、絶縁体８３ｃの両側に固着された第１金属板８３ａおよび第２金属板８３ｂからなる固定電極８３とを備えている。

また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部８１ａを固定する表側固定枠８５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部８１ｂを固定する裏側固定枠８６とを備えている。そして、表側折曲端部８１ａは表側固定枠８５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部８１ｂは裏側固定枠８６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠８５および裏側固定枠８６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。

山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置され、絶縁体８３ｃの両側に固着された第１金属板８３ａと第２金属板８３ｂとからなる固定電極８３は裏側固定枠８６に接着剤などにより固定されているとともに、この裏側固定枠８６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第１金属板８３ａおよび第２金属板８３ｂより延出して形成された配線が接続されている。この場合、複数の第１金属板８３ａ同士および複数の第２金属板８３ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１金属板８３ａ同士および複数の第２金属板８３ｂ同士をそれぞれ並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。

ここで、樹脂フィルム８１としては、上述した実施例３の樹脂フィルム３１と同様な材質により形成されている。第１金属板８３ａと対向する樹脂フィルム８１の表裏面に第１バイアス電極となる第１金属薄膜８２ａと第２バイアス電極となる第２金属薄膜８２ｂが形成されている。また、第２金属板８３ｂと対向する樹脂フィルム８１の裏表面に第１バイアス電極となる第１金属薄膜８２ａと第２バイアス電極となる第２金属薄膜８２ｂが形成されている。この場合、第１金属薄膜８２ａおよび第２金属薄膜８２ｂは、上述した実施例３の導電性薄膜３２と同様な材質により形成されている。そして、これらの導電性薄膜８２ａ，８２ｂは、実施例３の導電性薄膜３２と同様な製法により、樹脂フィルム８１上に形成することが可能である。第１バイアス電極となる第１金属薄膜８２ａ同士は直列接続されていて第１直流バイアス電源Ｖ１に接続され、第２バイアス電極となる第２導電性薄膜８２ｂ同士は直列接続されて第２直流バイアス電源Ｖ２に接続される。なお、第１金属薄膜８２ａ同士を並列接続して第１直流バイアス電源Ｖ１に接続し、第２導電性薄膜８２ｂ同士を並列接続して第２直流バイアス電源Ｖ２に接続するようにしてもよい。

また、固定電極（駆動電極）８３となる第１金属板８３ａおよび第２金属板８３ｂは、実施例３の固定電極３３と同様な材質により形成されており、第１金属板８３ａと第２金属板８３ｂとの間が絶縁体８３ｃにより隔離されるようにして板状に形成されている。この場合も、第１金属薄膜８２ａと第２金属板８３ｂ（あるいは第２金属薄膜８２ｂと第１金属板８３ａ）とが直接接触するショートの発生を防止するため、第１金属板８３ａおよび第２金属板８３ｂの表面は絶縁膜でコーティングするのが望ましい。
この場合、固定電極８３の複数の第１金属板８３ａ同士および、複数の第２金属板８３ｂ同士はそれぞれ直列接続されて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１金属板８３ａ同士および複数の第２金属板８３ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。

上述のように構成された実施例８のフィルムスピーカ８０において、例えば、図２０（ａ）に示すように、第１直流バイアス電源Ｖ１から第１バイアス電極となる第１導電性薄膜８２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２直流バイアス電源Ｖ２から第２バイアス電極となる第２導電性薄膜８２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されているものとする。そして、固定電極８３の第１金属板８３ａにプラス（＋）の電圧が付与されるとともに、第２金属板８３ｂにマイナス（−）の電圧が付与されたとする。
すると、第１バイアス電極の第１金属薄膜８２ａとこれに対向する第２金属板８３ｂとの間、および第２バイアス電極の第２金属薄膜８２ｂとこれに対向する第１金属板８３aとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図２０（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。

一方、固定電極（駆動電極）８３にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２０（ｃ）に示すように、第１金属板８３ａにマイナス（−）の電圧が付与され、第２金属板８３ｂにプラス（＋）の電圧が付与されたとする。すると、第２バイアス電極の第２金属薄膜８２ｂとこれに対向する第１金属板８３ａとの間、および第１バイアス電極の第１金属薄膜８２ａとこれに対向する第２金属板８３ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図２０（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。

このように、固定電極（駆動電極）８３の第１金属板８３ａおよび第２金属板８３ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。

〈変形例〉
上述した実施例８においても、固定電極（駆動電極）８３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図２１（なお、図２１において、図２０と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ８０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に絶縁体８３ｃの両側に固着された第１金属板８３ａと第２金属板８３ｂとからなる第１固定電極（駆動電極）８３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも絶縁体８４ｃの両側に固着された第１金属板８４ａと第２金属板８４ｂとからなる第２固定電極（駆動電極）８４が配置されている。なお、第２固定電極（駆動電極）８４においても、第１金属板８４ａと第２金属板８４ｂとの間が絶縁体８４ｃにより隔離されるようにして板状に形成されている。

そして、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第１金属板８４ａと第２金属板８４ｂとからなる第２固定電極（駆動電極）８４は、表側固定枠８５に接着剤などにより固定されているとともに、この表側固定枠８５にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極８４の第１金属板８４ａおよび第２金属板８４ｂより延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。この場合、複数の第１金属板８３ａ，８４ａ同士および複数の第２金属板８３ｂ，８４ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１金属板８３ａ，８４ａ同士および複数の第２金属板８３ｂ，８４ｂ同士をそれぞれ並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。

上述のように構成された本実施例８の変形例のフィルムスピーカ８０ａにおいて、例えば、図２１（ａ）に示すように、第１直流バイアス電源Ｖ１から第１バイアス電極となる各第１導電性薄膜８２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２直流バイアス電源Ｖ２から第２バイアス電極となる各第２導電性薄膜８２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されているものとする。そして、第１固定電極８３の各第１金属板８３ａおよび第２固定電極８４の各第２金属板８４ｂにプラス（＋）の電圧が付与され、第１固定電極８３の各第２金属板８３ｂおよび第２固定電極８４の各第１金属板８４ａにマイナス（−）の電圧が付与されたとする。

すると、第１固定電極８３の第１金属板８３ａとこれに対向する第２金属薄膜８２ｂとの間、第２金属板８３ｂとこれに対向する第１金属薄膜８２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ１が作用することとなる。一方、第２固定電極８４の第１金属板８４ａとこれに対向する第２金属薄膜８２ｂとの間、第２金属板８４ｂとこれに対向する第１金属薄膜８２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図２１（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
この場合、第１固定電極８３の第１金属板８３ａと第２金属薄膜８２ｂとの間、および第２金属板８３ｂと第１金属薄膜８２ａとの間の吸引力ｆ１に、第２固定電極８４の第１金属板８４ａと第２金属薄膜８２ｂとの間、および第２金属板８４ｂと第１金属薄膜８２ａとの間の反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例８よりも多くなる。

また、第１固定電極８３および第２固定電極８４にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２１（ｃ）に示すように、第１固定電極８３の第１金属板８３ａおよび第２固定電極８４の第２金属板８４ｂにマイナス（−）の電圧が付与されるとともに、第１固定電極８３の第２金属板８３ｂおよび第２固定電極８４の第１金属板８４ａにプラス（＋）の電圧が付与されたとする。
すると、第１固定電極８３の第１金属板８３ａとこれに対向する第２金属薄膜８２ｂとの間、第２金属板８３ｂとこれに対向する第１金属薄膜８２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。一方、第２固定電極８４の第１金属板８４ａとこれに対向する第２金属薄膜８２ｂとの間、第２金属板８４ｂとこれに対向する第１金属薄膜８２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用することとなる。

この場合、第１固定電極８３の第１金属板８３ａと第２金属薄膜７２ｂとの間および第２金属板８３ｂと第１金属薄膜８２ａとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極８４の第１金属板８４ａと第２金属薄膜８２ｂとの間および第２金属板８４ｂと第１金属薄膜８２ａとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例８よりも多くなる。
そして、第１金属板８３ａおよび第２金属板８３ｂからなる第１固定電極８３と、第１金属板８４ａおよび第２金属板８４ｂからなる第２固定電極８４に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻し（吸引）が繰り返されて、音波の波面が形成されることとなる。

なお、上述した実施例８のフィルムスピーカ８０および変形例のフィルムスピーカ８０ａを製造するに際しては、第１金属板８３ａと対向する樹脂フィルム８１の部分および第２金属板８３ｂと対向する樹脂フィルム８１の部分に第１バイアス電極の第１金属薄膜８２ａおよび第２バイアス電極の第２金属薄膜８２ｂを形成する工程と、絶縁体の両側に第１金属板８３ａ（８４ａ）と第２金属板８３ｂ（８４ｂ）を形成した固定電極８３（８４）を用いること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。

９．スピーカアレイ
（１）１ユニットによるスピーカアレイ
上述した各実施例のフィルムスピーカにおいては、各駆動電極を直列接続して構成される１ユニットのフィルムスピーカとする例について説明したが、本発明のフィルムスピーカにおいては、各駆動電極の個々に同一位相あるいは異なる位相のオーディオ信号（Ｖｉｎ）を入力させるようにして１ユニットによるスピーカアレイを形成することが可能である。そこで、上述した実施例１のフィルムスピーカ１０の各駆動電極の個々に同一位相あるいは異なる位相のオーディオ信号（Ｖｉｎ）を入力させるようにして１ユニットによるスピーカアレイを形成する例について、以下に説明する。

（第１例）
図２２（ａ）に示すように、各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−１を形成する。そして、これらの各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに同位相の信号を付与すると、スピーカアレイ１０Ａ−１の各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに平行なビーム状の音波が放音されることとなる。これにより、図２２（ａ）の点線で示すような音波の波面が形成され、リスナー（Ｌ）は、リスナー（Ｌ）の真正面に音源があるかのように聞こえる。

（第２例）
図２２（ｂ）に示すように、各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−２を形成する。そして、これらの各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに駆動電極Ａから駆動電極Ｅに向かうほど位相が進んだ信号を付与すると、スピーカアレイ１０Ａ−２の駆動電極Ａから駆動電極Ｅに向かうほど位相が進んだビーム状の音波が放音されることとなる。これにより、図２２（ｂ）の点線で示すように傾斜した音波の波面が形成され、リスナー（Ｌ）はスピーカアレイ１０Ａ−２の駆動電極Ｅ側に音源があるように聞こえる。

（第３例）
図２３（ａ）に示すように、各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−３を形成する。そして、これらの各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに駆動電極Ｃから駆動電極Ａおよび駆動電極Ｃから駆動電極Ｅに向かうほど位相が遅れた信号を付与すると、スピーカアレイ１０Ａ−３の駆動電極Ｃから駆動電極Ａおよび駆動電極Ｃから駆動電極Ｅに向かうほど位相が遅れたビーム状の音波が放音されることとなる。これにより、図２３（ａ）の点線で示すようにＰ点を中心とした球状の波面が形成され、リスナー（Ｌ）はスピーカアレイ１０Ａ−３の後ろのＰ点に音源があるかのような奥行きのある音に聞こえる。

（第４例）
図２３（ｂ）に示すように、各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−４を形成する。そして、これらの各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに駆動電極Ｃから駆動電極Ａおよび駆動電極Ｃから駆動電極Ｅに向かうほど位相が進んだ信号を付与すると、スピーカアレイ１０Ａ−４の駆動電極Ｃから駆動電極Ａおよび駆動電極Ｃから駆動電極Ｅに向かうほど位相が進んだビーム状の音波が放音されることとなる。これにより、図２３（ｂ）の点線で示すような球状の音波の波面が形成され、特定のリスナー（Ｌ）のみに音をフォーカスして聞かせ、他のリスナーには聞かせないという使い方ができるようになる。

（第５例）
図２４（ａ）に示すように、各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−５を形成する。そして、これらの各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに位相が異なるオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与して、図２４（ｂ）の点線で示すような球状の波面が形成されるようにすると、リスナー（Ｌ）はスピーカアレイ１０Ａ−５の後ろのＰ点に音源があるかのような奥行きのある音に聞こえる。

（第６例）
図２４（ｂ）に示すように、各駆動電極Ａ，Ｃ，Ｅに個々にＰ群のオーディオ信号（Ｖｉｎ−ｐ）を付与するように接続するとともに、各駆動電極Ｂ，Ｄに個々にＱ群のオーディオ信号（Ｖｉｎ−ｑ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−６を形成する。そして、これらの各駆動電極Ａ，Ｃ，Ｅに位相が異なるＰ群のオーディオ信号（Ｖｉｎ−ｐ）を付与して、図２４（ｂ）の点線で示すような球状の波面が形成されるようにし、これらの各駆動電極Ｂ，Ｄに位相が異なるＱ群のオーディオ信号（Ｖｉｎ−ｑ）を付与して、図２４（ｂ）の一点鎖線で示すような球状の波面が形成されるようにすると、リスナー（Ｌ）はスピーカアレイ１０ｆの後ろのＰ点およびＱ点の異なった位置に音源があるかのような立体的な音場が形成されて聞こえる。

なお、上述のように位相をずらしたオーディオ信号を各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに付与するようにするには、例えば、特開２００５−１９７８９６号公報に開示されているようなスピーカアレイシステム９０を用いればよい。具体的には、図２５に示すように、指向性制御装置９２から与えられる遅延制御情報に従い、各スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに供給するオーディオ信号の各々に遅延処理を施す遅延回路９１を備えるようにする。この場合、指向性制御装置９２は、所望する位置に焦点が形成されるように、上記各オーディオ信号に与えるべき遅延量を求め、求めた各遅延量をあらわす遅延制御情報を生成して遅延回路９１に供給する。

具体的には、焦点からスピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）までの距離差を補償するように、スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の空間座標と焦点の空間座標とに基づき上記各遅延量を算出する。そして、重み付け手段９３を、スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅと同数の乗算器９３−ａ，９３−ｂ・・・９３−ｅによって構成し、遅延回路９１から供給される遅延処理後のオーディオ信号の各々に窓関数係数やゲイン係数等の重み係数による重みを付加する。

増幅手段９４は、スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅと同数のアンプ９４−ａ，９４−ｂ・・・９４−ｅによって構成し、重み付け手段９３によって所定の重みが付加された各オーディオ信号を増幅する。これにより、増幅手段９４によって増幅されたオーディオ信号は、スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の各駆動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに入力され、音波として出力される。各スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）から出力された音波は、空間上の任意の点（焦点）において同位相となり、該焦点方向の音圧が局所的に高くなる効率の良い指向性（以下、狭指向性）が実現される。このように、遅延アレイ方式を用いたスピーカアレイシステム９０によれば、狭指向性を実現することができるとともに、遅延量の変更のみで指向方向を任意に変更等することができる。

（２）１ユニットの複数個を１列になるように接続したスピーカアレイ
上述した各実施例においては、１枚の樹脂フィルムからなる振動板を用いて１ユニットのフィルムスピーカを作製する例について説明した。ところが、１枚の樹脂フィルムからなる振動板を用いて複数ユニットのスピーカ（マルチスピーカ）を作製することが可能である。ついで、マルチスピーカの構成の一例を図２６に基づいて説明する。図２６に示すマルチスピーカ１００においては、１枚の樹脂フィルム１０１に多数のバイアス電極１０２と駆動電極１０３とが形成されている。また、所定の個数（この場合は８個）のバイアス電極１０２がタ−ミナルｘに接続されるように結線され、所定の個数（この場合は８個）の駆動電極１０３がタ−ミナルｙに接続されるように結線されて、ユニットＶ１〜Ｖ７が形成されている。そして、これらのバイアス電極１０２と駆動電極１０３とが互に平行に相対向するように折目線（図２６に示す点線）で交互に折り曲げられている。

この場合、１枚の樹脂フィルム１０１に多数のバイアス電極１０２と駆動電極１０３とを形成するに際しては、エッチング法、パタ−ニング法、印刷法などを適用して作製するようにすればよい。また、バイアス電極１０２を結線するに際しては、ユニットＶ１〜Ｖ７毎に結線するようにしてもよいし、あるいは樹脂フィルム１０１上の１箇所で全部結線して、ひとつの端子にまとめるようにしてもよい。さらに、まとまってひとつの動きをするユニットに対しては、ユニットごとに異なった信号で制御できるようにするのが望ましい。
なお、このようなマルチスピーカの製造方法においては、１枚の樹脂フィルムに多数のバイアス電極１０２と駆動電極１０３とからなるユニットＶ１〜Ｖ７を形成すること以外は、上述した実施例１の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。

（３）１ユニットの複数個を複数列になるように接続したスピーカアレイ
また、図２７に示すマルチスピーカ２００においては、１枚の樹脂フィルム２０１に多数のバイアス電極２０２と駆動電極２０３とが形成されている。この場合、所定の個数（この場合は８個）のバイアス電極２０２がタ−ミナルｘに接続されるように結線され、所定の個数（この場合は８個）の駆動電極２０３がタ−ミナルｙに接続されるように結線されて、ユニットＸ１〜Ｘ６，Ｙ１〜Ｙ６，Ｚ１〜Ｚ６が形成されている。そして、これらのバイアス電極２０２と駆動電極２０３とが互に平行に相対向するように折目線（図２７に示す点線）で交互に折り曲げられている。

ここで、１枚の樹脂フィルム２０１に多数のバイアス電極２０２と駆動電極２０３とを形成するに際しては、エッチング法、パタ−ニング法、印刷法などを適用して作製するようにすればよい。また、バイアス電極２０２を結線するに際しては、ユニットＸ１〜Ｘ６，Ｙ１〜Ｙ６，Ｚ１〜Ｚ６毎に結線するようにしてもよいし、あるいは樹脂フィルム２０１上の１箇所で全部結線して、ひとつの端子にまとめるようにしてもよい。さらに、まとまってひとつの動きをするユニットに対しては、ユニット毎に異なった信号で制御できるようにするのが望ましい。
なお、このようなマルチスピーカの製造方法においては、１枚の樹脂フィルムに多数のバイアス電極２０２と駆動電極２０３とからなるユニットＸ１〜Ｘ６，Ｙ１〜Ｙ６，Ｚ１〜Ｚ６を形成すること以外は、上述した実施例１の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。

上述した実施の形態においては、つづら折り状に折り畳まれた薄膜フィルムの山部内および谷部内に板状の固定電極（駆動電極）を配置して平面状のフィルムスピーカを形成する例について説明した。ところが、本発明のフィルムスピーカは平面状のみに限ることなく種々の形状に形成することが可能である。例えば、円筒状、凹面状、球面状などの種々の曲面を有するフィルムスピーカを形成することが可能である。この場合、薄膜フィルムがつづら折り状に折り畳み、つづら折り状に折り畳まれた薄膜フィルムの山部および谷部を、円筒状、凹面状、球面状などの自由な曲面を有する板、枠、梁などで固定するようにすればよい。

本発明の実施例１のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例１の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図２（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図２（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図２（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 図１および図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図３（ａ）は上面図であり、図３（ｂ）はそのＡ−Ａ断面を示す断面図である。 図１および図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図４（ａ）は上面図であり、図４（ｂ）はそのＡ−Ａ断面を示す断面図であり、図４（ｃ）はその矢印Ｂから見た側面図である。 図１のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図５（ａ）は上面図であり、図５（ｂ）はそのＡ−Ａ断面を示す断面図である。 図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図６（ａ）は上面図であり、図６（ｂ）はそのＡ−Ａ断面を示す断面図である。 他の製造法を模式的に示す図であり、図７（ａ）は上面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡ−Ａ断面を示す断面図である。 本発明の実施例２のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図８（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図８（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図８（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例２の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図９（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図９（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図９（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例３のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１０（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１０（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１０（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例３の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１１（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１１（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１１（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例４のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１２（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１２（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１２（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例４の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１３（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１３（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１３（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例５のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１４（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１４（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１４（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例５の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１５（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１５（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１５（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例６のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１６（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１６（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１６（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例６の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１７（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１７（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１７（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例７のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１８（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１８（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１８（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例７の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１９（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１９（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１９（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例８のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図２０（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図２０（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図２０（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 実施例８の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図２１（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図２１（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図２１（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。 １ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図であり、図２２（ａ）は第１例を示し、図２２（ｂ）は第２例を示す。 １ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図であり、図２３（ａ）は第３例を示し、図２３（ｂ）は第４例を示す。 １ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図であり、図２４（ａ）は第５例を示し、図２４（ｂ）は第６例を示す。 遅延アレイ方式を用いたスピーカアレイシステムを説明するブロック図である。 １ユニットの複数個を１列になるように接続したスピーカアレイおよびその放音例を模式的に示す図である。 １ユニットの複数個を複数列になるように接続したスピーカアレイおよびその放音例を模式的に示す図である。

符号の説明

１０，１０ａ…フィルムスピーカ、１１…樹脂フィルム（単極エレクトレット膜：バイアス電極）、１１ａ…先端部（表側折曲端部）、１１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、１３…固定電極（第１固定電極）、１４…第２固定電極、１５…表側固定枠、１６…裏側固定枠、１７，１８…曲げ治具、１９ａ，１９ｂ…曲げ治具、２０…フィルムスピーカ、２１…樹脂フィルム（分極エレクトレット膜：バイアス電極）、２１ａ…先端部（表側折曲端部）、２１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、２３…固定電極（第１固定電極）、２４…第２固定電極、２５…表側固定枠、２６…裏側固定枠、３０，３０ａ…フィルムスピーカ、３１…樹脂フィルム、３１ａ…先端部（表側折曲端部）、３１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、３２…導電性薄膜（バイアス電極）、３３…固定電極（第１固定電極）、３４…第２固定電極、３５…表側固定枠、３６…裏側固定枠、４０，４０ａ…フィルムスピーカ、４１…樹脂フィルム、４１ａ…先端部（表側折曲端部）、４１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、４２ａ，４２ｂ…導電性薄膜（バイアス電極）、４３…固定電極（第１固定電極）、４４…第２固定電極、４５…表側固定枠、４６…裏側固定枠、５０，５０ａ…フィルムスピーカ、５１…樹脂フィルム、５１ａ…先端部（表側折曲端部）、５１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、５２ａ…第１単極エレクトレット膜、５２ｂ…第１単極エレクトレット膜、５３…固定電極（第１固定電極）、５３ａ…第１導電性薄膜、５３ｂ…第２導電性薄膜、５３ｃ…絶縁体、５４…第２固定電極、５４ａ…第１導電性薄膜、５４ｂ…第２導電性薄膜、５４ｃ…絶縁体、５５…表側固定枠、５６…裏側固定枠、６０，６０ａ…フィルムスピーカ、６１…樹脂フィルム、６１ａ…先端部（表側折曲端部）、６１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、６２ａ，６２ｂ…導電性薄膜（バイアス電極）、６３…固定電極（第１固定電極）、６３ａ…第１金属板、６３ｂ…第２金属板、６３ｃ…絶縁体、６４…第２固定電極、６４ａ…第１金属板、６４ｂ…第２金属板、６４ｃ…絶縁体、６５…表側固定枠、６６…裏側固定枠、７０，７０ａ…フィルムスピーカ、７１…樹脂フィルム、７１ａ…先端部（表側折曲端部）、７１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、７２ａ，７２ｂ…導電性薄膜（バイアス電極）、７３…固定電極（第１固定電極）、７３ａ…第１金属板、７３ｂ…第２金属板、７３ｃ…絶縁体、７４…第２固定電極、７４ａ…第１金属板、７４ｂ…第２金属板、７４ｃ…絶縁体、７５…表側固定枠、７６…裏側固定枠、８０，８０ａ…フィルムスピーカ、８１…樹脂フィルム、８１ａ…先端部（表側折曲端部）、８１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、８２ａ，８２ｂ…導電性薄膜（バイアス電極）、８３…固定電極（第１固定電極）、８３ａ…第１金属板、８３ｂ…第２金属板、８３ｃ…絶縁体、８４…第２固定電極、８４ａ…第１金属板、８４ｂ…第２金属板、８４ｃ…絶縁体、８５…表側固定枠、８６…裏側固定枠、１００…マルチスピーカ、１０１…樹脂フィルム、１０２…第１固定電極（駆動電極）、１０３…第２固定電極（駆動電極）、２００…マルチスピーカ、２０１…樹脂フィルム、２０２…第１固定電極（駆動電極）、２０３…第２固定電極（駆動電極）、Ａ１，Ａ２，Ａ３…山部、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４…谷部、Ｖ１〜Ｖ７…ユニット、Ｘ１〜Ｘ６，Ｙ１〜Ｙ６，Ｚ１〜Ｚ６…ユニット

Claims (7)

1. オーディオ信号に応じた駆動電圧が付与される固定電極と、当該固定電極に対向して移動可能でバイアス電圧が付与されるバイアス電極を有するフィルム部材とを備えたフィルムスピーカであって、
   前記フィルム部材は折り畳まれて複数の山部と谷部とが形成されているとともに前記山部および谷部の先端部の上下部は一対の固定枠に接着剤により固定されており、
   前記山部を形成する空間内および前記谷部を形成する空間内の少なくとも一方の空間内の中央部に前記固定電極が配置されているとともに、
   前記バイアス電極は導電性薄膜であって、当該導電性薄膜が前記固定電極に対向するように前記フィルム部材の表面および裏面の両方に形成されており、これらの導電性薄膜の極性が異なるようにバイアス電圧が付与されて、
   前記固定電極に付与されたオーディオ信号に応じた駆動電圧に基づく当該固定電極と前記バイアス電極との間のクーロン力により前記バイアス電極を有するフィルム部材により形成される空間内に存在する空気が押し出されたり引き戻されることにより空気振動が生じて音波を発生するようになされていることを特徴とするフィルムスピーカ。
2. 前記導電性薄膜は銅、アルミニウム、クロム、チタン、金、ニッケル、鉄から選択される金属またはそれらの合金から形成された薄膜、カーボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)から選択される導電性無機材料から形成された薄膜、微細な金属粉末を分散させた導電性樹脂材料から形成された薄膜のいずれか１つであることを特徴とする請求項１に記載のフィルムスピーカ。
3. 前記固定電極は導電性板状体、絶縁板の表裏両面に形成された導電性板状体あるいは絶縁体の表裏両面に導電性薄膜が被覆された板状体であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のフィルムスピーカ。
4. 前記導電性板状体あるいは前記絶縁体の表裏両面に被覆された導電性薄膜は銅、アルミニウム、クロム、チタン、金、ニッケル、鉄から選択される金属またはそれらの合金から形成された板状体あるいは薄膜、カーボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)から選択される導電性無機材料から形成された板状体あるいは薄膜、微細な金属粉末を分散させた導電性樹脂材料から形成された板状体あるいは薄膜のいずれか１つであることを特徴とする請求項３に記載のフィルムスピーカ。
5. 前記固定電極および前記バイアス電極の少なくとも一方の表面は絶縁膜で被覆されていることを特徴とする請求項１から請求項４いずれかに記載のフィルムスピーカ。
6. オーディオ信号に応じた駆動電圧が付与される固定電極と、当該固定電極に対向して移動可能でバイアス電圧が付与されるバイアス電極を有するフィルム部材とを備えたフィルムスピーカの製造方法であって、
   前記バイアス電極が形成された薄膜フィルムの表面側および裏面側に円柱状あるいは角柱状の曲げ治具を配置する治具配置工程と、
   前記薄膜フィルムの裏面側に配置された前記曲げ治具と、前記薄膜フィルムの表面側に配置された前記曲げ治具とを互に引張するようにして当該薄膜フィルムを折り畳む折り畳み工程と、
   前記薄膜フィルムが折り畳たたまれて形成された山部および谷部の少なくとも一方の空間部の中央部に前記固定電極を配置する固定電極配置工程と、
   前記薄膜フィルムの山部および谷部の先端部の上下部を一対の固定枠に接着剤により固定する先端部固定工程とを備えたことを特徴とするフィルムスピーカの製造方法。
7. 前記先端部固定工程の後に前記曲げ治具を取り除く曲げ治具除去工程を備えるようにしたことを特徴とする請求項６に記載のフィルムスピーカの製造方法。

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