JP4718426B2 - Environmental test equipment - Google Patents

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Description

本発明は、内部に試料が収容されると共に内部の気体の温度が一定に保持される収容槽を有する環境試験装置に関する。   The present invention relates to an environmental test apparatus having a storage tank in which a sample is stored and a temperature of an internal gas is kept constant.

温度などが所定値に設定された環境で電子部品の動作状況などに関する試験を行うための装置として特許文献1に記載の装置がある。特許文献1の装置は試料を収容する収容槽を有している。収容槽には加熱ヒータなどの加熱手段が設置されており、かかる加熱手段を適切に制御することにより、収容槽内の気体が所定の温度に設定される。   There is an apparatus described in Patent Document 1 as an apparatus for performing a test relating to an operation state of an electronic component in an environment where a temperature or the like is set to a predetermined value. The apparatus of Patent Document 1 has a storage tank that stores a sample. The storage tank is provided with heating means such as a heater, and the gas in the storage tank is set to a predetermined temperature by appropriately controlling the heating means.

特開2005−121256号公報JP 2005-121256 A

この装置では、収容槽内の気体が過剰に加熱されることにより、気体の温度が上昇しすぎて気体の温度を所定の設定値に保持することが困難になる場合がある。例えば試料が電子部品であって、その動作試験が行われる場合には、電子部品から熱が放出される。このように試料からの発熱が生じる場合には、収容槽の内部を積極的に冷却する必要が生じることがある。   In this apparatus, when the gas in the storage tank is heated excessively, the temperature of the gas may increase excessively, and it may be difficult to maintain the temperature of the gas at a predetermined set value. For example, when the sample is an electronic component and the operation test is performed, heat is released from the electronic component. When heat is generated from the sample as described above, it may be necessary to actively cool the inside of the storage tank.

しかし、収容槽を例えばその外側から冷却すると、まず収容槽の内表面近傍の気体が冷却される。そして、気体の温度が露点に達すると、気体中の水蒸気が結露して収容槽の内表面に付着する。これによって、冷却で奪われた熱が結露によって補填されるため、冷却の効果が収容槽の内部の気体まで及びにくくなることがある。特に、特許文献1のように収容槽が多層構造を有している場合には、気体の流通が限定されやすく、気体全体の冷却がより困難になる。収容槽内の気体が冷却されにくいと、収容槽内の気体の温度が過剰に上昇するのを抑制できず、気体の温度を設定値に保持できなくなるおそれが生じる。   However, when the storage tank is cooled from the outside, for example, the gas near the inner surface of the storage tank is first cooled. When the gas temperature reaches the dew point, water vapor in the gas is condensed and adheres to the inner surface of the storage tank. As a result, the heat taken away by the cooling is compensated by the condensation, so that the cooling effect may hardly reach the gas inside the storage tank. In particular, when the storage tank has a multilayer structure as in Patent Document 1, the circulation of the gas is likely to be limited, and the cooling of the entire gas becomes more difficult. If the gas in the storage tank is difficult to cool, the temperature of the gas in the storage tank cannot be suppressed from rising excessively, and the gas temperature may not be maintained at the set value.

本発明の目的は、試料を収容する収容槽が多層構造を有している場合にも収容槽内の気体の温度が保持されやすい環境試験装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an environmental test apparatus in which the temperature of a gas in a storage tank can be easily maintained even when the storage tank for storing a sample has a multilayer structure.

課題を解決するための手段及びその効果Means for solving the problems and their effects

本発明の環境試験装置は、内部の気体が密封された状態と内部の気体が外部へと開放された状態とを選択的に取る第1の収容槽と、前記第1の収容槽内に収容されており、内部に試料が収容される第2の収容槽と、前記第2の収容槽内の気体を加熱する加熱手段と、前記第2の収容槽内の気体の温度が設定温度になるように前記加熱器を制御する加熱制御手段と、前記第1の収容槽の内表面に結露が生じた場合に発生する結露水が流下して前記第2の収容槽の外表面に到達するように前記結露水を案内する案内手段とを備えている。   The environmental test apparatus of the present invention includes a first storage tank that selectively takes a state in which an internal gas is sealed and a state in which the internal gas is released to the outside, and the internal environment is accommodated in the first storage tank. The second storage tank in which the sample is stored, the heating means for heating the gas in the second storage tank, and the temperature of the gas in the second storage tank become the set temperature. The heating control means for controlling the heater and the condensed water generated when condensation occurs on the inner surface of the first storage tank flow down to reach the outer surface of the second storage tank And a guiding means for guiding the condensed water.

例えば第1の収容槽の外側から第1の収容槽を冷却した場合に、第1の収容槽の内表面近傍の気体の温度が露点に達すると、第1の収容槽の内表面に結露が発生する。これによって、第2の収容槽内の気体が冷却されにくくなるおそれがある。本発明によると、第1の収容槽の内表面から第2の収容槽の外表面まで案内手段が結露水を案内する。一方で、加熱制御手段が第2の収容槽内の気体の温度を上記の露点より高くなるように制御することができる。この場合に、第2の収容槽まで案内された結露水がその外表面において蒸発することで、第2の収容槽が冷却され、これによって第2の収容槽内の気体が冷却される。つまり、第1の収容槽外から冷却されても、第2の収容槽内の気体が冷却されやすくなり、収容槽内の気体の温度が所定の温度に保持されやすくなる。   For example, when the first storage tank is cooled from the outside of the first storage tank, when the temperature of the gas near the inner surface of the first storage tank reaches the dew point, dew condensation occurs on the inner surface of the first storage tank. appear. As a result, the gas in the second storage tank may be difficult to cool. According to the present invention, the guide means guides the condensed water from the inner surface of the first storage tank to the outer surface of the second storage tank. On the other hand, the heating control means can control the temperature of the gas in the second storage tank to be higher than the dew point. In this case, the condensed water guided to the second storage tank evaporates on the outer surface thereof, whereby the second storage tank is cooled, and thereby the gas in the second storage tank is cooled. That is, even if it is cooled from the outside of the first storage tank, the gas in the second storage tank is easily cooled, and the temperature of the gas in the storage tank is easily maintained at a predetermined temperature.

また本発明においては、前記案内手段が、前記第1の収容槽の内表面の結露水が伝わって前記第2の収容槽の外表面へと到達するように前記第1の収容槽の内表面から前記第2の収容槽の外表面に向かって突出した突出部を有していることが好ましい。この構成によると、第1の収容槽の内表面から第2の収容槽の外表面へと結露水を案内する案内手段が簡易に実現する。   Further, in the present invention, the guide means has an inner surface of the first storage tank so that condensed water on the inner surface of the first storage tank is transmitted and reaches the outer surface of the second storage tank. It is preferable that it has the protrusion part which protruded toward the outer surface of the said 2nd storage tank. According to this structure, the guide means which guides dew condensation water from the inner surface of the first storage tank to the outer surface of the second storage tank is easily realized.

また本発明においては、前記第2の収容槽の外表面に、前記案内手段が前記第1の収容槽の内表面から案内した前記結露水が前記第2の収容槽の下方へと流下するのを妨害する結露水流下妨害部を有していることが好ましい。この構成によると、第2の収容槽の外表面まで案内された結露水が第2の収容槽の下方へと流下するのが遅延される。つまり、結露水が第2の収容槽の外表面に留まりやすくなるので、結露水が蒸発しやすくなり、第2の収容槽が冷却されやすくなる。   In the present invention, the dew condensation water guided by the guide means from the inner surface of the first storage tank flows down to the outer surface of the second storage tank. It is preferable to have a dew condensation water flow hindrance part that hinders water flow. According to this structure, it is delayed that the dew condensation water guided to the outer surface of the second storage tank flows down to the second storage tank. That is, the dew condensation water is likely to stay on the outer surface of the second storage tank, so that the dew condensation water is easily evaporated and the second storage tank is easily cooled.

図1は、本発明の好適な一実施形態に係る環境試験装置1の断面図である。環境試験装置1は、試験槽100及び制御装置150を有している。制御装置150は、試験槽100内の気体の温度等の試験環境を調整する(加熱制御手段)。   FIG. 1 is a cross-sectional view of an environmental test apparatus 1 according to a preferred embodiment of the present invention. The environmental test apparatus 1 includes a test tank 100 and a control device 150. The control device 150 adjusts the test environment such as the temperature of the gas in the test tank 100 (heating control means).

試験槽100は外槽103、第1の内槽101及び第2の内槽102が入れ子状に組み合わされた多層構造を有している。これらの収容槽は、試験槽100の外側から内側へと向かって、外槽103、第1の内槽101(第1の収容槽)及び第2の内槽102(第2の収容槽)の順に配置されている。第1の内槽101は外槽103内に収容されており、第2の内槽102は第1の内槽101に収容されている。外槽103と第1の内槽101との間には空間が形成されており、かかる空間に冷却器142が設置されている。   The test tank 100 has a multilayer structure in which an outer tank 103, a first inner tank 101, and a second inner tank 102 are combined in a nested manner. These storage tanks are formed of the outer tank 103, the first inner tank 101 (first storage tank), and the second inner tank 102 (second storage tank) from the outside to the inside of the test tank 100. Arranged in order. The first inner tank 101 is accommodated in the outer tank 103, and the second inner tank 102 is accommodated in the first inner tank 101. A space is formed between the outer tub 103 and the first inner tub 101, and a cooler 142 is installed in the space.

第1の内槽101は図1では左方に向かって開口している。この開口には開閉蓋104が設置されている。開閉蓋104は、図示されていない開閉機構を介して第1の内槽101に支持されており、閉じられた状態と開かれた状態とを選択的に取ることができる。図1は開閉蓋104が閉じられた状態を示しており、このとき第1の内槽101内は密閉されている。上記の開閉機構は、第1の内槽101内の気体の圧力が大気圧から変化しても第1の内槽101内が密閉された状態が保持されるように構成されていると共に、試験槽100の使用者が手動で開閉蓋104を開閉できるように構成されている。   The first inner tank 101 opens toward the left in FIG. An opening / closing lid 104 is installed in this opening. The opening / closing lid 104 is supported by the first inner tank 101 via an opening / closing mechanism (not shown), and can be selectively taken between a closed state and an opened state. FIG. 1 shows a state in which the opening / closing lid 104 is closed. At this time, the inside of the first inner tank 101 is sealed. The opening / closing mechanism is configured so that the sealed state of the first inner tank 101 is maintained even when the pressure of the gas in the first inner tank 101 changes from the atmospheric pressure, and the test is performed. The user of the tank 100 is configured to be able to manually open and close the opening / closing lid 104.

第2の内槽102は図1では左方に向かって開口し、第2の内槽102の右端には、左右方向について第2の内槽102を貫通する貫通孔102aが形成されている。第2の内槽102内には試料台102bが設置されている。   The second inner tank 102 opens leftward in FIG. 1, and a through hole 102 a penetrating the second inner tank 102 in the left-right direction is formed at the right end of the second inner tank 102. A sample stage 102 b is installed in the second inner tank 102.

第1の内槽101と第2の内槽102との間の空間において、貫通孔102aの右方には、ヒータ141(加熱器)が設置されている。ヒータ141のさらに右方には送風ファン131(気流発生手段)が設置されている。送風ファン131の回転軸は、駆動モータ132の駆動軸に固定されている。駆動モータ132が作動すると送風ファン131が回転し、左方へ向かう気流が発生する。これによって第1の内槽101及び第2の内槽102内に、図1の白抜き矢印に沿った気流が発生する。かかる気流によって、ヒータ141が加熱した気体が貫通孔102aを通じて第2の内槽102内に流入すると共に、第1の内槽101及び第2の内槽102内の気体が循環する。ヒータ141及び駆動モータ132のいずれも制御装置150に接続されている。制御装置150はヒータ141のオン・オフを切り替えると共に、駆動モータ132の駆動を制御する。   In the space between the first inner tank 101 and the second inner tank 102, a heater 141 (heater) is installed to the right of the through hole 102a. A blower fan 131 (airflow generating means) is installed further to the right of the heater 141. The rotation shaft of the blower fan 131 is fixed to the drive shaft of the drive motor 132. When the drive motor 132 is operated, the blower fan 131 is rotated, and an air flow toward the left is generated. As a result, an air flow is generated in the first inner tank 101 and the second inner tank 102 along the white arrow in FIG. Due to the air flow, the gas heated by the heater 141 flows into the second inner tank 102 through the through hole 102a, and the gas in the first inner tank 101 and the second inner tank 102 circulates. Both the heater 141 and the drive motor 132 are connected to the control device 150. The control device 150 switches the heater 141 on and off and controls the drive of the drive motor 132.

第1の内槽101の下部には加湿器143が設置されている。加湿器143は第1の内槽101の内部の底面上に固定されており、加湿用の加湿用水Wが収容されている。加湿器143はヒータ144を有しており、ヒータ144の発熱部は加湿器143内の加湿用水Wに浸されている。ヒータ144が作動すると加湿用水Wが熱せられる。加湿用水Wの温度が変化すると試験槽100内の湿度が変化する。ヒータ144は制御装置150に接続されている。制御装置150はヒータ144のオン・オフを切り替える。これによって制御装置150は試験槽100内の気体の湿度を所定の値に調整する。   A humidifier 143 is installed in the lower part of the first inner tank 101. The humidifier 143 is fixed on the inner bottom surface of the first inner tank 101, and contains humidifying water W for humidification. The humidifier 143 has a heater 144, and the heat generating part of the heater 144 is immersed in the humidifying water W in the humidifier 143. When the heater 144 is activated, the humidifying water W is heated. When the temperature of the humidifying water W changes, the humidity in the test tank 100 changes. The heater 144 is connected to the control device 150. The control device 150 switches the heater 144 on and off. Thereby, the control device 150 adjusts the humidity of the gas in the test tank 100 to a predetermined value.

試験槽100には乾球温度センサ121及び湿球温度センサ122が設置されている。乾球温度センサ121及び湿球温度センサ122の検出部はいずれも第2の内槽102内に設置されている。乾球温度センサ121及び湿球温度センサ122は制御装置150に接続されており、これらの検出部において検出された温度を示す信号が制御装置150へと送信される。制御装置150は、乾球温度センサ121及び湿球温度センサ122からの信号に基づいて第2の内槽102内の気体の温度及び湿度を導出する。また、加湿用水Wにも水温センサ123が設置されている。水温センサ123の検出温度は、主に湿度の調整のためにヒータ144の制御に利用される。   The test tank 100 is provided with a dry bulb temperature sensor 121 and a wet bulb temperature sensor 122. The detection units of the dry bulb temperature sensor 121 and the wet bulb temperature sensor 122 are both installed in the second inner tank 102. The dry bulb temperature sensor 121 and the wet bulb temperature sensor 122 are connected to the control device 150, and signals indicating the temperatures detected by these detection units are transmitted to the control device 150. The control device 150 derives the temperature and humidity of the gas in the second inner tank 102 based on signals from the dry bulb temperature sensor 121 and the wet bulb temperature sensor 122. A water temperature sensor 123 is also installed in the humidifying water W. The temperature detected by the water temperature sensor 123 is mainly used for controlling the heater 144 for adjusting the humidity.

以上の構成により、制御装置150は、第2の内槽102内の気体の温度及び湿度を導出すると共に、かかる導出結果に基づいて、第2の内槽102内の気体の温度及び湿度があらかじめ設定された設定温度及び設定湿度となるようにヒータ141及び144、並びに、駆動モータ132を制御する。これによって、第2の内槽102内の気体が設定温度及び設定湿度に基づく所定の環境に保持される。そして、かかる所定の環境下において試料台102b上に載置された試料Sの試験がなされる。例えば第2の内槽102内の温度が130℃、湿度が85%に設定される。そして、試料Sが電子回路である場合には、上記の設定温度及び設定湿度において試料Sに相当する電子回路の動作についての試験が行われる。   With the above configuration, the control device 150 derives the temperature and humidity of the gas in the second inner tank 102, and based on the derived result, the temperature and humidity of the gas in the second inner tank 102 are determined in advance. The heaters 141 and 144 and the drive motor 132 are controlled so that the set temperature and set humidity are set. As a result, the gas in the second inner tank 102 is maintained in a predetermined environment based on the set temperature and set humidity. Then, the sample S placed on the sample table 102b is tested under such a predetermined environment. For example, the temperature in the second inner tank 102 is set to 130 ° C. and the humidity is set to 85%. When the sample S is an electronic circuit, a test is performed on the operation of the electronic circuit corresponding to the sample S at the above set temperature and set humidity.

ところで、例えば試料Sからの発熱などにより第2の内槽102内の気体の温度が急激に上昇した場合には、ヒータ141や駆動モータ132を制御するだけでは第2の内槽102内の温度上昇に対応できないことがある。このような状況を回避するため、制御装置150は、乾球温度センサ121からの信号に基づいて、第2の内槽102内の気体の温度に関して所定の条件が満たされた場合に、冷却器142に第1の内槽101を冷却させる。   By the way, for example, when the temperature of the gas in the second inner tank 102 suddenly rises due to heat generation from the sample S, the temperature in the second inner tank 102 is controlled only by controlling the heater 141 and the drive motor 132. May not be able to cope with the rise. In order to avoid such a situation, the control device 150, based on the signal from the dry bulb temperature sensor 121, when the predetermined condition regarding the temperature of the gas in the second inner tank 102 is satisfied, 142 causes the first inner tank 101 to cool.

冷却器142が第1の内槽101を冷却すると、その内部の気体は第1の内槽101の内表面近傍から冷却され始める。そして、第1の内槽101の内表面近傍の気体の温度が露点に達すると、第1の内槽101の内表面に結露が発生する。例えば設定温度が130℃、設定湿度が85%であるとすると、このような設定条件を満たす気体の露点は124.6℃である。この場合、設定温度である130℃と露点との差が小さいため、気体の温度は冷却によって露点に達しやすい。そして、第1の内槽101の内表面に結露が発生すると、結露水の大部分は第1の内槽101の内表面を伝って流下し、加湿器143の加湿用水に流れ込んだりする。冷却器142の冷却によって第1の内槽101内の気体から奪われた熱は結露が発生する際の発熱によって補填される。したがって、第1の内槽101内の気体がなかなか冷却されない、という問題が生じ得る。また、第1の内槽101内のさらに内部に存在する第2の内槽102内の気体はなおさら冷却されにくい。   When the cooler 142 cools the first inner tank 101, the gas inside thereof starts to be cooled from the vicinity of the inner surface of the first inner tank 101. When the temperature of the gas near the inner surface of the first inner tank 101 reaches the dew point, dew condensation occurs on the inner surface of the first inner tank 101. For example, if the set temperature is 130 ° C. and the set humidity is 85%, the dew point of the gas that satisfies such a set condition is 124.6 ° C. In this case, since the difference between the set temperature of 130 ° C. and the dew point is small, the temperature of the gas tends to reach the dew point by cooling. When condensation occurs on the inner surface of the first inner tank 101, most of the condensed water flows down along the inner surface of the first inner tank 101 and flows into the humidifying water of the humidifier 143. The heat deprived from the gas in the first inner tank 101 by the cooling of the cooler 142 is compensated by the heat generated when condensation occurs. Therefore, the problem that the gas in the 1st inner tank 101 is not cooled easily may arise. In addition, the gas in the second inner tank 102 existing further inside the first inner tank 101 is hardly cooled.

そこで、本実施形態の試験槽100には、第1の内槽101の内表面から突出する突出部111が設置されている。図2には、図1のII−II線に沿った試験槽100の断面図が示されている。第1の内槽101には、図2に示すように複数の突出部111が設けられている。突出部111のそれぞれは、上端が第1の内槽101の内表面に固定されており、下端が第2の内槽102の外表面近傍に配置されている。突出部111はいずれも平板の形状を有している。第1の内槽101の左半分に設置された突出部111はいずれも、第1の内槽101の内表面から図2の右下の方向へと延在している。第1の内槽101の右半分に設置された突出部111はいずれも、第1の内槽101の内表面から図2の左下の方向へと延在している。   Therefore, the test tank 100 of the present embodiment is provided with a protruding portion 111 that protrudes from the inner surface of the first inner tank 101. FIG. 2 shows a cross-sectional view of the test chamber 100 taken along line II-II in FIG. The first inner tank 101 is provided with a plurality of protrusions 111 as shown in FIG. Each of the protrusions 111 has an upper end fixed to the inner surface of the first inner tank 101 and a lower end disposed in the vicinity of the outer surface of the second inner tank 102. Each of the protruding portions 111 has a flat plate shape. All of the protrusions 111 installed in the left half of the first inner tank 101 extend from the inner surface of the first inner tank 101 in the lower right direction of FIG. Each of the protrusions 111 installed in the right half of the first inner tank 101 extends from the inner surface of the first inner tank 101 in the lower left direction of FIG.

また、第2の内槽102の外表面にはステンレスウール112(結露水流下防止部材)が固定されている。ステンレスウール112は、突出部111の下端と第2の内槽102の間に設置されている。   Further, stainless wool 112 (condensation water flow prevention member) is fixed to the outer surface of the second inner tank 102. The stainless wool 112 is installed between the lower end of the protrusion 111 and the second inner tank 102.

さらに、加湿器143内の加湿用水Wには、ヒートパイプ113が浸されている。ヒートパイプ113はステンレスなどからなる棒状の部材である。ヒートパイプ113の一端は、図1において加湿器143の左端の上方に配置されている。また、ヒートパイプ113の他端は、加湿器143内の底面に当接している。つまり、ヒートパイプ113の一端から所定の長さの部分は加湿用水Wの液面より上方に露出しており、残りの部分が液面より下方に浸されている。   Further, the heat pipe 113 is immersed in the humidifying water W in the humidifier 143. The heat pipe 113 is a rod-shaped member made of stainless steel or the like. One end of the heat pipe 113 is disposed above the left end of the humidifier 143 in FIG. Further, the other end of the heat pipe 113 is in contact with the bottom surface in the humidifier 143. That is, the part of predetermined length from the end of the heat pipe 113 is exposed above the liquid level of the humidifying water W, and the remaining part is immersed below the liquid level.

以上の構成を有することにより、冷却器142が作動した際に、第2の内槽102が以下のように冷却される。第1の内槽101が冷却されることによって第1の内槽101の内表面に結露が発生する。これによって生じた結露水Dは、第1の内槽101の内表面及び突出部111に沿って、図2の白抜き矢印のように第2の内槽102の外表面へと到達する。このように第2の内槽102の外表面へと達した結露水は、ステンレスウール112に保持される。一方、第2の内槽102内の気体は、試料Sから発生する熱などにより設定温度より高温になっている。例えば設定温度が130℃、設定湿度が85%である場合には、第2の内槽102内の気体は130℃より高温になっている。ここで、露点は124.6℃である。したがって、第2の内槽102は露点よりも高い温度となっているので、ステンレスウールに保持された結露水は蒸発する。このとき第2の内槽102の外表面から結露水の蒸発熱が奪われるので、第2の内槽102が冷却され、第2の内槽102内の気体も冷却される。   By having the above structure, when the cooler 142 operates, the second inner tank 102 is cooled as follows. Condensation occurs on the inner surface of the first inner tank 101 by cooling the first inner tank 101. Condensed water D thus generated reaches the outer surface of the second inner tank 102 along the inner surface of the first inner tank 101 and the protruding portion 111 as indicated by the white arrow in FIG. Thus, the dew condensation water reaching the outer surface of the second inner tub 102 is held by the stainless wool 112. On the other hand, the gas in the second inner tank 102 is higher than the set temperature due to heat generated from the sample S or the like. For example, when the set temperature is 130 ° C. and the set humidity is 85%, the gas in the second inner tank 102 is higher than 130 ° C. Here, the dew point is 124.6 ° C. Therefore, since the second inner tank 102 has a temperature higher than the dew point, the condensed water held in the stainless wool evaporates. At this time, the evaporation heat of condensed water is taken from the outer surface of the second inner tank 102, so that the second inner tank 102 is cooled, and the gas in the second inner tank 102 is also cooled.

また、例えば設定温度が130℃、設定湿度が85%である場合には、加湿用水の水温が124.6℃に設定される。このように、加湿用水Wの温度は設定温度以下に設定されるので、第2の内槽102内の気体が設定温度より上昇すると、気体の温度と加湿用水Wの温度との間に大きな差が生じる。したがって、ヒートパイプ113を通じて気体から加湿用水Wへ図1の黒塗り矢印の示す方向へと熱が移動する。これによって、第2の内槽102内の気体が冷却される。   For example, when the set temperature is 130 ° C. and the set humidity is 85%, the water temperature of the humidifying water is set to 124.6 ° C. Thus, since the temperature of the humidification water W is set below the set temperature, if the gas in the second inner tank 102 rises above the set temperature, there is a large difference between the temperature of the gas and the temperature of the humidification water W. Occurs. Accordingly, heat moves from the gas to the humidifying water W through the heat pipe 113 in the direction indicated by the black arrow in FIG. Thereby, the gas in the second inner tank 102 is cooled.

以上のとおり、第1の内槽101の内表面に発生した結露水が、突出部111を通じて第2の内槽102へと案内され、その外表面において蒸発する。これによって、第1の内槽101の内表面において結露が発生しても、第2の内槽102の外表面において結露水が蒸発することにより第2の内槽102が冷却され、第2の内槽102内の気体が冷却される。   As described above, the dew condensation water generated on the inner surface of the first inner tank 101 is guided to the second inner tank 102 through the protruding portion 111 and is evaporated on the outer surface thereof. Thereby, even if dew condensation occurs on the inner surface of the first inner tank 101, the second inner tank 102 is cooled by the condensation water evaporating on the outer surface of the second inner tank 102, and the second inner tank 102 is cooled. The gas in the inner tank 102 is cooled.

また、ステンレスウール112により第2の内槽102の外表面に達した結露水が保持される。つまりステンレスウール112は、結露水が第2の内槽102の外表面に沿って流下するのを妨害する役割を果たす。したがって、結露水が第2の内槽102の外表面に留まりやすくなり、結露水が第2の内槽102の下方に流下するまでに外表面において蒸発しやすくなる。   Further, the dew condensation water reaching the outer surface of the second inner tank 102 is held by the stainless wool 112. That is, the stainless wool 112 plays a role of preventing the condensed water from flowing down along the outer surface of the second inner tank 102. Therefore, the dew condensation water tends to stay on the outer surface of the second inner tank 102, and the dew condensation water easily evaporates on the outer surface before flowing down below the second inner tank 102.

さらに、ヒートパイプ113によって第1の内槽101及び第2の内槽102内の気体の熱が加湿用水Wに移動するので気体が冷却されやすい。なお、ヒートパイプ113の材質はできるだけ熱伝導率の大きいものが好ましい。しかし、第1の内槽101及び第2の内槽102内の気体におけるものより大きい熱伝導率を有する材質であればよい。   Furthermore, since the heat of the gas in the first inner tank 101 and the second inner tank 102 moves to the humidifying water W by the heat pipe 113, the gas is easily cooled. The material of the heat pipe 113 is preferably as high as possible. However, any material having a higher thermal conductivity than that in the gas in the first inner tank 101 and the second inner tank 102 may be used.

<変形例>
以上は、本発明の好適な実施の形態についての説明であるが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された内容の限りにおいて様々な変更が可能なものである。
<Modification>
The above is a description of a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made as long as the contents are described in the means for solving the problem. It can be changed.

上述の実施形態においてはステンレスウール112が用いられているが、第2の内槽102の外表面において結露水が下方に流下しにくくなるような部材や構造が用いられればどのようなものでもよい。例えば、第2の内槽102の外表面に水平方向に平行な複数の溝が切られるなどの、外表面の表面積を大きくするような構造が形成されていてもよい。なお、ステンレスウール112のような結露水を保持する部材が用いられる場合には、できるだけ熱伝導率の大きい材料からなる部材であることが好ましい。   In the above-described embodiment, stainless wool 112 is used, but any member or structure that makes it difficult for dewed water to flow down on the outer surface of the second inner tank 102 may be used. . For example, a structure that increases the surface area of the outer surface, such as a plurality of grooves that are parallel to the horizontal direction, may be formed on the outer surface of the second inner tank 102. In addition, when the member holding dew condensation water like stainless steel wool 112 is used, it is preferable that it is a member which consists of a material with as large a thermal conductivity as possible.

また、上述の実施形態においては棒状のヒートパイプ113が用いられているが、棒状とは異なる形状を有する部材が用いられてもよい。例えば、ヒートパイプ113とは異なり、一端が第2の内槽102の内部まで到達し、他端が加湿用水Wに浸されるように調整された形状を有する部材がヒートパイプ113と同様の役割を有する部材として用いられてもよい。   Moreover, although the rod-shaped heat pipe 113 is used in the above-described embodiment, a member having a shape different from the rod shape may be used. For example, unlike the heat pipe 113, a member having a shape adjusted so that one end reaches the inside of the second inner tank 102 and the other end is immersed in the humidifying water W has the same role as the heat pipe 113. It may be used as a member having

また上記の実施形態においては、試験槽100が突出部111及びヒートパイプ113の両方を伴う場合が示されている。しかし、試験槽100がこれらのいずれかを有するものであってもよい。つまり、突出部111及びヒートパイプ113は互いに独立に機能するものであるため、これらのいずれかが設けられていれば、第2の内槽102内の気体が冷却されやすくなるという効果が奏される。   Moreover, in said embodiment, the case where the test tank 100 is accompanied with both the protrusion part 111 and the heat pipe 113 is shown. However, the test tank 100 may have any of these. That is, since the protrusion 111 and the heat pipe 113 function independently of each other, if any of them is provided, an effect is obtained that the gas in the second inner tank 102 is easily cooled. The

また、上述の実施形態においては、試験槽100内に冷却器142が設置されている。しかし、環境試験装置1が冷却器142を有していなくてもよい。このような場合に、第2の内槽102内の気体の温度が過剰に上昇したときには、外槽103の外側からなんらかの冷却手段を用いて試験槽100を冷却したり、外槽103の外部を覆う部材(不図示)などを外槽103から除去することによって試験槽100から放熱しやすくすればよい。   In the above-described embodiment, the cooler 142 is installed in the test tank 100. However, the environmental test apparatus 1 may not have the cooler 142. In such a case, when the temperature of the gas in the second inner tank 102 increases excessively, the test tank 100 is cooled from the outside of the outer tank 103 using some cooling means, or the outside of the outer tank 103 is What is necessary is just to make it easy to radiate heat from the test tank 100 by removing a covering member (not shown) or the like from the outer tank 103.

本発明の一実施形態である環境試験装置の一部断面を含む内部の構成図である。It is an internal block diagram containing the partial cross section of the environmental test apparatus which is one Embodiment of this invention. 図1のII−II線に沿った断面図である。It is sectional drawing along the II-II line of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 環境試験装置
100 試験槽
101 第1の内槽
102 第2の内槽
102a 貫通孔
102b 試料台
103 外槽
111 突出部
112 ステンレスウール
113 ヒートパイプ
131 送風ファン
141 ヒータ
142 冷却器
143 加湿器
144 ヒータ
150 制御装置
S 試料
W 加湿用水
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Environmental test apparatus 100 Test tank 101 1st inner tank 102 2nd inner tank 102a Through-hole 102b Sample stand 103 Outer tank 111 Protruding part 112 Stainless steel wool 113 Heat pipe 131 Blower fan 141 Heater 142 Cooler 143 Humidifier 144 Heater 150 Controller S Sample W Water for humidification

Claims (3)

内部の気体が密封された状態と内部の気体が外部へと開放された状態とを選択的に取る第1の収容槽と、
前記第1の収容槽内に収容されており、内部に試料が収容される第2の収容槽と、
前記第2の収容槽内の気体を加熱する加熱手段と、
前記第2の収容槽内の気体の温度が設定温度になるように前記加熱器を制御する加熱制御手段と、
前記第1の収容槽の内表面に結露が生じた場合に発生する結露水が流下して前記第2の収容槽の外表面に到達するように前記結露水を案内する案内手段とを備えていることを特徴とする環境試験装置。
A first storage tank that selectively takes a state in which the internal gas is sealed and a state in which the internal gas is released to the outside;
A second storage tank that is stored in the first storage tank and in which a sample is stored;
Heating means for heating the gas in the second storage tank;
Heating control means for controlling the heater so that the temperature of the gas in the second storage tank becomes a set temperature;
Guidance means for guiding the condensed water so that the condensed water generated when condensation occurs on the inner surface of the first storage tank flows down and reaches the outer surface of the second storage tank; An environmental testing apparatus characterized by
前記案内手段が、前記第1の収容槽の内表面の結露水が伝わって前記第2の収容槽の外表面へと到達するように前記第1の収容槽の内表面から前記第2の収容槽の外表面に向かって突出した突出部を有していることを特徴とする請求項1に記載の環境試験装置。   The second storing from the inner surface of the first storing tank so that the dew condensation water on the inner surface of the first storing tank is transmitted to the guiding means and reaches the outer surface of the second storing tank. The environmental test apparatus according to claim 1, further comprising a protruding portion protruding toward an outer surface of the tank. 前記第2の収容槽の外表面に、前記案内手段が前記第1の収容槽の内表面から案内した前記結露水が前記第2の収容槽の下方へと流下するのを妨害する結露水流下妨害部を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載の環境試験装置。   Condensed water flow on the outer surface of the second storage tank that prevents the condensed water guided by the guide means from the inner surface of the first storage tank from flowing down to the second storage tank. The environmental test apparatus according to claim 1, further comprising an obstruction part.
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