JP4855056B2 - Liquid supply system - Google Patents

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勝弥 奥村
寛 板藤
徳秀 縄田
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シーケーディ株式会社
株式会社オクテック
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本発明は、複数のポンプを用いて液体の連続吐出を行うための液体供給システムに関するものである。 The present invention relates to a liquid supply system for continuous discharge of the liquid by using a plurality of pumps. 具体的には、半導体製造装置等で使用する薬液の供給、成分分析装置等で使用する試液の供給、ガス圧縮機等で使用する加圧液体の供給などを行う際に適用されるものである。 Specifically, the supply of the chemical liquid used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, in which the supply of reagent to be used in the component analyzer or the like, and is applied when performing such supply of pressurized liquid to be used in a gas compressor, etc. .

例えば、半導体製造装置の薬液使用工程においては、薬液を半導体ウエハに所定量ずつ塗布するために薬液ポンプが用いられる。 For example, in a chemical solution used process of semiconductor manufacturing equipment, chemical pump is used to apply predetermined amounts of chemical to the semiconductor wafer. その薬液ポンプとして、薬液を充填したポンプ室と圧縮空気を導入する圧力作用室とをダイアフラム等の容積可変部材で仕切り、圧力作用室内の空気圧力を可変調整することにより容積可変部材を変位させて薬液の吸引及び吐出を行うようにしたものがある。 As a chemical solution pump, and a pressure action chamber to introduce a pump chamber with the compressed air filled with chemical liquid partition with variable volume member of the diaphragm, etc., by displacing the variable volume member by variably adjusting the air pressure of the pressure action chamber there are those to perform the suction and discharge of the chemical liquid. またその他に、空気圧力に代えて電動モータにより容積可変部材を変位させ、その変位により薬液の吸引及び吐出を行うようにした薬液ポンプなどがある。 The other, displaces the volume variation member by an electric motor instead of the air pressure, and the like chemical pump to perform suction and discharge of the chemical liquid by the displacement.

上記のような薬液ポンプの場合、所定量の薬液を吐出するたびにポンプ室内への薬液の吸引を行わなければならず、薬液を連続的に吐出することができなかった。 For liquid chemical pump as described above, it must be performed suction of liquid into the pump chamber whenever for discharging a predetermined amount of liquid medicine, it has not been possible to continuously discharge the chemical liquid. そのため、薬液の連続吐出を行わせるべく、薬液の供給通路の途中に複数の薬液ポンプを並列に設け、その複数の薬液ポンプを交互に動作させるようにした技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 Therefore, in order to perform the continuous discharge of the chemical liquid, the middle of the supply passage of the chemical into a plurality of chemical pumps in parallel, the techniques of the plurality of chemical pumps so as to operate alternately is proposed (e.g., Patent references 1).

また、薬液ポンプを駆動するための駆動手段として駆動シリンダを設け、その駆動シリンダに対して供給される空気圧力等によりシリンダピストンを変位させるとともに、該シリンダピストンの変位に連動させて薬液ポンプを駆動させるようにした技術が提案されている。 Further, the drive cylinder is provided as drive means for driving the liquid chemical pump, along with displacing the cylinder piston by the air pressure or the like to be supplied to the drive cylinder, driving the chemical pump in conjunction with the displacement of the cylinder piston technology so as to have been proposed. その構成を図4に示す。 The configuration shown in FIG. 図4では、2つのシリンジポンプ101,111が設けられるとともに、該ポンプごとに駆動シリンダ103,113が設けられている。 In Figure 4, with two syringe pumps 101 and 111 are provided, the drive cylinder 103, 113 is provided for each said pump. 駆動シリンダ103,113に対しては通路切替弁104,114を介して空圧源121から加圧エアが供給され、通路切替弁104,114の切替動作によって駆動シリンダ103,113へのエア圧力が切り替えられることにより、各シリンジポンプ101,111のピストン102,112が駆動され、それに伴い薬液の吸引又は吐出が行われる。 For drive cylinder 103 and 113 is supplied with the pressurized air from the air pressure source 121 through the passage switching valve 104 and 114, the air pressure to the drive cylinder 103, 113 by the switching operation of the passage switching valve 104, 114, by switched, it is driven piston 102, 112 of each syringe pumps 101 and 111, it with suction or discharge of the chemical liquid is carried out. この場合、薬液の吸引時には、ピストン102,112が図の下方に変化し、吸引通路122を介してシリンジポンプ101,111に薬液が吸引される。 In this case, when the suction of the chemical liquid, the piston 102 and 112 is changed downward in the figure, the chemical liquid is sucked into the syringe pump 101 and 111 via the suction passage 122. また、薬液の吐出時には、ピストン102,112が図の上方に変化し、吐出通路123を介してシリンジポンプ101,111から薬液が吐出される。 Further, when the discharge of the chemical liquid, the piston 102 and 112 is changed upward in the figure, the chemical liquid is discharged from the syringe pump 101 or 111 through the discharge passage 123.

上記のようなシステムでは、シリンジポンプ及び駆動シリンダのピストン受圧面積の比に応じて駆動シリンダ103,113側のエア圧力を増幅させることができるため、各シリンジポンプ101,111の吐出圧力を容易に調整することができる。 In the above-described system, it is possible to amplify the air pressure of the driving cylinder 103, 113 side in accordance with the ratio between the piston pressure receiving area of ​​the syringe pump and the drive cylinder, the discharge pressure of the syringe pump 101 and 111 easily it can be adjusted. したがって、薬液の吐出圧力を制御する上で都合の良い構成となっていた。 Thus, it has been a good configuration convenient in controlling the discharge pressure of the liquid medicine.

しかしながら、上記システムでは、通路切替弁104,114によって駆動シリンダ103,113へのエア圧力を切り替える際にそのエア圧力が急峻に変化する。 However, in the above system, the air pressure changes sharply by the passage switching valve 104, 114 when switching the air pressure to the drive cylinder 103, 113. この場合、エア圧力が変動すると、その圧力変動によって駆動シリンダ103,113の動作に影響が及び、シリンジポンプ101,111での薬液吐出が不安定になる。 In this case, when the air pressure is varied, its effect on the operation of the drive cylinder 103 and 113 by the pressure fluctuations Oyobi, the solution discharge of a syringe pump 101 and 111 becomes unstable. したがって、その改善が望まれている。 Accordingly, improvement thereof has been desired.
特開平8−182952号公報 JP-8-182952 discloses

本発明は、複数のポンプを用いて液体の連続吐出を可能とする液体供給システムにおいて、各ポンプにおける液体吐出状態を安定化させ、ひいては高精度な吐出量制御を実現することを主たる目的とするものである。 The present invention provides a liquid supply system that enables continuous discharge of the liquid by using a plurality of pumps, to stabilize the liquid discharge state of each pump, a main purpose of realizing thus highly accurate discharge amount control it is intended.

以下、上記課題を解決するのに有効な手段等につき、必要に応じて効果等を示しつつ説明する。 Hereinafter, such an effective means to solve the above problems per will be described while showing effects as necessary. なお以下では、理解を容易にするため、発明の実施の形態において対応する構成例を括弧書き等で適宜示すが、この括弧書き等で示した具体的構成に限定されるものではない。 In the following, for ease of understanding, show appropriate corresponding configuration example in the embodiment of the invention in parentheses like, but is not limited to the specific configuration shown in this parentheses like.

手段1. It means 1. 液体の吸引及び吐出を繰り返し行う複数のポンプ(シリンジポンプ11,31)と、該ポンプごとに各々設けられ、圧力発生源(空圧源55)から流体通路(エア通路56)を通じて供給される圧縮流体によって前記ポンプを駆動する駆動装置(駆動シリンダ21,41)とを有し、前記圧力発生源から各駆動装置への流体圧力の切替を行うことにより前記複数のポンプを順に動作させて液体の連続吐出を行わせる液体供給システムであって、 A plurality of pumps to repeat suction and discharge of liquid (syringe pump 11, 31), respectively provided for each said pump is supplied through the fluid passage (air passage 56) from the pressure source (the air pressure source 55) compressed and a driving device for driving the pump by a fluid (driving cylinders 21, 41), from said pressure source to said plurality of pumps by performing switching of the fluid pressure by operating the order of the liquid into the drive unit a liquid supply system to perform continuous discharge,
各駆動装置における流体圧力の切替を圧力徐変させつつ実施することを特徴とする液体供給システム。 A liquid supply system which comprises carrying out with the switching of the fluid pressure to the pressure gradually changing in each drive unit.

手段1によれば、圧力発生源から各駆動装置への流体圧力を適時切り替えることにより複数のポンプが順に動作し、液体の連続吐出が行われる。 According to means 1, a plurality of pumps are operated sequentially by switching timely fluid pressure to the drive unit from the pressure source, continuous discharge of the liquid takes place. この場合、液体の吐出が途切れることに伴い発生する液体の吐出圧力の脈動等が抑制できる。 In this case, pulsation of the discharge pressure of the liquid occurs due to the ejection of the liquid is interrupted can be suppressed. また特に、圧縮流体の圧力切替に際し、各駆動装置における流体圧力の切替を圧力徐変させつつ実施するようにしたため、各駆動装置の動作が安定し、適正なる液体吐出が実現できる。 In particular, when the pressure switch of the compressed fluid, due to so as to implement while the switching of the fluid pressure to the pressure gradually changing in each drive unit, the operation is stable for each drive unit, proper Naru liquid discharge can be realized. 例えば、圧縮流体の圧力を切り替える際に流体圧力を漸増又は漸減させる。 For example, increasing or gradually decreasing the fluid pressure when switching the pressure of the compressed fluid. つまり、流体圧力の切替を急峻に行う場合(例えば、ON/OFF的な切替を行う場合)、その切替に伴い流体通路内で圧力変動(衝撃振動)が生じ、それにより各駆動装置の動作が乱れると考えられる。 That is, when abruptly switches the fluid pressure (e.g., when performing ON / OFF manner switching), the pressure fluctuations (impact vibration) occurs in the fluid passage in line with such switching, it by the operation of the drive unit It is considered disturbed. これに対し、上記のように圧力徐変させながら流体圧力の切替を行うことにより、流体通路内での圧力変動を抑制することができる。 In contrast, by performing the switching of the fluid pressure while the pressure gradually changing as described above, it is possible to suppress the pressure variation in the fluid passageway. したがって、各ポンプにおける液体吐出状態が安定し、高精度な吐出量制御が実現できる。 Therefore, the liquid discharge state is stable in each pump, high-precision ejection amount control can be realized.

手段2. It means 2. 前記圧力発生源と前記駆動装置との間に設けられ該駆動装置ごとに前記圧縮流体の圧力を調整する圧力調整手段(電空レギュレータRG1〜RG4)と、該圧力調整手段による圧力調整を行わせる制御手段(制御回路60)とを備え、 A pressure adjusting means for adjusting the pressure of the compressed fluid provided for each said drive device between the pressure source and the driving device (electropneumatic regulator RG1~RG4), causing the pressure adjustment by the pressure adjusting means and control means (control circuit 60),
前記制御手段から前記圧力調整手段への指令によって前記流体圧力切替時の圧力徐変を行わせるようにしたことを特徴とする手段1に記載の液体供給システム。 Liquid supply system according to means 1, characterized in that so as to perform pressure gradual change when the fluid pressure changeover by a command to said pressure regulating means from said control means.

手段2では、圧力調整手段により圧縮流体の圧力が調整されるようになっており、その圧力調整に伴い駆動装置によるポンプ駆動の状態が変わる。 In section 2, so that the pressure of the compressed fluid is adjusted by the pressure adjusting means, it changes the state of the pump drive by the drive device with its pressure adjusted. この場合、制御手段の指令に伴う圧縮流体の圧力調整により、ポンプによる液体の吐出圧力を可変に制御することができる。 In this case, the pressure adjustment of the compressed fluid with the instruction of the control means, the discharge pressure of the liquid can be variably controlled by the pump. また、駆動装置ごとに設けた圧力調整手段によって圧力徐変を行うことにより、各駆動装置に対する細かな圧力制御が可能となる。 Further, by performing the pressure gradual change by the pressure adjusting means provided for each drive unit, it is possible to fine pressure control for each drive unit.

手段3. It means 3. 前記複数のポンプに、圧送媒体である液体を充填するポンプ室(ポンプ室13,33)と、該ポンプ室内の容積を可変とするピストン部材(ピストン12,32)とを設けた液体供給システムであって、 Said plurality of pump, the pump chamber to fill the liquid is pumped medium and (pumping chamber 13, 33), the piston member (piston 12, 32) for varying the volume of the pump chamber and a liquid supply system in which a there,
各ポンプにおけるピストン部材のストローク位置を検知するための位置検知手段(リミットスイッチLS1〜LS8)を備え、 Comprising a position detecting means for detecting a stroke position of the piston member (limit switch LS1~LS8) in each pump,
液体吐出中のポンプにおいて前記ピストン部材がストロークエンド付近に到達したことを前記位置検知手段により検知した際、他のポンプで液体吐出を開始させるべく前記流体圧力の切替を行うことを特徴とする手段1又は2に記載の液体供給システム。 When the piston member in the pump in the liquid discharge is detected by said position detecting means that it has reached the vicinity of the stroke end, it means and performs switching of the fluid pressure in order to start the liquid ejection in other pumps liquid supply system according to 1 or 2.

手段3では、各ポンプにおけるピストン部材のストローク位置を検知することによって、各ポンプにおける液体吐出の状態を監視することが可能となる。 In section 3, by detecting a stroke position of the piston member in the pump, it is possible to monitor the state of the liquid ejection in each pump. このとき、液体吐出中のポンプにおいてピストン部材がストロークエンド付近に到達したこと(すなわち、当該ポンプでの吐出終了直前であること)を検知した際に、流体圧力の切替を行って他のポンプで液体吐出を開始させるようにしたため、意に反して液体の吐出が途切れてしまうことが回避でき、液体の連続吐出を好適に実施することができる。 At this time, the piston member reaches the vicinity of the stroke end in the pump in the liquid discharge (i.e., it is discharged immediately before the end of the in the pump) when detecting, in other pump performs switching of fluid pressure because you like to start the liquid discharge, it is possible to avoid the discharge of unintentionally liquid is interrupted, it is possible to suitably implement the continuous ejection of the liquid.

手段4. It means 4. 液体吐出順序が前後する2つのポンプにおいて液体吐出の時期を重複させ、かつ先行して液体吐出を開始したポンプ側を先に吐出状態から吸引状態に移行させることを特徴とする手段1乃至3のいずれかに記載の液体供給システム。 In the two pumps liquid ejection sequence be around to overlap the timing of liquid discharge, and prior to the pump side that initiated the liquid discharge from the previously discharged state means 1 to 3, characterized in that shifting to the suction state liquid supply system according to any one.

手段4によれば、液体吐出順序が前後する2つのポンプにおいて液体吐出の時期が重複するようになっており、2つのポンプで液体吐出が重複して行われる場合に、先行して液体吐出を開始したポンプ側が先に吐出状態から吸引状態に移行する。 According to the means 4, the liquid ejection sequence being adapted to the timing of the liquid discharge in two pumps longitudinal overlap, when the liquid discharge by the two pumps is performed in duplicate, prior to liquid discharge start the pump side is shifted from the discharge state to the earlier attraction state. かかる場合、複数のポンプ間で液体吐出が好適に引き継がれるようになる。 In such a case, so that the liquid discharge is suitably taken over among a plurality of pumps.

手段5. It means 5. 前記ポンプ及び前記駆動装置は共にピストン式ポンプであり、それらの各ピストンの受圧面積を異なるものとしたことを特徴とする手段1乃至4のいずれかに記載の液体供給システム。 Said pump and said drive unit are both piston pump, the liquid supply system according to any of the means 1 to 4, characterized in that the their pressure receiving area of ​​each piston differs.

手段5によれば、ポンプ及び駆動装置は共にピストン式ポンプであり、それらの各ピストンの受圧面積が異なっている。 According to the means 5, the pump and drive are both piston pumps are different their pressure receiving area of ​​each piston. そのため、駆動装置によりポンプが駆動される際、駆動装置側での圧縮流体の圧力が各ピストンの面積比に応じて増圧又は減圧されることで、ポンプ側の液体圧力が制御される。 Therefore, when the pump is driven by the drive unit, the pressure of the compressed fluid at the drive device side increased pressure or according to the area ratio of the piston that is depressurized, fluid pressure of the pump side is controlled. つまりこの場合、駆動装置側での圧縮流体の圧力を調整することによって、液体吐出圧力を容易にかつ効率良く制御することができる。 That is, in this case, by adjusting the pressure of the compressed fluid at the drive device side, it is possible to control easily and efficiently liquid discharge pressure.

手段6. It means 6. 前記複数のポンプに接続された吐出側通路に圧力検出器(圧力計53)を設け、該圧力検出器の検出結果に基づいて前記駆動装置の駆動状態を制御することを特徴とする手段1乃至5のいずれかに記載の液体供給システム。 The pressure detector (pressure gauge 53) provided on the discharge side passage connected to a plurality of pumps, means 1 to and controls the driving state of the drive unit based on a detection result of the pressure detector 5 the liquid supply system according to any one of.

手段6によれば、都度の液体の吐出圧力に基づいて駆動装置をフィードバック制御でき、吐出圧力を高精度に制御することができる。 According to the means 6, can feedback-control the drive unit based on the discharge pressure of the liquid at each time, it is possible to control the discharge pressure with high accuracy. したがって、液体の吐出先である液体使用装置に対して液体の安定供給が実現できる。 Thus, stable supply of the liquid can be achieved with respect to the liquid used device is a discharge destination of the liquid.

手段7. It means 7. 前記複数のポンプにより薬液の連続吐出を行う状態と、複数のポンプのいずれかを休止させて薬液の間欠吐出を行う状態とを切替可能としたことを特徴とする手段1乃至6のいずれかに記載の薬液供給システム。 And a state of continuous discharge of the chemical liquid by the plurality of pumps, in any of the means 1 to 6, characterized in that by resting one of a plurality of pumps and a state in which the intermittent discharge of the chemical liquid was set to be switched chemical liquid supply system described.

手段7によれば、複数のポンプにより薬液の連続吐出を行う状態と、複数のポンプのいずれかを休止させて薬液の間欠吐出を行う状態とが適宜切り替えられるため、システム全体として消費エネルギを最適に管理することができる。 According to the means 7, optimum and a state of continuous discharge of the liquid medicine by a plurality of pumps, because by resting one of a plurality of pumps and a state for performing the intermittent discharge of the chemical liquid is switched appropriately, the energy consumption as a whole system it can be managed to. 例えば、都度の吐出流量の目標値(指令値)をパラメータとして上記2つの状態を切り替えることとし、目標とする吐出流量が少ない場合に間欠吐出を行うようにすると良い。 For example, and by switching the two states target value of the discharge flow rate of each time (command value) as a parameter, may to perform the intermittent discharge when the discharge flow rate of the target is small.

以下、本発明を薬液供給システムに具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。 Hereinafter, the present invention will now be described with reference to the accompanying drawings an embodiment that embodies the chemical supply system. 本実施の形態における薬液供給システムは、例えば半導体製造に用いる薬液を薬液吐出ノズル等に給送するためのものである。 Chemical supply system of the present embodiment is intended for feeding the liquid medicine to be used for example in semiconductor manufacturing in the solution discharge nozzle and the like. 本システムでは、2系統の薬液ポンプを有する構成となっており、各々の薬液ポンプでは薬液の吸引及び吐出が繰り返し行われる。 This system has a structure having a liquid chemical pump of two systems, in each of the chemical pump are performed repeatedly aspirating and discharging the liquid chemical. そして、この吸引及び吐出の動作が各ポンプで互い違いに行われることで、薬液の連続吐出が可能となっている。 Then, when the operation of the suction and discharge is alternately performed in each pump, it enables continuous discharge of the chemical liquid. その概要を図1に基づいて説明する。 It will be described with reference to the outline in Figure 1.

図1では、2つのポンプ装置P1,P2が設けられている(便宜上、これらを第1ポンプ装置P1、第2ポンプ装置P2という)。 In Figure 1, two pump devices P1, P2 are provided (for convenience, these first pump device P1, that the second pump device P2). これら各ポンプ装置P1,P2は主要な構成としてそれぞれ薬液を吸引及び吐出するためのシリンジポンプ11,31と、該シリンジポンプ11,31を駆動するための空圧式の駆動シリンダ21,41とを具備している。 Each of these pump device P1, P2 are provided respectively syringe pumps 11, 31 for sucking and discharging the liquid medicine as main components, and a drive cylinder 21, 41 of the pneumatic for driving the syringe pump 11, 31 are doing. 各ポンプ装置P1,P2は同様の構成を有するものであるため、以下には第1ポンプ装置P1について構成を詳述する。 For each pump unit P1, P2 are those having the same configuration, the following details the configuration for the first pump device P1.

第1ポンプ装置P1において、シリンジポンプ11は往復動可能なピストン12を有している。 In the first pump device P1, the syringe pump 11 has a reciprocable piston 12. ピストン12によってポンプ室13が区画形成されており、ピストン12の位置に応じてポンプ室13の容積が可変とされる。 Pump chamber 13 by the piston 12 are partitioned and formed, the volume of the pump chamber 13 is variable according to the position of the piston 12. ポンプ室13には薬液通路14が接続されている。 Chemical passage 14 is connected to the pump chamber 13. 薬液通路14は二方に分岐され、一方の分岐通路である吸入側通路14aには薬液タンク51が接続されている。 Chemical passage 14 is branched into two-way, chemical liquid tank 51 is connected to the suction side passage 14a which is one of the branch passages. 吸入側通路14aには、薬液タンク51からポンプ室13への方向にのみ液体の通過を許容する逆止弁15が設けられている。 The suction side passage 14a, a check valve 15 to permit passage of liquid only in the direction from the chemical liquid tank 51 into the pump chamber 13 is provided. 薬液タンク51にはレジスト液等の薬液が貯留されており、同タンク51内の薬液は、図示しないポンプにより汲み上げられ、逆止弁15を介してポンプ室13に給送されるようになっている。 The chemical liquid tank 51 is chemical resist solution or the like is stored, chemical liquid in the same tank 51 is pumped up by a pump, not shown, adapted to be fed into the pump chamber 13 through the check valve 15 there.

また、薬液通路14の他方の分岐通路は吐出側通路14bとなっており、その途中には、ポンプ室13から吐出口52側への方向にのみ液体の通過を許容する逆止弁16が設けられている。 The other branch passage of the liquid medicine passage 14 has a discharge side passage 14b, the midway, a check valve 16 to permit passage of liquid only in the direction from the pump chamber 13 to the discharge port 52 side is provided It is. 吐出側通路14bの最下流部には圧力計53と可変絞り54とが設けられている。 A variable restrictor 54 and the pressure gauge 53 on the most downstream portion is provided on the discharge side passage 14b.

なお、シリンジポンプ11に設けられる薬液通路の他の構成として、シリンジポンプ11に吸引用及び吐出用の2つのポートを設けるとともに、それら各ポートに個別の薬液通路を設ける構成とすることも可能である。 As another configuration of the liquid medicine passage provided in the syringe pump 11, provided with a suction and two ports for discharging the syringe pump 11, is also possible that a structure in which their respective ports provided separate chemical passages is there. この場合、吸引用及び吐出用の各薬液通路にそれぞれ逆止弁又は流量制御弁が設けられる。 In this case, the check valve or flow control valve is provided in each chemical solution passage for suction and discharge.

また、駆動シリンダ21において、シリンダケース22にはピストン23が収容されており、そのピストンヘッド23aは、シリンダケース22のピストンロッド側端部付近からピストンヘッド側端部付近までの範囲内で往復動可能となっている。 Further, in the driving cylinder 21, the cylinder case 22 and a piston 23 is housed, the piston head 23a is reciprocal within a range of around the piston rod end of the cylinder case 22 to the vicinity of the piston head-side end portion kinematic It has become possible. ピストンヘッド23aによってシリンダケース22内が2つの圧力室24,25に区画されている。 It is defined in the cylinder case 22 into two pressure chambers 24, 25 by the piston head 23a. このうち一方の圧力室24はピストン23のロッド側に設けられる閉空間であり、以下これを「ロッド側圧力室24」と言う。 Among one of the pressure chambers 24 is a closed space that is provided to the rod side of the piston 23, which is hereunder referred to as "rod-side pressure chamber 24 '. また、他方の圧力室25はピストンヘッド23aの先端側に設けられる閉空間であり、以下これを「ヘッド側圧力室25」と言う。 The other pressure chamber 25 is a closed space which is provided on the distal end side of the piston head 23a, hereinafter referred to as "head-side pressure chamber 25 '. なお、説明の便宜上、ピストンロッド側の限界位置を「トップ点」、ピストンヘッド側の限界位置を「ボトム点」と言い、ピストン23がトップ点側に変位することを「上動」、ボトム点側に変位することを「下動」とも言うこととする。 For convenience of description, "top point" a limit position of the piston rod side, the limit position of the piston head side is called "bottom point", that piston 23 is displaced to the top point side "upward movement", the bottom point to be displaced to the side and also be referred to as a "downward".

駆動シリンダ21のピストン23とシリンジポンプ11のピストン12とは互いのロッド部が連結されており、駆動シリンダ21のピストン23が変位すると、それに連動してシリンジポンプ11のピストン12が変位する。 A piston 12 of the piston 23 and the syringe pump 11 of the driving cylinder 21 is connected the rod of each other, the piston 23 of the driving cylinder 21 is displaced, the piston 12 of the syringe pump 11 in conjunction is displaced therewith. ここで、シリンジポンプ11と駆動シリンダ21とでは、各ピストン12,23の受圧面積が相違している。 Here, in the syringe pump 11 and the driving cylinder 21, the pressure receiving area of ​​each piston 12, 23 it is different. 本実施の形態では、「シリンジポンプ11側のピストン受圧面積<駆動シリンダ21側のピストン受圧面積」となっており、駆動シリンダ21の作動時には、そのピストン面積比(=駆動シリンダ21側のピストン受圧面積/シリンジポンプ11側のピストン受圧面積)に応じてシリンジポンプ11の薬液吐出圧力が増圧される。 In the present embodiment, has a "piston pressure receiving area of ​​the syringe pump 11 side <piston pressure receiving area of ​​the drive cylinder 21 side", during operation of the drive cylinder 21, its piston area ratio (= the driving cylinder 21 of the piston pressure receiving solution discharge pressure of the syringe pump 11 is boosted in accordance with the piston pressure receiving area) of the area / syringe pump 11 side. この場合、上記面積比により決まる増圧の度合と駆動シリンダ21側圧力とによって、シリンジポンプ11での薬液吐出圧力が決定されるようになっている。 In this case, by the degree and the driving cylinder 21 side pressure of the pressure increase determined by the area ratio, so that the solution discharge pressure of the syringe pump 11 is determined. なお、「シリンジポンプ11側のピストン受圧面積>駆動シリンダ21側のピストン受圧面積」として構成することも可能であり、かかる構成においては、駆動シリンダ21の作動時に、そのピストン面積比(=シリンジポンプ11側のピストン受圧面積/駆動シリンダ21側のピストン受圧面積)に応じてシリンジポンプ11の薬液吐出圧力が減圧される。 Incidentally, it is also possible to configure as a "piston pressure receiving area of ​​the piston pressure receiving area> drive cylinder 21 of the syringe pump 11 side" In this configuration, upon actuation of the driving cylinder 21, its piston area ratio (= a syringe pump solution discharge pressure of the syringe pump 11 is reduced in accordance with the piston pressure receiving area of ​​the piston pressure receiving area / driving cylinder 21 side 11 side).

各ピストン12,23の接続点には浮動ジョイント機構26が設けられており、この浮動ジョイント機構26により両ピストン12,23のコジリ等が防止されるようになっている(ただし、同浮動ジョイント機構を省略することも可能である)。 The connection point of each piston 12, 23 is provided with a floating joint mechanism 26, the Floating joint mechanism 26 so that the wrenching or the like of the both pistons 12, 23 is prevented (where the floating joint mechanism it is also possible to omit the).

電空レギュレータRG1,RG2は駆動シリンダ21の駆動回路を構成するものであり、これら各電空レギュレータRG1,RG2にはそれぞれ、空圧源55よりエア通路56を通じて加圧エアが供給される。 Electropneumatic regulator RG1, RG2 are intended to constitute the driving circuit of the driving cylinder 21, each of the respective electropneumatic regulator RG1, RG2, pressurized air is supplied through the air passage 56 from the air pressure source 55. 一方の電空レギュレータRG1は駆動シリンダ21のロッド側圧力室24に接続され、電空レギュレータRG1によってロッド側圧力室24内の圧力が調整される。 One electropneumatic regulator RG1 is connected to the rod side pressure chamber 24 of the driving cylinder 21, the pressure in the rod side pressure chamber 24 is adjusted by the electropneumatic regulator RG1. また、他方の電空レギュレータRG2は駆動シリンダ21のヘッド側圧力室25に接続され、電空レギュレータRG2によってヘッド側圧力室25内の圧力が調整される。 The other electropneumatic regulator RG2 is connected to the head-side pressure chamber 25 of the driving cylinder 21, the pressure of the head-side pressure chamber 25 is adjusted by the electropneumatic regulator RG2. このとき、ロッド側圧力室24内の圧力がヘッド側圧力室25内の圧力を上回るとピストン23がボトム点側に変位し(下動し)、逆にヘッド側圧力室25内の圧力がロッド側圧力室24内の圧力を上回るとピストン23がトップ点側に変位する(上動する)。 At this time, the pressure in the rod side pressure chamber 24 exceeds the pressure in the head-side pressure chamber 25 the piston 23 is displaced to the bottom point side (moved downward), the pressure of the head-side pressure chamber 25 to the opposite rod above the pressure side the pressure chamber 24 the piston 23 is displaced to the top point side (moved upward).

駆動シリンダ21にはピストンヘッド23aの位置を検知するためのリミットスイッチが複数設けられている。 Limit switches for detecting the position of the piston head 23a is provided with a plurality on the drive cylinder 21. 本実施の形態では、4つのリミットスイッチLS1,LS2,LS3,LS4が設けられており、ピストンヘッド23aがトップ点付近に在る場合にはその位置がリミットスイッチLS1又はLS2により検知され、ピストンヘッド23aがボトム点付近に在る場合にはその位置がリミットスイッチLS3又はLS4により検知される。 In this embodiment, four limit switches LS1, LS2, LS3, LS4 is provided, when the piston head 23a is in the vicinity of the top point its position is detected by the limit switch LS1 or LS2, piston head 23a is its position when located in the vicinity of the bottom point is detected by the limit switch LS3 or LS4. リミットスイッチLS1,LS4はピストン23のストロークエンドにほぼ対応した位置に設けられ、その内側にリミットスイッチLS2,LS3が設けられている。 Limit switches LS1, LS4 is provided substantially corresponding positions in the stroke end of the piston 23, the limit switch LS2, LS3 are provided on the inner side. ピストンヘッド23aがボトム点からトップ点に変位する場合を想定すると、LS4→LS3→LS2→LS1の順に各リミットスイッチがONする。 When the piston head 23a it is assumed that displaced in the top point from the bottom point, each limit switch is turned ON in the order of LS4 → LS3 → LS2 → LS1.

かかる場合、駆動シリンダ21のピストン23に連動してシリンジポンプ11のピストン12が変位するため、リミットスイッチLS1〜LS4によれば、シリンジポンプ11のピストン12の変位位置が検知できることとなる。 In this case, since the piston 12 of the syringe pump 11 in conjunction with the piston 23 of the driving cylinder 21 is displaced, according to the limit switch Ls1 to Ls4, so that the displacement position of the piston 12 of the syringe pump 11 can be detected.

第2ポンプ装置P2は第1ポンプ装置P1と同様の構成を有するため、簡単に説明する。 The second pump device P2 has the same structure as the first pumping device P1, briefly described. 第2ポンプ装置P2において、シリンジポンプ31は往復動可能なピストン32を有しており、ピストン32によってポンプ室33が区画形成されている。 In the second pump device P2, the syringe pump 31 has a reciprocable piston 32, pump chamber 33 is partitioned and formed by the piston 32. ポンプ室33には薬液通路34が接続されており、吸入側通路34aを介して薬液タンク51からポンプ室33に薬液が吸入されるとともに、吐出側通路34bを介して薬液が吐出口52側に吐出される。 The pump chamber 33 is connected to the chemical liquid passage 34, with the drug solution is sucked into the pump chamber 33 from the chemical liquid tank 51 through the suction side passage 34a, the drug solution through the outlet path 34b within the discharge port 52 side It is discharged. 符号35,36は逆止弁である。 Reference numeral 35 is a check valve.

また、駆動シリンダ41において、シリンダケース42にはピストン43が収容されており、そのピストンヘッド43aによってシリンダケース42内がロッド側圧力室44とヘッド側圧力室45とに区画されている。 Further, in the driving cylinder 41, the cylinder case 42 and a piston 43 is housed within the cylinder casing 42 is partitioned into a rod side pressure chamber 44 and the head-side pressure chamber 45 by the piston head 43a. 駆動シリンダ41のピストン43とシリンジポンプ31のピストン32とは互いのロッド部が連結されており、駆動シリンダ41のピストン43が変位すると、それに連動してシリンジポンプ31のピストン32が変位する。 A piston 43 and the piston 32 of the syringe pump 31 of the driving cylinder 41 is connected the rod of each other, the piston 43 of the driving cylinder 41 is displaced in conjunction piston 32 of the syringe pump 31 is displaced with it. 各ピストン32,43の接続点には浮動ジョイント機構46が設けられている。 Floating joint mechanism 46 is provided at the connection point of each piston 32 and 43.

電空レギュレータRG3,RG4は駆動シリンダ41の駆動回路を構成するものであり、これら各電空レギュレータRG3,RG4にはそれぞれ空圧源55より加圧エアが供給される。 Electropneumatic regulator RG3, RG4 is intended to constitute the driving circuit of the driving cylinder 41, each of these electropneumatic regulator RG3, pressurized air from the air pressure source 55 respectively in RG4 is supplied. 一方の電空レギュレータRG3は駆動シリンダ41のロッド側圧力室44に接続され、電空レギュレータRG3によってロッド側圧力室44内の圧力が調整される。 One electropneumatic regulator RG3 is connected to the rod side pressure chamber 44 of the driving cylinder 41, the pressure in the rod side pressure chamber 44 is adjusted by the electropneumatic regulator RG3. また、他方の電空レギュレータRG4は駆動シリンダ41のヘッド側圧力室45に接続され、電空レギュレータRG4によってヘッド側圧力室45内の圧力が調整される。 Also, the other electropneumatic regulator RG4 is connected to the head side pressure chamber 45 of the driving cylinder 41, the pressure of the head-side pressure chamber 45 is adjusted by the electropneumatic regulator RG4.

駆動シリンダ41にはピストンヘッド43aの位置を検知するためのリミットスイッチが複数設けられている。 Limit switches for detecting the position of the piston head 43a is provided with a plurality on the drive cylinder 41. 本実施の形態では、4つのリミットスイッチLS5,LS6,LS7,LS8が設けられており、ピストンヘッド43aがトップ点付近に在る場合にはその位置がリミットスイッチLS5又はLS6により検知され、ピストンヘッド43aがボトム点付近に在る場合にはその位置がリミットスイッチLS7又はLS8により検知される。 In this embodiment, four limit switches LS5, LS6, LS7, LS8 is provided, when the piston head 43a is in the vicinity of the top point its position is detected by the limit switch LS5 or LS6, piston head 43a is its position when located in the vicinity of the bottom point is detected by the limit switch LS7 or LS8. リミットスイッチLS5,LS8はピストン43のストロークエンドにほぼ対応した位置に設けられ、その内側にリミットスイッチLS6,LS7が設けられている。 Limit switch LS5, LS8 is provided substantially corresponding positions in the stroke end of the piston 43, the limit switch LS6, LS7 is provided on its inner side. ピストンヘッド43aがボトム点からトップ点に変位する場合を想定すると、LS8→LS7→LS6→LS5の順に各リミットスイッチがONする。 When the piston head 43a it is assumed that displaced in the top point from the bottom point, each limit switch is turned ON in the order of LS8 → LS7 → LS6 → LS5.

制御回路60は、CPUや各種メモリ等よりなるマイクロコンピュータを主体として構成されており、該制御回路60には各ポンプ装置P1,P2のリミットスイッチLS1〜LS8から検出信号が入力される。 The control circuit 60 is a microcomputer composed of a CPU, various memory, mainly, the control circuit 60 detects a signal from the limit switch LS1~LS8 of each pump device P1, P2 are inputted. 制御回路60は、リミットスイッチLS1〜LS8のON/OFF状態に応じて各ポンプ装置P1,P2の電空レギュレータRG1〜RG4に対して制御信号を出力し、駆動シリンダ21,41によるポンプ駆動状態を制御する。 The control circuit 60 outputs a control signal to the electropneumatic regulator RG1~RG4 of each pump device P1, P2 in accordance with the ON / OFF state of the limit switch LS1~LS8, a pump drive state by the driving cylinder 21, 41 Control. このとき、各ポンプ装置P1,P2の電空レギュレータRG1〜RG4の制御によって、空圧源55から駆動シリンダ21,41に供給されるエア圧力の切替が順次行われ、それに伴い両ポンプ装置P1,P2による薬液の連続吐出が実現されるようになっている。 At this time, the control of the electropneumatic regulator RG1~RG4 of each pump device P1, P2, switching of the air pressure is sequentially performed supplied from the air pressure source 55 to the driving cylinder 21 and 41, both the pump device with it P1, continuous discharge of the chemical liquid is adapted to be implemented by P2.

次に、本薬液供給システムにおける薬液吐出の様子を図2のタイムチャートを用いて説明する。 Next, the state of the solution discharge in the chemical supply system will be described with reference to a time chart of FIG. 図2において、(a)は薬液の吐出圧力の推移を示す。 In FIG. 2, (a) shows changes in the discharge pressure of the liquid medicine. (b)〜(d)は、第1ポンプ装置P1について、駆動シリンダ21のロッド側圧力(電空レギュレータRG1の操作圧力)の推移、駆動シリンダ21のピストンスロトーク、駆動シリンダ21のヘッド側圧力(電空レギュレータRG2の操作圧力)の推移をそれぞれ示す。 (B) ~ (d) are, for the first pump device P1, the transition of the rod-side pressure of the driving cylinder 21 (the operating pressure of the electropneumatic regulator RG1), the piston Ro talk driving cylinder 21, the head-side pressure of the drive cylinder 21 respectively the transition of (operating pressure electropneumatic regulator RG2). また、(e)〜(g)は、第2ポンプ装置P2について、駆動シリンダ41のロッド側圧力(電空レギュレータRG3の操作圧力)の推移、駆動シリンダ41のピストンスロトーク、駆動シリンダ41のヘッド側圧力(電空レギュレータRG4の操作圧力)の推移をそれぞれ示す。 Further, (e) ~ (g), for the second pump device P2, the transition of the rod-side pressure of the drive cylinder 41 (the operating pressure of the electropneumatic regulator RG3), the piston Ro talk drive cylinder 41, the head of the drive cylinder 41 It shows changes in side pressure (operating pressure of the electropneumatic regulator RG4), respectively. (c),(f)では、ピストンストロークを示す縦軸に、各リミットスイッチLS1〜LS8のON作動点を併せて図示している。 (C), the shown together in (f), the vertical axis indicating the piston stroke, ON operating point of each limit switch LS1~LS8.

図2では、各ポンプ装置P1,P2の初期状態として各駆動シリンダ21,41のピストン23,43がボトム点にある場合を想定しており、各シリンジポンプ11,31では、ポンプ室13,33の容積が最大となり同ポンプ室13,33内に液体が吸引された状態となっている。 In Figure 2, the piston 23, 43 of the driving cylinder 21 and 41 as the initial state of each pump device P1, P2 are on the assumption that in the bottom point, in the syringe pump 11 and 31, the pump chamber 13 and 33 volume is in the state of liquid is sucked into the maximum and becomes the pump chamber 13, 33. 本例は、薬液吐出の開始に伴い先に第1ポンプ装置P1により薬液吐出が開始されるともに、その後は両ポンプ装置P1,P2にて交互に薬液吐出が行われるようになっている。 This example, together the solution discharge is started by the first pump device P1 to the destination with the start of the solution discharge, then is adapted to the solution discharge are alternately performed at both the pump unit P1, P2. ただし、制御開始の初期状態は任意である。 However, the initial state of the control start is arbitrary.

さてタイミングaでは、第1ポンプ装置P1側において電空レギュレータRG2が操作され、駆動シリンダ21のヘッド側圧力が上昇する。 Well at the timing a, electropneumatic regulator RG2 in the first pump device P1 side is operated, the head-side pressure of the drive cylinder 21 is increased. これにより、駆動シリンダ21のピストン23が上動し始め、シリンジポンプ11では、ポンプ室13内の薬液がピストン面積比分増圧され、該増圧された薬液がポンプ室13から吐出される。 Thus, the piston 23 of the driving cylinder 21 begins to move upward, the syringe pump 11, liquid medicine in the pump chamber 13 is pressurized piston area ratio fraction increased, bulking pressurized chemical liquid is discharged from the pump chamber 13. このとき特に、駆動シリンダ21のヘッド側圧力は高圧側に徐々に変化し、エア通路56内における加圧エアの圧力変動が抑制されるようになっている。 In particular this time, the head-side pressure of the driving cylinder 21 is gradually changed to the high pressure side, the pressure variation of the pressurized air in the air passage 56 is adapted to be suppressed. タイミングbでは、駆動シリンダ21のヘッド側圧力が所定圧力(例えば200kPa)に達することに伴い、薬液の吐出圧力が目標圧力(例えば20MPa)に達する。 At timing b, along with the head-side pressure of the drive cylinder 21 reaches a predetermined pressure (e.g. 200 kPa), the discharge pressure of the chemical liquid reaches the target pressure (e.g. 20 MPa).

その後、タイミングcでは、リミットスイッチLS2がONし、それに伴い第2ポンプ装置P2側において電空レギュレータRG4が操作され、駆動シリンダ41のヘッド側圧力が徐々に上昇する。 Thereafter, at the timing c, the limit switch LS2 is turned ON, electropneumatic regulator RG4 the second pump device P2 side is operated with it, the head-side pressure of the drive cylinder 41 is gradually increased. タイミングdでは、駆動シリンダ41のヘッド側圧力が所定圧力(例えば200kPa)に達することに伴い、駆動シリンダ41のピストン43が上動し始める。 At timing d, along with the head-side pressure of the drive cylinder 41 reaches a predetermined pressure (e.g. 200 kPa), the piston 43 of the driving cylinder 41 begins to move upward. すると、第2ポンプ装置P2側のシリンジポンプ31では、ポンプ室33内の薬液がピストン面積比分増圧され、該増圧された薬液がポンプ室33から吐出される。 Then, the second pump device P2 side of the syringe pump 31, chemical liquid in the pump chamber 33 is pressurized piston area ratio fraction increased, bulking pressurized chemical liquid is discharged from the pump chamber 33. つまり、タイミングd〜e(タイミングeはLS1=ONとなるタイミング)の期間では、両ポンプ装置P1,P2による薬液吐出が重複して行われる。 In other words, the timing d-e (timing e is the timing of the LS1 = ON) during the period, the solution discharge by both the pump device P1, P2 are performed in duplicate.

その後、タイミングeでは、第1ポンプ装置P1側において、リミットスイッチLS1がONし、それに伴い電空レギュレータRG1の操作により駆動シリンダ21のロッド側圧力が徐々に上昇するとともに、電空レギュレータRG2の操作により駆動シリンダ21のヘッド側圧力が徐々に下降する。 Thereafter, at timing e, the first pump device P1 side, the limit switch LS1 is turned ON, with the rod side pressure with the electro-pneumatic operation by driving the cylinder 21 of the regulator RG1 is gradually increased to, operation of the electropneumatic regulator RG2 head-side pressure of the drive cylinder 21 is gradually lowered by. これにより、第1ポンプ装置P1側において駆動シリンダ21のピストン23が下動し始め、それに伴うシリンジポンプ11のピストン12の動作によりポンプ室13への薬液吸引が開始される。 Thus, began to piston 23 of the driving cylinder 21 in the first pump device P1 side downward, chemical suction into the pump chamber 13 is started by operation of the piston 12 of the syringe pump 11 associated therewith. タイミングeの後、第2ポンプ装置P2側のシリンジポンプ31によってのみ薬液の吐出が行われる。 After timing e, the discharge of the chemical liquid is carried out only by the second pump device P2 side of the syringe pump 31.

その後、タイミングfでは、第1ポンプ装置P1側のリミットスイッチLS4がONし、それに伴い電空レギュレータRG1の操作により駆動シリンダ21のロッド側圧力が徐々に下降する。 Thereafter, at timing f, the limit switch LS4 of the first pump unit P1 side turned ON, the rod side pressure with the electro-pneumatic operation by driving the cylinder 21 of the regulator RG1 it gradually descends.

タイミングgでは、リミットスイッチLS6がONし、それに伴い第1ポンプ装置P1側において電空レギュレータRG2が操作され、駆動シリンダ21のヘッド側圧力が徐々に上昇する。 At timing g, the limit switch LS6 is turned ON, electropneumatic regulator RG2 in the first pump device P1 side is operated with it, the head-side pressure of the drive cylinder 21 is gradually increased. タイミングhでは、駆動シリンダ21のヘッド側圧力が所定圧力(例えば200kPa)に達することに伴い、駆動シリンダ21のピストン23が上動し始める。 At timing h, due to the head-side pressure of the drive cylinder 21 reaches a predetermined pressure (e.g. 200 kPa), the piston 23 of the driving cylinder 21 begins to move upward. すると、第1ポンプ装置P1側のシリンジポンプ11では、ポンプ室13内の薬液がピストン面積比分増圧され、該増圧された薬液がポンプ室13から吐出される。 Then, the first pump unit P1 side of the syringe pump 11, liquid medicine in the pump chamber 13 is pressurized piston area ratio fraction increased, bulking pressurized chemical liquid is discharged from the pump chamber 13. つまり、タイミングh〜i(タイミングiはLS5=ONとなるタイミング)の期間では、両ポンプ装置P1,P2による薬液吐出が重複して行われる。 In other words, the timing H~i (timing i is the timing of the LS5 = ON) during the period, the solution discharge by both the pump device P1, P2 are performed in duplicate.

その後、タイミングiでは、第2ポンプ装置P2側において、リミットスイッチLS5がONし、それに伴い電空レギュレータRG3の操作により駆動シリンダ41のロッド側圧力が徐々に上昇するとともに、電空レギュレータRG4の操作により駆動シリンダ41のヘッド側圧力が徐々に下降する。 Thereafter, at the timing i, the second pump device P2 side, the limit switch LS5 is turned ON, with the rod-side pressure of the drive cylinder 41 by operating the accompanying electropneumatic regulator RG3 is gradually increased to, operation of the electropneumatic regulator RG4 head-side pressure of the drive cylinder 41 is gradually lowered by. これにより、第2ポンプ装置P2側において駆動シリンダ41のピストン43が下動し始め、それに伴うシリンジポンプ31のピストン32の動作によりポンプ室33への薬液吸引が開始される。 Thus, it began to piston 43 of the drive cylinder 41 in the second pump device P2 side downward, chemical suction into the pump chamber 33 is initiated by movement of the piston 32 of the syringe pump 31 associated therewith. タイミングiの後、第1ポンプ装置P1側のシリンジポンプ11によってのみ薬液の吐出が行われる。 After timing i, the discharge of the chemical liquid is carried out only by the first pump device P1 side of the syringe pump 11.

以降、前記同様、各リミットスイッチの検出信号等に基づく第1ポンプ装置P1側での薬液吐出と、同じく各リミットスイッチの検出信号等に基づく第2ポンプ装置P2側での薬液吐出とが繰り返し行われる。 Thereafter, the same, and the solution discharge of the first pump device P1 side based on the detection signal of each limit switch, also the solution discharge and repeatedly row by the second pump device P2 side based on the detection signal of each limit switch divide.

以上詳述した本実施の形態によれば、以下の優れた効果が得られる。 According to the present embodiment described above exerts following excellent effects.

2つのポンプ装置P1,P2を設け、それらを順に動作させて薬液の連続吐出を行うようにしたため、薬液の吐出が途切れることに伴い発生する薬液の吐出圧力の脈動等が抑制できる。 Two pump device P1, P2 provided, they are operated in order for that to carry out the continuous discharge of the chemical liquid, pulsation of the discharge pressure of the chemical liquid occurs due to the ejection of the liquid medicine is interrupted can be suppressed. これにより、圧力の脈動を吸収するためにアキュームレータ等の脈動抑制手段を設置することが不要となり、システムの小型化や軽量化も実現できる。 Accordingly, it becomes unnecessary to install a pulsation suppression device of an accumulator or the like to absorb the pressure pulsations can be realized size and weight of the system.

また、電空レギュレータRG1〜RG4の圧力調整によりエア圧力を徐変させながら駆動シリンダ21,41におけるエア圧力の切替を行うようにしたため、各駆動シリンダ21,41の動作が安定する。 Also, since you like to switch the air pressure in the drive cylinder 21 and 41 while gradually changing the air pressure by the pressure adjustment of the electropneumatic regulator RG1~RG4, operation of the driving cylinder 21, 41 it is stabilized. 仮にエア圧力の切替を急峻に行う場合(例えば、ON/OFF的に切替を行う場合)、その切替に伴いエア通路56内で圧力変動(衝撃振動)が生じ、それにより各駆動シリンダ21,41の動作が乱れると考えられる。 Assuming the case where steeply to switch the air pressure (e.g., when performing ON / OFF switchable), the pressure fluctuations (impact vibration) occurs in the air passage 56 due to the switching, so that each drive cylinder 21, 41 It is considered that the operation of is disturbed. これに対し、上記のように圧力徐変させながらエア圧力の切替を行うことにより、エア通路56内での圧力変動を抑制することができる。 In contrast, by performing the switching of the air pressure while the pressure gradually changing as described above, it is possible to suppress the pressure fluctuation in the air passage 56. したがって、各シリンジポンプ11,31における薬液吐出状態が安定し、高精度な吐出量制御が実現できる。 Therefore, the drug solution discharge state is stabilized in the syringe pump 11 and 31, high-precision ejection amount control can be realized. またこの場合、駆動シリンダごとに2つずつの電空レギュレータを設けたため、各駆動シリンダ21,41に対する細かな圧力制御が可能となる。 Also in this case, due to the provision of the two by two pneumatic regulator electrodeposition each drive cylinder, it is possible to fine pressure control to the actuating cylinders 21 and 41.

駆動シリンダ21,41においてピストンストローク位置を検知するためのリミットスイッチLS1〜LS8を設け、薬液吐出中のシリンジポンプにおいてピストンがストロークエンド付近に到達したことをリミットスイッチにより検知した際に他のシリンジポンプで薬液吐出を開始させるようにしたため、意に反して薬液の吐出が途切れてしまうこと等が回避できる。 In the driving cylinder 21, 41 is provided a limit switch LS1~LS8 for detecting the piston stroke position, the other syringe pump when the piston in the syringe pump in the solution discharge is detected by a limit switch that has reached the vicinity of the stroke end in order to have so as to initiate a chemical dispensing, such that the discharge of unintentionally chemical is interrupted can be avoided. 故に、薬液の連続吐出を好適に実施することができる。 Thus, it is possible to suitably implement the continuous discharge of the chemical liquid.

2つのシリンジポンプ11,31において薬液吐出の時期を重複させ、かつ先行して薬液吐出を開始したシリンジポンプ側を先に吐出状態から吸引状態に移行させるようにしたため、2つのシリンジポンプ11,31間で薬液吐出の動作が好適に引き継がれるようになる。 In two syringe pumps 11 and 31 are overlapped when to chemical dispensing and for the preceding syringe pump side that initiated the chemical discharged was set to be shifted earlier from the discharge state to the suction state, two syringe pumps 11 and 31 so the operation of the solution discharge is suitably taken over between. またこの場合、2つのシリンジポンプ11,31において薬液吐出の時期が重複しているため、各シリンジポンプ11,31での吐出圧力の違い等により一方のシリンジポンプが停止しても他方のシリンジポンプにて薬液の吐出を継続させることができる。 Also in this case, two for timing the solution discharge is duplicated in the syringe pump 11 and 31, the other syringe pump also stops one syringe pump depending like of the discharge pressure of each syringe pump 11, 31 it is possible to continue the discharge of the chemical liquid in.

シリンジポンプ11,13及び駆動シリンダ21,41では各々のピストン受圧面積が相違しており、シリンジポンプ側と駆動シリンダ側とのピストン面積比に応じて薬液吐出圧力の増圧が可能となっている。 It is different from the piston pressure receiving area of ​​each the syringe pump 11, 13 and the drive cylinder 21 and 41, which enables the pressure increase in the solution discharge pressure in accordance with the piston area ratio between the syringe pump side and the driving cylinder side . したがって、薬液の吐出圧力を容易にかつ効率良く増圧することができる。 Therefore, it is possible to pressure increase easily and efficiently discharge pressure of the liquid medicine.

上記図2で説明した薬液の吸引及び吐出の動作例では、例えば、タイミングeにおいて、第1ポンプ装置P1側のリミットスイッチLS1がONすることをトリガとして駆動シリンダ21の上動→下動の切替を行うようにしたが、リミットスイッチLS1がONするよりも先に第2ポンプ装置P2側のリミットスイッチLS7がONする場合には、そのリミットスイッチLS7のONをトリガとして駆動シリンダ21の上動→下動の切替を行うようにしても良い。 In the operation example of the suction and discharge of the chemical liquid described above with reference to FIG 2, for example, at timing e, switching of the upward movement → downward movement of the drive cylinder 21 that the limit switch LS1 of the first pump unit P1 side is ON as a trigger was to perform, when the limit switch LS1 is turned oN limit switch LS7 are of the second pump device P2 side earlier than oN, the drive cylinder 21 to oN of the limit switch LS7 triggered upward → it may be performed to switch the downward movement. その動作例を図3により説明する。 The operation example is described with reference to FIG. 図3は、基本的に前記図2と同じ動作を説明するものであり、(a)〜(g)の各チャートは前記図2の(a)〜(g)に準ずる。 Figure 3 is for explaining the same operation as basically FIG. 2, pursuant to (a) ~ Each chart of the FIG. 2 (g) (a) ~ (g). 図3では、機差や経時的な要因により、一方のシリンジポンプ11(先行動作シリンジポンプ)の薬液吐出が比較的少量となり、他方のシリンジポンプ31(後発動作シリンジポンプ)の薬液吐出が比較的多量となっている場合の動作を示している。 In Figure 3, the instrumental error or temporal factors, the solution discharge is a relatively small amount and becomes the one syringe pump 11 (advanced operation syringe pump), the solution discharge of the other syringe pump 31 (late operation syringe pump) relatively shows the operation of the case has become a large amount. つまり、シリンジポンプ31が吐出の主体となっている。 In other words, the syringe pump 31 has become the subject of the discharge.

図3においてタイミングAでは、第1ポンプ装置P1側において電空レギュレータRG2が操作され、駆動シリンダ21のヘッド側圧力が上昇する。 At the timing A in FIG. 3, an electropneumatic regulator RG2 in the first pump device P1 side is operated, the head-side pressure of the drive cylinder 21 is increased. これにより、駆動シリンダ21のピストン23が上動し始め、シリンジポンプ11では、ポンプ室13内の薬液がピストン面積比分増圧され、該増圧された薬液がポンプ室13から吐出される。 Thus, the piston 23 of the driving cylinder 21 begins to move upward, the syringe pump 11, liquid medicine in the pump chamber 13 is pressurized piston area ratio fraction increased, bulking pressurized chemical liquid is discharged from the pump chamber 13. このとき特に、駆動シリンダ21のヘッド側圧力は高圧側に徐々に変化し、エア通路56内における加圧エアの圧力変動が抑制されるようになっている。 In particular this time, the head-side pressure of the driving cylinder 21 is gradually changed to the high pressure side, the pressure variation of the pressurized air in the air passage 56 is adapted to be suppressed. タイミングBでは、駆動シリンダ21のヘッド側圧力が所定圧力(例えば200kPa)に達することに伴い、薬液の吐出圧力が目標圧力(例えば20MPa)に達する。 At timing B, along with the head-side pressure of the drive cylinder 21 reaches a predetermined pressure (e.g. 200 kPa), the discharge pressure of the chemical liquid reaches the target pressure (e.g. 20 MPa).

その後、タイミングCでは、リミットスイッチLS2がONし、それに伴い第2ポンプ装置P2側において電空レギュレータRG4が操作され、駆動シリンダ41のヘッド側圧力が徐々に上昇する。 Thereafter, at timing C, the limit switch LS2 is turned ON, electropneumatic regulator RG4 the second pump device P2 side is operated with it, the head-side pressure of the drive cylinder 41 is gradually increased. タイミングDでは、駆動シリンダ41のヘッド側圧力が所定圧力(例えば200kPa)に達することに伴い、駆動シリンダ41のピストン43が上動し始める。 At a timing D, along with the head-side pressure of the drive cylinder 41 reaches a predetermined pressure (e.g. 200 kPa), the piston 43 of the driving cylinder 41 begins to move upward. また、同タイミングDでは、第1ポンプ装置P1側において駆動シリンダ21のピストンストロークが停止する。 Further, in the same timing D, the piston stroke of the drive cylinder 21 in the first pump device P1 side stops. これにより、タイミングDの後、第2ポンプ装置P2側のシリンジポンプ31では、ポンプ室33内の薬液がピストン面積比分増圧され、該増圧された薬液がポンプ室33から吐出される。 Accordingly, after the timing D, the second pump device P2 side of the syringe pump 31, chemical liquid in the pump chamber 33 is pressurized piston area ratio fraction increased, bulking pressurized chemical liquid is discharged from the pump chamber 33. このとき、シリンジポンプ31を主体とする薬液吐出では、摩擦抵抗の減少など、何らかの要因により発生圧力に僅かなばらつきが生じ、その吐出圧力が若干高い圧力(例えば20.1MPa)となっている。 In this case, the chemical dispensing mainly the syringe pump 31, a decrease in frictional resistance, resulting slight variations in the pressure generated by some cause, has its discharge pressure slightly higher pressure (e.g. 20.1MPa).

かかる場合において詳細には、シリンジポンプ11からの圧力(20MPa)と、シリンジポンプ31からの圧力(20.1MPa)がそれぞれ吐出側通路14b,34bに作用するが、僅かにシリンジポンプ31の発生圧力(20.1MPa)の方が高いため、吐出側通路14bに流入しようとするシリンジポンプ11からの薬液が逆止弁16で止められる。 Details In such a case, the pressure from the syringe pump 11 (20 MPa), the pressure from the syringe pump 31 (20.1MPa), each outlet path 14b, acts on 34b, the pressure generated by the slightly syringe pump 31 since the higher (20.1MPa), chemical from syringe pump 11 to be flowed into the outlet path 14b is stopped by the check valve 16. よって、シリンジポンプ11からの吐出が止まり、駆動シリンダ21の動作が停止する。 Thus, it stops discharge from the syringe pump 11, operation of the drive cylinder 21 is stopped. つまり、シリンジポンプ31のみの吐出となり、駆動シリンダ41のみの動作する。 That becomes a discharge of only the syringe pump 31 operates only the drive cylinder 41. この間、同時加圧されているため、吐出側に対し圧力の供給が継続される。 During this time, since the pressurized simultaneously pressurized, supply of pressure is continued to the discharge side.

その後、タイミングEでは、第2ポンプ装置P2側において、リミットスイッチLS7がONし、それに伴い第1ポンプ装置P1側の電空レギュレータRG1の操作により駆動シリンダ21のロッド側圧力が徐々に上昇するとともに、電空レギュレータRG2の操作により駆動シリンダ21のヘッド側圧力が徐々に下降する。 Thereafter, at timing E, the second pump device P2 side, with limit switch LS7 is turned ON, the rod-side pressure of the driving cylinder 21 by the operation of the first pump unit P1 side of the electropneumatic regulator RG1 is gradually increased along with it , the head-side pressure of the driving cylinder 21 by operating the electropneumatic regulator RG2 is gradually lowered. これにより、第1ポンプ装置P1側において駆動シリンダ21のピストン23が下動し始め、それに伴うシリンジポンプ11のピストン12の動作によりポンプ室13への薬液吸引が開始される。 Thus, began to piston 23 of the driving cylinder 21 in the first pump device P1 side downward, chemical suction into the pump chamber 13 is started by operation of the piston 12 of the syringe pump 11 associated therewith. この時点では、第2ポンプ装置P2側のシリンジポンプ31によってのみ薬液の吐出が行われる。 At this point, the discharge of the chemical liquid is carried out only by the second pump device P2 side of the syringe pump 31.

その後、タイミングFでは、第1ポンプ装置P1側のリミットスイッチLS4がONし、それに伴い電空レギュレータRG1の操作により駆動シリンダ21のロッド側圧力が徐々に下降する。 Thereafter, at the timing F, the limit switch LS4 of the first pump unit P1 side turned ON, the rod side pressure with the electro-pneumatic operation by driving the cylinder 21 of the regulator RG1 it gradually descends.

タイミングGでは、リミットスイッチLS6がONし、それに伴い第1ポンプ装置P1側において電空レギュレータRG2が操作され、駆動シリンダ21のヘッド側圧力が徐々に上昇する。 At the timing G, the limit switch LS6 is turned ON, electropneumatic regulator RG2 in the first pump device P1 side is operated with it, the head-side pressure of the drive cylinder 21 is gradually increased. タイミングHでは、第2ポンプ装置P2側において、リミットスイッチLS5がONし、それに伴い電空レギュレータRG3の操作により駆動シリンダ41のロッド側圧力が徐々に上昇するとともに、電空レギュレータRG4の操作により駆動シリンダ41のヘッド側圧力が徐々に下降する。 At the timing H, the second pump device P2 side, the limit switch LS5 is turned ON, with the rod-side pressure of the drive cylinder 41 by operating the accompanying electropneumatic regulator RG3 is gradually increased therewith, driven by the operation of the electro-pneumatic regulator RG4 head-side pressure in the cylinder 41 is gradually lowered. これにより、第2ポンプ装置P2側において駆動シリンダ41のピストン43が下動し始め、それに伴うシリンジポンプ31のピストン32の動作によりポンプ室33への薬液吸引が開始される。 Thus, it began to piston 43 of the drive cylinder 41 in the second pump device P2 side downward, chemical suction into the pump chamber 33 is initiated by movement of the piston 32 of the syringe pump 31 associated therewith. また、タイミングHの後、駆動シリンダ21のピストン23が上動し始め、第1ポンプ装置P1側のシリンジポンプ11では、ポンプ室13内の薬液がピストン面積比分増圧され、該増圧された薬液がポンプ室13から吐出される。 Further, after the timing H, began to piston 23 of the driving cylinder 21 is moved upward, the first pump unit P1 side of the syringe pump 11, liquid medicine in the pump chamber 13 is pressurized piston area ratio partial increase was pressurized bulking chemical liquid discharged from the pump chamber 13.

以降、前記同様、各リミットスイッチの検出信号等に基づく第1ポンプ装置P1側での薬液吐出と、同じく各リミットスイッチの検出信号等に基づく第2ポンプ装置P2側での薬液吐出とが繰り返し行われる。 Thereafter, the same, and the solution discharge of the first pump device P1 side based on the detection signal of each limit switch, also the solution discharge and repeatedly row by the second pump device P2 side based on the detection signal of each limit switch divide.

以上図3の如くポンプ動作が行われる場合にも、前記同様、各シリンジポンプ11,31における薬液吐出状態が安定し、高精度な吐出量制御が実現できる。 Or if the pump operation is carried out as in also FIG. 3, the same, the solution discharge state is stabilized in the syringe pump 11 and 31, high-precision ejection amount control can be realized. また、先行動作シリンジポンプが停止した状態でも後発動作シリンジポンプによる薬液吐出が継続される。 Further, the solution discharge is continued by subsequent operations syringe pumps even when the preceding operation syringe pump stops. したがって、吐出シーケンスが薬液吐出の途中で中断されてしまうようなシーケンスの破綻を防止することができる。 Therefore, it is possible to discharge sequence to prevent the collapse of the sequence that would be interrupted in the middle of the solution discharge.

なお、本発明は上記実施の形態の記載内容に限定されず、例えば次のように実施しても良い。 The present invention is not limited to the description of the above embodiment, it may be embodied as follows.

上記実施の形態では、電空レギュレータRG1〜RG4の圧力調整によりエア圧力を徐変させる際に、圧力変化の初めから終わりまでの範囲(0〜200kPa)で圧力徐変させたが、これを変更し、少なくとも終わり値付近で圧力徐変する構成としても良い。 In the above embodiment, when causing gradual change the air pressure by the pressure adjustment of the electropneumatic regulator RG1~RG4, but was pressure gradual change in the range (0~200kPa) from the beginning to the end of the pressure change, change it and it may be configured to pressure gradual change at least in the vicinity of the end value. また、圧力変化の形態は、単位時間の変化量を一定とする変化以外に、単位時間の変化量を可変とする変化であっても良い。 Further, the form of the pressure change, the amount of change per unit time in addition to changing the constant, the amount of change per unit time may be a change in a variable.

2つのポンプ装置P1,P2を用いて薬液の連続吐出を行う状態と、1つのポンプ装置のみを用いて薬液の間欠吐出を行う状態とを切替可能とする構成としても良い。 And a state of continuous discharge of the chemical liquid using two pumps devices P1, P2, may be configured to be switchable between a state for performing the intermittent discharge of liquid medicine using only one pump device. 例えば、都度必要とする薬液の吐出流量に応じて、連続吐出の状態と間欠吐出の状態を切り替えるようにする。 For example, depending on the discharge flow rate of the chemical liquid and each time required to switch the continuous discharge state and intermittent discharge state. この場合、制御回路60により薬液吐出状態の切替を行うこととし、所望とする薬液の吐出流量が比較的少なければ間欠吐出を行わせ、同吐出流量が増やされると連続吐出を行わせるようにする。 In this case, the performing the switching of the solution discharge state by control circuit 60, if relatively fewer discharge flow rate of the liquid medicine to be desired to perform the intermittent discharge, so as to perform the continuous discharge and the discharge flow rate is increased . これにより、消費エネルギを最適に管理することができる。 This makes it possible to optimally manage the energy consumption.

上記実施の形態では、シリンジポンプ11のピストンストローク位置を検知するための位置検知手段として、駆動シリンダ側に複数のリミットスイッチLS1〜LS8を設けたが、この構成を変更しても良い。 In the above embodiment, as a position detecting means for detecting the piston stroke position of the syringe pump 11 is provided with the plurality of limit switches LS1~LS8 the driving cylinder side may change this configuration. 例えば、リミットスイッチに代えて、リニアポテンションメータ又はリニアスケール等のリニアセンサを用いる構成とする。 For example, instead of the limit switches, a configuration using a linear sensor such as a linear potentiometer or a linear scale. この場合、リニアポテンションメータやリニアスケールによれば、ピストンの移動速度を求めることができ、その移動速度によって都度の液体流量を正確に把握することができる。 In this case, according to the linear potentiometer and a linear scale, it is possible to obtain the moving speed of the piston, it is possible to accurately grasp the liquid flow at each time by the moving speed. また、リミットスイッチ等の位置検知手段を、駆動シリンダ側でなくシリンジポンプ側に設け、それによりシリンジポンプ側におけるピストンストロークを直接的に検知する構成としても良い。 Further, the position detecting means such as a limit switch, provided on the syringe pump side not drive cylinder side, thereby may be configured to directly detect the piston stroke in the syringe pump side.

上記実施の形態では、駆動シリンダ21,41の駆動回路として、ピストンロッド側及びピストンヘッド側に電空レギュレータRG1〜RG4をそれぞれ設け、それら各電空レギュレータRG1〜RG4の作動によりピストン位置を制御したが、この構成を変更する。 In the above embodiment, as the driving circuit for driving the cylinder 21, 41 is provided with electropneumatic regulator RG1~RG4 respectively to the piston rod side and the piston head side to control the piston position by their operation of the electro-pneumatic regulator RG1~RG4 but, to change this configuration. 例えば、駆動シリンダ21,41においてピストンヘッド側にのみ電空レギュレータ(図1のRG2,RG4)を設けるとともに、ピストン23,43を常にヘッド側(図1の下側)に付勢するバネ等の付勢手段を設ける構成とする。 For example, it provided with a electropneumatic regulator (RG2 of Figure 1, RG4) only on the piston head-side in the driving cylinder 21 and 41, always the head side of the piston 23, 43 such as a spring for biasing (lower side in FIG. 1) a configuration to provide a biasing means. この場合、電空レギュレータRG2,RG4のエア圧力を調整することで付勢手段の付勢力に抗してピストンを移動させることができ、その際ピストンストローク位置を任意に制御することができる。 In this case, it is possible to move the piston against the biasing force of the biasing means by adjusting the air pressure of the electropneumatic regulator RG2, RG4, it is possible to arbitrarily control the time piston stroke position.

吐出側通路14bに設けた圧力計53の計測信号を制御回路60に入力し、該制御回路60において吐出圧力のフィードバック制御を行うようにしても良い。 The pressure gauge 53 measuring signals provided on the discharge side passage 14b and inputted to the control circuit 60 may perform the feedback control of the discharge pressure in the control circuit 60. 具体的には、目標とする吐出圧力と実際の吐出圧力(圧力計53による計測値)との偏差に基づいて駆動シリンダ21,41の駆動状態(電空レギュレータのエア圧力)を制御する。 Specifically, to control the actual discharge pressure and the discharge pressure as a target driving state of the driving cylinder 21 and 41 on the basis of the deviation between the (pressure meter 53 measurements by) (air pressure electropneumatic regulator). これにより、薬液の吐出圧力を高精度に制御することができる。 Thus, it is possible to control the discharge pressure of the liquid medicine with high accuracy. したがって、薬液の吐出先である薬液吐出ノズル等に対して液体の安定供給が実現できる。 Thus, stable supply of the liquid can be achieved with respect to the solution discharge nozzle and the like which are ejection destination of the liquid medicine.

上記実施の形態では、2つのポンプ装置P1,P2を用いて薬液供給システムを構築したが、3つ以上のポンプ装置を用いて薬液供給システムを構築することも可能である。 In the above embodiment, to construct a chemical supply system using two pump device P1, P2, it is possible to construct a chemical supply system using three or more pumping device. 例えば、3つのポンプ装置を用い、所定の順序で各ポンプ装置の吸引及び吐出動作を互い違いに行わせる。 For example, using three pumping device to alternately perform the suction and discharge operation of the pump device in a predetermined order. ポンプ装置の数(すなわち、シリンジポンプ及び駆動シリンダの数)を増やすことにより、薬液の連続吐出を実施する際のより一層の安定化を図ることができる。 The number of the pump device (i.e., syringe number of pumps and drive cylinder) by increasing the, it is possible to further stabilize the carrying out the continuous discharge of the chemical liquid. また、薬液の多重吐出が可能となり、薬液吐出量を十分に確保することができる。 Further, it is possible to multiplex the discharge of the chemical liquid, it is possible to sufficiently ensure the chemical solution discharge amount.

発明の実施の形態における薬液供給システムの概略を示す構成図である。 It is a schematic diagram showing the chemical liquid supply system according to an embodiment of the invention. 本システムにおける薬液の吸引及び吐出等の動作を示すタイムチャートである。 It is a time chart showing the operation of the suction and discharge, etc. of the liquid chemical in the system. 本システムにおける薬液の吸引及び吐出等の動作を示すタイムチャートである。 It is a time chart showing the operation of the suction and discharge, etc. of the liquid chemical in the system. 従来システムにおける薬液の吸引及び吐出等の動作を示すタイムチャートである。 Is a time chart showing the operation of the suction and discharge, etc. of the chemical liquid in a conventional system.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

11…シリンジポンプ、12…ピストン、13…ポンプ室、21…駆動シリンダ、23…ピストン、31…シリンジポンプ、32…ピストン、33…ポンプ室、41…駆動シリンダ、43…ピストン、53…圧力計、55…空圧源、56…エア通路、60…制御回路、P1…第1ポンプ装置、P2…第2ポンプ装置、RG1〜RG4…電空レギュレータ、LS1〜LS8…リミットスイッチ。 11 ... syringe pump, 12 ... piston, 13 ... pump chamber 21 ... driving cylinder, 23 ... piston, 31 ... syringe pump, 32 ... piston, 33 ... pump chamber 41 ... driving cylinder, 43 ... piston, 53 ... pressure gauge , 55 ... air pressure source, 56 ... air passage, 60 ... control circuit, P1 ... first pump device, P2 ... second pump means, RG1~RG4 ... electropneumatic regulator, LS1~LS8 ... limit switch.

Claims (5)

  1. ポンプ室での液体の吸引及び吐出を繰り返し行う複数のポンプと、該複数のポンプに各々設けられ、圧力発生源から流体通路を通じて供給される圧縮流体によって前記ポンプを駆動する駆動装置とを有し、 A plurality of pumps to repeat suction and discharge of liquid in the pump chamber, respectively provided in the plurality of pumps, and a driving device for driving the pump by compressed fluid supplied through the fluid passage from the pressure source ,
    前記複数のポンプは、前記ポンプ室に液体を吸引する向きである吸引方向と該ポンプ室から液体を吐出する向きである吐出方向との両方向に往復動して前記ポンプ室内の容積を変更するピストン部材を有し、 Wherein the plurality of pumps, pistons to change the reciprocating with said pump chamber volume in both directions of the discharge direction is a direction for discharging liquid from the direction in which the suction direction and the pump chamber for sucking liquid into the pump chamber It has a member,
    前記複数のポンプにそれぞれ設けられた吐出側の液体通路は互いに共通となる通路部分を有しており、 Liquid passage on the discharge side respectively provided in the plurality of pumps has a common become passage portion to each other,
    前記圧力発生源から各駆動装置に供給される流体圧力の切替を行うことにより前記複数のポンプを順に動作させて液体の連続吐出を行わせる液体供給システムであって、 A liquid supply system for by operating a plurality of pumps in order to perform the continuous discharge of the liquid by performing the switching of the fluid pressure supplied to the drive device from the pressure source,
    各駆動装置における流体圧力の切替を圧力徐変させつつ実施する一方、 While it is implementing while the switching of the fluid pressure to the pressure gradually changing in each drive unit,
    前記各ポンプにおける前記ピストン部材のストローク位置を検知する位置検知手段を備え、 Comprising a position detecting means for detecting a stroke position of the piston member in the respective pump,
    前記複数のポンプにおいて液体の吐出順序が前後となる第1ポンプと第2ポンプとのうち第1ポンプの前記ピストン部材が、前記吐出方向のストロークエンド位置に到達する前のストロークエンド到達前位置に到達したと前記位置検知手段により検知された時に、第2ポンプでの液体吐出を開始させるべく前記流体圧力の切替を行い、 Said piston member of the first pump of the first pump and the second pump discharge order of the liquid is back and forth in the plurality of pumps, the stroke end before reaching the position before reaching the stroke end position of the discharge direction when it is detected by said position detecting means has reached, and switches the fluid pressure in order to start the liquid ejection in the second pump,
    その第2ポンプでの液体吐出のための流体圧力の切替後において、第1ポンプの前記ピストン部材が、前記ストロークエンド位置に到達したと前記位置検知手段により検知された時、及び第2ポンプの前記ピストン部材が、前記吐出方向においてストロークスタート位置から変位した所定ストローク位置に到達したと前記位置検知手段により検知された時のいずれか早い方で、第1ポンプでの液体吸引を開始させるべく前記流体圧力の切替を行うことを特徴とする液体供給システム。 After switching of the fluid pressure for liquid discharging at the second pump, the piston member of the first pump, when sensed by that it has reached the stroke end position the position sensing means, and the second pump It said piston member, said in ejection direction whichever is earlier when detected by the position detecting means has reached the predetermined stroke position displaced from the stroke start position, in order to start liquid suction in the first pump the liquid supply system, characterized in that for switching the fluid pressure.
  2. 前記圧力発生源と前記駆動装置との間に設けられ該駆動装置ごとに前記圧縮流体の圧力を調整する圧力調整手段と、該圧力調整手段による圧力調整を行わせる制御手段とを備え、 Comprising a pressure adjusting means for adjusting the pressure of the compressed fluid in each said drive unit is provided between the pressure source and the driving device, and control means for causing the pressure adjustment by the pressure adjusting means,
    前記制御手段から前記圧力調整手段への指令によって前記流体圧力切替時の圧力徐変を行わせるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の液体供給システム。 Liquid supply system according to claim 1, characterized in that so as to perform pressure gradual change when the fluid pressure changeover by a command to said pressure regulating means from said control means.
  3. 前記ポンプ及び前記駆動装置は共にピストン式ポンプであり、それらの各ピストンの受圧面積を異なるものとしたことを特徴とする請求項1又は2に記載の液体供給システム。 Said pump and said drive unit are both piston pump, the liquid supply system according to claim 1 or 2, characterized in that the their pressure receiving area of each piston differs.
  4. 前記複数のポンプに接続された吐出側通路に圧力検出器を設け、該圧力検出器の検出結果に基づいて前記駆動装置の駆動状態を制御することを特徴とする請求項1乃至のいずれかに記載の液体供給システム。 Provided the pressure detector to the discharge side passage connected to said plurality of pumps, any one of claims 1 to 3, characterized in that for controlling the drive state of the drive unit based on a detection result of the pressure detector liquid supply system according to.
  5. 前記複数のポンプにより前記液体の連続吐出を行う状態と、複数のポンプのいずれかを休止させて前記液体の間欠吐出を行う状態とを切替可能としたことを特徴とする請求項1乃至のいずれかに記載の液体供給システム。 And a state of continuous discharge of the liquid by the plurality of pumps, by resting one of a plurality of pump according to claim 1 to 4, characterized in that the state of performing the intermittent discharge of the liquid and can be switched liquid supply system according to any one.
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