JP4800113B2 - Printing apparatus and printing method - Google Patents

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Description

本発明は印刷装置と印刷方法の技術分野に関する。   The present invention relates to a technical field of a printing apparatus and a printing method.

従来より、ノズルよりインクの液滴を印刷対象物に吐出する印刷装置(インクジェットプリンタ)は広く用いられている。   2. Description of the Related Art Conventionally, printing apparatuses (inkjet printers) that eject ink droplets from a nozzle onto a printing object have been widely used.

このような印刷装置は、インクの液滴を所望位置に着弾させることで、リソグラフィー工程を要さずに所望形状の膜を形成することができるので、近年、有機半導体膜や、有機発光膜の成膜等種々の分野で利用されている。   Since such a printing apparatus can form a film having a desired shape without requiring a lithography process by causing ink droplets to land at a desired position, in recent years, an organic semiconductor film or an organic light-emitting film It is used in various fields such as film formation.

しかしながら、上記印刷方法では、印刷対象物が帯電したり、印刷対象物の表面電位にばらつきがあると、インクの液滴にクーロン力が働いて、液滴の着弾位置が逸れ、膜の形成位置や形状の精度が低下するという問題がある。   However, in the above printing method, when the printing object is charged or the surface potential of the printing object varies, the Coulomb force acts on the ink droplets, and the landing position of the droplets deviates, and the film formation position There is a problem in that the accuracy of the shape is reduced.

特に、インクの劣化を防止するために、大気が排気され、清浄な乾燥ガス(例えば乾燥窒素ガス)が供給された乾燥ガス雰囲気で印刷を行うと、印刷対象物がガラス基板のような絶縁性基板の場合には、該雰囲気中で搬送される時だけでなく、該雰囲気中に放置されるだけ絶縁性基板が数KVにも帯電する。
特開平8−55693号公報 特開平5−312998号公報
In particular, when printing is performed in a dry gas atmosphere in which the air is exhausted and a clean dry gas (for example, dry nitrogen gas) is supplied in order to prevent ink deterioration, the printed object is insulating like a glass substrate. In the case of a substrate, the insulating substrate is charged as much as several KV not only when being transported in the atmosphere but also being left in the atmosphere.
JP-A-8-55693 JP-A-5-31998

本発明は上記課題を解決するものであり、その目的は印刷対象物を除電して印刷精度を上げることにある。   The present invention solves the above-described problems, and an object of the present invention is to increase the printing accuracy by removing electricity from a printing object.

上記課題を解決するために請求項1記載の発明は、印刷対象物を載置可能な載置台と、複数のノズルが設けられ、前記ノズルからインクが吐出可能な印刷ヘッドと、X線を放射するX線発生源とを有し、前記印刷ヘッドは前記載置台に向けられたノズルを有し、前記ノズルから吐出されるインクは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に塗布されるように構成され、前記X線発生源は前記載置台よりも上方に配置され、前記載置台上の前記印刷対象物表面に前記X線が照射されるように構成され、前記載置台上に配置された前記印刷対象物は前記X線が照射されて除電されるように構成された印刷装置であって、前記印刷ヘッドには、前記印刷ヘッドの移動方向の前方側と後方側とに、前記印刷対象物の表面電位を測定する表面電位センサーが配置され、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記載置台上の前記印刷対象物に対して相対的に一緒に往復移動するように構成され、前記印刷ヘッドが移動するときには、一方の前記表面電位センサーが、前記印刷ヘッドよりも先になって前記印刷対象物上を移動し、測定しながら前記インクの吐出が行えるように構成され、前記表面電位センサーは制御系に接続され、前記表面電位センサーの測定値が設定値を超えると、前記インクの吐出が中止されるように構成され、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記X線を照射したときに、前記印刷対象物上に前記X線の影が生じない位置に退避できるように構成された印刷装置である。
請求項2記載の発明は、印刷対象物を載置可能な載置台と、複数のノズルが設けられ、前記ノズルからインクが吐出可能な印刷ヘッドと、電離した気体を放出するイオナイザーとを有し、前記印刷ヘッドは前記載置台上に配置され、前記ノズルから吐出されるインクは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に塗布されるように構成され、前記イオナイザーは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に前記電離た気体を吹き付ける位置に配置され、前記載置台上に配置された前記印刷対象物は前記電離した気体が吹き付けられて除電されるように構成された印刷装置であって、前記印刷ヘッドには、前記印刷ヘッドの移動方向の前方側と後方側とに、前記印刷対象物の表面電位を測定する表面電位センサーが配置され、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記載置台上の前記印刷対象物に対して相対的に一緒に往復移動するように構成され、前記印刷ヘッドが移動するときには、一方の前記表面電位センサーが、前記印刷ヘッドよりも先になって前記印刷対象物上を移動し、測定しながら前記インクの吐出が行えるように構成され、
前記表面電位センサーは制御系に接続され、前記表面電位センサーの測定値が設定値を超えると、前記インクの吐出が中止されるように構成され、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記電離した気体を吹き付けたときに、前記ノズルに前記電離した気体が当たらない位置に退避できるように構成された印刷装置である。
請求項3記載の発明は、印刷対象物を載置可能な載置台と、複数のノズルが設けられ、前記ノズルからインクが吐出可能な印刷ヘッドと、X線を放射するX線発生源とを有し、前記印刷ヘッドは前記載置台上に配置され、前記ノズルから吐出されるインクは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に塗布されるように構成され、前記X線発生源は前記載置台よりも上方に配置され、前記載置台上の前記印刷対象物表面に前記X線が照射されるように構成された印刷装置を用い、前記印刷ヘッドには、前記印刷ヘッドの移動方向の前方側と後方側とに、前記印刷対象物の表面電位を測定する表面電位センサーを配置して、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記載置台上の前記印刷対象物に対して相対的に一緒に往復移動し、前記印刷ヘッドが移動するときには、一方の前記表面電位センサーが、前記印刷ヘッドよりも先になって前記印刷対象物上を移動するようにしておき、前記インクが着弾する前の部分の前記印刷対象物の表面電位を前記表面電位センサーによって測定しながら前記インクを吐出し、前記表面電位センサーの測定値が設定値を超えると、前記インクの吐出を中止させ、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーとを、前記X線を照射したときに、前記印刷対象物上に前記X線の影が生じない位置に退避させて、前記印刷対象物に前記X線を照射して除電する印刷方法である。
請求項4記載の発明は、印刷対象物を載置可能な載置台と、複数のノズルが設けられ、前記ノズルからインクが吐出可能な印刷ヘッドと、電離した気体を放出するイオナイザーとを有し、前記印刷ヘッドは前記載置台上に配置され、前記ノズルから吐出されるインクは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に塗布されるように構成され、前記イオナイザーは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に前記電離した気体を吹き付ける位置に配置され、前記載置台上に配置された前記印刷対象物は前記電離した気体が吹き付けられて除電されるように構成された印刷装置を用い、前記印刷ヘッドには、前記印刷ヘッドの移動方向の前方側と後方側とに、前記印刷対象物の表面電位を測定する表面電位センサーを配置して、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記載置台上の前記印刷対象物に対して相対的に一緒に往復移動し、前記印刷ヘッドが移動するときには、一方の前記表面電位センサーが、前記印刷ヘッドよりも先になって前記印刷対象物上を移動するようにしておき、前記インクが着弾する前の部分の前記印刷対象物の表面電位を前記表面電位センサーによって測定しながら前記インクを吐出し、前記表面電位センサーの測定値が設定値を超えると、前記インクの吐出を中止させ、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記電離した気体を吹き付けたときに、前記ノズルに前記電離した気体が当たらない位置に退避させ、前記印刷対象物に前記電離した気体を吹き付けて除電する印刷方法である。
In order to solve the above-mentioned problems, a first aspect of the present invention provides a mounting table on which a printing object can be mounted, a printing head that is provided with a plurality of nozzles and can eject ink from the nozzles, and emits X-rays. The print head has a nozzle directed to the mounting table, and the ink ejected from the nozzle is applied to the surface of the printing object on the mounting table. The X-ray generation source is disposed above the mounting table, and is configured to irradiate the surface of the printing object on the mounting table with the X-rays, and is disposed on the mounting table. The printing object is a printing apparatus configured to be neutralized by being irradiated with the X-rays , and the printing head includes the printing head on a front side and a rear side in a moving direction of the printing head. Surface potential sensor that measures the surface potential of an object The print head and the surface potential sensor are configured to reciprocate together relative to the print object on the mounting table, and when the print head moves, one of the surfaces A potential sensor is configured to move on the printing object prior to the print head and to discharge the ink while performing measurement. The surface potential sensor is connected to a control system, and the surface potential is When the measured value of the sensor exceeds a set value, the ink ejection is stopped, and the print head and the surface potential sensor are placed on the print object when the X-ray is irradiated. This is a printing apparatus configured to be retracted to a position where no X-ray shadow occurs.
The invention described in claim 2 includes a mounting table on which a printing object can be mounted, a print head provided with a plurality of nozzles and capable of ejecting ink from the nozzles, and an ionizer that discharges ionized gas. The printing head is arranged on the mounting table, and the ink ejected from the nozzle is configured to be applied to the surface of the printing object on the mounting table, and the ionizer is on the mounting table. wherein arranged in the printing surface of the object in a position to blow the ionized gas, in the configuration printing device as is the printing object placed on the mounting table are neutralizing are blown gas having the ionization The print head is provided with surface potential sensors for measuring the surface potential of the print object on the front side and the rear side in the moving direction of the print head, and the print head and the surface The potential sensor is configured to reciprocate together relative to the print object on the mounting table, and when the print head moves, one of the surface potential sensors is more than the print head. It is configured so that the ink can be ejected while moving on the printing object first and measuring.
The surface potential sensor is connected to a control system, and is configured to stop the ejection of the ink when a measured value of the surface potential sensor exceeds a set value. The print head and the surface potential sensor are When the gas is blown, the printing apparatus is configured to be able to retreat to a position where the ionized gas does not hit the nozzle .
According to a third aspect of the present invention, there is provided a mounting table on which a printing object can be mounted, a plurality of nozzles, a print head capable of ejecting ink from the nozzles, and an X-ray generation source that emits X-rays. And the print head is arranged on the mounting table, the ink ejected from the nozzle is applied to the surface of the printing object on the mounting table, and the X-ray generation source A printing apparatus that is arranged above the printing table and configured to irradiate the surface of the printing object on the printing table with the X-rays is used. The printing head has a moving direction of the printing head. A surface potential sensor for measuring the surface potential of the print object is disposed on the front side and the rear side, and the print head and the surface potential sensor are relative to the print object on the mounting table. Reciprocally move together to When the ink is moved, one of the surface potential sensors is moved on the print object before the print head, and the portion of the print object before the ink is landed. When the surface potential is measured by the surface potential sensor, the ink is ejected, and when the measured value of the surface potential sensor exceeds a set value, the ejection of the ink is stopped, and the print head and the surface potential sensor are In the printing method, when the X-ray is irradiated, the X-ray is retreated to a position where no shadow of the X-ray is generated on the print object, and the print object is irradiated with the X-ray to remove static electricity.
The invention according to claim 4 includes a mounting table on which a printing object can be mounted, a print head provided with a plurality of nozzles and capable of ejecting ink from the nozzles, and an ionizer that discharges ionized gas. The printing head is arranged on the mounting table, and the ink ejected from the nozzle is configured to be applied to the surface of the printing object on the mounting table, and the ionizer is on the mounting table. The printing object is arranged at a position where the ionized gas is blown onto the surface of the printing object, and the printing object arranged on the mounting table uses a printing apparatus configured to be discharged by blowing the ionized gas. The print head includes a surface potential sensor for measuring a surface potential of the print object on the front side and the rear side in the moving direction of the print head, and the print head and the surface. The position sensor reciprocally moves together relative to the print object on the mounting table, and when the print head moves, one of the surface potential sensors comes before the print head. The ink is ejected while the surface potential of the printing object is measured by the surface potential sensor before the ink is landed, and the surface potential sensor is measured. When the value exceeds a set value, the ejection of the ink is stopped, and the print head and the surface potential sensor are retracted to a position where the ionized gas does not hit the nozzle when the ionized gas is sprayed. The printing method of discharging electricity by spraying the ionized gas onto the printing object.

本発明は上記のように構成されており、本発明の印刷装置は、X線発生源又はイオナイザーのような除電手段を有している。
除電手段がX線発生源の場合は、印刷装置の周囲にX線が漏れないように、X線遮蔽性のある印刷室の内部に印刷装置を配置することが好ましい。
The present invention is configured as described above, and the printing apparatus of the present invention has a static elimination means such as an X-ray generation source or an ionizer.
When the static elimination means is an X-ray generation source, it is preferable to arrange the printing apparatus inside a printing chamber having X-ray shielding properties so that X-rays do not leak around the printing apparatus.

有機半導体膜や、有機発光膜の成膜に用いられるインクは、有機半導体材料や有機発光材料のように、水や酸素で容易に劣化する有機材料が含有されている。水や酸素で劣化しやすい物質がインクに含有される場合には、天井や壁面が気密な印刷室内に印刷装置を配置して大気から遮断し、印刷室内に酸素や水分が除去された乾燥雰囲気を形成して、その乾燥雰囲気でインクの塗布を行うことが望ましい。   An ink used for forming an organic semiconductor film or an organic light emitting film contains an organic material that easily deteriorates with water or oxygen, such as an organic semiconductor material or an organic light emitting material. When ink contains substances that easily deteriorate due to water or oxygen, a printing device is installed in a printing chamber with an airtight ceiling and walls to block it from the atmosphere, and a dry atmosphere in which oxygen and moisture are removed from the printing chamber It is desirable to form the ink and apply the ink in the dry atmosphere.

本発明によれば、インクが印刷対象物表面に塗布される前に、印刷対象物表面の表面電位を測定することができるので、表面電位を測定しながらインクを吐出し、表面電位の絶対値が設定値を超えた時には、制御系が送る信号によってインクの吐出を中止することができる。
次いで、ヘッド保持体を退避位置へ移動させ、印刷対象物にX線の影が生じない状態にして、X線を所定時間照射し、除電を行うことができる。
また、印刷ヘッドを退避位置に退避させておき、ノズルがイオナイザーのガスに当たらないようにすれば、ノズル内のメニスカスを、ガスによって乱すことなく、除電することができる。
According to the present invention, since the surface potential of the surface of the printing object can be measured before the ink is applied to the surface of the printing object, the ink is ejected while measuring the surface potential, and the absolute value of the surface potential is measured. When the value exceeds the set value, the ejection of ink can be stopped by a signal sent from the control system.
Next, the head holder can be moved to the retracted position so that X-ray shadows do not occur on the print target, and the X-rays can be irradiated for a predetermined time to perform static elimination.
If the print head is retracted to the retracted position so that the nozzle does not hit the ionizer gas, the meniscus in the nozzle can be neutralized without being disturbed by the gas.

図1の符号1は本発明の印刷装置1の一例を示しており、印刷装置1は印刷室2内に配置されている。
印刷装置1は印刷室2の底壁上に配置された載置台20を有しており、載置台20上にはヘッド保持体23a、23bが配置されている。図2は載置台20とヘッド保持体23a、23bとの位置関係を示す模式的な平面図であり、載置台20上にはX軸方向とY軸方向にそれぞれ伸びるガイドレール211、212、221〜224が配置されている。
Reference numeral 1 in FIG. 1 shows an example of the printing apparatus 1 of the present invention, and the printing apparatus 1 is disposed in the printing chamber 2.
The printing apparatus 1 has a mounting table 20 disposed on the bottom wall of the printing chamber 2, and head holders 23 a and 23 b are disposed on the mounting table 20. FIG. 2 is a schematic plan view showing the positional relationship between the mounting table 20 and the head holders 23a and 23b. Guide rails 21 1 and 21 2 extending on the mounting table 20 in the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively. , 22 1 to 22 4 are arranged.

X軸方向のガイドレール221〜224は、Y軸方向のガイドレール211、212に、それに沿って移動可能に取りつけられており、また、ヘッド保持体23a、23bはX軸方向のガイドレール221〜224に、そのガイドレール221〜224に沿って移動可能に取りつけられている。X軸方向のガイドレール221〜224を移動させ、その間隔を変更すると、ヘッド保持体23a、23bがX軸及びY軸と成す角度が変わる。 The guide rails 22 1 to 22 4 in the X-axis direction are attached to the guide rails 21 1 and 21 2 in the Y-axis direction so as to be movable along the guide rails 21 1 and 21 2 , and the head holders 23a and 23b are mounted in the X-axis direction. The guide rails 22 1 to 22 4 are attached so as to be movable along the guide rails 22 1 to 22 4 . When the guide rails 22 1 to 22 4 in the X-axis direction are moved and the distance between them is changed, the angle formed by the head holding bodies 23a and 23b with the X-axis and the Y-axis changes.

ヘッド保持体23a、23bには、複数の印刷ヘッド15a、15bがそれぞれ取りつけられている。ここでは、ヘッド保持体23a、23bは二個であり、複数の印刷ヘッド15a、15bが千鳥状に取りつけられているが、本発明はそれに限定されない。   A plurality of print heads 15a and 15b are attached to the head holders 23a and 23b, respectively. Here, there are two head holders 23a and 23b, and a plurality of print heads 15a and 15b are attached in a staggered manner, but the present invention is not limited thereto.

ヘッド保持体23a、23bは印刷ヘッド15a、15bが、載置台20上に配置された印刷対象物5よりも高い位置に位置するように配置されており、従って、ヘッド保持体23a、23bをX軸方向のガイドレール221〜224に沿って移動させれば、印刷ヘッド15a、15bを印刷対象物5に接触せずに、印刷対象物5上を通過させることができる。 The head holders 23a and 23b are arranged so that the print heads 15a and 15b are positioned higher than the printing object 5 arranged on the mounting table 20, and therefore the head holders 23a and 23b are arranged as X. If the print heads 15 a and 15 b are moved along the axial guide rails 22 1 to 22 4 , the print heads 15 a and 15 b can be passed over the print object 5 without contacting the print object 5.

各印刷ヘッド15a、15bには、ノズル16a、16bがそれぞれ複数個列設されており、インク供給系19から印刷ヘッド15a、15bに供給されたインクはノズル16a、16bから吐出される。
隣接するノズル16a、16bの間隔は一定であるが、所定の印刷位置にインクを着弾させる場合、印刷位置の間隔がノズルの間隔と異なっていても、ヘッド保持体23a、23bがX軸及びY軸と成す角度を変えれば、印刷対象物5のX軸方向Y軸方向に対するノズル16a、16bの間隔を変更できるため、例えばノズル16a、16bのY軸方向の間隔を印刷対象物のY軸方向の印刷位置に適合させ、X軸方向に移動させると、各印刷位置にインクを着弾させることができる。
Each of the print heads 15a and 15b is provided with a plurality of nozzles 16a and 16b, and the ink supplied from the ink supply system 19 to the print heads 15a and 15b is ejected from the nozzles 16a and 16b.
Although the interval between the adjacent nozzles 16a and 16b is constant, when the ink is landed at a predetermined printing position, the head holders 23a and 23b are arranged in the X axis and Y direction even if the interval between the printing positions is different from the nozzle interval. If the angle formed with the axis is changed, the interval between the nozzles 16a and 16b with respect to the X-axis direction and the Y-axis direction of the print object 5 can be changed. For example, the interval between the nozzles 16a and 16b in the Y-axis direction When the print position is adapted and moved in the X-axis direction, ink can be landed on each print position.

次に、この印刷装置1を用いて印刷対象物5表面にインクを塗布する印刷方法について説明する。
印刷室2には排気系9と、ガス供給系8が接続されており、排気系9を動作させて印刷室2内部の気体を室外に排出すると共に、ガス供給系8を動作させて、印刷室2内部に乾燥ガスを供給し、印刷室2内部に乾燥雰囲気を形成する。
Next, a printing method for applying ink to the surface of the printing object 5 using the printing apparatus 1 will be described.
An exhaust system 9 and a gas supply system 8 are connected to the printing chamber 2. The exhaust system 9 is operated to discharge the gas inside the printing chamber 2 to the outside, and the gas supply system 8 is operated to perform printing. A drying gas is supplied into the chamber 2 to form a dry atmosphere inside the printing chamber 2.

印刷室2の側壁には不図示の搬出入口が設けられており、印刷室2内部の乾燥雰囲気を維持しながら、搬出入口に不図示の搬送装置を気密に接続する。搬送装置内には、印刷対象物が収容されており、印刷対象物を搬出入口から印刷室2内に搬入し、載置台20上に配置する。   A carry-in / out port (not shown) is provided on the side wall of the printing chamber 2, and a transport device (not shown) is connected to the carry-in / out port in an airtight manner while maintaining a dry atmosphere inside the printing chamber 2. A printing object is accommodated in the transport device, and the printing object is carried into the printing chamber 2 from the carry-in / out opening and placed on the mounting table 20.

図3を参照し、印刷対象物5は、例えば有機EL素子の仕掛品であって、基板51と、基板51上に配置された透明電極膜52と、透明電極膜52上に配置された絶縁層56とを有している。   Referring to FIG. 3, a printing object 5 is, for example, an in-process product of an organic EL element, and includes a substrate 51, a transparent electrode film 52 disposed on the substrate 51, and an insulation disposed on the transparent electrode film 52. Layer 56.

絶縁層56には複数の開口55が形成されており、開口55の底面には透明電極膜52が露出され、開口55外部の表面には絶縁層56が露出されている。例えば、絶縁層56は二酸化ケイ素のような物質である。印刷室2の内部は乾燥雰囲気が維持されており、表面に絶縁層56が露出する印刷対象物5は搬入や、載置台20上に乗せるときに帯電する。   A plurality of openings 55 are formed in the insulating layer 56, the transparent electrode film 52 is exposed on the bottom surface of the opening 55, and the insulating layer 56 is exposed on the surface outside the opening 55. For example, the insulating layer 56 is a material such as silicon dioxide. The inside of the printing chamber 2 is maintained in a dry atmosphere, and the printing object 5 with the insulating layer 56 exposed on the surface is charged when being carried in or placed on the mounting table 20.

印刷室2内のヘッド保持体23a、23bの移動範囲よりも外側の位置には、X線発生源40が配置されている。X線発生源40は、X線を放出する窓部を載置台20側に向けた状態で、載置台20よりも高い位置に位置しており、ヘッド保持体23a、23bを印刷対象物5上方よりも外側であって、印刷対象物5表面にX線の影ができない退避位置に移動させ、X線発生源40からX線を放出させると、印刷対象物5表面近傍にX線が照射される。   An X-ray generation source 40 is arranged at a position outside the moving range of the head holders 23a and 23b in the printing chamber 2. The X-ray generation source 40 is located at a position higher than the mounting table 20 with the X-ray emission window facing the mounting table 20, and the head holders 23 a and 23 b are placed above the printing object 5. If the X-ray is emitted from the X-ray generation source 40 by moving to a retreat position that is outside of the X-ray shadow on the surface of the print object 5, X-rays are irradiated to the vicinity of the surface of the print object 5. The

X線が照射されると、印刷対象物5上で気体(ここでは乾燥ガス)が電離し、+イオンと−イオンが生成され、印刷対象物5の荷電が中和され、除電される。
X線の照射を所定時間行い、ヘッド保持体23a、23bを退避位置から、印刷対象物5上に戻す。
When X-rays are irradiated, gas (here, dry gas) is ionized on the printing object 5, + ions and − ions are generated, the charge of the printing object 5 is neutralized, and the charge is eliminated.
X-ray irradiation is performed for a predetermined time, and the head holders 23 a and 23 b are returned from the retracted position onto the print object 5.

この印刷対象物では各開口55がインクを着弾させる印刷位置であり、ノズル16a、16bの間隔を、開口55の間隔に適合させ、X軸方向に移動させながら、開口55に向けてインクを吐出する。   In this printing object, each opening 55 is a printing position where ink is landed, and the interval between the nozzles 16a and 16b is adapted to the interval between the openings 55, and ink is ejected toward the opening 55 while moving in the X-axis direction. To do.

印刷対象物5は除電されているので、インクは静電気力の影響を受けず、開口55底面に正確に着弾し、開口55内に有機層が形成される。尚、インクの吐出はヘッド保持体23a、23bを移動させながら行ってもよいし、ノズル16a、16bが開口55の真上に位置する場所でヘッド保持体23a、23bを静止させてから行ってもよい。   Since the printing object 5 is neutralized, the ink is not affected by the electrostatic force, and is accurately landed on the bottom surface of the opening 55, and an organic layer is formed in the opening 55. The ink may be ejected while moving the head holders 23a and 23b, or after the head holders 23a and 23b are stopped at a position where the nozzles 16a and 16b are located directly above the opening 55. Also good.

各開口55内にインクが塗布され、印刷が終了したところで、印刷対象物5を載置台20から持ち上げ、搬出入口から搬送装置に戻す。尚、インクは、例えば有機発光材料や有機半導体材料のような有機材料を含有しており、これら有機材料は酸素や水分で化学的に劣化されやすいが、印刷対象物5を搬入する工程から、印刷終了後、搬送装置に戻す工程までの間、印刷室2内の乾燥雰囲気を維持すれば、インク中の有機材料が吐出中も塗布後も劣化しない。   When ink is applied in each opening 55 and printing is finished, the printing object 5 is lifted from the mounting table 20 and returned to the transport device from the carry-in / out entrance. The ink contains an organic material such as an organic light emitting material or an organic semiconductor material, and these organic materials are likely to be chemically deteriorated by oxygen or moisture, but from the step of carrying in the printing object 5, If the dry atmosphere in the printing chamber 2 is maintained until the step of returning to the conveying device after the printing is completed, the organic material in the ink does not deteriorate during ejection or after application.

以上は、印刷を開始する前に除電を行う場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、印刷対象物5の表面電位を測定しながら印刷を行い、必要に応じて除電を行ってもよい。   In the above, the case of performing static elimination before starting printing has been described. However, the present invention is not limited to this, and printing is performed while measuring the surface potential of the printing object 5, and static elimination is performed as necessary. May be performed.

具体的には、図1、2に示すように、表面電位センサー7をヘッド保持体23a、23bに取り付けておく。
ここでは、一方のヘッド保持体23aの表面電位センサー7と、そのヘッド保持体23aの印刷ヘッド15aと、他方のヘッド保持体23bの印刷ヘッド15bと、そのヘッド保持体23bの表面電位センサー7bはX軸方向に沿って記載した順番に並んでいる。従って、表面電位センサー7a、7bは印刷ヘッド15a、15bの移動方向両側に位置しており、ヘッド保持体23a、23bがX軸方向に往動する時も、X軸方向に復動する時も、印刷ヘッド15a、15bよりも先に表面電位センサー7a、7bが印刷対象物5上を移動する。従って、インクが着弾する前の印刷対象物5の表面電位を測定可能になっている。
Specifically, as shown in FIGS. 1 and 2, the surface potential sensor 7 is attached to the head holders 23a and 23b.
Here, the surface potential sensor 7 of one head holding body 23a, the print head 15a of the head holding body 23a, the print head 15b of the other head holding body 23b, and the surface potential sensor 7b of the head holding body 23b are: They are arranged in the order described along the X-axis direction. Accordingly, the surface potential sensors 7a and 7b are located on both sides of the movement direction of the print heads 15a and 15b, and the head holders 23a and 23b move forward in the X axis direction and return in the X axis direction. The surface potential sensors 7a and 7b move on the print object 5 before the print heads 15a and 15b. Therefore, it is possible to measure the surface potential of the printing object 5 before the ink is landed.

印刷室2の外部には制御系29が配置されている。各表面電位センサー7a、7bは制御系29に接続されており、印刷対象物5の表面電位を測定しながらインクを吐出し、表面電位の絶対値が設定値を超えた時には、制御系29が送る信号によってインクの吐出を中止し、ヘッド保持体23a、23bを退避位置へ移動させ、印刷対象物5にX線の影が生じない状態にして、X線を所定時間照射し、除電を行う。   A control system 29 is disposed outside the printing chamber 2. Each of the surface potential sensors 7a and 7b is connected to a control system 29. When ink is ejected while measuring the surface potential of the printing object 5, and the absolute value of the surface potential exceeds a set value, the control system 29 Ink ejection is stopped by a signal to be sent, the head holders 23a and 23b are moved to the retracted position, the X-ray shadow is not generated on the print target 5, and X-rays are irradiated for a predetermined time to perform static elimination. .

除電も表面電位を測定しながら行えば、表面電位の絶対値が設定値以下になったところで、X線の照射を停止すれば、除電を終了させることができる。除電終了後、ヘッド保持体23a、23bを退避位置から、印刷対象物5上へ戻し、印刷を再開する。   If neutralization is performed while measuring the surface potential, the neutralization can be terminated if the X-ray irradiation is stopped when the absolute value of the surface potential is equal to or lower than the set value. After completion of static elimination, the head holders 23a and 23b are returned from the retracted position onto the print target 5, and printing is resumed.

以上は、X線を照射して除電を行う場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
図5の符号3は本発明の印刷装置の他の例を示しており、この印刷装置3は図1に示した印刷装置1のX線発生源40に変え、イオナイザー30を有している。
Although the above has described the case of performing static elimination by irradiating with X-rays, the present invention is not limited to this.
Reference numeral 3 in FIG. 5 shows another example of the printing apparatus of the present invention. This printing apparatus 3 has an ionizer 30 instead of the X-ray generation source 40 of the printing apparatus 1 shown in FIG.

イオナイザー30はガス供給源31と、ガス供給源31に接続された電離手段32と、電離手段32に接続された噴出口33とを有している
ガス供給源31のバルブを開けると、電離手段32を通って、噴出口33からガスが噴出されるように構成されており、この時、電離手段32に通電し、電離手段32内で放電を起こすと、電離手段32を流れるガスが電離され、噴出口33から噴出される。
The ionizer 30 has a gas supply source 31, an ionization means 32 connected to the gas supply source 31, and a jet 33 connected to the ionization means 32. When the valve of the gas supply source 31 is opened, the ionization means Gas is ejected from the ejection port 33 through the gas outlet 32. At this time, when the ionization means 32 is energized and discharge occurs in the ionization means 32, the gas flowing through the ionization means 32 is ionized. , And ejected from the ejection port 33.

ガス供給源31と、電離手段32は印刷室2の外部に設けられており、噴出口33は印刷室2の内壁の、載置台20よりも高い位置に取り付けられている。
噴出口33は載置台20上に配置された印刷対象物5の表面に向けられており、イオンを含むガスが印刷対象物5表面に吹き付けられ、印刷対象物5が除電される。この時、印刷ヘッド15a、15bを退避位置に退避させておき、ノズル16a、16bがガスに当たらないようにすれば、ノズル16a、16b内のメニスカスが、ガスによって乱れることがない。
The gas supply source 31 and the ionization means 32 are provided outside the printing chamber 2, and the ejection port 33 is attached to a position higher than the mounting table 20 on the inner wall of the printing chamber 2.
The ejection port 33 is directed to the surface of the printing object 5 disposed on the mounting table 20, and a gas containing ions is blown onto the surface of the printing object 5, and the printing object 5 is discharged. At this time, if the print heads 15a and 15b are retracted to the retracted position so that the nozzles 16a and 16b do not hit the gas, the meniscus in the nozzles 16a and 16b will not be disturbed by the gas.

<実験例1>
印刷室2内部を排気しながら乾燥ガスである乾燥窒素を供給し、乾燥雰囲気を形成した。この乾燥雰囲気にガラス基板を10時間放置した後、表面電位を測定した。その測定結果を図6のグラフの左方、「除電なし」に示す。表面電位測定後、イオナイザー30に通電し、イオンを含むガスをガラス基板表面に吹き付け、除電後のガラス基板の表面電位を測定した。測定結果を表面電位の値と共に図6のグラフの右方「除電あり」に示す。
図6から明らかなように、除電前のガラス基板は表面電位が約2KVであったのに対し、除電後は表面電位が100Vを下回っていた。
<Experimental example 1>
Dry nitrogen as a dry gas was supplied while exhausting the inside of the printing chamber 2 to form a dry atmosphere. After leaving the glass substrate in this dry atmosphere for 10 hours, the surface potential was measured. The measurement results are shown on the left side of the graph of FIG. After the surface potential measurement, the ionizer 30 was energized, a gas containing ions was sprayed onto the glass substrate surface, and the surface potential of the glass substrate after charge removal was measured. The measurement results are shown together with the value of the surface potential on the right side of the graph of FIG.
As is clear from FIG. 6, the surface potential of the glass substrate before static elimination was about 2 KV, whereas the surface potential was below 100 V after static elimination.

<実験例2>
除電前と除電後の表面電位の測定を行った後、除電されたガラス基板を乾燥雰囲気が維持された印刷室2内部で搬送し、搬送後の表面電位を測定した。搬送後のガラス基板の除電を行い、除電後のガラス基板の表面電位を測定した。
<Experimental example 2>
After measuring the surface potential before and after neutralization, the neutralized glass substrate was conveyed inside the printing chamber 2 where the dry atmosphere was maintained, and the surface potential after conveyance was measured. The glass substrate after conveyance was neutralized, and the surface potential of the glass substrate after neutralization was measured.

図7のグラフ左方からそれぞれ搬送前であって除電前の基板の表面電位と、搬送前であって除電後の基板の表面電位と、搬送後であって除電前の基板の表面電位と、搬送後であって除電後の基板の表面電位をそれぞれ示している。除電後(除電あり)の基板については、図7のグラフ下方にその表面電位の数値も合わせて記載する。   From the left side of the graph of FIG. 7, the surface potential of the substrate before transport and before neutralization, the surface potential of the substrate before transport and after neutralization, the surface potential of the substrate after transport and before neutralization, The surface potential of the substrate after the transfer and after the charge removal is shown. Regarding the substrate after neutralization (with neutralization), the numerical value of the surface potential is also described below the graph of FIG.

図7から明らかなように、ガラス基板は乾燥雰囲気中を搬送されると、表面電位が再び上昇し、約1〜1.6KVになったが、搬送後のガラス基板を除電すると、その電位が15V〜8V程度に下がった。以上のことから、本発明の印刷装置1の除電効果が確認された。   As is clear from FIG. 7, when the glass substrate is transported in a dry atmosphere, the surface potential rises again to about 1 to 1.6 KV. However, when the glass substrate after transport is neutralized, the potential is reduced. The voltage dropped to about 15V to 8V. From the above, the static elimination effect of the printing apparatus 1 of the present invention was confirmed.

以下に本発明の他の実施形態について説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
載置台20に加熱手段や冷却手段のような温度制御手段を設け、印刷対象物5の温度を所定温度に維持しながら、除電やインクの塗布を行ってもよい。
Other embodiments of the present invention will be described below, but the present invention is not limited thereto.
A temperature control unit such as a heating unit or a cooling unit may be provided on the mounting table 20, and static elimination or ink application may be performed while maintaining the temperature of the printing object 5 at a predetermined temperature.

X線発生源40は特に限定されるものではないが、例えばX線管を用いることができる。X線発生源40が生成するX線の波長は特に限定されないが、短波長側(波長10-1nm未満)のX線は気体に吸収されにくいのでイオン生成量が少ないので好ましくない。また、X線よりも長波長側の紫外線は気体をイオン化はさせるが、印刷室2内部に酸素が存在するとオゾンを生成するので好ましくない。従って、本発明に使用するX線は、短波長側のX線よりも気体に吸収されやすく、紫外線よりもイオン化エネルギーが大きく、かつ、オゾンを生成しない軟X線(波長10-1nm以上10nm以下)が特に好ましい。 The X-ray generation source 40 is not particularly limited. For example, an X-ray tube can be used. The wavelength of X-rays generated by the X-ray generation source 40 is not particularly limited. However, X-rays on the short wavelength side (with a wavelength of less than 10 −1 nm) are not preferable because they are not easily absorbed by the gas and the amount of ions generated is small. In addition, ultraviolet rays longer than X-rays ionize the gas, but if oxygen is present inside the printing chamber 2, ozone is generated, which is not preferable. Therefore, X-rays used in the present invention are more easily absorbed by gas than X-rays on the short wavelength side, have higher ionization energy than ultraviolet rays, and do not generate ozone (wavelengths from 10 −1 nm to 10 nm). The following is particularly preferable.

X線発生源40やイオナイザー30の設置高さは特に限定されるものではないが、その設置高さは載置台20上に配置された印刷対象物5の表面に近い高さであることが好ましい。一例を述べると載置台20の表面よりも数cm高い高さである。   The installation height of the X-ray generation source 40 and the ionizer 30 is not particularly limited, but the installation height is preferably close to the surface of the printing object 5 disposed on the mounting table 20. . For example, the height is several cm higher than the surface of the mounting table 20.

また、X線が印刷室2外部に漏洩し、外部環境を汚染することを防止するために、印刷装置1が印刷室2で完全に覆われることが好ましい。X線を漏洩させないために、印刷室2の天井、側壁、及び底壁の好ましい厚みは0.5mm以上であり、その材質は例えばガラス、金属板、又は塩化ビニル板のような樹脂板である。尚、除電手段がイオナイザー30の場合は、印刷室の天井、側壁及び底壁の厚みや材質は特に限定されるものではない。   Further, it is preferable that the printing apparatus 1 is completely covered with the printing chamber 2 in order to prevent X-rays from leaking outside the printing chamber 2 and contaminating the external environment. In order not to leak X-rays, the preferred thickness of the ceiling, side walls, and bottom wall of the printing chamber 2 is 0.5 mm or more, and the material thereof is, for example, a glass, a metal plate, or a resin plate such as a vinyl chloride plate. . In the case where the static elimination means is the ionizer 30, the thickness and material of the ceiling, side walls, and bottom wall of the printing chamber are not particularly limited.

X線発生源40の配置や個数も特に限定されないが、X線発生源40の照射範囲が、印刷対象物5表面の面積に比べて小さい場合は、複数のX線発生源40を、X線の照射範囲の少なくとも一部が互いに重なり合うような間隔で載置台20の周囲に配置し、印刷対象物5の表面全体にX線を照射させれば、除電後の表面電位にばらつきが生じない。例えば、図2では、X線発生源40は載置台20上に配置された印刷対象物5の両側に3個ずつ並べられている。   The arrangement and the number of the X-ray generation sources 40 are not particularly limited, but when the irradiation range of the X-ray generation sources 40 is smaller than the area of the surface of the printing object 5, a plurality of X-ray generation sources 40 are connected to the X-ray generation sources 40. If the entire surface of the printing object 5 is irradiated with X-rays so that at least a part of the irradiation range overlaps each other at an interval so as to overlap each other, the surface potential after static elimination does not vary. For example, in FIG. 2, three X-ray generation sources 40 are arranged on both sides of the printing object 5 arranged on the mounting table 20.

同様に、イオナイザー30の配置や個数も特に限定されないが、印刷対象物5の表面の面積が広い場合には、印刷対象物5の表面全体にイオンが行き渡り、除電後の表面電位が均一になるように、イオナイザー30を載置台20の周囲に複数設けることが好ましい。   Similarly, the arrangement and the number of the ionizers 30 are not particularly limited, but when the surface area of the printing object 5 is large, ions are spread over the entire surface of the printing object 5 and the surface potential after static elimination becomes uniform. Thus, it is preferable to provide a plurality of ionizers 30 around the mounting table 20.

本発明に用いるインクは、無機材料や、有機材料が水や有機溶媒中に溶解又は分散したものである。インクに含有される有機材料は、有機発光材料以外にも、有機半導体材料や、電荷移動材料、電子移動材料、電子注入材料、電荷注入材料、着色材料等を用いることが可能であり、これらの有機材料は1種類だけをインクに含有させてもよいし、2種類以上を同じインクに含有させてもよい。更に、分散剤や界面活性剤を添加されたインクを用いてもよい。   The ink used in the present invention is an ink in which an inorganic material or an organic material is dissolved or dispersed in water or an organic solvent. As the organic material contained in the ink, in addition to the organic light emitting material, an organic semiconductor material, a charge transfer material, an electron transfer material, an electron injection material, a charge injection material, a coloring material, and the like can be used. Only one type of organic material may be included in the ink, or two or more types may be included in the same ink. Further, an ink added with a dispersant or a surfactant may be used.

乾燥雰囲気の形成や、イオナイザーに用いる乾燥ガスの種類は特に限定されないが、インクを変質しないガスが好ましく、例えば、インクに有機材料が含有される場合には、水や酸素を含有しない乾燥ガスを用いることが好ましい。また、インク中の成分が酸素の影響を受けない場合には、乾燥ガスとして乾燥大気を用いてもよい。また、乾燥ガスは1種類を単独で用いてもよいし、2種類以上を混合して用いてもよい。   There are no particular limitations on the type of drying gas used in the formation of the drying atmosphere or the ionizer, but a gas that does not alter the ink is preferred.For example, when the ink contains an organic material, a drying gas that does not contain water or oxygen is used. It is preferable to use it. In addition, when the components in the ink are not affected by oxygen, dry air may be used as the dry gas. In addition, one type of dry gas may be used alone, or two or more types may be mixed and used.

本発明に用いる印刷対象物5は特に限定されないが、本発明にはインクが塗布される面の少なくとも一部に絶縁性物質が露出しているものに、特に効果がある。
本発明の印刷装置1、3は、印刷ヘッド15a、15bを移動させる場合に限定されず、印刷ヘッド15a、15bが印刷対象物5に対して相対的に移動するのであれば、例えば、印刷ヘッド15a、15bを静止させた状態で、載置台20と一緒に印刷対象物5を移動させてもよいし、印刷ヘッド15a、15bを移動させると共に、載置台20と一緒に印刷対象物5を移動させてもよい。
The printing object 5 used in the present invention is not particularly limited, but the present invention is particularly effective when the insulating material is exposed on at least a part of the surface to which the ink is applied.
The printing apparatuses 1 and 3 of the present invention are not limited to the case where the print heads 15a and 15b are moved. If the print heads 15a and 15b move relative to the print object 5, for example, the print head The printing object 5 may be moved together with the mounting table 20 with the 15a and 15b being stationary, and the printing head 5a is moved together with the mounting table 20 while the printing heads 15a and 15b are moved. You may let them.

また、印刷対象物5の印刷位置が狭い面積に集中している場合は、印刷ヘッド15a、15bを印刷対象物5に対して相対的に静止させた状態で印刷を行ってもよい。   Further, when the printing position of the printing object 5 is concentrated on a small area, printing may be performed in a state where the print heads 15 a and 15 b are relatively stationary with respect to the printing object 5.

本発明の印刷装置及び印刷方法は、有機EL素子の製造だけではなく、半導体素子を内蔵した実装部品や、FDP(Flat Display Panel)の製造プロセスにおいて、配線パターン、あるいは配線パターンを被覆する絶縁性樹脂膜、カラーフィルター、配向膜等の成膜に用いることができる。   The printing apparatus and the printing method of the present invention are not only for manufacturing an organic EL element, but also for an insulating property that covers a wiring pattern or a wiring pattern in a manufacturing process of a mounting part incorporating a semiconductor element or a flat display panel (FDP). It can be used for film formation of resin films, color filters, alignment films, and the like.

本発明の印刷装置の一例を説明する断面図Sectional drawing explaining an example of the printing apparatus of this invention 載置台と印刷ヘッドとの位置関係を説明する平面図Plan view for explaining the positional relationship between the mounting table and the print head 印刷対象物の一例を説明する断面図Sectional drawing explaining an example of a printing target object 印刷対象物の一例を説明する平面図Plan view for explaining an example of a printing object 本発明の印刷装置の他の例を説明する断面図Sectional drawing explaining the other example of the printing apparatus of this invention 除電前と除電後の表面電位を示すグラフGraph showing surface potential before and after static elimination 搬送後の基板の表面電位と、除電後の表面電位を示すグラフGraph showing substrate surface potential after transport and surface potential after static elimination

符号の説明Explanation of symbols

1、3……印刷装置 2……印刷室 5……印刷対象物 7a、7b……表面電位センサー 15a、15b……印刷ヘッド 16a、16b……ノズル 20……載置台 30……イオナイザー 40……X線発生源   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 3 ... Printing apparatus 2 ... Printing room 5 ... Print object 7a, 7b ... Surface potential sensor 15a, 15b ... Print head 16a, 16b ... Nozzle 20 ... Mounting table 30 ... Ionizer 40 ... ... X-ray source

Claims (4)

印刷対象物を載置可能な載置台と、
複数のノズルが設けられ、前記ノズルからインクが吐出可能な印刷ヘッドと、
X線を放射するX線発生源とを有し、
前記印刷ヘッドは前記載置台に向けられたノズルを有し、前記ノズルから吐出されるインクは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に塗布されるように構成され、
前記X線発生源は前記載置台よりも上方に配置され、前記載置台上の前記印刷対象物表面に前記X線が照射されるように構成され、
前記載置台上に配置された前記印刷対象物は前記X線が照射されて除電されるように構成された印刷装置であって、
前記印刷ヘッドには、前記印刷ヘッドの移動方向の前方側と後方側とに、前記印刷対象物の表面電位を測定する表面電位センサーが配置され、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記載置台上の前記印刷対象物に対して相対的に一緒に往復移動するように構成され、
前記印刷ヘッドが移動するときには、一方の前記表面電位センサーが、前記印刷ヘッドよりも先になって前記印刷対象物上を移動し、測定しながら前記インクの吐出が行えるように構成され、
前記表面電位センサーは制御系に接続され、前記表面電位センサーの測定値が設定値を超えると、前記インクの吐出が中止されるように構成され、
前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記X線を照射したときに、前記印刷対象物上に前記X線の影が生じない位置に退避できるように構成された印刷装置。
A mounting table on which a printing object can be mounted;
A plurality of nozzles, and a print head capable of ejecting ink from the nozzles;
An X-ray source that emits X-rays;
The print head has a nozzle directed to the mounting table, and the ink ejected from the nozzle is configured to be applied to the surface of the printing object on the mounting table.
The X-ray generation source is disposed above the mounting table, and is configured to irradiate the X-ray on the surface of the printing object on the mounting table.
The printing object arranged on the mounting table is a printing apparatus configured to be neutralized by being irradiated with the X-ray ,
In the print head, surface potential sensors for measuring the surface potential of the print object are arranged on the front side and the rear side in the moving direction of the print head, and the print head and the surface potential sensor are described above. Configured to reciprocate together relative to the print object on the table;
When the print head moves, one of the surface potential sensors is configured to move on the print object ahead of the print head and to discharge the ink while measuring,
The surface potential sensor is connected to a control system, and when the measured value of the surface potential sensor exceeds a set value, the ejection of the ink is stopped,
The printing apparatus configured such that the print head and the surface potential sensor can be retracted to a position where no shadow of the X-ray is generated on the print object when the X-ray is irradiated.
印刷対象物を載置可能な載置台と、
複数のノズルが設けられ、前記ノズルからインクが吐出可能な印刷ヘッドと、
電離した気体を放出するイオナイザーとを有し、
前記印刷ヘッドは前記載置台上に配置され、前記ノズルから吐出されるインクは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に塗布されるように構成され、
前記イオナイザーは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に前記電離た気体を吹き付ける位置に配置され、
前記載置台上に配置された前記印刷対象物は前記電離した気体が吹き付けられて除電されるように構成された印刷装置であって、
前記印刷ヘッドには、前記印刷ヘッドの移動方向の前方側と後方側とに、前記印刷対象物の表面電位を測定する表面電位センサーが配置され、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記載置台上の前記印刷対象物に対して相対的に一緒に往復移動するように構成され、
前記印刷ヘッドが移動するときには、一方の前記表面電位センサーが、前記印刷ヘッドよりも先になって前記印刷対象物上を移動し、測定しながら前記インクの吐出が行えるように構成され、
前記表面電位センサーは制御系に接続され、前記表面電位センサーの測定値が設定値を超えると、前記インクの吐出が中止されるように構成され、
前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記電離した気体を吹き付けたときに、前記ノズルに前記電離した気体が当たらない位置に退避できるように構成された印刷装置。
A mounting table on which a printing object can be mounted;
A plurality of nozzles, and a print head capable of ejecting ink from the nozzles;
An ionizer that discharges ionized gas,
The print head is disposed on the mounting table, and the ink ejected from the nozzle is configured to be applied to the surface of the printing object on the mounting table.
The ionizer is disposed in a position to blow the ionized gas on the printing object surface on the mounting table,
The printing object arranged on the mounting table is a printing apparatus configured to be discharged by blowing the ionized gas ,
In the print head, surface potential sensors for measuring the surface potential of the print object are arranged on the front side and the rear side in the moving direction of the print head, and the print head and the surface potential sensor are described above. Configured to reciprocate together relative to the print object on the table;
When the print head moves, one of the surface potential sensors is configured to move on the print object ahead of the print head and to discharge the ink while measuring,
The surface potential sensor is connected to a control system, and when the measured value of the surface potential sensor exceeds a set value, the ejection of the ink is stopped,
The printing apparatus, wherein the print head and the surface potential sensor can be retracted to a position where the ionized gas does not hit the nozzle when the ionized gas is sprayed .
印刷対象物を載置可能な載置台と、A mounting table on which a printing object can be mounted;
複数のノズルが設けられ、前記ノズルからインクが吐出可能な印刷ヘッドと、A plurality of nozzles, and a print head capable of ejecting ink from the nozzles;
X線を放射するX線発生源とを有し、An X-ray source that emits X-rays;
前記印刷ヘッドは前記載置台上に配置され、前記ノズルから吐出されるインクは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に塗布されるように構成され、The print head is disposed on the mounting table, and the ink ejected from the nozzle is configured to be applied to the surface of the printing object on the mounting table.
前記X線発生源は前記載置台よりも上方に配置され、前記載置台上の前記印刷対象物表面に前記X線が照射されるように構成された印刷装置を用い、The X-ray generation source is disposed above the mounting table, and uses a printing apparatus configured to irradiate the surface of the printing object on the mounting table with the X-rays.
前記印刷ヘッドには、前記印刷ヘッドの移動方向の前方側と後方側とに、前記印刷対象物の表面電位を測定する表面電位センサーを配置して、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記載置台上の前記印刷対象物に対して相対的に一緒に往復移動し、前記印刷ヘッドが移動するときには、一方の前記表面電位センサーが、前記印刷ヘッドよりも先になって前記印刷対象物上を移動するようにしておき、The print head is provided with surface potential sensors for measuring the surface potential of the print object on the front side and the rear side in the moving direction of the print head, and the print head and the surface potential sensor are arranged in front of each other. When the print head moves reciprocally together relative to the print object on the mounting table, one of the surface potential sensors is placed on the print object before the print head. Keep moving
前記インクが着弾する前の部分の前記印刷対象物の表面電位を前記表面電位センサーによって測定しながら前記インクを吐出し、Discharging the ink while measuring the surface potential of the object to be printed before the ink is landed by the surface potential sensor;
前記表面電位センサーの測定値が設定値を超えると、前記インクの吐出を中止させ、When the measured value of the surface potential sensor exceeds a set value, the ink ejection is stopped,
前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーとを、前記X線を照射したときに、前記印刷対象物上に前記X線の影が生じない位置に退避させて、前記印刷対象物に前記X線を照射して除電する印刷方法。The print head and the surface potential sensor are retracted to a position where a shadow of the X-ray does not occur on the print object when the X-ray is irradiated, and the print object is irradiated with the X-ray. Printing method to eliminate static electricity.
印刷対象物を載置可能な載置台と、A mounting table on which a printing object can be mounted;
複数のノズルが設けられ、前記ノズルからインクが吐出可能な印刷ヘッドと、A plurality of nozzles, and a print head capable of ejecting ink from the nozzles;
電離した気体を放出するイオナイザーとを有し、An ionizer that discharges ionized gas,
前記印刷ヘッドは前記載置台上に配置され、前記ノズルから吐出されるインクは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に塗布されるように構成され、The print head is disposed on the mounting table, and the ink ejected from the nozzle is configured to be applied to the surface of the printing object on the mounting table.
前記イオナイザーは、前記載置台上の前記印刷対象物表面に前記電離した気体を吹き付ける位置に配置され、The ionizer is disposed at a position where the ionized gas is sprayed onto the surface of the printing object on the mounting table.
前記載置台上に配置された前記印刷対象物は前記電離した気体が吹き付けられて除電されるように構成された印刷装置を用い、The printing object arranged on the mounting table uses a printing apparatus configured to be discharged by blowing the ionized gas,
前記印刷ヘッドには、前記印刷ヘッドの移動方向の前方側と後方側とに、前記印刷対象物の表面電位を測定する表面電位センサーを配置して、前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記載置台上の前記印刷対象物に対して相対的に一緒に往復移動し、前記印刷ヘッドが移動するときには、一方の前記表面電位センサーが、前記印刷ヘッドよりも先になって前記印刷対象物上を移動するようにしておき、The print head is provided with surface potential sensors for measuring the surface potential of the print object on the front side and the rear side in the moving direction of the print head, and the print head and the surface potential sensor are arranged in front of each other. When the print head moves reciprocally together relative to the print object on the mounting table, one of the surface potential sensors is placed on the print object before the print head. Keep moving
前記インクが着弾する前の部分の前記印刷対象物の表面電位を前記表面電位センサーによって測定しながら前記インクを吐出し、Discharging the ink while measuring the surface potential of the object to be printed before the ink is landed by the surface potential sensor;
前記表面電位センサーの測定値が設定値を超えると、前記インクの吐出を中止させ、When the measured value of the surface potential sensor exceeds a set value, the ink ejection is stopped,
前記印刷ヘッドと前記表面電位センサーは、前記電離した気体を吹き付けたときに、前記ノズルに前記電離した気体が当たらない位置に退避させ、前記印刷対象物に前記電離した気体を吹き付けて除電する印刷方法。The printing head and the surface potential sensor, when the ionized gas is sprayed, retreat to a position where the ionized gas does not hit the nozzle, and the ionized gas is sprayed on the printing object to remove electricity Method.
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GB201109045D0 (en) * 2011-05-31 2011-07-13 Warwick Ventures Additive building
CN102833932A (en) * 2012-08-16 2012-12-19 无锡市电盾静电科技有限公司 Special static electricity eliminator for inkjet printer and pictorial machine
JP6263918B2 (en) 2013-09-19 2018-01-24 セイコーエプソン株式会社 Recording device
KR101471382B1 (en) * 2013-10-15 2014-12-10 (주)선재하이테크 Apparatus for removing electro static
JP6575102B2 (en) 2015-03-27 2019-09-18 株式会社リコー Droplet discharge device
JP7199279B2 (en) * 2019-03-26 2023-01-05 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing apparatus and static elimination method for mounting table

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3590100B2 (en) * 1994-08-12 2004-11-17 高砂熱学工業株式会社 Soft X-ray irradiation static eliminator
JP3563999B2 (en) * 1998-04-28 2004-09-08 キヤノン株式会社 Liquid discharge method, liquid discharge head and liquid discharge device
JP3660818B2 (en) * 1998-12-25 2005-06-15 シャープ株式会社 Substrate neutralization method and stage with neutralization function
JP2004256299A (en) * 2002-10-03 2004-09-16 Seiko Epson Corp Printer and printing method
JP2006088421A (en) * 2004-09-22 2006-04-06 Konica Minolta Medical & Graphic Inc Image recording device

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