JP4712591B2 - 光回路モジュール - Google Patents
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PLCと他の光部品を接合して光回路モジュールを形成する目的として、例えば高速化を実現するために必要となる場合がある。例えば、PLCのみで光スイッチを実現する場合、マッハツェンダ(MZ)干渉計を基本素子として用いることが多い。このMZ干渉計はヒータを用いたTO(熱光学)効果を利用してスイッチングを実現していることから、ヒータが安定するまでに時間がかかってしまう。
PLCと他の光部品とを接合する技術の中で、特に半導体光導波路との接合を低損失で実現することがこれまで困難であった。PLCと半導体光導波路とを例えば上記のバットジョイントで接合しようとした場合、PLCのコアのMFDと半導体光導波路のMFDとの差が大きいために、この両者を低損失で接合するのが困難であった。
本発明の光回路モジュールは、個別に製造された光部品を接合することから、該光回路モジュールの歩留まりを大幅に向上させることができ、製造コストを低減することが可能となる。
次に、図2を用いてPLC2と半導体光導波路3との接合方法を以下に説明する。まず、半導体光導波路3をSiサブマウント7上の正確な位置に載置する。そのために、Siサブマウント7上には半導体光導波路3の正確な配置位置を示すアライメントマーカー21を設けている。すなわち、半導体光導波路3はアライメントマーカー21に正確に一致させてSiサブマウント7上に載置する。
本実施形態では、PLC42と半導体光導波路43またはSOA44とを接合しており、それぞれの接合には、上記のアクティブアライメントによる方法を用いている。本発明によれば、PLCと2種類以上の光半導体素子を接合してより高度な光回路モジュールを形成することも容易である。
光回路モジュール61は、PLC62を用いて形成されたMZ(Mach-Zehnder)干渉計63に、PD(Photo-Diode)64を接合させて形成されている。本実施形態の光回路モジュール61によれば、受信信号をMZ干渉計63で1bit遅延させた後、PD64でバランス検波することができる。
2、42、52、62、101・・・PLC
3、31、43、56・・・半導体光導波路
4、53、102・・・基板
5、54、103・・・クラッド
6、55、104・・・コア
7、32、57・・・Siサブマウント
8・・・導波路
21、33・・・アライメントマーカー
44・・・SOA
45・・・光スイッチ
58・・・コア出口部
59・・・導波路
63、66・・・MZ干渉計
64,67・・・PD
68・・・可変位相シフタ
105・・・光カプラ
Claims (3)
- 基板上に積層されたクラッド内に1つ以上のコアからなる光導波路を形成した光導波回路と、
別のコアを有する光半導体素子を1つ以上備える光半導体回路とを具備し、
前記光半導体回路は、前記基板とは別のサブマウント上に前記半導体素子を位置決め固定されることによりなり、
前記コアと前記別のコアのそれぞれの端部の間に間隙を設け、前記コアと前記別のコアとが光学的に結合するように前記基板と前記別のサブマウントとを突合せ接合して前記光導波回路と前記光半導体回路とを一体化する
ことを特徴とする光回路モジュール。 - 前記別のサブマウントは、シリコン製である
ことを特徴とする請求項1に記載の光回路モジュール。 - 前記光導波回路と前記光半導体回路のいずれか一方あるいは両方を2以上具備する
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光回路モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006091972A JP4712591B2 (ja) | 2006-03-29 | 2006-03-29 | 光回路モジュール |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2007264470A JP2007264470A (ja) | 2007-10-11 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009237326A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光集積回路モジュール、このモジュールに用いる光学ベンチ、及び光集積回路モジュールの作製方法 |
JP5839585B2 (ja) * | 2012-08-07 | 2016-01-06 | 日本電信電話株式会社 | マッハツェンダ型マルチチップモジュールの実装方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11211924A (ja) * | 1998-01-21 | 1999-08-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長多重通信用光回路 |
JP2005173162A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路接続モジュールおよびその導波路作製方法 |
-
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH11211924A (ja) * | 1998-01-21 | 1999-08-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長多重通信用光回路 |
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Publication number | Publication date |
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JP2007264470A (ja) | 2007-10-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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