JP4821935B1

JP4821935B1 - Manufacturing method of metal parts

Info

Publication number: JP4821935B1
Application number: JP2011143607A
Authority: JP
Inventors: 仁吉田; 秀和吉岡; 宜暁鈴村; 次郎小山
Original assignee: Omron Corp
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2011-06-28
Filing date: 2011-06-28
Publication date: 2011-11-24
Anticipated expiration: 2031-03-15
Also published as: JP2012194519A

Abstract

【課題】表面に凹凸形状を有する金属部品を製造する方法を提供する。
【解決手段】
電鋳用の電極板１０１の表面にレジスト膜１０２を形成する。ついで、縁の少なくとも一部に微細な凹凸１１５が描かれたマスクパターンを有するフォトマスク１０４をレジスト膜１０２の上に重ね、フォトマスク１０４を通してレジスト膜１０２に露光する。ついで、記レジスト膜１０２を現像してレジスト膜１０２にキャビティ１０６をあける。このキャビティ１０６内に電鋳法によって電鋳材料を堆積させ金属部品１０９を製造する。
【選択図】図２１A method of manufacturing a metal part having a concavo-convex shape on a surface is provided.
[Solution]
A resist film 102 is formed on the surface of the electrode plate 101 for electroforming. Next, a photomask 104 having a mask pattern in which fine unevenness 115 is drawn on at least a part of the edge is overlaid on the resist film 102, and the resist film 102 is exposed through the photomask 104. Next, the resist film 102 is developed to open a cavity 106 in the resist film 102. A metal component 109 is manufactured by depositing an electroforming material in the cavity 106 by electroforming.
[Selection] Figure 21

Description

本発明は金属部品の製造方法に関する。すなわち、金属部品の製造方法と、当該製造方法を用いて作製された金属部品、コンタクト及びコネクタに関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a metal part. That is, the present invention relates to a metal part manufacturing method, and a metal part, a contact, and a connector manufactured using the manufacturing method.

特許文献１には、図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すような構造のコネクタが開示されている。このコネクタ１１のハウジング１２内には、２種類のコンタクト（接続端子）が組み込まれる。図２に一方のコンタクト２１を示す。このコンタクト２１は、固定片２２と可動片２３がほぼ平行となっており、固定片２２と可動片２３とが両片２２、２３に垂直な連結部２４により連結されている。可動片２３の前端部下面には可動接点部２５が設けられ、可動片２３の後端部がコネクタ１１のカム部１４により作用を受ける操作受け部２６となっている。また、固定片２２の後部に形成された嵌合部２７のうち連結部２４に近い位置の上面には抜止め部２８が突出し、固定片２２の前端部下面には固定用脚部２９が突出している。 Patent Document 1 discloses a connector having a structure as shown in FIGS. 1 (A) and 1 (B). Two types of contacts (connection terminals) are incorporated in the housing 12 of the connector 11. FIG. 2 shows one contact 21. In this contact 21, the fixed piece 22 and the movable piece 23 are substantially parallel, and the fixed piece 22 and the movable piece 23 are connected to each other by a connecting portion 24 perpendicular to both pieces 22 and 23. A movable contact portion 25 is provided on the lower surface of the front end portion of the movable piece 23, and the rear end portion of the movable piece 23 is an operation receiving portion 26 that is acted on by the cam portion 14 of the connector 11. In addition, the retaining portion 28 protrudes from the upper surface of the fitting portion 27 formed at the rear portion of the fixed piece 22 at a position close to the connecting portion 24, and the fixing leg portion 29 protrudes from the lower surface of the front end portion of the fixed piece 22. ing.

コンタクト２１は、図１（Ａ）に示すように、ハウジング１２の挿入孔１５内に前方から挿入され、固定用脚部２９の背面がハウジング１２のベース１２ａ前端に当たって止まる。嵌合部２７はハウジング１２のベース１２ａと押え部１２ｂの間に圧入され、抜止め部２８を押え部１２ｂの下面に嵌合させることによって嵌合部２７の下面をベース１２ａに圧接させ、抜け止めされる。また、コンタクト２１の操作受け部２６と嵌合部２７との間には、カム部１４が入り込んでいる。このカム部１４は、操作レバー１３で回転操作される。 As shown in FIG. 1A, the contact 21 is inserted into the insertion hole 15 of the housing 12 from the front, and the back surface of the fixing leg 29 hits the front end of the base 12 a of the housing 12 and stops. The fitting portion 27 is press-fitted between the base 12a and the holding portion 12b of the housing 12, and the lower surface of the fitting portion 27 is pressed against the base 12a by fitting the retaining portion 28 to the lower surface of the holding portion 12b. Stopped. Further, the cam portion 14 is inserted between the operation receiving portion 26 and the fitting portion 27 of the contact 21. The cam portion 14 is rotated by the operation lever 13.

そして、コネクタ１１にフレキシブルプリント基板１６を接続するときには、図１（Ｂ）に示すように、連結部２４よりも前方において固定片２２と可動片２３の間にフレキシブルプリント基板１６を挿入する。ついで、操作レバー１３を倒してカム部１４を回転させ、カム部１４で操作受け部２６を押し上げる。操作受け部２６を押し上げると、可動接点部２５が下がってフレキシブルプリント基板１６の上面に圧接される。フレキシブルプリント基板１６は、こうして撓んだ状態で可動接点部２５と固定片２２との間に噛み込まれて保持される。また、可動接点部２５がフレキシブルプリント基板１６の電極パッドに圧接することで、コネクタ１１とフレキシブルプリント基板１６が電気的に接続される。 When the flexible printed board 16 is connected to the connector 11, the flexible printed board 16 is inserted between the fixed piece 22 and the movable piece 23 in front of the connecting portion 24 as shown in FIG. Next, the operation lever 13 is tilted to rotate the cam portion 14, and the operation receiving portion 26 is pushed up by the cam portion 14. When the operation receiving portion 26 is pushed up, the movable contact portion 25 is lowered and pressed against the upper surface of the flexible printed circuit board 16. The flexible printed circuit board 16 is held between the movable contact portion 25 and the fixed piece 22 while being bent. In addition, the movable contact portion 25 is in pressure contact with the electrode pad of the flexible printed circuit board 16 so that the connector 11 and the flexible printed circuit board 16 are electrically connected.

しかし、コネクタ１１は用途によっては振動を受ける場合がある。また、コンタクト２１は掴んでいるフレキシブルプリント基板１６によって引っ張り力を受ける場合もある。そのため、このようなコネクタ１１においては、コンタクト２１がハウジングから抜けて徐々に緩んでくるおそれを払拭することができない。 However, the connector 11 may be subject to vibration depending on the application. Further, the contact 21 may be subjected to a tensile force by the flexible printed circuit board 16 being held. Therefore, in such a connector 11, the possibility that the contacts 21 come out of the housing and gradually loosen cannot be wiped out.

また、このコンタクト２１は、可動接点部２５をフレキシブルプリント基板１６の電極パッドに圧接させるだけでフレキシブルプリント基板１６と電気的に接続しているので、可動接点部２５と電極パッドとの電気的な接触を安定させることが要求される。 Further, since the contact 21 is electrically connected to the flexible printed circuit board 16 simply by pressing the movable contact section 25 to the electrode pad of the flexible printed circuit board 16, the electrical contact between the movable contact section 25 and the electrode pad is achieved. It is required to stabilize the contact.

特開２０１０−８６８７８号公報JP 2010-86878 A

本発明の目的とするところは、表面に凹凸形状を有する金属部品の製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a metal part having an uneven shape on the surface.

本発明に係る金属部品の第１の製造方法は、電極板の表面にレジスト膜を形成する工程と、縁の少なくとも一部に微細な凹凸が描かれたマスクパターンを有するフォトマスクを用いて前記レジスト膜に露光する工程と、前記レジスト膜を現像して前記レジスト膜に成形用開口をあける工程と、前記成形用開口内に電鋳法によって電鋳材料を堆積させて賦形する工程とを有している。ここでいう縁とは、内周側の縁であってもよく、外周側の縁であってもよい。本発明の第１の製造方法によれば、フォトマスクに形成されたマスクパターンの凹凸によって金属部品の表面に凹凸形状を作製することができる。また、フォトマスクに任意の形状をデザインすることによって金属部品に所望の凹凸パターンを形成することができる。 A first manufacturing method of a metal part according to the present invention is a method of forming a resist film on the surface of an electrode plate, and using a photomask having a mask pattern in which fine irregularities are drawn on at least a part of an edge. A step of exposing the resist film, a step of developing the resist film to open a molding opening in the resist film, and a step of depositing an electroformed material by electroforming in the molding opening and shaping. Have. The edge here may be an inner peripheral edge or an outer peripheral edge. According to the first manufacturing method of the present invention, it is possible to produce a concavo-convex shape on the surface of a metal part by the concavo-convex of the mask pattern formed on the photomask. Moreover, a desired uneven | corrugated pattern can be formed in a metal component by designing arbitrary shapes in a photomask.

本発明に係る金属部品の第２の製造方法は、電極板の表面にレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜とフォトマスクとの間に微粒子群を分布させた状態で、前記レジスト膜に露光する工程と、前記レジスト膜を現像して前記レジスト膜に成形用開口をあける工程と、前記成形用開口内に電鋳法によって電鋳材料を堆積させて賦形する工程とを有している。本発明の第２の製造方法によれば、高価なフォトマスクを用いないで金属部品に凹凸形状を作製することができ、金属部品の製造コストを安価にできる。 A second method for manufacturing a metal component according to the present invention includes a step of forming a resist film on a surface of an electrode plate, and a state in which fine particles are distributed between the resist film and a photomask. The step of exposing, the step of developing the resist film to open a molding opening in the resist film, and the step of depositing an electroformed material by electroforming in the molding opening and shaping. Yes. According to the second manufacturing method of the present invention, it is possible to produce a concavo-convex shape on a metal part without using an expensive photomask, and the manufacturing cost of the metal part can be reduced.

本発明に係る金属部品の第３の製造方法は、表層部に微粒子層を有するドライフィルムレジストを用いてレジスト膜を電極板の表面に配設する工程と、前記レジスト膜に露光及び現像を行って前記レジスト膜に成形用開口をあける工程と、前記成形用開口内に電鋳法によって電鋳材料を堆積させて賦形する工程とを有している。ドライフィルムの表層部の微粒子層としては、ドライフィルムの製造工程及び流通工程において密着防止のためにドライフィルムレジストの表面に貼られている滑剤入りの保護フィルムを用いることができる。本発明の第３の製造方法によれば、高価なフォトマスクを用いないで金属部品に凹凸形状を作製することができ、またドライフィルムレジストの保護フィルムを利用できるので、金属部品の製造コストを安価にできる。 A third manufacturing method of a metal part according to the present invention includes a step of disposing a resist film on the surface of an electrode plate using a dry film resist having a fine particle layer in a surface layer portion, and exposing and developing the resist film. A step of opening a molding opening in the resist film, and a step of depositing an electroforming material in the molding opening by an electroforming method and shaping. As the fine particle layer in the surface layer portion of the dry film, a protective film containing a lubricant pasted on the surface of the dry film resist for preventing adhesion in the dry film production process and the distribution process can be used. According to the third manufacturing method of the present invention, it is possible to produce a concavo-convex shape on a metal part without using an expensive photomask, and it is possible to use a protective film of a dry film resist. Can be cheap.

本発明に係る金属部品、特にコンタクトは、本発明に係る金属部品の第１−第３の製造方法により、凹条又は凸条の少なくとも一方からなる凹凸形状を表面に設けられたものである。係る金属部品又はコンタクトでは、電鋳法によって製造される金属部品の表面に、簡単な方法で微細な凹凸形状を付与することができる。 The metal part according to the present invention, particularly the contact, is provided with an uneven shape comprising at least one of a groove or a protrusion on the surface by the first to third manufacturing methods of the metal part according to the present invention. In such a metal part or contact, a fine uneven shape can be imparted to the surface of the metal part manufactured by electroforming by a simple method.

本発明に係るコネクタは、本発明に係るコンタクトをハウジング内に納めたことを特徴としている。係るコネクタによれば、コンタクトをハウジング内にしっかりと組み込むことができ、コンタクトがハウジングから抜けにくくなる。また、フレキシブルプリント基板などの電極パッドとの電気的接触の信頼性も向上する。 The connector according to the present invention is characterized in that the contact according to the present invention is housed in a housing. According to such a connector, the contact can be firmly incorporated in the housing, and the contact is difficult to be removed from the housing. In addition, the reliability of electrical contact with an electrode pad such as a flexible printed board is improved.

なお、本発明における前記課題を解決するための手段は、以上説明した構成要素を適宜組み合せた特徴を有するものであり、本発明はかかる構成要素の組合せによる多くのバリエーションを可能とするものである。 The means for solving the above-described problems in the present invention has a feature in which the above-described constituent elements are appropriately combined, and the present invention enables many variations by combining such constituent elements. .

図１（Ａ）及び図１（Ｂ）は、従来のコネクタを示す断面図である。1A and 1B are cross-sectional views showing a conventional connector. 図２は、図１のコネクタに用いられているコンタクトの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a contact used in the connector of FIG. 図３は、本発明の一実施形態によるコンタクトの、上下反転した状態の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a contact according to an embodiment of the present invention in an upside down state. 図４（Ａ）は、図３に示すコンタクトの接点部を示す拡大斜視図である。図４（Ｂ）は、図３に示すコンタクトの嵌合部を示す拡大斜視図である。FIG. 4A is an enlarged perspective view showing a contact portion of the contact shown in FIG. FIG. 4B is an enlarged perspective view showing a fitting portion of the contact shown in FIG. 図５（Ａ）は、図３のコンタクトを用いたコネクタの断面図である。図５（Ｂ）は、当該コネクタにフレキシブルプリント基板を接続した状態を示す断面図である。FIG. 5A is a cross-sectional view of a connector using the contact of FIG. FIG. 5B is a cross-sectional view showing a state in which a flexible printed board is connected to the connector. 図６（Ａ）、図６（Ｂ）及び図６（Ｃ）は、凹凸形状を設ける種々の面を示す断面図である。FIGS. 6A, 6B, and 6C are cross-sectional views showing various surfaces provided with a concavo-convex shape. 図７（Ａ）、図７（Ｂ）及び図７（Ｃ）は、図３に示すコンタクトの作用説明図である。FIGS. 7A, 7B, and 7C are explanatory views of the operation of the contact shown in FIG. 図８は、プレスにより打ち抜かれた金属部品の断面を示す。FIG. 8 shows a cross section of a metal part punched out by pressing. 図９（Ａ）は、幅方向に沿って端から端まで連続的に延びた断面円弧状の凸条により構成された凹凸パターンを表した斜視図である。図９（Ｂ）は、図８の切断面を模式的に表した斜視図である。FIG. 9A is a perspective view showing a concavo-convex pattern configured by convex ridges having a circular arc section that continuously extends from end to end along the width direction. FIG. 9B is a perspective view schematically showing the cut surface of FIG. 図１０（Ａ）−図１０（Ｃ）は、円弧状断面の凹凸形状を有する金属部品を製造するための第１の製造方法を示す概略図である。FIG. 10A to FIG. 10C are schematic views showing a first manufacturing method for manufacturing a metal part having an uneven shape with an arcuate cross section. 図１１（Ａ）−図１１（Ｃ）は、円弧状断面の凹凸形状を有する金属部品を製造するための第１の製造方法を示す概略図であって、図１０（Ｃ）の続図である。11 (A) to 11 (C) are schematic views showing a first manufacturing method for manufacturing a metal part having an uneven shape with an arcuate cross section, and are a continuation of FIG. 10 (C). is there. 図１２（Ａ）−図１２（Ｄ）は、円弧状断面の凹凸形状を有する金属部品を製造するための第１の製造方法を示す概略図であって、図１１（Ｃ）の続図である。12 (A) to 12 (D) are schematic views showing a first manufacturing method for manufacturing a metal part having an uneven shape with an arcuate cross section, and are a continuation of FIG. 11 (C). is there. 図１３は、レジストの表面に分散させた微粒子を示す。FIG. 13 shows fine particles dispersed on the resist surface. 図１４は、金属部品の第１の製造方法により形成されたレジストの凹凸パターンを示す。FIG. 14 shows a concavo-convex pattern of a resist formed by the first manufacturing method of metal parts. 図１５は、微粒子の粒子径と金属部品に形成される凹凸形状のストライプ径との関係を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing the relationship between the particle diameter of fine particles and the uneven stripe diameter formed on the metal part. 図１６（Ａ）−図１６（Ｃ）は、円弧状断面の凹凸形状を有する金属部品を製造するための第２の製造方法を示す概略図である。FIGS. 16A to 16C are schematic views showing a second manufacturing method for manufacturing a metal part having an uneven shape with an arcuate cross section. 図１７（Ａ）及び図１７（Ｂ）は、円弧状断面の凹凸形状を有する金属部品を製造するための第２の製造方法を示す概略図であって、図１６（Ｃ）の続図である。17 (A) and 17 (B) are schematic views showing a second manufacturing method for manufacturing a metal part having an uneven shape with an arcuate cross section, and are a continuation of FIG. 16 (C). is there. 図１８（Ａ）−図１８（Ｃ）は、円弧状断面の凹凸形状を有する金属部品を製造するための第２の製造方法を示す概略図であって、図１７（Ｂ）の続図である。18 (A) to 18 (C) are schematic views showing a second manufacturing method for manufacturing a metal part having an uneven shape with an arcuate cross section, and are a continuation of FIG. 17 (B). is there. 図１９は、金属部品の第２の製造方法により形成されたレジストの凹凸パターンを示す。FIG. 19 shows a concavo-convex pattern of a resist formed by the second manufacturing method of metal parts. 図２０は、図１９のＸ部を拡大して示す。FIG. 20 is an enlarged view of a portion X in FIG. 図２１（Ａ）−図２１（Ｃ）は、円弧状断面の凹凸形状を有する金属部品を製造するための第３の製造方法を示す概略図である。FIGS. 21A to 21C are schematic views illustrating a third manufacturing method for manufacturing a metal part having an uneven shape with an arcuate cross section. 図２２（Ａ）−図２２（Ｄ）は、円弧状断面の凹凸形状を有する金属部品を製造するための第３の製造方法を示す概略図であって、図２１（Ｃ）の続図である。22 (A) to 22 (D) are schematic views showing a third manufacturing method for manufacturing a metal part having an uneven shape with an arcuate cross section, and are a continuation of FIG. 21 (C). is there. 図２３は、本発明に係る別なコネクタを示す外観斜視図である。FIG. 23 is an external perspective view showing another connector according to the present invention. 図２４は、図２３のコネクタの断面図である。24 is a cross-sectional view of the connector of FIG. 図２５は、図２３のコネクタとバッテリーとの接続状態を示す図であり、図２５（Ａ）は接続前の状態の断面図、図２５（Ｂ）は接続後の状態の断面図である。FIG. 25 is a diagram showing a connection state between the connector and the battery of FIG. 23, FIG. 25A is a cross-sectional view of the state before connection, and FIG. 25B is a cross-sectional view of the state after connection.

以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。但し、本発明は以下の実施形態に限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々設計変更することができる。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the following embodiments, and various design changes can be made without departing from the gist of the present invention.

（コンタクトの構造）
図３は、本発明の一実施形態によるコンタクト３１の斜視図であって、上下を反転させた状態で表している。このコンタクト３１は、電鋳法によって作製される微小な接続端子である。図４（Ａ）及び図４（Ｂ）は、コンタクト３１の一部を拡大した図である。また、図５（Ａ）は当該コンタクト３１を組み込んだコネクタ５１の断面図、図５（Ｂ）はフレキシブルプリント基板４６を接続されたコネクタ５１の断面図である。 (Contact structure)
FIG. 3 is a perspective view of the contact 31 according to an embodiment of the present invention, and is shown in an upside down state. The contact 31 is a minute connection terminal manufactured by an electroforming method. 4A and 4B are enlarged views of a part of the contact 31. FIG. 5A is a sectional view of the connector 51 incorporating the contact 31, and FIG. 5B is a sectional view of the connector 51 to which the flexible printed circuit board 46 is connected.

コンタクト３１は、固定片３２と可動片３３がほぼ平行となっており、固定片３２と可動片３３とが両片３２、３３にほぼ垂直な連結部３４により一体に連結されている。可動片３３の前端部下面には三角形状をした可動接点部３５が突出し、可動片３３の後端部はコネクタ５１のカム部より作用を受ける操作受け部３６となっている。また、固定片３２の前端部は、コンタクト３１をハウジング５２の挿入孔に納めたときに、ハウジングと嵌合する嵌合部３７となっている。また、嵌合部３７の上面からは突起部３８が突出している。固定片３２の後端部下面には固定用脚部３９が突出している。 In the contact 31, the fixed piece 32 and the movable piece 33 are substantially parallel, and the fixed piece 32 and the movable piece 33 are integrally connected by a connecting portion 34 that is substantially perpendicular to the two pieces 32 and 33. A movable contact portion 35 having a triangular shape protrudes from the lower surface of the front end portion of the movable piece 33, and the rear end portion of the movable piece 33 is an operation receiving portion 36 that receives an action from the cam portion of the connector 51. Further, the front end portion of the fixed piece 32 is a fitting portion 37 that fits into the housing when the contact 31 is placed in the insertion hole of the housing 52. Further, a protruding portion 38 protrudes from the upper surface of the fitting portion 37. A fixing leg 39 projects from the lower surface of the rear end of the fixing piece 32.

可動接点部３５のうちフレキシブルプリント基板の電極パッドに圧接する接触面、すなわち可動接点部３５の下面に位置する接点接触面３５ａには、図４（Ａ）に示すように、可動接点部３５の押圧方向Ｐとワイピング方向Ｗに垂直な方向に沿って延びた複数本の凸条４１ａ又は凹条４１ｂからなる凹凸形状４１が形成されている。この凹凸形状４１は、一般的にはコンタクト３１の幅方向に沿って一端から他端まで連続して延びた複数本の凸条又は凹条となる。 As shown in FIG. 4A, a contact surface of the movable contact portion 35 that is in pressure contact with the electrode pad of the flexible printed circuit board, that is, a contact contact surface 35a located on the lower surface of the movable contact portion 35, A concavo-convex shape 41 including a plurality of ridges 41a or ridges 41b extending in a direction perpendicular to the pressing direction P and the wiping direction W is formed. The uneven shape 41 is generally a plurality of ridges or grooves extending continuously from one end to the other end along the width direction of the contact 31.

また、嵌合部３７のハウジングと接する面、すなわち下面に位置する圧接面３７ａには、図４（Ｂ）に示すように、嵌合部３７の圧入方向Ｓに垂直な方向に延びた複数本の凸条４２ａ又は凹条４２ｂからなる凹凸形状４２が形成されている。この凹凸形状４２も、一般的にはコンタクト３１の幅方向に沿って一端から他端まで連続して延びた複数本の凸条又は凹条となる。なお、凹凸形状は、コンタクトの形状をなすようなものではなく、微小なコンタクトと比べても微小なサイズのものである。 Further, the surface of the fitting portion 37 that contacts the housing, that is, the press-contact surface 37a located on the lower surface, has a plurality of pieces extending in a direction perpendicular to the press-fitting direction S of the fitting portion 37 as shown in FIG. The concavo-convex shape 42 is formed of the ridge 42a or the ridge 42b. The uneven shape 42 is also generally a plurality of ridges or grooves extending continuously from one end to the other end along the width direction of the contact 31. Note that the uneven shape does not form the shape of a contact, and is a minute size compared to a minute contact.

（コネクタの構造）
図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すコネクタ５１は、コンタクト３１を組み込んだものである。このコネクタには、２種類のコンタクトがそれぞれ複数本組み込まれている。一方のコンタクトは、上記コンタクト３１である。他方のコンタクトは、図１に示したコンタクト２１において、図３のコンタクト３１と同様に、その可動接点部２５の接点接触面に凹凸形状４１を設け、またその嵌合部２７の圧接面に凹凸形状４２を設けたものである。 (Connector structure)
A connector 51 shown in FIGS. 5A and 5B incorporates a contact 31. This connector incorporates a plurality of two types of contacts. One contact is the contact 31. The contact 21 shown in FIG. 1 is provided with a concave / convex shape 41 on the contact surface of the movable contact portion 25 and the press contact surface of the fitting portion 27 in the contact 21 shown in FIG. A shape 42 is provided.

コネクタ５１は、両コンタクトに凹凸形状４１、４２を設けた点を除けば、特許文献１に開示されたコネクタとほぼ同様であってよい。したがって、コネクタ５１については、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）を参照して簡単に説明する（ここに記載していない点については特許文献１の記載を援用する。）。 The connector 51 may be substantially the same as the connector disclosed in Patent Document 1 except that the concave and convex shapes 41 and 42 are provided on both contacts. Therefore, the connector 51 will be briefly described with reference to FIGS. 5A and 5B (the description of Patent Document 1 is used for points not described here).

コンタクト３１は、図５（Ａ）に示すように、ハウジング５２の挿入孔５５内に後方から挿入され、固定用脚部３９の前面がハウジング５２のベース５２ａ後端に当たって止まる。嵌合部３７はハウジング５２内に圧入され、嵌合部３７の下面に設けられた圧接面３７ａ（凹凸形状４２）がベース５２ａの上面に圧接し、コンタクト３１が抜け止めされる。また、コンタクト３１の操作受け部３６と固定片３２の間には、カム部５４が入り込んでいる。このカム部５４は、操作レバー５３で回転操作される。 As shown in FIG. 5A, the contact 31 is inserted into the insertion hole 55 of the housing 52 from the rear, and the front surface of the fixing leg portion 39 comes into contact with the rear end of the base 52 a of the housing 52 and stops. The fitting portion 37 is press-fitted into the housing 52, and a pressure contact surface 37a (uneven shape 42) provided on the lower surface of the fitting portion 37 is in pressure contact with the upper surface of the base 52a, thereby preventing the contact 31 from coming off. A cam portion 54 is inserted between the operation receiving portion 36 of the contact 31 and the fixed piece 32. The cam portion 54 is rotated by the operation lever 53.

そして、コネクタ５１にフレキシブルプリント基板４６を接続するときには、図５（Ｂ）に示すように、連結部２４よりも前方において固定片２２と可動片２３の間にフレキシブルプリント基板４６を挿入する。ついで、操作レバー５３を倒してカム部５４を回転させ、カム部５４で操作受け部３６を押し上げる。操作受け部３６を押し上げると、可動接点部３５が下がってフレキシブルプリント基板４６の上面に圧接する。フレキシブルプリント基板４６は、こうして撓んだ状態で可動接点部３５と突起部３８との間に噛み込まれて保持される。また、可動接点部３５がフレキシブルプリント基板４６の電極パッドに圧接することで、コネクタ５１とフレキシブルプリント基板４６が電気的に接続される。 When the flexible printed board 46 is connected to the connector 51, the flexible printed board 46 is inserted between the fixed piece 22 and the movable piece 23 in front of the connecting portion 24, as shown in FIG. Next, the operation lever 53 is tilted to rotate the cam portion 54, and the operation receiving portion 36 is pushed up by the cam portion 54. When the operation receiving portion 36 is pushed up, the movable contact portion 35 is lowered and pressed against the upper surface of the flexible printed board 46. The flexible printed circuit board 46 is held between the movable contact portion 35 and the protrusion 38 while being bent in this manner. In addition, the movable contact portion 35 is in pressure contact with the electrode pad of the flexible printed circuit board 46, whereby the connector 51 and the flexible printed circuit board 46 are electrically connected.

なお、図３に示した接点接触面３５ａ（凹凸形状４１）の位置や圧接面３７ａ（凹凸形状４２）の位置は、一例であって、適宜変更されるものである。すなわち、コンタクト３１を組み込むコネクタなどの構造や種類によって可動接点部３５や接点接触面３５ａの位置が変化するので、凹凸形状４１の位置もそれに応じて変化する。また、ハウジングの形状やコンタクト３１のハウジングへの組込み方によってコンタクト３１の圧接面３７ａの位置も変化するので、凹凸形状４２の位置もそれに応じて変化する。したがって、凹凸形状４１、４２は、図６（Ａ）のように曲面の上に設けられる場合もあり、図６（Ｂ）のように平面の上に設けられる場合もあり、図６（Ｃ）のように盛り上がった平面の上に設けられる場合もある。 Note that the position of the contact contact surface 35a (uneven shape 41) and the position of the pressure contact surface 37a (uneven shape 42) shown in FIG. 3 are examples and may be changed as appropriate. That is, since the positions of the movable contact portion 35 and the contact contact surface 35a change depending on the structure and type of the connector or the like incorporating the contact 31, the position of the concavo-convex shape 41 also changes accordingly. Further, since the position of the pressure contact surface 37a of the contact 31 also changes depending on the shape of the housing and the manner in which the contact 31 is incorporated into the housing, the position of the uneven shape 42 also changes accordingly. Accordingly, the concave and convex shapes 41 and 42 may be provided on a curved surface as shown in FIG. 6A, or may be provided on a flat surface as shown in FIG. 6B. In some cases, it is provided on a raised plane.

また、上記コンタクト３１は、コネクタのほか、リレーやスイッチのターミナルなどに使用することもできるものである。 In addition to the connector, the contact 31 can be used for a terminal of a relay or a switch.

（コンタクトの作用効果）
つぎに、コンタクト３１に凹凸形状４１、４２を設けることによる効果を説明する。このコンタクト３１では、可動接点部３５の接触面に凹凸形状４１を形成しているので、可動接点部３５の接触圧が凸条４１ａの先端に集中し、可動接点部３５の接触圧が大きくなり、可動接点部３５の接触信頼性が向上する。また、可動接点部３５に凹凸形状４１を設けていると、フレキシブルプリント基板４６の電極パッド表面に生じている汚れや酸化膜が凸条４１ａによって破壊され、露出させた電極パッドの金属面に可動接点部３５を接触させることができ、可動接点部３５の接触信頼性が向上する。特に、図７（Ａ）に示すように、凹凸形状４１が可動接点部３５の押圧方向Ｐ及びワイピング方向Ｗに垂直な方向に延びている場合には、凸条４１ａが電極パッド６１に線状に当接して線状に当接している方向と直交する方向へワイピングされる。よって、線状に当接した凸条４１ａがそれと直交する方向へ移動して電極パッドの表面を面状にワイピングするので、電極パッドの表面の汚れや酸化膜を効率よく破壊することができ、可動接点部３５の接触信頼性をより一層向上させることができる。 (Contact effect)
Next, the effect of providing the uneven shapes 41 and 42 on the contact 31 will be described. In this contact 31, since the concave and convex shape 41 is formed on the contact surface of the movable contact portion 35, the contact pressure of the movable contact portion 35 is concentrated on the tip of the ridge 41a, and the contact pressure of the movable contact portion 35 is increased. The contact reliability of the movable contact portion 35 is improved. Further, when the concave / convex shape 41 is provided in the movable contact portion 35, dirt and oxide film generated on the electrode pad surface of the flexible printed circuit board 46 are destroyed by the ridges 41a and movable on the exposed metal surface of the electrode pad. The contact part 35 can be contacted, and the contact reliability of the movable contact part 35 is improved. In particular, as shown in FIG. 7A, when the concavo-convex shape 41 extends in a direction perpendicular to the pressing direction P of the movable contact portion 35 and the wiping direction W, the ridge 41a is linear to the electrode pad 61. Wiping is performed in a direction perpendicular to the direction of linear contact. Therefore, since the ridge 41a in linear contact moves in a direction orthogonal to the surface and wipes the surface of the electrode pad in a planar shape, it is possible to efficiently destroy the dirt and oxide film on the surface of the electrode pad, The contact reliability of the movable contact portion 35 can be further improved.

また、このコンタクト３１では、ハウジング５２と接している圧接面３７ａに、コンタクト３１の挿入方向と直交する方向に延びた凹凸形状４２を設けているので、圧接面３７ａとハウジング５２との接触面積を小さくできる。よって、圧接面３７ａ（あるいは凹凸形状４２）の接触圧を高めることできる。その結果、たとえば図７（Ｂ）に示すように、相手部材６２の挿入孔６３にコンタクト３１を圧入する場合、コンタクト３１とハウジング５２との間の摺動抵抗を大きくしてコンタクト３１の保持力を高めることができ、コンタクト３１が緩んでハウジング５２から抜けにくくなる。特に、振動やフレキシブルプリント基板４６からの引っ張り力によるコンタクト３１の緩みを低減させることができる。この効果を得るためには、図７（Ｂ）に示すように嵌合部３７の全面に凹凸形状４２を設ける必要はなく、図７（Ｃ）に示すように、嵌合部３７の一部の面だけに凹凸形状４２を設けていてもよい。 Further, in the contact 31, the press contact surface 37 a in contact with the housing 52 is provided with an uneven shape 42 extending in a direction orthogonal to the insertion direction of the contact 31, so that the contact area between the press contact surface 37 a and the housing 52 is reduced. Can be small. Therefore, the contact pressure of the pressure contact surface 37a (or the uneven shape 42) can be increased. As a result, for example, as shown in FIG. 7B, when the contact 31 is press-fitted into the insertion hole 63 of the mating member 62, the sliding resistance between the contact 31 and the housing 52 is increased to increase the holding force of the contact 31. The contact 31 is loosened and it is difficult to remove from the housing 52. In particular, loosening of the contact 31 due to vibration or a pulling force from the flexible printed circuit board 46 can be reduced. In order to obtain this effect, it is not necessary to provide the concavo-convex shape 42 on the entire surface of the fitting portion 37 as shown in FIG. 7B, and a part of the fitting portion 37 is shown in FIG. 7C. The concavo-convex shape 42 may be provided only on the surface.

（凹凸形状について）
つぎに、好ましい凹凸形状について説明する。コンタクトは、一般に、金属板を打ち抜くことによって作製されることが多い。プレスにより金属板から打ち抜いたときの断面の顕微鏡写真を図８に示す。金属板をプレスで打ち抜いたときの断面には、筋状の剪断面と組織が潰れたような破断面とが表れていて、剪断面の筋が破断面で途切れている。ここで、金属板の厚みをＤ１、剪断面の長さ（厚み）をＤ２とすると、一般的には、Ｄ２／Ｄ１の値が１／２以上１／３以下である。このようなプレスによる断面をコンタクトの接触面として使用した場合には、相手部材に接触したときにコンタクトが片当たりして傾く。また、相手部材との接触も不安定になる。そのため、プレスによる断面はコンタクトの接触面としては好ましくない。 (About uneven shape)
Next, a preferable uneven shape will be described. In general, the contact is often made by punching a metal plate. FIG. 8 shows a micrograph of a cross section when punched from a metal plate by pressing. In the cross section when the metal plate is punched with a press, a streak-like shear surface and a fracture surface where the structure is crushed appear, and the streaks of the shear surface are interrupted at the fracture surface. Here, assuming that the thickness of the metal plate is D1 and the length (thickness) of the shear plane is D2, generally, the value of D2 / D1 is 1/2 or more and 1/3 or less. When such a cross-section by pressing is used as the contact surface of the contact, the contact is inclined when it comes into contact with the mating member. Further, the contact with the counterpart member becomes unstable. Therefore, a cross section by pressing is not preferable as a contact surface of the contact.

そこで、種々の凹凸形状のうち望ましい凹凸形状を模索した結果、コンタクトの幅が２５０μｍ以下であって、幅方向の一端（一方側面）から他端（他方側面）まで連続した、表面が円弧状又は断面が半円状の凹凸形状が好ましいとの結論に達した。以下、その理由を説明する。 Therefore, as a result of searching for a desired uneven shape among various uneven shapes, the contact width is 250 μm or less, and the surface is arcuate or continuous from one end (one side surface) to the other end (other side surface) in the width direction. The conclusion was reached that an uneven shape with a semicircular cross section is preferred. The reason will be described below.

まず、図９（Ａ）に示すように、表面が円弧状（断面半円状）の凸条７１が端から端まで延びていて、それが平均ピッチｓで並んだ凹凸形状を有する接触面を考えた。これをモデルＭ１という。また、図９（Ｂ）に示すように、Ｖ溝状の凹条７２（あるいは、断面が台形状の凸条）が平均ピッチｓで並び、一方の端部では表面７３が平坦になった接触面を考えた。これをモデルＭ２という。モデルＭ２は、図８のようなプレスによる断面をモデル化したものである。また、図９（Ｃ）は、拙速面が平滑な場合である。これをモデルＭ３という。 First, as shown in FIG. 9 (A), a convex surface 71 having a circular arc surface (a semicircular cross section) is extended from end to end, and a contact surface having an uneven shape in which it is arranged at an average pitch s. Thought. This is called model M1. Further, as shown in FIG. 9 (B), V-groove-shaped ridges 72 (or ridges having a trapezoidal cross section) are arranged at an average pitch s, and the surface 73 is flat at one end. I thought about the surface. This is called model M2. The model M2 is obtained by modeling a cross section by pressing as shown in FIG. FIG. 9C shows a case where the speeding surface is smooth. This is called model M3.

ついで、これらのモデルＭ１−Ｍ３について、それぞれの接触圧を計算した。
図９（Ａ）のような円弧状の凹凸形状を有するモデルＭ１では、線接触のために接触圧が大きくなるので、ヘルツ（Hertz）理論（たとえば、NACHI-BUISINESS news, Vol.10D1, June 2006; 株式会社不二越開発本部開発企画部２００６年６月２０日発行）を用いて接触圧を計算した。
円弧状の凸条が１本であれば、凸条（円筒）と平面の接触時の面圧は次の数式１で表される。

ここで、Ｐm：接触圧
Ｆ：荷重（加圧力）
Ｅ：縦弾性係数
ｔ：板厚
Ｒ：凸条の表面の曲率半径
である。 Subsequently, each contact pressure was calculated about these models M1-M3.
In the model M1 having an arcuate uneven shape as shown in FIG. 9A, the contact pressure increases due to line contact, so the Hertz theory (for example, NACHI-BUISINESS news, Vol.10D1, June 2006). Contact pressure was calculated using Fujikoshi Co., Ltd. Development Division Development Planning Department, issued on June 20, 2006).
If there is one arc-shaped ridge, the surface pressure at the time of contact between the ridge (cylinder) and the plane is expressed by the following formula 1.

Where Pm: contact pressure
F: Load (pressure)
E: Longitudinal elastic modulus
t: thickness
R: The radius of curvature of the surface of the ridge.

しかし、モデルＭ１では、複数本の円弧状の凸条を考えているので、上記数式１は、次の数式２のように修正される。

ここで、Ｐm：接触圧
Ｆ：荷重
Ｅ：縦弾性係数
ｔ：板厚
Ｒ：凸条の表面の曲率半径
ｆ：凸条１本当たりにかかる力
ｎ：凸条の本数
Ｌ：接触幅
ｓ：凹凸の平均ピッチ
であって、ｆ＝Ｆ／ｎ、Ｌ＝ｎ×ｓである。 However, since the model M1 considers a plurality of arc-shaped ridges, the above formula 1 is corrected as the following formula 2.

Where Pm: contact pressure
F: Load
E: Longitudinal elastic modulus
t: thickness
R: radius of curvature of the surface of the ridge
f: Force applied per ridge
n: Number of ridges
L: Contact width
s: average pitch of the irregularities, f = F / n, L = n × s

つぎに、図９（Ｂ）のような台形の凸条を有するモデルＭ２では面接触となるので、単純に表面積で計算した。モデルＭ２では、Ｖ溝の面積割合は最大で１０％とし、剪断面の割合Ｄ２／Ｄ１は３０％とした。用いた計算式は、つぎの数式３である。

ここで、Ｐm：接触圧
Ｆ：荷重
ｔ：板厚
Ｌ：接触幅
である。 Next, in the model M2 having trapezoidal ridges as shown in FIG. 9B, the surface contact is made, so the calculation was simply made by the surface area. In the model M2, the area ratio of the V groove was 10% at the maximum, and the shear surface ratio D2 / D1 was 30%. The calculation formula used is the following formula 3.

Where Pm: contact pressure
F: Load
t: thickness
L: Contact width.

つぎに、図９（Ｃ）のように平らなモデルＭ３では、つぎの数式３で計算した。これは、モデルＭ２において、Ｖ溝の面積割合を０％とし、剪断面の割合を１００％とした場合にあたる。

ここで、Ｐm：接触圧
Ｆ：荷重
ｔ：板厚
Ｌ：接触幅
である。 Next, in the flat model M3 as shown in FIG. This corresponds to the case where the area ratio of the V groove is 0% and the shear plane ratio is 100% in the model M2.

Where Pm: contact pressure
F: Load
t: thickness
L: Contact width.

上記数式２−４を用いて、モデルＭ１−Ｍ３のそれぞれの接触圧Ｐを計算した。計算を行うにあたっては、各条件を統一した。条件１はつぎの通りである。
凹凸の平均ピッチｓ：０.１ｍｍ
荷重（加圧力）Ｆ：１００ｇｆ
接触幅Ｌ：０.０５ｍｍ
板厚ｔ：０.１ｍｍ
曲率半径Ｒ：０.００２ｍｍ
ヤング率とポアソン比については、コネクタ材料として最も多く用いられる「りん青銅」の値を使用した。
ヤング率Ｅ＝１.２×１０^５［Ｎ／mm^２]
ポアソン比＝０.３
この条件１は、大きな接触力を想定した条件である。この結果は次の表１の通りであった。

The contact pressure P of each of the models M1-M3 was calculated using Equation 2-4 above. In performing the calculation, the conditions were unified. Condition 1 is as follows.
Average pitch of irregularities s: 0.1 mm
Load (pressing force) F: 100 gf
Contact width L: 0.05 mm
Thickness t: 0.1mm
Curvature radius R: 0.002mm
For the Young's modulus and Poisson's ratio, the value of “phosphor bronze”, which is most frequently used as a connector material, was used.
Young's modulus E = 1.2 × 10 ⁵ [N / mm ² ]
Poisson's ratio = 0.3
This condition 1 is a condition that assumes a large contact force. The results are shown in Table 1 below.

また、小さな接触力を想定した条件２はつぎの通りである。
凹凸の平均ピッチｓ：０.００４ｍｍ
荷重（加圧力）Ｆ：１０ｇｆ
接触幅Ｌ：１０ｍｍ
板厚ｔ：０.２５ｍｍ
曲率半径Ｒ：０.０２５ｍｍ
ここでもヤング率とポアソン比については、コネクタ材料として最も多く用いられる「りん青銅」の上記値を使用した。
この結果は次の表２の通りであった。

Condition 2 assuming a small contact force is as follows.
Average pitch of irregularities s: 0.004 mm
Load (pressing force) F: 10 gf
Contact width L: 10mm
Thickness t: 0.25mm
Curvature radius R: 0.025mm
Here again, the Young's modulus and Poisson's ratio used the above values of “phosphor bronze”, which is most often used as a connector material.
The results are shown in Table 2 below.

上記表１、表２の結果から分かるように、接触圧が小さい場合でも接触圧が大きな場合でも（したがって、それらの中間でも）、円弧状の凸条を有するモデルＭ１が他のモデルに比べて非常に大きな接触圧を発生させることが分かる。 As can be seen from the results in Tables 1 and 2, the model M1 having the arc-shaped ridges is compared to the other models, regardless of whether the contact pressure is small or the contact pressure is large (and therefore between them). It can be seen that a very large contact pressure is generated.

別な計算でも、モデルＭ３の接触圧を１とした場合、ｓ＝８μｍのピッチでＶ溝を形成したモデルＭ２の接触圧はその３.７倍であった。また、半径０.３μｍの円弧状の凸条をｓ＝４.１μｍのピッチで設けたモデルＭ１の接触圧は、モデルＭ３の１８２倍であり、半径４μｍの円弧状の凸条をｓ＝８μｍのピッチで設けたモデルＭ１の接触圧は、モデルＭ３の７１倍であった。ヘルツの式によれば、円弧状の凸条によって構成された凹凸形状接触圧は、プレスにより形成された部品の接触圧よりも大きくなる。 In another calculation, when the contact pressure of the model M3 is 1, the contact pressure of the model M2 in which V grooves are formed at a pitch of s = 8 μm is 3.7 times that. The contact pressure of the model M1 in which arc-shaped ridges having a radius of 0.3 μm are provided at a pitch of s = 4.1 μm is 182 times that of the model M3, and the arc-shaped ridges having a radius of 4 μm are s = 8 μm. The contact pressure of the model M1 provided at the pitch of 71 was 71 times that of the model M3. According to Hertz's formula, the uneven contact pressure formed by the arcuate ridges is greater than the contact pressure of the part formed by pressing.

（金属部品の第１の製造方法）
以上述べたように、コンタクトの凹凸形状は２５０μｍ以下の幅の金属板に対して端から端まで連続的に形成された断面半円弧状の凸条を有するものが好ましい。このような凹凸形状を有するコンタクト、一般的にいえば金属板は、以下のようにして電鋳法で作製することができる。 (First manufacturing method of metal parts)
As described above, the uneven shape of the contact preferably has a semicircular arc-shaped section formed continuously from end to end on a metal plate having a width of 250 μm or less. A contact having such a concavo-convex shape, generally speaking, a metal plate can be produced by electroforming as follows.

電鋳法による金属部品の第１の製造方法を図１０（Ａ）−図１０（Ｃ）、図１１（Ａ）−図１１（Ｃ）及び図１２（Ａ）−図１２（Ｄ）に示す。ここで、図１０（Ａ）、図１０（Ｂ）、図１１（Ｂ）、図１１（Ｃ）、図１２（Ｂ）及び図１２（Ｃ）は断面図である。図１０（Ｃ）は図１０（Ｂ）の平面図である。図１１（Ａ）は図１１（Ｂ）に示すフォトマスクの下面図である。図１２（Ａ）は図１２（Ｂ）の平面図である。図１２（Ｄ）は金属部品の斜視図である。 A first method for producing a metal part by electroforming is shown in FIGS. 10 (A) to 10 (C), FIGS. 11 (A) to 11 (C) and FIGS. 12 (A) to 12 (D). . Here, FIGS. 10A, 10B, 11B, 11C, 12B, and 12C are cross-sectional views. FIG. 10C is a plan view of FIG. FIG. 11A is a bottom view of the photomask illustrated in FIG. FIG. 12A is a plan view of FIG. FIG. 12D is a perspective view of a metal part.

第１の製造方法では、まず図１０（Ａ）に示すように、電鋳用の電極板１０１の上面にネガ型レジストを塗布してレジスト膜１０２を形成する。電極板１０１は、導電性を有する基板であって、金属板、導電性物質からなる板、あるいは非導電性材料からなる板の表面に導電性物質をコーティングしたものである。ついで、図１０（Ｂ）及び図１０（Ｃ）に示すように、レジスト膜１０２の上面に微粒子１０３を適当な密度で分布させて微粒子層を形成する。微粒子１０３を分布させる領域は、レジスト膜１０２の上面の全体であってもよく、一部分であってもよい。また、微粒子としては、金属微粒子やセラミック微粒子のように光を遮蔽するものであってもよく、ガラス粒子のように光を散乱させる透明体であってもよい。微粒子層は、微粒子を含んだ透明なシートをレジスト膜１０２の上面に貼ってもよく、レジスト液に分散させた微粒子をレジスト膜１０２の上面に塗布してもよく、粉状の微粒子（粉体）をレジスト膜１０２の上面に散布してもよい。 In the first manufacturing method, first, as shown in FIG. 10A, a negative resist is applied to the upper surface of the electrode plate 101 for electroforming to form a resist film 102. The electrode plate 101 is a conductive substrate, and is formed by coating a conductive material on the surface of a metal plate, a plate made of a conductive material, or a plate made of a non-conductive material. Next, as shown in FIGS. 10B and 10C, fine particles 103 are distributed on the upper surface of the resist film 102 at an appropriate density to form a fine particle layer. The region in which the fine particles 103 are distributed may be the entire upper surface of the resist film 102 or a part thereof. The fine particles may be those that shield light such as metal fine particles and ceramic fine particles, and may be transparent materials that scatter light such as glass particles. For the fine particle layer, a transparent sheet containing fine particles may be attached to the upper surface of the resist film 102, fine particles dispersed in a resist solution may be applied to the upper surface of the resist film 102, and powdery fine particles (powder) ) May be dispersed on the upper surface of the resist film 102.

この後、図１１（Ｂ）に示すように、表面に微粒子層を形成されたレジスト膜１０２の上にフォトマスク１０４を重ねる。フォトマスク１０４の下面には、図１１（Ａ）に示すようなマスクパターン１０５（遮光領域）が形成されている。このマスクパターン１０５には周辺に微細な凹凸を設計しておく必要がないので、マスクコストを抑えることができる。図１１（Ｂ）のようにフォトマスク１０４を通してレジスト膜１０２に露光すると、マスクパターン１０５の設けられていない領域ではフォトマスク１０４を光が透過してレジスト膜１０２が露光される。同時に、フォトマスク１０４を透過した光は微粒子１０３によっても遮蔽されるので、図１１（Ａ）のようにマスクパターン１０５の縁が滑らかであっても、レジスト膜１０２の遮光領域の縁に凹凸が生じる。 After that, as shown in FIG. 11B, a photomask 104 is overlaid on the resist film 102 having a fine particle layer formed on the surface. A mask pattern 105 (light shielding region) as shown in FIG. 11A is formed on the lower surface of the photomask 104. Since it is not necessary to design fine irregularities around the mask pattern 105, the mask cost can be reduced. When the resist film 102 is exposed through the photomask 104 as shown in FIG. 11B, light passes through the photomask 104 in the region where the mask pattern 105 is not provided, and the resist film 102 is exposed. At the same time, the light transmitted through the photomask 104 is also blocked by the fine particles 103. Therefore, even if the edge of the mask pattern 105 is smooth as shown in FIG. Arise.

ネガ型レジストを用いた場合には、露光領域のレジストは不溶化される。図１１（Ｃ）では、不溶性のレジストは実線のハッチングで表し、可溶性のレジストは破線のハッチングで表している。よって、微粒子１０３を除去した後でレジスト膜１０２を現像すると、図１２（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、露光領域のレジスト膜１０２だけを残して遮光領域のレジスト膜１０２が除去され、レジスト膜１０２内にキャビティ１０６が開口される。このとき、微粒子１０３の影によってキャビティ１０６の壁面には、上下方向に延びた円弧状断面の凹凸パターン１０７ができる。 When a negative resist is used, the resist in the exposed area is insolubilized. In FIG. 11C, an insoluble resist is indicated by a solid line hatching, and a soluble resist is indicated by a broken line hatching. Therefore, when the resist film 102 is developed after the fine particles 103 are removed, as shown in FIGS. 12A and 12B, the resist film 102 in the light shielding region is removed leaving only the resist film 102 in the exposure region. A cavity 106 is opened in the resist film 102. At this time, an uneven pattern 107 having an arc-shaped cross section extending in the vertical direction is formed on the wall surface of the cavity 106 by the shadow of the fine particles 103.

この後、図１２（Ｃ）に示すように、電鋳法によりレジスト膜１０２のキャビティ１０６内に電鋳材料１０８を成長させて所定形状に成形する。用いる電鋳材料１０８は、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｓｎ、Ｚｎのいずれかを主成分とするものであって、これらの合金であってもよい。電鋳材料１０８が十分な厚みに成長したら、電鋳工程を完了する。 Thereafter, as shown in FIG. 12C, an electroforming material 108 is grown in the cavity 106 of the resist film 102 by electroforming, and is formed into a predetermined shape. The electroforming material 108 to be used is mainly composed of any one of Ni, Co, Fe, Cu, Mn, Sn, and Zn, and may be an alloy thereof. When the electroformed material 108 has grown to a sufficient thickness, the electroforming process is completed.

ついで、剥離液によってレジスト膜１０２を除去する。こうして、図１２（Ｄ）に示すような金属部品１０９が得られる。この金属部品１０９は、たとえばコンタクトであって、外周面の全体又は一部には金属部品１０９の幅方向に沿って端から端まで連続的に延びた凹凸形状４１、４２が形成されている。 Next, the resist film 102 is removed with a stripping solution. In this way, a metal part 109 as shown in FIG. 12D is obtained. The metal part 109 is, for example, a contact, and uneven shapes 41 and 42 extending continuously from end to end along the width direction of the metal part 109 are formed on the whole or a part of the outer peripheral surface.

このようにして電鋳法で金属部品１０９と凹凸形状４１、４２を成形すれば、簡略な形状のマスクパターンを用いることができるので、製造コストを安価にできる。If the metal part 109 and the concavo-convex shapes 41 and 42 are formed in this manner by electroforming, a mask pattern having a simple shape can be used, so that the manufacturing cost can be reduced.

図１３は、直径２８μｍの微粒子をレジスト膜の表面に塗布したときの状態を撮影した顕微鏡写真である。図１４は、この微粒子層を通して露光及び現像を行ったネガ型レジスト膜を撮影したＳＥＭ写真である。キャビティの壁面にストライプ状の凹凸パターンが形成されていることが分かる。 FIG. 13 is a photomicrograph of the state when fine particles having a diameter of 28 μm are applied to the surface of the resist film. FIG. 14 is an SEM photograph of a negative resist film that has been exposed and developed through the fine particle layer. It can be seen that a striped uneven pattern is formed on the wall surface of the cavity.

図１５は、微粒子の粒子径を０μｍ〜約３０μｍの範囲で変化させたとき（ただし、粒子径が０μｍとは、微粒子が存在しない場合である。）、レジスト膜の壁面に形成される凹凸パターンのピッチがどのように変化するかを実測した結果を表している。この測定結果によれば、凹凸パターンのピッチと粒子径がほぼ比例していることが分かる。よって、粒子径を調整することによってほぼ所望のピッチの凹凸形状４１、４２を得ることができる。 FIG. 15 shows a concavo-convex pattern formed on the wall surface of the resist film when the particle diameter of the fine particles is changed in the range of 0 μm to about 30 μm (where the particle diameter is 0 μm when no fine particles are present). This shows the result of actual measurement of how the pitch changes. According to this measurement result, it can be seen that the pitch of the concavo-convex pattern is substantially proportional to the particle diameter. Therefore, it is possible to obtain the uneven shapes 41 and 42 having a substantially desired pitch by adjusting the particle diameter.

（金属部品の第２の製造方法）
電鋳法による金属部品の第２の製造方法を図１６（Ａ）−図１６（Ｃ）、図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）及び図１８（Ａ）−図１８（Ｃ）に示す。ここで、図１６（Ａ）、図１７（Ａ）、図１７（Ｂ）及び図１８（Ｂ）は断面図である。図１６（Ｂ）は図１６（Ａ）の平面図である。図１６（Ｃ）は図１７（Ａ）に示すフォトマスクの下面図である。図１８（Ａ）は図１８（Ｂ）の平面図である。図１８（Ｃ）は金属部品の斜視図である。 (Second manufacturing method of metal parts)
A second method for producing a metal part by electroforming is shown in FIGS. 16 (A) to 16 (C), 17 (A), 17 (B) and 18 (A) to 18 (C). . Here, FIGS. 16A, 17A, 17B, and 18B are cross-sectional views. FIG. 16B is a plan view of FIG. FIG. 16C is a bottom view of the photomask illustrated in FIG. FIG. 18A is a plan view of FIG. FIG. 18C is a perspective view of a metal part.

第２の製造方法では、ドライフィルムレジストを用いる。一般に、ドライフィルムレジストは基材フィルムの上に貼られ、さらにドライフィルムレジストの上には保護フィルムが貼られており、このように基材フィルム−ドライフィルムレジスト−保護フィルムという３層構造の状態で流通している。しかも、ドライフィルム製作工程でロール巻き取り時の密着を防止するため、保護フィルムには滑剤と呼ばれる微粒子が混入されている。このドライフィルムレジストを使用するときには、基材フィルムを剥がして電極板などの基材に貼り付けて使用される。 In the second manufacturing method, a dry film resist is used. In general, a dry film resist is affixed on a base film, and a protective film is further affixed on the dry film resist. Thus, a state of a three-layer structure of base film-dry film resist-protective film is obtained. In circulation. Moreover, in order to prevent adhesion during roll winding in the dry film manufacturing process, fine particles called a lubricant are mixed in the protective film. When this dry film resist is used, the base film is peeled off and attached to a base material such as an electrode plate.

本発明に係る第２の製造方法では、まず図１６（Ａ）及び図１６（Ｂ）に示すように、基材フィルムを剥がしたドライフィルムレジスト１１１を、電鋳用の電極板１０１の上面に密着させて貼り付ける。よって、電極板１０１の上面にドライフィルムレジスト１１１を設けたとき、その上では透明な保護フィルム１１２中に滑剤１１３（微粒子）が分布している。In the second manufacturing method according to the present invention, first, as shown in FIGS. 16A and 16B, the dry film resist 111 from which the base film has been peeled is applied to the upper surface of the electrode plate 101 for electroforming. Adhere closely. Therefore, when the dry film resist 111 is provided on the upper surface of the electrode plate 101, the lubricant 113 (fine particles) is distributed in the transparent protective film 112 thereon.

この後、図１７（Ａ）に示すように、保護フィルム１１２の上にフォトマスク１０４を重ねる。フォトマスク１０４の下面には、図１６（Ｃ）に示すようなマスクパターン１０５（遮光領域）が形成されている。図１７（Ａ）のようにフォトマスク１０４及び保護フィルム１１２を通してドライフィルムレジスト１１１に露光すると、滑剤１１３により遮光されるので、図１６（Ｃ）のようにマスクパターン１０５の縁が滑らかであっても、保護フィルム１１２の遮光領域の縁に凹凸が生じる。 Thereafter, as shown in FIG. 17A, a photomask 104 is overlaid on the protective film 112. A mask pattern 105 (light shielding region) as shown in FIG. 16C is formed on the lower surface of the photomask 104. When the dry film resist 111 is exposed to light through the photomask 104 and the protective film 112 as shown in FIG. 17A, it is shielded by the lubricant 113, so that the edge of the mask pattern 105 is smooth as shown in FIG. In addition, irregularities occur at the edge of the light shielding region of the protective film 112.

ネガ型の保護フィルム１１２を用いている場合には、図１７（Ｂ）のように露光領域のレジストは不溶化される。よって、保護フィルム１１２を剥がした後でレジスト膜１０２を現像すると、図１８（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、露光領域の１１２だけを残して遮光領域の保護フィルム１１２が除去され、保護フィルム１１２内にキャビティ１０６が開口される。このとき、１１３の影によってキャビティ１０６の壁面には、上下方向に延びた円弧状断面の凹凸パターン１０７ができる。 When the negative type protective film 112 is used, the resist in the exposed region is insolubilized as shown in FIG. Therefore, when the resist film 102 is developed after the protective film 112 is peeled off, as shown in FIGS. 18 (A) and 18 (B), the protective film 112 in the light shielding area is removed, leaving only the exposed area 112, and the protection film 112 is protected. A cavity 106 is opened in the film 112. At this time, an uneven pattern 107 having an arc-shaped cross section extending in the vertical direction is formed on the wall surface of the cavity 106 by the shadow of 113.

この後、電鋳法によってキャビティ１０６内に電鋳材料を堆積させて所定厚み（幅）に成長させると、図１８（Ｃ）に示すような金属部品１０９が製造される。 Thereafter, when an electroforming material is deposited in the cavity 106 by electroforming and grown to a predetermined thickness (width), a metal part 109 as shown in FIG. 18C is manufactured.

このようにして電鋳法でも、簡略な形状のマスクパターンを用いることができるので、製造コストを安価にできる。 In this way, a mask pattern having a simple shape can be used even in the electroforming method, so that the manufacturing cost can be reduced.

図１９は第２の製造方法により製造された金属部品の端面を撮影したＳＥＭ写真である。また、図２０は、図１９のＸ部を拡大した写真である。これは、ドライフィルムレジストの上に保護フィルムを残したままで露光及び現像を行い、電鋳法により金属部品を製造したものであり、保護フィルムの滑剤によって生じた凹凸形状が示されている。 FIG. 19 is an SEM photograph of an end face of a metal part manufactured by the second manufacturing method. FIG. 20 is an enlarged photograph of the portion X in FIG. In this example, exposure and development are performed while leaving the protective film on the dry film resist, and a metal part is manufactured by electroforming, and the uneven shape caused by the lubricant of the protective film is shown.

（金属部品の第３の製造方法）
電鋳法による金属部品の第３の製造方法を図２１（Ａ）−図２１（Ｃ）及び図２２（Ａ）−図２２（Ｄ）に示す。ここで、図２１（Ａ）、図２１（Ｃ）、図２２（Ａ）及び図２２（Ｃ）は断面図である。図２１（Ｂ）は図２１（Ｃ）に示すフォトマスクの下面図である。図２２（Ｂ）は図２２（Ｃ）の平面図である。図２２（Ｄ）は金属部品の斜視図である。 (Third manufacturing method of metal parts)
A third manufacturing method of metal parts by electroforming is shown in FIGS. 21 (A) to 21 (C) and FIGS. 22 (A) to 22 (D). Here, FIGS. 21A, 21C, 22A, and 22C are cross-sectional views. FIG. 21B is a bottom view of the photomask shown in FIG. FIG. 22B is a plan view of FIG. FIG. 22D is a perspective view of a metal part.

第３の製造方法では、まず図２１（Ａ）に示すように、電鋳用の電極板１０１の上面にネガ型レジストを塗布してレジスト膜１０２を形成する。ついで、図２１（Ｃ）に示すように、レジスト膜１０２の上にフォトマスク１０４を重ねる。フォトマスク１０４の下面には、図２１（Ｂ）に示すようなマスクパターン１０５（遮光領域）が形成されている。このマスクパターン１０５には、外周の一部又は全体に微細な凹凸１１５がデザインされている。なお、図２１（Ｂ）では凹凸１１５は誇張して描いているが、マスクパターン１０５の大きさと比較しても凹凸１１５は微細なパターンである。図２１（Ｃ）のようにフォトマスク１０４を通してレジスト膜１０２に露光すると、マスクパターン１０５の設けられていない領域ではフォトマスク１０４を光が透過してレジスト膜１０２が露光される。 In the third manufacturing method, first, as shown in FIG. 21A, a negative resist is applied to the upper surface of the electrode plate 101 for electroforming to form a resist film 102. Next, as shown in FIG. 21C, a photomask 104 is overlaid on the resist film 102. A mask pattern 105 (light shielding region) as shown in FIG. 21B is formed on the lower surface of the photomask 104. In the mask pattern 105, fine irregularities 115 are designed on a part or the whole of the outer periphery. Note that although the unevenness 115 is exaggerated in FIG. 21B, the unevenness 115 is a fine pattern as compared with the size of the mask pattern 105. When the resist film 102 is exposed through the photomask 104 as shown in FIG. 21C, light is transmitted through the photomask 104 and the resist film 102 is exposed in an area where the mask pattern 105 is not provided.

ネガ型レジストを用いた場合には、図２２（Ａ）に示すように、露光領域のレジストは不溶化される。よって、レジスト膜１０２を現像すると、図２２（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、露光領域のレジスト膜１０２だけを残して遮光領域のレジスト膜１０２が除去され、レジスト膜１０２内にキャビティ１０６が開口される。このときキャビティ１０６の壁面には、マスクパターン１０５の凹凸１１５により、上下方向に延びた円弧状断面の凹凸パターン１０７ができる。 When a negative resist is used, the resist in the exposed region is insolubilized as shown in FIG. Therefore, when the resist film 102 is developed, as shown in FIGS. 22B and 22C, the resist film 102 in the light shielding region is removed leaving only the resist film 102 in the exposure region, and the cavity 106 is formed in the resist film 102. Is opened. At this time, an uneven pattern 107 having an arc-shaped cross section extending in the vertical direction is formed on the wall surface of the cavity 106 by the unevenness 115 of the mask pattern 105.

この後、電鋳法によりレジスト膜１０２のキャビティ１０６内に電鋳材料を成長させて所定形状の金属部品１０９を製造する。この金属部品１０９は、たとえばコンタクトであって、外周面の全体又は一部には金属部品１０９の幅方向に沿って端から端まで連続的に延びた凹凸形状４１、４２が形成されている。 Thereafter, an electroforming material is grown in the cavity 106 of the resist film 102 by an electroforming method to manufacture a metal part 109 having a predetermined shape. The metal part 109 is, for example, a contact, and uneven shapes 41 and 42 extending continuously from end to end along the width direction of the metal part 109 are formed on the whole or a part of the outer peripheral surface.

このようにして電鋳法で金属部品１０９と凹凸形状４１、４２を成形すれば、簡略な形状のマスクパターンを用いることができるので、製造コストを安価にできる。 If the metal part 109 and the concavo-convex shapes 41 and 42 are formed in this manner by electroforming, a mask pattern having a simple shape can be used, so that the manufacturing cost can be reduced.

このような製造方法によれば、任意の形状をした凹凸形状４１、４２を形成することができる。 According to such a manufacturing method, the irregular shapes 41 and 42 having an arbitrary shape can be formed.

（第２のコネクタ）
つぎに、本発明に係る別な形態のコンタクトとコネクタを説明する。このコネクタ１２１は、たとえば携帯用電子機器に使用されるバッテリーの電極パッドに接触させて充電を行わせるためのコネクタである。図２３は、当該コネクタ１２１を示す斜視図であって、図２４は当該コネクタの断面図である。 (Second connector)
Next, another form of contact and connector according to the present invention will be described. The connector 121 is a connector for charging by contacting an electrode pad of a battery used in, for example, a portable electronic device. FIG. 23 is a perspective view showing the connector 121, and FIG. 24 is a sectional view of the connector.

このコネクタ１２１は、図２３に示すように、コネクタハウジング１２２内に複数本のコンタクト１２３を納め、コネクタハウジング１２２の前面からコンタクト１２３の一部を突出させたものである。 As shown in FIG. 23, the connector 121 has a plurality of contacts 123 housed in a connector housing 122, and a part of the contacts 123 protrudes from the front surface of the connector housing 122.

図２４に示すように、コンタクト１２３は、固定部１２４、弾性部１２５、コンタクト部１２６及び掛止部１２７から構成されている。コンタクト１２３の固定部１２４は、後端部において水平方向に延在したコンタクトテール１２４ａ及びコンタクトテール１２４ａから垂直上方に折り曲げられて上方に伸びる保持部１２４ｂを備えている。コンタクトテール１２４ａは、コネクタ１２１を実装するプリント配線基板に電気的に接続される。また、コンタクト１２３は、コンタクトテール１２４ａによってコネクタハウジング１２２に固定されている。 As shown in FIG. 24, the contact 123 includes a fixing part 124, an elastic part 125, a contact part 126, and a latching part 127. The fixing portion 124 of the contact 123 includes a contact tail 124a extending in the horizontal direction at the rear end portion, and a holding portion 124b that is bent vertically upward from the contact tail 124a and extends upward. The contact tail 124a is electrically connected to a printed wiring board on which the connector 121 is mounted. The contact 123 is fixed to the connector housing 122 by a contact tail 124a.

コンタクト１２３の弾性部１２５は、固定部１２４の上端からＵ字状に湾曲した第１湾曲部１２５ａ、第１湾曲部１２５ａから下方に向かって延在する第１接続部１２５ｂ、第１接続部１２５ｂの下端から水平および前方方向に向けて湾曲する第２湾曲部１２５ｃ、第２湾曲部１２５ｃの前端から水平および前方方向に延在する第２接続部１２５ｄ、第２接続部１２５ｄの前端から斜め上方に向かって湾曲する第３湾曲部１２５ｅ、第３湾曲部１２５ｅの前端から斜め前方および上方に向かって延在する延長部１２５ｆを備える。上記の構造により、弾性部１２５は略Ｓ字形状をなしており、コンタクト１２３が前後方向に十分な付勢力を発生できるようになっている。 The elastic portion 125 of the contact 123 includes a first bending portion 125a that is curved in a U shape from the upper end of the fixing portion 124, a first connection portion 125b that extends downward from the first bending portion 125a, and a first connection portion 125b. A second bending portion 125c that curves in the horizontal and forward directions from the lower end of the first connection portion, a second connection portion 125d that extends in the horizontal and forward directions from the front end of the second bending portion 125c, and a diagonally upward direction from the front end of the second connection portion 125d. A third bending portion 125e that curves toward the front, and an extension portion 125f that extends obliquely forward and upward from the front end of the third bending portion 125e. With the above structure, the elastic portion 125 has a substantially S shape, and the contact 123 can generate a sufficient urging force in the front-rear direction.

コンタクト１２３のコンタクト部１２６は、弾性部１２５の延長部１２５ｆの前端から略Ｕ字形状または円弧状をなして後方に湾曲し、この湾曲面が接触部２３ａを形成している。このコンタクト部１２６には、図２３に示すように、幅方向に沿ってその一端から他端まで連続した断面円弧状の凸条からなる凹凸形状４１が互いに平行に形成されている。なお、コンタクト部１２６の接触部２３ａ付近は他の部分に比べて幅狭となっている。 The contact portion 126 of the contact 123 curves backward from the front end of the extension portion 125f of the elastic portion 125 in a substantially U shape or arc shape, and this curved surface forms a contact portion 23a. As shown in FIG. 23, the contact portion 126 is formed with concavo-convex shapes 41 formed of ridges having a cross-sectional arc shape continuous from one end to the other end along the width direction. It should be noted that the vicinity of the contact portion 23a of the contact portion 126 is narrower than the other portions.

コンタクト１２３の掛止部１２７は、コンタクト部１２６の端部からさらに下方に折り返されて形成されており、この掛止部１２７がコネクタハウジング１２２の開口部に設けられたコンタクトサポート部１２８に掛止されている。 The latching portion 127 of the contact 123 is formed to be folded further downward from the end portion of the contact portion 126, and the latching portion 127 is latched to the contact support portion 128 provided at the opening of the connector housing 122. Has been.

このコネクタ１２１は、図２５（Ａ）及び図２５（Ｂ）に示すように携帯機器用のバッテリー１２９に接触されるものである。すなわち、コネクタ１２１にバッテリー１２９が押し当てられると、凹凸形状４１を設けられたコンタクト部１２６がバッテリー１２９の電極１３０に接触して撓み、コネクタ１２１からバッテリー１２９へ充電用の電流が供給される。 As shown in FIGS. 25A and 25B, the connector 121 is in contact with a battery 129 for a portable device. That is, when the battery 129 is pressed against the connector 121, the contact portion 126 provided with the uneven shape 41 comes into contact with the electrode 130 of the battery 129 and bends, and a charging current is supplied from the connector 121 to the battery 129.

３１コンタクト
３２固定片
３３可動片
３４連結部
３５可動接点部
３５ａ接点接触面
３７嵌合部
３７ａ圧接面
４１凹凸形状
４２凹凸形状
４６フレキシブルプリント基板
５１コネクタ
１０１電極板
１０２レジスト膜
１０３微粒子
１０４フォトマスク
１１１ドライフィルムレジスト
１１２保護フィルム
１１３滑剤 DESCRIPTION OF SYMBOLS 31 Contact 32 Fixed piece 33 Movable piece 34 Connection part 35 Movable contact part 35a Contact contact surface 37 Fitting part 37a Pressure contact surface 41 Uneven shape 42 Uneven shape 46 Flexible printed circuit board 51 Connector 101 Electrode plate 102 Resist film 103 Fine particle 104 Photomask 111 Dry film resist 112 Protective film 113 Lubricant

Claims

Forming a resist film on the surface of the electrode plate;
Exposing the resist film using a photomask having a mask pattern in which fine irregularities are drawn on at least a part of the edge; and
Developing the resist film and opening a molding opening in the resist film;
Depositing an electroformed material by electroforming in the molding opening and shaping;
A method for producing a metal part, comprising:

Forming a resist film on the surface of the electrode plate;
Exposing the resist film in a state where fine particle groups are distributed between the resist film and a photomask;
Developing the resist film and opening a molding opening in the resist film;
Depositing an electroformed material by electroforming in the molding opening and shaping;
A method for producing a metal part, comprising:

A step of disposing a resist film on the surface of the electrode plate using a dry film resist having a fine particle layer in a surface layer portion;
Exposing and developing the resist film to open a molding opening in the resist film; and
Depositing an electroformed material by electroforming in the molding opening and shaping;
A method for producing a metal part, comprising:

A metal part provided with a concave-convex shape consisting of at least one of a concave stripe or a convex stripe on the surface by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 3.

A contact provided with a concave-convex shape comprising at least one of a concave stripe or a convex stripe on the surface by the manufacturing method according to any one of claims 1 to 3.

A connector, wherein the contact according to claim 5 is housed in a housing.