JP4702223B2 - Laser optical device - Google Patents
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Description
本発明は、レーザ光学装置に関し、特に集光したレーザ光を光ファイバ入射面に位置合わせするレーザ光学装置に関する。 The present invention relates to a laser optical device, and more particularly to a laser optical device that aligns focused laser light with an optical fiber incident surface.
レーザ光学装置は、半導体レーザ(以下、LDと称する。)で発光し情報による変調を施されたレーザ信号光を光ファイバに伝達させたり、また、光ファイバから出射されたレーザ信号光を他の光ファイバに伝達させる為の装置であり、LD、LDまたは光ファイバからのレーザ信号光を集光させる集光レンズ、および光ファイバ等の光学部品から構成される。 A laser optical device transmits laser signal light emitted by a semiconductor laser (hereinafter referred to as LD) and modulated by information to an optical fiber, or transmits laser signal light emitted from the optical fiber to other optical signals. It is an apparatus for transmitting to an optical fiber, and is composed of an optical component such as an LD, a condensing lens for condensing laser signal light from the LD or the optical fiber, and an optical fiber.
このようなレーザ光学装置において、LD、集光レンズ等は、コア径が数μmの光ファイバに対して高精度に位置決めしなければならず、通常、これらの光学部品は溶着あるいは接着剤を用いて固定される。 In such a laser optical device, an LD, a condensing lens, etc. must be positioned with high accuracy with respect to an optical fiber having a core diameter of several μm. Usually, these optical components use welding or an adhesive. Fixed.
しかしながら、このように部品の相互位置を接着剤を用いて高精度に位置決め固定することによってレーザ光学装置を構成したとしても、次のような問題点が残される。第1に、このようにレーザ光学装置を製造した場合、接着後、乾燥した後でなければ製品の良否を判定できない点である。また、この様なレーザ光学装置で高い歩留まりを達成することは比較的難しいと考えられる。第2に、性能に経時変化があった場合、修正することが不可能であるという点である。第3に、温度変化により、固定された位置がずれる恐れがあるという点である。特にレーザ光源が光学部品の近くにある場合、レーザ光源の自己発熱による影響は大である。 However, even if the laser optical apparatus is configured by positioning and fixing the mutual positions of the parts with an adhesive in this way, the following problems remain. First, when a laser optical device is manufactured in this way, the quality of a product can only be determined after being bonded and dried. In addition, it is considered relatively difficult to achieve a high yield with such a laser optical device. Second, it is impossible to correct the performance when there is a change over time. Third, there is a possibility that the fixed position may be shifted due to a temperature change. In particular, when the laser light source is in the vicinity of the optical component, the influence of self-heating of the laser light source is significant.
そこで、振動等の機械的条件の変化、周囲温度の変化、経時変化等を含む環境変化に影響されることなく、高い性能を維持できるレーザ光学装置の構成が望まれ、種々検討されてきた。 Therefore, a configuration of a laser optical device capable of maintaining high performance without being affected by environmental changes including changes in mechanical conditions such as vibration, changes in ambient temperature, changes with time, and the like has been desired and variously studied.
例えば、レーザ光源からのレーザ信号光を光ファイバに向けて集光させる集光レンズと、集光レンズを移動させるためのアクチュエータと、光ファイバ内に導かれたレーザ信号光の強度を検出する光検出器と、レーザ信号光を偏向する光偏向手段と、光検出器の出力を光偏向手段に負帰還制御する制御手段と、を有する構成とし、制御手段は、光偏向手段によってレーザ信号光をX方向またはY方向で一定周期、一定振幅で微小振動(ウォブリング)させつつ光検出器でレーザ信号光の強度変化を検出し、その結果に基づいて、レーザ信号光の光ファイバ入射面内におけるコア中心からのずれを把握し、レーザ信号光をコア中心に向けるように制御する光通信装置の技術(特許文献1参照)が知られている。
ところで、通信データや画像データ等の情報による変調が施されたレーザ信号光は、ウォブリング等によるレーザ信号光の強度変化に影響されることなく情報を正確に伝送することが要求される。 By the way, the laser signal light modulated by information such as communication data and image data is required to transmit information accurately without being influenced by the intensity change of the laser signal light due to wobbling or the like.
しかしながら、特許文献1に開示されている光通信装置においては、ウォブリングによるレーザ信号光の強度変化を考慮し、該強度変化に影響されることなく情報を正確に伝送する為の対応を示唆するものではなかった。
However, in the optical communication device disclosed in
本発明は、上記課題を鑑みてなされたもので、情報による変調を施され集光されたレーザ信号光を光ファイバ入射面に位置合わせするレーザ光学装置において、正確に情報を伝送し、高い性能を維持することが可能なレーザ光学装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and in a laser optical device that aligns a laser signal light modulated and condensed by information with an optical fiber incident surface, accurately transmits information and has high performance. An object of the present invention is to provide a laser optical device capable of maintaining the above.
上記目的は、下記の1から6のいずれか1項に記載の発明によって達成される。 The above object is achieved by the invention described in any one of 1 to 6 below.
1.情報による変調を施されたレーザ信号光を出射するレーザ光出射部と、
前記レーザ光出射部より出射されたレーザ信号光を受光するレーザ光受光部と、
前記レーザ光出射部より出射されたレーザ信号光を前記レーザ光受光部に導く集光光学ユニットと、
前記集光光学ユニットを移動させるアクチュエータと、
前記レーザ光受光部に導入されたレーザ信号光の強度を検出する強度検出部と、
前記アクチュエータの駆動を制御する制御部と、を有するレーザ光学装置において、
前記情報は、制御信号とデータ信号とを含み、
前記制御信号は、一定の周期で繰返し出力され、
前記制御部は、
前記レーザ信号光に含まれる前記制御信号に同期して、前記データ信号が出力されていない期間に、前記集光光学ユニットを微小振幅で往復させるように前記アクチュエータを駆動して、前記強度検出部で検出されたレーザ信号光の強度に基づいて、前記集光光学ユニットによって導かれるレーザ信号光と前記レーザ光受光部との位置合わせを繰り返すことを特徴とするレーザ光学装置。
1. A laser beam emitting unit that emits laser signal light modulated by information;
A laser light receiving part for receiving the laser signal light emitted from the laser light emitting part;
A condensing optical unit for guiding the laser signal light emitted from the laser light emitting unit to the laser light receiving unit;
An actuator for moving the condensing optical unit;
An intensity detector that detects the intensity of the laser signal light introduced into the laser beam receiver;
A laser optical device having a control unit that controls driving of the actuator;
The information includes a control signal and a data signal,
The control signal is repeatedly output at a constant period,
The controller is
In synchronism with the control signal included in the laser signal light, the intensity detection unit drives the actuator to reciprocate the condensing optical unit with a minute amplitude during a period when the data signal is not output. A laser optical device that repeats alignment of the laser signal light guided by the condensing optical unit and the laser light receiving unit based on the intensity of the laser signal light detected in step (1) .
2.前記情報は、通信情報あるいは画像情報であることを特徴とする前記1に記載のレーザ光学装置。 2. 2. The laser optical device according to 1 above , wherein the information is communication information or image information .
3.前記制御信号は、前記情報に含まれる同期信号であることを特徴とする前記1または2に記載のレーザ光学装置。 3. 3. The laser optical apparatus according to 1 or 2, wherein the control signal is a synchronization signal included in the information .
4.前記アクチュエータは、前記集光光学ユニットを、その光軸に垂直な直交する2方向に移動させることを特徴とする前記1から3のいずれか1項に記載のレーザ光学装置。
4). The actuator pre Symbol converging optical unit, a laser optical apparatus according to any one of the
5.前記制御信号は、一定の周期で繰返し出力され、
前記制御部は、隣接する少なくとも2つの、前記制御信号に同期して、前記データ信号が出力されていない期間に前記集光光学ユニットが1サイクルの位置合わせを行うように前記アクチュエータを駆動することを特徴とする前記1から4のいずれか1項に記載のレーザ光学装置。
5. The control signal is repeatedly output at a constant period,
The controller drives the actuator so that the condensing optical unit performs one-cycle alignment in a period in which the data signal is not output in synchronization with at least two adjacent control signals. 5. The laser optical device according to any one of 1 to 4 , wherein:
6.前記アクチュエータは、圧電素子と、該圧電素子とともに振動できるように固定された振動体と、該振動体に摩擦係合された移動体と、を有し、
前記集光光学ユニットが前記移動体に搭載されたことを特徴とする前記1から5のいずれか1項に記載のレーザ光学装置。
6). The actuator includes a piezoelectric element, a vibrating body fixed so as to vibrate with the piezoelectric element, and a moving body frictionally engaged with the vibrating body,
6. The laser optical device according to any one of 1 to 5, wherein the condensing optical unit is mounted on the moving body .
本発明によれば、レーザ信号光に含まれる所定の信号に同期した所定の期間にアクチュエータを駆動させて集光光学ユニットを移動させ、集光光学ユニットによって導かれるレーザ信号光とレーザ光受光部との位置合わせを行う様にした。すなわち、通信情報や画像情報等の情報による変調が施されたレーザ信号光において、該レーザ信号光がレーザ光受光部の入射面内の中心に向かうように制御を行う場合、通信情報や画像情報等の情報に含まれる制御信号、例えばスタートビットまたはストップビットあるいは同期信号等に同期した所定の期間にアクチュエータを駆動させる様にした。したがって、通信情報や画像情報等に含まれるデータ信号が出力されている間はアクチュエータの駆動は停止されていることから、集光光学ユニットの位置は固定されている。これにより、データ信号は、位置制御動作によるレーザ信号光の強度変化に影響されることなく正確に伝送されることが可能となる。また、位置制御動作は、間断なく実行することなく、例えば制御信号や同期信号が出力されている間にのみ実行する様にしたので、消費電力の増加を抑制することができる。 According to the present invention, the actuator is driven to move the condensing optical unit during a predetermined period synchronized with the predetermined signal included in the laser signal light, and the laser signal light and the laser light receiving unit guided by the condensing optical unit Aligned with. That is, in the case of controlling the laser signal light modulated by information such as communication information and image information so that the laser signal light is directed toward the center of the incident surface of the laser light receiving unit, the communication information and image information The actuator is driven during a predetermined period synchronized with a control signal included in the information such as a start bit, a stop bit, or a synchronization signal. Therefore, the actuator is stopped while a data signal included in communication information, image information, or the like is being output, so the position of the condensing optical unit is fixed. As a result, the data signal can be transmitted accurately without being influenced by the intensity change of the laser signal light caused by the position control operation. Further, since the position control operation is executed without interruption, for example, only while the control signal or the synchronization signal is output, an increase in power consumption can be suppressed.
また、アクチュエータは、圧電素子と、該圧電素子とともに振動できるように固定された振動体と、該振動体に摩擦係合され移動体と、を備え、該移動体に搭載された集光光学ユニットを移動させて、集光光学ユニットによって導かれるレーザ信号光とレーザ光受光部との位置合わせを行う様にした。すなわち、微小振動を行うことができる振動体により集光光学ユニットを移動させる様にしたので、高分解能、高精度でサブミクロンオーダの位置制御が可能となり、いつも高い性能を維持することができる。また、アクチュエータは摩擦係合を利用して集光光学ユニットを移動させるので、アクチュエータへの通電を停止し駆動を停止させている間、集光光学ユニットは姿勢を維持することができる。したがって、消費電力の増加を招くことなく容易に集光光学ユニットの位置を固定することができる。 The actuator includes a piezoelectric element, a vibrating body fixed so as to vibrate together with the piezoelectric element, and a moving body frictionally engaged with the vibrating body, and a condensing optical unit mounted on the moving body The laser signal light guided by the condensing optical unit and the laser light receiving unit are aligned. That is, since the condensing optical unit is moved by a vibrating body capable of performing minute vibrations, sub-micron order position control is possible with high resolution and high accuracy, and high performance can always be maintained. Further, since the actuator moves the condensing optical unit using frictional engagement, the condensing optical unit can maintain the posture while the energization to the actuator is stopped and the driving is stopped. Therefore, the position of the condensing optical unit can be easily fixed without increasing the power consumption.
以下図面に基づいて、本発明に係るレーザ光学装置の実施の形態を説明する。尚、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限られない。 Embodiments of a laser optical device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, although this invention is demonstrated based on embodiment of illustration, this invention is not limited to this embodiment.
最初に、レーザ光学装置1の構成を図1を用いて説明する。図1は、レーザ光学装置1の全体構成の概要を示す図である。
First, the configuration of the laser
レーザ光学装置1は、図1に示す様に、光ファイバ21,22、集光光学ユニット3、コリメータレンズ41,42、ハーフミラー5、フォトダイオード6、制御部7、およびアクチュエータ8,9等を有する。
As shown in FIG. 1, the laser
光ファイバ21,22、集光光学ユニット3、コリメータレンズ41,42は共通の光軸上に配置され、光ファイバ21より出射されたレーザ光は、集光光学ユニット3によって光ファイバ22の入射面22aに向けて集光される。この様に光ファイバ21,22は、それぞれ本発明に係るレーザ光学装置におけるレーザ光出射部、レーザ光受光部として機能する。尚、レーザ光出射部としては、光ファイバ21の替わりにLDを、また、レーザ光受光部としては、光ファイバ22の替わりに光導波路等を用いてもよい。尚、例えば、光ファイバの場合、入射面の大きさは直径10μmであり、導波路の場合、入射面の大きさは2μm×1μmである。
The
ハーフミラー5は、光ファイバ22の出射面22bから出射されたレーザ光の一部を反射させてフォトダイオード6に導く。
The
フォトダイオード6は、本発明における強度検出部に該当し、ハーフミラー5で導かれたレーザ光の強度を検出し電気信号に変換する。
The
制御部7は、フォトダイオード6で検出されたレーザー光の強度に基づいて、アクチュエータ8,9を介して集光光学ユニット3の位置を変化させ、集光光学ユニット3によって導かれるレーザ光が光ファイバ22の入射面22a内の中心に向かうようにアクチュエータ8,9の作動を制御する。尚、制御部によるアクチュエータ8,9の制御の詳細は後述する。
The
アクチュエータ8,9は、後述の積層型、またはロール型の圧電素子811と、圧電素子811とともに振動できるように固定され、本発明における振動体に該当する駆動軸812と、駆動軸812に摩擦係合された移動体814と、を備え、移動体814に搭載された集光光学ユニット3を移動させる。アクチュエータ8は、集光光学ユニット3を、その光軸に垂直な面内の1つの軸方向(X軸方向)で移動させることができ、一方、アクチュエータ9は、集光光学ユニット3を、その光軸に垂直な面内でX軸方向と直交するY軸方向で移動させることができる。尚、アクチュエータ8,9の構成は後述する。
The
次に、集光光学ユニット3の構成、およびアクチュエータ8,9の配置について図2を用いて説明する。図2は、集光光学ユニット3、およびアクチュエータ8,9から構成されるX−Yステージの構成図である。
Next, the configuration of the condensing
図2に示す様に、集光光学ユニット3は、集光レンズ301と集光レンズ301を保持するレンズホルダ302等を有し、アクチュエータ8,9によりX軸方向、Y軸方向に移動可能に支持されている。
As shown in FIG. 2, the condensing
次に、アクチュエータ8,9の構成を図3を用いて説明する。図3(a)は、積層型圧電素子を備えたトラス型アクチュエータの構成図、図3(b)は、圧電素子を固定した素子固定型アクチュエータの構成図、図3(c)は、駆動軸を固定した軸固定型アクチュエータの構成図である。トラス型アクチュエータ、素子固定型アクチュエータ、軸固定型アクチュエータは、いずれも圧電素子とともに振動する振動体を備えた周知のアクチュエータである。本発明に係るレーザ光学装置の実施の形態においてはこの様な振動体を備えたいずれのアクチュエータを用いてもよいが、ここでは素子固定型アクチュエータの構成の概要を説明する。尚、素子固定型アクチュエータの詳細は、例えば特開2002−185055号公報「圧電変換素子」等に開示されているので、ここでは詳細な説明は省略する。また、アクチュエータ9の構成はアクチュエータ8と同様であるので説明は省略する。
Next, the configuration of the
図3(b)に示す様に、素子固定型アクチュエータ8は、圧電素子811、駆動軸812、錘813、および移動体814等を有し、錘8113が筐体等に固定され、電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子811に制御部7より駆動信号を入力して微小振動を発生させ、駆動軸812を矢印A方向に振動させることにより、駆動軸812に摩擦係合された移動体814との間で摩擦力により相対運動を発生させるものである。尚、ここでは、レンズホルダ302が移動体814に該当する。
As shown in FIG. 3B, the element-fixed
次に、レーザ光学装置1の電気回路構成について図4を用いて説明する。図4は、レーザ光学装置1の電気回路ブロック図である。
Next, the electric circuit configuration of the laser
レーザ光学装置1の要部電気回路ブロックは、アナログ信号処理回路10、制御部7等から構成される。
The main electric circuit block of the laser
アナログ信号処理回路10は、フォトダイオード6で検出されレーザ光の強度に応じて変換された電流信号を電圧信号に変換する。
The analog
制御部7は、ローパスフィルタ71、およびA/D変換器721、アライメントコントローラ723、X−PWM724、Y−PWM725等からなる制御CPU72、およびX−増幅器731、Y−増幅器732等からなる駆動回路73から構成される。
The
ローパスフィルタ71は、アナログ信号処理回路10から出力された電圧信号に重畳した高周波ノイズを除去する。
The
A/D変換器721は、ローパスフィルタ71から出力された電圧信号をデジタル信号に変換する。
The A /
アライメントコントローラ723は、A/D変換器721でサンプリングされたデジタル信号を矩形波位相検波し、矩形波位相検波した結果に基づき、アクチュエータ8,9を駆動する為の駆動信号(駆動パルス)の3つのパラメータ、すなわち、駆動周波数、デューティ比、およびパルス数の値を設定する。尚、アライメントコントローラ723で行われる矩形波位相検波、およびパラメータ設定動作の詳細は後述する。
The
X−PWM724、Y−PWM725は、アライメントコントローラ723で設定された3つのパラメータに基づいて、アクチュエータ8,9を、それぞれX軸方向、Y軸方向に駆動する駆動パルスを生成する。
ここで、アライメントコントローラ723で行われるパラメータ設定動作、およびX−PWM724、Y−PWM725の動作を図6を用いて説明する。図6(a)は、3つのパラメータを示す図、図6(b)は、設定された3つのパラメータに基づいて生成された前進時の駆動パルスを示すタイムチャート、図6(c)は、設定された3つのパラメータに基づいて生成された後退時の駆動パルスを示すタイムチャートである。
Here, the parameter setting operation performed by the
アライメントコントローラ723は、図示しない時間を計時する計時カウンターを備え、A/D変換器721でサンプリングされたデジタル信号に基づいて計時カウンターの閾値TC3を設定する。計時カウンターは、図6(a)に示す様に、設定された閾値TC3でリセットされ、再度計時を繰り返す。これにより、タイマーカウント波形は三角波を呈し、この三角波の周波数が駆動パルスの周波数となる。次に、アライメントコントローラ723は、A/D変換器721でサンプリングされたデジタル信号に基づいて計時カウンターの閾値TC1,TC2を設定する。これらの閾値TC1,TC2によってそれぞれ前進時、後退時の駆動パルスのON時間、すなわちデューティ比が設定される。また、同様にして、アライメントコントローラ723は、A/D変換器721でサンプリングされたデジタル信号に基づいて計時カウンターの計時時間twcを設定する。これにより、駆動パルスのパルス数が設定される。
The
この様にしてアライメントコントローラ723で閾値TC3,TC1,TC2、およびtwcが設定されると、X−PWM724、Y−PWM725は、図6(b)、(c)に示す様に、閾値TC3,TC1,TC2、およびtwcに基づいた駆動周波数、デューティ比、およびパルス数で前進時、および後退時の駆動パルスφPWM1、φPWM2を生成する。尚、図6(a)乃至(c)は、設定されたパルス数が3パルスの場合のタイムチャートを示す。
When the threshold values TC3, TC1, TC2, and twc are set by the
図4に戻って、X−増幅器731、Y−増幅器732は、それぞれ図5に示す周知のHブリッジ回路を備え、X−PWM724、Y−PWM725で生成された駆動パルスを増幅し、アクチュエータ8,9を駆動する。
Returning to FIG. 4, each of the X-amplifier 731 and the Y-
この様な構成のレーザ光学装置1において、制御部7は、フォトダイオード6で検出されたレーザ光の強度、すなわち、A/D変換器721でサンプリングされたデジタル信号を矩形波位相検波し、矩形波位相検波した結果に基づいて、アクチュエータ8,9を駆動する為の駆動パルスの3つのパラメータの値を設定する。そして制御部7は、設定した3つのパラメータに基づいた駆動パルスでアクチュエータ8,9を駆動し、集光光学ユニット3の位置を変化させ、集光光学ユニット3によって導かれるレーザ光が光ファイバ22の入射面22a内の中心に向かうように制御する。尚、この様な一連の動作を、以下、「ウォブリング」と称する。
In the laser
ここで、制御部7で行われる矩形波位相検波動作を図7を用いて説明する。図7(a)は、光ファイバ22への入射面22aに投影されたレーザ光のX軸方向のプロファイル、図7(b)は、矩形波位相検波動作を示す模式図である。尚、Y軸方向の矩形波位相検波動作は、X軸方向と同様であるので説明は省略する。
Here, the rectangular wave phase detection operation performed by the
例えば、今、図7(a)に示す様に、集光光学ユニット3によって導かれるレーザ光の光ファイバ22への入射面22a内における位置がX0にあり、その時のフォトダイオード6で検出されたレーザー光の強度がP0である時に矩形波位相検波を開始する。
尚、ここでは、矩形波位相検波の振幅は前述の図6に示す駆動パルスφPWM1、φPWM2で2パルスとする。
For example, as shown in FIG. 7A, the position of the laser beam guided by the condensing
Here, the amplitude of the rectangular wave phase detection is assumed to be two pulses by the drive pulses φPWM1 and φPWM2 shown in FIG.
最初に、正方向に2パルス移動して停止する。この時、レーザ光の位置はX0からX1に移動し、レーザ光の強度はP0からP1に変動する。A/D変換器721は、レーザ光の強度P1を所定の時間サンプリングし、アライメントコントローラ723は、サンプリングされたレーザ光の強度P1を積分する。積分されたレーザ光の強度を図7(b)にPI1として示す。次に、負方向に4パルス移動して停止する。この時、レーザ光の位置はX1からX2に移動し、レーザ光の強度はP1からP2に変動する。A/D変換器721は、レーザ光の強度P2を所定の時間サンプリングし、アライメントコントローラ723は、サンプリングされたレーザ光の強度P2を積分する。積分されたレーザ光の強度を図7(b)にPI2として示す。次に、正方向に2パルス移動して停止する。そして、それぞれの位置で得られた積分値PI1とPI2の差分を求める。該差分を図7(b)にΔPIとして示す。尚、この様にして求められた差分ΔPIを、以下、「矩形波位相検波出力」と称する。
First, it stops by moving two pulses in the positive direction. At this time, the position of the laser beam moves from X0 to X1, and the intensity of the laser beam varies from P0 to P1. The A /
ここで、矩形波位相検波出力ΔPIについて図8を用いて説明する。図8(a)は、光ファイバ22への入射面22aに投影されたレーザ光のX軸方向のプロファイル、図8(b)は、図8(a)に示すプロファイルに対応する矩形波位相検波出力ΔPIを示す模式図である。図8(b)に示す様に、レーザ光の強度が最大になる位置、すなわち光ファイバ22の入射面22a内の中心では矩形波位相検波出力ΔPIは0になり、レーザ光の強度が最大になる位置の左右では正負の値をとる。
Here, the rectangular wave phase detection output ΔPI will be described with reference to FIG. 8A shows a profile in the X-axis direction of the laser light projected onto the
図7に戻って、この様にして求められた矩形波位相検波出力ΔPIに、予め設定しておいた係数(ゲイン)を乗じて補正量(補正パルス数)を求め、求めた補正パルス数で移動させる。そして、この様な動作を繰り返して矩形波位相検波出力ΔPIが0に近づく様に制御する。すなわち、集光光学ユニット3によって導かれるレーザ光が光ファイバ22の入射面22a内の中心に向かうように制御する。
Returning to FIG. 7, the rectangular wave phase detection output ΔPI obtained in this way is multiplied by a coefficient (gain) set in advance to obtain a correction amount (correction pulse number), and the calculated correction pulse number. Move. Such operations are repeated so that the rectangular wave phase detection output ΔPI is controlled to approach zero. That is, the laser light guided by the condensing
次に、ウォブリング動作の流れを図9、および図10を用いて説明する。図9は、ウォブリング動作の流れを示すフローチャートである。図10は、ウォブリング動作のタイムチャートである。 Next, the flow of the wobbling operation will be described with reference to FIG. 9 and FIG. FIG. 9 is a flowchart showing the flow of the wobbling operation. FIG. 10 is a time chart of the wobbling operation.
最初に、X軸方向のウォブリング動作を実行する。まず、アライメントコントローラ723は、図10(a)に示す期間tw1においてウォブリング動作を行う為の正方向(前進方向)の駆動パルス数(例えば、2パルス)を設定し、アクチュエータ8を介して集光光学ユニット3をX軸の正方向に2パルス分移動させる(ステップS1)。集光光学ユニット3が移動を停止し、レーザ光の光ファイバ22への入射面22a内における位置が安定すると、A/D変換器721は、サンプリングを開始し(ステップS2)、アライメントコントローラ723は、期間tw2においてA/D変換器721でサンプリングされたレーザ光の強度を積分し、積分値PI1を取得する(ステップS3)。次に、アライメントコントローラ723は、期間tw3において負方向(後退方向)の駆動パルス数(例えば、4パルス)を設定し、アクチュエータ8を介して集光光学ユニット3をX軸の負方向に4パルス分移動させる(ステップS4)。集光光学ユニット3が移動を停止し、レーザ光の光ファイバ22への入射面22a内における位置が安定すると、ステップS2、ステップS3と同様にして、A/D変換器721は、サンプリングを開始し(ステップS5)、アライメントコントローラ723は、期間tw4においてA/D変換器721でサンプリングされたレーザ光の強度を積分し、積分値PI2を取得する(ステップS6)。そして、アライメントコントローラ723は、期間tw5において正方向(前進方向)の駆動パルス数(例えば、2パルス)を設定し、アクチュエータ8を介して集光光学ユニット3をX軸の正方向に2パルス分移動させる(ステップS7)。
First, the wobbling operation in the X-axis direction is executed. First, the
尚、ステップ4において、集光光学ユニット3をX軸の負方向(後退方向)に4パルス分移動させる際には、アクチュエータ8の立ち上がりの過渡時における1パルス毎の駆動量のばらつきを抑える為に、最初に2パルスで駆動し、一旦停止した後に残りの2パルスを駆動する様にしている。
In step 4, when the condensing
この様にして、積分値PI1、PI2が取得されると、アライメントコントローラ723は、期間tw6において積分値PI1からPI2を減算し差分ΔPIを求め(ステップS8)、差分ΔPIの値が正か否かを判定する(ステップS9)。差分ΔPIの値が正の場合(ステップS9;Yes)、光ファイバ22への入射面22aに投影されるレーザ光の強度が最大になる位置はさらに正方向(前進方向)に有ることから、アライメントコントローラ723は、期間tw7において差分ΔPIに予め設定しておいた係数(ゲイン)を乗じて正方向(前進方向)の補正量(補正パルス数)を求め、求めた補正パルス数でアクチュエータ8を介して集光光学ユニット3をX軸の正方向に補正パルス分移動させる(ステップS10)。一方、ステップS9において、差分ΔPIの値が負の場合(ステップS9;No)、光ファイバ22への入射面22aに投影されるレーザ光の強度が最大になる位置は負方向(後退方向)に有ることから、アライメントコントローラ723は、ステップS10と同様にして、負方向(後退方向)の補正量(補正パルス数)を求め、求めた補正パルス数でアクチュエータ8を介して集光光学ユニット3をX軸の負方向に補正パルス分移動させる(ステップS11)。
In this way, when the integral values PI1 and PI2 are acquired, the
この様にして、X軸方向のウォブリング動作が期間twXにおいて1サイクル終了すると、次に、ステップS1乃至ステップS11と同様にして、図10(b)に示す期間twYにおいてY軸方向のウォブリング動作を1サイクル実行する(ステップS12)。そして、この様なX軸方向のウォブリング動作とY軸方向のウォブリング動作をシーケンシャルに繰り返して実行することにより、差分ΔPIが0、すなわち、集光光学ユニット3によって導かれるレーザ光が光ファイバ22の入射面22a内の中心に向かうようにすることができる。
In this way, when one cycle of the wobbling operation in the X-axis direction is completed in the period twX, the wobbling operation in the Y-axis direction is then performed in the period twY shown in FIG. 10B in the same manner as in steps S1 to S11. One cycle is executed (step S12). Then, the difference ΔPI is 0, that is, the laser beam guided by the condensing
尚、前述の実施形態では、X軸方向のウォブリング動作とY軸方向のウォブリング動作をシーケンシャルに交互に切替えて繰り返し実行する様にしたが、X軸方向のウォブリング動作とY軸方向のウォブリング動作の周波数を所定の関係を満たすように設定し、同時に実行する様にしてもよい。 In the above-described embodiment, the wobbling operation in the X-axis direction and the wobbling operation in the Y-axis direction are switched alternately and repeatedly, but the wobbling operation in the X-axis direction and the wobbling operation in the Y-axis direction are repeated. The frequency may be set so as to satisfy a predetermined relationship and executed simultaneously.
具体的には、図11を用いて説明する。図11は、別例によるウォブリング動作のタイムチャートである。 Specifically, this will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a time chart of a wobbling operation according to another example.
ここで、X軸方向のウォブリング動作の周波数をf1、Y軸方向のウォブリング動作の周波数をf2としたときに、f1、f2は下記(式1)または(式2)の関係を満たす値に設定する。
f1=2×n×f2 (式1)
f2=2×n×f1 (式2)
(式中、nは正の整数とする。)
これにより、例えば、Y軸方向のウォブリング動作の周波数f2がX軸方向のウォブリング動作の周波数f1の2倍であるとき、図11(b)に示す様に、Y軸方向のウォブリング動作を実行している間は、レーザ光の光ファイバ22への入射面22a内のX軸方向における位置は、図11(a)に示す様に、ホールドされているので、レーザ光のX軸方向における位置変化によりレーザ光の強度が変動することはない。したがって、レーザ光のY軸方向における位置制御を、X軸方向のウォブリング動作に影響されることなく高精度で行うことができる。その結果、X軸方向のウォブリング動作とY軸方向のウォブリング動作を同時に実行することができ、ウォブリング動作を高速化することができる。
Here, when the frequency of the wobbling operation in the X-axis direction is f1, and the frequency of the wobbling operation in the Y-axis direction is f2, f1 and f2 are set to values satisfying the relationship of the following (Expression 1) or (Expression 2). To do.
f1 = 2 × n × f2 (Formula 1)
f2 = 2 × n × f1 (Formula 2)
(In the formula, n is a positive integer.)
Thus, for example, when the frequency f2 of the wobbling operation in the Y-axis direction is twice the frequency f1 of the wobbling operation in the X-axis direction, the wobbling operation in the Y-axis direction is executed as shown in FIG. During this time, the position of the laser beam in the X-axis direction within the
次に、この様な構成のレーザ光学装置1において、通信情報による変調が施されたレーザ信号光に対して行われるウォブリング動作のタイミングについて図12を用いて説明する。図12(a)は、調歩同期式のシリアル通信データに対して行われる一例によるウォブリング動作のタイミング、図12(b)は、調歩同期式のシリアル通信データに対して行われる別例によるウォブリング動作のタイミング、図12(c)は、クロック同期式のシリアル通信データに対して行われるウォブリング動作のタイミングを示すタイムチャートである。
Next, the timing of the wobbling operation performed on the laser signal light modulated by the communication information in the laser
最初に、調歩同期式のシリアル通信データに対して行われる一例によるウォブリング動作のタイミングについて図12(a)を用いて説明する。 First, the timing of a wobbling operation according to an example performed for asynchronous serial communication data will be described with reference to FIG.
調歩同期式のシリアル通信データSDは、図12(a)に示す様に、スタートビットSTB、データビット(データ信号)DTB、パリティビットPTB、ストップビットSPBから構成され、スタートビットSTBとデータビット(データ信号)DTBとの間に所定の期間Highレベルを出力する期間tw1が設けられている。 Asynchronous serial communication data SD includes a start bit STB, a data bit (data signal) DTB, a parity bit PTB, and a stop bit SPB, as shown in FIG. A period tw1 for outputting a high level for a predetermined period is provided between the data signal and DTB.
この様な構成のシリアル通信データSDに対して、本発明における制御信号に該当するスタートビットSTBに同期して期間tw1内にウォブリング動作を行う。 For the serial communication data SD having such a configuration, a wobbling operation is performed within the period tw1 in synchronization with the start bit STB corresponding to the control signal in the present invention.
次に、調歩同期式のシリアル通信データに対して行われる別例によるウォブリング動作のタイミングについて図12(b)を用いて説明する。 Next, the timing of a wobbling operation according to another example performed for asynchronous serial communication data will be described with reference to FIG.
調歩同期式のシリアル通信データSDは、図12(b)に示す様に、スタートビットSTB、データビット(データ信号)DTB、パリティビットPTB、ストップビットSPBから構成され、ストップビットSPBに続いて所定の期間Highレベルを出力する期間tw2が設けられている。 Asynchronous serial communication data SD is composed of a start bit STB, a data bit (data signal) DTB, a parity bit PTB, and a stop bit SPB, as shown in FIG. 12B, followed by a predetermined bit following the stop bit SPB. A period tw2 for outputting the High level is provided.
この様な構成のシリアル通信データSDに対して、本発明における制御信号に該当するストップビットSPBに同期して、期間tw2内にウォブリング動作を行う。 For the serial communication data SD having such a configuration, a wobbling operation is performed within the period tw2 in synchronization with the stop bit SPB corresponding to the control signal in the present invention.
次に、クロック同期式のシリアル通信データおよびクロックに対して行われるウォブリング動作のタイミングについて図12(c)を用いて説明する。 Next, the timing of the wobbling operation performed on the clock synchronous serial communication data and the clock will be described with reference to FIG.
クロック同期式のシリアル通信データSDおよびクロックCLKは、図12(c)に示す様に、データビット(データ信号)DTBが出力される前の任意のクロックCLK1に同期して所定の期間Highレベルを出力する期間tw3が設けられている。 As shown in FIG. 12C, the clock-synchronized serial communication data SD and the clock CLK have a high level for a predetermined period in synchronization with an arbitrary clock CLK1 before the data bit (data signal) DTB is output. An output period tw3 is provided.
この様な構成のシリアル通信データSDおよびクロックCLKに対して、任意のクロックCLK1に同期して、期間tw3内にウォブリング動作を行う。 For the serial communication data SD and the clock CLK having such a configuration, a wobbling operation is performed within the period tw3 in synchronization with an arbitrary clock CLK1.
この様に、本発明に係るレーザ光学装置1においては、シリアル通信データによる変調が施されたレーザ信号光に対してウォブリング動作を行う場合、シリアル通信データSDに含まれるスタートビットSTBまたはストップビットSPB、あるいは任意のクロックCLK1等にそれぞれ同期した期間tw1、tw2、tw3内にウォブリング動作を行う様にした。したがって、シリアル通信データSDに含まれるデータビット(データ信号)DTBが出力されている期間twDはウォブリング動作は実行されることなくアクチュエータ8,9の駆動は停止されていることから、集光光学ユニット3の位置は固定されている。これにより、データビット(データ信号)DTBは、ウォブリング動作によるレーザ信号光の強度変化に影響されることなく正確に伝送されることが可能となる。また、ウォブリング動作は、間断なく実行することなく、期間tw1、tw2、tw3内にのみ実行する様にしたので、消費電力の増加を抑制することができる。
As described above, in the laser
次に、画像情報による変調が施されたレーザ信号光に対して行われるウォブリング動作のタイミングについて図13を用いて説明する。図13(a)は、画像データに対して行われる一例によるウォブリング動作のタイミング、図13(b)は、画像データに対して行われる別例によるウォブリング動作のタイミングを示すタイムチャートである。 Next, the timing of the wobbling operation performed on the laser signal light modulated by the image information will be described with reference to FIG. FIG. 13A is a timing chart illustrating an example of the wobbling operation performed on the image data, and FIG. 13B is a time chart illustrating the timing of another example of the wobbling operation performed on the image data.
最初に、画像データに対して行われる一例によるウォブリング動作のタイミングについて図13(a)を用いて説明する。 First, the timing of the wobbling operation according to an example performed on the image data will be described with reference to FIG.
図13(a)に示す様に、垂直同期信号VDに同期して垂直同期信号VDが出力されている期間tw5内にウォブリング動作を行う。これにより、画像信号(データ信号)が出力されている期間twSはウォブリング動作は実行されることなくアクチュエータ8,9の駆動は停止されていることから、集光光学ユニット3の位置は固定されている。したがって、画像信号(データ信号)は、ウォブリング動作によるレーザ信号光の強度変化に影響されることなく正確に伝送されることが可能となる。また、フレーム毎にウォブリング動作が1サイクル完了し、レーザ信号光の位置、すなわち強度が適正化されるのでSN比の良好な画像信号(データ信号)が得られる。尚、ウォブリング動作は、垂直同期信号VDの替わりに垂直帰線期間内、また、水平同期信号が出力されている期間内に行う様にしてもよい。
As shown in FIG. 13A, the wobbling operation is performed within a period tw5 in which the vertical synchronization signal VD is output in synchronization with the vertical synchronization signal VD. Accordingly, during the period twS during which the image signal (data signal) is output, the driving of the
次に、画像データに対して行われる別例によるウォブリング動作のタイミングについて図13(b)を用いて説明する。 Next, the timing of the wobbling operation according to another example performed on the image data will be described with reference to FIG.
図13(b)に示す様に、集光光学ユニット3を垂直同期信号VDに同期して、第1フレームでは例えば正方向に移動させ、第2フレームでは負方向に移動させる。そして、第3フレームで、第1フレームおよび第2フレームにより得られた矩形波位相検波出力ΔPIに基づいた補正量で移動させる。この様に、例えば3つのフレームに渡って1サイクルのウォブリング動作を行うことにより、矩形波位相検波期間を長くすることができる。この様に、1サイクルの位置合わせを複数の期間にまたがって行うことで矩形波位相検波のSN比を向上させることができる。
As shown in FIG. 13B, the condensing
この様に、本発明に係るレーザ光学装置1においては、通信データや画像データ等の情報による変調が施されたレーザ信号光において、該レーザ信号光が光ファイバ22の入射面22a内の中心に向かうように制御を行う場合、通信データや画像データの情報に含まれる制御信号、例えばスタートビットSTBまたはストップビットSPB、あるいは任意のクロックCLK1、また、垂直同期信号VD等にそれぞれ同期した期間tw1、tw2、tw3、tw5にアクチュエータ8,9を駆動させる様にした。したがって、通信データや画像データ等に含まれるデータビットDTBや画像信号等のデータ信号が出力されている間はアクチュエータ8,9の駆動は停止されていることから、集光光学ユニット3の位置は固定されている。これにより、データビットDTBや画像信号等のデータ信号は、ウォブリング動作によるレーザ信号光の強度変化に影響されることなく正確に伝送されることが可能となる。また、ウォブリング動作は、間断なく実行することなく、例えば期間tw1、tw2、tw3、tw5にのみ実行する様にしたので、消費電力の増加を抑制することができる。
As described above, in the laser
また、圧電素子811と、該圧電素子811とともに振動できるように固定された振動体(駆動軸812)と、該振動体に摩擦係合され移動体814と、を備え、該移動体814に搭載された集光光学ユニット3を移動させるアクチュエータ8,9を用いて、集光光学ユニット3によって導かれるレーザ信号光が光ファイバ22の入射面22a内の中心に向かうように制御する様にした。すなわち、微小振動を行うことができる振動体(駆動軸812)により集光光学ユニット3を移動させる様にしたので、高分解能、高精度でサブミクロンオーダの位置制御が可能となり、いつも高い性能を維持することができる。また、アクチュエータ8,9は摩擦係合を利用して集光光学ユニット3を移動させるので、アクチュエータ8,9への通電を停止し駆動を停止させている間、集光光学ユニット3は姿勢を維持することができる。したがって、消費電力の増加を招くことなく容易に集光光学ユニット3の位置を固定することができる。
In addition, a piezoelectric element 811, a vibrating body (drive shaft 812) fixed so as to vibrate together with the piezoelectric element 811, and a moving body 814 that is frictionally engaged with the vibrating body are mounted on the moving body 814. The laser signal light guided by the condensing
1 レーザ光学装置
21,22 光ファイバ
3 集光光学ユニット
301 集光レンズ
302 レンズホルダ
41,42 コリメータレンズ
5 ハーフミラー
6 フォトダイオード(PD)
7 制御部
71 ローパスフィルタ(LPF)
72 制御CPU
721 A/D変換器
723 アライメントコントローラ
724,725 X−PWM,Y−PWM
73 駆動回路
731,732 X増幅器,Y増幅器
8,9 アクチュエータ(X軸,Y軸)
811 圧電素子
812 駆動軸
813 錘
814 移動体
10 アナログ信号処理回路
DESCRIPTION OF
7
72 Control CPU
721 A /
73
811 Piezoelectric element 812 Drive shaft 813 Weight 814
Claims (6)
前記レーザ光出射部より出射されたレーザ信号光を受光するレーザ光受光部と、
前記レーザ光出射部より出射されたレーザ信号光を前記レーザ光受光部に導く集光光学ユニットと、
前記集光光学ユニットを移動させるアクチュエータと、
前記レーザ光受光部に導入されたレーザ信号光の強度を検出する強度検出部と、
前記アクチュエータの駆動を制御する制御部と、を有するレーザ光学装置において、
前記情報は、制御信号とデータ信号とを含み、
前記制御信号は、一定の周期で繰返し出力され、
前記制御部は、
前記レーザ信号光に含まれる前記制御信号に同期して、前記データ信号が出力されていない期間に、前記集光光学ユニットを微小振幅で往復させるように前記アクチュエータを駆動して、前記強度検出部で検出されたレーザ信号光の強度に基づいて、前記集光光学ユニットによって導かれるレーザ信号光と前記レーザ光受光部との位置合わせを繰り返すことを特徴とするレーザ光学装置。 A laser beam emitting unit that emits laser signal light modulated by information;
A laser light receiving part for receiving the laser signal light emitted from the laser light emitting part;
A condensing optical unit for guiding the laser signal light emitted from the laser light emitting unit to the laser light receiving unit;
An actuator for moving the condensing optical unit;
An intensity detector that detects the intensity of the laser signal light introduced into the laser beam receiver;
A laser optical device having a control unit that controls driving of the actuator;
The information includes a control signal and a data signal,
The control signal is repeatedly output at a constant period,
The controller is
In synchronism with the control signal included in the laser signal light, the intensity detection unit drives the actuator to reciprocate the condensing optical unit with a minute amplitude during a period when the data signal is not output. A laser optical device that repeats alignment of the laser signal light guided by the condensing optical unit and the laser light receiving unit based on the intensity of the laser signal light detected in step (1) .
前記制御部は、隣接する少なくとも2つの、前記制御信号に同期して、前記データ信号が出力されていない期間に前記集光光学ユニットが1サイクルの位置合わせを行うように前記アクチュエータを駆動することを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のレーザ光学装置。 The control signal is repeatedly output at a constant period,
The controller drives the actuator so that the condensing optical unit performs one-cycle alignment in a period in which the data signal is not output in synchronization with at least two adjacent control signals. The laser optical device according to claim 1, wherein:
前記集光光学ユニットが前記移動体に搭載されたことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のレーザ光学装置。 The actuator includes a piezoelectric element, a vibrating body fixed so as to vibrate with the piezoelectric element, and a moving body frictionally engaged with the vibrating body,
6. The laser optical apparatus according to claim 1, wherein the condensing optical unit is mounted on the moving body.
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07143064A (en) * | 1993-11-16 | 1995-06-02 | Canon Inc | Optical space communication equipment |
JPH11275022A (en) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Sharp Corp | Optical transmission reception module |
JP2002238271A (en) * | 2001-02-14 | 2002-08-23 | Minolta Co Ltd | Drive circuit |
JP2003338795A (en) * | 2002-05-22 | 2003-11-28 | Pentax Corp | Optical communication device |
JP2005249919A (en) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Pentax Corp | Optical communication apparatus |
JP2006076299A (en) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Toshiba Tec Corp | Laser drive circuit |
-
2006
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07143064A (en) * | 1993-11-16 | 1995-06-02 | Canon Inc | Optical space communication equipment |
JPH11275022A (en) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Sharp Corp | Optical transmission reception module |
JP2002238271A (en) * | 2001-02-14 | 2002-08-23 | Minolta Co Ltd | Drive circuit |
JP2003338795A (en) * | 2002-05-22 | 2003-11-28 | Pentax Corp | Optical communication device |
JP2005249919A (en) * | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Pentax Corp | Optical communication apparatus |
JP2006076299A (en) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Toshiba Tec Corp | Laser drive circuit |
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