JP4781845B2

JP4781845B2 - Pressure regulating valve

Info

Publication number: JP4781845B2
Application number: JP2006049990A
Authority: JP
Inventors: 健一寺島; 智黒子; 隆司笠瀬
Original assignee: Nissan Tanaka Corp
Current assignee: Nissan Tanaka Corp
Priority date: 2006-02-27
Filing date: 2006-02-27
Publication date: 2011-09-28
Anticipated expiration: 2026-02-27
Also published as: JP2007225085A

Description

本発明は、流体の圧力をダイヤフラムで検出し、ダイヤフラムに設けられたシール部材で、１次側流体と２次側流体との接続部を開閉することにより流体圧力を調整する圧力調整弁に関する。 The present invention relates to a pressure regulating valve that detects the pressure of a fluid with a diaphragm and adjusts the fluid pressure by opening and closing a connecting portion between a primary fluid and a secondary fluid with a seal member provided on the diaphragm.

従来、１次側流体の流入路と２次側流体の流出路との間に形成された凹部の開口部を覆うようにダイヤフラムを設け、凹部内の流体圧力に応じてダイヤフラムが変形し、ダイヤフラムに連結され、又は連動するシール部材が１次側流体と２次側流体との接続部に形成された弁座を開閉して、流体圧力を調整する圧力調整弁として、１次側流体の圧力を調整する背圧弁や２次側流体の圧力を調整する減圧弁が用いられている。（例えば、特許文献１及び特許文献２参照。）。
特開２００３−０４２２９１号公報特開平７−１２２４５号公報 Conventionally, a diaphragm is provided so as to cover an opening of a recess formed between an inflow path of the primary side fluid and an outflow path of the secondary side fluid, and the diaphragm is deformed according to the fluid pressure in the recess, and the diaphragm The pressure of the primary fluid serves as a pressure regulating valve that adjusts the fluid pressure by opening and closing a valve seat formed at a connection portion between the primary fluid and the secondary fluid by a seal member coupled to or interlocking with the fluid. A back pressure valve for adjusting the pressure and a pressure reducing valve for adjusting the pressure of the secondary fluid are used. (For example, refer to Patent Document 1 and Patent Document 2.)
JP 2003-042991 A Japanese Patent Laid-Open No. 7-12245

このように構成された圧力調整弁では、背圧弁において１次側流体の圧力が上昇した場合や、減圧弁において２次側流体の圧力が下降した場合に、ダイヤフラムが変形してシール部材が弁座の接続部を開放して流体が１次側から２次側に流通するようになっている。このように、ダイヤフラムを付勢している付勢手段の移動部が移動してシール部材が弁座から離間して移動する場合に、シール部材が軸線方向に往復する振動が発生する場合がある。
特に、付勢手段であるコイルスプリング等が共振した場合、シール部材が弁座を頻繁に開閉されて、流体の圧力に振動が生じて圧力が不安定になる場合やシール部材の破損が生じる場合がある。
そこで、付勢手段の移動部とともに往復運動する筒状体に、Ｏリング等の摺動部材を設け、この筒状体を弁本体内部に形成されたシリンダ内に配置するとともに、Ｏリングとシリンダ内周面との間に摺動摩擦を発生させることにより、付勢手段の移動部の振動を抑制し、その結果、シール部材の振動を抑制する技術が実用化されている。 In the pressure regulating valve configured as described above, when the pressure of the primary fluid increases in the back pressure valve or when the pressure of the secondary fluid decreases in the pressure reducing valve, the diaphragm deforms and the seal member becomes the valve. The connecting portion of the seat is opened so that fluid flows from the primary side to the secondary side. Thus, when the moving part of the urging means that urges the diaphragm moves and the seal member moves away from the valve seat, vibration in which the seal member reciprocates in the axial direction may occur. .
In particular, when a coil spring or the like, which is an urging means, resonates, the seal member frequently opens and closes the valve seat, causing vibrations in the fluid pressure and making the pressure unstable or causing damage to the seal member There is.
Therefore, a sliding member such as an O-ring is provided on the cylindrical body that reciprocates with the moving portion of the urging means, and this cylindrical body is disposed in a cylinder formed inside the valve body, and the O-ring and the cylinder A technique has been put to practical use in which sliding friction is generated between the inner peripheral surface and the vibration of the moving portion of the urging means, thereby suppressing the vibration of the seal member.

しかしながら、かかる技術を用いた場合、付勢手段の移動部の振動を十分に抑制することはできるが、弊害として、Ｏリングに生じる摺動摩擦の変化や長期間の休止により生じるＯリングとシリンダとの固着により、圧力調整弁の作動が不安定になる場合があった。
そこで、弁本体の凹部の開口部を覆うように設けられたダイヤフラムが凹部内の流体の圧力によって変形し、ダイヤフラムに連結され、又は連動するシール部材が弁座を開閉する上記構成の圧力調整弁を対象として、シール部材が振動するのを抑制するとともに流体圧力の振動を抑制するための技術が求められていた。 However, when such a technique is used, the vibration of the moving part of the urging means can be sufficiently suppressed. However, as an adverse effect, the O-ring and the cylinder generated by the change of the sliding friction generated in the O-ring or the long-term pause In some cases, the operation of the pressure regulating valve may become unstable due to the sticking of.
Therefore, the pressure regulating valve having the above-described configuration in which the diaphragm provided so as to cover the opening of the concave portion of the valve body is deformed by the pressure of the fluid in the concave portion, and the seal member connected to or interlocking with the diaphragm opens and closes the valve seat. Therefore, there is a need for a technique for suppressing the vibration of the seal member while suppressing the vibration of the seal member.

本発明は、このような事情を考慮してなされたもので、１次側流体の流入路と２次側流体の流出路との間に形成された凹部の開口部をダイヤフラムにより覆うように構成され、凹部内の流体圧力によりダイヤフラムが変形するとともに、ダイヤフラムに連結され、又は連動するシール部材により弁座に形成された１次側流体と２次側流体との接続部を開閉する圧力調整弁において、シール部材の振動を抑制するとともにシール部材をスムースに作動させることで、流体圧力を安定させることができる圧力調整弁を提供することにある。 The present invention has been made in consideration of such circumstances, and is configured to cover the opening of the recess formed between the inflow path of the primary side fluid and the outflow path of the secondary side fluid with a diaphragm. The pressure regulating valve that opens and closes the connecting portion between the primary fluid and the secondary fluid formed in the valve seat by a seal member coupled to or interlocking with the diaphragm while the diaphragm is deformed by the fluid pressure in the recess The present invention provides a pressure regulating valve that can stabilize fluid pressure by suppressing vibration of the sealing member and smoothly operating the sealing member.

上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１記載の発明は、１次側流体の流入路及び２次側流体の流出路を有するとともに前記流入路と前記流出路との間に凹部が形成された弁本体と、前記１次側流体と前記２次側流体との接続部を構成する弁座と、前記凹部の開口部を覆うように取付けられたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに連結され、又は連動するシール部材と、前記ダイヤフラムを前記凹部側に付勢する付勢手段とを備え、前記シール部材が前記弁座から離間し、又は前記弁座に当接して前記接続部を開閉することにより流体の圧力を調整する圧力調整弁であって、前記シール部材の振動抑制手段を備え、該振動抑制手段は、前記付勢手段の軸線と同軸に配置された弾性部材と、前記付勢手段の移動部側に設けられ、前記軸線に垂直な面に対して傾斜して形成された第１の支持部と、前記弁本体側に設けられ、前記軸線に垂直な面に対して傾斜して形成された第２の支持部とを備え、前記弾性部材は、前記第１の支持部と前記第２の支持部との間に配置される構成とされ、前記シール部材が前記弁座から離間する際に、前記第１の支持部が前記弾性部材と接触する第１の接触部と、前記第２の支持部が前記弾性部材と接触する第２の接触部とが形成され、かつ前記第１の接触部と前記第２の接触部とは、前記軸線からの距離と前記軸線方向位置とが、ともに異なることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention proposes the following means.
The invention according to claim 1 includes a valve body having an inflow passage for a primary fluid and an outflow passage for a secondary fluid, and a recess formed between the inflow passage and the outflow passage, and the primary side A valve seat constituting a connection portion between the fluid and the secondary fluid, a diaphragm attached to cover the opening of the recess, a seal member connected to or interlocking with the diaphragm, and the diaphragm A pressure adjusting valve that adjusts the pressure of the fluid by opening and closing the connecting portion while being separated from the valve seat or contacting the valve seat. there, with the vibration suppression means of the sealing member, the vibration suppressing means comprises an elastic member disposed coaxially with the axis of the biasing means, provided on the moving part side of said biasing means, said axis Inclined with respect to a vertical plane 1 and a second support portion provided on the valve body side and inclined with respect to a plane perpendicular to the axis, wherein the elastic member includes the first support portion and the second support portion. A first contact portion that is arranged between the second support portion and the first support portion contacts the elastic member when the seal member is separated from the valve seat; A second contact portion where the second support portion comes into contact with the elastic member is formed , and the first contact portion and the second contact portion are a distance from the axis and the axial position. Are different from each other .

この発明に係る圧力調整弁によれば、弾性部材が、前記付勢手段の移動部側に設けられ、前記付勢手段の軸線に垂直な面に対して傾斜して形成された第１の支持部と、前記弁本体側に設けられ、前記軸線に垂直な面に対して傾斜して形成された第２の支持部との間に配置されているので、シール部材が弁座から離間する際に弾性部材が受ける前記軸線方向の力は、前記第１の接触部及び第２の接触部において、各接触部に対して垂直な方向の力と、各接触部の接線方向の力とに分散され、該垂直な方向の力によって弾性部材に生じる圧縮変形は、シール部材の移動量に比較すると小さくなる。
また、弾性部材が、付勢手段の軸線に対して同心に配置されているので、シール部材は、軸線方向に安定して圧縮変形される。また、第１の接触部と第２の接触部は、軸線からの距離と軸線方向位置とがともに異なり、シール部材が弁座から離間する際に生じる圧縮変形と接線方向の力により弾性部材が大きく変形するので、振動エネルギーを効率的に減衰させてシール部材の振動が抑制される。その結果、圧力調整弁に生じる流体圧力の振動が抑制される。
また、弾性部材に摺動がほとんど発生しないので、弾性部材への摩耗がほとんど生じることがない。 According to the pressure regulating valve of the present invention, the elastic member is provided on the moving part side of the urging means, and is formed to be inclined with respect to a plane perpendicular to the axis of the urging means. When the seal member is separated from the valve seat, the second support portion is provided on the valve body side and is inclined with respect to a plane perpendicular to the axis. The axial force received by the elastic member is distributed to the force in the direction perpendicular to each contact portion and the force in the tangential direction of each contact portion at the first contact portion and the second contact portion. Thus, the compressive deformation generated in the elastic member by the force in the perpendicular direction is smaller than the amount of movement of the seal member.
Further, the elastic member, because it is arranged concentrically with respect to the axis of the urging means, the seal member, Ru is stably compressive deformation in the axial direction. The first contact portion and the second contact portion are different from each other in the distance from the axis and the axial position, and the elastic member is caused by the compressive deformation and the tangential force generated when the seal member is separated from the valve seat. Since it is greatly deformed, vibration energy is effectively attenuated and vibration of the seal member is suppressed. As a result, the vibration of the fluid pressure generated in the pressure regulating valve is suppressed.
Moreover, since the elastic member hardly slides, the elastic member is hardly worn.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の圧力調整弁であって、前記弾性部材は、前記軸線と同心に配置された環状弾性部材とされることを特徴とする。 According to a second aspect of the invention, a pressure control valve according to claim 1, wherein the elastic member is characterized by being an annular elastic member disposed concentrically with said axis.

この発明に係る圧力調整弁によれば、弾性部材が環状弾性部材とされるので、軸線に対して同心に容易に配置可能とされ、また、シール部材が軸線方向に移動する際に安定した変形が可能とされる。 According to the pressure regulating valve according to the present invention, since the elastic member is an annular elastic member, it can be easily arranged concentrically with respect to the axis, and can be stably deformed when the seal member moves in the axial direction. Is possible.

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の圧力調整弁であって、前記環状弾性部材は、Ｏリングであることを特徴とする。 The invention described in claim 3 is the pressure regulating valve according to claim 2, wherein the annular elastic member may be an O-ring.

この発明に係る圧力調整弁によれば、環状弾性部材がＯリングとされていて、付勢手段の軸線を含む断面の形状が円形とされているので、前記シール部材が前記弁座から離間する際に、安定した変形を行なわせて振動エネルギーを効率的に減衰可能とする。
また、環状弾性部材がＯリングであるため、入手が容易かつ低コストである。 According to the pressure regulating valve of the present invention, since the annular elastic member is an O-ring and the cross-sectional shape including the axis of the urging means is circular, the seal member is separated from the valve seat. At this time, the vibration energy can be efficiently damped by causing stable deformation.
Further, since the annular elastic member is an O-ring, it is easy to obtain and low cost.

請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の圧力調整弁であって、前記シール部材が前記弁座から離間する際に、前記弾性部材の前記付勢手段の軸線を含む断面に、回転モーメントが生じることを特徴とする。 The invention according to claim 4 is the pressure regulating valve according to any one of claims 1 to 3 , wherein the attachment of the elastic member is performed when the seal member is separated from the valve seat. A rotational moment is generated in a cross section including the axis of the biasing means.

この発明に係る圧力調整弁によれば、シール部材が弁座から離間する際に、弾性部材の前記軸線を含む断面に回転モーメントが生じ、前記軸線を中心として環状に形成される弾性部材のモーメント中心廻りに弾性部材が回転して、弾性部材が捲られるように大きく変形されるので、振動エネルギーが効率的に減衰されシール部材の振動が抑制される。 According to the pressure regulating valve according to the present invention, when the seal member is separated from the valve seat, a rotational moment is generated in the cross section including the axis of the elastic member, and the moment of the elastic member formed in an annular shape around the axis. Since the elastic member rotates around the center and is greatly deformed so that the elastic member is beaten, the vibration energy is efficiently attenuated and the vibration of the seal member is suppressed.

本発明に係る圧力調整弁によれば、シール部材が弁座から離間する際に生じる振動エネルギーを、効率的に減衰させることによりシール部材に生じる振動を抑制することができる。また、その結果、流体圧力の振動を安定させることができる。 According to the pressure regulating valve according to the present invention, it is possible to suppress vibration generated in the seal member by efficiently attenuating vibration energy generated when the seal member is separated from the valve seat. As a result, the vibration of the fluid pressure can be stabilized.

図１は、本発明の第１の実施の形態に係る圧力調整弁を示す図であり、符号１は減圧弁（圧力調整弁）を示している。以下、図１から図４に基づいて、減圧弁１について説明する。図１から図４は、付勢手段３０の軸線Ｏ１を含む断面の縦断面図である。
減圧弁１は、図１に示すように、弁本体１０と、１次側流体と２次側流体との接続部１５を構成する弁座１６と、弁本体１０に形成された凹部１８の開口部１８aを覆うように取付けられたダイヤフラム２１と、ダイヤフラム２１にロッド２４を介して連結され、又は連動する弁体２５と、ダイヤフラム２１を凹部１８側に付勢する付勢手段３０とを備えており、凹部１８内の２次側流体の圧力によって、ダイヤフラム２１が付勢手段の軸線方向に変位することによって、弁体２５に設けられたシール部材２６が弁座１６のシール部１６ａを開閉して２次側流体の圧力が調整されるようになっている。
また、減圧弁１は、シール部材２６がシール部１６ａに密着して接続部１５を開閉する際に、シール部材２６が付勢手段３０の振動にともなって振動するのを抑制する振動抑制手段５０を備えている。 FIG. 1 is a view showing a pressure regulating valve according to a first embodiment of the present invention, and reference numeral 1 denotes a pressure reducing valve (pressure regulating valve). Hereinafter, the pressure reducing valve 1 will be described with reference to FIGS. 1 to 4. 1 to 4 are longitudinal sectional views of a section including the axis O1 of the urging means 30. FIG.
As shown in FIG. 1, the pressure reducing valve 1 includes a valve body 10, a valve seat 16 that constitutes a connection portion 15 between the primary fluid and the secondary fluid, and an opening of a recess 18 formed in the valve body 10. A diaphragm 21 attached so as to cover the portion 18a; a valve body 25 coupled to or interlocking with the diaphragm 21 via a rod 24; and a biasing means 30 for biasing the diaphragm 21 toward the concave portion 18 side. When the diaphragm 21 is displaced in the axial direction of the urging means by the pressure of the secondary fluid in the recess 18, the seal member 26 provided on the valve body 25 opens and closes the seal portion 16 a of the valve seat 16. Thus, the pressure of the secondary fluid is adjusted.
Further, the pressure reducing valve 1 is a vibration suppressing means 50 that suppresses the vibration of the sealing member 26 due to the vibration of the urging means 30 when the sealing member 26 is in close contact with the sealing portion 16 a to open and close the connecting portion 15. It has.

弁本体１０は、流路部材１１とキャップ４０とから構成されており、流路部材１１は、１次側流体が流入する流入路１２と、２次側流体が流出する流出路１４とを備え、流路部材１１の一方端側には、凹部１８が形成されている。 The valve body 10 includes a flow path member 11 and a cap 40, and the flow path member 11 includes an inflow path 12 through which the primary side fluid flows in and an outflow path 14 through which the secondary side fluid flows out. A recess 18 is formed on one end side of the flow path member 11.

流入路１２は、一方端が流路部材１１の外部に連通される第１の流入路１２ａと、凹部１８の底面側に形成され、第１の流入路１２ａの他方端に連通される第２の流入路１２ｂとから構成されている。
流出路１４は、一方端が流路部材１１の外部に連通されるとともに、他方端は凹部１８に連通されている。
また、流入路１２及び流出路１４の先端側は、流路部材１１の外部に延在する配管を有しており、これら配管には接続金具が設けられ、外部の配管等に接続可能とされている。 The inflow path 12 is formed on the bottom side of the recess 18 with a first inflow path 12a having one end communicating with the outside of the flow path member 11, and a second in communication with the other end of the first inflow path 12a. Inflow passage 12b.
The outflow passage 14 has one end communicating with the outside of the flow path member 11 and the other end communicating with the recess 18.
In addition, the leading end sides of the inflow path 12 and the outflow path 14 have pipes extending to the outside of the flow path member 11, and these pipes are provided with connection fittings, and can be connected to external pipes or the like. ing.

弁座１６は、シール部１６ａと、凹部１８側から第２の流入路１２ｂ側に延在する接続流路１６ｂとを備えており、外周面に形成されたネジによって第２の流入路１２ｂの内周面に密封状態にて螺着されることで、第２の流入路１２ｂと凹部１８とは、接続流路１６ｂのみによって連通され、シール部１６ａには、１次側流体と２次側流体との接続部１５が形成されている。第１の実施の形態において、シール部１６ａは、弁座１６の第２の流入路１２ｂ側に形成されている。 The valve seat 16 includes a seal portion 16a and a connection flow channel 16b extending from the concave portion 18 side to the second inflow passage 12b. The screw seat 16 is formed on the outer peripheral surface of the second inflow passage 12b. By being screwed to the inner peripheral surface in a sealed state, the second inflow passage 12b and the recess 18 are communicated only by the connection passage 16b, and the primary fluid and the secondary side are connected to the seal portion 16a. A fluid connection 15 is formed. In the first embodiment, the seal portion 16 a is formed on the second inflow passage 12 b side of the valve seat 16.

ダイヤフラム２１は、弾力性のある円形平板状の金属板で、平板状の面に垂直な方向に移動自在とされ、中央部に弁体２５と連結され、又は連動するためのロッド２４が設けられるとともに、外周縁部が流路部材１１及びキャップ４０によって挟持されて、流路部材１１の凹部１８の開口部１８ａを覆うようになっている。なお、ロッド２４については、ダイヤフラム２１とシール部材２６とを連結させる構成と、連結させずに連動する構成のいずれも選択可能である。 The diaphragm 21 is an elastic flat plate-like metal plate that is movable in a direction perpendicular to the plate-like surface, and is provided with a rod 24 that is connected to or interlocked with the valve body 25 at the center. In addition, the outer peripheral edge is sandwiched between the flow path member 11 and the cap 40 so as to cover the opening 18 a of the recess 18 of the flow path member 11. In addition, about the rod 24, either the structure which connects the diaphragm 21 and the sealing member 26, and the structure which interlock | cooperates without connecting can be selected.

弁体２５は、第２の流入路１２ｂ内に配置されるとともにシール部材２６を備えており、弁体２５の底面には、弁座１６の第２の流入路１２ｂの底面側に配置されたシール用バネ１７の一端が当接し、弁体２５の作動が緩衝可能とされている。 The valve body 25 is disposed in the second inflow passage 12b and includes a seal member 26. The bottom surface of the valve body 25 is disposed on the bottom surface side of the second inflow passage 12b of the valve seat 16. One end of the sealing spring 17 abuts, and the operation of the valve body 25 can be buffered.

付勢手段３０は、固定端側受皿３２と、移動端側受皿３４と、コイルスプリング３５とを備えている。
固定端側受皿３２は、小径凸部３２ａと、円錐形状の凹部３２ｂとを備えており、小径凸部３２ａにはコイルスプリング３５の固定端の内周が配置され、凹部３２ｂは圧力調整ネジ６１の凸部６１ａにより支持されている。
円錐形状の凹部３２ｂと圧力調整ネジ６１の凸部６１ａとは、点接触することで付勢手段３０は揺動自在とされている。 The urging means 30 includes a fixed end side tray 32, a moving end side tray 34, and a coil spring 35.
The fixed end side tray 32 includes a small-diameter convex portion 32a and a conical concave portion 32b. The small-diameter convex portion 32a is provided with the inner periphery of the fixed end of the coil spring 35. The concave portion 32b includes the pressure adjusting screw 61. Is supported by the convex portion 61a.
The urging means 30 can be swung by a point contact between the conical recess 32 b and the protrusion 61 a of the pressure adjusting screw 61.

移動端側受皿３４は、小径凸部３４ｂを備えており、小径凸部３４ｂの外周にはコイルスプリング３５の移動端側の内周が配置され、移動端側受皿３４の弁座１６側の面には、ダイヤフラム２１が配置されている。 The moving end side tray 34 is provided with a small-diameter convex portion 34b, and the inner periphery of the moving end side of the coil spring 35 is disposed on the outer periphery of the small-diameter convex portion 34b. The diaphragm 21 is arranged in the front.

コイルスプリング３５は、キャップ４０のキャップ凹部４１内に収納され、固定側端面３５ａが固定端側受皿３２によって支持されるとともに、移動側端面３５ｂが移動側受皿３４に支持されている。 The coil spring 35 is housed in the cap recess 41 of the cap 40, the fixed side end surface 35 a is supported by the fixed end side tray 32, and the moving side end surface 35 b is supported by the moving side tray 34.

キャップ４０は、コイルスプリング３５を収納する第１のキャップ凹部４１を備えており、第１のキャップ凹部４１の開口側には、第１のキャップ凹部４１よりも大径とされる第２の凹部４３が形成されている。
キャップ４０の天面中央部には、付勢手段３０の軸線Ｏ１と同心に雌ネジが形成され、その雌ネジに圧力調整ネジ６１が螺合され、圧力調整ネジ６１に接続されたハンドル６２を回動することでコイルスプリング３５の付勢力を変化させて、流出路１４側の２次側流体が減圧弁１を作動させる圧力を調整可能としている。 The cap 40 includes a first cap recess 41 that houses the coil spring 35, and a second recess that has a larger diameter than the first cap recess 41 is formed on the opening side of the first cap recess 41. 43 is formed.
A female screw is formed in the center of the top surface of the cap 40 concentrically with the axis O1 of the urging means 30. A pressure adjusting screw 61 is screwed into the female screw, and a handle 62 connected to the pressure adjusting screw 61 is attached. By rotating, the biasing force of the coil spring 35 is changed so that the pressure at which the secondary fluid on the outflow path 14 side operates the pressure reducing valve 1 can be adjusted.

振動抑制手段５０は、図２に示すように、付勢手段３０の移動部側に配置された移動側受皿３４に形成された第１の支持部３４ｓと、弁本体１１側のキャップ４０のキャップ凹部４３の内周面に設けられた軸線Ｏ１に垂直な面に対して角度θ２で傾斜して形成された第２の支持部４０ｓと、Ｏリング（環状弾性部材）５１とを備えている。 As shown in FIG. 2, the vibration suppressing means 50 includes a first support portion 34 s formed on the moving side tray 34 disposed on the moving portion side of the biasing means 30, and a cap of the cap 40 on the valve body 11 side. A second support portion 40 s formed at an angle θ 2 with respect to a surface perpendicular to the axis O 1 provided on the inner peripheral surface of the recess 43 and an O-ring (annular elastic member) 51 are provided.

第１の支持部３４ｓは、移動側受皿３４の外周に形成され、付勢手段３０の固定端側から移動端側に向かうにつれて縮径されるとともに、付勢手段３０の軸線Ｏ１に垂直な面と軸線Ｏ１側でなす角が角度θ１で傾斜する傾斜面として構成されている。
第２の支持部４０ｓは、キャップ４０の第２のキャップ凹部４３の開口部４３ａ近傍の内周面に形成され、キャップ凹部４３の開口部４３ａに近づくにつれて内周面が縮径されるとともに、軸線Ｏ１に垂直な面と軸線Ｏ１の径方向外方でなす角が角度θ２で傾斜する傾斜面として構成されている。 The first support portion 34 s is formed on the outer periphery of the moving side tray 34, and has a diameter that decreases from the fixed end side toward the moving end side of the biasing means 30, and is a surface that is perpendicular to the axis O <b> 1 of the biasing means 30. And an angle formed on the axis O1 side is inclined as an inclined surface at an angle θ1.
The second support portion 40s is formed on the inner peripheral surface in the vicinity of the opening 43a of the second cap recess 43 of the cap 40, and the inner peripheral surface is reduced in diameter as it approaches the opening 43a of the cap recess 43, An angle formed by a surface perpendicular to the axis O1 and the outer side in the radial direction of the axis O1 is inclined by an angle θ2.

角度θ１、θ２は、それぞれ２０°以上７０°以下が好適とされ、第１の実施形態において、角度θ１と角度θ２とは、それぞれ４５°で同一とされている。
図３に示したのは、角度θ１、θ２が４５°とし、Ｏリング５１としてＰ−３２（内径３２ｍｍ、直径ｄ＝φ３．５ｍｍ）を使用した場合に、シール部材２６が弁座１６から０．８ｍｍ離間した際の、Ｏリング５１の付勢手段３０の軸線Ｏ１を含む断面（以下、断面Ｇという）における変形を示したものであり、この場合、圧縮変形量ｅは０．６ｍｍとなる。 The angles θ1 and θ2 are each preferably 20 ° or more and 70 ° or less, and in the first embodiment, the angles θ1 and θ2 are 45 ° and the same.
3 shows that when the angles θ1 and θ2 are 45 ° and P-32 (inner diameter 32 mm, diameter d = φ3.5 mm) is used as the O-ring 51, the seal member 26 is 0 from the valve seat 16. .. Shows a deformation in a cross section (hereinafter referred to as a cross section G) including the axis O1 of the urging means 30 of the O-ring 51 when separated by 8 mm. In this case, the amount of compressive deformation e is 0.6 mm. .

角度θ１、θ２が２０°以上とされると、Ｏリング５１の圧縮変形量ｅが抑制され、圧縮変形量ｅがＯリング５１のつぶし代の許容範囲内とされることでＯリング５１の寿命が延長され、また、Ｏリング５１の軸線Ｏ１を中心とした径方向の変形が抑制されることで、移動側受皿３４の外周とキャップ４０の内周面との間に必要とされる径方向のクリアランスを小さく抑えることが可能となるため、シール部材２６が弁座１６から離間する際の遊びを小さくしてシール部材２６の軸線Ｏ１方向の移動が安定する。 When the angles θ1 and θ2 are set to 20 ° or more, the compression deformation amount e of the O-ring 51 is suppressed, and the compression deformation amount e is within an allowable range for the crushing allowance of the O-ring 51, whereby the life of the O-ring 51 is reached. Is extended, and the radial deformation around the axis O1 of the O-ring 51 is suppressed, so that the radial direction required between the outer periphery of the moving side tray 34 and the inner peripheral surface of the cap 40 is reduced. Since the clearance when the seal member 26 is separated from the valve seat 16 is reduced, the movement of the seal member 26 in the direction of the axis O1 is stabilized.

ここで、角度θ１、θ２が７０°以下とされると、シール部材２６が弁座１６から離間する際に、Ｏリング５１が、第１の支持部３４ｓと第２の支持部４０ｓを構成するいずれの傾斜面とも摺動することが抑制され、その結果、Ｏリング５１に摺動による摩耗の発生が抑制され、その結果、Ｏリング５１の寿命が延長される。 Here, when the angles θ1 and θ2 are 70 ° or less, the O-ring 51 forms the first support portion 34s and the second support portion 40s when the seal member 26 is separated from the valve seat 16. Sliding with any inclined surface is suppressed, and as a result, the occurrence of wear due to sliding on the O-ring 51 is suppressed, and as a result, the life of the O-ring 51 is extended.

Ｏリング５１は、キャップ４０の第２のキャップ凹部４３内に周方向、軸線Ｏ１方向に、付勢手段３０の軸線Ｏ１と同心、かつ軸線Ｏ１に対して垂直な面にわずかなクリアランスを持って移動自在に収納され、弁体２５のシール部材２６が弁座１６から離間する際に、第１の支持部３４ｓ及び第２の支持部４０ｓの双方に接触するように構成され、Ｏリング５１と第１の支持部３４ｓとの接触部である第１の接触部５２と、Ｏリング５１と第２の支持部４０ｓとの接触部である第２の接触部５３とは、軸線Ｏ１からの距離と、軸線Ｏ１方向の位置が異なるように構成されている。
また、Ｏリング５１は、この実施の形態において、デュロメータ硬さ７０°（ＪＩＳＫ６２５３）とされ、デュロメータ硬さ５０°から９０°の範囲が好適である。
第１の実施形態の減圧弁１は、弁本体１０、弁座１６、弁体２５、シール部材２６及び振動抑制部材５０の軸線は、付勢手段３０の軸線Ｏ１と同心に構成されている。 The O-ring 51 has a slight clearance on a surface concentric with the axis O1 of the biasing means 30 and perpendicular to the axis O1 in the second cap recess 43 of the cap 40 in the circumferential direction and the direction of the axis O1. It is movably accommodated, and is configured to come into contact with both the first support portion 34 s and the second support portion 40 s when the seal member 26 of the valve body 25 is separated from the valve seat 16. The first contact portion 52 that is a contact portion with the first support portion 34s and the second contact portion 53 that is a contact portion between the O-ring 51 and the second support portion 40s are distances from the axis O1. The position in the direction of the axis O1 is different.
Further, in this embodiment, the O-ring 51 has a durometer hardness of 70 ° (JIS K6253), and a durometer hardness of 50 ° to 90 ° is preferable.
In the pressure reducing valve 1 of the first embodiment, the axes of the valve main body 10, the valve seat 16, the valve body 25, the seal member 26, and the vibration suppressing member 50 are configured concentrically with the axis O <b> 1 of the urging means 30.

次に、上記構成の減圧弁１の作用について説明する。
まず、流出路１４側の２次側流体の圧力が所定の値以下の場合には、凹部１８内の２次側流体がダイヤフラム２１に与える力がコイルスプリング３５の付勢力以下とされ、コイルスプリング３５の付勢力によってダイヤフラム２１が弁座１６側に変形し、その結果、シール部材２６が弁座１６のシール部１６ａから離間されるとともに接続部１５が開放されて１次側流体が流出路１４側に流入する。 Next, the operation of the pressure reducing valve 1 configured as described above will be described.
First, when the pressure of the secondary side fluid on the outflow path 14 side is equal to or lower than a predetermined value, the force applied to the diaphragm 21 by the secondary side fluid in the recess 18 is made equal to or less than the urging force of the coil spring 35. The diaphragm 21 is deformed to the valve seat 16 side by the urging force of 35, and as a result, the seal member 26 is separated from the seal portion 16 a of the valve seat 16 and the connection portion 15 is opened so that the primary side fluid flows out of the outflow passage 14. Flows into the side.

１次側流体が流入路１２から流出路１４に流通して凹部１８内の２次側流体の圧力が所定の圧力まで上昇すると、ダイヤフラム２１がコイルスプリング３５の付勢力に抗してコイルスプリング３５が圧縮され、その結果、シール部材２６が弁座１６のシール部１６ａに密着されるとともに接続部１５が閉塞されて１次側流体の流入が停止される。 When the primary fluid flows from the inflow passage 12 to the outflow passage 14 and the pressure of the secondary fluid in the recess 18 rises to a predetermined pressure, the diaphragm 21 resists the biasing force of the coil spring 35 and the coil spring 35. As a result, the seal member 26 is brought into close contact with the seal portion 16a of the valve seat 16 and the connection portion 15 is closed to stop the inflow of the primary side fluid.

図４は、振動抑制手段５０の作用を示す図であり、（ａ）には、シール部材２６が弁座１６から離間していないときの状態を、（ｂ）には、シール部材２６が弁座１６から離間したときの状態を示すものである。 4A and 4B are views showing the operation of the vibration suppressing means 50. FIG. 4A shows a state when the seal member 26 is not separated from the valve seat 16, and FIG. The state when separated from the seat 16 is shown.

シール部材２６が弁座１６から離間していないときは、図４（ａ）に示すように、Ｏリング５１はキャップ凹部４０の第２の支持部４０ｓに支持されて、第１の支持部３４ｓとの間に、わずかなクリアランスが形成されている。
シール部材２６が弁座１６から離間した場合は、Ｏリング５１は、図４（ｂ）に示すように、第１の接触部５２及び第２の接触部５３において、第１の支持部３４ｓ及び第２の支持部４０ｓからの押圧力Ｐ１、押圧力Ｐ２により押圧、圧縮変形されて、Ｏリング５１は図３に示すように、断面Ｇが楕円形状に変形される。 When the seal member 26 is not separated from the valve seat 16, as shown in FIG. 4A, the O-ring 51 is supported by the second support portion 40s of the cap recess 40, and the first support portion 34s. A slight clearance is formed between them.
When the seal member 26 is separated from the valve seat 16, the O-ring 51 is connected to the first support portion 34s and the second contact portion 53 in the first contact portion 52 and the second contact portion 53 as shown in FIG. The O-ring 51 is deformed into an oval cross section G as shown in FIG. 3 by being pressed and compressed by the pressing force P1 and the pressing force P2 from the second support portion 40s.

また、図５（ａ）は、Ｏリング５１を軸線Ｏ１方向から見た図であり、符号Ｏ２は、Ｏリング５１を構成する環の中心線を、符号５１ａは、Ｏリング５１の周方向の一部である微小区間を示したものであり、図５においては、説明を簡単にするために相当な周方向の長さとしているが、概念的には微小な区間を意味している。
図５（ｂ）は、微小区間５１ａのうち、Ｏリング５１が捲られた場合に軸線Ｏ１方向に変位する部位（凹部１８の反対側に位置する略半分）の中心線Ｏ２方向の変形を示したものであり、図５（ｃ）は、Ｏリング５１が捲られた場合に軸線Ｏ１から離間する方向に変位する部位（凹部１８側に位置する略半分）の中心線Ｏ２方向の変形を示したものである。 FIG. 5A is a view of the O-ring 51 viewed from the direction of the axis O1. Reference numeral O2 denotes the center line of the ring constituting the O-ring 51, and reference numeral 51a denotes the circumferential direction of the O-ring 51. FIG. 5 shows a part of a minute section, and in FIG. 5, the length in the circumferential direction is considerable to simplify the description, but conceptually means a minute section.
FIG. 5B shows a deformation in the direction of the center line O2 of a portion of the minute section 51a that is displaced in the direction of the axis O1 when the O-ring 51 is beaten (substantially half located on the opposite side of the recess 18). FIG. 5 (c) shows the deformation in the direction of the center line O2 of the portion that is displaced in the direction away from the axis O1 when the O-ring 51 is beaten (substantially half located on the recess 18 side). It is a thing.

押圧力Ｐ１、Ｐ２は、シール部材２６が弁座１６から離間する際に生じる、Ｏリング５１と第１の接触部５２、第２の接触部５３における接線方向の分力に垂直な方向の力を示している。
また、Ｏリング５１は、図３、図４に示すように、押圧力Ｐ１、Ｐ２の分力によって生じる回転モーメントＭ１によって中心線Ｏ２廻りに回動され、捲られるような変形が生じると推測され、この場合、Ｏリング５１が捲られることによって、中心線Ｏ２は、矢印Ａ方向に移動するとともに中心線Ｏ２の直径Ｄ１が縮径されると考えられる。
第１の実施形態において、中心線Ｏ２は、断面Ｇにおける、回転モーメントＭ１のモーメント中心を構成する。 The pressing forces P1 and P2 are forces in a direction perpendicular to the tangential component force in the O-ring 51, the first contact portion 52, and the second contact portion 53, which are generated when the seal member 26 is separated from the valve seat 16. Is shown.
Further, as shown in FIGS. 3 and 4, it is estimated that the O-ring 51 is rotated around the center line O2 by the rotational moment M1 generated by the component force of the pressing forces P1 and P2, and is deformed to be beaten. In this case, it is considered that the center line O2 moves in the direction of the arrow A and the diameter D1 of the center line O2 is reduced by turning the O-ring 51.
In the first embodiment, the center line O2 constitutes the moment center of the rotational moment M1 in the cross section G.

Ｏリング５１が捲られることで軸線Ｏ１方向に変位する部位では、微小区間５１ａは、中心線Ｏ２方向に図５（ｂ）の矢印Ｘで示すような圧縮変形が発生し、さらに、Ｏリング５１の中心線Ｏ２が、第２の支持部４０ｓを構成する傾斜面に沿って、図４（ｂ）に示す矢印Ａの方向に移動することで、Ｏリング５１の中心線Ｏ２の直径Ｄ１が縮径されて矢印Ｙ方向の圧縮変形が発生し、矢印Ｘと矢印Ｙによる大きな圧縮変形が発生すると考えられる。 In a portion that is displaced in the direction of the axis O1 when the O-ring 51 is punched, the minute section 51a is compressed and deformed in the direction of the center line O2 as indicated by an arrow X in FIG. The center line O2 of the O-ring 51 moves in the direction of the arrow A shown in FIG. It is considered that the compression deformation in the arrow Y direction occurs and the large compression deformation by the arrows X and Y occurs.

また、Ｏリング５１が捲られて軸線Ｏ１から離間する方向に変位する部位では、微小区間５１ａは、中心線Ｏ２方向に図５（ｃ）の矢印Ｘで示すような引張変形が発生し、Ｏリング５１の中心線Ｏ２が、第２の支持部４０ｓを構成する傾斜面に沿って、図４（ｂ）に示す矢印Ａの方向に移動することで、Ｏリング５１の中心線Ｏ２の直径Ｄ１が縮径され、矢印Ｙ方向の圧縮変形が発生し、矢印Ｘと矢印Ｙによる小さな圧縮変形又は引張変形が発生すると考えられる。 Further, in a portion where the O-ring 51 is beaten and displaced in a direction away from the axis O1, the minute section 51a undergoes tensile deformation as indicated by an arrow X in FIG. The center line O2 of the ring 51 moves in the direction of the arrow A shown in FIG. 4B along the inclined surface constituting the second support portion 40s, whereby the diameter D1 of the center line O2 of the O-ring 51 is obtained. Is reduced, compression deformation in the direction of arrow Y occurs, and small compression deformation or tensile deformation by arrows X and Y occurs.

その結果、Ｏリング５１が、図３に示すような断面Ｇにおける形状変形と、図５（ｂ）、（ｃ）における圧縮、引張変形により３次元的に変形されることで、振動エネルギーを効率よく減衰させることが可能と推測される。 As a result, the O-ring 51 is three-dimensionally deformed by the shape deformation in the cross section G as shown in FIG. 3 and the compression and tensile deformation in FIGS. It is estimated that it can be attenuated well.

第１の実施形態に係る減圧弁１によれば、２次側流体の圧力振動が抑制され、２次側流体の圧力を安定させることができる。
図９（ａ）は、第１の実施形態の減圧弁１の振動レベルと、流量Ｑの改善効果を示したものであり、実線で示した振動レベルＶ１、経過時間に対する流量Ｑ１は、改善後の状態を示し、破線で示した振動レベルＶ２、経過時間に対する流量Ｑ２は、改善前の状態を示している。これによると、減圧弁１に生じる振動はほとんどなくなり、流量Ｑに関する応答性が向上されている。
また、Ｏリング５１に生じる圧縮変形量ｅが、シール部材２６の移動量よりも小さくされるので、Ｏリング５１のつぶし代の許容範囲内に設定し易く、また、Ｏリング５１に摺動摩耗が生じにくいので、Ｏリング５１の寿命が延長される。 According to the pressure reducing valve 1 according to the first embodiment, the pressure vibration of the secondary fluid is suppressed, and the pressure of the secondary fluid can be stabilized.
FIG. 9A shows the vibration level of the pressure reducing valve 1 of the first embodiment and the improvement effect of the flow rate Q. The vibration level V1 indicated by the solid line and the flow rate Q1 with respect to the elapsed time are shown after improvement. The vibration level V2 indicated by the broken line and the flow rate Q2 with respect to the elapsed time indicate the state before improvement. According to this, vibration generated in the pressure reducing valve 1 is almost eliminated, and the responsiveness regarding the flow rate Q is improved.
In addition, since the amount of compressive deformation e generated in the O-ring 51 is made smaller than the amount of movement of the seal member 26, it is easy to set it within an allowable range for the crushing allowance of the O-ring 51. Therefore, the life of the O-ring 51 is extended.

次に、この発明の第２の実施形態について説明する。
図６は、本発明の第２の実施の形態に係る圧力調整弁を示す図であり、符号２は背圧弁（圧力調整弁）を示している。以下、図６から図８に基づいて、背圧弁２について説明する。図６から図８は、付勢手段３０の軸線Ｏ１を含む断面の縦断面図であり、第２の実施の形態において、第１の実施形態と同一の構成に関しては、第１の実施形態と同じ符号を付し、説明を省略する。 Next explained is the second embodiment of the invention.
FIG. 6 is a view showing a pressure regulating valve according to the second embodiment of the present invention, and reference numeral 2 denotes a back pressure valve (pressure regulating valve). Hereinafter, the back pressure valve 2 will be described with reference to FIGS. 6 to 8 are longitudinal sectional views of a section including the axis O1 of the urging means 30. In the second embodiment, the same configuration as that of the first embodiment is the same as that of the first embodiment. The same reference numerals are given and description thereof is omitted.

背圧弁２は、図６に示すように、弁本体１０と、１次側流体と２次側流体との接続部１５を構成する弁座１６と、弁本体１０に形成された凹部１８の開口部１８aを覆うように取付けられたダイヤフラム２１と、ダイヤフラム２１に連結された弁体２５と、ダイヤフラム２１を凹部１８側に付勢する付勢手段３０とを備えており、ダイヤフラム２１が、凹部１８内の１次側流体の圧力によって、ダイヤフラム２１が付勢手段の軸線方向に変位することによって、弁体２５に設けられたシール部材２６が弁座１６のシール部１６ａを開閉して１次側流体の圧力が調整されるようになっており、また、振動抑制手段５０を備えている。 As shown in FIG. 6, the back pressure valve 2 includes a valve body 10, a valve seat 16 that constitutes a connection part 15 between the primary fluid and the secondary fluid, and an opening of a recess 18 formed in the valve body 10. A diaphragm 21 attached so as to cover the portion 18a; a valve body 25 connected to the diaphragm 21; and a biasing means 30 for biasing the diaphragm 21 toward the concave portion 18. The diaphragm 21 includes the concave portion 18; The diaphragm 21 is displaced in the axial direction of the urging means by the pressure of the primary fluid inside, so that the seal member 26 provided on the valve body 25 opens and closes the seal portion 16a of the valve seat 16 and opens the primary side. The pressure of the fluid is adjusted, and vibration suppression means 50 is provided.

流入路１２は、一方端が流路部材１１の外部に連通されるとともに、他方端は凹部１８に連通されている。
流出路１４は、凹部１８の底面側に形成された第１の流出路１４ａと、一方端が第１の流出路１４ａに連通され、他方端が流路部材１１の外部に連通される第２の流出路１４ｂとから構成されている。 The inflow passage 12 has one end communicating with the outside of the flow path member 11 and the other end communicating with the recess 18.
The outflow path 14 is connected to a first outflow path 14 a formed on the bottom surface side of the recess 18, and one end communicates with the first outflow path 14 a and the other end communicates with the outside of the flow path member 11. And an outflow passage 14b.

弁座１６は、シール部１６ａと、凹部１８側から第１の流出路１４ａ側に延在する接続流路１６ｂとを備えており、外周面に形成されたネジによって第１の流出路１４ａの内周面に密封状態にて螺着されることで、第１の流出路１４ａと凹部１８とは、接続流路１６ｂのみによって連通され、シール部１６ａには、１次側流体と２次側流体と接続部１５が形成されるようになっている。
この実施の形態において、シール部１６ａは、弁座１６のダイヤフラム２１側に形成されている。 The valve seat 16 includes a seal portion 16a and a connection flow channel 16b extending from the concave portion 18 side to the first outflow passage 14a side, and a screw formed on the outer peripheral surface of the first outflow passage 14a. By being screwed to the inner peripheral surface in a sealed state, the first outflow passage 14a and the recess 18 are communicated only by the connection passage 16b, and the primary fluid and the secondary side are connected to the seal portion 16a. A fluid and connection 15 is formed.
In this embodiment, the seal portion 16 a is formed on the diaphragm 21 side of the valve seat 16.

ダイヤフラム２１は、凹部１８内において、ダイヤフラム２１と弁座１６との間に弁体２５を保持するようになっており、弁体２５は、ダイヤフラム２１の中央に形成された孔に固定されるとともに、弁体２５の先端には、放物体形状、又は球体形状の一部からなる支持凸部２５ａが形成され、支持凸部２５ａが移動端側受皿３４の支持凹部３４ａに揺動自在に点接触するように支持されている。ここで、点接触とは、幾何学上定義される面積を有しない点に限られず、凸部と凹部の相対的な大きさ、配置等に基づいて、凸部と凹部とが揺動可能に接触する概念をさしている。 The diaphragm 21 is configured to hold a valve body 25 between the diaphragm 21 and the valve seat 16 in the recess 18, and the valve body 25 is fixed to a hole formed in the center of the diaphragm 21. At the tip of the valve body 25, a support convex portion 25a having a part of a paraboloid shape or a spherical shape is formed, and the support convex portion 25a is swingably point-contacted with the support concave portion 34a of the moving end side tray 34. To be supported. Here, the point contact is not limited to a point that does not have a geometrically defined area, and the convex part and the concave part can swing based on the relative size and arrangement of the convex part and the concave part. Refers to the concept of contact.

第２の実施形態の付勢手段３０は、第１の実施形態の付勢手段に加えて、付勢手段３０の軸線Ｏ２が弁座１６軸線と一致しない場合でもシール部材２６が弁座１６のシール部１６ａを安定して密封できるようにするための軸心調整手段４５を備えており、軸心調整手段４５は、弁体２５の支持凸部２５ａと、弁体取付板３３と、移動端側受皿３４とから構成されている。 In addition to the urging means of the first embodiment, the urging means 30 of the second embodiment is such that the seal member 26 of the valve seat 16 is provided even when the axis O2 of the urging means 30 does not coincide with the axis of the valve seat 16. The shaft center adjusting means 45 is provided so that the seal portion 16a can be stably sealed. The shaft center adjusting means 45 includes a support convex portion 25a of the valve body 25, a valve body mounting plate 33, a moving end. It comprises a side tray 34.

弁体取付板３３は、弁体２５をダイヤフラム２１の板面に対して垂直に固定するための部材であって、ダイヤフラム２１のコイルスプリング３５側の面に接する第１の壁部３３ａと、第１の壁部３３ａの中央部に形成され、弁体２５をダイヤフラム２１に対して垂直に保持する孔３３ｂを備えており、孔３３ｂに弁体２５が嵌挿されることで、弁体２５が変形をしていない時のダイヤフラム２１の板面に垂直な方向に変位自在とされている。 The valve body mounting plate 33 is a member for fixing the valve body 25 perpendicularly to the plate surface of the diaphragm 21, and includes a first wall portion 33 a that contacts the surface of the diaphragm 21 on the coil spring 35 side, 1 is provided with a hole 33b that is formed in the center of the wall portion 33a and holds the valve body 25 perpendicular to the diaphragm 21, and the valve body 25 is deformed by being inserted into the hole 33b. It is possible to displace in a direction perpendicular to the plate surface of the diaphragm 21 when not in operation.

移動端側受皿３４は、弁体２５側の面に、弁体２５の支持凸部２５ａと点接触可能な凹部３４ａが形成されるとともに、小径凸部３４ｂの外周にコイルスプリング３５の移動端側の内周が配置されコイルスプリング３５の移動端側を支持している。
その結果、コイルスプリング３５の固定側端面３５ａと移動側端面３５ｂの平行度に関係なく、コイルスプリング３５の伸縮方向が弁体２５の移動方向と一致するようになっている。 The moving end side tray 34 has a concave portion 34a that can be point-contacted with the support convex portion 25a of the valve body 25 on the surface on the valve body 25 side, and a moving end side of the coil spring 35 on the outer periphery of the small diameter convex portion 34b. Is arranged to support the moving end side of the coil spring 35.
As a result, the expansion / contraction direction of the coil spring 35 coincides with the moving direction of the valve body 25 regardless of the parallelism of the fixed side end surface 35a and the moving side end surface 35b of the coil spring 35.

この第２の実施形態の振動抑制手段５０では、第１の支持部３３ｓが、移動側受皿３４ではなく、付勢手段の移動部側の弁体取付板３３の外周面に付勢手段３０の移動端側から固定端側に向かって縮径して形成される傾斜面として構成されるとともに、第２の支持部４０ｓが、第２のキャップ凹部４３と第１のキャップ凹部４１とが接続される、第２のキャップ凹部４３の底部４３ｂ近傍に形成され、第２のキャップ凹部４３の底部４３ｂに近づくにつれて縮径される傾斜面として構成されている点で第１の実施形態と異なり、これら第１の支持部３３ｓ及び第２の支持部４０ｓとＯリング５１との配置は、図７に示すとおりである。 In the vibration suppressing means 50 of the second embodiment, the first support portion 33 s is not the moving side tray 34 but the urging means 30 on the outer peripheral surface of the valve body mounting plate 33 on the moving portion side of the urging means. The second support portion 40s is connected to the second cap recess 43 and the first cap recess 41 while being configured as an inclined surface formed by reducing the diameter from the moving end side toward the fixed end side. Unlike the first embodiment, these are formed in the vicinity of the bottom 43b of the second cap recess 43, and are configured as inclined surfaces that are reduced in diameter as they approach the bottom 43b of the second cap recess 43. The arrangement of the first support portion 33s, the second support portion 40s, and the O-ring 51 is as shown in FIG.

次に、上記構成の背圧弁２の作用について説明する。
まず、流入路１２側の１次側流体の圧力が所定の値以上の場合には、凹部１８内の１次側流体によりコイルスプリング３５の付勢力に抗してダイヤフラム２１がコイルスプリング３５を圧縮することで、シール部材２６が弁座１６のシール部１６ａから離間して接続部１５が開放されて１次側流体が流出路１４側に流入する。 Next, the operation of the back pressure valve 2 configured as described above will be described.
First, when the pressure of the primary fluid on the inflow path 12 side is equal to or higher than a predetermined value, the diaphragm 21 compresses the coil spring 35 against the biasing force of the coil spring 35 by the primary fluid in the recess 18. As a result, the seal member 26 is separated from the seal portion 16a of the valve seat 16, the connection portion 15 is opened, and the primary fluid flows into the outflow passage 14 side.

１次側流体が流入路１２から流出路１４に流通することで、凹部１８内の１次側流体の圧力が所定の圧力まで下降すると、１次側流体がダイヤフラム２１に与える力がコイルスプリングの付勢力以下とされ、コイルスプリング３５の付勢力によってダイヤフラム２１が弁座１６側に変形し、その結果、シール部材２６が弁座１６のシール部１６ａを押圧、密封するとともに接続部１５が閉塞されて流体の流れが停止される。 When the primary side fluid flows from the inflow path 12 to the outflow path 14 and the pressure of the primary side fluid in the recess 18 drops to a predetermined pressure, the force that the primary side fluid gives to the diaphragm 21 is increased by the coil spring. The diaphragm 21 is deformed to the valve seat 16 side by the biasing force of the coil spring 35. As a result, the seal member 26 presses and seals the seal portion 16a of the valve seat 16, and the connection portion 15 is closed. The fluid flow is stopped.

Ｏリング５１は押圧力Ｐ３と押圧力Ｐ４により圧縮されて、第１の実施形態で示した図３の場合と同様に、断面Ｇが楕円形状に変形される。
また、図８に示すように、シール部材２６が弁座１６から離間する場合に、Ｏリング５１が第１の接触部５２及び第２の接触部５３において、第１の支持部３３ｓ及び第２の支持部４０ｓから押圧力Ｐ３、押圧力Ｐ４により押圧され、Ｏリング５１は、断面Ｇにおいて、軸線Ｏ１方向及び軸線Ｏ１に垂直な方向に圧縮されるとともに、回転モーメントＭ２により、Ｏリング５１が捲られる作用は、第１の実施形態の図４、図５に示した場合と同様に得られると推測される。 The O-ring 51 is compressed by the pressing force P3 and the pressing force P4, and the cross section G is deformed into an elliptical shape as in the case of FIG. 3 shown in the first embodiment.
Further, as shown in FIG. 8, when the seal member 26 is separated from the valve seat 16, the O-ring 51 is disposed at the first support portion 33 s and the second contact portion 53 at the first contact portion 52 and the second contact portion 53. The O-ring 51 is compressed by the pressing force P3 and the pressing force P4 from the support portion 40s of the O-ring 51, and the O-ring 51 is compressed in the cross-section G in the direction of the axis O1 and in the direction perpendicular to the axis O1. It is presumed that the function to be beaten can be obtained in the same manner as in the case of the first embodiment shown in FIGS.

Ｏリング５１が捲られると、Ｏリング５１は傾斜面５３に沿って図８（ｂ）で示した矢印Ｂで示される方向に移動し、Ｏリング５１の環の直径Ｄ２が縮径されると考えられる。
第２の実施形態におけるＯリング５１の作用については、Ｏリング５１の第１の接触部５２及び第２の接触部５３との位置関係にともない変形の方向が異なる以外は、第１の実施形態と同様であり、その結果、背圧弁２の１次側流体の圧力の振動が抑制され、１次側流体の圧力を安定させることができる。 When the O-ring 51 is rolled, the O-ring 51 moves along the inclined surface 53 in the direction indicated by the arrow B shown in FIG. 8B, and the diameter D2 of the ring of the O-ring 51 is reduced. Conceivable.
Regarding the operation of the O-ring 51 in the second embodiment, the first embodiment is different except that the direction of deformation is different depending on the positional relationship between the first contact portion 52 and the second contact portion 53 of the O-ring 51. As a result, the vibration of the pressure of the primary fluid of the back pressure valve 2 is suppressed, and the pressure of the primary fluid can be stabilized.

第２の実施形態に係る背圧弁２によれば、１次側流体の圧力振動が抑制され、１次側流体の圧力を安定させることができる。
図９（ｂ）は、第２の実施形態の背圧弁２の振動レベルと、流量Ｑの改善効果を示したものであり、実線で示した振動レベルＶ３、経過時間に対する流量Ｑ３は、改善後の状態を示し、破線で示した振動レベルＶ４、経過時間に対する流量Ｑ４は、改善前の状態を示している。これによると、背圧弁２に生じる振動はほとんどなくなり、流量Ｑに関する応答性が向上されている。 According to the back pressure valve 2 according to the second embodiment, the pressure vibration of the primary fluid is suppressed, and the pressure of the primary fluid can be stabilized.
FIG. 9B shows the vibration level of the back pressure valve 2 of the second embodiment and the improvement effect of the flow rate Q. The vibration level V3 indicated by the solid line and the flow rate Q3 with respect to the elapsed time are shown after improvement. The vibration level V4 indicated by the broken line and the flow rate Q4 with respect to the elapsed time indicate the state before improvement. According to this, vibration generated in the back pressure valve 2 is almost eliminated, and the responsiveness with respect to the flow rate Q is improved.

また、第２の実施形態の背圧弁２によれば、付勢手段３０が、シール部材２６が弁座１６のシール部１６ａを安定して密封するための軸心調整手段４５を備えているため、コイルスプリング３５の固定側端面３５ａと移動側端面３５ｂの相互の平行度に関わらず、シール部材２６が弁座１６を安定して押圧し、流体の吹き抜けを抑制するとともに流体圧力を安定して維持することができる。 Further, according to the back pressure valve 2 of the second embodiment, the urging means 30 includes the shaft center adjusting means 45 for the seal member 26 to stably seal the seal portion 16a of the valve seat 16. Regardless of the mutual parallelism of the fixed side end surface 35a and the moving side end surface 35b of the coil spring 35, the seal member 26 stably presses the valve seat 16 and suppresses the blow-through of the fluid and stabilizes the fluid pressure. Can be maintained.

その結果、Ｏリング５１の断面Ｇの形状がＯリング５１の周方向位置で偏って変形した場合であっても、シール部材２６と、弁座１６のシール部１６ａとの均一な接触が維持され、流体の安定した流通を維持することができる。
また、シール部２６が弁座１６に偏って密封するのが抑制されるので、１次側流体が流出路１４側に吹き抜けるのが抑制され、１次側流体の圧力を安定させることができる。
また、弁体２５のシール部材２６が、弁座１６に均一に接触するので、シール部材２６の食込み変形深さが均一となり、変形や摩耗の偏りが抑制されることにより、シール部材２６の寿命を延長することができる。 As a result, even when the shape of the cross-section G of the O-ring 51 is deviated and deformed at the circumferential position of the O-ring 51, uniform contact between the seal member 26 and the seal portion 16a of the valve seat 16 is maintained. , Stable flow of fluid can be maintained.
In addition, since the seal portion 26 is prevented from being biased and sealed to the valve seat 16, the primary fluid is prevented from blowing through to the outflow passage 14, and the pressure of the primary fluid can be stabilized.
Further, since the seal member 26 of the valve body 25 contacts the valve seat 16 uniformly, the biting deformation depth of the seal member 26 becomes uniform, and the bias of deformation and wear is suppressed, so that the life of the seal member 26 is increased. Can be extended.

なお、この発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更をすることが可能である。
上記実施の形態においては、環状弾性部材としてＯリング５１を用いた場合について説明したが、環状弾性部材として、Ｏリング５１に替えて、付勢手段３０の軸線Ｏ１を含む断面の形状が、楕円形や、だるま型や、多角形等のものを用いてもよく、また、環状弾性部材の軸線Ｏ１を含む断面の形状や大きさが、環状弾性部材の周方向位置にともなって変化するように構成された環状弾性部材を用いてもよい。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the meaning of invention.
In the embodiment described above, the case where the O-ring 51 is used as the annular elastic member has been described. However, instead of the O-ring 51 as the annular elastic member, the shape of the cross section including the axis O1 of the biasing means 30 is elliptical. A shape, a daruma shape, a polygonal shape, or the like may be used, and the shape and size of the cross section including the axis O1 of the annular elastic member may change according to the circumferential position of the annular elastic member. You may use the comprised cyclic | annular elastic member.

また、弾性部材は、環状弾性部材に限られるものではなく、例えば、軸線Ｏ１を含む断面が同形状とされる弾性部材を、軸線Ｏ１方向の同じ位置に、軸線Ｏ１を中心とした仮想円の周方向に複数、等間隔に配置させた構成としてもよく、また、例えば、弾性部材の軸線Ｏ１を含む断面における形状が、前記仮想円の周方向で変化する構成とすることも可能である。 Further, the elastic member is not limited to the annular elastic member. For example, an elastic member having the same cross section including the axis O1 is formed in a virtual circle centered on the axis O1 at the same position in the direction of the axis O1. A configuration may be adopted in which a plurality are arranged at equal intervals in the circumferential direction, and for example, the configuration of the cross section including the axis O1 of the elastic member may be changed in the circumferential direction of the virtual circle.

また、Ｏリング５１を支持する第１の支持部３３ｓ、３４ｓ及び第２の支持部４３ｓが軸線Ｏ１に垂直な面に対して同じ角度で傾斜し、対向する用に形成された傾斜面として形成される場合について説明したが、これら第１の支持部３３ｓ、３４ｓ及び第２の支持部４３ｓは、付勢手段３０の軸線Ｏ１を含む断面において、弾性部材と第１の接触部５２との接線、及び弾性部材と第２の接触部５３との接線が、軸線Ｏ１に垂直な面に対して傾斜していればよく、第１の支持部３３ｓ、３４ｓ及び第２の支持部４３ｓのいずれかの軸線Ｏ１を含む断面の形状が、直線又は曲面から構成される凹部や凸部とされてもよく、また、第１の支持部３３ｓ、３４ｓと第２の支持部４３ｓの、軸線Ｏ１に垂直な面に対する角度が異なって形成されてもよい。 Further, the first support portions 33s, 34s and the second support portion 43s that support the O-ring 51 are inclined at the same angle with respect to a plane perpendicular to the axis O1, and formed as inclined surfaces formed to face each other. As described above, the first support portions 33 s and 34 s and the second support portion 43 s are tangents between the elastic member and the first contact portion 52 in the cross section including the axis O <b> 1 of the urging means 30. As long as the tangent line between the elastic member and the second contact portion 53 is inclined with respect to the plane perpendicular to the axis O1, any one of the first support portions 33s and 34s and the second support portion 43s is required. The shape of the cross section including the axis O1 may be a concave portion or a convex portion formed of a straight line or a curved surface, and the first support portions 33s and 34s and the second support portion 43s are perpendicular to the axis O1. May be formed at different angles with respect to the surface.

また、上記背圧弁２又は減圧弁２で使用可能な流体としては、窒素、アルゴン等の不活性ガス、水素、メタン、エチレン等の可燃性ガス、酸素等の支燃性ガス、塩素、二酸化硫黄等の腐食性ガスをはじめとする気体のほか、水、酸又はアルカリを含有する液体等、種々の流体を対象とすることができる。 The fluids that can be used in the back pressure valve 2 or the pressure reducing valve 2 include inert gases such as nitrogen and argon, flammable gases such as hydrogen, methane, and ethylene, flammable gases such as oxygen, chlorine, and sulfur dioxide. In addition to gases including corrosive gases such as water, various fluids such as liquids containing water, acid, or alkali can be used.

上記第２の実施の形態においては、付勢手段３０が軸心調整手段４５を備えた場合について説明したが、背圧弁２に関して、軸心調整手段４５は必須の構成ではなく、また、かかる軸心調整手段４５を減圧弁１に適用することも可能である。 In the second embodiment, the case where the urging means 30 includes the shaft center adjusting means 45 has been described. However, the shaft center adjusting means 45 is not an essential configuration for the back pressure valve 2, and the shaft It is also possible to apply the center adjustment means 45 to the pressure reducing valve 1.

上記実施の形態においては、付勢手段３０がコイルスプリング３５により構成される場合について説明したが、付勢手段３０については、円すい形等の他のコイルバネ、たけのこバネ、皿バネ、樹脂で形成された弾性部材等、伸縮方向の両側に端面を有するものであれば、種々の構成のものに適用可能である。 In the above embodiment, the case where the biasing means 30 is configured by the coil spring 35 has been described. However, the biasing means 30 is formed of another coil spring such as a conical shape, a bamboo spring, a disc spring, or a resin. As long as the elastic member has end faces on both sides in the expansion / contraction direction, it can be applied to various configurations.

ダイヤフラム２１については、金属製の円板で構成された場合について説明したが、材質に関して、ステンレス鋼をはじめとする金属の他、ゴム膜や、合成樹脂膜等の弾力性を有する他の材質を用いることが可能であり、さらに、形状に関して、円板形状の平板に限定されず、例えば弁体２５を中心としてダイヤフラム２１に環状リブが形成されている場合や、あるいは球面等、立体的形状の一部を用いてダイヤフラム２１が構成されてもよい。 The diaphragm 21 has been described with respect to a case where the diaphragm 21 is made of a metal disk. However, in addition to metals such as stainless steel, other materials having elasticity such as a rubber film or a synthetic resin film may be used. Further, the shape is not limited to a disk-shaped flat plate. For example, when the annular rib is formed on the diaphragm 21 around the valve body 25, or a three-dimensional shape such as a spherical surface. The diaphragm 21 may be configured using a part.

本発明の第１の実施の形態を示す全体の縦断面図である。1 is an overall vertical sectional view showing a first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態の振動抑制手段を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the vibration suppression means of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施の形態の作用を示す図であり、シール部材が弁座から離間した場合の弾性部材の変形状態を示す図である。It is a figure which shows the effect | action of the 1st Embodiment of this invention, and is a figure which shows the deformation | transformation state of an elastic member when a sealing member spaces apart from a valve seat. 本発明の第１の実施の形態の作用を示す図であり、（ａ）には、シール部材が弁座から離間していないときの状態を、（ｂ）には、シール部材が弁座から離間したときの状態を示す。It is a figure which shows the effect | action of the 1st Embodiment of this invention, (a) shows the state when a sealing member is not spaced apart from a valve seat, (b) shows a sealing member from a valve seat. The state when separated is shown. 本発明の第１の実施の形態の環状弾性部材示す図であり、（ａ）には、Ｏリングを、（ｂ）には、Ｏリングが捲られて軸線Ｏ１方向に変位する部位の変形を、（ｃ）には、Ｏリングが捲られて軸線Ｏ１から離間する方向に変位する部位の変形を示す。It is a figure which shows the cyclic | annular elastic member of the 1st Embodiment of this invention, (a) is an O-ring. , (C) shows deformation of a portion where the O-ring is turned and displaced in a direction away from the axis O1. 本発明の第２の実施の形態を示す全体の縦断面図である。It is the whole longitudinal cross-sectional view which shows the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態の振動抑制手段を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the vibration suppression means of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施の形態の作用を示す図であり、（ａ）には、シール部材が弁座から離間していないときの状態を、（ｂ）には、シール部材が弁座から離間したときの状態を示す。It is a figure which shows the effect | action of the 2nd Embodiment of this invention, (a) shows the state when a sealing member is not spaced apart from a valve seat, (b) shows a sealing member from a valve seat. The state when separated is shown. 本発明の効果を示す図であり、（ａ）には、第１の実施形態の効果を、（ｂ）には、第２の実施形態の効果を示す。It is a figure which shows the effect of this invention, (a) shows the effect of 1st Embodiment, (b) shows the effect of 2nd Embodiment.

Explanation of symbols

Ｏ１（付勢手段の）軸線
Ｇ軸線を含む断面
１減圧弁（圧力調整弁）
２背圧弁（圧力調整弁）
１０弁本体
１１流路部材（弁本体）
１２流入路
１４流出路
１６弁座
１８凹部
１８ａ（凹部の）開口部
２１ダイヤフラム
２６シール部材
３０付勢手段
３３弁体取付板
３４移動側受皿
３５コイルスプリング
４０キャップ（弁本体）
５０振動抑制手段
５１Ｏリング（弾性部材、環状弾性部材）
５２第１の接触部
５３第２の接触部

O1 Axis (of urging means) G Cross section including axis 1 Pressure reducing valve (pressure regulating valve)
2 Back pressure valve (pressure adjusting valve)
10 Valve body 11 Flow path member (Valve body)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 Inflow path 14 Outflow path 16 Valve seat 18 Recessed part 18a (Recessed part) Opening part 21 Diaphragm 26 Seal member 30 Energizing means 33 Valve body attaching plate 34 Moving side saucer 35 Coil spring 40 Cap (valve main body)
50 Vibration suppression means 51 O-ring (elastic member, annular elastic member)
52 1st contact part 53 2nd contact part

Claims

A valve body having a primary fluid inflow passage and a secondary fluid outflow passage and having a recess formed between the inflow passage and the outflow passage;
A valve seat constituting a connecting portion between the primary fluid and the secondary fluid;
A diaphragm attached to cover the opening of the recess;
A seal member connected to or interlocking with the diaphragm;
Urging means for urging the diaphragm toward the concave portion;
A pressure adjusting valve that adjusts a fluid pressure by opening or closing the connecting portion while the seal member is separated from the valve seat or is in contact with the valve seat;
Comprising vibration suppression means for the seal member;
The vibration suppressing means includes
An elastic member arranged coaxially with the axis of the biasing means ;
A first support portion provided on the moving portion side of the biasing means and formed to be inclined with respect to a plane perpendicular to the axis ;
A second support portion provided on the valve body side and formed to be inclined with respect to a plane perpendicular to the axis,
The elastic member is configured to be disposed between the first support portion and the second support portion,
When the seal member is separated from the valve seat,
A first contact portion where the first support portion contacts the elastic member, and a second contact portion where the second support portion contacts the elastic member are formed , and the first contact portion. And the second contact portion are different from each other in distance from the axis and in the axial direction position.

The pressure regulating valve according to claim 1 ,
The pressure regulating valve according to claim 1, wherein the elastic member is an annular elastic member disposed concentrically with the axis.

The pressure regulating valve according to claim 2 ,
The pressure regulating valve, wherein the annular elastic member is an O-ring.

The pressure regulating valve according to any one of claims 1 to 3 ,
When the seal member is separated from the valve seat,
A pressure regulating valve characterized in that a rotational moment is generated in a cross section including an axis of the biasing means of the elastic member.