JP4842547B2 - Gas detector - Google Patents
Gas detector Download PDFInfo
- Publication number
- JP4842547B2 JP4842547B2 JP2005058835A JP2005058835A JP4842547B2 JP 4842547 B2 JP4842547 B2 JP 4842547B2 JP 2005058835 A JP2005058835 A JP 2005058835A JP 2005058835 A JP2005058835 A JP 2005058835A JP 4842547 B2 JP4842547 B2 JP 4842547B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- gas
- instruction
- smoothing
- gas detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
本発明は、例えばガス検知部からのガス検知信号に対して平滑化処理を行う信号処理回路を有するガス検知装置に関するものである。 The present invention relates to a gas detection device having a signal processing circuit that performs a smoothing process on a gas detection signal from a gas detection unit, for example.
例えばガス検知装置におけるガス検知部からのガス検知信号は、検知対象ガスの濃度に応じたガス応答信号に、例えばガス検知部の周囲温度の変化、周囲気圧の変化、センサ素子の劣化、外乱光、飛来電磁波、電源ノイズなどに起因するガス検知部に固有のノイズが含まれた状態である。
ガス検知部からのガス検知信号をノイズが含まれたままの状態で出力した場合には、数値表示のバラツキ、ＬＥＤ接点や制御信号のチャタリングなどが発生しやすくなる結果、例えば濃度表示が読みづらい、出力部の誤作動、出力部の破損や劣化、外部機器の破損や劣化などの悪影響が発生する。また、出力信号の相対的な変化が、検知対象ガスの存在によって生じたガス応答によるものか、ノイズの影響によって生じたものかを明確に判別することが困難である。
しかしながら、ガス検知信号に含まれるノイズは、機構的に、あるいは電気的に取り除くことが困難であることから、安定した指示出力を得ることを目的として、ガス検知信号に対する平滑化処理が行われている。
For example, the gas detection signal from the gas detection unit in the gas detection device is a gas response signal corresponding to the concentration of the detection target gas, for example, a change in ambient temperature of the gas detection unit, a change in ambient atmospheric pressure, deterioration of the sensor element, disturbance light This is a state in which noise unique to the gas detection unit due to incoming electromagnetic waves, power supply noise, and the like is included.
If the gas detection signal from the gas detection unit is output with noise included, variations in the numerical display, LED contact, control signal chattering, etc. are likely to occur. For example, the concentration display is difficult to read. Otherwise, adverse effects such as malfunction of the output unit, breakage or deterioration of the output unit, breakage or degradation of external devices may occur. In addition, it is difficult to clearly determine whether the relative change in the output signal is caused by a gas response caused by the presence of the detection target gas or caused by the influence of noise.
However, since the noise contained in the gas detection signal is difficult to remove mechanically or electrically, a smoothing process is performed on the gas detection signal for the purpose of obtaining a stable instruction output. Yes.
ガス検知信号に対する平滑化処理方法としては、例えばガス検知信号を所定の時間分バッファリングしておき、その平均値を算出する移動平均処理による方法（例えば特許文献１参照。）などがある。
而して、移動平均値を算出することによる平滑化処理を実施する場合には、十分に安定した指示出力を得るためには、バッファリング時間を長く設定して多くのデータを用いることが必要であると共に多くのメモリ領域が必要となり、平滑化処理に長時間を要する。逆に、処理速度の低下の程度を小さくするために、バッファリング時間を短く設定して少ないデータ数で平滑化処理を実施した場合には、バッファリング時間を超えた周期で変動するノイズの影響は排除することはできず、十分に安定した指示出力を得ることができなくなる。
以上のように、従来における平滑化処理方法においては、出力部に対する指示の十分な安定性を得るためには処理速度が低下することとなり、速い処理速度を得るためには、指示の安定性が低下する、という問題がある。
Thus, when performing smoothing processing by calculating a moving average value, it is necessary to set a long buffering time and use a large amount of data in order to obtain a sufficiently stable instruction output. In addition, a large amount of memory area is required, and the smoothing process takes a long time. Conversely, if the buffering time is set short and smoothing is performed with a small number of data in order to reduce the degree of decrease in processing speed, the effect of noise that fluctuates in cycles exceeding the buffering time. Cannot be eliminated, and a sufficiently stable instruction output cannot be obtained.
As described above, in the conventional smoothing processing method, the processing speed is reduced in order to obtain sufficient stability of the instruction to the output unit, and in order to obtain a high processing speed, the stability of the instruction is reduced. There is a problem of lowering.
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、少ないデータ数で、十分に安定した指示出力が得られると共に速い処理速度が得られるガス検知装置を提供することにある。 The present invention has been made based on the above situation, and it is an object of the present invention to provide a gas detection device that can obtain a sufficiently stable instruction output and a high processing speed with a small number of data.
本発明のガス検知装置は、ノイズを含むガス検知部からのガス検知信号を所定時間間隔毎にサンプリングすることにより得られる入力値に対して平滑化処理を行うことにより指示出力値を取得する信号処理回路を有するガス検知装置において、
予め取得しておいたガス検知部に固有のノイズ範囲の大きさを基準として複数の数値範囲が設定されていると共に、これらの数値範囲に対応する、各々１以下の値である複数の平滑化処理係数が設定されており、
信号処理回路は、検知対象ガスが被検ガス中に含まれていない場合における指示出力基準値Ｌ０と、基準とするガス濃度の検知対象ガスをガス検知部に導入した場合における指示出力基準値Ｌ１との差をフルスケール値Ｆ．Ｓとするとき、先行するサンプリング対象時（ｎ）における指示出力値Ｒ（ｎ）を参照値として設定し、その直後のサンプリング対象時（ｎ＋１）における入力値Ｓ（ｎ＋１）と当該参照値Ｒ（ｎ）との差〔Ｓ（ｎ＋１）−Ｒ（ｎ）〕の、フルスケール値Ｆ．Ｓに対する割合である指示変動割合Ｘの大きさが属する数値範囲に対応する平滑化処理係数を選定し、当該入力値Ｓ（ｎ＋１）と当該参照値Ｒ（ｎ）との差の大きさと、当該選定された平滑化処理係数との積を、当該参照値Ｒ（ｎ）に加算することにより平滑化処理を行い、指示出力値Ｒ（ｎ＋１）を算出する機能を有し、
前記参照値Ｒ（ｎ）は、先行するサンプリング対象時（ｎ）における入力値Ｓ（ｎ）に対して同様の平滑化処理が行われて得られたものであって、メモリ領域に順次に更新されて格納されており、
平滑化処理係数は、前記指示変動割合の大きさが大きくなるに従って大きな値となるよう、前記指示変動割合の大きさに応じて設定されていることを特徴とする。
The gas detection device of the present invention acquires a command output value by performing a smoothing process on an input value obtained by sampling a gas detection signal from a gas detection unit including noise at predetermined time intervals. In a gas detection device having a processing circuit,
A plurality of numerical ranges are set with reference to the size of the noise range specific to the gas detection unit acquired in advance, and a plurality of smoothings each corresponding to these numerical ranges are values of 1 or less. Processing coefficient is set,
The signal processing circuit includes an instruction output reference value L0 when the detection target gas is not included in the test gas, and an instruction output reference value L1 when the detection target gas having a reference gas concentration is introduced into the gas detection unit. The full scale value F. When S, the instruction output value R (n) at the preceding sampling target time (n) is set as a reference value, and the input value S (n + 1) at the sampling target time (n + 1) immediately after that and the reference value R ( n) of the difference [S (n + 1) −R (n)] from the full scale value F.N. A smoothing coefficient corresponding to a numerical range to which the magnitude of the instruction variation ratio X , which is a ratio to S, belongs, and the magnitude of the difference between the input value S (n + 1) and the reference value R (n), A function of performing a smoothing process by adding a product of the selected smoothing process coefficient to the reference value R (n) and calculating an instruction output value R (n + 1);
The reference value R (n) is obtained by performing the same smoothing process on the input value S (n) at the preceding sampling target time (n), and is sequentially updated in the memory area. Has been stored,
The smoothing processing coefficient is set according to the magnitude of the instruction fluctuation ratio so that the smoothing coefficient becomes a larger value as the magnitude of the instruction fluctuation ratio increases.
本発明のガス検知装置においては、前記指示変動割合の大きさが、ガス検知部に固有のノイズ範囲の大きさを逸脱した数値範囲に属する場合には、係数が１に設定されて入力値がそのまま指示出力値として出力されることが好ましい。 In the gas detection device of the present invention, when the magnitude of the instruction fluctuation ratio belongs to a numerical value range that deviates from the noise range specific to the gas detection unit, the coefficient is set to 1 and the input value is It is preferable to output it as an instruction output value as it is.
本発明のガス検知装置によれば、先行するサンプリング対象時（ｎ）における入力値Ｓ（ｎ）に対して平滑化処理がなされて得られた指示出力値Ｒ（ｎ）を参照値として設定し、参照値Ｒ（ｎ）とその直後のサンプリング対象時（ｎ＋１）における入力値Ｓ（ｎ＋１）との差の大きさに基づいて適正な大きさの平滑化処理係数を選定し、入力値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差の大きさがガス検知部に固有のノイズ範囲内にある場合に、入力値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差を選定された平滑化処理係数によって小さく抑制して指示出力値Ｒ（ｎ＋１）を取得する平滑化処理が行われることにより、得られる指示出力値を所定範囲内で安定させることができるので、十分に安定性の高い指示出力値を得ることができる。
しかも、指示出力値を参照値と１つの入力値とによって取得することができるので、所要の平滑化処理を極めて短時間で行うことができる結果、高い処理速度を得ることができると共に、平滑化処理に必要とされるメモリ領域を小さいものとすることができる。
According to the gas detection device of the present invention, the instruction output value R (n) obtained by smoothing the input value S (n) at the preceding sampling target time (n) is set as the reference value. , A smoothing coefficient having an appropriate magnitude is selected based on the difference between the reference value R (n) and the input value S (n + 1) at the sampling target (n + 1) immediately after the reference value R (n). The difference between the input value S (n + 1) and the reference value R (n) is selected when the magnitude of the difference between the n + 1) and the reference value R (n) is within the noise range specific to the gas detection unit. By performing the smoothing process that obtains the instruction output value R (n + 1) while being suppressed to a small value by the smoothing process coefficient, the obtained instruction output value can be stabilized within a predetermined range. A high instruction output value can be obtained.
In addition, since the instruction output value can be obtained from the reference value and one input value, the required smoothing process can be performed in an extremely short time, resulting in a high processing speed and smoothing. The memory area required for processing can be reduced.
また、参照値と入力値との差の大きさがノイズ範囲から外れる場合には、入力値が指示出力値として出力されることにより、検知対象ガスの存在によるガス応答信号に対して不要な演算処理を行うことがないので、高い応答速度を得ることができる。 When the difference between the reference value and the input value is out of the noise range, the input value is output as the indicated output value, which makes unnecessary calculation for the gas response signal due to the presence of the detection target gas. Since no processing is performed, a high response speed can be obtained.
さらに、複数の数値範囲およびこれに対応する平滑化処理係数が設定されていることにより、入力値と参照値との差の大きさがノイズ範囲内にある場合であっても、参照値に対する入力値の経時的変化が検知対象ガスの存在によって生じたガス応答信号によるものである可能性の程度に応じた平滑化処理を行うことができるので、十分に高い指示出力の安定性および十分に高い応答性の両方を確保することができる。 In addition, since multiple numerical ranges and corresponding smoothing coefficients are set, even if the magnitude of the difference between the input value and the reference value is within the noise range, input to the reference value is possible. Since the smoothing process can be performed according to the degree of possibility that the change in value over time is due to the gas response signal generated by the presence of the detection target gas, the stability of the instruction output is sufficiently high and sufficiently high Both responsiveness can be ensured.
図１は、本発明に係る赤外線式ガス検知装置の一例における構成の概略を示す説明図である。
この赤外線式ガス検知装置は、導入される被検ガスに含まれる検知対象ガスの濃度に応じたガス検知信号を出力するガス検知部１０と、赤外線式ガス検知装置における各構成部に適宜の動作指令信号を発すると共にガス検知部１０からのガス検知信号に対して信号処理を行う制御部２０とを備えている。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing an outline of a configuration in an example of an infrared gas detection device according to the present invention.
This infrared type gas detection device operates as appropriate for each gas detector 10 that outputs a gas detection signal corresponding to the concentration of the detection target gas contained in the introduced gas and each component in the infrared type gas detection device. And a control unit 20 that issues a command signal and performs signal processing on the gas detection signal from the gas detection unit 10.
ガス検知部１０は、被検ガスが導入される例えば筒状のガスセル１１と、このガスセル１１の一端側（図１において左端側）に設けられた赤外線光源１２と、ガスセル１１の他端側（図１において右端側）に赤外線光源１２と対向するよう設けられた例えば焦電型赤外線センサ（以下、単に「赤外線センサ」という。）１３とを有してなる。
ガスセル１１には、複数のガス流入出口１１Ａが互いに赤外線光源１２の光軸方向（図１において左右方向）に離間して並ぶよう形成されている。
The gas detection unit 10 includes, for example, a cylindrical gas cell 11 into which a test gas is introduced, an infrared light source 12 provided on one end side (left end side in FIG. 1) of the gas cell 11, and the other end side of the gas cell 11 ( For example, a pyroelectric infrared sensor (hereinafter simply referred to as “infrared sensor”) 13 provided to face the infrared light source 12 on the right end side in FIG.
In the gas cell 11, a plurality of gas inflow / outlet ports 11 </ b> A are formed so as to be spaced apart from each other in the optical axis direction of the infrared light source 12 (left and right direction in FIG. 1).
赤外線光源１２は、制御部２０における光源駆動回路２１によって、輝度が一定の周期で正弦波状に変化するように変調する状態で点滅駆動される。 The infrared light source 12 is driven to blink by the light source driving circuit 21 in the control unit 20 in a state where the luminance is modulated so as to change in a sine wave shape at a constant cycle.
制御部２０は、赤外線センサ１３からの例えばアナログ信号からなるガス検知信号を増幅させる増幅回路２２と、この増幅回路２２を介して入力されるガス検知信号をデジタル信号（Ａ／Ｄ値）に変換するＡ／Ｄ変換手段２３と、このＡ／Ｄ変換手段２３によって得られたデジタル信号に対して特定の信号処理を施して、例えば表示用の指示出力値を算出する信号処理回路を有するマイコン２４とを有する。２５は、マイコン２４からのアナログ信号を光源駆動回路２１に対する動作指令信号としてのデジタル信号に変換するＤ／Ａ変換手段である。 The control unit 20 amplifies a gas detection signal composed of, for example, an analog signal from the infrared sensor 13, and converts the gas detection signal input via the amplification circuit 22 into a digital signal (A / D value). A microcomputer 24 having a signal processing circuit for performing specific signal processing on the digital signal obtained by the A / D conversion unit 23 and calculating a display instruction output value, for example. And have. Reference numeral 25 denotes D / A conversion means for converting an analog signal from the microcomputer 24 into a digital signal as an operation command signal for the light source drive circuit 21.
この赤外線式ガス検知装置においては、次のようにして検知対象ガスの監視動作が行われる。
すなわち、赤外線光源１２を所定の周期、例えば０．５ｓｅｃで点滅駆動させると、ガスセル１１に導入されている被検ガス中の検知対象ガスの濃度に応じた波高値を有する、直流信号に交番信号が重畳されたガス検知信号が赤外線センサ１３から出力される。ここに、ガス検知信号は、赤外線光源１２の点滅周期例えば０．５ｓｅｃ間隔で増減する特性を有し、焦電型赤外線センサ１３の特性上、検知対象ガスによるガス応答信号値Ｓとノイズの影響による信号値Ｎとの割合（Ｓ／Ｎ比）が例えばＳ：Ｎ＝１０：１程度のガス検知部１０に固有のノイズを含むものである。
赤外線センサ１３からのガス検知信号は、増幅回路２２により増幅された後、Ａ／Ｄ変換手段２３によりデジタル信号に変換されてマイコン２４における信号処理回路に入力される。
In this infrared type gas detector, the detection target gas is monitored as follows.
That is, when the infrared light source 12 is driven to blink at a predetermined cycle, for example, 0.5 sec, an alternating signal is converted into a DC signal having a peak value corresponding to the concentration of the detection target gas in the detection gas introduced into the gas cell 11. Is output from the infrared sensor 13. Here, the gas detection signal has a characteristic of increasing / decreasing at a blinking period of the infrared light source 12, for example, at intervals of 0.5 sec. The ratio (S / N ratio) to the signal value N by means that the noise included in the gas detector 10 is about S: N = 10: 1, for example.
The gas detection signal from the infrared sensor 13 is amplified by the amplification circuit 22, converted into a digital signal by the A / D conversion means 23, and input to the signal processing circuit in the microcomputer 24.
信号処理回路においては、例えば１ｓｅｃ間分のデジタル信号から面積値を求める処理が所定時間間隔例えば１ｓｅｃ毎に行われ、得られた面積値に対して順次に平滑化処理が行われる。
このガス検知装置における平滑化処理は、先行するサンプリング対象時（ｎ）における面積値Ｓ（ｎ）に対して平滑化処理がなされて得られた指示出力値Ｒ（ｎ）を参照値として設定し、その直後のサンプリング対象時（ｎ＋１）における面積値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差〔Ｓ（ｎ＋１）−Ｒ（ｎ）〕の大きさが、ガス検知部１０に固有のノイズ範囲内にある場合に、当該差〔Ｓ（ｎ＋１）−Ｒ（ｎ）〕を１以下の値である平滑化処理係数によって小さく抑制することにより当該サンプリング対象時（ｎ＋１）における指示出力値Ｒ（ｎ＋１）を取得するものである。
In the signal processing circuit, for example, processing for obtaining an area value from a digital signal for 1 sec is performed at predetermined time intervals, for example, every 1 sec, and smoothing processing is sequentially performed on the obtained area value.
In the smoothing process in this gas detection device, the instruction output value R (n) obtained by performing the smoothing process on the area value S (n) at the preceding sampling target time (n) is set as a reference value. The size of the difference [S (n + 1) −R (n)] between the area value S (n + 1) and the reference value R (n) at the sampling target (n + 1) immediately after that is specific to the gas detection unit 10. When it is within the noise range, the difference [S (n + 1) −R (n)] is suppressed to a small value by a smoothing processing coefficient that is a value of 1 or less, thereby indicating the instruction output value R at the sampling target (n + 1). (N + 1) is acquired.
平滑化処理について具体的に説明すると、先ず、ガス検知部１０に固有のノイズ特性および検知対象ガスについてのフルスケール値を予め取得しておく。図２に示すように、検知対象ガスが被検ガス中に含まれていない場合（以下、「ゼロ応答時」という。）には、指示出力値は一定の値Ｌ０となり、また、検知対象ガスが被検ガス中に含まれている場合（以下、「ガス応答時」という。）においても同様に、指示出力値は検知対象ガスの濃度に応じた一定の値となるところ、実際には、指示出力値は変動しており、この変動幅の大きさに基づいてガス検知部１０に固有のノイズ範囲Ｎが設定される。
そして、フルスケール値Ｆ．Ｓは、ゼロ応答時における指示出力基準値Ｌ０と、基準とするガス濃度の検知対象ガスをガス検知部に導入した状態（ガス応答時）における指示出力基準値Ｌ１との差によって設定される。
The smoothing process will be specifically described. First, a noise characteristic specific to the gas detection unit 10 and a full scale value for the detection target gas are acquired in advance. As shown in FIG. 2, when the detection target gas is not included in the detection target gas (hereinafter referred to as “at zero response”), the instruction output value becomes a constant value L0, and the detection target gas Is also included in the gas to be detected (hereinafter referred to as “at the time of gas response”), the instruction output value is a constant value corresponding to the concentration of the detection target gas. The instruction output value fluctuates, and a noise range N specific to the gas detection unit 10 is set based on the magnitude of the fluctuation range.
The full scale value F.I. S is set by the difference between the command output reference value L0 at the time of zero response and the command output reference value L1 when the detection target gas having the reference gas concentration is introduced into the gas detection unit (at the time of gas response).
そして、図３に示すように、フルスケール値Ｆ．Ｓおよび参照値Ｒ（ｎ）が平滑化処理回路に入力されると共に、サンプリング対象時（ｎ＋１）における面積値Ｓ（ｎ＋１）が入力値として平滑化処理回路に入力されると、入力値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差〔Ｓ（ｎ＋１）−Ｒ（ｎ）〕の、フルスケール値Ｆ．Ｓに対する割合（以下、「指示変動割合」という。）Ｘが算出され、この指示変動割合Ｘの大きさについての判定処理が行われる。 Then, as shown in FIG. When S and the reference value R (n) are input to the smoothing processing circuit and the area value S (n + 1) at the sampling target (n + 1) is input to the smoothing processing circuit as an input value, the input value S ( n + 1) and the reference value R (n) [S (n + 1) −R (n)], the full scale value F.D. A ratio (hereinafter referred to as “instruction fluctuation ratio”) X with respect to S is calculated, and a determination process for the magnitude of the instruction fluctuation ratio X is performed.
すなわち、このガス検知装置においては、予め、ガス検知部１０に固有のノイズ範囲Ｎのフルスケール値Ｆ．Ｓに対する割合（以下、「ノイズ割合」という。）の大きさを基準として、複数の数値範囲が設定されていると共にこれらの数値範囲に対応する平滑化処理係数が設定されており、算出された指示変動割合Ｘが属する数値範囲に対応する平滑化処理係数が選定される、換言すれば、指示変動割合Ｘの大きさに基づいて適正な大きさの平滑化処理係数が選定される。
一例を示すと、ガス検知部１０におけるノイズ割合が１．０％程度であるとき、数値範囲としては、（１）指示変動割合Ｘが０．０１％未満である場合、（２）指示変動割合Ｘが０．０１％以上、０．５未満である場合、（３）指示変動割合Ｘが０．５％以上、１未満である場合、（４）指示変動割合Ｘが１％以上、３％未満である場合、（５）指示変動割合Ｘが３％以上である場合の５つの数値範囲（判定基準）が設定されると共に、これらの数値範囲に対応する平滑化処理係数の値として、（１）の場合には、平滑化処理係数Ａとして０．００１、（２）の場合には、平滑化処理係数Ａとして下記式１で表されるα、（３）の場合には、平滑化処理係数Ａとして２×α、（４）の場合には、平滑化処理係数Ａとして３×α、（５）の場合には、平滑化処理係数Ａとして１が、設定されている。
That is, in this gas detection device, the full scale value F.V. of the noise range N specific to the gas detection unit 10 is previously set. A plurality of numerical ranges are set on the basis of the size of the ratio to S (hereinafter referred to as “noise ratio”), and smoothing coefficients corresponding to these numerical ranges are set and calculated. A smoothing processing coefficient corresponding to the numerical range to which the instruction variation ratio X belongs is selected. In other words, a smoothing processing coefficient having an appropriate size is selected based on the magnitude of the instruction variation ratio X.
For example, when the noise ratio in the gas detection unit 10 is about 1.0%, the numerical range includes (1) when the instruction fluctuation ratio X is less than 0.01%, and (2) the instruction fluctuation ratio. When X is 0.01% or more and less than 0.5, (3) When the instruction fluctuation ratio X is 0.5% or more and less than 1, (4) The instruction fluctuation ratio X is 1% or more, 3% If it is less than (5), five numerical ranges (decision criteria) when the indication variation ratio X is 3% or more are set, and values of smoothing processing coefficients corresponding to these numerical ranges are ( In the case of 1), 0.001 as the smoothing processing coefficient A, in the case of (2), α expressed by the following formula 1 as the smoothing processing coefficient A, and in the case of (3), the smoothing The processing coefficient A is 2 × α, in the case of (4), the smoothing processing coefficient A is 3 × α, in the case of (5) 1 is set as the smoothing processing coefficient A.
平滑化処理係数Ａは、指示変動割合Ｘが大ききなるに従って、大きな値が設定されており、入力値Ｓ（ｎ＋１）の参照値Ｒ（ｎ）に対する経時的変化（以下、「指示変動」という。）がガス応答によって生じたものである可能性の程度に応じて、入力値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差（以下、「変動幅」という。）の大きさを抑制する程度、すなわち平滑化の程度が変更される。
具体的には、指示変動割合Ｘがノイズ割合内に入る場合には、指示変動がノイズの影響によって生じたものである可能性が高いと判断することができ、一方、指示変動割合Ｘがノイズ割合内に入らない場合には、指示変動がノイズの影響のみによって生じたものではなく、検知対象ガスの存在によって生じたガス応答によるものである可能性が高いと判断することができる。そして、指示変動がノイズの影響によって生じた可能性が高いものであると判断される場合には、小さい値の平滑化処理係数が選定されることによりいわば高い圧縮率で変動幅の大きさが抑制されると共に、指示変動がガス応答によって生じたものである、あるいは指示変動割合Ｘがノイズ割合内に入る場合であっても、ガス応答によって生じたものである可能性が高いと判断される場合には、大きな値の平滑化処理係数が選定されることにより、低い圧縮率で変動幅の大きさが抑制される、あるいは変動幅の大きさが抑制されないことにより、平滑化の程度が調整されることとなる。
The smoothing processing coefficient A is set to a larger value as the instruction variation ratio X increases, and the change over time of the input value S (n + 1) with respect to the reference value R (n) (hereinafter referred to as “instruction variation”). .) Is suppressed in accordance with the degree of possibility that it is caused by the gas response, the difference between the input value S (n + 1) and the reference value R (n) (hereinafter referred to as “variation width”). The degree of smoothing, that is, the degree of smoothing is changed.
Specifically, when the instruction fluctuation ratio X falls within the noise ratio, it can be determined that there is a high possibility that the instruction fluctuation is caused by the influence of noise. When the ratio does not fall within the ratio, it can be determined that there is a high possibility that the instruction fluctuation is not caused only by the influence of noise but is caused by a gas response caused by the presence of the detection target gas. When it is determined that there is a high possibility that the instruction fluctuation is caused by the influence of noise, a smoothing coefficient having a small value is selected, so that the magnitude of the fluctuation width is high at a high compression rate. In addition to being suppressed, it is determined that there is a high possibility that the instruction fluctuation is caused by the gas response, or even if the instruction fluctuation ratio X falls within the noise ratio. In some cases, by selecting a smoothing coefficient with a large value, the magnitude of the fluctuation range is suppressed at a low compression rate, or the magnitude of the fluctuation range is not suppressed, thereby adjusting the degree of smoothing. Will be.
このような判定処理が行われて平滑化処理係数Ａの値が選定されると、下記式（２）によって、サンプリング対象時（ｎ＋１）における指示出力値Ｒ（ｎ＋１）が算出される。 When such a determination process is performed and the value of the smoothing process coefficient A is selected, the instruction output value R (n + 1) at the sampling target (n + 1) is calculated by the following equation (2).
この式（２）は、サンプリング対象時（ｎ＋１）における入力値Ｓ（ｎ＋１）と、これに先行するサンプリング対象時（ｎ）における指示出力値Ｒ（ｎ）との差〔Ｓ（ｎ＋１）−Ｒ（ｎ）〕の大きさを、選定された平滑化処理係数Ａによって抑制することにより、先行するサンプリング対象時（ｎ）における指示出力値Ｒ（ｎ）に対して急激な指示変動が生ずることを抑制して、指示出力値Ｒ（ｎ＋１）を取得するものである。 This equation (2) is the difference between the input value S (n + 1) at the sampling target time (n + 1) and the instruction output value R (n) at the sampling target time (n) preceding this [S (n + 1) −R By suppressing the magnitude of (n)] by the selected smoothing processing coefficient A, it is possible to cause an abrupt instruction variation with respect to the instruction output value R (n) at the preceding sampling target (n). The instruction output value R (n + 1) is acquired with suppression.
算出された指示出力値Ｒ（ｎ＋１）は、後続のサンプリング対象時（ｎ＋２）における入力値Ｓ（ｎ＋２）に対する平滑化処理を行う際に用いられる参照値として、メモリ領域に順次に更新されて格納されると共に、表示部または外部接続機器に出力され、指示出力値Ｒ（ｎ＋１）に応じた検知対象ガスの濃度が表示される。 The calculated instruction output value R (n + 1) is sequentially updated and stored in the memory area as a reference value used when smoothing the input value S (n + 2) at the subsequent sampling target (n + 2). At the same time, it is output to the display unit or externally connected device, and the concentration of the detection target gas corresponding to the instruction output value R (n + 1) is displayed.
以上において、最初のサンプリング対象時の入力値Ｓ（１）に対する平滑化処理においては、例えばゼロ応答時における指示出力基準値Ｌ０が参照値Ｒ（０）として用いられ、入力値Ｓ（１）と指示出力基準値Ｌ０との差の大きさに基づいて適正な大きさの平滑化処理係数Ａが選定され、この平滑化処理係数Ａによって入力値Ｓ（１）と指示出力基準値Ｌ０との差の大きさが小さく抑制されることにより、指示出力値Ｒ（１）が算出される。 In the above, in the smoothing process for the input value S (1) at the first sampling target, for example, the instruction output reference value L0 at the time of zero response is used as the reference value R (0), and the input value S (1) and A smoothing coefficient A having an appropriate magnitude is selected based on the magnitude of the difference from the instruction output reference value L0, and the difference between the input value S (1) and the instruction output reference value L0 is selected by the smoothing process coefficient A. The instruction output value R (1) is calculated by suppressing the size of.
以下に、本発明に係る平滑化処理についての具体的な数値例を示す。
例えばフルスケール値Ｆ．Ｓが面積値で５００００（ゼロ応答時における指示出力基準値Ｌ０が１５００００、ガス応答時における指示出力基準値Ｌ１が１０００００）、ガス検知部１０に固有のノイズ範囲Ｎが面積値で５００程度であるガス検知装置において、先行するサンプリング対象時における指示出力値（参照値）Ｒ（ｎ）が面積値で１５００００であり、この直後のサンプリング対象時における入力値Ｓ（ｎ＋１）が面積値で１５０１００である場合には、指示変動割合Ｘが０．２であり、平滑化処理係数Ａとしてα（上記式（１）によって０．０２が算出）が選定される。そして、上記式（２）によって、指示出力値Ｒ（ｎ＋１）は、面積値で１５０００２と算出される。
この数値例においては、指示変動がノイズの影響によって生じたものである可能性が高いと判断され、変動幅の大きさが比較的に小さい値の平滑化処理係数によって抑制されることにより入力値Ｓ（ｎ＋１）に対する平滑化処理が行われる。
Below, the concrete numerical example about the smoothing process which concerns on this invention is shown.
For example, the full scale value F.I. S is an area value of 50,000 (the instruction output reference value L0 at zero response is 150,000, the instruction output reference value L1 at the time of gas response is 100,000), and the noise range N specific to the gas detection unit 10 is about 500 in area value. In the gas detector, the instruction output value (reference value) R (n) at the preceding sampling target is 150,000 in area value, and the input value S (n + 1) at the sampling target immediately after this is 150100 in area value. In this case, the instruction variation ratio X is 0.2, and α (0.02 is calculated by the above equation (1)) is selected as the smoothing processing coefficient A. The instruction output value R (n + 1) is calculated as an area value of 150002 by the above equation (2).
In this numerical example, it is judged that there is a high possibility that the instruction fluctuation is caused by the influence of noise, and the input value is obtained by suppressing the magnitude of the fluctuation range by a relatively small smoothing coefficient. A smoothing process is performed on S (n + 1).
また、例えば先行するサンプリング対象時における指示出力値（参照値）Ｒ（ｎ）が面積値で１５００００であり、この直後のサンプリング対象時における入力値Ｓ（ｎ＋１）が面積値で１４９７００である場合には、指示変動割合Ｘが０．６であり、平滑化処理係数Ａとして２×α（上記式（１）によって０．１２が算出）が選定される。そして、上記式（２）によって、指示出力値Ｒ（ｎ＋１）は、面積値で１４９９６４と算出される。
この数値例においては、入力値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差の大きさがノイズ範囲Ｎ内に含まれるものの、指示変動がノイズの影響のみによって生じたものではなく、検知対象ガスの存在によって生じたガス応答によるものである可能性があると判断され、変動幅の大きさが上記数値例の場合よりも大きい値の平滑化処理係数によって抑制されることにより入力値Ｓ（ｎ＋１）に対する平滑化処理が行われる。
Further, for example, when the instruction output value (reference value) R (n) at the preceding sampling target is 150,000 in area value, and the input value S (n + 1) at the sampling target immediately after this is 149700 in area value. The instruction variation ratio X is 0.6, and 2 × α (0.12 is calculated by the above equation (1)) is selected as the smoothing processing coefficient A. The instruction output value R (n + 1) is calculated as an area value of 149964 according to the above equation (2).
In this numerical example, although the magnitude of the difference between the input value S (n + 1) and the reference value R (n) is included in the noise range N, the indication fluctuation is not caused only by the influence of noise, but is detected. It is judged that there is a possibility that it is due to the gas response caused by the presence of the target gas, and the input value S is determined by suppressing the magnitude of the fluctuation range by a smoothing processing coefficient having a larger value than that in the above numerical example. A smoothing process is performed on (n + 1).
さらに、例えば先行するサンプリング対象時における指示出力値（参照値）Ｒ（ｎ）が面積値で１５００００であり、この直後のサンプリング対象時における入力値Ｓ（ｎ＋１）が面積値で１５２０００である場合には、指示変動割合Ｘが４であり、平滑化処理係数Ａとして１が選定される。そして、上記式（２）によって、指示出力値Ｒ（ｎ＋１）は、入力値Ｓ（ｎ＋１）すなわち面積値で１５２０００と算出される。
この数値例においては、指示変動が検知対象ガスの存在によって生じたガス応答によるものであると判断され、変動幅の大きさが抑制されることなしに入力値Ｓ（ｎ＋１）がそのまま指示出力値Ｒ（ｎ＋１）として出力される。
Further, for example, when the instruction output value (reference value) R (n) at the preceding sampling target is 150,000 in area value, and the input value S (n + 1) at the sampling target immediately after this is 152,000 in area value. Indicates that the instruction variation ratio X is 4, and 1 is selected as the smoothing processing coefficient A. Then, the instruction output value R (n + 1) is calculated as 152,000 in terms of the input value S (n + 1), that is, the area value by the above equation (2).
In this numerical example, it is determined that the instruction fluctuation is caused by a gas response caused by the presence of the detection target gas, and the input value S (n + 1) is directly used as the instruction output value without suppressing the magnitude of the fluctuation range. It is output as R (n + 1).
而して、上記構成のガス検知装置によれば、先行するサンプリング対象時（ｎ）における入力値Ｓ（ｎ）に対して平滑化処理がなされて得られた指示出力値Ｒ（ｎ）を参照値として設定し、この参照値Ｒ（ｎ）とその直後のサンプリング対象時（ｎ＋１）における入力値Ｓ（ｎ＋１）との差の大きさに基づいて適正な大きさの平滑化処理係数Ａを選定し、入力値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差の大きさがガス検知部１０に固有のノイズ範囲Ｎ内にある場合に、入力値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差を選定された平滑化処理係数Ａによって小さく抑制して指示出力値Ｒ（ｎ＋１）を取得する平滑化処理が行われることにより、得られる指示出力値は基準値に対して所定範囲内で安定したものとすることができるので、十分に安定性の高い指示出力値を得ることができる。具体的には、図４に示すように、平滑化処理が行われて得られた指示出力値のフルスケール値に対する出力割合（指示変動割合Ｘ）の経時的変化を示す出力特性曲線において、指示出力値のふらつき具合の程度（最大値と最小値の差）が０．１％程度となる状態で安定させることができる。
例えば図５に示すように、移動平均による平滑化処理を行うことにより、本発明に係る平滑化処理と同等の指示出力の安定性を得るためには、例えば１５０〜２００個のデータが必要である（図５は、２００個のデータについての移動平均による平滑化処理を行った場合のものである。）。
すなわち、移動平均による平滑化処理を１５０〜２００個のデータについて行わなければ得ることのできない指示出力の安定性を、参照値と１つの入力値とによって取得することができるので、所要の平滑化処理を極めて短時間で行うことができる結果、高い処理速度を得ることができると共に、演算処理に必要とされるメモリ領域を小さいものとすることができる。
Thus, according to the gas detection device having the above configuration, the instruction output value R (n) obtained by performing the smoothing process on the input value S (n) at the preceding sampling target time (n) is referred to. Is set as a value, and a smoothing coefficient A having an appropriate size is selected based on the difference between the reference value R (n) and the input value S (n + 1) immediately after sampling (n + 1). When the magnitude of the difference between the input value S (n + 1) and the reference value R (n) is within the noise range N specific to the gas detection unit 10, the input value S (n + 1) and the reference value R (n ) Is reduced by the selected smoothing processing coefficient A and smoothing processing is performed to obtain the command output value R (n + 1), so that the command output value obtained is within a predetermined range with respect to the reference value. Stable enough to be stable within It is possible to obtain a high instruction output value. Specifically, as shown in FIG. 4, in the output characteristic curve indicating the change over time of the output ratio (instruction fluctuation ratio X) with respect to the full scale value of the instruction output value obtained by performing the smoothing process, It can be stabilized in a state where the degree of fluctuation of the output value (difference between the maximum value and the minimum value) is about 0.1%.
For example, as shown in FIG. 5, in order to obtain the stability of the instruction output equivalent to the smoothing process according to the present invention by performing the smoothing process by moving average, for example, 150 to 200 data are necessary. (FIG. 5 shows a case where a smoothing process using moving average is performed on 200 pieces of data).
That is, the stability of the instruction output that cannot be obtained unless the smoothing process using the moving average is performed on 150 to 200 pieces of data can be obtained from the reference value and one input value. As a result of performing the processing in an extremely short time, a high processing speed can be obtained and a memory area required for the arithmetic processing can be reduced.
また、入力値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差の大きさがノイズ範囲Ｎから外れる場合には、入力値Ｓ（ｎ＋１）が指示出力値として出力されることにより、ガスの存在による応答信号に対して不要な演算処理を行うことがないので、高い応答速度を得ることができる。
さらに、複数の数値範囲およびこれに対応する平滑化処理係数が設定されていることにより、入力値Ｓ（ｎ＋１）と参照値Ｒ（ｎ）との差の大きさがノイズ範囲Ｎ内にある場合であっても、指示変動が検知対象ガスの存在によって生じたガス応答信号によるものである可能性の程度に応じた平滑化処理を行うことができるので、十分に高い指示出力の安定性および十分に高い応答性の両方を確保することができる。
When the magnitude of the difference between the input value S (n + 1) and the reference value R (n) is out of the noise range N, the input value S (n + 1) is output as the instruction output value, thereby Since no unnecessary arithmetic processing is performed on the response signal due to the presence, a high response speed can be obtained.
Further, when a plurality of numerical ranges and corresponding smoothing processing coefficients are set, the magnitude of the difference between the input value S (n + 1) and the reference value R (n) is within the noise range N. Even so, since the smoothing process can be performed according to the degree of possibility that the instruction fluctuation is due to the gas response signal generated by the presence of the detection target gas, sufficiently high stability of the instruction output and sufficient Both high responsiveness can be ensured.
本発明に係る平滑化処理方法は、例えばランダムな上下動を示すいわゆるホワイトノイズを含む信号（ランダムなノイズを含む信号）に対して信号処理を行う際に、極めて有用である。
また、本発明に係る平滑化処理方法は、例えばガス漏洩検査に用いられるリーク検出器など、検知対象ガスの存在有無を検出することを目的とするものにおいて極めて有用である。
The smoothing processing method according to the present invention is extremely useful, for example, when signal processing is performed on a signal including white noise (a signal including random noise) indicating random vertical movement.
Moreover, the smoothing processing method according to the present invention is extremely useful for the purpose of detecting the presence or absence of a detection target gas, such as a leak detector used in a gas leak test.
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、信号処理回路においては、平滑化処理が行われて得られた指示出力値の適正を判定する判定処理が行われる構成とすることができ、この場合には、異常信号を除去することができるので、一層安定した指示を得ることができる。
また、平滑化処理係数を選定する際に行われる判定処理においては、入力値と参照値との差の大きさの、フルスケール値に対する割合の大きさについての数値範囲の数および平滑化処理係数の数は、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜に変更することができる。
さらに、本発明に係る信号処理方法は、ガス検知方式が赤外線式のものに限定されるものではなく、例えば接触燃焼式のもの、定電位電解式のものなど種々のガス検知装置に適用することができる。
また、本発明のガス検知装置においては、検知対象ガスを検知することにより警報を発する警報報知機構が設けられた構成とすることができる。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to said embodiment, A various change can be added.
For example, the signal processing circuit can be configured to perform a determination process for determining the appropriateness of the instruction output value obtained by performing the smoothing process. In this case, the abnormal signal can be removed. As a result, a more stable instruction can be obtained.
In addition, in the determination process performed when selecting the smoothing processing coefficient, the number of numerical ranges and the smoothing processing coefficient regarding the magnitude of the ratio of the difference between the input value and the reference value to the full scale value. The number is not particularly limited, and can be appropriately changed according to the purpose.
Further, the signal processing method according to the present invention is not limited to the infrared detection type gas detection method, but may be applied to various gas detection devices such as a contact combustion type and a constant potential electrolysis type. Can do.
Moreover, in the gas detection apparatus of this invention, it can be set as the structure provided with the warning alerting | reporting mechanism which issues a warning by detecting detection object gas.
１０ ガス検知部
１１ ガスセル
１１Ａ ガス流入出口
１２ 赤外線光源
１３ 焦電型赤外線センサ（赤外線センサ）
２０ 制御部
２１ 光源駆動回路
２２ 増幅回路
２３ Ａ／Ｄ変換手段
２４ マイコン
２５ Ｄ／Ａ変換手段
Ｎ ガス検知部に固有のノイズ範囲
Ｆ．Ｓ フルスケール値
Ｌ０ ゼロ応答時における指示出力基準値
Ｌ１ ガス応答時における指示出力基準値
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Gas detection part 11 Gas cell 11A Gas inflow / outlet 12 Infrared light source 13 Pyroelectric infrared sensor (infrared sensor)
20 Control Unit 21 Light Source Drive Circuit 22 Amplification Circuit 23 A / D Conversion Unit 24 Microcomputer 25 D / A Conversion Unit N Noise Range Specific to Gas Detection Unit S Full scale value L0 Reference output reference value at zero response L1 Reference output reference value at gas response
Claims (2)
予め取得しておいたガス検知部に固有のノイズ範囲の大きさを基準として複数の数値範囲が設定されていると共に、これらの数値範囲に対応する、各々１以下の値である複数の平滑化処理係数が設定されており、
信号処理回路は、検知対象ガスが被検ガス中に含まれていない場合における指示出力基準値Ｌ０と、基準とするガス濃度の検知対象ガスをガス検知部に導入した場合における指示出力基準値Ｌ１との差をフルスケール値Ｆ．Ｓとするとき、先行するサンプリング対象時（ｎ）における指示出力値Ｒ（ｎ）を参照値として設定し、その直後のサンプリング対象時（ｎ＋１）における入力値Ｓ（ｎ＋１）と当該参照値Ｒ（ｎ）との差〔Ｓ（ｎ＋１）−Ｒ（ｎ）〕の、フルスケール値Ｆ．Ｓに対する割合である指示変動割合Ｘの大きさが属する数値範囲に対応する平滑化処理係数を選定し、当該入力値Ｓ（ｎ＋１）と当該参照値Ｒ（ｎ）との差の大きさと、当該選定された平滑化処理係数との積を、当該参照値Ｒ（ｎ）に加算することにより平滑化処理を行い、指示出力値Ｒ（ｎ＋１）を算出する機能を有し、
前記参照値Ｒ（ｎ）は、先行するサンプリング対象時（ｎ）における入力値Ｓ（ｎ）に対して同様の平滑化処理が行われて得られたものであって、メモリ領域に順次に更新されて格納されており、
平滑化処理係数は、前記指示変動割合の大きさが大きくなるに従って大きな値となるよう、前記指示変動割合の大きさに応じて設定されていることを特徴とするガス検知装置。 In a gas detection apparatus having a signal processing circuit that obtains an instruction output value by performing a smoothing process on an input value obtained by sampling a gas detection signal from a gas detection unit including noise at predetermined time intervals ,
A plurality of numerical ranges are set with reference to the size of the noise range specific to the gas detection unit acquired in advance, and a plurality of smoothings each corresponding to these numerical ranges are values of 1 or less. Processing coefficient is set,
The signal processing circuit includes an instruction output reference value L0 when the detection target gas is not included in the test gas, and an instruction output reference value L1 when the detection target gas having a reference gas concentration is introduced into the gas detection unit. The full scale value F. When S, the instruction output value R (n) at the preceding sampling target time (n) is set as a reference value, and the input value S (n + 1) at the sampling target time (n + 1) immediately after that and the reference value R ( n) of the difference [S (n + 1) −R (n)] from the full scale value F.N. A smoothing coefficient corresponding to a numerical range to which the magnitude of the instruction variation ratio X , which is a ratio to S, belongs, and the magnitude of the difference between the input value S (n + 1) and the reference value R (n), A function of performing a smoothing process by adding a product of the selected smoothing process coefficient to the reference value R (n) and calculating an instruction output value R (n + 1);
The reference value R (n) is obtained by performing the same smoothing process on the input value S (n) at the preceding sampling target time (n), and is sequentially updated in the memory area. Has been stored,
The smoothing coefficient is set according to the magnitude of the instruction fluctuation ratio so as to increase as the magnitude of the instruction fluctuation ratio increases.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005058835A JP4842547B2 (en) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | Gas detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005058835A JP4842547B2 (en) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | Gas detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006242750A JP2006242750A (en) | 2006-09-14 |
| JP4842547B2 true JP4842547B2 (en) | 2011-12-21 |
Family
ID=37049318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005058835A Expired - Fee Related JP4842547B2 (en) | 2005-03-03 | 2005-03-03 | Gas detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4842547B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4676253B2 (en) * | 2005-05-31 | 2011-04-27 | 理研計器株式会社 | Gas detector |
| JP6608514B2 (en) * | 2017-12-22 | 2019-11-20 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | Optical density measuring device and control method of optical density measuring device |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05188135A (en) * | 1992-01-10 | 1993-07-30 | Nec Corp | Three-dimensional radar apparatus |
| JPH07294282A (en) * | 1994-04-28 | 1995-11-10 | Shimadzu Corp | Method for removing noise from measurement |
| JP3222716B2 (en) * | 1995-02-10 | 2001-10-29 | ホーチキ株式会社 | Analog sensor |
| US5764142A (en) * | 1995-09-01 | 1998-06-09 | Pittway Corporation | Fire alarm system with smoke particle discrimination |
| US6229439B1 (en) * | 1998-07-22 | 2001-05-08 | Pittway Corporation | System and method of filtering |
| US6782297B2 (en) * | 2001-05-24 | 2004-08-24 | Eric Paul Tabor | Methods and apparatus for data smoothing |
-
2005
- 2005-03-03 JP JP2005058835A patent/JP4842547B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2006242750A (en) | 2006-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6666023B2 (en) | Seismic sensor and earthquake judgment method | |
| US20190383780A1 (en) | Systems and methods for predicting gas concentration values | |
| CN102652271B (en) | There is decision maker, system, method and program | |
| TW200644739A (en) | Method and apparatus for monitoring plasma conditions in an etching plasma processing facility | |
| CN112789567B (en) | Temperature threshold value determination device, temperature abnormality determination system, temperature threshold value determination method, and recording medium | |
| US11113941B2 (en) | Ambient light sensor in a hazard detector and a method of using the same | |
| JP4842547B2 (en) | Gas detector | |
| JP2010003248A (en) | Fire alarm | |
| JP5102047B2 (en) | Vibration alarm device | |
| US20210116423A1 (en) | Particle filter monitoring | |
| JP6367649B2 (en) | measuring device | |
| JP2010025646A (en) | Calibration method of gas measuring device | |
| JP5399009B2 (en) | Fluorescence temperature sensor and method for calculating moving average value of fluorescence temperature sensor | |
| JPWO2019172086A1 (en) | Optical module life prediction method and life prediction apparatus | |
| JP4721727B2 (en) | Photoelectric sensor | |
| JP2850514B2 (en) | PH meter with life expectancy display | |
| JP4910867B2 (en) | Optical fiber temperature sensor device | |
| JP4537438B2 (en) | Encoder and motor control device | |
| JP2007255917A (en) | Concentration measuring device | |
| JP2009152813A (en) | Photoelectric sensor | |
| JP5359006B2 (en) | Electronic equipment monitoring device | |
| JPH10185615A (en) | Sensor correcting device corresponding to change with lapse of time | |
| JP6080422B2 (en) | Inspection method for seismic device and inspection device for seismic device | |
| JP4676253B2 (en) | Gas detector | |
| JP4035099B2 (en) | Gas detection method and apparatus |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080131 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100414 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100420 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100615 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110111 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111006 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141014 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |