JP4690956B2 - Optical fiber preform manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、光ファイバ母材、特に、1310nm付近に零分散波長を有するシングルモード光ファイバを製造するために用いる光ファイバ母材の製造方法に関するものである。   The present invention relates to an optical fiber preform, and more particularly to a method for producing an optical fiber preform used for producing a single mode optical fiber having a zero dispersion wavelength near 1310 nm.

近年のインターネットの急速な普及に伴い、光ファイバ線路網の拡充が急速に進んでいる。この光ファイバ線路網において、最も多く用いられている光ファイバは1310nm付近に零分散波長を有するシングルモード光ファイバ(SMF)である。このシングルモード光ファイバは低価格、低損失で、しかも大容量化を実現できる、優れた特性を有している光ファイバである。
また、シングルモード光ファイバ(SMF)は、低OH化を図ることで低密度波長分割多重(CWDM)伝送用光ファイバとしての適用も可能である。そのため、さらなる特性の向上が求められている。
With the rapid spread of the Internet in recent years, the expansion of optical fiber line networks is progressing rapidly. In this optical fiber line network, the most frequently used optical fiber is a single mode optical fiber (SMF) having a zero dispersion wavelength near 1310 nm. This single-mode optical fiber is an optical fiber having excellent characteristics that can realize high capacity at low cost and low loss.
Further, the single mode optical fiber (SMF) can be applied as an optical fiber for low density wavelength division multiplexing (CWDM) transmission by reducing the OH. Therefore, further improvement in characteristics is demanded.

ところで、このシングルモード光ファイバ(SMF)の屈折率分布形状は、いわゆる単純ステップ型の屈折率分布であって、その理想はコアとクラッドの界面においてコアの屈折率が矩形状に高くなっているのがよい、と考えられている。このような屈折率分布になっていると、所望のモードフィールド径(MFD)とカットオフ波長λcを維持しながら、しかも分散特性が向上し、信号波形の劣化が小さい光ファイバが得られることが知られている。   By the way, the refractive index profile of the single mode optical fiber (SMF) is a so-called simple step type refractive index profile, and the ideal is that the refractive index of the core is increased in a rectangular shape at the interface between the core and the cladding. It is considered good. With such a refractive index distribution, it is possible to obtain an optical fiber with improved dispersion characteristics and small signal waveform deterioration while maintaining a desired mode field diameter (MFD) and cutoff wavelength λc. Are known.

しかしながら、VAD法のような気相合成法を用いてコアとクラッドの一部を含む多孔質母材(以下、コアスート体と称する)を形成し、これを脱水、焼結(透明ガラス化)してコア用ガラスロッドを製造する場合、コアに含まれるゲルマニウムが脱水、焼結時にコア周辺のクラッドに拡散し、コアとクラッドの境界面に屈折率分布の裾が形成される。
この屈折率分布の裾(以下単に裾と称す)が大きくなると、光ファイバの分散特性が悪化する。すなわち、モードフィールド径(MFD)とカットオフ波長λcを所望の値に維持しようとすると、零分散波長を所望の範囲内に納められない、という問題がある。
However, a porous base material (hereinafter referred to as a core soot body) including a part of a core and a clad is formed by using a vapor phase synthesis method such as the VAD method, and this is dehydrated and sintered (transparent vitrification). When manufacturing a glass rod for a core, germanium contained in the core diffuses into the cladding around the core during dehydration and sintering, and a skirt of the refractive index distribution is formed at the interface between the core and the cladding.
When the bottom of this refractive index distribution (hereinafter simply referred to as the bottom) increases, the dispersion characteristics of the optical fiber deteriorate. That is, if the mode field diameter (MFD) and the cutoff wavelength λc are maintained at desired values, there is a problem that the zero dispersion wavelength cannot be kept within a desired range.

この問題を解決する方法として、特許文献1に記載されているように、透明ガラス化後の光ファイバ母材のコア領域とクラッド領域の境界部における比屈折率差が0.8×△n(△nはコア領域の比屈折率差)から0.3×△nまで変化する光ファイバの径方向の厚さをdとして、0.5×△nのコア半径rで規格化した比屈折率変化率(0.5×△n)/(d/r)が0.4%以上4.0%以下の範囲に入る光ファイバ母材だけを選別して、光ファイバにする方法が提案されている。
特許文献1によれば、この方法を採用すると、光ファイバ母材から光ファイバを線引きした後、光ファイバの良否を判断するのではなく、線引き前の段階で判断が可能になるので、無駄が少なく、所望する特性、具体的にはコアとクラッドの境界部における屈折率分布の裾の小さい光ファイバを確実に得ることができる、と謳っている。
As a method for solving this problem, as described in Patent Document 1, the relative refractive index difference at the boundary between the core region and the cladding region of the optical fiber preform after transparent vitrification is 0.8 × Δn ( Δn is the relative refractive index normalized by the core radius r of 0.5 × Δn, where d is the radial thickness of the optical fiber, which varies from the relative refractive index difference of the core region) to 0.3 × Δn. A method has been proposed in which only the optical fiber preform whose rate of change (0.5 × Δn) / (d / r) falls within the range of 0.4% to 4.0% is selected to form an optical fiber. Yes.
According to Patent Document 1, when this method is adopted, it is possible to make a judgment at a stage before drawing, rather than judging whether the optical fiber is good or not after drawing the optical fiber from the optical fiber preform. It is said that an optical fiber having a small number of desired characteristics, specifically, a narrow bottom of the refractive index distribution at the boundary between the core and the clad can be obtained with certainty.

特再2000−026709号公報Japanese Patent Publication No. 2000-026709

しかしながら、この方法はあくまでも既に透明ガラス化されている光ファイバ母材の選別方法でしかなく、根本的な解決策ではない。
もちろん特許文献1にも、透明ガラス化後の光ファイバ母材を評価した結果を、光ファイバ母材合成条件に反映させる旨の開示もあるが、単に汎用の合成方法における合成条件を微調整する程度では、コアとクラッドの境界部における裾を小さくする根本的な解決には到底なり得ない。
However, this method is only a method for selecting an optical fiber preform that has already been made into a transparent glass, and is not a fundamental solution.
Of course, Patent Document 1 also discloses that the evaluation result of the optical fiber preform after the transparent vitrification is reflected in the optical fiber preform synthesis condition, but simply fine-tunes the synthesis condition in the general-purpose synthesis method. To the extent, it cannot be a fundamental solution to reduce the skirt at the boundary between the core and the clad.

上記問題に鑑み本発明の目的は、所望のモードフィールド径(MFD)とカットオフ波長λcを維持しながら、しかも分散特性にも優れ、信号波形の劣化が小さい光ファイバを容易、かつ確実に得ることができる光ファイバ母材の製造方法、すなわち、コアとクラッドの境界部における屈折率分布の裾の広がりの小さい光ファイバを確実に得ることができる光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to easily and surely obtain an optical fiber that maintains a desired mode field diameter (MFD) and a cutoff wavelength λc, has excellent dispersion characteristics, and has little signal waveform deterioration. To provide an optical fiber preform manufacturing method, that is, an optical fiber preform manufacturing method capable of reliably obtaining an optical fiber having a small skirt of the refractive index distribution at the boundary between the core and the clad. is there.

前記目的を達成すべく本発明の請求項1記載の光ファイバの製造方法は、気相合成法によりコア部と該コア部の外側にクラッド部の一部を有するコアスート体を合成する工程と、前記コアスート体を脱水雰囲気で脱水した後、不活性ガス雰囲気中で透明ガラス化する工程と、を有する光ファイバ母材の製造方法において、得られる光ファイバのコアとクラッドの境界部における屈折率分布の裾を小さくするために、前記クラッド部の一部を合成するクラッド用バーナにはフッ素含有ガスが供給され、前記コア部との境界部にフッ素を含むコアスート体を形成し、前記フッ素含有ガスに含まれるフッ素の濃度分布を、前記コア部に近いほど濃度が高い裾形状の傾斜分布とすることを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, an optical fiber manufacturing method according to claim 1 of the present invention includes a step of synthesizing a core soot body having a core portion and a portion of a cladding portion outside the core portion by a gas phase synthesis method, A step of dehydrating the core soot body in a dehydrating atmosphere and then forming a transparent glass in an inert gas atmosphere, and a method for producing an optical fiber preform, wherein the refractive index distribution at the boundary between the core and cladding of the optical fiber is obtained In order to reduce the bottom of the gas, a clad burner for synthesizing a part of the clad part is supplied with a fluorine-containing gas, a core soot body containing fluorine is formed at the boundary with the core part, and the fluorine-containing gas is formed. The concentration distribution of fluorine contained in the skirt is a skirt-shaped gradient distribution having a higher concentration as it is closer to the core portion .

また、前記クラッド用バーナへのフッ素含有ガスの単位時間当りの供給量を、前記コア部を合成するコア用バーナに近い側ほど、合成されるスートのフッ素濃度が高くなるように傾斜分布供給することも特徴とする。
さらにまた、前記クラッド用バーナは複数本からなり、各クラッド用バーナへのフッ素含有ガスの単位時間当りの供給量を、前記コア部を合成するコア用バーナに近いクラッド用バーナほど合成されるスートのフッ素濃度が高くなるように傾斜分布供給している点も特徴である。
Further, the supply amount of the fluorine-containing gas to the cladding burner per unit time is supplied in an inclined distribution so that the fluorine concentration of the soot to be synthesized becomes higher toward the side closer to the core burner for synthesizing the core portion. It is also characterized.
Furthermore, the soot is composed of a plurality of clad burners, and the amount of fluorine-containing gas supplied to each clad burner per unit time is so synthesized as to be closer to the core burner that synthesizes the core part. Another feature is that the gradient distribution is supplied so that the fluorine concentration of the carbon dioxide increases.

このようにしてなる本発明によれば、所望のモードフィールド径(MFD)とカットオフ波長λcを維持しながら、しかも分散特性にも優れ、信号波形の劣化が小さい光ファイバを容易、かつ確実に得ることができる光ファイバ母材、すなわち、コアとクラッドの境界部における屈折率分布の裾の広がりの小さい光ファイバを確実に得ることができる光ファイバ母材の製造方法が提供される。   According to the present invention as described above, an optical fiber having excellent dispersion characteristics and small signal waveform deterioration can be easily and reliably maintained while maintaining a desired mode field diameter (MFD) and a cutoff wavelength λc. An optical fiber preform that can be obtained, that is, a method for producing an optical fiber preform that can reliably obtain an optical fiber having a small skirt of the refractive index distribution at the boundary between the core and the clad is provided.

以下、図面を用いて本発明の光ファイバ母材の製造方法を詳細に説明する。
本発明の光ファイバ母材の製造方法の特徴は、例えば、図1に示す装置を用いて、気相合成法、具体的にはVAD法でコアとクラッドの一部を含むコアスート体1を製造する方法を改良する点にある。
より具体的には、回転しながら一定速度で上昇する出発母材2の先端部に、この出発母材2の先端に開口部を向けるようにして筒状の多重導入孔を有する、いわゆる多重管タイプのコア用バーナ3を配置する。
また、このコア用バーナ3に隣接して第1クラッド用バーナ4を配置し、さらに第1クラッド用バーナ4に隣接して第2クラッド用バーナ5を、このクラッド用バーナ5に隣接して第3クラッド用バーナ6をそれぞれ配置する。尚、クラッド用バーナ4、5及び6も基本的にはコア用バーナ3と同様に多重管型のバーナである。
Hereinafter, the manufacturing method of the optical fiber preform of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The feature of the optical fiber preform manufacturing method of the present invention is that, for example, using the apparatus shown in FIG. 1, a core soot body 1 including a core and a part of a cladding is manufactured by a vapor phase synthesis method, specifically, a VAD method. The point is to improve the method.
More specifically, a so-called multiple pipe having a cylindrical multiple introduction hole at the front end portion of the starting base material 2 that rises at a constant speed while rotating so that the opening portion faces the front end of the starting base material 2. A type core burner 3 is arranged.
A first cladding burner 4 is disposed adjacent to the core burner 3, and a second cladding burner 5 is adjacent to the first cladding burner 4 and a second cladding burner 5 is adjacent to the cladding burner 5. Three-cladding burners 6 are respectively arranged. The cladding burners 4, 5 and 6 are basically multi-tube burners as well as the core burner 3.

これら各クラッド用バーナ4、5及び6に、Ar等の不活性ガスを含み、酸素ガス、水素ガス等からなる燃焼ガス、四塩化珪素(SiCl)といったガラス原料ガスからなる原料ガス、さらには本発明の方法の特徴であるフッ素含有ガスをそれぞれの多重管の所定層に供給する。これらのガスをすべてガス状態で各バーナに供給し、火炎加水分解反応によりガラス微粒子を形成し、これを出発母材2に向かって吹き付けることにより、コアスート体1を製造する。 Each of these cladding burners 4, 5 and 6 contains an inert gas such as Ar, a combustion gas comprising oxygen gas, hydrogen gas, etc., a raw material gas comprising a glass raw material gas such as silicon tetrachloride (SiCl 4 ), and A fluorine-containing gas, which is a feature of the method of the present invention, is supplied to a predetermined layer of each multiple tube. All of these gases are supplied to each burner in a gas state, glass fine particles are formed by a flame hydrolysis reaction, and this is blown toward the starting base material 2 to produce the core soot body 1.

ここで例えば、コア用バーナ3としては、図2に示すような多重管バーナを使用する。
具体的には図2に示すコア用バーナ3の中心層31に四塩化珪素ガスを、2層目32には四塩化ゲルマニウムガスと水素ガスを、3層目33にはアルゴンガスを、そして4層目34には酸素ガスを各々所定量供給した。
また、クラッド用バーナ4、5及び6としては、図3に示すような多重管バーナを使用した。
具体的には、第1クラッド用バーナ4の中心層41に四塩化珪素ガスとSiFガスを、2層目42には水素ガスを、3層目43にはアルゴンガスを、4層目44には酸素ガスを、5層目45にはアルゴンガスを、6層目46には水素ガスを、7層目47にはアルゴンガスを、そして8層目48には酸素ガスを各々所定量供給した。
Here, for example, a multi-tube burner as shown in FIG. 2 is used as the core burner 3.
Specifically, silicon tetrachloride gas is used for the central layer 31 of the core burner 3 shown in FIG. 2, germanium tetrachloride gas and hydrogen gas are used for the second layer 32, argon gas is used for the third layer 33, and 4 A predetermined amount of oxygen gas was supplied to each layer 34.
Further, as the cladding burners 4, 5 and 6, multi-tube burners as shown in FIG. 3 were used.
Specifically, silicon tetrachloride gas and SiF 4 gas are used for the central layer 41 of the first cladding burner 4, hydrogen gas is used for the second layer 42, and argon gas is used for the third layer 43. Is supplied with oxygen gas, 5th layer 45 with argon gas, 6th layer 46 with hydrogen gas, 7th layer 47 with argon gas, and 8th layer 48 with oxygen gas. did.

第2クラッド用バーナ5及び第3クラッド用バーナ6にも前述した第1クラッド用バーナ4と同様に、各層毎に第1クラッド用バーナ4と同種のガスを供給した。
但し、ここでもっとも重要なことは、各クラッド用バーナへのフッ素含有ガスの単位時間当りの供給量は、コア部を合成するコア用バーナ3に近いクラッド用バーナほど合成されるスートのフッ素濃度が高くなるように傾斜分布供給する点である。
The second cladding burner 5 and the third cladding burner 6 were supplied with the same type of gas as the first cladding burner 4 for each layer in the same manner as the first cladding burner 4 described above.
However, the most important thing here is that the supply amount of the fluorine-containing gas to each cladding burner per unit time is the fluorine concentration of the soot synthesized in the cladding burner closer to the core burner 3 for synthesizing the core part. The gradient distribution is supplied so as to increase.

コア用バーナ3に近いクラッド用バーナほど、合成されるスートのフッ素濃度が高くなるようにするためには、例えば、第2クラッド用バーナ5の中心層に供給するSiFガスの単位時間当りの供給量を、第1クラッド用バーナ4の中心層41に供給するものより少ない量にし、第3クラッド用バーナ6の中心層に供給するSiFガスの量を、第2クラッド用バーナ5の中心層に供給したSiFガスの量よりも少量にする。もしくは、第2クラッド用バーナ5の中心層に供給する単位時間当りのSiFガスの供給量とSiClガスの供給量の比を、第1クラッド用バーナ4の中心層41に供給するものより小さくし、第3クラッド用バーナ6の中心層に供給する単位時間当りのSiFガスの供給量とSiClガスの供給量の比を、第2クラッド用バーナ5の中心層に供給するものより小さくすればよい。
すなわち、第1クラッド用バーナ4により合成されるスートのSiF濃度>第2クラッド用バーナ5により合成されるスートのSiF濃度>第3クラッド用バーナ6により合成されるスートのSiF濃度、となるようにする。
このように本発明の特徴は、コア用バーナ3に近いクラッド用バーナで合成されるスートほど、SiFの濃度を高くする、いわゆる傾斜分布供給する点にある。
In order to increase the fluorine concentration of the soot to be synthesized as the cladding burner closer to the core burner 3, for example, the SiF 4 gas supplied to the central layer of the second cladding burner 5 per unit time The supply amount is made smaller than that supplied to the center layer 41 of the first cladding burner 4, and the amount of SiF 4 gas supplied to the center layer of the third cladding burner 6 is set to the center of the second cladding burner 5. The amount is smaller than the amount of SiF 4 gas supplied to the layer. Alternatively, the ratio of the supply amount of SiF 4 gas and the supply amount of SiCl 4 gas per unit time supplied to the center layer of the second cladding burner 5 is supplied to the center layer 41 of the first cladding burner 4. The ratio of the supply amount of SiF 4 gas and the supply amount of SiCl 4 gas per unit time supplied to the center layer of the third cladding burner 6 is smaller than that supplied to the center layer of the second cladding burner 5. Just make it smaller.
That, SiF 4 concentration of soot synthesized by SiF 4 concentration> third cladding burner 6 of soot synthesized by SiF 4 concentration> second cladding burner 5 of soot synthesized by the first cladding burner 4, To be.
Thus, the feature of the present invention is that so-called gradient distribution is supplied in which the soot synthesized by the cladding burner close to the core burner 3 increases the concentration of SiF 4 .

上記のようにしてコアスート体1を形成したら、これを公知の技術、すなわち脱水雰囲気中で脱水した後、不活性ガスを含む雰囲気で透明ガラス化した。しかる後、必要ならこれを延伸して外径を細くした後、例えばOVD法で残りのクラッド部を合成する。所定量のクラッド部を合成したら、これを公知の技術で脱水、透明ガラス化した後、最終的に線引きし、光ファイバを得た。
得られた光ファイバはコアとクラッドの境界部に形成される裾が従来法で得られたものより確実に小さくなっていた。これは前述したクラッド用バーナ4、5及び6に供給したフッ素含有ガスにより、コアとクラッドの境界部の屈折率がフッ素により低められ、その結果として裾の部分が小さくなったものである。換言すると、裾の部分に酸化ゲルマニウムの他にフッ素が添加され、両者がコドープされた状態になっている。その結果、この部分の屈折率が従来のものに比して低くなっている。
When the core soot body 1 was formed as described above, it was dehydrated in a known technique, that is, in a dehydrating atmosphere, and then transparent vitrified in an atmosphere containing an inert gas. Thereafter, if necessary, this is stretched to reduce the outer diameter, and then the remaining cladding is synthesized by, for example, the OVD method. When a predetermined amount of the clad portion was synthesized, it was dehydrated and made into a transparent glass by a known technique, and finally drawn to obtain an optical fiber.
In the obtained optical fiber, the skirt formed at the boundary between the core and the clad was surely smaller than that obtained by the conventional method. This is because the refractive index of the boundary between the core and the clad is lowered by fluorine by the fluorine-containing gas supplied to the above-described clad burners 4, 5 and 6, and as a result, the skirt portion becomes small. In other words, fluorine is added to the skirt portion in addition to germanium oxide, and both are co-doped. As a result, the refractive index of this portion is lower than that of the conventional one.

このようにコアとクラッドの境界部における屈折率分布の裾を小さくしたことにより、得られた光ファイバは、所望のモードフィールド径(MFD)とカットオフ波長λcを維持しながら、しかも分散特性にも優れ、信号波形の劣化も小さいものになっていた。   Thus, by reducing the bottom of the refractive index distribution at the boundary between the core and the clad, the obtained optical fiber has a desired mode field diameter (MFD) and a cutoff wavelength λc while maintaining dispersion characteristics. The signal waveform was less degraded.

ところでフッ素含有ガスとしては、前述したSiFに限らず、例えばSF、CFなどのガスも用いることができる。
以下に本発明の実施例および比較例を示す。
Incidentally, the fluorine-containing gas is not limited to the above-described SiF 4 , and for example, a gas such as SF 6 or CF 4 can be used.
Examples of the present invention and comparative examples are shown below.

コア用バーナ3及びクラッド用バーナ4、5及び6を図1のように配置してコアスート体1を製造した。
因みに、コア用バーナ3において中心層31に四塩化珪素を360cc/min供給し、2層目32には四塩化ゲルマニウム86cc/minと共に水素ガスを加えて供給した。3層目33にはアルゴンガスを、4層目34には酸素ガスをそれぞれ所定量供給した。
また第1クラッド用バーナ4と第2クラッド用バーナ5の各中心層には四塩化珪素を0.4l/min供給し、第1クラッド用バーナ4の中心層にはこれに加えてSiFを300cc/min、第2クラッド用バーナ5の中心層には、SiFを75cc/min供給した。また、第3クラッド用バーナ6の中心層には四塩化珪素を0.5l/minのみ供給し、SiFは供給しなかった。
各クラッド用バーナ4、5及び6の中心層以外の供給口からは前述した各ガス、すなわち酸素ガス、水素ガス及び不活性ガスであるアルゴンガスを所定量供給した。
The core soot body 1 was manufactured by arranging the core burner 3 and the cladding burners 4, 5 and 6 as shown in FIG.
Incidentally, silicon tetrachloride was supplied to the central layer 31 in the core burner 3 at 360 cc / min, and hydrogen gas was added to the second layer 32 together with 86 cc / min of germanium tetrachloride. Argon gas was supplied to the third layer 33 and oxygen gas was supplied to the fourth layer 34 in a predetermined amount.
Further, 0.4 l / min of silicon tetrachloride is supplied to each central layer of the first cladding burner 4 and the second cladding burner 5, and SiF 4 is added to the center layer of the first cladding burner 4 in addition to this. 300 cc / min, SiF 4 was supplied at 75 cc / min to the center layer of the second cladding burner 5. Further, only 0.5 l / min of silicon tetrachloride was supplied to the center layer of the third cladding burner 6 and SiF 4 was not supplied.
A predetermined amount of each gas described above, that is, oxygen gas, hydrogen gas, and argon gas, which is an inert gas, was supplied from the supply ports other than the central layer of each of the cladding burners 4, 5 and 6.

このような条件で得られたコアスート体1に、前述したように残りのクラッド部分を外付けした後、脱水、透明ガラス化して光ファイバ母材とし、これを線引きして光ファイバを得た。得られた光ファイバの屈折率分布を図4に示す。
図4でコア10とクラッド20の境界部分にある点線で示す部分が、従来の方法で得られていた光ファイバの裾11を示している。実線は前述した実施例1で示す方法で得られたコアスート体1を用いて得た光ファイバの屈折率分布を示している。
図4が示すように本発明の方法で得られた光ファイバでは、明らかに裾11が小さくなっていることがわかる。
その理由は、コア10とクラッド20の境界部においては、コア10とクラッド20の界面近傍において形成される屈折率分布の裾11の部分、すなわちGeOが添加されている部分に、第1クラッドバーナー4、第2クラッド用バーナ5により屈折率を低下させるフッ素が添加されたため、このフッ素の影響で、点線で示す従来の光ファイバ(SMF)と比較して、裾11が小さくなっている。
As described above, the remaining clad portion was externally attached to the core soot body 1 obtained under such conditions, followed by dehydration and transparent vitrification to obtain an optical fiber preform, which was drawn to obtain an optical fiber. The refractive index profile of the obtained optical fiber is shown in FIG.
In FIG. 4, the portion indicated by the dotted line at the boundary between the core 10 and the clad 20 indicates the bottom 11 of the optical fiber obtained by the conventional method. The solid line shows the refractive index distribution of the optical fiber obtained by using the core soot body 1 obtained by the method shown in Example 1 described above.
As can be seen from FIG. 4, in the optical fiber obtained by the method of the present invention, the skirt 11 is clearly reduced.
The reason is that at the boundary between the core 10 and the clad 20, the first clad is formed at the bottom 11 of the refractive index profile formed in the vicinity of the interface between the core 10 and the clad 20, that is, where GeO 2 is added. Since fluorine that lowers the refractive index is added by the burner 4 and the second cladding burner 5, the bottom 11 is smaller than the conventional optical fiber (SMF) indicated by the dotted line due to the influence of the fluorine.

この光ファイバの特性を測定したところ、カットオフ波長λcは1250nm、モードフィールド径(MFD)は9.2μm、零分散波長は1312nmであった。尚、コア10のクラッド20に対する最大屈折率差△1は0.4%、コア径は7.9μmであった。
因みに、従来方法で得た光ファイバにおいては、カットオフ波長λcは1250nm、モードフィールド径(MFD)は9.3μm、零分散波長は1317nmである。
このように、実施例1で得られた光ファイバでは、カットオフ波長λc及びモードフィールド径(MFD)の値を劣化させることなく、すなわち従来のものとほとんど変えることなく、零分散波長を大きく改善することができた。このようにモードフィールド径(MFD)とカットオフ波長λcを所望の範囲に維持しながら、しかも分散特性にも優れ、信号波形の劣化が小さい光ファイバを得ることができた。
When the characteristics of this optical fiber were measured, the cutoff wavelength λc was 1250 nm, the mode field diameter (MFD) was 9.2 μm, and the zero dispersion wavelength was 1312 nm. The maximum refractive index difference Δ1 of the core 10 with respect to the clad 20 was 0.4%, and the core diameter was 7.9 μm.
Incidentally, in the optical fiber obtained by the conventional method, the cutoff wavelength λc is 1250 nm, the mode field diameter (MFD) is 9.3 μm, and the zero dispersion wavelength is 1317 nm.
Thus, in the optical fiber obtained in Example 1, the zero-dispersion wavelength is greatly improved without deteriorating the cutoff wavelength λc and the mode field diameter (MFD), that is, almost unchanged from the conventional one. We were able to. As described above, it was possible to obtain an optical fiber that maintains the mode field diameter (MFD) and the cut-off wavelength λc within the desired ranges and also has excellent dispersion characteristics and small signal waveform deterioration.

図1においてコア用バーナ3に隣接して、図5に示すような多重管構造の第1クラッド用バーナ4を1本のみ配置せしめた。このバーナ4の特徴は、中心層41が図5に示すように上下に4段に分割されている点にある。
因みに、コア用バーナ3に関しては実施例1と全く同じ条件にした。また第1クラッド用バーナ4については中心層41aに四塩化珪素のみを0.65l/min供給し、中心層41bには四塩化珪素0.15l/minにSiFを23cc/minを加えて供給した。さらに中心層41cには、四塩化珪素0.25l/minにSiFを76cc/minを加えて供給し、最下段の中心層41dに四塩化珪素0.3l/minにSiFを230cc/minを加えて供給した。このように上段から下段、すなわちコア用バーナ3に近いほど、合成されるスートのSiF濃度が高くなるように、つまり傾斜分布になるようにガスを供給した。
尚、図5で上と記載されている方がコア用バーナ3から距離的に遠くなる方で、下と書かれている側が図1においてコア用バーナ3に近い側になるように位置決めされる。
In FIG. 1, only one first cladding burner 4 having a multi-tube structure as shown in FIG. 5 is arranged adjacent to the core burner 3. The burner 4 is characterized in that the center layer 41 is vertically divided into four stages as shown in FIG.
Incidentally, the conditions for the core burner 3 were the same as those in Example 1. For the first cladding burner 4, only 0.64 l / min of silicon tetrachloride is supplied to the center layer 41a, and SiF 4 is supplied to the center layer 41b by adding 0.15 l / min of silicon tetrachloride to 23cc / min. did. More central layer 41c, four of SiF 4 in the silicon chloride 0.25 l / min was supplied by the addition of 76cc / min, silicon tetrachloride in the bottom of the central layer 41d 0.3 l / min of SiF 4 in 230 cc / min To be supplied. Thus, the gas was supplied so that the SiF 4 concentration of the soot to be synthesized became higher, that is, an inclined distribution, from the upper stage to the lower stage, that is, closer to the core burner 3.
5 is positioned so that the side described as “upper” is farther from the core burner 3 and the side written as “lower” is closer to the core burner 3 in FIG. .

このような条件で得られた光ファイバ母材、すなわちコアスート体1に脱水、透明ガラス化等公知の処理を施した後、前述したように残りのクラッド部分を外付けし、これをさらに脱水、透明ガラス化して得られた光ファイバ母材を線引きして光ファイバを得た。得られた光ファイバの屈折率分布を図6に示す。
図6でコア10とクラッド20の境界部分にある点線で示す部分が、図4同様に従来の方法で得られていた光ファイバの裾11を示している。実線は実施例2で示す条件で得られたコアスート体1を用いて得た光ファイバの屈折率分布を示している。
図6が示すように実施例2の条件で得られた光ファイバでも、明らかに裾11が小さくなっていることがわかる。
After subjecting the optical fiber preform obtained under such conditions, that is, the core soot body 1, to a known treatment such as dehydration and transparent vitrification, the remaining cladding portion is externally attached as described above, and this is further dehydrated, An optical fiber was obtained by drawing an optical fiber preform obtained by forming transparent glass. The refractive index profile of the obtained optical fiber is shown in FIG.
In FIG. 6, the portion indicated by the dotted line at the boundary between the core 10 and the clad 20 shows the skirt 11 of the optical fiber obtained by the conventional method as in FIG. The solid line shows the refractive index distribution of the optical fiber obtained using the core soot body 1 obtained under the conditions shown in Example 2.
As shown in FIG. 6, it can be seen that the bottom 11 is obviously small even in the optical fiber obtained under the conditions of Example 2.

またこの光ファイバの特性を測定したが、ほぼ実施例1と同様なものが得られた。
具体的には、カットオフ波長λcは1250nm、モードフィールド径(MFD)は9.1μm、零分散波長は1311nmであった。尚、コア10のクラッド20に対する最大屈折率差△1は0.4%、コア径は7.8μmであった。
因みに、従来方法で得た光ファイバにおいては、前述したように、カットオフ波長λcは1250nm、モードフィールド径(MFD)は9.3μm、零分散波長は1317nmである。
このように、実施例2で得られた光ファイバでも、カットオフ波長λc及びモードフィールド径(MFD)の値を劣化させることなく、すなわち従来のものとほとんど変えることなく、零分散波長だけを大きく改善することができた。
このようにモードフィールド径(MFD)、カットオフ波長λcも全く問題なく、しかも分散特性にも優れ、信号波形の劣化が小さい光ファイバを得ることができた。
Further, the characteristics of this optical fiber were measured, and almost the same as in Example 1 was obtained.
Specifically, the cutoff wavelength λc was 1250 nm, the mode field diameter (MFD) was 9.1 μm, and the zero dispersion wavelength was 1311 nm. The maximum refractive index difference Δ1 of the core 10 with respect to the clad 20 was 0.4%, and the core diameter was 7.8 μm.
Incidentally, in the optical fiber obtained by the conventional method, as described above, the cutoff wavelength λc is 1250 nm, the mode field diameter (MFD) is 9.3 μm, and the zero dispersion wavelength is 1317 nm.
Thus, even in the optical fiber obtained in Example 2, only the zero dispersion wavelength is increased without degrading the values of the cutoff wavelength λc and the mode field diameter (MFD), that is, almost unchanged from the conventional one. It was possible to improve.
Thus, the mode field diameter (MFD) and the cut-off wavelength λc were completely satisfactory, and an optical fiber having excellent dispersion characteristics and small signal waveform deterioration could be obtained.

(比較例1)
図1において図2に示すコア用バーナ3に隣接して、図3に示すような第1クラッド用バーナ4を1本のみ配置した。
コア用バーナ3の各層に供給するガスの条件は実施例1及び実施例2と同一にした。但し、第1クラッド用バーナ4の中心層41には四塩化珪素を1.35l/minと共にSiFを350cc/min加えて供給した。それ以外の層からは実施例1と同様なガスを供給した。但し、その供給量は上記原料ガスの供給量に合わせて多少調節した上で同様なガス、すなわち、酸素ガス、水素ガスそしてアルゴンガスを供給した。
(Comparative Example 1)
1, only one first cladding burner 4 as shown in FIG. 3 is arranged adjacent to the core burner 3 shown in FIG.
The conditions of the gas supplied to each layer of the core burner 3 were the same as in the first and second embodiments. However, the center layer 41 of the first cladding burner 4 was supplied with 1.35 l / min of silicon tetrachloride and 350 cc / min of SiF 4 . Gases similar to those in Example 1 were supplied from the other layers. However, the supply amount was adjusted to some extent according to the supply amount of the raw material gas, and then similar gases, that is, oxygen gas, hydrogen gas and argon gas were supplied.

このような条件で得られた光ファイバ母材、すなわちコアスート体1に脱水、透明ガラス化等公知の処理を施した後、前述したように残りのクラッド部分を外付けし、これをさらに脱水、透明ガラス化して得られた光ファイバ母材を線引きして光ファイバを得た。得られた光ファイバの屈折率分布を図7に示す。   After subjecting the optical fiber preform obtained under such conditions, that is, the core soot body 1, to a known treatment such as dehydration and transparent vitrification, the remaining cladding portion is externally attached as described above, and this is further dehydrated, An optical fiber was obtained by drawing an optical fiber preform obtained by forming transparent glass. The refractive index profile of the obtained optical fiber is shown in FIG.

図7でコア10とクラッド20の境界部分にある点線で示す部分が、従来の方法で得られていた光ファイバの裾11を示している。実線は比較例1で示す条件で得られたコアスート体1を用いて得た光ファイバの屈折率分布を示している。
図7が示すように、比較例1の条件で得られた光ファイバは、コア10とクラッド20の境界部だけでなく、クラッド20そのものの屈折率が下がっており、クラッド20を基準とした場合、裾11は小さくなっていない。
またその特性を測定したところ、カットオフ波長λcは1250nm、モードフィールド径(MFD)は9.1μm、零分散波長は1315nmであった。尚、コア10のクラッド20に対する最大屈折率差△1は0.4%、コア径は7.9μmであった。
因みに、従来方法で得た光ファイバにおいては、前述したように、カットオフ波長λcは1250nm、モードフィールド径(MFD)は9.3μm、零分散波長は1317nmであり、零分散波長の改善幅は小さかった。
In FIG. 7, the portion indicated by the dotted line at the boundary between the core 10 and the clad 20 shows the skirt 11 of the optical fiber obtained by the conventional method. The solid line shows the refractive index distribution of the optical fiber obtained using the core soot body 1 obtained under the conditions shown in Comparative Example 1.
As shown in FIG. 7, in the optical fiber obtained under the conditions of Comparative Example 1, not only the boundary between the core 10 and the clad 20, but also the refractive index of the clad 20 itself is lowered, and the clad 20 is used as a reference. The hem 11 is not small.
When the characteristics were measured, the cutoff wavelength λc was 1250 nm, the mode field diameter (MFD) was 9.1 μm, and the zero dispersion wavelength was 1315 nm. The maximum refractive index difference Δ1 of the core 10 with respect to the clad 20 was 0.4%, and the core diameter was 7.9 μm.
Incidentally, in the optical fiber obtained by the conventional method, as described above, the cutoff wavelength λc is 1250 nm, the mode field diameter (MFD) is 9.3 μm, the zero dispersion wavelength is 1317 nm, and the improvement width of the zero dispersion wavelength is as follows. It was small.

実施例1及び実施例2と比較例1の条件の大きな相違点は、前者ではクラッド用バーナから供給するフッ素含有ガスの供給量はコア用バーナに近い程、合成されるスートのフッ素濃度が高くなる、いわゆる傾斜分布供給していたが、比較例1においてはフッ素含有ガスの供給層が中心層41、1箇所であるため、傾斜分布供給ができなかった点にある。
これに対して実施例1では、クラッド用バーナを複数設けることで、フッ素含有ガスの供給量をコア用バーナ3に近いほど、合成されるスートのフッ素濃度を高くすることができるようになっており、実施例2では、第1クラッド用バーナ4の中心層41を上下に仕切り、コア用バーナ3側に近い下段側ほど合成されるスートのフッ素濃度を高くできるようにしている。
The major difference between the conditions of Example 1 and Example 2 and Comparative Example 1 is that in the former, the fluorine concentration of the soot synthesized is higher as the supply amount of the fluorine-containing gas supplied from the cladding burner is closer to the core burner. Although the so-called gradient distribution was supplied, in Comparative Example 1, since the supply layer of the fluorine-containing gas is the central layer 41 and one place, the gradient distribution could not be supplied.
On the other hand, in Example 1, by providing a plurality of cladding burners, the fluorine concentration of the soot to be synthesized can be increased as the supply amount of the fluorine-containing gas is closer to the core burner 3. In the second embodiment, the center layer 41 of the first cladding burner 4 is partitioned vertically so that the fluorine concentration of the soot synthesized in the lower stage closer to the core burner 3 can be increased.

このようにフッ素含有ガスの供給量を、コア用バーナ3に近い程、合成されるスートのフッ素濃度が高くなるように供給する傾斜分布供給することで、コアとクラッドの境界部における屈折率分布の裾の広がりを小さくでき、しかもクラッド側の屈折率分布への影響を少なくすることもできる。   In this way, the refractive index distribution at the boundary between the core and the clad is supplied by supplying a gradient distribution that supplies the fluorine-containing gas so that the fluorine concentration of the soot to be synthesized becomes higher as the supply amount of the fluorine-containing gas is closer to the core burner 3. And the influence on the refractive index distribution on the clad side can be reduced.

尚、実施例1では第3クラッド用バーナ6においてはSiFを全く供給していないが、第1クラッド用バーナ4や第2クラッド用バーナ5の各中心層に供給するSiFの供給量を実施例と異なる値、例えばより少なくして、第3クラッド用バーナ6の中心層からもSiFを供給してもよい。これらの条件は形成される裾の大きさを考慮して決定すればよく、裾がより小さくなるようにフッ素の供給量及び供給位置を決定すればよい。
すなわち、供給するSiFの量は、第1クラッド用バーナ4により合成されるスートのSiF濃度>第2クラッド用バーナ5により合成されるスートのSiF濃度>第3クラッド用バーナ6により合成されるスートのSiF濃度、の条件となる。
In Example 1, the third cladding burner 6 does not supply SiF 4 at all, but the amount of SiF 4 supplied to each central layer of the first cladding burner 4 and the second cladding burner 5 is as follows. SiF 4 may also be supplied from the central layer of the third cladding burner 6 with a value different from that of the embodiment, for example, less. These conditions may be determined in consideration of the size of the skirt to be formed, and the supply amount and supply position of fluorine may be determined so that the skirt becomes smaller.
That is, the amount of supplied SiF 4 is synthesized by SiF 4 concentration> third cladding burner 6 of soot synthesized by SiF 4 concentration> second cladding burner 5 of soot synthesized by the first cladding burner 4 This is the condition of the soot SiF 4 concentration.

以上述べたように、本発明によれば、所望のモードフィールド径(MFD)とカットオフ波長λcを維持しながら、しかも分散特性にも優れ、信号波形の劣化が小さい光ファイバを容易、かつ確実に得ることができる光ファイバ母材の製造方法、すなわち、コアとクラッドの境界部における屈折率分布の裾の小さい光ファイバを、確実に得ることができる光ファイバ母材の製造方法を提供することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to easily and surely provide an optical fiber that maintains a desired mode field diameter (MFD) and a cutoff wavelength λc, has excellent dispersion characteristics, and has little signal waveform deterioration. To provide an optical fiber preform manufacturing method that can reliably obtain an optical fiber having a small bottom of the refractive index distribution at the boundary between the core and the clad. Can do.

本発明の光ファイバ母材の製造方法の一実施例であるコア用バーナ及びクラッド用バーナの各配置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows each arrangement | positioning of the burner for cores which is one Example of the manufacturing method of the optical fiber preform | base_material of this invention, and the burner for clads. 本発明の光ファイバ母材の製造方法に用いるコア用バーナの一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the burner for cores used for the manufacturing method of the optical fiber preform | base_material of this invention. 本発明の光ファイバ母材の製造方法に用いるクラッド用バーナの一例を示す平面図である。It is a top view which shows an example of the burner for clads used for the manufacturing method of the optical fiber preform | base_material of this invention. 本発明の実施例1で得られた光ファイバ母材を用いて得られた光ファイバの屈折率分布を示すグラフである。It is a graph which shows the refractive index distribution of the optical fiber obtained using the optical fiber preform | base_material obtained in Example 1 of this invention. 本発明の光ファイバ母材の製造方法に用いるクラッド用バーナの別の例を示す平面図である。It is a top view which shows another example of the burner for a clad used for the manufacturing method of the optical fiber preform | base_material of this invention. 本発明の実施例2で得られた光ファイバ母材を用いて得られた光ファイバの屈折率分布を示すグラフである。It is a graph which shows the refractive index distribution of the optical fiber obtained using the optical fiber preform | base_material obtained in Example 2 of this invention. 比較例1で得られた光ファイバ母材を用いて得られた光ファイバの屈折率分布を示すグラフである。6 is a graph showing a refractive index distribution of an optical fiber obtained using the optical fiber preform obtained in Comparative Example 1.

符号の説明Explanation of symbols

1 コアスート体
2 出発母材
3 コア用バーナ
4 第1クラッド用バーナ
5 第2クラッド用バーナ
6 第3クラッド用バーナ
10 コア
11 裾
20 クラッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Core soot body 2 Starting base material 3 Core burner 4 First cladding burner 5 Second cladding burner 6 Third cladding burner 10 Core 11 Bottom 20 Cladding

Claims (3)

気相合成法によりコア部と該コア部の外側にクラッド部の一部を有するコアスート体を合成する工程と、前記コアスート体を脱水雰囲気で脱水した後、不活性ガス雰囲気中で透明ガラス化する工程と、を有する光ファイバ母材の製造方法において、
得られる光ファイバのコアとクラッドの境界部における屈折率分布の裾を小さくするために、前記クラッド部の一部を合成するクラッド用バーナにはフッ素含有ガスが供給され、前記コア部との境界部にフッ素を含むコアスート体を形成し、
前記フッ素含有ガスに含まれるフッ素の濃度分布を、前記コア部に近いほど濃度が高い裾形状の傾斜分布とすることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。
A step of synthesizing a core soot body having a core part and a part of a clad part outside the core part by a vapor phase synthesis method, and dehydrating the core soot body in a dehydrating atmosphere, and then forming a transparent glass in an inert gas atmosphere In a method for producing an optical fiber preform having a step,
In order to reduce the bottom of the refractive index distribution at the boundary between the core and the cladding of the obtained optical fiber, a fluorine-containing gas is supplied to the cladding burner for synthesizing a part of the cladding, and the boundary with the core Forming a core soot body containing fluorine in the part ,
A method for manufacturing an optical fiber preform , wherein the concentration distribution of fluorine contained in the fluorine-containing gas is a skirt-shaped inclined distribution having a higher concentration as it is closer to the core portion .
前記クラッド用バーナへのフッ素含有ガスの単位時間当りの供給量は、前記コア部を合成するコア用バーナに近い側ほど、合成されるスートのフッ素濃度が高くなるように傾斜分布供給されていることを特徴とする請求項1記載の光ファイバ母材の製造方法。   The supply amount of the fluorine-containing gas per unit time to the cladding burner is supplied in an inclined distribution so that the fluorine concentration of the soot to be synthesized becomes higher as the side closer to the core burner for synthesizing the core portion. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1. 前記クラッド用バーナは複数本からなり、各クラッド用バーナへのフッ素含有ガスの単位時間当りの供給量は、前記コア部を合成するコア用バーナに近いクラッド用バーナほど、合成されるスートのフッ素濃度が高くなるように傾斜分布供給されていることを特徴とする請求項1または請求項2いずれかに記載の光ファイバ母材の製造方法。   The clad burner includes a plurality of clad burners, and the amount of fluorine-containing gas supplied to each clad burner per unit time is such that the closer the burner for the clad to the core burner for synthesizing the core part, the more the soot fluorine synthesized. 3. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein the gradient distribution is supplied so as to increase the concentration.
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