JP4718426B2 - Environmental test equipment - Google Patents
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Description
本発明は、内部に試料が収容されると共に内部の気体の温度が一定に保持される収容槽を有する環境試験装置に関する。 The present invention relates to an environmental test apparatus having a storage tank in which a sample is stored and a temperature of an internal gas is kept constant.
温度などが所定値に設定された環境で電子部品の動作状況などに関する試験を行うための装置として特許文献1に記載の装置がある。特許文献1の装置は試料を収容する収容槽を有している。収容槽には加熱ヒータなどの加熱手段が設置されており、かかる加熱手段を適切に制御することにより、収容槽内の気体が所定の温度に設定される。 There is an apparatus described in Patent Document 1 as an apparatus for performing a test relating to an operation state of an electronic component in an environment where a temperature or the like is set to a predetermined value. The apparatus of Patent Document 1 has a storage tank that stores a sample. The storage tank is provided with heating means such as a heater, and the gas in the storage tank is set to a predetermined temperature by appropriately controlling the heating means.
この装置では、収容槽内の気体が過剰に加熱されることにより、気体の温度が上昇しすぎて気体の温度を所定の設定値に保持することが困難になる場合がある。例えば試料が電子部品であって、その動作試験が行われる場合には、電子部品から熱が放出される。このように試料からの発熱が生じる場合には、収容槽の内部を積極的に冷却する必要が生じることがある。 In this apparatus, when the gas in the storage tank is heated excessively, the temperature of the gas may increase excessively, and it may be difficult to maintain the temperature of the gas at a predetermined set value. For example, when the sample is an electronic component and the operation test is performed, heat is released from the electronic component. When heat is generated from the sample as described above, it may be necessary to actively cool the inside of the storage tank.
しかし、収容槽を例えばその外側から冷却すると、まず収容槽の内表面近傍の気体が冷却される。そして、気体の温度が露点に達すると、気体中の水蒸気が結露して収容槽の内表面に付着する。これによって、冷却で奪われた熱が結露によって補填されるため、冷却の効果が収容槽の内部の気体まで及びにくくなることがある。特に、特許文献1のように収容槽が多層構造を有している場合には、気体の流通が限定されやすく、気体全体の冷却がより困難になる。収容槽内の気体が冷却されにくいと、収容槽内の気体の温度が過剰に上昇するのを抑制できず、気体の温度を設定値に保持できなくなるおそれが生じる。 However, when the storage tank is cooled from the outside, for example, the gas near the inner surface of the storage tank is first cooled. When the gas temperature reaches the dew point, water vapor in the gas is condensed and adheres to the inner surface of the storage tank. As a result, the heat taken away by the cooling is compensated by the condensation, so that the cooling effect may hardly reach the gas inside the storage tank. In particular, when the storage tank has a multilayer structure as in Patent Document 1, the circulation of the gas is likely to be limited, and the cooling of the entire gas becomes more difficult. If the gas in the storage tank is difficult to cool, the temperature of the gas in the storage tank cannot be suppressed from rising excessively, and the gas temperature may not be maintained at the set value.
本発明の目的は、試料を収容する収容槽が多層構造を有している場合にも収容槽内の気体の温度が保持されやすい環境試験装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an environmental test apparatus in which the temperature of a gas in a storage tank can be easily maintained even when the storage tank for storing a sample has a multilayer structure.
本発明の環境試験装置は、内部の気体が密封された状態と内部の気体が外部へと開放された状態とを選択的に取る第1の収容槽と、前記第1の収容槽内に収容されており、内部に試料が収容される第2の収容槽と、前記第2の収容槽内の気体を加熱する加熱手段と、前記第2の収容槽内の気体の温度が設定温度になるように前記加熱器を制御する加熱制御手段と、前記第1の収容槽の内表面に結露が生じた場合に発生する結露水が流下して前記第2の収容槽の外表面に到達するように前記結露水を案内する案内手段とを備えている。 The environmental test apparatus of the present invention includes a first storage tank that selectively takes a state in which an internal gas is sealed and a state in which the internal gas is released to the outside, and the internal environment is accommodated in the first storage tank. The second storage tank in which the sample is stored, the heating means for heating the gas in the second storage tank, and the temperature of the gas in the second storage tank become the set temperature. The heating control means for controlling the heater and the condensed water generated when condensation occurs on the inner surface of the first storage tank flow down to reach the outer surface of the second storage tank And a guiding means for guiding the condensed water.
例えば第1の収容槽の外側から第1の収容槽を冷却した場合に、第1の収容槽の内表面近傍の気体の温度が露点に達すると、第1の収容槽の内表面に結露が発生する。これによって、第2の収容槽内の気体が冷却されにくくなるおそれがある。本発明によると、第1の収容槽の内表面から第2の収容槽の外表面まで案内手段が結露水を案内する。一方で、加熱制御手段が第2の収容槽内の気体の温度を上記の露点より高くなるように制御することができる。この場合に、第2の収容槽まで案内された結露水がその外表面において蒸発することで、第2の収容槽が冷却され、これによって第2の収容槽内の気体が冷却される。つまり、第1の収容槽外から冷却されても、第2の収容槽内の気体が冷却されやすくなり、収容槽内の気体の温度が所定の温度に保持されやすくなる。 For example, when the first storage tank is cooled from the outside of the first storage tank, when the temperature of the gas near the inner surface of the first storage tank reaches the dew point, dew condensation occurs on the inner surface of the first storage tank. appear. As a result, the gas in the second storage tank may be difficult to cool. According to the present invention, the guide means guides the condensed water from the inner surface of the first storage tank to the outer surface of the second storage tank. On the other hand, the heating control means can control the temperature of the gas in the second storage tank to be higher than the dew point. In this case, the condensed water guided to the second storage tank evaporates on the outer surface thereof, whereby the second storage tank is cooled, and thereby the gas in the second storage tank is cooled. That is, even if it is cooled from the outside of the first storage tank, the gas in the second storage tank is easily cooled, and the temperature of the gas in the storage tank is easily maintained at a predetermined temperature.
また本発明においては、前記案内手段が、前記第1の収容槽の内表面の結露水が伝わって前記第2の収容槽の外表面へと到達するように前記第1の収容槽の内表面から前記第2の収容槽の外表面に向かって突出した突出部を有していることが好ましい。この構成によると、第1の収容槽の内表面から第2の収容槽の外表面へと結露水を案内する案内手段が簡易に実現する。 Further, in the present invention, the guide means has an inner surface of the first storage tank so that condensed water on the inner surface of the first storage tank is transmitted and reaches the outer surface of the second storage tank. It is preferable that it has the protrusion part which protruded toward the outer surface of the said 2nd storage tank. According to this structure, the guide means which guides dew condensation water from the inner surface of the first storage tank to the outer surface of the second storage tank is easily realized.
また本発明においては、前記第2の収容槽の外表面に、前記案内手段が前記第1の収容槽の内表面から案内した前記結露水が前記第2の収容槽の下方へと流下するのを妨害する結露水流下妨害部を有していることが好ましい。この構成によると、第2の収容槽の外表面まで案内された結露水が第2の収容槽の下方へと流下するのが遅延される。つまり、結露水が第2の収容槽の外表面に留まりやすくなるので、結露水が蒸発しやすくなり、第2の収容槽が冷却されやすくなる。 In the present invention, the dew condensation water guided by the guide means from the inner surface of the first storage tank flows down to the outer surface of the second storage tank. It is preferable to have a dew condensation water flow hindrance part that hinders water flow. According to this structure, it is delayed that the dew condensation water guided to the outer surface of the second storage tank flows down to the second storage tank. That is, the dew condensation water is likely to stay on the outer surface of the second storage tank, so that the dew condensation water is easily evaporated and the second storage tank is easily cooled.
図1は、本発明の好適な一実施形態に係る環境試験装置1の断面図である。環境試験装置1は、試験槽100及び制御装置150を有している。制御装置150は、試験槽100内の気体の温度等の試験環境を調整する(加熱制御手段)。
FIG. 1 is a cross-sectional view of an environmental test apparatus 1 according to a preferred embodiment of the present invention. The environmental test apparatus 1 includes a
試験槽100は外槽103、第1の内槽101及び第2の内槽102が入れ子状に組み合わされた多層構造を有している。これらの収容槽は、試験槽100の外側から内側へと向かって、外槽103、第1の内槽101(第1の収容槽)及び第2の内槽102(第2の収容槽)の順に配置されている。第1の内槽101は外槽103内に収容されており、第2の内槽102は第1の内槽101に収容されている。外槽103と第1の内槽101との間には空間が形成されており、かかる空間に冷却器142が設置されている。
The
第1の内槽101は図1では左方に向かって開口している。この開口には開閉蓋104が設置されている。開閉蓋104は、図示されていない開閉機構を介して第1の内槽101に支持されており、閉じられた状態と開かれた状態とを選択的に取ることができる。図1は開閉蓋104が閉じられた状態を示しており、このとき第1の内槽101内は密閉されている。上記の開閉機構は、第1の内槽101内の気体の圧力が大気圧から変化しても第1の内槽101内が密閉された状態が保持されるように構成されていると共に、試験槽100の使用者が手動で開閉蓋104を開閉できるように構成されている。
The first
第2の内槽102は図1では左方に向かって開口し、第2の内槽102の右端には、左右方向について第2の内槽102を貫通する貫通孔102aが形成されている。第2の内槽102内には試料台102bが設置されている。
The second
第1の内槽101と第2の内槽102との間の空間において、貫通孔102aの右方には、ヒータ141(加熱器)が設置されている。ヒータ141のさらに右方には送風ファン131(気流発生手段)が設置されている。送風ファン131の回転軸は、駆動モータ132の駆動軸に固定されている。駆動モータ132が作動すると送風ファン131が回転し、左方へ向かう気流が発生する。これによって第1の内槽101及び第2の内槽102内に、図1の白抜き矢印に沿った気流が発生する。かかる気流によって、ヒータ141が加熱した気体が貫通孔102aを通じて第2の内槽102内に流入すると共に、第1の内槽101及び第2の内槽102内の気体が循環する。ヒータ141及び駆動モータ132のいずれも制御装置150に接続されている。制御装置150はヒータ141のオン・オフを切り替えると共に、駆動モータ132の駆動を制御する。
In the space between the first
第1の内槽101の下部には加湿器143が設置されている。加湿器143は第1の内槽101の内部の底面上に固定されており、加湿用の加湿用水Wが収容されている。加湿器143はヒータ144を有しており、ヒータ144の発熱部は加湿器143内の加湿用水Wに浸されている。ヒータ144が作動すると加湿用水Wが熱せられる。加湿用水Wの温度が変化すると試験槽100内の湿度が変化する。ヒータ144は制御装置150に接続されている。制御装置150はヒータ144のオン・オフを切り替える。これによって制御装置150は試験槽100内の気体の湿度を所定の値に調整する。
A
試験槽100には乾球温度センサ121及び湿球温度センサ122が設置されている。乾球温度センサ121及び湿球温度センサ122の検出部はいずれも第2の内槽102内に設置されている。乾球温度センサ121及び湿球温度センサ122は制御装置150に接続されており、これらの検出部において検出された温度を示す信号が制御装置150へと送信される。制御装置150は、乾球温度センサ121及び湿球温度センサ122からの信号に基づいて第2の内槽102内の気体の温度及び湿度を導出する。また、加湿用水Wにも水温センサ123が設置されている。水温センサ123の検出温度は、主に湿度の調整のためにヒータ144の制御に利用される。
The
以上の構成により、制御装置150は、第2の内槽102内の気体の温度及び湿度を導出すると共に、かかる導出結果に基づいて、第2の内槽102内の気体の温度及び湿度があらかじめ設定された設定温度及び設定湿度となるようにヒータ141及び144、並びに、駆動モータ132を制御する。これによって、第2の内槽102内の気体が設定温度及び設定湿度に基づく所定の環境に保持される。そして、かかる所定の環境下において試料台102b上に載置された試料Sの試験がなされる。例えば第2の内槽102内の温度が130℃、湿度が85%に設定される。そして、試料Sが電子回路である場合には、上記の設定温度及び設定湿度において試料Sに相当する電子回路の動作についての試験が行われる。
With the above configuration, the
ところで、例えば試料Sからの発熱などにより第2の内槽102内の気体の温度が急激に上昇した場合には、ヒータ141や駆動モータ132を制御するだけでは第2の内槽102内の温度上昇に対応できないことがある。このような状況を回避するため、制御装置150は、乾球温度センサ121からの信号に基づいて、第2の内槽102内の気体の温度に関して所定の条件が満たされた場合に、冷却器142に第1の内槽101を冷却させる。
By the way, for example, when the temperature of the gas in the second
冷却器142が第1の内槽101を冷却すると、その内部の気体は第1の内槽101の内表面近傍から冷却され始める。そして、第1の内槽101の内表面近傍の気体の温度が露点に達すると、第1の内槽101の内表面に結露が発生する。例えば設定温度が130℃、設定湿度が85%であるとすると、このような設定条件を満たす気体の露点は124.6℃である。この場合、設定温度である130℃と露点との差が小さいため、気体の温度は冷却によって露点に達しやすい。そして、第1の内槽101の内表面に結露が発生すると、結露水の大部分は第1の内槽101の内表面を伝って流下し、加湿器143の加湿用水に流れ込んだりする。冷却器142の冷却によって第1の内槽101内の気体から奪われた熱は結露が発生する際の発熱によって補填される。したがって、第1の内槽101内の気体がなかなか冷却されない、という問題が生じ得る。また、第1の内槽101内のさらに内部に存在する第2の内槽102内の気体はなおさら冷却されにくい。
When the cooler 142 cools the first
そこで、本実施形態の試験槽100には、第1の内槽101の内表面から突出する突出部111が設置されている。図2には、図1のII−II線に沿った試験槽100の断面図が示されている。第1の内槽101には、図2に示すように複数の突出部111が設けられている。突出部111のそれぞれは、上端が第1の内槽101の内表面に固定されており、下端が第2の内槽102の外表面近傍に配置されている。突出部111はいずれも平板の形状を有している。第1の内槽101の左半分に設置された突出部111はいずれも、第1の内槽101の内表面から図2の右下の方向へと延在している。第1の内槽101の右半分に設置された突出部111はいずれも、第1の内槽101の内表面から図2の左下の方向へと延在している。
Therefore, the
また、第2の内槽102の外表面にはステンレスウール112(結露水流下防止部材)が固定されている。ステンレスウール112は、突出部111の下端と第2の内槽102の間に設置されている。
Further, stainless wool 112 (condensation water flow prevention member) is fixed to the outer surface of the second
さらに、加湿器143内の加湿用水Wには、ヒートパイプ113が浸されている。ヒートパイプ113はステンレスなどからなる棒状の部材である。ヒートパイプ113の一端は、図1において加湿器143の左端の上方に配置されている。また、ヒートパイプ113の他端は、加湿器143内の底面に当接している。つまり、ヒートパイプ113の一端から所定の長さの部分は加湿用水Wの液面より上方に露出しており、残りの部分が液面より下方に浸されている。
Further, the
以上の構成を有することにより、冷却器142が作動した際に、第2の内槽102が以下のように冷却される。第1の内槽101が冷却されることによって第1の内槽101の内表面に結露が発生する。これによって生じた結露水Dは、第1の内槽101の内表面及び突出部111に沿って、図2の白抜き矢印のように第2の内槽102の外表面へと到達する。このように第2の内槽102の外表面へと達した結露水は、ステンレスウール112に保持される。一方、第2の内槽102内の気体は、試料Sから発生する熱などにより設定温度より高温になっている。例えば設定温度が130℃、設定湿度が85%である場合には、第2の内槽102内の気体は130℃より高温になっている。ここで、露点は124.6℃である。したがって、第2の内槽102は露点よりも高い温度となっているので、ステンレスウールに保持された結露水は蒸発する。このとき第2の内槽102の外表面から結露水の蒸発熱が奪われるので、第2の内槽102が冷却され、第2の内槽102内の気体も冷却される。
By having the above structure, when the cooler 142 operates, the second
また、例えば設定温度が130℃、設定湿度が85%である場合には、加湿用水の水温が124.6℃に設定される。このように、加湿用水Wの温度は設定温度以下に設定されるので、第2の内槽102内の気体が設定温度より上昇すると、気体の温度と加湿用水Wの温度との間に大きな差が生じる。したがって、ヒートパイプ113を通じて気体から加湿用水Wへ図1の黒塗り矢印の示す方向へと熱が移動する。これによって、第2の内槽102内の気体が冷却される。
For example, when the set temperature is 130 ° C. and the set humidity is 85%, the water temperature of the humidifying water is set to 124.6 ° C. Thus, since the temperature of the humidification water W is set below the set temperature, if the gas in the second
以上のとおり、第1の内槽101の内表面に発生した結露水が、突出部111を通じて第2の内槽102へと案内され、その外表面において蒸発する。これによって、第1の内槽101の内表面において結露が発生しても、第2の内槽102の外表面において結露水が蒸発することにより第2の内槽102が冷却され、第2の内槽102内の気体が冷却される。
As described above, the dew condensation water generated on the inner surface of the first
また、ステンレスウール112により第2の内槽102の外表面に達した結露水が保持される。つまりステンレスウール112は、結露水が第2の内槽102の外表面に沿って流下するのを妨害する役割を果たす。したがって、結露水が第2の内槽102の外表面に留まりやすくなり、結露水が第2の内槽102の下方に流下するまでに外表面において蒸発しやすくなる。
Further, the dew condensation water reaching the outer surface of the second
さらに、ヒートパイプ113によって第1の内槽101及び第2の内槽102内の気体の熱が加湿用水Wに移動するので気体が冷却されやすい。なお、ヒートパイプ113の材質はできるだけ熱伝導率の大きいものが好ましい。しかし、第1の内槽101及び第2の内槽102内の気体におけるものより大きい熱伝導率を有する材質であればよい。
Furthermore, since the heat of the gas in the first
<変形例>
以上は、本発明の好適な実施の形態についての説明であるが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された内容の限りにおいて様々な変更が可能なものである。
<Modification>
The above is a description of a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made as long as the contents are described in the means for solving the problem. It can be changed.
上述の実施形態においてはステンレスウール112が用いられているが、第2の内槽102の外表面において結露水が下方に流下しにくくなるような部材や構造が用いられればどのようなものでもよい。例えば、第2の内槽102の外表面に水平方向に平行な複数の溝が切られるなどの、外表面の表面積を大きくするような構造が形成されていてもよい。なお、ステンレスウール112のような結露水を保持する部材が用いられる場合には、できるだけ熱伝導率の大きい材料からなる部材であることが好ましい。
In the above-described embodiment,
また、上述の実施形態においては棒状のヒートパイプ113が用いられているが、棒状とは異なる形状を有する部材が用いられてもよい。例えば、ヒートパイプ113とは異なり、一端が第2の内槽102の内部まで到達し、他端が加湿用水Wに浸されるように調整された形状を有する部材がヒートパイプ113と同様の役割を有する部材として用いられてもよい。
Moreover, although the rod-shaped
また上記の実施形態においては、試験槽100が突出部111及びヒートパイプ113の両方を伴う場合が示されている。しかし、試験槽100がこれらのいずれかを有するものであってもよい。つまり、突出部111及びヒートパイプ113は互いに独立に機能するものであるため、これらのいずれかが設けられていれば、第2の内槽102内の気体が冷却されやすくなるという効果が奏される。
Moreover, in said embodiment, the case where the
また、上述の実施形態においては、試験槽100内に冷却器142が設置されている。しかし、環境試験装置1が冷却器142を有していなくてもよい。このような場合に、第2の内槽102内の気体の温度が過剰に上昇したときには、外槽103の外側からなんらかの冷却手段を用いて試験槽100を冷却したり、外槽103の外部を覆う部材(不図示)などを外槽103から除去することによって試験槽100から放熱しやすくすればよい。
In the above-described embodiment, the cooler 142 is installed in the
1 環境試験装置
100 試験槽
101 第1の内槽
102 第2の内槽
102a 貫通孔
102b 試料台
103 外槽
111 突出部
112 ステンレスウール
113 ヒートパイプ
131 送風ファン
141 ヒータ
142 冷却器
143 加湿器
144 ヒータ
150 制御装置
S 試料
W 加湿用水
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (3)
前記第1の収容槽内に収容されており、内部に試料が収容される第2の収容槽と、
前記第2の収容槽内の気体を加熱する加熱手段と、
前記第2の収容槽内の気体の温度が設定温度になるように前記加熱器を制御する加熱制御手段と、
前記第1の収容槽の内表面に結露が生じた場合に発生する結露水が流下して前記第2の収容槽の外表面に到達するように前記結露水を案内する案内手段とを備えていることを特徴とする環境試験装置。 A first storage tank that selectively takes a state in which the internal gas is sealed and a state in which the internal gas is released to the outside;
A second storage tank that is stored in the first storage tank and in which a sample is stored;
Heating means for heating the gas in the second storage tank;
Heating control means for controlling the heater so that the temperature of the gas in the second storage tank becomes a set temperature;
Guidance means for guiding the condensed water so that the condensed water generated when condensation occurs on the inner surface of the first storage tank flows down and reaches the outer surface of the second storage tank; An environmental testing apparatus characterized by
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