JP4779022B2 - マイクロ共振器センサ - Google Patents
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Description
図1を参照すると、既存のマイクロリング共振器センサは、主導波路(110)及びリング共振器(120)から構成される。主導波路(110)は、光ファイバ又は光導波管からなり、主導波路(110)の両端は、各々、光信号が入力される入力端と光信号が出力される出力端として機能する。リング共振器(120)は、一定の半径(R)を有するリング形態の光ファイバ又は光導波管であり、リング共振器(120)には、表面が界面処理された開口部(122)が形成され、リング共振器(120)を構成する光ファイバ又は光導波管を通って進む光が、被測定物質である液体又は気体と效果的に反応できるようにしている。
このような開口部(122)はリング共振器(120)を構成する光ファイバ又は光導波管の上面又は側面に形成される。開口部(122)の形成位置に応じて、マイクロリング共振器センサが受容可能な光伝達モードが決定される。従って、開口部(122)をリング共振器(120)の上面及び側面共に形成すると、TMモードとTEモードの光信号を共に受容することができる。主導波路(110)とリング共振器(120)は1つの誘電体基板上に互いに離隔して配置されてマイクロリング共振器センサを構成する。
図2によると、リング共振器(120)の有効屈折率が1×10−4増加するごとに主導波路(110)の出力端で出力が発生しない最小波長が一定に増加することが分かる。従って、マイクロリング共振器センサは主導波路(110)の出力端を介して出力される光信号の強度と波長に対する応答信号を測定することによって被測定物質の特性を検出できる。
図4を参照すると、波長可変光源は、レーザダイオードのような光源から放出された光信号の波長を所望の波長の信号に変更してマイクロ共振器センサの主導波路に提供する。波長可変光源は光発生部(410)、光導波路(420)、第1の共振リング(430)及び第2の共振リング(440)から構成される。
光発生部(410)から放出されて光導波路(420)に入力された光信号は第1の共振リング(430)に結合されて第1の共振リング(430)内で時計方向への第1の光波を形成する。また、第1の光波は、第2の共振リング(440)に結合されて第2の共振リング(440)内で反時計方向への第2の光波を形成する。このような第1の光波及び第2の光波は、光導波路(420)の反射領域(424)で光導波路(420)に結合されて光発生部(410)へ進む。このように、光発生部(410)からの光信号に加えられることによって最終的に放出される光信号の波長を変更する。
図5は本発明に係るマイクロ共振器センサに対する第1の実施形態の構成を示した図面である。
図5を参照すると、本発明に係るマイクロ共振器センサの第1の実施形態は、主導波路(510)、共振導波路(520)、全反射ミラー(530)及びビームスプリッタ(532、534)を備える。主導波路(510)は、光信号が入射される入射口と光信号が出射される出射口とを備え、主導波路(510)には入射口を介して入力された光信号が共振導波路(520)に結合される光結合領域が形成される。共振導波路(520)は主導波路(510)の光結合領域と光結合され主導波路(510)の入射口を介して入力された光信号のうち、共振導波路(520)に結合される光信号(以下、「分岐光信号」という)が入力される光結合領域を有し、複数の光導波路を三角形状に配置して構成される。このとき、三角形状の共振導波路(520)の三辺を構成する光導波路のうち1つの光導波路は、主導波路(510)を構成する光導波路と一体からなる。ビームスプリッタ(532、534)は、三角形状の共振導波路(520)の三辺を構成する光導波路のうち主導波路(510)を構成する光導波路と一体からなる光導波路を除外した他の2つの光導波路と主導波路(510)が接続される地点に配置される。また、全反射ミラー(530)は、主導波路(510)を構成する光導波路と一体からなる光導波路を除外した他の2つの光導波路が接続される地点に配置される。
図6は、本発明に係るマイクロ共振器センサに対する第2の実施形態の構成を示した図面である。
図6を参照すると、本発明に係るマイクロ共振器センサの第2実施形態は主導波路(540)、共振導波路(550)及び全反射ミラー(560、562、564)を備える。主導波路(540)は、光信号が入射される入射口と光信号が出射される出射口とを備え、主導波路(540)には入射口を介して入力された光信号が共振導波路(550)に結合される光結合領域が形成される。共振導波路(550)は、主導波路(540)の光結合領域と光結合され主導波路(540)の入射口を介して入力された光信号のうち共振導波路(550)に結合される光信号を入力される光結合領域を有し、複数の光導波路を三角形状に配置して構成される。このとき、三角形状の共振導波路(550)の三辺を構成する光導波路のうち1つの光導波路は、主導波路(540)と平行に配置される。全反射ミラー(560、562、564)は三角形状の共振導波路(550)の三辺を構成する光導波路が互いに接続される地点である頂点領域に配置される。
図7は、本発明に係るマイクロ共振器センサに対する第3の実施形態の構成を示した図面である。
図7を参照すると、本発明に係るマイクロ共振器センサの第3の実施形態は、主導波路(570)、光結合器(575)、共振導波路(580)及び全反射ミラー(590、592、594、596)を備える。主導波路(570)は、光信号が入射される入射口と光信号が出射される出射口とを備え、主導波路(570)には入射口を介して入力された光信号が光結合器(575)に結合される光結合領域が形成される。光結合器(575)は主導波路(570)の入射口を介して入力された光信号を主導波路(570)の出射口及び共振導波路(580)に分配する。また、光結合器(575)は共振導波路(580)内を周回した光信号を主導波路(570)の出射口及び共振導波路(580)に分配する。このような光結合器(575)として、セルフイメージング現象を用いた多重モード干渉結合器(MMIC:Multi−mode Interference Coupler)を適用すると、全体的なマイクロ共振器センサの大きさをコンパクトにでき、光結合器(575)と他の素子とを単一ウエハ上に容易に実装できるという利点がある。
図8を参照すると、図5〜図7を参照して説明したマイクロ共振器センサは、主導波路(510、540、570)の入射口を介して入力された光信号が主導波路(510、540、570)に沿って進み、主導波路(510、540、570)と光結合された共振導波路(520、550、580)の共振条件に合う波長のみ共振導波路(520、550、580)に結合される。このとき、共振導波路(520、550、580)の屈折率は共振導波路(520、550、580)に形成された開口部(522、524、552、554、582)に配置されている受容体と被測定物質(例えば、バイオ試料、環境試料)の結合程度に応じて変わる。このような共振導波路(520、550、580)の屈折率の変化は、共振導波路(520、550、580)内を周回する光信号の位相変化を起こし結合共振条件が変わり、これによって主導波路(510、540、570)の入射口を介して入力された光信号のうち共振導波路(520、550、580)に結合されることなく主導波路(510、540、570)の出射口を介して出力される光信号の波長が変わる。
図9は、本発明に係るマイクロ共振器センサに対する第4の実施形態の構成を示した図面である。図9に示されているマイクロ共振器センサは図6に示されているマイクロ共振器センサの2つが連結された構造を有する。
図10は本発明に係るマイクロ共振器センサに対する第5の実施形態の構成を示した図面である。
図10を参照すると、本発明に係るマイクロ共振器センサの第5の実施形態は、第1の主導波路(760)、第1の光結合器(765)、第2の主導波路(770)、第2の光結合器(775)、共振導波路(780)及び全反射ミラー(790、792、794、796)を備える。
図11は本発明に係るマイクロ共振器センサに対する第6の実施形態の構成を示した図面である。図11に示されているマイクロ共振器センサは、マッハツェンダー電界光学変調器に、図6に示されているマイクロ共振器センサの第2実施形態を結合した構造を有する。
図12は本発明に係るマイクロ共振器センサに対する第7の実施形態の構成を示した図面である。図12に示されているマイクロ共振器センサは、マッハツェンダー電界光学変調器に、図7に示されているマイクロ共振器センサの第3の実施形態を結合した構造を有する。
図13は、図12に示されているマイクロ共振器センサの第7の実施形態に、波長可変光源と光検出素子が結合されてなる本発明に係るマイクロ共振器センサに対する第8の実施形態の構成を示した図面である。
図13に示されているマイクロ共振器センサの第8の実施形態は、光発生部(910)、共振部(920)及び光検出部(930)から構成されて同一なウエハに光集積化技術により集積されたセンサモジュール構造である。このようなマイクロ共振器センサは、超小型に製作が可能であるため携帯用装備に応用することができ、いくつかの相異する大きさの共振器を集積して多重波長を適用できて多重センサとして具現されることができる。併せて、図13には、図12を参照して説明した本発明に係るマイクロ共振器センサの第7の実施形態が共振部(920)として採用されるが、本発明に係るマイクロ共振器センサの第1の実施形態〜第6の実施形態も共振部(920)として採用できる。
120 リング共振器
122、552、554、592、732、734、742、744、872 開口部
410 光発生部
420、810、815、850、855 光導波路
422、432、442 位相制御領域
424 反射領域
426 電極
430 第1の共振リング
440 第2の共振リング
520、550、580、780、820 共振導波路
530、560、562、564、590、592、594、596、752、754、756、758、790、792、794、796、830、832、834、880、882、884、886 全反射ミラー
532、534、750 ビームスプリッタ
565、575、775、860 光結合器
710、760 第1の主導波路
720、770 第2の主導波路
730 第1の共振導波路
740 第2の共振導波路
910 光発生部
920 共振部
930 光検出部
Claims (18)
- 光信号が入射される入射口と光信号が出射される出射口とを備え、上記入射口を介して入力された光信号の一部が分岐される光結合領域を有する主導波路;
上記主導波路の光結合領域と光結合され、上記主導波路から分岐される分岐光信号が入力される光結合領域を有し、複数の光導波路を多角形状に配置して構成される共振導波路;及び
上記共振導波路を形成する各々の光導波路が接する頂点領域に設けられ、上記共振導波路に入力された上記分岐光信号の少なくとも一部を反射させ上記分岐光信号が上記共振導波路内を周回するようにする光経路変更手段;を含み、
上記共振導波路を構成する光導波路のうち少なくとも1つの光導波路の上面及び側面のうち少なくとも1つの面であって、前記光導波路の各頂点領域に設けられる光経路変更手段の間に開口部が形成されることを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項1において、
上記主導波路の光結合領域と上記共振導波路の光結合領域とは、上記主導波路を構成する光導波路に一体に形成され、
上記光経路変更手段は、
上記光結合領域の両端に設けられ、上記入射口を介して入射された光信号を上記主導波路の出射口及び上記共振導波路に分岐する光分岐素子;及び
上記共振導波路を構成する光導波路のうち上記光結合領域に該当する光導波路を除外した他の光導波路が接する頂点領域に設けられ、入射された分岐光信号を全反射させる全反射素子;を含むことを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項2において、
上記主導波路と平行に配置された補助導波路をさらに含み、
上記補助導波路の一端は上記主導波路の入射口に光結合され、上記補助導波路の他端は上記主導波路の出射口に光結合されることを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項2において、
上記共振導波路を構成する光導波路のうち上記光分岐素子のうち上記主導波路の入射口側に設けられた光分岐素子と連結される光導波路から出力される光信号を検出するモニタリング部をさらに含むことを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項1において、
上記光経路変更手段は、上記共振導波路を構成する各々の光導波路が接する頂点領域に設けられ、入射された分岐光信号を全反射させる全反射ミラーであることを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項1において、
入力された光信号を分配及び結合させる光結合素子をさらに含み、
上記主導波路の光結合領域と上記共振導波路の光結合領域は、上記光結合素子と各々光結合され、
上記光経路変更手段は、上記共振導波路を構成する各々の光導波路が接する頂点領域に設けられ、入射された分岐光信号を全反射させる全反射ミラーであることを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項1において、
上記主導波路と平行に配置された補助導波路をさらに含み、
上記補助導波路の一端は上記主導波路の入射口に光結合され、上記補助導波路の他端は上記主導波路の出射口に光結合されることを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項1において、
上記主導波路の出射口から出力される光の強度を検出して上記共振導波路を構成する光導波路に形成された開口部に位置した被測定媒質による共振導波路の有効屈折率の変化量を算出する測定部をさらに含むことを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項8において、
上記測定部は、定数倍の自由スペクトル域に該当する間隔を有する複数の共振波長の各々に該当する波長を有する光の強度を検出し、上記検出された光の強度の差値に基づいて上記共振導波路の有効屈折率の変化量を算出することを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項8において、
上記光信号を発生して上記主導波路の入射口に入力する光源部をさらに含むことを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項10において、
上記光源部は、
光信号を出力する光源;
外部から供給される駆動電流の大きさに応じて屈折率が変化する位相制御領域が形成された第1の半径を有する円形の光導波路から構成される第1の共振リング;
外部から供給される駆動電流の大きさに応じて屈折率が変化する位相制御領域が形成された第2の半径を有する円形の光導波路から構成される第2の共振リング;及び
上記第1の共振リング及び第2の共振リングと離隔して配置され、上記第1の共振リング又は第2の共振リングの屈折率変化に対応して上記光源から出力された光信号の波長を変更させて出力する光導波路;を含むことを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項10において、
上記光源部、上記主導波路、上記共振導波路、上記光経路変更手段及び上記測定部は、単一ウエハに集積されて光集積化回路として製作されることを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 光信号が入射される入射口と光信号が出射される出射口とを備え、上記入射口を介して入力された光信号の一部が分岐される光結合領域を有する第1の主導波路;
上記第1の主導波路の光結合領域と光結合され上記第1の主導波路から分岐される分岐光信号を入力される光結合領域を有し、複数の光導波路を多角形状に配置して構成される第1の共振導波路;
光信号が入射される入射口と光信号が出射される出射口とを備え、上記入射口を介して入力された光信号の一部が分岐される光結合領域を有する第2の主導波路;
上記主導波路の光結合領域と光結合され上記第2の主導波路から分岐される分岐光信号を入力される光結合領域を有し、複数の光導波路を多角形状に配置して構成される第2の共振導波路;及び
上記第1の共振導波路及び第2の共振導波路を形成する各々の光導波路が接する頂点領域に設けられ、上記第1の共振導波路又は上記第2の共振導波路に入力される分岐光信号の少なくとも一部を反射させ上記分岐光信号が上記第1の共振導波路及び上記第2の共振導波路内を周回するようにする光経路変更手段;を含み、
上記第1の共振導波路と第2の共振導波路は1つの頂点を共有して単一の共振経路を形成し、上記第1の共振導波路と第2の共振導波路を構成する光導波路のうち少なくとも1つの光導波路の上面及び側面のうち少なくとも1つの面であって、前記光導波路の各頂点領域に設けられる光経路変更手段の間に開口部が形成されることを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項13において、
上記第1の主導波路の光結合領域と上記第1の共振導波路の光結合領域は上記第1の主導波路を構成する光導波路に一体に形成され、上記第2の主導波路の光結合領域と上記第2の共振導波路の光結合領域は上記第2の主導波路を構成する光導波路に一体に形成され、
上記光経路変更手段は、
上記光結合領域の両端に設けられ、上記入射口を介して入射された光信号を上記第1の主導波路及び第2の主導波路の出射口と上記第1の共振導波路及び上記第2の共振導波路に各々分岐する第1の光分岐素子;
上記第1の共振導波路及び上記第2の共振導波路が共有する頂点領域に設けられ、上記第1の共振導波路に入射された分岐光信号を上記第2の共振導波路に提供し、上記第2の共振導波路に入射された分岐光信号を上記第1の共振導波路に提供する第2の光分岐素子;及び
上記第1の共振導波路及び第2の共振導波路を構成する光導波路のうち上記光結合領域に該当する光導波路を除外した他の光導波路が接する頂点領域に設けられ、入射された分岐光信号を全反射させる全反射素子;を含むことを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項13において、
上記光経路変更手段は、
上記第1の共振導波路及び第2の共振導波路が共有する頂点領域に設けられ、上記第1の共振導波路に入射された分岐光信号を上記第2の共振導波路に提供し、上記第2の共振導波路に入射された分岐光信号を上記第1の共振導波路に提供する光分岐素子;及び
上記第1の共振導波路及び第2の共振導波路を構成する各々の光導波路が接する頂点領域に設けられ、入射された分岐光信号を全反射させる全反射ミラー;を含むことを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項13において、
上記第1の主導波路の光結合領域と上記第1の共振導波路の光結合領域が各々光結合される第1の光結合素子;及び
上記第2の主導波路の光結合領域と上記第2の共振導波路の光結合領域が各々光結合される第2の光結合素子;をさらに含み、
上記光経路変更手段は、
上記第1の共振導波路及び第2の共振導波路が共有する頂点領域に設けられ、上記第1の共振導波路に入射された分岐光信号を上記第2の共振導波路に提供し、上記第2の共振導波路に入射された分岐光信号を上記第1の共振導波路に提供する光分岐素子;及び
上記光経路変更手段は、上記共振導波路を構成する各々の光導波路が接する頂点領域に設けられ、入射された分岐光信号を全反射させる全反射ミラーを含むことを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項13において、
上記第1の主導波路又は第2の主導波路の出射口から出力される光の強度を検出して上記第1の共振導波路又は第2の共振導波路を構成する光導波路に形成された開口部に位置した被測定媒質による第1の共振導波路又は第2の共振導波路の有効屈折率の変化量を算出する測定部をさらに含むことを特徴とするマイクロ共振器センサ。 - 請求項17において、
上記測定部は、定数倍の自由スペクトル域に該当する間隔を有する複数の共振波長の各々に該当する波長を有する光の強度を検出し、上記検出された光の強度の差値に基づいて上記第1の共振導波路及び第2の共振導波路の有効屈折率の変化量を算出することを特徴とするマイクロ共振器センサ。
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