JP2008291865A - Cylinder driving device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、アクチュエータシリンダのロッドを前後進駆動させるためのシリンダ駆動装置に関するものである。 The present invention relates to a cylinder driving device for driving a rod of an actuator cylinder forward and backward.
油圧制御によってアクチュエータシリンダのピストンをシリンダ内で往復移動させることによってロッドを前後進駆動させる油圧駆動装置において、定容量形の双方向回転ポンプを用いたものがある。この双方向回転ポンプは、正逆双方向に作動油を供給するため、図2に示すような、双方向回転ポンプ42の両ポートをアクチュエータシリンダ50のピストンヘッド側のシリンダ室S1の出入口ポートHとロッド側のシリンダ室S2の出入口ポートRにそれぞれ接続するだけで、制御弁を必要とせず、自給弁と安全弁からなる簡単な油圧回路でロッドを前後進駆動させることができる。
2. Description of the Related Art Some hydraulic drive devices that drive a rod forward and backward by reciprocating a piston of an actuator cylinder in a cylinder by hydraulic control, use a constant displacement bidirectional rotary pump. Since this bidirectional rotary pump supplies hydraulic oil in both forward and reverse directions, both ports of the bidirectional
即ち、ポンプ42の正回転により一方のポートからリザーバタンク43内の作動油をヘッド側シリンダ室S1へ供給すると共にロッド側シリンダ室S2内の作動油をポンプ42の他方のポートから吸引してタンク43に戻すことによってピストン52を押し出してロッド51を前進駆動させることができ、ポンプ42の逆回転により他方のポートから作動油をロッド側シリンダ室S2へ供給すると共にヘッド側シリンダ室S1内の作動油をポンプ42の一方のポートから吸引してタンク43へ戻すことによってピストン52を引き戻してロッド51を後退させることができる。
That is, the hydraulic oil in the
このように双方向回転油圧ポンプを用いれば、作動油をほぼ閉鎖系で循環させる簡便な油圧回路で油圧配管のないコンパクトなユニット41として油圧供給装置を構成することができる(例えば、特許文献1参照。)。
If the bidirectional rotary hydraulic pump is used in this way, a hydraulic supply device can be configured as a
この双方向回転油圧ポンプ42は、サーボモータMにより回転駆動されるが、サーボモータMの駆動は、制御装置60によって、位置センサ53からのピストン52の位置検出信号と、圧力センサ45からのポンプ吐出作動油の圧力検出信号とに基づいてフィードバック制御される。
The bidirectional rotary
また、この双方向回転ポンプ42は、ピストンポンプの斜板を固定した定容量形にすることによって、ポンプの回転数で吐出流量が決定されるものであるため、サーボモータMの回転数制御でポンプ回転数を低速から高速の幅広い範囲に亘って制御することによりポンプ吐出流量が効率的に制御される。
In addition, since the bidirectional
従って、このような定容量形ポンプを用いれば、一定の高速回転数でポンプ押しのけ容積を変更する可変容量形ポンプのような油圧内部漏れ等の損失が大きい場合に比べて、非常に効率の良い油圧供給システムが構成できる。 Therefore, if such a constant displacement pump is used, it is very efficient compared to a case where loss such as hydraulic internal leakage is large, such as a variable displacement pump that changes the displacement of the pump at a constant high speed. A hydraulic supply system can be configured.
上記のような従来の油圧供給装置では、ポンプ42とヘッド側シリンダ室S1との間を吐出回路としてポンプ42から作動油を送り込む場合にはポンプ42とロッド側シリンダ室S2との間は吸込回路となり、逆にロッド側シリンダ室S2との間を吐出回路としてポンプ42からロッド側シリンダ室S2へ作動油を送り込む場合には、ポンプ42とヘッド側シリンダ室S1との間は吸込回路となる。
In the conventional hydraulic pressure supply apparatus as described above, when hydraulic fluid is fed from the
従って、シリンダに負荷がない状態において、ロッドを所定の初期位置に位置決めするなどの位置制御を行う場合には、位置の誤差補正をする毎に、ヘッド側とロッド側のどちらかへの作動油の吐出圧を完全に0MPaまで落とす必要があった。 Therefore, when performing position control such as positioning the rod at a predetermined initial position in a state where there is no load on the cylinder, the hydraulic oil to either the head side or the rod side is corrected each time position error correction is performed. It was necessary to completely reduce the discharge pressure to 0 MPa.
しかしながら、このような誤差補正では、吐出圧を0MPaまで落としてしまうためにシリンダ内の残空気の影響などを受けやすいこともあり、数μm単位での位置制御は困難であり、現状では求められているものより低い精度で位置制御するしかなかった。これに対して、回路中の圧力を保持して高精度の制御性を確保するためには、通路中のシーケンス弁を設けるという対策を施す必要があるが、これは回路を複雑化してしまい、装置の大型化を招くという問題があった。 However, in such error correction, since the discharge pressure is reduced to 0 MPa, it is likely to be affected by the residual air in the cylinder, so position control in units of several μm is difficult and is currently required. There was no choice but to control the position with a lower accuracy than the current one. On the other hand, in order to maintain the pressure in the circuit and ensure high-precision controllability, it is necessary to take measures to provide a sequence valve in the passage, but this complicates the circuit, There was a problem that the size of the apparatus was increased.
また、簡便な構成としてシリンダロッドの戻し力にバネを利用することも考えられるが、荷重やストロークを考慮すると、設計的に困難である場合が多い。また、アキュムレータなどを利用した油圧制御も考えられるが、アキュムレータは、高圧ガス保安法の適用を受けるため、面倒が多くなる。 Further, it is conceivable to use a spring as the return force of the cylinder rod as a simple configuration, but it is often difficult to design in consideration of the load and stroke. In addition, hydraulic control using an accumulator or the like is conceivable, but the accumulator is troublesome because it is subject to the high-pressure gas safety law.
本発明の目的は、上記問題点に鑑み、簡便でコンパクトな構成でありながら、アクチュエータシリンダに負荷がない場合でも、高精度なロッド位置制御が可能なシリンダ駆動装置を提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a cylinder driving device capable of highly accurate rod position control even when there is no load on an actuator cylinder, while having a simple and compact configuration.
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明に係るシリンダ駆動装置は、アクチュエータシリンダと、該アクチュエータシリンダのピストンヘッド側シリンダ室あるいはロッド側シリンダ室の一方に対する作動油の供給及び排出を行う油圧供給装置と、前記シリンダ室の他方に対する空気の供給及び排出を行う空気圧供給装置と、これら油圧供給装置と空気圧供給装置の駆動制御を行う制御装置と、を備えているものである。 In order to achieve the above object, a cylinder driving device according to a first aspect of the present invention supplies and discharges hydraulic fluid to and from an actuator cylinder and one of a piston head side cylinder chamber or a rod side cylinder chamber of the actuator cylinder. A hydraulic pressure supply device, a pneumatic pressure supply device that supplies and discharges air to the other of the cylinder chambers, and a control device that controls driving of the hydraulic pressure supply device and the pneumatic pressure supply device are provided.
また、請求項2に記載の発明に係るシリンダ駆動装置は、請求項1に記載のシリンダ駆動装置において、前記油圧供給装置は、リザーバタンクと、前記一方のシリンダ室に対する前記タンク内の作動油の供給及び排出を制御する双方向回転形油圧ポンプと、該油圧ポンプを駆動するサーボモータとを有し、前記空気圧供給装置は、前記油圧供給装置による前記一方のシリンダ室からの作動油の排出時に前記他方のシリンダ室に空気を供給し、且つ前記油圧供給装置による前記一方のシリンダ室に対する作動油の供給時に前記他方のシリンダ室から排出される空気を収容するエアタンクと、前記エアタンク内の圧力を予め定められた上限圧力以下に調整する圧力調整弁と、前記エアタンクに空気を加圧供給するエアポンプとを有しているものである。 A cylinder driving device according to a second aspect of the present invention is the cylinder driving device according to the first aspect, wherein the hydraulic pressure supply device includes a reservoir tank and hydraulic oil in the tank with respect to the one cylinder chamber. A bi-directional rotary hydraulic pump that controls supply and discharge; and a servo motor that drives the hydraulic pump; and the pneumatic supply device is configured to discharge hydraulic fluid from the one cylinder chamber by the hydraulic supply device. An air tank for supplying air to the other cylinder chamber and containing air discharged from the other cylinder chamber when hydraulic oil is supplied to the one cylinder chamber by the hydraulic pressure supply device; and a pressure in the air tank. It has a pressure adjustment valve that adjusts below a predetermined upper limit pressure, and an air pump that pressurizes and supplies air to the air tank. That.
さらに、請求項3に記載の発明に係るシリンダ駆動装置は、請求項2に記載のシリンダ駆動装置において、前記シリンダのロッド位置を検出する位置センサと、前記シリンダ室の一方に作用する油圧の圧力を検出する圧力センサと、前記シリンダ室の他方に作用する空気圧の圧力を検出する圧力センサとを備え、前記制御装置は、これら各センサからの検出信号に基づいて、前記サーボモータの回転数制御と前記エアポンプの駆動制御とを行うものである。 Further, a cylinder driving device according to a third aspect of the present invention is the cylinder driving device according to the second aspect, wherein a position sensor that detects a rod position of the cylinder and a hydraulic pressure acting on one of the cylinder chambers. And a pressure sensor for detecting the pressure of the air pressure acting on the other of the cylinder chambers, and the control device controls the rotation speed of the servo motor based on detection signals from these sensors. And drive control of the air pump.
本発明は、面倒なアキュムレータを利用することなく、油圧供給装置と空気圧供給装置とを備えた簡便な構成によって、それぞれアクチュエータシリンダのピストンヘッド側とロッド側の一方のシリンダ室に作動油を、他方のシリンダ室には空気をそれぞれ互いに同期させて給排することができるため、アクチュエータシリンダに負荷がない場合においても、一方のシリンダ室内の作動油に対して定常的に空気圧による負荷圧力を作用させることができるため、油圧制御によるシリンダロッドの位置制御を従来は困難であった高精度で行うことができるという効果がある。 According to the present invention, hydraulic oil is supplied to one cylinder chamber on the piston head side and one on the rod side of the actuator cylinder and the other by a simple configuration including a hydraulic pressure supply device and a pneumatic pressure supply device without using a cumbersome accumulator. Since air can be supplied to and discharged from the cylinder chamber in synchronism with each other, even when there is no load on the actuator cylinder, the load oil pressure is constantly applied to the hydraulic oil in one cylinder chamber. Therefore, there is an effect that the position control of the cylinder rod by the hydraulic control can be performed with high accuracy which has been difficult conventionally.
本発明によるシリンダ駆動装置は、アクチュエータシリンダのピストンヘッド側シリンダ室あるいはロッド側シリンダ室の一方に対する作動油の供給及び排出を行う油圧供給装置と、前記シリンダ室の他方に対する空気の供給及び排出を行う空気圧供給装置を備え、制御装置によってこれら油圧供給装置と空気圧供給装置の駆動制御を行うものであるため、アクチュエータシリンダの一方のシリンダ室に前記油圧供給装置によって作動油が給排されるのに同期して、他方のシリンダ室には空気圧供給装置から空気が給排されるように制御することによって、アクチュエータシリンダに負荷がない場合においても、一方のシリンダ室内の作動油に対して他方のシリンダ室内の空気圧によって定常的に負荷圧力を作用させることができる。 A cylinder driving device according to the present invention supplies a hydraulic fluid supply and discharge to one of a piston head side cylinder chamber and a rod side cylinder chamber of an actuator cylinder, and supplies and discharges air to the other cylinder chamber. Since the air pressure supply device is provided and the control device controls the drive of the oil pressure supply device and the air pressure supply device, the hydraulic oil is supplied to and discharged from one cylinder chamber of the actuator cylinder. By controlling the other cylinder chamber so that air is supplied and discharged from the air pressure supply device, even when there is no load on the actuator cylinder, the other cylinder chamber The load pressure can be constantly applied by the air pressure.
従って、本発明によれば、面倒なアキュムレータなどを用いることなく簡便でコンパクトな構成でありながらも、アクチュエータに負荷がなくても、油圧を0MPaまで落とすことなく従来は困難であった数μm単位の高精度な位置制御が可能となる。 Therefore, according to the present invention, although it is a simple and compact configuration without using a cumbersome accumulator or the like, even if there is no load on the actuator, the hydraulic pressure is not reduced to 0 MPa, and it has been difficult in the past by several μm Highly accurate position control is possible.
本発明における前記油圧供給装置としては、リザーバタンクと、前記一方のシリンダ室に対する前記タンク内の作動油の供給及び排出を制御する双方向回転形油圧ポンプと、該油圧ポンプを駆動するサーボモータとを備えた構成がシンプルでユニット化も容易であり好ましい。この場合、サーボモータによって回転駆動される双方向回転形油圧ポンプを定容量形にすれば、該油圧ポンプの回転数で作動油の吐出流量が決定されるため、制御装置によるサーボモータの回転数制御でポンプ回転数を低速から高速の幅広い範囲に亘って制御することによりポンプ吐出流量を効率的に制御することができる。 The hydraulic pressure supply device according to the present invention includes a reservoir tank, a bidirectional rotary hydraulic pump that controls supply and discharge of hydraulic oil in the tank to the one cylinder chamber, and a servo motor that drives the hydraulic pump; This is preferable because it is simple and can be easily unitized. In this case, if the bidirectional rotary hydraulic pump that is rotationally driven by the servo motor is a constant capacity type, the discharge flow rate of the hydraulic oil is determined by the rotational speed of the hydraulic pump. By controlling the pump rotation speed over a wide range from low speed to high speed, the pump discharge flow rate can be controlled efficiently.
一方、本発明における空気圧供給装置としては、油圧供給装置による一方のシリンダ室からの作動油の排出時に他方のシリンダ室に空気を供給し、且つ油圧供給装置による一方のシリンダ室に対する作動油の供給時に他方のシリンダ室から排出される空気を収容するエアタンクと、エアタンクに空気を加圧供給するエアポンプとを備えた構成とすれば、シンプルで簡便でありながらも、油圧供給装置による作動油の給排に同期して、他方のシリンダ室に対する空気の給排を行うことができる。なお、過剰な加圧によるタンクの破裂損傷等を防いで安全を確保するため、エアタンク内の圧力を予め定められた上限圧力以下に調整するための圧力調整弁を備えておく。 On the other hand, as a pneumatic supply device in the present invention, when hydraulic oil is discharged from one cylinder chamber by the hydraulic supply device, air is supplied to the other cylinder chamber, and hydraulic oil is supplied to one cylinder chamber by the hydraulic supply device. If it is configured to include an air tank that contains air that is sometimes discharged from the other cylinder chamber and an air pump that pressurizes and supplies the air to the air tank, it is simple and simple, but the supply of hydraulic oil by a hydraulic supply device is possible. In synchronization with the exhaust, air can be supplied to and discharged from the other cylinder chamber. In order to prevent rupture damage of the tank due to excessive pressurization and to ensure safety, a pressure adjusting valve for adjusting the pressure in the air tank to a predetermined upper limit pressure or less is provided.
また、シリンダのロッド位置を検出する位置センサと、前記シリンダ室の一方に作用する油圧の圧力を検出する圧力センサと、前記シリンダ室の他方に作用する空気圧の圧力を検出する圧力センサを備えておけば、制御装置は、これらセンサからの各検出信号に基づいて、予め入力された制御指令を調整してサーボモータの回転数制御を行うことにより、高精度なポンプ回転数制御を電気的なフィードバック制御で効率的に行うことができる。 A position sensor for detecting a cylinder rod position; a pressure sensor for detecting a hydraulic pressure acting on one of the cylinder chambers; and a pressure sensor for detecting a pneumatic pressure acting on the other of the cylinder chambers. If this is the case, the control device electrically controls the rotational speed of the servo motor by adjusting the control command inputted in advance based on the detection signals from these sensors, thereby electrically controlling the rotational speed of the pump with high accuracy. It can be performed efficiently by feedback control.
なお、このようなポンプ回転数制御による吐出流量制御は、ポンプ押しのけ容量を一定にした状態で行うが、斜板式ピストンポンプの場合、予め角度が一定に固定された固定斜板を備えた定容量形ポンプを用いれば簡便であるが、斜板角度が可変な可変容量形ポンプの角度を一定にした状態で用いても良い。この場合、油圧供給装置を、回転数制御による油圧駆動系での使用に限定されることなく、回転数制御によらない他の油圧駆動系にも広く使用可能である。 The discharge flow rate control by the pump rotation speed control is performed in a state where the displacement of the pump is constant, but in the case of a swash plate type piston pump, a fixed capacity provided with a fixed swash plate whose angle is fixed in advance. Although it is convenient to use a type pump, it may be used in a state where the angle of a variable displacement pump with a variable swash plate angle is constant. In this case, the hydraulic pressure supply device is not limited to use in the hydraulic drive system based on the rotational speed control, and can be widely used in other hydraulic drive systems not based on the rotational speed control.
本発明の一実施例として、サーボモータにより駆動する双方向回転定容量形油圧ポンプを用いた油圧供給装置と、コンプレッサにより空気が加圧供給されるエアタンクを利用した空気供給装置とを備えたシリンダ駆動装置を図1の空気−油圧回路に示す。 As one embodiment of the present invention, a cylinder including a hydraulic pressure supply device using a bi-directional rotating constant displacement hydraulic pump driven by a servo motor and an air supply device using an air tank in which air is pressurized and supplied by a compressor The drive is shown in the air-hydraulic circuit of FIG.
本実施例によるシリンダ駆動装置は、主に、アクチュエータシリンダ1と、アクチュエータシリンダ1のピストンヘッド側シリンダ室S1に対して作動油を給排する油圧供給装置20と、ロッド側シリンダ室S2に空気を給排する空気圧供給装置10と、これらの装置を駆動制御する制御装置30とから構成されるものである。
The cylinder driving device according to the present embodiment mainly supplies air to the
本実施例における油圧供給装置20は、リザーバタンク22と、該タンク22内の作動油をポンプポートPに対して給排する双方向回転定容量形油圧ポンプ21と、この油圧ポンプ21を回転駆動するサーボモータMとを同一ユニット内にコンパクトに組み立てたものである。またこれらリザーバタンク22と油圧ポンプ21からポンプポートPまでの作動油流路には、通常の油圧リリーフ弁23と作動油の圧力を検出する圧力センサ24が配置されている。この油圧供給装置20のポンプポートPは、アクチュエータシリンダ1のピストンヘッド側シリンダ室S1に連通する第1シリンダポートHPに接続される。
The hydraulic
さらに、この油圧供給装置20の同一ユニット内に配置した電磁式のシャットオフ弁25とフィルタ26とを介してリザーバタンク22へ直接的に連通するタンクポートTを更に備えており、このシャットオフ弁25を制御装置30からの指令によりタンク22側とタンクポートT側との間の流路を遮断状態と連通状態とに切り換えることができる。
Furthermore, a tank port T that directly communicates with the
また、本実施例における空気圧供給装置10は、アクチュエータシリンダ1のロッド側シリンダ室S2の出入り口ポートRに連通されたエアタンク11と、このエアタンク11に空気を加圧供給するコンプレッサからなるエアポンプAとを備えたものである。なおエアタンク11は、圧力調整弁としての空気圧リリーフ弁12によってエアタンク11内の圧力を予め定められた上限圧力を越えることのないように調整される。これにより、エアタンク11は過剰な加圧による破損、破裂等の危険が回避されるものである。
The air
以上の構成を備えた本実施例によるシリンダ駆動装置におけるアクチュエータシリンダ1の負荷の移動のためのロッド3の前後進駆動は、以下の通り行われる。即ち、駆動対象である負荷に対して所望の移動量に応じて予め入力された制御指令に基づいて、制御装置30は、ドライバー31を介して必要な回転数指令をサーボモータMへ出力し、サーボモータMはそれに応じて油圧ポンプ21を正方向に回転駆動させる。油圧ポンプ21は一方の出入り口ポートからリザーバタンク22内の作動油を吸い上げ、他方の出入り口ポートから吐出する。油圧ポンプ21から吐出される作動油はポンプポートPから第1シリンダポートHPを経てアクチュエータシリンダ1へ導入され、ピストンヘッド側シリンダ室S1内へ供給されていき、ピストン2を押し出し、ロッド3を前進させる。このとき、ロッド側シリンダ室S2内の空気はエアタンク11へ押し出される。
The forward / reverse drive of the rod 3 for moving the load of the
一方、制御装置30からドライバー31を介した指令によりサーボモータMが油圧ポンプ21を逆方向に回転駆動させると、油圧ポンプ21は他方の出入り口ポートから作動油を吸引して作動油をリザーバタンク22へ吐出する。これにより、ピストンヘッド側シリンダ室S2内から作動油が排出され、第1シリンダポートHPからポンプポートPを経て油圧ポンプ21へ戻され、これに伴ってピストン2が引き戻されてロッド3は後退する。このとき、ロッド側シリンダ室S2内にはエアタンク11から空気が引き込まれる。
本実施例においては、位置センサ32によりピストン2の位置を検出し、制御装置30は、この位置センサ32からの検出信号と油圧ポンプ21から吐出される作動油の圧力を検出する圧力センサ24からの検出信号に基づいて、予め入力された制御指令を調整する構成とすることによって高精度なフィードバック制御を行うものである。
On the other hand, when the servo motor M rotates the
In the present embodiment, the
なお、本実施例においては、アクチュエータシリンダ1のピストンヘッド側シリンダ室S1に、油圧供給装置20のタンクポートTに接続するための第2シリンダポートHTを設け、シャットオフ弁25の切換によって、ピストンヘッド側シリンダ室S1内の作動油を直接リザーバタンク22へ戻すことができる構成とした。これによって、作動油を直接的に速い戻し速度でタンクに排出してロッドを高速で移動させることができる。また、この作動油の戻りをシャットオフ弁25による第2シリンダポートHTよタンクポートTを経た流路のみを用いて行えば、ポンプ側の作動は必要ないため、装置駆動においてさらなる省エネを図ることができる。
In the present embodiment, the second cylinder port HT for connecting to the tank port T of the hydraulic
上記の如く、本シリンダ駆動装置においては、主に油圧供給装置20によるピストンヘッド側シリンダ室S1に対して作動油の給排を行う油圧制御によってピストン2およびロッド3の位置制御を行うものであるが、これに同期してロッド側シリンダ室S2に対して空気圧供給装置10による空気の給排が行われるため、アクチュエータシリンダ1に負荷が無い状態でも、作動油が給排されるピストンヘッド側シリンダ室S1に対して常にロッド側シリンダ室S2側からの空気圧が作用するため、例えばロッド3の初期設定を行う場合のなど位置決めの誤差補正も、油圧を0MPaまで落とすことなく高精度に位置制御することが可能である。
As described above, in the present cylinder drive device, the position control of the
1,50:アクチュエータシリンダ
2,52:ピストン
3,51:ロッド
S1:ピストンヘッド側シリンダ室
S2:ロッド側シリンダ室
HP:第1シリンダポート
HT:第2シリンダポート
10:空気圧供給装置
11:エアタンク
12:空気圧リリーフ弁
13:空気圧力センサ
A:エアポンプ
20,41:油圧供給装置
M:サーボモータ
21,42:双方向回転定容量形油圧ポンプ
22,43:リザーバタンク
23:油圧リリーフ弁
24,45:圧力センサ
25:シャットオフ弁
26:フィルタ
P:ポンプポート
T:タンクポート
30,60:制御装置
31:ドライバー
32:位置センサ
1, 50:
Claims (3)
該アクチュエータシリンダのピストンヘッド側シリンダ室あるいはロッド側シリンダ室の一方に対する作動油の供給及び排出を行う油圧供給装置と、
前記シリンダ室の他方に対する空気の供給及び排出を行う空気圧供給装置と、
これら油圧供給装置と空気圧供給装置の駆動制御を行う制御装置と、を備えていることを特徴とするシリンダ駆動装置。 An actuator cylinder;
A hydraulic pressure supply device for supplying and discharging hydraulic oil to / from one of the piston head side cylinder chamber and the rod side cylinder chamber of the actuator cylinder;
A pneumatic supply device for supplying and discharging air to the other of the cylinder chambers;
A cylinder driving device comprising: a hydraulic pressure supply device; and a control device that performs drive control of the pneumatic pressure supply device.
前記空気圧供給装置は、前記油圧供給装置による前記一方のシリンダ室からの作動油の排出時に前記他方のシリンダ室に空気を供給し、且つ前記油圧供給装置による前記一方のシリンダ室に対する作動油の供給時に前記他方のシリンダ室から排出される空気を収容するエアタンクと、前記エアタンク内の圧力を予め定められた上限圧力以下に調整する圧力調整弁と、前記エアタンクに空気を加圧供給するエアポンプとを有していることを特徴とする請求項1に記載のシリンダ駆動装置。 The hydraulic supply device has a reservoir tank, a bidirectional rotary hydraulic pump that controls supply and discharge of hydraulic oil in the tank to the one cylinder chamber, and a servo motor that drives the hydraulic pump,
The air pressure supply device supplies air to the other cylinder chamber when the hydraulic oil is discharged from the one cylinder chamber by the hydraulic pressure supply device, and supplies hydraulic oil to the one cylinder chamber by the hydraulic pressure supply device. An air tank that contains air that is sometimes discharged from the other cylinder chamber, a pressure adjusting valve that adjusts the pressure in the air tank to a predetermined upper limit pressure or less, and an air pump that pressurizes and supplies air to the air tank The cylinder drive device according to claim 1, wherein the cylinder drive device is provided.
前記制御装置は、これら各センサからの検出信号に基づいて、前記サーボモータの回転数制御と前記エアポンプの駆動制御とを行うことを特徴とする請求項2に記載のシリンダ駆動装置。 A position sensor that detects a rod position of the cylinder, a pressure sensor that detects a hydraulic pressure acting on one of the cylinder chambers, and a pressure sensor that detects a pneumatic pressure acting on the other of the cylinder chambers,
3. The cylinder drive device according to claim 2, wherein the control device performs rotation speed control of the servo motor and drive control of the air pump based on detection signals from these sensors.
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