JP4770211B2 - Electronic components - Google Patents

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本発明は、積層型セラミックコンデンサなどの電子部品に係り、さらに詳しくは、IR(絶縁)寿命に優れ、広い温度範囲において誘電損失が低く抑えられた信頼性の高い電子部品に関する。   The present invention relates to an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor, and more particularly relates to a highly reliable electronic component having excellent IR (insulation) life and low dielectric loss in a wide temperature range.

電子部品としての積層セラミックコンデンサは、小型、大容量、高信頼性の電子部品として広く利用されており、1台の電子機器の中で使用される個数も多数にのぼる。近年、機器の小型・高性能化にともない、積層セラミックコンデンサに対する更なる小型化、大容量化、低価格化、高信頼性化への要求はますます厳しくなっている。   Multilayer ceramic capacitors as electronic components are widely used as small-sized, large-capacity, high-reliability electronic components, and the number used in one electronic device is large. In recent years, with the miniaturization and high performance of devices, the demand for further miniaturization, larger capacity, lower cost, and higher reliability for multilayer ceramic capacitors has become increasingly severe.

積層セラミックコンデンサは、通常、内部電極層用のペーストと誘電体層用のペーストとを使用して、シート法や印刷法等により積層し、積層体中の内部電極層と誘電体層とを同時に焼成して製造される。内部電極層の導電材としては、一般にPdやPd合金が用いられているが、Pdは高価であるため、比較的安価なNiやNi合金等の卑金属が使用されるようになってきている。内部電極層の導電材として卑金属を用いる場合、大気中で焼成を行なうと内部電極層が酸化してしまうため、誘電体層と内部電極層との同時焼成を、還元性雰囲気中で行なう必要がある。しかし、還元性雰囲気中で焼成すると、誘電体層が還元され、比抵抗が低くなってしまう。このため、非還元性の誘電体材料が開発されている。   Multilayer ceramic capacitors are usually laminated by a sheet method or a printing method using an internal electrode layer paste and a dielectric layer paste, and the internal electrode layer and the dielectric layer in the multilayer body are simultaneously formed. Manufactured by firing. As the conductive material for the internal electrode layer, Pd or Pd alloy is generally used. However, since Pd is expensive, a relatively inexpensive base metal such as Ni or Ni alloy has been used. When a base metal is used as the conductive material for the internal electrode layer, the internal electrode layer is oxidized when fired in the atmosphere. Therefore, it is necessary to perform simultaneous firing of the dielectric layer and the internal electrode layer in a reducing atmosphere. is there. However, when firing in a reducing atmosphere, the dielectric layer is reduced and the specific resistance is lowered. For this reason, non-reducing dielectric materials have been developed.

しかし、非還元性の誘電体材料を用いた積層セラミックコンデンサは、電界の印加によるIR(絶縁抵抗)の劣化が著しく、IR寿命が短く、信頼性が低いという問題がある。これに対して、たとえば、以下の特許文献1〜4では、積層セラミックコンデンサの信頼性を向上させるための試みがなされている。   However, a multilayer ceramic capacitor using a non-reducing dielectric material has a problem that IR (insulation resistance) is significantly deteriorated by application of an electric field, the IR life is short, and the reliability is low. On the other hand, for example, in the following Patent Documents 1 to 4, attempts are made to improve the reliability of the multilayer ceramic capacitor.

特許文献1では、誘電体層を構成するセラミック粒子を、コア−シェル構造とし、シェル部にMn,V,Cr等の元素と、Mgと、希土類元素とを含み、Mn,V,Cr等の元素の濃度を、コア−シェル境界から粒界側に向かって高くすることにより、信頼性の向上を図っている。特許文献2では、誘電体層を構成するセラミック粒子を、コア−シェル構造とし、コア部にMn,V,Cr等の元素を、濃度勾配を有して含有させることにより、信頼性の向上を図っている。   In Patent Document 1, the ceramic particles constituting the dielectric layer have a core-shell structure, and the shell portion includes elements such as Mn, V, and Cr, Mg, and rare earth elements, and Mn, V, Cr, and the like. Reliability is improved by increasing the concentration of the element from the core-shell boundary toward the grain boundary. In Patent Document 2, the ceramic particles constituting the dielectric layer have a core-shell structure, and the core part contains elements such as Mn, V, and Cr with a concentration gradient, thereby improving reliability. I am trying.

また、特許文献3では、誘電体層を構成するセラミック粒子を、Mn,V,Cr等の元素や、希土類元素を含有する固溶体とし、これらの元素の濃度をセラミック粒子の中心から粒界に向かって高くすることにより、信頼性の向上を図っている。特許文献4では、誘電体層をセラミック粒子と、セラミック粒子を連結・被覆するガラス質の粒界部とで構成し、粒界部にMn,V,Cr等の元素を含有させることにより、信頼性の向上を図っている。   In Patent Document 3, the ceramic particles constituting the dielectric layer are solid solutions containing elements such as Mn, V, Cr, and rare earth elements, and the concentration of these elements is directed from the center of the ceramic particles to the grain boundary. Therefore, the reliability is improved. In Patent Document 4, the dielectric layer is composed of ceramic particles and vitreous grain boundary parts that connect and coat the ceramic particles, and the grain boundary part contains elements such as Mn, V, Cr, etc. The improvement of the nature is aimed at.

しかしながら、これら特許文献1〜4においては、セラミック粒子内(および粒界部)におけるMn,V,Cr等の元素の具体的な含有割合については、何ら記載されておらず、いかなる割合とすれば、各文献記載の効果を得ることができるかについては不明である。また、これらの文献においては、比較的に高価な希土類元素を添加しているため、コストが増大してしまうという問題もあった。なお、これらの文献では、いずれも、再酸化処理(アニール)を比較的低い温度(600℃)で行っている。   However, in these Patent Documents 1 to 4, the specific content ratio of elements such as Mn, V, Cr, etc. in the ceramic particles (and the grain boundary part) is not described at all, and any ratio may be used. It is unclear whether the effects described in each document can be obtained. Moreover, in these literatures, since the relatively expensive rare earth element was added, there also existed a problem that cost increased. In each of these documents, the reoxidation treatment (annealing) is performed at a relatively low temperature (600 ° C.).

一方、コンデンサには、温度特性が良好であることも要求され、特に、用途によっては、厳しい条件下で温度特性が平坦であることが求められる。近年、自動車のエンジンルーム内に搭載するエンジン電子制御ユニット(ECU)、クランク角センサ、アンチロックブレーキシステム(ABS)モジュールなどの各種電子装置に積層セラミックコンデンサが使用されるようになってきている。これらの電子装置は、エンジン制御、駆動制御およびブレーキ制御を安定して行うためのものなので、回路の温度安定性が良好であることが要求される。   On the other hand, the capacitor is also required to have good temperature characteristics. In particular, depending on the application, the temperature characteristics are required to be flat under severe conditions. In recent years, multilayer ceramic capacitors have been used in various electronic devices such as an engine electronic control unit (ECU), a crank angle sensor, and an antilock brake system (ABS) module mounted in an engine room of an automobile. Since these electronic devices are for performing engine control, drive control and brake control stably, it is required that the circuit has good temperature stability.

これらの電子装置が使用される環境は、寒冷地の冬季には−20℃程度以下まで温度が下がり、また、エンジン始動後には、夏季では+130℃程度以上まで温度が上がることが予想される。最近では電子装置とその制御対象機器とをつなぐワイヤハーネスを削減する傾向にあり、電子装置が車外に設置されることもあるので、電子装置にとっての環境はますます厳しくなっている。したがって、これらの電子装置に用いられるコンデンサは、広い温度範囲において温度特性が平坦である必要がある。   The environment in which these electronic devices are used is expected to decrease to about −20 ° C. or lower in winter in cold regions, and to increase to about + 130 ° C. or higher in summer after engine startup. Recently, there is a tendency to reduce the number of wire harnesses that connect an electronic device and its control target equipment, and the electronic device is sometimes installed outside the vehicle, so the environment for the electronic device has become increasingly severe. Therefore, capacitors used in these electronic devices need to have flat temperature characteristics over a wide temperature range.

しかしながら、上述した特許文献1〜4では、いずれも温度補償を目的としていないため、低温時、あるいは高温時における電気特性に劣ってしまうという問題があった。このような問題を解決するために、たとえば特許文献5には、温度特性に優れた温度補償用コンデンサとして、(Ca,Me)(Zr,Ti)O系(ただし、Meは、Sr、MgおよびBaの少なくとも一つ)の主成分と、Mnとを含む誘電体層を有するコンデンサが開示されている。しかしながら、この文献記載のコンデンサは、静電容量の温度特性には優れるものの、IR寿命や誘電損失に劣るという問題があった。 However, in the above-mentioned Patent Documents 1 to 4, since none of them aims at temperature compensation, there is a problem that the electrical characteristics at a low temperature or at a high temperature are inferior. In order to solve such a problem, for example, Patent Document 5 discloses a (Ca, Me) (Zr, Ti) O 3 system (where Me is Sr, Mg) as a temperature compensation capacitor having excellent temperature characteristics. And a capacitor having a dielectric layer containing at least one main component of Ba and Mn and Mn. However, the capacitor described in this document has a problem that it is inferior in IR life and dielectric loss, although it is excellent in the temperature characteristic of capacitance.

特開2001−230149号公報JP 2001-230149 A 特開2001−230150号公報JP 2001-230150 A 特開2001−230148号公報JP 2001-230148 A 特開2001−307939号公報JP 2001-307939 A 特開2004−262680号公報JP 2004-262680 A

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、誘電率や静電容量の温度特性などの各種電気特性を維持しつつ、IR寿命に優れ、かつ、広い温度範囲(たとえば、−55〜155℃の範囲)において誘電損失を低く抑えることができ、信頼性の高い積層セラミックコンデンサなどの電子部品を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation, and is excellent in IR life and maintains a wide temperature range (for example, −55 to 155 ° C.) while maintaining various electrical characteristics such as dielectric constant and temperature characteristics of capacitance. It is an object of the present invention to provide a highly reliable electronic component such as a monolithic ceramic capacitor that can keep dielectric loss low.

上記目的を達成するために、本発明に係る電子部品は、
誘電体層を有する電子部品であって、
前記誘電体層は、少なくともMn元素を含有し、かつ、
複数のセラミック粒子と、隣り合う前記セラミック粒子間に存在する結晶粒界と、を有しており、
前記誘電体層を構成する全ての元素に対する前記セラミック粒子内におけるMn元素の含有割合(α)と、前記誘電体層を構成する全ての元素に対する前記結晶粒界におけるMn元素の含有割合(β)と、の比であるMn元素比(β/α)が、1より大きく、3.1以下であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, an electronic component according to the present invention includes:
An electronic component having a dielectric layer,
The dielectric layer contains at least Mn element, and
A plurality of ceramic particles, and a crystal grain boundary existing between the adjacent ceramic particles,
Content ratio (α) of Mn element in the ceramic particles with respect to all elements constituting the dielectric layer, and content ratio (β) of Mn element in the crystal grain boundary with respect to all elements constituting the dielectric layer The Mn element ratio (β / α), which is a ratio of the above, is greater than 1 and equal to or less than 3.1.

本発明においては、前記Mn元素比(β/α)を上記所定範囲とすることにより、IR寿命を向上させることができるとともに、広い温度範囲において誘電損失を低く抑えることができ、信頼性の高い電子部品を得ることができる。   In the present invention, by setting the Mn element ratio (β / α) within the predetermined range, the IR life can be improved, and the dielectric loss can be kept low over a wide temperature range, so that the reliability is high. An electronic component can be obtained.

本発明において、セラミック粒子内におけるMn元素の含有割合(α)は、前記誘電体層全体を構成する全ての元素の含有量100重量%に対するMn元素の重量比(単位は、重量%)であり、セラミック粒子内全体におけるMn元素の重量比の平均値を意味する。すなわち、本発明において、セラミック粒子内におけるMn元素の含有割合(α)は、セラミック粒子の表面付近だけでなく、中心部を含めた全ての部分におけるMn元素の含有割合の平均値である。   In the present invention, the content ratio (α) of the Mn element in the ceramic particles is a weight ratio (unit:% by weight) of the Mn element to the content of 100% by weight of all elements constituting the entire dielectric layer. The mean value of the weight ratio of the Mn element in the entire ceramic particle is meant. That is, in the present invention, the content ratio (α) of the Mn element in the ceramic particles is an average value of the content ratio of the Mn element not only in the vicinity of the surface of the ceramic particles but also in all the portions including the central portion.

同様に、結晶粒界におけるMn元素の含有割合(β)は、前記誘電体層全体を構成する全ての元素の含有量100重量%に対するMn元素の重量比(単位は、重量%)であり、結晶粒界のうち、セラミック粒子近傍におけるMn元素の含有割合を意味する。   Similarly, the content ratio (β) of the Mn element in the crystal grain boundary is the weight ratio of the Mn element to the content of 100% by weight of all the elements constituting the entire dielectric layer (unit is weight%). It means the content ratio of Mn element in the vicinity of the ceramic particles in the grain boundary.

本発明の電子部品において、好ましくは、
前記誘電体層が、誘電体磁器組成物を含んでおり、
前記誘電体磁器組成物は、組成式{(Ca1−x Me)O}・(Zr1−y Ti)Oで示され、前記組成式中の元素名を示す記号Meが、Sr、MgおよびBaの少なくとも一つであり、組成モル比を示す記号m、xおよびyが、0.8≦m≦1.3、0≦x≦1.00、0≦y≦0.8の関係にある誘電体酸化物を含む主成分と、
Mnの酸化物を含む第3副成分と、を含有し、
前記第3副成分の前記主成分100モルに対する比率が、Mnの酸化物中のMn元素換算で、0モル<第3副成分<5モルである。
In the electronic component of the present invention, preferably,
The dielectric layer includes a dielectric ceramic composition;
The dielectric ceramic composition is represented by a composition formula {(Ca 1−x Me x ) O} m · (Zr 1−y Ti y ) O 2 , and a symbol Me indicating an element name in the composition formula is: The symbols m, x, and y, which are at least one of Sr, Mg, and Ba and indicate the composition molar ratio, are 0.8 ≦ m ≦ 1.3, 0 ≦ x ≦ 1.00, and 0 ≦ y ≦ 0.8. A main component containing a dielectric oxide in the relationship of
A third subcomponent containing an oxide of Mn,
The ratio of the third subcomponent to 100 mol of the main component is 0 mol <third subcomponent <5 mol in terms of Mn element in the oxide of Mn.

本発明においては、前記誘電体層に含有される誘電体磁器組成物を上記組成範囲とすることにより、静電容量の温度依存性を低くすることができ、温度補償用の電子部品として好適に用いることができる。   In the present invention, by making the dielectric ceramic composition contained in the dielectric layer within the above composition range, the temperature dependence of the capacitance can be lowered, and it is suitable as an electronic component for temperature compensation. Can be used.

本発明の電子部品において、好ましくは、
前記誘電体磁器組成物が、
Vの酸化物を含む第1副成分と、
Alの酸化物を含む第2副成分と、をさらに含有し、
前記主成分100モルに対する各成分の比率が、
第1副成分:0モル<第1副成分<7モル(ただし、Vに換算した値)、
第2副成分:0モル<第2副成分<15モル(ただし、Alに換算した値)、である。
In the electronic component of the present invention, preferably,
The dielectric ceramic composition is
A first subcomponent comprising an oxide of V;
A second subcomponent containing an oxide of Al,
The ratio of each component to 100 moles of the main component is
First subcomponent: 0 mole <first subcomponent <7 moles (note that the value in terms of V 2 O 5),
Second subcomponent: 0 mol <second subcomponent <15 mol (however, converted to Al 2 O 3 ).

本発明の電子部品において、好ましくは、
前記誘電体磁器組成物が、
SiOを主成分とし、MO(ただし、Mは、Ba、Ca、SrおよびMgから選ばれる少なくとも1種の元素)、LiOおよびBから選ばれる少なくとも1種を含む第4副成分をさらに含有し、
前記主成分100モルに対する前記第4副成分の比率が、酸化物換算で、0モル<第4副成分<20モルである。
In the electronic component of the present invention, preferably,
The dielectric ceramic composition is
The SiO 2 as a main component, MO (provided that, M is at least one element selected from Ba, Ca, Sr and Mg), fourth sub comprises at least one selected from Li 2 O and B 2 O 3 Further containing ingredients,
The ratio of the fourth subcomponent to 100 mol of the main component is 0 mol <fourth subcomponent <20 mol in terms of oxide.

本発明においては、前記主成分および第3副成分に加えて、好ましくは前記第1副成分および第2副成分、より好ましくは前記第4副成分をさらに含有させることにより、静電容量の温度依存性のさらなる改善を図ることができる。   In the present invention, in addition to the main component and the third subcomponent, preferably, the first subcomponent and the second subcomponent, more preferably the fourth subcomponent, further includes a capacitance temperature. Dependency can be further improved.

より好ましくは、前記第4副成分は、組成式{(Ba,Ca1−z )O}SiOで示され、前記組成式中の組成モル比を示す記号zおよびvが、0≦z≦1および0.5≦v≦4.0の関係にある複合酸化物を含む。 More preferably, the fourth subcomponent is represented by a compositional formula {(Ba z , Ca 1−z ) O} v SiO 2 , and symbols z and v indicating a composition molar ratio in the compositional formula are 0 ≦ A composite oxide having a relationship of z ≦ 1 and 0.5 ≦ v ≦ 4.0 is included.

本発明に係る電子部品の製造方法は、
誘電体層を有する電子部品を製造する方法であって、
前記誘電体層を構成することとなる誘電体磁器組成物原料として、Mnの酸化物および/または焼成後にMnの酸化物になる化合物を含む第3副成分原料を含有する誘電体磁器組成物原料を使用し、かつ、
焼成後の焼結体に、900℃より高く、1150℃未満の温度で再酸化処理を施す工程を有することを特徴とする。
An electronic component manufacturing method according to the present invention includes:
A method of manufacturing an electronic component having a dielectric layer,
Dielectric porcelain composition material containing a third subcomponent material containing an oxide of Mn and / or a compound that becomes an oxide of Mn after firing as a dielectric porcelain composition material that constitutes the dielectric layer And
The sintered body after firing has a step of subjecting to re-oxidation treatment at a temperature higher than 900 ° C. and lower than 1150 ° C.

本発明の製造方法においては、前記再酸化処理の酸素分圧は、4.1×10−9〜6.9×10−7MPaとすることが好ましい。また、再酸化処理の時間は、2〜6時間とすることが好ましい。 In the manufacturing method of this invention, it is preferable that the oxygen partial pressure of the said reoxidation process shall be 4.1 * 10 < -9 > -6.9 * 10 < -7 > MPa. The reoxidation treatment time is preferably 2 to 6 hours.

本発明の製造方法においては、再酸化処理を上記温度(好ましくは、さらに、上記酸素分圧、時間)で行うことにより、誘電体層を構成することとなるセラミック粒子の粒子内におけるMn元素の含有割合(α)と、前記結晶粒界におけるMn元素の含有割合(β)と、の比であるMn元素比(β/α)を所望の比率に制御することができる。   In the production method of the present invention, the reoxidation treatment is performed at the above temperature (preferably, the oxygen partial pressure and the time), so that the Mn element in the ceramic particle particles constituting the dielectric layer is formed. The Mn element ratio (β / α), which is the ratio of the content ratio (α) and the content ratio (β) of the Mn element at the crystal grain boundary, can be controlled to a desired ratio.

本発明の製造方法において、好ましくは、前記誘電体磁器組成物原料が、組成式{(Ca1−x Me)O}・(Zr1−y Ti)Oで示され、前記組成式中の元素名を示す記号Meが、Sr、MgおよびBaの少なくとも一つであり、組成モル比を示す記号m、xおよびyが、0.8≦m≦1.3、0≦x≦1.00、0≦y≦0.8の関係にある誘電体酸化物を含む主成分原料を、さらに含有する。 In the production method of the present invention, preferably, the dielectric ceramic composition raw material is represented by a composition formula {(Ca 1−x Me x ) O} m · (Zr 1−y Ti y ) O 2 , and the composition The symbol Me indicating the element name in the formula is at least one of Sr, Mg and Ba, and the symbols m, x and y indicating the composition molar ratio are 0.8 ≦ m ≦ 1.3, 0 ≦ x ≦ A main component material containing a dielectric oxide having a relationship of 1.00 and 0 ≦ y ≦ 0.8 is further contained.

本発明の製造方法において、好ましくは、前記第3副成分原料の前記主成分原料100モルに対する比率が、Mn元素換算で、0モル<第3副成分原料<5モルである。   In the production method of the present invention, preferably, the ratio of the third subcomponent raw material to 100 mol of the main component raw material is 0 mol <third subcomponent raw material <5 mol in terms of Mn element.

本発明の製造方法において、好ましくは、記誘電体磁器組成物原料が、Vの酸化物および/または焼成後にVの酸化物になる化合物を含む第1副成分原料と、Alの酸化物および/または焼成によりAlの酸化物になる化合物を含む第2副成分原料と、をさらに含有し、前記主成分原料100モルに対する各副成分原料の比率が、第1副成分原料:0モル<第1副成分原料<7モル(ただし、Vに換算した値)、第2副成分原料:0モル<第2副成分原料<15モル(ただし、Alに換算した値)である。 In the production method of the present invention, preferably, the dielectric ceramic composition raw material includes a first subcomponent raw material containing a V oxide and / or a compound that becomes a V oxide after firing, an Al oxide and / or Or a second subcomponent material containing a compound that becomes an oxide of Al by firing, and the ratio of each subcomponent material to 100 mol of the main component material is such that the first subcomponent material: 0 mol <first Subcomponent raw material <7 mol (however, converted to V 2 O 5 ), second subcomponent raw material: 0 mol <second subcomponent raw material <15 mol (however, converted to Al 2 O 3 ) .

本発明の製造方法において、より好ましくは、前記誘電体磁器組成物原料が、SiO、BaO、CaO、SrO、MgO、LiO、B、および/または焼成によりこれらの酸化物になる化合物から選ばれる少なくとも1種を含む第4副成分原料をさらに含有し、前記主成分100モルに対する前記第4副成分原料の比率が、酸化物換算で、0モル<第4副成分原料<20モルである。 In the production method of the present invention, more preferably, the dielectric ceramic composition raw material is converted to SiO 2 , BaO, CaO, SrO, MgO, Li 2 O, B 2 O 3 , and / or these oxides by firing. A fourth subcomponent raw material containing at least one selected from the following compounds, and the ratio of the fourth subcomponent raw material to 100 mol of the main component is 0 mol <fourth subcomponent raw material < 20 moles.

本発明において、電子部品としては、特に限定されないが、積層セラミックコンデンサ、圧電素子、チップインダクタ、チップバリスタ、チップサーミスタ、チップ抵抗、その他の表面実装(SMD)チップ型電子部品が例示される。   In the present invention, the electronic component is not particularly limited, and examples thereof include a multilayer ceramic capacitor, a piezoelectric element, a chip inductor, a chip varistor, a chip thermistor, a chip resistor, and other surface mount (SMD) chip type electronic components.

本発明によると、誘電体層を構成するセラミック粒子の粒子内におけるMn元素の含有割合(α)と、前記結晶粒界におけるMn元素の含有割合(β)と、の比であるMn元素比(β/α)を所定範囲に制御することにより、誘電率や静電容量の温度特性などの各種電気特性を維持しつつ、IR寿命に優れるとともに、広い温度範囲(たとえば、−55〜155℃の範囲)において誘電損失の低い積層セラミックコンデンサなどの電子部品を提供することができる。   According to the present invention, the Mn element ratio (ratio) of the content ratio (α) of Mn element in the ceramic particles constituting the dielectric layer and the content ratio (β) of Mn element in the crystal grain boundary ( By controlling β / α to a predetermined range, while maintaining various electrical characteristics such as dielectric constant and capacitance temperature characteristics, the IR life is excellent and a wide temperature range (for example, −55 to 155 ° C.). Range), an electronic component such as a multilayer ceramic capacitor having a low dielectric loss can be provided.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図、
図2は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの誘電体層の拡大断面図、
図3は本発明におけるMn元素比(β/α)の測定方法を説明するための図、
図4は本発明の実施例に係る積層セラミックコンデンサの粒内および粒界におけるMn含有量の関係を示すグラフ、
図5は本発明の実施例に係る積層セラミックコンデンサの測定温度と誘電損失との関係を示すグラフである。
Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a dielectric layer of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention,
FIG. 3 is a diagram for explaining a method for measuring the Mn element ratio (β / α) in the present invention;
FIG. 4 is a graph showing the relationship of the Mn content in the grains and at the grain boundaries of the multilayer ceramic capacitor according to the example of the present invention,
FIG. 5 is a graph showing the relationship between the measured temperature and the dielectric loss of the multilayer ceramic capacitor according to the example of the present invention.

積層セラミックコンデンサ1
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る電子部品としての積層セラミックコンデンサ1は、誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層されたコンデンサ素子本体10を有する。コンデンサ素子本体10の両端部には、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。内部電極層3は、各端面がコンデンサ素子本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4は、コンデンサ素子本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成する。コンデンサ素子本体10の外形や寸法には特に制限はなく、用途に応じて適宜設定することができ、通常、外形はほぼ直方体形状とし、寸法は、縦(0.4〜5.6mm)×横(0.2〜5.0mm)×高さ(0.2〜1.9mm)程度とすることができる。
Multilayer ceramic capacitor 1
As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor 1 as an electronic component according to an embodiment of the present invention includes a capacitor element body 10 in which dielectric layers 2 and internal electrode layers 3 are alternately stacked. At both ends of the capacitor element body 10, a pair of external electrodes 4 are formed which are electrically connected to the internal electrode layers 3 arranged alternately in the element body 10. The internal electrode layers 3 are laminated so that the end faces are alternately exposed on the surfaces of the two opposite ends of the capacitor element body 10. The pair of external electrodes 4 are formed at both ends of the capacitor element body 10 and are connected to the exposed end surfaces of the alternately arranged internal electrode layers 3 to constitute a capacitor circuit. The outer shape and dimensions of the capacitor element body 10 are not particularly limited and can be appropriately set according to the application. Usually, the outer shape is substantially a rectangular parallelepiped shape, and the dimensions are vertical (0.4 to 5.6 mm) × horizontal. (0.2 to 5.0 mm) × height (0.2 to 1.9 mm).

誘電体層2
誘電体層2は、組成式{(Ca1−x Me)O}・(Zr1−y Ti)Oで示される誘電体酸化物を含む主成分と、Mnの酸化物を含む第3副成分と、を含有する誘電体磁器組成物から構成されることが好ましい。なお、上記式中、酸素(O)量は、上記式の化学量論組成から若干偏倚してもよい。
Dielectric layer 2
The dielectric layer 2 includes a main component including a dielectric oxide represented by a composition formula {(Ca 1−x Me x ) O} m · (Zr 1−y Ti y ) O 2 and an oxide of Mn. It is preferable to be comprised from the dielectric ceramic composition containing a 3rd subcomponent. In the above formula, the amount of oxygen (O) may be slightly deviated from the stoichiometric composition of the above formula.

上記式中、xは、0≦x≦1.00であることが好ましい。xは記号Me(ただし、MeはSr、MgおよびBaの少なくとも一つ。中でもSrが好ましい。)の原子数を表し、x、すなわち記号Me/Ca比を変えることで結晶の相転移点を任意にシフトさせることが可能となる。そのため、容量温度係数や比誘電率を任意に制御することができる。ただし、本発明においては、Caと記号Meとの比率は任意であり、一方だけを含有するものであってもよい。   In the above formula, x is preferably 0 ≦ x ≦ 1.00. x represents the number of atoms of the symbol Me (where Me is at least one of Sr, Mg, and Ba, among which Sr is preferable), and the phase transition point of the crystal can be arbitrarily determined by changing x, that is, the symbol Me / Ca ratio. Can be shifted to. Therefore, the capacity temperature coefficient and the relative dielectric constant can be arbitrarily controlled. However, in the present invention, the ratio between Ca and the symbol Me is arbitrary, and only one of them may be contained.

上記式中、yは、0≦y≦0.8であることが好ましい。yはTi原子数を表すが、TiOに比べ還元されにくいZrOを置換していくことにより耐還元性がさらに増していく傾向がある。 In the above formula, y is preferably 0 ≦ y ≦ 0.8. Although y represents the number of Ti atoms, there is a tendency that the reduction resistance is further increased by substituting ZrO 2 which is not easily reduced as compared with TiO 2 .

上記式中、mは、0.8≦m≦1.3であることが好ましく、より好ましくは0.970≦m≦1.030である。mを0.8以上にすることにより還元雰囲気下での焼成に対して半導体化を生じることが防止され、mを1.3以下にすることにより焼成温度を高くしなくても緻密な焼結体を得ることができる。   In the above formula, m is preferably 0.8 ≦ m ≦ 1.3, more preferably 0.970 ≦ m ≦ 1.030. By making m 0.8 or more, it is possible to prevent the formation of a semiconductor for firing in a reducing atmosphere, and by making m 1.3 or less, dense sintering can be achieved without increasing the firing temperature. You can get a body.

上記第3副成分は、焼結を促進する効果、および誘電体層に耐還元性を付与する効果を有し、さらには、アクセプタとしても機能する。第3副成分の主成分100モルに対する比率は、酸化物中のMn元素換算で、好ましくは0モル<第3副成分<5モル、より好ましくは0.1モル≦第3副成分≦4モルとする。第3副成分の添加量が多すぎると、IR寿命が低下する傾向にある。なお、第3副成分のうち、少なくとも一部は、内部電極層3の途切れ部などに偏析していても良い。   The third subcomponent has an effect of promoting sintering, an effect of imparting reduction resistance to the dielectric layer, and further functions as an acceptor. The ratio of the third subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 0 mol <third subcomponent <5 mol, more preferably 0.1 mol ≦ third subcomponent ≦ 4 mol in terms of Mn element in the oxide. And If the amount of the third subcomponent added is too large, the IR life tends to be reduced. In addition, at least a part of the third subcomponent may be segregated in a discontinuous portion of the internal electrode layer 3 or the like.

本実施形態では、誘電体層2を構成する誘電体磁器組成物は、
Vの酸化物を含む第1副成分と、
Alの酸化物を含む第2副成分と、をさらに含有することが好ましい。
このような第1副成分および第2副成分を所定量含有させることで、誘電特性を劣化させることなく低温焼成が可能となり、誘電体層2を薄層化した場合でもIR寿命を向上させることができる。
In the present embodiment, the dielectric ceramic composition constituting the dielectric layer 2 is
A first subcomponent comprising an oxide of V;
It is preferable to further contain a second subcomponent containing an oxide of Al.
By containing a predetermined amount of the first subcomponent and the second subcomponent, low-temperature firing is possible without deteriorating the dielectric characteristics, and the IR life is improved even when the dielectric layer 2 is thinned. Can do.

第1副成分の主成分100モルに対する比率は、V換算で、好ましくは0モル<第1副成分<7モル、より好ましくは0.01モル≦第1副成分≦5モルである。
第2副成分の主成分100モルに対する比率は、Al換算で、好ましくは0モル<第2副成分<15モル、より好ましくは0.01モル≦第2副成分≦10モルである。
第1副成分および第2副成分の比率を、上記範囲にすることにより、yを0≦y≦0.8の範囲とした場合おいて、IR寿命を向上させることができる。なお、第1副成分に含まれるVの酸化物の一部を、NbやTaなどの5族元素の酸化物や、Cr、Mo、Wの6族元素の酸化物で置換しても構わない。
The ratio of the first subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 0 mol <first subcomponent <7 mol, more preferably 0.01 mol ≦ first subcomponent ≦ 5 mol in terms of V 2 O 5. .
The ratio of the second subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 0 mol <second subcomponent <15 mol, more preferably 0.01 mol ≦ second subcomponent ≦ 10 mol in terms of Al 2 O 3. .
By setting the ratio of the first subcomponent and the second subcomponent in the above range, the IR life can be improved when y is in the range of 0 ≦ y ≦ 0.8. A part of the oxide of V contained in the first subcomponent may be replaced with an oxide of a Group 5 element such as Nb or Ta or an oxide of a Group 6 element of Cr, Mo, or W. .

本実施形態においては、誘電体層2を構成する誘電体磁器組成物は、上記主成分および第1〜第3副成分に加えて、SiOを主成分とし、MO(ただし、Mは、Ba、Ca、SrおよびMgから選ばれる少なくとも1種の元素)、LiOおよびBから選ばれる少なくとも1種を含む第4副成分と、をさらに含有することが好ましい。この第4副成分は、主として焼結助剤として作用するが、誘電体層2を薄層化した際の初期絶縁抵抗(IR)の不良率を改善する効果をも有する。 In the present embodiment, the dielectric ceramic composition constituting the dielectric layer 2 contains SiO 2 as a main component in addition to the main component and the first to third subcomponents, and MO (where M is Ba , At least one element selected from Ca, Sr and Mg), and a fourth subcomponent containing at least one selected from Li 2 O and B 2 O 3 . This fourth subcomponent mainly acts as a sintering aid, but also has an effect of improving the defective rate of the initial insulation resistance (IR) when the dielectric layer 2 is thinned.

好ましくは、上記第4副成分は、組成式{(Ba,Ca1−z )O}SiOで示される複合酸化物(以下、BCGとも言うことがある)を含む。複合酸化物である{(Ba,Ca1−z )O}SiOは、融点が低いため、主成分に対する反応性が良好である。組成式{(Ba,Ca1−z )O}SiOにおいて、組成式中の組成モル比を示す記号vは、好ましくは0.5≦v≦4.0であり、より好ましくは0.5≦v≦2.0である。vが小さすぎると、すなわちSiOが多すぎると、主成分と反応して誘電体特性を悪化させてしまう。一方、vが大きすぎると、複合酸化物の融点が高くなってしまい、誘電体層の焼結性を悪化させてしまう。なお、BaとCaとの組成モル比を示す記号zは任意であり(0≦z≦1)、一方だけを含有するものであってもよいが、好ましくは0.3≦z≦0.7である。 Preferably, the fourth subcomponent includes a composition formula {(Ba z, Ca 1- z) O} v composite oxide represented by SiO 2 (hereinafter, sometimes also referred to as BCG). A composite oxide {(Ba z, Ca 1- z) O} v SiO 2 has a low melting point, has a good reactivity with the main component. In the composition formula {(Ba z , Ca 1−z ) O} v SiO 2 , the symbol v indicating the composition molar ratio in the composition formula is preferably 0.5 ≦ v ≦ 4.0, more preferably 0. .5 ≦ v ≦ 2.0. If v is too small, that is, if SiO 2 is too much, it reacts with the main component and deteriorates the dielectric properties. On the other hand, if v is too large, the melting point of the composite oxide becomes high and the sinterability of the dielectric layer is deteriorated. The symbol z indicating the composition molar ratio of Ba and Ca is arbitrary (0 ≦ z ≦ 1) and may contain only one, but preferably 0.3 ≦ z ≦ 0.7. It is.

第4副成分の前記主成分100モルに対する比率は、酸化物(または複合酸化物)換算で、好ましくは0モル<第4副成分<20モル、より好ましくは0.1モル≦第4副成分≦15モルである。第4副成分を少量でも添加することで、初期IR不良率の発生を低下させるのに効果的であり、添加量を20モル未満とすることで、比誘電率の低下を抑え、十分な容量を確保できる。   The ratio of the fourth subcomponent to 100 mol of the main component is preferably 0 mol <4 subcomponent <20 mol, more preferably 0.1 mol ≦ fourth subcomponent, in terms of oxide (or composite oxide). ≦ 15 mol. Adding a small amount of the fourth subcomponent is effective in reducing the occurrence of the initial IR defect rate, and by making the addition amount less than 20 moles, the reduction in the relative dielectric constant is suppressed and sufficient capacity is obtained. Can be secured.

誘電体層2は、図2に示すように、セラミック粒子21と、隣り合うセラミック粒子21間に形成されている結晶粒界22と、を有している。本実施形態では、セラミック粒子21の粒子内(以下、適宜、粒内という)におけるMn元素の含有割合(α)と、結晶粒界22におけるMn元素の含有割合(β)と、の比であるMn元素比(β/α)が、1より大きく、3.1以下、好ましくは1.3以上、2.4以下である。なお、本実施形態において、Mn元素の含有割合(α)、(β)は、ともに、誘電体層2全体を構成する全ての元素100重量%に対する重量比(単位は、重量%)である。   As shown in FIG. 2, the dielectric layer 2 includes ceramic particles 21 and crystal grain boundaries 22 formed between adjacent ceramic particles 21. In the present embodiment, the ratio of the content ratio (α) of the Mn element in the particles of the ceramic particles 21 (hereinafter, appropriately referred to as the grains) and the content ratio (β) of the Mn element in the crystal grain boundary 22 is a ratio. The Mn element ratio (β / α) is larger than 1 and 3.1 or less, preferably 1.3 or more and 2.4 or less. In the present embodiment, the content ratios (α) and (β) of the Mn element are both weight ratios (unit: weight%) with respect to 100% by weight of all elements constituting the entire dielectric layer 2.

本発明は、このMn元素比(β/α)を上記所定範囲とすることを最大の特徴としており、セラミック粒子21および結晶粒界22を、このような構成とすることにより、IR寿命を向上させることができるとともに、広い温度範囲において誘電損失を低く抑えることができる。Mn元素比(β/α)が大きすぎると、本発明の作用効果、すなわち、IR寿命および誘電損失の改善効果が得られなくなってしまう。また、Mn元素比(β/α)は、以下の理由により1以下とすることは困難である。すなわち、再酸化処理の時間を長くすることにより、Mn元素比(β/α)を小さくしていくことは可能であるが、1以下にするためには非常に長い時間を要し、さらに、長時間の再酸化処理を行うと、内部電極の酸化が著しくなってしまうため、容量不足となってしまうという問題が発生してしまう。   The present invention is characterized in that the Mn element ratio (β / α) is in the above predetermined range, and the IR life is improved by configuring the ceramic particles 21 and the crystal grain boundaries 22 in such a configuration. In addition, the dielectric loss can be kept low over a wide temperature range. If the Mn element ratio (β / α) is too large, the effects of the present invention, that is, the IR lifetime and dielectric loss improvement effects cannot be obtained. Further, the Mn element ratio (β / α) is difficult to be 1 or less for the following reason. That is, it is possible to reduce the Mn element ratio (β / α) by lengthening the reoxidation treatment time, but it takes a very long time to make it 1 or less, When the re-oxidation treatment is performed for a long time, the internal electrode is remarkably oxidized, which causes a problem of insufficient capacity.

なお、Mn元素比(β/α)を測定する方法としては、特に限定されないが、たとえば、以下の方法により測定することができる。
まず、誘電体層2と垂直な方向で、素子本体10を切断する。そして、この切断面において、透過型電子顕微鏡(TEM)により、セラミック粒子21の粒内におけるMn元素の含有割合(α)、および結晶粒界22におけるMn元素の含有割合(β)を測定し、得られた測定結果より、Mn元素比(β/α)を算出する。セラミック粒子21の粒内におけるMn元素の含有割合(α)を測定する際には、セラミック粒子21の略中心を通る直線上の複数の点におけるMn元素の含有割合を測定し、その測定結果を平均して、含有割合(α)とする。また、結晶粒界22におけるMn元素の含有割合(β)は、結晶粒界22のうち、セラミック粒子21近傍におけるMn元素の含有割合を測定し、その結果を、含有割合(β)とする。なお、含有割合(β)は、セラミック粒子21近傍のうち、2カ所以上の含有割合を測定し、その測定結果を平均したものを含有割合(β)とすることが好ましい。
In addition, it does not specifically limit as a method of measuring Mn element ratio ((beta) / (alpha)), For example, it can measure with the following method.
First, the element body 10 is cut in a direction perpendicular to the dielectric layer 2. And in this cut surface, the content ratio (α) of the Mn element in the grains of the ceramic particles 21 and the content ratio (β) of the Mn element in the crystal grain boundaries 22 are measured by a transmission electron microscope (TEM). The Mn element ratio (β / α) is calculated from the obtained measurement result. When measuring the content ratio (α) of the Mn element in the grains of the ceramic particles 21, the content ratio of the Mn element at a plurality of points on a straight line passing through the approximate center of the ceramic particles 21 is measured, and the measurement result is obtained. On average, the content is (α). Further, the content ratio (β) of the Mn element in the crystal grain boundary 22 is obtained by measuring the content ratio of the Mn element in the vicinity of the ceramic particles 21 in the crystal grain boundary 22 and setting the result as the content ratio (β). The content ratio (β) is preferably the content ratio (β) obtained by measuring the content ratio of two or more places in the vicinity of the ceramic particles 21 and averaging the measurement results.

誘電体層2の厚みは、特に限定されないが、一層あたり1μm以上、100μm以下であることが好ましく、より好ましくは2μm以上、20μm以下である。誘電体層が薄すぎると、絶縁不良が発生し易くなる。また、厚すぎると、シート欠陥が発生し易くなるため、同様に絶縁不良が発生し易くなる。   The thickness of the dielectric layer 2 is not particularly limited, but is preferably 1 μm or more and 100 μm or less per layer, and more preferably 2 μm or more and 20 μm or less. If the dielectric layer is too thin, insulation failure tends to occur. Moreover, since it will become easy to generate | occur | produce a sheet | seat defect when it is too thick, it becomes easy to generate | occur | produce an insulation defect similarly.

誘電体層2の積層数は、特に限定されないが、20以上であることが好ましく、より好ましくは50以上、特に好ましくは、100以上である。積層数の上限は、特に限定されないが、たとえば2000程度である。   The number of laminated dielectric layers 2 is not particularly limited, but is preferably 20 or more, more preferably 50 or more, and particularly preferably 100 or more. The upper limit of the number of stacked layers is not particularly limited, but is about 2000, for example.

内部電極層3
内部電極層3に含有される導電材は特に限定されないが、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、卑金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金としては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi含有量は95重量%以上であることが好ましい。なお、NiまたはNi合金中には、P等の各種微量成分が0.1重量%程度以下含まれていてもよい。
Internal electrode layer 3
The conductive material contained in the internal electrode layer 3 is not particularly limited, but a base metal can be used because the constituent material of the dielectric layer 2 has reduction resistance. As the base metal used as the conductive material, Ni or Ni alloy is preferable. The Ni alloy is preferably an alloy of Ni and one or more elements selected from Mn, Cr, Co and Al, and the Ni content in the alloy is preferably 95% by weight or more. In addition, in Ni or Ni alloy, various trace components, such as P, may be contained about 0.1 wt% or less.

内部電極層3の厚みは、3μm以下であることが好ましく、より好ましくは0.5μm以上、2.5μm以下である。内部電極層3が厚すぎると、コンデンサの小型化が困難となる。一方、内部電極層3が薄すぎると、電極の球状化等に起因する電極途切れが顕著に発生してしまう傾向にある。   The thickness of the internal electrode layer 3 is preferably 3 μm or less, more preferably 0.5 μm or more and 2.5 μm or less. If the internal electrode layer 3 is too thick, it is difficult to reduce the size of the capacitor. On the other hand, when the internal electrode layer 3 is too thin, there is a tendency that the electrode interruption due to the spheroidization of the electrode or the like occurs remarkably.

外部電極4
外部電極4に含有される導電材は特に限定されないが、本発明では安価なNi,Cuや、これらの合金を用いることができる。
外部電極の厚さは用途等に応じて適宜決定されればよいが、通常、10〜50μm程度であることが好ましい。
External electrode 4
The conductive material contained in the external electrode 4 is not particularly limited, but in the present invention, inexpensive Ni, Cu, and alloys thereof can be used.
The thickness of the external electrode may be appropriately determined according to the use, etc., but is usually preferably about 10 to 50 μm.

積層セラミックコンデンサ1の製造方法
本実施形態の積層セラミックコンデンサ1は、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。
Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor 1 The multilayer ceramic capacitor 1 of the present embodiment is the same as a conventional multilayer ceramic capacitor. After producing a green chip by a normal printing method or a sheet method using a paste and firing it, It is manufactured by printing or transferring an external electrode and firing. Hereinafter, the manufacturing method will be specifically described.

まず、誘電体層用ペーストに含まれる誘電体磁器組成物粉末を調製する。
誘電体層用ペーストを製造するに際しては、まず、これに含まれる誘電体磁器組成物原料を準備する。誘電体磁器組成物原料には、主成分原料と、第1〜第4副成分原料とが含まれる。なお、誘電体磁器組成物原料に含有される各原料の混合比は、焼成後の比率が、上述の所定比率となるように調製すれば良い。
First, a dielectric ceramic composition powder contained in the dielectric layer paste is prepared.
In producing the dielectric layer paste, first, a dielectric ceramic composition raw material contained therein is prepared. The dielectric ceramic composition material includes a main component material and first to fourth subcomponent materials. In addition, what is necessary is just to prepare the mixing ratio of each raw material contained in a dielectric ceramic composition raw material so that the ratio after baking may become the above-mentioned predetermined ratio.

主成分原料としては、組成式{(Ca1−x Me)O}・(Zr1−y Ti)Oで表される原料が用いられる。この主成分原料は、いわゆる固相法の他、いわゆる液相法により得られるものであってもよい。固相法は、たとえば、SrCO、CaCO、TiO、ZrOを出発原料として用いる場合、これらを所定量秤量して混合、仮焼き、粉砕することにより、原料を得る方法である。液相合成法としては、しゅう酸塩法、水熱合成法、ゾルゲル法などが挙げられる。 As the main component raw material, a raw material represented by a composition formula {(Ca 1−x Me x ) O} m · (Zr 1−y Ti y ) O 2 is used. The main component material may be obtained by a so-called liquid phase method in addition to a so-called solid phase method. In the solid phase method, for example, when SrCO 3 , CaCO 3 , TiO 2 , and ZrO 2 are used as starting materials, a predetermined amount is weighed, mixed, calcined, and pulverized to obtain a raw material. Examples of the liquid phase synthesis method include an oxalate method, a hydrothermal synthesis method, and a sol-gel method.

第1副成分原料としては、Vの酸化物および/または焼成後にVの酸化物になる化合物が用いられる。第2副成分原料としては、Alの酸化物および/または焼成によりAlの酸化物になる化合物が用いられる。第3副成分原料としては、Mnの酸化物および/または焼成によりMnの酸化物になる化合物が用いられる。第4副成分原料としては、SiO、BaO、CaO、SrO、MgO、LiO、B、および/または焼成によりこれらの酸化物になる化合物が用いられる。 As the first subcomponent material, a V oxide and / or a compound that becomes a V oxide after firing is used. As the second subcomponent raw material, an Al oxide and / or a compound that becomes an Al oxide by firing is used. As the third subcomponent material, an oxide of Mn and / or a compound that becomes an oxide of Mn by firing is used. As the fourth subcomponent material, SiO 2 , BaO, CaO, SrO, MgO, Li 2 O, B 2 O 3 , and / or compounds that become these oxides by firing are used.

誘電体磁器組成物原料の製造方法は、特に限定されず、たとえば、主成分原料を製造する際に、出発原料に第1〜第4副成分原料などの副成分原料を混合しておき、固相法や液相法などにより主成分原料を製造すると同時に誘電体磁器組成物原料を得ても良い。あるいは、一旦、主成分原料を固相法や液相法などにより製造しておき、これに第1〜第4副成分原料などの副成分原料を添加することによって、誘電体磁器組成物原料を得ても良い。   The method for producing the dielectric ceramic composition raw material is not particularly limited. For example, when the main component raw material is produced, subcomponent raw materials such as the first to fourth subcomponent raw materials are mixed with the starting raw material, The dielectric ceramic composition material may be obtained simultaneously with the production of the main component material by the phase method or the liquid phase method. Alternatively, once the main component material is manufactured by a solid phase method, a liquid phase method, or the like, and a subcomponent material such as the first to fourth subcomponent materials is added thereto, the dielectric ceramic composition material is obtained. You may get.

以下、固相法により主成分原料を製造する際に、第1〜第4副成分原料を混合させて誘電体磁器組成物原料を得る方法を例に採り説明する。   Hereinafter, a method of obtaining a dielectric ceramic composition raw material by mixing the first to fourth subcomponent raw materials when producing the main component raw material by the solid phase method will be described as an example.

まず、たとえばSrCO、CaCO、TiO、ZrOなどの各主成分原料の出発原料の他に、最終組成に対する少なくとも一部の第1副成分原料(たとえばV)、第2副成分原料(たとえばAl)、第3副成分原料(たとえばMnCO)および第4副成分原料(たとえば(Ba,Ca)SiO2+z)を所定量秤量して、混合、乾燥することにより、仮焼き前原料を準備する。 First, for example, in addition to SrCO 3, CaCO 3, the starting materials of the main component material, such as TiO 2, ZrO 2, at least a portion of the first subcomponent material to the final composition (e.g. V 2 O 5), second sub By weighing, mixing, and drying component raw materials (for example, Al 2 O 3 ), third sub-component raw materials (for example, MnCO 3 ), and fourth sub-component raw materials (for example, (Ba, Ca) z SiO 2 + z ) Prepare raw materials before calcining.

次に、準備された仮焼前粉体を仮焼きし、仮焼済粉末とする。仮焼き条件は、特に限定されないが、次に示す条件で行うことが好ましい。昇温速度は、好ましくは50〜400℃/時間、より好ましくは100〜300℃/時間である。保持温度は、好ましくは、1000〜1300℃である。温度保持時間は、好ましくは0.5〜6時間、より好ましくは1〜3時間である。処理雰囲気は、空気中、窒素中および還元雰囲気中の何れでも構わない。   Next, the prepared pre-calcination powder is calcined to obtain a calcined powder. The calcining conditions are not particularly limited, but are preferably performed under the following conditions. The rate of temperature rise is preferably 50 to 400 ° C./hour, more preferably 100 to 300 ° C./hour. The holding temperature is preferably 1000 to 1300 ° C. The temperature holding time is preferably 0.5 to 6 hours, more preferably 1 to 3 hours. The treatment atmosphere may be any of air, nitrogen, and reducing atmosphere.

得られた仮焼済粉末は、アルミナロールなどにより粗粉砕された後、必要に応じて、残りの添加物(第1〜第4副成分原料の残部も含む)を添加して、最終組成にする。その後、この混合粉末を、必要に応じて、ボールミルなどによって混合し、乾燥することによって、誘電体磁器組成物原料(粉末)を得る。   The obtained calcined powder is coarsely pulverized with an alumina roll or the like, and if necessary, the remaining additives (including the remainder of the first to fourth subcomponent raw materials) are added to the final composition. To do. Thereafter, the mixed powder is mixed by a ball mill or the like, if necessary, and dried to obtain a dielectric ceramic composition raw material (powder).

なお、誘電体磁器組成物原料としては、上記した酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、例えば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。誘電体磁器組成物原料中の各化合物の含有量は、焼成後に上記した誘電体磁器組成物の組成となるように決定すればよい。
誘電体磁器組成物粉末の粒径は、塗料化する前の状態で、通常、平均粒径0.1〜3μm程度である。
In addition, as the dielectric ceramic composition raw material, the above-described oxide, a mixture thereof, or a composite oxide can be used. In addition, various compounds that become the above-described oxide or composite oxide by firing, for example, carbonates , Oxalates, nitrates, hydroxides, organometallic compounds, and the like may be selected as appropriate and used as a mixture. What is necessary is just to determine content of each compound in a dielectric ceramic composition raw material so that it may become a composition of the above-mentioned dielectric ceramic composition after baking.
The particle size of the dielectric ceramic composition powder is usually about 0.1 to 3 μm in average particle size in a state before being formed into a paint.

次に、この誘電体磁器組成物原料を塗料化して、誘電体層用ペーストを調整する。誘電体層用ペーストは、誘電体磁器組成物原料と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水系の塗料であってもよい。   Next, the dielectric ceramic composition raw material is made into a paint to prepare a dielectric layer paste. The dielectric layer paste may be an organic paint obtained by kneading a dielectric ceramic composition material and an organic vehicle, or may be a water-based paint.

有機ビヒクルとは、バインダを有機溶剤中に溶解したものである。有機ビヒクルに用いるバインダは特に限定されず、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等の通常の各種バインダから適宜選択すればよい。また、用いる有機溶剤も特に限定されず、印刷法やシート法など、利用する方法に応じて、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。   An organic vehicle is obtained by dissolving a binder in an organic solvent. The binder used for the organic vehicle is not particularly limited, and may be appropriately selected from usual various binders such as ethyl cellulose and polyvinyl butyral. Further, the organic solvent to be used is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as terpineol, butyl carbitol, acetone, toluene, and the like, depending on a method to be used such as a printing method or a sheet method.

また、誘電体層用ペーストを水系の塗料とする場合には、水溶性のバインダや分散剤などを水に溶解させた水系ビヒクルと、誘電体原料とを混練すればよい。水系ビヒクルに用いる水溶性バインダは特に限定されず、例えば、ポリビニルアルコール、セルロース、水溶性アクリル樹脂などを用いればよい。   Further, when the dielectric layer paste is used as a water-based paint, a water-based vehicle in which a water-soluble binder or a dispersant is dissolved in water and a dielectric material may be kneaded. The water-soluble binder used for the water-based vehicle is not particularly limited, and for example, polyvinyl alcohol, cellulose, water-soluble acrylic resin, or the like may be used.

内部電極層用ペーストは、上記した各種導電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。   The internal electrode layer paste is made by kneading the above-mentioned organic vehicle with various conductive metals and alloys as described above, or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. that become the above-mentioned conductive materials after firing. Prepare.

外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペーストと同様にして調製すればよい。   The external electrode paste may be prepared in the same manner as the internal electrode layer paste described above.

上記した各ペースト中の有機ビヒクルの含有量に特に制限はなく、通常の含有量、たとえば、バインダは1〜5重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度とすればよい。また、各ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添加物が含有されていてもよい。これらの総含有量は、10重量%以下とすることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular in content of the organic vehicle in each above-mentioned paste, For example, what is necessary is just about 1-5 weight% of binders, for example, about 10-50 weight% of binders. Each paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators, and the like as necessary. The total content of these is preferably 10% by weight or less.

印刷法を用いる場合、誘電体層用ペースト及び内部電極層用ペーストを、PET等の基板上に積層印刷し、所定形状に切断した後、基板から剥離してグリーンチップとする。また、シート法を用いる場合、誘電体層用ペーストを用いてグリーンシートを形成し、この上に内部電極層用ペーストを印刷した後、これらを積層してグリーンチップとする。   When the printing method is used, the dielectric layer paste and the internal electrode layer paste are laminated and printed on a substrate such as PET, cut into a predetermined shape, and then peeled from the substrate to obtain a green chip. When the sheet method is used, a dielectric layer paste is used to form a green sheet, the internal electrode layer paste is printed thereon, and these are stacked to form a green chip.

焼成前に、グリーンチップに脱バインダ処理を施す。脱バインダ処理は、内部電極層ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、脱バインダ雰囲気中の酸素分圧を10−45 〜10Paとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると、脱バインダ効果が低下する。また酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。 Before firing, the green chip is subjected to binder removal processing. The binder removal treatment may be appropriately determined according to the type of the conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen partial pressure in the binder removal atmosphere is 10 It is preferable to be −45 to 10 5 Pa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, the binder removal effect is lowered. If the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to oxidize.

また、それ以外の脱バインダ条件としては、昇温速度を好ましくは5〜300℃/時間、より好ましくは10〜100℃/時間、保持温度を好ましくは180〜400℃、より好ましくは200〜350℃、温度保持時間を好ましくは0.5〜24時間、より好ましくは2〜20時間とする。また、焼成雰囲気は、空気もしくは還元性雰囲気とすることが好ましく、還元性雰囲気における雰囲気ガスとしては、たとえばNとHとの混合ガスを加湿して用いることが好ましい。 As other binder removal conditions, the temperature rising rate is preferably 5 to 300 ° C./hour, more preferably 10 to 100 ° C./hour, and the holding temperature is preferably 180 to 400 ° C., more preferably 200 to 350. The temperature holding time is preferably 0.5 to 24 hours, more preferably 2 to 20 hours. The firing atmosphere is preferably air or a reducing atmosphere, and as an atmosphere gas in the reducing atmosphere, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used after being humidified.

グリーンチップ焼成時の雰囲気は、内部電極層用ペースト中の導電材の種類に応じて適宜決定されればよいが、導電材としてNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、焼成雰囲気中の酸素分圧は、10−13〜10−9MPaとすることが好ましい。酸素分圧が前記範囲未満であると、内部電極層の導電材が異常焼結を起こし、途切れてしまうことがある。また、酸素分圧が前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にある。 The atmosphere at the time of green chip firing may be appropriately determined according to the type of conductive material in the internal electrode layer paste, but when a base metal such as Ni or Ni alloy is used as the conductive material, the oxygen content in the firing atmosphere The pressure is preferably 10 −13 to 10 −9 MPa. When the oxygen partial pressure is less than the above range, the conductive material of the internal electrode layer may be abnormally sintered and may be interrupted. Further, when the oxygen partial pressure exceeds the above range, the internal electrode layer tends to be oxidized.

また、焼成時の保持温度は、好ましくは1100〜1400℃、より好ましくは1200〜1380℃、さらに好ましくは1260〜1360℃である。保持温度が前記範囲未満であると緻密化が不十分となり、前記範囲を超えると、内部電極層の異常焼結や、内部電極層構成材料の拡散による容量温度特性の悪化、誘電体磁器組成物の還元が生じやすくなる。   Moreover, the holding temperature at the time of baking becomes like this. Preferably it is 1100-1400 degreeC, More preferably, it is 1200-1380 degreeC, More preferably, it is 1260-1360 degreeC. If the holding temperature is lower than the above range, the densification becomes insufficient. If the holding temperature is higher than the above range, abnormal sintering of the internal electrode layer, deterioration of capacity temperature characteristics due to diffusion of the constituent material of the internal electrode layer, dielectric ceramic composition The reduction of is likely to occur.

これ以外の焼成条件としては、昇温速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは200〜300℃/時間、温度保持時間を好ましくは0.5〜8時間、より好ましくは1〜3時間、冷却速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは200〜300℃/時間とする。また、焼成雰囲気は還元性雰囲気とすることが好ましく、雰囲気ガスとしてはたとえば、NとHとの混合ガスを加湿して用いることが好ましい。 As other firing conditions, the rate of temperature rise is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C./hour, and the temperature holding time is preferably 0.5 to 8 hours, more preferably 1 to 3 hours. The time and cooling rate are preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 200 to 300 ° C./hour. Further, the firing atmosphere is preferably a reducing atmosphere, and as the atmosphere gas, for example, a mixed gas of N 2 and H 2 is preferably used by humidification.

次いで、コンデンサ素子本体には再酸化処理(アニール)を施す。再酸化処理は、誘電体層を再酸化するための処理であり、これによりIR寿命を著しく長くすることができるので、信頼性が向上する。   Next, the capacitor element body is subjected to reoxidation treatment (annealing). The re-oxidation process is a process for re-oxidizing the dielectric layer, and as a result, the IR life can be remarkably increased, so that the reliability is improved.

再酸化処理の際の保持温度(再酸化処理温度)は、900℃より高く、1150℃未満とすることが好ましく、より好ましくは1000℃以上、1100℃以下とする。本実施形態においては、再酸化処理の保持温度を上記範囲とすることにより、誘電体層2を構成することとなるセラミック粒子21の粒内におけるMn元素の含有割合(α)と、結晶粒界22におけるMn元素の含有割合(β)と、の比であるMn元素比(β/α)を所望の比率に制御することこができる。   The holding temperature (reoxidation temperature) during the reoxidation treatment is preferably higher than 900 ° C. and lower than 1150 ° C., more preferably 1000 ° C. or higher and 1100 ° C. or lower. In the present embodiment, by setting the holding temperature of the reoxidation treatment in the above range, the content ratio (α) of Mn element in the grains of the ceramic particles 21 constituting the dielectric layer 2 and the grain boundary It is possible to control the Mn element ratio (β / α), which is the ratio of the Mn element content ratio (β) in 22, to a desired ratio.

保持温度が低すぎると、Mn元素比(β/α)が、大きくなりすぎてしまい、本発明の効果が得難くなる。一方、保持温度が高すぎると、内部電極層3の酸化により容量が低下するだけでなく、内部電極層3が誘電体素地と反応してしまい、容量温度特性の悪化、IRの低下、IR寿命の低下が生じやすくなる。   If the holding temperature is too low, the Mn element ratio (β / α) becomes too large, and it becomes difficult to obtain the effects of the present invention. On the other hand, if the holding temperature is too high, not only does the capacity decrease due to oxidation of the internal electrode layer 3, but the internal electrode layer 3 reacts with the dielectric substrate, resulting in deterioration of the capacity-temperature characteristics, IR reduction, IR lifetime. Is likely to occur.

再酸化処理の際の酸素分圧は、好ましくは4.1×10−9〜6.9×10−7MPa、より好ましくは7.6×10−8〜4.2×10−7MPaとする。酸素分圧が低すぎると、再酸化が不十分となる傾向にある。一方、酸素分圧が高すぎると、内部電極層3が酸化してしまう。なお、酸素分圧は、再酸化処理の雰囲気ガスとして、たとえば、加湿したNガス等を用いて調整すれば良い。 The oxygen partial pressure during the re-oxidation treatment is preferably 4.1 × 10 −9 to 6.9 × 10 −7 MPa, more preferably 7.6 × 10 −8 to 4.2 × 10 −7 MPa. To do. If the oxygen partial pressure is too low, reoxidation tends to be insufficient. On the other hand, if the oxygen partial pressure is too high, the internal electrode layer 3 is oxidized. Note that the oxygen partial pressure may be adjusted using, for example, humidified N 2 gas or the like as the re-oxidation atmosphere gas.

また、再酸化処理の際の温度保持時間(再酸化処理時間)は、好ましくは2〜6時間、より好ましくは2〜3時間とする。本実施形態では、比較的に高い温度で再酸化処理を行うため、温度保持時間を比較的短くした場合でも、再酸化処理の効果を充分に得ることができる。温度保持時間を長くし過ぎると、内部電極が酸化してしまう。また、保持時間が長いと、生産性が低下してしまうという問題もある。上記以外の再酸化処理条件としては、冷却速度を好ましくは50〜500℃/時間、より好ましくは100〜300℃/時間とする。   Moreover, the temperature holding time (reoxidation time) during the reoxidation treatment is preferably 2 to 6 hours, more preferably 2 to 3 hours. In this embodiment, since the reoxidation process is performed at a relatively high temperature, the effect of the reoxidation process can be sufficiently obtained even when the temperature holding time is relatively short. If the temperature holding time is too long, the internal electrode is oxidized. In addition, when the holding time is long, there is a problem that productivity is lowered. As re-oxidation treatment conditions other than the above, the cooling rate is preferably 50 to 500 ° C./hour, more preferably 100 to 300 ° C./hour.

上記した脱バインダ処理、焼成および再酸化処理において、Nガスや混合ガス等を加湿するには、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は5〜75℃程度が好ましい。 In the above-described binder removal processing, firing and reoxidation processing, for example, a wetter or the like may be used to wet the N 2 gas, mixed gas, or the like. In this case, the water temperature is preferably about 5 to 75 ° C.

脱バインダ処理、焼成および再酸化処理は、連続して行なっても、独立に行なってもよい。これらを連続して行なう場合、脱バインダ処理後、冷却せずに雰囲気を変更し、続いて焼成の際の保持温度まで昇温して焼成を行ない、次いで冷却し、再酸化処理の保持温度に達したときに雰囲気を変更して再酸化処理を行なうことが好ましい。一方、これらを独立して行なう場合、焼成に際しては、脱バインダ処理時の保持温度までNガスあるいは加湿したNガス雰囲気下で昇温した後、雰囲気を変更してさらに昇温を続けることが好ましく、再酸化処理時の保持温度まで冷却した後は、再びNガスあるいは加湿したNガス雰囲気に変更して冷却を続けることが好ましい。また、再酸化処理に際しては、Nガス雰囲気下で保持温度まで昇温した後、雰囲気を変更してもよく、再酸化処理の全過程を加湿したNガス雰囲気としてもよい。 The binder removal treatment, firing and reoxidation treatment may be performed continuously or independently. When these are performed continuously, after removing the binder, the atmosphere is changed without cooling, and then the temperature is raised to the holding temperature at the time of baking to perform baking, and then cooled to the holding temperature for the reoxidation treatment. When it reaches, it is preferable to perform reoxidation treatment by changing the atmosphere. On the other hand, when performing these independently, at the time of firing, after raising the temperature under N 2 gas atmosphere with N 2 gas or wet to the holding temperature of the binder removal processing, further continuing the heating to change the atmosphere Preferably, after cooling to the holding temperature at the time of re-oxidation, it is preferable to change to N 2 gas or a humidified N 2 gas atmosphere again and continue cooling. In the re-oxidation treatment, the temperature may be changed to a holding temperature in an N 2 gas atmosphere, and then the atmosphere may be changed, or the entire process of the re-oxidation treatment may be a humidified N 2 gas atmosphere.

上記のようにして得られたコンデンサ素子本体に、例えばバレル研磨やサンドブラストなどにより端面研磨を施し、外部電極用ペーストを印刷または転写して焼成し、外部電極4を形成する。外部電極用ペーストの焼成条件は、例えば、加湿したNとHとの混合ガス中で600〜800℃にて10分間〜1時間程度とすることが好ましい。そして、必要に応じ、外部電極4表面に、めっき等により被覆層を形成する。
このようにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。
The capacitor element body obtained as described above is subjected to end surface polishing, for example, by barrel polishing or sand blasting, and the external electrode paste is printed or transferred and baked to form the external electrode 4. The firing conditions of the external electrode paste are preferably, for example, about 10 minutes to 1 hour at 600 to 800 ° C. in a humidified mixed gas of N 2 and H 2 . Then, if necessary, a coating layer is formed on the surface of the external electrode 4 by plating or the like.
The multilayer ceramic capacitor of the present invention thus manufactured is mounted on a printed circuit board by soldering or the like and used for various electronic devices.

本実施形態においては、誘電体層2を形成しているセラミック粒子21の粒内におけるMn元素の含有割合(α)と、結晶粒界22におけるMn元素の含有割合(β)と、の比であるMn元素比(β/α)を、1より大きく、3.1以下とする。そのため、IR寿命を向上させることができるとともに、広い温度範囲(たとえば、−55〜150℃の範囲)において誘電損失を低くすることができる。特に、広い温度範囲において誘電損失を低く抑えることにより、交流電圧下での発熱に起因する誘電体層2の劣化を抑制することができる。   In the present embodiment, the ratio of the content ratio (α) of Mn element in the ceramic particles 21 forming the dielectric layer 2 to the content ratio (β) of Mn element in the crystal grain boundary 22 A certain Mn element ratio (β / α) is set to be larger than 1 and 3.1 or less. Therefore, the IR life can be improved and the dielectric loss can be lowered in a wide temperature range (for example, a range of −55 to 150 ° C.). In particular, by suppressing the dielectric loss low in a wide temperature range, deterioration of the dielectric layer 2 due to heat generation under an AC voltage can be suppressed.

さらに、本実施形態においては、誘電体層2には、主成分および第1〜第4副成分として、上述の各酸化物(複合酸化物)を含有させる。そのため、静電容量の温度依存性を低くすることができ、温度補償用の積層セラミックコンデンサとして好適に用いることができる。   Furthermore, in the present embodiment, the dielectric layer 2 contains the above-described oxides (composite oxides) as the main component and the first to fourth subcomponents. Therefore, the temperature dependence of the capacitance can be reduced, and the capacitance can be suitably used as a multilayer ceramic capacitor for temperature compensation.

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。たとえば、上述した実施形態では、本発明に係る積層セラミック電子部品として積層セラミックコンデンサを例示したが、本発明に係る電子部品としては、積層セラミックコンデンサに限定されず、本発明の所定の構成を有するものであれば何でも良い。   As mentioned above, although embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to the embodiment mentioned above at all, and can be variously modified within the range which does not deviate from the summary of this invention. For example, in the above-described embodiment, the multilayer ceramic capacitor is exemplified as the multilayer ceramic electronic component according to the present invention. However, the electronic component according to the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor and has the predetermined configuration of the present invention. Anything can be used.

以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。   Hereinafter, although this invention is demonstrated based on a more detailed Example, this invention is not limited to these Examples.

実施例1
まず、誘電体材料を作製するための出発原料として、それぞれ平均粒径0.1〜1μmの主成分原料(SrCO、CaCO、TiO、ZrO)および第1〜第4副成分原料を用意した。本実施例では、MnOの原料には炭酸塩(第3副成分:MnCO)を用い、他の原料には酸化物(第1副成分:V、第2副成分:Al、第4副成分:(Ba0.6 Ca0.4 )SiOを用いた。なお、(Ba0.6 Ca0.4 )SiOは、BaCO,CaCOおよびSiOをボールミルにより16時間湿式混合し、乾燥後、1000〜1300℃で空気中で焼成し、さらに、ボールミルにより100時間湿式粉砕することにより製造した。
Example 1
First, as starting materials for producing a dielectric material, main component materials (SrCO 3 , CaCO 3 , TiO 2 , ZrO 2 ) and first to fourth subcomponent materials having an average particle diameter of 0.1 to 1 μm are used. Prepared. In this embodiment, carbonate (third subcomponent: MnCO 3 ) is used as the raw material for MnO, and oxides (first subcomponent: V 2 O 5 , second subcomponent: Al 2 O) are used as the other raw materials. 3 , 4th subcomponent: (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 was used, and (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 was obtained by ball milling BaCO 3 , CaCO 3 and SiO 2 with a ball mill. The mixture was wet-mixed for 16 hours, dried, fired in air at 1000 to 1300 ° C., and further wet-ground by a ball mill for 100 hours.

次に、主成分原料と、第1〜第4副成分原料とを、焼成後の主成分の組成が(Ca0.6 Sr0.4 0.995 ・(Zr0.78 Ti0.22 )O、第1〜第4副成分が以下の配合比となるように秤量して混合し、乾燥することにより、仮焼前粉体を準備した。
(第1副成分):0.1モル
Al(第2副成分):0.4モル
MnCO(第3副成分):1モル
(Ba0.6 Ca0.4 )SiO(第4副成分):2モル
なお、上記各副成分の配合比は、主成分100モルに対する配合比であり、第1副成分および第2副成分は各酸化物換算の配合比、第3副成分はMn元素換算の配合比、第4副成分は複合酸化物換算の配合比である。
Next, the main component material and the first to fourth subcomponent materials have a composition of the main component after firing of (Ca 0.6 Sr 0.4 ) 0.995 · (Zr 0.78 Ti 0.22 ) O 3 , first to fourth subcomponents were weighed and mixed so as to have the following blending ratio, and dried to prepare a pre-calcination powder.
V 2 O 5 (first subcomponent): 0.1 mol Al 2 O 3 (second subcomponent): 0.4 mol MnCO 3 (third subcomponent): 1 mol (Ba 0.6 Ca 0.4 ) SiO 3 (fourth subcomponent): 2 moles Note that the blending ratio of each of the above subcomponents is a blending ratio with respect to 100 moles of the main component, and the first subcomponent and the second subcomponent are blending ratios of each oxide The third subcomponent is a compounding ratio in terms of Mn element, and the fourth subcomponent is a compounding ratio in terms of complex oxide.

次に、この仮焼前粉体を仮焼した。仮焼き条件は、昇温速度:300℃/時間、保持温度:1000〜1300℃、温度保持時間:2時間、雰囲気:空気中とした。次に、仮焼によって得られた材料をアルミナロールで粉砕して、仮焼き済粉体(誘電体磁器組成物原料)を得た。   Next, this pre-calcined powder was calcined. The calcining conditions were temperature rising rate: 300 ° C./hour, holding temperature: 1000 to 1300 ° C., temperature holding time: 2 hours, and atmosphere: in the air. Next, the material obtained by calcining was pulverized with an alumina roll to obtain calcined powder (dielectric ceramic composition raw material).

このようにして得られた誘電体磁器組成物原料に、アクリル樹脂、酢酸エチル、ミネラルスピリットおよびアセトンを、ボールミルで混合してペースト化し、誘電体層用ペーストを得た。   The dielectric ceramic composition raw material thus obtained was mixed with an acrylic resin, ethyl acetate, mineral spirit and acetone with a ball mill to obtain a paste for a dielectric layer.

内部電極層用ペーストは、平均粒径0.1〜0.8μmのNi粒子と、有機ビヒクルと、ブチルカルビトールとを3本ロールにより混練してペースト化することにより製造した。   The internal electrode layer paste was manufactured by kneading Ni particles having an average particle size of 0.1 to 0.8 μm, an organic vehicle, and butyl carbitol with three rolls to form a paste.

外部電極用ペーストは、平均粒径0.5μmのCu粒子と、有機ビヒクルと、ブチルカルビトールとを混練してペースト化することにより製造した。   The external electrode paste was produced by kneading Cu particles having an average particle diameter of 0.5 μm, an organic vehicle, and butyl carbitol into a paste.

次いで、上記誘電体層用ペーストを用いてPETフィルム上に、グリーンシートを形成し、この上に内部電極層用ペーストを印刷したのち、PETフィルムからグリーンシートを剥離した。そして、これらのグリーンシートと保護用グリーンシート(内部電極層用ペーストを印刷しないもの)とを積層、圧着してグリーンチップを得た。内部電極を有するシートの積層数は10層とした。   Next, a green sheet was formed on the PET film using the dielectric layer paste, the internal electrode layer paste was printed thereon, and then the green sheet was peeled from the PET film. Then, these green sheets and protective green sheets (not printed with the internal electrode layer paste) were laminated and pressure-bonded to obtain green chips. The number of sheets having internal electrodes was 10 layers.

次いで、グリーンチップを所定サイズに切断し、脱バインダ処理および焼成を行い、焼結体を得た。
脱バインダ処理は、昇温時間15℃/時間、保持温度280℃、保持時間8時間、空気雰囲気の条件で行った。
焼成は、昇温速度200℃/時間、保持温度:1250〜1350℃、保持時間2〜3時間、冷却速度300℃/時間、加湿したN+H混合ガス雰囲気(酸素分圧は2×10−13〜5×10−10MPa内に調節)の条件で行った。なお、焼成の際の雰囲気ガスの加湿には、ウェッターを用いた。
Next, the green chip was cut into a predetermined size, subjected to binder removal processing and firing, to obtain a sintered body.
The binder removal treatment was performed under conditions of a temperature rising time of 15 ° C./hour, a holding temperature of 280 ° C., a holding time of 8 hours, and an air atmosphere.
Firing is performed at a heating rate of 200 ° C./hour, a holding temperature of 1250 to 1350 ° C., a holding time of 2 to 3 hours, a cooling rate of 300 ° C./hour, and a humidified N 2 + H 2 mixed gas atmosphere (oxygen partial pressure is 2 × 10 −13 to 5 × 10 −10 MPa). Note that a wetter was used for humidifying the atmospheric gas during firing.

次いで、上記にて得られた焼結体について、再酸化処理(アニール)を行った。本実施例では、再酸化処理を表1に示す各条件で行い、試料番号1〜9の各試料を得た。試料1,3,4,5,7および9においては、水温を35℃としたウェッターにより加湿したNガス雰囲気中で再酸化処理を行った。また、試料8は、再酸化処理を行わなかった試料である。 Next, the sintered body obtained above was subjected to reoxidation treatment (annealing). In this example, reoxidation treatment was performed under the conditions shown in Table 1, and samples Nos. 1 to 9 were obtained. Samples 1, 3, 4, 5, 7 and 9 were reoxidized in an N 2 gas atmosphere humidified by a wetter with a water temperature of 35 ° C. Sample 8 is a sample that was not subjected to reoxidation treatment.

次いで、得られた焼結体の端面をサンドブラストにて研磨したのち、外部電極用ペーストを端面に転写し、加湿したN+H雰囲気中において、800℃にて10分間焼成して外部電極を形成し、図1に示す構成の積層セラミックコンデンサの試料を得た。このようにして得られた各試料のサイズは、3.2mm×1.6mm×0.6mmであり、内部電極層に挟まれた誘電体層の数は10、その厚さは6μmであり、内部電極層の厚さは1.5μmであった。各試料について下記特性の評価を行った。 Next, after polishing the end face of the obtained sintered body by sand blasting, the external electrode paste is transferred to the end face and baked at 800 ° C. for 10 minutes in a humidified N 2 + H 2 atmosphere. A multilayer ceramic capacitor sample having the structure shown in FIG. 1 was obtained. The size of each sample thus obtained is 3.2 mm × 1.6 mm × 0.6 mm, the number of dielectric layers sandwiched between internal electrode layers is 10, and the thickness is 6 μm. The thickness of the internal electrode layer was 1.5 μm. The following characteristics were evaluated for each sample.

Mn元素比(β/α)
各コンデンサ試料の誘電体層を形成しているセラミック粒子の粒内におけるMn元素の含有割合(α)と、結晶粒界におけるMn元素の含有割合(β)と、の比であるMn元素比(β/α)を、以下の方法により測定した。
まず、コンデンサ試料を、誘電体層2と垂直な方向で切断した。そして、この切断面について、透過型電子顕微鏡(TEM)により、図3(誘電体層のTEM像)に示す各測定点におけるMn元素の含有割合を測定した。なお、図3に示す各測定点は、合計10点であり、セラミック粒子の略中心を通る直線上に等間隔に並ぶ点である。この各測定点において、両端の測定点(測定点1および10)では、結晶粒界におけるMn元素の含有割合を測定することができ、その他の測定点(測定点2〜9)では、セラミック粒子内のMn元素の含有割合を測定することができる。図3中、測定点2〜9は、測定点1側から、測定点2、測定点3、・・・、測定点9の順となっている。
Mn element ratio (β / α)
The Mn element ratio (ratio of the Mn element content ratio (α) in the grains of the ceramic particles forming the dielectric layer of each capacitor sample and the Mn element content ratio (β) in the crystal grain boundary ( β / α) was measured by the following method.
First, the capacitor sample was cut in a direction perpendicular to the dielectric layer 2. And about this cut surface, the content rate of the Mn element in each measurement point shown in FIG. 3 (TEM image of a dielectric material layer) was measured with the transmission electron microscope (TEM). In addition, each measurement point shown in FIG. 3 is a total of 10 points, and is a point arranged in a line at equal intervals on the straight line passing through the approximate center of the ceramic particles. At each measurement point, the Mn element content in the crystal grain boundary can be measured at the measurement points at both ends (measurement points 1 and 10), and at other measurement points (measurement points 2 to 9), ceramic particles can be measured. The content ratio of the Mn element can be measured. In FIG. 3, measurement points 2 to 9 are in the order of measurement point 2, measurement point 3,..., Measurement point 9 from the measurement point 1 side.

そして、測定点2〜9にて測定したMn元素の含有割合の平均値を算出することにより、粒内におけるMn元素の含有割合(α)を計算した。さらに、測定点1および10において測定したMn元素の含有割合の平均値を算出することにより、結晶粒界におけるMn元素の含有割合(β)を計算した。最後に、結晶粒界におけるMn元素の含有割合(β)を、粒内におけるMn元素の含有割合(α)で除すことにより、Mn元素比(β/α)を求めた。結果を表1に示す。また、図4に試料1,4,6,8の測定点1〜10におけるMnO(Mn元素換算)の含有量をグラフ化して示す。なお、本実施例においては、Mn元素の含有割合(α)、(β)は、誘電体層を構成する全ての元素に含有量100重量%に対する重量比(単位は、重量%)とした。   And the content rate ((alpha)) of the Mn element in a grain was computed by calculating the average value of the content rate of the Mn element measured at the measurement points 2-9. Furthermore, the content ratio (β) of the Mn element at the crystal grain boundary was calculated by calculating the average value of the content ratio of the Mn element measured at the measurement points 1 and 10. Finally, the Mn element ratio (β / α) was determined by dividing the content ratio (β) of the Mn element in the crystal grain boundary by the content ratio (α) of the Mn element in the grain. The results are shown in Table 1. FIG. 4 is a graph showing the content of MnO (in terms of Mn element) at the measurement points 1 to 10 of samples 1, 4, 6, and 8. In this example, the content ratios (α) and (β) of the Mn element were set to a weight ratio (unit:% by weight) with respect to the content of 100% by weight for all elements constituting the dielectric layer.

IR寿命
各コンデンサ試料に対し、200℃で100V/μmの直流電圧の印加状態に保持することにより、IR寿命を測定した。このIR寿命は、10個のコンデンサ試料について行い、平均寿命時間を測定することにより評価した。本実施例では、印加開始から抵抗が一桁落ちるまでの時間を寿命と定義した。結果を表1に示す。
IR life For each capacitor sample, the IR life was measured by maintaining a DC voltage of 100 V / μm at 200 ° C. This IR life was evaluated by measuring 10 life samples and measuring the average life time. In this example, the time from the start of application until the resistance drops by an order of magnitude was defined as the lifetime. The results are shown in Table 1.

誘電損失(tanδ)
各コンデンサ試料に対し、測定温度−55℃〜+155℃の範囲で、デジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数1kHz,入力信号レベル(測定電圧)1Vrmsの条件下で、誘電損失(tanδ、単位は%)を測定した。結果を図5および表1に示す。なお、表1には、25℃および155℃における測定結果を示した。
Dielectric loss (tan δ)
For each capacitor sample, dielectric loss (tan δ) under the conditions of a measurement temperature of −55 ° C. to + 155 ° C. with a digital LCR meter (YHP 4274A) at a frequency of 1 kHz and an input signal level (measurement voltage) of 1 Vrms. The unit is%). The results are shown in FIG. Table 1 shows the measurement results at 25 ° C. and 155 ° C.

比誘電率(ε)
各コンデンサ試料に対し、基準温度25℃でデジタルLCRメータ(YHP社製4274A)にて、周波数1kHz,入力信号レベル(測定電圧)1Vrmsの条件下で、静電容量を測定した。そして、得られた静電容量と、コンデンサ試料の電極寸法および電極間距離とから、比誘電率(ε、単位はなし)を算出した。その結果、いずれの試料も56以上と良好な結果が得られた。
Dielectric constant (ε)
The capacitance of each capacitor sample was measured with a digital LCR meter (4274A manufactured by YHP) at a reference temperature of 25 ° C. under conditions of a frequency of 1 kHz and an input signal level (measurement voltage) of 1 Vrms. Then, the relative dielectric constant (ε, no unit) was calculated from the obtained capacitance, the electrode dimensions of the capacitor sample, and the distance between the electrodes. As a result, good results were obtained for all samples of 56 or more.

静電容量の温度特性
各コンデンサ試料に対し、LCRメータを用いて、1kHz、1Vの電圧での静電容量を測定し、基準温度を20℃としたとき、20〜85℃の温度範囲内で、温度に対する静電容量変化率が−3000〜0ppm/℃を満足するかどうかを調べた。その結果、いずれの試料も満足していることが確認された。
Temperature characteristics of capacitance For each capacitor sample, the capacitance at 1 kHz and 1 V was measured using an LCR meter, and the reference temperature was 20 ° C. Whether the capacitance change rate with respect to temperature satisfies −3000 to 0 ppm / ° C. was examined. As a result, it was confirmed that all samples were satisfied.

表1に、試料1〜9の再酸化処理条件、Mn元素比(β/α)、IR寿命および誘電損失の測定結果を示す。
表1より、再酸化処理の温度を900℃より高く、1150℃未満とした実施例の試料1〜4においては、Mn元素比(β/α)が、本発明の範囲内となっていた。これら試料1〜4は、いずれもIR寿命が50時間以上と優れた結果となり、また、図5および表1から明らかなように、広い温度範囲において誘電損失が低くなる結果となった。なお、試料1と試料4とを比較することにより、再酸化処理の温度を900℃より高く、1150℃未満の範囲とした場合には、再酸化処理時間を長くすることにより、Mn元素比(β/α)がより低くなる傾向にあることが確認できる。
Table 1 shows the measurement results of the reoxidation treatment conditions, Mn element ratio (β / α), IR lifetime, and dielectric loss of Samples 1-9.
From Table 1, in Samples 1 to 4 of Examples where the reoxidation temperature was higher than 900 ° C. and lower than 1150 ° C., the Mn element ratio (β / α) was within the scope of the present invention. All of these samples 1 to 4 had excellent IR lifetimes of 50 hours or more, and as shown in FIG. 5 and Table 1, the dielectric loss was low over a wide temperature range. In addition, when the temperature of the reoxidation treatment is set to a range higher than 900 ° C. and lower than 1150 ° C. by comparing the sample 1 and the sample 4, the Mn element ratio ( It can be confirmed that β / α) tends to be lower.

これに対して、再酸化処理の温度を本発明の好ましい範囲よりも低い温度とした比較例の試料5〜7、および再酸化処理を行わなかった比較例の試料8では、Mn元素比(β/α)が、いずれも3.2以上と高くなり、いずれもIR寿命に劣る結果となった。さらに、図5より、試料6〜8は、誘電損失が高くなっていることが確認できる。なお、試料5は、誘電損失は良好な結果であったが、IR寿命に劣るため、信頼性という観点より劣る結果となった。   On the other hand, in the samples 5 to 7 of the comparative examples in which the temperature of the reoxidation treatment was lower than the preferable range of the present invention and the sample 8 of the comparative example in which the reoxidation treatment was not performed, the Mn element ratio (β / Α) increased to 3.2 or more in all cases, and all resulted in inferior IR life. Furthermore, it can be confirmed from FIG. 5 that samples 6 to 8 have a high dielectric loss. Sample 5 had a good dielectric loss, but was inferior in terms of reliability because of its poor IR life.

また、再酸化処理を1200℃と高くした比較例の試料9においては、内部電極の途切れや球状化が顕著に発生し、コンデンサとして殆ど機能しなかった。   Further, in the sample 9 of the comparative example in which the reoxidation treatment was increased to 1200 ° C., the internal electrode was significantly interrupted or spheroidized and hardly functioned as a capacitor.

これらの結果より、Mn元素比(β/α)を、1より大きく、3.1以下とすることにより、誘電率や静電容量の温度特性を維持しつつ、IR寿命に優れ、かつ、−55〜+155℃という広い温度範囲において誘電損失を低く抑えることができることが確認できた。なお、必ずしも明らかではないが、本実施例の試料1〜4においては、添加したMn元素のうちの一部が、電極途切れ部に偏在していると考えられる。また、比較例の試料5〜8の結果より、再酸化処理の温度が低い場合および再酸化処理を行わない場合には、Mn元素比(β/α)が本発明の範囲外となる傾向にあった。   From these results, by making the Mn element ratio (β / α) larger than 1 and 3.1 or less, the IR characteristics are excellent while maintaining the temperature characteristics of the dielectric constant and the capacitance, and − It was confirmed that the dielectric loss can be kept low in a wide temperature range of 55 to + 155 ° C. In addition, although not necessarily clear, in the samples 1-4 of a present Example, it is thought that some of the added Mn elements are unevenly distributed in the electrode interruption part. Further, from the results of Comparative Samples 5 to 8, when the temperature of the reoxidation treatment is low and when the reoxidation treatment is not performed, the Mn element ratio (β / α) tends to be out of the scope of the present invention. there were.

実施例2
実施例2においては、第3副成分であるMnCOの添加量を、表2に示すように変化させた以外は、上述の実施例1における試料1と同様の方法により、積層セラミックコンデンサの試料を製造し、Mnの酸化物の添加による影響を評価した。実施例2では、実施例1と同様にして、Mn元素比(β/α)、IR寿命、およびIR不良率の評価を行った。結果を表2に示す。この実施例2においては、再酸化処理を、処理温度1100℃、ウェッター温度35℃、酸素分圧4.2×10−7MPaの条件で行った。
Example 2
In Example 2, a sample of the multilayer ceramic capacitor was obtained by the same method as Sample 1 in Example 1 except that the amount of addition of MnCO 3 as the third subcomponent was changed as shown in Table 2. And the influence of the addition of Mn oxide was evaluated. In Example 2, the Mn element ratio (β / α), IR lifetime, and IR defect rate were evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2. In Example 2, the reoxidation treatment was performed under the conditions of a treatment temperature of 1100 ° C., a wetter temperature of 35 ° C., and an oxygen partial pressure of 4.2 × 10 −7 MPa.

表2より、試料1,10〜14においては、Mnの添加量が増加するとIR寿命が悪化する傾向にあることが確認できる。これらの中でも、実施例の試料1,11〜13は、IR寿命に優れ、いずれも良好な結果となった。   From Table 2, it can be confirmed that in samples 1, 10 to 14, the IR lifetime tends to deteriorate as the amount of Mn added increases. Among these, the samples 1 and 11 to 13 of the examples were excellent in IR life and all had good results.

一方、Mnを添加しなかった比較例の試料10は、IR不良が発生してしまい、IR寿命の測定を行うことができなかった。また、比較例の試料10には、Mnを添加しなかったため、Mn元素比(β/α)についても、測定することができなかった。また、Mnの添加量を5モルとした比較例の試料14は、Mn元素比(β/α)が3.5と大きくなってしまい、IR寿命に劣る結果となった。   On the other hand, in the sample 10 of the comparative example in which Mn was not added, IR failure occurred, and the IR life could not be measured. Moreover, since Mn was not added to the sample 10 of the comparative example, the Mn element ratio (β / α) could not be measured. In addition, the sample 14 of the comparative example in which the addition amount of Mn was 5 mol had a Mn element ratio (β / α) as large as 3.5, resulting in inferior IR life.

図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 図2は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの誘電体層の拡大断面図である。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a dielectric layer of the multilayer ceramic capacitor according to one embodiment of the present invention. 図3は本発明におけるMn元素比(β/α)の測定方法を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining a method for measuring the Mn element ratio (β / α) in the present invention. 図4は本発明の実施例に係る積層セラミックコンデンサの粒内および粒界におけるMn含有量の関係を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the relationship of the Mn content in the grains and at the grain boundaries of the multilayer ceramic capacitor according to the example of the present invention. 図5は本発明の実施例に係る積層セラミックコンデンサの測定温度と誘電損失との関係を示すグラフである。FIG. 5 is a graph showing the relationship between the measured temperature and the dielectric loss of the multilayer ceramic capacitor according to the example of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

1… 積層セラミックコンデンサ
10… コンデンサ素子本体
2… 誘電体層
21… セラミック粒子
22… 結晶粒界
3… 内部電極層
4… 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer ceramic capacitor 10 ... Capacitor element main body 2 ... Dielectric layer 21 ... Ceramic particle 22 ... Crystal grain boundary 3 ... Internal electrode layer 4 ... External electrode

Claims (3)

誘電体層を有する電子部品であって、
前記誘電体層が、誘電体磁器組成物からなり、
前記誘電体磁器組成物は、組成式{(Ca1−x Me)O}・(Zr1−y Ti)Oで示され、前記組成式中の元素名を示す記号Meが、Sr、MgおよびBaの少なくとも一つであり、組成モル比を示す記号m、xおよびyが、0.8≦m≦1.3、0≦x≦1.00、0≦y≦0.8の関係にある誘電体酸化物を含む主成分と、
Vの酸化物を含む第1副成分と、
Alの酸化物を含む第2副成分と、
Mnの酸化物を含む第3副成分と、を含有し、
前記成分の前記主成分100モルに対する比率が、
第1副成分:0モル<第1副成分<7モル(ただし、V に換算した値)、
第2副成分:0モル<第2副成分<15モル(ただし、Al に換算した値)、
第3副成分:0モル<第3副成分<5モル(ただし、Mnの酸化物中のMn元素換算)であり、
前記誘電体磁器組成物は、複数のセラミック粒子と、隣り合う前記セラミック粒子間に存在する結晶粒界と、を有しており、
前記誘電体層を構成する全ての元素に対する前記セラミック粒子内におけるMn元素の含有割合(α)と、前記誘電体層を構成する全ての元素に対する前記結晶粒界におけるMn元素の含有割合(β)と、の比であるMn元素比(β/α)が、1より大きく、3.1以下であることを特徴とする電子部品。
An electronic component having a dielectric layer,
The dielectric layer is made of a dielectric ceramic composition,
The dielectric ceramic composition is represented by a composition formula {(Ca 1−x Me x ) O} m · (Zr 1−y Ti y ) O 2 , and a symbol Me indicating an element name in the composition formula is: The symbols m, x, and y, which are at least one of Sr, Mg, and Ba and indicate the composition molar ratio, are 0.8 ≦ m ≦ 1.3, 0 ≦ x ≦ 1.00, and 0 ≦ y ≦ 0.8. A main component containing a dielectric oxide in the relationship of
A first subcomponent comprising an oxide of V;
A second subcomponent comprising an oxide of Al;
A third subcomponent containing an oxide of Mn,
The ratio of each component to 100 moles of the main component is
First subcomponent: 0 mole <first subcomponent <7 moles (note that the value in terms of V 2 O 5),
Second subcomponent: 0 mol <second subcomponent <15 mol (however, converted to Al 2 O 3 ),
Third subcomponent: 0 mol <third subcomponent <5 mol (however, in terms of Mn element in the oxide of Mn) ,
The dielectric ceramic composition has a plurality of ceramic particles and a grain boundary existing between the adjacent ceramic particles,
Content ratio (α) of Mn element in the ceramic particles with respect to all elements constituting the dielectric layer, and content ratio (β) of Mn element in the crystal grain boundary with respect to all elements constituting the dielectric layer And an Mn element ratio (β / α) that is greater than 1 and less than or equal to 3.1.
前記誘電体磁器組成物が、
SiOを主成分とし、MO(ただし、Mは、Ba、Ca、SrおよびMgから選ばれる少なくとも1種の元素)、LiOおよびBから選ばれる少なくとも1種を含む第4副成分をさらに含有し、
前記主成分100モルに対する前記第4副成分の比率が、酸化物換算で、0モル<第4副成分<20モルである請求項に記載の電子部品。
The dielectric ceramic composition is
The SiO 2 as a main component, MO (provided that, M is at least one element selected from Ba, Ca, Sr and Mg), fourth sub comprises at least one selected from Li 2 O and B 2 O 3 Further containing ingredients,
2. The electronic component according to claim 1 , wherein a ratio of the fourth subcomponent to 100 mol of the main component is 0 mol <fourth subcomponent <20 mol in terms of oxide.
前記第4副成分は、組成式{(Ba,Ca1−z )O}SiOで示され、前記組成式中の組成モル比を示す記号zおよびvが、0≦z≦1および0.5≦v≦4.0の関係にある複合酸化物を含む請求項に記載の電子部品。 The fourth subcomponent is represented by a composition formula {(Ba z , Ca 1−z ) O} v SiO 2 , and symbols z and v indicating a composition molar ratio in the composition formula are 0 ≦ z ≦ 1 and The electronic component according to claim 2 , comprising a composite oxide having a relationship of 0.5 ≦ v ≦ 4.0.
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