JP4743141B2 - Mounting head for component mounting equipment - Google Patents
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Description
本発明は、供給された部品を吸着して所定位置に位置決めされた基板に搭載する部品実装装置の搭載ヘッドに関するものである。 The present invention relates to a mounting head of a component mounting apparatus that sucks supplied components and mounts them on a substrate positioned at a predetermined position.
部品実装装置は、パーツフィーダから供給された部品を搭載ヘッドによってピックアップして所定位置に位置決めされた基板に搭載する。搭載ヘッドは基板に対して相対移動する移動ステージに設けられたベース部、ベース部に取り付けられた複数のシャフト保持筒、各シャフト保持筒内を上下方向に貫通して延び、下端に部品の吸着部を備えるとともに付勢ばねによってシャフト保持筒に対する上動方向に付勢された複数のノズルシャフトを備える。シャフト保持筒の上方にはシャフト保持筒に対して昇降自在な昇降部が設けられ、昇降部には下端を各ノズルシャフトの上端と対向させたピストンロッドを備える複数の空圧シリンダが設けられている。 The component mounting apparatus picks up a component supplied from a parts feeder by a mounting head and mounts it on a substrate positioned at a predetermined position. The mounting head has a base part provided on a moving stage that moves relative to the substrate, a plurality of shaft holding cylinders attached to the base part, extends vertically through each shaft holding cylinder, and sucks components at the lower end. And a plurality of nozzle shafts biased in the upward movement direction relative to the shaft holding cylinder by the biasing spring. Above the shaft holding cylinder is provided an elevating part that can be moved up and down with respect to the shaft holding cylinder, and the elevating part is provided with a plurality of pneumatic cylinders having piston rods whose lower ends are opposed to the upper ends of the nozzle shafts. Yes.
パーツフィーダから供給された部品をピックアップしたり、ピックアップした部品を基板上へ搭載したりするときなど、特定のノズルシャフトを下動させたいときには、その特定のノズルシャフトに対応する空圧シリンダに圧空を供給し、そのピストンロッドを下方に突出させた状態で昇降部を下降させる。これにより圧空が供給された空圧シリンダのピストンロッドは対向するノズルシャフトを付勢ばねの付勢力に抗して下方に押し下げるので、下動対象となっている特定のノズルシャフトが下動する。一方、下動対象となっていないノズルシャフトについては、対応する空圧シリンダに圧空は供給されないので、そのピストンロッドは昇降部の下降によってノズルシャフトを押し下げることはできず、反対にノズルシャフトによって相対的に押し上げられて昇降部内に押し込まれることになる(特許文献1)。
ところで、このような搭載ヘッドにおいて部品の実装効率を高めるには、一度にピックアップできる部品数を増やすことが有効であり、そのためにはノズルシャフトの径を小さくし、ノズルシャフト同士の間隔を小さくして(ノズルシャフトを狭ピッチ化して)ノズルシャフトの本数を増大させることが考えられる。或いは、ノズルシャフトの本数をそのままにしてノズルシャフトを狭ピッチ化することにより、搭載ヘッドそのものをコンパクト化することもできる。しかしながら、上記従来の搭載ヘッドにおいて、ノズルシャフトを狭ピッチ化しようとして単純にノズルシャフトの径を小さくすると、空圧シリンダの径も小さくさせる必要があることから発生推力(ピストンロッドを下方に押し下げる力)が大きく低下し、昇降部を下降させたときに空圧シリンダの発生推力が付勢ばねの付勢力に打ち勝つことができずにピストンロッドが昇降部内に押し込まれてしまい、ノズルシャフトを下動させることができなくなるという問題が生じる。 By the way, in order to increase the mounting efficiency of components in such a mounting head, it is effective to increase the number of components that can be picked up at one time. For this purpose, the diameter of the nozzle shaft is reduced and the interval between the nozzle shafts is reduced. It is conceivable to increase the number of nozzle shafts (by narrowing the nozzle shaft pitch). Alternatively, the mounting head itself can be made compact by narrowing the pitch of the nozzle shaft while keeping the number of nozzle shafts as it is. However, in the conventional mounting head, if the nozzle shaft diameter is simply reduced in order to narrow the nozzle shaft pitch, it is necessary to reduce the diameter of the pneumatic cylinder. ) Is greatly reduced, and when the lifting part is lowered, the thrust generated by the pneumatic cylinder cannot overcome the biasing force of the biasing spring, and the piston rod is pushed into the lifting part, causing the nozzle shaft to move downward. The problem that it becomes impossible to make it arise.
そこで本発明は、ノズルシャフトの径を小さくして狭ピッチ化することができ、実装効率の向上や搭載ヘッドのコンパクト化を図ることができる部品実装装置の搭載ヘッドを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a mounting head for a component mounting apparatus that can reduce the diameter of the nozzle shaft to reduce the pitch, improve the mounting efficiency, and make the mounting head compact. .
請求項1に記載の部品実装装置の搭載ヘッドは、供給された部品を吸着して所定位置に位置決めされた基板に搭載する部品実装装置の搭載ヘッドであって、基板に対して相対移動する移動ステージに設けられたベース部と、ベース部に取り付けられた複数のシャフト保持筒と、各シャフト保持筒内を上下方向に貫通して延び、下端に部品の吸着部を備えるとともに付勢ばねによってシャフト保持筒に対する上動方向に付勢された複数のノズルシャフトと、シャフト保持筒の上方をシャフト保持筒に対して昇降自在に設けられた昇降部と、昇降部に上下方向に移動自在に設けられ、下端を各ノズルシャフトの上端と対向させた複数のロッド部材と、各ロッド部材に対応して設けられ、各ロッド部材の昇降部への機
械的な結合及びその解除を行う複数のロッド結合装置と、下動対象となっている特定のノズルシャフトに対応するロッド部材が前記ロッド結合装置によって昇降部に結合されている状態で昇降部を下動させ、昇降部に結合されたロッド部材により前記特定のノズルシャフトを付勢ばねの付勢力に抗して押し下げる昇降部駆動手段とを備え、前記ロッド結合装置は、昇降部内をロッド部材に対して直交する方向に移動自在な結合部材を有し、この結合部材をロッド部材の中間部に形成された小径部に係脱させることによってロッド部材の昇降部への機械的な結合及びその解除を行う。
The mounting head of the component mounting apparatus according to
本発明では、下動対象となっているノズルシャフトを付勢ばねの付勢力に抗して押し下げるロッド部材が、ロッド結合装置によって昇降部に機械的に結合されるようになっているので、従来のようにノズルシャフトの径を小さくしたために空圧シリンダの発生推力が低下してノズルシャフトの下動ができなくなるといった不都合が生じない。このため本発明によればノズルシャフトの径の大幅な縮小化が可能であり、ノズルシャフトを狭ピッチ化してノズルシャフトの本数の増大による実装効率の向上や搭載ヘッドのコンパクト化を図ることができる。 In the present invention, the rod member that pushes down the nozzle shaft to be moved downward against the urging force of the urging spring is mechanically coupled to the elevating part by the rod coupling device. Since the nozzle shaft diameter is reduced as described above, there is no inconvenience that the generated thrust of the pneumatic cylinder is reduced and the nozzle shaft cannot be moved downward. Therefore, according to the present invention, the diameter of the nozzle shaft can be greatly reduced, and the mounting efficiency can be improved and the mounting head can be made compact by increasing the number of nozzle shafts by narrowing the nozzle shaft. .
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の一実施の形態における部品実装装置の斜視図、図2は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドの側面図、図3は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドの正面図、図4は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドの側面図、図5(a)は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドが備えるロッド結合装置の一部断面側面図、図5(b)は同ロッド結合装置の一部断面平面図、図6は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドが備えるロッド結合装置の結合ピストンをロッド部材とともに示す斜視図、図7(a)は本発明の一実施の形態における搭載ヘッドが備えるロッド結合装置の一部断面側面図、図7(b)は同ロッド結合装置の一部断面平面図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a perspective view of a component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of a mounting head according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a front view of the mounting head according to an embodiment of the present invention. 4 is a side view of the mounting head according to the embodiment of the present invention. FIG. 5A is a partial sectional side view of the rod coupling device provided in the mounting head according to the embodiment of the present invention. b) is a partial cross-sectional plan view of the rod coupling device, FIG. 6 is a perspective view showing a coupling piston of the rod coupling device included in the mounting head according to one embodiment of the present invention together with a rod member, and FIG. FIG. 7B is a partial cross-sectional side view of the rod coupling device provided in the mounting head in one embodiment of the invention, and FIG. 7B is a partial cross-sectional plan view of the rod coupling device.
図1において、部品実装装置1は基台2上に一の水平方向(X軸方向)に延びた基板搬送路3を有しており、基板搬送路3の上方にはY軸テーブル4が基板搬送路3と直交する水平方向(Y軸方向)に延びている。Y軸テーブル4にはX軸方向に延びた2つのX軸テーブル5それぞれの一端側が支持されており、各X軸テーブル5は片持ち状態でY軸テーブル4に沿ってY軸方向に移動自在になっている。各X軸テーブル5にはX軸テーブル5に沿ってX軸方向に移動自在な移動ステージ6が設けられており、各移動ステージ6には複数の吸着部(ノズル部)7を備えた搭載ヘッド8が取り付けられている。また、基台2の基板搬送路3の両側にはY軸方向に延びたパーツフィーダ9がX軸方向に複数並んで取り付けられている。
In FIG. 1, the
基板搬送路3は基板10を所定の位置に位置決めし、各パーツフィーダ9は部品(電子部品)を所定のピックアップ位置に供給する。移動ステージ6は、X軸テーブル5のY軸方向への移動と移動ステージ6自身のX軸方向への移動とによって基板搬送路3に位置決めされた基板10に対して相対移動し、搭載ヘッド8が備える吸着部7によってパーツフ
ィーダ9が供給する部品をピックアップして基板10上に搭載する。
The
図2及び図3において、搭載ヘッド8は、移動ステージ6に設けられて上下方向に延びた平板部材21及びこの平板部材21の下部に取り付けられたノズル保持部材22から成るベース部23を有しており、ベース部23のノズル保持部材22には複数のシャフト保持筒24が上下方向に延びた状態で取り付けられている。
2 and 3, the
図3において、各シャフト保持筒24はノズル保持部材22の内部に設けられた複数のベアリング25によって上下軸回りに回動自在に支持されている。各ノズル保持部材22の上端部には外周歯を有したギヤ26が設けられており、各ギヤ26はノズル保持部材22の上方を水平方向に延びて設けられたラック27と噛合している。各シャフト保持筒24のギヤ26の上方部分には捻りばね29が挿通されており、その一端はシャフト保持筒24に、他端はノズル保持部材22に取り付けられたばね係止部28にそれぞれ係止されているので、ギヤ26の歯は常時ラック27の歯に押し付けられた状態となっている。
In FIG. 3, each
各シャフト保持筒24には下端に前述の部品の吸着部7を備えたノズルシャフト31が上下方向に貫通して設けられている。各ノズルシャフト31はシャフト保持筒24に対して上下方向に移動自在かつ上下軸回りの回転が拘束された状態で設けられており、上端にはノズルシャフト31の径よりも大径のエンド部材32が設けられている。ノズルシャフト31にはエンド部材32とシャフト保持筒24のギヤ26との間に縮設されたシャフト付勢ばね33が挿通されており、ノズルシャフト31はこのシャフト付勢ばね33によってシャフト保持筒24に対する上動方向に常時付勢された状態となっている。したがって各ノズルシャフト31は上方から押圧力が加わっていない通常時には、吸着部7の上面7aをシャフト保持筒24の下面24aに下方から当接させた所定の上動位置(図2及び図3に示すノズルシャフト31の位置。以下、ノーマル位置と称する)に位置する。
Each
平板部材21の前面側(ノズル保持部材22が設けられている側)のシャフト保持筒24の上方位置にはガイドレール34が上下方向に延びて設けられており、このガイドレール34には平板部材21と平行に配置された昇降板35が後面のスライド部36を介してスライド自在に設けられている。平板部材21の前面上部にはモータ保持部37を介して昇降モータ38が固定されており、昇降板35の後面側には昇降モータ38によって回転駆動される送り螺子39が下方に延設されている。この送り螺子39は昇降板35の後面に設けられたナット部40に螺合しており、昇降モータ38を駆動して送り螺子39を回転させると、昇降板35はガイドレール34に沿って上下方向に移動する。
A
昇降ブロック41の内部には、下端を各ノズルシャフト31の上端と対向させた複数のロッド部材42が昇降ブロック41に対して上下方向に移動自在に設けられている。各ロッド部材42は昇降ブロック41に内蔵されたシリンダ43のピストンロッドであり、シリンダ43内に設けられたロッド部材付勢ばね44によって常時下方に付勢された状態となっている。
A plurality of rod members 42 whose lower ends are opposed to the upper ends of the nozzle shafts 31 are provided inside the elevating
昇降板35の前面下部にはシャフト保持筒24と昇降ブロック41との間を水平方向に延びた平板状のロッドストッパ45が設けられており、ロッドストッパ45の各ノズルシャフト31に対応する位置には上下方向に貫通したシャフト移動穴46が設けられている。各シャフト移動穴46はその内径が対応するノズルシャフト31のエンド部材32の外径よりも大きく、対応するロッド部材42の下端の外径より小さくなっている。
A flat plate-shaped rod stopper 45 extending horizontally between the
部品実装装置1が備える制御装置47から昇降モータ38を駆動して送り螺子39を回転させると前述のように昇降板35が上下方向に移動し、これに伴って昇降ブロック41がシャフト保持筒24の上方を昇降する。ここで、昇降板35が上下方向に移動する範囲
、すなわち昇降ブロック41の昇降範囲は所定の上動位置と下動位置との間に限定されている。昇降ブロック41は通常上動位置に位置しており(図2)、このとき各ロッド部材42の下端はロッドストッパ45の上面に上方から当接し、各ノズルシャフト31はノーマル位置に位置してその上端(エンド部材32の上端)はロッドストッパ45のシャフト移動穴46内に位置している。なお、このとき上下に対向するロッド部材42の下端とノズルシャフト31の(エンド部材32)上端とはわずかな量のクリアランスを確保した状態で上下に離間している。これは、ノズルシャフト31の上端とロッド部材42の下端とが接触していると、後述するようにノズルシャフト31を軸回りに回転させたとき、摩擦による抵抗が生じてノズルシャフト31の回転制御に不都合が生じるからである。
When the elevating
一方、昇降ブロック41が下動位置にあるときには(図4)、各ノズルシャフト31はロッドストッパ45に設けられたシャフト移動穴46を下方から上方に貫通した状態となる。ここで、ロッド部材42を下方に付勢するロッド部材付勢ばね44の付勢力は、ノズルシャフト31を上方に付勢するシャフト付勢ばね33の付勢力よりも小さく設定されており、昇降ブロック41が上動位置から下動位置に下降したときには、ロッド部材42は対応するノズルシャフト31によって相対的に上方に移動され、シリンダ43内に下方から押し込まれた状態となる(図4の右側のロッド部材42及びノズルシャフト31参照)。
On the other hand, when the elevating
昇降ブロック41内には、各ロッド部材42の昇降ブロック41への機械的な結合及びその解除を行うロッド結合装置50が各ロッド部材42に対応して設けられている。ロッド結合装置50は図5及び図6に示すように、昇降ブロック41内を水平方向に延びて形成されたピストン移動空間51、ピストン移動空間51内を移動自在に設けられた結合ピストン52、結合ピストン52によってピストン移動空間51が区画されてなる2つのシリンダ室53a,53bの一方のシリンダ室53a内に開口してそのシリンダ室53a内に圧空を供給する圧空供給路54及び他方のシリンダ室53b内に設けられて結合ピストン52を圧空供給路54側に付勢するピストン付勢ばね55から構成されている。各ピストン移動空間51に繋がる圧空供給路54にはシリンダ室53a内への圧空の給排を行う制御バルブ56が設けられており、各制御バルブ56は部品実装装置1が備える制御装置47から各個独立して制御される。
In the elevating
結合ピストン52には結合ピストン52の移動方向に楕円状に延びるとともに上下方向に貫通したロッド部材移動溝52aが設けられており、ロッド部材42はこのロッド部材移動溝52aを上下方向に貫通して延びている。このため結合ピストン52はロッド部材42をロッド部材移動溝52a内で相対移動させながらピストン移動空間51内をロッド部材42に対して直交する方向に移動できる。結合ピストン52は、圧空供給路54からシリンダ室53a内に圧空が供給されていないときにはピストン付勢ばね55により圧空供給路54側に付勢された状態(この状態の結合ピストン52の位置を初期位置と称する)となっているが(図5)、圧空供給路54からシリンダ室53a内に圧空が供給されると、結合ピストン52はピストン付勢ばね53を押し縮めてピストン移動空間51内を初期位置とは反対の側に移動した状態(この状態の結合ピストン52の位置を作動位置と称する)となる(図7)。
The
ロッド部材42の中間部には外径が他の部分よりも小さい小径部42aが形成されており、ロッド部材42の下端がロッドストッパ45の上面に上方から当接している状態ではその小径部42aはピストン移動空間51内に位置するようになっている。一方、結合ピストン52のロッド部材移動溝52aの内面には、圧空供給路54側からピストン付勢ばね55側に向かって(すなわちロッド部材42側に向かって)突出した突起部52bが設けられており、ロッド部材42の下端がロッドストッパ45の上面に上方から当接している状態で結合ピストン52が初期位置から作動位置に移動すると、結合ピストン52に形
成された突起部52bがロッド部材42の小径部42aにロッド部材42の側方から嵌入するようになっている。このように結合ピストン52がロッド部材42の小径部42aに嵌入すると、ロッド部材42は結合ピストン52を介して昇降ブロック41に係止された状態となり、ロッド部材42は昇降ブロック41に機械的に結合される(図7)。
A small-diameter portion 42a having an outer diameter smaller than that of the other portion is formed at the intermediate portion of the rod member 42. When the lower end of the rod member 42 is in contact with the upper surface of the rod stopper 45 from above, the small-diameter portion 42a is formed. Is located in the piston movement space 51. On the other hand, the inner surface of the rod member moving groove 52a of the
昇降ブロック41が上動位置に位置している状態から特定のノズルシャフト31を下動させる場合、制御装置47は先ず、その特定のノズルシャフト31に対応するロッド結合装置50の制御バルブ56を制御して、そのロッド結合装置50のシリンダ室53a内に圧空を供給させる。これにより下動対象となっているノズルシャフト31に対応するロッド部材42のロッド結合装置50では、結合ピストン52が初期位置から作動位置に移動してロッド部材42の小径部42aに嵌入するので、そのロッド部材42が昇降ブロック41に結合される。
When the specific nozzle shaft 31 is moved downward from the state where the elevating
このようにして下動対象となっているノズルシャフト31に対応するロッド部材42が昇降ブロック41に結合されたら、制御装置47は昇降モータ38を駆動して昇降ブロック41を下降させる。これにより昇降ブロック41に結合されたロッド部材42は下端をロッドストッパ45の上面に当接させた状態を保持したまま、昇降ブロック41と一体となって下降し、それぞれの直下にあるノズルシャフト31の上端(エンド部材32の上端)にシャフト移動穴46の中で当接し、下動対象となっているノズルシャフト31をシャフト付勢ばね33の付勢力に抗して(シャフト付勢ばね33を下方に押し縮めながら)下方に押し下げる(図4の左側のノズルシャフト31参照)。一方、下動対象となっていないノズルシャフト31については、対応するロッド部材42が昇降ブロック41に結合されていないので、昇降ブロック41が下降してもノズルシャフト31を押し下げることはできず、逆にノズルシャフト31によって相対的に押し上げられ、昇降ブロック41内に押し込まれる(図4の右側のノズルシャフト31参照)。このため、結果として下動対象となっているノズルシャフト31のみが下動し、そのノズルシャフト31の下端の吸着部7が搭載ヘッド8の下方に突出する。
In this way, when the rod member 42 corresponding to the nozzle shaft 31 to be moved downward is coupled to the
下動させたノズルシャフト31をノーマル位置に復帰させるときは、制御装置47は、下動させているノズルシャフト31に対応するロッド部材42を昇降ブロック41に結合させたまま、昇降モータ38を駆動して昇降ブロック41を上動位置まで上昇させる。昇降ブロック41が上動すると、これに伴ってノズルシャフト31はシャフト付勢ばね33の付勢力によって上動し、ノーマル位置に復帰する。昇降ブロック41が上動位置まで上動したら、制御装置47は昇降ブロック41に結合させていたロッド部材42に対応するロッド結合装置50の制御バルブ56を制御して、そのロッド結合装置50のシリンダ室53a内への圧空の供給を停止する。これにより、それまでロッド部材42の小径部42aに嵌入していた結合ピストン52はピストン付勢ばね55の付勢力に押圧されてロッド部材42から離間し、初期位置に復帰するので、ロッド部材42の昇降ブロック41への結合は解除され、ロッド部材42は昇降ブロック41に対する上下方向の相対移動ができるようになる。
When the lowered nozzle shaft 31 is returned to the normal position, the controller 47 drives the lifting
なお、ノズルシャフト31によりピックアップした部品を基板10に搭載する際にはそのノズルシャフト31を上下軸回りに回転させる必要が生じる場合があるが、このようなノズルシャフト31の回転は、制御装置47から図示しないラック駆動手段(例えばモータ)を駆動し、ラック27をその長手方向に移動させてラック27と噛合したギヤ26を介してシャフト保持筒24を上下軸回りに回転させる。前述のようにノズルシャフト31はシャフト保持筒24に対する上下軸回りの回転が拘束されているため、シャフト保持筒24の軸回り回転に伴って、これに保持されたノズルシャフト31も軸回りに回転する。
Note that when a component picked up by the nozzle shaft 31 is mounted on the
このように、本実施の形態における部品実装装置1の搭載ヘッド8では、下動対象とな
っているノズルシャフト31をシャフト付勢ばね33の付勢力に抗して押し下げるロッド部材42が、ロッド結合装置50によって昇降ブロック41に機械的に結合されるようになっているので、従来のようにノズルシャフトの径を小さくしたために空圧シリンダの発生推力が低下してノズルシャフトの下動ができなくなるといった不都合が生じない。このため本実施の形態における搭載ヘッド8によればノズルシャフト31の径の大幅な縮小化が可能であり、ノズルシャフト31を狭ピッチ化してノズルシャフト31の本数の増大による実装効率の向上や搭載ヘッド8のコンパクト化を図ることができる。
As described above, in the mounting
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示されたものに限定されない。例えば、上述の実施の形態のロッド結合装置50は、昇降ブロック41内をロッド部材42に対して直交する方向に移動自在な結合部材(結合ピストン52)をロッド部材42の中間部に形成された小径部42aに係脱させることによってロッド部材42の昇降ブロック41への機械的な結合及びその解除を行うようになっていたが、ロッド結合装置50は、各ロッド部材42に対応して設けられ、各ロッド部材42の昇降ブロック41への機械的な結合及びその解除を行うものであれば、上述の実施の形態に示した構成に限定されない。しかし、上述の実施の形態に示した構成であれば、非常に簡単な構成でロッド部材42の昇降ブロック41への機械的な結合及びその解除ができるのでコスト的に有利である。
Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those shown in the above-described embodiments. For example, in the
また、上述の実施の形態では、ロッド部材42はシリンダ43内に設けられた付勢ばね(ロッド部材付勢ばね44)によって常時下方に付勢される構成となっていたが、このような付勢ばねを設ける代わりに、或いは付勢ばねを設けるとともに、シリンダ43内の付勢ばねが設けられる上方側のシリンダ室内に圧空を供給することによって、ロッド部材42を下方に付勢するようになっていてもよい。なお、この場合であっても、ロッド部材42を下方に付勢する付勢力は、ノズルシャフト31を上方に付勢するシャフト付勢ばね33の付勢力よりも小さく設定される必要がある。
In the above-described embodiment, the rod member 42 is constantly biased downward by the biasing spring (rod member biasing spring 44) provided in the
ノズルシャフトの径を小さくして狭ピッチ化することができ、実装効率の向上や搭載ヘッドのコンパクト化を図ることができる。 The diameter of the nozzle shaft can be reduced and the pitch can be narrowed, so that the mounting efficiency can be improved and the mounting head can be made compact.
1 部品実装装置
6 移動ステージ
7 吸着部
8 搭載ヘッド
10 基板
23 ベース部
24 シャフト保持筒
31 ノズルシャフト
33 シャフト付勢ばね(付勢ばね)
38 昇降モータ(昇降部駆動手段)
41 昇降ブロック(昇降部)
42 ロッド部材
42a 小径部
50 ロッド結合装置
52 結合ピストン(結合部材)
DESCRIPTION OF
38 Lifting motor (lifting unit driving means)
41 Lifting block (lifting part)
42 Rod member 42a
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