JP4881405B2 - Gas sensor manufacturing apparatus and gas sensor manufacturing method - Google Patents

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本発明は、被測定ガス中の所定ガス成分の濃度を測定するためのガスセンサの製造装置およびガスセンサの製造方法に関する。   The present invention relates to a gas sensor manufacturing apparatus and a gas sensor manufacturing method for measuring the concentration of a predetermined gas component in a gas to be measured.

従来、被測定ガス中の所望のガス成分の濃度を知るために、各種の測定装置が用いられている。例えば、燃焼ガス等の被測定ガス中のＮＯｘ濃度を測定する装置として、ジルコニア（ＺｒＯ2）等の酸素イオン伝導性を有する固体電解質の層上にＰｔ電極およびＲｈ電極を形成したセンサ素子を有するガスセンサ（ＮＯｘセンサ）が公知である（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, various measuring devices are used to know the concentration of a desired gas component in the gas to be measured. For example, as a device for measuring the NOx concentration in a gas to be measured such as combustion gas, it has a sensor element in which a Pt electrode and an Rh electrode are formed on a solid electrolyte layer having oxygen ion conductivity such as zirconia (ZrO 2 ). Gas sensors (NOx sensors) are known (see, for example, Patent Document 1).

特開２００６−２８４２２３号公報JP 2006-284223 A

上述のようなガスセンサのセンサ素子は、電圧の印加、検出信号の取り出し、およびヒーター部への電力の供給等のために、通常、表面に複数の電極端子を有している。また、ガスセンサは、金属端子から成る複数の接点部材と、接点部材に接続され、センサ素子と外部との電気的導通を図る複数のリード線と、センサ素子を内側の挿入口に挿入し、接点部材を介してセンサ素子を保持するハウジングとを有するコンタクト部材を備える。ガスセンサにおいては、センサ素子が挿入口に挿入された状態で、金属端子と電極端子とが接触するようにコンタクト部材がセンサ素子を保持することで、センサ素子と外部との電気的導通を得ている。   The sensor element of the gas sensor as described above usually has a plurality of electrode terminals on the surface for application of voltage, extraction of detection signals, supply of electric power to the heater unit, and the like. In addition, the gas sensor includes a plurality of contact members made of metal terminals, a plurality of lead wires connected to the contact member for electrical continuity between the sensor element and the outside, and the sensor element inserted into the inner insertion port, A contact member having a housing for holding the sensor element via the member; In the gas sensor, the contact member holds the sensor element so that the metal terminal and the electrode terminal are in contact with each other in a state where the sensor element is inserted into the insertion port, thereby obtaining electrical continuity between the sensor element and the outside. Yes.

ガスセンサの製造工程において、センサ素子をハウジングの挿入口に挿入する際には、センサ素子の軸線とハウジングの挿入口の軸線とが一致している必要がある。仮に、センサ素子に曲がり等の原因が生じていることにより、両者の軸線が位置ずれしたままセンサ素子が挿入されてしまうと、センサ素子が欠損あるいは折損することがある。また、手作業による挿入は、確実性は高いが効率が悪いという問題もある。   In the manufacturing process of the gas sensor, when the sensor element is inserted into the insertion slot of the housing, the axis of the sensor element needs to coincide with the axis of the insertion slot of the housing. If the sensor element is inserted while the axis of the sensor element is displaced due to a cause such as bending of the sensor element, the sensor element may be lost or broken. In addition, manual insertion has a problem of high reliability but low efficiency.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、センサ素子の欠損や折損の生じにくいガスセンサを製造することができる製造装置および製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method capable of manufacturing a gas sensor in which a sensor element is not easily damaged or broken.

上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、ガスセンサの製造装置であって、センサ素子を備えるガスセンサ本体が載置される第１の載置台と、前記センサ素子の挿入口を備えるコンタクト部材が載置される第２の載置台と、前記第１の載置台を移動させる載置台移動機構と、を備え、前記ガスセンサ本体が前記第１の載置台に載置され、かつ、前記コンタクト部材が前記第２の載置台に載置された状態で、前記移動機構が前記第１の載置台を所定の速度で移動させることによって前記センサ素子を前記挿入口に挿入させることで、前記ガスセンサ本体と前記コンタクト部材とを一体化するものであり、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際には、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入された後、前記センサ素子を前記挿入口の奥にさらに挿入させるときに、前記移動機構による前記載置台の移動速度を、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入されるまでの移動速度よりも大きくする、ことを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problem, the invention described in claim 1 is a gas sensor manufacturing apparatus comprising a first mounting table on which a gas sensor main body including a sensor element is mounted, and an insertion port for the sensor element. A second mounting table on which the contact member is mounted; and a mounting table moving mechanism that moves the first mounting table, wherein the gas sensor body is mounted on the first mounting table, and With the contact member mounted on the second mounting table, the moving mechanism moves the first mounting table at a predetermined speed to insert the sensor element into the insertion port, The gas sensor main body and the contact member are integrated, and when the sensor element is inserted into the insertion port, the sensor element is inserted into the insertion port and then the sensor element is inserted into the insertion port. When further inserting into the back of the entrance, the moving speed of the mounting table by the moving mechanism is made larger than the moving speed until the tip of the sensor element is inserted into the insertion port. .

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の製造装置であって、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記センサ素子の先端位置を特定することにより、前記センサ素子の前記先端部の前記挿入口への挿入状態を判定する挿入判定手段、をさらに備え、前記挿入判定手段による、前記先端部が前記挿入口の所定の位置まで挿入されたとの判定に応答して、前記移動機構による前記第１の載置台の移動速度を、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入されるまでの移動速度よりも大きくする、ことを特徴とする。   Moreover, invention of Claim 2 is a manufacturing apparatus of Claim 1, Comprising: By specifying the front-end | tip position of the said sensor element when inserting the said sensor element in the said insertion port, the said sensor element In response to a determination by the insertion determining means that the distal end portion has been inserted to a predetermined position of the insertion port. The moving speed of the first mounting table by the moving mechanism is made larger than the moving speed until the tip of the sensor element is inserted into the insertion port.

また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の製造装置であって、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記移動機構による前記第１の載置台の移動量を検出する移動量センサ、をさらに備え、前記挿入判定手段は、所定時間内における、前記移動量センサによって特定される前記第１の載置台の移動量に基づいて、前記先端部の前記挿入口への挿入状態を判定する、ことを特徴とする。   The invention according to claim 3 is the manufacturing apparatus according to claim 2, wherein the movement amount of the first mounting table by the moving mechanism when the sensor element is inserted into the insertion port is detected. A movement amount sensor, and the insertion determination unit is configured to insert the tip portion into the insertion port based on a movement amount of the first mounting table specified by the movement amount sensor within a predetermined time. The insertion state is determined.

また、請求項４に記載の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の製造装置であって、前記移動機構が、圧力シリンダからなり、前記圧力シリンダが前記第１の載置台が設けられたテーブルに加える圧力を調整することによって前記移動機構による前記第１の載置台の移動速度が調整される、ことを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the manufacturing apparatus according to any one of the first to third aspects, wherein the moving mechanism is a pressure cylinder, and the pressure cylinder is the first mounting table. The moving speed of the first mounting table by the moving mechanism is adjusted by adjusting the pressure applied to the table provided with the above.

また、請求項５に記載の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のガスセンサの製造装置であって、前記挿入口が、互いに対向配置されてなる一対のハウジング部材の間の空間として設けられており、前記製造装置が、前記挿入口に挿入されることで、前記挿入口を拡大させるダミーピンと、前記ダミーピンを移動させるダミーピン移動機構と、前記ダミーピンが前記挿入口に挿入された状態で前記一対のハウジング部材の端部間に挿入されることで、前記ダミーピンが除かれた後においても前記ダミーピン挿入時の前記挿入口の拡大状態を維持する開口維持部材と、をさらに備え、前記センサ素子の前記挿入口への挿入を、前記開口維持部材によって拡大状態とされた前記挿入口に対して行う、ことを特徴とする。   The invention according to claim 5 is the gas sensor manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the insertion port is disposed between a pair of housing members arranged to face each other. It is provided as a space, and when the manufacturing apparatus is inserted into the insertion port, a dummy pin that expands the insertion port, a dummy pin moving mechanism that moves the dummy pin, and the dummy pin are inserted into the insertion port. An opening maintaining member that is inserted between the end portions of the pair of housing members in a state where the dummy pin is removed, and maintains the expanded state of the insertion port when the dummy pin is inserted. The sensor element is inserted into the insertion port with respect to the insertion port expanded by the opening maintaining member.

また、請求項６に記載の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のガスセンサの製造装置であって、前記第１の載置台と前記第２の載置台とが上下方向にバネ弾性を有するように設けられてなるとともに、前記第１の載置台に載置された前記ガスセンサ本体を前記第１の載置台に固定する固定手段、をさらに備え、前記ガスセンサを前記固定手段によって前記第１の載置台に固定した状態で前記挿入口への前記センサ素子の挿入を開始し、前記センサ素子の前記先端部が前記挿入口に挿入された時点で、前記固定手段による、前記ガスセンサ本体の固定を解除する、ことを特徴とする。   The invention according to claim 6 is the gas sensor manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the first mounting table and the second mounting table are vertically arranged. And a fixing means for fixing the gas sensor body mounted on the first mounting table to the first mounting table, wherein the gas sensor is attached to the first mounting table by the fixing means. The gas sensor is started by the fixing means when insertion of the sensor element into the insertion port is started in a state of being fixed to the first mounting table, and the distal end portion of the sensor element is inserted into the insertion port. The fixing of the main body is released.

また、請求項７に記載の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のガスセンサの製造装置であって、前記ガスセンサ本体が前記第１の載置台に載置された際に、前記センサ素子の先端面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られる撮像画像に基づいて前記センサ素子の傾き角度を算出する傾き算出手段と、をさらに備えることを特徴とする。   The invention according to claim 7 is the gas sensor manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein when the gas sensor body is placed on the first placement table, The image processing apparatus further includes an imaging unit that images the tip surface of the sensor element, and an inclination calculation unit that calculates an inclination angle of the sensor element based on a captured image obtained by the imaging unit.

また、請求項８に記載の発明は、請求項１ない請求項７のいずれかに記載のガスセンサの製造装置であって、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記センサ素子の前記先端部の位置が前記挿入口の軸線位置に合致するように、前記ガスセンサ本体が載置された前記第１の載置台の配置位置を調整する載置台位置調整手段、をさらに備えることを特徴とする。   The invention according to claim 8 is the gas sensor manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 7, wherein the tip of the sensor element when the sensor element is inserted into the insertion port. It further comprises mounting table position adjusting means for adjusting the arrangement position of the first mounting table on which the gas sensor main body is mounted so that the position of the part matches the axial position of the insertion port. .

また、請求項９に記載の発明は、請求項８に記載のガスセンサの製造装置であって、前記載置台位置調整手段は、前記ガスセンサ本体が載置された前記第１の載置台を所定の基準位置に配置させた状態における、前記センサ素子の前記先端部の理想位置からのズレ量に応じて、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記第１の載置台の配置位置を調整する、ことを特徴とする。   The invention described in claim 9 is the gas sensor manufacturing apparatus according to claim 8, wherein the mounting table position adjusting means sets the first mounting table on which the gas sensor main body is mounted to a predetermined level. The arrangement position of the first mounting table when the sensor element is inserted into the insertion port is adjusted according to the amount of deviation from the ideal position of the tip of the sensor element in the state of being arranged at the reference position. It is characterized by.

また、請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載のガスセンサの製造装置であって、前記センサ素子の前記先端部の前記理想位置からのズレ量を検出するズレ量検出センサ、をさらに備え、前記載置台位置調整手段は、前記ズレ量検出センサによって特定されるズレ量に基づいて、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記第１の載置台の配置位置を調整する、ことを特徴とする。   The invention according to claim 10 is the gas sensor manufacturing apparatus according to claim 9, further comprising a displacement amount detection sensor for detecting a displacement amount from the ideal position of the tip portion of the sensor element. Provided, the mounting table position adjusting means adjusts an arrangement position of the first mounting table when the sensor element is inserted into the insertion port based on a shift amount specified by the shift amount detection sensor. It is characterized by that.

また、請求項１１に記載の発明は、ガスセンサを製造する方法であって、センサ素子を備えるガスセンサ本体を第１の載置台に載置する第１の載置工程と、前記センサ素子の挿入口を備えるコンタクト部材を第２の載置台に載置する第２の載置工程と、前記第１の載置台を移動させることによって、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させ、前記ガスセンサ本体と前記コンタクト部材とを一体化させる挿入工程と、を備え、前記挿入工程においては、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入された後、前記センサ素子を前記挿入口の奥にさらに挿入させるときに、前記第１の載置台の移動速度を、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入されるまでの移動速度よりも大きくする、ことを特徴とする。   The invention according to claim 11 is a method of manufacturing a gas sensor, wherein a first mounting step of mounting a gas sensor main body including a sensor element on a first mounting table, and an insertion port for the sensor element A second mounting step of mounting a contact member on the second mounting table, and moving the first mounting table to cause the sensor element to be inserted into the insertion port, An insertion step for integrating the contact member, and in the insertion step, after the tip of the sensor element is inserted into the insertion port, the sensor element is inserted further into the insertion port. In addition, the moving speed of the first mounting table is made larger than the moving speed until the tip of the sensor element is inserted into the insertion port.

また、請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載のガスセンサの製造方法であって、前記挿入工程が、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記センサ素子の前記先端位置を特定することにより、前記先端部の前記挿入口への挿入状態を判定する挿入判定工程、を備え、前記挿入工程においては、前記挿入判定工程における、前記先端部が前記挿入口の所定の位置まで挿入されたとの判定に応答して、前記第１の載置台の移動速度を、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入されるまでよりも大きくする、ことを特徴とする。   The invention according to claim 12 is the gas sensor manufacturing method according to claim 11, wherein the insertion step determines the position of the tip of the sensor element when the sensor element is inserted into the insertion port. An insertion determining step for determining an insertion state of the distal end portion into the insertion port by specifying, wherein in the insertion step, the distal end portion in the insertion determining step is set to a predetermined position of the insertion port. In response to the determination that the insertion has been made, the moving speed of the first mounting table is made larger than before the tip of the sensor element is inserted into the insertion port.

また、請求項１３に記載の発明は、請求項１２に記載のガスセンサの製造方法であって、前記挿入判定工程においては、所定時間内における、前記第１の載置台の移動量に基づいて、前記先端部の前記挿入口への挿入状態を判定する、ことを特徴とする。   The invention according to claim 13 is the gas sensor manufacturing method according to claim 12, wherein the insertion determination step is based on a movement amount of the first mounting table within a predetermined time. The insertion state of the distal end portion into the insertion port is determined.

また、請求項１４に記載の発明は、請求項１１ないし請求項１３のいずれかに記載のガスセンサの製造方法であって、前記挿入口を、互いに対向配置されてなる一対のハウジング部材の間の空間として設けておくとともに、前記挿入口にダミーピンを挿入することにより前記挿入口を拡大させるダミーピン挿入工程と、前記ダミーピンが前記挿入口に挿入された状態の前記一対のハウジング部材の端部間に対し開口維持部材を挿入することによって前記挿入口の拡大状態を維持する維持部材挿入工程と、前記ダミーピンの前記挿入口への挿入を解除するダミーピン挿入解除工程と、をさらに備え、前記挿入工程においては、前記センサ素子の前記挿入口への挿入を、前記開口維持部材によって拡大状態とされた前記挿入口に対して行う、ことを特徴とする。   The invention according to claim 14 is the method of manufacturing a gas sensor according to any one of claims 11 to 13, wherein the insertion port is disposed between a pair of housing members arranged to face each other. A dummy pin inserting step of expanding the insertion port by inserting a dummy pin into the insertion port, and an end portion of the pair of housing members in a state where the dummy pin is inserted into the insertion port. A maintenance member inserting step for maintaining the expanded state of the insertion port by inserting an opening maintaining member, and a dummy pin insertion releasing step for releasing the insertion of the dummy pin into the insertion port, further comprising: The insertion of the sensor element into the insertion port is performed with respect to the insertion port expanded by the opening maintaining member. And features.

また、請求項１５に記載の発明は、請求項１１ないし請求項１４のいずれかに記載のガスセンサの製造方法であって、前記ガスセンサ本体が前記第１の載置台に載置された際に、前記センサ素子の先端面を撮像する撮像工程と、前記撮像工程によって得られる撮像画像に基づいて前記センサ素子の傾き角度を算出する傾き算出工程と、前記傾き角度に応じて前記第１の載置台における前記ガスセンサ本体の載置姿勢を調整する姿勢調整工程と、をさらに備えることを特徴とする。   The invention according to claim 15 is the gas sensor manufacturing method according to any one of claims 11 to 14, wherein the gas sensor body is placed on the first placement table. An imaging step of imaging the tip surface of the sensor element, an inclination calculation step of calculating an inclination angle of the sensor element based on a captured image obtained by the imaging step, and the first mounting table according to the inclination angle And a posture adjusting step of adjusting the mounting posture of the gas sensor main body.

また、請求項１６に記載の発明は、請求項１１ないし請求項１５のいずれかに記載のガスセンサの製造方法であって、前記挿入工程において前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記センサ素子の前記先端部の位置が前記挿入口の軸線位置に合致するように、前記ガスセンサ本体が載置された前記第１の載置台の配置位置を調整する載置台位置調整工程、をさらに備えることを特徴とする。   The invention described in claim 16 is the gas sensor manufacturing method according to any one of claims 11 to 15, wherein the sensor element is inserted into the insertion port in the insertion step. A mounting table position adjusting step for adjusting the arrangement position of the first mounting table on which the gas sensor main body is mounted so that the position of the tip of the element matches the axial position of the insertion port; It is characterized by.

また、請求項１７に記載の発明は、請求項１６に記載のガスセンサの製造方法であって、前記載置台位置調整工程においては、前記ガスセンサ本体が載置された前記第１の載置台を所定の基準位置に配置させた状態における、前記センサ素子の前記先端部の理想位置からのズレ量に応じて、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記第１の載置台の配置位置を調整する、ことを特徴とする。   The invention described in claim 17 is the gas sensor manufacturing method according to claim 16, wherein in the mounting table position adjusting step, the first mounting table on which the gas sensor body is mounted is predetermined. The arrangement position of the first mounting table when the sensor element is inserted into the insertion port according to the amount of deviation of the sensor element from the ideal position in the state where the sensor element is arranged at the reference position. It is characterized by adjusting.

また、請求項１８に記載の発明は、請求項１７に記載のガスセンサの製造方法であって、前記載置台位置調整工程においては、前記センサ素子の前記先端部の前記理想位置からのズレ量に基づいて、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記第１の載置台の配置位置を調整する、ことを特徴とする。   The invention described in claim 18 is the gas sensor manufacturing method according to claim 17, wherein in the mounting table position adjusting step, the amount of deviation of the tip portion of the sensor element from the ideal position is adjusted. Based on this, the arrangement position of the first mounting table when the sensor element is inserted into the insertion port is adjusted.

請求項１ないし請求項１８の発明によれば、センサ素子の挿入ミスや、センサ素子が挿入口を構成する部材に衝突することによるセンサ素子の欠損を好適に抑制しつつ、生産性の高いガスセンサの組み立て処理が実現される。   According to the inventions of claims 1 to 18, a gas sensor having high productivity while suitably suppressing a sensor element insertion error and a loss of the sensor element due to the sensor element colliding with a member constituting the insertion port. The assembly process is realized.

特に、請求項２、請求項３、請求項１１、および請求項１３の発明によれば、センサ素子の先端部のみが挿入口に挿入された状態を確実に実現したうえで、係る先端部の挿入動作よりも大きな挿入速度での本挿入動作を行うようにすることで、センサ素子の挿入ミスや、センサ素子が挿入口を構成する部材に衝突することによるセンサ素子の欠損を好適に抑制しつつ、生産性の高いガスセンサの組み立て処理が実現される。   In particular, according to the invention of claim 2, claim 3, claim 11, and claim 13, after reliably realizing a state in which only the tip of the sensor element is inserted into the insertion slot, By performing the main insertion operation at a higher insertion speed than the insertion operation, it is possible to suitably suppress sensor element insertion errors and sensor element loss due to collision of the sensor element with the member constituting the insertion port. Meanwhile, the assembly process of the gas sensor with high productivity is realized.

特に、請求項５および請求項１４の発明によれば、挿入口が十分に拡大された状態でセンサ素子を挿入できるので、センサ素子の挿入ミスや、センサ素子が挿入口を構成する部材に衝突することによるセンサ素子の欠損を好適に抑制しつつ、生産性の高いガスセンサの組み立て処理が実現される。   In particular, according to the inventions of claims 5 and 14, the sensor element can be inserted in a state where the insertion opening is sufficiently enlarged, so that the sensor element is misinserted or the sensor element collides with a member constituting the insertion opening. The assembly process of the gas sensor with high productivity is realized while suitably suppressing the loss of the sensor element.

ガスセンサ１００の組み立て時の様子を示す図である。It is a figure which shows the mode at the time of the assembly of the gas sensor. センサ素子１の外形を示す斜視図である。1 is a perspective view showing an outer shape of a sensor element 1. FIG. 挿入口２３の側からみたコンタクト部材２０を示す図である。It is a figure which shows the contact member 20 seen from the insertion port 23 side. 組み立て後のガスセンサ１００の構造を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the structure of the gas sensor 100 after an assembly. 本発明の実施の形態に係るガスセンサ製造装置２００の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the gas sensor manufacturing apparatus 200 which concerns on embodiment of this invention. 初期状態にあるときの、撮像手段２４０と、第１の載置台２１３およびこれに載置されたガスセンサ本体１０との配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship between the imaging means 240 in the initial state, the 1st mounting base 213, and the gas sensor main body 10 mounted on this. ガスセンサ１００の組み立て手順を示す図である。It is a figure which shows the assembly procedure of the gas sensor. 初期状態における、センサ素子１と素子受け台２１４の種々の配置関係を例示する図である。It is a figure which illustrates various arrangement | positioning relationships of the sensor element 1 and the element stand 214 in an initial state. 挿入口２３を拡大する一連の工程の様子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the mode of a series of processes which expand the insertion port. ステージ２１１のｘ軸方向の移動について説明するための図である。It is a figure for demonstrating the movement of the x-axis direction of the stage 211. FIG. 挿入動作の際のセンサ素子１の先端部とハウジング２４の挿入口２３との位置関係を例示する水平断面図である。5 is a horizontal cross-sectional view illustrating the positional relationship between the distal end portion of the sensor element 1 and the insertion port 23 of the housing 24 during the insertion operation. 第１の載置台２１３と第２の載置台２２１とがバネ弾性を有する様子を、概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally a mode that the 1st mounting base 213 and the 2nd mounting base 221 have spring elasticity.

＜ガスセンサの構造＞
本実施の形態において、ガスセンサ１００は、測定対象とするガス（被測定ガス）中の所定のガス成分（対象ガス成分）を検出し、さらにはその濃度を測定するためのものである。図１は、ガスセンサ１００の組み立て時の様子を示す図である。図１（ａ）が組み立て前の様子を示し、図１（ｂ）が、組み立て後の様子を示している。 <Structure of gas sensor>
In the present embodiment, the gas sensor 100 is for detecting a predetermined gas component (target gas component) in a gas to be measured (gas to be measured) and measuring the concentration thereof. FIG. 1 is a diagram illustrating a state when the gas sensor 100 is assembled. FIG. 1A shows a state before assembly, and FIG. 1B shows a state after assembly.

ガスセンサ１００は、ガスセンサ本体１０とコンタクト部材２０とが一体化された構造を有する。ガスセンサ本体１０は、ガス検出部であるセンサ素子１と、センサ素子１を収容する収容部材２とを備える。一方、コンタクト部材２０は、ばね性を有する金属端子から成る複数の接点部材２１と、複数の接点部材２１に接続されたリード線２２と、セラミックからなり、複数の接点部材２１を介してセンサ素子１を挿入口２３に挿嵌保持するハウジング２４とを主として備える。   The gas sensor 100 has a structure in which the gas sensor main body 10 and the contact member 20 are integrated. The gas sensor main body 10 includes a sensor element 1 that is a gas detection unit and a housing member 2 that houses the sensor element 1. On the other hand, the contact member 20 is composed of a plurality of contact members 21 made of metal terminals having spring properties, lead wires 22 connected to the plurality of contact members 21, and ceramic, and the sensor element via the plurality of contact members 21. 1 is mainly provided with a housing 24 that is inserted and held in the insertion port 23.

図１（ｂ）に示すように、コンタクト部材２０に備わるハウジング２４の挿入口２３にガスセンサ本体１０に備わるセンサ素子１が挿入され、かつ、ハウジング２４において複数の接点部材２１を介してセンサ素子１が保持されることで、ガスセンサ１００は一体化される。本実施の形態においては、このようにガスセンサ本体１０とコンタクト部材２０とを一体化させてガスセンサ１００を得ることを、「ガスセンサ１００を組み立てる」と称し、これを実現するための一連の処理動作を「ガスセンサ１００の組み立て」などと称する。   As shown in FIG. 1B, the sensor element 1 provided in the gas sensor main body 10 is inserted into the insertion port 23 of the housing 24 provided in the contact member 20, and the sensor element 1 is interposed in the housing 24 via a plurality of contact members 21. Is held, the gas sensor 100 is integrated. In the present embodiment, obtaining the gas sensor 100 by integrating the gas sensor body 10 and the contact member 20 in this manner is referred to as “assembling the gas sensor 100”, and a series of processing operations for realizing this is performed. This is referred to as “assembly of the gas sensor 100”.

図２は、センサ素子１の外形を示す斜視図である。センサ素子１は、それぞれがジルコニア（ＺｒＯ2）等の酸素イオン伝導性の固体電解質からなる複数の層が積層された構造を有する。また、センサ素子１の表裏面には、電圧の印加、検出信号の取り出しおよびヒーター部への電力の供給等のために、複数の電極端子１ａを備える。なお、図２においては片面に４つの電極端子１ａが設けられたセンサ素子１を図示しているが、これはあくまで例示であって、電極端子１ａの個数は、センサ素子１の構造に応じて適宜に定められてよい。また、センサ素子１は、電極端子１ａが設けられた側の先端面１ｓに、基準ガスを導入するガス導入口３を有し、他方端部には、図示しない被測定ガス導入口を備える。 FIG. 2 is a perspective view showing the outer shape of the sensor element 1. The sensor element 1 has a structure in which a plurality of layers each made of an oxygen ion conductive solid electrolyte such as zirconia (ZrO 2 ) are stacked. Further, the front and back surfaces of the sensor element 1 are provided with a plurality of electrode terminals 1a for applying a voltage, extracting a detection signal, supplying power to the heater unit, and the like. In FIG. 2, the sensor element 1 having four electrode terminals 1 a provided on one side is illustrated, but this is only an example, and the number of electrode terminals 1 a depends on the structure of the sensor element 1. It may be determined as appropriate. Further, the sensor element 1 has a gas introduction port 3 for introducing a reference gas on the tip surface 1s on the side where the electrode terminal 1a is provided, and a measured gas introduction port (not shown) at the other end.

係るセンサ素子１は、例えば、各層に対応するセラミックスグリーンシートに所定の加工および電極および配線パターン印刷などを行った後に、それらを積層して所定の大きさにカットし、得られた積層体を焼成することによって製造される。ガスセンサ１００においては、センサ素子１に被測定ガスが導入された際に、内部に設けられた所定の電極間に被測定ガス中の対象ガス成分の存在量に応じた電流が流れることを利用して、対象ガス成分が検出される。   For example, the sensor element 1 is obtained by, for example, performing predetermined processing and electrode and wiring pattern printing on a ceramic green sheet corresponding to each layer, then laminating them and cutting to a predetermined size. Manufactured by firing. The gas sensor 100 utilizes the fact that when a gas to be measured is introduced into the sensor element 1, a current corresponding to the amount of the target gas component in the gas to be measured flows between predetermined electrodes provided inside. Thus, the target gas component is detected.

図３は、挿入口２３の側からみたコンタクト部材２０を示す図である。なお、図２に示すように、ハウジング２４は、互いに対向配置された一対のハウジング部材２４ａからなる。これらのハウジング部材２４ａは、略同一の断面形状を有しており、両者の間に挿入口２３となる断面視矩形状の空間が形成されるように、互いに離間して設けられる。換言すれば、それぞれのハウジング部材２４ａは、断面視矩形状の空間を有するハウジングを２分割した形状を有するものであるともいえる。また、それぞれのハウジング部材２４ａは、挿入口２３の内部側から図面視上下方向へと向かう外力を受けることで、その先端部近傍（挿入口２３の端部近傍）が所定範囲内で上方もしくは下方に偏位するように構成されてなる。ガスセンサ１００の組み立て前の状態においては、２つのハウジング部材２４ａの端部に隙間２４ｂが設けられる。   FIG. 3 is a view showing the contact member 20 viewed from the insertion port 23 side. As shown in FIG. 2, the housing 24 includes a pair of housing members 24 a that are arranged to face each other. These housing members 24a have substantially the same cross-sectional shape, and are provided so as to be separated from each other so that a space having a rectangular shape in a cross-sectional view serving as the insertion port 23 is formed therebetween. In other words, it can be said that each housing member 24a has a shape obtained by dividing a housing having a rectangular space in a sectional view. Further, each housing member 24a receives an external force from the inner side of the insertion port 23 in the vertical direction as viewed in the drawing, so that the vicinity of its tip (near the end of the insertion port 23) is above or below within a predetermined range. It is comprised so that it may deviate to. In a state before the gas sensor 100 is assembled, a gap 24b is provided at the end portions of the two housing members 24a.

さらに、コンタクト部材２０は、金属製材料からなり、筒状に形成された固定金具２５と、センサ素子１の固定時に、固定金具２５をセンサ素子１側へ付勢する押圧ばね２６と、外周を加締めることにより、押圧ばね２６を圧縮変形させる加締めリング２７と、内部にリード線２２を気密に挿通する態様で形成されたグロメット２８とをさらに備える。センサ素子１がハウジング２４の挿入口２３に挿入された状態で、加締めリング２７が加締められ、これにより変形した押圧ばね２６が固定金具２５を付勢すると、接点部材２１と電極端子１ａとが接触する。これにより、リード線２２を介して、センサ素子１と外部との電気的導通が図られる。   Further, the contact member 20 is made of a metal material, and has a cylindrical fixing bracket 25, a pressing spring 26 that urges the fixing bracket 25 toward the sensor element 1 when the sensor element 1 is fixed, and an outer periphery. A crimping ring 27 that compresses and deforms the pressing spring 26 by crimping and a grommet 28 that is formed in such a manner that the lead wire 22 is hermetically inserted therein are further provided. When the sensor element 1 is inserted into the insertion port 23 of the housing 24, the crimping ring 27 is crimped, and when the pressing spring 26 deformed thereby biases the fixing bracket 25, the contact member 21, the electrode terminal 1a, Touch. Thereby, electrical continuity between the sensor element 1 and the outside is achieved via the lead wire 22.

図４は、組み立て後のガスセンサ１００の構造を示す模式断面図である。ガスセンサ本体１０の収容部材２は、被測定ガスを内部に導入するためのガス導入孔１２が設けられた保護カバー１１と、金属製ハウジング１３と、金属製ハウジング１３に溶接固定された略円筒状の内筒１４と、内筒１４の中空部に配置された複数のセラミックサポーター１５ａ〜１５ｃと、これらセラミックサポーター１５ａ〜１５ｃの間にそれぞれ充填されたタルク１６ａ〜１６ｃとを主として備える。収容部材２の内部においては、セラミックサポーター１５ａ〜１５ｃおよびタルク１６ａ〜１６ｃによってセンサ素子１が固定され、かつ加圧圧縮されたタルク１６ａ〜１６ｃによりセンサ素子１が気密封止されてなる。なお図４においては、組み立て後にさらにコンタクト部材２０の側からカバー３０が設けられた態様を示している。   FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing the structure of the gas sensor 100 after assembly. The housing member 2 of the gas sensor body 10 has a substantially cylindrical shape that is welded and fixed to a protective cover 11 provided with a gas introduction hole 12 for introducing a gas to be measured therein, a metal housing 13, and the metal housing 13. The inner cylinder 14, a plurality of ceramic supporters 15 a to 15 c arranged in the hollow portion of the inner cylinder 14, and talc 16 a to 16 c filled between the ceramic supporters 15 a to 15 c, respectively. Inside the housing member 2, the sensor element 1 is fixed by the ceramic supporters 15a to 15c and the talcs 16a to 16c, and the sensor element 1 is hermetically sealed by the talc 16a to 16c compressed and compressed. FIG. 4 shows a mode in which a cover 30 is further provided from the contact member 20 side after assembly.

＜ガスセンサ製造装置＞
次に、ガスセンサ１００の組み立てを行うガスセンサ製造装置２００の構成について説明する。 <Gas sensor manufacturing equipment>
Next, the configuration of the gas sensor manufacturing apparatus 200 that assembles the gas sensor 100 will be described.

図５は、本発明の実施の形態に係るガスセンサ製造装置２００の構成を示す図である。ガスセンサ製造装置２００は、ガスセンサ本体搬送機構２１０と、コンタクト部材保持部２２０と、ダミーピン挿脱機構２３０と、撮像手段２４０と、第１の変位センサ２５０と、第２の変位センサ２６０と、制御部２７０とを備える。なお、図５においては制御部２７０を他の構成要素と離間させて配置しており、かつ信号線を省略しているが、これは図示の簡単のためであって、実際のガスセンサ製造装置２００においては、必要な信号線は設けられる。また、制御部２７０を含めて一体に構成される態様であってもよい。   FIG. 5 is a diagram showing a configuration of the gas sensor manufacturing apparatus 200 according to the embodiment of the present invention. The gas sensor manufacturing apparatus 200 includes a gas sensor main body transport mechanism 210, a contact member holding unit 220, a dummy pin insertion / removal mechanism 230, an imaging unit 240, a first displacement sensor 250, a second displacement sensor 260, and a control unit. 270. In FIG. 5, the control unit 270 is disposed apart from other components and the signal lines are omitted, but this is for the sake of simplicity of illustration, and the actual gas sensor manufacturing apparatus 200. In, necessary signal lines are provided. Moreover, the aspect comprised integrally including the control part 270 may be sufficient.

ガスセンサ本体搬送機構２１０は、ワークエリア内を移動可能なステージ２１１と、ステージの上を移動可能なテーブル２１２と、テーブル２１２の上に固定され、ガスセンサ本体１０が載置される第１の載置台２１３と、センサ素子１を支持する素子受け台２１４と、第１の載置台２１３に載置されたガスセンサ本体１０を上方から固定するための固定部材２１５と、水平面内において第１の方向にステージ２１１を移動させる第１の移動機構２１６と、水平面内において第１の方向と直交する第２の方向にテーブル２１２を移動させる第２の移動機構２１７とを備える。なお、図５および以降の図面においては、上述の第１の方向をｘ軸方向とし、第２の方向をｙ軸方向とし、これらの軸方向を含む水平面に直交する方向をｚ軸方向と右手系の座標を用いることとする。   The gas sensor main body transport mechanism 210 includes a stage 211 that can move in the work area, a table 212 that can move on the stage, and a first mounting table that is fixed on the table 212 and on which the gas sensor main body 10 is mounted. 213, an element receiving base 214 for supporting the sensor element 1, a fixing member 215 for fixing the gas sensor main body 10 mounted on the first mounting base 213 from above, and a stage in a first direction in a horizontal plane A first moving mechanism 216 that moves 211, and a second moving mechanism 217 that moves the table 212 in a second direction orthogonal to the first direction in the horizontal plane. 5 and the subsequent drawings, the first direction is the x-axis direction, the second direction is the y-axis direction, and the direction orthogonal to the horizontal plane including these axial directions is the z-axis direction and the right hand. The coordinates of the system will be used.

第１の載置台２１３は、載置されたガスセンサ本体１０が、少なくともｘ軸方向についてがたつくことがないように保持可能な形状を有する。なお、図５においては図示を省略しているが、第１の載置台２１３は、上下方向にバネ弾性を有するように構成されている（図１２参照）。固定部材２１５は、第１の載置台２１３に対し着脱自在とされてなり、ガスセンサ本体１０は、第１の載置台２１３のバネ振動を封じ込める態様にて配置される。固定部材２１５としては、例えば、クランプなどを用いることができる。第１の移動機構２１６および第２の移動機構２１７は、ステージ２１１およびテーブル２１２を移動させるものであれば特に限定されないが、本実施の形態では、第２の移動機構２１７に圧力シリンダを用いる場合を例として説明する。   The first mounting table 213 has a shape that allows the mounted gas sensor main body 10 to be held so as not to rattle at least in the x-axis direction. In addition, although illustration is abbreviate | omitted in FIG. 5, the 1st mounting base 213 is comprised so that it may have spring elasticity in an up-down direction (refer FIG. 12). The fixing member 215 is detachably attached to the first mounting table 213, and the gas sensor main body 10 is arranged in a manner to contain the spring vibration of the first mounting table 213. As the fixing member 215, for example, a clamp or the like can be used. The first moving mechanism 216 and the second moving mechanism 217 are not particularly limited as long as the first moving mechanism 216 and the second moving mechanism 217 move the stage 211 and the table 212, but in this embodiment, a pressure cylinder is used for the second moving mechanism 217. Will be described as an example.

コンタクト部材保持部２２０は、コンタクト部材２０が載置、固定される第２の載置台２２１と、コンタクト部材２０の挿入口２３の開口状態を維持する際に用いられる開口維持部材２２２（２２２ａ、２２２ｂ）とを備える。なお、図５においては図示を省略しているが、第２の載置台２２１は、第１の載置台２１３と同様に、上下方向にバネ弾性を有するように構成されている（図１２参照）。開口維持部材２２２ａおよび２２２ｂは、それぞれ、くさび状の突起部２２３ａ、２２３ｂを有する１対の部材である。突起部２２３ａ、２２３ｂは、ハウジング部材２４ａの端部に形成される隙間２４ｂに対応させて、該隙間２４ｂに対して挿脱自在に設けられてなる。なお、突起部２２３ａは、隙間２４ｂに挿入された際に、ハウジング２４の挿入口２３の開口高さを、センサ素子１の長手方向垂直断面の厚みよりも大きい状態で保持できる程度の形状およびサイズにて設けられてなる。   The contact member holding part 220 is an opening maintaining member 222 (222a, 222b) used when maintaining the open state of the second mounting table 221 on which the contact member 20 is mounted and fixed, and the insertion port 23 of the contact member 20. ). In addition, although illustration is abbreviate | omitted in FIG. 5, the 2nd mounting base 221 is comprised so that it may have spring elasticity in an up-down direction similarly to the 1st mounting base 213 (refer FIG. 12). . The opening maintaining members 222a and 222b are a pair of members having wedge-shaped protrusions 223a and 223b, respectively. The protrusions 223a and 223b are provided so as to be detachable with respect to the gap 24b so as to correspond to the gap 24b formed at the end of the housing member 24a. The protrusion 223a has a shape and size that can hold the opening height of the insertion opening 23 of the housing 24 in a state larger than the thickness of the longitudinal cross section of the sensor element 1 when inserted into the gap 24b. It is provided in.

ダミーピン挿脱機構２３０は、ステージ２１１の上に設けられ、ダミーピン２３１をｙ軸方向に進退自在に移動させる。ダミーピン２３１は、後述するように、センサ素子１の挿入に先立って挿入口２３を広げる目的で、ハウジング２４の挿入口２３にその先端部２３１ｓの側から挿入される部材である。ダミーピン２３１は、円柱状あるいは角柱状の棒材の先端部が、テーパー状にカットされた形状を有してなる。より詳細には、ダミーピン２３１は、その先端部２３１ｓから長手方向の所定範囲にかけて、その厚みが大きくなる形状を有し、隙間２４ｂに挿入された際に、ハウジング２４の挿入口２３の開口高さを、センサ素子１の長手方向垂直断面の厚みよりも増大させる程度の形状およびサイズにて設けられてなる。   The dummy pin insertion / removal mechanism 230 is provided on the stage 211 and moves the dummy pin 231 so as to advance and retract in the y-axis direction. As will be described later, the dummy pin 231 is a member that is inserted into the insertion port 23 of the housing 24 from the distal end portion 231 s side in order to widen the insertion port 23 prior to the insertion of the sensor element 1. The dummy pin 231 has a shape in which a tip portion of a columnar or prismatic bar is cut into a taper shape. More specifically, the dummy pin 231 has a shape in which the thickness increases from the distal end portion 231s to a predetermined range in the longitudinal direction, and when the dummy pin 231 is inserted into the gap 24b, the opening height of the insertion port 23 of the housing 24 is increased. Is provided in a shape and size that can be increased more than the thickness of the vertical cross section of the sensor element 1 in the longitudinal direction.

撮像手段２４０は、ＣＣＤカメラなどの小型カメラである。図６は、後述する初期状態にあるときの、撮像手段２４０と、第１の載置台２１３およびこれに載置されたガスセンサ本体１０との配置関係を示す図である。ただし、素子受け台２１４は省略している。撮像手段２４０は、図６に示す、ガスセンサ本体１０が第１の載置台２１３に載置された状態において、センサ素子１の電極端子１ａが形成された側の先端面１ｓを撮像する。撮像手段２４０により得られた撮像画像は、センサ素子１の傾き補正に利用される。なお、図示しない表示手段（例えばディスプレイなど）によって、撮像手段２４０による撮像画像を表示できるようにされてなるのが好ましい。   The imaging means 240 is a small camera such as a CCD camera. FIG. 6 is a diagram showing a positional relationship between the imaging means 240, the first mounting table 213, and the gas sensor main body 10 mounted on the imaging device 240 in an initial state to be described later. However, the element cradle 214 is omitted. In the state where the gas sensor main body 10 is mounted on the first mounting table 213 shown in FIG. 6, the imaging unit 240 images the tip surface 1 s on the side where the electrode terminal 1 a of the sensor element 1 is formed. The captured image obtained by the imaging unit 240 is used for inclination correction of the sensor element 1. Note that it is preferable that an image captured by the imaging unit 240 can be displayed by a display unit (not shown) (for example, a display).

第１の変位センサ２５０は、その配置位置から、素子受け台２１４に支持されたセンサ素子１の先端面１ｓまでの距離を測定するために備わる。   The first displacement sensor 250 is provided for measuring the distance from the arrangement position to the tip surface 1 s of the sensor element 1 supported by the element cradle 214.

第２の変位センサ２６０は、センサ素子１の先端部をハウジング２４の挿入口２３に挿入させる際のテーブル２１２の位置を検知するために備わる。   The second displacement sensor 260 is provided to detect the position of the table 212 when the distal end portion of the sensor element 1 is inserted into the insertion port 23 of the housing 24.

制御部２７０は、ガスセンサ製造装置２００の各部の動作を制御する。また、制御部２７０は、係る動作制御に際し必要となる情報を得るために、撮像手段２４０の撮像画像に基づく画像処理や、第１の変位センサ２５０および第２の変位センサ２６０における検出結果に基づく所定の演算処理を行う。そして、それらの処理結果に基づいた動作指示を、対象となる部位に対し与える。   The control unit 270 controls the operation of each unit of the gas sensor manufacturing apparatus 200. In addition, the control unit 270 is based on image processing based on a captured image of the imaging unit 240 and detection results in the first displacement sensor 250 and the second displacement sensor 260 in order to obtain information necessary for the operation control. Predetermined arithmetic processing is performed. Then, an operation instruction based on the processing results is given to the target part.

＜ガスセンサの組み立て＞
次に、ガスセンサ製造装置２００を用いて行う、ガスセンサ１００の組み立てについて説明する。図７は、ガスセンサ１００の組み立て手順を示す図である。 <Assembly of gas sensor>
Next, assembly of the gas sensor 100 performed using the gas sensor manufacturing apparatus 200 will be described. FIG. 7 is a diagram illustrating an assembly procedure of the gas sensor 100.

なお、ガスセンサ製造装置２００においては、ガスセンサ１００の組み立てを開始する際、第１の載置台２１３と撮像手段２４０とが対向し、ダミーピン挿脱機構２３０に備わるダミーピン２３１と第２の載置台２２１とが対向するように配置される。係る配置状態を初期状態と称し、初期状態における各部の配置位置を、初期位置と称する。   In the gas sensor manufacturing apparatus 200, when the assembly of the gas sensor 100 is started, the first mounting table 213 and the imaging unit 240 face each other, and the dummy pins 231 and the second mounting table 221 provided in the dummy pin insertion / removal mechanism 230 are provided. Are arranged to face each other. Such an arrangement state is referred to as an initial state, and an arrangement position of each part in the initial state is referred to as an initial position.

はじめに、初期位置に配置されている第１の載置台２１３の上に、ガスセンサ本体１０を載置する。このとき、センサ素子１は、素子受け台２１４に支持される（ステップＳ１０１）。   First, the gas sensor main body 10 is mounted on the first mounting table 213 arranged at the initial position. At this time, the sensor element 1 is supported by the element cradle 214 (step S101).

次に、撮像手段２４０により、初期位置にあるセンサ素子１の先端面１ｓを撮像する（ステップＳ１０２）。   Next, the imaging unit 240 images the tip surface 1s of the sensor element 1 at the initial position (step S102).

図８は、初期状態における、センサ素子１と素子受け台２１４の種々の配置関係を例示する図である。ガスセンサ本体１０は、図８（ａ）に示すようにセンサ素子１の主面が素子受け台２１４の上面（水平面）と略平行となるように、目視でその載置状態を確認されつつ第１の載置台２１３の上に載置されるが、実際には、図８（ｂ）および図８（ｃ）に示すように、素子受け台２１４の上面に対してセンサ素子１の主面が傾いた状態で、センサ素子１が支持されることがある。これは、センサ素子１の幅が数ｍｍ程度と微少なため、目視による載置では、センサ素子１にわずかに曲がりが生じている場合など、その先端部が水平となっているか否かを厳密に判断することが難しいことによる。   FIG. 8 is a diagram illustrating various arrangement relationships between the sensor element 1 and the element cradle 214 in the initial state. As shown in FIG. 8A, the gas sensor main body 10 is first checked while visually checking its mounting state so that the main surface of the sensor element 1 is substantially parallel to the upper surface (horizontal plane) of the element receiving base 214. However, in practice, the main surface of the sensor element 1 is inclined with respect to the upper surface of the element receiving base 214 as shown in FIGS. In such a state, the sensor element 1 may be supported. This is because the width of the sensor element 1 is as small as several millimeters, and it is strictly determined whether or not the tip of the sensor element 1 is horizontal when the sensor element 1 is slightly bent when placed visually. It is difficult to judge.

仮に、水平面に対してセンサ素子１が傾いた状態で、センサ素子１を挿入口２３に挿入しようとすると、センサ素子１の先端がハウジング２４に接触すること等により、センサ素子１の欠損あるいはセンサ素子の挿入ミスが生じる。センサ素子１の軸の向きが水平方向と平行になるように、クランプ等を用いて、センサ素子１を素子受け台２１４に固定する方法も考えられるが、センサ素子１の表面に形成された電極パターンは剥がれやすく、このような方法を採用することは難しい。   If the sensor element 1 is to be inserted into the insertion port 23 in a state where the sensor element 1 is inclined with respect to the horizontal plane, the sensor element 1 may be lost or the sensor may be damaged due to the tip of the sensor element 1 coming into contact with the housing 24 or the like. An element insertion error occurs. Although a method of fixing the sensor element 1 to the element cradle 214 by using a clamp or the like so that the direction of the axis of the sensor element 1 is parallel to the horizontal direction, an electrode formed on the surface of the sensor element 1 is also conceivable. The pattern is easy to peel off, and it is difficult to adopt such a method.

そこで、本実施の形態に係るガスセンサ製造装置２００では、上述のように撮像手段２４０によるセンサ素子１の先端面１ｓの撮像を行い、得られた撮像画像に基づいて、制御部２７０が、図８（ｂ）および図８（ｃ）に示すようなセンサ素子１の傾き角度θを算出し（ステップＳ１０３）、その結果に基づいて、センサ素子１の傾きを補正する（ステップＳ１０４）こととしている。すなわち、制御部２７０は、傾き算出手段として機能しているといえる。なお、画像処理には、公知の技術を適用可能である。   Therefore, in the gas sensor manufacturing apparatus 200 according to the present embodiment, the front end surface 1s of the sensor element 1 is imaged by the imaging means 240 as described above, and based on the obtained captured image, the control unit 270 performs FIG. The inclination angle θ of the sensor element 1 as shown in FIG. 8B and FIG. 8C is calculated (step S103), and the inclination of the sensor element 1 is corrected based on the result (step S104). That is, it can be said that the control unit 270 functions as an inclination calculating unit. A known technique can be applied to the image processing.

算出された傾き角度θが所定のしきい値（例えば±３°）を超えているときは、センサ素子１の軸の向きが水平に近づくように、第１の載置台２１３の上に載置されたガスセンサ本体１０の姿勢を調整する。係る調整は、手動で行ってもよいし、制御部２７０が図示しない調整機構を動作させることにより行われる態様であってもよい。   When the calculated tilt angle θ exceeds a predetermined threshold value (for example, ± 3 °), the sensor element 1 is placed on the first placement table 213 so that the axis direction of the sensor element 1 approaches horizontal. The posture of the gas sensor main body 10 is adjusted. Such adjustment may be performed manually, or may be performed by the control unit 270 operating an adjustment mechanism (not shown).

このように、あらかじめセンサ素子１の軸の傾きを修正することで、ガスセンサ１００を組み立てる際に、センサ素子１の先端がハウジング２４に接触すること等により生じる、センサ素子１の欠損あるいはセンサ素子の挿入ミスが抑制される。   Thus, by correcting the inclination of the axis of the sensor element 1 in advance, when the gas sensor 100 is assembled, the sensor element 1 is lost or the sensor element 1 is lost due to the tip of the sensor element 1 coming into contact with the housing 24 or the like. Insertion errors are suppressed.

ガスセンサ本体１０の姿勢を調整した後、第１の載置台２１３に載置されているガスセンサ本体１０の上に固定部材２１５を設置し、ガスセンサ本体１０を第１の載置台２１３に一時的に固定する（ステップＳ１０５）。これにより、センサ素子１の挿入口２３への挿入のためにステージ２１１およびテーブル２１２を移動させる際に、第１の載置台２１３に載置されたガスセンサ本体１０の位置ずれや姿勢ずれが防止される。   After adjusting the posture of the gas sensor main body 10, a fixing member 215 is installed on the gas sensor main body 10 placed on the first mounting table 213, and the gas sensor main body 10 is temporarily fixed to the first mounting table 213. (Step S105). Thereby, when the stage 211 and the table 212 are moved for insertion of the sensor element 1 into the insertion port 23, the position shift and the position shift of the gas sensor body 10 mounted on the first mounting table 213 are prevented. The

次に、コンタクト部材２０を第２の載置台２２１の上に載置する（ステップＳ１０６）。このとき、挿入口２３の断面の長手方向が水平になるように載置する。   Next, the contact member 20 is mounted on the second mounting table 221 (step S106). At this time, it mounts so that the longitudinal direction of the cross section of the insertion port 23 may become horizontal.

コンタクト部材２０が第２の載置台２２１の上に載置されると、まず、ハウジング２４の挿入口２３を拡大する処理を行う。図９は、挿入口２３を拡大する一連の工程の様子を示す模式図である。   When the contact member 20 is mounted on the second mounting table 221, first, a process of enlarging the insertion port 23 of the housing 24 is performed. FIG. 9 is a schematic diagram showing a state of a series of steps for enlarging the insertion slot 23.

まず、制御部２７０がダミーピン挿脱機構２３０を動作させてダミーピン２３１を移動させて、ハウジング２４の挿入口２３にダミーピン２３１を挿入させる（ステップＳ１０７）。図９（ａ）は、ハウジング２４の挿入口２３にダミーピン２３１が挿入される前の様子を示す図である。一方、図９（ｂ）は、ハウジング２４の挿入口２３にダミーピン２３１が挿入された様子を示す図である。上述のように、ダミーピン２３１はその先端部２３１ｓから長手方向の所定範囲にかけて、その厚みが大きくなっている。そのため、ダミーピン２３１が挿入されることにより、ハウジング部材２４ａが押し広げられ、挿入口２３が高さ方向（ｚ軸方向）について挿入前よりも拡大する。   First, the control unit 270 operates the dummy pin insertion / removal mechanism 230 to move the dummy pin 231 and insert the dummy pin 231 into the insertion port 23 of the housing 24 (step S107). FIG. 9A is a diagram illustrating a state before the dummy pin 231 is inserted into the insertion port 23 of the housing 24. On the other hand, FIG. 9B is a diagram illustrating a state in which the dummy pin 231 is inserted into the insertion port 23 of the housing 24. As described above, the thickness of the dummy pin 231 increases from the tip portion 231s to a predetermined range in the longitudinal direction. Therefore, when the dummy pin 231 is inserted, the housing member 24a is pushed and expanded, and the insertion port 23 is enlarged in the height direction (z-axis direction) before insertion.

そして、挿入口２３へのダミーピン２３１の挿入を維持した状態で、開口維持部材２２２ａおよび２２２ｂのくさび状の突起部２２３ａおよび２２３ｂを、ハウジング部材２４ａの端部の対応する隙間２４ｂにそれぞれ挿入させる（ステップＳ１０８）。図９（ｃ）は、ハウジング部材２４ａの間に開口維持部材２２２ａおよび２２３ｂが挿入された様子を示す図である。   Then, with the insertion of the dummy pin 231 into the insertion port 23 maintained, the wedge-shaped projections 223a and 223b of the opening maintaining members 222a and 222b are inserted into the corresponding gaps 24b at the end of the housing member 24a ( Step S108). FIG. 9C is a diagram illustrating a state in which the opening maintaining members 222a and 223b are inserted between the housing members 24a.

次に、ダミーピン挿脱機構２３０によりダミーピン２３１を移動させ、挿入口２３からダミーピン２３１を引き抜く（ステップＳ１０９）。図９（ｄ）は、挿入口２３からダミーピン２３１を引き抜いた様子を示す斜視図である。図９（ｄ）に示すように、隙間２４ｂに開口維持部材２２２が挿入されているため、挿入口２３からダミーピン２３１を引き抜いた後においても、挿入口２３の拡大状態は維持される。   Next, the dummy pin 231 is moved by the dummy pin insertion / removal mechanism 230, and the dummy pin 231 is pulled out from the insertion port 23 (step S109). FIG. 9D is a perspective view showing a state in which the dummy pin 231 is pulled out from the insertion port 23. As shown in FIG. 9D, since the opening maintaining member 222 is inserted into the gap 24b, the expanded state of the insertion port 23 is maintained even after the dummy pin 231 is pulled out from the insertion port 23.

このように、挿入口２３を拡大しておくことにより、センサ素子１を挿入口２３に挿入させる際において、センサ素子１の先端がハウジング２４に接触することによるセンサ素子１の欠損、あるいはセンサ素子１の挿入ミスが抑制される。   Thus, by enlarging the insertion port 23, when the sensor element 1 is inserted into the insertion port 23, the sensor element 1 is lost due to the tip of the sensor element 1 coming into contact with the housing 24, or the sensor element. The insertion error of 1 is suppressed.

次に、第１の変位センサ２５０とセンサ素子１の先端部との距離を求める（Ｓ１１０）。例えば、第２の変位センサ２５０としてレーザー変位計を用いる場合であれば、制御部２７０が、レーザー変位計からセンサ素子１の先端部に向かって照射したレーザー光ＬＢが戻ってくるまでの時間（帰還時間）と、レーザー光ＬＢの速さから当該距離を算出する。   Next, the distance between the first displacement sensor 250 and the tip of the sensor element 1 is obtained (S110). For example, if a laser displacement meter is used as the second displacement sensor 250, the time until the laser beam LB emitted from the laser displacement meter toward the tip of the sensor element 1 is returned by the control unit 270 ( The distance is calculated from the feedback time) and the speed of the laser beam LB.

次に、制御部２７０は、センサ素子１をハウジング２４の挿入口２３と対向する位置（挿入動作開始位置）にまで移動させるための、ステージ２１１のｘ軸方向についての移動量を算出する（ステップＳ１１１）。ここで、当該移動量は、初期状態における第１の載置台２１３の配置位置と、第２の載置台２２１の載置位置とのｘ軸方向の距離に相当する基準移動量（ズレ量を０としたときの移動量に相当）に、上述のズレ量を加えた値として求められる。   Next, the control unit 270 calculates the amount of movement of the stage 211 in the x-axis direction for moving the sensor element 1 to a position (insertion operation start position) facing the insertion port 23 of the housing 24 (step). S111). Here, the movement amount is a reference movement amount (a deviation amount of 0) corresponding to the distance in the x-axis direction between the arrangement position of the first mounting table 213 and the mounting position of the second mounting table 221 in the initial state. Equivalent to the amount of movement) and the above-mentioned deviation amount.

図１０は、ステージ２１１のｘ軸方向の移動について説明するための図である。図１０において、初期状態にある第１の載置台２１３と第２の載置台２２１のｘ軸方向の距離Ｘ０は固定値であり、これが基準移動量となる。いま、図１０に示すように、センサ素子１に曲がりが生じているとする（ただし、図１０では曲がりは誇張されている）。第１の変位センサ２５０による検出の結果、係る曲がりのためにセンサ素子１（の先端部）の軸線（中心線）Ｌ１の位置が理想状態から距離αだけずれていることが特定された場合、制御部２７０は、ステージ２１１をｘ軸方向に距離Ｘ０＋α移動させる。これにより、センサ素子１（の先端部）の軸線Ｌ１と第２の載置台２２１に載置されたコンタクト部材２０の挿入口２３の軸線Ｌ２の位置とがほぼ合致する。   FIG. 10 is a diagram for explaining the movement of the stage 211 in the x-axis direction. In FIG. 10, the distance X0 in the x-axis direction between the first mounting table 213 and the second mounting table 221 in the initial state is a fixed value, which is the reference movement amount. Now, assume that the sensor element 1 is bent as shown in FIG. 10 (however, the bending is exaggerated in FIG. 10). As a result of the detection by the first displacement sensor 250, it is determined that the position of the axis (center line) L1 of the sensor element 1 (the front end portion) thereof is deviated from the ideal state by a distance α due to such bending. The control unit 270 moves the stage 211 in the x-axis direction by a distance X0 + α. As a result, the axis L1 of the sensor element 1 (the tip thereof) and the position of the axis L2 of the insertion port 23 of the contact member 20 mounted on the second mounting table 221 substantially coincide with each other.

上述の移動量が求まると、制御部２７０は、第１の移動機構２１６を動作させて、ステージ２１１を当該移動量に従ってｘ軸方向に移動させる（ステップＳ１１２）。これにより、センサ素子１が（より厳密にはその先端面１ｓが）ハウジング２４の挿入口２３と対向する位置（挿入動作開始位置）に到達する。そして、センサ素子１を挿入口２３に挿入させる際のセンサ素子１（の先端部）の軸線Ｌ１の位置が挿入口２３の軸線Ｌ２の位置にほぼ合致することとなる。なお、この場合、制御部２７０が第１の載置台２１３の配置位置を調整する載置台位置調整手段として機能しているといえる。   When the above-described movement amount is obtained, the control unit 270 operates the first movement mechanism 216 to move the stage 211 in the x-axis direction according to the movement amount (step S112). As a result, the sensor element 1 (more precisely, the front end surface 1s) reaches a position (insertion operation start position) facing the insertion port 23 of the housing 24. Then, the position of the axis L1 of the sensor element 1 (the tip thereof) when the sensor element 1 is inserted into the insertion port 23 substantially matches the position of the axis L2 of the insertion port 23. In this case, it can be said that the control unit 270 functions as a mounting table position adjusting unit that adjusts the arrangement position of the first mounting table 213.

このように、センサ素子１の先端の位置のズレ量を含めた移動量にてステージ２１１を移動させることで、センサ素子１を形成する際に生じたセンサ素子１の曲がりなどによってセンサ素子１の先端位置が理想位置（曲がり等の変形のない場合のセンサ素子１の先端の配置位置）からずれていたとしても、センサ素子１を精度よく挿入動作開始位置に配置させることができる。   As described above, the stage 211 is moved by the movement amount including the displacement amount of the position of the tip of the sensor element 1, so that the sensor element 1 is bent due to the bending of the sensor element 1 generated when the sensor element 1 is formed. Even if the tip position deviates from the ideal position (position of the tip of the sensor element 1 when there is no deformation such as bending), the sensor element 1 can be accurately placed at the insertion operation start position.

なお、ステップＳ１１０〜Ｓ１１１は、Ｓ１０７〜Ｓ１０９と並行して行うようにしてもよい。   Note that steps S110 to S111 may be performed in parallel with S107 to S109.

センサ素子１が挿入動作開始位置に配置されると、次に、センサ素子１を挿入口２３に挿入させるための挿入動作の実行に移る。挿入動作は、センサ素子１の先端部が挿入口２３に挿入された状態となるまでの動作（先端挿入動作）と、該先端部が挿入口２３に挿入された後の動作（本挿入動作）とに大別される。   When the sensor element 1 is arranged at the insertion operation start position, the process proceeds to execution of an insertion operation for inserting the sensor element 1 into the insertion port 23. The insertion operation includes an operation until the tip of the sensor element 1 is inserted into the insertion port 23 (tip insertion operation) and an operation after the tip is inserted into the insertion port 23 (main insertion operation). It is roughly divided into

まず、制御部２７０は、先端挿入動作のための動作指示を第２の移動機構２１７に与える。具体的には、センサ素子１が（その先端面１ｓが）挿入動作開始位置から挿入口２３の端部から所定の距離β（例えば２ｍｍ程度）奥へと入った位置（目標位置）までの距離を移動するようにテーブル２１２を移動させる指示が、制御部２７０から第２の移動機構２１７に対し与えられる。第２の移動機構２１７は、係る動作指示に応答し、これに見合う態様にてテーブル２１２を移動させる（ステップＳ１１３）。これが先端挿入動作に相当する。例えば、０．１２Ｍｐａ程度の低い圧力をテーブル２１２に加えることにより、テーブル２１２を低速で移動させる。   First, the control unit 270 gives an operation instruction for the tip insertion operation to the second moving mechanism 217. Specifically, the distance from the insertion operation start position to the position (target position) where the sensor element 1 enters from the end of the insertion port 23 to the back by a predetermined distance β (for example, about 2 mm). The control unit 270 gives an instruction to move the table 212 to move the second moving mechanism 217. The second moving mechanism 217 responds to the operation instruction and moves the table 212 in a manner commensurate with this (Step S113). This corresponds to the tip insertion operation. For example, by applying a low pressure of about 0.12 Mpa to the table 212, the table 212 is moved at a low speed.

係る先端挿入動作に際しては、センサ素子１の先端部が正常に挿入口２３内の目標位置にまで挿入されるか否かが判定される（ステップＳ１１４）。図１１は、挿入動作の際のセンサ素子１の先端部とハウジング２４の挿入口２３との位置関係を例示する水平断面図である。   In such tip insertion operation, it is determined whether or not the tip portion of the sensor element 1 is normally inserted to the target position in the insertion port 23 (step S114). FIG. 11 is a horizontal cross-sectional view illustrating the positional relationship between the distal end portion of the sensor element 1 and the insertion port 23 of the housing 24 during the insertion operation.

センサ素子１の軸線Ｌ１とハウジング２４の挿入口２３の軸線Ｌ２とが合致していれば、図１１（ａ）に示すように、センサ素子１の先端部は挿入口２３の内部へと浸入し、挿入口２３の端部から距離βだけ離れた位置にまで達する（ステップＳ１１４でＹＥＳ）。   If the axis L1 of the sensor element 1 and the axis L2 of the insertion port 23 of the housing 24 match, the tip of the sensor element 1 enters the inside of the insertion port 23 as shown in FIG. Then, it reaches a position away from the end of the insertion port 23 by a distance β (YES in step S114).

しかしながら、ステップＳ１１１までの処理において、センサ素子１の先端部の軸線Ｌ１と第２の載置台２２１に載置されたコンタクト部材２０の挿入口２３の軸線Ｌ２の位置とはほぼ合致するようにされてなるものの、実際には第２の載置台２２１に対するコンタクト部材２０の載置精度などの問題から、両者の軸線がずれる状態は生じ得る。   However, in the processing up to step S111, the axis L1 of the distal end portion of the sensor element 1 and the position of the axis L2 of the insertion port 23 of the contact member 20 mounted on the second mounting table 221 are substantially matched. However, in reality, due to problems such as the mounting accuracy of the contact member 20 with respect to the second mounting table 221, a state in which the axes of the two members deviate may occur.

ただし、図１１（ｂ）に示すように、センサ素子１の軸線Ｌ１とハウジング２４の挿入口２３の軸線Ｌ２とずれている場合であっても、図１１（ｂ）に示すように、そのずれの程度がわずかであり、センサ素子１の先端面１ｓが挿入口２３の内部へと浸入可能であれば、センサ素子１はハウジング部材２４ａに接触しつつも目標位置にまで到達することは可能である。   However, even if the axis L1 of the sensor element 1 and the axis L2 of the insertion port 23 of the housing 24 are misaligned as shown in FIG. If the tip surface 1s of the sensor element 1 is able to enter the insertion port 23, the sensor element 1 can reach the target position while contacting the housing member 24a. is there.

一方、図１１（ｃ）に示すように、センサ素子１の軸線Ｌ１とハウジング２４の挿入口２３の軸線Ｌ２とのずれが大きく、センサ素子１の先端面１ｓがハウジング部材２４ａの端部に当接してしまうと、センサ素子１が目標位置に達することはできず、先端挿入動作が完了されないことになる（ステップＳ１１４でＮＯ）。この場合、制御部２７０は、センサ素子１をいったん待避させるべく、第２の移動機構２１７にテーブル２１２を後退させるよう指示を与える（ステップＳ１１５）。そして、ステージ２１１の位置を所定距離Δｘだけシフトさせるよう、第１の移動機構２１６に移動指示を与えることで、センサ素子１のｘ軸方向の配置位置（挿入動作開始）を微調整する（ステップＳ１１５）。そしてその後、先端導入動作を再実行する。なお、Δｘの値はあらかじめ定められ、制御部２７０に記憶されていてもよいし、その都度、与えられる態様であってもよい。図１１（ａ）に示す状態が実現されるまで、ステップＳ１１５、ステップＳ１１６、およびステップＳ１１３が繰り返される。   On the other hand, as shown in FIG. 11C, the deviation between the axis L1 of the sensor element 1 and the axis L2 of the insertion port 23 of the housing 24 is large, so that the front end surface 1s of the sensor element 1 contacts the end of the housing member 24a. If contact is made, the sensor element 1 cannot reach the target position, and the tip insertion operation is not completed (NO in step S114). In this case, the control unit 270 instructs the second moving mechanism 217 to retract the table 212 to temporarily retract the sensor element 1 (step S115). Then, by giving a movement instruction to the first moving mechanism 216 so as to shift the position of the stage 211 by a predetermined distance Δx, the arrangement position (insertion operation start) of the sensor element 1 is finely adjusted (step) S115). Thereafter, the tip introduction operation is re-executed. The value of Δx may be determined in advance and stored in the control unit 270, or may be given each time. Step S115, step S116, and step S113 are repeated until the state shown in FIG.

なお、先端挿入動作に際して、センサ素子１の先端部が正常に挿入口２３内の目標位置にまで挿入されるか否かの判定は、第２の変位センサ２６０の検知内容に基づいて、制御部２７０により行われる。すなわち、制御部２７０と第２の変位センサ２６０とが、挿入判定手段を構成しているといえる。   In the tip insertion operation, whether or not the tip of the sensor element 1 is normally inserted to the target position in the insertion port 23 is determined based on the detection content of the second displacement sensor 260. 270. That is, it can be said that the control unit 270 and the second displacement sensor 260 constitute an insertion determination unit.

第２の変位センサ２６０としてレーザー変位計を用いる場合であれば、制御部２７０が、先端挿入動作を実行している間、レーザー変位計からテーブル２１２に向かって照射したレーザー光が戻ってくるまでの時間（帰還時間）を絶えず測定するようにする。テーブル２１２の移動とともに、その時間は徐々に変化する。制御部２７０は、係るテーブル２１２が移動している間、レーザー光の帰還時間をモニターする。テーブル２１２の移動開始時からの所定時間内において、該帰還時間が、あらかじめ記憶している、センサ素子１が目標位置に達したときのテーブル２１２の配置位置に相当する規定値で略一定となったときに、センサ素子１が正しく目標位置に達したと判定する。一方、図１１（ｃ）のような状態にあると、所定時間経過しても、レーザー光の帰還時間が上述の規定値に達しないので、そのときは、センサ素子１は正しく目標位置に達していない（達し得ない）と判定する。   If a laser displacement meter is used as the second displacement sensor 260, the control unit 270 performs the tip insertion operation until the laser beam irradiated from the laser displacement meter toward the table 212 returns. Always measure the time (return time). As the table 212 moves, the time gradually changes. The controller 270 monitors the return time of the laser light while the table 212 is moving. Within a predetermined time from the start of movement of the table 212, the feedback time is substantially constant at a predetermined value stored in advance and corresponding to the arrangement position of the table 212 when the sensor element 1 reaches the target position. It is determined that the sensor element 1 has correctly reached the target position. On the other hand, in the state as shown in FIG. 11C, the feedback time of the laser beam does not reach the above-mentioned specified value even when a predetermined time has elapsed. In this case, the sensor element 1 correctly reaches the target position. It is determined that it is not (cannot be reached).

あるいは、第２の変位センサ２６０として圧力センサを用いる態様であってもよい。係る場合、センサ素子１が目標位置に達したときあるいはそれ以前に、テーブル２１２が圧力センサの圧力検知部に接触して所定の圧力を与えるように、圧力センサを設けておき、制御部２７０は、係るテーブル２１２が移動している間、圧力検知部において検知される圧力をモニターする。そして、所定時間内において、圧力検知部において検知される圧力が、あらかじめ記憶している規定値以上となったときに、センサ素子１が正しく目標位置に達したと判定し、係る規定値にまで達しない場合に、センサ素子１は正しく目標位置に達していない（達し得ない）と判定する。   Alternatively, a pressure sensor may be used as the second displacement sensor 260. In such a case, when the sensor element 1 reaches the target position or before that, a pressure sensor is provided so that the table 212 contacts the pressure detection unit of the pressure sensor and gives a predetermined pressure, and the control unit 270 While the table 212 is moving, the pressure detected by the pressure detector is monitored. Then, when the pressure detected by the pressure detection unit becomes equal to or higher than a predetermined value stored in advance within a predetermined time, it is determined that the sensor element 1 has correctly reached the target position, and the predetermined value is reached. If not, it is determined that the sensor element 1 has not correctly reached (cannot reach) the target position.

最終的に先端挿入動作が完了すると、固定部材２１５によるガスセンサ本体１０の固定を解除（ステップＳ１１７）した上で、制御部２７０が、本挿入動作のための動作指示を第２の移動機構２１７に与える。センサ素子１が（その先端面１ｓを）目標位置から所定の距離γ（例えば８ｍｍ程度）奥へと入った位置（最終到達位置）まで挿入されるように、テーブル２１２を移動させる指示が、制御部２７０から第２の移動機構２１７に対し与えられる。図１１（ｄ）は、本挿入動作が完了した状態を例示している。   When the distal end insertion operation is finally completed, the fixing of the gas sensor body 10 by the fixing member 215 is released (step S117), and then the control unit 270 gives an operation instruction for the main insertion operation to the second moving mechanism 217. give. An instruction to move the table 212 so that the sensor element 1 is inserted to a position (final arrival position) at a predetermined distance γ (for example, about 8 mm) from the target position (its front end surface 1s) is controlled by It is given from the part 270 to the second moving mechanism 217. FIG. 11D illustrates a state where the main insertion operation is completed.

本挿入動作の際、第２の移動機構２１７は、例えば、０．７Ｍｐａ程度の圧力をテーブル２１２に加えながら、先端挿入動作の際よりも大きな速度でテーブル２１２を移動させるようにする。すなわち、先端挿入動作の際の挿入速度よりもよりも大きな挿入速度で本挿入動作を行うようにする。先端挿入動作の場合、センサ素子１とハウジング部材２４ａとの接触の可能性があるため、高速の挿入動作はセンサ素子１あるいはハウジング２４の破損等を引き起こす可能性があるため避ける必要があるのに対し、本挿入動作は、センサ素子１の先端がただしく挿入口２３に挿入された後に行うため、そうした破損等のおそれがないことから、先端挿入動作よりも高速な挿入が可能である。   During the main insertion operation, the second moving mechanism 217 moves the table 212 at a speed higher than that during the tip insertion operation while applying a pressure of about 0.7 Mpa to the table 212, for example. That is, the main insertion operation is performed at a higher insertion speed than the insertion speed at the time of the tip insertion operation. In the case of the tip insertion operation, there is a possibility of contact between the sensor element 1 and the housing member 24a. Therefore, a high-speed insertion operation may cause damage to the sensor element 1 or the housing 24, and thus should be avoided. On the other hand, since this insertion operation is performed after the distal end of the sensor element 1 has been inserted into the insertion port 23, there is no risk of such damage, so that the insertion can be performed faster than the distal insertion operation.

図１２は、第１の載置台２１３と第２の載置台２２１とがバネ弾性を有する様子を、概念的に示す図である。挿入口２３の端部付近は開口維持部材２２２によって拡大されているものの、本挿入動作の際、センサ素子１が挿入口２３の奥へと挿入されるに従い、センサ素子１とハウジング２４とが接触する。これにより、センサ素子１（およびガスセンサ本体１０）とハウジング２４（およびコンタクト部材２０）とが互いに力を及ぼすものの、第１の載置台２１３と第２の載置台２２１とがともにバネ弾性を有することで、その力は第１の載置台２１３および第２の載置台２２１に吸収される。これにより、本挿入動作時において、ハウジング２４から受けた力によってセンサ素子１が破損等することが抑制されてなる。   FIG. 12 is a diagram conceptually showing how the first mounting table 213 and the second mounting table 221 have spring elasticity. Although the vicinity of the end of the insertion port 23 is enlarged by the opening maintaining member 222, the sensor element 1 and the housing 24 come into contact with each other as the sensor element 1 is inserted into the insertion port 23 during this insertion operation. To do. Thereby, although the sensor element 1 (and the gas sensor body 10) and the housing 24 (and the contact member 20) exert a force on each other, the first mounting table 213 and the second mounting table 221 both have spring elasticity. The force is absorbed by the first mounting table 213 and the second mounting table 221. As a result, the sensor element 1 is prevented from being damaged by the force received from the housing 24 during the main insertion operation.

センサ素子１が最終到達位置にまで達すると、ハウジング２４の間に挿入されていた開口維持部材２２２を取り外す（ステップＳ１１９）。   When the sensor element 1 reaches the final position, the opening maintaining member 222 inserted between the housings 24 is removed (step S119).

そして、図示しない加締め手段によって加締めリング２７をクランプする（ステップＳ１２０）。これにより、押圧ばね２６が圧縮変形されて、固定金具２５がセンサ素子１側へ付勢し、コンタクト部材２０の接点部材２１とセンサ素子１の電極端子１ａとが接触した状態で、ガスセンサ本体１０とコンタクト部材２０とが固定される。すなわち、ガスセンサ本体１０とコンタクト部材２０とが一体化された状態、すなわち、ガスセンサ１００が組み立てられた状態が実現される。   Then, the caulking ring 27 is clamped by caulking means (not shown) (step S120). As a result, the pressure spring 26 is compressed and deformed, the fixing bracket 25 is urged toward the sensor element 1, and the gas sensor main body 10 is in a state where the contact member 21 of the contact member 20 and the electrode terminal 1a of the sensor element 1 are in contact. And the contact member 20 are fixed. That is, a state where the gas sensor main body 10 and the contact member 20 are integrated, that is, a state where the gas sensor 100 is assembled is realized.

以上説明したように、本実施の形態によれば、センサ素子を先端部に備えるガスセンサ本体とセンサ素子の挿入口を備えるコンタクト部材とを一体化させることによるガスセンサの組み立てを、先端挿入動作によってセンサ素子の先端部のみが挿入口に挿入された状態を確実に実現したうえで、係る先端挿入動作よりも大きな挿入速度での本挿入動作を行うようにすることで、センサ素子の挿入ミスや、センサ素子が挿入口を構成するハウジングに衝突することによるセンサ素子の欠損を好適に抑制しつつ、生産性の高いガスセンサの組み立て処理が実現される。   As described above, according to the present embodiment, the assembly of the gas sensor by integrating the gas sensor main body having the sensor element at the tip portion and the contact member having the sensor element insertion port is performed by the tip insertion operation. After reliably realizing the state where only the tip of the element is inserted into the insertion port, by performing the main insertion operation at a larger insertion speed than the tip insertion operation, an insertion error of the sensor element, The assembly process of the gas sensor with high productivity is realized while suitably suppressing the loss of the sensor element due to the sensor element colliding with the housing constituting the insertion port.

＜変形例＞
上述の実施の形態では、センサ素子の挿入動作を２段階で行っているが、３段階以上に分けて行うようにしてもよい。 <Modification>
In the above-described embodiment, the sensor element insertion operation is performed in two stages, but may be performed in three or more stages.

また、ハウジング２４の挿入口２３にセンサ素子１を挿入した後、センサ素子１に備わる図示しないヒーター電極の導通チェックを行うようにしてもよい。この導通チェックの結果を、センサ素子１の表裏の判別処理に利用するようにしてもよい。   Further, after the sensor element 1 is inserted into the insertion port 23 of the housing 24, a conduction check of a heater electrode (not shown) provided in the sensor element 1 may be performed. The result of this continuity check may be used for the front / back discrimination processing of the sensor element 1.

また、上述の実施の形態においては、第1の変位センサ２５０を用いて初期状態におけるセンサ素子１の先端部の位置（側面位置）を特定しているが、これに代わり、撮像手段２４０により得られた撮像画像に基づいて、センサ素子の側面位置あるいは断面中央位置を特定する態様であってもよい。   In the above-described embodiment, the position (side surface position) of the distal end portion of the sensor element 1 in the initial state is specified using the first displacement sensor 250. Instead, the position is obtained by the imaging unit 240. The aspect which specifies the side surface position or cross-sectional center position of a sensor element based on the obtained captured image may be sufficient.

１ センサ素子
１ａ 電極端子
１ｓ （センサ素子１の）先端面
１０ ガスセンサ本体
１１ 保護カバー
１２ ガス導入孔
１３ 金属製ハウジング
１４ 内筒
２０ コンタクト部材
２１ 接点部材
２２ リード線
２３ 挿入口
２４ ハウジング
２４ａ ハウジング部材
２４ｂ （ハウジング部材２４ａの）隙間
２７ 加締めリング
２００ ガスセンサ製造装置
２１０ ガスセンサ本体搬送機構
２１１ ステージ
２１２ テーブル
２１３ 第１の載置台
２１４ （センサ素子１の）受け台
２１６ 第１の移動機構
２１７ 第２の移動機構
２２０ コンタクト部材保持部
２２１ 第２の載置台
２２２（２２２ａ、２２２ｂ） 開口維持部材
２２３ａ、２２３ｂ 突起部
２３０ ダミーピン挿脱機構
２３１ ダミーピン
２３１ｓ （ダミーピン２３１の）先端部
２４０ 撮像手段
２５０ 第１の変位センサ
２６０ 第２の変位センサ
２７０ 制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor element 1a Electrode terminal 1s End surface (of sensor element 1) 10 Gas sensor main body 11 Protective cover 12 Gas introduction hole 13 Metal housing 14 Inner cylinder 20 Contact member 21 Contact member 22 Lead wire 23 Insertion port 24 Housing 24a Housing member 24b Gap (housing member 24a) 27 Clamping ring 200 Gas sensor manufacturing apparatus 210 Gas sensor main body transport mechanism 211 Stage 212 Table 213 First mounting table 214 (Sensor element 1) receiving table 216 First moving mechanism 217 Second movement Mechanism 220 Contact member holding part 221 Second mounting table 222 (222a, 222b) Opening maintenance member 223a, 223b Projection part 230 Dummy pin insertion / removal mechanism 231 Dummy pin 231s (Dummy pin 231) tip part 240 It means 250 first displacement sensor 260 second displacement sensor 270 control unit

Claims (18)

ガスセンサの製造装置であって、
センサ素子を備えるガスセンサ本体が載置される第１の載置台と、
前記センサ素子の挿入口を備えるコンタクト部材が載置される第２の載置台と、
前記第１の載置台を移動させる載置台移動機構と、
を備え、
前記ガスセンサ本体が前記第１の載置台に載置され、かつ、前記コンタクト部材が前記第２の載置台に載置された状態で、前記移動機構が前記第１の載置台を所定の速度で移動させることによって前記センサ素子を前記挿入口に挿入させることで、前記ガスセンサ本体と前記コンタクト部材とを一体化するものであり、
前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際には、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入された後、前記センサ素子を前記挿入口の奥にさらに挿入させるときに、前記移動機構による前記第１の載置台の移動速度を、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入されるまでの移動速度よりも大きくする、
ことを特徴とするガスセンサの製造装置。 A gas sensor manufacturing apparatus comprising:
A first mounting table on which a gas sensor body including a sensor element is mounted;
A second mounting table on which a contact member having an insertion port for the sensor element is mounted;
A mounting table moving mechanism for moving the first mounting table;
With
With the gas sensor body mounted on the first mounting table and the contact member mounted on the second mounting table, the moving mechanism moves the first mounting table at a predetermined speed. The gas sensor main body and the contact member are integrated by inserting the sensor element into the insertion port by moving it,
When the sensor element is inserted into the insertion port, the distal end portion of the sensor element is inserted into the insertion port, and then the sensor element is further inserted into the insertion port. The moving speed of the first mounting table is made larger than the moving speed until the tip of the sensor element is inserted into the insertion port.
An apparatus for manufacturing a gas sensor. 請求項１に記載の製造装置であって、
前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記センサ素子の先端位置を特定することにより、前記センサ素子の前記先端部の前記挿入口への挿入状態を判定する挿入判定手段、
をさらに備え、
前記挿入判定手段による、前記先端部が前記挿入口の所定の位置まで挿入されたとの判定に応答して、前記移動機構による前記第１の載置台の移動速度を、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入されるまでの移動速度よりも大きくする、
ことを特徴とするガスセンサの製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 1,
An insertion determination means for determining an insertion state of the tip portion of the sensor element into the insertion port by specifying a tip position of the sensor element when the sensor element is inserted into the insertion port;
Further comprising
In response to the determination by the insertion determining means that the tip has been inserted to a predetermined position of the insertion port, the tip of the sensor element determines the moving speed of the first mounting table by the moving mechanism. Greater than the moving speed until it is inserted into the insertion slot,
An apparatus for manufacturing a gas sensor. 請求項２に記載の製造装置であって、
前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記移動機構による前記第１の載置台の移動量を検出する移動量センサ、
をさらに備え、
前記挿入判定手段は、所定時間内における、前記移動量センサによって特定される前記第１の載置台の移動量に基づいて、前記先端部の前記挿入口への挿入状態を判定する、
ことを特徴とするガスセンサの製造装置。 The manufacturing apparatus according to claim 2,
A movement amount sensor for detecting a movement amount of the first mounting table by the movement mechanism when the sensor element is inserted into the insertion port;
Further comprising
The insertion determination means determines an insertion state of the distal end portion into the insertion port based on a movement amount of the first mounting table specified by the movement amount sensor within a predetermined time.
An apparatus for manufacturing a gas sensor. 請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の製造装置であって、
前記移動機構が、圧力シリンダからなり、前記圧力シリンダが前記第１の載置台が設けられたテーブルに加える圧力を調整することによって前記移動機構による前記第１の載置台の移動速度が調整される、
ことを特徴とするガスセンサの製造装置。 The manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 3,
The moving mechanism comprises a pressure cylinder, and the moving speed of the first mounting table by the moving mechanism is adjusted by adjusting the pressure that the pressure cylinder applies to the table on which the first mounting table is provided. ,
An apparatus for manufacturing a gas sensor. 請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のガスセンサの製造装置であって、
前記挿入口が、互いに対向配置されてなる一対のハウジング部材の間の空間として設けられており、
前記製造装置が、
前記挿入口に挿入されることで、前記挿入口を拡大させるダミーピンと、
前記ダミーピンを移動させるダミーピン移動機構と、
前記ダミーピンが前記挿入口に挿入された状態で前記一対のハウジング部材の端部間に挿入されることで、前記ダミーピンが除かれた後においても前記ダミーピン挿入時の前記挿入口の拡大状態を維持する開口維持部材と、
をさらに備え、
前記センサ素子の前記挿入口への挿入を、前記開口維持部材によって拡大状態とされた前記挿入口に対して行う、
ことを特徴とするガスセンサの製造装置。 A gas sensor manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 4,
The insertion port is provided as a space between a pair of housing members arranged to face each other,
The manufacturing apparatus is
A dummy pin that expands the insertion port by being inserted into the insertion port;
A dummy pin moving mechanism for moving the dummy pin;
By inserting the dummy pin between the end portions of the pair of housing members in a state where the dummy pin is inserted into the insertion port, the expanded state of the insertion port when the dummy pin is inserted is maintained even after the dummy pin is removed. An opening maintaining member,
Further comprising
Inserting the sensor element into the insertion port with respect to the insertion port expanded by the opening maintaining member,
An apparatus for manufacturing a gas sensor. 請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のガスセンサの製造装置であって、
前記第１の載置台と前記第２の載置台とが上下方向にバネ弾性を有するように設けられてなるとともに、
前記第１の載置台に載置された前記ガスセンサ本体を前記第１の載置台に固定する固定手段、
をさらに備え、
前記ガスセンサを前記固定手段によって前記第１の載置台に固定した状態で前記挿入口への前記センサ素子の挿入を開始し、前記センサ素子の前記先端部が前記挿入口に挿入された時点で、前記固定手段による、前記ガスセンサ本体の固定を解除する、
ことを特徴とするガスセンサの製造装置。 A gas sensor manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 5,
The first mounting table and the second mounting table are provided so as to have spring elasticity in the vertical direction,
Fixing means for fixing the gas sensor main body mounted on the first mounting table to the first mounting table;
Further comprising
The insertion of the sensor element into the insertion port is started in a state where the gas sensor is fixed to the first mounting table by the fixing means, and when the distal end portion of the sensor element is inserted into the insertion port, Releasing the fixing of the gas sensor body by the fixing means;
An apparatus for manufacturing a gas sensor. 請求項１ないし請求項６のいずれかに記載のガスセンサの製造装置であって、
前記ガスセンサ本体が前記第１の載置台に載置された際に、前記センサ素子の先端面を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって得られる撮像画像に基づいて前記センサ素子の傾き角度を算出する傾き算出手段と、
をさらに備えることを特徴とするガスセンサの製造装置。 A gas sensor manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 6,
When the gas sensor main body is mounted on the first mounting table, an imaging unit that images the front end surface of the sensor element;
An inclination calculating means for calculating an inclination angle of the sensor element based on a captured image obtained by the imaging means;
An apparatus for manufacturing a gas sensor, further comprising: 請求項１ない請求項７のいずれかに記載のガスセンサの製造装置であって、
前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記センサ素子の前記先端部の位置が前記挿入口の軸線位置に合致するように、前記ガスセンサ本体が載置された前記第１の載置台の配置位置を調整する載置台位置調整手段、
をさらに備えることを特徴とするガスセンサの製造装置。 A gas sensor manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 7,
Arrangement of the first mounting table on which the gas sensor body is mounted so that the position of the tip of the sensor element when the sensor element is inserted into the insertion port matches the axial position of the insertion port Mounting table position adjusting means for adjusting the position;
An apparatus for manufacturing a gas sensor, further comprising: 請求項８に記載のガスセンサの製造装置であって、
前記載置台位置調整手段は、前記ガスセンサ本体が載置された前記第１の載置台を所定の基準位置に配置させた状態における、前記センサ素子の前記先端部の理想位置からのズレ量に応じて、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記第１の載置台の配置位置を調整する、
ことを特徴とするガスセンサの製造装置。 The gas sensor manufacturing apparatus according to claim 8,
The mounting table position adjusting means corresponds to a deviation amount from an ideal position of the tip portion of the sensor element in a state where the first mounting table on which the gas sensor body is mounted is arranged at a predetermined reference position. Adjusting the arrangement position of the first mounting table when the sensor element is inserted into the insertion port,
An apparatus for manufacturing a gas sensor. 請求項９に記載のガスセンサの製造装置であって、
前記センサ素子の前記先端部の前記理想位置からのズレ量を検出するズレ量検出センサ、
をさらに備え、
前記載置台位置調整手段は、前記ズレ量検出センサによって特定されるズレ量に基づいて、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記第１の載置台の配置位置を調整する、
ことを特徴とするガスセンサの製造装置。 The gas sensor manufacturing apparatus according to claim 9,
A displacement amount detection sensor for detecting a displacement amount of the tip portion of the sensor element from the ideal position;
Further comprising
The mounting table position adjusting means adjusts an arrangement position of the first mounting table when the sensor element is inserted into the insertion port based on a shift amount specified by the shift amount detection sensor.
An apparatus for manufacturing a gas sensor. ガスセンサを製造する方法であって、
センサ素子を備えるガスセンサ本体を第１の載置台に載置する第１の載置工程と、
前記センサ素子の挿入口を備えるコンタクト部材を第２の載置台に載置する第２の載置工程と、
前記第１の載置台を移動させることによって、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させ、前記ガスセンサ本体と前記コンタクト部材とを一体化させる挿入工程と、
を備え、
前記挿入工程においては、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入された後、前記センサ素子を前記挿入口の奥にさらに挿入させるときに、前記第１の載置台の移動速度を、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入されるまでの移動速度よりも大きくする、
ことを特徴とするガスセンサの製造方法。 A method for manufacturing a gas sensor, comprising:
A first mounting step of mounting a gas sensor body including a sensor element on a first mounting table;
A second mounting step of mounting a contact member having an insertion port for the sensor element on a second mounting table;
An insertion step in which the sensor element is inserted into the insertion port by moving the first mounting table, and the gas sensor main body and the contact member are integrated;
With
In the insertion step, after the distal end portion of the sensor element is inserted into the insertion port, when the sensor element is further inserted into the insertion port, the moving speed of the first mounting table is set as follows. Making it faster than the moving speed until the tip of the sensor element is inserted into the insertion slot,
A method for producing a gas sensor. 請求項１１に記載のガスセンサの製造方法であって、
前記挿入工程が、
前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記センサ素子の前記先端位置を特定することにより、前記先端部の前記挿入口への挿入状態を判定する挿入判定工程、
を備え、
前記挿入工程においては、前記挿入判定工程における、前記先端部が前記挿入口の所定の位置まで挿入されたとの判定に応答して、前記第１の載置台の移動速度を、前記センサ素子の先端部が前記挿入口に挿入されるまでよりも大きくする、
ことを特徴とするガスセンサの製造方法。 It is a manufacturing method of the gas sensor according to claim 11,
The inserting step
An insertion determination step of determining an insertion state of the tip portion into the insertion port by specifying the tip position of the sensor element when the sensor element is inserted into the insertion port;
With
In the insertion step, in response to the determination in the insertion determination step that the tip has been inserted to a predetermined position of the insertion port, the moving speed of the first mounting table is determined as the tip of the sensor element. Larger than until the part is inserted into the insertion slot,
A method for producing a gas sensor. 請求項１２に記載のガスセンサの製造方法であって、
前記挿入判定工程においては、所定時間内における、前記第１の載置台の移動量に基づいて、前記先端部の前記挿入口への挿入状態を判定する、
ことを特徴とするガスセンサの製造方法。 It is a manufacturing method of the gas sensor according to claim 12,
In the insertion determination step, the insertion state of the distal end portion into the insertion port is determined based on the movement amount of the first mounting table within a predetermined time.
A method for producing a gas sensor. 請求項１１ないし請求項１３のいずれかに記載のガスセンサの製造方法であって、
前記挿入口を、互いに対向配置されてなる一対のハウジング部材の間の空間として設けておくとともに、
前記挿入口にダミーピンを挿入することにより前記挿入口を拡大させるダミーピン挿入工程と、
前記ダミーピンが前記挿入口に挿入された状態の前記一対のハウジング部材の端部間に対し開口維持部材を挿入することによって前記挿入口の拡大状態を維持する維持部材挿入工程と、
前記ダミーピンの前記挿入口への挿入を解除するダミーピン挿入解除工程と、
をさらに備え、
前記挿入工程においては、前記センサ素子の前記挿入口への挿入を、前記開口維持部材によって拡大状態とされた前記挿入口に対して行う、
ことを特徴とするガスセンサの製造方法。 A method for manufacturing a gas sensor according to any one of claims 11 to 13,
The insertion port is provided as a space between a pair of housing members arranged to face each other,
A dummy pin insertion step of expanding the insertion port by inserting a dummy pin into the insertion port;
A maintenance member insertion step of maintaining an expanded state of the insertion port by inserting an opening maintenance member between the ends of the pair of housing members in a state where the dummy pin is inserted into the insertion port;
A dummy pin insertion release step for releasing the insertion of the dummy pin into the insertion port;
Further comprising
In the insertion step, the insertion of the sensor element into the insertion port is performed on the insertion port that has been expanded by the opening maintaining member.
A method for producing a gas sensor. 請求項１１ないし請求項１４のいずれかに記載のガスセンサの製造方法であって、
前記ガスセンサ本体が前記第１の載置台に載置された際に、前記センサ素子の先端面を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程によって得られる撮像画像に基づいて前記センサ素子の傾き角度を算出する傾き算出工程と、
前記傾き角度に応じて前記第１の載置台における前記ガスセンサ本体の載置姿勢を調整する姿勢調整工程と、
をさらに備えることを特徴とするガスセンサの製造方法。 A method of manufacturing a gas sensor according to any one of claims 11 to 14,
When the gas sensor main body is mounted on the first mounting table, an imaging step of imaging the front end surface of the sensor element;
An inclination calculating step of calculating an inclination angle of the sensor element based on a captured image obtained by the imaging step;
A posture adjustment step of adjusting a mounting posture of the gas sensor main body on the first mounting table according to the tilt angle;
A method for producing a gas sensor, further comprising: 請求項１１ないし請求項１５のいずれかに記載のガスセンサの製造方法であって、
前記挿入工程において前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記センサ素子の前記先端部の位置が前記挿入口の軸線位置に合致するように、前記ガスセンサ本体が載置された前記第１の載置台の配置位置を調整する載置台位置調整工程、
をさらに備えることを特徴とするガスセンサの製造方法。 A method for manufacturing a gas sensor according to any one of claims 11 to 15,
The first gas sensor body is placed so that the position of the tip of the sensor element when the sensor element is inserted into the insertion port in the insertion step matches the axial position of the insertion port. A mounting table position adjusting step for adjusting the mounting position of the mounting table;
A method for producing a gas sensor, further comprising: 請求項１６に記載のガスセンサの製造方法であって、
前記載置台位置調整工程においては、前記ガスセンサ本体が載置された前記第１の載置台を所定の基準位置に配置させた状態における、前記センサ素子の前記先端部の理想位置からのズレ量に応じて、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記第１の載置台の配置位置を調整する、
ことを特徴とするガスセンサの製造方法。 A gas sensor manufacturing method according to claim 16, comprising:
In the mounting table position adjustment step, the amount of deviation from the ideal position of the tip of the sensor element in a state where the first mounting table on which the gas sensor body is mounted is disposed at a predetermined reference position. In response, adjusting the arrangement position of the first mounting table when the sensor element is inserted into the insertion port,
A method for producing a gas sensor. 請求項１７に記載のガスセンサの製造方法であって、
前記載置台位置調整工程においては、前記センサ素子の前記先端部の前記理想位置からのズレ量に基づいて、前記センサ素子を前記挿入口に挿入させる際の前記第１の載置台の配置位置を調整する、
ことを特徴とするガスセンサの製造方法。 A gas sensor manufacturing method according to claim 17,
In the mounting table position adjusting step, an arrangement position of the first mounting table when the sensor element is inserted into the insertion port is based on an amount of deviation from the ideal position of the tip portion of the sensor element. adjust,
A method for producing a gas sensor.
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