JP4838056B2 - Droplet discharge apparatus and image forming apparatus - Google Patents

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Description

本発明は、安定したインクの吐出状態を達成できる改善された吐出口面をもつインクジェットヘッドを備えた液滴吐出装置および画像形成装置に関する。 The present invention relates to a droplet ejection apparatus and image forming equipment comprising an ink jet head having an improved ejection port surface can achieve discharge state of stable ink.

インクジェット記録方式で記録を行った場合、記録信号に応答して吐出される主インク滴に付随して、この主インク滴に遅れて吐出口から飛翔する微小インクが発生する場合がある。こうした微小インク(以下、インクミストという)は、吐出口から飛翔した直後に吐出速度が急激に減速し、記録紙に到達せずにノズル近傍に浮遊することがある。このような浮遊したインクミストはインクジェットヘッドの吐出口面に付着し、インクの液溜りが生じることがしばしばある。こうした液溜りの発生は、吐出口からのインク滴の吐出を不安定にしたり、インク不吐出を引き起こす等の問題の発生につながることが知られている。   When recording is performed by the ink jet recording method, there is a case where minute ink flying from the ejection port is generated with a delay of the main ink droplet accompanying the main ink droplet ejected in response to the recording signal. Such fine ink (hereinafter referred to as ink mist) may rapidly decelerate immediately after flying from the ejection port, and may float near the nozzle without reaching the recording paper. Such floating ink mist often adheres to the ejection port surface of the ink jet head and often causes ink accumulation. It is known that the occurrence of such a liquid pool leads to the occurrence of problems such as unstable ejection of ink droplets from the ejection port and non-ejection of ink.

従来、こうした液溜りの問題を解決するために、吐出口が設けられた吐出口面に撥水処理を施すことが行われていた(例えば特許文献1参照)。このように吐出口面のほぼ全面に撥水膜を形成した場合、吐出口の周辺部分におけるインクの滞留が少なくなり、前述したインクの不安定吐出等の問題はある程度改善される。しかしながら、連続した長期間の高周波駆動で、高印字スピード、高デューティーの記録を行う場合には、発生するインクミストの量が多く、吐出口面にインクの滴が次第に滞留するようになる。   Conventionally, in order to solve such a problem of liquid accumulation, a water repellent treatment has been performed on a discharge port surface provided with a discharge port (see, for example, Patent Document 1). When the water-repellent film is formed on almost the entire surface of the ejection port in this way, the ink stays in the peripheral portion of the ejection port, and the above-described problems such as unstable ejection of ink are improved to some extent. However, when recording at high printing speed and high duty with continuous high-frequency driving for a long period of time, a large amount of ink mist is generated, and ink droplets gradually accumulate on the ejection port surface.

以下に、吐出口面に付着したインクミストがどのようにしてインク吐出状態に変化をもたらすかを簡単に説明する。   The following briefly describes how ink mist adhering to the ejection port surface changes the ink ejection state.

ノズル形成面のほぼ全面に撥水処理を行った構成では、ノズルプレート近傍に浮遊するインクミストはランダムに付着するが、付着したミストの近傍もしくは付着したミストに重なって、次第に大型のインクミスト集合体に成長する。撥水処理されたノズルプレート面では水(インク)に対する接触角が大きいため、直径が300μmから500μm程度に成長したインクミスト集合体は流動性が大きく、水に対する接触角が80度を越えると、その流動性は一層顕著なものとなる。特に、記録ヘッド自体を記録される領域に往復走査させる装置構成の場合には、往復動から生ずる慣性力を起源としてあるいは自重によって、インクミスト集合体は容易に移動し始めて近傍のインクミスト集合体と合体を繰り返し、さらに巨大なインク滴に成長する。するとインクミスト集合体の移動も容易となり、ついに吐出口に到達することになり、このように成長したインクミストは部分的に対応する1〜2のノズルの吐出口に引き込まれ、不吐出さえも発生させる現象を生み出すこととなる。   In a configuration in which water repellent treatment is applied to almost the entire surface of the nozzle, ink mist floating near the nozzle plate adheres randomly, but gradually gathers in the vicinity of the attached mist or overlaps with the attached mist. Grows into the body. Since the water repellent nozzle plate surface has a large contact angle with water (ink), the ink mist aggregate having a diameter of about 300 μm to 500 μm has high fluidity, and when the contact angle with water exceeds 80 degrees, Its fluidity becomes even more remarkable. In particular, in the case of a device configuration in which the recording head itself is reciprocally scanned in the recording area, the ink mist assembly starts to move easily due to inertial force resulting from the reciprocating motion or by its own weight, and the adjacent ink mist assembly And coalesce, and grow into even larger ink droplets. Then, the movement of the ink mist aggregate becomes easy and finally reaches the discharge port, and the ink mist thus grown is partially drawn into the discharge ports of the corresponding one or two nozzles, and even non-discharge It will create the phenomenon that occurs.

このような現象を解決する技術として、複数の吐出口を備えた領域を含む中央撥水領域と、前記複数の吐出口から所定距離離れた箇所で、前記中央撥水領域の少なくとも一方側に、吐出口面に付着して増大したインク滴を捕獲するように間欠的に複数配置された親水部分を有する部分親水領域と、を備えたインクジェットヘッドの発明が知られている(特許文献2参照)。この発明には、ノズル表面全域が撥水された場合、連続印刷時等にインクミストが集積しインク滴となり吐出口に引き込まれることで不吐出となることが示されている。また、ノズル表面に部分的に親水部を設けた場合は、インクミストが親水部に集まり、ノズル近傍でのインク滴への成長が防止されることが示されている。   As a technique for solving such a phenomenon, at a central water-repellent region including a region having a plurality of discharge ports, and at a predetermined distance away from the plurality of discharge ports, on at least one side of the central water-repellent region, An invention of an ink jet head including a partial hydrophilic region having a hydrophilic portion that is intermittently arranged in plural so as to capture the increased ink droplets attached to the discharge port surface is known (see Patent Document 2). . This invention shows that when the entire nozzle surface is made water-repellent, ink mist accumulates during continuous printing or the like and becomes ink droplets that are drawn into the discharge port to cause non-discharge. Further, it is shown that when a hydrophilic portion is partially provided on the nozzle surface, ink mist gathers in the hydrophilic portion and growth of ink droplets in the vicinity of the nozzle is prevented.

また、ノズル周辺に凹部を形成し、該凹部の側面を除くカバープレート表面およびノズルプレート表面に撥インク処理を施したインクジェットヘッドが提案されており(特許文献3参照)、インクミストを凹部の側面の親水性部に貯める技術が記載されている。   In addition, an ink jet head has been proposed in which a recess is formed around the nozzle and the surface of the cover plate excluding the side surface of the recess and the surface of the nozzle plate are subjected to ink repellent treatment (see Patent Document 3). The technique of storing in the hydrophilic part of is described.

また、ヘッドのノズル板表面のインク吐出口周辺が撥インク処理され、更にその周縁が親インク処理されたインクジェットプリンタと、25℃における粘度が4cp以上であるインクを用いて、前記撥インク処理面に対する該インクの前進接触角を80〜110°、後退接触角を40°以上とし、前記親インク処理面に対する同インクの前進接触角および後退接触角を30°以下として画像を形成するインクジェット方式の画像形成方法が提案されている(特許文献4参照)。ここでは、ノズル周辺部の撥インク処理部が、インクとの接触角が高い場合に、インクの移動が起こりやすく、親水部分へのインク移動を促進して、ノズル周辺部のインクを除去しようとされている。   Further, the ink repellent treated surface is formed by using an ink jet printer in which the periphery of the ink discharge port on the surface of the nozzle plate of the head is subjected to ink repellent treatment, and the peripheral edge thereof is further subjected to parent ink treatment, and ink having a viscosity at 25 ° C. of 4 cp or more. Ink jet method for forming an image by setting the forward contact angle of the ink to 80 to 110 °, the backward contact angle to 40 ° or more, and the forward contact angle and backward contact angle of the ink to the parent ink processing surface to 30 ° or less. An image forming method has been proposed (see Patent Document 4). Here, when the ink repellent treatment part around the nozzle has a high contact angle with the ink, the ink tends to move, and the ink movement to the hydrophilic part is promoted to remove the ink around the nozzle. Has been.

ところで、近年、普通紙への高速印字および高画質化を達成するため、普通紙に対して高浸透性のインクを用いることが多くなってきた。本出願人が開発したこうした高浸透性のインクは、サイジングされた普通紙への浸透性を高める設計がなされていることから、より親油性となっており、ノズルプレート表面の撥水処理膜に対する接触角も小さく(80°以下)なっていることが多い。このようなインクを用いた場合には、一旦ノズルプレート表面に付着したインクは、ノズル面を移動して親水性部分に集まる作用が起こりにくく、前記したような部分的に親水部を設けたノズルプレートを用いてもその効果は小さく、全面に撥水処理を施した場合と同様、ノズル近傍に付着したインクミストが成長してノズル内部に入り込むことによってメニスカスを破壊しインク非吐出となることがある。
特許第2763410号公報 特許第3332503号公報 特開2005−7789号公報 特開平11−268248号公報
In recent years, in order to achieve high-speed printing on plain paper and high image quality, highly penetrable ink has been increasingly used for plain paper. These highly permeable inks developed by the present applicant are designed to increase the permeability to sized plain paper, and are therefore more oleophilic, with respect to the water-repellent treatment film on the nozzle plate surface. The contact angle is often small (80 ° or less). When such an ink is used, the ink once adhered to the nozzle plate surface is less likely to move to the hydrophilic portion by moving the nozzle surface, and the nozzle having a partially hydrophilic portion as described above. Even if a plate is used, the effect is small, and as with the case where water repellent treatment is applied to the entire surface, ink mist adhering to the vicinity of the nozzle grows and enters the nozzle, thereby destroying the meniscus and causing ink non-ejection. is there.
Japanese Patent No. 2763410 Japanese Patent No. 3332503 Japanese Patent Laid-Open No. 2005-7789 JP-A-11-268248

上記の課題に鑑み、本発明は、ノズルプレートのノズル面に撥水処理された撥水処理部および撥水処理されていない非撥水処理部とを備え、撥水処理部と非撥水処理部とで電位差を持たせる液滴吐出装置および画像形成装置を提供することを目的としている。 In view of the above problems, the present invention includes a water repellent treatment portion that is water repellent treated and a non-water repellent treatment portion that is not water repellent treated on the nozzle surface of the nozzle plate. and its object is to provide a droplet ejection apparatus and image forming equipment to provide a potential difference between the parts.

上記の目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、液滴を吐出する吐出口であるノズルが配列された吐出口部材のノズルプレートを有する液滴吐出装置であって、前記ノズルプレートのノズル面は、前記ノズルが配列された領域を含み、電気絶縁性の撥水材料で撥水処理されている撥水処理部と、前記ノズルが配列された領域と前記ノズルプレート周縁部との間の領域に形成され、前記撥水材料で撥水処理されていない非撥水処理部と、を備え、前記ノズルが配列された領域は、隣接するノズル間に亘って前記撥水材料で撥水処理され、前記非撥水処理部は接地され、該接地により前記撥水処理部と電位差を持つように構成されたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the invention described in claim 1 is a droplet discharge device having a nozzle plate of a discharge port member in which nozzles that are discharge ports for discharging a droplet are arranged, wherein the nozzle plate The nozzle surface includes a region in which the nozzles are arranged, and includes a water repellent treatment portion that is water repellent treated with an electrically insulating water repellent material, a region in which the nozzles are arranged, and a peripheral portion of the nozzle plate. And a non-water-repellent treatment part that is formed in a region between them and not subjected to water-repellent treatment with the water-repellent material, and the region where the nozzles are arranged is repelled with the water-repellent material between adjacent nozzles. The non-water-repellent treatment portion is grounded, and is configured to have a potential difference from the water-repellent treatment portion by the grounding .

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の液滴吐出装置において、前記非撥水処理部が、前記ノズルの配列された領域から離間した該領域の両側に設けられていることを特徴とする。   According to a second aspect of the present invention, in the liquid droplet ejection device according to the first aspect, the non-water-repellent treatment part is provided on both sides of the region spaced from the region where the nozzles are arranged. Features.

請求項に記載の発明は、請求項1または2記載の液滴吐出装置を搭載した画像形成装置であることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus equipped with the liquid droplet ejection apparatus according to the first or second aspect.

このように、本発明によれば、ノズルプレートのノズル面に撥水処理された撥水処理部および撥水処理されていない非撥水処理部とを備え、撥水処理部と非撥水処理部とで電位差を持たせる液滴吐出装置および画像形成装置を提供することができる。 As described above, according to the present invention, the nozzle surface of the nozzle plate is provided with the water repellent treatment portion subjected to the water repellent treatment and the non-water repellent treatment portion not subjected to the water repellent treatment. part and it is possible to provide a droplet ejection apparatus and image forming equipment to have a potential difference.

本実施形態の液滴吐出装置および画像形成装置では、高浸透性のインクを用いてもノズルプレート表面近傍に浮遊するインクミストの付着が防止され、ノズル詰まりの起きない液滴吐出装置および画像形成装置を提供することを目的としている。 In the droplet ejection apparatus and an image forming equipment of this embodiment, adhesion of the ink mist floating in the vicinity of the nozzle plate surface even with a high permeability of the ink is prevented, the droplet discharge device and does not occur with nozzle clogging and its object is to provide an image forming equipment.

以下に、本実施形態の液滴吐出装置および画像形成装置について、添付図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態は以下に述べるものに限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲において種々変更が可能である。 Hereinafter, with the droplet ejection apparatus and an image forming equipment of the present embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, this embodiment is not limited to what is described below, A various change is possible in the range which does not deviate from the meaning.

本実施形態に係る液滴吐出装置の第1実施形態について、図1ないし図5を参照して説明する。なお、図1は、液滴吐出装置のインクヘッドの分解斜視説明図である。また図2は、液滴吐出装置のインクヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図である。また図3は、図2に示す液滴吐出装置の要部拡大図である。さらに図4および図5は、液滴吐出装置のインクヘッドの液室短手方向の異なる例を示す断面説明図である。   A first embodiment of a droplet discharge apparatus according to this embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is an exploded perspective view of the ink head of the droplet discharge device. FIG. 2 is a cross-sectional explanatory view along the longitudinal direction of the liquid chamber of the ink head of the droplet discharge device. FIG. 3 is an enlarged view of a main part of the droplet discharge device shown in FIG. Further, FIGS. 4 and 5 are cross-sectional explanatory views showing different examples of the ink head of the droplet discharge device in the lateral direction of the liquid chamber.

図1〜3に示すように、液滴吐出装置は、例えば単結晶シリコン基板で形成した流路板1と、この流路板1の下面に接合した振動板2と、流路板1の上面に接合したノズル板(以下ノズルプレートともいう)3とを有し、これらによってインク滴を吐出するノズル4が連通路5を介して連通する加圧液室6、流体抵抗部7を介して加圧液室6と連通する連通部9を形成し、連通部9に振動板2に形成した供給口10を介して後述するフレーム部材17に形成した共通液室8から記録液(例えばインク)を供給する。   As shown in FIGS. 1 to 3, the droplet discharge device includes, for example, a channel plate 1 formed of a single crystal silicon substrate, a vibration plate 2 bonded to the lower surface of the channel plate 1, and an upper surface of the channel plate 1. And a nozzle plate 3 (hereinafter also referred to as a nozzle plate) 3, and a nozzle 4 for ejecting ink droplets by means of a pressurized liquid chamber 6 communicated via a communication path 5 and a fluid resistance portion 7. A communication portion 9 communicating with the pressure fluid chamber 6 is formed, and a recording liquid (for example, ink) is supplied from a common liquid chamber 8 formed in a frame member 17 described later through a supply port 10 formed in the diaphragm 2 to the communication portion 9. Supply.

そして図3に示すように、加圧液室6の壁面を形成する振動板2の面外側(加圧液室6と反対面(ノズル面と反対の面)側)に、各加圧液室6に対応して、振動板2に形成した連結部11を介して圧力発生手段である積層型圧電素子12の上端部を接合し、この積層型圧電素子12の下端部は支持基板13に接合して固定している。なお、支持基板13は圧電素子12の各列毎に分割した構成とすることもできる。   Then, as shown in FIG. 3, each pressurizing liquid chamber is provided on the outer side of the diaphragm 2 forming the wall surface of the pressurizing liquid chamber 6 (on the side opposite to the pressurizing liquid chamber 6 (surface opposite to the nozzle surface)). 6, the upper end portion of the multilayer piezoelectric element 12 that is a pressure generating means is joined via the connecting portion 11 formed on the diaphragm 2, and the lower end portion of the multilayer piezoelectric element 12 is joined to the support substrate 13. And fixed. Note that the support substrate 13 may be divided for each row of the piezoelectric elements 12.

圧電素子12は、圧電材料層14と内部電極15a、15bとを交互に積層したものである。この場合、圧電素子12の圧電方向としてd33方向の変位を用いて加圧液室6内のインクを加圧する構成とすることもでき、また、圧電素子12の圧電方向としてd31方向の変位を用いて加圧液室6内インクを加圧する構成とすることもできる。   The piezoelectric element 12 is formed by alternately stacking piezoelectric material layers 14 and internal electrodes 15a and 15b. In this case, the ink in the pressurized liquid chamber 6 can be pressurized using the displacement in the d33 direction as the piezoelectric direction of the piezoelectric element 12, and the displacement in the d31 direction is used as the piezoelectric direction of the piezoelectric element 12. Thus, the ink in the pressurized liquid chamber 6 may be pressurized.

また、流路板1および振動板2の周囲は、例えばエポキシ系樹脂或いはポリフェニレンサルファイドで射出成形により形成したフレーム部材17に(接着)接合し、このフレーム部材17と支持基板13とを、図示しない部分を接着剤などで相互に固定する。そして、このフレーム部材17には前述した共通液室8を形成するとともに、この共通液室8に外部から記録液を供給するための図示しない供給路(連通管)を形成し、この供給路は更に図示しないカートリッジなどの記録液供給源に接続される。   The periphery of the flow path plate 1 and the diaphragm 2 is bonded (adhered) to a frame member 17 formed by injection molding, for example, with epoxy resin or polyphenylene sulfide, and the frame member 17 and the support substrate 13 are not illustrated. Fix the parts to each other with adhesive. The frame member 17 is formed with the above-described common liquid chamber 8 and a supply path (communication pipe) (not shown) for supplying recording liquid from the outside to the common liquid chamber 8. Further, it is connected to a recording liquid supply source such as a cartridge (not shown).

さらに、圧電素子12には駆動信号を与えるために半田接合又はACF(異方導電性膜)接合若しくはワイヤボンディングでFPCケーブル18を接続し、このFPCケーブル18には各圧電素子12に選択的に駆動波形を印加するための駆動回路(ドライバIC)19が実装される。   Further, an FPC cable 18 is connected to the piezoelectric element 12 by solder bonding, ACF (anisotropic conductive film) bonding or wire bonding in order to give a drive signal. The FPC cable 18 is selectively connected to each piezoelectric element 12. A drive circuit (driver IC) 19 for applying a drive waveform is mounted.

流路板1は、例えば結晶面方位(110)の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液(KOH)などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで、連通路5、加圧液室6となる貫通穴、流体抵抗部7、連通部9などを構成する溝部をそれぞれ形成している。   The flow path plate 1 is formed by, for example, anisotropically etching a single crystal silicon substrate having a crystal plane orientation (110) with an alkaline etching solution such as an aqueous potassium hydroxide solution (KOH), so that the communication path 5, the pressurized liquid chamber 6, a through-hole, a fluid resistance portion 7 and a communication portion 9 are formed.

例えば図3に示すように、振動板2はニッケルの金属プレートから形成でき、たとえばエレクトロフォーミング法で製造される。この振動板2は、加圧液室6に対応する部分の変形を容易にするため薄肉部にし、中央部に圧電素子12を連結するため振動板2側の第1層11aと圧電素子12側の第2層11bからなる2層構造の連結部11が設けられている。   For example, as shown in FIG. 3, the diaphragm 2 can be formed of a nickel metal plate and is manufactured by, for example, an electroforming method. The diaphragm 2 has a thin wall portion for facilitating deformation of the portion corresponding to the pressurized liquid chamber 6, and the first layer 11 a on the diaphragm 2 side and the piezoelectric element 12 side in order to connect the piezoelectric element 12 to the center portion. A connecting portion 11 having a two-layer structure including the second layer 11b is provided.

なお、液室短手方向(ノズル4の並び方向)では、図4に示すように、圧電素子12と支柱部22とが交互に配置されたバイピッチ構造を採用することもでき、あるいは、図5に示すように、支柱部22を設けないノーマルピッチ構造を採用することもできる。   In the lateral direction of the liquid chamber (the direction in which the nozzles 4 are arranged), as shown in FIG. 4, a bi-pitch structure in which the piezoelectric elements 12 and the column portions 22 are alternately arranged can be adopted, or FIG. As shown in FIG. 4, a normal pitch structure without the support 22 can be adopted.

このように構成した液滴吐出装置は、例えば押し打ち方式で駆動する場合には、図示しない制御部から記録する画像に応じて複数の圧電素子2に20〜50Vの駆動パルス電圧を選択的に印加する。これによって、パルス電圧を印加して圧電素子12を変位させて振動板2をノズル板3方向に変形させ、加圧液室6の容積(体積)変化によって加圧液室6内の液体を加圧する。このようにすることで、ノズル板3のノズル4から液滴が吐出される。そして、液滴の吐出に伴って加圧液室6内の圧力が低下し、このときの液流れの慣性によって加圧液室6内に負圧が発生する。この状態下において、圧電素子12への電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板2が元の位置に戻って加圧液室6が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。これによって図示しない液タンクに通じる液供給パイプから入った液は加圧液室6内に充填され、次の駆動パルスが印加される印加パルスに応じて、液滴がノズル4から吐出される。   When the droplet discharge device configured as described above is driven by, for example, a pushing method, a drive pulse voltage of 20 to 50 V is selectively applied to the plurality of piezoelectric elements 2 according to an image recorded from a control unit (not shown). Apply. As a result, the piezoelectric element 12 is displaced by applying a pulse voltage to deform the vibration plate 2 in the direction of the nozzle plate 3, and the liquid in the pressurized liquid chamber 6 is added by the change in volume (volume) of the pressurized liquid chamber 6. Press. By doing so, droplets are ejected from the nozzle 4 of the nozzle plate 3. As the liquid droplets are discharged, the pressure in the pressurized liquid chamber 6 decreases, and a negative pressure is generated in the pressurized liquid chamber 6 due to the inertia of the liquid flow at this time. Under this state, the application of voltage to the piezoelectric element 12 is turned off, so that the diaphragm 2 returns to its original position and the pressurized liquid chamber 6 has its original shape, and further negative pressure is generated. . As a result, the liquid entered from the liquid supply pipe leading to the liquid tank (not shown) is filled in the pressurized liquid chamber 6 and droplets are ejected from the nozzle 4 in response to the applied pulse to which the next drive pulse is applied.

本実施形態は、前記した課題を解決するため、まず、以上に述べたような液滴吐出装置におけるノズルプレートのノズル面の電気絶縁性の撥水材料で撥水処理することによって撥水性を有する撥水処理部分と、該ノズル面の一部が前記撥水材料で撥水処理されていない非撥水部分とを備えたヘッドとする。   In order to solve the above-described problem, this embodiment has water repellency by first performing water repellency treatment with an electrically insulating water repellant material on the nozzle surface of the nozzle plate in the droplet discharge device as described above. A head including a water-repellent portion and a non-water-repellent portion in which a part of the nozzle surface is not subjected to the water-repellent treatment with the water-repellent material.

上記ノズルプレート表面の撥水処理された部分と撥水処理されていない部分では電位差があり、この電位差によって電界が発生している。一方、インクミストはインクの極性やノズル液室からの剥離作用等により電荷を帯びるため、ノズルプレート表面近傍に浮遊しているインクミストは、ノズルプレート面の電気力線と接する方向に作用する力によって誘導される。   There is a potential difference between the water repellent portion and the non-water repellent portion of the nozzle plate surface, and an electric field is generated by this potential difference. On the other hand, since the ink mist is charged due to the polarity of the ink, the peeling action from the nozzle liquid chamber, etc., the ink mist floating near the nozzle plate surface has a force acting in a direction in contact with the electric lines of force on the nozzle plate surface. Induced by.

本実施形態は、前記した撥水材料で撥水処理されていない部分と撥水処理されている部分とが、より電位差を持つように、少なくとも一方に電圧印加するかもしくは接地する。これにより電気力線が更に増加し、ノズルプレート近傍に浮遊する電荷を帯びたインクミストがノズル面に付着し、付着したインクミストは集合体となると同時に、より親水性の高い非撥水処理部分に移動するため、該インクミストから生成したインク滴がノズル内に引き込まれることはない。   In the present embodiment, a voltage is applied to or grounded to at least one of the portions that are not subjected to the water repellent treatment with the water repellent material and a portion that is subjected to the water repellent treatment so as to have a higher potential difference. As a result, the electric lines of force further increase, and the charged ink mist floating near the nozzle plate adheres to the nozzle surface. The attached ink mist forms an aggregate and at the same time has a more hydrophilic non-water-repellent treatment portion. Therefore, the ink droplet generated from the ink mist is not drawn into the nozzle.

図8は、上述したノズルプレート面の電気力線によるインクミストの誘導作用を説明する説明図である。
図8(a)において、31は例えばSiなどで形成される流路板部材であり、32は接着剤であり、33は樹脂などで形成されるノズルプレート部材であり、34は例えばSiO2などの撥水層とノズル形成部材33との密着性を上げるための結合層であり、35は撥水層である。
FIG. 8 is an explanatory view for explaining the inducing action of the ink mist by the electric lines of force on the nozzle plate surface described above.
In FIG. 8A, 31 is a flow path plate member formed of, for example, Si, 32 is an adhesive, 33 is a nozzle plate member formed of resin, and 34 is, for example, SiO 2. This is a bonding layer for improving the adhesion between the water repellent layer and the nozzle forming member 33, and 35 is a water repellent layer.

また、図8(b)に示すように、ノズルプレート部材33に+の電位を与えると、比較的電気伝導度の高いノズルプレート部材33は+電荷を帯び、電気絶縁性の高い撥水処理面は相対的に−となるような電位差を生じ、図に示したような電気力線が発生する。すると、図8(c)に示すように、ノズルから吐出されるインクは、ノズル壁または撥水層から離れる際に、ノズルプレート部材33とは相対的に−の電荷を帯びた液滴となる。   Further, as shown in FIG. 8B, when a positive potential is applied to the nozzle plate member 33, the nozzle plate member 33 having a relatively high electrical conductivity is charged with a positive charge, and the water repellent surface having high electrical insulation. Produces a potential difference that is relatively negative, and generates lines of electric force as shown in the figure. Then, as shown in FIG. 8C, the ink ejected from the nozzles becomes droplets having a negative charge relative to the nozzle plate member 33 when leaving the nozzle wall or the water repellent layer. .

そして、図8(d)に示すように、吐出した液滴中の主滴は、吐出エネルギーによってノズル面から直ちに離れ印刷に付されるが、体積の小さいサテライト滴は、空気抵抗によって失速し、ノズル面に近いところに浮遊する。その際に、相対的に−に帯電したインク滴は、ノズル面の撥水処理剤が付着していない相対的に+に帯電している部分に静電的力により引き寄せられて付着する。よって、撥水処理剤の付着しているノズル出口周辺部へはインクミストが付着せず、メニスカスが破壊されることがない。   Then, as shown in FIG. 8 (d), the main droplets in the discharged droplets are immediately separated from the nozzle surface by the discharge energy and subjected to printing, but the satellite droplets having a small volume are stalled by the air resistance, It floats near the nozzle surface. At that time, the relatively negatively charged ink droplets are attracted and adhered to the relatively positively charged portion of the nozzle surface where the water repellent agent is not attached by electrostatic force. Therefore, ink mist does not adhere to the peripheral portion of the nozzle outlet where the water repellent treatment agent is adhered, and the meniscus is not destroyed.

また、本実施形態では、前記撥水材料で撥水処理した部分に対する接触角が80°以下のインクを用い、ノズルからインクを吐出した際に、前記撥水材料で撥水処理されていない部分が、インク滴が持つ電荷と逆極性の電位をもつよう前記撥水材料で撥水処理されていない部分すなわち相対的に導電性を有する部分に印加して印字することを特徴とする。   Further, in the present embodiment, a portion that is not water-repellent treated with the water-repellent material when ink is ejected from a nozzle using an ink having a contact angle of 80 ° or less with respect to the portion that has been water-repellent-treated with the water-repellent material. However, printing is performed by applying to a portion that is not water-repellent treated with the water-repellent material, that is, a portion that is relatively conductive, so as to have a potential opposite to the electric charge of the ink droplet.

乾燥速度の速い高浸透性のインクは比較的親油性であり、ノズル形成部材(ノズルプレート)を撥水処理してもこの処理した部分との接触角が低い。このような場合、従来はインクミストによるノズル詰まりを解消することはできなかった。また、インクがノズルから吐出される際には、インクとノズル材料との摩擦帯電系列に応じた帯電が起こり、重力の小さいインクミストは帯電の影響による移動度が大きい。ここで、インクの帯電極性は材料によるが、それに応じてその帯電極性とは逆極性の電荷を、撥水処理をしていない部分に印加することで、浮遊しているインクミストを静電気力で撥水処理されているノズルから遠方の部分に引きつけることが可能となる。   Highly permeable ink with a fast drying speed is relatively oleophilic, and even if the nozzle forming member (nozzle plate) is subjected to water repellent treatment, the contact angle with the treated portion is low. In such a case, conventionally, nozzle clogging due to ink mist could not be resolved. Further, when ink is ejected from the nozzles, charging occurs according to the frictional charging series between the ink and the nozzle material, and the ink mist having a small gravity has a high mobility due to the influence of charging. Here, the charging polarity of the ink depends on the material, but by applying a charge opposite to the charging polarity to the non-water-repellent part accordingly, the floating ink mist is electrostatically applied. It is possible to attract a portion far from the water repellent treated nozzle.

次に、液滴吐出装置のノズルプレート3およびその製造方法について、図6および図7を参照して説明する。図6は、本実施形態を適用したノズルプレートのノズル部分の拡大断面図を示す。また図7は、本実施形態によるノズルプレートの製造工程の一例を示す図である。   Next, the nozzle plate 3 of the droplet discharge device and the manufacturing method thereof will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a nozzle portion of a nozzle plate to which this embodiment is applied. FIG. 7 is a diagram showing an example of the manufacturing process of the nozzle plate according to the present embodiment.

ノズルプレート3は、通常、図6に示すように、シリコンウエハなど高剛性部材31上にポリイミドフィルムなどの樹脂フィルムからなる樹脂部材(ノズルプレート部材)33を、接着剤32を介して接合してノズル形成部材30を形成し、このノズル形成部材30を構成するノズルプレート部材33の表面(液滴吐出面側表面)にSiO2薄膜で形成される結合層34を形成し、続いてフッ素系の撥水層35を形成する。このとき、SiO2薄膜層で形成された結合層34は、ノズルプレート部材33と最初の撥水処理層35とを結合し、また、撥水層35と次層の撥水層処理35とを結合する。なお、結合層(ここではSiO2薄膜層)34と撥水層(ここでは1層以上のフッ素系の撥水層)35の構造部分全体を「撥水処理層40」と称する。 As shown in FIG. 6, the nozzle plate 3 is usually formed by bonding a resin member (nozzle plate member) 33 made of a resin film such as a polyimide film on a highly rigid member 31 such as a silicon wafer via an adhesive 32. A nozzle forming member 30 is formed, and a bonding layer 34 formed of a SiO 2 thin film is formed on the surface of the nozzle plate member 33 constituting the nozzle forming member 30 (surface on the droplet discharge surface side). A water repellent layer 35 is formed. At this time, the bonding layer 34 formed of the SiO 2 thin film layer bonds the nozzle plate member 33 and the first water-repellent treatment layer 35, and also connects the water-repellent layer 35 and the next water-repellent layer treatment 35. Join. The entire structural portion of the bonding layer (here, SiO 2 thin film layer) 34 and the water repellent layer (here, one or more fluorine-based water repellent layers) 35 is referred to as a “water repellent treatment layer 40”.

そして、ノズル形成部材30を構成する樹脂部材で形成されたノズルプレート部材33には、エキシマレーザ加工によって所要径のノズル孔4を形成し、高剛性の流路板部材31にはノズル孔4に連通するノズル連通口44を形成する。   A nozzle hole 4 having a required diameter is formed by excimer laser processing in the nozzle plate member 33 formed of a resin member constituting the nozzle forming member 30, and the nozzle hole 4 is formed in the highly rigid flow path plate member 31. A nozzle communication port 44 that communicates is formed.

本実施形態のノズルプレートの製造方法は、図7に示すようにノズル形成部材30を作製した後、ノズル形成部材30のノズルプレート部材33の表面に撥水材料で撥水処理しない非撥水処理部分を形成するためのマスク51を形成する(図7(a))。次に、このマスク51を形成した上に、結合層(SiO2薄膜層)34を介して絶縁性の撥水材料で撥水処理した撥水層35を形成する(図7(b))。次に撥水材料で撥水処理した面とは反対の面方向からエキシマレーザを照射してノズルを形成する(図7(c))。次にマスク51を除去し、一部に撥水材料で撥水処理されていない非撥水処理部分を持つノズルプレートを形成する(図7(d))。 The nozzle plate manufacturing method of the present embodiment is a non-water-repellent treatment in which the surface of the nozzle plate member 33 of the nozzle forming member 30 is not water-repellent with a water-repellent material after the nozzle forming member 30 is manufactured as shown in FIG. A mask 51 for forming a portion is formed (FIG. 7A). Next, after forming this mask 51, a water repellent layer 35 subjected to a water repellent treatment with an insulating water repellent material is formed through a bonding layer (SiO 2 thin film layer) 34 (FIG. 7B). Next, an excimer laser is irradiated from the direction opposite to the surface that has been subjected to the water repellent treatment with the water repellent material to form a nozzle (FIG. 7C). Next, the mask 51 is removed, and a nozzle plate having a non-water-repellent treatment portion that is not partially water-repellent-treated with a water-repellent material is formed (FIG. 7D).

また、前記撥水処理により撥水層を形成するときにマスク51を形成せず、全面に均一に撥水処理し、エキシマレーザによるノズル加工を施した後、撥水処理面からエキシマレーザを照射し、表面の撥水処理剤を除去することによって一部に撥水処理されていない非撥水処理部分を持つノズルプレートを形成してもよい。   Further, when the water repellent layer is formed by the water repellent treatment, the mask 51 is not formed, the water repellent treatment is uniformly performed on the entire surface, the nozzle processing is performed by the excimer laser, and then the excimer laser is irradiated from the water repellent treated surface. Then, a nozzle plate having a non-water-repellent treatment portion that is not partially water-repellent-treated may be formed by removing the surface water-repellent treatment agent.

ここで、上記SiO2薄膜層での結合層34の形成は、比較的熱のかからない、すなわち、ノズルプレート部材33に熱的影響の発生しない範囲の温度で行うことが好ましく、その際に成膜可能な方法で形成することが好ましい。具体的な方法としては、スパッタリング、イオンビーム蒸着、イオンプレーティング、CVD(化学蒸着法)、P−CVD(プラズマ蒸着法)などが適しているといえる。 Here, the formation of the bonding layer 34 in the SiO 2 thin film layer is preferably performed at a temperature that is relatively not heated, that is, does not cause thermal influence on the nozzle plate member 33. It is preferable to form by a possible method. As specific methods, it can be said that sputtering, ion beam evaporation, ion plating, CVD (chemical vapor deposition), P-CVD (plasma vapor deposition) and the like are suitable.

また、SiO2薄膜層で形成される結合層34の膜厚は、密着力が確保できる範囲で必要最小限の厚さにすると、工程時間の短縮、材料コストの削減が図れる。結合層(SiO2薄膜層)34の膜厚が厚くなりすぎると、エキシマレーザでのノズル孔加工に支障をきたすおそれがある。すなわち、ノズルプレート部材(樹脂部材)33はきれいにノズル孔形状に加工されても、結合層(SiO2薄膜層)34の一部が十分に加工されず、加工残りを生じることがある。 Further, if the thickness of the bonding layer 34 formed of the SiO 2 thin film layer is set to a necessary minimum thickness within a range in which adhesion can be secured, the process time can be shortened and the material cost can be reduced. If the thickness of the bonding layer (SiO 2 thin film layer) 34 becomes too thick, there is a risk of hindering nozzle hole processing with an excimer laser. In other words, even if the nozzle plate member (resin member) 33 is cleanly processed into a nozzle hole shape, a part of the bonding layer (SiO 2 thin film layer) 34 is not sufficiently processed, and a processing residue may occur.

したがって、具体的には密着力が確保でき、エキシマレーザ加工時に結合層(SiO2薄膜層)34が残らないように、結合層34の膜厚は1〜300Å(0.1〜30nm(1Å=0.1nm))の範囲内にすることが好ましく、より好ましくは、10〜100Å(1〜10nm)の範囲内にする。実験結果では、結合層(SiO2薄膜層)34の膜厚が30Å(3nm)程度でも密着性は十分であり、エキシマレーザによる加工性についてはまったく問題がなかった。また、300Åでは僅かな加工残りが観察されたが、使用可能範囲であり、5000Åを超えるとかなり大きな加工残りが発生し、使用不可能なほどのノズル異形が発生することが確認された。 Therefore, specifically, the adhesive layer can secure an adhesive force, and the film thickness of the bonding layer 34 is 1 to 300 mm (0.1 to 30 nm (1 mm = 1 mm = 1 mm = 10 mm) so that the bonding layer (SiO 2 thin film layer) 34 does not remain during excimer laser processing. 0.1 nm)) is preferable, and more preferably within a range of 10 to 100 mm (1 to 10 nm). As a result of the experiment, the adhesiveness was sufficient even when the thickness of the bonding layer (SiO 2 thin film layer) 34 was about 30 mm (3 nm), and there was no problem with the workability by the excimer laser. In addition, a slight machining residue was observed at 300 mm, but it was within the usable range, and when it exceeded 5000 mm, a considerably large machining residue was generated, and it was confirmed that an unusable nozzle profile was generated.

フッ素系の撥水層35に使用される撥水材料は、種々の材料が知られているが、例えば、フッ素原子を有する有機化合物、特にフルオロアルキル基を有する有機物、ジメチルシロキサン骨格を有する有機ケイ素化合物等が使用できる。   Various materials are known as the water repellent material used for the fluorine-based water repellent layer 35. For example, an organic compound having a fluorine atom, particularly an organic substance having a fluoroalkyl group, and an organic silicon having a dimethylsiloxane skeleton. A compound etc. can be used.

フッ素原子を有する有機化合物としては、フルオロアルキルシラン、フルオロアルキル基を有するアルカン、カンボン酸、アルコール、アミン等が望ましい。具体的には、フルオロアルキルシランとしては、ヘプタデカフルオロ−1,1,2,2−テトラハイドロデシルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロ−1,1,2,2−テトラハイドロトリクロオシラン;フルオロアルキル基を有するアルカンとしては、オクタフルオロシクロブタン、パーフルオロメチルシクロヘキサン、パーフルオロ−n−ヘキサン、パーフルオロ−n−へプタン、テトラデカフルオロ−2−メチルペンタン、パーフルオロドデカン、パーフルオロオイコサン;フルオロオアルキル基を有するカルボン酸としては、パーフルオロデカン酸、パーフルオロオクタン酸;フルオロアルキル基を有するアルコールとしては、3,3,4,4,5,5,5−ヘプタフルオロ−2−ペンタノール;フルオロアルキル基を有するアミンとしては、ヘプタデカフルオロ−1,1,2,2−テトラハイドロデシルアミン等が挙げられる。ジメチルシロキサン骨格を有する有機ケイ素化合物としては、α,ω−ビス(3−アミノプロピル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(3−グリシドキシプロピル)ポリジメチルシロキサン、α,ω−ビス(ビニル)ポリジメチルシロキサン等が挙げられる。   As the organic compound having a fluorine atom, fluoroalkylsilane, alkane having a fluoroalkyl group, cambonic acid, alcohol, amine and the like are desirable. Specifically, as fluoroalkylsilane, heptadecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrodecyltrimethoxysilane, heptadecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrotrichlorosilane; fluoroalkyl As the alkane having a group, octafluorocyclobutane, perfluoromethylcyclohexane, perfluoro-n-hexane, perfluoro-n-heptane, tetradecafluoro-2-methylpentane, perfluorododecane, perfluoroeucosan; fluoro Examples of the carboxylic acid having an oalkyl group include perfluorodecanoic acid and perfluorooctanoic acid; and examples of the alcohol having a fluoroalkyl group include 3,3,4,4,5,5,5-heptafluoro-2-pentanol. A having a fluoroalkyl group The emissions, heptadecafluoro-1,1,2,2-tetrahydro-decyl amine. Examples of organosilicon compounds having a dimethylsiloxane skeleton include α, ω-bis (3-aminopropyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis (3-glycidoxypropyl) polydimethylsiloxane, α, ω-bis (vinyl). ) Polydimethylsiloxane and the like.

また、別の撥水材料として、シリコン原子を有する有機化合物、特にアルキルシロキサン基を有する有機化合物が使用できる。   As another water repellent material, an organic compound having a silicon atom, particularly an organic compound having an alkylsiloxane group can be used.

アルキルシロキサン基を有する有機化合物としては、含アルキルシロキサンエポキシ樹脂組成物を構成する分子中にアルキルシロキサン基、及び環状脂肪族エポキシ基を2個以上有する含アルキルシロキサンエポキシ樹脂としては、例えば、下記の一般式(a)および(b)で表される構造単位を含む高分子化合物(A)が挙げられる。   Examples of the organic compound having an alkylsiloxane group include alkylsiloxane groups having two or more alkylsiloxane groups and cycloaliphatic epoxy groups in the molecule constituting the alkylsiloxane epoxy resin composition. Examples thereof include a polymer compound (A) containing the structural units represented by the general formulas (a) and (b).

Figure 0004838056
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上記のような構造を有する化合物は、他の撥水性化合物と併用する際にバインダーとしての機能も果たす。つまり、撥インク性の組成物の塗布適性を高め、溶剤蒸発後の乾燥性を高める乾燥塗膜としての作業性を向上させる機能も与える。   The compound having the above structure also functions as a binder when used in combination with other water-repellent compounds. That is, it improves the workability of the ink-repellent composition and improves the workability as a dry coating film that improves the drying property after evaporation of the solvent.

本実施形態でもっとも好ましい撥水剤としては、パーフルオロポリオキセタン及び変性パーフルオロポリオキセタンの混合物(ダイキン工業製、商品名:オプツールDSX)であり、これを10〜300Å(1〜30nm)の厚さに蒸着することで必要な撥水性を得ている。実験結果では、オプツールDSXの厚さは、10Åでも100Å(10nm)、300Å(30nm)でも撥水性、ワイピング耐久性能に差は見られなかった。よって、コストなどを考慮すると、より好適には、10〜100Å(1〜10nm)がよい。   The most preferable water repellent in this embodiment is a mixture of perfluoropolyoxetane and modified perfluoropolyoxetane (manufactured by Daikin Industries, trade name: OPTOOL DSX), which has a thickness of 10 to 300 mm (1 to 30 nm). The necessary water repellency is obtained by vapor deposition. As a result of the experiment, there was no difference in water repellency and wiping durability performance even when the thickness of the OPTOOL DSX was 10 mm, 100 mm (10 nm), or 300 mm (30 nm). Therefore, considering cost etc., 10-100cm (1-10nm) is more suitable.

このように、本実施形態で使用されるノズルプレートは、ノズル形成部材30と撥水層35との間に結合層34を介在させることで、撥水層35とノズル形成部材30とが強固に密着するとともに、耐液性及び耐ワイピング性が格段に向上し、高い撥水性(撥インク性)を維持することができ、持続することができることから、滴吐出方向曲がりを発生することなく安定した滴吐出特性(噴射特性)を得ることができる。   As described above, in the nozzle plate used in the present embodiment, the water repellent layer 35 and the nozzle forming member 30 are strengthened by interposing the bonding layer 34 between the nozzle forming member 30 and the water repellent layer 35. Adhesion and liquid resistance and wiping resistance are greatly improved, high water repellency (ink repellency) can be maintained and can be sustained, and stable without causing any bending in the droplet ejection direction Drop ejection characteristics (ejection characteristics) can be obtained.

そしてこの場合、ノズル形成部材30を樹脂性のフィルムを用いて形成することにより、ノズル孔の加工の選択範囲が広くなり、後述するように紫外光レーザ加工(エキシマレーザ加工を含む)での精度の高いノズル孔加工を、効率的に、且つ、低コストで行うことができる。この樹脂フィルムとしてポリイミド樹脂フィルムを使用することにより、ノズル孔の加工の選択範囲が広くなるとともに、強靭性、耐薬品性、耐熱性が優れ、接着剤硬化等加工時の熱・機械的ストレスよる変形が減少し、精度の高いノズル孔加工を行うことができる。   In this case, by forming the nozzle forming member 30 using a resinous film, the nozzle hole processing selection range is widened, and the accuracy in ultraviolet laser processing (including excimer laser processing) as will be described later. High nozzle hole processing can be performed efficiently and at low cost. By using a polyimide resin film as this resin film, the selection range of nozzle hole processing is widened, and the toughness, chemical resistance, and heat resistance are excellent, depending on thermal and mechanical stress during processing such as adhesive curing. Deformation is reduced, and highly accurate nozzle hole processing can be performed.

また、撥水層35をフッ素系の撥水剤で形成し、この撥水層の膜厚を、10Å以上100Å以下(1nm以上、10nm以下)とすることにより、高い撥水性が得られる。そして。フッ素系撥水膜を非常に薄くすることが可能になって必要材料が低減できてコストダウンを図れる。このフッ素系撥水剤として、パーフルオロポリオキセタンまたは変性パーフルオロポリオキセタンまたは双方の混合物を使用することで、撥水膜を真空蒸着法で形成することが可能となり、100Å(10nm)以下の非常に薄い膜を簡単に形成することが可能となり、撥水性能も極めて高く、撥水膜のワイピング耐久性の向上と紫外光レーザによる加工性の向上を両立することができる。   Further, by forming the water repellent layer 35 with a fluorine-based water repellent and setting the film thickness of the water repellent layer to 10 to 100 mm (1 nm to 10 nm), high water repellency can be obtained. And then. The fluorine-based water repellent film can be made very thin, so that necessary materials can be reduced and the cost can be reduced. By using perfluoropolyoxetane or modified perfluoropolyoxetane or a mixture of both as the fluorine-based water repellent, it becomes possible to form a water-repellent film by a vacuum deposition method. It is possible to easily form a very thin film, and the water repellency is extremely high, and it is possible to simultaneously improve the wiping durability of the water repellent film and the workability by an ultraviolet laser.

さらに、ノズル形成部材と撥水層、撥水層同士を結合する結合層としてSiO2膜を用いて、SiO2膜の膜厚を、10Å以上100Å以下とすることにより、撥水層の密着性が非常に向上し、特にSiO2膜とフッ素系撥水剤が化学的結合により密着するため、フッ素系撥水膜を非常に薄くすることが可能になり、必要材料を低減でき、且つ、処理時間も短縮できるので、コストダウンが図れる。 Furthermore, the nozzle formation member and the water-repellent layer, using the SiO 2 film as a bonding layer to bond the water-repellent layers to each other, the thickness of the SiO 2 film, by a 10Å or 100Å or less, adhesion of the water repellent layer In particular, since the SiO 2 film and the fluorine-based water repellent are in close contact with each other by chemical bonding, it is possible to make the fluorine-based water-repellent film very thin, reducing the necessary materials and processing. Since the time can be shortened, the cost can be reduced.

このように、本実施形態の液滴吐出装置、画像形成装置、画像形成方法および液滴吐出装置の製造方法によれば、インクジェットプリンタ、すなわち画像形成装置の一例によってインクが吐出される際、速度エネルギーをもった主滴は直ちに記録紙に着弾し、画像が形成されるが、サテライトとして発生した微小なインク滴は飛翔速度が急速に低下し、記録紙に到達せずにノズルプレート面近傍に浮遊する。そしてその一部はノズルプレート面に付着する。そのとき、ノズルプレート面の撥水処理された部分と撥水処理されていない部分では電位差があり、図8に電気力線で示したような電界が発生している。一方、インクミストはインクの極性や、ノズル液室からの剥離作用(インクがノズル内壁から引き離されるときの摩擦)等の影響で電荷を帯びている。そのため、ノズルプレート表面近傍に浮遊しているインクミストは、ノズルプレート面の電気力線によって誘導される。本実施形態においては、インクの帯電極性に応じてノズルプレート面の撥水材料で撥水処理されていない親水性の部分に誘導されるよう、適宜電圧を印加するので、インクミストは撥水処理されているノズル近傍には付着せず、付着したインクミストによるメニスカス破壊によるノズル詰まりは回避される。そしてノズルプレート面の親水性部分に付着したインクミストはワイパーによる定期的なクリーニング操作により除去される。   As described above, according to the droplet discharge device, the image forming apparatus, the image forming method, and the method for manufacturing the droplet discharge device of the present embodiment, when ink is discharged by an example of an inkjet printer, that is, an image forming apparatus, the speed The main droplet with energy immediately lands on the recording paper and an image is formed, but the minute ink droplet generated as a satellite rapidly decreases in flying speed and does not reach the recording paper, but near the nozzle plate surface. Floating. A part of it adheres to the nozzle plate surface. At that time, there is a potential difference between the water repellent treated portion and the non-water repellent treated portion of the nozzle plate surface, and an electric field as indicated by the lines of electric force in FIG. 8 is generated. On the other hand, the ink mist is charged due to the influence of the polarity of the ink, the peeling action from the nozzle liquid chamber (friction when the ink is pulled away from the inner wall of the nozzle), and the like. Therefore, the ink mist floating near the nozzle plate surface is induced by the electric lines of force on the nozzle plate surface. In the present embodiment, the ink mist is subjected to water repellent treatment because a voltage is appropriately applied so as to be guided to a hydrophilic portion that is not water repellent treated with the water repellent material on the nozzle plate surface according to the charge polarity of the ink. The nozzle does not adhere to the vicinity of the nozzle, and nozzle clogging due to meniscus destruction by the adhered ink mist is avoided. The ink mist adhering to the hydrophilic portion of the nozzle plate surface is removed by a periodic cleaning operation using a wiper.

本実施形態の画像形成装置によれば、ノズルプレート面の電気絶縁性の撥水材料で撥水処理していない部分が該撥水材料で撥水処理されていない部分と電位差を持つように少なくとも一方に電圧を印加もしくは一方を接地することから、電気力線が発生し、ノズルプレート近傍に浮遊する相対的にマイナスに帯電したインクミストは、ノズル面の相対的にプラスに帯電している該撥水材料で撥水処理されていない部分に静電気力により引き寄せられ、該撥水材料で撥水処理されているノズル周辺にはインクミストが付着しないのでインクミストから生成したインク滴がノズル内に引き込まれることはない。   According to the image forming apparatus of the present embodiment, at least a portion of the nozzle plate surface that is not water-repellent treated with the electrically insulating water-repellent material has a potential difference from a portion that is not water-repellently treated with the water-repellent material. Since a voltage is applied to one side or one side is grounded, lines of electric force are generated, and the relatively negatively charged ink mist floating near the nozzle plate is relatively positively charged on the nozzle surface. Ink droplets generated from the ink mist are attracted to the nozzles that are attracted by the electrostatic force to the part that is not water-repellent treated with the water-repellent material, and the ink mist does not adhere to the periphery of the nozzle that is water-repellent treated with the water-repellent material. It is not drawn in.

また、本実施形態の画像形成装置によれば、電気絶縁性の撥水材料で撥水処理されている部分に対する接触角が80°以下の液滴を用い、ノズルからインクを吐出する際に、前記撥水材料で撥水処理されていない部分が、液滴が持つ電荷とは逆極性の電位を持つように、前記撥水材料で撥水処理されていない部分、すなわち相対的に導電性を有する部分に印可して印字することから、浮遊しているインクミストを静電気力で引きつけることが可能となり、インクミストをノズルから離れた前記導電性を有する部分に引き付け、これによりノズル詰まりの発生しない画像形成装置を得ることができる。   Further, according to the image forming apparatus of this embodiment, when ejecting ink from a nozzle using a droplet having a contact angle of 80 ° or less with respect to a portion that is water repellent treated with an electrically insulating water repellent material, The portion that is not water-repellent treated with the water-repellent material, that is, the portion that is not water-repellent treated with the water-repellent material, that is, is relatively conductive so that the portion that is not water-repellent treated with the water-repellent material has a potential opposite to the electric charge of the droplet. Since printing is performed by applying to the portion having the ink, the floating ink mist can be attracted by electrostatic force, and the ink mist is attracted to the conductive portion away from the nozzle, thereby preventing nozzle clogging. An image forming apparatus can be obtained.

また、本実施形態の画像形成方法によれば、電気絶縁性の撥水材料で撥水処理されている部分に対する接触角が80°以下の液滴を用い、ノズルからインクを吐出する際に、前記撥水材料で撥水処理されていない部分が、液滴が持つ電荷とは逆極性の電位を持つように、前記撥水材料で撥水処理されていない部分、すなわち相対的に導電性を有する部分に印可して印字することから、浮遊しているインクミストを静電気力で引きつけることが可能となり、インクミストをノズルから離れた前記導電性を有する部分に引きつけ、ノズル詰まりの発生を防ぐことができる。   Further, according to the image forming method of this embodiment, when ejecting ink from a nozzle using a droplet having a contact angle of 80 ° or less with respect to a portion that is water repellent treated with an electrically insulating water repellent material, The portion that is not water-repellent treated with the water-repellent material, that is, the portion that is not water-repellent treated with the water-repellent material, that is, is relatively conductive so that the portion that is not water-repellent treated with the water-repellent material has a potential opposite to the electric charge of the droplet. By printing on the part that has it, it becomes possible to attract the floating ink mist with electrostatic force, attract the ink mist to the conductive part away from the nozzle, and prevent nozzle clogging. Can do.

さらに本実施形態における液滴吐出装置の製造方法によれば、導電性のノズルプレート材料を用い、そこに電気絶縁性の撥水材料で撥水処理することから、電位差がつきやすく、また、上述のノズルプレートを接地もしくは電圧印加する場合も、電気力線が強くなり、インクミストを引きつける力が強化され、ノズルから離れた部分にインクミストを引きつけてノズル詰まりの解消された液滴吐出装置を製造するのに有効である。   Furthermore, according to the manufacturing method of the droplet discharge device in the present embodiment, the conductive nozzle plate material is used, and the water-repellent treatment is performed with the electrically insulating water-repellent material. When the nozzle plate is grounded or a voltage is applied, the lines of electric force are strengthened, the force to attract ink mist is strengthened, and the ink mist is attracted to the part away from the nozzle to eliminate nozzle clogging. It is effective to manufacture.

以下、本実施形態の液滴吐出装置、画像形成装置、画像形成方法および液滴吐出装置の製造方法を、実施例によりさらに具体的に説明する。ただし、以下に述べる実施例により本実施形態が限定されて解釈されるものではない。   Hereinafter, the droplet discharge device, the image forming apparatus, the image forming method, and the method for manufacturing the droplet discharge device of the present embodiment will be described more specifically with reference to examples. However, the present embodiment is not construed as being limited by the examples described below.

[実施例1]
・ノズルプレートの作製
インク流路を形成するSiの高剛性部材31に接着剤32を塗布し、ポリイミドフィルム(宇部興産社製ユーピレックス;厚さ25μm)33を貼り合わせた。さらにポリイミドフィルム上に、図7(a)の51に示す様なマスクを形成し、真空チャンバ中でSiをスパッタした後、O2イオン処理を行ってSiO2層34を形成した。その後フッ素系撥水処理剤(ダイキン製;オプツールDSX)を蒸着して撥水処理部分35を形成し、真空チャンバから取り出し撥水処理を完了した(図7(b))。
[Example 1]
-Preparation of nozzle plate An adhesive 32 was applied to a Si high-rigidity member 31 forming an ink flow path, and a polyimide film (Upylex manufactured by Ube Industries, Ltd .; thickness: 25 μm) 33 was bonded thereto. Further, a mask as shown by 51 in FIG. 7A was formed on the polyimide film, and Si was sputtered in a vacuum chamber, followed by O 2 ion treatment to form a SiO 2 layer 34. Thereafter, a fluorine-based water repellent treatment agent (manufactured by Daikin; Optool DSX) was deposited to form a water repellent treatment portion 35, which was taken out of the vacuum chamber to complete the water repellent treatment (FIG. 7B).

この真空チャンバ内で、高剛性部材31をスパッタし、高剛性部材31表面にO2イオンを照射してSiO2薄膜34を形成し、このSiO2薄膜34上への撥水層35の蒸着は、いずれも図9に示すような成膜装置を用いて行った。図中の302〜304は、ドラム301の周囲に配置された各ステーションである。 In this vacuum chamber, the rigid member 31 by sputtering, by irradiating O 2 ions in the high-rigidity member 31 surface to form a SiO 2 thin film 34, deposition of the water-repellent layer 35 onto the SiO 2 film 34 These were performed using a film forming apparatus as shown in FIG. Reference numerals 302 to 304 in the figure denote stations arranged around the drum 301.

次に、撥水処理した面と反対の面から、エキシマレーザによりノズル加工を行ってノズル孔を形成した(図7(c))。マスク51を除去して、部分的に撥水処理されていない非撥水処理部分を残したノズルプレートを作製した(図7(d))。   Next, nozzle processing was performed from the surface opposite to the water repellent treated surface by excimer laser to form nozzle holes (FIG. 7C). The mask 51 was removed, and a nozzle plate was produced leaving a non-water-repellent part that was not partly water-repellent (FIG. 7D).

このノズルプレートを用いて図1に示すように記録ヘッドを組み上げ、IPSiO G−707(リコー製インクジェット記録装置)用のヘッドを作製した。   Using this nozzle plate, a recording head was assembled as shown in FIG. 1, and a head for IPSiO G-707 (Ricoh inkjet recording apparatus) was produced.

作製したヘッドを用い、IPSiO G−707に装着し、ノズルプレートに正の電荷を印加してプリントテストを実施した。
実施したプリントテストは、A4サイズの記録紙に対して全吐出口からインクを吐出させるベタ印字を連続で行い、インクミストから生成したインク滴がノズル内に引き込まれて不吐出が発生するかを観察した。なお、不吐出の観察は、ベタ印字の白スジ(不吐出)を目視確認することで行った。
Using the produced head, it was mounted on IPSiO G-707, and a positive charge was applied to the nozzle plate to perform a print test.
In the implemented print test, solid printing that continuously ejects ink from all ejection ports on A4 size recording paper is continuously performed, and whether ink droplets generated from ink mist are drawn into the nozzles and non-ejection occurs. Observed. The non-ejection was observed by visually confirming white lines (non-ejection) of solid printing.

[実施例2]
実施例1のプリントテストにおいて、ノズルプレートに負に印加した状態で同様に印字テストを行い、白筋の発生を評価した。なお、この印字評価はインクミストを過剰に発生させる条件で行った。
[Example 2]
In the print test of Example 1, a print test was performed in the same manner with negative application to the nozzle plate, and the occurrence of white streaks was evaluated. This print evaluation was performed under the condition that excessive ink mist was generated.

本実施例2では20枚目にノズル近傍にミストが付着してインクが不吐出となり、白筋が若干観察されたが、通常の5%Dutyのプリントにおいては、インク不吐出が発生する前に自動クリーニングによってノズル面がワイピングされるため、連続印字において白筋は発生しないことが確認された。   In this embodiment, mist adheres to the vicinity of the nozzle on the 20th sheet and ink is not ejected, and some white streaks are observed. However, in normal 5% duty printing, before ink non-ejection occurs. Since the nozzle surface was wiped by automatic cleaning, it was confirmed that white streaks do not occur in continuous printing.

また、実施例1と比較して、ノズル近傍にミストが付着しやすかったのは、本実験で用いたインクミストは負電荷を帯びていたため、ノズルプレートの撥水処理部分と非撥水処理部分との電位差において、撥水処理されているノズル近傍は相対的に正電荷であったため、インクミストが静電的に引き寄せられやすかったものと考えられる。
また、付着したミストは成長して大きくなると同時に撥水処理面を移動しやすくなり、より親水性である非撥水処理部分に徐々に移動するため、即座にノズルのエッジにかかることはなかった。
In addition, compared with Example 1, the mist was likely to adhere to the vicinity of the nozzle because the ink mist used in this experiment was negatively charged, so that the water repellent portion and the non-water repellent portion of the nozzle plate Therefore, it is considered that the ink mist was easily attracted electrostatically because the vicinity of the water repellent treated nozzle was relatively positively charged.
In addition, the attached mist grows and grows, and at the same time, it becomes easy to move on the water-repellent surface and gradually moves to the more hydrophilic non-water-repellent surface, so it does not immediately hit the nozzle edge. .

[実施例3]
実施例1のプリントテストにおいて、ノズルプレートを接地した状態で同様に印字テストを行い、白筋の発生を評価した。
[Example 3]
In the print test of Example 1, a print test was similarly performed with the nozzle plate grounded, and the occurrence of white streaks was evaluated.

[比較例1]
実施例1のプリントテストにおいて、ノズルプレートを電気的に絶縁した状態で同様に印字テストを行い、白筋の発生を評価した。
[Comparative Example 1]
In the print test of Example 1, a print test was similarly performed with the nozzle plate electrically insulated, and the occurrence of white streaks was evaluated.

[比較例2]
実施例1のノズルプレートの作製において、撥水処理時にマスクをせず、全面に均一に撥水処理したノズルを用い、同様にノズル加工してヘッドを作製した。
そのヘッドを用いて実施例1と同様に印字テストを行い、白筋の発生を評価した。
[Comparative Example 2]
In the production of the nozzle plate of Example 1, a mask was not used at the time of water repellent treatment, and a nozzle that was uniformly water repellent treated was used on the entire surface, and the nozzle was processed in the same manner to produce a head.
Using the head, a print test was performed in the same manner as in Example 1 to evaluate the occurrence of white streaks.

[比較例3]
実施例1のノズルプレートの作製において、撥水処理時にマスクをせず、全面に均一に撥水処理したノズルを用い、同様にノズル加工してヘッドを作製した。
このヘッドを用いてノズルプレートを電気的に絶縁した状態で実施例1と同様に印字テストを行い、白筋の発生を評価した。
[Comparative Example 3]
In the production of the nozzle plate of Example 1, a mask was not used at the time of water repellent treatment, and a nozzle that was uniformly water repellent treated was used on the entire surface, and the nozzle was processed in the same manner to produce a head.
A print test was conducted in the same manner as in Example 1 with the nozzle plate electrically insulated using this head, and the occurrence of white streaks was evaluated.

[実施例4]
実施例1のノズルプレートの作製において、撥水処理時にマスク51を形成せず、全面に均一に撥水処理を行い、ノズル加工後、撥水処理面側からエキシマレーザを照射し、表面の撥水処理剤を除去して、同様に非撥水処理部分としたノズルプレートを作製した。
このノズルプレートを用い実施例1と同様にヘッドを組み上げ、印字テストを行って白筋の発生を評価した。
[Example 4]
In the production of the nozzle plate of Example 1, the mask 51 is not formed at the time of the water repellent treatment, the water repellent treatment is uniformly performed on the entire surface, and after the nozzle processing, the excimer laser is irradiated from the water repellent treatment surface side to repel the surface. The water treatment agent was removed, and a nozzle plate having a non-water repellent treatment portion was produced.
Using this nozzle plate, a head was assembled in the same manner as in Example 1, and a print test was performed to evaluate the occurrence of white stripes.

上記の実施例1〜4および比較例1〜3における評価結果を表1に示す。   Table 1 shows the evaluation results in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 to 3.

Figure 0004838056
Figure 0004838056

本実施形態の液滴吐出装置の一例を示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows an example of the droplet discharge apparatus of this embodiment. 本実施形態の液滴吐出装置のヘッド部分の液室長手方向に沿う断面説明図である。It is a cross-sectional explanatory drawing along the liquid chamber longitudinal direction of the head part of the droplet discharge device of this embodiment. 本実施形態の液滴吐出装置のヘッド部分の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the head part of the droplet discharge apparatus of this embodiment. 本実施形態の液滴吐出装置のヘッド部分の液室短手方向に沿うバイピッチ構造の断面説明図である。FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view of a bi-pitch structure along the liquid chamber short direction of the head portion of the droplet discharge device of the present embodiment. 本実施形態の液滴吐出装置のヘッド部分の液室短手方向に沿うノーマルピッチ構造の断面説明図である。FIG. 4 is a cross-sectional explanatory diagram of a normal pitch structure along the lateral direction of the liquid chamber of the head portion of the droplet discharge device of the present embodiment. 本実施形態の液滴吐出装置のノズル板の拡大断面説明図である。It is an expanded sectional explanatory view of the nozzle plate of the droplet discharge device of this embodiment. 本実施形態のノズルプレートの製造工程の一例を示す工程図である。It is process drawing which shows an example of the manufacturing process of the nozzle plate of this embodiment. 本実施形態におけるインク液飛まつのノズルへの再帰を阻止した効果を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the effect which prevented the recursion to the nozzle of the ink liquid splash in this embodiment. 実施例で用いたSiO2膜と撥水膜の成膜装置の構成図である。It is a configuration diagram of a film forming apparatus of the SiO 2 film and the water-repellent film used in Examples.

符号の説明Explanation of symbols

1 流路板
2 振動板
3 ノズル板又はノズルプレート
4 ノズル
6 加圧液室
12 圧電素子
30 ノズル形成部材
31 流路板部材
32 接着剤
33 ノズルプレート部材
34 結合層(SiO2薄膜)
35 撥水層
40 撥水処理層
51 マスク
301 ドラム
302 Siスパッタ
303 O2イオンガス
304 オプツールDSX(ダイキン工業株式会社製のフッ素系樹脂)の蒸着
1 flow-path plate 2 diaphragm 3 the nozzle plate or the nozzle plate 4 nozzles 6 pressurized liquid chamber 12 piezoelectric element 30 nozzle member 31 flow-path plate member 32 adhesive 33 nozzle plate member 34 coupled layer (SiO 2 film)
35 Water repellent layer 40 Water repellent treatment layer 51 Mask 301 Drum 302 Si sputter 303 O 2 ion gas 304 Vapor deposition of OPTOOL DSX (fluorine resin manufactured by Daikin Industries, Ltd.)

Claims (3)

液滴を吐出する吐出口であるノズルが配列された吐出口部材のノズルプレートを有する液滴吐出装置であって、
前記ノズルプレートのノズル面は、
前記ノズルが配列された領域を含み、電気絶縁性の撥水材料で撥水処理されている撥水処理部と、
前記ノズルが配列された領域と前記ノズルプレート周縁部との間の領域に形成され、前記撥水材料で撥水処理されていない非撥水処理部と、を備え、
前記ノズルが配列された領域は、隣接するノズル間に亘って前記撥水材料で撥水処理され、
前記非撥水処理部は接地され、該接地により前記撥水処理部と電位差を持つように構成されたことを特徴とする液滴吐出装置。
A droplet discharge device having a nozzle plate of a discharge port member in which nozzles that are discharge ports for discharging droplets are arranged,
The nozzle surface of the nozzle plate is
A water repellent treatment portion including a region in which the nozzles are arranged and being water repellent treated with an electrically insulating water repellent material;
A non-water-repellent treatment part that is formed in a region between the nozzle array region and the peripheral edge of the nozzle plate and is not water-repellent with the water-repellent material,
The area where the nozzles are arranged is water-repellent with the water-repellent material between adjacent nozzles,
The non-water-repellent treatment part is grounded and configured to have a potential difference from the water-repellent treatment part by the grounding .
前記非撥水処理部が、前記ノズルの配列された領域から離間した該領域の両側に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。   2. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the non-water-repellent treatment part is provided on both sides of the region spaced from the region where the nozzles are arranged. 3. 請求項1または2に記載の液滴吐出装置を搭載した画像形成装置。 Image forming apparatus equipped with the liquid droplet ejection apparatus according to claim 1 or 2.
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