JP4894370B2 - Color filter correction method and correction device - Google Patents
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- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims description 87
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 53
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 16
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 18
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 17
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- VSQYNPJPULBZKU-UHFFFAOYSA-N mercury xenon Chemical compound [Xe].[Hg] VSQYNPJPULBZKU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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Description
本発明は、カラーフィルタの欠陥の修正に関するものであり、特に、ＵＶ光を熱源として用いたカラーフィルタの欠陥修正にて、ＵＶ修正液の硬化不足による不具合を発生させないカラーフィルタの修正方法及び修正装置に関する。 The present invention relates to correction of defects in a color filter, and in particular, a correction method and correction of a color filter that does not cause a problem due to insufficient curing of the UV correction liquid in the correction of defects in the color filter using UV light as a heat source. Relates to the device.
液晶表示装置やプラズマディスプレイパネルにおいて、カラー表示、反射率の低減、コントラストの改善、分光特性制御などの目的にカラーフィルタを用いることは有用な手段となっている。この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、画素として形成されて使用される。
図１は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図２は、図１に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
In a liquid crystal display device or a plasma display panel, it is a useful means to use a color filter for purposes such as color display, reflectance reduction, contrast improvement, and spectral characteristic control. In many cases, the color filter used in this display device is formed and used as a pixel.
FIG. 1 is a plan view schematically showing an example of a color filter used in a liquid crystal display device. 2 is a cross-sectional view of the color filter shown in FIG. 1 taken along line XX ′.
図１、及び図２に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板（５０）上にブラックマトリックス（５１）、着色画素（５２）が順次に形成されたものである。
図１、及び図２はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（５２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the color filter used in the liquid crystal display device has a black matrix (51) and colored pixels (52) sequentially formed on a glass substrate (50).
FIG. 1 and FIG. 2 schematically show a color filter, and 12 colored pixels (52) are represented. In an actual color filter, for example, several hundreds are displayed on a 17-inch diagonal screen. A large number of colored pixels of about μm are arranged.
ブラックマトリックス（５１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（５２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものである。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
The black matrix (51) is a matrix having light shielding properties, and the colored pixels (52) have, for example, red, green, and blue filter functions.
The black matrix determines the position of the colored pixels of the color filter, makes the size uniform, and shields unwanted light when used in a display device, making the image of the display device uniform and uniform. In addition, it has a function of making an image with improved contrast.
このブラックマトリックス（５１）は、ガラス基板（５０）上にブラックマトリックスの材料として樹脂を用いた例である。
このブラックマトリックス（５１）は、ガラス基板（５０）上に、例えば、ブラックマトリックス形成用の黒色フォトレジストを用いてフォトリソグラフィ法によって形成されたものである。
This black matrix (51) is an example in which a resin is used as a black matrix material on a glass substrate (50).
The black matrix (51) is formed on the glass substrate (50) by, for example, a photolithography method using a black photoresist for forming a black matrix.
また、着色画素（５２）は、この樹脂ブラックマトリックス（５１）が形成されたガラス基板（５０）上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型の着色フォトレジストを用いたフォトリソグラフィ法によって、すなわち、着色フォトレジストの塗膜へのフォトマスクを介した露光、現像処理によって着色画素として形成されたものである。赤色、緑色、青色の着色画素は順次に形成されている。 The colored pixel (52) is a photolithography method using a negative colored photoresist in which a pigment such as a pigment is dispersed on the glass substrate (50) on which the resin black matrix (51) is formed. That is, it is formed as a colored pixel by exposure through a photomask to a coating film of a colored photoresist, and development processing. Red, green, and blue colored pixels are sequentially formed.
上記樹脂ブラックマトリックス（５１）或いは着色画素（５２）を形成する際に、画素（パターン）には欠陥が生じることがある。画素欠陥は、主として、画素の一部が欠落した白欠陥と異物の付着などによる黒欠陥に分類される。
白欠陥は、例えば、ガラス基板（５０）表面のフォトレジストの弾き、フォトレジスト中の気泡、画素上の異物の脱落に伴う膜剥がれなどにより生じる画素の欠落部、すなわち、ピンホールである。ピンホールのあるカラーフィルタが液晶表示装置に組み込まれると、白点として光って観視されるので表示品質を損ねる。
When the resin black matrix (51) or the colored pixel (52) is formed, the pixel (pattern) may be defective. The pixel defect is mainly classified into a white defect in which a part of the pixel is missing and a black defect due to adhesion of foreign matter.
The white defect is, for example, a missing portion of a pixel, that is, a pinhole caused by flipping of the photoresist on the surface of the glass substrate (50), bubbles in the photoresist, or film peeling due to the removal of foreign matter on the pixel. When a color filter having a pinhole is incorporated in a liquid crystal display device, it is viewed as a white spot, which impairs display quality.
また、黒欠陥は、工程中で発生するパーティクル、作業場に浮遊する塵埃などが付着し
たものであり、画素上では突起となることが多い。この突起の高さが液晶表示装置の対向基板に接触するような高さであると、短絡を起こし表示品質を損ねる。従って、樹脂ブラックマトリックス（５１）或いは着色画素（５２）を形成する際に発生した白欠陥や黒欠陥などの画素（パターン）欠陥に対しては修正が施される
一般的な着色画素の大きさは、（６０〜１２０μｍ）×（１００〜３００μｍ）□の大きさであり、修正の対象となる欠陥の大きさは１０μｍφ程度以上となる。
In addition, black defects are particles that are generated in the process, dust that is floating in the work place, and the like, and often become protrusions on the pixel. If the height of the projection is high enough to come into contact with the counter substrate of the liquid crystal display device, a short circuit is caused and display quality is impaired. Therefore, the size of a general colored pixel that is corrected for pixel (pattern) defects such as white defects and black defects generated when the resin black matrix (51) or colored pixels (52) are formed. Is (60 to 120 μm) × (100 to 300 μm) □, and the size of the defect to be corrected is about 10 μmφ or more.
ピンホールのように、着色画素の一部が欠落した欠陥に対しては、例えば、先端部を平坦状に加工した針の先端に修正液を付着させて、その修正液をピンホールに押しつけて修正する方法、ディスペンサーによって修正液を必要量滴下する方法、インクジェットにより修正液を吐出させる方法、欠陥部にフィルムを転写させる方法などが提案されている。また異物が付着、あるいは埋め込まれている場合には、針にて削り取ったり、レーザで異物を除去した後に、上記針、ディスペンサー、インクジェット、フィルム転写等の方法により修正が行なわれる。 For a defect in which a part of a colored pixel is missing like a pinhole, for example, a correction liquid is attached to the tip of a needle whose tip is processed into a flat shape, and the correction liquid is pressed against the pinhole. A method for correcting, a method of dropping a required amount of correction liquid with a dispenser, a method of discharging the correction liquid by ink jet, a method of transferring a film to a defective portion, and the like have been proposed. When foreign matter is attached or embedded, correction is performed by a method such as the above-described needle, dispenser, ink jet, or film transfer after scraping with a needle or removing the foreign matter with a laser.
この際の、修正液には、例えば、ＵＶ硬化型の修正液が用いられる。ＵＶ硬化型の修正液（ＵＶ修正液）を用いた際の修正液の硬化方法には、１）被修正カラーフィルタの全面にＵＶ光を照射して硬化させる方法と、２）被修正カラーフィルタの修正部に局所的にＵＶ光を照射して硬化させる方法に区分される。
被修正カラーフィルタの全面にＵＶ光を照射する方法では、その所要出力は比較的大きなものとなるので、画素欠陥を修正する修正装置とは別に、ＵＶ照射装置を設けることになる。
一方、局所的にＵＶ光を照射する方法では、その所要出力は比較的小さいために、修正装置に内蔵させることが可能になり、設置スペースの問題は少ない。
In this case, for example, a UV curable correction liquid is used as the correction liquid. The curing method of the correction liquid when the UV curing type correction liquid (UV correction liquid) is used includes 1) a method of irradiating the entire surface of the color filter to be corrected with UV light and 2) a color filter to be corrected. It is classified into a method of locally irradiating and curing the UV light to the correction part.
In the method of irradiating the entire surface of the color filter to be corrected with UV light, the required output becomes relatively large. Therefore, a UV irradiation device is provided separately from the correction device for correcting pixel defects.
On the other hand, in the method of locally irradiating UV light, since the required output is relatively small, it can be incorporated in the correction device, and there are few problems of installation space.
ＵＶ光の光源としては、水銀ランプなどを用いたＵＶ光源が広く用いられている。水銀ランプは点灯した累積時間とともに劣化する。すなわち、水銀ランプの発光強度は、点灯した累積時間とともに低下する。
従って、実際の修正作業において、ＵＶ修正液を硬化させる際の照射時間を一定に設定したままで長期間にわたって修正作業を継続すると、修正部に照射した積算光量は次第に減少したものとなる。
そして、ついには、ＵＶ修正液の硬化不足による不具合、例えば、硬化不足のＵＶ修正液が欠落部（修正部）から剥離するなどの問題が発生する。
Accordingly, in the actual correction work, if the correction work is continued over a long period of time while the irradiation time for curing the UV correction liquid is set to be constant, the integrated light amount irradiated to the correction portion gradually decreases.
Eventually, problems due to insufficient curing of the UV correction liquid, for example, problems such as peeling of the UV correction liquid insufficiently cured from the missing part (correction part) occur.
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、水銀ランプをＵＶ光源として用いたカラーフィルタの欠陥の修正にて、水銀ランプを長期間にわたって使用しても、水銀ランプの劣化に伴うＵＶ修正液の硬化不足による不具合を発生させることのない、すなわち、照射したＵＶ光の積算光量を一定に保ち、常に適正な硬化を行うことのできるカラーフィルタの修正方法及び修正装置を提供することを課題とするものである。
これにより、長期間にわたって修正作業を継続しても、ＵＶ修正液の硬化不足による不具合は解消されたものとなる。
The present invention has been made in view of the above problems, and even when a mercury lamp is used over a long period of time by correcting a defect in a color filter using the mercury lamp as a UV light source, the UV associated with the deterioration of the mercury lamp. To provide a correction method and a correction device for a color filter that do not cause a problem due to insufficient curing of the correction liquid, that is, can keep the integrated light amount of irradiated UV light constant and always perform proper curing. It is to be an issue.
Thereby, even if the correction work is continued for a long period of time, the problem due to insufficient curing of the UV correction liquid is solved.
本発明は、ガラス基板上に、ブラックマトリックス、着色画素が順次に形成されたカラーフィルタの一部が欠落したピンホールや、異物を除去した後の一部が欠落した欠落部をＵＶ修正液で充填し、該ＵＶ修正液にＵＶ光を照射して硬化させるカラーフィルタの欠陥の修正方法において、
１）予め、前記欠落部に充填したＵＶ修正液を適正に硬化させるＵＶ光の基準積算光量を設定しておき、
２）被修正カラーフィルタの一部が欠落した欠落部にＵＶ修正液を充填し、該ＵＶ修正液にＵＶ光を照射して硬化させる際に、使用中に劣化する光源からの該ＵＶ光の照射面での照度を測定し、
３）該ＵＶ修正液へのＵＶ光の照射は、上記測定した照度をもとに、下記に示される数式（１）により得られる照射時間の照射を行い、
該ＵＶ修正液にＵＶ光の基準積算光量を与えることを特徴とするカラーフィルタの修正方法である。
The present invention uses a UV correction liquid to remove pinholes in which a part of a color filter in which a black matrix and colored pixels are sequentially formed on a glass substrate is missing, or missing parts after removal of foreign matter. In a method of correcting defects in a color filter that is filled and cured by irradiating the UV correction liquid with UV light,
1) A reference integrated light amount of UV light that appropriately cures the UV correction liquid filled in the missing portion is set in advance.
2) When the UV correction liquid is filled in the missing part where a part of the color filter to be corrected is missing and the UV correction liquid is irradiated with UV light and cured, the UV light from the light source that deteriorates during use Measure the illuminance on the irradiated surface,
3) Irradiation of the UV light to the UV correction liquid is performed based on the measured illuminance for the irradiation time obtained by the following mathematical formula (1),
A correction method for a color filter, characterized in that a reference integrated light quantity of UV light is given to the UV correction liquid.
また、本発明は、上記発明によるカラーフィルタの修正方法において、１）前記照度を測定する照度計を、被修正カラーフィルタを載置するステージの周辺部に設け、
２）前記照度を測定する際のＵＶ光は、該照度計の上方から照射して照度を測定し、
３）該測定した照度をもとに、前記数式（１）により得られる照射時間を算出する算出手段を用いることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のカラーフィルタの修正方法である。
Further, the present invention is the color filter correction method according to the above invention, in which 1) an illuminometer for measuring the illuminance is provided in a peripheral portion of the stage on which the corrected color filter is placed;
2) The UV light for measuring the illuminance is irradiated from above the illuminometer to measure the illuminance,
3) The method for correcting a color filter according to claim 1 or 2, wherein calculation means for calculating an irradiation time obtained by the mathematical expression (1) based on the measured illuminance is used.
また、本発明は、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載するカラーフィルタの修正方法を用いたことを特徴とする修正装置である。 Moreover, this invention is a correction apparatus using the correction method of the color filter as described in any one of Claims 1-3.
本発明は、１）予め、欠落部に充填したＵＶ修正液を適正に硬化させるＵＶ光の基準積算光量を設定しておき、２）被修正カラーフィルタの一部が欠落した欠落部にＵＶ修正液を充填し、該ＵＶ修正液にＵＶ光を照射して硬化させる際に、使用中に劣化する光源からの該ＵＶ光の照射面での照度を測定し、３）該ＵＶ修正液へのＵＶ光の照射は、上記測定した照度をもとに、前記数式（１）により得られる照射時間の照射を行い、該ＵＶ修正液にＵＶ光の基準積算光量を与えるカラーフィルタ用ＵＶ修正液の硬化方法であるので、水銀ランプを長期間にわたって使用しても、水銀ランプの劣化に伴うＵＶ修正液の硬化不足による不具合を発生させることのない、すなわち、照射したＵＶ光の積算光量を一定に保ち、常に適正な硬化を行うことのできるカラーフィルタの修正方法となる。 In the present invention, 1) a reference integrated light amount of UV light that properly cures the UV correction liquid filled in the missing portion is set in advance, and 2) UV correction is performed on the missing portion where a part of the color filter to be corrected is missing. When the UV correction liquid is filled and irradiated with UV light and cured, the illuminance on the irradiation surface of the UV light from the light source that deteriorates during use is measured. 3) To the UV correction liquid The irradiation of UV light is performed by irradiating the irradiation time obtained by Equation (1) based on the measured illuminance, and providing the UV correction liquid with a reference integrated light quantity of UV light. Since it is a curing method, even if the mercury lamp is used for a long period of time, it does not cause a problem due to insufficient curing of the UV correction liquid accompanying the deterioration of the mercury lamp, that is, the integrated light amount of the irradiated UV light is kept constant. Maintain and always perform proper curing It can be corrected method of the color filter.
また、本発明は、前記照度はＵＶ修正液の感度から定まる下限照度以上であり、照射時間は作業効率から定まる上限時間以下であるカラーフィルタ用ＵＶ修正液の硬化方法なので、感度の異なるＵＶ修正液を用いてもＵＶ修正液を適正に硬化させることができ、また生産量に支障をきたすことなくＵＶ修正液を適正に硬化させることができるカラーフィルタの修正方法となる。 In the present invention, the illuminance is equal to or higher than the lower limit illuminance determined from the sensitivity of the UV correction solution, and the irradiation time is equal to or shorter than the upper limit time determined from work efficiency. Even if the liquid is used, the UV correction liquid can be properly cured, and the correction method of the color filter can be appropriately cured without causing any problem in the production amount.
また、本発明は、上記カラーフィルタの修正方法を用いた修正装置であるので、照射したＵＶ光の積算光量を一定に保ち、常に適正な硬化を行うことのできるカラーフィルタの修正装置となる。 In addition, since the present invention is a correction device using the above-described color filter correction method, the color filter correction device is capable of always performing appropriate curing while keeping the integrated light quantity of the irradiated UV light constant.
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図３は、本発明によるカラーフィルタの修正方法において用いられる、被修正カラーフィルタを載置するステージの一例を示す平面図である。
図３に示すように、このステージ（１０）には被修正カラーフィルタ（２０）が載置されており、照度を測定する照度計（３０）は、ステージ（１０）の周辺部、図３中、ステージ（１０）の左方に設けられている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
FIG. 3 is a plan view showing an example of a stage on which a color filter to be corrected is used, which is used in the method for correcting a color filter according to the present invention.
As shown in FIG. 3, a color filter (20) to be corrected is placed on the stage (10), and an illuminometer (30) for measuring illuminance is a peripheral part of the stage (10), shown in FIG. , Provided on the left side of the stage (10).
カラーフィルタの一部が欠落した欠落部にＵＶ修正液を充填し、このＵＶ修正液にＵＶ光を照射して硬化させる際には、図示せぬＵＶ照射装置に接続され、定位置にあるＵＶライトガイドが上記欠落部に充填されたＵＶ修正液の上方に移動し、ＵＶ修正液の上方より、その先端にある光射出部からＵＶ光を照射し、局所的にＵＶ光を照射して硬化させる方法の例である。 When the UV correction liquid is filled in the missing part where a part of the color filter is missing, and the UV correction liquid is irradiated with UV light and cured, the UV correction liquid is connected to a UV irradiation apparatus (not shown) and is in a fixed position. The light guide moves above the UV correction liquid filled in the missing part, and from above the UV correction liquid, UV light is irradiated from the light emitting part at the tip, and the UV light is locally irradiated and cured. It is an example of the method to make it.
本発明においては、予め、前記欠落部に充填したＵＶ修正液を適正に硬化させるＵＶ光の基準積算光量を設定しておく。ＵＶ修正液の硬化の一例は、先ず、被修正カラーフィルタの一部が欠落した欠落部にＵＶ修正液を充填し、このＵＶ修正液にＵＶ光を照射して硬化させる際に、このＵＶ光の照射面での照度を測定する。
ＵＶライトガイドの光射出部は、図３に示す照度計（３０）の上方に移動して、照度計（３０）にＵＶ光の照射する。すなわち、水銀ランプの発光強度の変化（低下）を、受光する照射面での照射の変化（低下）でとらまえる。
In the present invention, a reference integrated light amount of UV light that appropriately cures the UV correction liquid filled in the missing portion is set in advance. An example of curing of the UV correction liquid is as follows. First, the UV correction liquid is filled in a missing portion where a part of the color filter to be corrected is missing, and the UV correction liquid is irradiated with the UV light to be cured. Measure the illuminance on the irradiated surface.
The light emission part of the UV light guide moves above the illuminance meter (30) shown in FIG. 3 and irradiates the illuminance meter (30) with UV light. That is, the change (decrease) in the emission intensity of the mercury lamp is captured by the change (decrease) in irradiation on the irradiated surface.
次に、測定した照射面での照度（変化（低下）した照射）をもとに、与える積算光量が一定になるように、つまり、上記にて設定した基準積算光量になるように、算出手段を用い下記に示される数式（１）により照射時間を算出する。
続いて、ＵＶライトガイドは、被修正カラーフィルタの該当するＵＶ修正液の上方に移動し、ＵＶ修正液の上方より、その先端にある光射出部からＵＶ光を算出された照射時間の照射を行う。
Next, based on the illuminance (changed (decreased) irradiation) on the measured irradiation surface, the calculation means so that the integrated light quantity to be given is constant, that is, the reference integrated light quantity set above. Is used to calculate the irradiation time according to the following formula (1).
Subsequently, the UV light guide moves above the corresponding UV correction liquid of the color filter to be corrected, and emits UV light from the light emitting portion at the tip of the UV correction liquid for the irradiation time calculated. Do.
具体的には、例えば、水銀ランプの稼働初期における照度が３，０００ｍＷ／ｃｍ2 、照射時間が５ｓｅｃ、すなわち、基準積算光量が１５，０００ｍＪ／ｃｍ2 である場合において、ある期間の稼働後の照度が、例えば、２，０００ｍＷ／ｃｍ2 となった際には、１５，０００／２，０００＝７．５ｓｅｃが算出後の照射時間となる。 Specifically, for example, when the illuminance at the initial stage of operation of the mercury lamp is 3,000 mW / cm 2 and the irradiation time is 5 seconds, that is, the reference integrated light quantity is 15,000 mJ / cm 2 , For example, when the illuminance becomes 2,000 mW / cm 2 , 15,000 / 2,000 = 7.5 sec is the irradiation time after calculation.
上記ＵＶ光の照射面での照度の測定、及び算出手段を用いた照射時間を算出の頻度は、例えば、１回／日、１回／週など適宜に行ってもよい。
尚、本発明における照度は、放射照度〔Ｗ／ｍ2 〕であり、露光量の単位には〔Ｊ／ｍ2 〕を用いている。
The frequency of measurement of the illuminance on the irradiation surface of the UV light and the calculation of the irradiation time using the calculation means may be appropriately performed, for example, once / day, once / week.
The illuminance in the present invention is irradiance [W / m 2 ], and [J / m 2 ] is used as the unit of exposure amount.
本発明に用いられるＵＶ照射装置としては、例えば、モリテックス（株）製：スポットエリア照射タイプＵＶ照射装置（商品名）、型番ＭＵＶ−２０２Ｕが挙げられる。このＵＶ照射装置は、水銀キセノンランプ２００Ｗを用いており、紫外線強度（３６５ｎｍ）は３，０００ｍＷ／ｃｍ2 である。
また、ＵＶライトガイドとしては、例えば、モリテックス（株）：ＵＶ石英ライトガイド（商品名）、型番ＭＳＳ５−２０００Ｓ−ＵＶＩＩＩ、光射出部の口径：５ｍｍφが挙げられる。
また、照度の測定には、例えば、浜松ホトニクス（株）製：ＵＶパワーメーター（商品名）、型番Ｃ６０８０−１３が挙げられる。
As a UV irradiation apparatus used for this invention, the Moritex Co., Ltd. product: Spot area irradiation type UV irradiation apparatus (brand name), model number MUV-202U is mentioned, for example. This UV irradiation apparatus uses a mercury xenon lamp 200W, and the ultraviolet intensity (365 nm) is 3,000 mW / cm 2 .
Examples of the UV light guide include Moritex Corporation: UV quartz light guide (trade name), model number MSS5-2000S-UVIII, and aperture of the light emitting part: 5 mmφ.
Moreover, the measurement of illuminance includes, for example, Hamamatsu Photonics Co., Ltd .: UV power meter (trade name), model number C6080-13.
図４は、本発明における基準積算光量と照度と照射時間の関係の一例を示す説明図である。図４に示す一例は、基準積算光量が１５，０００ｍＪ／ｃｍ2 の例である。図４において、横軸は水銀ランプの使用（点灯）による劣化、すなわち、発光強度の低下、照度の低下を表している。縦軸は照射時間を表している。 FIG. 4 is an explanatory diagram illustrating an example of the relationship between the reference integrated light amount, illuminance, and irradiation time in the present invention. An example shown in FIG. 4 is an example in which the reference integrated light quantity is 15,000 mJ / cm 2 . In FIG. 4, the horizontal axis represents deterioration due to the use (lighting) of the mercury lamp, that is, a decrease in emission intensity and a decrease in illuminance. The vertical axis represents the irradiation time.
前記のように、水銀ランプの稼働初期の段階では、照度が３，０００ｍＷ／ｃｍ2 、照射時間が５ｓｅｃ、基準積算光量が１５，０００ｍＪ／ｃｍ2 であることを表している（図４中、Ａ点）。図４中、Ｂ点で示すように、ある時間の使用（点灯）後の段階では、測定された照度は２，５００ｍＷ／ｃｍ2 である。照度２，５００ｍＷ／ｃｍ2 における前記数式（１）を用いた算出では、照射時間は６ｓｅｃとなり、基準積算光量１５，０００ｍＪ／ｃｍ2 を満たしている。
以降、同様にして、使用（点灯）の累計時間に準じ、測定される照度は低下し、すなわち、水銀ランプの発光強度は低下し、算出される照射時間は長くなる。
As described above, at the initial operation stage of the mercury lamp, the illuminance is 3,000 mW / cm 2 , the irradiation time is 5 sec, and the reference integrated light quantity is 15,000 mJ / cm 2 (in FIG. 4, A point). In FIG. 4, as shown by point B, the measured illuminance is 2,500 mW / cm 2 after a certain period of use (lighting). In the calculation using the formula (1) at an illuminance of 2,500 mW / cm 2 , the irradiation time is 6 seconds, which satisfies the reference integrated light amount of 15,000 mJ / cm 2 .
Thereafter, similarly, the measured illuminance decreases according to the accumulated time of use (lighting), that is, the emission intensity of the mercury lamp decreases, and the calculated irradiation time increases.
図４において、Ｃ点は、本発明における下限照度となる。例えば、用いるＵＶ修正液の感度が１，５００ｍＷ／ｃｍ2 以下では、適正に硬化しない場合であり、硬化に採用する照度の下限照度となる。測定した照度が、１，５００ｍＷ／ｃｍ2 に達した際には、前記算出手段は、例えば、アラームを発する。水銀ランプを交換することになる。 In FIG. 4, point C is the lower limit illuminance in the present invention. For example, when the sensitivity of the UV correction liquid to be used is 1,500 mW / cm 2 or less, it is a case where the curing is not properly performed, and becomes the lower limit illuminance of the illuminance adopted for curing. When the measured illuminance reaches 1,500 mW / cm 2 , the calculating means issues an alarm, for example. Mercury lamp will be replaced.
また、図４において、Ｄ点は、本発明における上限時間となる。例えば、作業時間当たりの生産量を確保する上で、照射時間に与えられた上限時間であり、測定した照度から算出された照射時間を採用する照射時間の上限時間となる。
１２ｓｅｃが与えられた上限時間とすると、算出された照射時間が１２ｓｅｃに達した際には、前記算出手段は、例えば、アラームを発する。水銀ランプを交換することになる。尚、上記下限照度と上限時間は各々が独立したものである。
Further, in FIG. 4, point D is the upper limit time in the present invention. For example, the upper limit time given to the irradiation time in securing the production amount per work time, and the upper limit time of the irradiation time adopting the irradiation time calculated from the measured illuminance.
Assuming that 12 sec is an upper limit time, when the calculated irradiation time reaches 12 sec, the calculation means issues an alarm, for example. Mercury lamp will be replaced. The lower limit illuminance and the upper limit time are independent of each other.
１０・・・ステージ
２０・・・被修正カラーフィルタ
３０・・・照度計
５０・・・ガラス基板
５１・・・（樹脂）ブラックマトリックス
５２・・・着色画素
Ａ・・・稼働初期の段階の基準積算光量を表している点である。
Ｂ・・・ある時間の使用後の照度を表している点である。
Ｃ・・・下限照度を表している点である。
Ｄ・・・上限時間を表している点である。
DESCRIPTION OF
B: It is a point representing the illuminance after use for a certain period of time.
C: This is a point representing the lower limit illuminance.
D is a point representing the upper limit time.
Claims (4)
１）予め、前記欠落部に充填したＵＶ修正液を適正に硬化させるＵＶ光の基準積算光量を設定しておき、
２）被修正カラーフィルタの一部が欠落した欠落部にＵＶ修正液を充填し、該ＵＶ修正液にＵＶ光を照射して硬化させる際に、使用中に劣化する光源からの該ＵＶ光の照射面での照度を測定し、
３）該ＵＶ修正液へのＵＶ光の照射は、上記測定した照度をもとに、下記に示される数式（１）により得られる照射時間の照射を行い、
該ＵＶ修正液にＵＶ光の基準積算光量を与えることを特徴とするカラーフィルタの修正方法。
1) A reference integrated light amount of UV light that appropriately cures the UV correction liquid filled in the missing portion is set in advance.
2) When the UV correction liquid is filled in the missing part where a part of the color filter to be corrected is missing and the UV correction liquid is irradiated with UV light and cured, the UV light from the light source that deteriorates during use Measure the illuminance on the irradiated surface,
3) Irradiation of the UV light to the UV correction liquid is performed based on the measured illuminance for the irradiation time obtained by the following mathematical formula (1),
A correction method for a color filter, characterized in that a reference integrated light quantity of UV light is given to the UV correction liquid.
２）前記照度を測定する際のＵＶ光は、該照度計の上方から照射して照度を測定し、
３）該測定した照度をもとに、前記数式（１）により得られる照射時間を算出する算出手段を用いることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のカラーフィルタの修正方法。 1) An illuminance meter for measuring the illuminance is provided in the periphery of the stage on which the corrected color filter is placed,
2) The UV light for measuring the illuminance is irradiated from above the illuminometer to measure the illuminance,
3) The method for correcting a color filter according to claim 1 or 2, wherein calculation means for calculating an irradiation time obtained by the mathematical formula (1) based on the measured illuminance is used.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006172348A JP4894370B2 (en) | 2006-06-22 | 2006-06-22 | Color filter correction method and correction device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006172348A JP4894370B2 (en) | 2006-06-22 | 2006-06-22 | Color filter correction method and correction device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008003284A JP2008003284A (en) | 2008-01-10 |
| JP4894370B2 true JP4894370B2 (en) | 2012-03-14 |
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ID=39007728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006172348A Active JP4894370B2 (en) | 2006-06-22 | 2006-06-22 | Color filter correction method and correction device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4894370B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111811786A (en) * | 2020-08-20 | 2020-10-23 | 深圳市路美康尔医疗科技有限公司 | Exposure intensity calibration method for ultraviolet disinfection cabinet |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05312643A (en) * | 1992-05-13 | 1993-11-22 | Orc Mfg Co Ltd | Quantity of light meter |
| JP2002341533A (en) * | 2001-05-15 | 2002-11-27 | Showa Denko Kk | Color composition and photosensitive color composition for color filter |
| JP4217949B2 (en) * | 2002-07-22 | 2009-02-04 | 大日本印刷株式会社 | Color filter manufacturing method and color filter correction apparatus |
| JP4676141B2 (en) * | 2003-09-30 | 2011-04-27 | 大日本印刷株式会社 | Color filter manufacturing method and manufacturing apparatus thereof |
-
2006
- 2006-06-22 JP JP2006172348A patent/JP4894370B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2008003284A (en) | 2008-01-10 |
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