JP4857939B2 - Discharge lamp - Google Patents
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Description
本発明は放電ランプに関し、特に、紫外線を放射する放電ランプであって、紫外線を反射する層がバルブの内面に形成されてなる放電ランプに関する。 The present invention relates to a discharge lamp, and more particularly, to a discharge lamp that emits ultraviolet rays, in which a layer that reflects ultraviolet rays is formed on the inner surface of a bulb.
現在、紫外線を放射する放電ランプは種々の分野において利用されており、より高強度の紫外線を効率よく放射するために多くの試みがなされている。例えば特許文献１には、波長４００ｎｍ以下の紫外線を透過するガラスバルブを備え、このガラスバルブ内に一対の電極が封装されてなり、ガラスバルブの表面にアルミナ粒子を主体とする紫外線反射膜を有する反射型紫外線ランプが記載されている。この反射型紫外線ランプにおいては、紫外線反射膜を特定の厚み例えば１０〜２０μｍで形成することにより、近紫外線を効率よく反射して高い放射効率を得ることができる、とされている。 Currently, discharge lamps that emit ultraviolet rays are used in various fields, and many attempts have been made to efficiently emit higher-intensity ultraviolet rays. For example, Patent Document 1 includes a glass bulb that transmits ultraviolet rays having a wavelength of 400 nm or less, a pair of electrodes are sealed in the glass bulb, and an ultraviolet reflecting film mainly composed of alumina particles is provided on the surface of the glass bulb. A reflective ultraviolet lamp is described. In this reflection type ultraviolet lamp, it is said that a high radiation efficiency can be obtained by efficiently reflecting near ultraviolet rays by forming an ultraviolet reflecting film with a specific thickness, for example, 10 to 20 μm.
一般に、紫外線や真空紫外線を放射する放電ランプにおいては、シリカガラス製のバルブが広く用いられている。
しかしながら、上記のようなアルミナ粒子を主体とした紫外線反射膜をシリカガラス製のバルブの表面に形成すると、紫外線反射膜がもろく剥がれてしまいやすい、という問題がある。
また、紫外線反射膜または紫外線反射層を十分な反射機能を有するものとして構成するためには、比較的に厚みを大きくすることが必要とされるが、紫外線反射膜または紫外線反射層の厚みを大きくした場合には、バルブ形成材料との熱膨張率の差に起因して紫外線反射膜または紫外線反射層にひび割れが発生しやすい、という問題がある。
In general, in discharge lamps that emit ultraviolet rays or vacuum ultraviolet rays, silica glass bulbs are widely used.
However, there is a problem that when the ultraviolet reflective film mainly composed of the alumina particles as described above is formed on the surface of the bulb made of silica glass, the ultraviolet reflective film is fragile and easily peeled off.
Further, in order to configure the ultraviolet reflecting film or the ultraviolet reflecting layer as having a sufficient reflecting function, it is necessary to relatively increase the thickness, but the thickness of the ultraviolet reflecting film or the ultraviolet reflecting layer is increased. In such a case, there is a problem that cracks are likely to occur in the ultraviolet reflective film or the ultraviolet reflective layer due to the difference in thermal expansion coefficient from the bulb forming material.
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、シリカガラス製のバルブに紫外線散乱反射層が形成されてなる放電ランプであって、紫外線散乱反射層がもろく剥がれることがなく、しかも、紫外線の放射効率の高い放電ランプを提供することを目的とする。 The present invention has been made based on the above circumstances, and is a discharge lamp in which an ultraviolet light scattering reflection layer is formed on a silica glass bulb, and the ultraviolet light scattering reflection layer is not fragilely peeled off. And it aims at providing a discharge lamp with high radiation efficiency of ultraviolet rays.
本発明の放電ランプは、シリカガラスからなるバルブを具備した放電ランプであって、 バルブの内面に、少なくともシリカ粒子を含む紫外線散乱粒子により形成された紫外線散乱反射層が設けられていると共に、当該紫外線散乱反射層が設けられていないことによりバルブの一部に紫外線取り出し部が形成されており、
前記紫外線散乱反射層は、シリカ粒子３０重量％以上と、シリカ粒子以外の紫外線散乱粒子３０〜６５重量％とにより形成されており、
前記シリカ粒子以外の紫外線散乱粒子がアルミナ粒子であることを特徴とする。
The discharge lamp of the present invention is a discharge lamp having a bulb made of silica glass, and an ultraviolet scattering reflection layer formed of ultraviolet scattering particles containing at least silica particles is provided on the inner surface of the bulb, and An ultraviolet ray extraction part is formed in a part of the bulb by not providing an ultraviolet scattering reflection layer ,
The ultraviolet scattering reflection layer is formed of 30% by weight or more of silica particles and 30 to 65% by weight of ultraviolet scattering particles other than silica particles,
The ultraviolet scattering particles other than the silica particles are alumina particles .
本発明の放電ランプにおいては、紫外線散乱反射層の厚みが３０〜３００μｍであることが好ましい。
In the discharge lamp of the present invention , the thickness of the ultraviolet scattering / reflecting layer is preferably 30 to 300 μm.
本発明の放電ランプによれば、シリカガラス製のバルブの内面に紫外線散乱反射層が設けられ、当該紫外線散乱反射層がシリカ粒子およびアルミナ粒子からなり、シリカ粒子を３０重量％以上含有しているものであることにより、基本的には、バルブ内で発生した紫外線を当該紫外線散乱反射層によって確実に反射して紫外線取り出し部から放射することができると共にシリカガラス部分を透過することにより減衰される程度を小さく抑制することができるので、高い紫外線の放射効率を得ることができ、しかも、紫外線散乱反射層がシリカ粒子を３０重量％以上含有しているものであることにより、バルブに対して高い親和性が得られるので、当該紫外線散乱反射層がもろく剥がれることがなく、当該紫外線散乱反射層をシリカガラス製のバルブに対して確実に付着させることができるので紫外線散乱反射層を確実に形成することができ、放電ランプを所期の性能を有するものとして確実に構成することができ、特に紫外線散乱反射層がシリカ粒子およびアルミナ粒子からなることにより、高い紫外線放射効率が得られる。
According to the discharge lamp of the present invention, an ultraviolet scattering reflection layer is provided on the inner surface of a silica glass bulb, the ultraviolet scattering reflection layer is made of silica particles and alumina particles, and contains 30% by weight or more of silica particles. Basically, the ultraviolet rays generated in the bulb can be reliably reflected by the ultraviolet scattering / reflecting layer and radiated from the ultraviolet ray extracting portion, and attenuated by being transmitted through the silica glass portion. Since the degree can be suppressed to be small, high ultraviolet radiation efficiency can be obtained, and the ultraviolet scattering reflection layer contains 30% by weight or more of silica particles, which is high for the bulb. since affinity is obtained, without the ultraviolet light scattering reflection layer is peeled off brittle, the ultraviolet light scattering reflection layer made of silica glass It is possible to securely adhere against lube can be reliably formed ultraviolet light scattering reflection layer, it is possible to reliably configure the discharge lamp as having the desired performance, especially ultraviolet light scattering reflective layer By comprising silica particles and alumina particles, high ultraviolet radiation efficiency can be obtained.
さらにまた、本発明の放電ランプによれば、紫外線散乱反射層をバルブに対して確実に付着させることができるので、紫外線散乱反射層の厚みを３０〜３００μｍといった比較的大きな厚みで形成することができ、これにより、所期の反射機能が確実に発現されてバルブ内で発生した紫外線を紫外線取り出し部から確実に放射することができ、従って、高い紫外線放射効率を確実に得ることができる。 Furthermore, according to the discharge lamp of the present invention, since the ultraviolet scattering / reflecting layer can be reliably attached to the bulb, the ultraviolet scattering / reflecting layer can be formed with a relatively large thickness of 30 to 300 μm. Thus, the intended reflection function is reliably expressed and the ultraviolet rays generated in the bulb can be reliably radiated from the ultraviolet ray extraction section, and thus high ultraviolet radiation efficiency can be reliably obtained.
本発明の放電ランプは、シリカガラス製のバルブの内表面に、シリカガラスを主体とする紫外線散乱反射層が設けられていると共に、紫外線散乱反射層が設けられていないことにより紫外線取り出し部がバルブの一部に形成されてなるものである。以下に、本発明が適用された放電ランプについて具体的に説明する。 The discharge lamp of the present invention is provided with an ultraviolet scattering reflection layer mainly composed of silica glass on the inner surface of a silica glass bulb, and the ultraviolet ray extraction portion is not provided with an ultraviolet scattering reflection layer. It is formed in a part. Hereinafter, a discharge lamp to which the present invention is applied will be described in detail.
図１は、本発明が適用された二重管構造のエキシマランプの一例における構成の概略を、管軸方向に沿って切断した状態で示す断面図であり、図２は、図１に示すエキシマランプの構成の概略を、管軸に直交する方向に沿って切断した状態で示す断面図である。
このエキシマランプ１０は、各々、シリカガラスよりなる円筒状の外側管１２および円筒状の内側管１３が同軸上に配置されると共に、両端部において溶融、接合されて外側管１２と内側管１３との間に環状の放電空間Ｓが形成されてなる二重管構造をなすバルブ１１を備えており、例えば金網などの導電性材料よりなるメッシュ状の外部電極１６が外側管１２の外周面に密接して設けられていると共に例えばアルミニウムよりなる内部電極１５が内側管１３の内周面に密接して設けられており、例えばキセノンガスなどの希ガスや、希ガスに塩素などのハロゲンガスを混合した放電ガスが放電空間Ｓ内に封入されて、構成されている。図１において、１７は、放電空間Ｓ内の一端部に設けられたゲッターであり、１８は、ランプ点灯用電源である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an outline of a configuration of an example of an excimer lamp having a double tube structure to which the present invention is applied, in a state cut along a tube axis direction, and FIG. 2 is an excimer shown in FIG. It is sectional drawing which shows the outline of a structure of a lamp | ramp in the state cut | disconnected along the direction orthogonal to a tube axis.
In this excimer lamp 10, a cylindrical outer tube 12 and a cylindrical inner tube 13 made of silica glass are arranged coaxially, and are melted and joined at both ends to be connected to the outer tube 12 and the inner tube 13. A bulb 11 having a double tube structure in which an annular discharge space S is formed between the outer electrode 12 and the mesh-like external electrode 16 made of a conductive material such as a wire mesh is in close contact with the outer peripheral surface of the outer tube 12. The inner electrode 15 made of, for example, aluminum is provided in close contact with the inner peripheral surface of the inner tube 13, and a rare gas such as xenon gas or a halogen gas such as chlorine is mixed with the rare gas. The discharged discharge gas is sealed in the discharge space S. In FIG. 1, 17 is a getter provided at one end in the discharge space S, and 18 is a lamp lighting power source.
このエキシマランプ１０においては、放電空間Ｓを形成する外側管１２の内面に、紫外線散乱反射層２０が設けられている。
紫外線散乱反射層２０は、例えば中心径が０．１〜１０μｍ、好ましくは１〜５μｍとなる粒子径分布を有するシリカ粒子により形成されてなり、凹凸のある光散乱面を有し、例えば１５０〜３７５ｎｍの波長域の紫外線に対して不透明すなわち紫外線散乱反射機能を備えている。ここに、『粒子径』とは、粒子の投影像を２本の平行線で挟んだとき、平行線の間隔が最大となる粒子の幅をいい、『中心径』とは、累積度数分布において度数が最大となる粒子径をいう。
この紫外線散乱反射層２０は、エキシマランプ１０の管軸に直交する断面において、エキシマランプ１０の管軸を中心とした中心角θが例えば１８０°以上となる領域（外側管１２の内表面の半周以上の領域）にわたって形成されている。また、この紫外線散乱反射層２０が形成されてないことにより、放電空間Ｓ内で発生した紫外線を放射するための紫外線取り出し部１１Ａがバルブ１１の一部に形成されている。
In this excimer lamp 10, an ultraviolet scattering reflection layer 20 is provided on the inner surface of the outer tube 12 that forms the discharge space S.
The ultraviolet scattering / reflecting layer 20 is formed of silica particles having a particle size distribution with a center diameter of 0.1 to 10 μm, preferably 1 to 5 μm, for example, and has an uneven light scattering surface. It is opaque, that is, has an ultraviolet scattering / reflecting function with respect to ultraviolet rays in a wavelength region of 375 nm. Here, the “particle diameter” is the width of the particle that maximizes the interval between the parallel lines when the projected image of the particle is sandwiched between two parallel lines. The “center diameter” is the cumulative frequency distribution. The particle diameter at which the frequency is maximized.
The ultraviolet scattering / reflecting layer 20 is a region in which the central angle θ around the tube axis of the excimer lamp 10 is, for example, 180 ° or more in a cross section perpendicular to the tube axis of the excimer lamp 10 (half circumference of the inner surface of the outer tube 12). The above region) is formed. In addition, since the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 is not formed, an ultraviolet extraction portion 11A for emitting ultraviolet rays generated in the discharge space S is formed in a part of the bulb 11.
このような紫外線散乱反射層２０は、例えばグリーンシートと呼ばれるフィルム状成形体を使用し、このグリーンシートを焼成することにより、形成することができる。
すなわち、先ず、シリカ粒子と、有機バインダーと、例えばアクリル系樹脂などの可塑剤および分散剤などとを溶剤に混合することにより得られるペーストを、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などの有機フィルム構造体上に一定の厚みで流延し、溶剤を乾燥させてフィルム状としたグリーンシート状成形体を形成する。次に、このグリーンシート状成形体を孔付きステンレス製パイプに仮止めして、シリカガラス製の外側管１２内に挿入して配設し、グリーンシート状成形体を外側管１２の内面に接着転写した状態において、グリーンシート状成形体を焼成することにより外側管１２の内面に固着させ、これにより、シリカ粒子からなる紫外線散乱反射層２０を形成することができる。
焼成処理を行う際の処理条件としては、処理温度が例えば１１００〜１２００℃、処理時間が３０〜９０分間であることが好ましい。このような条件で熱処理が行われることにより、シリカ粒子のすべてが溶融してバルブ１１と一体化してしまうことがなく、十分な紫外線散乱反射機能を確実に得ることができる。
Such an ultraviolet scattering / reflecting layer 20 can be formed, for example, by using a film-like molded body called a green sheet and firing the green sheet.
That is, first, a paste obtained by mixing silica particles, an organic binder, and a plasticizer and a dispersant such as an acrylic resin in a solvent is used on an organic film structure such as polyethylene terephthalate (PET). The film is cast to a certain thickness, and the solvent is dried to form a green sheet-like molded body. Next, the green sheet-shaped molded body is temporarily fixed to a stainless steel pipe with a hole, and is inserted into the outer tube 12 made of silica glass and disposed, and the green sheet-shaped molded body is bonded to the inner surface of the outer tube 12. In the transferred state, the green sheet-shaped molded body is fixed to the inner surface of the outer tube 12 by firing, whereby the ultraviolet scattering reflection layer 20 made of silica particles can be formed.
As processing conditions for performing the baking treatment, it is preferable that the treatment temperature is, for example, 1100 to 1200 ° C. and the treatment time is 30 to 90 minutes. By performing the heat treatment under such conditions, all of the silica particles are not melted and integrated with the bulb 11, and a sufficient ultraviolet light scattering reflection function can be reliably obtained.
紫外線散乱反射層２０の厚みは、例えば３０〜３００μｍであることが好ましく、実際上、紫外線の直線透過率が例えば３％以下となる厚みとされている。これにより、所期の紫外線反射機能が確実に発現されて放電空間Ｓ内で発生した紫外線を紫外線取り出し部から放射することができ、従って、高い紫外線放射効率を確実に得ることができる。 The thickness of the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 is preferably, for example, 30 to 300 μm. In practice, the thickness is such that the linear transmittance of ultraviolet rays is, for example, 3% or less. As a result, the intended ultraviolet ray reflection function is reliably expressed and the ultraviolet rays generated in the discharge space S can be radiated from the ultraviolet ray extraction section, and thus high ultraviolet radiation efficiency can be obtained with certainty.
以上において、紫外線散乱反射層２０はすべてのシリカ粒子がその形状が維持された状態で形成されている必要はなく、例えば粒子径が比較的大きなシリカ粒子のみによって凹凸のある光散乱面が構成されていてもよい。 In the above, the ultraviolet light scattering / reflecting layer 20 does not have to be formed in a state where all the silica particles are maintained in shape, and for example, an uneven light scattering surface is constituted only by silica particles having a relatively large particle diameter. It may be.
上記エキシマランプ１０においては、内部電極１５および外部電極１６間にランプ点灯用電源１８から適正な大きさの電圧が印加されることにより放電空間Ｓ内においてエキシマ放電が生じ、これにより形成されたエキシマ分子から放射される紫外線が、直接的にあるいは紫外線散乱反射層２０によって反射されて、紫外線取り出し部１１Ａを介して放射される。 In the excimer lamp 10, an excimer discharge is generated in the discharge space S by applying an appropriate voltage from the lamp lighting power source 18 between the internal electrode 15 and the external electrode 16, and the excimer formed thereby. The ultraviolet rays emitted from the molecules are reflected directly or by the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 and emitted through the ultraviolet ray extraction portion 11A.
而して、例えば紫外線散乱反射層２０がバルブ１１の外表面に設けられている構成のものであれば、放電空間Ｓ内で発生した紫外線は、バルブ１１を構成するシリカガラス部分を透過して紫外線散乱反射層２０によって反射され、再びシリカガラス部分を透過して放電空間Ｓ内に戻され、その後、紫外線取り出し部１１Ａのシリカガラス部分を透過して外部に放射されることとなる。つまり、放電空間Ｓ内部で発生した紫外線がバルブ１１を構成するシリカガラスの肉厚中を３回透過することになり、シリカガラスを透過する度に紫外線が減衰されてしまう。
然るに、シリカガラス製のバルブ１１の内面に紫外線散乱反射層２０が設けられ、当該紫外線散乱反射層２０がシリカ粒子により形成された、凹凸のある光散乱面を構成するものであることにより、上記構成のエキシマランプ１０によれば、後述する実験例の結果から明らかなように、放電空間Ｓ内で発生した紫外線を確実に反射して紫外線取り出し部１１Ａから放射することができると共にシリカガラス部分を透過することによる紫外線の減衰の程度を小さく抑制することができ、高い紫外線の放射効率を得ることができる。
しかも、紫外線散乱反射層２０がシリカ粒子を主体としたものであることにより、バルブ１１に対して高い親和性が得られるので、当該紫外線散乱反射層２０がもろく剥がれることがなく、紫外線散乱反射層２０を確実に形成することができ、ランプを所期の性能が長時間の間にわたって維持されるものとして確実に構成することができる。
Thus, for example, if the ultraviolet scattering / reflection layer 20 is provided on the outer surface of the bulb 11, the ultraviolet rays generated in the discharge space S are transmitted through the silica glass portion constituting the bulb 11. The light is reflected by the ultraviolet light scattering reflection layer 20, passes through the silica glass portion again, returns to the discharge space S, and then passes through the silica glass portion of the ultraviolet light extraction portion 11A and is emitted to the outside. That is, the ultraviolet rays generated inside the discharge space S are transmitted three times through the thickness of the silica glass constituting the bulb 11, and the ultraviolet rays are attenuated each time the silica glass is transmitted.
However, the ultraviolet scattering reflection layer 20 is provided on the inner surface of the bulb 11 made of silica glass, and the ultraviolet scattering reflection layer 20 constitutes an uneven light scattering surface formed of silica particles. According to the excimer lamp 10 having the configuration, as is apparent from the result of an experimental example to be described later, the ultraviolet rays generated in the discharge space S can be reliably reflected and radiated from the ultraviolet ray extraction portion 11A, and the silica glass portion can be emitted. The degree of attenuation of ultraviolet rays due to transmission can be suppressed small, and high ultraviolet radiation efficiency can be obtained.
In addition, since the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 is mainly composed of silica particles, a high affinity for the bulb 11 can be obtained. 20 can be reliably formed and the lamp can be reliably configured such that the desired performance is maintained for a long time.
以上においては、紫外線散乱反射層２０がシリカ粒子のみにより形成されている構成のものについて説明したが、上記のような効果を一層確実に得ることができることから、紫外線散乱反射層２０は、シリカ粒子と他の紫外線散乱粒子とにより形成された構成とされていることが好ましい。
このような紫外線散乱反射層２０の構成について具体的に説明すると、シリカ粒子は中心径が例えば０．１〜１０μｍ、好ましくは１〜５μｍとなる粒子径分布を有するものであり、他の紫外線散乱粒子は中心径が例えば０．１〜３μｍとなる粒子径分布を有するものであり、シリカ粒子と他の紫外線散乱粒子とにより凹凸のある光散乱面が構成されている。
In the above, the structure in which the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 is formed of only silica particles has been described. However, since the above-described effects can be obtained more reliably, the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 includes silica particles. And other ultraviolet scattering particles are preferably used.
The configuration of the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 will be specifically described. The silica particles have a particle size distribution with a center diameter of, for example, 0.1 to 10 μm, preferably 1 to 5 μm. The particles have a particle size distribution with a central diameter of, for example, 0.1 to 3 μm, and an uneven light scattering surface is constituted by silica particles and other ultraviolet scattering particles.
シリカ粒子以外の他の紫外線散乱粒子としては、例えばＺｎＳ、ＣｅＯ3 、ＺｒＯ2 、Ｙ2 Ｏ3 、Ｔａ2 Ｏ5 、ＭＯ、Ａｌ2 Ｏ3 、ＣｅＦ3 、ＬａＦ3 、ＢａＦ2 、ＣａＦ2 、ＭｇＦ2 、ＬｉＦ、ＮａＦなどのセラミック粒子を用いることができる。 Examples of ultraviolet scattering particles other than silica particles include ZnS, CeO 3 , ZrO 2 , Y 2 O 3 , Ta 2 O 5 , MO, Al 2 O 3 , CeF 3 , LaF 3 , BaF 2 , CaF 2 , Ceramic particles such as MgF 2 , LiF, and NaF can be used.
この紫外線散乱反射層２０においては、シリカ粒子の割合が３０重量％以上とされていることが好ましい。シリカ粒子の割合が３０重量％以上であることにより、紫外線散乱反射層２０をバルブ１１に対して確実に付着させることができる。
また、紫外線散乱反射層２０の厚みは、例えば３０〜３００μｍであることが好ましく、実際上、紫外線の直線透過率が例えば３％以下となる厚みとされている。これにより、所期の紫外線反射機能が確実に発現されて放電空間Ｓ内で発生した紫外線を紫外線取り出し部１１Ａから確実に放射することができ、従って、高い紫外線放射効率を確実に得ることができる。
In the ultraviolet scattering / reflecting layer 20, the ratio of silica particles is preferably 30% by weight or more. When the ratio of the silica particles is 30% by weight or more, the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 can be reliably attached to the bulb 11.
Moreover, it is preferable that the thickness of the ultraviolet-scattering reflection layer 20 is 30-300 micrometers, for example, and it is set as the thickness from which the linear transmittance | permeability of an ultraviolet-ray is practically 3% or less. As a result, the intended ultraviolet ray reflection function is reliably expressed, and the ultraviolet rays generated in the discharge space S can be reliably emitted from the ultraviolet ray extraction portion 11A, and thus high ultraviolet radiation efficiency can be obtained with certainty. .
このような構成の紫外線散乱反射層２０についても、例えば上記と同様の方法により形成することができる。 The ultraviolet scattering / reflecting layer 20 having such a configuration can also be formed by, for example, the same method as described above.
上記構成の紫外線散乱反射層２０が設けられた放電ランプ、例えば図１および図２に示す二重管構造のエキシマランプ１０によれば、紫外線散乱反射層２０がシリカ粒子と他の紫外線散乱粒子とにより形成されていることにより、例えばセラミック粒子からなる他の紫外線散乱粒子がシリカ粒子よりも紫外線の反射効率の高いものであるので、放電空間Ｓ内で発生した紫外線を確実に反射して紫外線取り出し部１１Ａから放射することができ、高い紫外線の放射効率を得ることができる。しかも、紫外線散乱反射層２０がシリカ粒子を３０重量％以上含有しているものであることにより、紫外線散乱反射層２０をシリカガラス製のバルブ１１に対して確実に付着させることができ、ランプを所期の性能が長時間の間にわたって維持されるものとして構成することができる。 According to the discharge lamp provided with the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 having the above-described configuration, for example, the excimer lamp 10 having a double tube structure shown in FIGS. 1 and 2, the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 includes silica particles and other ultraviolet scattering particles. For example, other ultraviolet scattering particles made of ceramic particles have higher ultraviolet reflection efficiency than silica particles, so that the ultraviolet rays generated in the discharge space S are reliably reflected to extract the ultraviolet rays. It can radiate | emit from the part 11A, and can obtain the high radiation efficiency of an ultraviolet-ray. In addition, since the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 contains 30% by weight or more of silica particles, the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 can be reliably attached to the bulb 11 made of silica glass. It can be configured such that the desired performance is maintained over a long period of time.
以上において、紫外線散乱反射層２０はすべてのシリカ粒子がその形状が維持された状態で形成されている必要はなく、例えばシリカ粒子が全て溶融された場合であっても、他の紫外線散乱粒子は紫外線散乱反射層２０中に分散された状態とされるため、紫外線散乱反射層２０を高い紫外線反射特性を有するものとして構成することができる。 In the above, the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 does not have to be formed in a state in which all the silica particles are maintained. For example, even when the silica particles are all melted, Since it is dispersed in the ultraviolet scattering / reflecting layer 20, the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 can be configured to have high ultraviolet reflecting characteristics.
また、本発明の放電ランプにおいては、紫外線散乱反射層２０は、シリカ粒子、またはシリカ粒子および他の紫外線散乱粒子を、熱処理により焼成することにより形成されてなるものに限定されるものではなく、例えばシリカガラス層中に上記において例示したセラミック粒子からなる他の紫外線散乱粒子が含有されてなるものにより構成することができる。
他の紫外線散乱粒子の含有割合は、例えば３０〜６５重量％であることが好ましい。これにより所期の紫外線反射機能を確実に得ることができると共に、紫外線散乱反射層２０を確実に形成することができる。
In the discharge lamp of the present invention, the ultraviolet scattering reflection layer 20 is not limited to those formed by firing silica particles, or silica particles and other ultraviolet scattering particles by heat treatment, For example, the silica glass layer may be composed of another ultraviolet scattering particle composed of the ceramic particles exemplified above.
The content of other ultraviolet scattering particles is preferably 30 to 65% by weight, for example. As a result, the intended ultraviolet reflection function can be reliably obtained, and the ultraviolet scattering reflection layer 20 can be reliably formed.
このような紫外線散乱反射層２０は、紫外線散乱粒子を例えばゲル状のＴＭＯＳ（Ｔｅｔｒａ−Ｍｅｔｏｘｙ−Ｏｘｙ−Ｓｉｌａｎｅ）中に混濁させてスラリーを調製し、これを外側管１２の内面に浸透させるなどして塗布して例えばキセノンエキシマランプからの光を照射する処理を、必要に応じて繰り返し行うことにより、形成することができる。
この紫外線散乱反射層２０においては、例えばシリカガラス層の内部であって外側管１２側には比較的大きな粒径の紫外線散乱粒子が存在し、放電空間側には比較的に細かい紫外線散乱粒子が存在する状態とされている。
紫外線散乱反射層２０の厚みは、例えば３０〜３００μｍであることが好ましく、実際上、紫外線の直線透過率が例えば３％以下となる厚みとされている。
Such an ultraviolet scattering / reflecting layer 20 is prepared by making ultraviolet scattering particles turbid in, for example, gel-like TMOS (Tetra-Metaxy-Oxy-Silane) to prepare a slurry, and allowing this to penetrate into the inner surface of the outer tube 12. It can be formed by repeatedly applying, for example, a process of irradiating light from a xenon excimer lamp as necessary.
In the ultraviolet scattering / reflecting layer 20, for example, ultraviolet scattering particles having a relatively large particle diameter exist inside the silica glass layer and on the outer tube 12 side, and relatively fine ultraviolet scattering particles exist on the discharge space side. It is supposed to exist.
The thickness of the ultraviolet scattering / reflecting layer 20 is preferably, for example, 30 to 300 μm. In practice, the thickness is such that the linear transmittance of ultraviolet rays is, for example, 3% or less.
このような構成の紫外線散乱反射層２０が設けられてなる放電ランプによっても、上記と同様の効果を得ることができる。 An effect similar to the above can also be obtained by a discharge lamp provided with the ultraviolet scattering reflection layer 20 having such a configuration.
以下、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
＜実験例１＞
図１および図２に示す構成に従って、粒子の成分比が下記表１に従って変更された紫外線散乱反射層（２０）が設けられた３本の二重管構造のエキシマランプ（１０）および紫外線散乱反射層を有さない参照用のエキシマランプを作製した。各々のエキシマランプは、全長が３００ｍｍ、外側管（１２）の内径が約２４．５ｍｍ、内側管（１３）の外径が１８ｍｍであり、放電用ガスとしてキセノンガスを用い、その封入量を４００Ｔｏｒｒとした。
また、紫外線散乱反射層（２０）は、エキシマランプの管軸に直交する断面において、エキシマランプの管軸を中心とした中心角（θ）が１８０°（外側管の内表面の半周）となる領域にわたって、上述したグリーンシート（フィルム状成形体）を使用した方法により、５０μｍの厚みで形成した。グリーンシートを焼成する際の処理温度は１１５０℃とした。紫外線散乱反射層の構成材料（出発原料）であるシリカ粒子は粒子径が０．５〜５μｍの範囲内にあり、中心径が３μｍであるものであり、アルミナ粒子（他の紫外線散乱粒子）は粒子径が０．１〜３μｍの範囲内にあり、中心径が１μｍであるものである。
Hereinafter, experimental examples performed for confirming the effects of the present invention will be described.
<Experimental example 1>
In accordance with the configuration shown in FIGS. 1 and 2, an excimer lamp (10) having a three-tube structure provided with an ultraviolet scattering / reflecting layer (20) in which the component ratio of particles is changed according to Table 1 below, and ultraviolet scattering / reflecting A reference excimer lamp without a layer was made. Each excimer lamp has a total length of 300 mm, an inner diameter of the outer tube (12) of about 24.5 mm, an outer diameter of the inner tube (13) of 18 mm, xenon gas is used as the discharge gas, and the amount of the enclosed gas is 400 Torr. It was.
Further, in the ultraviolet scattering / reflecting layer (20), the central angle (θ) with respect to the tube axis of the excimer lamp is 180 ° (half circumference of the inner surface of the outer tube) in the cross section orthogonal to the tube axis of the excimer lamp. A region having a thickness of 50 μm was formed over the region by the method using the above-described green sheet (film-like molded product). The processing temperature when firing the green sheet was 1150 ° C. Silica particles, which are constituent materials (starting materials) of the ultraviolet scattering reflection layer, have a particle diameter in the range of 0.5 to 5 μm, a center diameter of 3 μm, and alumina particles (other ultraviolet scattering particles) are The particle diameter is in the range of 0.1 to 3 μm, and the center diameter is 1 μm.
図３に示すように、内面が反射防止フィルム３３により覆われたアルミボックス３０の中に、外面が反射防止フィルム３３で覆われた冷却ブロック３１を配置すると共に、エキシマランプ１０を、紫外線散乱反射層２０が冷却ブロック３１側に位置される状態（紫外線取り出し部１１Ａが上方側に位置される状態）で、冷却ブロック３１上に配置し、アルミボックス３０の上方開口を、アルミボックス３０内に例えばＮ２ガスを充填した状態で、ガラス板３２により気密に閉塞し、エキシマランプ１０に対向する位置に配置した紫外線照度計３４によって、エキシマランプ１０から放射される１５０〜２００ｎｍの波長域の紫外線の照度測定を、作製した各々のエキシマランプについて行った。結果を表１に示す。また、表１には、紫外線散乱反射層を有さないエキシマランプにおける紫外線照度に対する相対値（相対紫外線照度）が示してある。
ここに、エキシマランプ１０の外側管１２から紫外線照度計３４までの距離は３３ｍｍであり、エキシマランプ１０は、放電空間Ｓの体積１ｃｍ3 あたりの入力が約１Ｗとなる条件で点灯した。なお、紫外線散乱反射層を有さないエキシマランプの配置方法は特に制限されず、任意の方向を冷却ボックス３１側に向けて配置した。
As shown in FIG. 3, a cooling block 31 whose outer surface is covered with an antireflection film 33 is disposed in an aluminum box 30 whose inner surface is covered with an antireflection film 33, and the excimer lamp 10 is made to reflect and reflect ultraviolet rays. The layer 20 is disposed on the cooling block 31 in a state where the layer 20 is positioned on the cooling block 31 side (a state in which the ultraviolet ray extraction unit 11A is positioned on the upper side). In a state filled with N 2 gas, the ultraviolet illuminance meter 34 is hermetically closed by the glass plate 32 and disposed at a position facing the excimer lamp 10, and ultraviolet rays having a wavelength region of 150 to 200 nm emitted from the excimer lamp 10 are emitted. The illuminance measurement was performed for each of the manufactured excimer lamps. The results are shown in Table 1. Table 1 shows a relative value (relative ultraviolet illuminance) with respect to ultraviolet illuminance in an excimer lamp having no ultraviolet scattering reflection layer.
Here, the distance from the outer tube 12 of the excimer lamp 10 to the ultraviolet illuminance meter 34 is 33 mm, and the excimer lamp 10 is lit under the condition that the input per 1 cm 3 of the volume of the discharge space S is about 1 W. In addition, the arrangement | positioning method in particular of the excimer lamp which does not have an ultraviolet-scattering reflection layer is not restrict | limited, Arbitrary directions were arrange | positioned toward the cooling box 31 side.
＜参考実験例１＞
粒子径が０．１〜３μｍの範囲内にあり、中心径が１μｍであるアルミナ粒子を用い、アルミナ粒子のみからなる紫外線散乱反射層をバルブを構成する外側管の内面に形成しようとしたところ、アルミナ粒子を含むフィルム状成形体をシリカガラス製のバルブに付着させることができず、紫外線散乱反射層を形成することができなかった。
<Reference Experimental Example 1>
Using alumina particles having a particle diameter in the range of 0.1 to 3 μm and a center diameter of 1 μm, an attempt was made to form an ultraviolet scattering reflection layer consisting only of alumina particles on the inner surface of the outer tube constituting the bulb. A film-like molded body containing alumina particles could not be attached to a silica glass bulb, and an ultraviolet scattering reflection layer could not be formed.
＜参考実験例２＞
粒子径が０．５〜５μｍの範囲内にあり、中心径が３μｍであるシリカ粒子と、粒子径が０．１〜３μｍの範囲内にあり、中心径が１μｍであるアルミナ粒子とからなり、シリカ粒子を２０重量％、アルミナ粒子を８０重量％の割合で含有する紫外線散乱反射層をバルブを構成する外側管の内面に形成しようとしたところ、フィルム状成形体をシリカガラス製のバルブに付着させることができず、紫外線散乱反射層を形成することができなかった。
<Reference Experiment Example 2>
The particle diameter is in the range of 0.5 to 5 μm, the silica particles having a center diameter of 3 μm, and the alumina particles having a particle diameter in the range of 0.1 to 3 μm and a center diameter of 1 μm When an attempt was made to form an ultraviolet scattering / reflecting layer containing 20% by weight of silica particles and 80% by weight of alumina particles on the inner surface of the outer tube constituting the bulb, the film-like molded article was adhered to the silica glass bulb. It was not possible to form an ultraviolet scattering reflection layer.
以上の結果から明らかなように、シリカ粒子のみからなる紫外線散乱反射層またはシリカ粒子および他の紫外線散乱粒子であるアルミナ粒子からなる紫外線散乱反射層が設けられてなる本発明に係るエキシマランプによれば、紫外線散乱反射層を有さないエキシマランプに比して高い紫外線放射効率が得られることが確認された。
特に、シリカ粒子およびアルミナ粒子からなり、シリカ粒子を３０％以上含有している紫外線散乱反射層が設けられたエキシマランプによれば、一層高い紫外線放射効率が得られることが確認された。
As is apparent from the above results, the excimer lamp according to the present invention is provided with an ultraviolet scattering / reflecting layer made only of silica particles or an ultraviolet scattering / reflecting layer made of silica particles and alumina particles that are other ultraviolet scattering particles. For example, it was confirmed that high ultraviolet radiation efficiency can be obtained as compared with an excimer lamp having no ultraviolet scattering reflection layer.
In particular, it was confirmed that an excimer lamp made of silica particles and alumina particles and provided with an ultraviolet scattering reflection layer containing 30% or more of silica particles can obtain higher ultraviolet radiation efficiency.
＜実験例２＞
図１および図２に示す構成に従って、厚みが下記表２に従って変更された、シリカ粒子のみからなる紫外線散乱反射層が設けられた５本の二重管構造のエキシマランプを作製した。各々のエキシマランプは、紫外線散乱反射層の構成が異なることの他は、実験例１において作製したものと同一の構成を有する。
また、紫外線散乱反射層の構成材料（出発原料）であるシリカ粒子は粒子径が０．５〜５μｍの範囲内にあり、中心径が３μｍであるものである。
作製した５本のエキシマランプの各々について、実験例１と同様の方法により紫外線照度の測定を行った。結果を下記表２に示す。
<Experimental example 2>
Excimer lamps having a five-tube structure having an ultraviolet light scattering reflection layer made of only silica particles and having a thickness changed according to the following Table 2 in accordance with the configuration shown in FIGS. 1 and 2 were produced. Each excimer lamp has the same configuration as that manufactured in Experimental Example 1 except that the configuration of the ultraviolet scattering reflection layer is different.
Silica particles, which are constituent materials (starting materials) of the ultraviolet scattering reflection layer, have a particle diameter in the range of 0.5 to 5 μm and a center diameter of 3 μm.
The ultraviolet illuminance was measured for each of the produced five excimer lamps by the same method as in Experimental Example 1. The results are shown in Table 2 below.
以上の結果から明らかなように、紫外線散乱反射層の厚みが大きくなるに従って紫外線放射効率が高くなり、紫外線散乱反射層の厚みが３０μｍ以上である場合には、紫外線照度が２割以上高くなり、紫外線散乱反射層の所期の効果が十分に発現されることが確認された。 As is clear from the above results, the ultraviolet radiation efficiency increases as the thickness of the ultraviolet scattering / reflecting layer increases, and when the thickness of the ultraviolet scattering / reflecting layer is 30 μm or more, the ultraviolet illuminance increases by 20% or more, It was confirmed that the desired effect of the ultraviolet scattering reflection layer was sufficiently expressed.
また、紫外線散乱反射層の構成材料として、粒子径が０．５〜８μｍの範囲内にあり、中心径が５μｍであるシリカ粒子を用いて紫外線散乱反射層を形成し、上記と同様の実験を行ったところ、上記と同様の結果が得られ、紫外線散乱反射層の厚みを３０μｍ以上とすることにより、高い効率で紫外線を放射できることが確認された。 Further, as a constituent material of the ultraviolet scattering reflection layer, an ultraviolet scattering reflection layer is formed using silica particles having a particle diameter in the range of 0.5 to 8 μm and a center diameter of 5 μm, and the same experiment as described above is performed. As a result, the same results as described above were obtained, and it was confirmed that ultraviolet rays can be emitted with high efficiency by setting the thickness of the ultraviolet scattering reflection layer to 30 μm or more.
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、本発明は、上記の二重管構造のエキシマランプに限定されず、例えば図４および図５に示すような角型のエキシマランプや、図６に示すようなショートアークランプなどに適用することができることは言うまでもない。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to said embodiment, A various change can be added.
For example, the present invention is not limited to the above-mentioned excimer lamp having a double tube structure, and is applied to, for example, a square excimer lamp as shown in FIGS. 4 and 5, a short arc lamp as shown in FIG. It goes without saying that it can be done.
図４および図５に示すエキシマランプ４０は、例えば合成シリカガラスよりなる断面形状が方形状の長尺なバルブ４１を備えてなり、このバルブ４１の互いに対向する側壁の各々の外表面に金属よりなる板状の電極４２がバルブ４１の管軸方向に延びるよう配設されていると共に、バルブ４１内に放電用ガスであるキセノンガスが充填されて、構成されている。図４および図５において、４３は、例えばアルミニウムとジルコニウムの合金よりなるゲッター、４４は排気管、４５はランプ点灯用電源である。
このエキシマランプ４０においては、バルブ４１の管軸方向の両端壁の内面およびバルブ４１の管軸方向に延びる側壁のうち３つの側壁の内面に、上記紫外線散乱反射層５０が形成されており、この紫外線散乱反射層５０が形成されてないことにより紫外線取り出し部４１Ａがバルブ４１の一部（図４および図５においては下方部）に形成されている。
このエキシマランプ４０の一構成例を示すと、バルブ４１の全長が１５０ｍｍ、縦方向（図５において上下方向）の寸法が３４ｍｍ、横方向（図５において左右方向）の寸法が１４ｍｍ、肉厚が２ｍｍである。また、紫外線散乱反射層５０の厚みは例えば５０μｍである。
The excimer lamp 40 shown in FIGS. 4 and 5 includes a long bulb 41 having a square cross section made of, for example, synthetic silica glass, and a metal is formed on the outer surface of each side wall of the bulb 41 facing each other. The plate-like electrode 42 is arranged so as to extend in the tube axis direction of the bulb 41, and the bulb 41 is filled with xenon gas which is a discharge gas. 4 and 5, 43 is a getter made of, for example, an alloy of aluminum and zirconium, 44 is an exhaust pipe, and 45 is a lamp lighting power source.
In this excimer lamp 40, the ultraviolet scattering / reflecting layers 50 are formed on the inner surfaces of both end walls in the tube axis direction of the bulb 41 and the inner surfaces of three side walls extending in the tube axis direction of the bulb 41. Since the ultraviolet scattering / reflecting layer 50 is not formed, the ultraviolet ray extracting portion 41A is formed on a part of the bulb 41 (the lower portion in FIGS. 4 and 5).
An example of the configuration of the excimer lamp 40 is as follows. The overall length of the bulb 41 is 150 mm, the dimension in the vertical direction (vertical direction in FIG. 5) is 34 mm, the dimension in the horizontal direction (horizontal direction in FIG. 5) is 14 mm, and the thickness is 2 mm. The thickness of the ultraviolet scattering / reflecting layer 50 is, for example, 50 μm.
このような構成のエキシマランプ４０においても、上記二重管構造のエキシマランプ１０と同様の効果、すなわちバルブ４１内で発生した紫外線を確実に反射して紫外線取り出し部４１Ａから放射することができると共にシリカガラス部分を透過することによる紫外線の減衰の程度を小さく抑制することができ、高い紫外線の放射効率を得ることができ、しかも、紫外線散乱反射層５０がシリカ粒子を主体としたものであることにより、バルブ４１に対して高い親和性が得られるので、当該紫外線散乱反射層５０がもろく剥がれることがなく、所期の性能を長時間の間にわたって維持することができる。 Also in the excimer lamp 40 having such a configuration, the same effect as the excimer lamp 10 having the double tube structure, that is, the ultraviolet rays generated in the bulb 41 can be reliably reflected and radiated from the ultraviolet ray extraction portion 41A. The degree of attenuation of ultraviolet rays due to transmission through the silica glass portion can be suppressed to a low level, high ultraviolet radiation efficiency can be obtained, and the ultraviolet scattering / reflecting layer 50 is mainly composed of silica particles. As a result, a high affinity for the bulb 41 is obtained, so that the ultraviolet scattering / reflecting layer 50 is not fragilely peeled off, and the desired performance can be maintained for a long time.
また、図６に示すショートアークランプ６０は、例えばリフレクタ７０と組み合わされて光源装置を構成した状態で使用されるものであって、内部に略楕円球形状の放電空間Ｓを形成する膨出部６２およびこの膨出部６２の両端に連続して外方に伸びる封止部６３，６３を有する、シリカガラスよりなるバルブ６１を備えてなり、このバルブ６１の内部に、陰極６４と陽極６５とが対向配置されると共に少なくとも希ガスが適宜の量で封入されて、構成されている。ここに、バルブ６１内に封入される希ガスとしては、例えばキセノン、クリプトン、アルゴンなどを例示することができる。なお、同図６において、６８は、封止部６３の外端部に設けられた口金である。
このショートアークランプ６０は、陰極６４が陽極６５より前方（図において右方）に位置し、そのアーク方向がリフレクタ７０の光軸に一致し、アーク中心Ｃがリフレクタ７０の焦点に一致する状態でリフレクタ７０内に組み込まれており、リフレクタ７０の開口縁上の任意の点とアーク中心Ｃとを結ぶ仮想直線Ｌを想定するとき、当該仮想直線Ｌより光照射方向前方に位置する膨出部６２の内面に、上記紫外線散乱反射層７５が形成されている。また、紫外線散乱反射層７５が形成されていない紫外線取り出し部６１Ａがバルブ６１に形成されている。
A short arc lamp 60 shown in FIG. 6 is used, for example, in a state where a light source device is configured in combination with a reflector 70, and has a bulging portion that forms a substantially elliptical discharge space S therein. 62 and a bulb 61 made of silica glass having sealing portions 63, 63 continuously extending outward at both ends of the bulging portion 62. A cathode 64, an anode 65, Are arranged opposite to each other and at least a rare gas is sealed in an appropriate amount. Here, examples of the rare gas sealed in the valve 61 include xenon, krypton, and argon. In FIG. 6, reference numeral 68 denotes a base provided at the outer end portion of the sealing portion 63.
In this short arc lamp 60, the cathode 64 is positioned in front of the anode 65 (to the right in the drawing), the arc direction thereof coincides with the optical axis of the reflector 70, and the arc center C coincides with the focal point of the reflector 70. When a virtual straight line L that is incorporated in the reflector 70 and connects an arbitrary point on the opening edge of the reflector 70 and the arc center C is assumed, the bulging portion 62 positioned in front of the light irradiation direction from the virtual straight line L. The ultraviolet scattering reflection layer 75 is formed on the inner surface. Further, the bulb 61 is formed with an ultraviolet ray extraction portion 61A in which the ultraviolet light scattering reflection layer 75 is not formed.
上記構成のショートアークランプ６０においても、上記二重管構造のエキシマランプ１０と同様の効果、すなわちバルブ６１内で発生した紫外線を紫外線散乱反射層７５によって確実に反射して紫外線取り出し部６１Ａから放射することができると共にシリカガラス部分を透過することによる紫外線の減衰の程度を小さく抑制することができ、高い紫外線の放射効率を得ることができ、しかも、紫外線散乱反射層７５がシリカ粒子を主体としたものであることにより、バルブ６１に対して高い親和性が得られるので、当該紫外線散乱反射層７５がもろく剥がれることがなく、所期の性能を長時間の間にわたって維持することができる。 Also in the short arc lamp 60 having the above configuration, the same effect as that of the excimer lamp 10 having the double tube structure, that is, the ultraviolet rays generated in the bulb 61 are reliably reflected by the ultraviolet scattering reflection layer 75 and radiated from the ultraviolet ray extraction portion 61A. In addition, the degree of attenuation of ultraviolet rays due to transmission through the silica glass portion can be suppressed to a low level, high ultraviolet radiation efficiency can be obtained, and the ultraviolet scattering reflection layer 75 is mainly composed of silica particles. As a result, high affinity for the bulb 61 can be obtained, so that the ultraviolet scattering / reflecting layer 75 is not fragilely peeled off, and the desired performance can be maintained for a long time.
１０ エキシマランプ
１１ バルブ
１１Ａ 紫外線取り出し部
１２ 外側管
１３ 内側管
Ｓ 放電空間
１５ 内部電極
１６ 外部電極
１７ ゲッター
１８ 電源
２０ 紫外線散乱反射層
３０ アルミボックス
３１ 冷却ブロック
３２ ガラス板
３３ 反射防止フィルム
３４ 紫外線照度計
４０ エキシマランプ
４１ バルブ
４１Ａ 紫外線取り出し部
４２ 電極
４３ ゲッター
４４ 排気管
４５ 電源
５０ 紫外線散乱反射層
６０ ショートアークランプ
６１ バルブ
６１Ａ 紫外線取り出し部
６２ 膨出部
６３ 封止部
６４ 陰極
６５ 陽極
６８ 口金
７０ リフレクタ
７５ 紫外線散乱反射層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Excimer lamp 11 Bulb 11A Ultraviolet extraction part 12 Outer tube 13 Inner tube S Discharge space 15 Internal electrode 16 External electrode 17 Getter 18 Power supply 20 Ultraviolet scattering reflection layer 30 Aluminum box 31 Cooling block 32 Glass plate 33 Antireflection film 34 Ultraviolet illuminometer 40 Excimer Lamp 41 Valve 41A Ultraviolet Extractor 42 Electrode 43 Getter 44 Exhaust Pipe 45 Power Supply 50 Ultraviolet Scattering Reflective Layer 60 Short Arc Lamp 61 Valve 61A Ultraviolet Extractor 62 Expanding Part 63 Sealing Part 64 Cathode 65 Anode 68 Base 70 Reflector 75 UV scattering reflection layer
Claims (2)
バルブの内面に、少なくともシリカ粒子を含む紫外線散乱粒子により形成された紫外線散乱反射層が設けられていると共に、当該紫外線散乱反射層が設けられていないことによりバルブの一部に紫外線取り出し部が形成されており、
前記紫外線散乱反射層は、シリカ粒子３０重量％以上と、シリカ粒子以外の紫外線散乱粒子３０〜６５重量％とにより形成されており、
前記シリカ粒子以外の紫外線散乱粒子がアルミナ粒子であることを特徴とする放電ランプ。 A discharge lamp having a bulb made of silica glass,
An ultraviolet scattering reflection layer formed of ultraviolet scattering particles containing at least silica particles is provided on the inner surface of the bulb, and an ultraviolet extraction portion is formed in a part of the bulb by not providing the ultraviolet scattering reflection layer. Has been
The ultraviolet scattering reflection layer is formed of 30% by weight or more of silica particles and 30 to 65% by weight of ultraviolet scattering particles other than silica particles,
A discharge lamp, wherein the ultraviolet scattering particles other than the silica particles are alumina particles .
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