JP4894645B2

JP4894645B2 - Hermetic seal terminal

Info

Publication number: JP4894645B2
Application number: JP2007157760A
Authority: JP
Inventors: 健太朗水野; 昭二橋本; 栄記守谷; 宏通安田; 篤史本田; 浩靖加藤
Original assignee: Toyota Central R&D Labs Inc
Current assignee: Toyota Central R&D Labs Inc
Priority date: 2007-06-14
Filing date: 2007-06-14
Publication date: 2012-03-14
Anticipated expiration: 2027-06-14
Also published as: JP2008311424A

Description

本発明は、ハーメチックシール端子に関する。 The present invention relates to a hermetic seal terminal.

圧力、荷重、加速度又は角速度などの物理量を電気信号に変換する機能素子は、ハーメチックシール端子に搭載されて用いられることが多い。ハーメチックシール端子は、金属製の筒状部材と、筒状部材の内側に充填されている絶縁性の充填部材と、充填部材を貫通して軸方向に伸びている導電性のリードを備えている。機能素子は、充填部材の一方の表面に搭載され、例えば、ワイヤボンディングを介してリードと電気的に接続されている。ハーメチックシール端子は、例えばハウジングの収容部に収容されて用いられる。機能素子からの電気信号は、リードを介してハウジング外に取り出される。この種のハーメチックシール端子は、特許文献１に開示されている。 A functional element that converts a physical quantity such as pressure, load, acceleration, or angular velocity into an electrical signal is often mounted on a hermetic seal terminal. The hermetic seal terminal includes a metal tubular member, an insulating filling member filled inside the tubular member, and a conductive lead extending through the filling member in the axial direction. . The functional element is mounted on one surface of the filling member and is electrically connected to the lead through, for example, wire bonding. For example, the hermetic seal terminal is accommodated in the accommodating portion of the housing. An electrical signal from the functional element is taken out of the housing through a lead. This type of hermetic seal terminal is disclosed in Patent Document 1.

特開２００１−４１８３８号公報JP 2001-41838 A

この種のハーメチックシール端子を製造するためには、筒状部材を軸方向に延伸させて所定の外径寸法に調整した後に、延伸された筒状部材を複数個に分断することによって、所望の筒状部材を作製する。次に、筒状部材の内側に、絶縁性の充填部材とその充填部材を貫通して伸びているリードとを充填し、ハーメチックシール端子を製造する。 In order to manufacture this kind of hermetic seal terminal, the tubular member is stretched in the axial direction and adjusted to a predetermined outer diameter, and then the stretched tubular member is divided into a plurality of desired members. A cylindrical member is produced. Next, the inside of the cylindrical member is filled with an insulating filling member and leads extending through the filling member to manufacture a hermetic seal terminal.

筒状部材の内側に充填部材を充填する前の段階では、筒状部材の強度が弱く成り易い。製造工程中に筒状部材が変形するのを防止するためには、筒状部材の外径寸法を大きくする及び／又は筒状部材の厚みを大きくすることで強度を向上させるのが望ましい。しかしながら、前記したように、ハーメチックシール端子は、ハウジングに収容されて用いられることが多いので、筒状部材の外径寸法は、ハウジングの収容部の内径寸法に応じて設計されなければならない。したがって、筒状部材の外径寸法は、ハウジングの収容部の内径寸法によって制限されており、筒状部材の外径寸法を大きくすることができない。このため、従来の製造方法では、筒状部材の厚みを大きくすることによって、筒状部材の変形を防止している。 In the stage before the filling member is filled inside the tubular member, the strength of the tubular member tends to be weak. In order to prevent the tubular member from being deformed during the manufacturing process, it is desirable to increase the strength by increasing the outer diameter of the tubular member and / or increasing the thickness of the tubular member. However, as described above, since the hermetic seal terminal is often used while being accommodated in the housing, the outer diameter of the cylindrical member must be designed in accordance with the inner diameter of the housing accommodating portion. Accordingly, the outer diameter of the cylindrical member is limited by the inner diameter of the housing accommodating portion, and the outer diameter of the cylindrical member cannot be increased. For this reason, in the conventional manufacturing method, the deformation of the tubular member is prevented by increasing the thickness of the tubular member.

しかしながら、筒状部材の厚みを大きくすると、筒状部材の内側に充填されている充填部材の表面の面積が減少し、ひいては機能素子を搭載するための搭載面の面積も減少してしまう。ハウジング自体を小型化したい場合は、ハウジングの収容部の内径寸法及び筒状部材の外径寸法も小さくなり、この結果、機能素子を搭載するための面積を十分に確保できないという事態が起きてしまう。
本発明は、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能であるとともに、筒状部材の変形を防止しながら製造可能なハーメチックシール端子、及びそのハーメチックシール端子を製造する方法を提供することを目的としている。 However, when the thickness of the cylindrical member is increased, the area of the surface of the filling member filled inside the cylindrical member is reduced, and as a result, the area of the mounting surface for mounting the functional element is also reduced. When it is desired to reduce the size of the housing itself, the inner diameter of the housing accommodating portion and the outer diameter of the cylindrical member are also reduced. As a result, there is a situation in which a sufficient area for mounting the functional element cannot be secured. .
It is an object of the present invention to provide a hermetic seal terminal that can be satisfactorily accommodated in a housing portion of a housing and that can be manufactured while preventing deformation of a cylindrical member, and a method for manufacturing the hermetic seal terminal. It is said.

本明細書で開示される技術は、筒状部材の軸方向の一端の厚みを薄く加工し、その軸方向の一端に薄肉部を設けることを特徴としている。薄肉部は、筒状部材の内壁面を削ることで形成してもよく、筒状部材の外壁面を削ることで形成してもよい。
筒状部材の内壁面を削ることで薄肉部を形成する場合は、筒状部材の内側に広い面積を確保することができる。このため、筒状部材の外径寸法がハウジングの収容部の内径寸法に応じて制限されている場合でも、筒状部材の内側に機能素子を搭載するための面積を広く確保することができる。また、筒状部材の軸方向の一端にのみ薄肉部を設けるので、筒状部材の全体の強度は高く維持される（なお、筒状部材の全体として強度が高く維持される限り、軸方向の一端以外の一部にも他の薄肉部が設けられていてもよい）。このため、製造工程中に筒状部材が変形するのを防止することができる。
筒状部材の外壁面を削ることで薄肉部を形成する場合は、筒状部材の一端にハウジングの収容部の内径寸法に応じた外径寸法の局所領域を形成することができる。このため、ハーメチックシール端子は、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能である。また、筒状部材の軸方向の一端にのみ薄肉部を設けるので、筒状部材の全体の強度は高く維持される（なお、筒状部材の全体として強度が高く維持される限り、軸方向の一端以外の一部にも他の薄肉部が設けられていてもよい）。このため、製造工程中に筒状部材が変形するのを防止することができる。
即ち、筒状部材の内壁面を削ることで薄肉部を形成する技術、筒状部材の外壁面を削ることで薄肉部を形成する技術のいずれにおいても、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能であるとともに、筒状部材の変形を防止しながら製造可能なハーメチックシール端子を提供することができる。 The technology disclosed in this specification is characterized in that the thickness of one end in the axial direction of the cylindrical member is processed to be thin, and a thin portion is provided at one end in the axial direction. The thin portion may be formed by cutting the inner wall surface of the cylindrical member, or may be formed by cutting the outer wall surface of the cylindrical member.
When the thin wall portion is formed by cutting the inner wall surface of the cylindrical member, a wide area can be secured inside the cylindrical member. For this reason, even when the outer diameter dimension of the cylindrical member is limited in accordance with the inner diameter dimension of the housing accommodating portion, a large area for mounting the functional element inside the cylindrical member can be secured. Further, since the thin portion is provided only at one end in the axial direction of the cylindrical member, the overall strength of the cylindrical member is maintained high (in addition, as long as the overall strength of the cylindrical member is maintained high, the axial direction Other thin portions may be provided in a portion other than the one end). For this reason, it can prevent that a cylindrical member deform | transforms during a manufacturing process.
When the thin wall portion is formed by cutting the outer wall surface of the cylindrical member, a local region having an outer diameter dimension corresponding to the inner diameter dimension of the housing housing portion can be formed at one end of the cylindrical member. For this reason, the hermetic seal terminal can be satisfactorily accommodated in the accommodating portion of the housing. Further, since the thin portion is provided only at one end in the axial direction of the cylindrical member, the overall strength of the cylindrical member is maintained high (in addition, as long as the overall strength of the cylindrical member is maintained high, the axial direction Other thin portions may be provided in a portion other than the one end). For this reason, it can prevent that a cylindrical member deform | transforms during a manufacturing process.
That is, both the technology for forming the thin-walled portion by cutting the inner wall surface of the cylindrical member and the technology for forming the thin-walled portion by cutting the outer wall surface of the cylindrical member can be satisfactorily accommodated in the housing accommodating portion. It is possible to provide a hermetic seal terminal that can be manufactured while preventing deformation of the cylindrical member.

本明細書で開示する機能素子を搭載するためのハーメチックシール端子の製造方法は、金属製の筒状部材の軸方向の一端の肉厚を薄く加工し、薄肉部を形成する工程を備えている。本明細書で開示する製造方法はさらに、筒状部材の内側に、絶縁性の充填部材とその充填部材を貫通して伸びている導電性のリードとを充填する工程を備えている。
筒状部材の軸方向の一端にのみ薄肉部を設けるので、筒状部材の全体の強度は高く維持される。筒状部材の内側に充填部材とリードを充填する工程中に、筒状部材が変形するのを防止することができる。 A method of manufacturing a hermetic seal terminal for mounting a functional element disclosed in the present specification includes a step of forming a thin portion by processing a thickness of one end in the axial direction of a metallic cylindrical member. . The manufacturing method disclosed in the present specification further includes a step of filling the inside of the cylindrical member with an insulating filling member and a conductive lead extending through the filling member.
Since the thin portion is provided only at one axial end of the tubular member, the overall strength of the tubular member is maintained high. It is possible to prevent the tubular member from being deformed during the process of filling the tubular member with the filling member and the lead.

本明細書で開示される製造方法では、薄肉部を形成する工程に先立って、筒状部材を軸方向に延伸させて所定の外径寸法に調整する工程と、延伸された筒状部材を複数個に分断する工程をさらに備えていることが好ましい。
本明細書で開示される技術では、後の工程で筒状部材の一端に薄肉部を形成するので、筒状部材を軸方向に延伸させる工程では、筒状部材の外径寸法を大きくする及び／又は筒状部材の厚みを大きくすることが可能になる。この結果、筒状部材の強度が高い状態を持しながら延伸工程を実施できるので、筒状部材の変形を防止することができる。 In the manufacturing method disclosed in this specification, prior to the step of forming the thin-walled portion, a step of extending the cylindrical member in the axial direction to adjust to a predetermined outer diameter size, and a plurality of the extended cylindrical members It is preferable that the method further includes a step of dividing into pieces.
In the technique disclosed in this specification, a thin portion is formed at one end of the cylindrical member in a later step. Therefore, in the step of extending the cylindrical member in the axial direction, the outer diameter of the cylindrical member is increased and It is possible to increase the thickness of the cylindrical member. As a result, the stretching process can be carried out while maintaining the strength of the tubular member, so that the deformation of the tubular member can be prevented.

本明細書で開示する機能素子を搭載するためのハーメチックシール端子は、厚肉部と薄肉部を有する金属製の筒状部材と、筒状部材の内側に充填されている絶縁性の充填部材と、充填部材を貫通して軸方向に伸びている導電性のリードを備えている。薄肉部は、筒状部材の軸方向の一端に設けられている。充填部材は、機能素子を搭載するための搭載面を有しており、その搭載面は、軸方向の前記一端側に配置されている。
上記のハーメチックシール端子は、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能であるとともに、筒状部材の変形を防止しながら製造可能な形態を備えている。 A hermetic seal terminal for mounting a functional element disclosed in the present specification includes a metal cylindrical member having a thick part and a thin part, and an insulating filling member filled inside the cylindrical member, And a conductive lead extending in the axial direction through the filling member. The thin portion is provided at one end of the cylindrical member in the axial direction. The filling member has a mounting surface for mounting the functional element, and the mounting surface is disposed on the one end side in the axial direction.
The hermetic seal terminal can be satisfactorily accommodated in the housing accommodating portion, and has a form that can be manufactured while preventing deformation of the cylindrical member.

本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、筒状部材の内壁面に、厚肉部の内壁面と薄肉部の内壁面の間に存在するとともに、厚肉部の内壁面と薄肉部の内壁面の双方と非平行な中間面が形成されていることが好ましい。この場合、充填部材は、中間面に接していることが好ましい。
上記のハーメチックシール端子によると、筒状部材の内側から充填部材が抜けることを防止できる。充填部材を筒状部材の内側に安定して留めておくことができる。 In the hermetic seal terminal disclosed in the present specification, the inner wall surface of the cylindrical member exists between the inner wall surface of the thick wall portion and the inner wall surface of the thin wall portion, and the inner wall surface of the thick wall portion and the inner wall surface of the thin wall portion. It is preferable that an intermediate surface non-parallel to both the wall surfaces is formed. In this case, the filling member is preferably in contact with the intermediate surface.
According to the above hermetic seal terminal, it is possible to prevent the filling member from coming off from the inside of the cylindrical member. The filling member can be stably held inside the cylindrical member.

本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、薄肉部の厚みが、軸方向の前記一端で薄く、軸方向の他端で厚く形成されていることが好ましい。この場合、薄肉部の内壁面は、軸方向に沿って傾斜しており、充填部材は、薄肉部の内壁面に接していることが好ましい。
上記のハーメチックシール端子でも、筒状部材の内部から充填部材が抜けることを防止できる。 In the hermetic seal terminal disclosed in the present specification, it is preferable that the thickness of the thin portion is thin at the one end in the axial direction and thick at the other end in the axial direction. In this case, it is preferable that the inner wall surface of the thin wall portion is inclined along the axial direction, and the filling member is in contact with the inner wall surface of the thin wall portion.
Even in the above-described hermetic seal terminal, the filling member can be prevented from coming off from the inside of the cylindrical member.

本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、充填部材が筒状部材の前記一端の頂面にも接していることが好ましい。
上記のハーメチックシール端子によると、機能素子を搭載させることができる充填部材の面積をより大きく確保することができる。 In the hermetic seal terminal disclosed in this specification, the filling member is preferably in contact with the top surface of the one end of the cylindrical member.
According to the above hermetic seal terminal, it is possible to secure a larger area of the filling member on which the functional element can be mounted.

本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、リードが、筒状部材の内壁面からの距離が増大する方向に向かって屈曲する部分を有していることが好ましい。
上記のハーメチックシール端子によると、リードと筒状部材の内壁面が接触することを抑制できる。リードが短絡することを防止できる。 In the hermetic seal terminal disclosed in the present specification, it is preferable that the lead has a portion that bends in a direction in which the distance from the inner wall surface of the cylindrical member increases.
According to said hermetic seal terminal, it can suppress that a lead and the inner wall face of a cylindrical member contact. It is possible to prevent the lead from being short-circuited.

本明細書で開示されるハーメチックシール端子は、筒状部材の外径が軸方向に一定であってもよい。
上記のハーメチックシール端子は、筒状部材の内壁面を削ることで薄肉部が形成された形態を表している。 In the hermetic seal terminal disclosed in this specification, the outer diameter of the cylindrical member may be constant in the axial direction.
The hermetic seal terminal described above represents a form in which a thin portion is formed by shaving the inner wall surface of the cylindrical member.

本明細書で開示されるハーメチックシール端子では、厚肉部の外周面にねじが設けられていてもよい。
ハーメチックシール端子が収容されるハウジングの収容部の内壁面にねじが設けられていると、ハーメチックシール端子をハウジングの収容部に容易に固定することができる。 In the hermetic seal terminal disclosed in this specification, a screw may be provided on the outer peripheral surface of the thick portion.
When a screw is provided on the inner wall surface of the housing portion in which the hermetic seal terminal is housed, the hermetic seal terminal can be easily fixed to the housing portion of the housing.

本明細書で開示される技術によると、ハウジングの収容部に対して良好に収容可能であるとともに、筒状部材の変形を防止しながら製造可能なハーメチックシール端子を提供することができる。また、そのハーメチックシール端子を製造する方法をも提供することができる。 According to the technology disclosed in the present specification, it is possible to provide a hermetic seal terminal that can be satisfactorily accommodated in the accommodating portion of the housing and can be manufactured while preventing deformation of the cylindrical member. Moreover, the method of manufacturing the hermetic seal terminal can also be provided.

実施例の主要な特徴を列記する。
（特徴１）筒状部材の薄肉部にのみ充填部材が充填されている。
（特徴２）筒状部材に、ガラスの充填部材が充填されている。
（特徴３）充填部材が、筒状部材の薄肉部の頂面全域に接している。 The main features of the examples are listed.
(Characteristic 1) The filling member is filled only in the thin part of the cylindrical member.
(Characteristic 2) The cylindrical member is filled with a glass filling member.
(Characteristic 3) The filling member is in contact with the entire top surface of the thin portion of the cylindrical member.

（第１実施例）
図１に、ハーメチックシール端子１００の縦断面図を模式的に示す。図２に、ハーメチックシール端子１００を図１の矢印Ａ方向に観察した外観図を示す。
ハーメチックシール端子１００は、金属製の筒状部材４と、筒状部材４の内側に充填されている絶縁性の充填部材１０と、充填部材１０を貫通して軸方向に伸びている導電性のリード１２を備えている。充填部材１０は、圧力検知素子（図示省略）を搭載するための搭載面１３を有している。機能素子は、ワイヤボンディングを介してリード１２と電気的に接続される。
筒状部材４は円筒形状であり、その材料はコバールである。なお、コバールに代えて、４２アロイ、５２アロイ、鉄及びＳＵＳ等を使用することもできる。筒状部材４は、厚肉部４ｃと薄肉部４ａを有している。筒状部材４の内径は、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間で変化している。即ち、筒状部材４の内壁面に、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａ内壁面の間に存在する中間面４ｂが形成されている。中間面４ｂは、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａ内壁面の双方に非平行である。なお、本実施例では、筒状部材４の内径が、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間で不連続に変化し、中間面４ｂが形成されている。中間面４ｂは、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａ内壁面の双方に直交している。
筒状部材４の外径は、軸方向に一定である。なお、ここでいう「外径が軸方向に一定」とは、厚肉部と薄肉部の間の中間面が外壁面に形成されていない状態のことをいう。例えば、図３に示しているように、筒状部材４の外周面６にねじ２が形成されていても、厚肉部４ａの厚みに対してねじ２の山の高さ（又は溝の深さ）は極めて小さいので、ねじ２が形成する面は厚肉部と薄肉部の間の中間面と解釈すべきものではない。外周面６にねじ２が設けられていても、筒状部材４の外径は軸方向に一定であると評価することができる。 (First embodiment)
FIG. 1 schematically shows a longitudinal sectional view of the hermetic seal terminal 100. FIG. 2 shows an external view of the hermetic seal terminal 100 observed in the direction of arrow A in FIG.
The hermetic seal terminal 100 includes a metallic cylindrical member 4, an insulating filling member 10 filled inside the tubular member 4, and a conductive material extending in the axial direction through the filling member 10. A lead 12 is provided. The filling member 10 has a mounting surface 13 for mounting a pressure detection element (not shown). The functional element is electrically connected to the lead 12 via wire bonding.
The cylindrical member 4 has a cylindrical shape, and its material is Kovar. In place of Kovar, 42 alloy, 52 alloy, iron, SUS, or the like can also be used. The tubular member 4 has a thick part 4c and a thin part 4a. The inner diameter of the cylindrical member 4 changes between the thick part 4c and the thin part 4a. That is, an intermediate surface 4b that exists between the inner wall surface of the thick portion 4c and the inner wall surface of the thin portion 4a is formed on the inner wall surface of the cylindrical member 4. The intermediate surface 4b is not parallel to both the inner wall surface of the thick portion 4c and the inner wall surface of the thin portion 4a. In the present embodiment, the inner diameter of the cylindrical member 4 changes discontinuously between the thick portion 4c and the thin portion 4a, and the intermediate surface 4b is formed. The intermediate surface 4b is orthogonal to both the inner wall surface of the thick portion 4c and the inner wall surface of the thin portion 4a.
The outer diameter of the cylindrical member 4 is constant in the axial direction. Here, “the outer diameter is constant in the axial direction” means a state where an intermediate surface between the thick portion and the thin portion is not formed on the outer wall surface. For example, as shown in FIG. 3, even if the screw 2 is formed on the outer peripheral surface 6 of the cylindrical member 4, the height of the crest of the screw 2 (or the depth of the groove) with respect to the thickness of the thick portion 4a. The surface formed by the screw 2 should not be interpreted as an intermediate surface between the thick part and the thin part. Even if the screw 2 is provided on the outer peripheral surface 6, it can be evaluated that the outer diameter of the cylindrical member 4 is constant in the axial direction.

充填部材１０には、ガラス（ホウケイ酸ガラス）が用いられている。充填部材１０は、軸方向の一端に機能素子を搭載するための搭載面１３を有しており、その搭載面１３は筒状部材４の薄肉部４ａ側に配置されている。充填部材１０は、筒状部材４の一端の頂面８の全域に接している。充填部材１０は、筒状部材４の薄肉部４ａ内にのみ充填されており、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間の中間面４ｂに接している。
上述したように、ハーメチックシール端子１００では、充填部材１０が筒状部材４の頂面８の全域に接している。充填部材１０が頂面８に接していない場合（図２において、搭載面１３が、薄肉部４ａの内側にのみ形成される。）と比較して、頂面８上に存在する搭載面１３の表面積の分だけ搭載面１３の表面積を大きく確保することができる。筒状部材４の外径寸法が制限されている場合でも、機能素子を搭載するために広い面積を確保することができる。
充填部材１０は、筒状部材４の厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａの内壁面の間の中間面４ｂに接している。充填部材１０に矢印Ａ方向の力が加わっても、充填部材１０が筒状部材４から抜けてしまうことを防止できる。筒状部材４の一端に薄肉部４ａを設けると、搭載面１３の表面積の増大と充填部材１０の抜け防止という作用を同時に得ることができる。上記したように、本実施例では、筒状部材４の内径が、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間で不連続に変化し、中間面４ｂが形成されている。なお、筒状部材４の内径が、厚肉部４ｃと薄肉部４ａの間で連続的に変化することにより中間面４ｂが形成されても、中間面４ｂが、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部4ａの内壁面の双方と非平行である限り、充填部材１０が筒状部材４から抜けてしまうことを防止できる。
充填部材１０は、筒状部材４の厚肉部４ｃの一部に充填しても良いが、薄肉部４ａにのみ充填すると、充填部材１０の使用量を少なくすることができ、ハーメチックシール端子１００の製造コストを低減することができる。なお、薄肉部４ａに充填部材１０が充填されていることにより、薄肉部４ａの強度が向上する。 Glass (borosilicate glass) is used for the filling member 10. The filling member 10 has a mounting surface 13 for mounting a functional element at one end in the axial direction, and the mounting surface 13 is disposed on the thin portion 4 a side of the cylindrical member 4. The filling member 10 is in contact with the entire area of the top surface 8 at one end of the cylindrical member 4. The filling member 10 is filled only in the thin part 4a of the cylindrical member 4, and is in contact with the intermediate surface 4b between the thick part 4c and the thin part 4a.
As described above, in the hermetic seal terminal 100, the filling member 10 is in contact with the entire top surface 8 of the tubular member 4. Compared with the case where the filling member 10 is not in contact with the top surface 8 (in FIG. 2, the mounting surface 13 is formed only inside the thin portion 4 a), the mounting surface 13 existing on the top surface 8. A large surface area of the mounting surface 13 can be secured by the amount of the surface area. Even when the outer diameter of the cylindrical member 4 is limited, a large area can be secured for mounting the functional element.
The filling member 10 is in contact with the intermediate surface 4b between the inner wall surface of the thick portion 4c of the cylindrical member 4 and the inner wall surface of the thin portion 4a. Even if a force in the direction of arrow A is applied to the filling member 10, the filling member 10 can be prevented from coming off the tubular member 4. When the thin portion 4 a is provided at one end of the cylindrical member 4, the effects of increasing the surface area of the mounting surface 13 and preventing the filling member 10 from coming off can be obtained at the same time. As described above, in the present embodiment, the inner diameter of the cylindrical member 4 changes discontinuously between the thick portion 4c and the thin portion 4a, and the intermediate surface 4b is formed. Even if the intermediate surface 4b is formed by continuously changing the inner diameter of the cylindrical member 4 between the thick portion 4c and the thin portion 4a, the intermediate surface 4b is connected to the inner wall surface of the thick portion 4c. The filling member 10 can be prevented from coming off from the tubular member 4 as long as it is not parallel to both the inner wall surfaces of the thin portion 4a.
The filling member 10 may fill a part of the thick part 4c of the cylindrical member 4, but if only the thin part 4a is filled, the amount of the filling member 10 used can be reduced, and the hermetic seal terminal 100 is used. The manufacturing cost can be reduced. In addition, the strength of the thin portion 4a is improved by filling the thin portion 4a with the filling member 10.

一般的に、圧力検知素子等の機能素子は、一対のリード１２間に搭載されることが多い。このため、機能素子を搭載する面積を拡大するために一対のリード１２間の距離を広げると、リード１２と筒状部材４の間の距離が短くなり、電気的に短絡してしまう虞がある。本実施例のように、リード１２が筒状部材４の内壁面１４からの距離が増大する方向に向かって屈曲する部分１２ａを有していると、リード１２と筒状部材４の内壁面１４が接触することを抑制できる。
なお、リード１２が絶縁性の充填部材１０で覆われている部分は、電気的に短絡してしまう虞が少ない。したがって、短絡を防止するためには、リード１２が充填部材１０外に突出している部分において、リード１２と筒状部材４の間の距離を十分に確保することが重要である。本実施例のように、屈曲部分１２ａが絶縁性の充填部材１０内に位置していれば、リード１２が充填部材１０外に突出している部分において、リード１２と筒状部材４の間の距離を十分に確保することができる。
また、屈曲部分１２ａが薄肉部４ａの内側に配置されていると、厚肉部４ｃが形成されていても、リード１２と筒状部材４の内壁面１４が接触することを良好に防止できる。 In general, a functional element such as a pressure detection element is often mounted between a pair of leads 12. For this reason, if the distance between the pair of leads 12 is increased in order to increase the area on which the functional element is mounted, the distance between the leads 12 and the cylindrical member 4 may be shortened, resulting in an electrical short circuit. . When the lead 12 has a portion 12a that bends in the direction in which the distance from the inner wall surface 14 of the tubular member 4 increases as in the present embodiment, the lead 12 and the inner wall surface 14 of the tubular member 4 are provided. Can be prevented from contacting.
It should be noted that the portion where the lead 12 is covered with the insulating filling member 10 is less likely to be electrically short-circuited. Therefore, in order to prevent a short circuit, it is important to secure a sufficient distance between the lead 12 and the tubular member 4 in a portion where the lead 12 protrudes outside the filling member 10. If the bent portion 12a is located in the insulating filling member 10 as in this embodiment, the distance between the lead 12 and the tubular member 4 in the portion where the lead 12 protrudes outside the filling member 10. Can be secured sufficiently.
Further, when the bent portion 12a is disposed inside the thin portion 4a, it is possible to satisfactorily prevent the lead 12 and the inner wall surface 14 of the tubular member 4 from contacting each other even if the thick portion 4c is formed.

（ハーメチックシール端子１００の製造方法）
図４から図８を参照して、ハーメチックシール端子１００の製造方法について説明する。
まず、図４に示しているように、肉厚の厚い筒状部材３を、矢印Ｂ方向に延伸させて所定の外径寸法に調整する。図中の記号４は、所定の外径寸法に延伸された部分を示しており、その外径は筒状部材４（図１を参照）の外径と等しい。次いで、筒状部材４を複数個に分断する。
図５に、図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図を示している。筒状部材４は円筒形状であり、筒状部材４の肉厚は、筒状部材４の厚肉部４ｃ（図１を参照）の厚みに等しい。
図６に、図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図を示している。筒状部材４の肉厚は、軸方向に一定である。 (Method for manufacturing hermetic seal terminal 100)
A method for manufacturing the hermetic seal terminal 100 will be described with reference to FIGS.
First, as shown in FIG. 4, the thick cylindrical member 3 is extended in the direction of arrow B to be adjusted to a predetermined outer diameter. Symbol 4 in the figure indicates a portion extended to a predetermined outer diameter, and the outer diameter is equal to the outer diameter of the cylindrical member 4 (see FIG. 1). Next, the cylindrical member 4 is divided into a plurality of pieces.
FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line VV in FIG. The cylindrical member 4 has a cylindrical shape, and the thickness of the cylindrical member 4 is equal to the thickness of the thick portion 4c (see FIG. 1) of the cylindrical member 4.
FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI in FIG. The thickness of the cylindrical member 4 is constant in the axial direction.

次に、図７に示しているように、筒状部材４の軸方向一端の肉厚を薄く加工し、薄肉部４ａを形成する。なお本実施例では、筒状部材４の内壁面を削って薄肉部４ａを形成している。筒状部材４の薄肉部４ａ以外の部分が厚肉部４ｃになる。肉厚部４ｃの内壁面と薄肉部４ａの内壁面間に中間面４ｂが形成される。 Next, as shown in FIG. 7, the thickness of one end of the cylindrical member 4 in the axial direction is thinned to form the thin portion 4a. In this embodiment, the thin wall portion 4a is formed by cutting the inner wall surface of the cylindrical member 4. The part other than the thin part 4a of the cylindrical member 4 becomes the thick part 4c. An intermediate surface 4b is formed between the inner wall surface of the thick portion 4c and the inner wall surface of the thin portion 4a.

次に、筒状部材４の内側に、絶縁性の充填部材１０と充填部材１０を貫通して伸びているリード１２を充填する。
まず、図８に示しているように、筒状部材４を治具４０上に配置する。治具４０は、基板３４と固定部材３８を有しており、基板３４に窪み３６が形成されている。
筒状部材４は、薄肉部４ａの頂面８と基板３４の表面が接するように配置する。また、固定部材３８が筒状部材４の外周面６に接触するように配置する。その結果、筒状部材４が、軸方向に直交する方向に移動することが禁止される。
次に、筒状部材４の内壁面１４から離れた位置に、筒状部材４を軸方向に通過するリード１２を配置する。リード１２の一端は窪み３６内に収容される。
次に、筒状部材４の内側に溶融したガラスを流し込む。本実施例では、溶融したガラスを、厚肉部４ｃの内壁面と薄肉部４ａの内壁面の間の中間面４ｂに接するまで充填する。なお、溶融したガラスを、中間面４ｂを超えるまで充填してもよい。このときに、充填部材１０を薄肉部４ａの頂面８にも形成したい場合は、固定部材３８と外周面６が接触した状態を維持しつつ筒状部材４を軸方向に移動させ、薄肉部４ａの頂面８と基板３４の間に隙間を形成すると、溶融したガラスがその隙間に流れ込ませることができる。充填部材１０を薄肉部４ａの頂面８にも形成することができる。筒状部材４を軸方向に移動させるには、溶融したガラスに圧力を加えてもよい。溶融したガラスに圧力を加えると、薄肉部４ａの頂面８と基板３４の間に隙間が形成され、溶融したガラスがその隙間に流れ込む。なお、固定部材３８と外周面６が接触しているため、溶融したガラスが筒状部材４の外周面６よりも外側にまで接して形成されることはない。充填部材１０が硬化した後、筒状部材４を治具４０から取り外す。以上の工程によりハーメチックシール端子１００を製造することができる。 Next, the inside of the cylindrical member 4 is filled with the insulating filling member 10 and the lead 12 extending through the filling member 10.
First, as shown in FIG. 8, the tubular member 4 is disposed on the jig 40. The jig 40 includes a substrate 34 and a fixing member 38, and a recess 36 is formed in the substrate 34.
The cylindrical member 4 is disposed so that the top surface 8 of the thin portion 4a and the surface of the substrate 34 are in contact with each other. Further, the fixing member 38 is disposed so as to contact the outer peripheral surface 6 of the cylindrical member 4. As a result, the cylindrical member 4 is prohibited from moving in a direction orthogonal to the axial direction.
Next, the lead 12 that passes through the tubular member 4 in the axial direction is disposed at a position away from the inner wall surface 14 of the tubular member 4. One end of the lead 12 is accommodated in the recess 36.
Next, molten glass is poured into the inside of the cylindrical member 4. In this embodiment, the molten glass is filled until it comes into contact with the intermediate surface 4b between the inner wall surface of the thick wall portion 4c and the inner wall surface of the thin wall portion 4a. Note that the molten glass may be filled until it exceeds the intermediate surface 4b. At this time, when it is desired to form the filling member 10 also on the top surface 8 of the thin portion 4a, the cylindrical member 4 is moved in the axial direction while maintaining the state in which the fixing member 38 and the outer peripheral surface 6 are in contact with each other. When a gap is formed between the top surface 8 of 4a and the substrate 34, the molten glass can flow into the gap. The filling member 10 can also be formed on the top surface 8 of the thin portion 4a. In order to move the cylindrical member 4 in the axial direction, pressure may be applied to the molten glass. When pressure is applied to the molten glass, a gap is formed between the top surface 8 of the thin portion 4a and the substrate 34, and the molten glass flows into the gap. In addition, since the fixing member 38 and the outer peripheral surface 6 are in contact with each other, the molten glass is not formed in contact with the outer side of the outer peripheral surface 6 of the cylindrical member 4. After the filling member 10 is cured, the tubular member 4 is removed from the jig 40. The hermetic seal terminal 100 can be manufactured by the above process.

本実施例の製造方法では、図７に示すように、後の工程で筒状部材４の一端に薄肉部４ａを形成するので、筒状部材３を軸方向に延伸させる工程では、筒状部材４の部分の厚みを大きくした状態で実施することができる。なお、図６の筒状部材４を円柱状の部材から切削加工して形成する場合でも、その切削加工工程において、筒状部材４の厚みを大きくした状態で実施することができる。この結果、筒状部材４の強度が高い状態を持しながら延伸工程又は切削工程を実施できるので、筒状部材４の変形を防止することができ、筒状部材の寸法精度を高くすることができる。
上記第１実施例では、充填部材１０が筒状部材４の頂面８に接している例について説明した。充填部材１０は必ずしも筒状部材４の頂面８に接している必要はない。重要なことは、筒状部材４が厚肉部４ｃと薄肉部４ａを有していることである。ハーメチックシール端子１００と他の部品との接続条件や、ハーメチックシール端子１００の製造を簡単化するために、充填部材１０を筒状部材４の内部にのみ充填してもよい。 In the manufacturing method of the present embodiment, as shown in FIG. 7, since the thin portion 4a is formed at one end of the cylindrical member 4 in a later step, in the step of extending the cylindrical member 3 in the axial direction, the cylindrical member It can implement in the state which enlarged the thickness of 4 part. Even when the cylindrical member 4 of FIG. 6 is formed by cutting from a cylindrical member, the cylindrical member 4 can be formed with the thickness of the cylindrical member 4 increased in the cutting step. As a result, since the stretching process or the cutting process can be performed while the cylindrical member 4 has a high strength, deformation of the cylindrical member 4 can be prevented, and the dimensional accuracy of the cylindrical member can be increased. it can.
In the first embodiment, the example in which the filling member 10 is in contact with the top surface 8 of the tubular member 4 has been described. The filling member 10 is not necessarily in contact with the top surface 8 of the cylindrical member 4. What is important is that the cylindrical member 4 has a thick portion 4c and a thin portion 4a. In order to simplify the connection conditions between the hermetic seal terminal 100 and other components and the manufacture of the hermetic seal terminal 100, the filling member 10 may be filled only into the cylindrical member 4.

（第２実施例）
図９に、ハーメチックシール端子１００を使用している圧力センサ６００の縦断面図を示している。圧力センサ６００は、ハーメチックシール端子１００と第１ハウジング２４と第２ハウジング４４とコネクタ５４を備えている。
ハーメチックシール端子１００の搭載面１３上に圧力検知素子３２が搭載されている。圧力検知素子３２は、ワイヤ２６を介してリード１２の一方の端部に電気的に接続されている。リード１２の他方の端部に、ワイヤ４６が接続されており、ワイヤ４６によってリード１２と回路チップ４８が電気的に接続されている。
筒状部材４の外周面６（図１を参照）と第１ハウジング２４の内壁面がはんだ接合で固定されている。第１ハウジング２４は、ダイヤフラム３０を備えている。ダイヤフラム３０に圧力が加えられると、伝達部材２８を介して、圧力検知素子３２に力が加えられる。圧力検知素子３２に加えられた力は、回路チップ４８で演算処理される。
第１ハウジング２４は、第２ハウジング４４に嵌めこまれており、第２ハウジング４４の頂面５８と第１ハウジング２４がはんだ接合で固定されている。第２ハウジング４４の外周面の一部には、ねじ４２が形成されている。
第２ハウジング４４の外周の一部には、中空のナット５０も形成されている。ナット５０内にコネクタ５４が嵌め込まれており、コネクタ５４に、基板５２が嵌め込まれている。基板５２に、３本のピン５６が接続されている。回路チップ４８は、基板５２上に配置されている。
圧力センサ６００は、様々な油圧機構機器の油圧ラインの圧力を検知するために使用される。ねじ４２を、油圧ラインのパイプに形成されたねじ穴に固定し、油圧機構機器内の圧力の信号をピン５６から外部に伝達することができる。 (Second embodiment)
FIG. 9 shows a longitudinal sectional view of a pressure sensor 600 using the hermetic seal terminal 100. The pressure sensor 600 includes a hermetic seal terminal 100, a first housing 24, a second housing 44, and a connector 54.
A pressure detection element 32 is mounted on the mounting surface 13 of the hermetic seal terminal 100. The pressure detection element 32 is electrically connected to one end of the lead 12 via the wire 26. A wire 46 is connected to the other end of the lead 12, and the lead 12 and the circuit chip 48 are electrically connected by the wire 46.
The outer peripheral surface 6 (see FIG. 1) of the cylindrical member 4 and the inner wall surface of the first housing 24 are fixed by soldering. The first housing 24 includes a diaphragm 30. When pressure is applied to the diaphragm 30, force is applied to the pressure detection element 32 via the transmission member 28. The force applied to the pressure detection element 32 is processed by the circuit chip 48.
The first housing 24 is fitted into the second housing 44, and the top surface 58 of the second housing 44 and the first housing 24 are fixed by soldering. A screw 42 is formed on a part of the outer peripheral surface of the second housing 44.
A hollow nut 50 is also formed on a part of the outer periphery of the second housing 44. A connector 54 is fitted in the nut 50, and a substrate 52 is fitted in the connector 54. Three pins 56 are connected to the substrate 52. The circuit chip 48 is disposed on the substrate 52.
The pressure sensor 600 is used to detect the pressure of the hydraulic line of various hydraulic mechanism devices. The screw 42 is fixed to a screw hole formed in the pipe of the hydraulic line, and a signal of pressure in the hydraulic mechanism device can be transmitted from the pin 56 to the outside.

圧力センサ６００の小型化を進めると、第１ハウジング２４も小型にしなければならない。その場合、ハーメチックシール端子１００を収容する空間も小さくなる。前記したように、ハーメチックシール端子１００は、薄肉部４ａが筒状部材４の軸方向の一端にのみ設けられているので、筒状部材４の強度を確保するとともに、圧力検知素子３２を搭載する面積を広く確保することができる。ハーメチックシール端子１００の形態は、小型化に対応するために有用な技術であり、圧力センサ６００の小型化に寄与することができる。 As the pressure sensor 600 is further reduced in size, the first housing 24 must also be reduced in size. In that case, the space for accommodating the hermetic seal terminal 100 is also reduced. As described above, since the hermetic seal terminal 100 is provided with the thin portion 4a only at one end in the axial direction of the tubular member 4, the strength of the tubular member 4 is ensured and the pressure detecting element 32 is mounted. A large area can be secured. The form of the hermetic seal terminal 100 is a useful technique for coping with downsizing, and can contribute to downsizing of the pressure sensor 600.

（第３実施例）
図１０を参照してハーメチックシール端子２００について説明する。ハーメチックシール端子２００は、ハーメチックシール端子１００の変形例であり、ハーメチックシール端子１００と同じ構成については、下二桁に同じ参照番号を付すことによって説明を省略する。
ハーメチックシール端子２００では、筒状部材２０４の薄肉部２０４ａの厚みが、軸方向の一端（頂面２０８側）で薄く、軸方向の他端では厚く形成されていることを特徴としている。薄肉部２０４ａの内壁が、軸方向に沿って傾斜しており、傾斜面２１６が形成されている。充填部材２１０は、薄肉部２０４ａの内壁（傾斜面２１６）に接している。傾斜面２１６が存在することにより、ハーメチック端子２００でも、充填部材２１０が筒状部材２０４から抜けることを防止できる。 (Third embodiment)
The hermetic seal terminal 200 will be described with reference to FIG. The hermetic seal terminal 200 is a modification of the hermetic seal terminal 100, and the description of the same configuration as the hermetic seal terminal 100 is omitted by attaching the same reference numerals to the last two digits.
The hermetic seal terminal 200 is characterized in that the thickness of the thin portion 204a of the cylindrical member 204 is thin at one end (on the top surface 208 side) in the axial direction and thick at the other end in the axial direction. The inner wall of the thin portion 204a is inclined along the axial direction, and an inclined surface 216 is formed. The filling member 210 is in contact with the inner wall (the inclined surface 216) of the thin portion 204a. The presence of the inclined surface 216 can prevent the filling member 210 from coming off the cylindrical member 204 even in the hermetic terminal 200.

（第４実施例）
図１１を参照してハーメチックシール端子３００について説明する。ハーメチックシール端子３００は、ハーメチックシール端子１００の変形例であり、ハーメチックシール端子１００と同じ構成については、下二桁に同じ参照番号を付すことによって説明を省略する。
ハーメチックシール端子３００では、筒状部材３０４の内壁が、軸方向の一端から他端まで軸方向に沿って連続的に傾斜している傾斜面３１６であることを特徴としている。本実施例のハーメチックシール端子３００では、厚肉部３０４ｃの内壁面と薄肉部３０４ａの内壁面の間に明確な境界がみられない。しかし、筒状部材３０４の軸方向の一端が残部よりも薄く形成されており、筒状部材３０４を全体として捉えれば、筒状部材３０４の軸方向の一端側が薄肉部３０４ａであり、筒状部材３０４の軸方向の他端側が厚肉部３０４ｃと観念することができる。傾斜面３１６が存在することにより、ハーメチックシール端子３００でも、充填部材３１０が筒状部材３０４から抜けることを防止できる。 (Fourth embodiment)
The hermetic seal terminal 300 will be described with reference to FIG. The hermetic seal terminal 300 is a modification of the hermetic seal terminal 100, and the same configuration as the hermetic seal terminal 100 is denoted by the same reference numerals in the last two digits, and the description thereof is omitted.
The hermetic seal terminal 300 is characterized in that the inner wall of the tubular member 304 is an inclined surface 316 that is continuously inclined along the axial direction from one end to the other end in the axial direction. In the hermetic seal terminal 300 of this embodiment, no clear boundary is observed between the inner wall surface of the thick portion 304c and the inner wall surface of the thin portion 304a. However, one end in the axial direction of the cylindrical member 304 is formed thinner than the remaining portion, and if one end of the cylindrical member 304 is grasped as a whole, the one end side in the axial direction of the cylindrical member 304 is the thin portion 304a. The other end side in the axial direction of 304 can be considered as the thick portion 304c. The presence of the inclined surface 316 can prevent the filling member 310 from coming off the cylindrical member 304 even in the hermetic seal terminal 300.

（第５実施例）
図１２を参照してハーメチックシール端子４００について説明する。ハーメチックシール端子４００は、ハーメチックシール端子１００の変形例であり、ハーメチックシール端子１００と同じ構成については、下二桁に同じ参照番号を付すことによって説明を省略する。
ハーメチックシール端子４００では、筒状部材４０４の内壁が、厚肉部４０４ｃの内壁面と薄肉部４０４ａの内壁面の間に傾斜面（中間面）４１６を備えていることを特徴としている。傾斜面４１６では、筒状部材４０４の内径が連続的に変化している。傾斜面４１６が存在することにより、ハーメチックシール端子４００でも、充填部材４１０が筒状部材４０４から抜けることを防止できる。 (5th Example)
The hermetic seal terminal 400 will be described with reference to FIG. The hermetic seal terminal 400 is a modification of the hermetic seal terminal 100, and the same configuration as the hermetic seal terminal 100 is denoted by the same reference numerals in the last two digits, and the description thereof is omitted.
The hermetic seal terminal 400 is characterized in that the inner wall of the tubular member 404 includes an inclined surface (intermediate surface) 416 between the inner wall surface of the thick portion 404c and the inner wall surface of the thin portion 404a. In the inclined surface 416, the inner diameter of the cylindrical member 404 is continuously changing. The presence of the inclined surface 416 can prevent the filling member 410 from coming off the cylindrical member 404 even in the hermetic seal terminal 400.

（第６実施例）
図１３を参照してハーメチックシール端子５００について説明する。ハーメチックシール端子５００は、ハーメチックシール端子１００の変形例であり、ハーメチックシール端子１００と同じ構成については、下二桁に同じ参照番号を付すことによって説明を省略する。
ハーメチックシール端子５００では、筒状部材５０４の内壁面５１４が軸方向に一定であり、中間面５０４ｂが、厚肉部５０４ｃの外壁面と薄肉部５０４ａの外壁面の間に形成されていることを特徴としている。本実施例のハーメチック端子５００では、筒状部材５０４の薄肉部５０４ａが、ハウジングの収容部に収容される。即ち、ハーメチックシール端子５００は、ハウジングの収容部の内径寸法に応じた外径寸法の局所領域（薄肉部５０４ａ）を備えていることを特徴としている。
ハーメチックシール端子５００の形態によると、筒状部材５０４の延伸成形する工程では、筒状部材５０４の外径を大きく（厚肉部５０４ｃの外径）及び筒状部材５０４の肉厚を大きくした状態で実施し、後にハウジングの収容部に合わせて筒状部材５０４の一端を薄く加工する。このため、ハーメチックシール端子５００の形態によると、延伸成形する工程では、筒状部材５０４の変形を防止することができる。なお、ハーメチックシール端子５００の薄肉部５０４ａに、傾斜面を形成してもよい。充填部材５１０が筒状部材５０４から抜けることを防止できる。 (Sixth embodiment)
The hermetic seal terminal 500 will be described with reference to FIG. The hermetic seal terminal 500 is a modification of the hermetic seal terminal 100, and the same configuration as the hermetic seal terminal 100 is denoted by the same reference numeral in the last two digits and the description thereof is omitted.
In the hermetic seal terminal 500, the inner wall surface 514 of the cylindrical member 504 is constant in the axial direction, and the intermediate surface 504b is formed between the outer wall surface of the thick portion 504c and the outer wall surface of the thin portion 504a. It is a feature. In the hermetic terminal 500 of the present embodiment, the thin portion 504a of the cylindrical member 504 is accommodated in the accommodating portion of the housing. That is, the hermetic seal terminal 500 is characterized by including a local region (thin wall portion 504a) having an outer diameter dimension corresponding to the inner diameter dimension of the housing accommodating portion.
According to the form of the hermetic seal terminal 500, in the step of extending and forming the cylindrical member 504, the outer diameter of the cylindrical member 504 is increased (the outer diameter of the thick portion 504c) and the thickness of the cylindrical member 504 is increased. The one end of the cylindrical member 504 is processed thinly in accordance with the housing portion of the housing later. For this reason, according to the form of the hermetic seal terminal 500, it is possible to prevent the tubular member 504 from being deformed in the stretch forming step. An inclined surface may be formed in the thin portion 504a of the hermetic seal terminal 500. The filling member 510 can be prevented from coming off the cylindrical member 504.

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
上記実施例では、筒状部材の薄肉部にのみ充填部材が充填されている。しかしながら、筒状部材の厚肉部にも充填部材が充填されていてもよい。この場合、筒状部材の厚肉部の強度を向上させることができる。
第１実施例では、筒状部材の薄肉部の頂面の全域に充填部材が接して形成されているが、筒状部材の薄肉部の頂面の一部分に充填部材が形成されていてもよい。この場合でも、薄肉部の頂面に存在する搭載面の表面積分だけ搭載面の表面積を大きく確保することができる。また、充填部材が筒状部材の外壁面に接することを確実に防止することもできる。
第２実施例において、第１実施例のハーメチックシール端子に代えて、第３実施例から第６実施例のいずれかのハーメチックシール端子を利用することもできる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数の目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。 Specific examples of the present invention have been described in detail above, but these are merely examples and do not limit the scope of the claims. The technology described in the claims includes various modifications and changes of the specific examples illustrated above.
In the said Example, the filling member is filled only in the thin part of the cylindrical member. However, the thick member of the cylindrical member may be filled with the filling member. In this case, the strength of the thick part of the cylindrical member can be improved.
In the first embodiment, the filling member is formed in contact with the entire top surface of the thin portion of the cylindrical member, but the filling member may be formed on a part of the top surface of the thin portion of the cylindrical member. . Even in this case, a large surface area of the mounting surface can be ensured by the surface integration of the mounting surface existing on the top surface of the thin portion. Moreover, it can also prevent reliably that a filling member contacts the outer wall surface of a cylindrical member.
In the second embodiment, the hermetic seal terminal of any of the third to sixth embodiments can be used instead of the hermetic seal terminal of the first embodiment.
In addition, the technical elements described in the present specification or drawings exhibit technical usefulness alone or in various combinations, and are not limited to the combinations described in the claims at the time of filing. In addition, the technology exemplified in the present specification or the drawings can achieve a plurality of objects at the same time, and has technical utility by achieving one of the objects.

第１実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。The longitudinal cross-sectional view of the hermetic seal terminal of 1st Example is shown. 第１実施例のハーメチックシール端子を、図１の矢印Ａ方向に観察した外観図を示す。The external view which observed the hermetic seal terminal of 1st Example in the arrow A direction of FIG. 1 is shown. 第１実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。第３実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。The longitudinal cross-sectional view of the hermetic seal terminal of 1st Example is shown. The longitudinal cross-sectional view of the hermetic seal terminal of 3rd Example is shown. 第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。The manufacturing process of the hermetic seal terminal of 1st Example is shown. 第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。The manufacturing process of the hermetic seal terminal of 1st Example is shown. 第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。The manufacturing process of the hermetic seal terminal of 1st Example is shown. 第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。The manufacturing process of the hermetic seal terminal of 1st Example is shown. 第１実施例のハーメチックシール端子の製造工程を示す。The manufacturing process of the hermetic seal terminal of 1st Example is shown. 第２実施例の圧力センサの縦断面図を示す。The longitudinal cross-sectional view of the pressure sensor of 2nd Example is shown. 第３実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。The longitudinal cross-sectional view of the hermetic seal terminal of 3rd Example is shown. 第４実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。The longitudinal cross-sectional view of the hermetic seal terminal of 4th Example is shown. 第５実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。The longitudinal cross-sectional view of the hermetic seal terminal of 5th Example is shown. 第６実施例のハーメチックシール端子の縦断面図を示す。The longitudinal cross-sectional view of the hermetic seal terminal of 6th Example is shown.

Explanation of symbols

４、２０４、３０４、４０４、５０４：筒状部材
４ａ、２０４ａ、３０４ａ、４０４ａ、５０４ａ：筒状部材の薄肉部
４ｃ、２０４ｃ、３０４ｃ、４０４ｃ、５０４ｃ：筒状部材の厚肉部
１０、２１０、３１０、４１０、５１０：充填部材
１２、２１２、３１２、４１２、５１２：リード
１００、２００、３００、４００、５００：ハーメチックシール端子
６００：圧力センサ 4, 204, 304, 404, 504: Cylindrical members 4a, 204a, 304a, 404a, 504a: Thin portions 4c, 204c, 304c, 404c, 504c of the cylindrical members: Thick portions 10, 210 of the cylindrical members, 310, 410, 510: Filling members 12, 212, 312, 412, 512: Leads 100, 200, 300, 400, 500: Hermetic seal terminal 600: Pressure sensor

Claims

A hermetic seal end element for mounting a functional element,
A metal tubular member having a thick part and a thin part;
An insulating filling member filled inside the tubular member;
A conductive lead extending in the axial direction through the filling member, and
The thin portion is provided at one end of the cylindrical member in the axial direction,
The thickness of the thin portion is formed thin at the one end in the axial direction and thick at the other end in the axial direction,
The inner wall surface of the thin wall portion is inclined along the axial direction,
The filling member is in contact with the inner wall surface of the thin portion, and has a mounting surface for mounting the functional element,
The mounting surface is a hermetic seal terminal arranged on the one end side in the axial direction.

A hermetic seal terminal for mounting functional elements,
A metal tubular member having a thick part and a thin part;
An insulating filling member filled inside the tubular member;
A conductive lead extending in the axial direction through the filling member, and
The thin portion is provided at one end of the cylindrical member in the axial direction,
The filling member has a mounting surface for mounting the functional element and is in contact with the top surface of the one end of the cylindrical member,
The mounting surface is a hermetic seal terminal arranged on the one end side in the axial direction.

A hermetic seal terminal for mounting functional elements,
A metal tubular member having a thick part and a thin part;
An insulating filling member filled inside the tubular member;
A conductive lead that extends in the axial direction through the filling member and has a portion that bends in a direction in which the distance from the inner wall surface of the cylindrical member increases ,
The thin portion is provided at one end of the cylindrical member in the axial direction,
The filling member has a mounting surface for mounting the functional element,
The mounting surface is a hermetic seal terminal arranged on the one end side in the axial direction.

A hermetic seal terminal for mounting functional elements,
A metal tubular member having a thick part and a thin part;
An insulating filling member filled inside the tubular member;
A conductive lead extending in the axial direction through the filling member, and
The thin portion is provided at one end of the cylindrical member in the axial direction,
Screws are provided on the outer peripheral surface of the thick part,
The filling member has a mounting surface for mounting the functional element,
The mounting surface is a hermetic seal terminal arranged on the one end side in the axial direction .

An intermediate surface is formed on the inner wall surface of the cylindrical member between the inner wall surface of the thick wall portion and the inner wall surface of the thin wall portion and non-parallel to both the inner wall surface of the thick wall portion and the inner wall surface of the thin wall portion. And
The hermetic seal terminal according to any one of claims 1 to 4, wherein the filling member is in contact with an intermediate surface thereof .

The hermetic seal terminal according to any one of claims 1 to 5, wherein the outer diameter of the cylindrical member is constant in the axial direction .