JP4775914B2 - 磁気光学デバイスの製造方法 - Google Patents
磁気光学デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4775914B2 JP4775914B2 JP2007245221A JP2007245221A JP4775914B2 JP 4775914 B2 JP4775914 B2 JP 4775914B2 JP 2007245221 A JP2007245221 A JP 2007245221A JP 2007245221 A JP2007245221 A JP 2007245221A JP 4775914 B2 JP4775914 B2 JP 4775914B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- pixel
- manufacturing
- crystal
- optical device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
Description
A基板:イオンミリングのみによる凹部形成(従来法)
B基板:イオンミリングによる凹部掘り下げの後、130℃リン酸中で3分間のエッチング処理(本発明方法)
12 凹部
14 磁気光学結晶
16 仕切り壁
Claims (5)
- 非磁性基板表面の各ピクセル箇所を予め掘り下げることで周囲のピクセル間ギャップ部が残って仕切り壁となるように多数の凹部を配列形成する凹部形成工程、その非磁性基板上に磁気光学結晶を成膜する結晶育成工程、余分な磁気光学結晶を除去して平坦化する表面平坦化工程を具備し、非磁性基板表面に形成されている各凹部に磁気光学結晶が埋設され、それら磁気光学結晶同士が非磁性基板と一体の仕切り壁により磁気的に分離されてピクセルを形成するようにした磁気光学デバイスの製造方法において、
前記ピクセル箇所の凹部形成工程は、ドライエッチングにより凹部を掘り下げるステップと、その後に酸を用いたウエットエッチングにより凹部内壁の表面変質層を除去するステップの2段階からなることを特徴とする磁気光学デバイスの製造方法。 - 非磁性基板としてSGGGあるいはGGG単結晶基板を用い、ピクセル箇所となる凹部を2次元アレイ状に密に配列形成し、磁気光学結晶として希土類鉄ガーネット単結晶を用い、液相エピタキシャル法により成膜する請求項1記載の磁気光学デバイスの製造方法。
- ドライエッチングにより掘り下げるピクセル箇所となる凹部の深さを1.5μm以上とする請求項1又は2記載の磁気光学デバイスの製造方法。
- ドライエッチングによる凹部の掘り下げをイオンミリングにより行い、その後のウエットエッチングによる表面変質層の除去をリン酸を用いて行う請求項1乃至3のいずれかに記載の磁気光学デバイスの製造方法。
- 表面平坦化工程の後、酸化雰囲気下900℃〜1150℃で熱処理することにより、磁気光学結晶の保磁力を低減する請求項2乃至4のいずれかに記載の磁気光学デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007245221A JP4775914B2 (ja) | 2007-09-21 | 2007-09-21 | 磁気光学デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007245221A JP4775914B2 (ja) | 2007-09-21 | 2007-09-21 | 磁気光学デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009075412A JP2009075412A (ja) | 2009-04-09 |
JP4775914B2 true JP4775914B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=40610418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007245221A Expired - Fee Related JP4775914B2 (ja) | 2007-09-21 | 2007-09-21 | 磁気光学デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4775914B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5388057B2 (ja) * | 2009-06-11 | 2014-01-15 | 国立大学法人豊橋技術科学大学 | 磁気光学空間光変調器 |
-
2007
- 2007-09-21 JP JP2007245221A patent/JP4775914B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009075412A (ja) | 2009-04-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4577832B2 (ja) | 磁気光学デバイス及びその製造方法 | |
Walther et al. | Micro-patterning of NdFeB and SmCo magnet films for integration into micro-electro-mechanical-systems | |
Pesquera et al. | Large magnetoelectric coupling in multiferroic oxide heterostructures assembled via epitaxial lift-off | |
Wang et al. | Overcoming the limits of the interfacial Dzyaloshinskii–Moriya interaction by antiferromagnetic order in multiferroic heterostructures | |
US20120211848A1 (en) | Spin transport type magnetic sensor | |
US9829728B2 (en) | Method for forming magneto-optical films for integrated photonic devices | |
KR20020055448A (ko) | 스핀터널 자기저항효과막과 소자 및 이를 사용한 자기저항센서 및 자기 장치와 그 제조방법 | |
US20200303635A1 (en) | Multi-state memory and method for manufacturing the same | |
US20060202292A1 (en) | Magnetoresistive medium including a vicinally treated substrate | |
US6762872B2 (en) | Spatial light modulator | |
JP4775914B2 (ja) | 磁気光学デバイスの製造方法 | |
Wilson et al. | Interlayer and interfacial exchange coupling in ferromagnetic metal/semiconductor heterostructures | |
JP2005221841A (ja) | 磁気光学式空間光変調器 | |
JP2018073871A (ja) | 磁性素子の製造方法 | |
Park et al. | An optical micro-magnetic device: magnetic-spatial light modulator | |
US6788448B2 (en) | Spatial light modulator | |
JP5388057B2 (ja) | 磁気光学空間光変調器 | |
KR101256598B1 (ko) | 인접 비정질 또는 나노 크리스털 물질 층을 이용한 수직 자기 이방성 형성 자기 소자 및 그 제조 방법 | |
JP5281522B2 (ja) | 空間光変調器 | |
JP6182030B2 (ja) | 光変調素子の製造方法および空間光変調器 | |
Park et al. | Selective-area micropatterning of liquid-phase epitaxy-grown iron garnet films | |
Park et al. | Magnetooptic spatial light modulator array fabricated by IR annealing | |
JP2012088667A (ja) | 光変調素子およびこれを用いた空間光変調器 | |
JP4743514B2 (ja) | 磁気光学式空間光変調器の駆動方法 | |
Mansell et al. | Sputter grown Fe and Fe/Cr multilayers with fourfold magnetic anisotropy on GaAs |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100601 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110609 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110622 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110623 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4775914 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140708 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |