JP4910867B2 - Optical fiber temperature sensor device - Google Patents

Optical fiber temperature sensor device Download PDF

Info

Publication number
JP4910867B2
JP4910867B2 JP2007121653A JP2007121653A JP4910867B2 JP 4910867 B2 JP4910867 B2 JP 4910867B2 JP 2007121653 A JP2007121653 A JP 2007121653A JP 2007121653 A JP2007121653 A JP 2007121653A JP 4910867 B2 JP4910867 B2 JP 4910867B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical fiber
temperature
light intensity
stokes light
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2007121653A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2008008886A (en
Inventor
秀貴 川内
正紀 小椋
主鉉 柳
昭浩 蛭田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Cable Ltd filed Critical Hitachi Cable Ltd
Priority to JP2007121653A priority Critical patent/JP4910867B2/en
Publication of JP2008008886A publication Critical patent/JP2008008886A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4910867B2 publication Critical patent/JP4910867B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Description

本発明は、光ファイバから散乱するラマン散乱光を検出して温度を測定する光ファイバ式温度センサ装置に係り、特に、検出したラマン散乱光から得られる情報を、光源の出力の制御や装置自体の異常検知に用いた光ファイバ式温度センサ装置に関する。   The present invention relates to an optical fiber temperature sensor device that detects Raman scattered light scattered from an optical fiber and measures temperature, and in particular, information obtained from detected Raman scattered light is used to control the output of a light source and the device itself. The present invention relates to an optical fiber type temperature sensor device used for detecting an abnormality of the optical fiber.

図3に示すように、従来の光ファイバ式温度センサ装置31では、センサ本体32の信号処理制御回路33によりパルス信号を発生し、このパルス信号をLD(半導体レーザ)モジュール34でパルス光信号(入力波長λ0)に変換し、そのパルス光信号が装置内光ファイバ35aを介して光フィルタ部36に入射し、基準温度光ファイバ37を通って測定用光ファイバ35b内を伝送する。すると、測定用光ファイバ35bの各点から後方散乱光が生じる。   As shown in FIG. 3, in the conventional optical fiber temperature sensor device 31, a pulse signal is generated by the signal processing control circuit 33 of the sensor body 32, and this pulse signal is converted into a pulsed optical signal (LD) by an LD (semiconductor laser) module 34. The input light is converted into an input wavelength λ 0), and the pulsed light signal is incident on the optical filter unit 36 through the in-device optical fiber 35 a and transmitted through the reference temperature optical fiber 37 through the measurement optical fiber 35 b. Then, backscattered light is generated from each point of the measurement optical fiber 35b.

後方散乱光は、発信波長λ0のレイリー散乱光と、ラマン散乱光の2成分である波長λStのストークス光(St光)と、波長λAsのアンチストークス光(As光)とからなる(図4参照)。   The backscattered light includes Rayleigh scattered light having a transmission wavelength λ0, Stokes light (St light) having a wavelength λSt, which is two components of Raman scattered light, and anti-Stokes light (As light) having a wavelength λAs (see FIG. 4). ).

そして、光フィルタ部36によって後方散乱光からSt光とAs光を分離し、これら光を受光器38でそれぞれ受光して電気信号に変換し、信号処理制御回路33に入力する。
信号処理制御回路33は、この電気信号を処理し、St光とAs光の強度比を求め、この強度比から測定箇所の温度を求める。求めた温度は、信号処理制御回路33からパソコン39にデータとして伝送され、パソコン39に表示される。
Then, the St filter light and the As light are separated from the backscattered light by the optical filter unit 36, and these lights are respectively received by the light receivers 38 to be converted into electric signals and input to the signal processing control circuit 33.
The signal processing control circuit 33 processes this electrical signal, obtains the intensity ratio of St light and As light, and obtains the temperature of the measurement location from this intensity ratio. The obtained temperature is transmitted as data from the signal processing control circuit 33 to the personal computer 39 and displayed on the personal computer 39.

この光ファイバ式温度センサ装置31では、ファイバ収納箱40に基準温度光ファイバ37を収容し、その基準温度光ファイバ37に温度センサ41を設けている。温度センサ41は信号処理制御回路33に接続される。   In this optical fiber type temperature sensor device 31, a reference temperature optical fiber 37 is accommodated in a fiber storage box 40, and a temperature sensor 41 is provided on the reference temperature optical fiber 37. The temperature sensor 41 is connected to the signal processing control circuit 33.

St光とAs光の強度比は温度に依存するため、この強度比を光ファイバ式温度センサ装置31で測定すれば、測定用光ファイバ35b周囲の温度分布を測定できる。   Since the intensity ratio between the St light and the As light depends on the temperature, the temperature distribution around the measurement optical fiber 35b can be measured by measuring the intensity ratio with the optical fiber type temperature sensor device 31.

ところで、例えばLDモジュール34が備えるLDは、周囲温度によって出力が変動するため、測定中はLDのパワーを一定にするのが望ましい。   By the way, for example, since the output of the LD provided in the LD module 34 varies depending on the ambient temperature, it is desirable to keep the power of the LD constant during the measurement.

LDパワーを一定にする方法としては、
(i)LDモジュール34が、LDの出射方向とは反対側に出射される光を検出するモニタPD(フォトダイオード)を備えている場合は、このモニタPDの出力を基に、信号処理制御回路33がLDのパワーを一定に制御する方法
(ii)LDモジュール34に温度調整機能を有するペルチェ素子を設けてLDの温度を一定に制御することにより、LDのパワーを一定に制御する方法
などがあり、光ファイバ式温度センサ31に適用できる。
As a method of making the LD power constant,
(I) When the LD module 34 includes a monitor PD (photodiode) that detects light emitted to the side opposite to the emission direction of the LD, a signal processing control circuit is based on the output of the monitor PD. (Ii) A method of controlling the LD power constant by providing a Peltier element having a temperature adjusting function in the LD module 34 and controlling the LD temperature constant. Yes, it can be applied to the optical fiber temperature sensor 31.

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、次のものがある。   The prior art document information related to the invention of this application includes the following.

特許第2577199号公報Japanese Patent No. 2577199

しかしながら、従来の光ファイバ式温度センサ装置31に上記(i)、(ii)を適用する場合、(i)の場合はLDモジュール34にモニタPDが必要になる、(ii)の場合はペルチェ素子が必要になるということで、いずれの方法も光ファイバ式温度センサ装置31全体のコストが高くなるという問題がある。   However, when the above (i) and (ii) are applied to the conventional optical fiber temperature sensor device 31, a monitor PD is required for the LD module 34 in the case (i), and a Peltier element in the case (ii) Therefore, each method has a problem that the cost of the entire optical fiber temperature sensor device 31 is increased.

また、LDモジュール34がモニタPD、ペルチェ素子を備えることにより、光ファイバ式温度センサ装置31全体の構成が複雑になるという問題もある。   Further, since the LD module 34 includes the monitor PD and the Peltier element, there is a problem that the entire configuration of the optical fiber temperature sensor device 31 becomes complicated.

さらに、信号処理制御回路33は、St光とAs光の信号、モニタPDあるいはペルチェ素子からの信号を処理するため、信号処理制御回路33も構成が複雑になるという問題がある。   Furthermore, since the signal processing control circuit 33 processes the St light and As light signals, the signal from the monitor PD or the Peltier element, the signal processing control circuit 33 also has a problem that the configuration is complicated.

LDの異常検知をする場合もモニタPDが必要であり、上記と同様の問題が生じる。   A monitor PD is also required when detecting an abnormality of the LD, and the same problem as described above occurs.

そこで、本発明の目的は、ほぼ従来の装置構成で実現でき、安価で構成が簡単な光ファイバ式温度センサ装置を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an optical fiber temperature sensor device that can be realized almost by a conventional device configuration, is inexpensive, and has a simple configuration.

本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項1の発明は、センサ本体内から温度の測定箇所まで光ファイバを設け、その光ファイバに光源から光を入射し、上記光ファイバから散乱するストークス光とアンチストークス光を検出して上記測定箇所の温度を測定する光ファイバ式温度センサ装置において、上記光源と上記光ファイバ間に設けられる温度が既知の基準温度光ファイバと、その基準温度光ファイバから散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、上記光源の出力を制御する制御手段とを備え、上記制御手段は、予め任意の2つの温度における上記基準温度光ファイバから散乱されるストークス光強度とアンチストークス光強度の基準演算値を求め、この基準演算値と温度の関係を示す近似式を求め、これを記憶装置に格納しておき、その後、別の温度における上記基準温度光ファイバから散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度の演算値を求めると共に、上記別の温度における上記近似式による演算値を求め、上記演算値と、格納した上記近似式による演算値とが等しくなるように、上記光源に印加するバイアス電流を制御する光ファイバ式温度センサ装置である。 The present invention has been devised to achieve the above object, and the invention of claim 1 is characterized in that an optical fiber is provided from the sensor body to a temperature measurement point, light is incident on the optical fiber from a light source, An optical fiber type temperature sensor device that detects Stokes light and anti-Stokes light scattered from an optical fiber and measures the temperature at the measurement location, and a reference temperature optical fiber having a known temperature provided between the light source and the optical fiber; And control means for monitoring the Stokes light intensity and the anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber, and controlling the output of the light source , wherein the control means has the reference temperature light at any two temperatures in advance. A reference calculation value of the Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity scattered from the fiber is obtained, and a reference value indicating the relationship between the reference calculation value and temperature is obtained. An equation is obtained and stored in a storage device, and then the Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber at another temperature are obtained, and the approximation at the other temperature is obtained. An optical fiber temperature sensor device that obtains a calculated value by an equation and controls a bias current applied to the light source so that the calculated value is equal to a stored calculated value by the approximate equation .

請求項2の発明は、センサ本体内から温度の測定箇所まで光ファイバを設け、その光ファイバに光源から光を入射し、上記光ファイバから散乱するストークス光とアンチストークス光を検出して上記測定箇所の温度を測定する光ファイバ式温度センサ装置において、上記光源と上記光ファイバ間に設けられる温度が既知の基準温度光ファイバと、その基準温度光ファイバから散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、上記光源の出力を制御する制御手段とを備え、上記制御手段は、予め多数の温度における上記基準温度光ファイバから散乱されるストークス光強度とアンチストークス光強度の基準演算値を求め、これを記憶装置に格納しておき、格納した基準演算値と、上記基準温度光ファイバから散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度の演算値とが等しくなるように、上記光源に印加するバイアス電流を制御する光ファイバ式温度センサ装置である。 According to the second aspect of the present invention, an optical fiber is provided from the sensor body to a temperature measurement location, light is incident on the optical fiber from the light source, and the Stokes light and the anti-Stokes light scattered from the optical fiber are detected to perform the measurement. In a fiber optic temperature sensor device for measuring the temperature of a location, a reference temperature optical fiber having a known temperature provided between the light source and the optical fiber, and Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber Control means for controlling the output of the light source, and the control means obtains reference calculation values of Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber at a number of temperatures in advance. This is stored in a storage device, and the stored reference calculation value and the Stokes scattered from the reference temperature optical fiber are stored. As is the calculated value of the light intensity and anti-Stokes light intensity equal, an optical fiber temperature sensor device for controlling the bias current applied to the light source.

請求項3の発明は、上記制御手段は、上記基準温度光ファイバまたは上記光ファイバから散乱されるストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、モニタしたストークス光強度とアンチストークス光強度に基づいて、または、上記基準温度光ファイバまたは上記光ファイバから反射される反射光強度をモニタし、モニタした反射光強度に基づいて、上記装置の異常を検知する請求項1または2記載の光ファイバ式温度センサ装置である。 In the invention of claim 3, the control means monitors the Stokes light intensity and the anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber or the optical fiber, and based on the monitored Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity. Or an optical fiber temperature according to claim 1 or 2 , wherein the reference temperature optical fiber or the reflected light intensity reflected from the optical fiber is monitored, and an abnormality of the device is detected based on the monitored reflected light intensity. It is a sensor device.

請求項4の発明は、上記制御手段は、上記基準温度光ファイバから散乱されるストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、モニタしたストークス光強度とアンチストークス光強度に基づいて、上記光源の異常を検知する請求項1または2記載の光ファイバ式温度センサ装置である。 In the invention of claim 4, the control means monitors the Stokes light intensity and the anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber, and based on the monitored Stokes light intensity and the anti-Stokes light intensity, The optical fiber temperature sensor device according to claim 1 or 2, which detects an abnormality.

本発明によれば、ほぼ従来の装置構成で実現でき、安価で構成が簡単になるという優れた効果を発揮する。   According to the present invention, it is possible to realize almost the conventional apparatus configuration, and the excellent effect is obtained that the configuration is simple and inexpensive.

以下、本発明の好適な実施形態を添付図面にしたがって説明する。   Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の好適な実施形態を示す光ファイバ式温度センサ装置の構成図である。   FIG. 1 is a configuration diagram of an optical fiber type temperature sensor device showing a preferred embodiment of the present invention.

図1に示すように、本実施形態に係るAPC(Automatic Power Control)制御機能及び/又は異常検知機能を有する光ファイバ式温度センサ装置1は、センサ本体2と、温度測定用の測定用光ファイバ3bと、後述するセンサ本体2内の制御手段を制御し、測定箇所の温度を表示する外部演算処理手段としての表示・制御用パソコン4とで構成される。   As shown in FIG. 1, an optical fiber temperature sensor device 1 having an APC (Automatic Power Control) control function and / or an abnormality detection function according to this embodiment includes a sensor body 2 and a measurement optical fiber for temperature measurement. 3b and a display / control personal computer 4 as an external arithmetic processing means for controlling the control means in the sensor body 2 to be described later and displaying the temperature of the measurement location.

センサ本体2は、波長λ0のパルス光信号を出射する光源としてのLDモジュール5と、パルス光信号を透過し、他方、後方散乱光から波長λStのSt光と波長λAsのAs光を分離する光フィルタ部6と、St光とAs光をそれぞれ受光して電気信号に変換する受光器7と、制御手段としての信号処理制御回路8とで主に構成される。   The sensor body 2 is an LD module 5 serving as a light source that emits a pulsed light signal having a wavelength λ0 and light that transmits the pulsed light signal and separates St light having a wavelength λSt and As light having a wavelength λAs from backscattered light. The filter unit 6 mainly includes a light receiver 7 that receives St light and As light and converts them into electrical signals, and a signal processing control circuit 8 that serves as control means.

LDモジュール5は、LD9と、そのLD9を駆動するドライバ10とからなる。光フィルタ部6としては、例えば、St光のみを透過するフィルタと、As光のみを透過するフィルタとを所定角度ずつ傾けて対向配置したものを用いる。受光器7は、APD(アバランシェフォトダイオード)11と、APD11の出力を増幅するプリアンプ12とからなる。また、各受光器7と信号処理制御回路8間にはAD(アナログ・ディジタル)変換器13がそれぞれ接続される。   The LD module 5 includes an LD 9 and a driver 10 that drives the LD 9. As the optical filter unit 6, for example, a filter in which only a filter that transmits only St light and a filter that transmits only As light are arranged so as to face each other at a predetermined angle. The light receiver 7 includes an APD (avalanche photodiode) 11 and a preamplifier 12 that amplifies the output of the APD 11. An AD (analog / digital) converter 13 is connected between each light receiver 7 and the signal processing control circuit 8.

さて、光ファイバ式温度センサ装置1では、LDモジュール5と光フィルタ部6を装置内光ファイバ3aで接続し、光フィルタ部6と測定用光ファイバ3b間に、測定用光ファイバ3bとは別の光ファイバを接続し、この光ファイバを温度が既知の基準温度光ファイバ14とした。もちろん、測定用光ファイバ3bの余長部を基準温度光ファイバ14としてもよい。   In the optical fiber temperature sensor device 1, the LD module 5 and the optical filter unit 6 are connected by the in-device optical fiber 3a, and the optical fiber type temperature sensor device 1 is separated from the measuring optical fiber 3b between the optical filter unit 6 and the measuring optical fiber 3b. These optical fibers were connected to a reference temperature optical fiber 14 having a known temperature. Of course, the extra length of the measurement optical fiber 3b may be the reference temperature optical fiber 14.

信号処理制御回路8は、基準温度光ファイバ14から散乱するSt光強度とAs光強度をモニタし、これらSt光強度とAs光強度を基に、LDの出力を制御すると共に、光ファイバ式温度センサ装置1自体の異常を検知する機能を有する。なお、信号処理制御回路は、LDの出力を制御する機能のみ、または光ファイバ式温度センサ装置1自体の異常検知機能のみを有するものであってもよい。   The signal processing control circuit 8 monitors the St light intensity and the As light intensity scattered from the reference temperature optical fiber 14, controls the output of the LD based on the St light intensity and the As light intensity, and performs an optical fiber temperature. It has a function of detecting an abnormality in the sensor device 1 itself. The signal processing control circuit may have only the function of controlling the output of the LD or only the abnormality detection function of the optical fiber type temperature sensor device 1 itself.

信号処理制御回路8は、より詳細には、例えば基準温度光ファイバ14から散乱するSt光強度とAs光強度の演算(例えば、加減乗除である四則演算)値を求め、この演算値を用いて、LD9に印加するバイアス電流を制御する。これにより、信号処理制御回路8は、光ファイバ式温度センサ装置1内に温度変化があったとしてもLD9の出力を一定に制御する。   More specifically, the signal processing control circuit 8 obtains, for example, values of St light intensity and As light intensity scattered from the reference temperature optical fiber 14 (for example, four arithmetic operations that are addition / subtraction / multiplication / division) and uses the calculated values. The bias current applied to the LD 9 is controlled. Thereby, the signal processing control circuit 8 controls the output of the LD 9 to be constant even if there is a temperature change in the optical fiber temperature sensor device 1.

信号処理制御回路8は、例えば、記憶装置としてのMCU(Micro Controller Unit)と、演算処理装置としてのFPGA(Field Programmable Gate Array)とで構成される。温度測定に関する諸データ(後述する加減乗除の四則演算値など)は、例えば、MCUに記憶させるとよい。   The signal processing control circuit 8 includes, for example, an MCU (Micro Controller Unit) as a storage device and an FPGA (Field Programmable Gate Array) as an arithmetic processing device. Various data relating to temperature measurement (such as four arithmetic operation values for addition, subtraction, multiplication and division described later) may be stored in the MCU, for example.

この信号処理制御回路8は、温度測定に関して、図3の従来の光ファイバ式温度センサ装置31の信号処理制御回路33とほぼ同じ機能も有する。信号処理制御回路8の詳しい動作は後述する。   The signal processing control circuit 8 has substantially the same function as the signal processing control circuit 33 of the conventional optical fiber temperature sensor device 31 of FIG. Detailed operation of the signal processing control circuit 8 will be described later.

また、基準温度光ファイバ14はファイバ収納箱15に収納される。センサ本体2は、基準温度光ファイバ14の温度を検出する温度検出手段16を備える。温度検出手段16は、信号処理制御回路8に接続される。温度検出手段16としては、熱電対や温度測定ICを用いるとよい。   The reference temperature optical fiber 14 is stored in a fiber storage box 15. The sensor body 2 includes temperature detection means 16 that detects the temperature of the reference temperature optical fiber 14. The temperature detection means 16 is connected to the signal processing control circuit 8. As the temperature detection means 16, a thermocouple or a temperature measurement IC may be used.

次に、光ファイバ式温度センサ装置1の動作を説明する。
(APC制御)
信号処理制御回路8によりパルス信号を発生し、このパルス信号をLDモジュール5でパルス光信号(出力波長λ0)に変換し、そのパルス光信号が光フィルタ部6を通って基準温度光ファイバ14に入射する。すると、基準温度光ファイバ14から後方散乱光が生じる。
Next, the operation of the optical fiber temperature sensor device 1 will be described.
(APC control)
A pulse signal is generated by the signal processing control circuit 8, and this pulse signal is converted into a pulse optical signal (output wavelength λ 0) by the LD module 5, and the pulse optical signal passes through the optical filter unit 6 to the reference temperature optical fiber 14. Incident. Then, backscattered light is generated from the reference temperature optical fiber 14.

光フィルタ部6によって後方散乱光から波長λsのSt光と波長λAsのAs光を分離し、これら光を受光器7でそれぞれ受光して電気信号に変換し、信号処理制御回路8に入力する。   The light filter unit 6 separates the St light having the wavelength λs and the As light having the wavelength λAs from the backscattered light, and each of these lights is received by the light receiver 7 to be converted into an electric signal and input to the signal processing control circuit 8.

光ファイバ式温度センサ装置1内の温度が変化すると、基準温度光ファイバ14の温度が変化してSt光強度とAs光強度が変わってしまうので、下記のように実施する。   When the temperature in the optical fiber temperature sensor device 1 changes, the temperature of the reference temperature optical fiber 14 changes and the St light intensity and the As light intensity change.

(1)近似式を用いる場合
まず、信号処理制御回路8は、測定箇所の温度測定に先立ち、図2に示すように、予め基準温度光ファイバ14の任意の2つの温度(予め測定する実測点の温度、あるいは既知の温度)Ta,Tbにおいて、基準温度光ファイバ14から散乱するSt光強度とAs光強度を測定し、演算処理してデータを取得し、そのデータを基準演算値としてMCUに格納しておく。任意の2つの温度は、センサ本体2に備えた温度検出手段16により測定される。
(1) When using an approximate expression First, prior to the temperature measurement at the measurement location, the signal processing control circuit 8, as shown in FIG. 2, arbitrarily selects any two temperatures of the reference temperature optical fiber 14 (measurement points to be measured in advance). (Stage temperature or known temperature) Ta and Tb, St light intensity and As light intensity scattered from the reference temperature optical fiber 14 are measured, and processed to obtain data, and the data is obtained as a reference calculation value to the MCU. Store it. Any two temperatures are measured by the temperature detection means 16 provided in the sensor body 2.

信号処理制御回路8は、上記データから、各温度Ta,Tbと、St光強度とAs光強度の演算値Da,Dbとの関係に関して近似式を求め、近似式のグラフXを得る。近似式のグラフXは、信号処理制御回路8により演算処理装置または記憶装置に格納しておく。   The signal processing control circuit 8 obtains an approximate expression from the above data with respect to the relationship between the temperatures Ta and Tb and the calculated values Da and Db of the St light intensity and the As light intensity, and obtains a graph X of the approximate expression. The approximate expression graph X is stored in the arithmetic processing unit or the storage device by the signal processing control circuit 8.

格納した近似式のグラフXは、例えば、周囲温度25℃、30℃…における各St光強度ST0とAs光強度AS0の和(ST0+AS0)などから、近似式によって求めた(ST0+AS0)と温度の関係を示すグラフである。   The graph X of the stored approximate expression is, for example, the relationship between (ST0 + AS0) obtained by the approximate expression from the St light intensity ST0 and the As light intensity AS0 (ST0 + AS0) at ambient temperatures of 25 ° C., 30 ° C., etc. and the temperature. It is a graph which shows.

この近似式のグラフXから、実際に求めた温度以外の別の温度における基準温度光ファイバ14から散乱するSt光強度とAs光強度の演算値を得ることができる。(手順1)近似式のグラフXは、1つの周囲温度における(ST0+AS0)からも求めることができる。これは、(ST0+AS0)と温度の関係を示すグラフが、LD9の波長で大きく変化する点を除けば、慣用の技術により、およその推定が可能だからである。   From the graph X of this approximate expression, the calculated values of the St light intensity and the As light intensity scattered from the reference temperature optical fiber 14 at another temperature other than the actually obtained temperature can be obtained. (Procedure 1) The approximate expression graph X can also be obtained from (ST0 + AS0) at one ambient temperature. This is because a graph showing the relationship between (ST0 + AS0) and temperature can be roughly estimated by a conventional technique except that the graph changes greatly with the wavelength of the LD9.

次に、APC制御と光ファイバ式温度センサ装置1の異常検知は、以下の手順で行う。   Next, APC control and abnormality detection of the optical fiber temperature sensor device 1 are performed according to the following procedure.

手順1までのデータがそろったら、信号処理制御回路8は、温度検出手段16で検出した別の温度(APC制御または光ファイバ式温度センサ装置1の異常を検知したい時点での温度)(T1とする)において、基準温度光ファイバ14から散乱するSt光強度とAs光強度の演算値(D1とする)を求める。   When the data up to the procedure 1 is collected, the signal processing control circuit 8 detects another temperature detected by the temperature detecting means 16 (temperature at the time when it is desired to detect an abnormality of the APC control or the optical fiber temperature sensor device 1) (T1 and In this case, the calculated values (denoted as D1) of the St light intensity and the As light intensity scattered from the reference temperature optical fiber 14 are obtained.

信号処理制御回路8は、近似式から温度T1のときの近似式によるSt光強度とAs光強度の演算値Dk1を求め、この近似式による演算値Dk1と、D1とを比較し、Dk1とD1とが等しくなるように、ドライバ10もしくはLD9のバイアス電流を制御し、LD9の出力を一定に制御する。   The signal processing control circuit 8 obtains the calculated value Dk1 of the St light intensity and the As light intensity by the approximate expression at the temperature T1 from the approximate expression, compares the calculated value Dk1 by the approximate expression and D1, and compares Dk1 and D1. Are controlled so that the bias current of the driver 10 or the LD 9 is constant, and the output of the LD 9 is controlled to be constant.

ここで、信号処理制御回路8により、近似式を用いてAPC制御を行ったのは、予め測定する回数を少なくできるからである。任意の2つの温度Ta,Tbと、これら温度における基準温度光ファイバ14から散乱するSt光強度とAs光強度の演算値Da,Dbとがあれば、図2で説明したように近似式を得ることができる。   Here, the reason why the APC control is performed by the signal processing control circuit 8 using the approximate expression is that the number of times of measurement in advance can be reduced. If there are arbitrary two temperatures Ta and Tb, and St light intensity and As light intensity calculated values Da and Db scattered from the reference temperature optical fiber 14 at these temperatures, an approximate expression is obtained as described in FIG. be able to.

さらに、これと同時に、信号制御回路8は、(ST0+AS0)の変動量が設定値を超えたとき、警告信号を発生して例えばパソコン4に送信する。これにより、光ファイバ式温度センサ装置1では、LD9、すなわちLDモジュール5が正常に動作しているかどうか、すなわち光ファイバ式温度センサ装置1の異常を検知する一例として、LDモジュール5の異常を検知できる。   At the same time, the signal control circuit 8 generates a warning signal and transmits it to the personal computer 4, for example, when the variation amount of (ST0 + AS0) exceeds the set value. As a result, the optical fiber temperature sensor device 1 detects an abnormality of the LD module 5 as an example of detecting whether the LD 9, that is, the LD module 5 is operating normally, that is, an abnormality of the optical fiber temperature sensor device 1. it can.

基準温度光ファイバ14はセンサ本体2に収納されており、LD9も同様にセンサ本体2に収納されている。基準温度光ファイバ14の温度が変化するということは、装置本体2の温度が変わることを意味しており、LD9の温度も基準温度光ファイバ14と同様に温度が変化する。したがって、LD9の温度変化に対してもLD9のパワーを一定にするため、上述したように、信号処理制御回路8でLD9のバイアス電流を制御する必要がある。   The reference temperature optical fiber 14 is accommodated in the sensor body 2, and the LD 9 is similarly accommodated in the sensor body 2. The change in the temperature of the reference temperature optical fiber 14 means that the temperature of the apparatus main body 2 changes, and the temperature of the LD 9 also changes in the same manner as the reference temperature optical fiber 14. Therefore, in order to make the power of the LD 9 constant with respect to the temperature change of the LD 9, it is necessary to control the bias current of the LD 9 by the signal processing control circuit 8 as described above.

(2)多数の予測データを用いる場合
また、信号処理制御手段8は、近似式を用いずに、予め多数の温度における基準温度光ファイバ14から散乱するSt光強度とAs光強度を測定し、データを取得し、そのデータを基準演算値としてMCUに格納しておいてもよい。
(2) When a large number of prediction data are used Further, the signal processing control means 8 measures the St light intensity and the As light intensity scattered from the reference temperature optical fiber 14 at a large number of temperatures in advance without using an approximate expression, Data may be acquired and stored in the MCU as a reference calculation value.

格納したデータは、例えば、周囲温度−30〜+70℃における各St光強度ST0とAs光強度AS0の和(ST0+AS0)などから求めた(ST0+AS0)と温度の関係を示すグラフである。   The stored data is, for example, a graph showing the relationship between (ST0 + AS0) and temperature obtained from the sum (ST0 + AS0) of each St light intensity ST0 and As light intensity AS0 at an ambient temperature of −30 to + 70 ° C.

予め多数の温度における測定は、例えば、1℃毎に基準温度光ファイバ14から散乱するSt光強度とAs光強度の基準演算値を求めて、これを記憶装置に格納しておけば十分である。これは、温度検出手段16の測定精度が1℃くらいだからである。   For measurement at a large number of temperatures, for example, it is sufficient to obtain reference calculation values of St light intensity and As light intensity scattered from the reference temperature optical fiber 14 every 1 ° C. and store them in a storage device. . This is because the temperature detection means 16 has a measurement accuracy of about 1 ° C.

この場合、信号処理制御回路8は、予め求めたデータを基に、測定箇所の温度測定中に取得したデータ(ST1+AS1など)と比較し、予め求めたデータと等しくなるようにドライバ10もしくはLD9のバイアス電流を制御し、LD9の出力を一定に制御する。   In this case, the signal processing control circuit 8 compares with the data (ST1 + AS1 etc.) acquired during the temperature measurement at the measurement location based on the data obtained in advance, and the driver 10 or the LD 9 becomes equal to the data obtained in advance. The bias current is controlled, and the output of the LD 9 is controlled to be constant.

多数の予測データを用いる方法は、上述した近似式を用いる方法に比べて、予め測定する回数が多くなるが、高精度にAPC制御や光ファイバ式温度センサ装置1の異常検知を行うことができ、測定誤差が小さいという利点がある。これは、一般に温度と、St光強度とAs光強度の演算値との関係を示すグラフが曲線になるからである。
(温度測定)
以上説明したAPC制御を所定時間ごとに行いつつ、測定箇所の温度測定を行う。ここでいう所定時間は任意に決定すればよい。
The method using a large number of prediction data requires more pre-measurements than the method using the approximate expression described above, but can perform APC control and abnormality detection of the optical fiber temperature sensor device 1 with high accuracy. There is an advantage that the measurement error is small. This is because the graph showing the relationship between temperature and the calculated values of St light intensity and As light intensity is generally a curve.
(Temperature measurement)
While performing the APC control described above every predetermined time, the temperature of the measurement location is measured. The predetermined time here may be determined arbitrarily.

信号処理制御回路8は、サンプリング時間間隔ごとに、APC制御の場合と同様にして測定用光ファイバ3b各点からのSt光とAs光の強度比を求め、この強度比から測定箇所の温度を求める。サンプリング時間間隔は加算回数によって変わる。求めた温度はパソコン4に表示される。   The signal processing control circuit 8 obtains the intensity ratio of St light and As light from each point of the measurement optical fiber 3b at each sampling time interval in the same manner as in the APC control, and the temperature at the measurement location is determined from this intensity ratio. Ask. The sampling time interval varies depending on the number of additions. The obtained temperature is displayed on the personal computer 4.

ただし、St光とAs光は非常に微弱なので、温度測定は繰り返し行い、得られたデータを前回のデータに加算し、加算結果を利用して温度計算し、各点の温度結果を得る。   However, since the St light and As light are very weak, the temperature measurement is repeated, and the obtained data is added to the previous data, and the temperature is calculated using the addition result to obtain the temperature result at each point.

このように、光ファイバ温度式センサ装置1は、信号処理制御回路8に入る温度既知の基準温度光ファイバ14から散乱するSt光とAs光の信号を利用して、LD9にAPC制御をかけている。   As described above, the optical fiber temperature type sensor device 1 applies the APC control to the LD 9 by using the St light and As light signals scattered from the reference temperature optical fiber 14 whose temperature is known and enters the signal processing control circuit 8. Yes.

これにより、光ファイバ式温度センサ装置1は、LDモジュール5がモニタPDあるいはペルチェ素子を備えなくても、LD9、すなわちLDモジュール5が正常に動作しているかどうかを検知でき、LD9のパワーを常に一定にして測定箇所の温度を高精度に測定できる。   As a result, the optical fiber temperature sensor device 1 can detect whether the LD 9, that is, the LD module 5 is operating normally, even if the LD module 5 does not include a monitor PD or a Peltier element. The temperature at the measurement location can be measured with high accuracy by keeping it constant.

光ファイバ式温度センサ装置1は、LDモジュール5にモニタPDが不要なので、従来に比べて安価なLD9、すなわちLDモジュール5を使用でき、光ファイバ式温度センサ装置全体のコストが安くなる。   Since the optical fiber type temperature sensor device 1 does not require the monitor PD in the LD module 5, the LD 9 which is less expensive than the conventional one, that is, the LD module 5, can be used, and the cost of the entire optical fiber type temperature sensor device is reduced.

また、LDモジュール5は図3の従来のLDモジュール34よりも構成が簡単なので、ひいては光ファイバ式温度センサ装置全体の構成も簡単になる。   Further, since the LD module 5 has a simpler configuration than the conventional LD module 34 of FIG. 3, the overall configuration of the optical fiber temperature sensor device is also simplified.

さらに、信号処理制御回路8は、温度の計算処理としてはSt光とAs光の信号の合計2つの信号を処理するだけでよいため、従来に比べて簡単な構成である。   Further, the signal processing control circuit 8 has a simple configuration as compared with the prior art because it only needs to process a total of two signals of St light and As light as temperature calculation processing.

上記実施の形態では、St光とAs光の強度の四則演算値として和を用いたが、差、積、商を用いてもよい。   In the above embodiment, the sum is used as the four arithmetic operation values of the intensity of the St light and the As light, but a difference, a product, and a quotient may be used.

差を用いる場合、信号処理制御回路8は、基準温度光ファイバ14から散乱するSt光の基準強度ST0とAs光の基準強度AS0の差(ST0−AS0)が、予め測定してMCUに格納しておいた基準温度光ファイバ14の所定の温度における差(ST0−AS0)と等しくなるように、LD9に印加するバイアス電流を制御する。   When using the difference, the signal processing control circuit 8 measures in advance the difference (ST0-AS0) between the reference intensity ST0 of the St light scattered from the reference temperature optical fiber 14 and the reference intensity AS0 of the As light and stores it in the MCU. The bias current applied to the LD 9 is controlled so as to be equal to the difference (ST0-AS0) in the predetermined temperature of the reference temperature optical fiber 14 previously set.

積を用いる場合には、信号処理制御回路8は、基準温度光ファイバ14から散乱するSt光の基準強度ST0とAs光の基準強度AS0の積(ST0×AS0)が、予め測定してMCUに格納しておいた基準温度光ファイバ14の所定の温度における積(ST0×AS0)と等しくなるように、LD9に印加するバイアス電流を制御する。   When the product is used, the signal processing control circuit 8 measures in advance the product (ST0 × AS0) of the reference intensity ST0 of the St light scattered from the reference temperature optical fiber 14 and the reference intensity AS0 of the As light (ST0 × AS0). The bias current applied to the LD 9 is controlled so as to be equal to the product (ST0 × AS0) of the stored reference temperature optical fiber 14 at a predetermined temperature.

また、除を用いる場合には、信号処理制御回路8は、基準温度光ファイバ14から散乱するSt光の基準強度ST0とAs光の基準強度AS0の商(ST0÷AS0)が、予め測定してMCUに格納しておいた基準温度光ファイバ14の所定の温度における商(ST0÷AS0)と等しくなるように、LD9に印加するバイアス電流を制御する。   Further, when divisor is used, the signal processing control circuit 8 measures in advance the quotient (ST0 ÷ AS0) of the reference intensity ST0 of the St light scattered from the reference temperature optical fiber 14 and the reference intensity AS0 of the As light. The bias current applied to the LD 9 is controlled so as to be equal to the quotient (ST0 ÷ AS0) at a predetermined temperature of the reference temperature optical fiber 14 stored in the MCU.

これらの場合にも、上述と同じ作用効果が得られる。   In these cases, the same effects as described above can be obtained.

また、St光とAs光の強度の四則演算値としては、和、差、積、商を2つ以上組み合わせたものを用いてもよい。例えば、(ST0×AS0)×(ST0÷AS0)などでもよい。   Further, as the four arithmetic operation values of the intensity of St light and As light, a combination of two or more of sum, difference, product and quotient may be used. For example, (ST0 × AS0) × (ST0 ÷ AS0) may be used.

また上記実施の形態では、信号処理制御回路8が光ファイバ式温度センサ装置1の異常を検知する例としてLDモジュール5の異常を検知することを説明したが、信号処理制御回路8は、装置内光ファイバ3aや測定用光ファイバ3bの断線を検知することもできる。   In the above embodiment, the signal processing control circuit 8 detects the abnormality of the LD module 5 as an example of detecting the abnormality of the optical fiber temperature sensor device 1. However, the signal processing control circuit 8 It is also possible to detect disconnection of the optical fiber 3a and the measurement optical fiber 3b.

この場合、装置内光ファイバ3aや測定用光ファイバ3bに断線箇所があると、その断線箇所でフレネル反射による反射光(入射光と同じ波長)が生じる。この反射光強度を信号処理制御回路8でモニタすることで、上述した演算値が異常となるため、装置内光ファイバ3aや測定用光ファイバ3bの断線と断線箇所を検知できる。   In this case, if there is a broken portion in the in-device optical fiber 3a or the measurement optical fiber 3b, reflected light (the same wavelength as the incident light) is generated by Fresnel reflection at the broken portion. By monitoring the reflected light intensity with the signal processing control circuit 8, the calculated value described above becomes abnormal, so that the disconnection and the disconnection location of the in-device optical fiber 3a and the measurement optical fiber 3b can be detected.

上記実施形態では、光ファイバ式温度センサ装置1が基準温度光ファイバ14を備え、信号処理制御回路8は、基準温度光ファイバ14から散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、光源の出力の制御や装置1の異常を検知する例で説明した。   In the above embodiment, the optical fiber temperature sensor device 1 includes the reference temperature optical fiber 14, and the signal processing control circuit 8 monitors the Stokes light intensity and the anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber 14, and As described above, the control of the output and the abnormality of the device 1 are detected.

本発明の他の実施形態として、光ファイバ式温度センサ装置1から基準温度光ファイバ14を省略し、信号処理制御回路8は、温度測定用の測定用光ファイバ3bから散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、光源の出力の制御や装置の異常を検知するようにしてもよい。他の実施形態における装置の動作は、上述した光ファイバ式温度センサ装置1の動作において、基準温度光ファイバ14を、温度測定用の測定用光ファイバ3bに置き換えたものとなる。この場合も、光ファイバ式温度センサ装置1と同じ作用効果が得られる。   As another embodiment of the present invention, the reference temperature optical fiber 14 is omitted from the optical fiber temperature sensor device 1, and the signal processing control circuit 8 is configured to reduce the Stokes light intensity scattered from the measurement optical fiber 3 b for temperature measurement and the anti-Stokes light intensity. The Stokes light intensity may be monitored to control the output of the light source or detect an abnormality in the apparatus. The operation of the apparatus in another embodiment is the same as the operation of the optical fiber temperature sensor apparatus 1 described above, except that the reference temperature optical fiber 14 is replaced with a measurement optical fiber 3b for temperature measurement. Also in this case, the same effect as the optical fiber temperature sensor device 1 can be obtained.

本発明の好適な実施形態を示す光ファイバ式温度センサ装置の構成図である。It is a block diagram of the optical fiber type temperature sensor apparatus which shows suitable embodiment of this invention. 図1に示した光ファイバ式温度センサ装置において、近似式を用いる場合の動作を説明する図である。It is a figure explaining operation | movement in the case of using an approximate expression in the optical fiber type temperature sensor apparatus shown in FIG. 従来の光ファイバ式温度センサ装置の構成図である。It is a block diagram of the conventional optical fiber type temperature sensor apparatus. 光ファイバの後方散乱光の強度スペクトルを示す図である。It is a figure which shows the intensity spectrum of the backscattered light of an optical fiber.

符号の説明Explanation of symbols

1 光ファイバ式温度センサ装置
2 センサ本体
3a 装置内光ファイバ
3b 測定用光ファイバ
5 LDモジュール(光源)
8 信号処理制御回路(制御手段)
14 基準温度光ファイバ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical fiber type temperature sensor apparatus 2 Sensor main body 3a Optical fiber in apparatus 3b Optical fiber for measurement 5 LD module (light source)
8 Signal processing control circuit (control means)
14 Reference temperature optical fiber

Claims (4)

センサ本体内から温度の測定箇所まで光ファイバを設け、その光ファイバに光源から光を入射し、上記光ファイバから散乱するストークス光とアンチストークス光を検出して上記測定箇所の温度を測定する光ファイバ式温度センサ装置において、上記光源と上記光ファイバ間に設けられる温度が既知の基準温度光ファイバと、その基準温度光ファイバから散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、上記光源の出力を制御する制御手段とを備え、上記制御手段は、予め任意の2つの温度における上記基準温度光ファイバから散乱されるストークス光強度とアンチストークス光強度の基準演算値を求め、この基準演算値と温度の関係を示す近似式を求め、これを記憶装置に格納しておき、その後、別の温度における上記基準温度光ファイバから散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度の演算値を求めると共に、上記別の温度における上記近似式による演算値を求め、上記演算値と、格納した上記近似式による演算値とが等しくなるように、上記光源に印加するバイアス電流を制御することを特徴とする光ファイバ式温度センサ装置。 Light that provides an optical fiber from the sensor body to the temperature measurement location, makes light from the light source incident on the optical fiber, detects Stokes light and anti-Stokes light scattered from the optical fiber, and measures the temperature at the measurement location In the fiber-type temperature sensor device, the reference temperature optical fiber provided between the light source and the optical fiber is monitored, the Stokes light intensity and the anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber are monitored, and the light source of the light source is monitored. Control means for controlling the output, and the control means obtains reference calculation values of Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber at two arbitrary temperatures in advance, and the reference calculation value An approximate expression indicating the relationship between the temperature and the temperature is obtained and stored in a storage device. The calculated values of Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity scattered from the temperature optical fiber are calculated, the calculated value by the approximate expression at the other temperature is determined, and the calculated value and the stored calculated value of the approximate expression are An optical fiber type temperature sensor device which controls a bias current applied to the light source so as to be equal . センサ本体内から温度の測定箇所まで光ファイバを設け、その光ファイバに光源から光を入射し、上記光ファイバから散乱するストークス光とアンチストークス光を検出して上記測定箇所の温度を測定する光ファイバ式温度センサ装置において、上記光源と上記光ファイバ間に設けられる温度が既知の基準温度光ファイバと、その基準温度光ファイバから散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、上記光源の出力を制御する制御手段とを備え、上記制御手段は、予め多数の温度における上記基準温度光ファイバから散乱されるストークス光強度とアンチストークス光強度の基準演算値を求め、これを記憶装置に格納しておき、格納した基準演算値と、上記基準温度光ファイバから散乱するストークス光強度とアンチストークス光強度の演算値とが等しくなるように、上記光源に印加するバイアス電流を制御することを特徴とする光ファイバ式温度センサ装置。 Light that provides an optical fiber from the sensor body to the temperature measurement location, makes light from the light source incident on the optical fiber, detects Stokes light and anti-Stokes light scattered from the optical fiber, and measures the temperature at the measurement location In the fiber-type temperature sensor device, the reference temperature optical fiber provided between the light source and the optical fiber is monitored, the Stokes light intensity and the anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber are monitored, and the light source of the light source is monitored. A control means for controlling the output, and the control means obtains reference calculation values of Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber at a number of temperatures in advance and stores them in a storage device. The stored reference calculation value and the Stokes light intensity and anti-scatter scattered from the reference temperature optical fiber As calculated value of Kusu light intensity and is equal, the optical fiber temperature sensor and wherein the controlling the bias current applied to the light source. 上記制御手段は、上記基準温度光ファイバまたは上記光ファイバから散乱されるストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、モニタしたストークス光強度とアンチストークス光強度に基づいて、または、上記基準温度光ファイバまたは上記光ファイバから反射される反射光強度をモニタし、モニタした反射光強度に基づいて、上記装置の異常を検知する請求項1または2記載の光ファイバ式温度センサ装置。 The control means monitors the Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber or the optical fiber, or based on the monitored Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity, or the reference temperature light The optical fiber temperature sensor device according to claim 1 or 2 , wherein the intensity of the reflected light reflected from the fiber or the optical fiber is monitored, and an abnormality of the device is detected based on the monitored reflected light intensity . 上記制御手段は、上記基準温度光ファイバから散乱されるストークス光強度とアンチストークス光強度をモニタし、モニタしたストークス光強度とアンチストークス光強度に基づいて、上記光源の異常を検知する請求項1または2記載の光ファイバ式温度センサ装置。 The control means monitors the Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity scattered from the reference temperature optical fiber, based on the monitored Stokes light intensity and anti-Stokes light intensity, according to claim 1 for detecting the abnormality of the light source Or the optical fiber type temperature sensor apparatus of 2.
JP2007121653A 2006-05-31 2007-05-02 Optical fiber temperature sensor device Active JP4910867B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007121653A JP4910867B2 (en) 2006-05-31 2007-05-02 Optical fiber temperature sensor device

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006151576 2006-05-31
JP2006151576 2006-05-31
JP2007121653A JP4910867B2 (en) 2006-05-31 2007-05-02 Optical fiber temperature sensor device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008008886A JP2008008886A (en) 2008-01-17
JP4910867B2 true JP4910867B2 (en) 2012-04-04

Family

ID=39067211

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007121653A Active JP4910867B2 (en) 2006-05-31 2007-05-02 Optical fiber temperature sensor device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4910867B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1975270A1 (en) 2007-03-31 2008-10-01 Daido Tokushuko Kabushiki Kaisha Austenitic free cutting stainless steel
JP6301214B2 (en) * 2014-07-29 2018-03-28 東京エレクトロン株式会社 Optical temperature sensor and method for controlling optical temperature sensor
KR102045831B1 (en) * 2017-10-16 2019-11-18 (주)파이브테크 Apparatus for detecting light temperature using polarization maintaining optical fiber

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02103428A (en) * 1988-10-13 1990-04-16 Asahi Glass Co Ltd Signal processing method
JPH04339227A (en) * 1991-01-22 1992-11-26 Chubu Electric Power Co Inc Non-contact type temperature measuring apparatus using optical fiber
JPH04351931A (en) * 1991-05-30 1992-12-07 Tokyo Electric Power Co Inc:The Optical fiber distribution type temperature sensor
JP2885980B2 (en) * 1991-10-17 1999-04-26 株式会社東芝 Temperature distribution detector
JP2885979B2 (en) * 1991-10-17 1999-04-26 株式会社東芝 Temperature distribution detector
JP2864825B2 (en) * 1991-12-20 1999-03-08 日立電線株式会社 Physical quantity distribution detector
GB2276449B (en) * 1993-03-27 1996-10-02 Deutsche Forsch Luft Raumfahrt Interferometer strain sensor
JP3100829B2 (en) * 1994-04-28 2000-10-23 株式会社東芝 Optical temperature distribution sensor
JP2003208689A (en) * 2002-01-10 2003-07-25 Kddi Corp Remote optical measurement system
BRPI0410224A (en) * 2003-05-23 2006-05-09 Sensor Highway Ltd fiber optic temperature sensing system

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008008886A (en) 2008-01-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7744275B2 (en) Optical fiber temperature sensing device
KR101207345B1 (en) Optic fiber distributed temperature sensor system with self- correction function and temperature measuring method using thereof
JP6493265B2 (en) Optical measuring device
CA2711223C (en) Methods and systems for extending the range of fiber optic distributed temperature sensing (dts) systems
US20100312512A1 (en) Single light source automatic calibration in distributed temperature sensing
US9964453B2 (en) Device and method for high precision fiber-optic temperature profile measurements in long length areas
JP4784387B2 (en) Fiber optic temperature sensor
RU2413188C2 (en) Fibre-optic device for measuring temperature distribution (versions)
JP2012027001A (en) Optical fiber temperature distribution measuring apparatus
JP2018514432A (en) Axle counting method and axle counting device
JP2007240351A (en) Distributed optical fiber sensor
CN109029770B (en) Distributed optical fiber Raman temperature and strain demodulation method based on loop demodulation
JP4910867B2 (en) Optical fiber temperature sensor device
JP2008249515A (en) Temperature distribution measuring system and temperature distribution measuring method
US11143528B2 (en) Optical fiber sensor and analysis method
JP7370908B2 (en) Light receiving/emitting device and deterioration diagnosis method
JP6590410B2 (en) Physical quantity measuring device using FBG
JP2019090836A (en) Optical measurement device
JP2005257624A (en) Wavelength-analyzing apparatus
JP2009174987A (en) Distributed optical fiber temperature sensor
JP6484125B2 (en) Temperature measuring apparatus and temperature measuring method
JP2005265458A (en) Measurement device for optical fiber temperature distribution
JP2885980B2 (en) Temperature distribution detector
RU2805772C1 (en) Fiber optic smoke and heat convection flow sensor
CN214200427U (en) Distributed optical fiber temperature measurement system

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090717

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110427

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111004

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111111

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111220

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120102

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4910867

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350