JP4803541B2 - Gate valve - Google Patents
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Description
本発明は、半導体製造装置などの処理チャンバーに接続されて、該処理チャンバーに通じる流体流路や物品移送路等の連通路を開閉するゲートバルブに関するものである。 The present invention relates to a gate valve that is connected to a processing chamber such as a semiconductor manufacturing apparatus and opens and closes a communication channel such as a fluid channel and an article transfer channel that communicates with the processing chamber.
特許文献1及び2には、半導体製造装置などの処理チャンバーに接続されて、該処理チャンバーに通じる連通路をバルブハウジングの内部の弁板で開閉するゲートバルブが開示されている。このゲートバルブは、上記バルブハウジングと上記処理チャンバーとの間をシールするため、該バルブハウジングの側壁外面にOリング等のシール部材が上記連通路を取り囲むように取り付けられ、このシール部材が、上記バルブハウジングの側壁外面と処理チャンバーの室壁外面との間に挟み込まれている。
このようなゲートバルブにおいては、上記連通路を流れるプロセスガス等の腐食性流体によって上記シール部材が損傷し易いため、該シール部材を新しいものと適宜交換する必要がある。
ところが、上記従来のゲートバルブは、バルブハウジングの側壁外面に上記シール部材が取り付けられていて、該シール部材が上記バルブハウジングの側壁外面と処理チャンバーの室壁外面との間に挟み込まれているため、該シール部材を交換する場合には、バルブハウジング全体を処理チャンバーから引き離し、その状態で該シール部材を新しいものと交換しなければならず、面倒な作業を必要とする場合がある。
In such a gate valve, the seal member is easily damaged by a corrosive fluid such as a process gas flowing through the communication passage. Therefore, it is necessary to appropriately replace the seal member with a new one.
However, the conventional gate valve has the seal member attached to the outer surface of the side wall of the valve housing, and the seal member is sandwiched between the outer surface of the side wall of the valve housing and the outer surface of the chamber wall of the processing chamber. When replacing the seal member, the entire valve housing must be pulled away from the processing chamber, and the seal member must be replaced with a new one in that state, which may require troublesome work.
また、上記特許文献2に記載されたゲートバルブのように、上記連通孔を備えた中空部材をバルブハウジングの側壁に取り付け、この中空部材の端面に上記シール部材を取り付けたものも知られている。このようなゲートバルブにおいては、上記中空部材を側壁から取り外した状態でシール部材の交換を行うこともできるが、それを取り外す場合、該中空部材を側壁の外側に移動させなければならないため、その取り外しを行う際にもバルブハウジングを処理チャンバーから取り外す必要がある。
In addition, as in the gate valve described in
本発明の目的は、バルブハウジングと処理チャンバーとの間をシールするシール部材の交換を、バルブハウジングを処理チャンバーに接続したままで簡単かつ迅速に行うことができる、保守性に勝れたゲートバルブを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a gate valve with excellent maintainability, in which a seal member for sealing between a valve housing and a processing chamber can be easily and quickly replaced with the valve housing connected to the processing chamber. Is to provide.
上記目的を達成するため、本発明は、バルブハウジングの相対する第1側壁及び第2側壁のうち、処理チャンバーの室壁に当接する第1側壁に、該バルブハウジングの内部の弁室と上記処理チャンバーとを連通させる連通孔と、該連通孔の回りを上記弁室内において取り囲む弁シート部とを設け、上記弁室内に、上記弁シート部への当接又は離反によって上記連通孔を開閉する弁板を収容し、上記第1側壁の外面に、該第1側壁と上記処理チャンバーの室壁との間をシールするシール部材を上記連通孔を取り囲むように設けたゲートバルブにおいて、上記連通孔と弁シート部とシール部材とを、上記第1側壁に弁室の内部から着脱自在なるように取り付けられたシート部材に形成し、上記バルブハウジングは、上記弁室の上部に蓋体で開閉自在の開口部を有し、該開口部の大きさは上記シート部材より大きく形成され、該シート部材を、上記第1側壁から取り外して上記弁室の中央方向に移動させたあと、該弁室の内部から上記開口部を通じてバルブハウジングの外部に搬出可能としたことを特徴とするものである。 To achieve the above object, according to the present invention, the valve chamber inside the valve housing and the process are arranged on the first side wall of the valve housing facing the chamber wall of the first and second side walls. A valve that provides a communication hole for communicating with the chamber and a valve seat portion that surrounds the communication hole in the valve chamber, and opens and closes the communication hole in the valve chamber by contact or separation from the valve seat portion A gate valve that houses a plate and has a seal member that seals between the first side wall and the chamber wall of the processing chamber on the outer surface of the first side wall so as to surround the communication hole; a valve seat portion and the seal member, the first formed in a sheet member mounted so as to be detachable from the interior of the valve chamber on the side wall, the valve housing is opened and closed with a lid on top of the valve chamber itself Of an opening, the size of the opening is larger than the sheet member, the sheet member, after moving toward the center of the valve chamber removed from the first side wall, of the valve chamber It is possible to carry out from the inside to the outside of the valve housing through the opening .
本発明において好ましくは、上記シート部材が、矩形の断面形状を有する中空の部材であって、先端側の第1部分と、フランジ状をした基端側の第2部分とを有し、上記第1部分の端面に上記シール部材が取り付けられると共に、上記第2部分の端面に上記弁シート部が形成されており、また、上記バルブハウジングの第1側壁が、上記シート部材の第1部分が嵌合する嵌合孔と、該嵌合孔の弁室側端部に形成されて上記第2部分が弁室側から係止する係止部とを有していて、上記シート部材の第1部分を弁室側から上記嵌合孔内に嵌合させて第2部分を上記係止部に係止させることにより、該シート部材が上記第1側壁に取り付けられていることである。 Preferably, in the present invention, the sheet member is a hollow member having a rectangular cross-sectional shape, and includes a first portion on a distal end side and a second portion on a proximal end side in a flange shape, The seal member is attached to the end surface of one portion, the valve seat portion is formed on the end surface of the second portion, and the first side wall of the valve housing is fitted to the first portion of the seat member. And a fitting portion formed at a valve chamber side end portion of the fitting hole, and the second portion is locked from the valve chamber side, and the first portion of the seat member Is fitted into the fitting hole from the valve chamber side and the second portion is locked to the locking portion, whereby the seat member is attached to the first side wall.
この場合、上記弁板が、バルブロッドの先端の弁板取付部に着脱自在に取り付けられていて、該バルブロッドによって上記連通孔の軸線と直交する方向及び上記弁シート部に接離する方向に変位自在であると共に、該バルブロッドから取り外したあと上記開口部を通じて弁室から取り出し可能であり、また、上記シート部材は、上記弁板を上記バルブロッドから取り外して弁室外に取り出した状態で該弁室を通じてバルブハウジングの外部に取り出し可能であることが望ましい。 In this case, the valve plate is detachably attached to the valve plate mounting portion at the tip of the valve rod, and in the direction perpendicular to the axis of the communication hole and the direction in which the valve seat is contacted and separated by the valve rod. In addition to being displaceable, the seat member can be removed from the valve chamber through the opening after being removed from the valve rod, and the seat member can be removed from the valve rod with the valve plate removed from the valve rod. It is desirable that it can be taken out of the valve housing through the valve chamber.
本発明によれば、バルブハウジングの第1側壁と処理チャンバーの室壁との間をシールするシール部材を、該第1側壁に着脱自在のシート部材に取り付けると共に、このシート部材を、弁室を通じてバルブハウジングの外部に取り出し可能としたので、該バルブハウジングを処理チャンバーに接続したまま、上記シート部材を弁室を通じて該バルブハウジングの外部に取り出すことにより、上記シール部材の交換を簡単に行うことができる。 According to the present invention, the seal member that seals between the first side wall of the valve housing and the chamber wall of the processing chamber is attached to the seat member that is detachable from the first side wall, and the seat member is passed through the valve chamber. Since it can be taken out of the valve housing, the seal member can be easily replaced by taking out the seat member to the outside of the valve housing through the valve chamber while the valve housing is connected to the processing chamber. it can.
図1及び図2には本発明に係るゲートバルブの一実施形態が示されている。このゲートバルブ1は、半導体製造装置等における処理チャンバー2に接続して使用されるもので、該処理チャンバー2に連通する連通孔5を弁板6によって開閉する弁開閉部3と、上記弁板6を開閉操作する開閉操作部4とを有している。
1 and 2 show an embodiment of a gate valve according to the present invention. The gate valve 1 is used by being connected to a
上記弁開閉部3は、図3−図7からも明らかなように、四角で横に長い中空の箱形をしたバルブハウジング7を有している。このバルブハウジング7の内部には弁室9が形成され、該弁室9内に、横に長い矩形のプレート状をした上記弁板6が収容されている。この弁板6の四隅の角部は円弧状に丸められている。なお、図6及び図7は、上記バルブハウジング7内部を分かり易くするため、弁板6を省略した状態で示されている。
As is apparent from FIGS. 3 to 7, the valve opening /
上記バルブハウジング7は、上記弁室9の回りを取り囲む第1−第4の4つの側壁7a,7b,7c,7dを有していて、上記処理チャンバー2の室壁2aに当接する第1側壁7aには、上記弁室9と該処理チャンバー2とを連通させる横に長い矩形の上記連通孔5と、上記弁室9内において該連通孔5の回りを取り囲む弁シート部10とが設けられ、上記弁板6に取り付けられた弁シール部材11がこの弁シート部10に当接又は離反することにより、該弁板6で連通孔5が開閉されるようになっている。上記連通孔5の四隅の角部は円弧状に丸められている。
The
また、上記第1側壁7aの外面には、上記連通孔5を取り囲む凹溝12が形成され、この凹溝12内に、該第1側壁7a外面と上記処理チャンバー2の室壁2aの外面との間をシールするOリング等のシール部材13が取り付けられている。
Further, a
上記連通孔5と弁シート部10とシール部材13とは、上記第1側壁7aに着脱自在に取り付けられたシート部材14に形成されている。このシート部材14は、図10及び図11からも明らかなように、矩形の断面形状を有する中空の部材であって、縦横寸法の小さい先端側の第1部分14aと、縦横寸法の大きいフランジ状をした基端側の第2部分14bとからなり、上記第1部分14aの端面に上記シール部材13が取り付けられると共に、上記第2部分14bの端面に上記弁シート部10が形成されている。
The
上記バルブハウジング7の第1側壁7aには、上記シート部材14を取り付けるため、該シート部材14の第1部分14aが嵌合する横に長い矩形の嵌合孔16と、該嵌合孔16の弁室側端部に形成されて上記第2部分14bが係止する係止部17とが形成され、上記シート部材14の第1部分14aを弁室9側から上記嵌合孔16内に嵌合させて第2部分14bを上記係止部17に当接させ、該第2部分14bを六角穴付きの複数のボルト18で係止部17に固定することにより、該シート部材14が上記第1側壁7aに取り付けられている。
図中の符号「19」は、上記係止部17と第1部分14a又は第2部分14bとの間に介在して第1側壁7aとシート部材14との間をシールするシール部材である。
In order to attach the
Reference numeral “19” in the figure is a seal member that is interposed between the
また、上記バルブハウジング7の上記第1側壁7aと相対する第2側壁7bには、上記弁室9を介して上記連通孔5に通じる横に長い接続口20が形成されている。この接続口20は、他のチャンバーや流体機器等に接続されるもので、縦横寸法が上記連通孔5及び弁板6よりも大きく、その長手方向の両端は円弧状に形成されている。
In addition, a long
更に、上記バルブハウジング7の上端には、該バルブハウジング7の長手方向のほぼ全長に渡って延在する開口部21が形成され、この開口部21は、板状の蓋体22で開閉自在とされている。この蓋体22は、六角穴付きの複数のボルト23でバルブハウジング7に固定されていて、これらのボルト23を取り外すことによって該バルブハウジング7から取り外し可能である。
Furthermore, an
上記シート部材14及び蓋体22は、上記バルブハウジング7の一部を構成するものである。従って該バルブハウジング7は、上記シート部材14及び蓋体22と、それ以外の部分であるハウジング本体8とによって構成されており、このハウジング本体8が、上記第1−第4の4つの側壁7a−7dを有している。
The
上記弁板6は、バルブロッド26の先端の弁板取付部27に着脱自在に取り付けられている。このバルブロッド26は、上記開閉操作部4から上記弁開閉部3のバルブハウジング7の底壁を貫通して弁室9内に延出し、該開閉操作部4に設けられた図示しない駆動機構により、上記連通孔5の軸線Lと直交する方向及び該軸線Lに沿う方向に駆動される。そして、図3及び図4に示すように、該バルブロッド26が上記軸線Lに沿う方向に駆動されることにより、上記弁板6の弁シール部材11が弁シート部10に接離して該弁板6が連通孔5を開閉し、図5に示すように、該バルブロッド26が上記軸線Lと直交する方向(下方)へ駆動されることにより、上記弁板6が、上記連通孔5から外れた収納位置を占めるようになっている。
The
上記弁板取付部27は、円柱状をなす上記バルブロッド26の先端に形成された角柱状の部分であり、連通孔5側を向く前面に上記弁板6を取り付けるための平らな弁板取付面27aを有すると共に、弁板固定用のボルト28を挿通するための複数のボルト挿通孔29を有している。
また、上記弁板取付部27は、バルブロッド26の中心Oよりもやや後方側(第2側壁7b側)に偏寄した位置に、該バルブロッド26の円柱領域から外方にはみ出さないように形成されていて、該弁板取付部27の高さ(上下方向長さ)は、上記弁板6の高さ(上下方向幅)より若干小さく形成されている。そして、上記バルブロッド26が下降して弁板6が収納位置にあるとき、該弁板取付部27の上端27bは、上記シート部材14の下端よりも下方にあるか、又は、図示したように該シート部材14の下端の一部と部分的に重複するような高さを占めるようになっている。
The valve
Further, the valve
上記開閉操作部4は、四角い操作部ハウジング31を有していて、この操作部ハウジング31の内部に上記駆動機構が収容されているが、この駆動機構は既に公知であり、ここでも公知の駆動機構が用いられているため、その図示は省略されている。
The opening /
ここで、上記シート部材14は、該シート部材14に取り付けられている上記シール部材13を新たなものと交換するため、上記バルブハウジング7を処理チャンバー2に接続したままの状態で、上記弁室9から開口部21を通じて該バルブハウジング7の外に取り出し可能となっている。このため、上記弁室9及び開口部21は、該シート部材14を自由に出し入れできるような大きさに形成されている。
Here, in order to replace the
上記シート部材14のバルブハウジング7からの取り出しは、ゲートバルブ1の不使用時に次の操作により行われる。
先ず、弁板6が連通孔5を開放している図4の状態で、バルブハウジング7の上端の蓋体22を、ボルト23を取り外すことにより取り外し、開口部21を開放する。
次に、第2側壁7bの接続口20から工具を差し込み、弁板6のボルト28を取り外すことによって該弁板6をバルブロッド26から取り外したあと、該弁板6を上記開口部21からバルブハウジング7の外に取り出す。
The
First, in the state of FIG. 4 in which the
Next, after inserting the tool from the
続いて、図8に示すように、上記バルブロッド26を下降させて待避位置に移動させ、上記開口部21又は第2側壁7bの接続口20から工具を差し込んで、シート部材14を第1側壁7aに固定しているボルト18を取り外す。そして、該シート部材14を、図8に鎖線で示すように、第1部分14aが嵌合孔16から抜け出す位置まで軸線L方向に変位させたあと、図9−図11に示すように、該シート部材14を上方に持ち上げて上記開口部21からバルブハウジング7の外部に搬出する。このとき、上記バルブロッド26の弁板取付部27が該シート部材14の変位の邪魔になる場合には、該シート部材14の上記弁板取付部27との対応位置に、該弁板取付部27から逃げるための凹部32を形成しておけば良い。
Subsequently, as shown in FIG. 8, the
このようにして上記シート部材14をバルブハウジング7の外に搬出したあと、その端面の凹溝12に取り付けられている古いシール部材13を取り外し、新たなシール部材13を取り付ける。
After the
上記シール部材13の交換が終了したシート部材14は、それをバルブハウジング7から取り出す場合とは逆の操作によって該バルブハウジング7に取り付けられる。即ち、該シート部材14を、上記開口部21から弁室9内に搬入し、軸線L方向に変位させて第1部分14aを第1側壁7aの嵌合孔16内に嵌合させると共に、第2部分14bを係止部に当接、係止させたあと、ボルト18で該第1側壁7aに固定する。
次に、待避位置に下降していた上記バルブロッド26を上昇させ、弁板6を上記開口部21から弁室9内に搬入して、ボルト28で該バルブロッド26の弁板取付部27に固定する。
上記弁板6の取り付けが終わると、上記開口部21を蓋体22で塞ぐと共に、該蓋体22をボルト23でバルブハウジング7に固定することによって作業が完了する。
After the replacement of the
Next, the
When the attachment of the
かくして、バルブハウジング7の第1側壁7aと処理チャンバー2の室壁2aとの間をシールするシール部材13の交換を、該シール部材13を担持する上記シート部材14をバルブハウジング7の内部即ち弁室9を通じて脱着することにより、該バルブハウジング7を処理チャンバー2に接続したままの状態で簡単かつ迅速に行うことができる。
Thus, replacement of the
1 ゲートバルブ
2 処理チャンバー
2a 室壁
5 連通孔
6 弁板
7 バルブハウジング
7a 第1側壁
7b 第2側壁
9 弁室
10 弁シート部
13 シール部材
14 シート部材
14a 第1部分
14b 第2部分
16 嵌合孔
17 係止部
21 開口部
22 蓋体
26 バルブロッド
27 弁板取付部
L 軸線
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (3)
上記連通孔と弁シート部とシール部材とを、上記第1側壁に弁室の内部から着脱自在なるように取り付けられたシート部材に形成し、上記バルブハウジングは、上記弁室の上部に蓋体で開閉自在の開口部を有し、該開口部の大きさは上記シート部材より大きく形成され、該シート部材を、上記第1側壁から取り外して上記弁室の中央方向に移動させたあと、該弁室の内部から上記開口部を通じてバルブハウジングの外部に搬出可能としたことを特徴とするゲートバルブ。 A communication hole for communicating the valve chamber in the valve housing and the processing chamber with a first side wall of the first and second side walls of the valve housing that is in contact with the chamber wall of the processing chamber, and the communication A valve seat that surrounds the hole in the valve chamber, and accommodates a valve plate that opens and closes the communication hole by contact or separation with the valve seat portion, and an outer surface of the first side wall In addition, a gate valve provided with a seal member for sealing between the first side wall and the chamber wall of the processing chamber so as to surround the communication hole,
And a sealing member the communicating hole and a valve seat portion, formed in a sheet member mounted so as to be detachable from the interior of the valve chamber to the first side wall, said valve housing, lid on top of the valve chamber An opening that can be freely opened and closed, and the size of the opening is larger than that of the seat member. After the seat member is removed from the first side wall and moved toward the center of the valve chamber , A gate valve characterized in that it can be carried out from the inside of the valve chamber to the outside of the valve housing through the opening .
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