JP4901628B2 - Film peeling method and film peeling apparatus - Google Patents

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本発明は、フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置に関する。さらに詳しくは、本発明は、液晶表示パネル等の電気光学パネルが有するフィルム、特に偏光板を剥離するためのフィルム剥離方法およびフィルム剥離装置に関する。   The present invention relates to a film peeling method and a film peeling apparatus. More specifically, the present invention relates to a film peeling method and a film peeling apparatus for peeling a film, particularly a polarizing plate, of an electro-optical panel such as a liquid crystal display panel.

一般に、液晶表示パネルは、2枚の硬質ガラス基板の間に液晶材料を封入した後、ガラス基板の表面と裏面とにフィルム状の偏光板を接着することによって製造される。偏光板は、光源であるバックライトからの光線をコントロール(偏光)させるための素材であって、通常、偏光板自体を保護するため、偏光板表面に保護ラミネートが貼付されている。液晶表示パネルの製造終了後、その外観検査や点灯検査などにおいて、偏光板/保護ラミネート表面の汚れや破損、偏光板とガラス基板間隙間への空気混入などの不具合が判明する。そのような場合、偏光板を剥離除去する必要があり、従来から、種々のフィルム剥離処理技術が提案されている。   In general, a liquid crystal display panel is manufactured by sealing a liquid crystal material between two hard glass substrates and then bonding a film-like polarizing plate to the front and back surfaces of the glass substrate. The polarizing plate is a material for controlling (polarizing) light from a backlight as a light source, and usually a protective laminate is attached to the surface of the polarizing plate in order to protect the polarizing plate itself. After the production of the liquid crystal display panel, in the appearance inspection and lighting inspection, problems such as contamination and damage on the surface of the polarizing plate / protective laminate and air mixing into the gap between the polarizing plate and the glass substrate are found. In such a case, it is necessary to peel off the polarizing plate, and various film peeling treatment techniques have been proposed.

例えば、以下の特許文献1は粘着フィルム剥離方法および装置を開示する。この開示によれば、剥離した一部の偏光板をフィルム巻取りローラ(剥離ローラ8)に保持させ、次いでフィルム固定型巻取りローラを巻取り方向に回転させてフィルムを巻取っている。フィルム巻取りの間、液晶表示パネルは、この液晶表示パネルを載置したステージ(パネルセットステージ1)と共に、長尺のフィルム巻取りローラに略直交する剥離方向に移動する。
また、剥離対象が偏光板ではなく、偏光板表面に貼付された保護ラミネートであるようなフィルム剥離処理技術も知られている(以下の特許文献2、参照)。このフィルム剥離方法では、フィルム巻取りローラ(剥しローラ17)を回転させながら、前記した剥離方向(下流側)に移動させながらフィルムを巻取ることができる。
For example, Patent Document 1 below discloses an adhesive film peeling method and apparatus. According to this disclosure, a part of the peeled polarizing plate is held by the film winding roller (peeling roller 8), and then the film fixing type winding roller is rotated in the winding direction to wind the film. During film winding, the liquid crystal display panel moves together with a stage (panel set stage 1) on which the liquid crystal display panel is placed in a peeling direction substantially perpendicular to the long film winding roller.
Also known is a film peeling treatment technique in which the object to be peeled is not a polarizing plate but a protective laminate attached to the surface of the polarizing plate (see Patent Document 2 below). In this film peeling method, the film can be wound while being moved in the peeling direction (downstream side) while rotating the film winding roller (peeling roller 17).

しかしながら、特許文献1開示の前記技術は、液晶表示パネルを移動させながらフィルムを剥離しているため、液晶表示パネル・固定タイプの技術(特許文献2)に比し、剥離装置が大型化になることが避け得ない。特に、大画面の液晶表示パネルを処理する剥離技術では、剥離装置が非常に大型になり、この問題は致命的な欠陥である。
他方、特許文献2に開示された保護ラミネートの剥離方法は、剥離装置の小型化についてはある程度満足がゆくものの、液晶表示パネル(偏光板10)をステージに固定しているため(特許文献2、段落番号0009)、この既知方法を、偏光板の剥離技術にそのまま適用することができない。すなわち、液晶表示パネルを固定した状態で、フィルム巻取りローラを回転/移動させながら偏光板を剥離させると、剥離処理の間に偏光板が破断して巻取り処理が不可能になったり、また液晶表示パネルのガラス基板が破損することが判明したのである。
However, since the technique disclosed in Patent Literature 1 peels the film while moving the liquid crystal display panel, the peeling device becomes larger than the technology of the liquid crystal display panel / fixed type (Patent Literature 2). Inevitable. In particular, in the peeling technique for processing a large-screen liquid crystal display panel, the peeling apparatus becomes very large, and this problem is a fatal defect.
On the other hand, the method for peeling off the protective laminate disclosed in Patent Document 2 is satisfactory to some extent for the downsizing of the peeling device, but the liquid crystal display panel (polarizing plate 10) is fixed to the stage (Patent Document 2, Paragraph No. 0009), this known method cannot be applied to the polarizing plate peeling technique as it is. That is, if the polarizing plate is peeled off while rotating / moving the film take-up roller while the liquid crystal display panel is fixed, the polarizing plate is broken during the peeling treatment, and the winding treatment becomes impossible. It was found that the glass substrate of the liquid crystal display panel was damaged.

特開平第10−282463号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-282463 特開平第9−267423号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-267423

本発明の課題は、前記問題点に鑑み、フィルム剥離装置の小型化を達成すると共に、電気光学パネル(例えば、液晶表示パネルが有する偏光板のようなフィルムや、このフィルムが貼付された硬質基板などを含む。)を破損することなく、フィルムを剥離する方法およびその装置を提供することである。   An object of the present invention is to achieve downsizing of a film peeling apparatus in view of the above-mentioned problems, and at the same time, an electro-optical panel (for example, a film such as a polarizing plate of a liquid crystal display panel, or a hard substrate to which this film is attached Etc.) and a method and apparatus for peeling the film without damaging the film.

本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討した結果、巻取りローラの回転/移動に加え、硬質基板からフィルムを剥離する間、吸着固定法や型枠による固定のような強固な固定法によらず電気光学パネルを鉛直方向に振動可能な状態かつ水平方向に振動可能な状態でステージ上に載置することによって、前記課題を達成できることを見出し、この知見に基づき本発明が完成するに至ったのである。   As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present invention have not only rotated / moved the take-up roller but also strongly fixed such as fixing by an adsorption fixing method or a mold while peeling the film from the hard substrate. It is found that the above problem can be achieved by placing the electro-optical panel on the stage in a state that can vibrate in the vertical direction and in a state that can vibrate in the horizontal direction regardless of the method, and the present invention is completed based on this knowledge. It came to.

すなわち、本発明は、硬質基板と、前記硬質基板の表面に接着されているフィルムとを有する電気光学パネルについての前記フィルムを剥離するフィルム剥離方法であって、前記硬質基板から前記フィルムの端部を剥離し、剥離した前記フィルムの端部をフィルム巻取りローラに連結する連結工程と、前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分を基板押さえブレードによって押さえると共に、前記フィルムを介して前記電気光学パネルをフィルム押さえローラによって押えつつ、前記フィルムを巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラを回転させながら、前記フィルム巻取りローラ、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラを剥離方向に移動させて、前記硬質基板から前記フィルムを剥離する剥離工程とを含んでなり、前記剥離工程の間、前記電気光学パネルが載置されたステージと、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラとの間において前記電気光学パネルを、略鉛直方向に振動可能に狭持しつつ略水平方向に振動可能な状態で前記ステージ上に載置していることを特徴とするフィルム剥離方法を提供する。   That is, the present invention is a film peeling method for peeling off the film for an electro-optical panel having a hard substrate and a film bonded to the surface of the hard substrate, the edge of the film from the hard substrate And connecting the end of the peeled film to a film take-up roller, pressing the hard substrate surface portion from which the film has been peeled off by a substrate pressing blade, and the electro-optical panel via the film The film winding roller, the substrate pressing blade, and the film pressing roller are moved in the peeling direction while rotating the film winding roller in the winding direction for winding the film while holding the film by the film pressing roller. Including a peeling step of peeling the film from the hard substrate. During the peeling step, the electro-optical panel is held between the stage on which the electro-optical panel is placed and the substrate pressing blade and the film pressing roller so as to vibrate in a substantially vertical direction. Provided is a film peeling method characterized in that the film is placed on the stage so as to vibrate in a substantially horizontal direction.

好適には、前記連結工程または前記剥離工程のいずれかに先立ち、前記基板押さえブレードを所定の位置に設置する際、前記基板押さえブレードと、前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分との間において、鉛直方向の隙間を設け、前記隙間は、前記剥離工程の間における鉛直方向の前記振動の最大幅に相当することを特徴とする。
好適には、前記連結工程の間、剥離した前記フィルムの端部についての前記フィルム巻取りローラへの連結は、前記フィルム押さえローラを介してなされていることを特徴とする。
好適には、前記剥離工程の間、前記基板押さえブレードが接触しうる前記硬質基板表面部分は、前記剥離方向に関して前記フィルム押さえローラよりも上流側に位置するように、前記基板押さえブレードを配置していることを特徴とする。
Preferably, prior to either the connecting step or the peeling step, when the substrate pressing blade is installed at a predetermined position, between the substrate pressing blade and the hard substrate surface portion from which the film has been peeled off. A vertical gap is provided, and the gap corresponds to a maximum width of the vibration in the vertical direction during the peeling process.
Preferably, during the connecting step, the end of the peeled film is connected to the film take-up roller through the film pressing roller.
Preferably, the substrate pressing blade is arranged so that the surface portion of the hard substrate that can be contacted by the substrate pressing blade during the peeling step is located upstream of the film pressing roller in the peeling direction. It is characterized by.

また本発明は、その第2の態様によれば、硬質基板と、前記硬質基板の表面に接着されているフィルムとを有する電気光学パネルについての前記フィルムを剥離する、本発明のフィルム剥離方法を実施するためのフィルム剥離装置であって、前記硬質基板から剥離された前記フィルムの端部を連結するフィルム巻取りローラと、前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分を押さえる基板押さえブレードと、前記フィルムを介して前記電気光学パネルを押さえるフィルム押さえローラと、前記フィルムを巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラを回転させるときに、前記フィルム巻取りローラ、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラを前記硬質基板から前記フィルムを剥離する剥離方向に移動させる移動機構とを備えていることを特徴とするフィルム剥離装置を提供する。   According to the second aspect of the present invention, there is provided the film peeling method according to the present invention, wherein the film for an electro-optical panel having a hard substrate and a film bonded to the surface of the hard substrate is peeled off. A film peeling apparatus for carrying out the invention, a film winding roller for connecting an end portion of the film peeled from the hard substrate, a substrate pressing blade for pressing a hard substrate surface portion from which the film is peeled, A film pressing roller for pressing the electro-optical panel through the film, and the film winding roller, the substrate pressing blade, and the film pressing roller when the film winding roller is rotated in the winding direction for winding the film. A moving mechanism for moving the film in the peeling direction to peel the film from the hard substrate. Example to provide a film peeling device according to claim is.

本発明のフィルム剥離方法およびフィルム剥離装置によれば、回転・フィルム巻取りローラの移動による装置の小型化を達成できることに加え、剥離工程の間、ステージと基板押さえブレード/フィルム押さえローラとの間において、電気光学パネルを、鉛直方向に振動可能に狭持しつつ水平方向に振動可能な状態でステージ上に載置させることによって、電気光学パネルの挙動の自由度を増大させ、これにより、電気光学パネルの破損を実質的に防止することができた。
すなわち、剥離工程において、硬質基板に強力に接着されたフィルムを剥離するには比較的大きな剥離力が必要であるため、従来技術のように電気光学パネルをステージ上に強固に固定した状態で硬質基板からフィルムを剥離すると、その剥離時に生じる力によってフィルム/硬質基板が破損するのに対し、本発明のように電気光学パネルに対しその挙動の自由度を与えることによって、フィルム剥離時に生じる力を拡散させることができ、これにより電気光学パネルの破損を実質的に防止することができた。
なお、剥離時に生じる力とは、前記パネルに対する接着剤の接着力の不均一性に起因し、この力は、前記パネルに対し水平方向/鉛直方向など任意の方向から加わって前記パネルを任意の方向に移動させるものと、考えられる。本発明によれば、前記パネルの水平方向/鉛直方向など任意の方向に対し、挙動の自由度を与えているため、剥離時に生じる力を緩和/拡散でき、その結果、従来技術のような偏光板/硬質基板・特定部位への集中的な力を緩和/拡散でき、これにより、前記パネルの破損を実質的に防止することができたのである。
According to the film peeling method and the film peeling apparatus of the present invention, it is possible to achieve downsizing of the apparatus by rotating and moving the film take-up roller, and between the stage and the substrate pressing blade / film pressing roller during the peeling process. In this case, the electro-optical panel is placed on the stage so as to be able to vibrate in the horizontal direction while sandwiching the electro-optical panel so as to vibrate in the vertical direction, thereby increasing the degree of freedom of the behavior of the electro-optical panel. The damage of the optical panel could be substantially prevented.
That is, in the peeling process, a relatively large peeling force is required to peel off the film strongly bonded to the hard substrate, so that the electro-optical panel is firmly fixed on the stage as in the prior art. When the film is peeled off from the substrate, the film / hard substrate is damaged due to the force generated at the time of peeling. On the other hand, the force generated when the film is peeled off is given to the electro-optical panel as in the present invention. Thus, the electro-optical panel can be substantially prevented from being damaged.
The force generated at the time of peeling is due to non-uniformity of the adhesive force of the adhesive to the panel, and this force is applied to the panel from any direction such as a horizontal direction / vertical direction. It is thought to move in the direction. According to the present invention, since the degree of freedom of behavior is given to an arbitrary direction such as the horizontal / vertical direction of the panel, the force generated at the time of peeling can be relaxed / diffused. The concentrated force on the plate / hard substrate / specific part can be relaxed / diffused, and thereby the breakage of the panel can be substantially prevented.

前記したように、本発明のフィルム剥離方法は、硬質基板(6)と、前記硬質基板(6)の表面に接着されているフィルム(7)とを有する電気光学パネル(5)についての前記フィルム(7)を剥離するフィルム剥離方法であって、前記硬質基板(6)から前記フィルム(7)の端部を剥離し、剥離した前記フィルム(7)の端部をフィルム巻取りローラ(73)に連結する連結工程と、前記フィルム(7)が剥離された硬質基板(6)表面部分を基板押さえブレード(32)によって押さえると共に、前記フィルム(7)を介して前記電気光学パネル(5)をフィルム押さえローラ(57)によって押えつつ、前記フィルム(7)を巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラ(73)を回転させながら、前記フィルム巻取りローラ(73)、前記基板押さえブレード(32)および前記フィルム押さえローラ(57)を剥離方向に移動させて、前記硬質基板(6)から前記フィルム(7)を剥離する剥離工程とを含んでなり、前記剥離工程の間、前記電気光学パネル(5)が載置されたステージ(2)と、前記基板押さえブレード(32)および前記フィルム押さえローラ(57)との間において前記電気光学パネル(5)を、略鉛直方向に振動可能に狭持しつつ略水平方向に振動可能な状態で前記ステージ(2)上に載置していることを特徴とし、本発明のフィルム剥離装置(1)は、本発明のフィルム剥離方法を実施するための装置である(符号は、添付の図1〜図6を参照)。
ここに、「剥離したフィルムの端部をフィルム巻取りローラに連結する」とは、フィルムの端部をテープなどによって手動、半自動、完全自動などでフィルム巻取りローラに連結したり、フィルムの端部をフィルム巻取りローラの把持部に把持させて連結したり、フィルムの端部に孔を設けこの孔にフィルム巻取りローラの引っ掛け部に引っ掛けて連結することなどが包含される。
As described above, the film peeling method of the present invention provides the film for the electro-optical panel (5) having the hard substrate (6) and the film (7) bonded to the surface of the hard substrate (6). A film peeling method for peeling (7), wherein an end portion of the film (7) is peeled off from the hard substrate (6), and an end portion of the peeled film (7) is turned into a film winding roller (73). And the surface of the hard substrate (6) from which the film (7) has been peeled off is pressed by a substrate pressing blade (32), and the electro-optical panel (5) is held via the film (7). The film winding roller while rotating the film winding roller (73) in the winding direction for winding the film (7) while being pressed by the film pressing roller (57) 73), moving the substrate pressing blade (32) and the film pressing roller (57) in the peeling direction, and peeling the film (7) from the hard substrate (6). During the peeling process, the electro-optical panel (5) is placed between the stage (2) on which the electro-optical panel (5) is placed, the substrate pressing blade (32), and the film pressing roller (57). The film peeling apparatus (1) of the present invention is characterized in that it is placed on the stage (2) so as to be able to vibrate in a substantially horizontal direction while being held so as to be vibrated in a substantially vertical direction. It is an apparatus for carrying out the film peeling method of the invention (see the attached FIGS. 1 to 6 for the reference numerals).
Here, “connect the edge of the peeled film to the film take-up roller” means that the end of the film is connected to the film take-up roller manually, semi-automatically, fully automatically, etc. with tape, etc. For example, the film winding roller may be gripped and connected to the film winding roller, or a hole may be provided at the end of the film, and the hole may be hooked and connected to the hooking portion of the film winding roller.

次に、添付の図面を参照しながら、本発明を実施するための最良の形態を説明することにより本発明を更に詳しく説明するが、本発明は、これら実施形態に限定されるものではない。   Next, the present invention will be described in more detail by describing the best mode for carrying out the present invention with reference to the attached drawings. However, the present invention is not limited to these embodiments.

<フィルム剥離装置>
図1は、本発明の実施形態である使用状態でのフィルム剥離装置1の斜視図、図2は、図1に示したフィルム剥離装置1を、カバーを取外した状態で示す平面図、図3は、図1に示したフィルム剥離装置の一部を、カバーを取外した状態で示す部分側面図である。
図1に示すように、フィルム剥離装置1は、主要な要素である剥離装置4と、他の要素とを含んでなり、具体的には、平坦な上面2aを有するステージ2と、このステージ2を下方から支持する直方体形状の架台3と、上面2a上に載置された剥離装置4とを備える。剥離装置4は、ステージ2上を、上流側(図2の上部側)から剥離方向(図2の下方向)に沿って下流側(図2の下部側)に移動することによって、電気光学パネルとしての液晶表示パネル5を構成する硬質基板としてのガラス基板6からフィルムとしての偏光板7を剥離する装置である。
<Film peeling device>
FIG. 1 is a perspective view of a film peeling apparatus 1 in a use state according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing the film peeling apparatus 1 shown in FIG. 1 with a cover removed. These are partial side views which show a part of film peeling apparatus shown in FIG. 1 in the state which removed the cover.
As shown in FIG. 1, the film peeling apparatus 1 includes a peeling apparatus 4 which is a main element and other elements. Specifically, the stage 2 having a flat upper surface 2a, and the stage 2 Is provided with a rectangular parallelepiped-shaped gantry 3 and a peeling device 4 mounted on the upper surface 2a. The peeling device 4 moves on the stage 2 from the upstream side (upper side in FIG. 2) to the downstream side (lower side in FIG. 2) along the peeling direction (downward direction in FIG. 2). The polarizing plate 7 as a film is peeled off from a glass substrate 6 as a hard substrate constituting the liquid crystal display panel 5 as a device.

液晶表示パネル5では、一対のガラス基板6間に複数のスペーサ(図示せず)を介在させて所定の隙間を形成し、この隙間内に液晶を注入して液晶層を設けている。ガラス基板6は、図2に示すように、平面視で矩形状に形成される。ガラス基板6の上面には、図1に示すように、接着層8を介して偏光板7が貼付される。偏光板7は、ガラス基板6と略同じ大きさの矩形状に形成される。偏光板7とガラス基板6との間に空気や塵などが介在して不良が生じている場合、本発明のフィルム剥離装置1によって、偏光板7は接着層8と共に剥離除去することができる。   In the liquid crystal display panel 5, a predetermined gap is formed between a pair of glass substrates 6 by interposing a plurality of spacers (not shown), and a liquid crystal layer is provided by injecting liquid crystal into the gap. As shown in FIG. 2, the glass substrate 6 is formed in a rectangular shape in plan view. As shown in FIG. 1, a polarizing plate 7 is attached to the upper surface of the glass substrate 6 via an adhesive layer 8. The polarizing plate 7 is formed in a rectangular shape having substantially the same size as the glass substrate 6. When a defect occurs due to air, dust, or the like interposed between the polarizing plate 7 and the glass substrate 6, the polarizing plate 7 can be peeled and removed together with the adhesive layer 8 by the film peeling apparatus 1 of the present invention.

<ステージ>
ステージ2は、図2に示すように、平面視長方形形状を有しており、その長手方向が剥離方向(図2、下方向)に平行になるように配置される。剥離方向の上流に向かって左側(以下、「上流左側」という。)および右側(以下、「上流右側」という。)のステージ2の両端部付近において、各々、溝11および溝12が剥離方向に沿ってステージ2の上面2a上に形成される。これらの溝11,12は、ガイド部材22が(図3、参照)摺動自在に嵌合され、剥離方向長さが同じである。また、上流右側の溝12よりも、さらに上流右側に位置しかつ剥離方向に沿って延在するラック13は、ステージ2の上面2a上に形成されており、このラック13には、ピニオン94の歯部(図3、参照)が噛み合っており、このピニオン94が所定方向およびその反対方向に回転することで、剥離装置4は、剥離方向および剥離方向とは反対の非剥離方向に移動することができる。
<Stage>
As shown in FIG. 2, the stage 2 has a rectangular shape in plan view, and is arranged so that its longitudinal direction is parallel to the peeling direction (downward direction in FIG. 2). In the vicinity of both ends of the stage 2 on the left side (hereinafter referred to as “upstream left side”) and on the right side (hereinafter referred to as “upstream right side”) toward the upstream in the peeling direction, the groove 11 and the groove 12 are in the peeling direction, respectively. Along the upper surface 2a of the stage 2. In these grooves 11 and 12, the guide member 22 is slidably fitted (see FIG. 3), and the length in the peeling direction is the same. Further, a rack 13 that is located further upstream than the upstream right groove 12 and extends in the peeling direction is formed on the upper surface 2 a of the stage 2, and the rack 13 includes a pinion 94. The teeth (see FIG. 3) are engaged, and the pinion 94 rotates in a predetermined direction and in the opposite direction so that the peeling device 4 moves in the peeling direction and the non-peeling direction opposite to the peeling direction. Can do.

<剥離装置>
剥離装置4は、ステージ2の上面2aから鉛直方向上方に所定間隔を置いて配置したベースプレート21を備える(特に図3、参照)。
ベースプレート21は、平面視長方形形状を有しており、その長手方向がステージ2の幅方向と平行になるように配置される(図2、参照)。また、ベースプレート21は、その長手方向の長さがステージ2の幅よりも若干短く形成されており、ラック13とは対向せずに2つの溝11,12と対向するように配置される。これら溝11,12に対向する各位置には、ベースプレート21の下面において、ガイド部材22がそれぞれ2つずつ形成される(図3、参照)。ガイド部材22は、ベースプレート21の下面から対向する溝11,12に向かって突出し、溝11,12内に摺動自在に嵌合される。このガイド部材22が溝11,12に嵌合された状態において、ベースプレート21とステージ2との間に、液晶表示パネル5を挿入しうるように、この液晶表示パネル5の厚みよりも大きな間隔が形成される。また、ベースプレート21の中央には、その長手方向に延在した貫通孔23が形成されており、この貫通孔23を通ってフィルム押さえローラ57(詳細には図3参照)および基板押さえブレード32がステージ2側に飛び出して液晶表示パネル5を押さえることができる。
<Peeling device>
The peeling apparatus 4 includes a base plate 21 disposed at a predetermined interval from the upper surface 2a of the stage 2 in the vertical direction (see particularly FIG. 3).
The base plate 21 has a rectangular shape in plan view, and is arranged so that its longitudinal direction is parallel to the width direction of the stage 2 (see FIG. 2). The base plate 21 has a length in the longitudinal direction slightly shorter than the width of the stage 2, and is arranged so as to face the two grooves 11 and 12 without facing the rack 13. Two guide members 22 are formed at each position facing the grooves 11 and 12 on the lower surface of the base plate 21 (see FIG. 3). The guide member 22 protrudes from the lower surface of the base plate 21 toward the opposed grooves 11 and 12 and is slidably fitted into the grooves 11 and 12. In a state where the guide member 22 is fitted in the grooves 11 and 12, an interval larger than the thickness of the liquid crystal display panel 5 is provided so that the liquid crystal display panel 5 can be inserted between the base plate 21 and the stage 2. It is formed. A through hole 23 extending in the longitudinal direction is formed at the center of the base plate 21, and a film pressing roller 57 (see FIG. 3 for details) and a substrate pressing blade 32 are passed through the through hole 23. The liquid crystal display panel 5 can be pressed by jumping out to the stage 2 side.

ベースプレート21上には、図3に示すように、液晶表示パネル5の偏光板7をガラス基板6から剥離するときに主として機能する主要な要素31,51,71,91が設けられている。すなわち、主要な要素は、偏光板7が接着層8と共に剥離されたガラス基板6の表面を押さえる第1押さえ機構31および偏光板7を介して液晶表示パネル5を押さえる第2押さえ機構51と、ガラス基板6から剥離された偏光板7の端部と連結可能な巻取り装置71と、剥離装置4全体を剥離方向/非剥離方向に移動させるための移動機構91とである。また、ベースプレート21には、これら第1および第2押さえ機構31,51および巻取り装置71を部分的に覆うカバー9(図1、参照)が固定される。なお、第1押さえ機構31の基板押さえブレード32、第2押さえ機構51のフィルム押さえローラ57、巻取り装置71のフィルム巻取りローラ73は、剥離方向に沿って順に配置する。すわなち、フィルム巻取りローラ73は剥離方向下流側に位置し、このフィルム巻取りローラ73と基板押さえブレード32との間にフィルム押さえローラ57を配置する。   As shown in FIG. 3, main elements 31, 51, 71, 91 that mainly function when the polarizing plate 7 of the liquid crystal display panel 5 is peeled from the glass substrate 6 are provided on the base plate 21. That is, the main elements are a first pressing mechanism 31 for pressing the surface of the glass substrate 6 from which the polarizing plate 7 is peeled off together with the adhesive layer 8, and a second pressing mechanism 51 for pressing the liquid crystal display panel 5 through the polarizing plate 7, They are a winding device 71 that can be connected to the end portion of the polarizing plate 7 peeled from the glass substrate 6, and a moving mechanism 91 for moving the whole peeling device 4 in the peeling direction / non-peeling direction. Further, a cover 9 (see FIG. 1) that partially covers the first and second pressing mechanisms 31 and 51 and the winding device 71 is fixed to the base plate 21. The substrate pressing blade 32 of the first pressing mechanism 31, the film pressing roller 57 of the second pressing mechanism 51, and the film winding roller 73 of the winding device 71 are arranged in order along the peeling direction. That is, the film take-up roller 73 is positioned downstream in the peeling direction, and the film press roller 57 is disposed between the film take-up roller 73 and the substrate pressing blade 32.

<第1押さえ機構>
第1押さえ機構31は、図2および図3に示すように、基板押さえブレード32と、基板押さえブレード32とステージ2の上面2aとがなす角度を調整する角度調整機構33と、基板押さえブレード32とステージ2との間隔を調整する2つの高さ調整機構34とを備える。なお、高さ調整機構34は、ともに同じ構成を有しているので1つの高さ調整機構34について以下に説明し、もう1つの高さ調整機構34の説明は省略する。
<First holding mechanism>
2 and 3, the first pressing mechanism 31 includes a substrate pressing blade 32, an angle adjusting mechanism 33 that adjusts an angle formed by the substrate pressing blade 32 and the upper surface 2a of the stage 2, and a substrate pressing blade 32. And two height adjusting mechanisms 34 for adjusting the distance between the stage 2 and the stage 2. Since the height adjustment mechanism 34 has the same configuration, only one height adjustment mechanism 34 will be described below, and description of the other height adjustment mechanism 34 will be omitted.

基板押さえブレード32は、ステージ2の幅方向に延在した長尺な板状部材からなり、剥離方向に向かって下方に傾斜し、その下端部が先細りの形状を有する(図3、参照)。基板押さえブレード32は、角度調整機構33の取付け部35(詳細には図2,図3参照)にボルトで固定される。なお、本発明のフィルム剥離装置は、ガラス基板6と偏光板7とを接着する接着剤を膨潤ないし溶解するためのエタノールなどを用いずとも、効率的かつ効果的に偏光板7を除去できるが、要すれば、接着剤膨潤用の流体通路を、基板押さえブレード32に形成することができる。例えば、先細りの先端32a近傍とその先端32aと反対側の端部とを連通している流体通路を形成することができる。前記流体には、有機溶剤(例えば、エタノール)等の液体や、水蒸気などの気体が包含される。   The substrate pressing blade 32 is made of a long plate-like member extending in the width direction of the stage 2, is inclined downward in the peeling direction, and has a tapered shape at its lower end (see FIG. 3). The substrate pressing blade 32 is fixed to a mounting portion 35 (refer to FIGS. 2 and 3 for details) of the angle adjusting mechanism 33 with bolts. The film peeling apparatus of the present invention can efficiently and effectively remove the polarizing plate 7 without using ethanol or the like for swelling or dissolving the adhesive that bonds the glass substrate 6 and the polarizing plate 7. If necessary, a fluid passage for swelling the adhesive can be formed in the substrate pressing blade 32. For example, a fluid passage that communicates the vicinity of the tapered tip 32a and the end opposite to the tip 32a can be formed. The fluid includes a liquid such as an organic solvent (for example, ethanol) and a gas such as water vapor.

角度調整機構33は、ステージ2の幅方向に延在する軸36と、軸36を回転自在に支持する支持部材37と、基板押さえブレード32が取付けられステージ2に対向する側面を有する5つの取付け部35と、軸36をその軸周り方向に関して所定の位置で支持部材37に回転不能に固定する固定部材38とを備える。   The angle adjusting mechanism 33 includes five shafts 36 that extend in the width direction of the stage 2, a support member 37 that rotatably supports the shaft 36, and a side surface that is attached to the substrate pressing blade 32 and faces the stage 2. A portion 35 and a fixing member 38 that non-rotatably fixes the shaft 36 to the support member 37 at a predetermined position with respect to the direction around the shaft.

支持部材37は、図2および図3に示すように、軸36の端部をそれぞれ支持する一対のフランジ39と、一対のフランジ39を相互に連結する3つの連結部材41〜43とを有する。後者の連結部材は、一対のフランジ39の上面に固定されている連結部材41と、一対のフランジ39の下面の中央から剥離方向上流側端部かけて固定されている連結部材43と、一対のフランジ39の剥離方向上流側の一側面に固定されている連結部材42である。5つの取付け部35は、軸36の延在方向に沿って互いに離隔して軸36に固定された板状部材である。これら取付け部35のステージ2と対向する一側面に、基板押さえブレード32がボルトによって固定される。このように、基板押さえブレード32は、ボルト固定しているため、付け替え自在である。   As shown in FIGS. 2 and 3, the support member 37 includes a pair of flanges 39 that respectively support the end portions of the shaft 36, and three connection members 41 to 43 that connect the pair of flanges 39 to each other. The latter connecting member includes a connecting member 41 fixed to the upper surface of the pair of flanges 39, a connecting member 43 fixed from the center of the lower surface of the pair of flanges 39 to the upstream end in the peeling direction, and a pair of The connecting member 42 is fixed to one side surface of the flange 39 on the upstream side in the peeling direction. The five attachment portions 35 are plate-like members fixed to the shaft 36 so as to be separated from each other along the extending direction of the shaft 36. The substrate pressing blade 32 is fixed by bolts on one side surface of the mounting portion 35 facing the stage 2. Thus, since the board | substrate holding | suppressing blade 32 is bolt-fixed, it can be replaced freely.

固定部材38は、軸36の外径とほぼ同じ内径を有するリングであり(図3)、軸36の上流右側の端部に付設される(図2)。固定部材38は、その内周面において、軸36の前記端部に形成された雄ねじに対して螺合可能な雌ねじが形成される。この固定部材38は、剥離工程の間、水平方向距離T1(基板押さえブレード・先端32aと、フィルム押さえローラ57の垂下点57aとの間の距離、図6および以下の項目<1.2>、参照)を決定しうるように、基板押さえブレード32の傾斜角度を調節することができる。例えば、この基板押さえブレード32・傾斜角度(基板押さえブレード32の先端32aを通る基板押さえブレード32の幅方向に平行な線分と、ステージ2の上面2aとがなす角度)を45度になるように設定したのち、固定部材38がフランジ39の側面に当接するまで締め付けることで、軸36をフランジ39に対して回転不可能に固定することができ、この角度設定によって水平方向距離T1を決定することができる。なお、固定部材38は、フランジ39の側面と離隔するように緩めることで、軸36をフランジ39に対して回転させることができる。   The fixing member 38 is a ring having an inner diameter substantially the same as the outer diameter of the shaft 36 (FIG. 3), and is attached to the upstream right end of the shaft 36 (FIG. 2). The fixing member 38 is formed with an internal thread that can be screwed into an external thread formed at the end of the shaft 36 on the inner peripheral surface thereof. This fixing member 38 has a horizontal distance T1 (distance between the substrate pressing blade / tip 32a and the drooping point 57a of the film pressing roller 57, FIG. 6 and the following item <1.2> during the peeling process. The inclination angle of the substrate pressing blade 32 can be adjusted so that the reference can be determined. For example, the substrate pressing blade 32 and the tilt angle (the angle formed by the line parallel to the width direction of the substrate pressing blade 32 passing through the tip 32a of the substrate pressing blade 32 and the upper surface 2a of the stage 2) are 45 degrees. After that, the shaft 36 can be fixed to the flange 39 in a non-rotatable manner by tightening until the fixing member 38 comes into contact with the side surface of the flange 39, and the horizontal distance T1 is determined by this angle setting. be able to. The fixing member 38 is loosened so as to be separated from the side surface of the flange 39, whereby the shaft 36 can be rotated with respect to the flange 39.

高さ調整機構34は、図3に示すように、外筒44と、外筒44を周方向に回転自在に支持する内筒45と、内筒45と連結部材42とに固定されたL字形状のブラケット46と、ブラケット46に形成された孔を通して外筒44および内筒45に挿入されたスピンドル47とを備える。   As shown in FIG. 3, the height adjustment mechanism 34 has an outer cylinder 44, an inner cylinder 45 that rotatably supports the outer cylinder 44 in the circumferential direction, and an L-shape fixed to the inner cylinder 45 and the connecting member 42. A bracket 46 having a shape and a spindle 47 inserted into the outer cylinder 44 and the inner cylinder 45 through a hole formed in the bracket 46 are provided.

外筒44/内筒45の内周面には連続した雌ねじが形成され、スピンドル47に形成された雄ねじが外筒44、内筒45に形成された雌ねじに螺合されるように、スピンドル47が内筒45、外筒44内に挿通される。また、スピンドル47は、その下端が鉛直方向下方に位置するガイド部材48に当接し、ガイド部材48は、固定部材49を介してベースプレート21に固定され、鉛直方向(図3の上下方向)に沿ったブラケット46の移動をガイドすることができる。なお、ガイド部材48は、ブラケット46の移動をガイドしているだけで、特にブラケット46を支持しているわけではないので、ガイド部材48の上端とスピンドル47の下端とは、基板押さえブレード32、支持部材37などの自重によって常に当接している。   A continuous female screw is formed on the inner peripheral surface of the outer cylinder 44 / inner cylinder 45, and the spindle 47 is so formed that the male screw formed on the spindle 47 is screwed to the female screw formed on the outer cylinder 44 and the inner cylinder 45. Is inserted into the inner cylinder 45 and the outer cylinder 44. Further, the spindle 47 abuts a guide member 48 whose lower end is positioned below in the vertical direction, and the guide member 48 is fixed to the base plate 21 via a fixing member 49 and extends along the vertical direction (vertical direction in FIG. 3). The movement of the bracket 46 can be guided. Since the guide member 48 only guides the movement of the bracket 46 and does not specifically support the bracket 46, the upper end of the guide member 48 and the lower end of the spindle 47 are the substrate pressing blade 32, The support member 37 is always in contact with its own weight.

この高さ調整機構34は、既知のマイクロメータと同様な機構を有し、外筒44を所定方向に回転させるとスピンドル47が外筒44/内筒45から押し出されるようにして伸長し、基板押さえブレード32がステージ2から離れる方向、すなわち鉛直方向上方に移動する。一方、外筒44を前記所定方向とは反対の方向に回転させるとスピンドル47が外筒44/内筒45に入り込むように縮小し、基板押さえブレード32は、ステージ2に接近する方向、すなわち鉛直方向下方に移動し、基板押さえブレード32の先端32aがベースプレート21の貫通孔23を通過してステージ2の上面2aに接近する。このようにして、基板押さえブレード32の高さ調整をすることができる。   This height adjustment mechanism 34 has a mechanism similar to that of a known micrometer. When the outer cylinder 44 is rotated in a predetermined direction, the spindle 47 extends so as to be pushed out of the outer cylinder 44 / inner cylinder 45, and the substrate The holding blade 32 moves away from the stage 2, that is, upward in the vertical direction. On the other hand, when the outer cylinder 44 is rotated in a direction opposite to the predetermined direction, the spindle 47 is reduced so as to enter the outer cylinder 44 / inner cylinder 45, and the substrate pressing blade 32 approaches the stage 2, that is, vertical. The tip 32 a of the substrate pressing blade 32 passes through the through hole 23 of the base plate 21 and approaches the upper surface 2 a of the stage 2. In this way, the height of the substrate pressing blade 32 can be adjusted.

<第2押さえ機構>
第2押さえ機構51は、図2および図3に示すように、ベースプレート21の長手方向に沿った両端に固定された各架台52,53に鉛直方向に伸縮可能に取り付けたエアシリンダ55,56と、これらエアシリンダ55,56に回転自在に支持された長尺なフィルム押さえローラ57とを備える。各エアシリンダ55,56は、そのシリンダロッドの各端部において、フィルム押さえローラ57の長手方向がステージ2の幅方向に平行になるようにフィルム押さえローラ57を支持する。
<Second holding mechanism>
As shown in FIGS. 2 and 3, the second pressing mechanism 51 includes air cylinders 55 and 56 that are vertically attached to the pedestals 52 and 53 that are fixed to both ends along the longitudinal direction of the base plate 21. And a long film pressing roller 57 rotatably supported by the air cylinders 55 and 56. Each air cylinder 55, 56 supports the film pressing roller 57 at each end of its cylinder rod so that the longitudinal direction of the film pressing roller 57 is parallel to the width direction of the stage 2.

この構成により、エアシリンダ55,56のシリンダロッドを伸長させると、フィルム押さえローラ57がステージ2に接近し、これにより、フィルム押さえローラ57を、ベースプレート21の貫通孔23を通ってステージ2の上面2aに接近させることができる。一方、エアシリンダ55,56のシリンダロッドを縮小させると、フィルム押さえローラ57がステージ2から離れる方向に移動し、フィルム押さえローラ57をステージ2から遠ざけることができる。   With this configuration, when the cylinder rods of the air cylinders 55 and 56 are extended, the film pressing roller 57 approaches the stage 2, whereby the film pressing roller 57 passes through the through hole 23 of the base plate 21 and the upper surface of the stage 2. 2a. On the other hand, when the cylinder rods of the air cylinders 55 and 56 are reduced, the film pressing roller 57 moves in a direction away from the stage 2, and the film pressing roller 57 can be moved away from the stage 2.

<巻取り装置>
巻取り装置71は、図2および図3に示すように、ベースプレート21に立設された軸受け部材79によって回転自在に支持されたフィルム巻取りローラ73であってフィルム押さえローラ57の長軸と平行になるよう配置された長軸を有するフィルム巻取りローラ73と、このフィルム巻取りローラ73を駆動させかつ架台52上に設けた駆動モータ72と、この駆動モータ72による回転力をフィルム巻取りローラ73に伝達する駆動ベルト74とを備える。
なお、駆動ベルト74は、架台52に形成された開口61に対向する各位置に設けた一対のプーリ75,76に架け渡されており、これらのプーリ75,76は、各々、駆動モータ72の駆動軸78周囲およびフィルム巻取りローラ73の軸77周囲に固定される。
<Winding device>
As shown in FIGS. 2 and 3, the winding device 71 is a film winding roller 73 rotatably supported by a bearing member 79 erected on the base plate 21, and is parallel to the long axis of the film pressing roller 57. A film take-up roller 73 having a long axis, a drive motor 72 that drives the film take-up roller 73 and is provided on the gantry 52, and a film take-up roller that receives the rotational force of the drive motor 72. And a drive belt 74 for transmission to 73.
The drive belt 74 is stretched around a pair of pulleys 75 and 76 provided at positions facing the opening 61 formed in the gantry 52, and these pulleys 75 and 76 are respectively connected to the drive motor 72. It is fixed around the drive shaft 78 and around the shaft 77 of the film take-up roller 73.

この構成において、駆動モータ72を正回転させて、プーリ75を所定方向(上流右側から見て反時計回り方向、以下、単に「反時計回り方向」という。)に回転させると、駆動ベルト74によってプーリ76も所定方向に回転し、フィルム巻取りローラ73は、巻取り方向(反時計回り方向)に回転する。このとき、フィルム巻取りローラ73を、そのローラドラムに偏光板7の剥離端部をテープによって連結させた状態で、巻取り方向に回転させると、ガラス基板6から剥がされた偏光板7をフィルム巻取りローラ73によって巻取ることができる。
なお、フィルム巻取りローラ73は、例えば、分割された2つのローラドラム半部を有する構成であってもよい。これらローラドラム半部同士を組み付けて1つのフィルム巻取りローラを構成するときに、両者の間に剥離された偏光板7の端部を把持させることで、フィルム巻取りローラに偏光板7を連結させることができる。さらに、フィルム巻取りローラ73の外周面に突起からなる引っ掛け部が形成されていてもよい。この場合は、剥離した偏光板7の端部にパンチによって孔をあけ、この孔を突起に引っ掛けることで、偏光板7の端部をフィルム巻取りローラに連結することができる。
In this configuration, when the drive motor 72 is rotated forward and the pulley 75 is rotated in a predetermined direction (counterclockwise direction when viewed from the upstream right side, hereinafter simply referred to as “counterclockwise direction”), the drive belt 74 The pulley 76 also rotates in a predetermined direction, and the film winding roller 73 rotates in the winding direction (counterclockwise direction). At this time, when the film take-up roller 73 is rotated in the take-up direction with the peeling end of the polarizing plate 7 connected to the roller drum by a tape, the polarizing plate 7 peeled off from the glass substrate 6 is filmed. It can be wound up by a winding roller 73.
The film take-up roller 73 may have, for example, a configuration having two divided roller drum halves. When the roller drum halves are assembled together to form one film winding roller, the polarizing plate 7 is connected to the film winding roller by gripping the end of the polarizing plate 7 peeled between them. Can be made. Further, a hook portion made of a protrusion may be formed on the outer peripheral surface of the film take-up roller 73. In this case, the end of the polarizing plate 7 can be connected to the film take-up roller by making a hole in the end of the peeled polarizing plate 7 with a punch and hooking the hole on the protrusion.

<移動機構>
図2および図3に示すように、移動機構91は、ベースプレート21に関し最も上流側に位置し、上流右側の角部に固定されており、駆動モータ92と、この駆動モータ92の駆動軸93の端部に固定されたピニオン94とを備える。駆動モータ92は、ピニオン94の歯部がステージ2に形成されたラック13と噛み合うように配置される。この構成により、駆動モータ92を正回転させて、ピニオン94を所定方向(反時計回り方向)に回転させると、ピニオン94の歯部とラック13とが係合し、剥離装置4は、その全体が剥離方向(図3、左方向)に移動することができる。一方、駆動モータ92を逆回転させて、ピニオン94を所定方向とは反対方向(上流右側から見て時計回り方向、以下、単に「時計回り方向」という。)に回転させると、剥離装置4は、その全体が非剥離方向(図3の右方向)に移動することができる。
<Movement mechanism>
As shown in FIGS. 2 and 3, the moving mechanism 91 is located on the most upstream side with respect to the base plate 21 and is fixed to the corner on the right side of the upstream side. The drive motor 92 and the drive shaft 93 of the drive motor 92 are connected to each other. And a pinion 94 fixed to the end. The drive motor 92 is disposed so that the teeth of the pinion 94 mesh with the rack 13 formed on the stage 2. With this configuration, when the drive motor 92 is rotated forward and the pinion 94 is rotated in a predetermined direction (counterclockwise direction), the teeth of the pinion 94 and the rack 13 are engaged, and the peeling device 4 is Can move in the peeling direction (FIG. 3, left direction). On the other hand, when the drive motor 92 is rotated in the reverse direction and the pinion 94 is rotated in the direction opposite to the predetermined direction (clockwise direction when viewed from the upstream right side, hereinafter simply referred to as “clockwise direction”), the peeling device 4 is The whole can move in the non-peeling direction (right direction in FIG. 3).

<剥離方法>
次に、本発明のフィルム剥離装置1を用いて液晶表示パネル5の偏光板7をガラス基板6から剥離する、本発明の剥離方法の実施形態について説明する。この実施形態では、ガラス基板6の片面に対し偏光板7を貼着したタイプの液晶表示パネル5を用いたが、もちろん、両面に偏光板を貼着したタイプの液晶表示パネルにも本発明の剥離方法を適用することができる。
図4は、ガラス基板6から偏光板7の端部を剥離した状態を模式的に示す、液晶表示パネル5の垂直断面図、
図5(a)は、図4に示した偏光板7の端部をフィルム巻取りローラ73に連結し、フィルム押さえローラ57/基板押さえブレード32を所定位置に配置した剥離処理前の状態を模式的に示す、剥離装置4の垂直断面図、
図5(b)は、剥離した偏光板表面と基板押さえブレード32との隙間T2を示す、図5(a)の一点鎖線部分の一部拡大図、
図6(a)は、剥離装置4を剥離方向に移動させている状態を模式的に示す、剥離装置4の垂直断面図、および
図6(b)は、基板押さえブレード・先端32aと、垂下点57aとの距離T1並びにガラス基板6の裏面とステージとの隙間T2を示す、図6(a)の一点鎖線部分の一部拡大図である。
<Peeling method>
Next, an embodiment of the peeling method of the present invention in which the polarizing plate 7 of the liquid crystal display panel 5 is peeled from the glass substrate 6 using the film peeling apparatus 1 of the present invention will be described. In this embodiment, the liquid crystal display panel 5 of the type in which the polarizing plate 7 is attached to one side of the glass substrate 6 is used. Of course, the liquid crystal display panel of the type in which the polarizing plate is attached to both sides is used. A peeling method can be applied.
FIG. 4 is a vertical sectional view of the liquid crystal display panel 5 schematically showing a state where the end of the polarizing plate 7 is peeled off from the glass substrate 6.
FIG. 5A schematically shows a state before the peeling process in which the end portion of the polarizing plate 7 shown in FIG. 4 is connected to the film winding roller 73 and the film pressing roller 57 / substrate pressing blade 32 is arranged at a predetermined position. FIG. 3 is a vertical sectional view of the peeling device 4,
FIG. 5B is a partially enlarged view of the alternate long and short dash line portion of FIG. 5A, showing the gap T2 between the peeled polarizing plate surface and the substrate pressing blade 32.
6A is a vertical sectional view of the peeling device 4 schematically showing a state in which the peeling device 4 is moved in the peeling direction, and FIG. 6B shows a substrate pressing blade / tip 32a and a drooping FIG. 7 is a partially enlarged view of a one-dot chain line portion of FIG. 6A, showing a distance T <b> 1 with a point 57 a and a gap T <b> 2 between the back surface of the glass substrate 6 and the stage.

次のような工程を行った。
<1.準備段階>
<1.1 保護シートの載置>
プラスチック製保護シートをステージ2上に載置して、液晶表示パネル5を保護する。
<1.2 基板押さえブレード32の調整・固定>
液晶表示パネル5/偏光板7の厚みについて測定した厚みデータ等に基づき、基板押さえブレード32の鉛直方向・高さおよび水平方向・位置を、各々、高さ調整機構34および角度調整機構33によって調整し、固定する。
この時点で、液晶表示パネル5は、ステージ2上に載置されてない。したがって、基板押さえブレード32の鉛直方向・高さは、その先端32aが、載置されたとした一部剥離液晶表示パネル5(硬質基板表面部分)との間に隙間T2が形成されるよう(図5(b)、参照。)、高さ調整機構34によって調整する。このように調整、固定した基板押さえブレード・先端32aと、ステージ2の上面2aとの間の鉛直方向・距離は、〔(液晶表示パネル5の厚み−偏光板7の厚み)+隙間T2〕に相当する。この隙間T2は、偏光板7の厚みの厚みに応じて変化させることができる。すなわち、この実施形態における隙間T2は、0.04 mmであって、(フィルムである偏光板7の厚み0.5 mm)×0.08倍に相当するが、(偏光板7の厚み)×0.008〜0.80倍、特に0.001〜0.40倍、特に好適には0.01〜0.20倍の範囲内であればよい。接着層8の厚みは、1〜3×10−2 mmと非常に小さいため、隙間T2の算出の際に無視した。
なお、鉛直方向・高さに関し、剥離済みの部位を押さえる基板押さえブレード32は、未剥離の部位を押さえるフィルム押さえローラ57よりも、ステージ2の上面2aに偏光板7の厚み分だけ接近する。
The following steps were performed.
<1. Preparation stage>
<1.1 Placement of protective sheet>
A plastic protective sheet is placed on the stage 2 to protect the liquid crystal display panel 5.
<1.2 Adjustment and fixing of substrate holding blade 32>
Based on the thickness data measured for the thickness of the liquid crystal display panel 5 / polarizing plate 7, the vertical direction / height and horizontal direction / position of the substrate pressing blade 32 are adjusted by the height adjusting mechanism 34 and the angle adjusting mechanism 33, respectively. And fix.
At this time, the liquid crystal display panel 5 is not placed on the stage 2. Accordingly, the vertical direction and height of the substrate pressing blade 32 are such that a gap T2 is formed between the tip 32a and the partially peeled liquid crystal display panel 5 (hard substrate surface portion) on which the tip 32a is placed (FIG. 5). 5 (b), and the height adjustment mechanism 34 adjusts. The vertical direction / distance between the substrate pressing blade / tip 32a thus adjusted and fixed and the upper surface 2a of the stage 2 is [(thickness of the liquid crystal display panel 5−thickness of the polarizing plate 7) + gap T2]. Equivalent to. The gap T2 can be changed according to the thickness of the polarizing plate 7. That is, the gap T2 in this embodiment is 0.04 mm, which corresponds to (thickness of polarizing plate 7 as a film 0.5 mm) × 0.08 times, (thickness of polarizing plate 7) × 0.008 to 0.80 times, In particular, it may be within a range of 0.001 to 0.40 times, particularly preferably 0.01 to 0.20 times. Since the thickness of the adhesive layer 8 is as small as 1 to 3 × 10 −2 mm, it was ignored when calculating the gap T2.
In addition, regarding the vertical direction and the height, the substrate pressing blade 32 that presses the peeled portion is closer to the upper surface 2a of the stage 2 by the thickness of the polarizing plate 7 than the film pressing roller 57 that presses the unpeeled portion.

基板押さえブレード32の水平方向・位置は、次のように決定して、角度調整機構33によって調整することができる。
図6(b)に関し、フィルム押さえローラ57の中心を通る水平線と円周との交点からステージ2に垂線を降ろし、この垂線と、剥離済み液晶表示パネル表面とが交差する交点を垂下点57aとすると、垂下点57aと、押さえブレード・先端32aとの間の距離を、水平方向距離T1として、決定することができる。
本発明者らの実験によれば、T1が、マイナスである場合も含め、小さければ小さいほど、接着剤が液晶表示パネル基板側に残存する傾向を示す一方、T1が大きければ大きいほど剥離工程の間に液晶表示パネル5がめくれ上がる傾向を示すことが判明した。
T1が小さい場合、すなわち基板押さえブレード32の押さえ位置が下流側のフィルム押さえローラ57に接近するにつれて、剥離工程の間にフィルム押さえローラ57と、ステージ2との間の広がりうる接着層を破断させるため、接着層の液晶表示パネル基板への残存が起こるものと考えられ、他方、T2が大きい場合、すなわち基板押さえブレード32の押さえ位置がフィルム押さえローラ57から遠くに離れて上流側に移動すると、剥離時に生じる力が基板押さえブレード32により押さえる力よりも大きくなり、その結果、液晶表示パネル5がめくれ上がるものと、考えられる。
現時点での実験結果によれば、T1は正の値、すなわち、基板押さえブレード・先端32aは、フィルム押さえローラ57(前記垂下点57a)よりも上流側に存在し、現時点での最善の数値は、約2mmである。このような水平方向・位置を得るには、前記したように、角度調整機構33によって調整、固定することができ、基板押さえブレード32の傾斜角度は、約45度である。
このように、剥離方向に関して、基板押さえブレード32の先端32aをフィルム押さえローラ57から上流側に離れた位置に配置することによって、接着剤残りを排除しつつ、液晶表示パネル5のめくれを防止することができた。
The horizontal direction and position of the substrate pressing blade 32 can be determined by the following and adjusted by the angle adjusting mechanism 33.
6B, a perpendicular line is dropped on the stage 2 from the intersection of the horizontal line passing through the center of the film pressing roller 57 and the circumference, and the intersection of the perpendicular line and the peeled liquid crystal display panel surface is defined as a drooping point 57a. Then, the distance between the drooping point 57a and the pressing blade / tip 32a can be determined as the horizontal distance T1.
According to the experiments by the present inventors, the smaller the T1 is, including the case where it is negative, the more the adhesive tends to remain on the liquid crystal display panel substrate side. In the meantime, it was found that the liquid crystal display panel 5 tends to turn up.
When T1 is small, that is, as the pressing position of the substrate pressing blade 32 approaches the downstream film pressing roller 57, the expandable adhesive layer between the film pressing roller 57 and the stage 2 is broken during the peeling process. Therefore, it is considered that the adhesive layer remains on the liquid crystal display panel substrate. On the other hand, when T2 is large, that is, when the pressing position of the substrate pressing blade 32 moves away from the film pressing roller 57 and moves upstream, It is considered that the force generated at the time of peeling becomes larger than the force pressed by the substrate pressing blade 32, and as a result, the liquid crystal display panel 5 is turned up.
According to the experimental results at the present time, T1 is a positive value, that is, the substrate pressing blade / tip 32a is present on the upstream side of the film pressing roller 57 (the drooping point 57a), and the best numerical value at the present time is , About 2 mm. In order to obtain such a horizontal direction and position, as described above, it can be adjusted and fixed by the angle adjusting mechanism 33, and the inclination angle of the substrate pressing blade 32 is about 45 degrees.
Thus, with respect to the peeling direction, the tip 32a of the substrate pressing blade 32 is disposed at a position away from the film pressing roller 57 to the upstream side, thereby preventing the liquid crystal display panel 5 from being turned over while eliminating the adhesive residue. I was able to.

<1.3 フィルム押さえローラ57の高さの設定>
前記厚みデータに基づき、フィルム押さえローラ57の高さをエアシリンダ55,56によって設定し、この設定に従い、以下の項目2.3において、フィルム押さえローラ57を下降させることができる。
<1.3 Setting of the height of the film pressing roller 57>
Based on the thickness data, the height of the film pressing roller 57 is set by the air cylinders 55 and 56. According to this setting, the film pressing roller 57 can be lowered in the following item 2.3.

<1.4 連結工程その1>
液晶表示パネル5・偏光板7の端部に相当する角部を、接着層8と共にガラス基板6からカッターによって剥離し(図4、参照)、剥離した偏光板7に、テープの一端を貼着する。
<1.4 Connecting step 1>
The corner corresponding to the end of the liquid crystal display panel 5 and the polarizing plate 7 is peeled off from the glass substrate 6 together with the adhesive layer 8 by a cutter (see FIG. 4), and one end of the tape is attached to the peeled polarizing plate 7. To do.

<2.剥離作業>
<2.1 液晶表示パネル5のセット>
フィルム押さえローラ57を上昇させたのち、偏光板7の角部を剥離した液晶表示パネル5をステージ2の上面2a上に載置する。この載置の時点で、基板押さえブレード32は、所定の高さに固定されているため、この基板押さえブレード32に接触しないよう液晶表示パネル5を挿入する。また、図2に示すように、液晶表示パネル5は、その長辺および短辺が剥離方向に対して約45°に傾くように配置し、かつ、剥離された偏光板7の角部が剥離装置4に最も近くなるように配置する。
<2.2 連結工程その2>
剥離した偏光板7に貼着したテープ(項目1.4、参照)の他端を、フィルム押さえローラ57を介し、フィルム巻取りローラ73のローラドラムに貼着して、偏光板7と、フィルム巻取りローラ73とを連結させる(図5(a)、参照)。したがって、偏光板7は、ガラス基板6から剥離して上昇して、フィルム押さえローラ57・ローラドラムに接触し、このローラドラムの外周に沿って上昇し、次いで剥離方向上方に上昇してフィルム巻取りローラ73・ローラドラムに到達し、このローラドラムにテープを介して貼着されている。
したがって、剥離した前記フィルムの端部についてのフィルム巻取りローラ73への連結は、フィルム押さえローラ57を介してなされ、これにより、滑らかな巻取りを確保することができる。
<2. Peeling work>
<2.1 Set of LCD panel 5>
After the film pressing roller 57 is raised, the liquid crystal display panel 5 from which the corners of the polarizing plate 7 are peeled is placed on the upper surface 2 a of the stage 2. Since the substrate pressing blade 32 is fixed at a predetermined height at the time of this placement, the liquid crystal display panel 5 is inserted so as not to contact the substrate pressing blade 32. Further, as shown in FIG. 2, the liquid crystal display panel 5 is arranged so that the long side and the short side are inclined at about 45 ° with respect to the peeling direction, and the corners of the peeled polarizing plate 7 are peeled off. It arrange | positions so that it may become the apparatus 4 nearest.
<2.2 Linking step 2>
The other end of the tape (see item 1.4) attached to the peeled polarizing plate 7 is attached to the roller drum of the film take-up roller 73 via the film pressing roller 57, and the polarizing plate 7 and the film The winding roller 73 is connected (see FIG. 5A). Accordingly, the polarizing plate 7 peels off from the glass substrate 6 and rises, comes into contact with the film pressing roller 57 and the roller drum, rises along the outer periphery of the roller drum, and then rises upward in the peeling direction. The take-up roller 73 reaches the roller drum and is stuck to the roller drum via a tape.
Therefore, the end of the peeled film is connected to the film take-up roller 73 via the film pressing roller 57, thereby ensuring a smooth take-up.

<2.3 フィルム押さえローラ57の高さの固定>
フィルム押さえローラ57を下降させ、フィルム押さえローラ57と液晶表示パネル5との間に隙間が実質的に形成されないよう(図5(a)、参照)、フィルム押さえローラ57を固定する。前記したように、基板押さえブレード32の場合には所定の隙間T2を形成するのに対し、フィルム押さえローラ57の場合には、実質的に隙間を形成しなくとも、パネルの損傷を防止できることが判明した。これは、前者が硬質の基板を押さえるのに対し、後者は軟質の偏光板フィルムを押さえているためであると、考えられる。
この時点で、剥離方向に関し上流側から、順に、基板押さえブレード32、フィルム押さえローラ57、次いでフィルム巻取りローラ73を配置していると共に、フィルム巻取りローラ73を、フィルム押さえローラ57よりも鉛直方向・上方に配置している(図5(a)、参照)。
<2.3 Fixing the height of the film pressing roller 57>
The film pressing roller 57 is lowered, and the film pressing roller 57 is fixed so that a gap is not substantially formed between the film pressing roller 57 and the liquid crystal display panel 5 (see FIG. 5A). As described above, in the case of the substrate pressing blade 32, the predetermined gap T2 is formed, whereas in the case of the film pressing roller 57, it is possible to prevent damage to the panel without substantially forming a gap. found. This is probably because the former holds a hard substrate while the latter holds a soft polarizing film.
At this time, the substrate pressing blade 32, the film pressing roller 57, and then the film winding roller 73 are arranged in this order from the upstream side with respect to the peeling direction, and the film winding roller 73 is more vertical than the film pressing roller 57. It arrange | positions in direction and upper direction (refer Fig.5 (a)).

<2.4 剥離工程>
開始スイッチ(図示せず)を入力して、除電ブロワー(図示せず)を始動させたのち、駆動モータ72を所定の回転数/回転力で回転させることによってフィルム巻取りローラ73を回転させながら、フィルム巻取りローラ73/フィルム押さえローラ57/基板押さえブレード32を備えた剥離装置4を、所定の速度に調節した移動機構91によって剥離方向に移動させ(図6(a)、参照)、この点で、回転・フィルム巻取りローラを移動させない従来技術に比し、本発明は、装置のコンパクト化を達成できた。
この剥離工程では、液晶表示パネル5は、ステージ2と、基板押さえブレード32およびフィルム押さえローラ57との間において、略鉛直方向に振動可能に狭持しつつ、水平方向に振動可能な状態で、ステージ2上に載置されている。
例えば、剥離処理開始前、基板押さえブレード32は、前記したように、各々、一部剥離液晶表示パネル部分から隙間T2の間隔をおいて配置されている一方(図5(b)、参照)、剥離処理開始後、一部剥離液晶表示パネル部分は、鉛直方向への最大振幅T2で振動することができる(図6(b)、参照)と共に、水平方向の振動も過度に制限されることはない。剥離処理の間、液晶表示パネル5は、水平方向に関し、左右に振動し、かつ鉛直方向に関し上下に振動しながら、剥離処理が進行する。なお図6(b)では、フィルム押さえローラ57の鉛直下方においても、隙間T2が存在するように図示しているが、実際には、この鉛直下方付近の隙間は、ゼロを含め、隙間T2よりも小さく、したがって押さえローラ57の鉛直下方のパネルの振動幅は、隙間T2よりも小さい。
前記した鉛直方向の振動(一部剥離液晶表示パネル部分/液晶表示パネル一部分の振動)は、偏光板7が剥離されるときに加えられた剥離力が接着層8を介してガラス基板6に伝わることによって、剥離処理の間、断続的に液晶表示パネル5が鉛直上方に引き寄せられることで生じるものと考えられる。この液晶表示パネル5が鉛直上方に引き寄せられたとき、フィルム押さえローラ57/基板押さえブレード32は、各々、偏光板7を介して液晶表示パネル一部分/一部剥離液晶表示パネル部分を押さえる(図6(b)、参照)。なお、液晶表示パネル5は、剥離工程の大半、フィルム押さえローラ57/基板押さえブレード32によって押さえられている。
このようにして、本発明の方法によれば、偏光板7も含め、液晶表示パネル5を破損することなく、偏光板7を剥離することができた。
<2.4 Peeling process>
A start switch (not shown) is input to start a static elimination blower (not shown), and then the film winding roller 73 is rotated by rotating the drive motor 72 at a predetermined rotational speed / rotational force. The peeling device 4 provided with the film winding roller 73 / film pressing roller 57 / substrate pressing blade 32 is moved in the peeling direction by the moving mechanism 91 adjusted to a predetermined speed (see FIG. 6A). In this respect, the present invention can achieve downsizing of the apparatus as compared with the prior art in which the rotation / film winding roller is not moved.
In this peeling step, the liquid crystal display panel 5 is sandwiched between the stage 2 and the substrate pressing blade 32 and the film pressing roller 57 so as to be able to vibrate in a substantially vertical direction, while being vibrated in the horizontal direction. It is placed on the stage 2.
For example, before the start of the peeling process, the substrate pressing blades 32 are each arranged with a gap T2 from the partially peeled liquid crystal display panel portion as described above (see FIG. 5B). After the peeling process is started, the partially peeled liquid crystal display panel portion can vibrate with the maximum amplitude T2 in the vertical direction (see FIG. 6B), and the horizontal vibration is also excessively limited. Absent. During the peeling process, the peeling process proceeds while the liquid crystal display panel 5 vibrates left and right in the horizontal direction and up and down in the vertical direction. In FIG. 6B, the gap T2 is shown to exist even vertically below the film pressing roller 57. Actually, however, the gap near the vertically lower part is smaller than the gap T2 including zero. Therefore, the vibration width of the panel directly below the pressing roller 57 is smaller than the gap T2.
The vertical vibration (partially peeled liquid crystal display panel part / liquid crystal display panel part vibration) is transmitted to the glass substrate 6 through the adhesive layer 8 when the polarizing plate 7 is peeled off. This is considered to be caused by intermittently pulling the liquid crystal display panel 5 vertically upward during the peeling process. When the liquid crystal display panel 5 is pulled vertically upward, the film pressing roller 57 / substrate pressing blade 32 respectively presses the liquid crystal display panel part / partially peeled liquid crystal display panel part through the polarizing plate 7 (FIG. 6). (See (b)). The liquid crystal display panel 5 is pressed by the film pressing roller 57 / substrate pressing blade 32 during most of the peeling process.
Thus, according to the method of the present invention, the polarizing plate 7 including the polarizing plate 7 could be peeled without damaging the liquid crystal display panel 5.

<3.0 回収/廃棄工程>
全ての偏光板7を除去したのち、自動停止し、フィルム押さえローラ57を上昇させて、偏光板7を除去した液晶表示パネル5をステージ2から取り出し、再利用する一方、フィルム巻取りローラ73を時計回り方向に回転させて、分離した偏光板7を回収し、廃棄する。
<3.0 Recovery / Disposal process>
After all the polarizing plates 7 have been removed, the film is automatically stopped, the film pressing roller 57 is raised, and the liquid crystal display panel 5 from which the polarizing plates 7 have been removed is removed from the stage 2 and reused, while the film take-up roller 73 is By rotating in the clockwise direction, the separated polarizing plate 7 is collected and discarded.

本発明の実施形態であるフィルム剥離装置を示す斜視図。The perspective view which shows the film peeling apparatus which is embodiment of this invention. 図1に示したフィルム剥離装置の平面図。The top view of the film peeling apparatus shown in FIG. 図1に示したフィルム剥離装置の部分側面図。The partial side view of the film peeling apparatus shown in FIG. ガラス基板から偏光板の端部を剥離した状態を模式的に示す、液晶表示パネルの垂直断面図。The vertical sectional view of the liquid crystal display panel which shows the state which peeled the edge part of the polarizing plate from the glass substrate typically. (a)は、図4に示した偏光板の端部をフィルム巻取りローラに連結し、フィルム押さえローラ/基板押さえブレードを所定位置に配置した剥離処理前の状態を模式的に示す、剥離装置の垂直断面図であり、(b)は、剥離した偏光板表面と基板押さえブレードとの隙間を示す、図5(a)の一部拡大図。(A) is a peeling apparatus schematically showing the state before the peeling process in which the end of the polarizing plate shown in FIG. 4 is connected to the film take-up roller and the film pressing roller / substrate pressing blade is arranged at a predetermined position. FIG. 6B is a partially enlarged view of FIG. 5A, showing a gap between the peeled polarizing plate surface and the substrate pressing blade. (a)は、剥離装置を剥離方向に移動させている状態を模式的に示す、剥離装置の垂直断面図であり、(b)は、フィルム押さえブレード・先端と、垂下点との距離並びにガラス基板の裏面とステージとの隙間を示す、図6(a)の一部拡大図。(A) is a vertical sectional view of the peeling device schematically showing a state in which the peeling device is moved in the peeling direction, and (b) is a distance between the film pressing blade / tip and the droop point and glass. The partial enlarged view of Fig.6 (a) which shows the clearance gap between the back surface of a board | substrate and a stage.

符号の説明Explanation of symbols

1:フィルム剥離装置 5:液晶表示パネル(電気光学パネル) 6:ガラス基板(硬質基板) 7:偏光板(フィルム) 32:基板押さえブレード 57:フィルム押さえローラ 73:フィルム巻取りローラ   1: Film peeling device 5: Liquid crystal display panel (electro-optical panel) 6: Glass substrate (hard substrate) 7: Polarizing plate (film) 32: Substrate pressing blade 57: Film pressing roller 73: Film winding roller

Claims (5)

硬質基板と、前記硬質基板の表面に接着されているフィルムとを有する電気光学パネルについての前記フィルムを剥離するフィルム剥離方法であって、
前記硬質基板から前記フィルムの端部を剥離し、剥離した前記フィルムの端部をフィルム巻取りローラに連結する連結工程と、
前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分を基板押さえブレードによって押さえると共に、前記フィルムを介して前記電気光学パネルをフィルム押さえローラによって押えつつ、前記フィルムを巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラを回転させながら、前記フィルム巻取りローラ、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラを剥離方向に移動させて、前記硬質基板から前記フィルムを剥離する剥離工程とを含んでなり、
前記剥離工程の間、前記電気光学パネルが載置されたステージと、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラとの間において前記電気光学パネルを、略鉛直方向に振動可能に狭持しつつ略水平方向に振動可能な状態で前記ステージ上に載置していることを特徴とするフィルム剥離方法。
A film peeling method for peeling the film about an electro-optical panel having a hard substrate and a film bonded to the surface of the hard substrate,
A connecting step of peeling an end of the film from the hard substrate and connecting the peeled end of the film to a film take-up roller;
The surface of the hard substrate from which the film has been peeled is pressed by a substrate pressing blade, and the film winding roller is wound in the winding direction for winding the film while the electro-optical panel is pressed by the film pressing roller via the film. The film winding roller, the substrate pressing blade and the film pressing roller are moved in the peeling direction while rotating, and the peeling step of peeling the film from the hard substrate,
During the peeling process, the electro-optical panel is held between the stage on which the electro-optical panel is placed and the substrate pressing blade and the film pressing roller so that the electro-optical panel can be vibrated in a substantially vertical direction and is substantially horizontal. A film peeling method, wherein the film is placed on the stage so as to vibrate in a direction.
前記連結工程または前記剥離工程のいずれかに先立ち、前記基板押さえブレードを所定の位置に設置する際、前記基板押さえブレードと、前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分との間において、鉛直方向の隙間を設け、前記隙間は、前記剥離工程の間における鉛直方向の前記振動の最大幅に相当することを特徴とする請求項1記載のフィルム剥離方法。   Prior to either the connecting step or the peeling step, when the substrate pressing blade is installed at a predetermined position, between the substrate pressing blade and the hard substrate surface portion from which the film has been peeled, The film peeling method according to claim 1, wherein a gap is provided, and the gap corresponds to a maximum width of the vibration in a vertical direction during the peeling process. 前記連結工程の間、剥離した前記フィルムの端部についての前記フィルム巻取りローラへの連結は、前記フィルム押さえローラを介してなされていることを特徴とする請求項1記載のフィルム剥離方法。   The film peeling method according to claim 1, wherein during the connecting step, the end of the film peeled off is connected to the film winding roller via the film pressing roller. 前記剥離工程の間、前記基板押さえブレードが接触しうる前記硬質基板表面部分は、前記剥離方向に関して前記フィルム押さえローラよりも上流側に位置するように、前記基板押さえブレードを配置していることを特徴とする請求項1記載のフィルム剥離方法。   The substrate pressing blade is disposed so that the hard substrate surface portion with which the substrate pressing blade can come into contact with the substrate pressing blade during the peeling step is positioned upstream of the film pressing roller in the peeling direction. The film peeling method according to claim 1, wherein: 硬質基板と、前記硬質基板の表面に接着されているフィルムとを有する電気光学パネルについての前記フィルムを剥離する、請求項1記載のフィルム剥離方法を実施するためのフィルム剥離装置であって、
前記硬質基板から剥離された前記フィルムの端部を連結するフィルム巻取りローラと、
前記フィルムが剥離された硬質基板表面部分を押さえる基板押さえブレードと、
前記フィルムを介して前記電気光学パネルを押さえるフィルム押さえローラと、
前記フィルムを巻き取る巻取り方向に前記フィルム巻取りローラを回転させるときに、前記フィルム巻取りローラ、前記基板押さえブレードおよび前記フィルム押さえローラを前記硬質基板から前記フィルムを剥離する剥離方向に移動させる移動機構とを備えていることを特徴とするフィルム剥離装置。
The film peeling apparatus for carrying out the film peeling method according to claim 1, wherein the film is peeled off for an electro-optical panel having a hard substrate and a film bonded to the surface of the hard substrate.
A film take-up roller for connecting ends of the film peeled from the hard substrate;
A substrate pressing blade for pressing the hard substrate surface portion from which the film has been peeled;
A film pressing roller for pressing the electro-optical panel through the film;
When the film winding roller is rotated in the winding direction for winding the film, the film winding roller, the substrate pressing blade, and the film pressing roller are moved in a peeling direction for peeling the film from the hard substrate. A film peeling apparatus comprising: a moving mechanism.
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