JP4852573B2 - Flow cell - Google Patents

Flow cell Download PDF

Info

Publication number
JP4852573B2
JP4852573B2 JP2008159545A JP2008159545A JP4852573B2 JP 4852573 B2 JP4852573 B2 JP 4852573B2 JP 2008159545 A JP2008159545 A JP 2008159545A JP 2008159545 A JP2008159545 A JP 2008159545A JP 4852573 B2 JP4852573 B2 JP 4852573B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
pump
sample liquid
flow path
flow cell
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2008159545A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2010002229A (en
Inventor
達 三浦
勉 堀内
弦 岩崎
倫子 瀬山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP2008159545A priority Critical patent/JP4852573B2/en
Publication of JP2010002229A publication Critical patent/JP2010002229A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4852573B2 publication Critical patent/JP4852573B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Optical Measuring Cells (AREA)

Description

本発明は、測定対象となる液体中の生体関連物質、環境汚染物質、健康影響物質等の化学物質が流通されて測定装置によって測定が行われる測定流路を備えたフローセルに関するものである。   The present invention relates to a flow cell including a measurement channel through which a chemical substance such as a biological substance, an environmental pollutant, and a health effect substance in a liquid to be measured is distributed and measured by a measurement device.

試料液体中の化学物質を測定する方法としては、例えば、分子選択性物質を予め固定化しておき、そこへ試料液体を流して、結合する分子を選択的に検出する光学的測定方法がある。この光学的測定方法の一種として、全反射光学系を用いる方法が知られており、この方法によれば、励起されるエバネッセント波をプローブ光として用い、表面近傍での結合を直接的かつ高感度に測定することができる。
このような全反射光学系の中では、全反射によって励起されたエバネッセント波が基板表面に形成された金属薄膜の表面の表面プラズモンに共鳴して吸収されるのを利用する表面プラズモン共鳴(SPR)測定法が特によく用いられている。
As a method for measuring a chemical substance in a sample liquid, for example, there is an optical measurement method in which a molecule-selective substance is immobilized in advance, and a sample liquid is allowed to flow there to selectively detect molecules to be bound. As a kind of optical measurement method, a method using a total reflection optical system is known. According to this method, excited evanescent waves are used as probe light, and coupling near the surface is directly and highly sensitive. Can be measured.
In such a total reflection optical system, surface plasmon resonance (SPR) utilizing the fact that an evanescent wave excited by total reflection resonates with and absorbs the surface plasmon on the surface of the metal thin film formed on the substrate surface. The measurement method is particularly well used.

表面プラズモン共鳴測定法により試料液体を測定するに際しては、基板上に微細な流路を形成し、その流路内に設置された金属膜上にプローブ分子を固定化した状態で、流路内に試料液体を通過させる。そして、この際のプローブ分子と試料液体中の測定対象物質の相互作用に基づいて、当該試料液体中に測定対象物質が含まれているか否かの測定が行われる(例えば特許文献1参照)。   When measuring a sample liquid by the surface plasmon resonance measurement method, a fine channel is formed on a substrate, and probe molecules are immobilized on a metal film placed in the channel, Pass the sample liquid through. Then, based on the interaction between the probe molecule and the measurement target substance in the sample liquid at this time, it is measured whether or not the measurement target substance is contained in the sample liquid (see, for example, Patent Document 1).

このような測定においては、上記のように基板上に流路を形成するとともに同じ基板の上に他の構成部品を設ける必要があるため作成が容易でない。また、例えば外部からの圧力で試料液体を移送する場合、流路を構成する基板以外にポンプや配管等の部品が別途必要となる。この結果、その配管等の移送経路のために試料液体の無駄が発生することになるので、試料液体の微量化には限界があった。   In such a measurement, since it is necessary to form the flow path on the substrate as described above and to provide other components on the same substrate, it is not easy to create. For example, when the sample liquid is transferred by pressure from the outside, parts such as a pump and a pipe are separately required in addition to the substrate constituting the flow path. As a result, waste of the sample liquid is generated due to the transfer path such as the piping, so that there is a limit to reducing the amount of the sample liquid.

これに対応すべく、微細加工技術により2つの基板の対向する面の間に、毛細管現象により試料液体を移送する流路やポンプとなる領域を形成する手法が提案されている(例えば、非特許文献1又は2参照)。この技術により作成された測定チップ(フローセル)は、試料液体が導入される導入口と、その試料液体を吸引する毛細管ポンプとが設けられており、導入口に試料液体が導入されると、この導入口から測定流路及びポンプへと順次試料液体が流出し、毛細管ポンプに試料液体が到達すると該毛細管ポンプに生じる毛細管現象により当該試料液体が吸引される。これにより、導入口に貯留された試料液体が毛細管ポンプの吸引力によって、測定流路を流通してポンプへと流れるようになっている。
特開2002−214131号公報 Martin Zimmermann, Heinz Schmid, Patrick Hunziker and Emmanuel Delamarche, “Capillary pumps for autonomous capillary systems”, The Royal Society of Chemistry 2007, Lab Chip, 2007, 7, 119-125.First published as an Advance Article on the web 17th October 2006 Anal.Chem. 1998, 70, 4974-4984
In order to cope with this, there has been proposed a technique for forming a flow path for transferring a sample liquid or an area to be a pump by a capillary phenomenon between two opposing surfaces of two substrates by a microfabrication technique (for example, non-patent). Reference 1 or 2). A measurement chip (flow cell) created by this technique is provided with an inlet for introducing the sample liquid and a capillary pump for sucking the sample liquid. When the sample liquid is introduced into the inlet, The sample liquid sequentially flows out from the introduction port to the measurement channel and the pump, and when the sample liquid reaches the capillary pump, the sample liquid is sucked by a capillary phenomenon generated in the capillary pump. As a result, the sample liquid stored in the introduction port flows through the measurement flow path to the pump by the suction force of the capillary pump.
JP 2002-214131 A Martin Zimmermann, Heinz Schmid, Patrick Hunziker and Emmanuel Delamarche, “Capillary pumps for autonomous capillary systems”, The Royal Society of Chemistry 2007, Lab Chip, 2007, 7, 119-125.First published as an Advance Article on the web 17th October 2006 Anal.Chem. 1998, 70, 4974-4984

ところで、上記のような測定チップは、通常、一方の基板の一面に流路を刻設するとともに当該一面に他方の基板を接合することによって構成されており、試料液体は2つの基板に閉塞された空間内を流路として流通する構成とされている。
ところが、このような構成の場合、2つの基板の接合面に間隙が生じると、当該間隙の毛細管力によって試料液体が接合面における流路以外の領域に流出してしまうという問題があった。また、毛細管力は間隙の幅が小さいほど大きくなるため、基板間の密着を完全にすることができない以上、ほんの僅かな間隙が生じれば試料液体は流路外に流出してしまう。
また、上記接合面における間隙をなくすために、一方の基板を軟質材料で形成し当該基板の弾性変形を利用することで基板同士を密着させる方法も考えられるが、これでは、材料選択上の制約を受けることになり生産性の低下を招いてしまう。
By the way, the measurement chip as described above is usually formed by engraving a flow path on one surface of one substrate and joining the other substrate to the one surface, and the sample liquid is blocked by two substrates. It is set as the structure distribute | circulated as the flow path in the remaining space.
However, in the case of such a configuration, there is a problem that if a gap is generated between the bonding surfaces of the two substrates, the sample liquid flows out to a region other than the flow path on the bonding surface due to the capillary force of the gap. Further, since the capillary force increases as the gap width becomes smaller, the sample liquid flows out of the flow path if only a slight gap is generated, as long as the close contact between the substrates cannot be made complete.
In addition, in order to eliminate the gap at the bonding surface, a method of forming one substrate with a soft material and bringing the substrates into close contact with each other by using elastic deformation of the substrate can be considered. Resulting in a decrease in productivity.

この発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、試料液体が流路以外の領域に侵入するのを確実に防いて、当該試料液体が流路内を円滑に流通することが可能なフローセルを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem, and it is possible to reliably prevent the sample liquid from entering a region other than the flow path and to allow the sample liquid to smoothly flow through the flow path. An object is to provide a simple flow cell.

前記課題を解決するため、この発明は以下の手段を提案している。
即ち、本発明に係るフローセルは、第1基板と、該第1基板の上に配設される第2基板と、該第2基板に形成された試料液体が導入される導入口と、前記第1基板の上面及び前記第2基板の下面の間に形成され、前記導入口に一端側が接続されるとともに途中位置に検出部が設置された流路とを備えるフローセルにおいて、該流路は、前記第1基板の上面と前記第2基板の下面とのいずれか一方の面から他方の面側に向かって突出する突条と他方の面との間の微小間隙であって、該微小間隙の毛細管力によって該微小間隙外の領域に流出しないように前記試料液体が流通されることを特徴としている。
In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
That is, the flow cell according to the present invention includes a first substrate, a second substrate disposed on the first substrate, an inlet for introducing a sample liquid formed on the second substrate, and the first substrate. A flow cell that is formed between an upper surface of one substrate and a lower surface of the second substrate, has one end connected to the introduction port, and has a detection unit installed in the middle thereof; A microgap between a protrusion protruding from one surface of the upper surface of the first substrate and the lower surface of the second substrate toward the other surface and the other surface, and a capillary tube of the microgap The sample liquid is circulated so as not to flow out to a region outside the minute gap by force.

このような特徴のフローセルによれば、導入口に導入された試料液体は、一方の面の突条と他方の面との間の微小間隙の毛細管力によって該微小間隙が存在する箇所を流路として流通していく。
また、微小間隙とそれ以外の領域との間には急激な(階段上の)構造変化を設けることで、流路材料と液体の特性によって一義的に決定される液体の接触角も急激な変化が必要となる。その接触角の急激な変化は、液体の進行に対して抵抗として働き、液体が微小間隙から流出するのを防ぐことになり、外部へ流出することはない。
According to the flow cell having such a feature, the sample liquid introduced into the introduction port flows through the portion where the minute gap exists due to the capillary force of the minute gap between the protrusion on one surface and the other surface. Will circulate as.
In addition, by providing an abrupt (on the staircase) structural change between the minute gap and other regions, the contact angle of the liquid, which is uniquely determined by the characteristics of the channel material and the liquid, also changes abruptly. Is required. The sudden change in the contact angle acts as a resistance against the progress of the liquid, prevents the liquid from flowing out of the minute gap, and does not flow outside.

また、本発明に係るフローセルにおいては、前記第1基板の上面と前記第2基板の下面との間に形成されるとともに前記流路の他端側が接続されたポンプ部が備えられ、該ポンプ部は、前記第1基板の上面と前記第2基板の下面とのいずれか一方の面から他方の面に向かって一段隆起したポンプ形成部を備え、該ポンプ形成部と前記他方の面との間の微小間隙による毛細管力によって、前記導入口から前記流路を経て到達した前記試料液体を吸引することを特徴としている。   The flow cell according to the present invention further includes a pump unit formed between the upper surface of the first substrate and the lower surface of the second substrate and connected to the other end of the flow path. Comprises a pump forming portion raised one step from either one of the upper surface of the first substrate and the lower surface of the second substrate toward the other surface, and between the pump forming portion and the other surface The sample liquid that has reached from the introduction port through the flow path is sucked by a capillary force due to the minute gap.

このような特徴のフローセルによれば、試料液体がポンプ部に至った時には、該ポンプ部が毛細管力によって吸引することにより試料液体を流路内において円滑に流通させることができる。
また、ポンプ部による毛細管力は上記流路と同様に、ポンプ形成部と第2基板の対向する面との間の微小間隙により生じる構成とされているため、当該ポンプ部に到達した試料液体が、ポンプ部以外の領域に流出するのを防ぐことができる。
According to the flow cell having such a feature, when the sample liquid reaches the pump part, the sample liquid can be smoothly circulated in the flow path by the pump part being sucked by the capillary force.
Moreover, since the capillary force by the pump unit is generated by a minute gap between the pump forming unit and the opposing surface of the second substrate in the same manner as the above flow path, the sample liquid that reaches the pump unit is , It is possible to prevent outflow to an area other than the pump section.

さらに、本発明に係るフローセルにおいては、前記ポンプ部における微小間隙が、該ポンプ部における前記流路との接続箇所から奥行き方向に離間するに従って漸次大きくなるものであってもよい。   Furthermore, in the flow cell according to the present invention, the minute gap in the pump section may gradually increase as the distance from the connection portion with the flow path in the pump section increases in the depth direction.

これによって、より多くの試料液体を保持することが可能となり、ポンプ部の容量を増大させることができる。   This makes it possible to hold more sample liquid and increase the capacity of the pump unit.

さらにまた、本発明に係るフローセルにおいては、前記ポンプ形成部と前記他方の面とを接続する複数のピラーが設けられたものであってもよい。
ピラーによってポンプ部における表面積が増大し、これにともなって毛細管力が大きくなるため、より確実かつ円滑に流路の試料液体をポンプ部へと吸い上げることが可能となる。
Furthermore, in the flow cell according to the present invention, a plurality of pillars that connect the pump forming portion and the other surface may be provided.
Since the surface area of the pump part is increased by the pillar and the capillary force is increased accordingly, the sample liquid in the channel can be sucked into the pump part more reliably and smoothly.

本発明に係るフローセルによれば、試料液体の流路を第1基板と第2基板との間の微小間隙として形成して当該微小間隙の毛細管力により試料液体が流通する構成とすることで、試料液体が流路以外の領域に流出するのを確実に防ぎ、試料液体を流路内を円滑に流通させることが可能となる。   According to the flow cell of the present invention, the sample liquid flow path is formed as a minute gap between the first substrate and the second substrate, and the sample liquid is circulated by the capillary force of the minute gap. It is possible to reliably prevent the sample liquid from flowing out to the region other than the flow path, and to smoothly circulate the sample liquid in the flow path.

以下、本発明に係るフローセルの第1の実施形態について、図1から図6を用いて詳細に説明する。図1は第1の実施形態のフローセルの斜視図、図2は第1の実施形態のフローセルの内部構造を説明する平面図、図3は第1の実施形態のフローセルの分解斜視図、図4は図2のA−A断面図、図5は図4のC−C断面図、図6は図2のB−B断面図である。   Hereinafter, a first embodiment of a flow cell according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 6. 1 is a perspective view of the flow cell of the first embodiment, FIG. 2 is a plan view illustrating the internal structure of the flow cell of the first embodiment, FIG. 3 is an exploded perspective view of the flow cell of the first embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 2, FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. 4, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.

図1に示すように、本実施形態のフローセル1は、平面視矩形状の略板状をなす下部基板(第1基板)11と、該下部基板11上にその外径寸法を同一にして配設される上部基盤(第2基板)12とが積層されることによって形成されている。   As shown in FIG. 1, the flow cell 1 of the present embodiment is arranged with a lower substrate (first substrate) 11 having a substantially plate shape having a rectangular shape in plan view, and an outer diameter of the lower substrate 11 being the same. The upper base (second substrate) 12 to be provided is formed by being laminated.

このようなフローセル1には、図2に示すように、試料液体Sが導入される導入部13と、第1基板11と第2基板12との間に2つ形成されたポンプ部14、14と、当該ポンプ部14と導入部13とを接続する流路15とが設けられている。
この流路15は、詳しくは、一端が導入部13に接続されるとともに外部装置により測定光等が照射される測定流路16と、一端が測定流路16に接続されるとともに2つに分岐した他端がそれぞれポンプ部14、14に接続された接続流路17とから構成されている。
In such a flow cell 1, as shown in FIG. 2, the introduction part 13 into which the sample liquid S is introduced, and two pump parts 14 and 14 formed between the first substrate 11 and the second substrate 12 are provided. And the flow path 15 which connects the said pump part 14 and the introducing | transducing part 13 is provided.
Specifically, the flow path 15 is connected to the introduction section 13 at one end and irradiated with measurement light or the like from an external device, and is branched into two while being connected to the measurement flow path 16 at one end. The other end is composed of a connection channel 17 connected to the pump parts 14 and 14, respectively.

第1基板11は、例えばBK7等の光学ガラスから成形され、板厚が1mm程度で一辺が16mm程度の平面視略矩形の形状をしている。また、第1基板11の上面(第1基板11における第2基板12に対向する面)11aには、金属薄膜20が設けられている。この金属薄膜20の材料としては例えばAu等が用いられ、第1基板11の上面11aに、蒸着、スパッタ、メッキ加工等が施されることによって形成されている。
なお、金属薄膜20は、上記測定流路16に対応する部分のみに形成するようにしてもよい。
The first substrate 11 is formed from optical glass such as BK7, for example, and has a substantially rectangular shape in plan view with a plate thickness of about 1 mm and a side of about 16 mm. A metal thin film 20 is provided on the upper surface 11a of the first substrate 11 (the surface of the first substrate 11 facing the second substrate 12) 11a. For example, Au or the like is used as a material of the metal thin film 20, and the upper surface 11a of the first substrate 11 is formed by performing vapor deposition, sputtering, plating, or the like.
The metal thin film 20 may be formed only in a portion corresponding to the measurement flow channel 16.

第2基板12は、0.5〜5mm程度の厚さを有するアクリル等の材料から形成され、第1基板11に対応した平面視矩形状をなしており、この第2基板12の一側寄りの略中央部には導入口12cが貫通形成されている。
図3に示すように、この第2基板12の下面(第1基板に対向する面)12aの外周縁部12bは第1基板11側に一段隆起しており、第1基板11及び第2基板12を接合した際には、この外周縁部12bが第1基板11の上面11aと密着するようになっている。なお、以下では第2基板12の下面12aと言う場合には、外周縁部12bの内側にあたる当該外周縁部12bよりも一段凹んだ平面を指すものとする。
The second substrate 12 is formed of a material such as acrylic having a thickness of about 0.5 to 5 mm, has a rectangular shape in plan view corresponding to the first substrate 11, and is closer to one side of the second substrate 12. An introduction port 12c is formed through the substantially central portion.
As shown in FIG. 3, the outer peripheral edge 12b of the lower surface 12a (surface facing the first substrate) 12a of this second substrate 12 is raised one step toward the first substrate 11, and the first substrate 11 and the second substrate When the 12 is joined, the outer peripheral edge portion 12 b comes into close contact with the upper surface 11 a of the first substrate 11. In the following description, the lower surface 12a of the second substrate 12 refers to a plane that is recessed by one step from the outer peripheral edge 12b, which is the inner side of the outer peripheral edge 12b.

また、この第2基板12の下面12aにおける導入口12cの開口縁部には、当該第2基板12の下面12aが第1基板11側に一段隆起するようして形成された環状突条21が形成されている。なお、当該環状突条21と外周縁部12bとの上記下面12aを基準とした高さを比較した場合、環状突条21の方が外周縁部12bよりも僅かに低くなっており、その差は例えば約50μmとされている。   Further, an annular ridge 21 formed so that the lower surface 12a of the second substrate 12 protrudes one step toward the first substrate 11 is formed at the opening edge of the introduction port 12c on the lower surface 12a of the second substrate 12. Is formed. When the heights of the annular ridge 21 and the outer peripheral edge portion 12b based on the lower surface 12a are compared, the annular ridge 21 is slightly lower than the outer peripheral edge portion 12b. Is about 50 μm, for example.

そして、第2基板12の下面12aには、一端が上記環状突条21に接続して上記一側とは反端側の他側に向かって延びる直線突条22と、該直線突条22の他端に一端が接続されて複数の屈曲部を有しながらクランク状に蛇行して上記他側近傍にまで延びる蛇行突条23と、該蛇行突条23の他端に接続されて蛇行突条23の両側に向かって延びる接続突条24が形成されている。
これら直線突条22、蛇行突条23及接続突条24は上記下面12aを基準として環状段部21と同一の高さまでそれぞれ等しく第1基板11側に突出している。
The lower surface 12a of the second substrate 12 has one end connected to the annular ridge 21 and extending toward the other side opposite to the one side, and the linear ridge 22 A meandering ridge 23 meandering in the form of a crank while having one end connected to the other end and having a plurality of bent portions and extending to the vicinity of the other side, and a meandering ridge connected to the other end of the meandering ridge 23 Connection ridges 24 extending toward both sides of 23 are formed.
The straight ridges 22, the meandering ridges 23, and the connecting ridges 24 protrude to the first substrate 11 side up to the same height as the annular stepped portion 21 with the lower surface 12a as a reference.

さらに、第2基板12の下面12aには、2つの接続突条24のそれぞれに接続するようにして、ポンプ形成部25が形成されている。このポンプ形成部25は、上記下面12aを基準として環状突条21と同一の高さまで一段隆起しており、直線突条22を対称軸とした左右対象に2つが配置されるとともに、上記直線突条22の延在方向を長手方向とした平面視長方形状に形成されている。また、このポンプ形成部25における上記一側には、第2基板12を略矩形状に貫通する空気孔26が形成されている。   Furthermore, a pump forming portion 25 is formed on the lower surface 12 a of the second substrate 12 so as to be connected to each of the two connection protrusions 24. The pump forming portions 25 are raised one step up to the same height as the annular ridge 21 with respect to the lower surface 12a. Two pump forming portions 25 are arranged on the left and right objects with the linear ridge 22 as the axis of symmetry. It is formed in a rectangular shape in plan view with the extending direction of the strip 22 as the longitudinal direction. In addition, an air hole 26 penetrating the second substrate 12 in a substantially rectangular shape is formed on the one side of the pump forming portion 25.

以上のようにして本実施形態の第2基板12においては、下面12aを基準として、環状突条21、直線突条22、蛇行突条23、接続突条24及びポンプ形成部25が第1基板11側に一段隆起し、外周縁部12bがさらに一段第1基板11側に隆起するように配置されている。   As described above, in the second substrate 12 of the present embodiment, the annular ridge 21, the linear ridge 22, the meandering ridge 23, the connection ridge 24, and the pump forming portion 25 are provided on the first substrate with respect to the lower surface 12a. The outer peripheral edge portion 12b is arranged so as to protrude further to the first substrate 11 side.

また、このような第2基板12は、例えば所定のパターンが形成された金型を用いた射出成形加工、レーザー加工、エンドミル等による切削加工等によって作成することができる。   Moreover, such a 2nd board | substrate 12 can be produced by the injection processing using the metal mold | die in which the predetermined pattern was formed, laser processing, cutting processing by an end mill, etc., for example.

本実施形態におけるフローセル1は、それぞれ上述した第1基板11と第2基板12とを積層することによって形成される。
具体的には、第1基板11の上面11aに第2基板12の下面12aが対向するようにして積層させるとともに、第1基板11を上面側から押圧する。この際、第2基板12の外周縁部12bの表面に粘着剤、接着剤又は両面シール等を介在させておくことにより、第1基板11の上面11aと第2基板12の外周縁部12bとが接合されて、第1基板11と第2基板12とが固定一体化される。
The flow cell 1 in the present embodiment is formed by stacking the first substrate 11 and the second substrate 12 described above.
Specifically, the first substrate 11 is stacked from the upper surface 11a so that the lower surface 12a of the second substrate 12 faces the upper surface 11a, and the first substrate 11 is pressed from the upper surface side. At this time, an adhesive, an adhesive, a double-sided seal, or the like is interposed on the surface of the outer peripheral edge portion 12b of the second substrate 12, so that the upper surface 11a of the first substrate 11 and the outer peripheral edge portion 12b of the second substrate 12 are Are joined, and the first substrate 11 and the second substrate 12 are fixedly integrated.

この際、第2基板12においては、環状突条21、直線突条22、蛇行突条23、接続突条24及びポンプ形成部25が外周縁部12bよりも僅かに凹んでいることから、当該環状段部21、直線突条22、蛇行突条23、接続突条24及びポンプ形成部25と第1基板11の上面11aとの間には微小間隙が形成される。この微小間隙の距離は、当該環状段部21、直線突条22、蛇行突条23、接続突条24及びポンプ形成部25との外周縁部12bとの高さ差によって決定され、本実施形態においては約50μmとされる。
本実施形態のフローセル1においては、このようにして形成された微小間隙が、それぞれ図2に示す導入部13、測定流路16、接続流路17及びポンプ部14とされて、試料液体Sを流通させるフローセル1が構成されている。
At this time, in the second substrate 12, the annular ridge 21, the linear ridge 22, the meandering ridge 23, the connection ridge 24, and the pump forming portion 25 are slightly recessed from the outer peripheral edge portion 12b. A minute gap is formed between the annular step portion 21, the straight ridge 22, the meandering ridge 23, the connection ridge 24, the pump forming portion 25, and the upper surface 11 a of the first substrate 11. The distance of the minute gap is determined by the height difference between the annular step portion 21, the straight ridge 22, the meandering ridge 23, the connection ridge 24, and the outer peripheral edge portion 12b of the pump forming portion 25. Is about 50 μm.
In the flow cell 1 of the present embodiment, the minute gaps formed in this way are used as the introduction part 13, the measurement flow path 16, the connection flow path 17 and the pump part 14 shown in FIG. A flow cell 1 to be distributed is configured.

なお、微小間隙を形成する構成としては、上記の他、例えば第2基板の外周縁部12bの高さを環状突条21、直線突条22等と略同一に形成するとともに外周縁部12bの表面に両面シール等を介在させて第1基板11と第2基板12とを接合し、この両面シールの厚みを利用して環状段部21、直線突条22等と第1基板11の上面11aとの間に微小間隙を形成したものであってもよい。この場合、両面シール等の厚みを適宜変更することによって微小間隙の距離を容易に調整することが可能となる。   In addition to the above, as a configuration for forming the minute gap, for example, the height of the outer peripheral edge portion 12b of the second substrate is formed to be substantially the same as that of the annular protrusion 21, the linear protrusion 22, and the like. The first substrate 11 and the second substrate 12 are joined with a double-sided seal or the like on the surface, and the annular step portion 21, the straight protrusion 22, etc. and the upper surface 11 a of the first substrate 11 are utilized by utilizing the thickness of this double-sided seal. A minute gap may be formed between the two. In this case, the distance of the minute gap can be easily adjusted by appropriately changing the thickness of the double-sided seal or the like.

次に本実施の形態に係るフローセル1の動作について説明する。
導入口12cに試料液体Sが注入されると、当該試料液体Sは、第2基板12の環状突条21と第1基板11の上面11aとの微小間隙、即ち導入部13に毛細管現象により入り込む。すると、試料液体Sは同じく微小間隙である測定流路16、接続流路17の順に毛細管現象により進んでいく(図4参照)。
Next, the operation of the flow cell 1 according to the present embodiment will be described.
When the sample liquid S is injected into the introduction port 12c, the sample liquid S enters the minute gap between the annular protrusion 21 of the second substrate 12 and the upper surface 11a of the first substrate 11, that is, the introduction portion 13 by capillary action. . Then, the sample liquid S progresses by the capillary action in the order of the measurement channel 16 and the connection channel 17 that are also minute gaps (see FIG. 4).

この際、試料液体Sは、微小間隙の存在領域である測定流路16、接続流路17のみを流通しそれ以外の部分に流出することはない。即ち、例えば図5に示すように、微小間隙を形成する直線突条16と該直線突条16から一段凹んだ第2基板12の下面12aとの間には急激な構造変化があるため、試料液体Sが微小間隙外に流出しようとすると当該試料液体Sと第2基板12との接触角が大きく変化する。この場合、その接触角の急激な変化は、液体の進行に対して抵抗として作用するため、当該試料液体Sは微小間隙内に留められ当該微小間隙外の領域に流出することはない。従って、試料液体Sは微小間隙の形成領域である測定流路16、接続流路17のみを確実かつ円滑に流通していく。   At this time, the sample liquid S flows only through the measurement flow path 16 and the connection flow path 17 which are the regions where the micro gaps exist, and does not flow out to other portions. That is, for example, as shown in FIG. 5, there is an abrupt structural change between the straight ridge 16 that forms a minute gap and the lower surface 12a of the second substrate 12 that is recessed by one step from the straight ridge 16. When the liquid S tries to flow out of the minute gap, the contact angle between the sample liquid S and the second substrate 12 changes greatly. In this case, since the rapid change in the contact angle acts as a resistance against the progress of the liquid, the sample liquid S is retained in the minute gap and does not flow out to a region outside the minute gap. Therefore, the sample liquid S flows reliably and smoothly only in the measurement flow path 16 and the connection flow path 17 which are the formation regions of the minute gaps.

このようにして各流路15を経た試料液体Sはポンプ部14、14に流入する。このポンプ部14も微小間隙により形成されているので毛細管現象が発現し、当該ポンプ部14に至った試料液体Sがその内部を進行していく(図6参照)。また、上記と同じ作用により試料液体Sがポンプ部14の形成領域外に流出することなく内部に留められる。
そして、試料液体Sが空気孔26に到達すると、当該試料液体Sと第2基板12のポンプ形成部25との接触角が大きく変化し、これが液体の進行に対して抵抗として作用するため、試料液体Sの進行が停止される。これにより、ポンプ部14による試料液体Sの吸入動作は終了する。
In this way, the sample liquid S that has passed through each flow path 15 flows into the pump units 14 and 14. Since the pump unit 14 is also formed by a minute gap, a capillary phenomenon appears, and the sample liquid S that reaches the pump unit 14 advances through the inside (see FIG. 6). Further, the sample liquid S is retained inside without flowing out of the formation region of the pump portion 14 by the same action as described above.
When the sample liquid S reaches the air hole 26, the contact angle between the sample liquid S and the pump forming portion 25 of the second substrate 12 changes greatly, and this acts as a resistance against the progress of the liquid. The progress of the liquid S is stopped. Thereby, the suction operation of the sample liquid S by the pump unit 14 ends.

このようにして試料液体Sが流通されるフローセル1においては、試料液体Sが導入口12cに注入されてポンプ部14、14まで吸入される過程における測定流路16にて、表面プラズモン共鳴現象を利用した試料液体Sの測定が行われる。
表面プラズモン共鳴現象を利用した測定は、測定対象の検体が接触した金属(本実施形態においては金属薄膜20)の表面における、エバネッセント波と表面プラズモン波との共鳴を用いるものである。
In the flow cell 1 in which the sample liquid S is circulated in this way, the surface plasmon resonance phenomenon is caused in the measurement channel 16 in the process in which the sample liquid S is injected into the inlet 12c and sucked up to the pump units 14 and 14. Measurement of the sample liquid S used is performed.
The measurement using the surface plasmon resonance phenomenon uses the resonance of the evanescent wave and the surface plasmon wave on the surface of the metal (in this embodiment, the metal thin film 20) in contact with the specimen to be measured.

この測定では、図11及び図12に示すように、光源101から出射された光を入射側レンズ102で集光してプリズム103に入射させ、プリズム103の上面部104に密着させているフローセル1の測定部として機能する金属薄膜20に照射する。この金属薄膜の表面に検体である試料液体Sが接触して配置され、集光されるとともにフローセル1の第1基板11を透過してきた光が金属薄膜20の裏面に照射される。
このようにして照射された光は、第1基板11と金属薄膜20との界面で反射し、いわゆるCCDイメージセンサ等の撮像素子よりなる光検出部106で光強度が測定され、上記共鳴が起こる角度で反射率が低くなる谷が観測される。
In this measurement, as shown in FIGS. 11 and 12, the flow cell 1 in which the light emitted from the light source 101 is collected by the incident side lens 102 and is incident on the prism 103 and is in close contact with the upper surface portion 104 of the prism 103. The metal thin film 20 that functions as a measurement unit is irradiated. The sample liquid S, which is a specimen, is arranged in contact with the surface of the metal thin film, and is condensed and irradiated with light transmitted through the first substrate 11 of the flow cell 1 on the back surface of the metal thin film 20.
The light irradiated in this manner is reflected at the interface between the first substrate 11 and the metal thin film 20, and the light intensity is measured by the light detection unit 106 made of an imaging element such as a so-called CCD image sensor, and the resonance occurs. A valley where the reflectance decreases with angle is observed.

このような測定では、金属薄膜20の表面(検出部側)に固定された抗体やDNA断片に、選択的に結合する検体の有無を検出するものであるが、検出部に試料液体を配置した状態では、対象となる検体と抗体とが反応したことによる変化と、検出部に異物が沈降して堆積した状態による変化との区別はない。これに対し、金属薄膜20上に試料液体が流れているようにすることで異物の沈降が抑制されるようになり、上述した反応による変化を選択的に検出して、測定を確実に行うことができるようになっている。   In such a measurement, the presence or absence of a sample that selectively binds to an antibody or DNA fragment fixed on the surface (detection unit side) of the metal thin film 20 is detected. A sample liquid is arranged in the detection unit. In the state, there is no distinction between a change due to the reaction between the target sample and the antibody and a change due to a state in which foreign matter has settled and accumulated on the detection unit. On the other hand, by allowing the sample liquid to flow on the metal thin film 20, the sedimentation of the foreign matter is suppressed, and the change due to the above-described reaction is selectively detected to reliably perform the measurement. Can be done.

以上のようにして、本実施形態のフローセル1においては、第1基板11と第2基板12との間の微小間隙を流路15及びポンプ部14として、これら微小間隙の毛細管力により試料液体Sの流通及び吸引を行うことにより、試料液体Sが流路15及びポンプ部14以外の領域に流出することを確実に防止することが可能となる。   As described above, in the flow cell 1 of the present embodiment, the sample liquid S is formed by the capillary force of these minute gaps using the minute gap between the first substrate 11 and the second substrate 12 as the flow path 15 and the pump unit 14. Thus, it is possible to reliably prevent the sample liquid S from flowing out to the region other than the flow path 15 and the pump unit 14.

また、例えば、一方の基板の一面に流路を刻設するとともに当該一面に他方の基板を接合することによってフローセルを形成した場合、接合面に間隙が生じると当該間隙の毛細管力によって試料液体Sが接合面における流路以外の領域に侵入してしまう。従って、このような場合、両基板の密着を精密に行う必要があるため、生産工程が技術的に複雑になる他、密着が可能な材料を選定する必要があり、生産コストが増加してしまう。
ところが、本実施形態のフローセル1においては、間隙を意図的に形成して流路15として利用するため、両基板11、12の接触面の密着性が確実でなく当該接触面に多少の間隙が生じたとしても、流路15及びポンプ部14に影響を与えることはない。従って、製造を容易として生産コストを低下させることが可能となる。
Also, for example, when a flow cell is formed by engraving a flow path on one surface of one substrate and bonding the other substrate to the one surface, if a gap occurs on the bonding surface, the sample liquid S is generated by the capillary force of the gap. Will invade areas other than the flow path on the joint surface. Therefore, in such a case, since it is necessary to perform close contact between both substrates, the production process becomes technically complicated, and it is necessary to select a material capable of close contact, which increases production costs. .
However, in the flow cell 1 of the present embodiment, since the gap is intentionally formed and used as the flow path 15, the adhesion between the contact surfaces of both the substrates 11 and 12 is not reliable, and there are some gaps on the contact surfaces. Even if it occurs, the flow path 15 and the pump unit 14 are not affected. Therefore, it is possible to facilitate production and reduce production costs.

なお、このような第1の実施形態における変形例として、第2基板12におけるポンプ形成部25が、例えば図7に示すように、ポンプ部14における流路15との接続部から空気孔26に向かうにしたがって、第1基板11から離間する方向に傾斜しているものであってもよい。
これによって、ポンプ部14の奥に行くほど微小間隙が大きくなることから、より多くの試料液体Sのポンプ部14内に留めることが可能となり、ポンプ部14の容量を増大させることが可能となる。
As a modification of the first embodiment, the pump forming part 25 in the second substrate 12 is connected to the air hole 26 from the connection part with the flow path 15 in the pump part 14 as shown in FIG. It may be inclined in a direction away from the first substrate 11 as it goes.
As a result, since the minute gap becomes larger toward the back of the pump unit 14, more sample liquid S can be retained in the pump unit 14, and the capacity of the pump unit 14 can be increased. .

次に本発明の第2の実施形態に係るフローセル30について、図8及び図9を用いて説明する。図8は第2の実施形態のフローセルの内部構造を示す平面図、図9は図8におけるD−D断面図である。図8及び図9においては、第1の実施形態のフローセル1と同じ構成部材には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。   Next, a flow cell 30 according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is a plan view showing the internal structure of the flow cell according to the second embodiment, and FIG. 9 is a sectional view taken along the line DD in FIG. In FIG.8 and FIG.9, the same code | symbol is attached | subjected to the same structural member as the flow cell 1 of 1st Embodiment, and detailed description is abbreviate | omitted.

本実施形態のフローセル30は、ポンプ部31の構成について第1の実施形態のポンプ部14とは相違しており、ポンプ部31は、図8及び図9に示すように第1基板11と第2基板12とを接続する複数のピラー32が設けられている。
即ち、本実施形態においては、第2基板12のポンプ形成部25と第1基板11の上面11aとをフローセル30の厚さ方向に連結する略円柱状のピラー32が等間隔で複数配設されている。これによって、当該ピラー32がない場合に比べてポンプ部31の単位体積あたりの表面積が大きくなる。したがって、ピラー32間を通過する試料液体Sにはより大きな毛細管力が作用することになり、より円滑かつ確実に試料液体Sを吸引することが可能となる。
The flow cell 30 of the present embodiment is different from the pump unit 14 of the first embodiment with respect to the configuration of the pump unit 31, and the pump unit 31 includes the first substrate 11 and the first substrate 11 as shown in FIGS. A plurality of pillars 32 that connect the two substrates 12 are provided.
That is, in the present embodiment, a plurality of substantially cylindrical pillars 32 that connect the pump forming portion 25 of the second substrate 12 and the upper surface 11a of the first substrate 11 in the thickness direction of the flow cell 30 are arranged at equal intervals. ing. As a result, the surface area per unit volume of the pump unit 31 is increased as compared with the case where the pillar 32 is not provided. Therefore, a larger capillary force acts on the sample liquid S passing between the pillars 32, and the sample liquid S can be sucked more smoothly and reliably.

また、この第2の実施形態のフローセル30の変形例として、第1の実施形態と同様、例えば図10に示すように、ポンプ形成部25が、ポンプ部31における流路15との接続部から空気孔26に向かうにしたがって、第1基板11から離間する方向に傾斜しているものであってもよい。これによって、ポンプ部31の試料液体Sの容量を増大させることができる。
なお、ピラー32の形状は円柱状に限定されることはなく、多角形状のものやその他の形状のものであってもよい。
さらにまた、このピラー32の代わりに、もしくはピラー32とともに、第1基板11と第2基板12とを接続する複数の突条を設け、該突条によってポンプ部31内に複数の細い流路が集積して形成された構造をなすものであってもよい。
Further, as a modification of the flow cell 30 of the second embodiment, as in the first embodiment, for example, as shown in FIG. 10, the pump forming unit 25 is connected to the flow path 15 in the pump unit 31. It may be inclined in a direction away from the first substrate 11 toward the air hole 26. Thereby, the capacity of the sample liquid S of the pump unit 31 can be increased.
The shape of the pillar 32 is not limited to a cylindrical shape, and may be a polygonal shape or other shapes.
Furthermore, instead of the pillar 32 or together with the pillar 32, a plurality of protrusions for connecting the first substrate 11 and the second substrate 12 are provided, and a plurality of thin flow paths are formed in the pump portion 31 by the protrusions. An integrated structure may be formed.

以上、本発明の実施形態に係るフローセル1、30について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものでなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲の設計変更も含まれる。
例えば、本実施形態においては2つのポンプ部14、31が形成されたものを示したが、これに限定されることはなく、単一又は3つ以上のポンプ部14、31を備えたものであってもよい。また、流路15についても、本実施形態の態様に限定されず、設計に応じて適宜形状を変更することも可能である。
即ち、本実施形態に係るフローセル1、30は、2つの基板11、12間に意図的に形成した微小間隙を流路15として用いることが本質であり、このような技術的内容が具現化されている以上、いかなる実施態様をも包含する。
As mentioned above, although the flow cells 1 and 30 which concern on embodiment of this invention were explained in full detail with reference to drawings, a concrete structure is not restricted to this embodiment, The design change of the range which does not deviate from the meaning of this invention Is also included.
For example, in the present embodiment, two pump parts 14 and 31 are formed. However, the present invention is not limited to this, and a single or three or more pump parts 14 and 31 are provided. There may be. Further, the flow path 15 is not limited to the aspect of the present embodiment, and the shape can be appropriately changed according to the design.
That is, in the flow cells 1 and 30 according to the present embodiment, it is essential to use a minute gap formed intentionally between the two substrates 11 and 12 as the flow path 15, and such technical contents are embodied. Thus, any embodiment is encompassed.

また、実施形態においては、特に表面プラズモン共鳴減少を利用した測定について説明したが、これに限定されず、他の光学的測定方法であっても試料液体Sをハンドリングするものであればいかなる用途へも応用することが可能である。   In the embodiment, the measurement using the surface plasmon resonance reduction has been described. However, the present invention is not limited to this, and any other optical measurement method can be used as long as it can handle the sample liquid S. Can also be applied.

第1の実施形態のフローセルの斜視図The perspective view of the flow cell of a 1st embodiment 第1の実施形態のフローセルの内部構造を説明する平面図The top view explaining the internal structure of the flow cell of 1st Embodiment 第1の実施形態のフローセルの分解斜視図The disassembled perspective view of the flow cell of 1st Embodiment 図2のA−A断面図である。It is AA sectional drawing of FIG. 図4のC−C断面図である。It is CC sectional drawing of FIG. 図2のB−B断面図である。It is BB sectional drawing of FIG. 第1の実施形態の変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of 1st Embodiment. 第2の実施形態の内部構造を説明する平面図である。It is a top view explaining the internal structure of 2nd Embodiment. 図8のD−D断面図である。It is DD sectional drawing of FIG. 第2の実施形態の変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of 2nd Embodiment. SPR測定装置の構成例を示す構成図である。It is a block diagram which shows the structural example of an SPR measuring apparatus. 図11におけるフローセルの拡大図である。It is an enlarged view of the flow cell in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 フローセル
11 第1基板
12 第2基板
12c 導入口
15 流路
16 測定流路
17 接続流路
14 ポンプ部
22 直線突条(突条)
23 蛇行突条(突条)
24 接続突条(突条)
25 ポンプ形成部
20 金属薄膜(検出部)
30 フローセル
31 ポンプ部
32 ピラー
33 ポンプ形成部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flow cell 11 1st board | substrate 12 2nd board | substrate 12c Inlet 15 Flow path 16 Measurement flow path 17 Connection flow path 14 Pump part 22 Straight protrusion (protrusion)
23 Meandering ridges (ridges)
24 Connecting ridges (ridges)
25 Pump formation part 20 Metal thin film (detection part)
30 Flow cell 31 Pump part 32 Pillar 33 Pump formation part

Claims (4)

第1基板と、
該第1基板の上に配設される第2基板と、
該第2基板に形成された試料液体が導入される導入口と、
前記第1基板の上面及び前記第2基板の下面の間に形成され、前記導入口に一端側が接続されるとともに途中位置に検出部が設置された流路とを備えるフローセルにおいて、
該流路は、前記第1基板の上面と前記第2基板の下面とのいずれか一方の面から他方の面側に向かって突出する突条と他方の面との間の微小間隙であって、該微小間隙の毛細管力によって該微小間隙外の領域に流出しないように前記試料液体が流通されることを特徴とするフローセル。
A first substrate;
A second substrate disposed on the first substrate;
An inlet for introducing a sample liquid formed on the second substrate;
In a flow cell comprising a flow path formed between an upper surface of the first substrate and a lower surface of the second substrate, one end side of which is connected to the introduction port, and a detection unit disposed in the middle position,
The flow path is a minute gap between a ridge protruding from one surface of the upper surface of the first substrate and the lower surface of the second substrate toward the other surface and the other surface. The flow cell is characterized in that the sample liquid is circulated so as not to flow out to a region outside the minute gap due to the capillary force of the minute gap .
前記第1基板の上面と前記第2基板の下面との間に形成されるとともに前記流路の他端側が接続されたポンプ部が備えられ、
該ポンプ部は、前記第1基板の上面と前記第2基板の下面とのいずれか一方の面から他方の面に向かって一段隆起したポンプ形成部を備え、
該ポンプ形成部と前記他方の面との間の微小間隙による毛細管力によって、前記導入口から前記流路を経て到達した前記試料液体を吸引することを特徴とする請求項1に記載のフローセル。
A pump unit formed between the upper surface of the first substrate and the lower surface of the second substrate and connected to the other end of the flow path;
The pump portion includes a pump forming portion that is raised by one step from one surface of the upper surface of the first substrate and the lower surface of the second substrate toward the other surface,
2. The flow cell according to claim 1, wherein the sample liquid that has reached through the flow path from the introduction port is sucked by a capillary force caused by a minute gap between the pump forming portion and the other surface.
前記ポンプ部における微小間隙が、該ポンプ部における前記流路との接続箇所から離間する方向に向かうに従って漸次大きくなることを特徴とする請求項2に記載のフローセル。   The flow cell according to claim 2, wherein the minute gap in the pump part gradually increases in a direction away from a connection point with the flow path in the pump part. 前記ポンプ形成部と前記他方の面とを接続する複数のピラーが設けられたことを特徴とする請求項2又は3に記載のフローセル。   The flow cell according to claim 2 or 3, wherein a plurality of pillars for connecting the pump forming part and the other surface are provided.
JP2008159545A 2008-06-18 2008-06-18 Flow cell Expired - Fee Related JP4852573B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008159545A JP4852573B2 (en) 2008-06-18 2008-06-18 Flow cell

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008159545A JP4852573B2 (en) 2008-06-18 2008-06-18 Flow cell

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010002229A JP2010002229A (en) 2010-01-07
JP4852573B2 true JP4852573B2 (en) 2012-01-11

Family

ID=41584083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008159545A Expired - Fee Related JP4852573B2 (en) 2008-06-18 2008-06-18 Flow cell

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4852573B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5483616B2 (en) * 2011-06-15 2014-05-07 日本電信電話株式会社 Flow cell and flow cell feeding method

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001066947A1 (en) * 2000-03-06 2001-09-13 Hitachi, Ltd. Liquid feeding device and analyzing device using the device
JP3768486B2 (en) * 2003-03-20 2006-04-19 株式会社エンプラス Micro fluid handling equipment
DE10313201A1 (en) * 2003-03-21 2004-10-07 Steag Microparts Gmbh Microstructured separator and microfluidic process for separating liquid components from a liquid containing particles
DE10326607A1 (en) * 2003-06-13 2005-01-05 Steag Microparts Gmbh Microstructure, for minimal- and non-invasive diagnostics, analysis and therapy, has base plate whose surface is sub-divided into zones with different capillary characteristics
JP4775039B2 (en) * 2006-03-03 2011-09-21 パナソニック株式会社 Microfluidic chip
JP4579867B2 (en) * 2006-06-06 2010-11-10 日本電信電話株式会社 Chemical substance detection chip

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010002229A (en) 2010-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2230504B1 (en) Capillary pump unit and flow cell
US20210041416A1 (en) Rapid vapor condensate collection and analysis
US6698454B2 (en) Valve integrally associated with microfluidic liquid transport assembly
US8475734B2 (en) Filtering apparatus for filtering a fluid
EP2226623B1 (en) Flow cell
JP4549985B2 (en) Microfluidic device having SPR detection capability
JP4407271B2 (en) Chip, reaction analyzer, reaction analysis method
WO2009060357A1 (en) Biosensor cartridge
JP4852573B2 (en) Flow cell
US20130017967A1 (en) Nanofluidic biosensor and its use for rapid measurement of biomolecular interactions in solution and methods
EP2226622B1 (en) Flow cell
JP5177915B2 (en) Flow cell
WO2005121750A1 (en) Flow cell and fluorescent correlated spectrometric device using the same
JP4861353B2 (en) Flow cell
US20150343437A1 (en) Duct device
KR20200077125A (en) Hybrid sensor
Arce et al. Silicon nanophotonic ring resonator sensors integrated in reaction tubes
WO2014118068A1 (en) Biosensing device
KR20170116867A (en) Device for detecting target substance

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20100526

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110203

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110215

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110411

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111011

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111024

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4852573

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees